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JP7726363B2 - Polyester film - Google Patents

Polyester film

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JP7726363B2
JP7726363B2 JP2024224830A JP2024224830A JP7726363B2 JP 7726363 B2 JP7726363 B2 JP 7726363B2 JP 2024224830 A JP2024224830 A JP 2024224830A JP 2024224830 A JP2024224830 A JP 2024224830A JP 7726363 B2 JP7726363 B2 JP 7726363B2
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polyester
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洋平 仲川
愛璃彩 早川
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Description

本発明は、ポリエステルフィルムに関する。詳細には、例えば、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられるポリエステルフィルムに関する。 The present invention relates to a polyester film. In particular, it relates to a polyester film used, for example, as a support for ceramic green sheets in the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors.

ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンナフタレートフィルムに代表されるポリエステルフィルムは、機械的特性、寸法安定性、平坦性、耐熱性、耐薬品性、光学特性等に優れた特性を有し、コストパフォーマンスに優れるため、各種用途に使用されており、例えば、フィルム表面の平滑性を利用して、層間絶縁樹脂離型用基材、ドライフィルムレジスト用基材、積層セラミックコンデンサー(Multi-Layered-Ceramic-Capacitor;MLCC)のセラミックグリーンシートを形成するための離型フィルム等に用いられている。 Polyester films, such as polyethylene terephthalate film and polyethylene naphthalate film, have excellent mechanical properties, dimensional stability, flatness, heat resistance, chemical resistance, and optical properties, and are cost-effective. Therefore, they are used in a variety of applications. For example, the smoothness of the film surface is utilized for applications such as interlayer insulating resin release substrates, dry film resist substrates, and release films for forming ceramic green sheets for multi-layered ceramic capacitors (MLCCs).

積層セラミックコンデンサーの製造工程においては、まず、ポリエステルフィルム上に離型剤等を塗工・乾燥し、離型層を有する離型フィルムを作製し、当該離型フィルム上にチタン酸バリウム等のセラミック成分及びバインダー樹脂を含むセラミックスラリーを塗工・乾燥した後、スクリーン印刷法等によって電極を印刷・乾燥して、電極印刷済のセラミックグリーンシートを作製する。次いで、得られたセラミックグリーンシートを所定形状に裁断して、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離する。剥離されたセラミックグリーンシートを多数積層して一体化した後、個々のチップに切断し、焼成炉で内部電極及び誘電体層を焼結させることにより、積層セラミックコンデンサーは製造される。 The manufacturing process for multilayer ceramic capacitors begins by coating and drying a release agent or other material on a polyester film to create a release film with a release layer. Then, a ceramic slurry containing ceramic components such as barium titanate and a binder resin is coated and dried on the release film. After that, electrodes are printed and dried using a method such as screen printing to create a ceramic green sheet with printed electrodes. The resulting ceramic green sheet is then cut to the desired shape and peeled from the release film. A large number of the peeled ceramic green sheets are stacked and integrated, then cut into individual chips. The internal electrodes and dielectric layers are sintered in a firing furnace to produce a multilayer ceramic capacitor.

積層セラミックコンデンサーの小型及び高容量化に際して、セラミックグリーンシートの薄膜化が進んでいる。セラミックグリーンシートの薄膜化が更に進行すると、離型フィルムの表面に微小な突起があれば、これに起因して、セラミックグリーンシートにピンホール等が発生することが懸念されている。また、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離する工程においては、破断等の剥離不良が発生する可能性が高まることが懸念されている。 As multilayer ceramic capacitors become smaller and higher capacity, ceramic green sheets are becoming thinner. However, as ceramic green sheets become thinner, there are concerns that tiny protrusions on the surface of the release film may cause pinholes or other defects in the ceramic green sheets. Furthermore, there are concerns that the possibility of breakage or other peeling defects may increase during the process of peeling the ceramic green sheets from the release film.

特許文献1には、ポリエステル基材の片側に設けられた剥離剤層を備えたセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムであって、前記基材の剥離剤層側に対してハイドロキシアパタイト等のフィラーを配合し、微小表面硬度計を用いて20mNの荷重を印加したときに測定される荷重変位曲線における弾性変形仕事率を45%以上とし、剥離剤層の基材とは反対側の面における二次元の算術平均粗さ(Ra)を1nm以上20nm以下、二次元の最大突起高さ(Rp)を10nm以上200nm以下とする剥離フィルムが開示されている。 Patent Document 1 discloses a release film for use in the ceramic green sheet manufacturing process, which includes a release agent layer provided on one side of a polyester substrate. A filler such as hydroxyapatite is blended into the release agent layer side of the substrate, and the release film has an elastic deformation power of 45% or more in a load-displacement curve measured when a load of 20 mN is applied using a micro-surface hardness tester. The two-dimensional arithmetic mean roughness (Ra) on the surface of the release agent layer opposite the substrate is 1 nm or more and 20 nm or less, and a two-dimensional maximum protrusion height (Rp) of 10 nm or more and 200 nm or less.

特開2022-144248号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2022-144248

今後、セラミックグリーンシートの更なる薄膜化が進展すると、ピンホール等の表面欠陥が発生する懸念がこれまで以上に高まると共に、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程においては、破断等の剥離不良が発生する懸念がこれまで以上に高まることが想定される。したがって、離型フィルムの剥離性を向上させると共に、表面欠陥の発生を抑制することが求められる。
しかしながら、本発明者らが検討を重ねた結果、セラミックグリーンシートの離型フィルムから剥離しやすくする観点から、例えば離型フィルムに所定のフィラー(粒子)等を配合することが考えられるが、前記のようにして剥離性を向上させると、フィラー(粒子)等に起因してピンホール等の表面欠陥が発生する傾向があるため、両者を高度に両立することは困難であることが明らかとなった。
As ceramic green sheets become thinner in the future, it is expected that there will be greater concerns about the occurrence of surface defects such as pinholes, and that there will also be greater concerns about peeling defects such as breakage in the process of peeling the ceramic green sheet from the release film. Therefore, there is a need to improve the releasability of the release film and to suppress the occurrence of surface defects.
However, as a result of extensive investigations by the present inventors, it has been found that, in order to make it easier to peel the ceramic green sheet from the release film, it is possible to consider, for example, compounding a specific filler (particles) into the release film. However, improving the peelability in this manner tends to result in surface defects such as pinholes caused by the filler (particles), and it is therefore difficult to achieve both at a high level.

本発明は、前記事情に鑑みなされたものであり、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程における剥離性を向上させることができ、更に、ピンホール等の表面欠陥の発生を抑制することができるポリエステルフィルムを提供する。 The present invention has been developed in consideration of the above circumstances, and provides a polyester film that can improve releasability during the process of peeling a ceramic green sheet from a release film, and also suppresses the occurrence of surface defects such as pinholes.

本発明者らは、かかる事情に鑑み鋭意研究を重ねた結果、特定のポリエステルフィルムを用いることにより、前記課題を解決できることを見出した。すなわち、本発明者らは、例えば、粒子を配合する場合は、粒子の組成、平均粒径、粒度分布、硬度、及びポリエステルとの親和性等、ポリエステルの種類、並びに製膜条件等の諸条件を調整することによって得られた特定のポリエステルフィルムを用いることにより、前記課題を解決できることを見出した。 In light of these circumstances, the inventors conducted extensive research and discovered that the above-mentioned problems can be solved by using a specific polyester film. Specifically, the inventors discovered that, for example, when particles are incorporated, the above-mentioned problems can be solved by using a specific polyester film obtained by adjusting various conditions, such as the particle composition, average particle size, particle size distribution, hardness, and affinity with polyester, the type of polyester, and the film-forming conditions.

すなわち、本発明は、以下を提供する。
[1]
一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足する、ポリエステルフィルム。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
[2]
150℃、5分間の熱処理後における縦方向及び横方向の収縮率が2.8%以下である、[1]記載のポリエステルフィルム。
[3]
150℃、5分間の熱処理後における横方向の収縮率が1.5%以下である、[1]又は[2]記載のポリエステルフィルム。
[4]
粒子を含み、前記粒子の含有量が、含有させる層に対して、質量割合で250ppm以上10000ppm以下である、[1]~[3]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[5]
粒子を含み、前記粒子の平均粒径が1μm以下である、[1]~[4]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[6]
粒子を含み、前記粒子のモース硬度が9以下である、[1]~[5]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[7]
粒子を含み、前記粒子は少なくとも粒子(a1)及び粒子(a2)を含み、前記粒子(a1)が、アルミナ粒子であり、前記粒子(a2)が、前記粒子(a1)以外の粒子である、[1]~[6]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[8]
前記一方の表面を形成する層が粒子を含み、前記粒子は少なくとも粒子(a1)及び粒子(a2)を含み、前記粒子(a1)及び(a2)のpH7におけるゼータ電位が、前記粒子(a1)が正の値であって前記粒子(a2)が負の値である、又は、前記粒子(a1)が負の値であって前記粒子(a2)が正の値である、[1]~[7]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[9]
前記pH7でのゼータ電位が正の値となる粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する層に対して、質量割合で50ppm以上5000ppm以下である、[8]に記載のポリエステルフィルム。
[10]
前記pH7でのゼータ電位が負の値となる粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する層に対して、質量割合で100ppm以上8000ppm以下である、[8]又は[9]記載のポリエステルフィルム。
[11]
前記pH7でのゼータ電位が正の値となる粒子がアルミナ粒子である、[8]~[10]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[12]
前記pH7でのゼータ電位が負の値となる粒子がシリカ又は有機粒子である、[8]~[11]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[13]
前記一方の表面を形成する層が粒子を含み、前記一方の表面を形成する層に含まれる全粒子の含有量に対するモース硬度8以下の粒子の含有量の比(モース硬度8以下の粒子の含有量/全粒子の含有量)が、質量割合で、0.6以上0.95以下である、[1]~[12]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[14]
前記一方の表面を形成する層が粒子を含み、前記粒子の主成分がモース硬度8以下の粒子であり、前記モース硬度8以下の粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する層に対して、質量割合で1800ppm未満である、[1]~[13]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[15]
前記(2)の最大山高さ(Sp)が100nm以下である、[1]~[14]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[16]
面配向度(ΔP)が165以上である、[1]~[15]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[17]
前記一方の表面の算術平均高さ(Sa)と他方の表面の算術平均高さ(Sa)との比(他方の表面の算術平均高さ(Sa)/一方の表面の算術平均高さ(Sa))が、2以上18以下である、[1]~[16]のいずれかに記載のポリエステルフィルム(但し、他方の表面の算術平均高さ(Sa)>一方の表面の算術平均高さ(Sa))。
[18]
少なくとも2層からなる、[1]~[17]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[19]
3層からなる、[1]~[18]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[20]
粒子を含み、前記粒子の含有量が、一方の表面層に対して、質量割合で250ppm以上2800ppm以下である、[18]又は[19]記載のポリエステルフィルム。
[21]
粒子を含み、前記粒子の含有量が、他方の表面層に対して、質量割合で2000ppm以上8000ppm以下である、[20]記載のポリエステルフィルム。
[22]
前記ポリエステルフィルムが、前記一方の表面を形成する表面層、中間層、及び他方の表面を形成する表面層をこの順に備え、前記中間層の厚みが、前記各表面層の厚みよりも厚い、[1]~[21]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[23]
前記ポリエステルフィルムが、前記一方の表面を形成する表面層、中間層、及び他方の表面を形成する表面層をこの順に備え、前記各層の厚みの比(表面層の厚み:中間層の厚み:表面層の厚み)が、1~10:10~35:1~5である、[1]~[22]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[24]
積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、[1]~[23]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[25]
自動車用積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、[1]~[24]のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
[26]
[1]~[25]のいずれかに記載のポリエステルフィルムの、積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用。
[27]
[1]~[25]のいずれかに記載のポリエステルフィルムの、自動車用積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用。
[28]
[1]~[25]のいずれかに記載のポリエステルフィルムの前記一方の表面に、セラミック成分を含むセラミックスラリーを塗工する工程を有する、セラミックグリーンシートの製造方法。
That is, the present invention provides the following.
[1]
A polyester film having an elastic deformation power of more than 55% on one surface and satisfying the following (1) and (2):
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.
[2]
The polyester film according to [1], which has a shrinkage rate of 2.8% or less in the longitudinal and transverse directions after heat treatment at 150°C for 5 minutes.
[3]
The polyester film according to [1] or [2], which has a shrinkage rate in the transverse direction of 1.5% or less after heat treatment at 150°C for 5 minutes.
[4]
[4] The polyester film according to any one of [1] to [3], which contains particles, and the content of the particles in the layer in which the particles are contained is 250 ppm to 10,000 ppm by mass.
[5]
[5] The polyester film according to any one of [1] to [4], which contains particles, and the average particle size of the particles is 1 μm or less.
[6]
[6] The polyester film according to any one of [1] to [5], which contains particles, and the particles have a Mohs hardness of 9 or less.
[7]
[6] The polyester film according to any one of [1] to [6], comprising particles, the particles including at least particles (a1) and particles (a2), the particles (a1) being alumina particles, and the particles (a2) being particles other than the particles (a1).
[8]
[8] The polyester film according to any one of [1] to [7], wherein the layer forming one surface contains particles, the particles including at least particles (a1) and particles (a2), and the zeta potentials of the particles (a1) and (a2) at pH 7 are either positive for the particles (a1) and negative for the particles (a2), or negative for the particles (a1) and positive for the particles (a2).
[9]
[8] The polyester film according to [8], wherein the content of the particles having a positive zeta potential at pH 7 is 50 ppm to 5,000 ppm by mass relative to the layer forming the one surface.
[10]
[8] or [9], wherein the content of the particles having a negative zeta potential at pH 7 is 100 ppm or more and 8000 ppm or less by mass relative to the layer forming the one surface.
[11]
[11] The polyester film according to any one of [8] to [10], wherein the particles having a positive zeta potential at pH 7 are alumina particles.
[12]
[12] The polyester film according to any one of [8] to [11], wherein the particles having a negative zeta potential at pH 7 are silica particles or organic particles.
[13]
[13] The polyester film according to any one of [1] to [12], wherein the layer forming one surface contains particles, and the ratio of the content of particles having a Mohs hardness of 8 or less to the content of all particles contained in the layer forming the one surface (content of particles having a Mohs hardness of 8 or less/total content of particles) is, in mass ratio, from 0.6 to 0.95.
[14]
[14] The polyester film according to any one of [1] to [13], wherein the layer forming the one surface contains particles, the particles mainly containing particles having a Mohs hardness of 8 or less, and the content of the particles having a Mohs hardness of 8 or less in the layer forming the one surface is less than 1800 ppm by mass.
[15]
[15] The polyester film according to any one of [1] to [14], wherein the maximum peak height (Sp) of the (2) is 100 nm or less.
[16]
[16] The polyester film according to any one of [1] to [15], having a planar orientation degree (ΔP) of 165 or more.
[17]
The polyester film according to any one of [1] to [16], wherein the ratio of the arithmetic mean height (Sa) of one surface to the arithmetic mean height (Sa) of the other surface (arithmetic mean height (Sa) of the other surface/arithmetic mean height (Sa) of the one surface) is 2 or more and 18 or less, provided that the arithmetic mean height (Sa) of the other surface is greater than the arithmetic mean height (Sa) of the one surface.
[18]
[18] The polyester film according to any one of [1] to [17], which consists of at least two layers.
[19]
[19] The polyester film according to any one of [1] to [18], which consists of three layers.
[20]
[19] The polyester film according to [18] or [19], which contains particles, and the content of the particles in one surface layer is 250 ppm or more and 2800 ppm or less by mass.
[21]
[21] The polyester film according to [20], which contains particles, and the content of the particles in the other surface layer is 2000 ppm or more and 8000 ppm or less by mass.
[22]
[22] The polyester film according to any one of [1] to [21], wherein the polyester film comprises a surface layer forming the one surface, an intermediate layer, and a surface layer forming the other surface, in this order, and the thickness of the intermediate layer is greater than the thickness of each of the surface layers.
[23]
[23] The polyester film according to any one of [1] to [22], wherein the polyester film comprises a surface layer forming the one surface, an intermediate layer, and a surface layer forming the other surface, in this order, and the thickness ratio of the layers (thickness of the surface layer:thickness of the intermediate layer:thickness of the surface layer) is 1-10:10-35:1-5.
[24]
The polyester film according to any one of [1] to [23], which is used as a support for a ceramic green sheet in a manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor.
[25]
[25] The polyester film according to any one of [1] to [24], which is used as a support for a ceramic green sheet in a process for producing a multilayer ceramic capacitor for an automobile.
[26]
Use of the polyester film according to any one of [1] to [25] as a support for a ceramic green sheet in a process for producing a multilayer ceramic capacitor.
[27]
Use of the polyester film according to any one of [1] to [25] as a support for a ceramic green sheet in a process for producing a multilayer ceramic capacitor for an automobile.
[28]
[26] A method for producing a ceramic green sheet, comprising: applying a ceramic slurry containing a ceramic component to the one surface of the polyester film according to any one of [1] to [25].

本発明によれば、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程における剥離性を向上させることができると共に、ピンホール等の表面欠陥の発生を抑制することができるポリエステルフィルムを提供することができる。 The present invention provides a polyester film that can improve releasability during the process of peeling a ceramic green sheet from a release film and suppresses the occurrence of surface defects such as pinholes.

以下、本発明の実施形態に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されない。
なお、本明細書において「X~Y」(X,Yは任意の数字)と表現する場合、特に断らない限り「X以上Y以下」の意と共に、「好ましくはXより大きい」又は「好ましくはYより小さい」の意も包含する。
また、本明細書において段階的に記載されている数値範囲については、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値を、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値と任意に組み合わせることができる。
更に、本明細書において「X及び/又はY(X,Yは任意の構成)」とは、X及びYの少なくとも一方を意味するものであって、Xのみ、Yのみ、X及びY、の3通りを意味する。
また、本明細書において「フィルム」と称する場合でも「シート」を含むものとし、「シート」と称する場合でも「フィルム」を含むものとする。
また、本明細書において「主成分」とは、通常、対象となる材料全体の50質量%以上であり、好ましくは60質量%以上、より好ましくは70質量%以上であり、80質量%以上や90~100質量%であってもよい。
The present invention will be described in more detail below based on embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to these embodiments.
In this specification, when the expression "X to Y" (X and Y are arbitrary numbers) is used, it means "X or more and Y or less" and also means "preferably larger than X" or "preferably smaller than Y" unless otherwise specified.
Furthermore, for numerical ranges described in stages in this specification, the upper limit or lower limit of a numerical range in one stage can be arbitrarily combined with the upper limit or lower limit of a numerical range in another stage.
Furthermore, in this specification, "X and/or Y (X and Y are any configurations)" means at least one of X and Y, and means three cases: X only, Y only, and X and Y.
Furthermore, in this specification, the term "film" includes the term "sheet", and the term "sheet" includes the term "film".
In addition, in this specification, the term "main component" generally refers to 50% by mass or more of the entire target material, preferably 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and may be 80% by mass or more or 90 to 100% by mass.

本発明の一実施形態に係るポリエステルフィルム(以下、「本フィルム」という場合がある)は、以下に詳細に説明するとおり、一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足する、ポリエステルフィルムである。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
As will be described in detail below, a polyester film according to one embodiment of the present invention (hereinafter, sometimes referred to as "the film") is a polyester film having an elastic deformation power of more than 55% on one surface and satisfying the following (1) and (2):
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.

本発明者らは、積層セラミックコンデンサーの小型化及び高容量化に伴うセラミックグリーンシートの更なる薄膜化(例えば、乾燥後の厚みで0.5μm以下)に対応し得るセラミックグリーンシート用の支持体の研究開発に際して、セラミックグリーンシートの剥離工程における剥離不良の発生を抑制する観点に着目して研究を進めた。
本発明者らは、かかる研究の過程において、例えば、粒子を配合する場合は、ポリエステルフィルムに配合する粒子の特性等を制御することによって、剥離不良の発生を抑制し得ることを知得したが、その反面、ピンホール等の表面欠陥の発生する傾向があることが判明した。かかる表面欠陥は、例えば、ショート不良や容量のバラツキ等の点で品質信頼性に大きく影響する。
The present inventors, in researching and developing a support for a ceramic green sheet that can accommodate further thinning of the ceramic green sheet (for example, a thickness of 0.5 μm or less after drying) in line with the trend toward smaller size and higher capacity multilayer ceramic capacitors, conducted research focusing on the viewpoint of suppressing the occurrence of peeling defects in the peeling process of the ceramic green sheet.
In the course of such research, the inventors have found that, for example, when particles are added to a polyester film, the occurrence of peeling defects can be suppressed by controlling the properties of the particles added to the polyester film, but on the other hand, it has been found that this tends to cause surface defects such as pinholes, which have a significant impact on quality and reliability in terms of, for example, short-circuit defects and variations in capacitance.

本発明者らは、前記剥離不良及び表面欠陥に関する両課題を解決する観点から更なる研究を重ねた結果、例えば、粒子を配合する場合は、粒子の組成、平均粒径、粒度分布、硬度、及びポリエステルとの親和性等、ポリエステルの種類、並びに製膜条件等を調整することによって得た特定のポリエステルフィルムであれば、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程における剥離性が上し、剥離不良の発生を抑制することができると共に、ピンホール等の表面欠陥の発生を抑制することができることを見出した。 The inventors conducted further research with the aim of resolving both the issues of poor release and surface defects. As a result, they discovered that, for example, when particles are added, a specific polyester film obtained by adjusting the particle composition, average particle size, particle size distribution, hardness, affinity with polyester, type of polyester, and film-forming conditions can improve releasability in the process of peeling the ceramic green sheet from the release film, suppressing the occurrence of poor release and also suppressing the occurrence of surface defects such as pinholes.

