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JP7599134B2 - Solder paste printing system and solder paste printing method - Google Patents

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JP7599134B2
JP7599134B2 JP2021550523A JP2021550523A JP7599134B2 JP 7599134 B2 JP7599134 B2 JP 7599134B2 JP 2021550523 A JP2021550523 A JP 2021550523A JP 2021550523 A JP2021550523 A JP 2021550523A JP 7599134 B2 JP7599134 B2 JP 7599134B2
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Description

本開示は、はんだペーストを基板に印刷するはんだペースト印刷システムおよびはんだペースト印刷方法に関する。 The present disclosure relates to a solder paste printing system and a solder paste printing method for printing solder paste onto a substrate.

印刷機では、開口部が設けられたスクリーンマスクの下面が基板に接触する。次に、スキージがスクリーンマスク上で移動して、開口部にはんだ粒子とフラックスとを含むはんだペーストが押し込まれて基板にはんだペーストが転写される。はんだペーストが印刷された基板は、カメラによって撮影される。この撮影結果から印刷不良の有無が検出される。印刷不良は、転写されたはんだペーストが隣接するはんだペーストとつながった状態(はんだブリッジ)や、必要な位置からはんだペーストが欠落した状態を含む(例えば、特許文献1参照)。In the printing machine, the underside of a screen mask with openings is brought into contact with the substrate. Next, a squeegee moves over the screen mask, and solder paste containing solder particles and flux is forced into the openings, transferring the solder paste to the substrate. The substrate on which the solder paste has been printed is photographed by a camera. The photographed result is used to detect the presence or absence of printing defects. Printing defects include a state in which the transferred solder paste is connected to adjacent solder paste (solder bridge) and a state in which solder paste is missing from a required position (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1に記載の検出方法では、基板とのコントラストが大きくなるように着色されたはんだペースト(クリーム状半田)を用い、このようなはんだペーストが印刷された基板をカメラが撮影する。そして、撮影されたはんだペーストの形状から印刷不良の有無が検査される。印刷不良が検出されるとスクリーンマスクが清掃される。In the detection method described in Patent Document 1, a solder paste (cream solder) that is colored to increase the contrast with the board is used, and a camera photographs the board on which the solder paste is printed. The presence or absence of printing defects is then inspected from the shape of the solder paste photographed. If a printing defect is detected, the screen mask is cleaned.

特開平5-123892号公報Japanese Patent Application Publication No. 5-123892

本開示のはんだペースト印刷システムは、はんだ粒子とフラックスとを含むはんだペーストを基板に印刷する印刷機と、前記基板に印刷された前記はんだペーストの前記はんだ粒子と前記フラックスとを検出する検出部と、前記検出部による検出結果より前記フラックスの状態が良好か不良かを判定するフラックス状態判定部と、を備え、前記フラックス状態判定部によって前記フラックスの状態が不良と判断されたら、前記印刷機は、未印刷基板に前記はんだペーストが印刷される前に前記はんだペーストの前記フラックスの状態を変更する操作を実行し、前記検出部は、前記基板に印刷された前記はんだペーストを撮影するカメラと、前記基板に第1照明光を照射する第1照明部と、前記基板に、前記第1照明光よりも前記基板に対して傾いている第2照明光を照射する第2照明部と、を有し、前記第1照明光を照射しながら前記カメラにより撮影された第1画像に基づき前記はんだ粒子を検出し、前記第2照明光を照射しながら前記カメラにより撮影された第2画像に基づき前記フラックスを検出する The solder paste printing system disclosed herein includes a printer that prints a solder paste containing solder particles and flux onto a substrate, a detection unit that detects the solder particles and the flux in the solder paste printed on the substrate, and a flux state determination unit that determines whether a state of the flux is good or bad based on a detection result by the detection unit, and if the flux state determination unit determines that the state of the flux is bad, the printer performs an operation to change the state of the flux in the solder paste before the solder paste is printed onto an unprinted substrate, and the detection unit includes a camera that photographs the solder paste printed on the substrate, a first illumination unit that irradiates the substrate with a first illumination light, and a second illumination unit that irradiates the substrate with a second illumination light that is tilted more toward the substrate than the first illumination light, and detects the solder particles based on a first image captured by the camera while irradiating the first illumination light, and detects the flux based on a second image captured by the camera while irradiating the second illumination light .

本開示のはんだペースト印刷方法では、はんだ粒子とフラックスを含むはんだペーストを基板に印刷するステップと、前記基板に印刷された前記はんだペーストの前記はんだ粒子と前記フラックスとを検出して検出結果を求めるステップと、前記検出結果より、前記フラックスの状態が良好か不良かを判定するステップと、前記フラックスの状態が不良と判断されたら、未印刷基板に前記はんだペーストが印刷される前に前記はんだペーストの前記フラックスの状態を変更する操作を実行するステップと、を備え、前記検出結果を求めるステップにおいて、前記はんだペーストが印刷された前記基板に第1照明光を照射しながらカメラにより撮影された第1画像に基づき前記はんだ粒子を検出し、前記第1照明光よりも前記基板に対して傾いている第2照明光を前記基板に照射しながら前記カメラにより撮影された第2画像に基づき前記フラックスを検出する The solder paste printing method disclosed herein includes the steps of printing a solder paste containing solder particles and flux onto a substrate; detecting the solder particles and the flux in the solder paste printed on the substrate to obtain a detection result; determining whether the state of the flux is good or bad based on the detection result; and, if the state of the flux is determined to be bad, performing an operation to change the state of the flux in the solder paste before the solder paste is printed on an unprinted substrate. In the step of obtaining the detection result, the solder particles are detected based on a first image taken by a camera while irradiating the substrate on which the solder paste has been printed with a first illumination light, and the flux is detected based on a second image taken by the camera while irradiating the substrate with a second illumination light that is tilted more inclined relative to the substrate than the first illumination light .

本開示によれば、印刷不良を未然に防止することができる。 According to the present disclosure, printing defects can be prevented in advance.

本開示の実施の形態に係るスクリーン印刷システムの概略構成図FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a screen printing system according to an embodiment of the present disclosure. 図1に示すスクリーン印刷システムにおける印刷機の構成図FIG. 2 is a configuration diagram of a printing machine in the screen printing system shown in FIG. 1. 図2に示す印刷機によりはんだペーストを印刷する工程を示す断面図FIG. 3 is a cross-sectional view showing a process of printing solder paste by the printer shown in FIG. 図3Aに続く、はんだペーストを印刷する工程を示す断面図FIG. 3B is a cross-sectional view showing a step of printing solder paste, subsequent to FIG. 3A . 図3Bに続く、はんだペーストを印刷する工程を示す断面図FIG. 3C is a cross-sectional view showing a step of printing solder paste, subsequent to FIG. 図1に示すスクリーン印刷システムにおける印刷はんだ検査装置の構成図A configuration diagram of a printed solder inspection device in the screen printing system shown in FIG. はんだペーストが印刷された基板を図4に示す印刷はんだ検査装置の第1照射部で照射して、検査カメラで撮影した画像の例を示す図FIG. 5 is a diagram showing an example of an image captured by an inspection camera when a board on which solder paste has been printed is irradiated by a first irradiation unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 図5Aに示す基板を図4に示す印刷はんだ検査装置の第2照射部で照射して、検査カメラで撮影した画像の例を示す図FIG. 5B is a diagram showing an example of an image taken by an inspection camera when the substrate shown in FIG. 5A is irradiated by the second irradiation unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 4. 図2に示す印刷機の制御系の構成を示す機能ブロック図FIG. 3 is a functional block diagram showing the configuration of a control system of the printing press shown in FIG. 図4に示す印刷はんだ検査装置の制御系の構成を示す機能ブロック図FIG. 5 is a functional block diagram showing the configuration of a control system of the printed solder inspection device shown in FIG. 図2に示す印刷機における印刷前のスクリーンマスクの状態の例を示す断面図FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a state of a screen mask before printing in the printing machine shown in FIG. 図2に示す印刷機における印刷後のスクリーンマスクの状態の例を示す断面図FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a state of a screen mask after printing in the printing machine shown in FIG. 図8Bに示す状態よりも多くの回数の印刷が実行された後のスクリーンマスクの状態の例を示す断面図FIG. 8C is a cross-sectional view showing an example of the state of the screen mask after more printing has been performed than in the state shown in FIG. 図8Cに示す状態よりも多くの回数の印刷が実行された後のスクリーンマスクの状態の例を示す断面図FIG. 8D is a cross-sectional view showing an example of the state of the screen mask after printing has been performed more times than in the state shown in FIG. 図8Cに示す状態のスクリーンマスクを用いてはんだペーストが印刷された基板を、図4に示す印刷はんだ検査装置の第1照射部で照射して、検査カメラで撮影した画像の例を示す図FIG. 8D is a diagram showing an example of an image taken by an inspection camera after irradiating a board on which solder paste has been printed using the screen mask shown in FIG. 8C with the first irradiation unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 4; 図9Aに示す基板を図4に示す印刷はんだ検査装置の第2照射部で照射して、検査カメラで撮影した画像の例を示す図FIG. 9B is a diagram showing an example of an image taken by an inspection camera after illuminating the board shown in FIG. 9A with the second illumination unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 4; 図8Dに示す状態のスクリーンマスクを用いてはんだペーストが印刷された基板を、図4に示す印刷はんだ検査装置の第1照射部で照射して、検査カメラで撮影した画像の例を示す図FIG. 8D shows an example of an image captured by an inspection camera when a board on which solder paste has been printed using the screen mask shown in FIG. 8D is irradiated by the first irradiation unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 4 . 図10Aに示す基板を図4に示す印刷はんだ検査装置の第2照射部で照射して、検査カメラで撮影した画像の例を示す図FIG. 10B is a diagram showing an example of an image taken by an inspection camera after illuminating the board shown in FIG. 10A with the second illumination unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 4; 図7に示す印刷はんだ検査装置の第2記憶部に記憶されるフラックスの検出結果の例を示す図FIG. 8 is a diagram showing an example of a flux detection result stored in a second storage unit of the printed solder inspection device shown in FIG. 7 . 本開示の実施の形態のスクリーン印刷方法の一部を示すフローチャート1 is a flowchart showing a part of a screen printing method according to an embodiment of the present disclosure. 本開示の実施の形態のスクリーン印刷方法の他の一部を示すフローチャート1 is a flowchart showing another part of the screen printing method according to an embodiment of the present disclosure.

本開示の実施の形態の説明に先立ち、本開示の着想に至った経緯を簡単に説明する。特許文献1では、着色したはんだペースト全体の形状からはんだブリッジなどの印刷不良を検出している。そのため、はんだペーストに含まれるはんだ粒子がつながったのかフラックスがつながったのかを区別することができない。しかしながら、はんだ粒子とフラックスとでは流動性が異なる。そのため、はんだブリッジなどの印刷不良が発生する前の両者の挙動も異なっている。したがって、繰り返し実行するスクリーン印刷の過程において印刷不良の予兆をとらえ、印刷不良が発生する前に適切な改善処理を実行するためにはさらなる改善の余地がある。Before describing the embodiments of the present disclosure, the background to the conception of the present disclosure will be briefly described. In Patent Document 1, printing defects such as solder bridges are detected from the overall shape of the colored solder paste. Therefore, it is not possible to distinguish whether the solder particles or the flux contained in the solder paste have connected. However, the fluidity of solder particles and flux is different. Therefore, the behavior of the two before a printing defect such as a solder bridge occurs is also different. Therefore, there is room for further improvement in order to capture the signs of printing defects during the process of repeatedly performing screen printing and to perform appropriate improvement processing before the printing defect occurs.

