JPH01104724U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01104724U JPH01104724U JP20119187U JP20119187U JPH01104724U JP H01104724 U JPH01104724 U JP H01104724U JP 20119187 U JP20119187 U JP 20119187U JP 20119187 U JP20119187 U JP 20119187U JP H01104724 U JPH01104724 U JP H01104724U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- positioning lever
- taken out
- storage case
- sputtering apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案にかかるスパツタリング装置の
一実施例の説明図であつて、ローデイング室の内
部の様子を示す斜視図、第２図はスパツタリング
装置の他の実施例の説明図であつて、ローデイン
グ室の内部の様子を示す斜視図、第３図は従来の
スパツタリング装置の説明図であつて、ローデイ
ング室の内部の様子を示す斜視図である。 １０……アーム機構、１１……ウエハー受け皿
、２０……ウエハー収納ケース、２１ａ〜２１ｊ
……開口挿入スリツト、２１１ａ〜２１１ｊ……
ウエハー、４０……位置合せレバー、５０……位
置合せレバー駆動機構。
一実施例の説明図であつて、ローデイング室の内
部の様子を示す斜視図、第２図はスパツタリング
装置の他の実施例の説明図であつて、ローデイン
グ室の内部の様子を示す斜視図、第３図は従来の
スパツタリング装置の説明図であつて、ローデイ
ング室の内部の様子を示す斜視図である。 １０……アーム機構、１１……ウエハー受け皿
、２０……ウエハー収納ケース、２１ａ〜２１ｊ
……開口挿入スリツト、２１１ａ〜２１１ｊ……
ウエハー、４０……位置合せレバー、５０……位
置合せレバー駆動機構。
Claims (1)
- 先端に設けてあるウエハー受け皿をウエハー搬
入位置に配置したウエハー収納ケースの開口挿入
スリツトに挿入して収納されたウエハーをすくい
上げて取り出すとともに、取り出されたウエハー
をスパツタ用電極の配置方向に順次搬送するアー
ム機構を備えるスパツタリング装置において、前
記ウエハーの位置ずれを修正する位置合せレバー
と、前記ウエハーを取り出す前の状態にあつては
前記ウエハー収納ケースに対する正面位置に前記
位置合せレバーを移動させて前記ウエハーの飛び
出し側面に当接せしめ、一方前記ウエハーを取り
出し又は搬送する状態にあつては前記ウエハー受
け皿に対する退避位置に前記位置合せレバーを移
動せしめる位置合せレバー駆動機構とを具備する
ことを特徴とするスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20119187U JPH0536273Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20119187U JPH0536273Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01104724U true JPH01104724U (ja) | 1989-07-14 |
| JPH0536273Y2 JPH0536273Y2 (ja) | 1993-09-14 |
Family
ID=31491563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20119187U Expired - Lifetime JPH0536273Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536273Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP20119187U patent/JPH0536273Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0536273Y2 (ja) | 1993-09-14 |