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JP7557820B2 - Component mounting system, inspection device, substrate manufacturing method and inspection method - Google Patents

Component mounting system, inspection device, substrate manufacturing method and inspection method Download PDF

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JP7557820B2 JP2020190692A JP2020190692A JP7557820B2 JP 7557820 B2 JP7557820 B2 JP 7557820B2 JP 2020190692 A JP2020190692 A JP 2020190692A JP 2020190692 A JP2020190692 A JP 2020190692A JP 7557820 B2 JP7557820 B2 JP 7557820B2
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Description

本発明は、装着ヘッドにより部品をピックアップして基板に装着する部品装着装置および部品装着装置により基板に装着された部品を検査する検査装置を備えた部品装着システム、検査装置、基板製造方法および検査方法に関する。 The present invention relates to a component mounting system, an inspection device, a circuit board manufacturing method, and an inspection method, which are equipped with a component mounting device that picks up components using a mounting head and mounts them on a circuit board, and an inspection device that inspects the components mounted on the circuit board by the component mounting device.

従来、装着ヘッドにより部品をピックアップして基板に装着する部品装着装置と、部品装着装置により基板に装着された部品を検査する検査装置を備えた部品装着システムが知られている。部品装着システムにおいて部品装着装置は、基板上に設定された目標装着位置に部品を装着し、検査装置は、基板に装着された部品の位置と基板に対して設定された検査基準位置と比較することによって、検査基準位置からの部品の位置ずれ量を求め、その求めた検査基準位置からの部品の位置ずれ量に基づいて装着状態の良否を判定する。検査基準位置は通常、基板上に設定された目標装着位置と一致するように設定されるため、検査装置で算出された位置ずれ量(検査基準位置からの部品の位置ずれ量)を部品装着装置にフィードバックして装着ヘッドの動作パラメータの補正に利用することで、精度のよい部品装着作業を行うことが可能である(例えば、下記の特許文献1参照)。 Conventionally, a component mounting system is known that includes a component mounting device that picks up components using a mounting head and mounts them on a board, and an inspection device that inspects the components mounted on the board by the component mounting device. In the component mounting system, the component mounting device mounts components at a target mounting position set on the board, and the inspection device obtains the amount of component positional deviation from the inspection reference position by comparing the position of the component mounted on the board with an inspection reference position set for the board, and judges whether the mounting state is good or bad based on the amount of component positional deviation from the inspection reference position obtained. Since the inspection reference position is usually set to coincide with the target mounting position set on the board, the amount of positional deviation calculated by the inspection device (the amount of component positional deviation from the inspection reference position) is fed back to the component mounting device and used to correct the operating parameters of the mounting head, making it possible to perform component mounting work with high accuracy (for example, see Patent Document 1 below).

ところで、上記のような部品装着システムでは、部品装着装置によって基板に装着される部品の位置が経時的に(基板生産を繰り返している間に)特定の方向にずれていくようになる等の事態が起こり得る。このような場合には検査装置において装着不良の判定が多発することとなり、生産性が低下してしまう。このため従来、検査装置には、当初目標装着位置と一致するように設定された検査基準位置を、基板上に実際に装着された部品の位置に合うように変更することができる機能が備えられていることが多い。 However, in a component mounting system such as the one described above, it is possible that the positions of components mounted on the board by the component mounting device may shift in a particular direction over time (as board production is repeated). In such cases, the inspection device will frequently determine mounting defects, reducing productivity. For this reason, conventional inspection devices often have a function that allows them to change the inspection reference position, which is initially set to match the target mounting position, to match the position of the component actually mounted on the board.

特開2019-134051号公報JP 2019-134051 A

しかしながら、上記のように検査基準位置を変更すると、検査基準位置は目標装着位置と一致しなくなる。従って、検査装置で算出された部品の位置ずれ量をそのまま部品装着装置にフィードバックすると、部品の装着時の動作パラメータの補正は不正確なものとなり、部品の装着精度が低下するおそれがあるという問題点があった。 However, when the inspection reference position is changed as described above, the inspection reference position no longer coincides with the target mounting position. Therefore, if the component position deviation amount calculated by the inspection device is directly fed back to the component mounting device, the correction of the operating parameters when mounting the components will be inaccurate, which may result in a decrease in component mounting accuracy.

そこで本発明は、部品の装着精度の向上を図ることができる部品装着システム、検査装置、基板製造方法および検査方法を提供することを目的とする。 The present invention aims to provide a component mounting system, inspection device, board manufacturing method, and inspection method that can improve component mounting accuracy.

本発明の部品装着システムは、装着ヘッドにより部品をピックアップして基板上に設定された目標装着位置に装着する部品装着装置と、前記部品装着装置により前記基板に装着された前記部品を検査する検査装置とを備えた部品装着システムであって、前記検査装置は、前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更部と、前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更部によって設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出部と、前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出部と、前記第2位置ずれ量算出部により算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力部と、を備え、前記部品装着装置は、前記出力部から出力された前記第2位置ずれ量に基づいて補正値を算出し、その算出した補正値を用いて前記装着ヘッドの動作パラメータを補正する。 A component mounting system according to the present invention is a component mounting system including a component mounting device that uses a mounting head to pick up a component and mount it at a target mounting position set on a board, and an inspection device that inspects the component mounted on the board by the component mounting device, wherein the inspection device includes an inspection reference position changing unit that sets an inspection reference position for the board that is different from the target mounting position, a first positional deviation amount calculation unit that calculates a first positional deviation amount, which is the positional deviation amount of the component from the inspection reference position, by comparing a position of the component mounted on the board with the inspection reference position set by the inspection reference position changing unit, a second positional deviation amount calculation unit that calculates a second positional deviation amount, which is the positional deviation amount of the component from the target mounting position, by comparing the position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board, and an output unit that outputs the second positional deviation amount calculated by the second positional deviation amount calculation unit, and the component mounting device calculates a correction value based on the second positional deviation amount output from the output unit, and corrects an operating parameter of the mounting head using the calculated correction value.

