JP7591806B2 - 粉体製造装置および粉体製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、粉体製造装置および粉体製造方法に関する。

粉体を製造するための装置として、造粒機が知られている。例えば、特許文献１に記載された転動造粒機においては、アルミナ微粉体からなる原料がパン型の回転皿に投入される。この状態で、回転皿が回転されつつ原料に液剤が所定時間噴霧された後、焼成が行われることにより造粒物が製造される。特許文献２に記載された攪拌式造粒機においては、アルミナ繊維と水とが混合され、撹拌造粒されることにより粒状物が製造される。

特開２０１５－１０５２２３号公報 特開２００８－１３８１５７号公報

微小な粉体は、医療または工業等の分野で種々の製品を製造するための材料として有効に利用可能であると考えられる。しかしながら、特許文献１または２の造粒機においては、製造された粉体の平均粒径は比較的大きく、０．１ｍｍ～５ｍｍ程度である。また、製造された粉体の粒度分布が大きいので、所望の平均粒径を有する粉体をバラツキが少ない状態で得るには、製造された粉体を分級する必要がある。そのため、歩留まりが低下する。さらに、粉体は用途に応じた形状を有することが好ましいが、特許文献１または２の造粒機においては、球状または円柱状等の単純な形状を有する粉体しか製造することができない。

本発明の目的は、任意の形状を有する微小な粉体を高精度で製造可能な粉体製造装置および粉体製造方法を提供することである。

（１）第１の発明に係る粉体製造装置は、造形面を有する造形テーブルと、セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物を供給する供給手段と、供給手段により供給された混合物を造形テーブルの造形面上に引き延ばすことにより１または複数の組成物層を形成する引き延ばし部材と、引き延ばし部材により形成された各組成物層を露光することにより、硬化された１または複数の組成物層からなる複数の粒子を含む粉体を形成する露光装置と、所定の粒度分布形状で粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定する制御部とを備える。

この粉体製造装置においては、露光装置による露光パターンが制御されることにより、粉体を構成する各組成物層が任意の形状および寸法で硬化される。これにより、任意の形状を有する微小な粉体を高精度で製造することができる。また、粉体製造装置は、所定の粒度分布形状で粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定する制御部をさらに備える。この場合、任意の粒度分布形状を有する粉体を高精度で製造することができる。

（２）露光装置による露光は、直径６００μｍ以下のスポットサイズを有する露光光を用いて行われてもよい。この場合、微小な粉体をより容易に製造することができる。

（３）粉体製造装置は、粉体を含む１または複数の組成物層と溶剤とを混合することにより混合溶液を生成する混合手段と、混合溶液から粉体を抽出するフィルタ部材とをさらに備えてもよい。この場合、微小な粉体を容易に抽出することができる。

（４）粉体の平均粒径は、１０００μｍ以下であってもよい。この場合、粉体をより微小にすることができる。

（５）第２の発明に係る粉体製造方法は、所定の粒度分布形状で粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定するステップと、セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物を供給するステップと、混合物を引き延ばし部材により造形テーブルの造形面上に引き延ばすことにより、１または複数の組成物層を形成するステップと、形成された各組成物層を露光装置により露光することにより、硬化された１または複数の組成物層からなる複数の粒子を含む粉体を形成するステップと、洗浄により粉体を１または複数の組成物層の未硬化部分から分離するステップとを含む。

この粉体製造方法によれば、露光装置による露光パターンが制御されることにより、粉体を構成する各組成物層が任意の形状および寸法で硬化される。これにより、任意の形状を有する微小な粉体を高精度で製造することができる。また、所定の粒度分布形状で粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径が設定される。この場合、任意の粒度分布形状を有する粉体を高精度で製造することができる。