本開示は、印刷不良を未然に防止することができるはんだペースト印刷システムおよびはんだペースト印刷方法を提供する。 The present disclosure provides a solder paste printing system and a solder paste printing method that can prevent printing defects.

以下に図面を参照しながら、本開示の実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、スクリーン印刷システム、印刷機、印刷はんだ検査装置、管理コンピュータの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。以下、基板の搬送方向に平行な軸をX軸、X軸と水平面内において直交する軸(図2における左右)をY軸、水平面に直交する軸(図2における上下)をZ軸と定義する。 The embodiments of the present disclosure will be described in detail below with reference to the drawings. The configurations, shapes, etc. described below are examples for explanatory purposes and can be modified as appropriate according to the specifications of the screen printing system, the printer, the printed solder inspection device, and the management computer. In the following, the same reference numerals are used for corresponding elements in all drawings, and duplicated explanations will be omitted. Hereinafter, the axis parallel to the substrate transport direction is defined as the X-axis, the axis perpendicular to the X-axis in the horizontal plane (left and right in FIG. 2) is defined as the Y-axis, and the axis perpendicular to the horizontal plane (up and down in FIG. 2) is defined as the Z-axis.

まず図1を参照して、本開示の実施の形態に係るはんだペースト印刷システムの一例であるスクリーン印刷システム1の構成について説明する。スクリーン印刷システム1は、管理コンピュータ3と、基板搬送方向の上流(紙面左)から下流(紙面右)に向けて直列に連結された印刷機M1と、印刷はんだ検査装置(以下、検査装置)M2とを含む。印刷機M1と検査装置M2とは、通信ネットワーク2を介して管理コンピュータ3に接続されている。管理コンピュータ3は、各装置で使用される制御プログラムなどを含む生産データ、検査結果情報などを記憶し、印刷機M1、検査装置M2との間で情報を送受信する。First, referring to FIG. 1, the configuration of a screen printing system 1, which is an example of a solder paste printing system according to an embodiment of the present disclosure, will be described. The screen printing system 1 includes a management computer 3, a printer M1 connected in series from upstream (left side of the page) to downstream (right side of the page) in the board transport direction, and a printed solder inspection device (hereinafter, inspection device) M2. The printer M1 and inspection device M2 are connected to the management computer 3 via a communication network 2. The management computer 3 stores production data, inspection result information, etc., including control programs used by each device, and transmits and receives information between the printer M1 and the inspection device M2.

印刷機M1は、スクリーンマスクに設けられた開口部を介して、上流から搬入された基板にはんだペーストを印刷する。検査装置M2は、検査カメラ、3次元センサなどを有している。検査装置M2は、これらを用いて、印刷機M1から搬送された基板の上面に印刷されたはんだペーストの状態やはんだペーストの量などを検査する。検査結果は、管理コンピュータ3に送信されるとともに、印刷機M1にも送信される。スクリーン印刷システム1は、基板に部品実装する実装基板製造ラインの上流側に配置され、検査装置M2で検査を終えた基板はその下流に配置される部品装着装置などへ搬送される。The printer M1 prints solder paste onto the board brought in from upstream through an opening in a screen mask. The inspection device M2 has an inspection camera, a three-dimensional sensor, etc. Using these, the inspection device M2 inspects the condition and amount of solder paste printed on the top surface of the board transported from the printer M1. The inspection results are sent to the management computer 3 and also to the printer M1. The screen printing system 1 is positioned upstream of the mounting board production line where components are mounted on the board, and the board that has finished inspection by the inspection device M2 is transported to a component mounting device or the like positioned downstream.

次に図2を参照して、印刷機M1の構成を説明する。印刷機M1は、基台4上にX軸に沿って延びる一対のコンベア5を有している。基台4には、印刷制御部Cが設けられている。コンベア5は印刷制御部Cによって制御され、印刷機M1の上流から受け取った基板6をX軸に沿って作業位置へ搬送し、スクリーン印刷が終了すると、基板6を印刷機M1の下流に搬出する。X軸におけるコンベア5の中央付近には、印刷制御部Cによって制御される基板保持部7が設けられている。基板保持部7は、コンベア5が搬送する基板6を受け取って、所定のクランプ位置(作業位置)に保持する。 Next, the configuration of the printing machine M1 will be described with reference to FIG. 2. The printing machine M1 has a pair of conveyors 5 extending along the X-axis on a base 4. A printing control unit C is provided on the base 4. The conveyors 5 are controlled by the printing control unit C, and transport the substrate 6 received from upstream of the printing machine M1 to a working position along the X-axis, and when screen printing is completed, the substrate 6 is transported downstream of the printing machine M1. A substrate holding unit 7 controlled by the printing control unit C is provided near the center of the conveyor 5 on the X-axis. The substrate holding unit 7 receives the substrate 6 transported by the conveyor 5 and holds it at a predetermined clamp position (working position).

基板保持部7の上方には、スクリーンマスク8が設置されている。スクリーンマスク8には、基板6にはんだペーストPstを印刷するための複数の開口部8aと、マスクマーク(図示省略)とが設けられている。スクリーンマスク8は、X軸とY軸とで定義される平面に広がって延びた矩形平板形状を有しており、その外周は枠部材8wによって支持されている。A screen mask 8 is installed above the substrate holding portion 7. The screen mask 8 is provided with a plurality of openings 8a for printing the solder paste Pst on the substrate 6, and a mask mark (not shown). The screen mask 8 has a rectangular flat plate shape that extends in a plane defined by the X-axis and the Y-axis, and its outer periphery is supported by a frame member 8w.

基台4上には、XYテーブル9、θテーブル10、基板昇降機構11が下方から順に設けられている。XYテーブル9は、θテーブル10を水平面内で(X軸、Y軸に沿って)移動させる。θテーブル10は、基板昇降機構11をZ軸周りに回転させる。基板昇降機構11は、矢印a1で示すように、基板保持部7を下方から支持して上下に移動させる。XYテーブル9、θテーブル10、基板昇降機構11は、印刷制御部Cによって制御されている。 On the base 4, an XY table 9, a θ table 10, and a substrate lifting mechanism 11 are arranged in this order from the bottom. The XY table 9 moves the θ table 10 in a horizontal plane (along the X-axis and Y-axis). The θ table 10 rotates the substrate lifting mechanism 11 around the Z-axis. The substrate lifting mechanism 11 supports the substrate holding part 7 from below and moves it up and down, as shown by arrow a1. The XY table 9, the θ table 10, and the substrate lifting mechanism 11 are controlled by the printing control part C.

スクリーンマスク8の下方には、基板認識用のカメラとマスク認識用のカメラとを内蔵するカメラユニット13が設けられている。カメラユニット13は、矢印a2で示すように、図6を参照して後述する第1移動機構14によって水平面内を移動する。第1移動機構14は、印刷制御部Cによって制御される。カメラユニット13は、基板6とスクリーンマスク8との間に移動して、基板6に形成された位置合わせ用の基板マークと、スクリーンマスク8に形成された位置合わせ用のマスクマークとを撮影する。印刷制御部Cは、カメラユニット13で撮影された画像に基づいてマスクマークの位置と基板マークの位置とを認識する。Below the screen mask 8, a camera unit 13 incorporating a camera for substrate recognition and a camera for mask recognition is provided. As indicated by arrow a2, the camera unit 13 moves in a horizontal plane by a first moving mechanism 14, which will be described later with reference to FIG. 6. The first moving mechanism 14 is controlled by the printing control unit C. The camera unit 13 moves between the substrate 6 and the screen mask 8 to photograph a substrate mark for alignment formed on the substrate 6 and a mask mark for alignment formed on the screen mask 8. The printing control unit C recognizes the positions of the mask mark and the substrate mark based on the image photographed by the camera unit 13.

図3Aに示すように、基板6上には、複数のランド6aが設けられている。印刷制御部Cは、マークの認識結果に基づいて、XYテーブル9、θテーブル10、基板昇降機構11を制御する。そして、スクリーンマスク8に形成された複数の開口部8aと、基板保持部7が保持する基板6上の複数のランド6aが一致するように、スクリーンマスク8に対する基板6の位置と向きを合わせる。次いで印刷制御部Cは、基板保持部7を上昇させて、基板6を下方からスクリーンマスク8に接触させる。このように、XYテーブル9、θテーブル10、基板昇降機構11は、位置決め機構12を構成する。位置決め機構12は、基板保持部7を移動させて基板保持部7に保持された基板6をスクリーンマスク8に位置合わせする。3A, a plurality of lands 6a are provided on the substrate 6. The printing control unit C controls the XY table 9, the θ table 10, and the substrate lifting mechanism 11 based on the mark recognition result. Then, the printing control unit C adjusts the position and orientation of the substrate 6 relative to the screen mask 8 so that the plurality of openings 8a formed in the screen mask 8 coincide with the plurality of lands 6a on the substrate 6 held by the substrate holding unit 7. Next, the printing control unit C raises the substrate holding unit 7 to bring the substrate 6 into contact with the screen mask 8 from below. In this way, the XY table 9, the θ table 10, and the substrate lifting mechanism 11 constitute a positioning mechanism 12. The positioning mechanism 12 moves the substrate holding unit 7 to align the substrate 6 held by the substrate holding unit 7 with the screen mask 8.

スクリーンマスク8の上方には、印刷ヘッド20が設けられている。印刷ヘッド20は、図6を参照して後述する第2移動機構15によって、矢印a3で示すように、Y軸に沿って移動する。印刷ヘッド20は、第2移動機構15によって水平面内を移動する移動ベース21を含む。移動ベース21には、2基のスキージ保持部22がY軸に沿って並んで配置されている。スキージ保持部22はそれぞれ、X軸に沿って延びたスキージ23を下端に保持し、移動ベース21に設けられた昇降機構24によって矢印a4で示すように、上下に移動する。第2移動機構15、印刷ヘッド20は、印刷制御部Cによって制御される。A print head 20 is provided above the screen mask 8. The print head 20 is moved along the Y axis as shown by the arrow a3 by the second movement mechanism 15 described later with reference to FIG. 6. The print head 20 includes a movement base 21 that is moved in a horizontal plane by the second movement mechanism 15. Two squeegee holding units 22 are arranged side by side along the Y axis on the movement base 21. Each of the squeegee holding units 22 holds a squeegee 23 extending along the X axis at its lower end, and moves up and down as shown by the arrow a4 by a lifting mechanism 24 provided on the movement base 21. The second movement mechanism 15 and the print head 20 are controlled by the print control unit C.

スクリーンマスク8の下方であってY軸のマイナス位置(前側)には、スクリーンマスク8の裏面や開口部8a内に残留したはんだペーストPstを掃除するクリーニング機構30が設けられている。クリーニング機構30は、図6を参照して後述する第3移動機構16によって、矢印a5で示すように、Y軸に沿って移動する。第3移動機構16は、印刷制御部Cによって制御される。クリーニング機構30は、拭取りヘッド31を有している。拭取りヘッド31は、X軸に沿って延びており、矢印a6で示すように、Z軸に沿って移動する。A cleaning mechanism 30 is provided below the screen mask 8 at the negative position (front side) of the Y axis to clean the solder paste Pst remaining on the back surface of the screen mask 8 and in the openings 8a. The cleaning mechanism 30 moves along the Y axis as shown by the arrow a5 by a third moving mechanism 16, which will be described later with reference to FIG. 6. The third moving mechanism 16 is controlled by the print control unit C. The cleaning mechanism 30 has a wiping head 31. The wiping head 31 extends along the X axis and moves along the Z axis as shown by the arrow a6.