本発明者らが新たに提案する本フィルムは、特定の弾性変形仕事率(ηit)及び特定の表面平滑性を備えており、例えば、セラミックグリーンシートの裁断時に生じる変形に対する復元力が高く、セラミックグリーンシートの剥離性に優れたものになると共に、ピンホール等の表面欠陥の発生を効果的に抑制することができ、高度な品質信頼性を担保し得る離型フィルム等を提供できる点において非常に優れている。
以下、本フィルムの一実施形態について詳細に説明する。
The film newly proposed by the inventors has a specific elastic deformation power (η it ) and specific surface smoothness, and for example, has a high recovery force against deformation that occurs when cutting a ceramic green sheet, making it excellent for peeling off the ceramic green sheet.It is also extremely excellent in that it can effectively suppress the occurrence of surface defects such as pinholes, and can provide a release film, etc. that can guarantee high quality reliability.
An embodiment of the film will be described in detail below.

<<本フィルム>>
本フィルムは、例えば、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体(基材)として好適に用いられる。本フィルムは、前述のとおり、ピンホール等の表面欠陥の発生を抑制することができ、かつ、剥離不良の発生を抑制することができる点において非常に優れている。
<<This film>>
The present film is suitable for use as a support (substrate) for ceramic green sheets in the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors, for example. As described above, the present film is excellent in that it can suppress the occurrence of surface defects such as pinholes and can also suppress the occurrence of peeling defects.

〔弾性変形仕事率(ηit)〕
本フィルムは、前述の剥離不良を効果的に抑制する観点から、一方の表面(以下、「A面」という場合がある)の弾性変形仕事率(ηit)は、好ましくは55%超である。本フィルムのように、A面の弾性変形仕事率(ηit)が55%超の特定範囲に制御することによって、例えば、薄膜化セラミックグリーンシートを用いたMLCCの製造工程において特に求められる高度な剥離性を実現することができ、剥離不良を効果的に抑制することができる。
弾性変形仕事率(ηit)は、同様の観点から、好ましくは55.1%以上、より好ましくは55.2%以上である。また、弾性変形仕事率(ηit)は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、56%以上、56.2%以上、56.4%以上、57%以上、57.5%以上等であってもよい。
なお、弾性変形仕事率(ηit)の上限値としては、特に限定されないが、例えば70%程度であり、65%程度であってもよい。
[Elastic deformation power (η it )]
In order to effectively suppress the aforementioned peeling failure, the elastic deformation power (η it ) of one surface (hereinafter sometimes referred to as "side A") of the present film is preferably greater than 55%. By controlling the elastic deformation power (η it ) of side A to a specific range of greater than 55%, as in the present film, it is possible to achieve the high level of peelability that is particularly required in the manufacturing process of MLCC using thin ceramic green sheets, and to effectively suppress peeling failure.
From the same viewpoint, the elastic deformation power (η it ) is preferably 55.1% or more, more preferably 55.2% or more. The elastic deformation power (η it ) can be appropriately set within the above range, and may be, for example, 56% or more, 56.2% or more, 56.4% or more, 57% or more, 57.5% or more, etc., without being limited thereto.
The upper limit of the elastic deformation power (η it ) is not particularly limited, but may be, for example, about 70%, or may be about 65%.

A面の弾性変形仕事率(ηit)が55%超の特定範囲に制御された本フィルムを用いることによって、例えば、セラミックグリーンシートを剥離するために裁断刃を用いて裁断する際に、セラミックグリーンシートの端部が本フィルムから分離しやすく、両者の間に良好な隙間を形成することができる。この隙間を用いて本フィルムを把持し、セラミックグリーンシートと本フィルムとを分離することが容易になる。 By using this film, in which the elastic deformation power (η it ) of side A is controlled to a specific range of more than 55%, for example, when cutting the ceramic green sheet with a cutting blade to peel it off, the edge of the ceramic green sheet can be easily separated from this film, and a good gap can be formed between the two. This gap can be used to grip the film and easily separate the ceramic green sheet and this film.

弾性変形仕事率(ηit)は、ナノインデンテーション法による測定(ISO14577準拠)によって計測される物理量に基づいて下記式により計算される。具体的には、後述の実施例に記載の方法により求める。
弾性変形仕事率(ηit)=(Welast/Wtotal)×100[%]
[Wtotal(全変形仕事量)=Wplast(塑性変形仕事量)+Welast(弾性変形仕事量)]
The elastic deformation power (η it ) is calculated by the following formula based on a physical quantity measured by nanoindentation (in accordance with ISO 14577): Specifically, it is determined by the method described in the examples below.
Elastic deformation power (η it )=(Welast/Wtotal)×100[%]
[Wtotal (total deformation work) = Wplast (plastic deformation work) + Welast (elastic deformation work)]

〔算術平均高さ(Sa)〕
本フィルムは、例えば、一方の表面であるA面の算術平均高さ(Sa)が15nm以下であることが好ましい。算術平均高さ(Sa)が15nmより大きくなると、表面平滑性が不十分となり、例えば、ピンホール等の表面欠陥が生じやすくなり、セラミックグリーンシートの薄膜化に対応し難い傾向がある。
A面の算術平均高さ(Sa)は、同様の観点から、好ましくは10nm以下、より好ましくは8nm以下、更により好ましくは6nm以下、特に好ましくは4nm以下、殊に好ましくは3.5nm以下、更に特に好ましくは3nm以下、更に最も好ましくは2.5nm以下である。
他方、A面の算術平均高さ(Sa)の下限値としては、例えば、0.3nm以上が好ましく、より好ましくは0.5nm以上である。算術平均高さ(Sa)が0.3nmより小さくなると、フィルム表面が極端に平坦化しすぎて、フィルムの滑り性が低下し、加工性が損なわれる傾向がある。
[Arithmetic mean height (Sa)]
The present film preferably has an arithmetic mean height (Sa) of 15 nm or less on one surface, namely, side A. If the arithmetic mean height (Sa) is greater than 15 nm, the surface smoothness becomes insufficient, and surface defects such as pinholes tend to occur, making it difficult to adapt to thinner ceramic green sheets.
From the same viewpoint, the arithmetic mean height (Sa) of side A is preferably 10 nm or less, more preferably 8 nm or less, even more preferably 6 nm or less, particularly preferably 4 nm or less, especially preferably 3.5 nm or less, even more particularly preferably 3 nm or less, and most preferably 2.5 nm or less.
On the other hand, the lower limit of the arithmetic mean height (Sa) of side A is, for example, preferably 0.3 nm or more, more preferably 0.5 nm or more. If the arithmetic mean height (Sa) is less than 0.3 nm, the film surface becomes too flat, which tends to reduce the slip properties of the film and impair processability.

本フィルムは、例えば、ロール状に巻き取る際に一方の表面粗さが他方の表面に転写されることを抑制する観点から、他方の表面であるB面の算術平均高さ(Sa)が35nm以下であることが好ましく、より好ましくは33nm以下、更により好ましくは30nm以下、特に好ましくは28nm以下である。B面の算術平均高さ(Sa)の下限値としては、特に限定されないが、フィルムの滑り性の低下に起因する搬送性又は巻取り性の低下を抑制する観点から、例えば、3nm以上が好ましく、より好ましくは5nm以上である。 In order to prevent the roughness of one surface from being transferred to the other surface when the film is wound into a roll, the arithmetic mean height (Sa) of the other surface, side B, is preferably 35 nm or less, more preferably 33 nm or less, even more preferably 30 nm or less, and particularly preferably 28 nm or less. There are no particular restrictions on the lower limit of the arithmetic mean height (Sa) of side B, but in order to prevent a decrease in transportability or winding ability due to a decrease in the film's slipperiness, it is preferably 3 nm or more, and more preferably 5 nm or more.

本フィルムのA面及びB面の算術平均高さ(Sa)の比(「B面の算術平均高さ(Sa)/A面の算術平均高さ(Sa)」。以下、「SaB/SaA」と表記する場合がある)は、表面平滑性及び滑り性を高度に両立する観点から、2以上が好ましく、より好ましくは2.5以上、更により好ましくは3以上である。他方、SaB/SaAは、18以下が好ましく、より好ましくは16以下、更に好ましくは15以下、更により好ましくは14.5以下、更に特に好ましくは14以下である。
また、前記比(SaB/SaA)は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、3.5以上、4.5以上、5.5以上、6.5以上、7以上、7.4以上、7.8以上等であってもよい。
From the viewpoint of achieving a high degree of both surface smoothness and slip resistance, the ratio of the arithmetic mean height (Sa) of side A to that of side B of the present film ("arithmetic mean height (Sa) of side B/arithmetic mean height (Sa) of side A"; hereinafter, this may be referred to as "SaB/SaA") is preferably 2 or more, more preferably 2.5 or more, and even more preferably 3 or more. On the other hand, SaB/SaA is preferably 18 or less, more preferably 16 or less, even more preferably 15 or less, even more preferably 14.5 or less, and particularly preferably 14 or less.
Furthermore, the ratio (SaB/SaA) can be appropriately set within the above range, and is not limited to the following, but may be, for example, 3.5 or more, 4.5 or more, 5.5 or more, 6.5 or more, 7 or more, 7.4 or more, 7.8 or more, etc.

算術平均高さ(Sa)は、面粗さパラメーター(ISO 25178)の一つであり、二次元のRaを三次元に拡張したものであって、表面形状曲面と平均面で囲まれた部分の体積を測定面積で割ったものである。具体的には、表面をXY面、高さ方向をZ軸とした時、A:定義された領域(画像全体とする)、Z(x,y):画像点(x,y)の高さ0の面からの高さとすると、[数1]の式のように表される。より詳細には、後記の実施例に記載の方法により測定することができる。 The arithmetic mean height (Sa) is one of the surface roughness parameters (ISO 25178) and is a three-dimensional extension of the two-dimensional Ra. It is calculated by dividing the volume enclosed by the surface shape curve and the mean plane by the measured area. Specifically, when the surface is the XY plane and the height direction is the Z axis, where A is the defined area (the entire image) and Z(x, y) is the height from the plane at height 0 of the image point (x, y), it can be expressed as in [Equation 1]. More specifically, it can be measured using the method described in the examples below.

〔最大山高さ(Sp)〕
本フィルムの一方の表面であるA面の最大山高さ(Sp)は150nm以下であることが好ましい。最大山高さ(Sp)が150nmより大きくなると、表面平滑性が不十分となり、例えば、ピンホール等の表面欠陥が生じやすくなり、セラミックグリーンシートの薄膜化に対応し難い傾向がある。
A面の最大山高さ(Sp)は、同様の観点から、好ましくは100nm以下、より好ましくは95nm以下、更により好ましくは90nm以下、特に好ましくは86nm以下である。他方、A面の最大山高さ(Sp)の下限値としては、例えば、5nm以上が好ましく、より好ましくは10nm以上である。
なお、A面の最大山高さ(Sp)は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、65nm以下、60nm以下、40nm以下、30nm以下等であってもよい。
[Maximum peak height (Sp)]
The maximum peak height (Sp) of one surface, side A, of the present film is preferably 150 nm or less. If the maximum peak height (Sp) is greater than 150 nm, the surface smoothness becomes insufficient, and surface defects such as pinholes tend to occur, making it difficult to adapt to thinner ceramic green sheets.
From the same viewpoint, the maximum peak height (Sp) of side A is preferably 100 nm or less, more preferably 95 nm or less, even more preferably 90 nm or less, and particularly preferably 86 nm or less. On the other hand, the lower limit of the maximum peak height (Sp) of side A is, for example, preferably 5 nm or more, more preferably 10 nm or more.
The maximum peak height (Sp) of side A can be set appropriately within the above range, and is not limited to the following, but may be, for example, 65 nm or less, 60 nm or less, 40 nm or less, 30 nm or less, etc.

本フィルムの他方の表面であるB面の最大山高さ(Sp)は、例えば、ロール状に巻き取る際に一方の表面粗さが他方の表面に転写されることを抑制する観点から、通常700nm以下であり、650nm以下であることが好ましく、より好ましくは620nm以下、更により好ましくは600nm以下、特に好ましくは570nm以下である。B面の最大山高さ(Sp)の下限値としては、特に限定されないが、フィルムの滑り性の低下に伴う搬送性又は巻取り性の低下を抑制する観点から、例えば、30nm以上が好ましく、より好ましくは50nm以上である。 The maximum peak height (Sp) of side B, the other surface of the film, is typically 700 nm or less, preferably 650 nm or less, more preferably 620 nm or less, even more preferably 600 nm or less, and especially preferably 570 nm or less, from the viewpoint of preventing the roughness of one surface from being transferred to the other surface when the film is wound into a roll. There are no particular restrictions on the lower limit of the maximum peak height (Sp) of side B, but from the viewpoint of preventing a decrease in transportability or winding ability due to a decrease in the film's slipperiness, it is preferably, for example, 30 nm or more, more preferably 50 nm or more.

本フィルムのA面及びB面の最大山高さ(Sp)の比(「B面の最大山高さ(Sp)/A面の最大山高さ(Sp)」。以下、「SpB/SpA」と表記する場合がある)は、表面平滑性及び滑り性を高度に両立する観点から、2以上が好ましく、より好ましくは3以上、更に好ましくは4以上、更により好ましくは5以上、更に特に好ましくは5.4以上、更に最も好ましくは5.8以上である。他方、SpB/SpAは、25以下が好ましく、より好ましくは24.5以下、更により好ましくは24以下である。 The ratio of the maximum peak heights (Sp) of sides A and B of the film ("maximum peak height (Sp) of side B (Sp) / maximum peak height (Sp) of side A (hereinafter sometimes referred to as "SpB/SpA")) is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, even more preferably 4 or more, even more preferably 5 or more, particularly preferably 5.4 or more, and most preferably 5.8 or more, from the perspective of achieving a high level of both surface smoothness and slip resistance. On the other hand, SpB/SpA is preferably 25 or less, more preferably 24.5 or less, and even more preferably 24 or less.

最大山高さ(Sp)は、面粗さパラメーター(ISO 25178)の一つであり、表面の平均面からの高さの最大値を表し、[数2]の式のように表される。より詳細には、後記の実施例に記載の方法により測定することができる。 The maximum peak height (Sp) is one of the surface roughness parameters (ISO 25178) and represents the maximum height from the mean plane of the surface, and is expressed as in the formula [2]. More specifically, it can be measured by the method described in the examples below.

〔最大山高さ(Sp)と算術平均高さ(Sa)の比)〕
本フィルムの一方の表面であるA面における最大山高さ(Sp)と算術平均高さ(Sa)の比(Sp/Sa)は、70以下が好ましく、65以下がより好ましく、60以下が更に好ましい。他方、Sp/Saの下限については、特に限定されないが、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上が更に好ましい。
本フィルムの他方の表面であるB面における最大山高さ(Sp)と算術平均高さ(Sa)の比(Sp/Sa)は、40以下が好ましく、35以下がより好ましく、30以下が更に好ましい。他方、Sp/Saの下限については、特に限定されないが、10以上が好ましく、15以上がより好ましく、20以上が更に好ましい。
[Ratio of maximum peak height (Sp) to arithmetic mean height (Sa)]
The ratio (Sp/Sa) of the maximum peak height (Sp) to the arithmetic mean peak height (Sa) on side A, which is one surface of the present film, is preferably 70 or less, more preferably 65 or less, and even more preferably 60 or less. On the other hand, the lower limit of Sp/Sa is not particularly limited, but is preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and even more preferably 10 or more.
The ratio (Sp/Sa) of the maximum peak height (Sp) to the arithmetic mean peak height (Sa) on side B, the other surface of the present film, is preferably 40 or less, more preferably 35 or less, and even more preferably 30 or less. On the other hand, the lower limit of Sp/Sa is not particularly limited, but is preferably 10 or more, more preferably 15 or more, and even more preferably 20 or more.

〔二乗平均平方根高さ(Sq)〕
本フィルムの一方の表面であるA面の二乗平均平方根高さ(Sq)は、5nm以下であることが好ましく、より好ましくは4nm以下、更により好ましくは3.5nm以下、特に好ましくは3nm以下、殊に好ましくは2.8nm以下である。他方、A面の二乗平均平方根高さ(Sq)の下限値としては、特に限定されないが、例えば、0.1nm以上が好ましく、より好ましくは0.3nm以上である。
また、本フィルムの他方の表面であるB面の二乗平均平方根高さ(Sq)は、40nm以下であることが好ましく、より好ましくは38nm以下、更により好ましくは36nm以下、特に好ましくは34nm以下である。B面の二乗平均平方根高さ(Sq)の下限値としては、特に限定されないが、例えば、1nm以上が好ましく、より好ましくは3nm以上である。
[Root mean square height (Sq)]
The root mean square height (Sq) of side A, one surface of the present film, is preferably 5 nm or less, more preferably 4 nm or less, even more preferably 3.5 nm or less, particularly preferably 3 nm or less, and especially preferably 2.8 nm or less. On the other hand, the lower limit of the root mean square height (Sq) of side A is not particularly limited, but is, for example, preferably 0.1 nm or more, more preferably 0.3 nm or more.
The root mean square height (Sq) of side B, the other surface of the present film, is preferably 40 nm or less, more preferably 38 nm or less, even more preferably 36 nm or less, and particularly preferably 34 nm or less. The lower limit of the root mean square height (Sq) of side B is not particularly limited, but is, for example, preferably 1 nm or more, more preferably 3 nm or more.

本フィルムのA面及びB面の二乗平均平方根高さ(Sq)の比(「B面の二乗平均平方根高さ(Sq)/A面の二乗平均平方根高さ(Sq)」。以下、「SqB/SqA」と表記する場合がある)は、表面平滑性及び滑り性を高度に両立する観点から、7以上が好ましく、より好ましくは8以上、更により好ましくは9以上である。他方、SqB/SqAは20以下が好ましく、より好ましくは18以下、更により好ましくは17以下である。 The ratio of the root mean square height (Sq) of side A to side B of this film ("root mean square height (Sq) of side B / root mean square height (Sq) of side A"; hereinafter sometimes referred to as "SqB/SqA") is preferably 7 or greater, more preferably 8 or greater, and even more preferably 9 or greater, from the perspective of achieving a high level of both surface smoothness and slip resistance. On the other hand, SqB/SqA is preferably 20 or less, more preferably 18 or less, and even more preferably 17 or less.

二乗平均平方根高さ(Sq)は、面粗さパラメーター(ISO 25178)の一つであり、二次元のRqを三次元に拡張したものである。すなわち定義された領域における高さデータの二乗平均平方根の値であり、平均面からの距離の標準偏差に相当するパラメーターであって、[数3]の式から求めることができる。より詳細には、後記の実施例に記載の方法により測定することができる。 The root mean square height (Sq) is one of the surface roughness parameters (ISO 25178) and is a three-dimensional extension of the two-dimensional Rq. In other words, it is the root mean square value of the height data in a defined area, a parameter equivalent to the standard deviation of the distance from the mean surface, and can be calculated using the formula [3]. In more detail, it can be measured using the method described in the examples below.

〔クルトシス(Sku)〕
本フィルムの一方の表面であるA面のクルトシス(Sku)は100以下であることが好ましく、より好ましくは95以下、更により好ましくは90以下である。他方、A面のクルトシス(Sku)の下限値としては、特に限定されないが、例えば、0.5以上が好ましく、より好ましくは1以上である。
[Kurtosis (Sku)]
The kurtosis (Sku) of side A, which is one surface of the present film, is preferably 100 or less, more preferably 95 or less, and even more preferably 90 or less. On the other hand, the lower limit of the kurtosis (Sku) of side A is not particularly limited, but is, for example, preferably 0.5 or more, more preferably 1 or more.

本フィルムの他方の表面であるB面のクルトシス(Sku)は、18以下であることが好ましく、より好ましくは16以下、更により好ましくは15以下、特に好ましくは14以下である。B面のクルトシス(Sku)の下限値としては、特に限定されないが、例えば、1以上が好ましく、より好ましくは2以上である。 The kurtosis (Sku) of side B, the other surface of the film, is preferably 18 or less, more preferably 16 or less, even more preferably 15 or less, and especially preferably 14 or less. There are no particular restrictions on the lower limit of the kurtosis (Sku) of side B, but it is preferably 1 or more, and more preferably 2 or more.

クルトシス(Sku)とは、面粗さパラメーター(ISO 25178)の一つであり、高さ分布のヒストグラムのとがり具合(尖度)を評価することができ、[数4]の式から求めることができる。より詳細には、後記の実施例に記載の方法により測定することができる。 Kurtosis (Sku) is one of the surface roughness parameters (ISO 25178) and can be used to evaluate the peakedness (kurtosis) of a height distribution histogram, and can be calculated using the formula [4]. More specifically, it can be measured using the method described in the Examples below.

〔スキューネス(Ssk)〕
本フィルムの一方の表面であるA面のスキューネス(Ssk)は、5以下であることが好ましく、より好ましくは4.5以下、更により好ましくは4.2以下、特に好ましくは4以下である。他方、A面のスキューネス(Ssk)の下限値としては、特に限定されないが、例えば、0.2以上が好ましく、より好ましくは0.4以上である。
Skewness (Ssk)
The skewness (Ssk) of side A, which is one surface of the present film, is preferably 5 or less, more preferably 4.5 or less, even more preferably 4.2 or less, and particularly preferably 4 or less. On the other hand, the lower limit of the skewness (Ssk) of side A is not particularly limited, but is, for example, preferably 0.2 or more, more preferably 0.4 or more.

本フィルムの他方の表面であるB面のスキューネス(Ssk)は4以下であることが好ましく、より好ましくは3.5以下、更により好ましくは3以下、特に好ましくは2.5以下である。他方、B面のスキューネス(Ssk)の下限値としては、特に限定されないが、例えば、0.5以上が好ましく、より好ましくは0.8以上である。 The skewness (Ssk) of side B, the other surface of this film, is preferably 4 or less, more preferably 3.5 or less, even more preferably 3 or less, and especially preferably 2.5 or less. On the other hand, the lower limit of the skewness (Ssk) of side B is not particularly limited, but is preferably 0.5 or more, and more preferably 0.8 or more.

スキューネス(Ssk)とは、面粗さパラメーター(ISO 25178)の一つであり、[数5]の式から求めることができる。より詳細には、後記の実施例に記載の方法により測定することができる。 Skewness (Ssk) is one of the surface roughness parameters (ISO 25178) and can be calculated using the formula [5]. More specifically, it can be measured using the method described in the examples below.