本発明によれば、任意の形状を有する微小な粉体を高精度で製造することができる。

本発明の一実施の形態に係る粉体製造装置の模式的側面図である。 洗浄工程を示す図である。 洗浄工程を示す図である。 粉体に含まれる単一粒子の粒度範囲を示す図である。 擬似的な粒度分布形状の一例を示す図である。 制御装置により設定される複数の目標粒径のレシピを示す図である。 擬似的な粒度分布形状の他の例を示す図である。 第１の例における粉体を示す顕微鏡写真である。 第２の例における粉体を示す顕微鏡写真である。 第３の例における粉体を示す顕微鏡写真である。 第４の例における粉体を示す顕微鏡写真である。 図１の制御装置により実行される粉体製造処理を示すフローチャートである。

（１）粉体製造装置の構成
以下、本発明の一実施の形態に係る粉体製造装置、粉体製造方法および粉体について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係る粉体製造装置の模式的側面図である。図１において、矢印で示すように、水平面内で互いに直交する方向をＸ方向およびＹ方向と呼び、鉛直方向をＺ方向と呼ぶ。図１に示すように、粉体製造装置１００は、造形テーブル１０、供給部２０、引き延ばし部材３０、露光装置４０、記憶装置５０、制御装置６０および洗浄装置７０を備える。

造形テーブル１０は、例えば矩形状を有する平板である。造形テーブル１０は、一対の辺がＸ方向に平行になり、他の一対の辺がＹ方向に平行になるように略水平に配置される。これにより、造形テーブル１０の一面（上面）が上方を向く。造形テーブル１０の上面は、粉体３の製造が行われる造形面１１となる。

供給部２０は、例えばディスペンサであり、例えばＺ方向に延びる円筒形状のシリンジと、シリンジの下端に配置されたノズルとを含む。供給部２０は、セラミック粉末または金属粉末と樹脂製の光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物１を内部に収容する。供給部２０の先端（例えばノズルの下端）には、吐出孔２１が形成される。供給部２０は、収容された混合物を吐出孔２１から造形テーブル１０の造形面１１上に吐出する。

引き延ばし部材３０は、例えばリコータであり、Ｘ方向に延びかつ造形テーブル１０の上方でＹ方向に移動可能に設けられる。本例では、引き延ばし部材３０はブレード部材であるが、ローラ部材であってもよい。供給部２０により混合物１が供給された状態で、引き延ばし部材３０がＹ方向に移動することにより、混合物１が組成物層２として造形面１１上でＹ方向に引き延ばされる。これにより、１または複数の組成物層２が形成される。

露光装置４０は、造形テーブル１０の上方に配置され、感光性波長領域の波長を有する露光光を出射可能に構成される。本例では、露光装置４０はレーザ光源を含み、紫外領域（例えば３１５ｎｍ～４００ｎｍ）の波長を有するレーザ光を露光光として出射する。露光光のスポットサイズは、１０μｍ以上であってもよい。また、露光光のスポットサイズは、６００μｍ以下であってもよい。なお、スポットサイズとは、光硬化性組成物が硬化反応する範囲のサイズである。露光装置４０により出射された露光光は、引き延ばし部材３０により形成された各組成物層２に部分的に照射されるように走査される。

組成物層２が任意のパターンで露光されることにより、組成物層２の露光部分が硬化する。図１では、組成物層２の硬化部分がハッチングパターンにより示されている。硬化された複数の組成物層２が積層されることにより複数の粒子を含む粉体３が形成される。粉体３は、硬化された１つの組成物層２により形成されてもよい。なお、複数の組成物層２により形成される粉体３には、積層された複数の組成物層２の境界線が粉体３の外面に現れる。

記憶装置５０は、例えば揮発性メモリまたはハードディスクを含み、製造すべき粉体３に含まれる複数の粒子の三次元形状を示すそれぞれ示す複数の形状データが記載された図面データを記憶する。制御装置６０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）により構成される。制御装置６０は、記憶装置５０に記憶された図面データに基づいて、粉体３が製造されるように供給部２０、引き延ばし部材３０および露光装置４０の動作を制御する。洗浄装置７０は、洗浄工程を実行することにより、製造された粉体３を１または複数の組成物層２の未硬化部分から分離する。洗浄工程の詳細については後述する。

