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JP7611425B2 - Thermal printhead substrate with composite lead-free protective layer and method of manufacture thereof - Google Patents

Thermal printhead substrate with composite lead-free protective layer and method of manufacture thereof Download PDF

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JP7611425B2
JP7611425B2 JP2023562757A JP2023562757A JP7611425B2 JP 7611425 B2 JP7611425 B2 JP 7611425B2 JP 2023562757 A JP2023562757 A JP 2023562757A JP 2023562757 A JP2023562757 A JP 2023562757A JP 7611425 B2 JP7611425 B2 JP 7611425B2
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Description

本願の実施例は、サーマルプリントヘッド製造の技術分野、例えば無鉛、耐摩耗、耐腐蝕の特質を有する複合無鉛保護層のサーマルプリントヘッド基板及びその製造方法に関する。 The embodiments of the present application relate to the technical field of thermal printhead manufacturing, for example, a composite lead-free protective layer thermal printhead substrate having lead-free, wear-resistant, and corrosion-resistant properties, and a method for manufacturing the same.

周知のように、サーマルプリントヘッドは、絶縁耐熱材料からなる基板を備え、基板には、蓄熱のための下地釉層が設けられ、下地釉層及び基板の表面には、リード電極が設けられ、電極の表面には、発熱抵抗体層が設けられており、発熱抵抗体層には、保護層が被覆される。 As is well known, a thermal printhead comprises a substrate made of an insulating heat-resistant material, on which a base glaze layer for heat storage is provided, lead electrodes are provided on the surface of the base glaze layer and the substrate, a heating resistor layer is provided on the surface of the electrodes, and the heating resistor layer is covered with a protective layer.

関連サーマルプリントヘッド保護層の製造プロセスは、鉛含有ケイ酸塩材料により調製された保護層スラリーを選出し、印刷又はスプレーコーティングなどの厚膜プロセスを採用して発熱抵抗体層及び電極層の表面に均一に塗布し、ベルト式焼結炉又はボックス式焼結炉を採用して焼結し、焼結後に緻密膜層を形成するものである。関連サーマルプリントヘッドは、耐摩耗保護層に往々にして焼結フラックスとしてPbOが添加されたものを採用しているため、ガラス軟化点を低下させて、低い温度で焼成されたガラス釉を実現可能である。酸化鉛を焼結フラックスとするガラス釉は、広い焼成温度区間及び優れた焼結成膜品質を有し、優れた総合性能を有し、広く応用されており、しかし、鉛は、人類及び環境に優しくない元素に属し、環境によくない。人々の環境保護意識が徐々に高まるにつれて、鉛による人類への毒害及び環境への汚染はますます各方面から重視されており、電子製品から鉛含有物質が排除されつつある。 The manufacturing process of the protective layer of the related thermal printhead is to select a protective layer slurry prepared by a lead-containing silicate material, and apply it uniformly to the surface of the heating resistor layer and the electrode layer by using a thick film process such as printing or spray coating, and then sinter it by using a belt-type sintering furnace or a box-type sintering furnace to form a dense film layer after sintering. The wear-resistant protective layer of the related thermal printhead often uses a sintering flux containing PbO, which can reduce the glass softening point and realize a glass glaze that is fired at a low temperature. The glass glaze with lead oxide as the sintering flux has a wide firing temperature range and excellent sintering film quality, has excellent comprehensive performance, and is widely used. However, lead is an element that is not friendly to humans and the environment, and is not good for the environment. As people's awareness of environmental protection gradually increases, the poisoning of humans and pollution of the environment caused by lead is increasingly being paid attention to from all quarters, and lead-containing substances are being eliminated from electronic products.

厚膜サーマルプリントヘッド用の金属電極スラリーには、その焼結温度を低下させるために、一般的に何らかのフラックスが添加されており、関連サーマルプリントヘッドによく使われる厚膜保護層スラリーの焼成温度区間は、約600~850℃である。普通の無鉛ケイ酸塩保護層は往々にして、PbOの融解促進作用が乏しく、その焼成温度は一般的に850℃以上であるため、関連厚膜導体スラリーが関連無鉛ガラスプロセスに対応しなくなり、これにより、低融点無鉛ケイ酸塩ガラスの開発が非常に必要になっている。 In order to reduce the sintering temperature, metal electrode slurries for thick-film thermal printheads generally contain some flux, and the firing temperature range of thick-film protective layer slurries commonly used in related thermal printheads is about 600-850°C. Ordinary lead-free silicate protective layers often have poor PbO melting promotion effect, and their firing temperatures are generally above 850°C, making the related thick-film conductor slurries incompatible with the related lead-free glass processes, which has created a great need for the development of low-melting point lead-free silicate glass.

関連無鉛ガラス体系は通常、リン酸塩系低融点無鉛ガラスが複雑であり且つ線膨張係数がその化学的安定性と矛盾し、バナジン酸塩ガラスは構造が層状構造であり、水分を吸収して、気泡を形成しやすく、低融点ホウケイ酸塩系無鉛ガラスにおける酸化ホウ素がガラス熱安定性及び化学的安定性を高め、且つ焼結時の高温粘度を低下させることができ、優れた高温流動性を有し、緻密な膜層を形成可能である、という特質があるため、幅広く研究及び普及されている。 Related lead-free glass systems are generally widely studied and popular because phosphate-based low-melting lead-free glass is complex and its linear expansion coefficient is inconsistent with its chemical stability, vanadate glass has a layered structure and is prone to absorbing moisture and forming bubbles, and boron oxide in low-melting borosilicate-based lead-free glass increases the thermal stability and chemical stability of glass, reduces the high-temperature viscosity during sintering, has excellent high-temperature fluidity, and can form a dense film layer.

関連する無鉛保護層のガラスは、一般的にホウケイ酸塩ガラス材料を採用して調製されてなり、ガラス骨格として酸化ホウ素、酸化ケイ素を採用し、優れた化学的安定性を有するが、ホウケイ酸塩ガラスは往々にして、フラックスとしてliO、NaO、KOなどのアルカリ金属酸化物を採用しており、その高温粘度が大きいため、ガラスの溶融後の流動性が悪く、焼成後の膜面が粗く、さらに、その硬度が不足し、耐摩耗性が弱いため、感熱紙の磨損に対処できない。無鉛ケイ酸塩ガラスの物理的硬度を高めるために、往々にして、ホウケイ酸塩の母材ガラスの中に酸化アルミニウム又は他の高硬度物質フィラーを添加しているが、酸化アルミニウム又は他の高硬度物質フィラーは、ガラス網目の中に入らず、ケイ酸塩保護層の内部の網目構造が粗目になり、その化学的安定性が低下し、耐酸アルカリ及び耐水侵蝕性が悪くなり、サーマルプリントヘッド保護層の耐腐蝕などの要求を満たしにくい、というマイナス影響をもたらす。出願番号201910933628.Xでは、Alフィラーの含量を低下させ、SiOの含量を増加させ、即ちガラス骨格の組成SiO:フィラーAlの含量の比例を高めることにより、その緻密性を高めてその絶縁性及び耐腐蝕性を高めているが、サーマルプリントヘッド保護層の分野に応用されると、往々にして、その内部の高硬度フィラーAlはガラス骨格SiO及びBなどよりも、割合が低いため、耐摩耗性が不足し、耐摩耗、耐腐蝕を解決する無鉛保護層材料及び構造が非常に必要になっている。 The glass of the related lead-free protective layer is generally prepared by using borosilicate glass material, and uses boron oxide and silicon oxide as the glass skeleton, and has excellent chemical stability, but borosilicate glass often uses alkali metal oxides such as Li2O , Na2O , and K2O as flux, which has high high-temperature viscosity, so that the flowability of the glass after melting is poor, and the film surface after firing is rough, and furthermore, its hardness is insufficient and its wear resistance is weak, so that it cannot cope with the wear of thermal paper. In order to increase the physical hardness of lead-free silicate glass, aluminum oxide or other high-hardness material filler is often added into the borosilicate matrix glass, but the aluminum oxide or other high-hardness material filler does not enter the glass mesh, so that the internal mesh structure of the silicate protective layer becomes coarse, its chemical stability is reduced, and its acid-alkali and water-corrosion resistance is poor, which has a negative effect on the requirement of the corrosion resistance of the thermal printhead protective layer being difficult to meet. In application No. 201910933628.X, the content of Al2O3 filler is reduced and the content of SiO2 is increased, that is, the ratio of the composition of the glass skeleton SiO2 to the content of the filler Al2O3 is increased, thereby increasing its density and improving its insulation and corrosion resistance. However, when applied to the field of thermal printhead protective layers, the proportion of the high hardness filler Al2O3 inside is often lower than the glass skeleton SiO2 and B2O3 , etc. , resulting in insufficient wear resistance, and there is a great need for lead-free protective layer materials and structures that solve wear resistance and corrosion resistance.

