JPH01107860A - 噴射ノズル - Google Patents
噴射ノズルInfo
- Publication number
- JPH01107860A JPH01107860A JP26351487A JP26351487A JPH01107860A JP H01107860 A JPH01107860 A JP H01107860A JP 26351487 A JP26351487 A JP 26351487A JP 26351487 A JP26351487 A JP 26351487A JP H01107860 A JPH01107860 A JP H01107860A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- nozzle
- waves
- phase difference
- traveling waves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 24
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は流体を噴射して洗浄するノズル、加工液の噴射
供給ノズル、冷却液の噴射ノズル等に関する。
供給ノズル、冷却液の噴射ノズル等に関する。
従来、放電加工機の加工液の噴射供給に、ノズル基端の
加工液貯蔵タンク内に超音波撮動子を設け、撮動子の超
音波を加工液に伝播させて噴射するようにしたノズルが
知られているが、ノズル内を流過中に超音波撮動勢力が
減衰してしまう欠点があり、又定在波振動による場合の
振動効果は低く、電極、被加工体間の微小な加工間隙に
充分多舖の加工液を供給し難い欠点があった。
加工液貯蔵タンク内に超音波撮動子を設け、撮動子の超
音波を加工液に伝播させて噴射するようにしたノズルが
知られているが、ノズル内を流過中に超音波撮動勢力が
減衰してしまう欠点があり、又定在波振動による場合の
振動効果は低く、電極、被加工体間の微小な加工間隙に
充分多舖の加工液を供給し難い欠点があった。
本発明は前記の欠点に鑑みて発明されたもので、ノズル
本体若しくはその一部を形成する円環形の振動体を設け
、該振動体の側面若しくは底面に固着して電歪材若しく
は磁歪材を設け、該電歪材若しくは磁歪材を励振する位
相差を有する高周波電源若しくは多相交流電源を設け、
前記円環形振動体に超音波進行波を発生させるようにし
たことを特徴とする。
本体若しくはその一部を形成する円環形の振動体を設け
、該振動体の側面若しくは底面に固着して電歪材若しく
は磁歪材を設け、該電歪材若しくは磁歪材を励振する位
相差を有する高周波電源若しくは多相交流電源を設け、
前記円環形振動体に超音波進行波を発生させるようにし
たことを特徴とする。
以下図面の一実施例により本発明を説明する。
第１図は本発明ノズルの斜視図、第２図はその底面図で
ある。１は噴射口先端がすぼまった傘形の円環形振動体
で、ノズルの先端部を形成する。振動体１には円周に沿
って上下縦方向に多数の切欠き１ａを形成して振動体自
体を軟らかくし、振動体の振幅増大をはかつている。又
振動体の円環先端１ｂはノズル噴射口を形成するので、
前記切欠き１ａから流体漏洩することがないよう振動体
１の外周には合成樹脂等の被覆ｌ１１２が形成しである
。
ある。１は噴射口先端がすぼまった傘形の円環形振動体
で、ノズルの先端部を形成する。振動体１には円周に沿
って上下縦方向に多数の切欠き１ａを形成して振動体自
体を軟らかくし、振動体の振幅増大をはかつている。又
振動体の円環先端１ｂはノズル噴射口を形成するので、
前記切欠き１ａから流体漏洩することがないよう振動体
１の外周には合成樹脂等の被覆ｌ１１２が形成しである
。
第２図は振動体底面図で、振動体に固着して厚さ方向に
分極した電歪材３を設け、図のように正と負の電界が交
互に並んで印加できるように電極を配置し、高周波電源
Ｅ＋とＥｌを接続する。
分極した電歪材３を設け、図のように正と負の電界が交
互に並んで印加できるように電極を配置し、高周波電源
Ｅ＋とＥｌを接続する。
ＥｌとＥｌは時間的に９０”の位相差を有し、又、Ｅｌ
とＥｌによって励振される２組の電極群は位置的に９０
°ずれて配置される。
とＥｌによって励振される２組の電極群は位置的に９０
°ずれて配置される。
電歪材３に電界を加えると電界の方向が分極方向と同じ
時には厚み方向に伸び、分極と逆方向の時には縮む性質
がある。従って図のように電極を配置し、正と負の交流
電界を交互に並んで印加すると、電界の周波数に応じた
定在波振動を発生する。高周波電源Ｅ１とＥｌによって
発生する定在波は位置的に９０’ずれるように配置され
、Ｅｌ、Ｅｌが時間的に９０°位相差を有するからこの
２つの定在波が重なって円環を廻る進行波と発生する。
時には厚み方向に伸び、分極と逆方向の時には縮む性質
