JP7779659B2 - Radiation Inspection Equipment - Google Patents
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Description
本実施形態の実施形態は、インラインタイプの放射線検査装置に関する。 This embodiment relates to an inline-type radiological inspection device.
X線CTなどの放射線検査装置は、放射線として例えばX線ビームを照射する放射線源と、この放射線源に対向して設けられ、X線ビームを検出する検出器とを備える。放射線源と検出器との間には、被検査物が載置される検査台が設けられ、被検査物に対してX線ビームが照射される間にこの検査台が1回転することにより、全方位からの透視画像が得られる。この透視画像を再構成することにより、被検査物のCT画像が得られる。このような放射線検査装置を被検査物の製造ラインに組み込むことが知られており、その種の装置はインラインタイプと呼ばれている。 Radiation inspection devices such as X-ray CT scanners are equipped with a radiation source that emits radiation, for example, an X-ray beam, and a detector that is positioned opposite the radiation source and detects the X-ray beam. An inspection table on which the object to be inspected is placed is located between the radiation source and the detector, and this inspection table rotates once while the X-ray beam is irradiated onto the object to be inspected, thereby obtaining fluoroscopic images from all directions. CT images of the object to be inspected are obtained by reconstructing these fluoroscopic images. It is known to incorporate such radiation inspection devices into the production line of the objects to be inspected, and such devices are called inline types.
従来、インラインタイプの検査装置は、ベルトコンベア、チェーンコンベアなどの被検査物搬送ラインに沿って設けられ、ライン上の被検査物を取り出して検査装置に移動させ、検査終了後は再びラインに戻している。この場合、放射線検査装置は、放射線源を利用することから、ライン近傍の遮蔽室内に設置され、クレーンやロボットを使用して、ライン上から遮蔽室内の検査装置に被検査物を出し入れしている。 Conventionally, inline inspection equipment is installed along an inspection object transport line, such as a belt conveyor or chain conveyor, and inspected objects are removed from the line and moved to the inspection equipment, then returned to the line after inspection is complete. In this case, since the radiation inspection equipment uses a radiation source, it is installed in a shielded room near the line, and objects are moved in and out of the line to the inspection equipment inside the shielded room using a crane or robot.
しかしながら、これらの従来技術においては、検査装置をラインに組み入れようとすると人手で被検査物を検査装置の中の試料テーブルにセットする必要があった。人手の代わりにロボットを使ってラインから試料テーブルにセットする方法もあるが、その場合でも放射線の照射を停止して、試料扉を開けて被検査物を検査装置の試料テーブルにセットする必要がある。そのため、その放射線のオフ、試料扉の開閉、放射線のオン時間が必要となるため、検査の作業時間が伸びてしまうという問題があった。 However, with these conventional technologies, when incorporating an inspection device into a production line, it was necessary to manually set the object to be inspected onto the sample table inside the inspection device. One method is to use a robot to set the object from the line onto the sample table instead of manually, but even in this case, it is necessary to stop the radiation irradiation, open the sample door, and set the object to be inspected onto the inspection device's sample table. This necessitates the need to turn the radiation off, open and close the sample door, and turn the radiation on again, which creates the problem of extending the inspection work time.
これを改善するために、ラインと検査装置の間に2枚の試料扉を設けると共に、試料扉ごとにロボットなどの配置した技術もある。この技術では、ロボットによってラインから被検査物を移動させる際に2枚の試料扉を交互に開閉することで、放射線を常時オンにしていてもその漏洩が防止される。しかし、この従来技術においても、2枚の試料扉が必要であると共に、被検査物を移動させるロボットなどが複数必要になる問題があった。 To remedy this, one technology involves installing two sample doors between the line and the inspection device, with a robot or similar device positioned between each sample door. With this technology, the robot alternately opens and closes the two sample doors when moving the test object from the line, preventing radiation leakage even when the radiation is always on. However, even with this conventional technology, there are problems with the need for two sample doors and multiple robots or similar devices to move the test objects.
