JP7585169B2 - Ultrasonic measurement method and ultrasonic measurement device - Google Patents
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Description
本発明は、超音波センサを使用し、界面状態を評価する超音波計測方法及び超音波計測装置に関する。 The present invention relates to an ultrasonic measurement method and ultrasonic measurement device that use an ultrasonic sensor to evaluate the interface condition.
摩擦や摩耗は、工業製品の機械特性にとって、重要な役割を担い、接触した界面状態が深く関与している。接触した界面で発生するミクロな現象は、機械特性としてマクロに発現する。このため、界面状態を直接的に観察するニーズは高い。 Friction and wear play an important role in the mechanical properties of industrial products, and the state of the interface between the two surfaces is deeply involved. Microscopic phenomena that occur at the interface between the two surfaces are expressed on a macroscopic level as mechanical properties. For this reason, there is a high demand for the direct observation of the interface state.
しかし、摩擦や摩耗が関係する部材は、大抵の場合、不透明であり、界面状態を直接的に観察することは難しい。 However, components involved in friction and wear are often opaque, making it difficult to directly observe the interface state.
そこで、非破壊計測で間接的に界面状態を評価する。こうした技術分野における背景技術として、特開2010-60412号公報(特許文献1)がある。 Therefore, the interface state is evaluated indirectly using non-destructive measurement. JP 2010-60412 A (Patent Document 1) is a background technology in this technical field.
この特許文献1には、第1電極チップがワークW1から離間した状態で第1電極チップの先端から反射された第1反射波の強度を測定し、第1電極チップがワークW1に対して接触した状態で第1電極チップの先端から反射された第2反射波の強度を測定し、これら第1反射波及び第2反射波の各強度に基づき、強度比(反射波率)及びワークW1に対して入射した超音波の割合(入射波率)を求め、予め求められた超音波を入射可能な部位の接触面積と入射波率との相関関係から、部位の全面積と部位におけるワークW1に対して接触した接触面積との比(接触面積比)を求める接触面積比評価方法が記載されている(特許文献1の要約参照)。
This
接触と非接触とを繰り返す動的な界面においては、界面が非接触時に基準となる超音波計測結果を取得し、評価したい接触時の界面を評価すればよい。 For dynamic interfaces that repeatedly go into and out of contact, it is sufficient to obtain reference ultrasonic measurement results when the interface is out of contact, and then evaluate the interface when it is in contact, which is what you want to evaluate.
しかし、タービンやポンプなどの嵌合部では静的な界面であるため、基準となる超音波計測結果を取得することができない。更に、工業製品の外表面から超音波を工業製品の内部に伝搬させ、界面状態を評価する際に、超音波センサと工業製品の外表面との接触状態は、工業製品の外表面に塗装や凹凸などがあり、基準となる安定したエコー強度を取得することができない。 However, because fittings in turbines, pumps, etc. are static interfaces, it is not possible to obtain standard ultrasonic measurement results. Furthermore, when ultrasonic waves are propagated from the outer surface of an industrial product into its interior to evaluate the interface condition, the contact condition between the ultrasonic sensor and the outer surface of the industrial product is affected by paint or unevenness on the outer surface of the industrial product, making it impossible to obtain a stable standard echo intensity.
特許文献1には、超音波センサを使用し、ワークの界面状態を評価する接触面積比評価方法が記載されている。しかし、特許文献1に記載される接触面積比評価方法は、超音波を入射可能な部位の接触面積と入射波率との相関関係を、予め求めるものであり、基準となる超音波計測結果を取得することができない、例えば、タービンやポンプなどの嵌合部のような静的な界面において、界面状態を評価するものではない。
そこで、本発明は、基準となる超音波計測結果を取得することができない静的な界面においても界面状態を評価することができる超音波計測方法及び超音波計測装置を提供する。 The present invention provides an ultrasonic measurement method and ultrasonic measurement device that can evaluate the interface state even at a static interface where it is not possible to obtain reference ultrasonic measurement results.
上記した課題を解決するため、本発明の超音波計測方法は、N(Nは2以上の自然数)層からなるN-1個の静的な界面を有する構造物の界面状態を評価する超音波計測方法であって、構造物の外表面から超音波を送受信し、取得された波形データに基づいて、N-1個の各界面からの反射波のエコー強度と第N層の底面からの反射波のエコー強度とを抽出する工程と、1≦k≦Nとし、送信波強度をI、接触性の因子をC、装置因子をU、k層目とk+1層目との界面における反射率をX
k
、透過率を1-X
k
、k層目の厚さをz
k
、超音波の伝搬距離に依存する拡散減衰項の影響をd(z)、各界面及び底面における反射率の形状因子をS
rk
とし、反射波のエコー強度E
k
を後述する式1-3で表現し、各界面からの反射波のエコー強度と底面からの反射波のエコー強度とを、拡散減衰項で除算し、除算されたエコー強度と真実接触面積と正比例関係にある界面状態指標との関係を示すN個の方程式を立て、第k+1層である下側の除算されたエコー強度を第k層である上側の除算されたエコー強度で除算し、共通項I・C
2
・Uを消去し、エコー強度と界面状態指標との関係を示すN-1個の方程式を立て、N-1個の方程式を解き、界面状態指標をエコー強度で示し、各界面の界面状態指標を演算する工程と、演算された各界面の界面状態指標に基づいて、各界面の界面状態を評価する工程と、を制御・処理部が実行することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the ultrasonic measurement method of the present invention is an ultrasonic measurement method for evaluating the interface state of a structure having N- 1 static interfaces composed of N (N is a natural number of 2 or more) , comprising the steps of transmitting and receiving ultrasonic waves from an outer surface of the structure, and extracting the echo intensity of the reflected wave from each of the N-1 interfaces and the echo intensity of the reflected wave from a bottom surface of the Nth layer based on the acquired waveform data , and The control/processing unit executes the steps of: expressing k by Equation 1-3 described later; dividing the echo intensity of the reflected wave from each interface and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface by a diffusion attenuation term; formulating N equations showing the relationship between the divided echo intensity and an interface state index which is directly proportional to the true contact area; dividing the divided echo intensity of the lower side which is the (k+1)th layer by the divided echo intensity of the upper side which is the kth layer ; eliminating the common term I·C2 · U ; formulating N-1 equations showing the relationship between the echo intensity and the interface state index; solving the N-1 equations ; expressing the interface state index in terms of echo intensity; and evaluating the interface state of each interface based on the calculated interface state index of each interface.
また、本発明の超音波計測装置は、N(Nは2以上の自然数)層からなるN-1個の静的な界面を有する構造物の界面状態を評価する超音波計測装置であって、構造物の外表面から超音波を送受信する送受信部と、送受信部から取得された波形データに基づいて、N-1個の各界面からの反射波のエコー強度と第N層の底面からの反射波のエコー強度とを抽出し、1≦k≦Nとし、送信波強度をI、接触性の因子をC、装置因子をU、k層目とk+1層目との界面における反射率をX
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とし、反射波のエコー強度E
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を後述する式1-3で表現し、各界面からの反射波のエコー強度と底面からの反射波のエコー強度とを、拡散減衰項で除算し、除算されたエコー強度と真実接触面積と正比例関係にある界面状態指標との関係を示すN個の方程式を立て、第k+1層である下側の除算されたエコー強度を第k層である上側の除算されたエコー強度で除算し、共通項I・C
2
・Uを消去し、エコー強度と界面状態指標との関係を示すN-1個の方程式を立て、N-1個の方程式を解き、界面状態指標をエコー強度で示し、各界面の界面状態指標を演算し、演算された各界面の界面状態指標に基づいて、各界面の界面状態を評価する制御・処理部と、評価された各界面の界面状態指標の評価結果を表示する表示部と、を有することを特徴とする。
The ultrasonic measurement device of the present invention is an ultrasonic measurement device for evaluating the interface state of a structure having N- 1 static interfaces composed of N (N is a natural number of 2 or more) , and includes a transmitting/receiving unit for transmitting and receiving ultrasonic waves from an outer surface of the structure , and extracts the echo intensity of the reflected wave from each of the N-1 interfaces and the echo intensity of the reflected wave from a bottom surface of the Nth layer based on waveform data acquired from the transmitting/receiving unit, where 1≦k≦N is the transmitted wave intensity I, the contact factor C, the device factor U, the reflectance at the interface between the kth layer and the k+1th layer Xk , the
本発明によれば、基準となる超音波計測結果を取得することができない静的な界面においても界面状態を評価することができる超音波計測方法及び超音波計測装置を提供することができる。 The present invention provides an ultrasonic measurement method and ultrasonic measurement device that can evaluate the interface state even at a static interface where it is not possible to obtain reference ultrasonic measurement results.