本発明の検査装置は、基板上に設定された目標装着位置に装着された部品を検査する検査装置であって、前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更部と、前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更部によって設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出部と、前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出部と、前記第2位置ずれ量算出部により算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力部と、を備えた。 The inspection apparatus of the present invention is an inspection apparatus that inspects a component mounted at a target mounting position set on a board, and includes an inspection reference position changing unit that sets an inspection reference position for the board that is different from the target mounting position, a first positional deviation amount calculation unit that calculates a first positional deviation amount, which is the positional deviation amount of the component from the inspection reference position, by comparing the position of the component mounted on the board with the inspection reference position set by the inspection reference position changing unit, a second positional deviation amount calculation unit that calculates a second positional deviation amount, which is the positional deviation amount of the component from the target mounting position, by comparing the position of the component mounted on the board with the target mounting position of the component on the board, and an output unit that outputs the second positional deviation amount calculated by the second positional deviation amount calculation unit.

本発明の基板製造方法は、基板に部品が装着された実装基板を製造する基板製造方法であって、装着ヘッドにより部品をピックアップして基板上に設定された目標装着位置に装着する部品装着工程と、前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更工程と、前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更工程で設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出工程と、前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出工程と、前記第2位置ずれ量算出工程で算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力工程と、前記出力工程で出力された前記第2位置ずれ量に基づいて補正値を算出し、その算出した補正値を用いて前記部品装着工程での前記装着ヘッドの動作パラメータを補正する補正工程と、を含む。 a first positional deviation amount calculation step of calculating a first positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the inspection reference position, by comparing a position of the component mounted on the board with the inspection reference position set in the inspection reference position changing step; a second positional deviation amount calculation step of calculating a second positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the target mounting position, by comparing a position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board; an output step of outputting the second positional deviation amount calculated in the second positional deviation amount calculation step; and a correction step of calculating a correction value based on the second positional deviation amount output in the output step, and correcting an operating parameter of the mounting head in the component mounting step using the calculated correction value.

本発明の検査方法は、基板上に設定された目標装着位置に装着された部品を検査する検査方法であって、前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更工程と、前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更工程で設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出工程と、前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出工程と、前記第2位置ずれ量算出部により算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力工程と、を含む。 The inspection method of the present invention is an inspection method for inspecting a component mounted at a target mounting position set on a board, and includes an inspection reference position changing step of setting an inspection reference position different from the target mounting position for the board, a first positional deviation amount calculation step of calculating a first positional deviation amount, which is the positional deviation amount of the component from the inspection reference position, by comparing the position of the component mounted on the board with the inspection reference position set in the inspection reference position changing step, a second positional deviation amount calculation step of calculating a second positional deviation amount, which is the positional deviation amount of the component from the target mounting position, by comparing the position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board, and an output step of outputting the second positional deviation amount calculated by the second positional deviation amount calculation unit.

本発明によれば、部品の装着精度の向上を図ることができる。 The present invention makes it possible to improve the accuracy of component mounting.

本発明の一実施の形態における部品装着システムの構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a component mounting system according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品装着装置システムを構成する部品装着装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a component mounting device constituting a component mounting device system according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態における部品装着装置が備える目標装着位置を示す基板の平面図FIG. 2 is a plan view of a board showing a target mounting position provided in a component mounting device according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態における部品装着装置の制御系統を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a control system of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. (a)~(e)本発明の一実施の形態における部品装着システムにおいて用いられる部品中心の検出方式の例を示す図1A to 1E are diagrams showing an example of a component center detection method used in a component mounting system according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態における部品装着装置システムを構成する検査装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of an inspection device constituting a component mounting system according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における検査装置の制御系統を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a control system of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における検査基準位置と目標装着位置の関係を示す図FIG. 1 is a diagram showing a relationship between an inspection reference position and a target mounting position according to an embodiment of the present invention; (a)(b)本発明の一実施の形態における検査装置の検査基準位置変更部により検査基準位置を変更する手順を示す図1A and 1B are diagrams showing a procedure for changing the inspection reference position by an inspection reference position changing unit of an inspection device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における検査基準位置と装着部品位置との位置関係および目標装着位置と装着部品位置との位置関係を示す図FIG. 1 is a diagram showing a positional relationship between an inspection reference position and a mounting component position, and a positional relationship between a target mounting position and a mounting component position in an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における管理装置の制御系統を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a control system of a management device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における検査装置が実行する検査作業の流れを示すフローチャートA flowchart showing the flow of an inspection operation performed by an inspection device according to an embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1において、部品装着システム1は、部品装着装置11、検査装置12および管理装置13を備えている。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1, a component mounting system 1 includes a component mounting device 11, an inspection device 12, and a management device 13.

