JPH01107586A - 磁気抵抗効果素子の製造方法 - Google Patents
磁気抵抗効果素子の製造方法Info
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- JPH01107586A JPH01107586A JP62263981A JP26398187A JPH01107586A JP H01107586 A JPH01107586 A JP H01107586A JP 62263981 A JP62263981 A JP 62263981A JP 26398187 A JP26398187 A JP 26398187A JP H01107586 A JPH01107586 A JP H01107586A
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は磁気エンコーダや薄膜ヘッドに使用されるパー
マロイ膜からなる磁気抵抗効果素子の製造方法に関する
。
マロイ膜からなる磁気抵抗効果素子の製造方法に関する
。
[従来の技術]
Fe−Ni合金(パーマロイ)薄膜の磁気抵抗効果を利
用した磁電変換素子は信号磁界に対する再生感度が高い
素子として位置検出器等に使用されている。このような
素子は一般に第1図に示すようなストライプ状の薄膜パ
ターン1を基板2上に形成して製作される。そして、薄
膜パターン1の長手方向に電流Iを流し、これと直角方
向に外部磁場Hを印加して、その磁場の大きさに応じた
磁気抵抗の変化を電圧または電流の変化として外部に取
り出しこれを出力信号としている。
用した磁電変換素子は信号磁界に対する再生感度が高い
素子として位置検出器等に使用されている。このような
素子は一般に第1図に示すようなストライプ状の薄膜パ
ターン1を基板2上に形成して製作される。そして、薄
膜パターン1の長手方向に電流Iを流し、これと直角方
向に外部磁場Hを印加して、その磁場の大きさに応じた
磁気抵抗の変化を電圧または電流の変化として外部に取
り出しこれを出力信号としている。
近年、検出器の高分解能化が進むなかで、磁気抵抗効果
素子のパターン幅も狭くなってきた。このような磁気抵
抗効果素子は普通、真空蒸着法やDC2極スパッタリン
グ法により形成したFe−Ni薄膜をフォトリソにより
パターニングして製作される。
素子のパターン幅も狭くなってきた。このような磁気抵
抗効果素子は普通、真空蒸着法やDC2極スパッタリン
グ法により形成したFe−Ni薄膜をフォトリソにより
パターニングして製作される。
[発明が解決しようとする問題点]
このような方法で製作した磁気抵抗効果素子の磁界に対
する抵抗変化率は第2図のようになり磁界の変化に対し
不可逆変化を示す。このような磁気抵抗効果素子を磁気
エンコーダに使用した場合、第3図のような出力波形に
なり、位置ぎめ精度が低下する(b/a = 1になら
ない)。
する抵抗変化率は第2図のようになり磁界の変化に対し
不可逆変化を示す。このような磁気抵抗効果素子を磁気
エンコーダに使用した場合、第3図のような出力波形に
なり、位置ぎめ精度が低下する(b/a = 1になら
ない)。
[問題点を解決するための手段]
本発明の磁気抵抗効果素子の製造方法は、ターゲット電
圧と電流を独立に制御し得るスパッタリング法において
、ターゲット電圧−250〜−750Vの条件で250
〜450℃に保持した絶縁性基板上にパーマロイ膜を形
成した後、輻5〜30−のストライプ状にパターニング
することにより磁気抵抗効果素子を製造するものである
。
圧と電流を独立に制御し得るスパッタリング法において
、ターゲット電圧−250〜−750Vの条件で250
〜450℃に保持した絶縁性基板上にパーマロイ膜を形
成した後、輻5〜30−のストライプ状にパターニング
することにより磁気抵抗効果素子を製造するものである
。
[作 用]
ターゲット電圧と基板温度をこのように選定することに
より磁界変化に対するストライプ状パーマロイ膜の抵抗
変化が可逆的になる。
より磁界変化に対するストライプ状パーマロイ膜の抵抗
変化が可逆的になる。
[実施例]
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
本発明の実施にあたってはターゲット電圧と電流を独立
してかえられる3極式スパッタ装置を使用した。
してかえられる3極式スパッタ装置を使用した。
洗浄したホウケイ酸ガラス基板をスパッタ装置内にセッ
トした後、基板をシーズヒータで加熱し所定温度で厚さ
500人の膜を形成した。スパッタ等のアルゴン分圧は
5〜9 X 1O−3Torr、ターゲットと基板の距
離は50mmとした。Fe−Ni膜形成条件に及ぼす要
因としてターゲット材料、ターゲット電圧、電流および
基板温度を表1の条件で変えて膜を形成した後、フォト
リソにより幅5、IO215,20,30μ、長さ50
0鱗のパターンを形成しヘルムホルツコイル中で±10
00eの磁界を変化させ抵抗変化率を測定した。
トした後、基板をシーズヒータで加熱し所定温度で厚さ
500人の膜を形成した。スパッタ等のアルゴン分圧は
5〜9 X 1O−3Torr、ターゲットと基板の距
離は50mmとした。Fe−Ni膜形成条件に及ぼす要