以下は、本稿について詳細に説明するテーマの概述である。本概述は、特許請求の保護範囲を制限するためのものではない。 The following is a brief overview of the subject matter discussed in detail in this paper. This overview is not intended to limit the scope of protection of the patent claims.

本願の実施例は、絶縁基板の耐腐蝕、耐摩耗性を有効に高めて、サーマルプリントヘッドの使用寿命を保証することができる複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板及びその製造方法を提出する。 The embodiments of the present application present a thermal printhead substrate having a composite lead-free protective layer that can effectively increase the corrosion resistance and wear resistance of the insulating substrate and ensure the service life of the thermal printhead, and a method for manufacturing the same.

本願の実施例は、以下の措置により達成される。 The embodiment of the present application is achieved by the following measures:

表面に、蓄熱保温下地釉層、金属材料により形成された電極層、半導体材料により形成された発熱抵抗体層及び耐腐蝕耐摩耗の保護層が下から上へと順次設けられた絶縁基板が設けられており、前記保護層は、少なくとも2層のサブ保護層を備え、そのうち、絶縁基板に近いサブ保護層は、第1保護層であり、第1保護層の外側には、第2保護層が複合され、前記第1保護層及び第2保護層の熱膨張係数は、50×10-7/℃~70×10-7/℃であり、且つ第2保護層の膨張係数は、第1保護層の膨張係数以下であり、
前記第1保護層のウェブスター硬さは、600~900HVであり、第1保護層のガラス釉組成物は、質量百分率で計算すると、B 5~15%、Al 25~50%、SiOの含量範囲5~30%、ガラスフラックスの含量10~30%、の成分を含み、前記ガラスフラックスは、BaO、ZnO及びCaOである、複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板である。
an insulating substrate is provided on its surface, on which a heat storage and heat retention base glaze layer, an electrode layer made of a metal material, a heating resistor layer made of a semiconductor material, and a corrosion-resistant and abrasion-resistant protective layer are sequentially provided from bottom to top, said protective layer comprises at least two sub-protective layers, of which the sub-protective layer closest to the insulating substrate is a first protective layer, and a second protective layer is combined with the outside of the first protective layer, the thermal expansion coefficients of the first protective layer and the second protective layer are 50×10 -7 /°C to 70×10 -7 /°C, and the expansion coefficient of the second protective layer is equal to or less than that of the first protective layer,
The first protective layer has a Webster hardness of 600 to 900 HV, and the glass glaze composition of the first protective layer includes, calculated by mass percentage, 5 to 15% B 2 O 3 , 25 to 50% Al 2 O 3 , 5 to 30% SiO 2 , and 10 to 30% glass flux, and the glass flux is BaO, ZnO, and CaO.

本願の実施例に記載の第1保護層のガラス釉組成物は、組成物の総質量百分率で計算すると、Bが8~13%で、Alが40~45%で、SiOの含量範囲が21~30%である。 The glass glaze composition of the first protective layer described in the examples of this application has a B 2 O 3 content of 8-13%, Al 2 O 3 content of 40-45%, and SiO 2 content range of 21-30%, calculated as a total mass percentage of the composition.

本願の実施例の第1保護層を形成するためのガラス釉組成物において、前記ガラスフラックスは、組成物の総質量百分率で計算すると、BaOの含量範囲が3~8%で、ZnOの含量範囲が2~6%で、CaOの含量範囲が5~20%である。 In the glass glaze composition for forming the first protective layer in the embodiment of the present application, the glass flux has a BaO content range of 3-8%, a ZnO content range of 2-6%, and a CaO content range of 5-20%, calculated as a total mass percentage of the composition.

本願の実施例は、ガラス膜層の硬度及び耐摩耗性を高めるために、往々にして、内部のフィラーとして一定の含量のAlを添加しており、前記Alは、球状又は片状のAlを採用し、粒子径が約0.1~1μmであり、Alの含量が高すぎる場合、その膜層の表面粗さが高く、且つ膜層の結合力が悪く、Alの含量が低すぎる場合、その硬度が不足し、耐摩耗性が弱い。 In the embodiments of the present application, in order to increase the hardness and wear resistance of the glass film layer, a certain amount of Al 2 O 3 is often added as an internal filler, and the Al 2 O 3 is spherical or flake-shaped Al 2 O 3 with a particle size of about 0.1-1 μm. If the content of Al 2 O 3 is too high, the surface roughness of the film layer is high and the bonding strength of the film layer is poor; if the content of Al 2 O 3 is too low, the hardness is insufficient and the wear resistance is weak.

本願の実施例に記載の第2保護層のガラス釉組成物は、質量百分率で計算すると、Bの含量10~30%、Alの含量20~50%、SiOの含量範囲30~50%、ガラス釉フラックスの含量1~5%、の成分を含み、前記ガラス釉フラックスは、NaO、KOである。 The glass glaze composition of the second protective layer described in the examples of the present application contains, calculated by mass percentage, the following components: B 2 O 3 content 10-30%, Al 2 O 3 content 20-50%, SiO 2 content range 30-50%, and glass glaze flux content 1-5%, and the glass glaze flux is Na 2 O and K 2 O.

さらに、本願の実施例に記載の第2保護層のガラス釉組成物は、組成物の総質量百分率で計算すると、酸化ホウ素Bの含量が10~30%で、酸化アルミニウムAlの含量が25~40%で、二酸化ケイ素SiOの含量範囲が40~45%で、ガラス釉フラックスにおけるNaOの含量が2.5~5%で、KOの含量が0~5%である。 Furthermore, the glass glaze composition of the second protective layer described in the examples of the present application has a boron oxide B 2 O 3 content of 10-30%, an aluminum oxide Al 2 O 3 content of 25-40%, a silicon dioxide SiO 2 content range of 40-45%, a Na 2 O content of 2.5-5% and a K 2 O content of 0-5% in the glass glaze flux, calculated in terms of the total mass percentage of the composition.

本願の実施例において、第2保護層の外側に複合され、炭化物、窒化物又はケイ化物により形成された超高硬度保護層であり、物理的特徴がビッカース硬さ≧1200Hvである第3保護層がさらに設けられている。 In the embodiment of the present application, a third protective layer is further provided, which is an ultra-hard protective layer formed of carbide, nitride or silicide and has a physical characteristic of Vickers hardness ≧1200 Hv, and is compounded on the outside of the second protective layer.

本願の実施例に記載の第1保護層、第3保護層は、電極層の有効領域を局所的又は全面的に被覆する。 The first and third protective layers described in the examples of this application cover the active area of the electrode layer locally or entirely.

本願の実施例は、上記のような複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板の製造方法をさらに提出し、複合保護層における第1保護層は、焼結が完成した後に、表面平坦化処理を行い、処理後に、表面粗さ≦0.2μmであり、前記表面平坦化処理は、500~3000メッシュ数、粒子径<50μmの酸化アルミニウム又は炭化ケイ素材質のつや出しサンドベルトを採用してつや出しを行うものであり、つや出し処理後の製品に対して表面の洗浄、乾燥を行い、第1保護層の調製を完成させ、そして、第1保護層の外側で、第2保護層のガラス釉組成物スラリーの印刷、焼結を行い、第2保護層を形成する。 The embodiment of the present application further provides a method for manufacturing a thermal printhead substrate having the above-mentioned composite lead-free protective layer, in which the first protective layer in the composite protective layer is subjected to a surface flattening treatment after sintering is completed, and the surface roughness after the treatment is ≦0.2 μm, and the surface flattening treatment is performed by using a polishing sand belt made of aluminum oxide or silicon carbide material with a mesh number of 500 to 3000 and a particle size of <50 μm, and the surface of the product after the polishing treatment is washed and dried to complete the preparation of the first protective layer, and then the glass glaze composition slurry of the second protective layer is printed and sintered on the outside of the first protective layer to form the second protective layer.