本実施形態は、上記課題を解決するために提案されたものである。すなわち、本実施形態の目的は、検査の作業時間をできるだけ短縮できるように、被検査物の出し入れのたびに放射線の照射をオンオフしたり、試料扉を開閉したりしないで済むと共に、無人で被検査物を試料テーブルにセットできる放射線検査装置を提供することにある。 This embodiment has been proposed to solve the above-mentioned problems. In other words, the purpose of this embodiment is to provide a radiation inspection device that can minimize the inspection work time by eliminating the need to turn radiation irradiation on and off or open and close the sample door each time an inspection object is placed in or removed, and that allows the inspection object to be placed on the sample table unmanned.
実施形態の放射線検査装置は、次のような構成を備える。
(1)被検査物を載置する試料テーブルと、前記試料テーブルを挟んで配置された放射線源と検出器を備えた検査装置本体。
(2)前記検査装置本体の収容部と、前記検査装置本体の収容部とは別に設けられた前記被検査物の搬送部とを備えた遮蔽室。
(3)前記搬送部に設けられた入口と出口を貫通して、前記遮蔽室の外部から前記搬送部内に前記被検査物を搬送する搬送装置。
(4)前記遮蔽室に設けられ、前記搬送部内に位置する前記搬送装置と前記試料テーブルとの間で前記被検査物を移動させる移載装置。
(5)前記遮蔽室における前記検査装置本体の収容部と前記被検査物の搬送部との間に設けられ、前記移載装置における前記被検査物の移動経路となる開口部を有する遮蔽壁。
The radiation inspection apparatus of the embodiment has the following configuration.
(1) An inspection device body including a sample table on which an object to be inspected is placed, and a radiation source and a detector disposed on either side of the sample table.
(2) A shielded chamber including a housing section for the inspection device main body and a transport section for the object to be inspected that is provided separately from the housing section for the inspection device main body.
(3) A transport device that transports the object to be inspected from outside the shielding chamber into the transport section through an entrance and an exit provided in the transport section.
(4) A transfer device provided in the shielding chamber for transferring the object to be inspected between the transport device located in the transport section and the sample table.
(5) A shielding wall provided between the housing section of the inspection device main body and the transport section of the object to be inspected in the shielding chamber, the shielding wall having an opening that serves as a movement path for the object to be inspected in the transfer device.
実施形態の放射線検査装置は、更に次のような構成を備えてもよい。
(1)前記試料テーブルは、前記被検査物の載置個所を複数備え、複数の載置個所の一つが前記放射線源と前記検出器の間の放射線照射領域に位置している場合に、他の載置個所は前記放射線照射領域外にあり、前記移載装置は放射線照射領域外に位置する前記載置個所と、前記搬送装置との間で前記被検査物を移動させる。
(2)前記移載装置は、前記遮蔽室内に配置され、前記被検査物を把持するアームを有するロボットである。
(3)前記移載装置は、前記遮蔽室の天井部分に配置され、前記被検査物を前記搬送装置と前記試料テーブルとの間で吊るして移動させるクレーンである。
The radiation inspection apparatus according to the embodiment may further include the following configuration.
(1) The sample table has a plurality of placement locations for the object to be inspected, and when one of the placement locations is located in the radiation irradiation area between the radiation source and the detector, the other placement locations are outside the radiation irradiation area, and the transfer device moves the object to be inspected between the placement location located outside the radiation irradiation area and the transport device.
(2) The transfer device is a robot that is placed in the shielded chamber and has an arm that grips the object to be inspected.
(3) The transfer device is a crane that is disposed on the ceiling of the shielding chamber and that moves the object to be inspected while suspending it between the transport device and the sample table.
[1.第1実施形態]
[1-1.構成]
以下、第1実施形態の放射線検査装置について、図1及び図2を参照して説明する。
本実施形態の検査装置は、放射線の遮蔽機能を有する遮蔽室1を備える。遮蔽室1は、検査装置本体の収容部1aと、検査装置本体の収容部1aとは別に設けられた被検査物Wの搬送部1bとを備える。検査装置本体の収容部1aと被検査物Wの搬送部1bとの間には、放射線の遮蔽機能を有する遮蔽壁2が設けられている。遮蔽壁2は、被検査物Wの移動経路となる開口部3を有する。
1. First embodiment
[1-1. Configuration]
Hereinafter, the radiological inspection apparatus of the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.
