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JPH01107586A - 磁気抵抗効果素子の製造方法 - Google Patents

磁気抵抗効果素子の製造方法

Info

Publication number
JPH01107586A
JPH01107586A JP62263981A JP26398187A JPH01107586A JP H01107586 A JPH01107586 A JP H01107586A JP 62263981 A JP62263981 A JP 62263981A JP 26398187 A JP26398187 A JP 26398187A JP H01107586 A JPH01107586 A JP H01107586A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
substrate
target voltage
target
permalloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62263981A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuaki Ikeda
満昭 池田
Shinji Yamashita
山下 慎次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
Priority to JP62263981A priority Critical patent/JPH01107586A/ja
Publication of JPH01107586A publication Critical patent/JPH01107586A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気エンコーダや薄膜ヘッドに使用されるパー
マロイ膜からなる磁気抵抗効果素子の製造方法に関する
[従来の技術] Fe−Ni合金(パーマロイ)薄膜の磁気抵抗効果を利
用した磁電変換素子は信号磁界に対する再生感度が高い
素子として位置検出器等に使用されている。このような
素子は一般に第1図に示すようなストライプ状の薄膜パ
ターン1を基板2上に形成して製作される。そして、薄
膜パターン1の長手方向に電流Iを流し、これと直角方
向に外部磁場Hを印加して、その磁場の大きさに応じた
磁気抵抗の変化を電圧または電流の変化として外部に取
り出しこれを出力信号としている。
近年、検出器の高分解能化が進むなかで、磁気抵抗効果
素子のパターン幅も狭くなってきた。このような磁気抵
抗効果素子は普通、真空蒸着法やDC2極スパッタリン
グ法により形成したFe−Ni薄膜をフォトリソにより
パターニングして製作される。
[発明が解決しようとする問題点] このような方法で製作した磁気抵抗効果素子の磁界に対
する抵抗変化率は第2図のようになり磁界の変化に対し
不可逆変化を示す。このような磁気抵抗効果素子を磁気
エンコーダに使用した場合、第3図のような出力波形に
なり、位置ぎめ精度が低下する(b/a = 1になら
ない)。
[問題点を解決するための手段] 本発明の磁気抵抗効果素子の製造方法は、ターゲット電
圧と電流を独立に制御し得るスパッタリング法において
、ターゲット電圧−250〜−750Vの条件で250
〜450℃に保持した絶縁性基板上にパーマロイ膜を形
成した後、輻5〜30−のストライプ状にパターニング
することにより磁気抵抗効果素子を製造するものである
[作 用] ターゲット電圧と基板温度をこのように選定することに
より磁界変化に対するストライプ状パーマロイ膜の抵抗
変化が可逆的になる。
[実施例] 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
本発明の実施にあたってはターゲット電圧と電流を独立
してかえられる3極式スパッタ装置を使用した。
洗浄したホウケイ酸ガラス基板をスパッタ装置内にセッ
トした後、基板をシーズヒータで加熱し所定温度で厚さ
500人の膜を形成した。スパッタ等のアルゴン分圧は
5〜9 X 1O−3Torr、ターゲットと基板の距
離は50mmとした。Fe−Ni膜形成条件に及ぼす要
因としてターゲット材料、ターゲット電圧、電流および
基板温度を表1の条件で変えて膜を形成した後、フォト
リソにより幅5、IO215,20,30μ、長さ50
0鱗のパターンを形成しヘルムホルツコイル中で±10
00eの磁界を変化させ抵抗変化率を測定した。
表   1 第2図に示すように抵抗の不可逆変化の大きさをΔHと
し各要因について整理した結果を表2に示す。ターゲッ
ト材料の組成、電流によらず基板温度250℃から45
0℃の範囲でターゲット電圧−250〜−750vの条
件で得られたFe−Ni膜からなるパターンは抵抗変化
率の磁界による変化に不可逆的変化はないことが分った
。また、このようにヒステリシスのない条件で製造した
Fe−Ni膜を使った磁気エンコーダの出力波形は第3
図でのb/a=1に近いことが分った。
[発明の効果] 以上説明したように本発明は、ターゲット電圧−250
〜−750V(7)条件テ250〜450℃に保持した
絶縁性基板上にパーマロイ膜を形成した後、幅5〜30
−のストライプ状にパターニングすることにより、形成
された磁気抵抗効果素子は磁気抵抗効果の磁界による変
化に不可逆的変化はないので磁気エンコーダ用センサと
して使用しても出力波形が場所によらず一定になるため
精度が向上し、高分解能磁気エンコーダを製造できる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は磁気抵抗効果素子の構造を示す図、第2図は従
来の方法で製作した磁気抵抗効果素子の磁界に対する抵
抗変化を示す図、第3図は磁気エンコーダの出力波形を
示す図である。 1・・・ストライプ状パターン、 2・・・基板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ターゲット電圧とターゲット電流を独立に制御し得る
    スパッタリング法において、ターゲット電圧−250〜
    −750Vの条件で250〜450℃に保持した絶縁性
    基板上にパーマロイ膜を形成した後、幅5〜30μmの
    ストライプ状にパターニングして製作する磁気抵抗効果
    素子の製造方法。
JP62263981A 1987-10-21 1987-10-21 磁気抵抗効果素子の製造方法 Pending JPH01107586A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650139A1 (en) * 1993-10-25 1995-04-26 Enix Corporation Magnetic surface pressure input panel

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650139A1 (en) * 1993-10-25 1995-04-26 Enix Corporation Magnetic surface pressure input panel
US5526701A (en) * 1993-10-25 1996-06-18 Enix Corporation Magnetic surface pressure input panel

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