本願の実施例は、マグネトロンスパッタリング又は他のプロセスを採用して、第2保護層の外側で、高硬度の炭化物又は窒化物を第3保護層の有効領域に調製し、第3保護層を形成することをさらに含む。 The embodiment of the present application further includes employing magnetron sputtering or other processes to prepare high hardness carbides or nitrides in the effective area of the third protective layer outside the second protective layer to form the third protective layer.

本願の実施例に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板の製造方法は、具体的に、
絶縁基板の表面に蓄熱下地釉層、金属電極層、発熱抵抗体層を順次調製し、そして、第1保護層スラリーを発熱抵抗体領域に印刷し、乾燥後に、焼結し、第1保護層を形成するステップ1と、
表面平滑プロセスを採用して処理し、即ち3000メッシュ数、粒子径が約5μmの酸化アルミニウム又は炭化ケイ素材質のつや出しサンドベルトを採用して往復のつや出し研磨を行い、つや出し処理後の製品に対して表面洗浄処理を行い、洗浄媒体として無水エタノールを採用して超音波洗浄を行い、洗浄後の製品に対して80~120℃の乾燥処理を行うステップ2と、
処理後の基板に対して第2保護層の印刷、乾燥焼結の工程を行い、第2保護層スラリーを電極被覆可能領域に印刷し、第2保護層である耐腐蝕保護層を形成するステップ3と、を含む。
The method for manufacturing a thermal printhead substrate having a composite lead-free protective layer described in the embodiments of the present application specifically includes:
Step 1: preparing a heat storage underglaze layer, a metal electrode layer, and a heating resistor layer on the surface of an insulating substrate in this order, and then printing a first protective layer slurry on the heating resistor area, drying, and then sintering to form a first protective layer;
Step 2: using a surface smoothing process, i.e. using an aluminum oxide or silicon carbide polishing sand belt with a mesh number of 3000 and a particle size of about 5 μm to polish the product back and forth; then, the product after the polishing process is subjected to a surface cleaning process, and anhydrous ethanol is used as the cleaning medium to perform ultrasonic cleaning; and the product after the cleaning is subjected to a drying process at 80 to 120 ° C.;
The method includes step 3 of printing a second protective layer on the processed substrate, drying and sintering the second protective layer, printing the second protective layer slurry on the electrode-coverable area, and forming a corrosion-resistant protective layer as the second protective layer.

本願は、関連技術と比べ、第1無鉛保護層が、ウェブスター硬さが高い耐摩耗ケイ酸塩ガラスを採用して調製され、第2無鉛保護層が、耐水性及び耐湿気侵蝕性に優れた無鉛ケイ酸塩ガラスを採用して調製され、第3保護層が、超高硬度保護層であり、本願は、腐蝕性又は高湿性の環境による腐蝕破壊に効果的に対処可能であり、3つの異なる機能の保護層は、それぞれ耐摩耗保護、耐腐蝕性保護及び耐傷付保護を果たすため、製品の確実性が高められる。 Compared to the related art, the present application has a first lead-free protective layer prepared by using abrasion-resistant silicate glass with high Webster hardness, a second lead-free protective layer prepared by using lead-free silicate glass with excellent water resistance and moisture corrosion resistance, and a third protective layer that is an ultra-high hardness protective layer, so that the present application can effectively deal with corrosion damage caused by a corrosive or highly humid environment, and the three protective layers with different functions respectively provide abrasion protection, corrosion resistance, and scratch resistance, thereby improving the reliability of the product.

図面及び詳細な説明を閲読して理解してから、他の態様も理解できる。 Other aspects can be understood after reading and understanding the drawings and detailed description.

図面は、本稿の技術案に対する更なる理解を提供するためのものであり、明細書の一部を構成し、本願の実施例と共に本稿の技術案を解釈するために用いられ、本稿の技術案を制限するものではない。 The drawings are intended to provide further understanding of the technical solutions of the present paper, constitute a part of the specification, and are used to interpret the technical solutions of the present paper together with the examples of the present application, and are not intended to limit the technical solutions of the present paper.

本願の実施例の1つの構造断面図である。FIG. 2 is a structural cross-sectional view of one embodiment of the present application. 本願の実施例の他の1つの構造断面図である。FIG. 2 is a structural cross-sectional view of another embodiment of the present application. 本願の実施例の3つ目の構造断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a third structure according to an embodiment of the present application. 実施例1における異なる無鉛保護層の耐腐蝕性の保存性能の比較である。1 is a comparison of the preservation performance of corrosion resistance of different lead-free protective layers in Example 1. 実施例3における異なる無鉛保護層の耐摩耗性の比較である。1 is a comparison of the wear resistance of different lead-free protective layers in Example 3. 実施例3における異なる保護層についての等距離での保護層の摩耗の比較図である。FIG. 11 is a comparison of protective layer wear at equal distances for different protective layers in Example 3.

1・・・酸化アルミニウムセラミックス基板、2・・・底部保温釉層、3・・・金属電極層、4・・・発熱抵抗体層、5A・・・第1保護層、5B・・・第2保護層、5C・・・第3保護層。 1: Aluminum oxide ceramic substrate, 2: Bottom heat-insulating glaze layer, 3: Metal electrode layer, 4: Heating resistor layer, 5A: First protective layer, 5B: Second protective layer, 5C: Third protective layer.

以下、図面及び実施例を参照しながら、本願についてさらに説明する。 The present application will be further described below with reference to the drawings and examples.

図1、図2に示すように、本願は、絶縁基板が設けられた複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板を提供し、絶縁基板の表面には、蓄熱保温下地釉層、金属材料により形成された電極層、半導体材料により形成された発熱抵抗体層及び耐腐蝕耐摩耗の保護層が下から上へと順次設けられており、前記保護層は、少なくとも2層のサブ保護層を備え、そのうち、絶縁基板に近いサブ保護層は、第1保護層であり、第1保護層の外側には、第2保護層が複合され、前記第1保護層及び第2保護層の熱膨張係数は、50×10-7/℃~70×10-7/℃であり、且つ第2保護層の熱膨張係数は、第1保護層の熱膨張係数以下であり、
上記設定の理由は、サーマルプリントヘッドが通常、酸化アルミニウムセラミックス基板を基層絶縁基板として採用し、その熱膨張係数が68×10-7/℃~78×10-7/℃であり、底層絶縁基板の熱膨張係数に適応させ、繰り返された昇温、降温に起因する冷熱衝撃による応力を低減させるために、その熱膨張係数が基板よりもやや低くなり、50×10-7/℃~70×10-7/℃である、からである。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the present application provides a thermal printhead substrate having a composite lead-free protective layer provided with an insulating substrate, the surface of the insulating substrate is provided with a heat storage and heat retention underglaze layer, an electrode layer made of a metal material, a heating resistor layer made of a semiconductor material, and a corrosion-resistant and wear-resistant protective layer in this order from bottom to top, the protective layer has at least two sub-protective layers, the sub-protective layer close to the insulating substrate is a first protective layer, and a second protective layer is combined with the outer side of the first protective layer, the thermal expansion coefficients of the first protective layer and the second protective layer are 50×10 −7 /°C to 70×10 −7 /°C, and the thermal expansion coefficient of the second protective layer is equal to or lower than that of the first protective layer,
The reason for the above setting is that thermal printheads usually use an aluminum oxide ceramic substrate as the base insulating substrate, which has a thermal expansion coefficient of 68×10 −7 /°C to 78×10 −7 /°C, and in order to adapt to the thermal expansion coefficient of the bottom insulating substrate and reduce stress caused by thermal shock resulting from repeated heating and cooling, its thermal expansion coefficient is slightly lower than that of the substrate, at 50×10 −7 /°C to 70×10 −7 /°C.