部品装着装置11は、上流の装置(例えば半田印刷装置)から基板KBを受け取って位置決めし、その位置決めした基板KBに部品BHを装着して下流の検査装置12に搬出する部品装着作業を行う。検査装置12は上流の部品装着装置11から基板KBを受け取って位置決めし、その位置決めした基板KBに装着されている部品BHの装着状態を検査して下流の装置に搬出する検査作業を行う。管理装置13は部品装着装置11および検査装置12と通信可能に繋がっており、部品装着装置11と検査装置12から情報を取得して各装置の動作を管理する。以下、各装置の詳細を説明する。 The component mounting device 11 performs component mounting work by receiving and positioning the board KB from an upstream device (e.g. a solder printing device), mounting the components BH on the positioned board KB, and transporting it to the downstream inspection device 12. The inspection device 12 performs inspection work by receiving and positioning the board KB from the upstream component mounting device 11, inspecting the mounting state of the components BH mounted on the positioned board KB, and transporting it to the downstream device. The management device 13 is connected to the component mounting device 11 and the inspection device 12 so that it can communicate with them, and obtains information from the component mounting device 11 and the inspection device 12 to manage the operation of each device. Each device is described in detail below.

先ず、部品装着装置11について説明する。図1および図2において、部品装着装置11は、基板搬送路21、部品供給部22、装着ヘッド23、ヘッド移動機構24、部品認識カメラ25、装着装置表示入力部26および装着装置制御部27を備えている。基板搬送路21は基板KBの搬入、位置決めおよび搬出を行う。部品供給部22は例えばテープフィーダから成り、所定の位置に部品BHを供給する。 First, the component mounting device 11 will be described. In Fig. 1 and Fig. 2, the component mounting device 11 is equipped with a board transport path 21, a component supply unit 22, a mounting head 23, a head movement mechanism 24, a component recognition camera 25, a mounting device display input unit 26, and a mounting device control unit 27. The board transport path 21 carries in, positions, and carries out the board KB. The component supply unit 22 is, for example, a tape feeder, and supplies the component BH to a predetermined position.

図2において、ヘッド移動機構24は固定ビーム24aと固定ビーム24aに対して移動自在な移動ビーム24bを備えたXYビーム機構から成り、装着ヘッド23を水平面内で移動させる。装着ヘッド23は下端に部品BHの吸着口を備えたノズル23Nを備えており、部品供給部22が供給する部品BHのピックアップと、ピックアップした部品BHの基板KBへの装着を行う。 In FIG. 2, the head movement mechanism 24 is composed of an XY beam mechanism equipped with a fixed beam 24a and a moving beam 24b that is movable relative to the fixed beam 24a, and moves the mounting head 23 in a horizontal plane. The mounting head 23 is equipped with a nozzle 23N equipped with a suction port for the component BH at its lower end, and picks up the component BH supplied by the component supply unit 22 and mounts the picked-up component BH on the board KB.

部品認識カメラ25は撮像視野を上方へ向けており、ノズル23Nに部品BHを吸着させた装着ヘッド23が上方を通過するときにその部品BHを下方から撮像する。部品認識カメラ25が撮像して得た部品BHの画像はその部品BHの認識とノズル23Nに対する部品BHの位置(部品中心の位置)の検出に用いられる。ここで検出されたノズル23Nに対する部品BHの位置の情報は、基板KB上の目標装着位置MK(図3)に部品BHを装着する際に利用される。目標装着位置MKは図3に示すように、基板KBを基準に定められた座標系の座標として定められている。 The component recognition camera 25 has an imaging field of view facing upward, and images the component BH from below as the mounting head 23 with the component BH adsorbed to the nozzle 23N passes above. The image of the component BH captured by the component recognition camera 25 is used to recognize the component BH and to detect the position of the component BH relative to the nozzle 23N (position of the component center). Information on the position of the component BH relative to the nozzle 23N detected here is used when mounting the component BH at the target mounting position MK (Figure 3) on the board KB. The target mounting position MK is defined as coordinates in a coordinate system based on the board KB, as shown in Figure 3.

装着装置表示入力部26は例えばタッチパネルから成る。装着装置表示入力部26は作業者による入力操作を受け入れるとともに、作業者が行うべき作業や種々の情報を画面や音声等で作業者に報知する。 The mounting device display input unit 26 is composed of, for example, a touch panel. The mounting device display input unit 26 accepts input operations by the worker and notifies the worker of the work to be performed and various information by display, voice, etc.

図4において、装着装置制御部27は、装着装置記憶部31、装着処理部32、ピックアップ部品位置算出部33、フィードバック処理部34および装着装置通信部35を備えている。装着装置記憶部31には生産データ41が記憶されており、生産開始後には位置ずれ量データ42が記憶される。生産データ41には目標装着位置データ41a、装着プログラム41b、部品データ41cおよび部品中心検出方式データ41dが含まれている。 In FIG. 4, the placement device control unit 27 includes a placement device memory unit 31, a placement processing unit 32, a picked-up component position calculation unit 33, a feedback processing unit 34, and a placement device communication unit 35. The placement device memory unit 31 stores production data 41, and after production starts, position deviation amount data 42 is stored. The production data 41 includes target placement position data 41a, a placement program 41b, component data 41c, and component center detection method data 41d.

目標装着位置データ41aには、基板KB上に設定されている目標装着位置MK(図3)が記録されている。装着プログラム41bは、目標装着位置データ41aに記録されている各目標装着位置MKに部品BHが装着されるように部品装着装置11の各部(部品供給部22、装着ヘッド23、ヘッド移動機構24、部品認識カメラ25等)を動作させる制御プログラムである。部品データ41cには、各目標装着位置MKに装着される部品BHの種類や装着方向等が記録されている。 The target mounting position data 41a records the target mounting positions MK (Figure 3) set on the board KB. The mounting program 41b is a control program that operates each part of the component mounting device 11 (component supply unit 22, mounting head 23, head movement mechanism 24, component recognition camera 25, etc.) so that the component BH is mounted at each target mounting position MK recorded in the target mounting position data 41a. The component data 41c records the type and mounting direction of the component BH to be mounted at each target mounting position MK.