なお、上記した以外の課題、構成及び効果については、下記する実施例の説明によって、明らかにされる。 Note that issues, configurations and effects other than those mentioned above will become clearer in the explanation of the examples below.
以下、本発明の実施例を、図面を使用し、説明する。なお、各図面において、実質的に同一又は類似の構成には同一の符号を付し、説明が重複する場合には、重複する説明を省略する場合がある。 The following describes an embodiment of the present invention with reference to the drawings. In each drawing, substantially the same or similar components are given the same reference numerals, and where explanations overlap, they may be omitted.
先ず、本実施例に記載する軸とディスクとの嵌合部の構造を説明する。 First, we will explain the structure of the fitting portion between the shaft and the disk described in this embodiment.
図1は、本実施例に記載する軸とディスクとの嵌合部の構造を説明する説明図であり、(a)は軸が中空の場合を、(b)は軸が中実の場合を、示すものであり、例えば、タービンやポンプなどの嵌合部のような静的な界面(計測対象)を示す。 Figure 1 is an explanatory diagram explaining the structure of the fitting part between the shaft and the disk described in this embodiment, where (a) shows the case where the shaft is hollow and (b) shows the case where the shaft is solid, and shows a static interface (measurement object) such as the fitting part of a turbine or pump.
(a)及び(b)のもいずれも、軸はディスクに軸に嵌合して一体化し、例えば、嵌合面(界面)を介して回転体として動力を伝達する構造物(工業製品)である。 In both (a) and (b), the shaft is fitted to the disk to form an integrated structure (industrial product), for example, that transmits power as a rotating body via the fitting surface (interface).
この時、界面は、軸の外表面やディスクの内表面の表面粗さの影響によって、隙間なくかみ合っている部位もあれば、空気又は油や水の液体などが介在している空間が発生している部位もある。 At this time, depending on the surface roughness of the outer surface of the shaft and the inner surface of the disk, there are some areas where the interface fits together without any gaps, and other areas where there is a space filled with air or liquids such as oil or water.
本実施例では、この軸とディスクとの界面状態を、超音波による非破壊計測により評価する。 In this example, the interface condition between the shaft and the disk is evaluated using non-destructive ultrasonic measurement.
なお、軸とディスクとの材料は、同種又は異種を問わないが、異種材料の場合は、材料間で音響インピーダンスの差による反射が発生するため、既知の材料密度と音速(音響インピーダンス)とによって補正する。なお、本実施例では、この補正は容易であるため、同種材料の場合を説明する。 The shaft and disk may be made of the same or different materials, but in the case of dissimilar materials, reflection occurs due to the difference in acoustic impedance between the materials, so correction is made using the known material density and sound speed (acoustic impedance). In this example, this correction is easy, so the case of homogeneous materials will be explained.
次に、本実施例に記載する軸とディスクとの嵌合部における超音波伝搬を模式的に説明する。 Next, we will explain the ultrasonic wave propagation in the fitting portion between the shaft and the disk described in this embodiment.
図2は、本実施例に記載する軸とディスクとの嵌合部における超音波伝搬を模式的に説明する説明図である。 Figure 2 is a schematic diagram illustrating ultrasonic wave propagation at the fitting portion between the shaft and the disk described in this embodiment.
図2に示すように、超音波は、隙間なくかみ合っている部位であれば、軸とディスクとの嵌合部の界面を透過する。一方、図2に示すように、軸とディスクとの嵌合部の界面に、空間が発生している部位では、非線形現象を考慮しなければ、超音波は、空気が介在している場合にはほぼ完全に反射し、液体が介在している場合にも9割以上が反射し、ほとんど透過しない。 As shown in Figure 2, ultrasonic waves pass through the interface between the shaft and disk if they are tightly fitted together. On the other hand, as shown in Figure 2, in areas where there is space at the interface between the shaft and disk, if nonlinear phenomena are not taken into account, ultrasonic waves are almost completely reflected if air is present, and more than 90% are reflected if liquid is present, with almost no transmission.
つまり、嵌合部では、真の接触面とも呼称される隙間なくかみ合っている部位(完全にかみ合っている部位)の面積が大きければ大きいほど、超音波は透過しやすくなり、かみ合っている部位の面積が小さければ小さいほど、超音波は透過しにくくなる。 In other words, in a mating part, the larger the area of the part that fits without gaps (the part that fits completely), also known as the true contact surface, the easier it is for ultrasonic waves to pass through, and the smaller the area of the mating part, the harder it is for ultrasonic waves to pass through.
次に、本実施例に記載する軸とディスクとの嵌合部における超音波伝搬を説明する。 Next, we will explain ultrasonic propagation in the fitting area between the shaft and disk described in this embodiment.
図3は、本実施例に記載する軸とディスクとの嵌合部における超音波伝搬を説明する説明図であり、(a)は軸が中空の場合を、(b)は軸が中実の場合を、示す。 Figure 3 is an explanatory diagram that explains ultrasonic wave propagation at the fitting portion between the shaft and the disk described in this embodiment, where (a) shows the case where the shaft is hollow, and (b) shows the case where the shaft is solid.
基準となる超音波計測結果を取得することができない静的な界面において、超音波計測によって界面状態を評価する。 At static interfaces where it is not possible to obtain standard ultrasonic measurement results, the interface condition is evaluated using ultrasonic measurements.
図3(a)に示すように、軸とディスクとの2媒体であっても、中空の場合は、超音波は、軸とディスクとの2層(2層系)、及び、軸とディスクとの1つの界面1(嵌合部)を伝搬する。一方、図3(b)に示すように、軸とディスクとの2媒体であっても、中実の場合は、超音波は、軸とディスクとの3層(3層系)、及び、軸とディスクとの2つの界面1(嵌合部)及び界面2(嵌合部)を伝搬する。 As shown in Figure 3(a), even if there are two media, a shaft and a disk, if it is hollow, the ultrasound propagates through two layers between the shaft and the disk (two-layer system) and one interface 1 (fitting portion) between the shaft and the disk. On the other hand, as shown in Figure 3(b), even if there are two media, a shaft and a disk, if it is solid, the ultrasound propagates through three layers between the shaft and the disk (three-layer system) and two interfaces 1 (fitting portion) and interface 2 (fitting portion) between the shaft and the disk.
また、3媒体の嵌合部の場合には、超音波は、軸が中空の場合は3層、2つの界面を、軸が中実の場合は5層、4つの界面を伝搬することになる。したがって、超音波計測による界面状態評価は、多層系を想定することが重要である。 In addition, in the case of a three-media mating area, if the shaft is hollow, the ultrasonic waves will propagate through three layers and two interfaces, and if the shaft is solid, five layers and four interfaces. Therefore, when evaluating the interface condition using ultrasonic measurements, it is important to consider a multi-layer system.
ここで、超音波計測においてN層(Nは、2以上の自然数)となる嵌合部に、1層目の外表面から超音波センサにより超音波を入射し、N層目の底面までの距離に相当する受信波形(取得波形)を取得し、超音波センサの直下にあるN-1の界面状態を簡易的に評価することを考える。 Here, we consider a simple evaluation of the interface condition of N-1 directly below the ultrasonic sensor by irradiating ultrasonic waves from the outer surface of the first layer into the fitting portion, which is the Nth layer (N is a natural number equal to or greater than 2) in ultrasonic measurement, and acquiring a received waveform (acquired waveform) corresponding to the distance to the bottom surface of the Nth layer.