クリーニング機構30において、Y軸における拭取りヘッド31を挟む前後には、未使用のクリーニングペーパ32を巻回したペーパロール33Aと、使用済みのクリーニングペーパ32を回収するペーパロール33Bとがそれぞれ装着されている。ペーパロール33Aから引き出されたクリーニングペーパ32は、拭取りヘッド31の上面を摺動しながら経て、ペーパロール33Bに巻き取られる。ペーパロール33Bは、印刷制御部Cによって制御されるロール回転機構34によって回転する。クリーニング機構30はさらに、塗布部35を有している。塗布部35は、印刷制御部Cによって制御され、はんだペーストPstに含まれるフラックスを溶かす溶剤をクリーニングペーパ32に塗布する。In the cleaning mechanism 30, a paper roll 33A on which unused cleaning paper 32 is wound and a paper roll 33B for collecting used cleaning paper 32 are mounted in front of and behind the wiping head 31 on the Y axis. The cleaning paper 32 pulled out from the paper roll 33A slides over the top surface of the wiping head 31 and is wound up on the paper roll 33B. The paper roll 33B is rotated by a roll rotation mechanism 34 controlled by the print control unit C. The cleaning mechanism 30 further has an application unit 35. The application unit 35 is controlled by the print control unit C and applies a solvent that dissolves the flux contained in the solder paste Pst to the cleaning paper 32.

スクリーンマスク8に残留したはんだペーストPstを掃除する際、印刷制御部Cは、予め設定されたパターンで、湿式クリーニング方式、または、乾式クリーニング方式でスクリーンマスク8をクリーニングする。湿式クリーニング方式では、印刷制御部Cは、塗布部35によって溶剤を塗布されたクリーニングペーパ32を拭取りヘッド31で上昇させる。これにより、クリーニングペーパ32をスクリーンマスク8の裏面に当接させ、クリーニング機構30をY軸に沿って移動させる。このようにして、印刷制御部Cは、残留したはんだペーストPstを拭き取る。乾式クリーニング方式では、印刷制御部Cは、溶剤を塗布していないクリーニングペーパ32を拭取りヘッド31で上昇させてスクリーンマスク8の裏面に当接させる。そして、クリーニング機構30をY軸に沿って移動させて、残留したはんだペーストPstを拭き取る。When cleaning the solder paste Pst remaining on the screen mask 8, the printing control unit C cleans the screen mask 8 using a wet cleaning method or a dry cleaning method in a preset pattern. In the wet cleaning method, the printing control unit C raises the cleaning paper 32 to which a solvent has been applied by the application unit 35 with the wiping head 31. This causes the cleaning paper 32 to abut against the back surface of the screen mask 8, and moves the cleaning mechanism 30 along the Y axis. In this way, the printing control unit C wipes off the remaining solder paste Pst. In the dry cleaning method, the printing control unit C raises the cleaning paper 32 to which no solvent has been applied with the wiping head 31 and abuts it against the back surface of the screen mask 8. Then, the cleaning mechanism 30 moves along the Y axis to wipe off the remaining solder paste Pst.

次に図3A~図3Cを参照して、印刷機M1によってはんだペーストPstを基板6に印刷する印刷工程(印刷作業)について説明する。図3Aに示すように、基板6の上面には電極である複数のランド6aが形成されている。基板6の上面の、ランド6a以外の部分には、絶縁体であるレジスト6bが形成されている。基板6は、スクリーンマスク8の下方まで移動して基板保持部7に保持されている。印刷工程では、まず、印刷制御部Cは、図2に示す位置決め機構12を制御して、基板6をスクリーンマスク8に位置合わせする。次いで印刷制御部Cは、矢印b1で示すように、基板保持部7を上昇させて、基板6をスクリーンマスク8の下面に接触させる。 Next, referring to Figures 3A to 3C, the printing process (printing work) in which the printer M1 prints the solder paste Pst on the substrate 6 will be described. As shown in Figure 3A, a plurality of lands 6a, which are electrodes, are formed on the upper surface of the substrate 6. Resist 6b, which is an insulator, is formed on the portion of the upper surface of the substrate 6 other than the lands 6a. The substrate 6 is moved to below the screen mask 8 and is held by the substrate holding unit 7. In the printing process, first, the printing control unit C controls the positioning mechanism 12 shown in Figure 2 to align the substrate 6 with the screen mask 8. Next, the printing control unit C raises the substrate holding unit 7 as shown by arrow b1, and brings the substrate 6 into contact with the lower surface of the screen mask 8.

次いで図3Bに示すように、印刷制御部Cは、スキージ23を下降させてスクリーンマスク8上に当接させた後、矢印b2で示すように、Y軸に沿って摺動させる。この摺動によって、スクリーンマスク8上に供給されたはんだペーストPstは、開口部8aに押し込まれ、基板6に転写される。この転写工程において、印刷制御部Cは、所定の印刷条件で、はんだペーストPstを基板6に転写させる。所定の印刷条件は、スキージ23をスクリーンマスク8に押し付ける圧力(印圧)と、スキージ23を移動させる速度とを含む。3B, the printing control unit C then lowers the squeegee 23 to contact the screen mask 8, and then slides it along the Y axis as shown by arrow b2. This sliding forces the solder paste Pst supplied onto the screen mask 8 into the openings 8a and is transferred to the substrate 6. In this transfer process, the printing control unit C transfers the solder paste Pst to the substrate 6 under specified printing conditions. The specified printing conditions include the pressure (printing pressure) with which the squeegee 23 is pressed against the screen mask 8, and the speed at which the squeegee 23 is moved.

図3Cに示すように、次いで印刷制御部Cは、矢印b3で示すように、基板保持部7を下降させながら、基板6をスクリーンマスク8から引き離す。この離版工程において、印刷制御部Cは、所定の下降速度で基板6を下降させる離反条件で、基板6をスクリーンマスク8から引き離す。これによって、基板6のランド6a上に、はんだペーストPstが印刷(堆積)される。はんだペーストPstは、はんだ粒子SとフラックスFとを含んでおり、基板6上に印刷されるとはんだ粒子Sの堆積物の外周に流動性があるフラックスFがにじんだ状態となる。このように、印刷機M1は、スクリーンマスク8に設けられた開口部8aを介して、はんだ粒子SとフラックスFとを含むはんだペーストPstを基板6に印刷する。3C, the printing control unit C then separates the substrate 6 from the screen mask 8 while lowering the substrate holding unit 7 as shown by the arrow b3. In this release process, the printing control unit C separates the substrate 6 from the screen mask 8 under a separation condition in which the substrate 6 is lowered at a predetermined lowering speed. This causes the solder paste Pst to be printed (deposited) on the land 6a of the substrate 6. The solder paste Pst contains solder particles S and flux F, and when printed on the substrate 6, the flux F, which has fluidity, is smudged on the periphery of the deposit of solder particles S. In this way, the printer M1 prints the solder paste Pst containing the solder particles S and flux F on the substrate 6 through the opening 8a provided in the screen mask 8.

次に図4を参照して、検査装置M2の構成を説明する。検査装置M2は、基台40上にX軸に沿って延びる一対のコンベア41を有している。コンベア41は、上流の印刷機M1から受け取った印刷済基板(以下、基板とも称す)6PをX軸に沿って検査位置まで搬送して、検査が終了すると、検査装置M2の下流に搬出する。X軸におけるコンベア41の中央付近には、基板保持部42が設けられている。基板保持部42は、コンベア41が搬送する基板6Pを受け取って、所定のクランプ位置(検査位置)に保持する。基板保持部42には、基板6の重量を計測する計量器43が設置されている。Next, the configuration of the inspection device M2 will be described with reference to FIG. 4. The inspection device M2 has a pair of conveyors 41 extending along the X-axis on a base 40. The conveyor 41 transports the printed board (hereinafter also referred to as board) 6P received from the upstream printing machine M1 along the X-axis to an inspection position, and when the inspection is completed, it transports it downstream of the inspection device M2. A board holding unit 42 is provided near the center of the conveyor 41 on the X-axis. The board holding unit 42 receives the board 6P transported by the conveyor 41 and holds it at a predetermined clamp position (inspection position). A weighing device 43 that measures the weight of the board 6 is installed on the board holding unit 42.

基板保持部42の上方には、検査ヘッド44が設置されている。検査ヘッド44は、図7を参照して後述する移動機構45によって水平面内を移動する。検査ヘッド44は、検査カメラ(以下、カメラ)46と、第1照明部47と、第2照明部48と、高さ検出部49とを有している。カメラ46は、光軸46aを下方に向けて設置されており、基板保持部42に保持された基板6の上方を移動して、基板6に印刷されたはんだペーストPstを撮影する。An inspection head 44 is installed above the board holding part 42. The inspection head 44 moves in a horizontal plane by a moving mechanism 45, which will be described later with reference to FIG. 7. The inspection head 44 has an inspection camera (hereinafter, camera) 46, a first lighting unit 47, a second lighting unit 48, and a height detection unit 49. The camera 46 is installed with its optical axis 46a facing downward, and moves above the board 6 held by the board holding part 42 to capture an image of the solder paste Pst printed on the board 6.

第1照明部47はカメラ46の周囲に配置されており、カメラ46が撮影する基板6上の部分を照明する。また、第2照明部48はカメラ46の周囲であって、カメラ46から見て第1照明部47より外側に配置されており、カメラ46が撮影する基板6上の部分を照明する。すなわち、第2照明部48から照射される第2照明光48aは、第1照明部47から照射される第1照明光47aよりも基板6に対して傾いている。The first illumination unit 47 is disposed around the camera 46 and illuminates the portion of the board 6 photographed by the camera 46. The second illumination unit 48 is disposed around the camera 46, outside the first illumination unit 47 as viewed from the camera 46, and illuminates the portion of the board 6 photographed by the camera 46. That is, the second illumination light 48a irradiated from the second illumination unit 48 is tilted more with respect to the board 6 than the first illumination light 47a irradiated from the first illumination unit 47.

検査装置M2では、カメラ46が撮影する対象に応じて、第1照明部47と第2照明部48とが切り替えられて、または、同時に使用される。あるいは、カメラ46が撮影する対象に応じて、第1照明部47から照射される第1照明光47aの強度と第2照明部48から照射される第2照明光48aの強度とが変更される。高さ検出部49は3Dセンサなどを含み、基板保持部42に保持された基板6の上方を移動して、計測光49aを照射しながら基板6上に印刷されたはんだペーストPstの位置、はんだペーストPstの高さを含む形状を計測し、基板6に印刷されたはんだペーストPstの状態を検出する。In the inspection device M2, the first illumination unit 47 and the second illumination unit 48 are switched or used simultaneously depending on the object photographed by the camera 46. Alternatively, the intensity of the first illumination light 47a irradiated from the first illumination unit 47 and the intensity of the second illumination light 48a irradiated from the second illumination unit 48 are changed depending on the object photographed by the camera 46. The height detection unit 49 includes a 3D sensor and moves above the board 6 held by the board holding unit 42, and measures the position of the solder paste Pst printed on the board 6 and the shape including the height of the solder paste Pst while irradiating the measurement light 49a, and detects the state of the solder paste Pst printed on the board 6.