The inspection device of this embodiment includes a shielded chamber 1 having a radiation shielding function. The shielded chamber 1 includes a storage section 1a for the inspection device main body, and a transport section 1b for the object to be inspected W that is provided separately from the storage section 1a for the inspection device main body. A shielding wall 2 having a radiation shielding function is provided between the storage section 1a for the inspection device main body and the transport section 1b for the object to be inspected W. The shielding wall 2 has an opening 3 that serves as a path for the object to be inspected W to move.
本実施形態において、検査装置本体としてはX線CTが使用されるが、単なる透過型の放射線検出器であっても良い。検査装置本体は、被検査物Wを載置する試料テーブル4と、試料テーブル4を挟んで配置された放射線源5と検出器6を有する。放射線源5からは、コーン状にX線ビームBが被検査物Wに対して照射され、被検査物Wを透過したX線ビームBは検出器6によってX線透過データとして検出される。 In this embodiment, an X-ray CT scanner is used as the inspection device main body, but it may also be a simple transmission-type radiation detector. The inspection device main body has a sample table 4 on which the object to be inspected W is placed, and a radiation source 5 and detector 6 arranged on either side of the sample table 4. The radiation source 5 irradiates the object to be inspected W with a cone-shaped X-ray beam B, and the X-ray beam B that passes through the object to be inspected W is detected by the detector 6 as X-ray transmission data.
本実施形態において、試料テーブル4は、被検査物の載置部を2つ有する。すなわち、試料テーブル4はX線ビームBの光軸と交差する方向に移動する支持部7と、支持部7上にその移動方向に沿って並んだ2つのターンテーブル8a,8bを有する。これらのターンテーブル8a,8bが被検査物Wの載置部である。2つのターンテーブル8a,8bは、一方のターンテーブル8aがX線ビームB内の透視位置にある場合、他方のターンテーブル8bはX線ビームBの照射範囲から外れた位置、すなわち、被検査物Wの移載位置にあるように支持部7に設けられている。試料テーブル4は、テーブル切替機構9と、ターンテーブル8a,8bの駆動機構(図示せず)を有する。テーブル切替機構9は、リニアモータ等の駆動機構を備え、2つのターンテーブル8a,8bがX線ビームBの内外に交互に位置するように、支持部7を移動させる。 In this embodiment, the sample table 4 has two placement sections for the object to be inspected. Specifically, the sample table 4 has a support section 7 that moves in a direction intersecting the optical axis of the X-ray beam B, and two turntables 8a and 8b aligned on the support section 7 along the direction of movement. These turntables 8a and 8b are placement sections for the object to be inspected W. The two turntables 8a and 8b are mounted on the support section 7 so that when one turntable 8a is in a perspective position within the X-ray beam B, the other turntable 8b is in a position outside the irradiation range of the X-ray beam B, i.e., in a transfer position for the object to be inspected W. The sample table 4 has a table switching mechanism 9 and a drive mechanism (not shown) for the turntables 8a and 8b. The table switching mechanism 9 has a drive mechanism such as a linear motor and moves the support section 7 so that the two turntables 8a and 8b are alternately positioned inside and outside the X-ray beam B.
被検査物Wの搬送部1bは、前記のように遮蔽壁2を挟んで遮蔽室1内に設けられている。搬送部1bには入口10と出口11が設けられ、これら入口10及び出口11を貫通して、遮蔽室1の外部から搬送部1b内に被検査物Wを搬送する搬送装置12が設けられている。搬送装置12としては、チェーンコンベア、ベルトコンベア、バケットコンベア等のコンベアや、シュートその他の装置が使用できる。本実施形態では、被検査物Wを所定間隔で載置した状態で搬送するコンベアが使用されている。 The transport section 1b for the objects to be inspected W is located within the shielded chamber 1, sandwiching the shielding wall 2 as described above. The transport section 1b is provided with an entrance 10 and an exit 11, and a transport device 12 passes through the entrance 10 and exit 11 to transport the objects to be inspected W from outside the shielded chamber 1 into the transport section 1b. The transport device 12 may be a conveyor such as a chain conveyor, belt conveyor, or bucket conveyor, or a chute or other device. In this embodiment, a conveyor is used that transports the objects to be inspected W while they are placed at predetermined intervals.