弾性変形仕事率(ηit)及び特定の表面特性(算術平均高さ(Sa)、最大山高さ(Sp))は、例えば、粒子を配合する場合は、粒子の種類、具体的には、例えば、粒子の組成、平均粒径、粒度分布、硬度、含有させるポリエステルとの親和性等を鑑み、含有量を調節することによって、所定の範囲に調整することができる。また、含有させるポリエステルの種類、例えば、組成、粘度、分子量、熱特性、共重合成分の有無等を鑑み、粒子の種類や含有量を調節することも、弾性変形仕事率(ηit)及び表面特性の調整に有用である。粒子を2種類以上併用する場合は、使用する粒子やポリエステルの種類を鑑み、含有割合を調整することが好ましい。
また、ポリエステルフィルム製造時において、例えば、延伸倍率(二軸延伸の場合は縦横の延伸倍率)、延伸温度、熱処理温度と処理時間(二軸延伸の場合は特に横延伸後の熱処理温度と処理時間)等の制御も効果的である。
また、他の表面特性(二乗平均平方根高さ(Sq)、クルトシス(Sku)、スキューネス(Ssk))を調整する際にも上記と同様の方法が好適である。
The elastic deformation power (η it ) and specific surface properties (arithmetic mean height (Sa), maximum peak height (Sp)) can be adjusted to a predetermined range, for example, when particles are blended, by adjusting the content in consideration of the type of particles, specifically, for example, the particle composition, average particle size, particle size distribution, hardness, affinity with the polyester to be contained, etc. Furthermore, adjusting the type and content of particles in consideration of the type of polyester to be contained, for example, the composition, viscosity, molecular weight, thermal properties, presence or absence of a copolymerization component, etc., is also useful for adjusting the elastic deformation power (η it ) and surface properties. When two or more types of particles are used in combination, it is preferable to adjust the content ratio in consideration of the type of particles and polyester to be used.
In addition, during the production of the polyester film, it is also effective to control, for example, the stretching ratio (in the case of biaxial stretching, the longitudinal and transverse stretching ratios), the stretching temperature, the heat treatment temperature and treatment time (in the case of biaxial stretching, the heat treatment temperature and treatment time, particularly after transverse stretching).
The same method as above is also suitable for adjusting other surface properties (root mean square height (Sq), kurtosis (Sku), and skewness (Ssk)).

〔熱処理後の収縮率〕
積層セラミックコンデンサーの製造工程には、ポリエステルフィルムに塗工した離型剤等を乾燥させる処理や、離型フィルムに塗工したセラミックスラリーを乾燥させる処理など、熱処理を施す工程が含まれるため、耐熱変形性の低下は塗工斑や皺等を誘発する要因ともなり得る。すなわち、耐熱変形性は積層セラミックコンデンサーの製造工程における中間仕掛品から最終製品の品質信頼性、例えばセラミックグリーンシートの積層特性などを担保する上で重要な特性の一つである。
本フィルムは、かかる塗工斑や皺を抑制する観点から、150℃、5分間熱処理したときの縦方向(MD)の収縮率が、好ましくは2.8%以下である。同様の観点から、より好ましくは2.6%以下、更により好しくは2.4%以下、特に好ましくは2.2%以下、殊に好ましくは2%以下である。当該縦方向(MD)の収縮率(150℃、5分間)の下限値は、同様の観点から、-1%程度であり、好ましくは-0.5%以上、より好ましくは-0.3%以上である。
[Shrinkage rate after heat treatment]
The manufacturing process of multilayer ceramic capacitors includes heat treatment steps such as drying the release agent coated on the polyester film and drying the ceramic slurry coated on the release film, so a decrease in heat distortion resistance can lead to coating irregularities and wrinkles. In other words, heat distortion resistance is one of the important properties for ensuring the quality and reliability of the finished product, from intermediate products in the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors to the final product, for example, the lamination characteristics of ceramic green sheets.
From the viewpoint of suppressing such coating irregularities and wrinkles, the present film preferably has a shrinkage percentage in the machine direction (MD) when heat-treated at 150°C for 5 minutes of 2.8% or less. From the same viewpoint, it is more preferably 2.6% or less, even more preferably 2.4% or less, particularly preferably 2.2% or less, and especially preferably 2% or less. From the same viewpoint, the lower limit of the shrinkage percentage in the machine direction (MD) (150°C, 5 minutes) is about -1%, preferably -0.5% or more, more preferably -0.3% or more.

また、本フィルムの150℃、5分間熱処理したときの横方向(TD)の収縮率は、塗工斑や皺を抑制する観点から、好ましくは2.8%以下である。同様の観点から、より好ましくは2.6%以下、更により好しくは2.4%以下、特に好ましくは2.2%以下、殊に好ましくは1.5%以下である。当該横方向(TD)の収縮率の下限値は、同様の観点から、-1%程度であり、好ましくは-0.5%以上、より好ましくは-0.3%以上である。
また、薄膜化セラミックグリーンシートを用いたMLCCの製造工程において特に求められる高度な耐熱変形性を実現する観点からは、当該横方向(TD)の収縮率(150℃、5分間)は、1.4%以下が好ましく、より好ましくは1.3%以下である。また、当該横方向(TD)の収縮率(150℃、5分間)は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、1%以下、0.8%以下、0.7%以下、0.5%以下、0.4%以下、0.1%以下等であってもよい。
Furthermore, the shrinkage rate in the transverse direction (TD) of this film when heat-treated at 150°C for 5 minutes is preferably 2.8% or less from the viewpoint of suppressing coating irregularities and wrinkles. From the same viewpoint, it is more preferably 2.6% or less, even more preferably 2.4% or less, particularly preferably 2.2% or less, and especially preferably 1.5% or less. From the same viewpoint, the lower limit of the shrinkage rate in the transverse direction (TD) is about -1%, preferably -0.5% or more, more preferably -0.3% or more.
Furthermore, from the viewpoint of realizing a high level of thermal distortion resistance, which is particularly required in the manufacturing process of MLCC using the thin ceramic green sheet, the shrinkage rate in the transverse direction (TD) (150°C, 5 minutes) is preferably 1.4% or less, more preferably 1.3% or less. Furthermore, the shrinkage rate in the transverse direction (TD) (150°C, 5 minutes) can be appropriately set within the above range, and may be, for example, but not limited to, 1% or less, 0.8% or less, 0.7% or less, 0.5% or less, 0.4% or less, 0.1% or less, etc.

なお、弾性変形仕事率(ηit)及び収縮率(150℃、5分間熱)を両立させるためには、例えば、製膜条件(特には縦延伸温度、横延伸倍率、熱固定温度、ロールの周速度、弛緩率等)、製膜原料等を適宜設定することにより、前記範囲に制御することができる。詳細な内容は後述する。 In order to achieve both the elastic deformation power (η it ) and the shrinkage rate (heated at 150°C for 5 minutes), they can be controlled within the above ranges by appropriately setting, for example, the film-forming conditions (particularly the longitudinal stretching temperature, transverse stretching ratio, heat setting temperature, roll peripheral speed, relaxation rate, etc.), film-forming raw materials, etc. Details will be described later.

〔面配向度(ΔP)〕
本フィルムは、例えば、前述の剥離不良を抑制する観点から、一方の表面であるA面の面配向度(ΔP)が165以上であることが好ましい。他方、一方の表面であるA面の面配向度(ΔP)の上限値としては、例えば、190以下が好ましく、より好ましくは185以下であり、更に好ましくは180以下である。なお、A面の面配向度(ΔP)は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、166以上、168以上等であってもよい。
[Planar orientation degree (ΔP)]
In order to suppress the aforementioned peeling defects, the present film preferably has a planar orientation degree (ΔP) of one surface, namely, side A, of 165 or more. On the other hand, the upper limit of the planar orientation degree (ΔP) of one surface, namely, side A, is, for example, preferably 190 or less, more preferably 185 or less, and even more preferably 180 or less. The planar orientation degree (ΔP) of side A can be set appropriately within the above range, and is not limited to the following, and may be, for example, 166 or more, 168 or more, etc.

面配向度(ΔP)は、JIS K 7142-1996 5.1(A法)により、ナトリウムD線を光源とし、アッベ屈折計により、縦方向の屈折率(nx)、横方向の屈折率(ny)、及び厚み方向の屈折率(nz)を測定し、下記式に基づいて算出する。
面配向度(ΔP)=((nx+ny)/2-nz)×1000
The degree of planar orientation (ΔP) is calculated based on the following formula by measuring the refractive index in the vertical direction (nx), the refractive index in the horizontal direction (ny), and the refractive index in the thickness direction (nz) with an Abbe refractometer using sodium D line as a light source in accordance with JIS K 7142-1996 5.1 (Method A).
Planar orientation degree (ΔP) = ((nx+ny)/2-nz)×1000

次に、本フィルムの実施形態に用いられる原料等について説明する。 Next, we will explain the raw materials used in this film embodiment.

<ポリエステル>
ポリエステルは本フィルムの原料であり、主鎖に連続してエステル結合を有する高分子化合物をいう。本フィルムに用いられるポリエステルは、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよい。具体的には、ジカルボン酸成分とジオール成分とを重縮合反応させることによって得られるポリエステルが挙げられる。
<Polyester>
Polyester is a raw material of the present film and refers to a polymer compound having continuous ester bonds in the main chain. The polyester used in the present film may be a homopolyester or a copolymer polyester. Specific examples include polyesters obtained by polycondensation of a dicarboxylic acid component and a diol component.

本フィルムにおいては、ジカルボン酸成分を100モル%としたとき、芳香族ジカルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸を50モル%よりも多く含有するポリエステルを使用することが好ましい。 In this film, it is preferable to use a polyester that contains more than 50 mol% of aromatic dicarboxylic acid or aliphatic dicarboxylic acid, assuming the dicarboxylic acid component is 100 mol%.

前記ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、1,4-ナフタレンジカルボン酸、1,5-ナフタレンジカルボン酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、4,4'-ジフェニルジカルボン酸、4,4'-ジフェニルエーテルジカルボン酸及び4,4'-ジフェニルスルホンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸や、例えば、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ダイマー酸、ドデカンジオン酸、シクロヘキサンジカルボン酸及びこれらのエステル誘導体等の脂肪族ジカルボン酸が挙げられる。 Examples of the dicarboxylic acid component include aromatic dicarboxylic acids such as terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, 1,4-naphthalenedicarboxylic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, 4,4'-diphenyldicarboxylic acid, 4,4'-diphenyletherdicarboxylic acid, and 4,4'-diphenylsulfonedicarboxylic acid, and aliphatic dicarboxylic acids such as adipic acid, suberic acid, sebacic acid, dimer acid, dodecanedioic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, and ester derivatives thereof.

前記ジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、1,3-ブタンジオール、1,2-シクロヘキサンジメタノール、1,3-シクロヘキサンジメタノール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、1,4-ヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、2,2-ビス(4-ヒドロキシエトキシフェニル)プロパン、イソソルベート及びスピログリコール等が挙げられる。 Examples of the diol component include ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, neopentyl glycol, 1,3-butanediol, 1,2-cyclohexanedimethanol, 1,3-cyclohexanedimethanol, 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,4-hexanedimethanol, diethylene glycol, triethylene glycol, polyalkylene glycol, 2,2-bis(4-hydroxyethoxyphenyl)propane, isosorbate, and spiroglycol.

前記ポリエステルがホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。
前記芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸等が挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール及び1,4-シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。
代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート(PEN)等が挙げられる。
When the polyester is a homopolyester, it is preferably one obtained by polycondensing an aromatic dicarboxylic acid and an aliphatic glycol.
Examples of the aromatic dicarboxylic acid include terephthalic acid and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, and examples of the aliphatic glycol include ethylene glycol, diethylene glycol, and 1,4-cyclohexanedimethanol.
Representative polyesters include polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene-2,6-naphthalenedicarboxylate (PEN).

一方、前記ポリエステルが、共重合ポリエステルの場合は、30モル%以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。第三成分とは、ポリエステルを構成するジカルボン酸成分の主成分(すなわち、最も含有量が多いジカルボン酸成分)となる化合物と、ジオール成分の主成分(すなわち、最も含有量が多いジオール成分)となる化合物以外の成分であり、ポリエチレンテレフタレートではテレフタル酸及びエチレングリコール以外の成分である。
共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、例えば、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸及びオキシカルボン酸等の一種又は二種以上が挙げられる。
共重合ポリエステルのグリコール成分としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール及びネオペンチルグリコール等の一種又は二種以上が挙げられる。
On the other hand, when the polyester is a copolymer polyester, it is preferably a copolymer containing 30 mol % or less of a third component. The third component is a component other than the compound that is the main component of the dicarboxylic acid component constituting the polyester (i.e., the dicarboxylic acid component with the largest content) and the compound that is the main component of the diol component (i.e., the diol component with the largest content), and in the case of polyethylene terephthalate, it is a component other than terephthalic acid and ethylene glycol.
Examples of the dicarboxylic acid component of the copolymer polyester include one or more of isophthalic acid, phthalic acid, terephthalic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, adipic acid, sebacic acid, and oxycarboxylic acid.
Examples of the glycol component of the copolymer polyester include one or more of ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, butanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, neopentyl glycol, and the like.

また、前記ポリエステルとしては、80モル%以上、好ましくは90モル%以上が、エチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレートや、エチレン-2,6-ナフタレート単位であるポリエチレン-2,6-ナフタレート等が好ましい。 Preferred polyesters include polyethylene terephthalate, which contains 80 mol % or more, and preferably 90 mol % or more, of ethylene terephthalate units, and polyethylene-2,6-naphthalate, which contains ethylene-2,6-naphthalate units.

なお、通常、エチレングリコールを原料の1つとしてポリエステルを製造(重縮合)する場合、エチレングリコールからジエチレングリコールが副生する。本明細書においては、このジエチレングリコールを副生ジエチレングリコールと称する。エチレングリコールからのジエチレングリコールの副生量は、重縮合の様式等によっても異なるが、エチレングリコールのうち5モル%以下程度である。本発明においては、5モル%以下のジエチレングリコールを副生ジエチレングリコールとした上で、前記副生ジエチレングリコールもエチレングリコールに包含されるものとし、共重合成分とは区別される。一方、ジエチレングリコールの含有量によっては、より具体的にはジエチレングリコールが5モル%を超えて含有されている場合には、ジエチレングリコールは副生ジエチレングリコールとしてではなく、共重合成分として扱う。 Usually, when polyester is produced (polycondensed) using ethylene glycol as one of the raw materials, diethylene glycol is by-produced from the ethylene glycol. In this specification, this diethylene glycol is referred to as by-product diethylene glycol. The amount of diethylene glycol by-produced from ethylene glycol varies depending on the type of polycondensation, but is approximately 5 mol% or less of the ethylene glycol. In the present invention, 5 mol% or less of diethylene glycol is defined as by-product diethylene glycol, and this by-product diethylene glycol is also considered to be included in ethylene glycol and is distinguished from a copolymerization component. On the other hand, depending on the diethylene glycol content, more specifically, when diethylene glycol is contained in excess of 5 mol%, diethylene glycol is treated as a copolymerization component rather than as a by-product diethylene glycol.

〔重縮合触媒〕
前記ポリエステルを重縮合する際の重縮合触媒としては、例えば、アンチモン化合物、ゲルマニウム化合物、アルミニウム化合物、チタン化合物等が挙げられる。これらの中でも、アンチモン化合物及びチタン化合物が好ましく、とりわけ、チタン化合物が好ましい。
前記チタン化合物を使用することで、フィルム中に当該チタン化合物に由来する金属含有凝集体、いわゆる粗大異物の個数を低減化し、表面平滑性を高めることができる。
[Polycondensation catalyst]
Examples of polycondensation catalysts used in polycondensing the polyester include antimony compounds, germanium compounds, aluminum compounds, titanium compounds, etc. Among these, antimony compounds and titanium compounds are preferred, and titanium compounds are particularly preferred.
By using the titanium compound, the number of metal-containing aggregates, so-called coarse foreign matter, originating from the titanium compound in the film can be reduced, and the surface smoothness can be improved.

より具体的には、本フィルムの最外層(「表面層」ともいう。例えば、離型層が積層される表面層)を構成するポリエステルは、その重縮合触媒としてチタン化合物を使用することが好ましい。また、当該最外層中における当該チタン化合物に由来するチタン元素含有量は、質量割合で1ppm以上40ppm以下であることが好ましく、2ppm以上35ppm以下であることがより好ましい。前記範囲内であれば、ポリエステルの製造効率を低下させることなく、触媒起因の異物を低減化することができる。
また、同様の観点から、本フィルムの最外層中のアンチモン化合物の含有量は、100ppm以下であることが好ましい。
More specifically, it is preferable that a titanium compound be used as a polycondensation catalyst for the polyester constituting the outermost layer of the present film (also referred to as the "surface layer"; for example, the surface layer on which a release layer is laminated). Furthermore, the titanium element content derived from the titanium compound in the outermost layer is preferably 1 ppm or more and 40 ppm or less, and more preferably 2 ppm or more and 35 ppm or less, by mass. Within the above range, it is possible to reduce catalyst-induced foreign matter without reducing the production efficiency of the polyester.
From the same viewpoint, the content of antimony compounds in the outermost layer of the present film is preferably 100 ppm or less.

〔ポリエステルの極限粘度(Intrinsic Viscosity)〕
本フィルムを構成するポリエステルの極限粘度は、0.5dL/g以上であることが好ましく、より好ましくは0.55dL/g以上、更により好ましくは0.6dL/g以上であることが更に好ましい。本フィルムを構成するポリエステルとして、極限粘度が0.5dL/g以上のポリエステルを使用することで、ポリエステルを混練中のせん断応力が増大し、ポリエステル樹脂中の粒子が高分散し易く、例えば、ポリエステルフィルムの表面特性を前記の範囲にし易くなる傾向がある。
また、ポリエステルの極限粘度の上限値は、例えば、粒子の流動性の観点から、1dL/g以下が好ましく、より好ましくは0.85dL/g以下、更により好ましくは0.75dL/g以下である。
[Intrinsic Viscosity of Polyester]
The polyester constituting the present film preferably has an intrinsic viscosity of 0.5 dL/g or more, more preferably 0.55 dL/g or more, and even more preferably 0.6 dL/g or more. By using a polyester with an intrinsic viscosity of 0.5 dL/g or more as the polyester constituting the present film, the shear stress during kneading of the polyester increases, making it easier to highly disperse particles in the polyester resin, and, for example, making it easier to achieve the surface properties of the polyester film within the above-mentioned range.
The upper limit of the intrinsic viscosity of the polyester is preferably 1 dL/g or less, more preferably 0.85 dL/g or less, and even more preferably 0.75 dL/g or less, from the viewpoint of particle fluidity.

なお、本フィルムを構成するポリエステルの極限粘度は、極限粘度が異なる2種以上のポリエステルを使用する場合、これら混合樹脂の極限粘度を意味するものとする。また、前記極限粘度は、JIS K7367-1:2002に準拠し、常法に従って測定することができ、例えば、ウベローデ形粘度計を用い、フェノール:テトラクロロエタン=1:1を溶媒として、30℃で測定することができる。 When two or more polyesters with different intrinsic viscosities are used, the intrinsic viscosity of the polyester constituting this film refers to the intrinsic viscosity of the mixed resin. The intrinsic viscosity can be measured in accordance with JIS K7367-1:2002 using a standard method. For example, it can be measured at 30°C using an Ubbelohde viscometer with a phenol:tetrachloroethane (1:1) solvent.

本フィルムはポリエステルを主成分とするフィルムであり、本フィルムに含まれるポリエステルの含有量は、例えば90質量%以上であり、好ましくは95質量%以上、更により好ましくは98質量%以上、特に好ましくは99質量%以上である。
また、本フィルムが2層以上で構成される場合、各層に含まれるポリエステルの含有量は、例えば90質量%以上であり、好ましくは95質量%以上、更により好ましくは98質量%以上、特に好ましくは99質量%以上である。
The present film is a film whose main component is polyester, and the content of polyester contained in the present film is, for example, 90% by mass or more, preferably 95% by mass or more, even more preferably 98% by mass or more, and particularly preferably 99% by mass or more.
Furthermore, when the present film is composed of two or more layers, the content of polyester in each layer is, for example, 90% by mass or more, preferably 95% by mass or more, even more preferably 98% by mass or more, and particularly preferably 99% by mass or more.

<粒子>
本フィルム中には、粒子を含有させることが好ましい。本フィルム中に含有させる粒子の種類は、特に限定されるものではなく、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、アルミナ(酸化アルミニウム)、酸化チタン等の無機粒子の他、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン-アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子等の架橋高分子等の有機粒子が挙げられる。
<Particle>
It is preferable that particles are contained in the present film. The type of particles contained in the present film is not particularly limited, and examples thereof include inorganic particles such as silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, calcium phosphate, magnesium phosphate, kaolin, alumina (aluminum oxide), and titanium oxide, as well as organic particles such as crosslinked polymers such as crosslinked silicone resin particles, crosslinked acrylic resin particles, crosslinked styrene-acrylic resin particles, and crosslinked polyester particles.

これらのなかでも、本フィルム中に含有させる粒子としては、シリカ、炭酸カルシウム、有機粒子が好ましい。更に、本フィルム中に含有させる粒子としては、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。 Among these, silica, calcium carbonate, and organic particles are preferred as particles to be contained in the present film. Furthermore, precipitated particles formed by precipitating and finely dispersing a portion of a metal compound, such as a catalyst, during the polyester manufacturing process can also be used as particles to be contained in the present film.

粒子の平均粒径は、通常5μm以下、好ましくは3μm以下、より好ましくは2μm以下、更に好ましくは1μm以下である。また、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.02μm以上、更に好ましくは0.03μm以上である。なお、粒子の平均粒径は、10個以上の粒子を走査型電子顕微鏡(SEM)観察して粒子の直径を測定し、その平均値として求めることができる。その際、非球状粒子の場合は、最長径と最短径の平均値を各粒子の直径として測定することができる。 The average particle size of the particles is usually 5 μm or less, preferably 3 μm or less, more preferably 2 μm or less, and even more preferably 1 μm or less. It is also preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.02 μm or more, and even more preferably 0.03 μm or more. The average particle size can be determined by measuring the diameters of 10 or more particles using a scanning electron microscope (SEM) and averaging the measured diameters. In the case of non-spherical particles, the average of the longest and shortest diameters can be used to measure the diameter of each particle.