（２）洗浄工程
図２および図３は、洗浄工程を示す図である。図２に示すように、洗浄装置７０には、貯留容器７１が設けられる。貯留容器７１には、粉体３を含む組成物層２が溶剤４とともに貯留される。ここで、未硬化の組成物層２の部分はスラリー状を有する。溶剤４は、アルコール等の有機溶剤であってもよいし、水系溶剤であってもよい。

次に、組成物層２と溶剤４とが混合される。この場合、組成物層２が溶剤４で希釈されることにより、流動性が高い混合溶液５が生成される。組成物層２と溶剤４との混合は、例えば超音波振動により行われてもよいし、撹拌棒による撹拌により行われてもよい。続いて、図３に示すように、混合溶液５が所定の目開きを有するフィルタ部材７２を通過される。フィルタ部材７２は、メッシュ、多孔質膜または篩を含む。これにより、未硬化の組成物層２と粉体３とが分離され、混合溶液５から粉体３がフィルタ部材７２上に抽出される。

その後、分離された粉体３が乾燥されることにより、残存した溶剤４の成分が除去される。乾燥は、自然乾燥であってもよいし、真空乾燥であってもよい。あるいは、乾燥は、例えば１００℃程度の熱乾燥であってもよい。この状態においては、粉体３に光硬化性組成物を含むバインダの成分が残存している。

そこで、粉体３が例えば５００℃程度に加熱されることにより、脱脂されてもよい。これにより、粉体３から光硬化性組成物の成分が除去される。また、粉体３にさらなる熱処理（焼成）が行われてもよい。これにより、粉体３が焼結される。一方、粉体３に光硬化性組成物の成分が残存してよい場合には、粉体３の脱脂および焼結は行われなくてもよい。

製造された粉体３は多孔質性を有してもよい。例えば、光硬化性組成物が多孔質樹脂を含む場合、粉体３の脱脂および焼結を省略することにより、多孔質性を有する粉体３を製造することができる。あるいは、光硬化性組成物が多孔質樹脂を含まない場合でも、焼成を比較的低い温度で行うことにより、粉体３における光硬化性組成物の成分が除去された部分を孔として残存させることができる。この場合にも、多孔質性を有する粉体３を製造することができる。

（３）粉体の例
粉体製造装置１００においては、任意の図面データを使用することにより、形成される粉体３の平均粒径、粒度分布および形状を任意に調整することができる。粉体３の平均粒径は、１０μｍ以上であってもよい。また、粉体３の平均粒径は、１０００μｍ以下であってもよい。粉体３の用途に応じて、平均粒径１００μｍ未満、あるいは平均粒径５０μｍ未満の粉体３が形成される。本例では、粉体３の平均粒径は、顕微鏡法により測定される円相当径である。例えば、平均粒子径は、顕微鏡写真に含まれる少なくとも３００個の粒子画像のそれぞれの円相当径を測定し、これらの平均を算出することにより求めることができる。

図４は、粉体３に含まれる単一粒子の粒度範囲を示す図である。図４の例では、粒度分布形状は、ガウシアン分布を有する。本例では、粉体３の粒度分布の幅を小さくすることが可能である。なお、粒度分布の幅とは、ピークに対応する粒子集合のＤ９０とＤ１０との差（Ｄ９０－Ｄ１０）をいう。例えば、粒径が１００μｍ以下の場合、粒度分布の幅は中心粒径±５μｍであり、粒径が１００μｍ以上の場合、Ｄ９０／Ｄ１０は１．１以下である。そのため、分級作業を行うことなく所望の平均粒径を有する粉体３を効率よく得ることができる。これにより、歩留まりが低下することが防止される。

一方で、粉体３の粒度分布の幅を大きくすることも可能である。具体的には、制御装置６０は、所定の粒度分布形状で粉体３が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定することが可能である。この場合、擬似的な任意の粒度分布形状を有する粉体３を高精度で製造することができる。所定間隔は、例えば、１０μｍ以下であってもよいし、５μｍ以下であってもよいし、１μｍ以下であってもよい。また、粒度分布形状は、ガウシアン分布に設定されていてもよいし、ガウシアン分布以外に設定されていてもよい。