関連する無鉛ホウケイ酸塩ガラスは、優れた耐酸アルカリ及び耐水侵蝕の化学的安定性と優れた耐摩耗性とを兼有することが困難であり、往々にして二極化されているが、サーマルプリントヘッド保護層として使用されるケイ酸塩ガラスは往々にして、高湿、イオン化環境及び感熱紙における大粒子状物質の磨損に対処しており、
本願は、この現象に対し、ホウケイ酸ガラスにおける一定の含量の酸化ホウ素を利用して、安定した緻密なガラス網目を形成することで、その化学的安定性を高めるが、往々にして、その物理的硬度が低く、耐摩耗性が悪く、本願は、その強い化学的安定性を利用して耐腐蝕機能を有する第2保護層とし、そのうち、ホウケイ酸塩ガラスの中にCaO、BaO、ZnO及び酸化アルミニウムフィラーを添加し、CaO-B-SiOが主結晶相のセラミックガラス相(CBSセラミックガラス相と略称される)、BaO-B-SiOが主結晶相のセラミックガラス相を十分に利用し、表面に微細結晶粒子を析出させることで、その強度及び物理的硬度を高めて、その耐摩耗性を高めるが、Alが加えられることにより、Al3+がより大きな核電荷数を有し、フリー酸素と優先的に結合し、これにより、ホウ素酸素四面体の数が少なくなり、ホウ素酸素三角体が多くなり、ガラス網目構造が粗目になり、その化学的安定性の低下を引き起こし、且つAlが加えられることにより、その高温粘度が大きくなり、その流動性の低下を引き起こし、往々にして、緻密で、高い平滑性の膜層が形成されにくく、本願は、その高い物理的硬度及び膜層の強度を利用して耐摩耗機能を有する第1保護層とする。
Related lead-free borosilicate glasses are often polarized because they have difficulty combining excellent chemical stability, such as acid-alkali and water-corrosion resistance, with excellent abrasion resistance, while silicate glasses used as thermal printhead protective layers often deal with high humidity, ionized environments, and the abrasion of large particulate matter on thermal paper.
In the present application, a certain amount of boron oxide in borosilicate glass is used to form a stable and dense glass network, thereby improving its chemical stability. However, this often results in low physical hardness and poor wear resistance. The present application utilizes this strong chemical stability to form a second protective layer with corrosion resistance, in which CaO, BaO, ZnO and aluminum oxide fillers are added to the borosilicate glass to fully utilize the ceramic glass phase with CaO-B 2 O 3 -SiO 2 as the main crystal phase (abbreviated as CBS ceramic glass phase) and the ceramic glass phase with BaO-B 2 O 3 -SiO 2 as the main crystal phase, and fine crystal particles are precipitated on the surface to increase the strength and physical hardness, thereby improving its wear resistance. However, the addition of Al 2 O 3 increases the physical hardness and wear resistance of the second protective layer. 3+ has a larger nuclear charge number and preferentially bonds with free oxygen, which results in fewer boron-oxygen tetrahedra and more boron-oxygen triangles, making the glass network structure coarse and causing a decrease in its chemical stability; and the addition of Al2O3 increases its high-temperature viscosity and reduces its fluidity, making it difficult to form a dense, highly smooth film layer. The present application utilizes the high physical hardness and strength of the film layer to provide the first protective layer with wear resistance.

本願に記載の第1保護層のウェブスター硬さは、600~900HVであり、第1保護層のガラス釉組成物は、質量百分率で計算すると、B 5~15%、Al 25~50%、SiOの含量範囲5~30%、ガラスフラックスであるBaO、ZnO、CaOの含量10~30%、の成分を含み、前記Alは、第1保護層における耐摩耗フィラーとして、球状又は片状の酸化アルミニウムAlを採用し、粒子径が約0.1~1μmであり、ガラス膜層の硬度及び耐摩耗性を高めるために、往々にして、内部のフィラーとして酸化アルミニウムを添加しているが、酸化アルミニウムの含量が高すぎる場合、その膜層の表面粗さが高く、且つ、膜層の結合力が悪く、酸化アルミニウムの含量が低すぎる場合、その硬度が不足し、耐摩耗性が不足する。 The Webster hardness of the first protective layer described in the present application is 600-900HV, and the glass glaze composition of the first protective layer, calculated by mass percentage, includes B 2 O 3 5-15%, Al 2 O 3 25-50%, SiO 2 content range 5-30%, glass flux BaO, ZnO, CaO content 10-30%, and the Al 2 O 3 adopts spherical or flake aluminum oxide Al 2 O 3 as wear-resistant filler in the first protective layer, with a particle size of about 0.1-1 μm. In order to increase the hardness and wear resistance of the glass film layer, aluminum oxide is often added as an internal filler, but if the content of aluminum oxide is too high, the surface roughness of the film layer is high and the bonding force of the film layer is poor, and if the content of aluminum oxide is too low, the hardness and wear resistance are insufficient.

以下の表1に示すように、ガラス膜層の硬度及び耐摩耗性を高めるために内部のフィラーとして一定の含量の酸化アルミニウムを添加し、酸化アルミニウムの含量が高すぎる場合、その膜層の表面粗さが高く、且つ膜層の結合力が悪く、酸化アルミニウムの含量が低すぎる場合、その硬度が不足し、耐摩耗性が不足する。酸化アルミニウムの含量が25~50%の区間であれば、それは、通常、<0.4μmである相対的に低い表面粗さ、通常、>600Hvである高いビッカース硬さを有する。 As shown in Table 1 below, a certain amount of aluminum oxide is added as an internal filler to increase the hardness and wear resistance of the glass film layer. If the aluminum oxide content is too high, the film layer has high surface roughness and poor bonding strength, and if the aluminum oxide content is too low, the hardness and wear resistance are insufficient. If the aluminum oxide content is in the range of 25-50%, it has a relatively low surface roughness, usually <0.4 μm, and a high Vickers hardness, usually >600 Hv.

以下の表2に示すように、CaO-B-SiOセラミックガラス相(CBSガラスと略称される)及びBaO-B-SiOセラミックガラス相(BBSガラス相と略称される)を形成するように、CaO及びBaOをドーピングし、1~30%の添加範囲内で、それは、良好な二相共融性を有し、CaSiO及びBaSiOの微細結晶粒を析出可能であるため、その膜層の強度が高められる。 As shown in Table 2 below, CaO and BaO are doped to form a CaO-B 2 O 3 -SiO 2 ceramic glass phase (abbreviated as CBS glass) and a BaO-B 2 O 3 -SiO 2 ceramic glass phase (abbreviated as BBS glass), and within the addition range of 1 to 30%, it has good two-phase eutectic and can precipitate fine crystal grains of CaSiO 3 and BaSiO 3 , thereby enhancing the strength of the film layer.

表1 異なる組成の硬さ、表面粗さ、摩耗量の比較
Table 1 Comparison of hardness, surface roughness, and wear volume of different compositions

表2 本願の第1保護層における異なるCaOの含量での硬さ、表面粗さ、摩耗量の比較
Table 2 Comparison of hardness, surface roughness, and wear amount for different CaO contents in the first protective layer of the present invention

前記第2保護層のガラス釉組成物は、質量百分率で計算すると、酸化ホウ素Bの含量10~30%、酸化アルミニウムAlの含量20~50%、二酸化ケイ素SiOの含量範囲30~50%、ガラス釉フラックスの含量1~5%、の成分を含み、前記ガラス釉フラックスは、NaO、KOであり、
以下の表3に示すように、NaO、KOは、そのフラックスとして、遊離した酸素を提供してホウ素酸素三角体をホウ素酸素四面体に変換させることで、ホウ素の構造を層状構造から棚状構造に変換させて、緻密で均一なガラス架構の形成のために条件を作ることができる。酸化ホウ素の含量が10~30%である場合、該保護膜層は優れた化学的安定性を有し、その耐酸アルカリ性及び耐水侵蝕性に優れている。酸化ホウ素の含量の添加が過多又は過少となると、その内部に過多なホウ素酸素三角体が形成され、ガラス網目アーキテクチャが破壊されて、その化学的安定性を低下させる。
The glass glaze composition of the second protective layer contains, in mass percentage, 10-30% boron oxide B 2 O 3 , 20-50% aluminum oxide Al 2 O 3 , 30-50% silicon dioxide SiO 2 , and 1-5% glass glaze flux, and the glass glaze flux is Na 2 O and K 2 O;
As shown in Table 3 below, Na 2 O and K 2 O, as fluxes, provide liberated oxygen to convert boron oxygen triangles into boron oxygen tetrahedra, thereby converting the boron structure from layered to shelf-like, creating conditions for the formation of a dense and uniform glass framework. When the content of boron oxide is 10-30%, the protective film layer has excellent chemical stability, and is excellent in acid-alkali resistance and water corrosion resistance. When the content of boron oxide is too much or too little, excessive boron oxygen triangles are formed therein, destroying the glass network architecture and reducing its chemical stability.