がある。従って図のように電極を配置し、正と負の交流
電界を交互に並んで印加すると、電界の周波数に応じた
定在波振動を発生する。高周波電源Ｅ１とＥｌによって
発生する定在波は位置的に９０’ずれるように配置され
、Ｅｌ、Ｅｌが時間的に９０°位相差を有するからこの
２つの定在波が重なって円環を廻る進行波と発生する。
進行波は波動の振幅が移動し、円環振動体１は進行波に
よって撓み振動し円環を廻るように波動が進行する運動
を行なう。振動体１には多数の切欠き１ａが形成して軟
らかくしてあり、上下方向と周方向の振幅が拡大する。
よって撓み振動し円環を廻るように波動が進行する運動
を行なう。振動体１には多数の切欠き１ａが形成して軟
らかくしてあり、上下方向と周方向の振幅が拡大する。
この振動体１がノズル先端部を形成し、図示しない流体
供給ポンプからパイプ４を通って供給される。流体が、
前記振動体１を通過するとき超音波進行波による回転力
を付勢され、噴射口１ａから噴出する流体は回転噴射す
るようになる。この超音波進行波の伝播作用はノズルの
噴射寸前の流体に作用するから極めて効率が高く作用す
る。
供給ポンプからパイプ４を通って供給される。流体が、
前記振動体１を通過するとき超音波進行波による回転力
を付勢され、噴射口１ａから噴出する流体は回転噴射す
るようになる。この超音波進行波の伝播作用はノズルの
噴射寸前の流体に作用するから極めて効率が高く作用す
る。
例えばこれを放電加工装置の加工液噴射に使用すれば、
噴出勢力と回転力によって噴流液は螺旋状に回転噴流し
、電極と被加工体の対向する微小な加工間隙、加工溝内
への侵入流量が増大し、間隙洗浄効果、冷却効果が向上
し、安定放電加工により加工速度が増大する。又ワイヤ
カットに於けるワイヤ電極の洗浄、冷却効果により断線
が防止され、安定した能率の良い放電加工を続けること
ができる。又表面の洗浄ノズルとしても螺旋形に回転噴
射するので汚れの剥離等の効果が高く洗浄効果は向上し
能率的洗浄をすることができる。
噴出勢力と回転力によって噴流液は螺旋状に回転噴流し
、電極と被加工体の対向する微小な加工間隙、加工溝内
への侵入流量が増大し、間隙洗浄効果、冷却効果が向上
し、安定放電加工により加工速度が増大する。又ワイヤ
カットに於けるワイヤ電極の洗浄、冷却効果により断線
が防止され、安定した能率の良い放電加工を続けること
ができる。又表面の洗浄ノズルとしても螺旋形に回転噴
射するので汚れの剥離等の効果が高く洗浄効果は向上し
能率的洗浄をすることができる。
第３図は振動体ノズル５の外壁面に電歪材６を固着して
設けた実施例で、電歪材には分極方向を図の矢印方向の
ように分極した素子を配列し、隣接する素子に交互に高
周波電源Ｅ１とＥｌを接続する。ＥｌとＥｌは時間的に
９０°位相差を有する電源を用いることによって、各々
による２つの定在波を発生し、その合成による進行波を
発生する。
設けた実施例で、電歪材には分極方向を図の矢印方向の
ように分極した素子を配列し、隣接する素子に交互に高
周波電源Ｅ１とＥｌを接続する。ＥｌとＥｌは時間的に
９０°位相差を有する電源を用いることによって、各々
による２つの定在波を発生し、その合成による進行波を
発生する。
振動体５に発生する進行波は振幅が円環内径方向に変化
する撓み振動で、円環振動体５内を流通する流体に回転
振動を与え、先端の噴射口から螺旋形に回転する流体噴
射をすることができる。
する撓み振動で、円環振動体５内を流通する流体に回転
振動を与え、先端の噴射口から螺旋形に回転する流体噴
射をすることができる。
尚、超音波進行波の進行方向の逆転制御は高周波電源Ｅ
１とＥｌの位相差を２７０′″にすることによって容易
に逆転することができる。振動素子には磁歪材を設け、
これを高周波電源により発生させた磁界を印加して振動
させることにより同様に超音波進行波を発生させること
ができる。励振電源には多相交流電源、位相差制御電源
等も同様に利用することができる。
１とＥｌの位相差を２７０′″にすることによって容易
に逆転することができる。振動素子には磁歪材を設け、
これを高周波電源により発生させた磁界を印加して振動
させることにより同様に超音波進行波を発生させること
ができる。励振電源には多相交流電源、位相差制御電源
等も同様に利用することができる。
（発明の効果）
以上のように本発明は流体の噴射ノズルに於て、ノズル
本体若しくはその一部を形成する円環形の振動体を設け
、該振動体の側面若しくは底面に固着して電歪材若しく
は磁歪材を設け、該電歪材若しくは磁歪材を励振する位
相差を有する高周波電源若しくは多相交流電源を設け、
前記円環形振動体に超音波進行波を発生するようにした
ものであるから、ノズル噴射口から噴射する流体に対し
振動体流過中に回転運動を与えることができ、螺旋形に
噴射する流体噴射をすることができる。又振動体は噴射
ノズルの先端部を形成し、流体の噴射先端部分で超音波