搬送装置12には、直接被検査物Wを載置しても良いが、本実施形態では、被検査物Wをホルダ13上に支持し、そのホルダ13ごと被検査物Wを搬送する。また、ホルダ13の下部に、後述するロボット15のアームやクレーン16の爪で持ち上げるための円板を設けておき、これにより被検査物Wやホルダ13がロボット15やクレーン16の爪から外れて落ちにくくすることが好ましい。 The object to be inspected W may be placed directly on the transport device 12, but in this embodiment, the object to be inspected W is supported on a holder 13, and the object to be inspected W is transported together with the holder 13. It is also preferable to provide a circular plate at the bottom of the holder 13 for lifting by the arm of the robot 15 or the claw of the crane 16, which will be described later, to prevent the object to be inspected W or the holder 13 from slipping off the claw of the robot 15 or crane 16 and falling.
搬送装置12における遮蔽室1の出口11よりも後段には、良品と不良品の振分装置14が設けられている。この振分装置14としては、公知のものを適宜使用できるが、例えば、良品は搬送装置12の良品ライン12a側に流し、不良品が運ばれてきた場合に、プッシュロッドやロボットアームなどを用いて、搬送装置12上から不良品ライン12bに被検査物Wを排出するものが使用できる。 A sorting device 14 for non-defective and defective products is provided downstream of the exit 11 of the shielding chamber 1 on the conveying device 12. Any known sorting device 14 can be used as appropriate, but for example, a device can be used that sends non-defective products to the non-defective product line 12a of the conveying device 12, and, when defective products are transported, uses a push rod or robot arm to eject the inspection object W from the conveying device 12 to the defective product line 12b.
遮蔽壁2に設けられた開口部3の近傍には、搬送装置12とターンテーブル8a,8bとの間で被検査物をやり取りする移載装置が設けられている。本実施形態では、移載装置として、被検査物本体の収容部1aに設置されたロボット15が使用される。ロボット15としては、収容部1aに設置された本体と、本体から延びる多関節アームを有するもので、多関節アームを開口部3から搬送装置12に向かって挿入して被検査物Wを把持して取り上げると共に、X線ビームBの照射範囲を乗り越えて照射範囲外にあるターンテーブル8b上に被検査物Wを載置するものを使用する。 A transfer device is provided near the opening 3 in the shielding wall 2 to transfer the object to be inspected between the transport device 12 and the turntables 8a and 8b. In this embodiment, a robot 15 installed in the storage section 1a for the object to be inspected is used as the transfer device. The robot 15 has a main body installed in the storage section 1a and an articulated arm extending from the main body. The articulated arm is inserted from the opening 3 toward the transport device 12 to grasp and pick up the object to be inspected W, and then extends beyond the irradiation range of the X-ray beam B to place the object to be inspected on the turntable 8b, which is outside the irradiation range.
図3に示すように、検出器6には、検出器6によって得られたX線透過データに基づきCT画像を生成する再構成部20、再構成部20によって得られたCT画像に基づいて、被検査物Wの良品、不良品を判定する判定部21が接続されている。判定部21の出力側には振分制御部22が接続され、振分制御部22が振分装置14の良品と不良品の振分動作を制御する。 As shown in FIG. 3, the detector 6 is connected to a reconstruction unit 20 that generates CT images based on the X-ray transmission data obtained by the detector 6, and a judgment unit 21 that judges whether the inspection object W is a good or bad product based on the CT images obtained by the reconstruction unit 20. The output side of the judgment unit 21 is connected to a sorting control unit 22, which controls the sorting operation of the sorting device 14 to sort good and bad products.