1層目と2層目との界面からの反射波のエコー強度をE1と、2層目と3層目との界面からの反射波のエコー強度をE2と、1≦k≦Nとして、k層目とk+1層目との界面からの反射波のエコー強度をEkと、N層目の底面からの反射波のエコー強度をENと、定義し、定式化する。 The echo intensity of the wave reflected from the interface between the first and second layers is defined as E1 , the echo intensity of the wave reflected from the interface between the second and third layers as E2 , and where 1≦k≦N, the echo intensity of the wave reflected from the interface between the kth and k+1th layers as Ek , and the echo intensity of the wave reflected from the bottom surface of the Nth layer as EN , and these are formulated.
E1と、E2と、Ekと、ENとは、ぞれぞれ、式1-1、式1-2、式1-3、式1-4のように表現することができる。 E1 , E2 , Ek , and EN can be expressed as equations 1-1, 1-2, 1-3, and 1-4, respectively.
・・・ ....
・・・ ....
ここで、送信波強度をI、接触性の因子をC、装置因子をU、k層目とk+1層目との界面における反射率をXk、透過率を1-Xk、k層目の厚さをzkとし、伝搬距離による拡散減衰(拡散減衰項)の影響をd(z)、界面や底面における反射率の形状因子をSrkとした。 Here, the transmitted wave intensity is I, the contact factor is C, the device factor is U, the reflectance at the interface between the kth layer and the (k+1)th layer is Xk , the transmittance is 1- Xk , the thickness of the kth layer is zk , the effect of diffusion attenuation (diffusion attenuation term) due to the propagation distance is d(z), and the shape factor of the reflectance at the interface and the bottom surface is Srk .
なお、超音波が界面を透過する際に発生する散乱損失、粘性損失などの各種損失や、超音波が材料中を伝搬する際に発生する散乱減衰は無視する。 Note that various losses, such as scattering losses and viscous losses, that occur when ultrasonic waves pass through an interface, as well as scattering attenuation that occurs when ultrasonic waves propagate through a material, are ignored.
また、d(z)は、材料由来による散乱減衰がない周波数を選定することができ、また、使用する超音波センサの近距離音場限界距離よりも十分に遠い距離では、理論的に求めることができる。 In addition, d(z) can be selected to be a frequency that is free of scattering attenuation due to the material, and can be theoretically determined at distances sufficiently farther than the near-field limit distance of the ultrasonic sensor being used.
また、各層の形状に起因する形状因子Srは、超音波センサの開口円に比較して、十分に大きな円柱の場合であり、平面と同等にみなせる場合であれば、Sr=1である。更に、曲率の影響がある場合であっても、嵌合部は円柱や球体などの単純形状であるため、理論的に求めることができる。 Furthermore, when the shape factor Sr due to the shape of each layer is a cylinder that is sufficiently large compared to the aperture circle of the ultrasonic sensor and can be regarded as equivalent to a plane, Sr = 1. Furthermore, even when there is an effect of curvature, it can be theoretically found because the mating portion has a simple shape such as a cylinder or a sphere.
また、共通項K(K=IC2U)は、互いの式で割れば、つまり、Ek/Ek+1を演算すれば、消去することができる。 Moreover, the common term K (K=IC 2 U) can be eliminated by dividing each equation by the other, that is, by calculating E k /E k+1 .
つまり、E1~ENのエコー強度を取得することができれば、未知数の数N-1個と同じ、N-1個のEk/Ek+1に関する方程式となる。このため、各界面状態に密接に関係するXkや1-Xkを求めることができる。 In other words, if the echo intensities E 1 to E N can be obtained, then an equation for N-1 E k /E k+1 , which is the same as the number of unknowns, N-1, can be obtained. Therefore, X k and 1-X k, which are closely related to each interface state, can be obtained.
もちろん、Xkは反射率と定義し、1-Xkは透過率と定義しているため、求めた値は、真の接触面積比率(真実接触面積比率)を主要因とする値となる。なお、界面における空間を満たす空気や液体による影響は含むことになる。 Of course, since Xk is defined as reflectance and 1- Xk is defined as transmittance, the obtained value is mainly determined by the true contact area ratio (real contact area ratio), and includes the influence of air or liquid filling the space at the interface.
なお、上記した各種損失は、微小であるため無視し、散乱減衰をしないような周波数を選定することを前提条件とする。 The various losses mentioned above are small and can be ignored, and the prerequisite is to select a frequency that does not cause scattering attenuation.
以下、真の接触面積(真実接触面積)と正比例関係にある1-Xkを界面状態指標と呼称する。なお、界面状態指標は、超音波センサの設置位置直下の界面における真実接触面積比率に近い値となる。このため、トルクや引張などの外力と密接に関係し、嵌合部の品質管理やモニタリングに使用することができる。 Hereinafter, 1-X k, which is directly proportional to the true contact area, will be referred to as the interface condition index. The interface condition index is a value close to the true contact area ratio at the interface directly below the installation position of the ultrasonic sensor. Therefore, it is closely related to external forces such as torque and tension, and can be used for quality control and monitoring of mating parts.
次に、本実施例に記載する3層の場合の超音波計測を模式的に説明する。 Next, we will explain the ultrasonic measurement for the three layers described in this example.
図4は、本実施例に記載する3層の場合の超音波計測を模式的に説明する説明図である。 Figure 4 is an explanatory diagram that illustrates the ultrasonic measurement for the three layers described in this embodiment.
ここで、具体的に、図4に示すように、超音波センサを計測対象がある構造物に接触させて、平行平板3層の界面状態を計測する場合を示す。 Here, we will specifically show a case where an ultrasonic sensor is brought into contact with a structure containing a measurement target, as shown in Figure 4, to measure the interface state of three parallel plates.
なお、平行平板3層であるため、すべての形状因子Srは、Srk=1(k=1、2、3)である。また、超音波センサは、周波数が材料由来による散乱減衰がない周波数帯域の超音波センサである。また、1層目の厚さをz1とし、2層目の厚さをz2とし、3層目の厚さをz3とする。更に、1層目と2層目との界面での反射率はX1、透過率は1-X1であり、2層目と3層目との界面での反射率はX2、透過率は1-X2である。 Since the sensor is made up of three parallel plate layers, all shape factors Sr are Srk = 1 (k = 1, 2, 3). The ultrasonic sensor is an ultrasonic sensor in a frequency band where there is no scattering attenuation due to the material. The thickness of the first layer is z1 , the thickness of the second layer is z2 , and the thickness of the third layer is z3 . The reflectance at the interface between the first and second layers is X1 , the transmittance is 1- X1 , and the reflectance at the interface between the second and third layers is X2 , and the transmittance is 1- X2 .
次に、本実施例に記載する超音波センサの近距離音場限界距離dN(路程z)と伝搬減衰項d(z)との関係性を説明する。 Next, the relationship between the near field limit distance d N (path length z) and the propagation attenuation term d(z) of the ultrasonic sensor described in this embodiment will be described.
図5は、本実施例に記載する超音波センサの近距離音場限界距離dN(路程z)と伝搬減衰項d(z)との関係性を説明する説明図である。 FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the relationship between the near field limit distance d N (path length z) and the propagation attenuation term d(z) of the ultrasonic sensor described in this embodiment.
なお、図5の横軸は、超音波センサの近距離音場限界距離dNを示す路程(時間×超音波の速度)z(例えば、mm)であり、図5の縦軸は、伝搬距離による拡散減衰項d(z)の影響を示す伝搬減衰項d(z)(例えば、V)である。 The horizontal axis of FIG. 5 is the path length (time × ultrasonic velocity) z (e.g., mm) indicating the near-field sound field limit distance dN of the ultrasonic sensor, and the vertical axis of FIG. 5 is the propagation attenuation term d(z) (e.g., V) indicating the influence of the diffusion attenuation term d(z) due to the propagation distance.