表3 異なる組成の耐酸アルカリ、耐水侵蝕性の減量比較
Table 3 Comparison of weight loss due to acid-alkali and water-corrosion resistance of different compositions

本願において、第3保護層がさらに設けられており、第3保護層は、第2保護層の外側に複合され、第3保護層は、炭化物、窒化物又はケイ化物により形成された超高硬度保護層であり、物理的特徴は、ビッカース硬さ≧1200Hvであり、前記第1保護層、第3保護層は、発熱抵抗体の上方を被覆する以外に、電極層の有効領域を局所的又は全面的に被覆してもよい。 In the present application, a third protective layer is further provided, and the third protective layer is combined with the outside of the second protective layer. The third protective layer is an ultra-high hardness protective layer formed of carbide, nitride or silicide, and has a physical characteristic of Vickers hardness ≧1200 Hv. The first protective layer and the third protective layer may cover the upper part of the heating resistor, and may also cover the effective area of the electrode layer locally or entirely.

本願は、複合保護層における第1保護層は、焼結が完成した後に、表面平坦化処理を採用し、平滑性処理後にその表面粗さ≦0.2μmであり、前記表面平坦化処理は、500~3000メッシュ数、粒子径<50μmの酸化アルミニウム材質のつや出しサンドベルトを採用してつや出しを行うものであり、つや出し処理後の製品に対して表面洗浄処理を行い、洗浄媒体として無水エタノール又は純水を採用して超音波洗浄を行い、洗浄後の製品に対して乾燥処理を行い、第1保護層が平滑処理された後の基板を完成させ、そして、第2保護層のガラス釉組成物スラリーの印刷、焼結を行い、第2保護層を形成する、ことを特徴とする上記のような複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板の製造方法をさらに提出する。 The present application further presents a method for manufacturing a thermal printhead substrate having the above-mentioned composite lead-free protective layer, characterized in that the first protective layer in the composite protective layer is subjected to a surface planarization treatment after sintering is completed, and the surface roughness after the smoothing treatment is ≦0.2 μm, and the surface planarization treatment is performed by using a polishing sand belt made of aluminum oxide material with a mesh number of 500 to 3000 and a particle size of <50 μm, and the product after the polishing treatment is subjected to a surface cleaning treatment, and ultrasonic cleaning is performed using anhydrous ethanol or pure water as a cleaning medium, and the cleaned product is subjected to a drying treatment, thereby completing a substrate after the first protective layer has been smoothed, and then printing and sintering a glass glaze composition slurry for the second protective layer to form the second protective layer.

本願に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板の製造方法は、具体的に、
絶縁基板の表面に蓄熱下地釉層、金属電極層、発熱抵抗体層を順次調製し、そして、第1保護層スラリーを発熱抵抗体領域に印刷し、乾燥後に、焼結し、第1保護層を形成するステップ1と、
表面平滑プロセスを採用して処理し、即ち3000メッシュ数、粒子径が約5μmの酸化アルミニウム材質のつや出しサンドベルトを採用して往復のつや出し研磨を行い、つや出し処理後の製品に対して表面洗浄処理を行い、洗浄媒体として無水エタノールを採用して超音波洗浄を行い、洗浄後の製品に対して80~120℃の乾燥処理を行うステップ2と、
処理後の基板に対して第2保護層の印刷、乾燥焼結の工程を行い、第2保護層スラリーを電極被覆可能領域に印刷し、第2保護層である耐腐蝕保護層を形成するステップ3と、を含む。
The method for manufacturing a thermal printhead substrate having a composite lead-free protective layer described in the present application specifically includes the steps of:
Step 1: preparing a heat storage underglaze layer, a metal electrode layer, and a heating resistor layer on the surface of an insulating substrate in this order, and then printing a first protective layer slurry on the heating resistor area, drying, and then sintering to form a first protective layer;
Step 2: using a surface smoothing process, i.e. using an aluminum oxide polishing sand belt with a mesh number of 3000 and a particle size of about 5 μm to polish the product back and forth; then cleaning the surface of the product after polishing; using anhydrous ethanol as the cleaning medium to perform ultrasonic cleaning; and drying the product after cleaning at 80-120°C;
The method includes step 3 of printing a second protective layer on the processed substrate, drying and sintering the second protective layer, printing the second protective layer slurry on the electrode-coverable area, and forming a corrosion-resistant protective layer as the second protective layer.

本願は、マグネトロンスパッタリング又は他のプロセスを採用して、第2保護層の外側で、高硬度の炭化物又は窒化物を第3保護層の有効領域に調製し、第3保護層を形成するステップ4をさらに含む。 The present application further includes step 4 of preparing a high hardness carbide or nitride in the effective area of the third protective layer outside the second protective layer by employing magnetron sputtering or other processes to form the third protective layer.

本願は、関連技術と比べ、第1無鉛保護層が、ビッカース硬さが高い耐摩耗ケイ酸塩ガラスを採用して調製され、第2無鉛保護層が、耐水性及び耐湿気侵蝕性に優れた無鉛ケイ酸塩ガラスを採用して調製され、第3保護層が、超高硬度保護層であり、本願は、腐蝕性又は高湿性の環境による腐蝕破壊に効果的に対処可能であり、3つの異なる機能の保護層は、それぞれ耐摩耗保護、耐腐蝕性保護及び耐傷付保護を果たすため、製品の確実性が高められる。 Compared to the related art, the present application has a first lead-free protective layer prepared by using abrasion-resistant silicate glass with high Vickers hardness, a second lead-free protective layer prepared by using lead-free silicate glass with excellent water resistance and moisture corrosion resistance, and a third protective layer that is an ultra-high hardness protective layer, so that the present application can effectively deal with corrosion damage caused by a corrosive or highly humid environment, and the three protective layers with different functions respectively provide abrasion resistance protection, corrosion resistance protection, and scratch resistance protection, thereby improving the reliability of the product.

実施例1
本例は、1基板、2下地釉層、3電極層、4発熱抵抗層、及び5保護層からなるサーマルプリントヘッドを提供し、基板1は、耐熱、絶縁性を有し、一般的に酸化アルミニウムセラミックス基板であり、下地釉層2は、主に蓄熱、保温の作用を果たし、抵抗である発熱抵抗体4を基板1から隔離させて滑らかな表面を提供し、発熱抵抗体層の表面には、異なる機能の無鉛ケイ酸塩ガラスの複合保護層5である耐摩耗保護層が被覆され、上記各構成部分の構造及びそれらの間の相互接続関係は、関連技術と同じであり、ここでは繰り返し説明しない。
Example 1
This example provides a thermal printhead, which comprises a substrate 1, a base glaze layer 2, an electrode layer 3, a heating resistor layer 4, and a protective layer 5. The substrate 1 is heat-resistant and insulating, and is generally an aluminum oxide ceramic substrate. The base glaze layer 2 mainly serves the functions of heat storage and heat retention, isolating the heating resistor 4, which is a resistor, from the substrate 1 and providing a smooth surface. The surface of the heating resistor layer is coated with a wear-resistant protective layer 5, which is a composite protective layer made of lead-free silicate glass with a different function. The structures of the above components and the interconnection relationships between them are the same as those in the related art, and will not be described again here.