[1-2.作用]
本実施形態において、被検査物Wは搬送装置12に載せられ、入口10を通って遮蔽室1の搬送部1b内に搬入される。搬送装置12上の被検査物Wはホルダ13と共に、ロボット15により搬送装置12上から持ち上げられ、遮蔽壁2の開口部3を通り、X線ビームB外にあるターンテーブル8bに載せられる。その状態で、テーブル切替機構9により支持部7がX線光軸と交差する方向に移動し、X線ビームB外のターンテーブル8bはX線ビームB内に配置される。
[1-2. Effect]
In this embodiment, the inspection object W is placed on a transport device 12 and carried into the transport section 1b of the shielding chamber 1 through the entrance 10. The inspection object W on the transport device 12, together with the holder 13, is lifted from above the transport device 12 by a robot 15, passes through the opening 3 in the shielding wall 2, and is placed on the turntable 8b located outside the X-ray beam B. In this state, the table switching mechanism 9 moves the support section 7 in a direction intersecting the X-ray optical axis, and the turntable 8b located outside the X-ray beam B is positioned within the X-ray beam B.
X線ビームB内でターンテーブル8aは回転動作を行い、被検査物Wの全周方向からのX線透過データを検出器6にて収集する。この全周方向からのX線透過データを再構成部20にて画像再構成演算を行い、被検査物WのCT画像を生成する。X線透過データ収集が完了した被検査物Wは、テーブル切替機構9により支持部7及びターンテーブル8aと共にX線ビームBの外側に移動する。その後、検査が終了した被検査物Wは、X線ビームBの外側でロボット15により搬送装置12に戻される。 The turntable 8a rotates within the X-ray beam B, and X-ray transmission data from all directions around the object W to be inspected is collected by the detector 6. This X-ray transmission data from all directions is subjected to image reconstruction calculations by the reconstruction unit 20 to generate a CT image of the object W. After X-ray transmission data collection is complete, the object W is moved outside the X-ray beam B together with the support unit 7 and turntable 8a by the table switching mechanism 9. After inspection, the object W is returned to the transport device 12 by the robot 15 outside the X-ray beam B.
生成されたCT画像に対して判定部21にて被検査物Wの良否判定を行い、その結果に基づき振分制御部22が振分装置14を作動させ、良品は搬送装置12の良品ライン12a側に、不良品は不良品ライン12b側に流すように仕分ける。 The judgment unit 21 judges whether the inspection object W is good or bad based on the generated CT image, and based on the result, the sorting control unit 22 operates the sorting device 14 to sort good products to the good product line 12a of the conveying device 12 and defective products to the defective product line 12b.
X線ビームB内に移動したターンテーブル8a上の被検査物Wのデータ収集中に、先にデータ収集が完了しX線ビームB外部に移動したターンテーブル8b上の被検査物Wを、ロボット15にて搬送装置12に戻し、次の未検査の被検査物Wを搬送装置12からX線ビームB外のターンテーブル8bに載せておく。このようにすることで、テーブル切替機構9により検査済みの被検査物Wを載せたターンテーブル8aをX線ビームB外に移動させると同時に、次の未検査の被検査物Wを載せたターンテーブル8bをX線ビームBの照射位置に移動させることができる。その結果、複数の被検査物WのX線透過データを連続的に得ることができる。 While data is being collected for the object W on turntable 8a that has been moved into the X-ray beam B, the object W on turntable 8b, for which data collection has been completed earlier and which has been moved outside the X-ray beam B, is returned to the transport device 12 by the robot 15, and the next uninspected object W is placed from the transport device 12 on the turntable 8b outside the X-ray beam B. In this way, the table switching mechanism 9 can move the turntable 8a carrying the inspected object W outside the X-ray beam B, while simultaneously moving the turntable 8b carrying the next uninspected object W to the irradiation position of the X-ray beam B. As a result, X-ray transmission data for multiple objects W can be obtained continuously.
[1-3.効果]
(1)本実施形態では、遮蔽室1の内部に搬送装置12を配置し、しかも、遮蔽室1内の検査装置本体の収容部1aと被検査物Wの搬送部1bとの間に遮蔽壁2を設けたことにより、被検査物W等に当たって散乱したX線が遮蔽室1の外部に漏れることがなくなる。その結果、放射線源5は常にオンのままとすることが可能となり、検査時間を短縮することができる。
(2)ターンテーブル8a,8bを2つ設けて、X線ビームBの照射範囲内に交互に移動させることで、被検査物Wの交換作業に待ち時間が不要となり、その点からも検査時間の短縮が可能となる。
(3)遮蔽室1に被検査物Wを出し入れするための扉を設けることなく、搬送部1bの入口10と出口11、及び遮蔽壁2の開口部3のいずれも常時開放状態にあるので、遮蔽室1外部からX線ビームBの照射領域に対する被検査物Wの移動が短時間で円滑に実施できる。
[1-3. Effects]
(1) In this embodiment, the transport device 12 is disposed inside the shielded chamber 1, and further, the shielding wall 2 is provided between the housing section 1a of the inspection device main body and the transport section 1b of the inspection object W inside the shielded chamber 1. This prevents X-rays scattered by the inspection object W or the like from leaking outside the shielded chamber 1. As a result, the radiation source 5 can be kept on at all times, thereby shortening the inspection time.