超音波センサとしては、図5に示すように、超音波センサの波長(λ)と超音波センサの開口円の面積(A)とから求めることができる近距離音場限界距離(dN=A2/(4λ))が、1層目の厚さの1/2以下となる超音波センサを選択する。超音波センサの送受信強度は、図5に示すように、路程に応じて半減する傾向を示す。このため、例えば、d(z1)=1と規格化し、各d(zk)を、式2によって、求めることができる。
As shown in Fig. 5, an ultrasonic sensor is selected whose near-field sound field limit distance ( dN = A2 /(4λ)), which can be calculated from the wavelength (λ) of the ultrasonic sensor and the area (A) of the circular aperture of the ultrasonic sensor, is equal to or less than half the thickness of the first layer. As shown in Fig. 5, the transmission and reception strength of the ultrasonic sensor tends to be halved according to the path length. For this reason, for example, d( z1 ) = 1 can be standardized and each d( zk ) can be calculated by
そして、それぞれのエコー強度を拡散減衰項d(z)で補正した値を、それぞれE1’、E2’、E3’と定義すると、E1’、E2’、E3’は、ぞれぞれ、式3-1、式3-2、式3-3のように表現することができる。
E1’= E1/d(z1) = K・X1 ・・・式3-1
E2’= E2/d(z1+z2) = K・(1-X1)2・X2 ・・・式3-2
E3’= E3/d(z1+z2+z3)・Sr = K・(1-X1)2・(1-X2)2 ・・・式3-3
この式から2つの式を選択し、互いに除算して、共通項Kを消去する。
Then, if the values obtained by correcting each echo intensity with the diffusion attenuation term d(z) are defined as E1', E2', and E3', respectively, E1', E2', and E3' can be expressed as Equation 3-1, Equation 3-2, and Equation 3-3, respectively.
E 1 '= E 1 /d(z 1 ) = K・X 1 ...Formula 3-1
E 2 '= E 2 /d(z 1 +z 2 ) = K・(1-X 1 ) 2・X 2 ...Formula 3-2
E 3 '= E 3 /d(z 1 +z 2 +z 3 )・Sr = K・(1-X 1 ) 2・(1-X 2 ) 2 ...Formula 3-3
From this equation, two expressions are selected and divided by each other to eliminate the common term K.
そして、E12’=E2’/E1’、E23’=E3’/E2’と定義すると、未知数である1-X1と1-X2との方程式となる。この方程式を解くと、式4-1、式4-2のようになる。
(1-X1) = -E12’/(2X2)+(4X2・E12’+E12’2)1/2/(2X2)・・・式4-1
(1-X2) = 1-1/2・(2+E23’-(E23’・(4+E23’))1/2)・・・式4-2
式4-1及び式4-2に基づいて、未知数である1-X1と1-X2と、を求める。具体的には、先ず、式4-2に基づいて、1-X2をE23の値で示す。次に、E23の値で示されたX2を使用し、式4-1に基づいて、1-X1をE12及びE23の値で示す。
And, if we define E 12 '=E 2 '/E 1 ' and E 23 '=E 3 '/E 2 ', we get equations with unknowns 1-X 1 and 1-X 2. When we solve these equations, we get Equation 4-1 and Equation 4-2.
(1-X 1 ) = -E 12 '/(2X 2 )+(4X 2・E 12 '+E 12 ' 2 ) 1/2 /(2X 2 )...Formula 4-1
(1- X2 ) = 1-1/2・(2+ E23 '-( E23 '・(4+ E23 ')) 1/2 )・・・Equation 4-2
Based on equations 4-1 and 4-2, the unknowns 1- X1 and 1- X2 are found. Specifically, first, 1- X2 is expressed as the value of E23 based on equation 4-2. Next, using X2 expressed as the value of E23 , 1- X1 is expressed as the values of E12 and E23 based on equation 4-1.
つまり、1層目と2層目との界面からのエコー強度をE1と、2層目と3層目との界面からのエコー強度をE2と、3層目の底面からのエコー強度をE3と、を計測することによって、1層目と2層目との界面における界面状態指標1-X1を、2層目と3層目との界面における界面状態指標1-X2を、求めることができる。 That is, by measuring the echo intensity E1 from the interface between the first and second layers, the echo intensity E2 from the interface between the second and third layers, and the echo intensity E3 from the bottom surface of the third layer, it is possible to obtain the interface state index 1- X1 at the interface between the first and second layers and the interface state index 1- X2 at the interface between the second and third layers.
そして、4層以上の場合であっても、3層の場合と同様に、先ず、底面の最近傍の層間の界面状態指標を求め、この値を、順次代入することにより、順次各層間の界面状態指標を求めることができる。これは、底面の最近傍の層間については、底面強度で割るため、底面の最近傍の層以外の層を透過した効果がキャンセルされるためである。 And even if there are four or more layers, as in the case of three layers, the interface state index between the layers closest to the bottom surface is first calculated, and this value is then substituted in turn to calculate the interface state index between each layer in turn. This is because, for the layers closest to the bottom surface, the index is divided by the bottom surface strength, and the effect of penetration through layers other than the layer closest to the bottom surface is cancelled out.
このように、本実施例によれば、基準となる超音波計測結果を取得することができない静的な界面においても界面状態を評価することができる。 In this way, according to this embodiment, it is possible to evaluate the interface condition even at a static interface where it is not possible to obtain reference ultrasonic measurement results.
次に、本実施例に記載する3層の場合の取得波形を説明する。 Next, we will explain the waveforms obtained in the three-layer case described in this example.
図6は、本実施例に記載する3層の場合の取得波形を説明する説明図である。 Figure 6 is an explanatory diagram illustrating the waveforms obtained in the case of three layers described in this embodiment.
つまり、図6は、超音波センサによって計測した際に取得される取得波形である。なお、図6の横軸は、路程z(例えば、mm)であり、図5の縦軸は、受信強度E(例えば、V)である。 In other words, FIG. 6 shows the waveform obtained when measuring with an ultrasonic sensor. Note that the horizontal axis in FIG. 6 is the path length z (e.g., mm), and the vertical axis in FIG. 5 is the reception intensity E (e.g., V).
図6に示すように、1層目と2層目との界面からのエコー強度をE1と、2層目と3層目との界面からのエコー強度をE2と、3層目の底面からのエコー強度をE3と、が取得される。 As shown in FIG. 6, the echo intensity from the interface between the first and second layers is obtained as E1 , the echo intensity from the interface between the second and third layers is obtained as E2 , and the echo intensity from the bottom surface of the third layer is obtained as E3 .
また、多重エコーも取得されるが、界面状態指標を求める際には、多重エコー強度は、エコー強度E1、エコー強度E2、エコー強度E3よりも極めて小さいため、基本的に無視してよい。 Although multiple echoes are also acquired, the multiple echo intensities are much smaller than the echo intensities E 1 , E 2 , and E 3 when determining the interface state index, and therefore may basically be ignored.
具体的に、それぞれのエコー強度を拡散減衰項d(z)で補正するため、1層目の厚さを100mm、2層目の厚さを80mm、3層目の厚さを110mmとして、外表面上の異なる位置(計測点)No.1~No.4の4点において、超音波計測によって界面状態を評価する。 Specifically, to correct each echo intensity with the diffusion attenuation term d(z), the thickness of the first layer is set to 100 mm, the thickness of the second layer to 80 mm, and the thickness of the third layer to 110 mm, and the interface condition is evaluated by ultrasonic measurement at four different positions (measurement points) No. 1 to No. 4 on the outer surface.
超音波計測結果(エコー強度E1、エコー強度E2、エコー強度E3)に基づいて、式3-1、式3-2、式3-3、式4-1、式4-2を使用することによって、界面状態を評価する。超音波計測結果に基づく界面状態の評価結果(界面状態指標1-X1、界面状態指標1-X2)を、表1に示す。なお、表1(3層の場合の界面状態指標の取得結果)では、エコー強度E1、エコー強度E2、エコー強度E3を%で表示している。 The interface state is evaluated based on the ultrasonic measurement results (echo intensity E1 , echo intensity E2 , echo intensity E3 ) by using Equations 3-1, 3-2, 3-3, 4-1, and 4-2. The evaluation results of the interface state based on the ultrasonic measurement results (interface state index 1- X1 , interface state index 1- X2 ) are shown in Table 1. In Table 1 (obtained interface state index results for three layers), echo intensity E1 , echo intensity E2 , and echo intensity E3 are shown as percentages.