図1のように、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムなどのうちの1つ又は1つ以上の成分を含有する下地釉スラリーを、スクリーン印刷又は他の厚膜プロセスを採用して、絶縁基板1の表面に印刷し、1100~1200℃の高温を採用して焼結した後に、発熱抵抗体の蓄熱下地釉層2を形成し、下地釉層2の表面においてスクリーン印刷機を採用して金属スラリーを蓄熱下地釉層の表面に印刷し、ベルト式焼結炉を採用して焼成し、基板の表面を金属化し、写真製版技術を採用して、金属電極をパターン化する。 As shown in FIG. 1, a base glaze slurry containing one or more components such as aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, etc. is printed on the surface of an insulating substrate 1 by using screen printing or other thick-film processes, and then sintered at a high temperature of 1100-1200°C to form a heat storage base glaze layer 2 for a heating resistor. On the surface of the base glaze layer 2, a screen printer is used to print a metal slurry on the surface of the heat storage base glaze layer, which is then fired in a belt-type sintering furnace to metallize the surface of the substrate, and photoengraving technology is used to pattern the metal electrodes.

スクリーン印刷を採用して発熱抵抗スラリーを有効領域に印刷し、焼結後に発熱抵抗体層4を形成し、厚膜プロセスを採用して第1保護層を調製するための無鉛ガラス釉組成物を発熱抵抗体領域に印刷し、乾燥後に、発熱抵抗体に焼結されて保護する必要がある電極領域が耐摩耗の第1保護層を形成し、
そのうち、第1保護層の無鉛ガラス釉組成物は、質量分率で記すと、各成分はそれぞれ、Bの含量13%、SiOの含量21%、Alの含量50%、BaOの含量6%、CaOの含量4%、ZnOの含量6%であり、そのうち、フィラーとして添加される球状のAlは、その粒子径D50が0.5μmであり、
調製された無鉛の第1保護層は、高いビッカース硬さを有し、約650Hvであり、図4に示すように、第1無鉛保護層は、焼結が完成した後に表面平滑プロセスを採用して処理し、即ち800メッシュ数、粒子径が約30μmの酸化アルミニウム材質のつや出しサンドベルトを採用して研磨してつや出しし、つや出し処理後の製品に対して表面洗浄処理を行い、純水を採用して洗浄を行い、洗浄後の製品に対して120℃の乾燥処理を行い、処理後の基板に対して第2無鉛保護層の印刷、乾燥焼結の工程を行い、
そのうち、表面平坦化処理を経た第1保護層は、高い表面平滑性を有し、その表面粗さが約0.15μmであり、第2無鉛保護層スラリーを電極被覆可能領域に印刷して第2保護層である耐腐蝕保護層を形成し、そのうち、第2保護層を調製するための無鉛保護層ガラス釉組成物は、質量分率で計算すると、Bの含量が20%で、Alの含量が30%で、SiOの含量範囲が45%で、NaOの含量が2.5%で、KOの含量が2.5%であり、調製された無鉛の第2保護層は、優れた耐酸アルカリ腐蝕性を有し、且つ無鉛の第2保護層は、高い平滑性の表面に成膜され、優れた成膜品質を有し、膜層の結合力が強い。
Screen printing is used to print the heating resistor slurry on the effective area, and after sintering, a heating resistor layer 4 is formed; thick-film process is used to print the lead-free glass glaze composition for preparing the first protective layer on the heating resistor area; after drying, the electrode area that needs to be sintered to the heating resistor forms a wear-resistant first protective layer;
The lead-free glass glaze composition of the first protective layer contains, in mass fraction, 13% B2O3 , 21% SiO2 , 50% Al2O3 , 6% BaO, 4% CaO, and 6 % ZnO. Among them, the spherical Al2O3 added as a filler has a particle diameter D50 of 0.5 μm .
The prepared lead-free first protective layer has a high Vickers hardness of about 650Hv. As shown in FIG. 4, the first lead-free protective layer is treated by a surface smoothing process after sintering is completed, that is, the polishing sandpaper belt made of aluminum oxide material with 800 mesh number and particle size of about 30 μm is used to polish and polish the polished product, and the surface is washed and cleaned with pure water. The washed product is dried at 120° C., and the second lead-free protective layer is printed on the processed substrate, followed by the process of drying and sintering.
Wherein, the first protective layer after surface planarization has high surface smoothness, its surface roughness is about 0.15μm; the second lead-free protective layer slurry is printed on the electrode-coverable area to form the second protective layer, which is a corrosion-resistant protective layer; wherein, the lead-free protective layer glass glaze composition for preparing the second protective layer, calculated by mass fraction, has a B2O3 content of 20%, an Al2O3 content of 30%, a SiO2 content range of 45%, a Na2O content of 2.5% and a K2O content of 2.5 %; the prepared lead-free second protective layer has good acid-alkali corrosion resistance, and the lead-free second protective layer is formed on a surface with high smoothness, has good film-forming quality and strong bonding strength of the film layer.

乾燥焼結を経た後に、本願の特許の実施例1のサーマルプリントヘッドが完成される。 After drying and sintering, the thermal printhead of Example 1 of the present patent is completed.

本実施例は、表面平滑性が高く、且つ耐摩耗耐腐蝕性能に優れた発熱基板を得て、高湿、腐蝕環境での製品の使用寿命を有効に保証できる。 This embodiment provides a heat generating substrate with high surface smoothness and excellent resistance to wear and corrosion, effectively guaranteeing the product's service life in high humidity and corrosive environments.

実施例2
図2のように、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムなどのうちの1つ又は1つ以上の成分を含有する下地釉スラリーを、スクリーン印刷又は他の厚膜プロセスを採用して、絶縁基板1の表面に印刷し、1100~1200℃の高温を採用して焼結した後に、発熱抵抗体の蓄熱下地釉層2を形成し、下地釉層2の表面においてスクリーン印刷機を採用して金属スラリーを蓄熱下地釉層の表面に印刷し、ベルト式焼結炉を採用して焼成し、基板を金属化し、写真製版技術を採用して、金属電極をパターン化する。スクリーン印刷又は描画プロセスを採用して発熱抵抗スラリーを有効領域に印刷し、焼結後に発熱抵抗体層4を形成し、厚膜プロセスを採用して無鉛の第1保護層スラリーを発熱抵抗体領域に印刷し、乾燥後に、焼結し、そのうち、第1保護層の無鉛ガラス釉組成物、即ち第1保護層は、質量分率で記すと、各成分はそれぞれ、Bの含量5%、SiOの含量30%、Alの含量45%、BaOの含量8%、CaOの含量6%、ZnOの含量6%であり、そのうち、フィラーとして添加される球状のAlは、その粒子径D50が0.5μmである。該組成により調製された無鉛の第1保護層は、高いビッカース硬さを有し、約700Hvであり、
そして、第2保護層の無鉛スラリーを電極被覆可能領域に印刷して耐腐蝕の第2保護層を形成し、そのうち、第2保護層の無鉛ガラス釉組成物は、質量分率で記すと、各成分はそれぞれ、Bの含量10%、Alの含量35%、SiOの含量範囲50%、NaOの含量約5%であり、該組成により調製された無鉛保護層は、優れた耐酸アルカリ腐蝕性を有し、マグネトロンスパッタリング又は他のプロセスを採用して高硬度の炭化物又は窒化物を第3保護層の有効領域に調製する。これで本願の実施例2のサーマルプリントヘッドが完成される。
Example 2
As shown in FIG. 2, a base glaze slurry containing one or more components of aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, etc. is printed on the surface of an insulating substrate 1 by screen printing or other thick-film process, and then sintered at a high temperature of 1100-1200°C to form a heat storage base glaze layer 2 of a heating resistor. On the surface of the base glaze layer 2, a screen printer is used to print a metal slurry on the surface of the heat storage base glaze layer, and a belt-type sintering furnace is used for firing to metallize the substrate, and photoengraving technology is used to pattern the metal electrodes. The heating resistor slurry is printed on the effective area by using a screen printing or drawing process, and the heating resistor layer 4 is formed after sintering. The lead-free first protective layer slurry is printed on the heating resistor area by using a thick film process, and then dried and sintered. The lead-free glass glaze composition of the first protective layer, i.e., the first protective layer, is, in terms of mass fraction , composed of 5% B2O3 , 30% SiO2 , 45% Al2O3 , 8% BaO , 6% CaO, and 6% ZnO, among which, the spherical Al2O3 added as a filler has a particle diameter D50 of 0.5 μm. The lead-free first protective layer prepared by this composition has a high Vickers hardness of about 700 Hv.
Then, the lead-free slurry of the second protective layer is printed on the electrode-coverable area to form a corrosion-resistant second protective layer, where the lead-free glass glaze composition of the second protective layer is, in mass fraction, B2O3 content 10%, Al2O3 content 35%, SiO2 content range 50%, and Na2O content about 5 % , the lead-free protective layer prepared by this composition has excellent acid-alkali corrosion resistance, and high hardness carbide or nitride is prepared in the effective area of the third protective layer by magnetron sputtering or other process. Thus, the thermal printhead of the second embodiment of the present application is completed.