部品中心検出方式データ41dには、部品BHの位置を検出する際に必要となる部品BHの中心(部品中心)を検出する方式として、例えば図5(a)~(e)の方式が記録されている。図5(a)は、チップ状の部品BHが有する2つの電極DKの重心位置間の中点位置をその部品中心とするものであり、図5(b)は、チップ状の部品BHの全体の外形の重心位置をその部品中心とするものであり、図5(c)は、チップ状の部品BHのボディBDの重心位置をその部品中心とするものである。図5(d)は、複数のリードRDを有する部品BHのうち、特定の番号の複数のリードRDそれぞれの座標から算出される複数のリードRD全体の重心位置をその部品中心とするものであり、図5(e)は、複数のリードRDを有する部品BHのボディBDの重心位置をその部品中心とするものである。 The part center detection method data 41d records, for example, the methods shown in Fig. 5(a) to (e) as methods for detecting the center (part center) of the part BH required for detecting the position of the part BH. In Fig. 5(a), the midpoint between the center positions of the two electrodes DK of the chip-shaped part BH is the part center. In Fig. 5(b), the center of gravity of the overall outline of the chip-shaped part BH is the part center. In Fig. 5(c), the center of gravity of the body BD of the chip-shaped part BH is the part center. In Fig. 5(d), the center of gravity of the entire set of leads RD calculated from the coordinates of each of the leads RD with specific numbers of the part BH having multiple leads RD is the part center. In Fig. 5(e), the center of gravity of the body BD of the part BH having multiple leads RD is the part center.

位置ずれ量データ42は、検査装置12で検出された結果のデータであり、基板KB上に装着された各部品BHの基準位置(後述する検査基準位置)からの位置ずれ量のデータである。位置ずれ量データ42は、後述するように、検査装置12によって算出され、管理装置13を通じて送られてくる。 The positional deviation data 42 is data of the results detected by the inspection device 12, and is data on the amount of positional deviation from a reference position (the inspection reference position described below) of each component BH mounted on the board KB. The positional deviation data 42 is calculated by the inspection device 12 and sent via the management device 13, as described below.

装着処理部32は、装着装置記憶部31に記憶された装着プログラム41bに基づいて、部品装着装置11の各部(基板搬送路21、部品供給部22、装着ヘッド23、ヘッド移動機構24および部品認識カメラ25等)を作動させる。これにより基板搬送路21は基板KBの搬入および位置決めを行い、部品供給部22は部品BHを供給し、ヘッド移動機構24と装着ヘッド23は連動して作動して装着ターンを繰り返し実行する。 The mounting processing unit 32 operates each section of the component mounting device 11 (board transport path 21, component supply unit 22, mounting head 23, head movement mechanism 24, component recognition camera 25, etc.) based on the mounting program 41b stored in the mounting device memory unit 31. As a result, the board transport path 21 carries in and positions the board KB, the component supply unit 22 supplies the components BH, and the head movement mechanism 24 and mounting head 23 operate in conjunction to repeatedly perform mounting turns.

1回の装着ターンにおいて、装着ヘッド23は、部品BHをピックアップする動作(ピックアップ動作)、部品認識カメラ25の上方を通過する動作(カメラ上方通過動作)、部品BHを装着する動作(装着動作)をこの順序で実行する。ピックアップ動作では、装着ヘッド23は部品供給部22の上方に移動して部品供給部22が供給する部品BHをノズル23Nに吸着させる。カメラ上方通過動作では、装着ヘッド23は部品認識カメラ25の上方を通過して、ノズル23Nに吸着させた部品BHを部品認識カメラ25に撮像させる。このカメラ上方通過動作において、装着ヘッド23に吸着された部品BHの画像が取得され、部品BHが認識される。装着動作では、装着ヘッド23が基板KBの上方に移動し、部品BHの認識結果に基づいて基板KB上の目標装着位置MKに部品BHを装着する。 In one mounting turn, the mounting head 23 performs the following operations in this order: picking up a component BH (pickup operation), passing above the component recognition camera 25 (camera overpass operation), and mounting the component BH (mounting operation). In the pick-up operation, the mounting head 23 moves above the component supply unit 22 and adsorbs the component BH supplied by the component supply unit 22 to the nozzle 23N. In the camera overpass operation, the mounting head 23 passes above the component recognition camera 25 and causes the component recognition camera 25 to capture an image of the component BH adsorbed to the nozzle 23N. In this camera overpass operation, an image of the component BH adsorbed to the mounting head 23 is acquired, and the component BH is recognized. In the mounting operation, the mounting head 23 moves above the board KB and mounts the component BH at the target mounting position MK on the board KB based on the recognition result of the component BH.