次に図5A、図5Bを参照して、印刷機M1においてはんだペーストPstが印刷された基板6Pを、検査装置M2が有するカメラ46で撮影した画像の例について説明する。図5Aは第1照明部47から第1照明光47aを照射しながら、図5Bは第2照明部48から第2照明光48aを照射しながら、それぞれ、カメラ46によって基板6上の同じ位置を撮影した画像50,51を示している。図5Aにおいて、基板6の上面に形成されたランド6aには、スクリーンマスク8に形成された円形の開口部8aを介してはんだペーストPstが円柱状に印刷されている。Next, referring to Figures 5A and 5B, an example of an image of a substrate 6P on which solder paste Pst has been printed by a printer M1, taken by a camera 46 of an inspection device M2 will be described. Figure 5A shows images 50 and 51 taken by the camera 46 of the same position on the substrate 6 while irradiating the substrate with a first illumination light 47a from a first illumination unit 47, and Figure 5B shows images 50 and 51 taken by the camera 46 while irradiating the substrate with a second illumination light 48a from a second illumination unit 48. In Figure 5A, solder paste Pst is printed in a cylindrical shape on a land 6a formed on the upper surface of the substrate 6 through a circular opening 8a formed in a screen mask 8.

第1照明光47aを照射しながら撮影した画像50には、基板6上のランド6aとレジスト6bとの境界の他、はんだペーストPstに含まれるはんだ粒子Sの堆積物が写っている。図5Bにおいて、第2照明光48aを照射しながら撮影した画像51には、基板6上のランド6aとレジスト6bとの境界、はんだ粒子Sの堆積物に加え、はんだペーストPstに含まれるフラックスFが写っている。フラックスFは、基板6上に印刷されたはんだ粒子Sの堆積物から外に向かってにじみ出ている。このように、第2照明光48aが斜めに照射されることによって、基板6上のフラックスFの状態を検出することができる。 Image 50 captured while irradiating first illumination light 47a shows the boundary between land 6a and resist 6b on substrate 6, as well as the deposit of solder particles S contained in solder paste Pst. In FIG. 5B, image 51 captured while irradiating second illumination light 48a shows the boundary between land 6a and resist 6b on substrate 6, the deposit of solder particles S, as well as the flux F contained in solder paste Pst. Flux F seeps outward from the deposit of solder particles S printed on substrate 6. In this way, the state of flux F on substrate 6 can be detected by irradiating second illumination light 48a at an angle.

このように、カメラ46と、カメラ46が撮影する基板6を照射する少なくとも1つの照明部(第1照明部47、第2照明部48)とは、基板6に印刷されたはんだペーストPstのはんだ粒子SとフラックスFを検出する検出部として機能する。検査装置M2は、基板6に印刷されたはんだペーストPstの状態を検査する。すなわち、この検出部は、スクリーン印刷システム1が有する検査装置M2に設けられている。In this way, the camera 46 and at least one illumination unit (first illumination unit 47, second illumination unit 48) that illuminates the board 6 photographed by the camera 46 function as a detection unit that detects the solder particles S and flux F of the solder paste Pst printed on the board 6. The inspection device M2 inspects the state of the solder paste Pst printed on the board 6. That is, this detection unit is provided in the inspection device M2 that the screen printing system 1 has.

次に図6を参照して、印刷機M1の制御系の構成について説明する。印刷機M1が有する印刷制御部Cには、コンベア5、基板保持部7、位置決め機構12、カメラユニット13、第1移動機構14、第2移動機構15、第3移動機構16、タッチパネル17、印刷ヘッド20、クリーニング機構30が接続されている。タッチパネル17は、液晶パネルに印刷機M1の操作画面などを表示する表示機能と、表示された操作画面を操作することによりコマンドや各種情報などを入力する入力機能を有している。なお、タッチパネル17に代えて、液晶パネルなどの表示装置と、マウスやスイッチなどの入力装置とを別個に設けてもよい。Next, the configuration of the control system of the printing machine M1 will be described with reference to Figure 6. The printing control unit C of the printing machine M1 is connected to the conveyor 5, substrate holding unit 7, positioning mechanism 12, camera unit 13, first moving mechanism 14, second moving mechanism 15, third moving mechanism 16, touch panel 17, print head 20, and cleaning mechanism 30. The touch panel 17 has a display function for displaying the operation screen of the printing machine M1 on the liquid crystal panel, and an input function for inputting commands and various information by operating the displayed operation screen. Note that instead of the touch panel 17, a display device such as a liquid crystal panel and an input device such as a mouse or switch may be provided separately.

印刷制御部Cは、記憶部60と、第1処理部61と、第2処理部62と、計画管理部63と、第3処理部64と、通信部65とを有している。通信部65は、ネットワーク通信装置であり、通信ネットワーク2を介して管理コンピュータ3、検査装置M2との間で情報を送受信する。記憶部60は、書き換え可能なRAM(ランダムアクセスメモリ)などを含む記憶装置である。記憶部60は、基板6の種類毎に、印刷ヘッド20が基板6にはんだペーストPstを印刷する印刷条件、マスククリーニングを実行するマスククリーニング条件などを記憶している。The printing control unit C has a memory unit 60, a first processing unit 61, a second processing unit 62, a planning management unit 63, a third processing unit 64, and a communication unit 65. The communication unit 65 is a network communication device that transmits and receives information between the management computer 3 and the inspection device M2 via the communication network 2. The memory unit 60 is a storage device that includes a rewritable RAM (random access memory) and the like. The memory unit 60 stores, for each type of substrate 6, printing conditions under which the print head 20 prints solder paste Pst on the substrate 6, mask cleaning conditions for performing mask cleaning, and the like.

印刷条件は、前述のように、スキージ23が複数の開口部8aにはんだペーストPstを押し込む圧力(印圧)、印刷時のスキージ23の移動速度、印刷後に基板6をスクリーンマスク8から引き離す離反速度などを含む。また、マスククリーニング条件は、マスククリーニングを実行するタイミングやクリーニング方式(湿式クリーニング、乾式クリーニング)などを含む。As described above, the printing conditions include the pressure (printing pressure) with which the squeegee 23 pushes the solder paste Pst into the multiple openings 8a, the movement speed of the squeegee 23 during printing, the separation speed at which the substrate 6 is pulled away from the screen mask 8 after printing, etc. In addition, the mask cleaning conditions include the timing of performing mask cleaning and the cleaning method (wet cleaning, dry cleaning), etc.

第1処理部61、第2処理部62、計画管理部63、第3処理部64は、CPU(中央演算処理装置)またはLSI(大規模集積回路)で構成されている。あるいは専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの2つ以上を一体に構成してもよい。 The first processing unit 61, the second processing unit 62, the planning management unit 63, and the third processing unit 64 are configured with a CPU (Central Processing Unit) or an LSI (Large Scale Integrated Circuit). Alternatively, they may be configured with a dedicated circuit, or may be realized by controlling general-purpose hardware with software read from a transient or non-transient storage device. Two or more of these may also be configured as an integrated unit.

第1処理部61は、記憶部60に記憶された印刷条件に基づいて、印刷ヘッド20を含む印刷機M1の各部を制御して印刷作業を実行させる。第2処理部62は、計画管理部63からの命令(指令)に従って、クリーニング機構30、第3移動機構16を制御してマスククリーニングを実行させる。計画管理部63は、記憶部60に記憶されるマスククリーニング条件に基づいて、所定枚数の基板6の印刷作業後に所定の方式でマスククリーニングを実行するように第2処理部62に命令する。Based on the printing conditions stored in the memory unit 60, the first processing unit 61 controls each part of the printing machine M1, including the print head 20, to perform printing work. The second processing unit 62 controls the cleaning mechanism 30 and the third moving mechanism 16 to perform mask cleaning in accordance with commands (instructions) from the planning management unit 63. Based on the mask cleaning conditions stored in the memory unit 60, the planning management unit 63 commands the second processing unit 62 to perform mask cleaning in a predetermined manner after printing work on a predetermined number of substrates 6.

ここで、図11を参照して、通常クリーニング処理の例を説明する。計画管理部63は、カウンタ機能を有し、通常クリーニング処理では、湿式クリーニング以降の基板6の印刷枚数をカウントする。そして、横軸と図の上部に示すように、基板6が4枚(1枚目~4枚目)印刷されると、計画管理部63は、第2処理部62に乾式クリーニングを実行させる。さらに基板6が4枚(5枚目~8枚目)印刷されると、計画管理部63は、第2処理部62に再度、乾式クリーニングを実行させる。さらに基板6が4枚(9枚目~12枚目)印刷されると、計画管理部63は、第2処理部62に湿式クリーニングを実行させて、その後カウンタをリセットする。 Now, referring to FIG. 11, an example of the normal cleaning process will be described. The planning management unit 63 has a counter function, and in the normal cleaning process, it counts the number of printed sheets of the substrate 6 after wet cleaning. Then, as shown on the horizontal axis and at the top of the figure, when four sheets of the substrate 6 (first to fourth sheets) have been printed, the planning management unit 63 causes the second processing unit 62 to perform dry cleaning. When four more sheets of the substrate 6 (fifth to eighth sheets) have been printed, the planning management unit 63 causes the second processing unit 62 to perform dry cleaning again. When four more sheets of the substrate 6 (ninth to twelfth sheets) have been printed, the planning management unit 63 causes the second processing unit 62 to perform wet cleaning and then resets the counter.

図6において、第3処理部64は、後述する検査装置M2における印刷状態判定処理、またはフラックス状態判定処理において、不良が検出されると、基板6に印刷されるはんだペーストPstの状態が改善されるように記憶部60に記憶されている印刷条件を変更する。In FIG. 6, when a defect is detected in the printing state determination process or flux state determination process in the inspection device M2 described below, the third processing unit 64 changes the printing conditions stored in the memory unit 60 so as to improve the state of the solder paste Pst printed on the substrate 6.

次に図7を参照して、検査装置M2の制御系の構成について説明する。検査装置M2が有する検査制御部70には、コンベア41、基板保持部42、計量器43、移動機構45、カメラ46、第1照明部47、第2照明部48、高さ検出部49、タッチパネル76が接続されている。タッチパネル76は、液晶パネルに検査装置M2の操作画面などを表示する表示機能と、表示された操作画面を操作することによりコマンドや各種情報などを入力する入力機能を有している。タッチパネル76もタッチパネル17と同様に、別個に設けられた表示装置と入力装置とに代えてもよい。Next, the configuration of the control system of the inspection device M2 will be described with reference to Figure 7. The inspection control unit 70 of the inspection device M2 is connected to the conveyor 41, the substrate holding unit 42, the weighing device 43, the moving mechanism 45, the camera 46, the first lighting unit 47, the second lighting unit 48, the height detection unit 49, and the touch panel 76. The touch panel 76 has a display function for displaying the operation screen of the inspection device M2 on the liquid crystal panel, and an input function for inputting commands and various information by operating the displayed operation screen. Like the touch panel 17, the touch panel 76 may also be replaced with a display device and an input device that are provided separately.