因としてターゲット材料、ターゲット電圧、電流および
基板温度を表1の条件で変えて膜を形成した後、フォト
リソにより幅5、IO215,20,30μ、長さ50
0鱗のパターンを形成しヘルムホルツコイル中で±10
00eの磁界を変化させ抵抗変化率を測定した。
表 1
第2図に示すように抵抗の不可逆変化の大きさをΔHと
し各要因について整理した結果を表2に示す。ターゲッ
ト材料の組成、電流によらず基板温度250℃から45
0℃の範囲でターゲット電圧−250〜−750vの条
件で得られたFe−Ni膜からなるパターンは抵抗変化
率の磁界による変化に不可逆的変化はないことが分った
。また、このようにヒステリシスのない条件で製造した
Fe−Ni膜を使った磁気エンコーダの出力波形は第3
図でのb/a=1に近いことが分った。
し各要因について整理した結果を表2に示す。ターゲッ
ト材料の組成、電流によらず基板温度250℃から45
0℃の範囲でターゲット電圧−250〜−750vの条
件で得られたFe−Ni膜からなるパターンは抵抗変化
率の磁界による変化に不可逆的変化はないことが分った
。また、このようにヒステリシスのない条件で製造した
Fe−Ni膜を使った磁気エンコーダの出力波形は第3
図でのb/a=1に近いことが分った。
[発明の効果]
以上説明したように本発明は、ターゲット電圧−250
〜−750V(7)条件テ250〜450℃に保持した
絶縁性基板上にパーマロイ膜を形成した後、幅5〜30
−のストライプ状にパターニングすることにより、形成
された磁気抵抗効果素子は磁気抵抗効果の磁界による変
化に不可逆的変化はないので磁気エンコーダ用センサと
して使用しても出力波形が場所によらず一定になるため
精度が向上し、高分解能磁気エンコーダを製造できる効
果がある。
〜−750V(7)条件テ250〜450℃に保持した
絶縁性基板上にパーマロイ膜を形成した後、幅5〜30
−のストライプ状にパターニングすることにより、形成
された磁気抵抗効果素子は磁気抵抗効果の磁界による変
化に不可逆的変化はないので磁気エンコーダ用センサと
して使用しても出力波形が場所によらず一定になるため
精度が向上し、高分解能磁気エンコーダを製造できる効
果がある。
第1図は磁気抵抗効果素子の構造を示す図、第2図は従
来の方法で製作した磁気抵抗効果素子の磁界に対する抵
抗変化を示す図、第3図は磁気エンコーダの出力波形を
示す図である。 1・・・ストライプ状パターン、 2・・・基板。
来の方法で製作した磁気抵抗効果素子の磁界に対する抵
抗変化を示す図、第3図は磁気エンコーダの出力波形を
示す図である。 1・・・ストライプ状パターン、 2・・・基板。
Claims (1)
- ターゲット電圧とターゲット電流を独立に制御し得る
スパッタリング法において、ターゲット電圧−250〜
−750Vの条件で250〜450℃に保持した絶縁性
基板上にパーマロイ膜を形成した後、幅5〜30μmの
ストライプ状にパターニングして製作する磁気抵抗効果
素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62263981A JPH01107586A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62263981A JPH01107586A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01107586A true JPH01107586A (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=17396888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62263981A Pending JPH01107586A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01107586A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0650139A1 (en) * | 1993-10-25 | 1995-04-26 | Enix Corporation | Magnetic surface pressure input panel |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP62263981A patent/JPH01107586A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0650139A1 (en) * | 1993-10-25 | 1995-04-26 | Enix Corporation | Magnetic surface pressure input panel |
US5526701A (en) * | 1993-10-25 | 1996-06-18 | Enix Corporation | Magnetic surface pressure input panel |
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