実施例3
図3のように、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムなどのうちの1つ又は1つ以上の成分を含有する下地釉スラリーを、スクリーン印刷又は他の厚膜プロセスを採用して、絶縁基板1の表面に印刷し、1100~1200℃の高温を採用して焼結した後に、発熱抵抗体の蓄熱下地釉層2を形成し、下地釉層2の表面においてスクリーン印刷機を採用して金属スラリーを蓄熱下地釉層の表面に印刷し、ベルト式焼結炉8を採用して焼成し、基板の表面を金属化し、写真製版技術を採用して、金属電極をパターン化する。スクリーン印刷又は描画プロセスを採用して発熱抵抗スラリーを有効領域に印刷し、焼結後に発熱抵抗体層4を形成し、厚膜プロセスを採用して第1保護層スラリーを電極被覆可能領域に印刷し、乾燥後に、焼結する。そして、第2保護層スラリーを電極被覆可能領域に印刷して耐腐蝕の第2保護層を形成し、第1保護層及び第2保護層のガラス釉の組成は、実施例1の成分を採用してなり、繰り返し説明せず、マグネトロンスパッタリング又は他のプロセスを採用して高硬度の炭化物又は窒化物を第3保護層の有効領域に調製する。これで本願の実施例3のサーマルプリントヘッドが完成される。
Example 3
As shown in Fig. 3, a base glaze slurry containing one or more components of aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, etc. is printed on the surface of an insulating substrate 1 by screen printing or other thick film process, and then sintered at a high temperature of 1100-1200°C to form a heat storage base glaze layer 2 of a heating resistor, and a screen printer is used to print a metal slurry on the surface of the base glaze layer 2, and a belt-type sintering furnace 8 is used for firing to metallize the surface of the substrate, and a photolithography technique is used to pattern a metal electrode. The heating resistor slurry is printed on the effective area by screen printing or a drawing process, and a heating resistor layer 4 is formed after sintering, and a thick film process is used to print a first protective layer slurry on the electrode-coverable area, and then sintered after drying. Then, the second protective layer slurry is printed on the electrode-coverable area to form a corrosion-resistant second protective layer, and the composition of the glass glaze of the first and second protective layers is the same as that of Example 1, which will not be described again, and high-hardness carbide or nitride is prepared on the effective area of the third protective layer by magnetron sputtering or other processes. Thus, the thermal printhead of Example 3 of the present application is completed.

図5に示すように、それぞれ実施例1、実施例2に対して耐湿耐イオン化試験を行い、90%湿度、Na、Kイオン環境での保存時間を比較し、第1保護層を単独で採用してその腐蝕環境での保存時間は、1/5B(H)であり、第2保護層を単独で採用してその腐蝕環境での保存時間は、2B(H)であり、複合構造無鉛保護層を採用して、その保存周期は、2B(H)である。耐腐蝕性能の複合構造保護層は、その耐腐蝕性能が第2保護層を単独で採用する場合に相当し、耐腐蝕性能は約、第1保護層を単独で使用する場合の10倍程度であり、関連加速係数に従って換算すると、複合構造を採用した2層の保護層及び3層の保護層は、いずれも製品寿命の1~3年の正常な使用を保証できる。 As shown in Figure 5, humidity and ion resistance tests were performed on Example 1 and Example 2, and the storage time in a 90% humidity, Na, and K ion environment was compared. The storage time in a corrosive environment when the first protective layer was used alone was 1/5B (H), the storage time in a corrosive environment when the second protective layer was used alone was 2B (H), and the storage period when the composite structure lead-free protective layer was used was 2B (H). The corrosion resistance of the composite structure protective layer is equivalent to that of the second protective layer used alone, and the corrosion resistance is about 10 times that of the first protective layer used alone. When converted according to the relevant acceleration coefficient, the two-layer protective layer and the three-layer protective layer using the composite structure can both guarantee normal use of the product life of 1 to 3 years.

図6に示すように、同様の紙を採用して同等距離まで走行させた場合の保護層の摩耗を比較し、第1保護層を単独で採用してその摩耗は、A(μm/km)であり、第2保護層を単独で採用してその摩耗は、2A(μm/km)であり、複合構造無鉛保護層を採用してその摩耗は、約1.5A(μm/km)である。複合構造保護層(第3保護層を含む)である超高硬度保護層を採用して、同等距離でその摩耗は、約1/4A(μm/km)であり、製品の使用寿命に従って換算すれば、複合構造保護層を採用した2層の保護層及び3層の保護層は、それぞれ製品の使用寿命が約40~50KM、100~150KMであることを保証できる。 As shown in Figure 6, the wear of the protective layer was compared when the same paper was used and the car was run over the same distance. When the first protective layer was used alone, the wear was A (μm/km), when the second protective layer was used alone, the wear was 2A (μm/km), and when the composite structure lead-free protective layer was used, the wear was about 1.5A (μm/km). When the ultra-hard protective layer, which is the composite structure protective layer (including the third protective layer), was used, the wear was about 1/4A (μm/km) over the same distance. Converted according to the product's service life, the two-layer protective layer and the three-layer protective layer using the composite structure protective layer can guarantee a product service life of about 40-50KM and 100-150KM, respectively.

本願は、機能性が異なる無鉛保護層で複合構造を採用して調製されてなり、第1保護層が高い物理的硬度及び優れた平滑性を有することで、製品の耐摩耗性を保証し、第1保護層が表面平坦化処理を経た後に、優れた耐摩耗性を提供すると同時に第2保護層に1つの平滑な基底を与えることで、第2保護層である耐腐蝕保護層に優れた結合力及び付着力が発生可能であることを保証し、これにより、第2保護層の耐摩耗性を高めることができる。第3保護層が劣悪なプリント環境における大粒子状物質、例えば小石、砂岩などに対処することで、超高硬度防護を実現可能である。これにより、製品の使用寿命が保証され、その信頼確実性が高められる。
The present application is prepared by adopting a composite structure with lead-free protective layers with different functions, the first protective layer has high physical hardness and excellent smoothness to ensure the wear resistance of the product, the first protective layer provides excellent wear resistance after undergoing a surface flattening treatment, and at the same time provides a smooth base for the second protective layer, thereby ensuring that the second protective layer, which is the corrosion-resistant protective layer, can generate excellent binding and adhesion, thereby improving the wear resistance of the second protective layer, and the third protective layer can achieve ultra-high hardness protection by dealing with large particulate matter, such as pebbles, sandstone, etc., in poor printing environments, thereby ensuring the service life of the product and increasing its reliability.