なお、表1のNo.1に示すように、E3のエコー強度が取得されない場合には、2層目と3層目との界面状態指標1-X2は0(非接触)となる。 As shown in No. 1 of Table 1, when the echo intensity of E3 is not acquired, the interface state index 1- X2 between the second and third layers is 0 (non-contact).
また、表1のNo.2に示すように、E3のエコー強度が1%と小さく取得される場合であっても、2層目と3層目との界面状態指標1-X2は0.39と取得される。 Also, as shown in No. 2 of Table 1, even when the echo intensity of E3 is acquired as small as 1%, the interface state index 1- X2 between the second and third layers is acquired as 0.39.
また、表1のNo.3及びNo.4に示すように、エコー強度E1、エコー強度E2、エコー強度E3の比が同一の場合には、それぞれの界面状態指標1-X1と界面状態指標1-X2とは同一となる。 Furthermore, as shown in No. 3 and No. 4 in Table 1, when the ratios of echo intensity E 1 , echo intensity E 2 , and echo intensity E 3 are the same, interface state index 1-X 1 and interface state index 1-X 2 are the same.
つまり、表1のNo.3及びNo.4のいずれの場合も、エコー強度E1:エコー強度E2:エコー強度E3は、5:4:2であり、それぞれの界面状態指標1-X1は0.86、界面状態指標1-X2は0.77と同一となる。 That is, in both cases of No. 3 and No. 4 in Table 1, the echo intensity E 1 : echo intensity E 2 : echo intensity E 3 is 5:4:2, and the interface state index 1-X 1 is 0.86 and the interface state index 1-X 2 is 0.77, which are the same.
このように、本実施例によれば、探傷器の設定要因、装置のゲインや不安定な接触性の要因による影響は、界面状態指標に影響していないことがわかる。 As such, according to this embodiment, it can be seen that the influence of factors such as the settings of the flaw detector, the gain of the device, and unstable contact properties does not affect the interface condition index.
そして、本実施例では、Ek(1≦k≦N-1)が0%とならない限り、ゼロ割は発生しないため、界面状態指標1-Xkを必ず取得することができる。
In this embodiment, unless E k (1≦k≦N−1) is 0%, division by zero does not occur, so that the
また、本実施例によれば、負荷や除荷が困難な焼き嵌めなどの静的な嵌合部を有する構造物であっても、安定して取得することができるエコー強度を使用し、基準となる超音波計測結果を取得することなく、界面状態指標1-Xkを取得することができる。 Moreover, according to this embodiment, even in a structure having a static fitting portion such as a shrink fit in which loading and unloading are difficult, the interface state index 1-X k can be obtained by using the echo intensity that can be stably obtained, without obtaining a reference ultrasonic measurement result.
また、本実施例によれば、各層間で取得される数値レンジのばらつきが小さく、そして、界面状態指標1-Xkは、0~1の範囲で示されるため、各層間の界面状態に対して、一律に評価することができる。 Moreover, according to this embodiment, the variation in the range of values obtained between the layers is small, and the interface state index 1-X k is expressed in the range of 0 to 1, so that the interface state between the layers can be evaluated uniformly.
また、本実施例によれば、超音波センサが接触する表面状態が一定でない場合であっても、繰り返して超音波を送受信する必要がなく、界面状態の評価時間を短縮することができる。 In addition, according to this embodiment, even if the surface condition with which the ultrasonic sensor comes into contact is not constant, there is no need to repeatedly transmit and receive ultrasonic waves, and the time required to evaluate the interface condition can be shortened.
このように、本実施例では、各界面(各層間)からのエコー強度と底面からのエコー強度についての方程式を立て、探傷器の設定要因、装置のゲインや不安定な接触性の要因をキャンセルして方程式を解くことにより、基準となるエコー強度を取得することなく、界面状態と密接に関わる界面状態指標を推定することができる。 In this way, in this embodiment, by formulating equations for the echo intensity from each interface (between each layer) and the echo intensity from the bottom surface, and canceling the factors of the flaw detector settings, the device gain, and unstable contact, and solving the equations, it is possible to estimate an interface condition index that is closely related to the interface condition without obtaining a reference echo intensity.
つまり、本実施例では、N層の構造物((N-1)の界面を有する構造物)の場合、片側の面(一方の面)から超音波を送受信し、(N-1)の界面からのエコー強度とN層を透過した後の底面からのエコー強度を使用し、拡散減衰項d(z)で補正されたエコー強度と界面状態指標との関係を示すN個の方程式を立てる。 In other words, in this embodiment, in the case of an N-layer structure (a structure having (N-1) interfaces), ultrasonic waves are transmitted and received from one surface (one of the faces), and N equations are established that show the relationship between the echo intensity corrected by the diffusion attenuation term d(z) and the interface condition index, using the echo intensity from the (N-1) interface and the echo intensity from the bottom surface after passing through the N layers.
そして、接する上下2層において、下側(底面に近い側)のエコー強度を上側(底面に遠い側)のエコー強度で除算し、共通項Kを消去(探傷器の設定要因、装置のゲインや不安定な接触性の要因をキャンセル)し、N-1個の方程式を立てる。 Then, for the two adjacent layers, the echo intensity on the lower side (closer to the bottom) is divided by the echo intensity on the upper side (farther from the bottom), the common term K is eliminated (cancelling the flaw detector setting factors, device gain, and unstable contact factors), and N-1 equations are established.
そして、先ず、N層とN-1層との界面について、界面状態指標を求め、求められた界面状態指標に基づいて、N-1層とN-2層との界面について、界面状態指標を求め、順次、N-2層とN-3層との界面、N-3層とN-4層との界面、・・・について、界面状態指標を求める。 First, the interface state index is calculated for the interface between the N layer and the N-1 layer, and based on the calculated interface state index, the interface state index is calculated for the interface between the N-1 layer and the N-2 layer, and then the interface state index is calculated for the interface between the N-2 layer and the N-3 layer, the interface between the N-3 layer and the N-4 layer, and so on.
これにより、各界面における界面状態指標を求めることができ、各界面における界面状態を評価することができる。 This allows the interface condition index at each interface to be determined, and the interface condition at each interface to be evaluated.
静的な嵌合部を有する構造物では、嵌合部の界面状態が、最大トルクや滑りなどの機械特性(物理量)に影響する。しかし、この嵌合部の界面状態は、直接的に計測(観察)することができないため、超音波計測により間接的に評価(推定)する必要がある。 In structures with static mating parts, the interface condition of the mating part affects mechanical properties (physical quantities) such as maximum torque and slippage. However, since the interface condition of this mating part cannot be measured (observed) directly, it must be indirectly evaluated (estimated) using ultrasonic measurements.
接触と非接触とを繰り返す動的な界面においては、基準となる界面が非接触時の超音波反射波強度を取得し、評価したい界面が接触時の超音波反射波強度を取得し、これらを比較することにより、界面状態を評価すればよい。しかし、静的な嵌合部を有する構造物では、この方法を使用することができない。 For dynamic interfaces that repeatedly go in and out of contact, the ultrasonic reflected wave intensity is obtained when the reference interface is not in contact, and the ultrasonic reflected wave intensity is obtained when the interface to be evaluated is in contact, and the interface condition can be evaluated by comparing these. However, this method cannot be used for structures that have static mating parts.
そこで、本実施例では、外表面から超音波を送受信し、取得される波形データ(取得波形)に基づいて、各界面からの反射波のエコー強度と底面からの反射波のエコー強度とに対して、伝搬距離や形状因子に応じて、各エコー強度を補正し、方程式を解くことにより、界面状態指標を演算することができる。 In this embodiment, ultrasonic waves are transmitted and received from the outer surface, and based on the acquired waveform data (acquired waveform), the echo intensity of the reflected wave from each interface and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface are corrected according to the propagation distance and shape factor, and the interface condition index can be calculated by solving the equation.
そして、界面状態指標をモニタリングすることにより、運用中の構造物の健全性を評価し、界面状態指標と機械特性とを関連付け、製造時における構造物の品質を管理することができる。 By monitoring the interface condition index, it is possible to evaluate the integrity of the structure during operation, correlate the interface condition index with mechanical properties, and manage the quality of the structure during manufacturing.