粒子のモース硬度は、弾性変形仕事率(ηit)を高める観点から、9以下であることが好ましく、8以下であることがより好ましい。粒子のモース硬度が前記範囲よりも大きくなると、フィルム延伸時の追従性が低下してボイドが発生し、弾性変形仕事率(ηit)を低下させる傾向がある。粒子のモース硬度は、同様の観点から、例えば、1~9の範囲で適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、1~8、1~7、1~5、1~4、1~3等の範囲であってもよい。
なお、モース硬度は、標準物質に対しての傷の付き方を元に硬度を数値化するものであり、柔らかいものから順に1から10までの標準物質が指定されており、モース硬度計を用いて常法により測定できる。
From the viewpoint of increasing the elastic deformation power (η it ), the Mohs hardness of the particles is preferably 9 or less, and more preferably 8 or less. If the Mohs hardness of the particles is greater than the above range, the conformability during film stretching tends to decrease, resulting in the generation of voids and a decrease in the elastic deformation power (η it ). From the same viewpoint, the Mohs hardness of the particles can be appropriately set, for example, in the range of 1 to 9, and may be, but is not limited to, in the ranges of 1 to 8, 1 to 7, 1 to 5, 1 to 4, 1 to 3, etc.
The Mohs hardness scale is a numerical representation of hardness based on how a material is scratched against a standard material. Standard materials are designated with numbers 1 to 10, in order of softness, and can be measured using a Mohs hardness scale in the usual way.

粒子の含有量は、平均粒径にも依存するが、弾性変形仕事率(ηit)を高める観点から、粒子を含有する層において、質量割合で、250ppm以上が好ましく、より好ましくは300ppm以上、より好ましくは500ppm以上である。また、通常10000ppm以下であり、9000ppm以下が好ましく、好ましくは8000ppm以下、より好ましくは7000ppm以下である。粒子の含有量が多すぎる場合は、粒子同士が凝集してボイドが発生し、弾性変形仕事率(ηit)を低下させる傾向がある。 The particle content depends on the average particle size, but from the viewpoint of increasing the elastic deformation power (η it ), the particle content is preferably 250 ppm or more, more preferably 300 ppm or more, and more preferably 500 ppm or more, by mass ratio, in the layer containing the particles. Furthermore, the particle content is usually 10,000 ppm or less, preferably 9,000 ppm or less, preferably 8,000 ppm or less, and more preferably 7,000 ppm or less. If the particle content is too high, the particles tend to aggregate to generate voids, which reduces the elastic deformation power (η it ).

粒子の形状は、特に限定されるものではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよいが、球状が好ましい。これらの粒子は、1種単独で或いは2種類以上を併用してもよい。 The shape of the particles is not particularly limited, and any of spherical, blocky, rod-like, flat, etc. may be used, with spherical being preferred. These particles may be used alone or in combination of two or more types.

本フィルム中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、多層のポリエステルフィルムであれば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、エステル化又はエステル交換反応終了後、添加するのが好ましい。 There are no particular limitations on the method for adding particles to the film, and any conventionally known method can be used. For example, in the case of a multi-layer polyester film, particles can be added at any stage in the production of the polyester that makes up each layer, but it is preferable to add them after the esterification or transesterification reaction is complete.

本フィルムに粒子を含有させる場合、例えば、表面層と中間層を設けて、表面層に粒子を含有させることが好ましい。また、3種3層構造などにより表裏異設計とする場合は、一方又は両方の表面層に粒子を含有させることが好ましい。 When incorporating particles into the present film, it is preferable to provide a surface layer and an intermediate layer, and incorporate particles into the surface layer. Furthermore, when using a three-type, three-layer structure or other structure with different front and back layers, it is preferable to incorporate particles into one or both surface layers.

また、本フィルム中には、結晶核剤を含有させることができる。結晶核剤としては、無機系結晶核剤及び有機系結晶核剤が挙げられるが、なかでも有機系結晶核剤が好ましい。結晶核剤は、単独で用いてもよく、また2種類以上を併用してもよい。 The film may also contain a nucleating agent. Examples of nucleating agents include inorganic and organic nucleating agents, with organic nucleating agents being preferred. Nucleating agents may be used alone or in combination of two or more types.

有機系結晶核剤としては、例えば、下記一般式で表される脂肪酸金属塩であることが好ましい。
式:(CH3(CH2nCOO)m
(前記一般式中、nは4以上の整数であり、MはNa,Ca又はLiである。また、mは、MがNa又はLiの場合は1、Caの場合は2である。)
The organic crystal nucleating agent is preferably, for example, a fatty acid metal salt represented by the following general formula.
Formula: (CH 3 (CH 2 ) n COO) m M
(In the above general formula, n is an integer of 4 or more, and M is Na, Ca, or Li. Furthermore, m is 1 when M is Na or Li, and 2 when M is Ca.)

前記一般式において、MはNaであることが好ましい。また、前記一般式において、nは6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上が更に好ましく、15以上がより更に好ましい。また、35以下が好ましく、33以下がより好ましく、30以下が更に好ましく、28以下がより更に好ましい。
前記一般式で表される脂肪酸金属塩において、脂肪酸の具体例としては、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、トリデカン酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、マルガリン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキン酸、ベヘン酸、モンタン酸等の脂肪酸が挙げられ、その中でも、モンタン酸が好ましい。
In the general formula, M is preferably Na. In addition, in the general formula, n is preferably 6 or more, more preferably 8 or more, even more preferably 10 or more, and even more preferably 15 or more. In addition, n is preferably 35 or less, more preferably 33 or less, even more preferably 30 or less, and even more preferably 28 or less.
In the fatty acid metal salt represented by the above general formula, specific examples of the fatty acid include caproic acid, enanthic acid, caprylic acid, pelargonic acid, capric acid, undecanoic acid, lauric acid, tridecanoic acid, myristic acid, pentadecanoic acid, palmitic acid, margaric acid, stearic acid, nonadecanoic acid, arachic acid, behenic acid, and montanic acid, and among these, montanic acid is preferred.

また、結晶核剤として用いる脂肪酸金属塩の融点は、140℃以上が好ましく、150℃以上がより好ましく、160℃以上が更に好ましい。また、260℃以下が好ましく、250℃以下がより好ましく、240℃以下が更に好ましく、230℃以下が更により好ましい。なお、脂肪酸金属塩の融点は、TG-DTAにより測定をすることができる。 The melting point of the fatty acid metal salt used as the crystal nucleating agent is preferably 140°C or higher, more preferably 150°C or higher, and even more preferably 160°C or higher. It is also preferably 260°C or lower, more preferably 250°C or lower, even more preferably 240°C or lower, and even more preferably 230°C or lower. The melting point of the fatty acid metal salt can be measured using TG-DTA.

結晶核剤の含有量は、粒子を含有する層において、質量割合で、2000ppm以上が好ましく、3000ppm以上がより好ましく、5000ppm以上が更に好ましく、6000ppm以上がより更に好ましい。また、28000ppm以下が好ましく、25000ppm以下が更に好ましく、20000ppm以下がより更に好ましい。 The content of the nucleating agent in the particle-containing layer is preferably 2,000 ppm or more by mass, more preferably 3,000 ppm or more, even more preferably 5,000 ppm or more, and even more preferably 6,000 ppm or more. It is also preferably 28,000 ppm or less, more preferably 25,000 ppm or less, and even more preferably 20,000 ppm or less.

本フィルムに結晶核剤を含有させる場合、例えば、表面層と中間層を設けて、表面層に結晶核剤を含有させることが好ましい。また、3種3層構造などにより表裏異設計とする場合は、一方又は両方の表面層に結晶核剤を含有させることが好ましい。 When incorporating a nucleating agent into the present film, it is preferable to provide a surface layer and an intermediate layer, and incorporate the nucleating agent into the surface layer. Furthermore, when using a three-layer structure with different front and back layers, it is preferable to incorporate the nucleating agent into one or both surface layers.

なお、本フィルム中には、上述の粒子等以外に必要に応じて従来公知の紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料等を添加することができるが、本フィルムに含まれるこれらの総含有量は、通常10質量%未満である。 In addition to the particles described above, conventionally known additives such as ultraviolet absorbers, antioxidants, antistatic agents, heat stabilizers, lubricants, dyes, and pigments can be added to the film as needed, but the total content of these additives in the film is usually less than 10% by mass.

<本フィルムの層構成>
本フィルムは、単層のポリエステルフィルムでもよく、2以上の層を有する積層構成のポリエステルフィルムでもよい。本フィルムは、一方の表面の弾性変形仕事率(ηit)を前記範囲に制御し易い観点や、積層セラミックコンデンサーの製造工程において使用される工程用離型フィルムの支持体として好適に使用する観点から、少なくとも2層からなるポリエステルフィルムが好ましく、3層構成からなるポリエステルフィルムがより好ましい。
<Layer structure of this film>
The present film may be a single-layer polyester film or a laminated polyester film having two or more layers. From the viewpoint of easily controlling the elastic deformation power (η it ) of one surface within the above range and from the viewpoint of suitable use as a support for a process release film used in the production process of a multilayer ceramic capacitor, the present film is preferably a polyester film consisting of at least two layers, and more preferably a polyester film consisting of three layers.

より詳細には、本発明において、本フィルムが2以上の層を有する積層構成の場合、例えば、本フィルムの最外層を形成する表面層A及び表面層Bを有する層構成が挙げられる。また、例えば、本フィルムの最外層を構成する表面層A及び表面層Bと、1層以上の中間層C(C1、C2…)とを有する積層構成が挙げられる。より具体的には、例えば、表面層A及び表面層Bと、中間層Cとから構成されるA/C/B構成が好ましい。
なお、表面層Aは、本フィルムの一方の表面を形成する表面層であり、表面層Bは、本フィルムの他方の表面を形成する表面層である。
More specifically, in the present invention, when the present film has a laminated structure having two or more layers, for example, a layer structure having a surface layer A and a surface layer B that form the outermost layers of the present film is exemplified. Also, for example, a laminated structure having a surface layer A and a surface layer B that form the outermost layers of the present film and one or more intermediate layers C (C1, C2, ...) is exemplified. More specifically, for example, an A/C/B structure consisting of a surface layer A, a surface layer B, and an intermediate layer C is preferred.
The surface layer A is a surface layer that forms one surface of the present film, and the surface layer B is a surface layer that forms the other surface of the present film.

<本フィルムの好ましい実施形態>
本フィルムの一方の表面を形成する表面層Aは、本フィルムにおいて、例えば、セラミックグリーンシート等が形成される側に位置する表面層である。具体的には、例えば、表面層Aの表面に離型層が形成され、離型層の表面にセラミックグリーンシートが形成される。また、本フィルムの他方の表面を形成する表面層Bは、セラミックグリーンシート等が設けられる側とは反対に位置する表面層である。したがって、例えば、本フィルムは、積層セラミックコンデンサーの製造工程において、「表面層B/表面層A/離型層/セラミックグリーンシート」の積層構成を有する中間品の一部を構成する。同様に、本フィルムは、例えば、「表面層B/中間層C/表面層A/離型層/セラミックグリーンシート」積層構成を有する中間品の一部を構成する。
<Preferred embodiment of the present film>
The surface layer A that forms one surface of the present film is the surface layer located on the side of the present film where, for example, a ceramic green sheet or the like is formed. Specifically, for example, a release layer is formed on the surface of the surface layer A, and a ceramic green sheet is formed on the surface of the release layer. Furthermore, the surface layer B that forms the other surface of the present film is the surface layer located opposite the side where the ceramic green sheet or the like is provided. Therefore, for example, the present film constitutes a part of an intermediate product having a laminated structure of "surface layer B/surface layer A/release layer/ceramic green sheet" in the manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor. Similarly, the present film constitutes a part of an intermediate product having a laminated structure of, for example, "surface layer B/intermediate layer C/surface layer A/release layer/ceramic green sheet."

弾性変形仕事率(ηit)と表面平滑性を高度に両立する方法としては、以下に限定されないが、例えば、粒子の平均粒子径、含有量、モース硬度等を、以下の好ましい範囲に適宜設定する方法が好ましい。
具体的には、本フィルムを構成する表面層Aに粒子を含有させる場合、含有させる粒子の平均粒径は、例えば、弾性変形仕事率(ηit)や表面平滑性の観点から、0.01μm以上が好ましく、より好ましくは0.03μm以上、更により好ましくは0.04μm以上である。他方、1μm以下であることが好ましく、より好ましくは0.8μm以下、更により好ましくは0.6μm以下である。
表面層Bに含有させる粒子の平均粒径は、例えば、滑り性を高める観点や、ロール状に巻き取る際に表面層Bの表面粗さが表面層Aに転写されることを抑制する観点から、0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.15μm以上、更により好ましくは0.2μm以上である。他方、1.5μm以下が好ましく、より好ましくは1.2μm以下、更により好ましくは1μm以下である。
Methods for achieving a high degree of both elastic deformation power (η it ) and surface smoothness are not limited to the following, but a preferred method is to appropriately set the average particle size, content, Mohs hardness, etc. of the particles within the following preferred ranges.
Specifically, when particles are contained in the surface layer A constituting the present film, the average particle size of the particles to be contained is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.03 μm or more, and even more preferably 0.04 μm or more, from the viewpoints of, for example, the elastic deformation power (η it ) and surface smoothness, and is preferably 1 μm or less, more preferably 0.8 μm or less, and even more preferably 0.6 μm or less.
The average particle size of the particles contained in surface layer B is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.15 μm or more, and even more preferably 0.2 μm or more, from the viewpoint of, for example, improving lubricity and suppressing the transfer of the surface roughness of surface layer B to surface layer A when wound into a roll. On the other hand, it is preferably 1.5 μm or less, more preferably 1.2 μm or less, and even more preferably 1 μm or less.

本フィルムを構成する表面層Aに粒子を含有させる場合、粒子の含有量としては、質量割合で、200ppm以上が好ましく、より好ましくは250ppm以上、更により好ましくは300ppm以上である。他方、2800ppm以下が好ましく、より好ましくは2600ppm以下、更により好ましくは2500ppm以下である。
表面層Bに含有させる粒子の含有量としては、質量割合で、2000ppm以上が好ましく、より好ましくは2200ppm以上、更により好ましくは2500ppm以上である。他方、8000ppm以下が好ましく、より好ましくは7500ppm以下、更により好ましくは7000ppm以下である。
When particles are contained in the surface layer A constituting the present film, the particle content is preferably 200 ppm or more, more preferably 250 ppm or more, and even more preferably 300 ppm or more by mass, and is preferably 2800 ppm or less, more preferably 2600 ppm or less, and even more preferably 2500 ppm or less by mass.
The content of the particles contained in the surface layer B is preferably 2000 ppm or more, more preferably 2200 ppm or more, and even more preferably 2500 ppm or more, by mass, and is preferably 8000 ppm or less, more preferably 7500 ppm or less, and even more preferably 7000 ppm or less.

本フィルムを構成する表面層Aに粒子を含有させる場合、弾性変形仕事率(ηit)を向上させる観点から、粒子のモース硬度は8以下であることが好ましく、より好ましくは1~7である。粒子のモース硬度が前記範囲よりも大きくなると、フィルム延伸時の追従性が低下してボイドが発生し、弾性変形仕事率(ηit)を低下させる傾向がある。また、表面層Bに含有させる粒子のモース硬度は8以下であることが好ましく、より好ましくは1~7であり、更により好ましくは2~6、特に好ましくは3~5である。 When particles are contained in the surface layer A constituting the present film, from the viewpoint of improving the elastic deformation power (η it ), the Mohs hardness of the particles is preferably 8 or less, more preferably 1 to 7. If the Mohs hardness of the particles is greater than the above range, the conformability during film stretching tends to decrease, resulting in the generation of voids and a decrease in the elastic deformation power (η it ). Furthermore, the Mohs hardness of the particles contained in the surface layer B is preferably 8 or less, more preferably 1 to 7, even more preferably 2 to 6, and particularly preferably 3 to 5.

また、表面層Aに粒子を含有させる場合、弾性変形仕事率(ηit)を向上させる観点から、粒子の主成分がモース硬度8以下の粒子であることが好ましい。例えば、表面層Aに含まれる全粒子の含有量に対するモース硬度8以下の粒子の含有量の比(表面層Aに含まれるモース硬度8以下の粒子の含有量/表面層Aに含まれる全粒子の含有量)としては、以下に限定はされないが、質量割合で、0.429以上であり、0.5以上であり、好ましくは0.6以上、より好ましくは0.65以上、更により好ましくは0.7以上である。また、前記の比は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、0.75以上、0.78以上、0.8以上等であってもよい。また、例えば、1以下、0.95以下、0.9以下、0.88以下であってもよい。 Furthermore, when particles are contained in the surface layer A, from the viewpoint of improving the elastic deformation power (η it ), it is preferable that the main component of the particles be particles with a Mohs hardness of 8 or less. For example, the ratio of the content of particles with a Mohs hardness of 8 or less to the content of all particles contained in the surface layer A (content of particles with a Mohs hardness of 8 or less contained in the surface layer A/content of all particles contained in the surface layer A) is, but is not limited to, 0.429 or more, 0.5 or more, preferably 0.6 or more, more preferably 0.65 or more, and even more preferably 0.7 or more, in mass ratio. Furthermore, the ratio can be appropriately set within the above range and is not limited to, for example, 0.75 or more, 0.78 or more, 0.8 or more, etc. Alternatively, it may be, for example, 1 or less, 0.95 or less, 0.9 or less, or 0.88 or less.

また、表面層Aにモース硬度8以下の粒子を含有させる場合、弾性変形仕事率(ηit)を向上させる観点から、その含有量は、表面層Aに対して、質量割合で1800ppm未満が好ましい。また、前記の含有量は、前記範囲内にて適宜設定することができ、以下に限定されないが、例えば、1600ppm以下、1500ppm以下、1300ppm以下、1200ppm以下等であってもよく、1000ppm以下であってもよい。また、例えば、200ppm以上、300ppm以上、400ppm以上、500ppm以上等であってもよい。
弾性変形仕事率(ηit)と表面平滑性を高度に両立する観点から、好ましい実施形態としては、例えば、本フィルムを構成する表面層Aに少なくとも1種の粒子を含有させる場合、表面層Aに含まれる粒子の平均粒径を0.4μm以下とし、その粒子の含有量(2種以上の場合は合計含有量)を、表面層Aに対して質量割合で2800ppm以下とすることが好ましく、より好ましくは、表面層Aに含まれる粒子の平均粒径を0.3μm以下とし、その粒子の含有量を、表面層Aに対して2500ppm以下とすることであり、更により好ましくは、表面層Aに含まれる粒子の平均粒径を0.03~0.3μmとし、その粒子の含有量を、表面層Aに対して250~2300ppmとすることである。
Furthermore, when particles having a Mohs hardness of 8 or less are contained in the surface layer A, from the viewpoint of improving the elastic deformation power (η it ), the content thereof is preferably less than 1800 ppm by mass relative to the surface layer A. Furthermore, the content can be appropriately set within the above range and is not limited to the following, for example, 1600 ppm or less, 1500 ppm or less, 1300 ppm or less, 1200 ppm or less, or 1000 ppm or less. Furthermore, the content may be, for example, 200 ppm or more, 300 ppm or more, 400 ppm or more, 500 ppm or more, etc.
From the viewpoint of achieving a high degree of both elastic deformation power (η it ) and surface smoothness, in a preferred embodiment, for example, when at least one type of particle is contained in the surface layer A constituting the present film, it is preferable that the average particle size of the particles contained in the surface layer A is 0.4 μm or less, and the content of the particles (total content if there are two or more types) is 2800 ppm or less by mass relative to the surface layer A, more preferably, the average particle size of the particles contained in the surface layer A is 0.3 μm or less, and the content of the particles is 2500 ppm or less relative to the surface layer A, and even more preferably, the average particle size of the particles contained in the surface layer A is 0.03 to 0.3 μm, and the content of the particles is 250 to 2300 ppm relative to the surface layer A.