図５は、擬似的な粒度分布形状の一例を示す図である。図６は、制御装置６０により設定される複数の目標粒径のレシピを示す図である。図６の例では、「レシピ番号１」～「レシピ番号９」の各々において、目標粒径と粒子の個数とが設定される。なお、「レシピ番号２」、「レシピ番号５」および「レシピ番号８」の目標粒径は、それぞれＤ１０、Ｄ５０およびＤ９０に相当する。「レシピ番号１」～「レシピ番号９」にそれぞれ対応する９つの粒度分布形状が図６に実線で示される。この場合、図６に一点鎖線で示されるように、擬似的な粒度分布形状が大きくなる。その結果、任意の粒度分布の幅（Ｄ９０－Ｄ１０）を有する粉体３を得ることができる。

図７は、擬似的な粒度分布形状の他の例を示す図である。図７の例では、複数のレシピにそれぞれ対応する複数の粒度分布形状が実線で示される。これにより、一点鎖線で示すように、種々の幅を有する複数（本例では３つ）のピークを含む擬似的な粒度分布形状が実現される。このように、粒度分布のピークを複数にするとともに、粒度分布の各ピークの幅を任意に調整することも可能である。これらの場合、種々の平均粒径を有する粉体３を効率よく得ることができる。

さらに、球状または円柱状等の単純な形状を有する粉体だけでなく、より複雑な形状を有する粉体３を製造することができる。図８～図１１は、それぞれ第１～第４の例における粉体３を示す顕微鏡写真である。図８～図１１の各々においては、上部に脱脂前の粉体３の粒子が示され、下部に脱脂および焼結後の粉体３の粒子が示される。

図８に示すように、第１の例における粉体３は環状を有し、粉体３の粒径は約２００μｍである。具体的には、粉体３は円環状を有するが、矩形枠形状等の他の環状を有してもよい。図９に示すように、第２の例における粉体３は多角形状を有し、粉体３の粒径は約２００μｍである。具体的には、粉体３は六角形状を有するが、五角形状または星形状等の他の多角形状を有してもよい。

図１０に示すように、第３の例における粉体３は十字形状を有し、粉体３の粒径は約２００μｍである。図１１に示すように、第４の例における粉体３はＣ字形状を有し、粉体３の粒径は約２００μｍである。第１～第４の例においては、粉体３の上面および下面は平行な平面であってもよいし、湾曲する曲面であってもよい。また、粉体３は、少なくとも１もしくは複数の開口を有する形状、または円盤状であってもよい。さらに、粉体３の外面には、積層された複数の組成物層の境界線が現れていてもよい。

粉体３の他の例として、繊維状（糸状）または消波ブロック形状（テトラポッド（登録商標）形状）等を有する粉体３を用途に応じて製造することも可能である。例えば、粉体３が熱伝導性粒子により形成される場合、繊維状を有する粉体３を用いることにより、一方向に高い熱伝導性を有する熱伝導シートを製造することができる。あるいは、消波ブロック形状を有する微小な粉体３を用いることにより、高い骨密度を有する人工骨を製造することができる。また、粉体３は、例えば、二次電池等の電気機器の部材（例えば、二次電池のセパレータの材料）として用いることも可能である。

露光光による所定の描画が粉体３の面または各断面に対応する組成物層２に行われるように露光光が走査されることにより、上記の種々の形状を有する粉体３が製造される。ここで、本例においては、粉体３は微小であるため、上記の第２の例のように、粉体３が角部を有する場合には、組成物層２に目標の角部の形状が描かれるように露光光が走査されても、粉体３の角部が適切に形成されないことがある。

そこで、粉体３が角部を有する場合には、組成物層２における目標の角部よりも内側の領域に当該角部の角度よりも鋭い（小さい）角度の角部が描かれるように露光光が走査される。これにより、粉体３が微小である場合でも、粉体３の角部を適切に形成することができる。

（４）粉体製造処理
図１２は、図１の制御装置６０により実行される粉体製造処理を示すフローチャートである。図１２に示すように、まず、記憶装置５０に記憶された図形データに基づいてｎ個の断面データ（ｎは１以上の整数）が取得される（ステップＳ１）。各断面データは、粉体３の各組成物層２の平面形状を表す。取得されたｎ個の断面データには、下から順に１～ｎの固有の番号がそれぞれ付与される。１段目の断面データは１番下の組成物層２に対応し、ｎ段目の断面データは最も上の組成物層２に対応する。