検査制御部70は、第1記憶部71、第2記憶部72、検査処理部73、フラックス状態判定部(以下、判定部)74、通信部75を有している。通信部75はネットワーク通信装置であり、通信ネットワーク2を介して管理コンピュータ3、印刷機M1との間で情報を送受信する。第1記憶部71、第2記憶部72は記憶装置である。第1記憶部71は、基板6の種類毎に、印刷前の基板6の重量、基板6に印刷されたはんだペーストPstの検査位置、検査基準などを含む検査条件を記憶している。第2記憶部72は、カメラ46により撮影された画像のデータ(以下、単に画像と称する)、検出されたはんだ粒子SとフラックスFの状態などを含む検査結果を記憶している。第1記憶部71、第2記憶部72も、記憶部60と同様に、書き換え可能なRAMや、フラッシュメモリ、ハードディスクなどを含んでいる。The inspection control unit 70 has a first memory unit 71, a second memory unit 72, an inspection processing unit 73, a flux state determination unit (hereinafter, the determination unit) 74, and a communication unit 75. The communication unit 75 is a network communication device that transmits and receives information between the management computer 3 and the printer M1 via the communication network 2. The first memory unit 71 and the second memory unit 72 are storage devices. The first memory unit 71 stores inspection conditions for each type of board 6, including the weight of the board 6 before printing, the inspection position of the solder paste Pst printed on the board 6, and the inspection criteria. The second memory unit 72 stores the inspection results, including the data of the image taken by the camera 46 (hereinafter, simply referred to as the image), the state of the detected solder particles S and flux F, and the like. The first memory unit 71 and the second memory unit 72 also include rewritable RAM, flash memory, hard disk, etc., like the memory unit 60.

検査処理部73、判定部74は、CPU(中央演算処理装置)またはLSI(大規模集積回路)で構成されている。あるいは専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの2つを一体に構成してもよい。The inspection processing unit 73 and the judgment unit 74 are configured with a CPU (Central Processing Unit) or an LSI (Large Scale Integrated Circuit). Alternatively, they may be configured with a dedicated circuit, or may be realized by controlling general-purpose hardware with software read from a transient or non-transient storage device. These two may also be configured as one unit.

検査処理部73は、カメラ46、第1照明部47、第2照明部48を制御して、第1照明光47aまたは第2照明光48aを照射しながらカメラ46で基板6上を撮影させる。さらに検査処理部73は、撮影された画像を処理して基板6に印刷されたはんだ粒子SとフラックスFとを検出する。検出結果は、第2記憶部72に記憶される。すなわち、第2記憶部72は、カメラ46、第1照明部47、第2照明部48を含む検出部による検出結果を記憶する。The inspection processing unit 73 controls the camera 46, the first illumination unit 47, and the second illumination unit 48 to have the camera 46 capture an image of the board 6 while irradiating the first illumination light 47a or the second illumination light 48a. The inspection processing unit 73 further processes the captured image to detect the solder particles S and flux F printed on the board 6. The detection results are stored in the second memory unit 72. That is, the second memory unit 72 stores the detection results by the detection unit including the camera 46, the first illumination unit 47, and the second illumination unit 48.

また、検査処理部73は、計量器43を制御して、基板保持部42に搬入された印刷済基板6Pの重量を計測させる。計測結果は、第2記憶部72に記憶される。The inspection processing unit 73 also controls the weighing device 43 to measure the weight of the printed board 6P brought into the board holding unit 42. The measurement result is stored in the second memory unit 72.

また、検査処理部73は、高さ検出部49を制御して、基板6に印刷されたはんだペーストPstの3次元形状を計測する。これにより検査処理部73は、ランド6aからのはんだペーストPstの高さと、レジスト6bからのはんだペーストPstの高さ、はんだ粒子Sの堆積物とフラックスFの段差などに基づいて、はんだ粒子SとフラックスFを検出する。検出結果は、第2記憶部72に記憶される。すなわち、高さ検出部49は、基板6に印刷されたはんだペーストPstのはんだ粒子SとフラックスFを検出する検出部として機能する。 The inspection processing unit 73 also controls the height detection unit 49 to measure the three-dimensional shape of the solder paste Pst printed on the substrate 6. As a result, the inspection processing unit 73 detects the solder particles S and the flux F based on the height of the solder paste Pst from the land 6a, the height of the solder paste Pst from the resist 6b, the step between the deposit of the solder particles S and the flux F, etc. The detection results are stored in the second memory unit 72. In other words, the height detection unit 49 functions as a detection unit that detects the solder particles S and the flux F of the solder paste Pst printed on the substrate 6.

ここで図8A~図8Dを参照して、印刷作業後のスクリーンマスク8の状態について説明する。図8Aは、印刷前、あるいは湿式クリーニング直後のスクリーンマスク8の状態を示しており、開口部8aおよびスクリーンマスク8の下面からはんだペーストPstは除去されている。図8B~図8Dは、マスククリーニングを実行することなく印刷作業を繰り返し実行した後のスクリーンマスク8の状態を模式的に表している。印刷作業後には、スクリーンマスク8の開口部8aおよび下面には、はんだ粒子SやフラックスFなどの残留物が付着し、印刷作業を繰り返すことで残留物の量が増加している。 Now, with reference to Figures 8A to 8D, the state of the screen mask 8 after the printing operation will be described. Figure 8A shows the state of the screen mask 8 before printing or immediately after wet cleaning, with the solder paste Pst having been removed from the openings 8a and the underside of the screen mask 8. Figures 8B to 8D show schematic diagrams of the state of the screen mask 8 after repeated printing operations without performing mask cleaning. After the printing operation, residues such as solder particles S and flux F adhere to the openings 8a and underside of the screen mask 8, and the amount of residues increases with repeated printing operations.

次に図5A、図5B、図9A、図9B、図10A、図10Bを参照して、はんだペーストPstの印刷された基板6上をカメラ46で撮影した画像の例について説明する。図9A、図9B、図10A、図10Bは、図5A、図5Bと同じ基板6上の位置を撮影している。図5A、図5Bは図8Aに示す湿式クリーニング直後のスクリーンマスク8を介して印刷され、図10A、図10Bは、図9A、図9Bよりも印刷作業の繰り返し回数が増えている。例えば、図9A、図9Bは図8Cに示す状態のスクリーンマスク8により、図10A、図10Bは図8Dに示す状態のスクリーンマスク8により印刷作業がされている。図9Aに示す画像52、図10Aに示す画像54は、第1照明部47から第1照明光47aを照射しながら撮影されている。図9Bに示す画像53、図10Bに示す画像55は、第2照明部48から第2照明光47aを照射しながら撮影されている。Next, referring to Figures 5A, 5B, 9A, 9B, 10A, and 10B, an example of an image taken by the camera 46 on the board 6 on which the solder paste Pst is printed will be described. Figures 9A, 9B, 10A, and 10B are images of the same positions on the board 6 as in Figures 5A and 5B. Figures 5A and 5B are printed through the screen mask 8 immediately after wet cleaning shown in Figure 8A, and Figures 10A and 10B have a greater number of repeated printing operations than Figures 9A and 9B. For example, Figures 9A and 9B are printed using the screen mask 8 in the state shown in Figure 8C, and Figures 10A and 10B are printed using the screen mask 8 in the state shown in Figure 8D. Image 52 shown in Figure 9A and image 54 shown in Figure 10A are photographed while irradiating the first illumination light 47a from the first illumination unit 47. An image 53 shown in FIG. 9B and an image 55 shown in FIG. 10B are captured while irradiating the second illumination light 47 a from the second illumination section 48 .

これらの図から明らかなように、スクリーンマスク8に付着している残留物が増加するにつれて、基板6上に印刷されるはんだ粒子Sの堆積物の形状が崩れて、はんだ粒子Sは水平に広がっている。また、はんだ粒子Sからしみ出したフラックスFの面積も増加している。図10Aの画像54において点線の円cで示す位置には、「はんだブリッジ」が発生している。すなわち、ランド6aに印刷されたはんだ粒子Sの堆積物が広がって隣接するはんだ粒子Sの堆積物とつながっている。図10Bの画像55において、フラックスFは、隣接する2つのランド6aをつないでいる。As is clear from these figures, as the residue on the screen mask 8 increases, the shape of the deposit of solder particles S printed on the substrate 6 becomes distorted and the solder particles S spread horizontally. The area of the flux F seeping out from the solder particles S also increases. A "solder bridge" has occurred at the position indicated by the dotted circle c in image 54 of Figure 10A. That is, the deposit of solder particles S printed on land 6a spreads and connects with the adjacent deposit of solder particles S. In image 55 of Figure 10B, the flux F connects two adjacent lands 6a.

このように、スクリーンマスク8の残留物が増加すると、基板6上に印刷されるフラックスFの量が増加する。そして、基板6上に印刷されたフラックスFの状態(フラックス状態)を観察することで、印刷作業を継続すると発生するはんだブリッジなどの印刷不良の発生を予測することができる。In this way, as the residue on the screen mask 8 increases, the amount of flux F printed on the substrate 6 increases. By observing the state of the flux F printed on the substrate 6 (flux state), it is possible to predict the occurrence of printing defects such as solder bridges that may occur if the printing operation is continued.

図7において、判定部74は、第2照明光48aを照射しながらカメラ46が撮影した画像51,53,55から、基板6上のフラックスFの状態が良好か不良かを判定する。例えば、判定部74は、印刷されたフラックスFの面積(フラックス量)を算出し、基準(しきい値)内の場合はフラックスFの状態が良好と判定する。基準を超えるとフラックスFの状態が不良と判定する。なお、判定部74は、印刷されたフラックスFの面積の他、フラックスFの形状からフラックスFの状態の良否を判定してもよい。 In Figure 7, the judgment unit 74 judges whether the state of the flux F on the substrate 6 is good or bad from the images 51, 53, and 55 captured by the camera 46 while irradiating the second illumination light 48a. For example, the judgment unit 74 calculates the area (flux amount) of the printed flux F, and judges the state of the flux F to be good if it is within a standard (threshold value). If it exceeds the standard, the judgment unit 74 judges the state of the flux F to be bad. Note that the judgment unit 74 may judge the state of the flux F to be good or bad from the shape of the flux F in addition to the area of the printed flux F.

ここで、図11を参照して、判定部74によるフラックスFの状態の良否判定の例について説明する。図11は、画像51,53,55から検出されたフラックスFのフラックス量を、基板6が印刷された順番で表したグラフである。実線dで結んだ白丸は、基板6上のフラックス量の正常な推移を模式的に表している。すなわち、湿式クリーニング後、次の湿式クリーニングまで(1枚目~12枚目)まではフラックス量が徐々に増加し、乾式クリーニング後(5枚目、9枚目)にフラックス量は微減し、湿式クリーニング後(13枚目)にフラックス量が一気に減少している。このように、正常な状態では、フラックス量がしきい値を超える前に湿式クリーニングが実行される。 Now, referring to FIG. 11, an example of the judgment of the quality of the flux F by the judgment unit 74 will be described. FIG. 11 is a graph showing the flux amount of the flux F detected from the images 51, 53, and 55 in the order in which the board 6 was printed. The white circles connected by the solid line d show a schematic representation of the normal progression of the flux amount on the board 6. That is, after wet cleaning, the flux amount gradually increases until the next wet cleaning (1st to 12th sheets), the flux amount slightly decreases after dry cleaning (5th and 9th sheets), and the flux amount suddenly decreases after wet cleaning (13th sheet). Thus, in a normal state, wet cleaning is performed before the flux amount exceeds the threshold value.