進行波による回転振動を与えるのであるから、従来のよ
うにノズルへ流体供給する流体ポンプ側に超音波振動子
を設け、供給流体に超音波撮動を伝播作用する場合のよ
うに供給バイブで撮動が減衰することがなく、又作用超
音波が従来の定在波に比較して進行波の回転力を作用す
るものであるから、旋回流を噴出することができ、噴流
供給効果を著しく向上させることができる。従ってこの
噴射ノズルを用いて放電加工装置の加工間隙に加工液を
噴流供給するときは旋回流によって微小な加工間隙にも
多量の加工液を流すことができ、加工間隙に介在する加
工屑を揺乱し排除する効果が高まり、又冷却効果が向上
してパルス放電を安定に発生し、加工速度を増大する。
本体若しくはその一部を形成する円環形の振動体を設け
、該振動体の側面若しくは底面に固着して電歪材若しく
は磁歪材を設け、該電歪材若しくは磁歪材を励振する位
相差を有する高周波電源若しくは多相交流電源を設け、
前記円環形振動体に超音波進行波を発生するようにした
ものであるから、ノズル噴射口から噴射する流体に対し
振動体流過中に回転運動を与えることができ、螺旋形に
噴射する流体噴射をすることができる。又振動体は噴射
ノズルの先端部を形成し、流体の噴射先端部分で超音波
進行波による回転振動を与えるのであるから、従来のよ
うにノズルへ流体供給する流体ポンプ側に超音波振動子
を設け、供給流体に超音波撮動を伝播作用する場合のよ
うに供給バイブで撮動が減衰することがなく、又作用超
音波が従来の定在波に比較して進行波の回転力を作用す
るものであるから、旋回流を噴出することができ、噴流
供給効果を著しく向上させることができる。従ってこの
噴射ノズルを用いて放電加工装置の加工間隙に加工液を
噴流供給するときは旋回流によって微小な加工間隙にも
多量の加工液を流すことができ、加工間隙に介在する加
工屑を揺乱し排除する効果が高まり、又冷却効果が向上
してパルス放電を安定に発生し、加工速度を増大する。
又ワイヤカットに於けるワイヤ電極の洗浄、冷却作用に
よって断線が少なくなり、連続した能率のよいワイヤカ
ットを行なうことができる。又表面洗浄等のノズルとし
ても旋回流によって剥離作用に優れ、汚れ落し等の洗浄
効果が高く得られる。
よって断線が少なくなり、連続した能率のよいワイヤカ
ットを行なうことができる。又表面洗浄等のノズルとし
ても旋回流によって剥離作用に優れ、汚れ落し等の洗浄
効果が高く得られる。
又冷却液、気体の噴射ノズルとしても有効である。
第１図は本発明の一実施例斜視図、第２図はその一部の
底面詳細図、第３図は本発明の他の実施例の正面図であ
る。 １・・・・・・・・・振動体 １ａ・・・・・・・・・切欠き １ｂ・・・・・・・・・先端噴射口 ２・・・・・・・・・被覆膜 ３・・・・・・・・・電歪材 ４・・・・・・・・・バイブ Ｅ＋ 、Ｅｚ・・・・・・・・・高周波電源時 許
出 願 人 株式会社井上ジャパックス研究所 代表者 井 上 潔
底面詳細図、第３図は本発明の他の実施例の正面図であ
る。 １・・・・・・・・・振動体 １ａ・・・・・・・・・切欠き １ｂ・・・・・・・・・先端噴射口 ２・・・・・・・・・被覆膜 ３・・・・・・・・・電歪材 ４・・・・・・・・・バイブ Ｅ＋ 、Ｅｚ・・・・・・・・・高周波電源時 許
出 願 人 株式会社井上ジャパックス研究所 代表者 井 上 潔
Claims (1)
- 先端噴射口から流体を噴射するノズルに於て、ノズル
本体若しくはその一部を形成する円環形の振動体を設け
、該振動体の側面若しくは底面に固着して電歪材若しく
は磁歪材を設け、該電歪材若しくは磁歪材を励振する位
相差を有する高周波電源若しくは多相交流電源を設け、
前記円環形振動体に超音波進行波を発生させるようにし
たことを特徴とする噴射ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26351487A JPH01107860A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 噴射ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26351487A JPH01107860A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 噴射ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107860A true JPH01107860A (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=17390590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26351487A Pending