また、例えば、本フィルムの表面層に複数種類の粒子を含有させる実施形態においては、粒子の凝集を抑制し、弾性変形仕事率(ηit)を高める観点から、pH7でのゼータ電位の正負が異なる2種以上の粒子を含むことが好ましい。例えば、表面層が粒子(a1)及び粒子(a2)を含み、pH7におけるゼータ電位が、粒子(a1)が正の値であって粒子(a2)が負の値である、又は、粒子(a1)が負の値であって粒子(a2)が正の値である、ことが好ましい。
すなわち、pH7において、粒子(a1)と粒子(a2)の電荷が異なることにより、粒子(a1)と粒子(a2)は電気的に引き付け合い、例えば、粒子(a2)の周囲に粒子(a1)が位置するような形態をとることができる。粒子(a2)に粒子(a1)が電気的に位置した粒子(以下「複合粒子」という場合がある)は、外側に同じ電荷をもつ粒子(a1)が存在するために、複合粒子同士が互いに反発し、複合粒子は凝集せずに分散性が高く維持されため、ボイドの発生を抑制でき、弾性変形仕事率(ηit)を高める傾向があると考えられる。
このような複合粒子においては、外側に位置する粒子(a1)の平均粒径が、内側の粒子(a2)の平均粒径よりも小さいことが好ましい。すなわち、相対的に大きな粒子(a2)の周囲に、相対的に小さな粒子(a1)が覆うように位置する構造となり、複合粒子同士は電気的に反発するため、粒子(a2)の凝集が起こらず、分散性がより向上しやすくなると考えられる。なお、ゼータ電位は、電気泳動光散乱法により測定することができる。
Furthermore, for example, in an embodiment in which the surface layer of the present film contains multiple types of particles, from the viewpoint of suppressing particle aggregation and increasing the elastic deformation power (η it ), it is preferable to contain two or more types of particles having different positive and negative zeta potentials at pH 7. For example, it is preferable that the surface layer contains particles (a1) and particles (a2), and the zeta potential at pH 7 is positive for particles (a1) and negative for particles (a2), or negative for particles (a1) and positive for particles (a2).
That is, at pH 7, due to the difference in electric charges between the particles (a1) and (a2), the particles (a1) and (a2) are electrically attracted to each other, and for example, a form can be taken in which the particle (a1) is located around the particle (a2). In particles in which the particle (a1) is electrically located on the particle (a2) (hereinafter sometimes referred to as "composite particles"), the presence of the particle (a1) with the same electric charge on the outside causes the composite particles to repel each other, and the composite particles do not aggregate and maintain high dispersibility, which is thought to suppress the generation of voids and tend to increase the elastic deformation power (η it ).
In such composite particles, it is preferable that the average particle size of the outer particles (a1) is smaller than the average particle size of the inner particles (a2). That is, a structure is formed in which the relatively small particles (a1) are positioned so as to surround the relatively large particles (a2), and since the composite particles are electrically repelled from each other, aggregation of the particles (a2) does not occur, and dispersibility is thought to be further improved. The zeta potential can be measured by electrophoretic light scattering.

pH7におけるゼータ電位が正の値である粒子としては、例えば、アルミナ、カチオン変性シリカや、3フッ化イッテルビウム、フッ化イットリウム、フッ化ランタン、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化イッテルビウム等の希土類化合物等が挙げられ、これらのうちアルミナが好ましい。pH7におけるゼータ電位が負の値である粒子としては、例えば、シリカ、酸化チタン、セリア、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化クロム、酸化鉄、酸化タングステン等の金属酸化物、シリカ-酸化ジルコニウム、シリカ-酸化チタン、シリカ-酸化チタン-酸化バリウム、シリカ-酸化チタン-酸化ジルコニウム、ホウ珪酸ガラス、アルミノシリケートガラス、フルオロアルミノシリケートガラス等の複合酸化物等の無機粒子、カルボキシ基、スルホン酸基を有する有機粒子等が挙げられ、有機粒子、シリカが好ましい。 Particles with a positive zeta potential at pH 7 include, for example, alumina, cation-modified silica, and rare earth compounds such as ytterbium trifluoride, yttrium fluoride, lanthanum fluoride, yttrium oxide, lanthanum oxide, and ytterbium oxide, with alumina being preferred. Particles with a negative zeta potential at pH 7 include, for example, metal oxides such as silica, titanium oxide, ceria, zirconium oxide, barium oxide, chromium oxide, iron oxide, and tungsten oxide, inorganic particles such as composite oxides of silica-zirconium oxide, silica-titanium oxide, silica-titanium oxide-barium oxide, silica-titanium oxide-zirconium oxide, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and fluoroaluminosilicate glass, and organic particles having carboxyl groups or sulfonic acid groups, with organic particles and silica being preferred.

粒子(a1)及び粒子(a2)のpH7におけるゼータ電位は、粒子そのものが有するゼータ電位であってもよいが、表面処理剤等により粒子表面を改質することによって調整することもできる。表面処理剤としては、例えば、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニル-トリス(β-メトキシエトキシ)シラン、γ-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、κ-メタクリロイルオキシドデシルトリメトキシシラン、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)-エチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピル-トリメトキシシラン、N-β-(アミノエチル)-γ-アミノプロピル-トリメトキシシラン、γ-ウレイドプロピル-トリエトキシシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン等のシランカップリング剤やチタネート系カップリング剤等が挙げられ、所望のゼータ電位となるように処理剤の種類や処理量を適宜調整すればよい。
表面処理剤の表面処理量は、通常、粒子100質量部に対して、1~30質量部であり、3~15質量部が好ましい。
表面処理剤による処理方法は特に限定されるものではなく、公知の方法が採用できる。例えば、粒子と表面処理剤とを適当な溶媒中でボールミル等を用いて分散混合し、エバポレーターや風乾で乾燥した後、50~150℃に加熱する方法、粒子と表面処理剤とをアルコール等の溶剤中で数時間程度加熱還留する方法、粒子表面に表面処理剤をグラフト重合させる方法等が挙げられる。
The zeta potential of the particles (a1) and (a2) at pH 7 may be the zeta potential of the particles themselves, or may be adjusted by modifying the particle surface with a surface treatment agent, etc. Examples of the surface treatment agent include silane coupling agents such as vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyl-tris(β-methoxyethoxy)silane, γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, κ-methacryloyloxydodecyltrimethoxysilane, β-(3,4-epoxycyclohexyl)-ethyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl)-γ-aminopropyl-trimethoxysilane, γ-ureidopropyl-triethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, and methyltriethoxysilane, and titanate-based coupling agents. The type and amount of the treatment agent may be appropriately adjusted to achieve the desired zeta potential.
The amount of the surface treatment agent used for surface treatment is usually 1 to 30 parts by mass, preferably 3 to 15 parts by mass, per 100 parts by mass of the particles.
The method of treatment with the surface treatment agent is not particularly limited, and known methods can be employed, such as a method of dispersing and mixing the particles and the surface treatment agent in an appropriate solvent using a ball mill or the like, drying in an evaporator or by air drying, and then heating to 50 to 150°C, a method of heating the particles and the surface treatment agent in a solvent such as alcohol for several hours under reflux, and a method of graft-polymerizing the surface treatment agent onto the particle surfaces.

粒子(a1)の平均粒径としては、0.01μm以上が好ましく、より好ましくは0.02μm以上、更に好ましくは0.03μm以上、より更に好ましくは0.035μm以上、特に好ましくは0.04μm以上である。他方、1μm以下が好ましく、より好ましくは0.8μm以下、更に好ましくは0.5μm以下、より更に好ましくは0.3μm以下、特に好ましくは0.1μm以下である。 The average particle size of particles (a1) is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.02 μm or more, even more preferably 0.03 μm or more, still more preferably 0.035 μm or more, and particularly preferably 0.04 μm or more. On the other hand, it is preferably 1 μm or less, more preferably 0.8 μm or less, even more preferably 0.5 μm or less, still more preferably 0.3 μm or less, and particularly preferably 0.1 μm or less.

また、粒子(a1)の含有量は、分散性の観点から、例えば、表面層Aに対して、質量割合で、50ppm以上であることが好ましく、100ppm以上であることがより好ましく、更により好ましくは150ppm以上、特に好ましくは180ppm以上、殊に好ましくは200ppm以上、更に殊に好ましくは250ppm以上である。他方、5000ppm以下であることが好ましく、より好ましくは3000ppm以下、更により好ましくは1000ppm以下、特に好ましくは800ppm以下、殊に好ましくは500ppm以下である。
また、粒子(a1)の含有量は、滑り性の観点から、例えば、表面層Bに対して、質量割合で、500ppm以上であることが好ましく、より好ましくは1000ppm以上、更により好ましくは2000ppm以上である。他方、5000ppm以下であることが好ましく、より好ましくは4500ppm以下、更により好ましくは4000ppm以下である。
From the viewpoint of dispersibility, the content of the particles (a1) is, for example, preferably 50 ppm or more, more preferably 100 ppm or more, even more preferably 150 ppm or more, particularly preferably 180 ppm or more, especially preferably 200 ppm or more, and even more especially preferably 250 ppm or more, in terms of mass ratio relative to the surface layer A. On the other hand, it is preferably 5000 ppm or less, more preferably 3000 ppm or less, even more preferably 1000 ppm or less, especially preferably 800 ppm or less, and especially preferably 500 ppm or less.
From the viewpoint of lubricity, the content of the particles (a1) is, for example, preferably 500 ppm or more, more preferably 1000 ppm or more, and even more preferably 2000 ppm or more, in terms of mass ratio relative to the surface layer B. On the other hand, it is preferably 5000 ppm or less, more preferably 4500 ppm or less, and even more preferably 4000 ppm or less.

粒子(a2)の平均粒径は、0.05μm以上が好ましく、より好ましくは0.07μm以上、更に好ましくは0.08μm以上、より更に好ましくは0.1μm以上である。他方、1μm以下が好ましく、より好ましくは0.8μm以下、更に好ましくは0.6μm以下、より更に好ましくは0.5μm以下である。 The average particle size of particles (a2) is preferably 0.05 μm or more, more preferably 0.07 μm or more, even more preferably 0.08 μm or more, and even more preferably 0.1 μm or more. On the other hand, it is preferably 1 μm or less, more preferably 0.8 μm or less, even more preferably 0.6 μm or less, and even more preferably 0.5 μm or less.

粒子(a2)の含有量は、表面層Aに対して、表面平滑性の観点から、質量割合で100ppm以上が好ましく、250ppm以上がより好ましく、更により好ましくは500ppm以上、特に好ましくは700ppm以上である。他方、例えば8000ppm以下が好ましく、5000ppm以下がより好ましく、3000ppm以下が更により好ましく、特に好ましくは2500ppm以下、殊に好ましくは2000ppm以下である。
粒子(a2)の含有量は、表面層Bに対して、滑り性の観点から、質量割合で1000ppm以上が好ましく、より好ましくは1500ppm以上、更により好ましくは2000ppm以上、特に好ましくは2500ppm以上、殊に好ましくは3000ppm以上である。他方、8000ppm以下が好ましく、より好ましくは7000ppm以下、更により好ましくは6000ppm以下、特に好ましくは5500ppm以下、殊に好ましくは5000ppm以下である。
From the viewpoint of surface smoothness, the content of particles (a2) is preferably 100 ppm or more, more preferably 250 ppm or more, even more preferably 500 ppm or more, and particularly preferably 700 ppm or more, by mass, relative to the surface layer A. On the other hand, for example, it is preferably 8000 ppm or less, more preferably 5000 ppm or less, even more preferably 3000 ppm or less, particularly preferably 2500 ppm or less, and especially preferably 2000 ppm or less.
From the viewpoint of slipperiness, the content of particles (a2) is preferably 1000 ppm or more, more preferably 1500 ppm or more, even more preferably 2000 ppm or more, particularly preferably 2500 ppm or more, and especially preferably 3000 ppm or more, by mass, relative to the surface layer B. On the other hand, it is preferably 8000 ppm or less, more preferably 7000 ppm or less, even more preferably 6000 ppm or less, particularly preferably 5500 ppm or less, and especially preferably 5000 ppm or less.

更に、粒子(a1)の含有量と、粒子(a2)の含有量との関係は、粒子(a2)の含有量が、粒子(a1)の含有量以上であることが好ましい。係る関係とすることで、粒子(a2)等の他の粒子によって表面層Aの粗さを調整しながら、粒子(a1)による他の粒子の(再)凝集抑制効果が十分に発揮される。 Furthermore, the relationship between the content of particles (a1) and the content of particles (a2) is preferably such that the content of particles (a2) is equal to or greater than the content of particles (a1). By achieving such a relationship, the roughness of surface layer A can be adjusted by other particles such as particles (a2), while particles (a1) can fully exert their effect of inhibiting (re-)agglomeration of other particles.

また、粒子(a1)及び粒子(a2)の合計含有量は、含有させる層に対して、質量割合で、300~10000ppmであることが好ましい。合計含有量が、前記範囲であれば、フィルム表面に微細な凹凸が形成され、表面層Aの表面が前記(1)及び(2)の算術平均高さ(Sa)及び最大山高さ(Sp)を満足しやすくなる。
本フィルムにおいて、表面層Aにおける粒子(a1)及び粒子(a2)の合計含有量は、質量割合で400ppm以上が好ましく、より好ましくは800ppm以上である。他方、3000ppm以下が好ましく、2000ppm以下が更に好ましい。
本フィルムにおいて、表面層Bにおける粒子(a1)及び粒子(a2)の合計含有量は、質量割合で3000ppm以上が好ましく、4000ppm以上がより好ましく、5000ppm以上が更に好ましい。他方、10000ppm以下が好ましく、9500ppm以下がより好ましく、9000ppm以下が更により好ましい。
なお、本フィルムは、表面層A及び表面層Bの両方に各々粒子(a1)及び粒子(a2)を含有してもよいが、例えば、表面層Aに粒子(a1)及び粒子(a2)を含有し、表面層Bには粒子(a2)のみを含有し、粒子(a1)を含有しなくてもよい。
The total content of the particles (a1) and the particles (a2) is preferably 300 to 10,000 ppm by mass relative to the layer they are contained in. If the total content is within this range, fine irregularities are formed on the film surface, and the surface of the surface layer A tends to satisfy the arithmetic mean height (Sa) and maximum peak height (Sp) of (1) and (2) above.
In the present film, the total content of particles (a1) and particles (a2) in the surface layer A is preferably 400 ppm or more, more preferably 800 ppm or more, by mass, and is preferably 3000 ppm or less, more preferably 2000 ppm or less.
In the present film, the total content of particles (a1) and particles (a2) in the surface layer B is preferably 3,000 ppm or more, more preferably 4,000 ppm or more, and even more preferably 5,000 ppm or more, by mass, and is preferably 10,000 ppm or less, more preferably 9,500 ppm or less, and even more preferably 9,000 ppm or less.
The present film may contain particles (a1) and particles (a2) in both the surface layer A and the surface layer B, respectively. Alternatively, for example, the surface layer A may contain particles (a1) and particles (a2), and the surface layer B may contain only particles (a2) but not particles (a1).

また、粒子(a1)としては、例えば、アルミナ粒子を用い、粒子(a2)としてはアルミナ粒子以外の粒子(例えば、シリカ、有機粒子など)を用いることが好ましい。アルミナ粒子と、アルミナ粒子以外の粒子とを併用することにより、粒子同士の凝集に起因するボイドの発生を抑制することができ、弾性変形仕事率(ηit)を効果的に高めることができる。 It is also preferable to use, for example, alumina particles as the particles (a1) and particles other than alumina particles (for example, silica, organic particles, etc.) as the particles (a2). By using alumina particles in combination with particles other than alumina particles, it is possible to suppress the generation of voids due to aggregation of particles, and it is possible to effectively increase the elastic deformation power (η it ).

なお、例えば、表面層Aに対して、粒子(a2)の含有量が所定量を超えると、粒子(a2)同士が凝集し易くなる傾向が高まり、粒子(a2)同士が凝集に起因してボイドが発生し、弾性変形仕事率(ηit)が低下する等の影響を及ぼす場合があるため、所定量を超える粒子(a2)を用いる場合には、前記粒子(a1)としてアルミナ粒子を併用することが好ましい。具体的には、以下に限定されないが、例えば、表面層Aに対して、粒子(a2)としてモース硬度7以下の粒子(例えば、シリカ、有機粒子など)を300ppm以上、例えば500~3000ppm含有させる場合において、粒子(a1)としてアルミナ粒子を併用することが好ましく、また、かかるアルミナ粒子の含有量を、表面層Aに対して、50~5000ppmの範囲で併用することがより好ましい。 Note that, for example, if the content of particles (a2) in the surface layer A exceeds a predetermined amount, the particles (a2) tend to aggregate more easily, which may result in the generation of voids due to the aggregation of the particles (a2), resulting in a decrease in the elastic deformation power (η it ), and therefore, when using particles (a2) in an amount exceeding a predetermined amount, it is preferable to use alumina particles in combination as the particles (a1). Specifically, but not limited to, for example, when the surface layer A contains 300 ppm or more, for example, 500 to 3000 ppm, of particles (a2) having a Mohs hardness of 7 or less (e.g., silica, organic particles, etc.), it is preferable to use alumina particles in combination as the particles (a1), and more preferably, the content of such alumina particles in combination is in the range of 50 to 5000 ppm relative to the surface layer A.

粒子(a1)としてアルミナ粒子を用いる場合、併用する粒子(a2)としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン及び酸化チタン等の無機粒子、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン-アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子等の架橋高分子並びにシュウ酸カルシウム及びイオン交換樹脂等の有機粒子が挙げられる。これらの中でも、有機粒子、シリカが好ましい。なお、粒子(a1)としてはアルミナ粒子を用い、粒子(a2)としてはアルミナ粒子以外の粒子(例えば、有機粒子)を用いる場合においても、平均粒径、形状、含有量等の好ましい範囲は前記と同様である。 When alumina particles are used as particles (a1), examples of particles (a2) to be used in combination include inorganic particles such as silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, calcium phosphate, magnesium phosphate, kaolin, and titanium oxide; crosslinked polymers such as crosslinked silicone resin particles, crosslinked acrylic resin particles, crosslinked styrene-acrylic resin particles, and crosslinked polyester particles; and organic particles such as calcium oxalate and ion exchange resins. Among these, organic particles and silica are preferred. Note that even when alumina particles are used as particles (a1) and particles other than alumina particles (e.g., organic particles) are used as particles (a2), the preferred ranges for average particle size, shape, content, and the like are the same as those described above.

なお、アルミナ粒子の製造方法としては、特に限定されないが、例えば、熱分解法、すなわち無水塩化アルミニウムを原料として火焔加水分解させる方法、或いはアンモニウム明礬熱分解法、すなわち水酸化アルミニウムを原料として硫酸と反応させて硫酸アルミニウムとした後、硫酸アンモニウムと反応させてアンモニウム明礬として焼成する方法等を挙げることができる。 The method for producing alumina particles is not particularly limited, but examples include thermal decomposition, i.e., a method in which anhydrous aluminum chloride is used as a raw material and subjected to flame hydrolysis, or ammonium alum thermal decomposition, i.e., a method in which aluminum hydroxide is used as a raw material and reacted with sulfuric acid to produce aluminum sulfate, which is then reacted with ammonium sulfate to produce ammonium alum, which is then calcined.

本フィルムを構成する表面層Aに結晶核剤を含有させる場合、結晶核剤の含有量としては、質量割合で、2000ppm以上が好ましく、3000ppm以上がより好ましく、5000ppm以上が更に好ましく、6000ppm以上がより更に好ましい。また、28000ppm以下が好ましく、25000ppm以下が更に好ましく、20000ppm以下がより更に好ましい。 When a nucleating agent is contained in the surface layer A constituting the present film, the content of the nucleating agent is preferably 2,000 ppm or more by mass, more preferably 3,000 ppm or more, even more preferably 5,000 ppm or more, and even more preferably 6,000 ppm or more. It is also preferably 28,000 ppm or less, more preferably 25,000 ppm or less, and even more preferably 20,000 ppm or less.

本フィルムにおいて中間層Cを形成する場合、中間層Cには、コストダウンの観点から、粒子を実質的に含まないことが好ましい。なお、「実質的に含有しない」とは、意図して含有しないという意味であり、具体的には、粒子の含有量が質量割合で200ppm以下、より好ましくは150ppm以下のことを意味する。 When an intermediate layer C is formed in this film, it is preferable that the intermediate layer C be substantially free of particles from the perspective of reducing costs. Note that "substantially free of particles" means that particles are not intentionally included, and specifically means that the particle content is 200 ppm or less, more preferably 150 ppm or less, by mass.

また、本フィルムの中間層Cは、CO2排出量を削減し、環境への負荷低減に寄与する観点から、再生ポリエステル原料を含有してもよい。再生ポリエステル原料の含有量は、中間層Cに対して40質量%以上含有することが好ましく、より好ましくは50質量%以上である。なお、再生ポリエステル原料の含有量は、70質量%以上、90質量%以上、100質量%であってもよい。 Furthermore, the intermediate layer C of the present film may contain recycled polyester raw materials from the viewpoint of reducing CO2 emissions and contributing to a reduction in the burden on the environment. The content of the recycled polyester raw materials is preferably 40% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, relative to the intermediate layer C. The content of the recycled polyester raw materials may be 70% by mass or more, 90% by mass or more, or 100% by mass.

本フィルムの総厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、機械的強度、ハンドリング性及び生産性などの観点から、好ましくは10μm以上、より好ましくは15μm以上、更に好ましくは18μm以上、特に好ましくは19μm以上である。また、好ましくは150μm以下、より好ましくは100μm以下、更に好ましくは80μm以下、特に好ましくは50μm以下、殊に好ましくは38μm以下、最も好ましくは32μm以下である。本フィルムの総厚みは、前記範囲において適宜設定することができ、例えば、30μm以下、28μm以下であってもよい。 The total thickness of the present film is not particularly limited as long as it is within the range that allows it to be formed into a film, but from the viewpoints of mechanical strength, handleability, productivity, etc., it is preferably 10 μm or more, more preferably 15 μm or more, even more preferably 18 μm or more, and particularly preferably 19 μm or more. It is also preferably 150 μm or less, more preferably 100 μm or less, even more preferably 80 μm or less, particularly preferably 50 μm or less, especially preferably 38 μm or less, and most preferably 32 μm or less. The total thickness of the present film can be set appropriately within the above range, and may be, for example, 30 μm or less, or 28 μm or less.

本フィルムが、表面層A、中間層C、表面層Bをこの順に備える3層構造の場合、前記中間層Cの厚みは前記各表面層Aの厚みよりも厚いことが好ましい。 When the present film has a three-layer structure comprising a surface layer A, an intermediate layer C, and a surface layer B in this order, it is preferable that the thickness of the intermediate layer C is greater than the thickness of each of the surface layers A.

また、本フィルムが、表面層A、中間層C、表面層Bをこの順に備える3層構造の場合、前記表面層Aの厚みは前記各表面層Bの厚みよりも厚いことが好ましい。 Furthermore, when the present film has a three-layer structure having a surface layer A, an intermediate layer C, and a surface layer B in this order, it is preferable that the thickness of the surface layer A is thicker than the thickness of each of the surface layers B.

本フィルムが、表面層A、中間層C、表面層Bをこの順に備える3層構造の場合、前記各層の厚みの比(表面層Aの厚み:中間層Cの厚み:表面層Bの厚み)が、1~10:10~35:1~5が好ましく、より好ましくは2~8:10~32:1~3、更により好ましくは3~6:10~30:1~2である。 When the present film has a three-layer structure comprising surface layer A, intermediate layer C, and surface layer B in this order, the ratio of the thicknesses of the layers (thickness of surface layer A: thickness of intermediate layer C: thickness of surface layer B) is preferably 1-10:10-35:1-5, more preferably 2-8:10-32:1-3, and even more preferably 3-6:10-30:1-2.