1点鎖線eで結んだ黒丸は、印刷作業後にスクリーンマスク8に残留するはんだペーストPstの残留物が正常状態よりも早く増加し、7枚目の基板6でフラックス量がしきい値を超過していることを示している。この場合、判定部74は、7枚目の基板6のフラックス状態が不良と判定する。The black circles connected by the dashed dotted line e indicate that the amount of solder paste Pst remaining on the screen mask 8 after the printing operation has increased faster than normal, causing the amount of flux on the seventh board 6 to exceed the threshold value. In this case, the judgment unit 74 judges that the flux condition of the seventh board 6 is defective.

点線fで結んだ白抜き三角は、6枚目の基板6の印刷作業後にスクリーンマスク8にはんだペーストPstの残留物が大量に付着して、7枚目の基板6のフラックス量がしきい値内ではあるが、急激に増加していることを示している。この場合、判定部74は、6枚目のフラックス量と7枚目のフラックス量とから8枚目以降でフラックス量がしきい値を超えてフラックス状態が不良になると予測する。すなわち、判定部74は、第2記憶部72に記憶された前回の検出結果(6枚目)と、検出部によって検出された今の検出結果(7枚目)とに基づいて、フラックスFの状態を判定する。The open triangles connected by dotted line f indicate that a large amount of solder paste Pst residue adheres to the screen mask 8 after the printing operation of the sixth board 6, and the flux amount of the seventh board 6 is within the threshold value, but has increased rapidly. In this case, the judgment unit 74 predicts that the flux amount will exceed the threshold value from the eighth board onwards, resulting in a poor flux state, based on the flux amount of the sixth board and the flux amount of the seventh board. In other words, the judgment unit 74 judges the state of the flux F based on the previous detection result (sixth board) stored in the second storage unit 72 and the current detection result (seventh board) detected by the detection unit.

図7に示す判定部74は、カメラ46により撮影された画像からフラックスFの状態を判定している。また、判定部74は、高さ検出部49によって検出されたフラックスFのフラックス量からフラックスFの状態を判定してもよい。また、判定部74は、第1記憶部71に記憶された印刷前の基板6の重量と、計量器43によって計測された印刷後の基板6の重量とから、印刷されたはんだペーストPstの重量を算出してもよい。さらに、判定部74は、カメラ46が撮影したはんだ粒子Sの画像から算出されるはんだ粒子Sの重量を、印刷されたはんだペーストPstの重量から引いて、フラックスFの重量を算出してもよい。7 judges the state of the flux F from the image captured by the camera 46. The judgement unit 74 may also judge the state of the flux F from the flux amount of the flux F detected by the height detection unit 49. The judgement unit 74 may also calculate the weight of the printed solder paste Pst from the weight of the board 6 before printing stored in the first memory unit 71 and the weight of the board 6 after printing measured by the weighing device 43. Furthermore, the judgement unit 74 may calculate the weight of the flux F by subtracting the weight of the solder particles S calculated from the image of the solder particles S captured by the camera 46 from the weight of the printed solder paste Pst.

すなわち、判定部74は、はんだペーストPstを印刷する前後の基板6の重量からフラックスFの状態を判定してもよい。このように、計量器43とカメラ46は、基板6に印刷されたはんだペーストPstのはんだ粒子SとフラックスFとを検出する検出部として機能する。そして、判定部74は、検出部(カメラ46、第1照明部47、第2照明部48、計量器43、高さ検出部49)による検出結果より、フラックスFの状態が良好か不良かを判定する。判定結果は、管理コンピュータ3と印刷機M1に送信される。That is, the determination unit 74 may determine the state of the flux F from the weight of the board 6 before and after printing the solder paste Pst. In this way, the scale 43 and the camera 46 function as a detection unit that detects the solder particles S and flux F of the solder paste Pst printed on the board 6. The determination unit 74 then determines whether the state of the flux F is good or bad based on the detection results by the detection units (camera 46, first illumination unit 47, second illumination unit 48, scale 43, height detection unit 49). The determination result is sent to the management computer 3 and the printing machine M1.

検査装置M2の判定部74からフラックスFの状態が不良(例えば、フラックス量がしきい値を超えた)との判定結果を受けると、図6に示す計画管理部63は、第2処理部62に湿式クリーニングを指示し、その後、カウンタをリセットする。なお、既に後続の基板6に対する印刷作業が開始されていた場合は、作業中の基板6の印刷後に湿式クリーニングを実行してもよい。 When the judgment result of the judgment unit 74 of the inspection device M2 that the condition of the flux F is bad (for example, the amount of flux exceeds a threshold value) is received, the plan management unit 63 shown in FIG. 6 instructs the second processing unit 62 to perform wet cleaning and then resets the counter. Note that if printing work on the subsequent board 6 has already started, wet cleaning may be performed after printing of the board 6 currently being worked on.

具体的に図11に示す黒丸の例で説明する。7枚目の基板6のフラックスFの状態を判定部74が不良と判定すると、不良との旨の判定結果が印刷機M1に送信される。印刷機M1では、計画管理部63が第2処理部62に湿式クリーニングを命令してカウンタをリセットする。その後、印刷機M1では、8枚目の基板6に対する印刷作業の前に湿式クリーニングが実行される。湿式クリーニングが実行されると、スクリーンマスク8に付着しているはんだ粒子SとフラックスFとが除去され、基板6上に印刷されるはんだペーストPstの状態が改善される。 A specific example will be described using the black circles shown in Figure 11. When the judgment unit 74 judges the state of the flux F on the seventh board 6 to be defective, the judgment result to that effect is sent to the printer M1. In the printer M1, the planning management unit 63 commands the second processing unit 62 to perform wet cleaning and resets the counter. Then, in the printer M1, wet cleaning is performed before the printing operation on the eighth board 6. When the wet cleaning is performed, the solder particles S and flux F adhering to the screen mask 8 are removed, and the state of the solder paste Pst printed on the board 6 is improved.

すなわち、印刷機M1は、判定部74によってフラックスFの状態が不良と判断されたら、基板6に印刷されるはんだペーストPstのフラックスFの状態を変更する操作を実行する。この場合、印刷機M1におけるフラックスFの状態を変更する操作は、印刷機M1が有するクリーニング機構30によるスクリーンマスク8のクリーニング(湿式クリーニング)である。これによって、はんだ粒子Sの印刷状態が不良となることを未然に防止することができる。That is, when the state of the flux F is judged to be poor by the judgment unit 74, the printer M1 executes an operation to change the state of the flux F of the solder paste Pst printed on the board 6. In this case, the operation to change the state of the flux F in the printer M1 is cleaning (wet cleaning) the screen mask 8 by the cleaning mechanism 30 possessed by the printer M1. This makes it possible to prevent the printing state of the solder particles S from becoming poor.

判定部74からフラックスFの状態が不良との旨の判定結果が送信されると、図6に示す第3処理部64は、記憶部60に記憶されている印刷条件を変更してもよい。すなわち、判定部74によってフラックスFの状態が不良と判断されて、基板6に印刷するはんだペーストPstのフラックスFの状態を変更する操作は、印刷条件の変更(更新)でもよい。When the determination unit 74 transmits a determination result indicating that the state of the flux F is poor, the third processing unit 64 shown in FIG. 6 may change the printing conditions stored in the storage unit 60. That is, when the determination unit 74 determines that the state of the flux F is poor, the operation of changing the state of the flux F of the solder paste Pst to be printed on the board 6 may be a change (update) of the printing conditions.

すなわち、印刷機M1が基板6をスクリーンマスク8に接触させてはんだペーストPstを基板6に転写する条件、印刷機M1がはんだペーストPstを基板6に転写した後に基板6をスクリーンマスク8から引き離す条件などが変更される。より具体的には、印圧、スキージ23の移動速度、離反速度などが変更される。これによって、はんだ粒子Sの印刷状態が不良となることを未然に防止することができる。なお、印刷条件は、フラックス状態が不良との判定結果を受ける毎に変更する必要はない。例えば、通常クリーニング中に不良が発生することが2回連続発生したり、不良の発生が所定の頻度を超えたりすると印刷条件を変更するようにしてもよい。That is, the conditions under which the printer M1 brings the substrate 6 into contact with the screen mask 8 to transfer the solder paste Pst to the substrate 6, and the conditions under which the printer M1 separates the substrate 6 from the screen mask 8 after transferring the solder paste Pst to the substrate 6 are changed. More specifically, the printing pressure, the movement speed of the squeegee 23, the separation speed, and the like are changed. This makes it possible to prevent the printed state of the solder particles S from becoming defective. It is not necessary to change the printing conditions every time a result is received indicating that the flux state is defective. For example, the printing conditions may be changed if defects occur twice consecutively during normal cleaning, or if the occurrence of defects exceeds a predetermined frequency.

なお、上記の実施の形態では、判定部74が検査装置M2に設けられ、計画管理部63と第3処理部64が印刷機M1に設けられる例で説明したが、スクリーン印刷システム1はこの形態に限定されることはない。例えば、管理コンピュータ3が判定部74、計画管理部63、第3処理部64を有してもよい。また、印刷機M1が印刷前後の基板6の重量を計測する計量器43を有してもよい。In the above embodiment, an example has been described in which the judgment unit 74 is provided in the inspection device M2, and the plan management unit 63 and the third processing unit 64 are provided in the printing machine M1, but the screen printing system 1 is not limited to this form. For example, the management computer 3 may have the judgment unit 74, the plan management unit 63, and the third processing unit 64. In addition, the printing machine M1 may have a weighing device 43 that measures the weight of the substrate 6 before and after printing.

次に図12、図13に沿って、スクリーン印刷システム1におけるスクリーン印刷方法について説明する。図12において、まず、コンベア5によって、スクリーン印刷システム1の印刷機M1に基板6が搬入される(ST1)。次いで基板保持部7が基板6を保持して、位置決め機構12が、スクリーンマスク8に対して位置合わせし(ST2)、基板6をスクリーンマスク8に接触させる(ST3)。次いでスクリーンマスク8に接触させた基板6に、印刷ヘッド20がスクリーンマスク8を介してはんだペーストPstを転写し(ST4程)、その後、基板昇降機構11が、基板6をスクリーンマスク8から引き離す(ST5)。 Next, the screen printing method in the screen printing system 1 will be described with reference to Figures 12 and 13. In Figure 12, first, the conveyor 5 carries the substrate 6 into the printer M1 of the screen printing system 1 (ST1). Next, the substrate holder 7 holds the substrate 6, and the positioning mechanism 12 aligns the substrate 6 with respect to the screen mask 8 (ST2), and brings the substrate 6 into contact with the screen mask 8 (ST3). Next, the print head 20 transfers the solder paste Pst through the screen mask 8 to the substrate 6 in contact with the screen mask 8 (about ST4), and then the substrate lifting mechanism 11 separates the substrate 6 from the screen mask 8 (ST5).