次に、積層数を表す変数ｉの値が１に設定される（ステップＳ２）。続いて、供給部２０により混合物１が吐出される（ステップＳ３）。これにより、変数ｉの値が１の場合、混合物１が造形テーブル１０の造形面１１上に供給される。一方、変数ｉの値が２以上である場合、混合物１が組成物層２上に供給される。その後、供給された混合物１が引き延ばし部材３０により引き延ばされることにより、組成物層２が形成される（ステップＳ４）。

次に、形成された組成物層２がｉ番目の断面データに基づいて露光装置４０により露光される（ステップＳ５）。これにより、組成物層２の露光部分に硬化する。続いて、変数ｉの値がｎであるか否かが判定される（ステップＳ６）。変数ｉの値がｎでない場合、変数ｉの値が１だけ増加され（ステップＳ７）、処理がステップＳ３に戻る。変数ｉの値がｎになるまでステップＳ３～Ｓ７が繰り返される。

変数ｉの値がｎである場合、粉体３が完成する。この場合、形成された粉体３が洗浄装置７０により洗浄されることにより、粉体３が抽出される（ステップＳ８）。その後、粉体３が脱脂される（ステップＳ９）。最後に、粉体３が焼結される（ステップＳ１０）。これにより、粉体製造処理が終了する。ステップＳ１０は省略されてもよい。あるいは、ステップＳ９がさらに省略されてもよい。

（５）効果
本実施の形態に係る粉体製造装置１００においては、セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物１が供給部２０により供給される。混合物１が引き延ばし部材３０により造形テーブル１０の造形面１１上に引き延ばされることにより、１または複数の組成物層２が形成される。形成された各組成物層２が露光装置４０により露光されることにより、硬化された１または複数の組成物層２からなる粉体３が形成される。洗浄装置７０による洗浄により粉体３が１または複数の組成物層２の未硬化部分から分離される。

この構成によれば、露光装置４０による露光パターンが制御されることにより、粉体３を構成する各組成物層２が任意の形状および寸法で硬化される。これにより、任意の形状を有する微小な粉体３を高精度で製造することができる。

洗浄装置７０においては、貯留容器７１内で粉体３を含む組成物層２と溶剤４とが混合されることにより混合溶液５が生成される。また、フィルタ部材７２により混合溶液５から粉体３が抽出される。この場合、微小な粉体３を容易に抽出することができる。

また、露光装置４０による露光は、直径１０μｍ以上６００μｍ以下のスポットサイズを有する露光光を用いて行われる。これにより１０μｍ以上１０００μｍ以下の平均粒径を有する粉体３を容易に製造することができる。スポットサイズは、２００μｍ以下であってもよいし、５０μｍ以下であってもよい。また、粉体３の平均粒径は、３００μｍ以下であってもよいし、１００μｍ以下であってもよい。