JPH01107860A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 噴射ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01107860A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022506689A (ja) * | 2018-11-08 | 2022-01-17 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | 噴霧デバイスおよび洗浄装置 |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP26351487A patent/JPH01107860A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022506689A (ja) * | 2018-11-08 | 2022-01-17 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | 噴霧デバイスおよび洗浄装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3490584A (en) | Method and apparatus for high frequency screening of materials | |
| KR20090009801A (ko) | 두께 모드 변환기의 주파수 스윕핑을 구비한 메가소닉 처리장치 | |
| KR940021798A (ko) | 저주파 진동 세탁방법 및 장치 | |
| US3946829A (en) | Ultrasonic device | |
| KR20100046135A (ko) | 반도체 웨이퍼의 세정 장치 및 세정 방법 | |
| KR20120101071A (ko) | 정합된 트랜스듀서들 및 마운팅 플레이트를 구비한 메가소닉 다중주파수 장치 | |
| US2982524A (en) | Ultrasonic cleaning equipment | |
| JPH0777720B2 (ja) | ウォータージェット用ノズル | |
| CN101516533B (zh) | 使用超声波的清洗设备 | |
| JPH01107860A (ja) | 噴射ノズル | |
| JPH05317820A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
| US3147146A (en) | Means for preconditioning and deposition of coating material | |
| JP2015093205A (ja) | ナノバブル発生装置 | |
| US7299662B2 (en) | Ultrasonic cleaning system for cleaning a plurality of parallel extending, strand like products, such as example wire, profiles and pipes | |
| JP2001062700A (ja) | ワイヤソー | |
| RU174492U1 (ru) | Устройство для электроформования нетканого материала | |
| KR101033815B1 (ko) | 초음파 진동기와 이를 이용한 초음파 세정장치 및 그세정방법 | |
| JPH0111334Y2 (ja) | ||
| RU2262397C1 (ru) | Способ ультразвуковой очистки поверхностей и устройство для его осуществления | |
| RU1816852C (ru) | Способ обработки продуктивных пластов | |
| JP2007237157A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2002233837A (ja) | 超音波洗浄方法及びその装置 | |
| JPH08108157A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| SU929241A1 (ru) | Вибрационный распылитель жидкости | |
| Khmelev et al. | Development of the Device for Ultrasonic Cleaning of Small-Sized Products |