本フィルムの表面層Aの厚みは、好ましくは0.8μm以上、より好ましくは1μm以上、更に好ましくは1.5μm以上、特に好ましくは2μm以上、最も好ましくは2.5μm以上であり、好ましくは15μm以下、より好ましくは13μm以下、更に好ましくは11μm以下、特に好ましくは10μm以下である。
本フィルムの表面層Bの厚みは、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは0.8μm以上、更に好ましくは1μm以上、特に好ましくは1.2μm以上であり、好ましくは10μm以下、より好ましくは8μm以下、更に好ましくは6μm以下、特に好ましくは4μm以下である。
The thickness of the surface layer A of the present film is preferably 0.8 μm or more, more preferably 1 μm or more, even more preferably 1.5 μm or more, particularly preferably 2 μm or more, and most preferably 2.5 μm or more, and is preferably 15 μm or less, more preferably 13 μm or less, even more preferably 11 μm or less, and particularly preferably 10 μm or less.
The thickness of the surface layer B of the present film is preferably 0.5 μm or more, more preferably 0.8 μm or more, even more preferably 1 μm or more, particularly preferably 1.2 μm or more, and is preferably 10 μm or less, more preferably 8 μm or less, even more preferably 6 μm or less, particularly preferably 4 μm or less.

本フィルムの中間層Cの厚みは、好ましくは8μm以上、より好ましくは10μm以上、更に好ましくは12μm以上、特に好ましくは14μm以上であり、好ましくは35μm以下、より好ましくは30μm以下、更に好ましくは28μm以下、特に好ましくは26μm以下である。 The thickness of the intermediate layer C of this film is preferably 8 μm or more, more preferably 10 μm or more, even more preferably 12 μm or more, and particularly preferably 14 μm or more, and is preferably 35 μm or less, more preferably 30 μm or less, even more preferably 28 μm or less, and particularly preferably 26 μm or less.

<本フィルムの製造方法>
次に、本フィルムの製造例について具体的に説明するが、以下の製造例に何ら限定されるものではない。例えば、二軸延伸フィルムを製造する場合、先に述べたポリエステル原料の乾燥したペレットを、押出機などの溶融押出装置を用いてダイから溶融シートとして押し出し、回転冷却ドラムなどの冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと冷却ロールとの密着性を高めることが好ましく、静電印加密着法及び/又は液体塗工密着法が好ましく採用される。
<Manufacturing method of this film>
Next, specific examples of the production of the present film will be described, but the present invention is not limited to these examples. For example, when producing a biaxially stretched film, a preferred method is to extrude dried pellets of the polyester raw material described above as a molten sheet from a die using a melt extrusion device such as an extruder, and then cool and solidify the molten sheet on a cooling roll such as a rotating cooling drum to obtain an unstretched sheet. In this case, it is preferable to increase the adhesion between the sheet and the cooling roll to improve the flatness of the sheet, and an electrostatic application adhesion method and/or a liquid coating adhesion method are preferably used.

次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロール又はテンター方式の延伸機により延伸する(一次延伸)。延伸温度は、通常70~120℃、好ましくは80~110℃であり、延伸倍率は通常2.5~7倍、好ましくは3~6倍である。
次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸するが、その場合、延伸温度は通常70~170℃であり、延伸倍率は通常3~7倍、好ましくは3.5~6倍である。
そして、引き続き、通常180~270℃の温度で、緊張下又は30%以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸延伸フィルムを得る。この熱処理は、熱固定工程とも呼ばれる。熱処理は、温度の異なる2段以上の工程で行ってもよい。熱固定工程における熱処理時間は、好ましくは1~20秒間、より好ましくは2~16秒間、更に好ましくは3~13秒間、更により好ましくは4~10秒間である。
また、熱処理の後に冷却ゾーンにて、0~20%、0.5~15%、好ましくは1~10%。より好ましくは1.5~7%の弛緩下で、冷却を行ってもよい。冷却工程における冷却温度は、フィルムを構成するポリエステルのガラス転移温度(Tg)より高い温度であることが好ましく、より具体的には、100~160℃の範囲であることが好ましい。この冷却は、温度の異なる2段以上の工程で行ってもよい。
前記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ前記範囲となるように行うのが好ましい。
The unstretched sheet is then biaxially stretched. In this case, the unstretched sheet is first stretched in one direction using a roll or tenter type stretching machine (primary stretching). The stretching temperature is usually 70 to 120°C, preferably 80 to 110°C, and the stretching ratio is usually 2.5 to 7 times, preferably 3 to 6 times.
Next, the film is stretched in a direction perpendicular to the first stretching direction. In this case, the stretching temperature is usually 70 to 170° C., and the stretching ratio is usually 3 to 7 times, preferably 3.5 to 6 times.
Subsequently, the film is heat-treated under tension or relaxation of 30% or less at a temperature of 180 to 270°C to obtain a biaxially stretched film. This heat treatment is also called a heat-setting step. The heat treatment may be performed in two or more steps at different temperatures. The heat treatment time in the heat-setting step is preferably 1 to 20 seconds, more preferably 2 to 16 seconds, even more preferably 3 to 13 seconds, and even more preferably 4 to 10 seconds.
After the heat treatment, the film may be cooled in a cooling zone under a relaxation of 0 to 20%, 0.5 to 15%, preferably 1 to 10%, and more preferably 1.5 to 7%. The cooling temperature in the cooling step is preferably higher than the glass transition temperature (Tg) of the polyester constituting the film, more specifically, preferably in the range of 100 to 160°C. This cooling may be performed in two or more steps at different temperatures.
In the stretching, a method of stretching in one direction in two or more stages can be adopted, in which case it is preferable to perform the stretching so that the final stretching ratios in both directions are within the above ranges.

また、本フィルムの製造に同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は、前記の未延伸シートを通常70~120℃、好ましくは80~110℃で温度コントロールされた状態で機械方向(縦方向)及び幅方向(横方向)に同時に延伸し配向させる方法であり、延伸倍率としては、面積倍率で好ましくは4~50倍、より好ましくは7~35倍、更に好ましくは10~25倍である。
そして、引き続き、通常170~250℃の温度で、緊張下又は30%以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式及びリニアー駆動方式等、従来公知の延伸方式を採用することができる。
The present film can also be produced by a simultaneous biaxial stretching method, in which the unstretched sheet is simultaneously stretched and oriented in the machine direction (longitudinal direction) and width direction (transverse direction) under temperature control, usually at 70 to 120°C, preferably 80 to 110°C, with the area stretching ratio being preferably 4 to 50 times, more preferably 7 to 35 times, and even more preferably 10 to 25 times.
Subsequently, the film is subjected to a heat treatment under tension or relaxation of 30% or less at a temperature of typically 170 to 250°C to obtain a stretched and oriented film. Regarding the simultaneous biaxial stretching device employing the above-mentioned stretching method, any conventionally known stretching method such as a screw method, a pantograph method, or a linear drive method can be employed.

なお、本フィルムの製造方法においては、一次延伸(縦延伸)における温度、熱固定工程における温度、ロールの周速度、弛緩率を主要な条件として調整することにより、弾性変形仕事率(ηit)及び加熱処理後の熱収縮率の両方を所望の範囲に制御することが容易になる。
すなわち、ポリエステルフィルムの製造工程中の一次延伸(縦延伸)における温度、熱固定工程における温度、延伸ロールの周速度等は弾性変形仕事率(ηit)を制御する主要な要因であり、これらを適宜調整することによって弾性変形仕事率(ηit)を向上させることができる一方、加熱処理後の収縮率が悪化する傾向があるため、更に、例えば弛緩率等を適宜調整することにより、高い弾性変形仕事率(ηit)と優れた耐熱変形性とを両立できるポリエステルフィルムを製造することが容易になる。例えば、以下に限定されないが、一次延伸(縦延伸)における温度を80~90℃、78~88℃等の比較的低い温度条件に設定することが好ましく、また、熱固定工程における温度条件を200~240℃、200~230℃等の温度条件に設定することが好ましく、熱固定工程における熱処理時間を1~20秒間、2~16秒間、3~13秒間、4~10秒間等に設定することが好ましく、更に、冷却工程における弛緩率を例えば0~20%、0.5~15%、1~10%、1.5~8%等の範囲で適宜設定することにより、弾性変形仕事率(ηit)及び加熱処理後の熱収縮率の両方を所望の範囲に制御することが容易になる。
In addition, in the manufacturing method of this film, by adjusting the temperature in the first stretching (longitudinal stretching), the temperature in the heat setting process, the peripheral speed of the roll, and the relaxation rate as main conditions, it becomes easy to control both the elastic deformation power (η it ) and the thermal shrinkage rate after heat treatment within the desired range.
In other words, the temperature during the primary stretching (longitudinal stretching) during the polyester film manufacturing process, the temperature during the heat-setting process, the peripheral speed of the stretching roll, etc. are the main factors that control the elastic deformation power (η it ).By appropriately adjusting these, the elastic deformation power (η it ) can be improved, but the shrinkage rate after heat treatment tends to deteriorate.Therefore, by further appropriately adjusting, for example, the relaxation rate, etc., it becomes easier to produce a polyester film that can achieve both a high elastic deformation power (η it ) and excellent heat distortion resistance. For example, but not limited to, it is preferable to set the temperature in the primary stretching (longitudinal stretching) to a relatively low temperature condition such as 80 to 90°C, 78 to 88°C, etc., and it is also preferable to set the temperature condition in the heat setting step to a temperature condition such as 200 to 240°C, 200 to 230°C, etc., and it is preferable to set the heat treatment time in the heat setting step to 1 to 20 seconds, 2 to 16 seconds, 3 to 13 seconds, 4 to 10 seconds, etc., and further, by appropriately setting the relaxation rate in the cooling step to, for example, 0 to 20%, 0.5 to 15%, 1 to 10%, 1.5 to 8%, etc., it becomes easy to control both the elastic deformation power (η it ) and the heat shrinkage rate after heat treatment within the desired range.

なお、前記製造方法においては、通常、円柱状又は円筒状の巻芯を用いてロール状に巻き取る工程を有する。前記巻芯としては、紙製管、金属製管、樹脂製管等の管が挙げられるが、樹脂製管が好ましい。また、巻芯の内径や幅は、特に限定されないが、内径は通常3~20インチの範囲内であり、4~8インチが好ましい。
なお、前記によって得られたフィルムロールを構成するポリエステルフィルムの長さ及び幅は、以下に限定されないが、例えば、長さ10000m以上が好ましい。
The manufacturing method typically includes a step of winding a cylindrical or cylindrical core into a roll. Examples of the core include paper tubes, metal tubes, and resin tubes, with resin tubes being preferred. The inner diameter and width of the core are not particularly limited, but the inner diameter is typically within the range of 3 to 20 inches, with 4 to 8 inches being preferred.
The length and width of the polyester film constituting the film roll obtained as described above are not limited to the following, but for example, a length of 10,000 m or more is preferred.

本フィルムは、無延伸フィルム(シート)であっても、延伸フィルムであってもよいが、一軸方向又は二軸方向に延伸されたフィルムであることが好ましく、その中でも、力学特性のバランスや平面性に優れる点で、二軸延伸フィルムであることが好ましい。なお、二軸延伸フィルムとは、フィルムの縦方向(MD方向)及び横方向(TD方向)の屈折率が厚み方向の屈折率よりも高い状態のフィルムを意味し、通常、フィルムの縦方向及び横方向に延伸することにより得られるものである。 This film may be an unstretched film (sheet) or a stretched film, but is preferably a uniaxially or biaxially stretched film, and of these, a biaxially stretched film is preferred due to its excellent balance of mechanical properties and flatness. A biaxially stretched film is a film in which the refractive index in the machine direction (MD) and cross direction (TD) of the film is higher than the refractive index in the thickness direction, and is typically obtained by stretching the film in both the machine direction and cross direction.

<<離型層>>
本フィルムは、少なくとも片面に離型層を有する形態で使用することが好ましい。当該離型層は、例えば、表面層Aを、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、表面層Aの表面上に積層されていることが好ましい。
<<Release layer>>
The present film is preferably used in a form having a release layer on at least one side thereof. For example, when the surface layer A is used on the side on which the ceramic green sheet is laminated, the release layer is preferably laminated on the surface of the surface layer A.

前記離型層は、直接又は他の層を介してポリエステルフィルムに積層される。他の層としては、例えば、本フィルムへの密着性を改良するための易接着コート層の他、帯電防止層やブロッキング防止層等を挙げることができる。 The release layer is laminated to the polyester film directly or via another layer. Examples of other layers include an easy-adhesion coating layer to improve adhesion to the film, an antistatic layer, an antiblocking layer, etc.

前記離型層は、離型剤を含む離型剤組成物から形成される。良好な離型性能を得る観点から、離型剤組成物はシリコーン樹脂を含有することが好ましい。具体的には、硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプや、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ、或いはフルオロシリコーン樹脂等を含有することが好ましい。中でも、前記離型層が、硬化型シリコーン樹脂を含有することがより好ましい。 The release layer is formed from a release agent composition containing a release agent. From the viewpoint of obtaining good release performance, the release agent composition preferably contains a silicone resin. Specifically, it is preferable that the release agent composition contains a type whose main component is a curable silicone resin, a modified silicone type obtained by graft polymerization with an organic resin such as a urethane resin, an epoxy resin, or an alkyd resin, or a fluorosilicone resin. Among these, it is more preferable that the release layer contains a curable silicone resin.

前記硬化型シリコーン樹脂としては、付加型、縮合型等の熱硬化型や紫外線硬化型等の電子線硬化型等、既存のいずれの硬化反応タイプでも用いることができ、また複数種類の硬化型シリコーン樹脂を併用して使用してもよい。また、離型層を形成する際の硬化型シリコーン樹脂の塗工形態にも特に制限はなく、有機溶剤に溶解している形態、水系エマルジョンの形態、無溶剤の形態のいずれであってもよい。 The curable silicone resin can be any of the existing curing reaction types, such as heat-curable types (addition type, condensation type, etc.) or electron beam-curable types (UV-curable type, etc.), and multiple types of curable silicone resins can be used in combination. There are also no particular restrictions on the form in which the curable silicone resin is applied when forming the release layer; it can be dissolved in an organic solvent, in the form of an aqueous emulsion, or in a solvent-free form.

前記離型層を形成する離型剤組成物には、その他にも、必要に応じてバインダー、消泡剤、塗工性改良剤、増粘剤、無機粒子、有機粒子、有機系潤滑剤、帯電防止剤、導電剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、発泡剤、染料及び顔料等が含有されてもよい。 The release agent composition that forms the release layer may also contain binders, antifoaming agents, coatability improvers, thickeners, inorganic particles, organic particles, organic lubricants, antistatic agents, conductive agents, UV absorbers, antioxidants, foaming agents, dyes, pigments, and the like, as needed.

離型層の形成は、本フィルムに離型剤組成物をコーティングすることにより設けられる。コーティング方法としては、フィルム製膜工程内で行うインラインコーティング、或いは、一旦製造したフィルム上に系外で塗工する、いわゆるオフラインコーティングのいずれを採用してもよい。 The release layer is formed by coating the film with a release agent composition. The coating method may be either inline coating, which is performed during the film production process, or so-called off-line coating, in which the composition is applied outside the system onto a film that has already been produced.

本フィルム上に離型層を設ける方法としては、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を挙げることができる。 Methods for providing a release layer on this film include conventional coating methods such as reverse gravure coating, direct gravure coating, roll coating, die coating, bar coating, and curtain coating.

離型層を形成する際の硬化条件に関しては、特に限定されるわけではなく、オフラインコーティングにより離型層を設ける場合、通常、80℃以上で10秒間以上、好ましくは100~200℃で3~40秒間、より好ましくは120~180℃で3~40秒間を目安として熱処理を行うのがよい。 There are no particular restrictions on the curing conditions when forming the release layer. When forming the release layer by offline coating, the heat treatment is usually carried out at 80°C or higher for 10 seconds or more, preferably at 100-200°C for 3-40 seconds, and more preferably at 120-180°C for 3-40 seconds.

また、必要に応じて熱処理と、紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。なお、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、公知の装置、エネルギー源を用いることができる。 If necessary, heat treatment may be combined with irradiation with active energy rays such as ultraviolet light. Known devices and energy sources can be used as the energy source for curing by irradiation with active energy rays.

離型層の塗工量(乾燥後)は塗工性の面から、通常、0.005~5g/m2、好ましくは0.005~1g/m2、より好ましくは0.005~0.1g/m2の範囲である。塗工量(乾燥後)が0.005g/m2以上であると塗工性が良く安定性が良好となり、均一な塗膜を得やすい。一方、5g/m2以下であると、離型層自体の塗膜密着性、硬化性等が低下することがない。なお、塗工量は、塗工した時間あたりの液質量(乾燥前)、塗工液不揮発分濃度、塗工幅、延伸倍率、ライン速度等から計算で求める。 From the viewpoint of coatability, the coating weight (after drying) of the release layer is usually in the range of 0.005 to 5 g/m 2 , preferably 0.005 to 1 g/m 2 , and more preferably 0.005 to 0.1 g/m 2 . When the coating weight (after drying) is 0.005 g/m 2 or more, good coatability and stability are achieved, and a uniform coating film is easily obtained. On the other hand, when it is 5 g/m 2 or less, the coating film adhesion, curing properties, etc. of the release layer itself are not reduced. The coating weight is calculated from the liquid mass per coating time (before drying), the nonvolatile content of the coating liquid, the coating width, the stretching ratio, the line speed, etc.

<<用途>>
本フィルムは、例えば、各種の離型用途に好適に用いることができる。例えば、ドライフィルムレジスト(DFR)用、多層回路基板用、積層セラミックコンデンサーのセラミックグリーンシート製造用等の各種離型・工程用途として使用できる。本フィルムは、離型用途、工程用途では、例えば、支持体として使用され、例えば、支持体上にセラミックスラリー等の様々な材料が塗工、積層等される。
<<Applications>>
The present film can be suitably used, for example, in various mold release applications. For example, it can be used for various mold release and process applications, such as for dry film resist (DFR), for multilayer circuit boards, and for producing ceramic green sheets for multilayer ceramic capacitors. In mold release and process applications, the present film is used, for example, as a support, onto which various materials such as ceramic slurries are coated or laminated.

とりわけ、本フィルムは、前述したように、ピンホールなどの表面欠陥の発生を効果的に抑えられると共に、積層セラミックコンデンサーの製造工程において、セラミックグリーンシートの剥離不良が発生し難い点において非常に優れている上に、例えば、離型層やセラミックグリーンシートを形成する際に、塗工斑や皺も発生し難いため、セラミックグリーンシートの支持体として特に好適に用いることができる。すなわち、本フィルムの好ましい実施形態としては、本フィルムの、積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用が挙げられる。 In particular, as mentioned above, this film effectively suppresses the occurrence of surface defects such as pinholes, and is extremely excellent in that it is less likely to cause peeling problems for ceramic green sheets during the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors. Furthermore, it is also less likely to cause coating spots or wrinkles when forming release layers or ceramic green sheets, making it particularly suitable for use as a support for ceramic green sheets. In other words, a preferred embodiment of this film is its use as a support for ceramic green sheets during the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors.

また、今後、電装化が進む自動車用積層セラミックコンデンサーにおいては、とりわけ、当該コンデンサーの小型化・高容量化に伴い、使用するセラミックグリーンシートの薄膜化が進行していくと予測される。したがって、とりわけ、本フィルムは、自動車用積層セラミックコンデンサーに用いるセラミックグリーンシート用支持体として好適に用いることができる。すなわち、本フィルムの好ましい実施形態としては、本フィルムの、自動車用積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用が挙げられる。 Furthermore, as automotive multilayer ceramic capacitors become increasingly electrified, it is predicted that the ceramic green sheets used will become thinner as these capacitors become smaller and higher capacity. Therefore, this film is particularly suitable as a support for ceramic green sheets used in automotive multilayer ceramic capacitors. In other words, a preferred embodiment of this film is its use as a support for ceramic green sheets in the manufacturing process of automotive multilayer ceramic capacitors.

セラミックグリーンシート用支持体は、前述のとおり、セラミックスラリーを塗工し、セラミックスラリーを乾燥(熱処理)し、固化させた後、当該固化させたセラミックスラリーを剥離する工程用のフィルムとして用いられる。セラミックスラリーとしては、例えば、セラミック成分、バインダー樹脂、溶媒を含むものが挙げられる。
セラミックスラリーを構成するセラミック成分としては、例えば、チタン、アルミ、バリウム、鉛、ジルコニウム、珪素、イットリウム等の金属からなる酸化物、チタン酸バリウム等を用いることができる。バインダー樹脂としては、特に限定されるものではないが、ポリウレタン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール等が挙げられる。溶媒としては、特に限定されるものではないが、水、トルエン、エタノール、メチルエチルケトン、イソプロピルアルコール、γ-ブチルラクトン等が挙げられる。また、セラミックスラリーには、必要に応じて可塑剤、分散剤、帯電防止剤、界面活性剤などを添加してもよい。
As described above, the ceramic green sheet support is used as a film for the process of applying a ceramic slurry, drying (heat treating) the ceramic slurry, solidifying it, and then peeling off the solidified ceramic slurry. Examples of the ceramic slurry include those containing ceramic components, a binder resin, and a solvent.
Examples of ceramic components that can be used to form the ceramic slurry include oxides of metals such as titanium, aluminum, barium, lead, zirconium, silicon, and yttrium, as well as barium titanate. Examples of binder resins include, but are not limited to, polyurethane resin, urea resin, melamine resin, epoxy resin, vinyl acetate resin, acrylic resin, polyvinyl alcohol, and polyvinyl butyral. Examples of solvents include, but are not limited to, water, toluene, ethanol, methyl ethyl ketone, isopropyl alcohol, and γ-butyl lactone. Plasticizers, dispersants, antistatic agents, surfactants, and the like may also be added to the ceramic slurry as needed.

<<本フィルムを用いた各製造方法>>
本フィルムを用いたセラミックグリーンシートの支持体の製造方法としては、本フィルムの片面に離型層を形成する工程を含むセラミックグリーンシートの支持体の製造方法であって、前記工程は塗工した離型剤組成物に対して熱処理を行う工程を含む、セラミックグリーンシートの支持体の製造方法が挙げられる。
<<Manufacturing methods using this film>>
Examples of a method for producing a support for a ceramic green sheet using the present film include a method for producing a support for a ceramic green sheet that includes a step of forming a release layer on one side of the present film, and the step includes a step of performing heat treatment on the applied release agent composition.