ピックアップ部品位置算出部33は、上記装着ターンのカメラ上方通過動作において取得された部品BHの画像に基づいて、ノズル23Nに対する部品中心の位置を算出する。このノズル23Nに対する部品中心の位置の算出には、前述した複数の部品中心の検出方式の中から選択されたひとつの検出方式が用いられる。このように部品認識カメラ25とピックアップ部品位置算出部33は、装着ヘッド23にピックアップされた部品BHのノズル23Nに対する部品中心の位置(ピックアップ部品位置)を検出するピックアップ部品位置検出部43(図4)となっている。 The picked-up component position calculation unit 33 calculates the position of the component center relative to the nozzle 23N based on the image of the component BH acquired when the camera passes above the mounting turn. A detection method selected from the multiple component center detection methods described above is used to calculate the position of the component center relative to the nozzle 23N. In this way, the component recognition camera 25 and the picked-up component position calculation unit 33 form a picked-up component position detection unit 43 (Figure 4) that detects the position of the component center (picked-up component position) relative to the nozzle 23N of the component BH picked up by the mounting head 23.

フィードバック処理部34は、補正部44および情報集計部45を備えている。フィードバック処理部34は、検査装置12から出力されて装着装置記憶部31に記憶された前述の位置ずれ量データ42に基づいてフィードバック処理を行う。フィードバック処理の主な内容は、部品装着装置11が基板KBに部品BHを装着する際の装着ヘッド23の動作パラメータの補正である。動作パラメータとは、ここでは、基板KB上の目標装着位置MKに部品BHが装着されるように装着ヘッド23を動作させるための制御データをいう。フィードバック処理部34については、検査装置12および管理装置13の説明の後に説明する。 The feedback processing unit 34 includes a correction unit 44 and an information compilation unit 45. The feedback processing unit 34 performs feedback processing based on the above-mentioned positional deviation amount data 42 output from the inspection device 12 and stored in the mounting device memory unit 31. The main content of the feedback processing is the correction of the operating parameters of the mounting head 23 when the component mounting device 11 mounts the component BH on the board KB. The operating parameters here refer to control data for operating the mounting head 23 so that the component BH is mounted at the target mounting position MK on the board KB. The feedback processing unit 34 will be explained after the explanation of the inspection device 12 and the management device 13.

装着装置通信部35は、管理装置13および検査装置12の双方と通信可能に繋がっている(図4)。装着装置通信部35は、検査装置12により検出された前述の位置ずれ量データ42等の情報を、管理装置13を介して受け取る。 The mounting device communication unit 35 is communicatively connected to both the management device 13 and the inspection device 12 (FIG. 4). The mounting device communication unit 35 receives information such as the aforementioned positional deviation data 42 detected by the inspection device 12 via the management device 13.

次に、検査装置12について説明する。図1および図6において、検査装置12は、基板搬送部51、カメラ移動機構52、検査カメラ53、検査装置表示入力部54および検査装置制御部55を備えている。基板搬送部51は基板KBの搬入、位置決めおよび搬出を行う。カメラ移動機構52は固定側ビーム52aと固定側ビーム52aに対して移動自在な移動側ビーム52bを備えたXYビーム機構から成り、検査カメラ53を水平面内で移動させる。検査カメラ53は撮像視野を下方に向けており、基板搬送部51が位置決めした基板KB上の所定領域(部品BHが装着される領域)を上方から撮像する。 Next, the inspection device 12 will be described. In Figs. 1 and 6, the inspection device 12 includes a board transport unit 51, a camera movement mechanism 52, an inspection camera 53, an inspection device display input unit 54, and an inspection device control unit 55. The board transport unit 51 loads, positions, and unloads the board KB. The camera movement mechanism 52 is made up of an XY beam mechanism including a fixed side beam 52a and a movable side beam 52b that is movable relative to the fixed side beam 52a, and moves the inspection camera 53 in a horizontal plane. The inspection camera 53 has an imaging field facing downward, and images from above a specified area on the board KB (the area where the component BH is mounted) that has been positioned by the board transport unit 51.

検査装置表示入力部54は例えばタッチパネルから成る。検査装置表示入力部54は作業者による入力操作を受け入れるとともに、作業者が行うべき作業や種々の情報を画面や音声等で作業者に報知する。 The inspection device display input unit 54 is composed of, for example, a touch panel. The inspection device display input unit 54 accepts input operations by the worker and notifies the worker of the work that the worker should perform and various information by screen, voice, etc.

検査装置制御部55は、図7に示すように、検査装置記憶部61、装着部品位置算出部62、検査基準位置変更部63、第1位置ずれ量算出部65、第2位置ずれ量算出部66、良否判定部67および検査装置通信部68を備えている。検査装置記憶部61には検査データ71、目標装着位置データ72および検査基準位置データ73が記憶されている。検査データ71には、検査プログラム71a、検査用部品データ71bおよび部品中心検出方式データ71cが含まれている。 As shown in FIG. 7, the inspection device control unit 55 includes an inspection device memory unit 61, an attached component position calculation unit 62, an inspection reference position change unit 63, a first position deviation amount calculation unit 65, a second position deviation amount calculation unit 66, a quality determination unit 67, and an inspection device communication unit 68. The inspection device memory unit 61 stores inspection data 71, target mounting position data 72, and inspection reference position data 73. The inspection data 71 includes an inspection program 71a, inspection component data 71b, and component center detection method data 71c.

検査プログラム71aは、検査装置12の各部(基板搬送部51、カメラ移動機構52および検査カメラ53等)を動作させる制御プログラムである。検査装置12の各部は検査プログラム71aに従って動作することで、部品装着装置11によって基板KBに装着された各部品BHの装着状態の良否判定を行う。 The inspection program 71a is a control program that operates each part of the inspection device 12 (such as the board transport unit 51, the camera movement mechanism 52, and the inspection camera 53). Each part of the inspection device 12 operates according to the inspection program 71a to determine whether the mounting state of each component BH mounted on the board KB by the component mounting device 11 is good or bad.