次に、本実施例に記載する超音波計測方法における計測評価フローを説明する。 Next, we will explain the measurement evaluation flow for the ultrasonic measurement method described in this embodiment.
図7は、本実施例に記載する超音波計測方法における計測評価フローを説明する説明図である。 Figure 7 is an explanatory diagram illustrating the measurement evaluation flow in the ultrasonic measurement method described in this embodiment.
以下、本実施例に記載する超音波計測方法は、以下の工程(手順)を有する。 The ultrasonic measurement method described in this embodiment has the following steps (procedures):
S001で、超音波計測による界面状態の評価を開始する。 At S001, evaluation of the interface condition begins using ultrasonic measurements.
S002で、構造物の外表面上の複数(全X点)の計測点を設定する。 In S002, multiple measurement points (total X points) are set on the outer surface of the structure.
S003で、設定した計測点i(i≦X)に超音波センサを設置して、計測を開始する。 In S003, an ultrasonic sensor is placed at the set measurement point i (i≦X) and measurement begins.
S004で、先ず、超音波センサの送受信を開始する。なお、超音波を受信し、波形データを取得する際には、構造物の底面のエコー強度について、構造物の底面のエコー強度が最大となるように、超音波センサの接触性を調整することが好ましい。 In S004, first, transmission and reception of the ultrasonic sensor is started. Note that, when receiving ultrasonic waves and acquiring waveform data, it is preferable to adjust the contact of the ultrasonic sensor so that the echo intensity of the bottom surface of the structure is maximized.
次に、後述する超音波計測装置の制御・処理部(コンピュータ)において、取得した波形データから各界面及び底面のエコー強度(波高値)Ek(1≦k≦N)を抽出する。 Next, in a control/processing unit (computer) of the ultrasonic measuring device described later, echo intensities (peak values) E k (1≦k≦N) of the respective interfaces and bottom surfaces are extracted from the acquired waveform data.
次に、後述する超音波計測装置の制御・処理部において、各Ekを補正する。この補正は、各層の厚さzkと、各層の形状因子Srkと、各層の材料密度と音速(音響インピーダンス)と、を入力し、これらに基づいて実行される。 Next, in a control/processing unit of the ultrasonic measuring device described later, each Ek is corrected based on the thickness zk of each layer, the shape factor Srk of each layer, and the material density and sound speed (acoustic impedance) of each layer.
次に、後述する超音波計測装置の制御・処理部において、取得されたN個のエコー強度Ekについての方程式を解く。方程式を解く際には、上記した式1-1、式1-2、式1-3、式1-4を使用し、N個の方程式を立て、Ek-1/Ekを演算し、共通項Kを消去し、N-1個の方程式を解き、界面状態指標1-Xk-1を求める。 Next, in a control/processing unit of the ultrasonic measuring device described later, an equation for the acquired N echo intensities E k is solved. When solving the equation, the above-mentioned formulas 1-1, 1-2, 1-3, and 1-4 are used to set up N equations, E k-1 /E k is calculated, the common term K is eliminated, and the N-1 equations are solved to obtain the interface state index 1-X k-1 .
そして、求めた界面状態指標1-Xk-1(1≦k≦N)を出力する。 Then, the obtained interface state index 1-X k-1 (1≦k≦N) is output.
S005で、計測点iの計測が終了する。 At S005, measurement of measurement point i ends.
S006で、設定した全計測点で計測が終了(i=X)したか否かを判断する。全計測点の計測が終了していればS007へ進み、全計測点の計測が終了していなければS003へ戻り、S004及びS005を繰り返す。 In S006, it is determined whether or not measurements have been completed (i=X) at all the set measurement points. If measurements have been completed at all measurement points, proceed to S007, and if measurements have not been completed at all measurement points, return to S003 and repeat S004 and S005.
S007で、必要に応じて、超音波センサの直下のごく限られた界面状態しか評価することができないため、計測点の数を多くとり、平均や偏差を演算することが好ましい。 In S007, since only a very limited interface state directly below the ultrasonic sensor can be evaluated, it is preferable to take a large number of measurement points and calculate the average and deviation, if necessary.
S008で、例えば、後述する図8に示すように、界面状態指標と機械特性とを関連付け、製造時における構造物の品質を管理してもよい。また、例えば、後述する図9に示すように、界面状態指標の時間変化をモニタリングし、運用中の構造物の健全性を評価してもよい。 In S008, for example, as shown in FIG. 8 described later, the interface condition index may be associated with the mechanical properties to manage the quality of the structure during manufacturing. In addition, for example, as shown in FIG. 9 described later, the change over time of the interface condition index may be monitored to evaluate the soundness of the structure during operation.
S009で、超音波計測による界面状態の評価を終了する。 In S009, the evaluation of the interface condition using ultrasonic measurements is completed.
つまり、本実施例に記載する超音波計測方法は、N層からなるN-1の静的な界面を有する構造物の界面状態を評価する。 In other words, the ultrasonic measurement method described in this embodiment evaluates the interface state of a structure that has N-1 static interfaces consisting of N layers.
そして、この超音波計測方法は、構造物の外表面から超音波を送受信し、取得された波形データに基づいて、N-1の各界面から構造物の外表面までに相当する路程における反射波のエコー強度と、N層を透過した後のN層の底面から構造物の外表面までに相当する路程における反射波のエコー強度と、を抽出する工程と、このような各界面から反射波のエコー強度とこのような底面から反射波のエコー強度とを、それぞれ超音波の伝搬距離に依存する拡散減衰項で除算し、除算されたエコー強度と、真実接触面積と正比例関係にある界面状態指標と、の関係を示すN個の方程式を立て、下側の除算されたエコー強度を上側の除算されたエコー強度で除算し、共通項を消去し、エコー強度と界面状態指標との関係を示すN-1個の方程式を解き、界面状態指標をエコー強度で示し、各界面における界面状態指標を演算する工程と、演算された各界面における界面状態指標に基づいて、各界面における界面状態を評価する工程と、を有する。 This ultrasonic measurement method includes the steps of transmitting and receiving ultrasonic waves from the outer surface of the structure, extracting the echo intensity of the reflected wave in a path length corresponding to from each of the N-1 interfaces to the outer surface of the structure and the echo intensity of the reflected wave in a path length corresponding to from the bottom surface of the N layers after passing through the N layers to the outer surface of the structure based on the acquired waveform data, dividing the echo intensity of the reflected wave from each of the interfaces and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface by a diffusion attenuation term that depends on the propagation distance of the ultrasonic waves, formulating N equations that show the relationship between the divided echo intensity and the interface condition index that is directly proportional to the true contact area, dividing the divided echo intensity on the lower side by the divided echo intensity on the upper side, eliminating the common term, solving the N-1 equations that show the relationship between the echo intensity and the interface condition index, expressing the interface condition index in terms of echo intensity, and calculating the interface condition index at each interface, and evaluating the interface condition at each interface based on the calculated interface condition index at each interface.
これにより、基準となる超音波計測結果を取得することができない静的な界面においても界面状態を評価することができる。 This makes it possible to evaluate the interface condition even at static interfaces where it is not possible to obtain standard ultrasonic measurement results.
次に、本実施例に記載する界面状態指標と機械特性との関係性を説明する。図8は、本実施例に記載する界面状態指標と機械特性との関係性を説明する説明図である。図8に示すように、構造物における事前に取得した界面状態指標と機械特性との関係性に基づいて、求められた界面状態指標と構造物の機械特性とを関連付けることができ、これを、製造時における構造物の品質に使用することができる。つまり、本実施例では、求められた各界面の界面状態指標と構造物の機械特性とを関連付け、求められた各界面の界面状態指標を、製造時における構造物の品質管理に使用する。 Next, the relationship between the interface state index and the mechanical properties described in this embodiment will be described. FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining the relationship between the interface state index and the mechanical properties described in this embodiment. As shown in FIG. 8, based on the relationship between the interface state index and the mechanical properties of the structure obtained in advance, the obtained interface state index can be associated with the mechanical properties of the structure, and this can be used for the quality of the structure during manufacturing. In other words, in this embodiment, the obtained interface state index of each interface is associated with the mechanical properties of the structure, and the obtained interface state index of each interface is used for quality control of the structure during manufacturing.