これにより、基板6にはんだペーストPstが印刷され、印刷済基板6Pが作製される。すなわち、ST2からST5までは、はんだペーストPstを基板6に印刷する印刷工程(ST30)である。次いで印刷済基板6Pが検査装置M2に移送される(ST6)。次いで少なくとも1つの照明部(第1照明部47、第2照明部48)が、基板6Pを照明し(ST7)、カメラ46が、基板6に印刷されたはんだペーストPstを撮影する(ST8)。次いで検査処理部73が、撮影された画像を画像認識して基板6に印刷されたはんだペーストPstのはんだ粒子SとフラックスFを認識する(ST9)。As a result, the solder paste Pst is printed on the board 6, and a printed board 6P is produced. That is, steps ST2 to ST5 are a printing process (ST30) for printing the solder paste Pst on the board 6. Next, the printed board 6P is transferred to the inspection device M2 (ST6). Next, at least one illumination unit (first illumination unit 47, second illumination unit 48) illuminates the board 6P (ST7), and the camera 46 photographs the solder paste Pst printed on the board 6 (ST8). Next, the inspection processing unit 73 performs image recognition on the photographed image to recognize the solder particles S and flux F of the solder paste Pst printed on the board 6 (ST9).

次いで計量器43が、はんだペーストPstが印刷された後の基板6Pの重量を計測する(ST10)。このように、ST7からST10までは、基板6に印刷されたはんだペーストPstのはんだ粒子SとフラックスFを検出する検出工程(ST31)である。次いで、検出工程(ST31)における検出結果が第2記憶部72に記憶される(ST11)。Next, the weighing device 43 measures the weight of the substrate 6P after the solder paste Pst has been printed (ST10). Thus, steps ST7 to ST10 constitute a detection process (ST31) for detecting the solder particles S and flux F of the solder paste Pst printed on the substrate 6. Next, the detection results in the detection process (ST31) are stored in the second memory unit 72 (ST11).

次いで図13において、検査処理部73は、ST8において撮影された画像から、はんだ粒子Sの状態が良好か不良かを判定する(ST12)。印刷状態が不良の場合(ST12において不良)、下流の部品実装装置にその旨が送信される。また、印刷機M1ではスクリーンマスク8のクリーニング(乾式クリーニング)、印刷条件の変更などの印刷不良処理が実行される(ST13)。印刷状態が良好な場合(ST12において良好)、および印刷状態が不良で印刷不良処理(ST13)が実行された場合、次いでスクリーン印刷システム1から基板6Pが搬出される(ST14)。13, the inspection processing unit 73 determines whether the condition of the solder particles S is good or bad from the image captured in ST8 (ST12). If the printing condition is bad (bad in ST12), that fact is transmitted to the downstream component mounting device. In addition, the printer M1 performs printing defect processing such as cleaning the screen mask 8 (dry cleaning) and changing the printing conditions (ST13). If the printing condition is good (good in ST12) or if the printing condition is bad and printing defect processing (ST13) is performed, the substrate 6P is then removed from the screen printing system 1 (ST14).

印刷済基板6Pの生産が終了していない場合は(ST15においてNo)、検出工程(ST31)における検出結果より、判定部74は、既に検査された印刷済基板6PのフラックスFの状態が予め定めた基準を超えるか否か、すなわちフラックス状態が不良か良好かを判定する(ST16)。また、判定部74は、記憶された前回の検出結果と検出工程(ST31)において検出された今の検出結果とに基づいて、フラックスFの状態を判定してもよい。具体的には、判定部74は、ST8において撮影された画像よりフラックスFの状態を判定する。また、判定部74は、基板6の印刷前の重量とST10において計測された印刷後の重量とからフラックスFの状態を判定してもよい。If the production of the printed board 6P has not been completed (No in ST15), the judgment unit 74 judges whether the state of the flux F of the already inspected printed board 6P exceeds a predetermined standard, i.e., whether the flux state is good or bad, based on the detection result in the detection process (ST31) (ST16). The judgment unit 74 may also judge the state of the flux F based on the stored previous detection result and the current detection result detected in the detection process (ST31). Specifically, the judgment unit 74 judges the state of the flux F from the image captured in ST8. The judgment unit 74 may also judge the state of the flux F from the weight of the board 6 before printing and the weight after printing measured in ST10.

ST16においてフラックスFの状態が不良と判定されると、計画管理部63は第2処理部62に湿式クリーニングを実行させ(ST17)、カウンタをゼロにリセットする(ST18)。次いで第3処理部64は、記憶部60に記憶された印刷条件を変更する(ST19)。これにより、ST4においてはんだペーストPstを基板6に転写する条件および/または、ST5における基板6をスクリーンマスク8から引き離す条件が変更される。If the condition of the flux F is judged to be poor in ST16, the planning management unit 63 causes the second processing unit 62 to perform wet cleaning (ST17) and resets the counter to zero (ST18). Next, the third processing unit 64 changes the printing conditions stored in the memory unit 60 (ST19). This changes the conditions for transferring the solder paste Pst to the substrate 6 in ST4 and/or the conditions for separating the substrate 6 from the screen mask 8 in ST5.

このように、ST17からST19までは、ST16においてフラックスFの状態が不良と判断されたら、基板6に印刷されるはんだペーストPstのフラックスFの状態を変更する操作を実行する変更操作工程(ST32)である。これによって、印刷不良を未然に防止することができる。 Thus, steps ST17 to ST19 are a change operation step (ST32) in which, if the condition of the flux F is determined to be defective in ST16, an operation is performed to change the condition of the flux F in the solder paste Pst printed on the board 6. This makes it possible to prevent printing defects from occurring.

ST16においてフラックスFの状態が良好と判定されると、計画管理部63はカウンタのカウントに従って通常クリーニングを実行させる(ST20)。変更操作工程(ST32)または通常クリーニング処理(ST20)の後、処理はST1に戻って次の基板6が搬入される。If the condition of the flux F is judged to be good in ST16, the planning management unit 63 executes normal cleaning according to the count of the counter (ST20). After the change operation process (ST32) or the normal cleaning process (ST20), the process returns to ST1 and the next substrate 6 is loaded.

上記説明したように、スクリーン印刷システム1は、印刷機M1を有する。スクリーン印刷システム1は、基板6に印刷されたはんだペーストPstのはんだ粒子SとフラックスFを検出する検出部と、検出部による検出結果よりフラックスFの状態が良好か不良かを判定する判定部74とを有している。そして、印刷機M1は、判定部74によってフラックスFの状態が不良と判断されたら、基板6に印刷されるはんだペーストPstのフラックスFの状態を変更する操作を実行する。これによって、印刷不良を未然に防止することができる。なお、検出部は、はんだペーストPstのフラックスFの状態を検出できればよい。したがって、検出部が、カメラ46、第1照明部47、第2照明部48、計量器43、高さ検出部49の全てを有する必要はない。例えば、検出部が、カメラ46と、第1照明部47と第2照明部48との少なくとも一方とで十分にフラックスFの状態を検出できるのであれば、計量器43と高さ検出部49とを設けなくてもよい。As described above, the screen printing system 1 has a printer M1. The screen printing system 1 has a detection unit that detects the solder particles S and flux F of the solder paste Pst printed on the board 6, and a judgment unit 74 that judges whether the state of the flux F is good or bad based on the detection result by the detection unit. Then, when the judgment unit 74 judges that the state of the flux F is bad, the printer M1 executes an operation to change the state of the flux F of the solder paste Pst printed on the board 6. This makes it possible to prevent printing defects in advance. Note that the detection unit only needs to be able to detect the state of the flux F of the solder paste Pst. Therefore, the detection unit does not need to have all of the camera 46, the first illumination unit 47, the second illumination unit 48, the measuring device 43, and the height detection unit 49. For example, if the detection unit can sufficiently detect the state of the flux F using at least one of the camera 46, the first illumination unit 47, and the second illumination unit 48, the measuring device 43 and the height detection unit 49 may not be provided.

また、上記実施の形態では、フラックスFの状態の良否をスクリーンマスク8のクリーニングの実行のトリガーや、スクリーン印刷における印刷条件の変更にフィードバックする例を説明している。しかしながらフラックスFの状態の良否判定は、これらの利用に限定されない。例えば、スクリーン印刷以外の方法でランド6aにはんだ部を形成する場合に、はんだ部の形成状態を判定するために利用してもよい。さらにその判定結果に基づき、その方法において、はんだペーストのフラックスの状態を変更する操作を実行してもよい。 The above embodiment also describes an example in which the quality of the flux F state is fed back to trigger cleaning of the screen mask 8 or to change printing conditions in screen printing. However, the determination of the quality of the flux F state is not limited to these uses. For example, it may be used to determine the formation state of the solder portion when forming the solder portion on the land 6a by a method other than screen printing. Furthermore, based on the determination result, an operation to change the state of the flux in the solder paste may be performed in that method.

本開示のはんだペースト印刷システムおよびはんだペースト印刷方法は、印刷不良を未然に防止することができるという効果を有し、電子部品を基板に実装する分野において有用である。The solder paste printing system and solder paste printing method disclosed herein have the effect of preventing printing defects in advance, and are useful in the field of mounting electronic components to substrates.

1 スクリーン印刷システム
2 通信ネットワーク
3 管理コンピュータ
4,40 基台
5,41 コンベア
6 基板
6a ランド
6b レジスト
6P 印刷済基板(基板)
7 基板保持部
8 スクリーンマスク
8a 開口部
8w 枠部材
9 XYテーブル
10 θテーブル
11 基板昇降機構
12 位置決め機構
13 カメラユニット
14 第1移動機構
15 第2移動機構
16 第3移動機構
17,76 タッチパネル
20 印刷ヘッド
21 移動ベース
22 スキージ保持部
23 スキージ
24 昇降機構
30 クリーニング機構
31 拭取りヘッド
32 クリーニングペーパ
33A,33B ペーパロール
35 塗布部
42 基板保持部
43 計量器
44 検査ヘッド
45 移動機構
46 検査カメラ(カメラ)
46a 光軸
47 第1照明部
47a 第1照明光
48 第2照明部
48a 第2照明光
49 高さ検出部
49a 計測光
50,51,52,53,54,55 画像
60 記憶部
61 第1処理部
62 第2処理部
63 計画管理部
64 第3処理部
65,75 通信部
70 検査制御部
71 第1記憶部
72 第2記憶部
73 検査処理部
74 フラックス状態判定部(判定部)
C 印刷制御部
F フラックス
M1 印刷機
M2 印刷はんだ検査装置(検査装置)
Pst はんだペースト
S はんだ粒子
1 Screen printing system 2 Communication network 3 Management computer 4, 40 Base 5, 41 Conveyor 6 Substrate 6a Land 6b Resist 6P Printed substrate (substrate)
Reference Signs List 7 Substrate holding section 8 Screen mask 8a Opening 8w Frame member 9 XY table 10 θ table 11 Substrate lifting mechanism 12 Positioning mechanism 13 Camera unit 14 First moving mechanism 15 Second moving mechanism 16 Third moving mechanism 17, 76 Touch panel 20 Print head 21 Moving base 22 Squeegee holding section 23 Squeegee 24 Lifting mechanism 30 Cleaning mechanism 31 Wiping head 32 Cleaning paper 33A, 33B Paper roll 35 Coating section 42 Substrate holding section 43 Measuring device 44 Inspection head 45 Moving mechanism 46 Inspection camera (camera)
46a Optical axis 47 First illumination unit 47a First illumination light 48 Second illumination unit 48a Second illumination light 49 Height detection unit 49a Measurement light 50, 51, 52, 53, 54, 55 Image 60 Storage unit 61 First processing unit 62 Second processing unit 63 Plan management unit 64 Third processing unit 65, 75 Communication unit 70 Inspection control unit 71 First storage unit 72 Second storage unit 73 Inspection processing unit 74 Flux state determination unit (determination unit)
C Printing control section F Flux M1 Printer M2 Printed solder inspection device (inspection device)
Pst Solder Paste S Solder Particles