検査用部品データ71bは検査対象となる部品BHのデータである。検査用部品データ71bには、装着装置記憶部31に記憶された部品データ41cの内容を含むデータが記録されている。 The inspection component data 71b is data on the component BH to be inspected. The inspection component data 71b contains data including the contents of the component data 41c stored in the mounting device memory unit 31.

部品中心検出方式データ71cには、基板KBに装着された部品BHの中心(部品中心)を検出する際に用いる部品中心の検出方式のデータが記録されている。この部品中心検出方式データ71cに記録されている部品中心の検出方式は、部品装着装置11のピックアップ部品位置検出部43がピックアップ部品位置を検出する際に用いる部品中心の検出方式(図5(a)~(e))と同じである。 The component center detection method data 71c contains data on the component center detection method used to detect the center (component center) of the component BH mounted on the board KB. The component center detection method recorded in this component center detection method data 71c is the same as the component center detection method (Figures 5(a) to (e)) used by the picked-up component position detection unit 43 of the component mounting device 11 when detecting the picked-up component position.

目標装着位置データ72は、基板KB上に設定された目標装着位置MKのデータである。目標装着位置データ72は、検査装置12が部品装着装置11から目標装着位置データ41aを入手できる場合には、その入手した目標装着位置データ41aをそのまま目標装着位置データ72とすることができる。 The target mounting position data 72 is data on the target mounting position MK set on the circuit board KB. When the inspection device 12 can obtain the target mounting position data 41a from the component mounting device 11, the obtained target mounting position data 41a can be used as the target mounting position data 72 as is.

これに対し、検査装置12が部品装着装置11から目標装着位置データ41aを入手できない場合には、検査装置12は部品装着装置11によって部品BHが装着されたダミーの基板KBを検査カメラ53により撮像し、目標装着位置MKに相当する位置を検出することによって目標装着位置データ72を作成する。前者の方法は、部品装着装置11と検査装置12が同じメーカによって製造された場合に多く採用され、後者の方法は、部品装着装置11と検査装置12が異なるメーカによって製造された場合に多く採用される。 In contrast, if the inspection device 12 cannot obtain the target mounting position data 41a from the component mounting device 11, the inspection device 12 uses the inspection camera 53 to capture an image of the dummy board KB on which the components BH have been mounted by the component mounting device 11, and creates the target mounting position data 72 by detecting the position corresponding to the target mounting position MK. The former method is often adopted when the component mounting device 11 and the inspection device 12 are manufactured by the same manufacturer, and the latter method is often adopted when the component mounting device 11 and the inspection device 12 are manufactured by different manufacturers.

検査基準位置データ73は、基板KBに装着された部品BHの検査用の基準位置である検査基準位置KK(図8)のデータである。検査基準位置KKは当初は目標装着位置MKと一致しているが、後述するように、検査基準位置KKは検査基準位置変更部63を通じて変更することができ、検査基準位置KKを変更した場合には、目標装着位置MKとは異なる位置(座標)となる。図8は、検査基準位置KKが当初の位置から変更された状態を示している。 The inspection reference position data 73 is data on the inspection reference position KK (Figure 8), which is the reference position for inspecting the component BH mounted on the board KB. The inspection reference position KK initially coincides with the target mounting position MK, but as described below, the inspection reference position KK can be changed via the inspection reference position change unit 63, and when the inspection reference position KK is changed, it becomes a position (coordinate) different from the target mounting position MK. Figure 8 shows the state in which the inspection reference position KK has been changed from its initial position.

装着部品位置算出部62は、検査装置記憶部61に記憶されている部品中心検出方式データ71cに基づき、検査カメラ53によって取得した画像(検査画像)から、基板KBに装着された部品BHの基板KB上での位置(部品中心の位置)である装着部品位置Z(図9(a))を算出する。装着部品位置Zを検出する際に用いられる部品中心の検出方式は、部品BHごとに定められている。 The mounted component position calculation unit 62 calculates the mounted component position Z (Figure 9(a)), which is the position (position of the component center) on the board KB of the component BH mounted on the board KB, from the image (inspection image) acquired by the inspection camera 53 based on the component center detection method data 71c stored in the inspection device memory unit 61. The component center detection method used to detect the mounted component position Z is determined for each component BH.

このように検査カメラ53と検査装置制御部55の装着部品位置算出部62は、基板KBに装着された部品BHの基板KB上での位置を装着部品位置Zとして検出する装着部品位置検出部69(図7)となっている。ここで、装着部品位置検出部69は、検出対象となっている部品BHがリードRDを有する場合には、その部品BHが有するリードRDの測定に関するリード計測基準(リードRDの座標等)に基づいて、その部品BHの部品中心を検出する(前述の図5(d))。 In this way, the inspection camera 53 and the mounted component position calculation unit 62 of the inspection device control unit 55 form a mounted component position detection unit 69 (Fig. 7) that detects the position on the board KB of the component BH mounted on the board KB as the mounted component position Z. Here, when the component BH being detected has a lead RD, the mounted component position detection unit 69 detects the component center of the component BH based on the lead measurement standard (such as the coordinates of the lead RD) for measuring the lead RD of the component BH (see Fig. 5(d) above).