(2) By providing two turntables 8a and 8b and moving them alternately within the irradiation range of the X-ray beam B, there is no need to wait for the work of replacing the object to be inspected W, which also reduces the inspection time.
(3) There is no need to install a door for bringing the object W into or out of the shielding chamber 1, and the entrance 10 and exit 11 of the transport section 1b and the opening 3 of the shielding wall 2 are all always open, so the object W can be moved smoothly from outside the shielding chamber 1 to the irradiation area of the X-ray beam B in a short time.
[2.第2実施形態]
第2実施形態を図4及び図5を参照して、説明する。第2実施形態は、第1実施形態のロボット15に代えて、天井クレーンを移載装置として使用したものである。すなわち、遮蔽室1の天井部分には、遮蔽壁2の開口部3を貫通して、搬送部1bから照射範囲外のターンテーブル8bにまで伸びるクレーン16が設けられている。このクレーン16の昇降部16aには、開閉する爪状の把持部16bが設けられ、この把持部16bによって上方から挟み込まれた状態で、被検査物Wは搬送装置12とターンテーブル8b間を移載される。
[2. Second embodiment]
A second embodiment will be described with reference to Figures 4 and 5. In the second embodiment, a ceiling crane is used as a transfer device instead of the robot 15 of the first embodiment. That is, a crane 16 is provided in the ceiling of the shielded room 1, penetrating the opening 3 in the shielding wall 2 and extending from the transport unit 1b to the turntable 8b outside the irradiation range. A lifting section 16a of the crane 16 is provided with a claw-like gripping section 16b that opens and closes, and the inspection object W is transferred between the transport unit 12 and the turntable 8b while being clamped from above by this gripping section 16b.
このような構成を有する第2実施形態においても、第1実施形態と同様に、放射線源5をオンとしたまま、遮蔽室1内部において被検査物Wの移送が可能である。また、支持部7に2つのターンテーブル8a,8bを設けることで、被検査物Wの移送とCTスキャンを同時に行うことが可能となり、検査時間の短縮を図ることができる。 In the second embodiment having this configuration, as in the first embodiment, the inspection object W can be transported inside the shielded chamber 1 while the radiation source 5 remains on. Furthermore, by providing two turntables 8a and 8b on the support part 7, it is possible to transport the inspection object W and perform a CT scan simultaneously, thereby shortening the inspection time.
[3.他の実施形態]
本明細書においては、本実施形態に係る複数の実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであって、発明の範囲を限定することを意図していない。以上のような実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
3. Other Embodiments
Although multiple embodiments according to the present invention have been described herein, these embodiments are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. The above-described embodiments can be embodied in various other forms, and various omissions, substitutions, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and their modifications are intended to be included within the scope and spirit of the invention, as well as within the scope of the invention and its equivalents as set forth in the claims.
例えば、図示の実施形態ではターンテーブルが8a,8bの2個となっているが、検査時間は余分にかかるがターンテーブルが1個であっても良い。この場合、透過データ収集が完了後、被検査物Wをコンベアに戻し、次の被検査物Wを搬送装置12から照射範囲外のターンテーブルに載せることになる。また、ターンテーブルを3個以上としても良い。 For example, in the illustrated embodiment, there are two turntables, 8a and 8b, but a single turntable may be used, although this will require additional inspection time. In this case, after transmission data collection is complete, the inspection object W is returned to the conveyor, and the next inspection object W is placed on a turntable outside the irradiation range from the transport device 12. Three or more turntables may also be used.