次に、本実施例に記載する時間と界面状態指標との関係性を説明する。図9は、本実施例に記載する時間と界面状態指標との関係性を説明する説明図である。図9に示すように、構造部における界面状態指標の時間変化をモニタリングすることができ、これを、運用中の構造物の健全性の評価に使用することができる。つまり、本実施例では、求められた各界面の界面状態指標を時間変化(計測日時)に基づいてモニタリングし、求められた各界面の界面状態指標を運用中の構造物の健全性の評価に使用する。 Next, the relationship between time and the interface state index described in this embodiment will be explained. Figure 9 is an explanatory diagram explaining the relationship between time and the interface state index described in this embodiment. As shown in Figure 9, the change over time in the interface state index in the structural part can be monitored, and this can be used to evaluate the soundness of the structure during operation. In other words, in this embodiment, the obtained interface state index of each interface is monitored based on the change over time (measurement date and time), and the obtained interface state index of each interface is used to evaluate the soundness of the structure during operation.
次に、本実施例に記載する超音波計測装置を説明する。 Next, we will explain the ultrasonic measurement device described in this embodiment.
図10は、本実施例に記載する超音波計測装置を説明する説明図である。 Figure 10 is an explanatory diagram illustrating the ultrasonic measurement device described in this embodiment.
本実施例に記載する超音波計測装置は、構造物(被検体)3に対して、超音波を送受信する超音波センサ2を有する計測部1と、超音波センサ2が発生する信号を送受信し、超音波センサ2が発生する信号と反射波の信号とを処理する送受信部(パルサ・レシーバ)4と、制御・処理部(コンピュータ)5と、表示部6と、入力装置7と、を有する。
The ultrasonic measurement device described in this embodiment has a
なお、計測部1は、超音波センサ2と、超音波センサ2を把持する把持機構部(図示せず)と、を有する。
The
送受信部4は、制御・処理部5の記憶装置51に格納される計測条件(送信パルスの形状、電圧、繰り返し周波数、増幅値など)の値に基づいて、超音波を送受信する。なお、これらは、入力装置7から入力されてもよい。
The transmitter/
なお、送受信部4における受信波は、増幅やA/D変換などがされ、波形データとして取得され、処理・制御部5の記憶装置51に格納される。
The received waves in the transmitter/
制御・処理部5は、記憶装置51、処理装置52、送受信制御装置53を有する。
The control/
記憶装置51は、計測評価用のデータベース(DB)と状態管理用のデータベース(DB)とを有する。
The
計測評価用のデータベースには、計測点、計測条件、設定した層の数と層の厚さ、エコー強度の補正に必要となる形状因子、補正項目、波形データ、設定した層の数に合わせて界面状態指標を演算する方程式を調整するアルゴリズムなどが格納される。 The database for measurement evaluation stores information such as measurement points, measurement conditions, the number of layers and their thicknesses, shape factors required to correct echo intensity, correction items, waveform data, and an algorithm for adjusting the equation that calculates the interface condition index according to the number of layers that has been set.
状態管理用のデータベースには、計測結果に基づいて演算した界面状態指標が、計測日時、計測点、機械特性、と関連付けられ、格納される。 The interface condition index calculated based on the measurement results is stored in the condition management database in association with the measurement date and time, measurement point, and mechanical characteristics.
処理装置52は、受信波形からエコー強度を抽出し、格納されるアルゴリズムから抽出したエコー強度から界面状態指標を演算する。なお、拡散減衰項d(z)の補正においては、構造物3の形状情報として、層の厚さを事前に入力してもよいし、受信波形から必要に応じて受信波の位置を評価し、層の厚さを評価し入力してもよい。
The
送受信制御装置53は、送信パルスの形状、電圧、パルス幅、繰り返し周波数、増幅値、サンプリング周波数、データ保存タイミングなどを制御する。
The transmission/
表示部6は、超音波の送受信の制御値、評価条件に必要な値、計測した生波形、界面状態指標の演算結果、図8や図9に示すような界面状態指標と機械特性との関係性(グラフ)や時間(計測日時)と界面状態指標との関係性(グラフ)を表示する。また、表示部6は、表1に示すような超音波計測結果に基づく界面状態の評価結果(表)を表示する。 The display unit 6 displays the control values for transmitting and receiving ultrasonic waves, values required for the evaluation conditions, the measured raw waveform, the calculation results of the interface state index, the relationship (graph) between the interface state index and the mechanical properties as shown in Figures 8 and 9, and the relationship (graph) between time (measurement date and time) and the interface state index. The display unit 6 also displays the evaluation results (table) of the interface state based on the ultrasonic measurement results as shown in Table 1.
入力装置7は、キーボード、マウス、タッチパネルなどの一般的な入力手段(入力機器)である。 The input device 7 is a general input means (input device) such as a keyboard, mouse, or touch panel.
なお、超音波計測装置は、必ずしも必須ではないが、超音波センサ2を走査するためのスキャナ8を有する場合がある。また、制御・処理部5には、スキャナ8を制御するスキャナ制御装置54を有する。
The ultrasonic measurement device may have a scanner 8 for scanning the
なお、スキャナ8は、超音波センサ2を固定し、走査し、可動させる。スキャナ制御装置54は、処理・制御部5に格納される走査条件に基づいて、設定されるタイミング及び範囲で、超音波センサ2や構造物3を走査し、可動させ、超音波センサ2と構造物3との相対的な位置関係を変化させる。
The scanner 8 fixes, scans, and moves the
なお、本発明は下記する実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、下記する実施例は本発明を分かりやすく説明するために、具体的に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を有するものに限定されるものではない。 The present invention is not limited to the examples described below, and includes various modified examples. For example, the examples described below are specifically described in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and are not necessarily limited to those having all of the configurations described.
また、ある実施例の構成の一部を、他の実施例の構成の一部に置換することもできる。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を追加することもできる。また、各実施例の構成の一部について、それを削除し、他の構成の一部を追加し、他の構成の一部と置換することもできる。 It is also possible to replace part of the configuration of one embodiment with part of the configuration of another embodiment. It is also possible to add the configuration of another embodiment to the configuration of one embodiment. It is also possible to delete part of the configuration of each embodiment, add part of another configuration, and replace it with part of another configuration.
1・・・計測部、2・・・超音波センサ、3・・・構造物、4・・・送受信部、5・・・制御・処理部、6・・・表示部、7・・・入力装置、8・・・スキャナ、51・・・記憶装置、52・・・処理装置、53・・・送受信制御装置、54・・・スキャナ制御装置。 1: Measurement unit, 2: Ultrasonic sensor, 3: Structure, 4: Transmitter/receiver unit, 5: Control/processing unit, 6: Display unit, 7: Input device, 8: Scanner, 51: Storage device, 52: Processing device, 53: Transmission/reception control device, 54: Scanner control device.