検査基準位置変更部63は、検査基準位置KKを変更する機能部である。部品装着システム1では、基板生産を開始する前に、検査基準位置KKの取得(設定)のために用意されたダミーの基板KBに対して部品BHを装着し、ダミーの基板KBに装着された各部品BHのダミーの基板KB上における位置(部品中心の位置)を装着部品位置検出部69によって検出する。検査基準位置KKは、前述したように当初は目標装着位置MKと同じであるが、検査基準位置変更部63は、その検出された基板KB上の部品BHの位置(装着部品位置Z)を、目標装着位置MKに替えて、新たな検査基準位置KKとして設定(変更)することができる(図9(a)→図9(b))。このような検査基準位置KKの変更操作は、検査装置表示入力部54から行うことができる。 The inspection reference position change unit 63 is a functional unit that changes the inspection reference position KK. In the component mounting system 1, before starting board production, components BH are mounted on a dummy board KB prepared to obtain (set) the inspection reference position KK, and the position (position of the component center) of each component BH mounted on the dummy board KB on the dummy board KB is detected by the mounted component position detection unit 69. As described above, the inspection reference position KK is initially the same as the target mounting position MK, but the inspection reference position change unit 63 can set (change) the detected position of the component BH on the board KB (mounted component position Z) as a new inspection reference position KK instead of the target mounting position MK (Figure 9 (a) → Figure 9 (b)). Such an operation to change the inspection reference position KK can be performed from the inspection device display input unit 54.

検査基準位置KKが変更(新たに設定)された場合には、変更後の検査基準位置KKのデータが検査基準位置データ73として検査装置記憶部61に記憶される。検査基準位置KKの変更は複数回行うことが可能である。 When the inspection reference position KK is changed (newly set), the data of the changed inspection reference position KK is stored in the inspection device storage unit 61 as inspection reference position data 73. The inspection reference position KK can be changed multiple times.

第1位置ずれ量算出部65は、基板KBに装着された部品BHの位置と基板KBに対して設定された検査基準位置KKとを比較することによって、検査基準位置KKからの部品BHの位置ずれ量である第1位置ずれ量ΔZ1を算出する。具体的には、装着部品位置検出部69により検出された装着部品位置Zと、検査基準位置データ73から読み出したその部品BHについての検査基準位置KKのX座標とY座標それぞれの差を求めることによって、第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)を算出する(図10)。 The first positional deviation calculation unit 65 calculates the first positional deviation ΔZ1, which is the positional deviation of the component BH from the inspection reference position KK, by comparing the position of the component BH mounted on the board KB with the inspection reference position KK set for the board KB. Specifically, the first positional deviation ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) is calculated by finding the difference between the mounted component position Z detected by the mounted component position detection unit 69 and the X coordinate and the Y coordinate of the inspection reference position KK for the component BH read from the inspection reference position data 73 (Figure 10).

第2位置ずれ量算出部66は、目標装着位置MKからの部品BHの位置ずれ量である第2位置ずれ量ΔZ2(ΔX2,ΔY2)を算出する。具体的には、基板KBに装着された部品BHの位置(装着部品位置検出部69により検出された装着部品位置Z)と目標装着位置データ72から読み出した目標装着位置MKのX座標とY座標のそれぞれの差を求めることによって、第2位置ずれ量ΔZ2(ΔX2,ΔY2)を算出する(図10)。なお、検査基準位置KKが変更される場合には、第2位置ずれ量算出部66は、検査基準位置KKが変更されるごとに第2位置ずれ量ΔZ2(ΔX2,ΔY2)を算出する。 The second positional deviation calculation unit 66 calculates the second positional deviation ΔZ2 (ΔX2, ΔY2), which is the positional deviation of the component BH from the target mounting position MK. Specifically, the second positional deviation ΔZ2 (ΔX2, ΔY2) is calculated by finding the difference between the position of the component BH mounted on the board KB (the mounting component position Z detected by the mounting component position detection unit 69) and the X coordinate and the Y coordinate of the target mounting position MK read from the target mounting position data 72 (FIG. 10). Note that when the inspection reference position KK is changed, the second positional deviation calculation unit 66 calculates the second positional deviation ΔZ2 (ΔX2, ΔY2) each time the inspection reference position KK is changed.

良否判定部67は、第1位置ずれ量算出部65により算出された第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)に基づいて、基板KB上に装着された各部品BHの装着状態の良否判定を行う。具体的には、第1位置ずれ量算出部65で算出された第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)のXY各成分を、その部品BHに対応して定められている許容値のXY各成分と比較し、第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)が許容値以下であるか否かを調べる。そして、第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)が許容値以下であった場合にはその部品BHの装着状態は良好であると判定し、第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)が許容値を超えていた場合にはその部品BHの装着状態は不良であると判定する。 The quality determination unit 67 performs quality determination of the mounting state of each component BH mounted on the board KB based on the first positional deviation amount ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) calculated by the first positional deviation amount calculation unit 65. Specifically, the XY components of the first positional deviation amount ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) calculated by the first positional deviation amount calculation unit 65 are compared with the XY components of the allowable value set for the component BH, and it is checked whether the first positional deviation amount ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) is equal to or smaller than the allowable value. If the first positional deviation amount ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) is equal to or smaller than the allowable value, the mounting state of the component BH is determined to be good, and if the first positional deviation amount ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) exceeds the allowable value, the mounting state of the component BH is determined to be bad.