また、本フィルムを用いたセラミックグリーンシートの製造方法としては、本フィルムの一方の表面に、セラミック成分を含むセラミックスラリーを塗工する工程を有する、セラミックグリーンシートの製造方法が挙げられる。
また、本フィルムを用いたセラミックグリーンシートの製造方法としては、前記塗工する工程に加えて、塗工したセラミックスラリーを乾燥する工程を有し、更に、電極を形成する工程を有する製造方法が挙げられる。
Furthermore, a method for producing a ceramic green sheet using the present film includes a method for producing a ceramic green sheet that includes a step of applying a ceramic slurry containing a ceramic component to one surface of the present film.
Furthermore, a method for producing a ceramic green sheet using the present film may include, in addition to the coating step, a step of drying the coated ceramic slurry, and a step of forming an electrode.

また、本フィルムを用いた積層セラミックコンデンサーの製造方法としては、本フィルムと本フィルムの片面に設けられた離型層とを有するセラミックグリーンシートの支持体の片面にセラミックグリーンシートを形成する工程を含む積層セラミックコンデンサーの製造方法であって、前記工程は塗工したセラミックスラリーに対して熱処理を行う工程を含む、積層セラミックコンデンサーの製造方法が挙げられる。 Another example of a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor using this film is a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor that includes a step of forming a ceramic green sheet on one side of a ceramic green sheet support having this film and a release layer provided on one side of the film, and the step includes a step of heat treating the applied ceramic slurry.

以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、例中、「%」、「ppm」とあるのは、質量基準を意味する。 The present invention will be explained in more detail below using examples, but the present invention is not limited to the following examples as long as it does not depart from the gist of the invention. In the examples, "%" and "ppm" are based on mass.

<測定方法>
まず、下記実施例における各種の測定方法は以下のとおりである。
<Measurement method>
First, various measurement methods in the following examples are as follows.

〔弾性変形仕事率(ηit)〕
スライドグラス(S1112、松浪硝子工業社製)上にアロンアルファ(登録商標)(一般用、東亜合成化学社製)を2~8mg程度を滴下した。その上に、試料フィルム(1.5cm×1.5cm)の表面層B側を接着面として被せて硬化させた。試料フィルム付きスライドグラスを硬度計(ダイナミック超微小硬度計(DUH-211S、島津製作所社製)の試料台に固定した後、試料フィルムの表面(表面層A)について負荷-除荷試験を行い、下記式を用いて弾性変形仕事率(ηit)を求めた(n=6で測定したうちの最初の1点を除いた5回の平均値)。
Wtotal=Wplast+Welast(N・m)
(Wtotal=全変形仕事量(N・m)、Wplast=塑性変形仕事量(N・m)、Welast=弾性変形仕事量(N・m))
ηit=(Welast/Wtotal)×100(%)
(測定条件)
使用圧子:ダイヤモンド製正三角錐圧子(稜間角度:115)
測定モード:負荷-除荷試験
試験力:20.00mN
最小試験力:0.20mN
負荷速度:0.1464mN/sec
負荷保持時間:0sec
除荷保持時間:0sec
測定雰囲気:23±2℃、50±5%RH
測定n数:6
[Elastic deformation power (η it )]
Approximately 2 to 8 mg of Aron Alpha (registered trademark) (general-purpose, manufactured by Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd.) was dropped onto a glass slide (S1112, manufactured by Matsunami Glass Industry Co., Ltd.). The surface layer B side of a sample film (1.5 cm x 1.5 cm) was placed on top of the drop and cured as an adhesive surface. The slide with the sample film attached was then fixed to the sample stage of a hardness tester (Dynamic Ultra-Micro Hardness Tester (DUH-211S, manufactured by Shimadzu Corporation) and a load-unload test was performed on the surface (surface layer A) of the sample film. The elastic deformation power (η it ) was calculated using the following formula (the average value of five measurements, excluding the first one out of six measurements, n = 6):
Wtotal=Wplast+Welast(N・m)
(Wtotal = total deformation work (N m), Wplast = plastic deformation work (N m), Welast = elastic deformation work (N m))
η it = (Welast/Wtotal)×100(%)
(Measurement conditions)
Indenter used: Diamond regular triangular pyramid indenter (edge angle: 115)
Measurement mode: Load-unload test Test force: 20.00 mN
Minimum test force: 0.20 mN
Load speed: 0.1464mN/sec
Load holding time: 0sec
Unloading holding time: 0sec
Measurement atmosphere: 23±2°C, 50±5% RH
Number of measurements: 6

〔収縮率〕
試料フィルム(幅1.5cm×長さ15cm)を無張力状態で所定の温度(150℃)に保った熱風式オーブン中、5分間熱処理を施し、その前後の試料フィルムの長さ方向の長さを測定して下記式にて収縮率を算出した。なお、フィルムの縦方向(MD)と横方向(TD)のそれぞれについて測定した。MDの収縮率は長さ方向がMDとなるように、TDの収縮率は長さ方向がTDとなるようにして測定した。
収縮率(%)={(熱処理前の試料フィルムの長さ)-(熱処理後の試料フィルムの長さ)}÷(熱処理前の試料フィルムの長さ)×100
[Shrinkage rate]
A sample film (1.5 cm wide x 15 cm long) was heat-treated in an untensioned state for 5 minutes in a hot air oven maintained at a predetermined temperature (150°C), and the length of the sample film in the longitudinal direction was measured before and after the treatment, and the shrinkage was calculated using the following formula. The measurements were made in both the machine direction (MD) and the transverse direction (TD) of the film. The shrinkage in MD was measured so that the machine direction coincided with the MD, and the shrinkage in TD was measured so that the machine direction coincided with the TD.
Shrinkage rate (%) = {(length of sample film before heat treatment) - (length of sample film after heat treatment)} ÷ (length of sample film before heat treatment) × 100

〔面配向度(ΔP)〕
JIS K 7142-1996 5.1(A法)により、ナトリウムD線を光源とし、アッベ屈折計により、試料フィルム(2cm×1cm)の表面層Aの長手方向の屈折率(nx)、幅方向の屈折率(ny)、及び厚み方向の屈折率(nz)を測定し、下記式に基づいて、面配向度(ΔP)を算出した。
ΔP=((nx+ny)/2-nz)×1000
[Planar orientation degree (ΔP)]
According to JIS K 7142-1996 5.1 (Method A), the refractive index in the longitudinal direction (nx), the refractive index in the width direction (ny), and the refractive index in the thickness direction (nz) of the surface layer A of the sample film (2 cm × 1 cm) were measured with an Abbe refractometer using sodium D line as a light source, and the degree of planar orientation (ΔP) was calculated based on the following formula.
ΔP=((nx+ny)/2-nz)×1000

〔算術平均高さ(Sa)、最大山高さ(Sp)など〕
表面粗さ測定器(アメテック社製、「NewView」(登録商標))を用いて試料フィルム(5cm×5cm)の表面層Aの表面及び表面層Bの表面を測定し、得られた表面のプロファイル曲線より、算術平均高さ(Sa)、最大山高さ(Sp)、二乗平均平方根高さ(Sq)、クルトシス(Sku)及びスキューネス(Ssk)を求めた。
具体的には、前記の表面粗さ測定器を用いて、対物レンズ倍率10倍、ズーム倍率2.0倍、視野角0.44mm×0.44mmの条件で測定を行い、下記の処理を実施した後に算術平均高さ(Sa)、最大山高さ(Sp)、二乗平均平方根高さ(Sq)、クルトシス(Sku)及びスキューネス(Ssk)を求めた。なお、少なくとも12点以上で測定し、その平均を測定値とした。
FilterType:Spline
Filter:High Pass
Type:Robust Gaussian Spline Fixed

Cutoffs
Mode:Period
Long Period:200μm
[Arithmetic mean height (Sa), maximum peak height (Sp), etc.]
The surfaces of the surface layer A and the surface layer B of the sample film (5 cm × 5 cm) were measured using a surface roughness measuring device (manufactured by Ametec Co., Ltd., "NewView" (registered trademark)), and the arithmetic mean height (Sa), maximum peak height (Sp), root mean square height (Sq), kurtosis (Sku), and skewness (Ssk) were determined from the obtained surface profile curve.
Specifically, measurements were carried out using the surface roughness measuring instrument described above under conditions of an objective lens magnification of 10x, a zoom magnification of 2.0x, and a viewing angle of 0.44mm x 0.44mm, and the arithmetic mean height (Sa), maximum peak height (Sp), root mean square height (Sq), kurtosis (Sku), and skewness (Ssk) were determined after the following treatments were carried out. Note that measurements were taken at at least 12 points, and the averages were used as the measured values.
FilterType: Spline
Filter: High Pass
Type: Robust Gaussian Spline Fixed

Cutoffs
Mode: Period
Long Period: 200μm

次に、実施例及び比較例で用いたポリエステル原料を表1に示す。表1に記載のポリエステル原料A~Oにおけるポリエステルは、いずれもホモポリエチレンテレフタレートである。また、ポリエステル原料Mは、端材を回収・再原料化した再生原料である。 Next, the polyester raw materials used in the examples and comparative examples are shown in Table 1. All of the polyesters in polyester raw materials A to O listed in Table 1 are homopolyethylene terephthalate. In addition, polyester raw material M is a recycled raw material made by recovering and recycling waste materials.

[実施例1]
ポリエステルAを88%、ポリエステルDを8%及びポリエステルFを4%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルBを50%及びポリエステルMを50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルBを28%、ポリエステルIを22%及びポリエステルKを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度85℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.6倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に120℃で4.2倍延伸し、テンター内において215℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率5%で125℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が215℃になるように温度勾配を付け、5.1秒間熱処理を行った。
[Example 1]
The raw material for surface layer A was a blend of 88% Polyester A, 8% Polyester D, and 4% Polyester F by mass. The raw material for intermediate layer C was a blend of 50% Polyester B and 50% Polyester M by mass. The raw material for surface layer B was a blend of 28% Polyester B, 22% Polyester I, and 50% Polyester K by mass. These materials were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for surface layer A and surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) structure with the raw materials for surface layer A and surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the raw materials for intermediate layer C as the intermediate layer, with a thickness composition ratio of A/C/B = 4/19/2 under the extrusion conditions. The material was then cooled and solidified on a cooling roll with a surface temperature set at 20°C using an electrostatic adhesion method to obtain an amorphous film.
Next, the film was stretched 3.6 times in the machine direction (MD direction) at a film temperature of 85°C using the roll peripheral speed difference, and then this machine-stretched film was introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction (TD direction) at 120°C, and then heat-treated (fixed) at 215°C in the tenter, and cooled to 125°C with a relaxation rate of 5%, to obtain a polyester film with a thickness of 25µm (A/C/B = 4µm/19µm/2µm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature would be 215°C, and the heat treatment was carried out for 5.1 seconds.

[実施例2]
ポリエステルAを88%、ポリエステルDを8%及びポリエステルFを4%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルBを50%及びポリエステルMを50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルBを28%、ポリエステルIを22%及びポリエステルKを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/25/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度85℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.6倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に120℃で4.2倍延伸し、テンター内において215℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率5%で125℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=4μm/25μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が215℃になるように温度勾配を付け、5.1秒間熱処理を行った。
[Example 2]
The raw material for surface layer A was a blend of 88% Polyester A, 8% Polyester D, and 4% Polyester F by mass. The raw material for intermediate layer C was a blend of 50% Polyester B and 50% Polyester M by mass. The raw material for surface layer B was a blend of 28% Polyester B, 22% Polyester I, and 50% Polyester K by mass. These materials were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for surface layer A and surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) structure with the raw materials for surface layer A and surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the raw materials for intermediate layer C as the intermediate layer, with a thickness composition ratio of A/C/B = 4/25/2 under extrusion conditions. The material was then cooled and solidified on a cooling roll with a surface temperature set at 20°C using an electrostatic adhesion method to obtain an amorphous film.
Next, the film was stretched 3.6 times in the machine direction (MD direction) at a film temperature of 85°C using the roll peripheral speed difference, and then this machine-stretched film was introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction (TD direction) at 120°C, and then heat-treated (fixed) at 215°C in the tenter, and cooled to 125°C with a relaxation rate of 5%, to obtain a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B = 4 μm/25 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature would be 215°C, and the heat treatment was carried out for 5.1 seconds.

[実施例3]
ポリエステルAを84%、ポリエステルDを12%及びポリエステルFを4%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 3]
The raw material for surface layer A was a blend of 84% polyester A, 12% polyester D, and 4% polyester F by mass, the raw material for intermediate layer C was 100% polyester C, and the raw material for surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, they were co-extruded under the extrusion conditions of a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure in which the raw materials for surface layer A and surface layer B were the outermost layers (surface layers) and intermediate layer C was the intermediate layer, with the thickness composition ratio of A/C/B being 4/19/2. The film was then cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4m/min using an electrostatic adhesion method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD direction) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 14.1m/min. The machine direction stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD direction) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25μm (A/C/B = 4μm/19μm/2μm). In the heat treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230°C, and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[実施例4]
ポリエステルAを84%、ポリエステルDを12%及びポリエステルFを4%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度82℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 4]
The raw material for surface layer A was a blend of 84% polyester A, 12% polyester D, and 4% polyester F by mass, the raw material for intermediate layer C was 100% polyester C, and the raw material for surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, they were co-extruded under the extrusion conditions of a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure in which the raw materials for surface layer A and surface layer B were the outermost layers (surface layers) and intermediate layer C was the intermediate layer, with the thickness composition ratio of A/C/B being 4/19/2. The film was then cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4m/min using an electrostatic adhesion method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD direction) at a film temperature of 82°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 14.1m/min. The machine direction stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD direction) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25μm (A/C/B = 4μm/19μm/2μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230°C, and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[実施例5]
ポリエステルBを97%及びポリエステルGを3%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度20℃、周速度4.3m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度15.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において210℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が210℃になるように温度勾配を付け、7.3秒間熱処理を行った。
[Example 5]
A raw material for the surface layer A was a blend of 97% polyester B and 3% polyester G by mass, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester C, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio under the extrusion conditions being A/C/B = 4/19/2, and electrostatic application was performed. Using the contact method, the film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4.3 m/min to obtain an amorphous film. Subsequently, using the peripheral speed difference with the stretching roll set at a peripheral speed of 15.1 m/min, the film was stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 210°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A/C/B = 4 μm/19 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 210°C, and the heat treatment was carried out for 7.3 seconds.

[実施例6]
ポリエステルBを97%及びポリエステルLを3%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4.3m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を15.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において210℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が210℃になるように温度勾配を付け、7.3秒間熱処理を行った。
[Example 6]
A raw material for the surface layer A was a blend of 97% polyester B and 3% polyester L in a mass ratio, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester C, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J in a mass ratio. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio under the extrusion conditions being A/C/B = 4/19/2. The film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4.3 m/min using a deposition method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 15.1 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 210°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A/C/B = 4 μm/19 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 210°C, and the heat treatment was carried out for 7.3 seconds.

[実施例7]
ポリエステルBを88%及びポリエステルEを12%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルBが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルIを22%及びポリエステルKを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 7]
A raw material for the surface layer A was a blend of 88% polyester B and 12% polyester E in a mass ratio, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester B, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester I, and 50% polyester K in a mass ratio. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio under the extrusion conditions being A/C/B = 4/19/2, and electrostatic application was performed. Using the adhesion method, the film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4m/min to obtain an amorphous film. Subsequently, using the peripheral speed difference with the stretching roll set at a peripheral speed of 14.1m/min, the film was stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25μm (A/C/B = 4μm/19μm/2μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230°C, and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[実施例8]
ポリエステルBを91%及びポリエステルDを9%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルMが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルIを22%及びポリエステルKを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=8/15/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を5.1m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を18.5m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.8倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.2倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率5%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=8μm/15μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、5.9秒間熱処理を行った。
[Example 8]
The raw material for the surface layer A was a blend of 91% polyester B and 9% polyester D by mass, the raw material for the intermediate layer C was 100% polyester M, and the raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester I, and 50% polyester K by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio of A/C/B being 8/15/2 under the extrusion conditions. The film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 5.1 m/min using a deposition method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.8 times in the machine direction (MD direction) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 18.5 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction (TD direction) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C at a relaxation rate of 5%, obtaining a polyester film with a thickness of 25 μm (A/C/B = 8 μm/15 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230°C, and the heat treatment was carried out for 5.9 seconds.

[実施例9]
ポリエステルBを91%及びポリエステルDを9%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルMが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルIを22%及びポリエステルKを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=8/15/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を5.1m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を18.5m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.8倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.2倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率17%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=8μm/15μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、5.9秒間熱処理を行った。
[Example 9]
The raw material for the surface layer A was a blend of 91% polyester B and 9% polyester D by mass, the raw material for the intermediate layer C was 100% polyester M, and the raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester I, and 50% polyester K by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio of A/C/B being 8/15/2 under the extrusion conditions, and the resulting laminate was subjected to electrostatic application adhesion. Using a method, the film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20 ° C. and a peripheral speed of 5.1 m / min to obtain an amorphous film, and then stretched 3.8 times in the machine direction, i.e., in the MD direction, at a film temperature of 86 ° C. using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 18.5 m / min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction, i.e., in the TD direction, at 105 ° C., and heat-treated (fixed) at 230 ° C. in the tenter. Then, a cooling treatment at 140 ° C. with a relaxation rate of 17% was performed to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A / C / B = 8 μm / 15 μm / 2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature was 230 ° C., and the heat treatment was performed for 5.9 seconds.

[実施例10]
ポリエステルBを94%及びポリエステルDを6%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが50%及びポリエステルMが50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/25/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=4μm/25μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 10]
A raw material for the surface layer A was a blend of 94% polyester B and 6% polyester D in a mass ratio, a raw material for the intermediate layer C was a blend of 50% polyester C and 50% polyester M in a mass ratio, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J in a mass ratio. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were extruded under conditions such that the outermost layer (surface layer) was the raw material for the surface layer A and the intermediate layer C was the intermediate layer, resulting in a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, and the thickness composition ratio under the extrusion conditions was A/C/B = 4/25/2. The film was coextruded as shown above, cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4 m/min using an electrostatic contact method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 14.1 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B = 4 μm/25 μm/2 μm). The heat-treatment (fixing) step was performed with a temperature gradient to achieve a final temperature of 230°C for 7.8 seconds.

[実施例11]
ポリエステルBを88%及びポリエステルDを12%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが50%及びポリエステルMが50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/25/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=4μm/25μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 11]
A raw material blended with 88% polyester B and 12% polyester D in a mass ratio was used as the raw material for surface layer A, a raw material blended with 50% polyester C and 50% polyester M in a mass ratio was used as the raw material for intermediate layer C, and a raw material blended with 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J in a mass ratio was used as the raw material for surface layer B. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C, resulting in a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for surface layer A and surface layer B as the outermost layer (surface layer) and intermediate layer C as the intermediate layer, and the thickness composition ratio under the extrusion conditions was A/C/B = 4/25/2. The film was coextruded as shown in Fig. 1, and cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20 ° C and a peripheral speed of 4 m/min using an electrostatic contact method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86 ° C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 14.1 m/min. The machine direction stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105 ° C. The film was then heat-treated (fixed) at 230 ° C. and cooled to 140 ° C. with a relaxation rate of 2% to obtain a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B = 4 μm/25 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230 ° C., and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[実施例12]
ポリエステルBを78%、ポリエステルDを18%、ポリエステルFを4%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが50%及びポリエステルMが50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/25/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=4μm/25μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 12]
A raw material for the surface layer A was a blend of 78% polyester B, 18% polyester D, and 4% polyester F by mass, a raw material for the intermediate layer C was a blend of 50% polyester C and 50% polyester M by mass, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C, resulting in a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with a thickness composition ratio of A/C/B=4/25 under the extrusion conditions. The film was coextruded to a thickness of 1/2, and cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4 m/min using an electrostatic adhesion method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 14.1 m/min. The stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, yielding a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B = 4 μm/25 μm/2 μm). The heat-treatment (fixing) step involved applying a temperature gradient to reach a final temperature of 230°C, and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[実施例13]
ポリエステルBを93%、ポリエステルFを4%、ポリエステルGを3%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが50%及びポリエステルMが50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/25/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=4μm/25μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Example 13]
The raw material for the surface layer A was a blend of 93% polyester B, 4% polyester F, and 3% polyester G by mass, the raw material for the intermediate layer C was a blend of 50% polyester C and 50% polyester M by mass, and the raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C, resulting in a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio under the extrusion conditions being A/C/B=4/25/ The film was co-extruded to a thickness of 2 μm (A/C/B=4 μm/25 μm/2 μm), and cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20° C. and a peripheral speed of 4 m/min using an electrostatic adhesion method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86° C. using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 14.1 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105° C. The film was then heat-treated (fixed) at 230° C. and cooled to 140° C. with a relaxation rate of 2% to obtain a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B=4 μm/25 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230° C., and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[実施例14]
ポリエステルBを90%及びポリエステルOを10%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルBを70%及びポリエステルGを30%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=1.55/27.9/1.55となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を5.8m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を20.3m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=1.55μm/27.9μm/1.55μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、5.4秒間熱処理を行った。
[Example 14]
A raw material for the surface layer A was a blend of 90% polyester B and 10% polyester O by mass, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester C, and a raw material for the surface layer B was a blend of 70% polyester B and 30% polyester G by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with a thickness composition ratio of A/C/B = 1.55/27.9/1.55 under the extrusion conditions. The film was cooled and solidified on a cooling roll with a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 5.8 m/min to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the difference in peripheral speed with a stretching roll with a peripheral speed of 20.3 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B = 1.55 μm/27.9 μm/1.55 μm). The heat-treatment (fixing) step involved applying a temperature gradient to the final temperature of 230°C, and the heat treatment was carried out for 5.4 seconds.

[比較例1]
ポリエステルBを97%及びポリエステルGを3%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4.3m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を15.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.3秒間熱処理を行った。
[Comparative Example 1]
A raw material for the surface layer A was a blend of 97% polyester B and 3% polyester G by mass, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester C, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J by mass. These materials were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio of A/C/B being 4/19/2 under the extrusion conditions. The film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4.3 m/min using a deposition method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 15.1 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A/C/B = 4 μm/19 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230°C, and the heat treatment was carried out for 7.3 seconds.