クレーン16やロボット15以外の移載装置を使用することもできる。CTではない単なる透過型の放射線検出装置を使用した場合には、被検査物Wの載置部としてターンテーブルを使用することなく、支持部7上に被検査物Wの位置決め部材やストッパなどの載置部を設けることができる。 Transfer devices other than the crane 16 and robot 15 can also be used. When using a simple transmission type radiation detection device other than CT, a placement section for the object W to be inspected, such as a positioning member or stopper, can be provided on the support section 7 without using a turntable as a placement section for the object W to be inspected.
W…被検査物
B…X線ビーム
1…遮蔽室
1a…検査装置本体の収容部
1b…被検査物の搬送部
2…遮蔽壁
3…開口部
4…試料テーブル
5…放射線源
6…検出器
7…支持部
8a,8b…ターンテーブル
9…テーブル切替機構
10…入口
11…出口
12…搬送装置
12a…良品ライン
12b…不良品ライン
13…ホルダ
14…振分装置
15…ロボット
16…クレーン
16a…昇降部
16b…把持部
20…再構成部
21…判定部
22…振分制御部
W...inspection object B...X-ray beam 1...shielding chamber 1a...storage section 1b of inspection apparatus main body...transport section 2 of inspection object...shielding wall 3...opening 4...sample table 5...radiation source 6...detector 7...support sections 8a, 8b...turntable 9...table switching mechanism 10...entrance 11...exit 12...transport device 12a...good product line 12b...defective product line 13...holder 14...sorting device 15...robot 16...crane 16a...lifting section 16b...gripping section 20...reconstruction section 21...determination section 22...sorting control section
Claims (3)
前記検査装置本体の収容部と、前記検査装置本体の収容部とは別に設けられた前記被検査物の搬送部とを備えた遮蔽室と、
前記搬送部に設けられた入口と出口を貫通して、前記遮蔽室の外部から前記搬送部内に 前記被検査物を搬送する搬送装置と、
前記遮蔽室に設けられ、前記搬送部内に位置する前記搬送装置と前記試料テーブルとの間で前記被検査物を移動させる移載装置と、
前記遮蔽室における前記検査装置本体の収容部と前記被検査物の搬送部との間に設けられ、前記移載装置における前記被検査物の移動経路となる開口部を有する遮蔽壁と、
を備え、
前記試料テーブルは、前記被検査物の載置個所として2つのターンテーブルを備え、
前記2つのターンテーブルが、一方は放射線照射領域である検査位置に、他方は前記放射線照射領域外である移載位置にそれぞれ配置される状態を、交互に形成するように前記試料テーブルを移動させるテーブル切替機構を更に備え、
前記2つのターンテーブルの一つが前記放射線照射領域に位置している場合に、他の前記ターンテーブルは前記放射線照射領域外にあり、
前記移載装置は、前記放射線照射領域外に位置する前記ターンテーブルと、前記搬送装置との間で前記被検査物を移動させる放射線検査装置。 an inspection apparatus body including a sample table on which an object to be inspected is placed, and a radiation source and a detector disposed on either side of the sample table;
a shielded chamber including a housing section for the inspection device main body and a transport section for the object to be inspected that is provided separately from the housing section for the inspection device main body;
a conveying device that conveys the object to be inspected from outside the shielding chamber into the conveying section through an entrance and an exit provided in the conveying section;
a transfer device provided in the shielding chamber and configured to move the object to be inspected between the transport device located in the transport unit and the sample table;
a shielding wall provided between the housing unit of the inspection device main body and the transport unit of the object to be inspected in the shielding chamber, the shielding wall having an opening that serves as a movement path of the object to be inspected in the transfer device;
Equipped with
the sample table includes two turntables as locations for placing the object to be inspected ;
a table switching mechanism that moves the sample table so as to alternately form a state in which one of the two turntables is placed at an inspection position that is a radiation irradiation area and the other is placed at a transfer position that is outside the radiation irradiation area ,
When one of the two turntables is located in the radiation irradiation area, the other turntable is located outside the radiation irradiation area;
The transfer device is a radiation inspection apparatus that moves the inspection object between the turntable located outside the radiation irradiation area and the transport device.
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