Claims (15)

はんだ粒子とフラックスとを含むはんだペーストを基板に印刷する印刷機と、
前記基板に印刷された前記はんだペーストの前記はんだ粒子と前記フラックスとを検出する検出部と、
前記検出部による検出結果より前記フラックスの状態が良好か不良かを判定するフラックス状態判定部と、を備え、
前記フラックス状態判定部によって前記フラックスの状態が不良と判断されたら、前記印刷機は、未印刷基板に前記はんだペーストが印刷される前に前記はんだペーストの前記フラックスの状態を変更する操作を実行し、
前記検出部は、
前記基板に印刷された前記はんだペーストを撮影するカメラと、
前記基板に第1照明光を照射する第1照明部と、
前記基板に、前記第1照明光よりも前記基板に対して傾いている第2照明光を照射する第2照明部と、を有し、
前記第1照明光を照射しながら前記カメラにより撮影された第1画像に基づき前記はんだ粒子を検出し、
前記第2照明光を照射しながら前記カメラにより撮影された第2画像に基づき前記フラックスを検出する、はんだペースト印刷システム。
a printer that prints a solder paste containing solder particles and flux onto a substrate;
a detection unit that detects the solder particles and the flux of the solder paste printed on the board;
a flux state determination unit that determines whether the state of the flux is good or bad based on a detection result by the detection unit,
If the flux state determination unit determines that the state of the flux is poor, the printer performs an operation to change the state of the flux of the solder paste before the solder paste is printed on an unprinted board ;
The detection unit is
a camera for photographing the solder paste printed on the substrate;
a first illumination unit that irradiates the substrate with a first illumination light;
a second illumination unit that irradiates the substrate with second illumination light that is tilted with respect to the substrate more than the first illumination light,
Detecting the solder particles based on a first image captured by the camera while irradiating the solder particles with the first illumination light;
A solder paste printing system that detects the flux based on a second image taken by the camera while irradiating the second illumination light .
前記検出部による前記検出結果を記憶する記憶部をさらに備え、
前記フラックス状態判定部は、前記記憶部に記憶された前回の検出結果と前記検出部によって検出された今の検出結果に基づいて、前記フラックスの状態を判定する、請求項1に記載のはんだペースト印刷システム。
A storage unit that stores the detection result by the detection unit,
2. The solder paste printing system according to claim 1, wherein the flux state determination unit determines the state of the flux based on a previous detection result stored in the memory unit and a current detection result detected by the detection unit.
前記フラックス状態判定部は、前記第2画像における前記基板に印刷された前記フラックスの面積が基準を超えるとの判断結果に基づき前記フラックスの前記状態が不良と判定する、請求項1または2に記載のはんだペースト印刷システム。 3. The solder paste printing system according to claim 1 , wherein the flux state determination unit determines that the state of the flux is defective based on a determination result that an area of the flux printed on the board in the second image exceeds a standard. 前記検出部は、前記はんだペーストが印刷される前の前記基板の印刷前重量と、前記はんだペーストが印刷された後の、前記基板と前記はんだペーストとの合計の重量である印刷後重量とを計測する計量器を有し、
前記フラックス状態判定部は、前記印刷前重量と前記印刷後重量とに基づき前記フラックスの状態を判定する、請求項1からのいずれか一項に記載のはんだペースト印刷システム。
the detection unit has a weighing device that measures a pre-printing weight of the board before the solder paste is printed and a post-printing weight that is a total weight of the board and the solder paste after the solder paste is printed,
The solder paste printing system according to claim 1 , wherein the flux state determining unit determines the state of the flux based on the pre-printing weight and the post-printing weight.
前記フラックス状態判定部は、前記印刷前重量と前記印刷後重量の差より求められた前記フラックスの量がしきい値を超えるとの判断結果に基づき前記フラックスの前記状態が不良と判定する、請求項に記載のはんだペースト印刷システム。 5. The solder paste printing system according to claim 4 , wherein the flux state determination unit determines that the state of the flux is defective based on a determination result that the amount of the flux calculated from the difference between the pre-printing weight and the post-printing weight exceeds a threshold value. 前記基板に印刷された前記はんだペーストの状態を検査する印刷はんだ検査装置をさらに備え、
前記検出部は、前記印刷はんだ検査装置に設けられた、請求項からのいずれか一項に記載のはんだペースト印刷システム。
The method further includes a printed solder inspection device that inspects the state of the solder paste printed on the board,
The solder paste printing system according to claim 1 , wherein the detection unit is provided in the printed solder inspection device.
前記印刷機は、前記はんだペーストを前記基板に印刷するための開口部が設けられたスクリーンマスクと、前記スクリーンマスクをクリーニングするクリーニング機構とを含み、
前記印刷機における前記フラックスの前記状態を変更する操作は、前記クリーニング機構による前記スクリーンマスクのクリーニングである、請求項1からのいずれか一項に記載のはんだペースト印刷システム。
The printer includes a screen mask having an opening for printing the solder paste on the substrate, and a cleaning mechanism for cleaning the screen mask;
The solder paste printing system of claim 1 , wherein the operation that changes the state of the flux in the printer is cleaning of the screen mask by the cleaning mechanism.
前記印刷機は、前記はんだペーストを前記基板に印刷するための開口部が設けられたスクリーンマスクを含み、
前記印刷機における前記フラックスの前記状態を変更する操作は、前記印刷機が前記未印刷基板を前記スクリーンマスクに接触させて前記スクリーンマスク上のはんだペーストを前記未印刷基板に転写する条件を変更することである、請求項1からのいずれか一項に記載のはんだペースト印刷システム。
the printer includes a screen mask having openings for printing the solder paste onto the substrate;
7. The solder paste printing system of claim 1, wherein the operation of changing the state of the flux in the printer is to change the conditions under which the printer contacts the unprinted substrate with the screen mask to transfer the solder paste on the screen mask to the unprinted substrate.
前記印刷機は、前記はんだペーストを前記基板に印刷するための開口部が設けられたスクリーンマスクを含み、
前記印刷機における前記フラックスの前記状態を変更する操作は、前記印刷機が前記はんだペーストを前記未印刷基板に転写した後に前記未印刷基板を前記スクリーンマスクから引き離す条件を変更することである、請求項1からのいずれか一項に記載のはんだペースト印刷システム。
the printer includes a screen mask having openings for printing the solder paste onto the substrate;
7. The solder paste printing system of claim 1, wherein the operation of changing the condition of the flux in the printer is to change the conditions under which the printer separates the unprinted substrate from the screen mask after the printer transfers the solder paste to the unprinted substrate.
はんだ粒子とフラックスを含むはんだペーストを基板に印刷するステップと、
前記基板に印刷された前記はんだペーストの前記はんだ粒子と前記フラックスとを検出して検出結果を求めるステップと、
前記検出結果より、前記フラックスの状態が良好か不良かを判定するステップと、
前記フラックスの状態が不良と判断されたら、未印刷基板に前記はんだペーストが印刷される前に前記はんだペーストの前記フラックスの状態を変更する操作を実行するステップと、を備え
前記検出結果を求めるステップにおいて、
前記はんだペーストが印刷された前記基板に第1照明光を照射しながらカメラにより撮影された第1画像に基づき前記はんだ粒子を検出し、
前記第1照明光よりも前記基板に対して傾いている第2照明光を前記基板に照射しながら前記カメラにより撮影された第2画像に基づき前記フラックスを検出する、はんだペースト印刷方法。
printing a solder paste containing solder particles and flux onto a substrate;
detecting the solder particles and the flux of the solder paste printed on the substrate to obtain a detection result;
determining whether the state of the flux is good or bad based on the detection result;
if the condition of the flux is determined to be poor, performing an operation to change the condition of the flux of the solder paste before the solder paste is printed on an unprinted board ;
In the step of obtaining a detection result,
detecting the solder particles based on a first image captured by a camera while irradiating the substrate on which the solder paste is printed with a first illumination light;
A solder paste printing method comprising: detecting the flux based on a second image captured by the camera while irradiating the board with second illumination light that is tilted more inclined with respect to the board than the first illumination light .
前記検出結果を記憶するステップをさらに備え、
記憶された前回の検出結果と検出された今の検出結果に基づいて、前記フラックスの状態が、良好か不良かが判定される、請求項10に記載のはんだペースト印刷方法。
The method further comprises the step of storing the detection result.
The solder paste printing method according to claim 10 , wherein the condition of the flux is judged to be good or bad based on a stored previous detection result and a detected current detection result.
前記検出結果を求める際に、前記はんだペーストが印刷される前の前記基板の印刷前重量と、前記はんだペーストが印刷された後の、前記基板と前記はんだペーストとの合計重量である印刷後重量とを計測し、
前記フラックスの状態は、前記印刷前重量と前記印刷後重量とに基づき判定される、請求項10または11に記載のはんだペースト印刷方法。
When obtaining the detection result, a pre-printing weight of the substrate before the solder paste is printed and a post-printing weight, which is a total weight of the substrate and the solder paste after the solder paste is printed, are measured;
The solder paste printing method according to claim 10 or 11 , wherein the condition of the flux is determined based on the pre-printing weight and the post-printing weight.
前記はんだペーストは、開口部が設けられたスクリーンマスクを介して前記基板に印刷され、
前記フラックスの前記状態を変更する操作は、前記スクリーンマスクのクリーニングである、請求項10から12のいずれか一項に記載のはんだペースト印刷方法。
The solder paste is printed onto the substrate through a screen mask having openings;
13. The method of claim 10 , wherein the operation that changes the state of the flux is cleaning of the screen mask.
前記はんだペーストを前記基板に印刷する際に、開口部が設けられたスクリーンマスクに接触させた前記基板に、前記スクリーンマスクを介して前記はんだペーストを転写し、
前記フラックスの前記状態を変更する操作は、前記はんだペーストを前記未印刷基板に転写する条件を変更することである、請求項10から12のいずれか一項に記載のはんだペースト印刷方法。
When printing the solder paste on the substrate, the solder paste is transferred to the substrate through a screen mask having openings in contact with the screen mask;
13. The method of claim 10 , wherein the operation of changing the state of the flux is to change the conditions for transferring the solder paste to the unprinted substrate.
前記はんだペーストを前記基板に印刷する際に、開口部が設けられたスクリーンマスクに接触させた前記基板に、前記スクリーンマスクを介して前記はんだペーストを転写し、
前記基板に前記はんだペーストを転写した後に、前記基板を前記スクリーンマスクから引き離し、
前記フラックスの前記状態を変更する操作は、前記未印刷基板を前記スクリーンマスクから引き離す条件を変更することである、請求項10から12のいずれかに記載のはんだペースト印刷方法。
When printing the solder paste on the substrate, the solder paste is transferred to the substrate through a screen mask having openings in contact with the screen mask;
After transferring the solder paste to the substrate, the substrate is separated from the screen mask;
13. The method of printing solder paste according to claim 10 , wherein the operation of changing the state of the flux is to change the conditions under which the unprinted substrate is separated from the screen mask.
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