[比較例2]
ポリエステルBを97%及びポリエステルLを3%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4.3m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を15.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.3秒間熱処理を行った。
[Comparative Example 2]
A raw material for the surface layer A was a blend of 97% polyester B and 3% polyester L in a mass ratio, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester C, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J in a mass ratio. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio under the extrusion conditions being A/C/B = 4/19/2. The film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4.3 m/min using a deposition method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 15.1 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A/C/B = 4 μm/19 μm/2 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature reached 230°C, and the heat treatment was carried out for 7.3 seconds.

[比較例3]
ポリエステルBを90%、ポリエステルFを4%及びポリエステルLを6%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4.3m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を15.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において243℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が243℃になるように温度勾配を付け、7.3秒間熱処理を行った。
[Comparative Example 3]
A raw material for surface layer A was a blend of 90% Polyester B, 4% Polyester F, and 6% Polyester L by mass, a raw material for intermediate layer C was 100% Polyester C, and a raw material for surface layer B was a blend of 28% Polyester C, 22% Polyester H, and 50% Polyester J by mass. These materials were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for surface layer A and surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure in which the raw materials for surface layer A and surface layer B were the outermost layers (surface layers) and the intermediate layer C was the intermediate layer, with the thickness composition ratio being A/C/B = 4/19/2 under the extrusion conditions. Using the electrostatic adhesion method, the film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20 ° C. and a peripheral speed of 4.3 m / min to obtain an amorphous film. Then, using the peripheral speed difference with the stretching roll set at a peripheral speed of 15.1 m / min, the film was stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86 ° C., and then this machine-stretched film was introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105 ° C., followed by heat treatment (fixing) at 243 ° C. in the tenter and cooling treatment at 140 ° C. with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A / C / B = 4 μm / 19 μm / 2 μm). In the heat treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature was 243 ° C., and the heat treatment was carried out for 7.3 seconds.

[比較例4]
ポリエステルBを88%及びポリエステルEを12%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルBが100%の原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルIを22%及びポリエステルKを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/19/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を14.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.2倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=4μm/19μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.8秒間熱処理を行った。
[Comparative Example 4]
A raw material for the surface layer A was a blend of 88% polyester B and 12% polyester E in a mass ratio, a raw material for the intermediate layer C was 100% polyester B, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester I, and 50% polyester K in a mass ratio. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio under the extrusion conditions being A/C/B = 4/19/2, and electrostatic application was performed. Using the adhesion method, the film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20 ° C and a peripheral speed of 4 m / min to obtain an amorphous film, which was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD direction) at a film temperature of 86 ° C using the peripheral speed difference with the stretching roll set at a peripheral speed of 14.1 m / min. The machine direction stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction (TD direction) at 105 ° C., followed by heat treatment (fixing) at 230 ° C. in the tenter and cooling treatment at 140 ° C. with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A / C / B = 4 μm / 19 μm / 2 μm). In the heat treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature was 230 ° C., and the heat treatment was carried out for 7.8 seconds.

[比較例5]
ポリエステルBを87%及びポリエステルFを13%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが50%及びポリエステルMが50%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを28%、ポリエステルHを22%及びポリエステルJを50%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=4/25/2となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を4.3m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を15.1m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度86℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.5倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に105℃で4.5倍延伸し、テンター内において230℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率2%で140℃冷却処理を行って、厚み31μm(A/C/B=4μm/25μm/2μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が230℃になるように温度勾配を付け、7.3秒間熱処理を行った。
[Comparative Example 5]
A raw material for the surface layer A was a blend of 87% polyester B and 13% polyester F in a mass ratio, a raw material for the intermediate layer C was a blend of 50% polyester C and 50% polyester M in a mass ratio, and a raw material for the surface layer B was a blend of 28% polyester C, 22% polyester H, and 50% polyester J in a mass ratio. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C, and then extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) structure with the raw materials for the surface layer A and the surface layer B as the outermost layer (surface layer) and the intermediate layer C as the intermediate layer, with the thickness composition ratio of A/C/B being 4/25/2 under the extrusion conditions. The film was coextruded as shown above, cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20°C and a peripheral speed of 4.3 m/min using an electrostatic contact method to obtain an amorphous film. The film was then stretched 3.5 times in the machine direction (MD) at a film temperature of 86°C using the peripheral speed difference with a stretching roll set at a peripheral speed of 15.1 m/min. The machine-stretched film was then introduced into a tenter and stretched 4.5 times in the transverse direction (TD) at 105°C. The film was then heat-treated (fixed) at 230°C in the tenter and cooled to 140°C with a relaxation rate of 2%, to obtain a polyester film with a thickness of 31 μm (A/C/B = 4 μm/25 μm/2 μm). The heat-treatment (fixing) step was performed with a temperature gradient to achieve a final temperature of 230°C for 7.3 seconds.

[比較例6]
ポリエステルCを70%及びポリエステルNを30%の質量割合でブレンドした原料を表面層Aの原料とし、ポリエステルCが45%及びポリエステルMが55%の質量割合でブレンドした原料を中間層Cの原料とし、ポリエステルCを70%及びポリエステルNを30%の質量割合でブレンドした原料を表面層Bの原料として、ベント付き押出機に供給し、280℃で溶融押出した後、表面層A、表面層Bの原料を最外層(表面層)、中間層Cを中間層とする3種3層(A/C/B)の層構成で、押出条件で厚み構成比がA/C/B=1/23/1となるように共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を20℃、周速度を5.1m/分に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得て、次いで、周速度を17.7m/分に設定した延伸ロールとの周速差を利用してフィルム温度85℃で縦方向に、すなわちMD方向に3.47倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちTD方向に120℃で4.2倍延伸し、テンター内において219℃で熱処理(固定)を行い、弛緩率5%で125℃冷却処理を行って、厚み25μm(A/C/B=1μm/23μm/1μm)のポリエステルフィルムを得た。なお、熱処理(固定)工程では、最終温度が219℃になるように温度勾配を付け、5.3秒間熱処理を行った。
[Comparative Example 6]
A raw material for the surface layer A was a blend of 70% polyester C and 30% polyester N by mass, a raw material for the intermediate layer C was a blend of 45% polyester C and 55% polyester M by mass, and a raw material for the surface layer B was a blend of 70% polyester C and 30% polyester N by mass. These were fed into a vented extruder and melt-extruded at 280°C. After that, the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were co-extruded to form a three-kind, three-layer (A/C/B) layer structure in which the raw materials for the surface layer A and the surface layer B were the outermost layers (surface layers) and the intermediate layer C was the intermediate layer, with the thickness composition ratio being A/C/B = 1/23/1 under the extrusion conditions. Using the electrostatic adhesion method, the film was cooled and solidified on a cooling roll set at a surface temperature of 20 ° C. and a peripheral speed of 5.1 m / min to obtain an amorphous film. Then, using the peripheral speed difference with the stretching roll set at a peripheral speed of 17.7 m / min, the film was stretched 3.47 times in the machine direction, i.e., in the MD direction, at a film temperature of 85 ° C., and then this machine-stretched film was introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction, i.e., in the TD direction, at 120 ° C., and then heat-treated (fixed) at 219 ° C. in the tenter and cooled to 125 ° C. with a relaxation rate of 5%, to obtain a polyester film with a thickness of 25 μm (A / C / B = 1 μm / 23 μm / 1 μm). In the heat-treatment (fixing) step, a temperature gradient was applied so that the final temperature was 219 ° C., and the heat treatment was carried out for 5.3 seconds.

前記で得られた各フィルムについて、前記の測定方法に従って各種特性を測定した。その結果を表2、3(実施例1~14)、表4(比較例1~6)に示す。 The various properties of each film obtained above were measured according to the measurement methods described above. The results are shown in Tables 2 and 3 (Examples 1 to 14) and Table 4 (Comparative Examples 1 to 6).

まず、表2、3に示すとおり、実施例1~14のポリエステルフィルムは、粒子の組成、平均粒径、粒度分布、硬度、及びポリエステルとの親和性等、ポリエステルの種類、並びに製膜条件等を調整して得られた特定のポリエステルフィルムであり、弾性変形仕事率(ηit)、並びに、算術平均高さ(Sa)及び最大山高さ(Sp)が特定範囲に制御されている。具体的には、実施例1~14のポリエステルフィルムは、一方の表面の弾性変形仕事率(ηit)が55%超であって、算術平均高さ(Sa)が15nm以下、最大山高さ(Sp)が150nm以下である。
したがって、実施例1~14のポリエステルフィルムは、例えば、積層セラミックコンデンサーの製造工程に用いるセラミックグリーンシートの支持体とした場合に、セラミックグリーンシートにおけるピンホール等の発生を効果的に抑制できると共に、セラミックグリーンシートの剥離不良を効果的に抑制できることが分かる。
First, as shown in Tables 2 and 3, the polyester films of Examples 1 to 14 are specific polyester films obtained by adjusting the type of polyester, such as particle composition, average particle size, particle size distribution, hardness, and affinity with polyester, as well as the film-forming conditions, and the elastic deformation power (η it ), arithmetic mean height (Sa), and maximum peak height (Sp) are controlled within specific ranges. Specifically, the polyester films of Examples 1 to 14 have an elastic deformation power (η it ) of one surface exceeding 55%, an arithmetic mean height (Sa) of 15 nm or less, and a maximum peak height (Sp) of 150 nm or less.
Therefore, it can be seen that when the polyester films of Examples 1 to 14 are used, for example, as supports for ceramic green sheets used in the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors, they can effectively suppress the occurrence of pinholes and the like in the ceramic green sheets and can also effectively suppress peeling problems of the ceramic green sheets.

他方、表に示すとおり、比較例1~6では、弾性変形仕事率(ηit)、並びに、算術平均高さ(Sa)及び最大山高さ(Sp)の少なくともいずれかが特定範囲に制御されていない。具体的には、比較例1~5のポリエステルフィルムは、弾性変形仕事率(ηit)が低いため、セラミックグリーンシートの剥離性において満足できるものではない。また、比較例6のポリエステルフィルムは、最大山高さ(Sp)が大きく、表面平滑性において満足できるものではない。 On the other hand, as shown in the table, in Comparative Examples 1 to 6, the elastic deformation power (η it ), and at least one of the arithmetic mean height (Sa) and maximum peak height (Sp) are not controlled within a specific range. Specifically, the polyester films of Comparative Examples 1 to 5 have low elastic deformation power (η it ), and therefore are unsatisfactory in terms of releasability of the ceramic green sheet. Furthermore, the polyester film of Comparative Example 6 has a large maximum peak height (Sp), and therefore is unsatisfactory in terms of surface smoothness.

なお、実施例及び比較例に示す結果から、例えば離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程における剥離不良の発生を抑制しようとすると、その反面、ピンホール等の表面欠陥が発生する傾向があり、弾性変形仕事率(ηit)と表面平滑性とは背反する特性であることが示唆されるが、かかる背反する特性を両立できる点において、本発明の技術的価値は非常に高いといえる。
すなわち、例えば、比較例6の結果から、表面層Aに含まれる粒子の含有量が多い場合、弾性変形仕事率(ηit)を十分な程度にまで向上できるものの、最大山高さ(Sp)が高く、表面平滑性が不十分になる傾向が示唆される一方で、比較例1~5等の結果から、表面層Aに含まれる粒子の含有量が少ない場合は、表面平滑性は良好な範囲になるものの、弾性変形仕事率(ηit)が不十分になる傾向が示唆される。さらに、弾性変形仕事率(ηit)の調整には、熱固定温度や横延伸倍率の調整や、粒子種や含有量の選択も有効であることが、これら比較例と実施例との対比からわかる。
このように、粒子を配合したポリエステルフィルムにおいて、弾性変形仕事率(ηit)と表面平滑性とは背反する傾向があるところ、本発明によれば、かかる背反する特性を両立できるポリエステルフィルムを提供できる点において技術的価値が非常に高いといえる。
Furthermore, from the results shown in the examples and comparative examples, it is suggested that, for example, when trying to suppress the occurrence of peeling defects in the process of peeling a ceramic green sheet from a release film, surface defects such as pinholes tend to occur, and that the elastic deformation power (η it ) and surface smoothness are contradictory properties. However, the technical value of the present invention can be said to be extremely high in that it can achieve both of these contradictory properties.
That is, for example, the results of Comparative Example 6 suggest that when the content of particles contained in surface layer A is large, the elastic deformation power (η it ) can be improved to a sufficient level, but the maximum peak height (Sp) tends to be high and the surface smoothness tends to be insufficient, while the results of Comparative Examples 1 to 5, etc. suggest that when the content of particles contained in surface layer A is small, the surface smoothness is in a good range, but the elastic deformation power (η it ) tends to be insufficient. Furthermore, comparison between these Comparative Examples and Examples shows that adjustment of the heat setting temperature and transverse draw ratio, and selection of particle type and content are also effective for adjusting the elastic deformation power (η it ).
Thus, in polyester films containing particles, the elastic deformation power (η it ) and surface smoothness tend to be in conflict with each other. However, the present invention can be said to be of great technical value in that it can provide a polyester film that can achieve both of these contradictory properties.

本発明によれば、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程における剥離不良の発生を抑制することができると共に、ピンホール等の表面欠陥の発生を抑制することができるポリエステルフィルムを提供できるため、例えば、積層セラミックコンデンサーの製造工程において使用されるセラミックグリーンシートの支持体として好適に用いることができる。 The present invention provides a polyester film that can suppress the occurrence of peeling defects during the process of peeling a ceramic green sheet from a release film and also suppresses the occurrence of surface defects such as pinholes. Therefore, the film can be suitably used, for example, as a support for ceramic green sheets used in the manufacturing process of multilayer ceramic capacitors.

Claims (27)

粒子を含み、一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足し、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、ポリエステルフィルム。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
1. A polyester film containing particles, having an elastic deformation power of more than 55% on one surface, and satisfying the following (1) and (2) , the polyester film being used as a support for a ceramic green sheet in a manufacturing process for a multilayer ceramic capacitor .
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.
150℃、5分間の熱処理後における縦方向及び横方向の収縮率が2.8%以下である、請求項1記載のポリエステルフィルム。 The polyester film of claim 1, which has a shrinkage rate of 2.8% or less in the longitudinal and transverse directions after heat treatment at 150°C for 5 minutes. 150℃、5分間の熱処理後における横方向の収縮率が1.5%以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, which has a shrinkage rate in the transverse direction of 1.5% or less after heat treatment at 150°C for 5 minutes. 前記粒子の含有量が、含有させる層に対して、質量割合で250ppm以上10000ppm以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the particle content is 250 ppm or more and 10,000 ppm or less by mass relative to the layer in which the particles are contained. 前記粒子の平均粒径が1μm以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the particles have an average particle size of 1 μm or less. 前記粒子のモース硬度が9以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the particles have a Mohs hardness of 9 or less. 前記粒子は少なくとも粒子(a1)及び粒子(a2)を含み、前記粒子(a1)が、アルミナ粒子であり、前記粒子(a2)が、前記粒子(a1)以外の粒子である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the particles include at least particles (a1) and particles (a2), the particles (a1) are alumina particles, and the particles (a2) are particles other than the particles (a1). 前記一方の表面を形成する層が粒子を含み、前記粒子は少なくとも粒子(a1)及び粒子(a2)を含み、前記粒子(a1)及び(a2)のpH7におけるゼータ電位が、前記粒子(a1)が正の値であって前記粒子(a2)が負の値である、又は、前記粒子(a1)が負の値であって前記粒子(a2)が正の値である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the layer forming one surface contains particles, the particles including at least particles (a1) and particles (a2), and the zeta potentials of the particles (a1) and (a2) at pH 7 are either positive for the particles (a1) and negative for the particles (a2), or negative for the particles (a1) and positive for the particles (a2). 前記pH7でのゼータ電位が正の値となる粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する層に対して、質量割合で50ppm以上5000ppm以下である、請求項8記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 8, wherein the content of particles having a positive zeta potential at pH 7 is 50 ppm or more and 5,000 ppm or less by mass relative to the layer forming the one surface. 前記pH7でのゼータ電位が負の値となる粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する層に対して、質量割合で100ppm以上8000ppm以下である、請求項8記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 8, wherein the content of particles having a negative zeta potential at pH 7 is 100 ppm or more and 8000 ppm or less by mass relative to the layer forming the one surface. 前記pH7でのゼータ電位が正の値となる粒子がアルミナ粒子である、請求項8記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 8, wherein the particles having a positive zeta potential at pH 7 are alumina particles. 前記pH7でのゼータ電位が負の値となる粒子がシリカ又は有機粒子である、請求項8記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 8, wherein the particles having a negative zeta potential at pH 7 are silica or organic particles. 前記一方の表面を形成する層が粒子を含み、前記一方の表面を形成する層に含まれる全粒子の含有量に対するモース硬度8以下の粒子の含有量の比(モース硬度8以下の粒子の含有量/全粒子の含有量)が、質量割合で、0.6以上0.95以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the layer forming one surface contains particles, and the ratio of the content of particles with a Mohs hardness of 8 or less to the content of all particles contained in the layer forming one surface (content of particles with a Mohs hardness of 8 or less/content of all particles) is 0.6 or more and 0.95 or less, in mass ratio. 前記一方の表面を形成する層が粒子を含み、前記粒子の主成分がモース硬度8以下の粒子であり、前記モース硬度8以下の粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する層に対して、質量割合で1800ppm未満である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the layer forming one surface contains particles, the particles mainly comprising particles with a Mohs hardness of 8 or less, and the content of the particles with a Mohs hardness of 8 or less relative to the layer forming one surface is less than 1800 ppm by mass. 前記(2)の最大山高さ(Sp)が100nm以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the maximum peak height (Sp) of (2) is 100 nm or less. 面配向度(ΔP)が165以上である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, having a degree of planar orientation (ΔP) of 165 or more. 前記一方の表面の算術平均高さ(Sa)と他方の表面の算術平均高さ(Sa)との比(他方の表面の算術平均高さ(Sa)/一方の表面の算術平均高さ(Sa))が、2以上18以下である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム(但し、他方の表面の算術平均高さ(Sa)>一方の表面の算術平均高さ(Sa))。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the ratio of the arithmetic mean height (Sa) of one surface to the arithmetic mean height (Sa) of the other surface (arithmetic mean height (Sa) of the other surface / arithmetic mean height (Sa) of the one surface) is 2 or more and 18 or less (provided that the arithmetic mean height (Sa) of the other surface > the arithmetic mean height (Sa) of the one surface). 少なくとも2層からなる、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, which consists of at least two layers. 3層からなる、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, which consists of three layers. 前記ポリエステルフィルムが、前記一方の表面を形成する表面層、及び他方の表面を形成する表面層を少なくとも備え、前記一方の表面を形成する表面層が粒子を含み、前記粒子の含有量が、前記一方の表面を形成する表面層に対して、質量割合で250ppm以上2800ppm以下である、請求項18記載のポリエステルフィルム。 19. The polyester film according to claim 18, wherein the polyester film comprises at least a surface layer forming the one surface and a surface layer forming the other surface, the surface layer forming the one surface contains particles, and the particle content of the surface layer forming the one surface is 250 ppm to 2800 ppm by mass. 前記他方の表面を形成する表面層が粒子を含み、前記粒子の含有量が、前記他方の表面を形成する表面層に対して、質量割合で2000ppm以上8000ppm以下である、請求項20記載のポリエステルフィルム。 21. The polyester film according to claim 20 , wherein the surface layer forming the other surface contains particles, and the content of the particles in the surface layer forming the other surface is 2000 ppm to 8000 ppm by mass. 前記ポリエステルフィルムが、前記一方の表面を形成する表面層、中間層、及び他方の表面を形成する表面層をこの順に備え、前記中間層の厚みが、前記各表面層の厚みよりも厚い、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the polyester film comprises, in this order, a surface layer forming one surface, an intermediate layer, and a surface layer forming the other surface, and the thickness of the intermediate layer is greater than the thickness of each of the surface layers. 前記ポリエステルフィルムが、前記一方の表面を形成する表面層、中間層、及び他方の表面を形成する表面層をこの順に備え、前記各層の厚みの比(表面層の厚み:中間層の厚み:表面層の厚み)が、1~10:10~35:1~5である、請求項1又は2記載のポリエステルフィルム。 The polyester film according to claim 1 or 2, wherein the polyester film comprises a surface layer forming one surface, an intermediate layer, and a surface layer forming the other surface, in this order, and the thickness ratio of the layers (surface layer thickness: intermediate layer thickness: surface layer thickness) is 1-10:10-35:1-5. 粒子を含み、一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足し、自動車用積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、ポリエステルフィルム。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
1. A polyester film used as a support for a ceramic green sheet in a manufacturing process for an automotive multilayer ceramic capacitor. 2. A polyester film used as a support for a ceramic green sheet in a manufacturing process for an automotive multilayer ceramic capacitor.
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.
粒子を含み、一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足するポリエステルフィルムの、積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
1. Use of a polyester film containing particles, having an elastic deformation power of more than 55% on one surface, and satisfying the following (1) and (2) as a support for a ceramic green sheet in a process for producing a multilayer ceramic capacitor.
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.
粒子を含み、一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足するポリエステルフィルムの、自動車用積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
1. Use of a polyester film containing particles, having an elastic deformation power of more than 55% on one surface, and satisfying the following (1) and (2) as a support for a ceramic green sheet in a manufacturing process for an automotive multilayer ceramic capacitor.
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.
粒子を含み、一方の表面の弾性変形仕事率が55%超であって、以下の(1)及び(2)を満足するポリエステルフィルムの前記一方の表面に、セラミック成分を含むセラミックスラリーを塗工する工程を有する、セラミックグリーンシートの製造方法。
(1)算術平均高さ(Sa)が15nm以下。
(2)最大山高さ(Sp)が150nm以下。
A method for producing a ceramic green sheet , comprising: applying a ceramic slurry containing a ceramic component to one surface of a polyester film containing particles, the polyester film having an elastic deformation power of more than 55% on one surface, and the polyester film satisfying the following (1) and (2) :
(1) The arithmetic mean height (Sa) is 15 nm or less.
(2) The maximum peak height (Sp) is 150 nm or less.
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