Claims (10)
前記構造物の外表面から超音波を送受信し、取得された波形データに基づいて、N-1個の各界面からの反射波のエコー強度と第N層の底面からの反射波のエコー強度とを抽出する工程と、
1≦k≦Nとし、送信波強度をI、接触性の因子をC、装置因子をU、k層目とk+1層目との界面における反射率をX k 、透過率を1-X k 、k層目の厚さをz k 、超音波の伝搬距離に依存する拡散減衰項の影響をd(z)、前記各界面及び前記底面における反射率の形状因子をS rk とし、反射波のエコー強度E k を以下の式で表現し、
前記各界面からの反射波のエコー強度と前記底面からの反射波のエコー強度とを、前記拡散減衰項で除算し、除算されたエコー強度と真実接触面積と正比例関係にある界面状態指標との関係を示すN個の方程式を立て、第k+1層である下側の除算されたエコー強度を第k層である上側の除算されたエコー強度で除算し、共通項I・C 2 ・Uを消去し、エコー強度と界面状態指標との関係を示すN-1個の方程式を立て、前記N-1個の方程式を解き、前記界面状態指標をエコー強度で示し、各界面の界面状態指標を演算する工程と、
演算された各界面の界面状態指標に基づいて、各界面の界面状態を評価する工程と、
を制御・処理部が実行することを特徴とする超音波計測方法。 An ultrasonic measurement method for evaluating an interface state of a structure having N- 1 static interfaces composed of N layers (N is a natural number equal to or greater than 2) , comprising:
transmitting and receiving ultrasonic waves from an outer surface of the structure, and extracting, based on the acquired waveform data, the echo intensity of the reflected wave from each of the N-1 interfaces and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface of the Nth layer;
With 1≦k≦N, the transmitted wave intensity is I, the contact factor is C, the device factor is U, the reflectance at the interface between the kth layer and the (k+1)th layer is Xk , the transmittance is 1−Xk , the thickness of the kth layer is zk , the influence of the diffusion attenuation term depending on the propagation distance of the ultrasonic wave is d(z), and the shape factor of the reflectance at each of the interfaces and the bottom surface is Srk, the echo intensity Ek of the reflected wave is expressed by the following formula:
a step of dividing the echo intensity of the reflected wave from each of the interfaces and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface by the diffusion attenuation term, formulating N equations showing the relationship between the divided echo intensity and an interface state index that is directly proportional to a true contact area, dividing the divided echo intensity of the lower side , which is the (k+1)th layer, by the divided echo intensity of the upper side , which is the kth layer , eliminating the common term I·C 2 ·U , formulating N−1 equations showing the relationship between the echo intensity and the interface state index, solving the N−1 equations, expressing the interface state index in terms of echo intensity, and calculating the interface state index of each interface;
evaluating an interface state of each interface based on the calculated interface state index of each interface;
The ultrasonic measuring method is characterized in that the control and processing unit executes the above steps .
前記各界面及び前記底面における反射率の形状因子に基づいて、抽出されたN-1個の各界面からの反射波のエコー強度と第N層の底面からの反射波のエコー強度とを補正し、前記N個の方程式を立てることを特徴とする超音波計測方法。 2. The ultrasonic measurement method according to claim 1,
An ultrasonic measurement method characterized by correcting the echo intensity of the reflected wave from each of the extracted N-1 interfaces and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface of the Nth layer based on shape factors of the reflectivity at each of the interfaces and the bottom surface, and formulating the N equations.
演算された各界面の界面状態指標と構造物の機械特性とを関連付け、演算された各界面の界面状態指標を製造時における構造物の品質管理に使用することを特徴とする超音波計測方法。 2. The ultrasonic measurement method according to claim 1,
An ultrasonic measurement method characterized in that the calculated interface condition index of each interface is associated with the mechanical properties of the structure, and the calculated interface condition index of each interface is used for quality control of the structure during manufacturing.
演算された各界面の界面状態指標をモニタリングし、演算された各界面の界面状態指標を運用中の構造物の健全性の評価に使用することを特徴とする超音波計測方法。 2. The ultrasonic measurement method according to claim 1,
An ultrasonic measurement method comprising the steps of: monitoring the calculated interface condition index of each interface; and using the calculated interface condition index of each interface for evaluating the soundness of a structure during operation.
前記構造物の外表面から超音波を送受信する送受信部と、
前記送受信部から取得された波形データに基づいて、N-1個の各界面からの反射波のエコー強度と第N層の底面からの反射波のエコー強度とを抽出し、
1≦k≦Nとし、送信波強度をI、接触性の因子をC、装置因子をU、k層目とk+1層目との界面における反射率をX k 、透過率を1-X k 、k層目の厚さをz k 、超音波の伝搬距離に依存する拡散減衰項の影響をd(z)、前記各界面及び前記底面における反射率の形状因子をS rk とし、反射波のエコー強度E k を以下の式で表現し、
前記各界面からの反射波のエコー強度と前記底面からの反射波のエコー強度とを、前記拡散減衰項で除算し、除算されたエコー強度と真実接触面積と正比例関係にある界面状態指標との関係を示すN個の方程式を立て、第k+1層である下側の除算されたエコー強度を第k層である上側の除算されたエコー強度で除算し、共通項I・C 2 ・Uを消去し、エコー強度と界面状態指標との関係を示すN-1個の方程式を立て、前記N-1個の方程式を解き、前記界面状態指標をエコー強度で示し、各界面の界面状態指標を演算し、
演算された各界面の界面状態指標に基づいて、各界面の界面状態を評価する制御・処理部と、
評価された各界面の界面状態指標の評価結果を表示する表示部と、
を有することを特徴とする超音波計測装置。 An ultrasonic measurement device for evaluating an interface state of a structure having N- 1 static interfaces composed of N layers (N is a natural number equal to or greater than 2) ,
A transceiver unit that transmits and receives ultrasonic waves from an outer surface of the structure;
Extracting echo intensities of the reflected waves from each of the N-1 interfaces and the reflected wave from the bottom surface of the Nth layer based on the waveform data acquired from the transmitting/receiving unit ;
With 1≦k≦N, the transmitted wave intensity is I, the contact factor is C, the device factor is U, the reflectance at the interface between the kth layer and the (k+1)th layer is Xk , the transmittance is 1−Xk , the thickness of the kth layer is zk , the influence of the diffusion attenuation term depending on the propagation distance of the ultrasonic wave is d(z), and the shape factor of the reflectance at each of the interfaces and the bottom surface is Srk, the echo intensity Ek of the reflected wave is expressed by the following formula:
Dividing the echo intensity of the reflected wave from each of the interfaces and the echo intensity of the reflected wave from the bottom surface by the diffusion attenuation term, formulating N equations showing the relationship between the divided echo intensity and an interface state index that is directly proportional to the true contact area, dividing the divided echo intensity of the lower side, which is the (k+1)th layer, by the divided echo intensity of the upper side , which is the kth layer , eliminating the common term I·C 2 ·U , formulating N−1 equations showing the relationship between the echo intensity and the interface state index, solving the N−1 equations, expressing the interface state index in terms of echo intensity, and calculating the interface state index of each interface,
a control and processing unit that evaluates an interface state of each interface based on the calculated interface state index of each interface ;
a display unit that displays an evaluation result of an interface state index of each evaluated interface;
An ultrasonic measuring device comprising:
前記制御・処理部は、設定した層の数と層の厚さ、エコー強度の補正に必要となる形状因子、設定した層の数に合わせて界面状態指標を演算する方程式を調整するアルゴリズムを格納する記憶装置を有することを特徴とする超音波計測装置。 6. The ultrasonic measuring device according to claim 5,
The control/processing unit is characterized in having a memory device that stores an algorithm for adjusting an equation for calculating an interface state index according to the set number of layers and layer thicknesses, a shape factor required for correcting echo intensity, and the set number of layers.
前記記憶装置は、計測結果に基づいて演算した前記界面状態指標が、機械特性と関連付けられ、格納されることを特徴とする超音波計測装置。 7. The ultrasonic measuring device according to claim 6,
The ultrasonic measuring device according to claim 1, wherein the memory device stores the interface condition index calculated based on the measurement result in association with a mechanical property.
前記記憶装置は、計測結果に基づいて演算した前記界面状態指標が、計測日時と関連付けられ、格納されることを特徴とする超音波計測装置。 7. The ultrasonic measuring device according to claim 6,
The ultrasonic measuring device according to claim 1, wherein the storage device stores the interface state index calculated based on the measurement result in association with the measurement date and time.
前記表示部は、前記界面状態指標と前記機械特性との関係性を表示することを特徴とする超音波計測装置。 The ultrasonic measuring device according to claim 7,
The ultrasonic measuring device according to claim 1, wherein the display unit displays a relationship between the interface condition index and the mechanical property.
前記表示部は、前記界面状態指標と前記計測日時との関係性を表示することを特徴とする超音波計測装置。 9. The ultrasonic measuring device according to claim 8,
The ultrasonic measuring device according to claim 1, wherein the display unit displays a relationship between the interface condition index and the measurement date and time.
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