Claims (10)

表面に、蓄熱保温下地釉層、金属材料により形成された電極層、半導体材料により形成された発熱抵抗体層及び保護層が下から上へと順次設けられた絶縁基板が設けられており、前記保護層は、少なくとも2層のサブ保護層を備え、絶縁基板に近いサブ保護層は、第1保護層であり、第1保護層の外側には、第2保護層が複合され、前記第1保護層及び第2保護層の熱膨張係数は、50×10-7/℃~70×10-7/℃であり、且つ第2保護層の膨張係数は、第1保護層の膨張係数以下であり、
前記第1保護層のウェブスター硬さは、600~900HVであり、第1保護層のガラス釉組成物は、質量百分率で計算すると、酸化ホウ素B 5~15%、酸化アルミニウムAl 25~50%、酸化ケイ素SiOの含量範囲5~30%、ガラスフラックスの含量10~30%、の成分を含み、前記ガラスフラックスは、酸化バリウムBaO、酸化亜鉛ZnO及び酸化カルシウムCaOである、
複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
an insulating substrate is provided on its surface, on which a heat storage and heat retention base glaze layer, an electrode layer made of a metal material, a heating resistor layer made of a semiconductor material, and a protective layer are sequentially provided from bottom to top, the protective layer comprises at least two sub-protective layers, the sub-protective layer closest to the insulating substrate is a first protective layer, and a second protective layer is combined on the outside of the first protective layer, the thermal expansion coefficients of the first protective layer and the second protective layer are 50×10 -7 /°C to 70×10 -7 /°C, and the expansion coefficient of the second protective layer is equal to or less than the expansion coefficient of the first protective layer,
The Webster hardness of the first protective layer is 600 to 900 HV, and the glass glaze composition of the first protective layer includes, calculated by mass percentage, 5 to 15% boron oxide B 2 O 3 , 25 to 50% aluminum oxide Al 2 O 3 , 5 to 30% silicon oxide SiO 2 , and 10 to 30% glass flux, and the glass flux is barium oxide BaO, zinc oxide ZnO, and calcium oxide CaO.
A thermal printhead substrate having a composite lead-free protective layer.
前記第1保護層のガラス釉組成物は、組成物の総質量百分率で計算すると、酸化ホウ素Bが8~13%で、酸化アルミニウムAlが40~45%で、酸化ケイ素SiOの含量範囲が21~30%である、
請求項1に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
The glass glaze composition of the first protective layer contains boron oxide B2O3 in an amount of 8-13%, aluminum oxide Al2O3 in an amount of 40-45%, and silicon oxide SiO2 in an amount of 21-30%, calculated as a total mass percentage of the composition .
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 1.
前記第1保護層のガラス釉組成物におけるガラスフラックスは、組成物の総質量百分率で計算すると、酸化バリウムBaOの含量範囲が3~8%で、酸化亜鉛ZnOの含量範囲が2~6%で、酸化カルシウムCaOの含量範囲が5~20%である、
請求項1に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
The glass flux in the glass glaze composition of the first protective layer has a barium oxide (BaO) content range of 3 to 8%, a zinc oxide (ZnO) content range of 2 to 6%, and a calcium oxide (CaO) content range of 5 to 20%, calculated as a total mass percentage of the composition.
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 1.
前記酸化アルミニウムAlは、第1保護層における耐摩耗フィラーとして、球状又は片状の酸化アルミニウムAlを採用し、粒子径が約0.1~1μmである、
請求項1に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
The aluminum oxide Al 2 O 3 adopts spherical or flake-shaped aluminum oxide Al 2 O 3 as the wear-resistant filler in the first protective layer, and the particle size is about 0.1-1 μm;
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 1.
前記第2保護層のガラス釉組成物は、質量百分率で計算すると、酸化ホウ素Bの含量10~30%、酸化アルミニウムAlの含量20~50%、二酸化ケイ素SiOの含量範囲30~50%、ガラス釉フラックスの含量1~5%、の成分を含み、前記ガラス釉フラックスは、NaO、KOである、
請求項1に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
The glass glaze composition of the second protective layer includes, calculated by mass percentage, boron oxide B 2 O 3 content of 10-30%, aluminum oxide Al 2 O 3 content of 20-50%, silicon dioxide SiO 2 content range of 30-50%, and glass glaze flux content of 1-5%, and the glass glaze flux is Na 2 O, K 2 O;
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 1.
前記第2保護層のガラス釉組成物は、組成物の総質量百分率で計算すると、酸化ホウ素Bの含量が10~30%で、酸化アルミニウムAlの含量が25~40%で、二酸化ケイ素SiOの含量範囲が40~45%で、ガラス釉フラックスにおけるNaOの含量が2.5~5%で、KOの含量が0~5%である、
請求項5に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
The glass glaze composition of the second protective layer has a boron oxide B 2 O 3 content of 10-30%, an aluminum oxide Al 2 O 3 content of 25-40%, a silicon dioxide SiO 2 content range of 40-45%, a Na 2 O content of 2.5-5% and a K 2 O content of 0-5% in the glass glaze flux, calculated in terms of the total mass percentage of the composition;
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 5.
第2保護層の外側に複合され、炭化物、窒化物又はケイ化物により形成された超高硬度保護層であり、物理的特徴がビッカース硬さ≧1200Hvである第3保護層がさらに設けられている、
請求項1に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
A third protective layer is further provided, which is an ultra-hard protective layer formed of carbide, nitride or silicide and has a physical characteristic of Vickers hardness ≧1200Hv, and is compounded on the outside of the second protective layer.
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 1.
前記第1保護層、第3保護層は、電極層の有効領域を局所的又は全面的に被覆する、
請求項7に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板。
The first protective layer and the third protective layer locally or entirely cover an effective area of the electrode layer.
A thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 7.
複合保護層における第1保護層は、焼結が完成した後に、表面平坦化処理を採用し、平滑性処理後にその表面粗さ≦0.2μmであり、前記表面平坦化処理は、500~3000メッシュ数、粒子径<50μmの酸化アルミニウム材質のつや出しサンドベルトを採用してつや出しを行うものであり、つや出し処理後の製品に対して洗浄、乾燥を行い、そして、第1保護層の外側で、第2保護層のガラス釉組成物スラリーの印刷、焼結を行い、第2保護層を形成する、ことを含む、
請求項1~8のいずれか1項に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板の製造方法。
The first protective layer of the composite protective layer is subjected to surface flattening treatment after sintering, and the surface roughness of the first protective layer is ≦0.2μm after smoothing treatment, and the surface flattening treatment is performed by using a polishing sand belt made of aluminum oxide material with a mesh number of 500-3000 and a particle size of <50μm to polish the product after polishing treatment, and the product is washed and dried, and then the glass glaze composition slurry of the second protective layer is printed and sintered on the outside of the first protective layer to form the second protective layer.
A method for manufacturing a thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer according to any one of claims 1 to 8.
絶縁基板の表面に蓄熱下地釉層、金属電極層、発熱抵抗体層を順次調製し、そして、第1保護層スラリーを発熱抵抗体領域に印刷し、乾燥後に、焼結し、第1保護層を形成するステップ1と、
表面平滑プロセスを採用して処理し、即ち3000メッシュ数、粒子径が約5μmの酸化アルミニウム材質のつや出しサンドベルトを採用して往復のつや出し研磨を行い、つや出し処理後の製品に対して表面洗浄処理を行い、洗浄媒体として無水エタノールを採用して超音波洗浄を行い、洗浄後の製品に対して80~120℃の乾燥処理を行うステップ2と、
処理後の基板に対して第2保護層の印刷、乾燥焼結の工程を行い、第2保護層スラリーを電極被覆可能領域に印刷し、第2保護層である耐腐蝕保護層を形成するステップ3と、を含む、
請求項9に記載の複合無鉛保護層を有するサーマルプリントヘッド基板の製造方法。
Step 1: preparing a heat storage underglaze layer, a metal electrode layer, and a heating resistor layer on the surface of an insulating substrate in this order, and then printing a first protective layer slurry on the heating resistor area, drying, and then sintering to form a first protective layer;
Step 2: using a surface smoothing process, i.e. using an aluminum oxide polishing sand belt with a mesh number of 3000 and a particle size of about 5 μm to polish the product back and forth; then cleaning the surface of the product after polishing; using anhydrous ethanol as the cleaning medium to perform ultrasonic cleaning; and then drying the product at 80-120°C after cleaning;
and step 3 of printing a second protective layer on the processed substrate, drying and sintering the second protective layer slurry to print the electrode-coverable area to form a corrosion-resistant protective layer, which is the second protective layer.
A method for manufacturing a thermal printhead substrate having the composite lead-free protective layer of claim 9.
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