（６）請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。

上記の実施の形態では、造形面１１が造形面の例であり、造形テーブル１０が造形テーブルの例であり、混合物１が混合物の例であり、供給部２０が供給手段の例である。組成物層２が組成物層の例であり、引き延ばし部材３０が引き延ばし部材の例であり、粉体３が粉体の例であり、露光装置４０が露光装置の例であり、制御装置６０が制御部の例である。粉体製造装置１００が粉体製造装置の例であり、溶剤４が溶剤の例であり、混合溶液５が混合溶液の例であり、貯留容器７１が混合手段の例であり、フィルタ部材７２がフィルタ部材の例である。
（７）参考形態
（７－１）第１の参考形態に係る粉体製造装置は、造形面を有する造形テーブルと、セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物を供給する供給手段と、供給手段により供給された混合物を造形テーブルの造形面上に引き延ばすことにより１または複数の組成物層を形成する引き延ばし部材と、引き延ばし部材により形成された各組成物層を露光することにより、硬化された１または複数の組成物層からなる複数の粒子を含む粉体を形成する露光装置とを備える。
この粉体製造装置においては、露光装置による露光パターンが制御されることにより、粉体を構成する各組成物層が任意の形状および寸法で硬化される。これにより、任意の形状を有する微小な粉体を高精度で製造することができる。
（７－２）露光装置による露光は、直径６００μｍ以下のスポットサイズを有する露光光を用いて行われてもよい。この場合、微小な粉体をより容易に製造することができる。
（７－３）粉体製造装置は、所定の粒度分布形状で粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定する制御部をさらに備えてもよい。この場合、任意の粒度分布形状を有する粉体を高精度で製造することができる。
（７－４）粉体製造装置は、粉体を含む１または複数の組成物層と溶剤とを混合することにより混合溶液を生成する混合手段と、混合溶液から粉体を抽出するフィルタ部材とをさらに備えてもよい。この場合、微小な粉体を容易に抽出することができる。
（７－５）粉体の平均粒径は、１０００μｍ以下であってもよい。この場合、粉体をより微小にすることができる。
（７－６）第２の参考形態に係る粉体製造方法は、セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物を供給するステップと、混合物を引き延ばし部材により造形テーブルの造形面上に引き延ばすことにより、１または複数の組成物層を形成するステップと、形成された各組成物層を露光装置により露光することにより、硬化された１または複数の組成物層からなる複数の粒子を含む粉体を形成するステップと、洗浄により粉体を１または複数の組成物層の未硬化部分から分離するステップとを含む。
この粉体製造方法によれば、露光装置による露光パターンが制御されることにより、粉体を構成する各組成物層が任意の形状および寸法で硬化される。これにより、任意の形状を有する微小な粉体を高精度で製造することができる。
（７－７）第３の参考形態に係る粉体は、１０００μｍ以下の平均粒径を有し、環状、多角形状、十字形状、Ｃ字形状、少なくとも１もしくは複数の開口を有する形状、円盤状または繊維状である。この場合、粉体を用いて種々の製品を製造することができる。

１…混合物，２…組成物層，３…粉体，４…溶剤，５…混合溶液，１０…造形テーブル，１１…造形面，２０…供給部，２１…吐出孔，３０…引き延ばし部材，４０…露光装置，５０…記憶装置，６０…制御装置，７０…洗浄装置，１００…粉体製造装置

Claims (5)

1. 造形面を有する造形テーブルと、
   セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物を供給する供給手段と、
   前記供給手段により供給された前記混合物を前記造形テーブルの前記造形面上に引き延ばすことにより１または複数の組成物層を形成する引き延ばし部材と、
   前記引き延ばし部材により形成された各組成物層を露光することにより、硬化された前記１または複数の組成物層からなる複数の粒子を含む粉体を形成する露光装置と、
   所定の粒度分布形状で前記粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定する制御部とを備える、粉体製造装置。
2. 前記露光装置による露光は、直径６００μｍ以下のスポットサイズを有する露光光を用いて行われる、請求項１記載の粉体製造装置。
3. 前記粉体を含む前記１または複数の組成物層と溶剤とを混合することにより混合溶液を生成する混合手段と、
   前記混合溶液から前記粉体を抽出するフィルタ部材とをさらに備える、請求項１または２記載の粉体製造装置。
4. 前記粉体の平均粒径は、１０００μｍ以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の粉体製造装置。
5. 所定の粒度分布形状で粉体が形成されるように、所定値以下の粒径間隔で複数の目標粒径を設定するステップと、
   セラミック粉末または金属粉末と光硬化性組成物を含むバインダとが混合された混合物を供給するステップと、
   前記混合物を引き延ばし部材により造形テーブルの造形面上に引き延ばすことにより、１または複数の組成物層を形成するステップと、
   形成された各組成物層を露光装置により露光することにより、硬化された１または複数の組成物層からなる複数の粒子を含む前記粉体を形成するステップと、
   洗浄により前記粉体を前記１または複数の組成物層の未硬化部分から分離するステップとを含む、粉体製造方法。

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