例えば、第1位置ずれ量ΔZ1(ΔX1,ΔY1)の許容値のX成分がRX、Y成分がRYであるとすると、良否判定部67は、ΔX1≦RXかつΔY1≦RYであった場合には、部品BHの装着状態が良好であると判定する。一方、良否判定部67は、ΔX1>RXまたはΔY1>RYであった場合には、部品BHの装着状態は不良であると判定する。なお、各部品BHについての許容値のデータは検査装置記憶部61に記憶されている。 For example, if the X component of the tolerance of the first positional deviation amount ΔZ1 (ΔX1, ΔY1) is RX and the Y component is RY, the quality determination unit 67 determines that the mounting state of the component BH is good if ΔX1≦RX and ΔY1≦RY. On the other hand, the quality determination unit 67 determines that the mounting state of the component BH is bad if ΔX1>RX or ΔY1>RY. The tolerance data for each component BH is stored in the inspection device memory unit 61.

検査装置通信部68は、管理装置13および部品装着装置11の双方と通信可能に繋がっている(図7)。検査装置通信部68は、第2位置ずれ量算出部66で算出された各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータのほか、良否判定部67で判定された基板KB上の各部品BHについての良否判定結果の情報を出力(管理装置13に送信)する。このように検査装置通信部68は、第2位置ずれ量算出部66により算出された第2位置ずれ量ΔZ2を出力する出力部となっている。 The inspection device communication unit 68 is communicatively connected to both the management device 13 and the component mounting device 11 (FIG. 7). The inspection device communication unit 68 outputs (sends to the management device 13) data on the second misalignment amount ΔZ2 for each component BH calculated by the second misalignment amount calculation unit 66, as well as information on the pass/fail judgment results for each component BH on the board KB judged by the pass/fail judgment unit 67. In this way, the inspection device communication unit 68 is an output unit that outputs the second misalignment amount ΔZ2 calculated by the second misalignment amount calculation unit 66.

図11において、管理装置13は、管理装置記憶部81、管理装置通信部82および管理装置表示入力部83を備えている。管理装置記憶部81には、部品装着装置11の装着装置記憶部31に記憶されている生産データ41のマスターデータである生産マスターデータ91と、検査装置12の検査装置記憶部61に記憶されている検査データ71のマスターデータである検査マスターデータ92が記憶されている。 In FIG. 11, the management device 13 includes a management device storage unit 81, a management device communication unit 82, and a management device display input unit 83. The management device storage unit 81 stores production master data 91, which is the master data of the production data 41 stored in the mounting device storage unit 31 of the component mounting device 11, and inspection master data 92, which is the master data of the inspection data 71 stored in the inspection device storage unit 61 of the inspection device 12.

図11に示すように、管理装置記憶部81には、検査情報93が記憶される。検査情報93は、検査装置12で検査された結果(各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータや良否判定の結果)等のデータである。 As shown in FIG. 11, the management device storage unit 81 stores inspection information 93. The inspection information 93 is data such as the results of inspection by the inspection device 12 (data on the second positional deviation amount ΔZ2 for each component BH and the result of the pass/fail judgment).

管理装置通信部82は、部品装着装置11および検査装置12の双方と通信可能に繋がっている。管理装置通信部82は、検査装置12より送られてきた各部品BHについての検査結果のデータを部品装着装置11に送信(転送)する。 The management device communication unit 82 is communicatively connected to both the component mounting device 11 and the inspection device 12. The management device communication unit 82 transmits (transfers) the inspection result data for each component BH sent from the inspection device 12 to the component mounting device 11.

次に、部品装着装置11の装着装置制御部27が備えるフィードバック処理部34について説明する。フィードバック処理部34は前述したように、補正部44および情報集計部45を備えている。補正部44は、検査装置12で算出されて出力され、管理装置13を経由して送られてきた各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータを受け取る。そして、その受け取った各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータに基づいて、装着ヘッド23の動作パラメータの補正値を算出し、その算出した補正値を用いて動作パラメータを補正する。なお、補正値は、基板KBにおける目標装着位置MKごとに複数のデータ(部品BHの位置ずれデータ)を蓄積し、統計的な手法によって補正値を算出する。 Next, the feedback processing unit 34 provided in the mounting device control unit 27 of the component mounting device 11 will be described. As described above, the feedback processing unit 34 includes a correction unit 44 and an information collection unit 45. The correction unit 44 receives data on the second positional deviation amount ΔZ2 for each component BH that is calculated and output by the inspection device 12 and sent via the management device 13. Then, based on the received data on the second positional deviation amount ΔZ2 for each component BH, it calculates a correction value for the operation parameters of the mounting head 23 and corrects the operation parameters using the calculated correction value. Note that the correction value is calculated by accumulating multiple data (positional deviation data of the component BH) for each target mounting position MK on the board KB and calculating the correction value using a statistical method.

情報集計部45は、管理装置13を通じて検査装置12から送られてきた各部品BHについての情報を集計する。具体的には、情報集計部45は、検査装置12から送られてきた各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータの情報を用いて部品BHの装着精度に関する情報を集計する。 The information compilation unit 45 compiles information about each component BH sent from the inspection device 12 via the management device 13. Specifically, the information compilation unit 45 compiles information about the mounting accuracy of the component BH using the data on the second positional deviation amount ΔZ2 for each component BH sent from the inspection device 12.

次に、このような構成の部品装着システム1により、基板KBに部品BHを装着する部品装着作業を行って実装基板(部品BHが装着された基板KB)を製造する手順(基板製造方法)およびこの基板製造方法に含まれる基板KB上に設定された目標装着位置MKに装着された部品BHを検査する検査方法について説明する。実装基板を製造する場合には、部品装着システム1は先ず、部品装着装置11が基板搬送路21によって上流の装置(例えば半田印刷装置)から基板KBを受け取り、所定の部品装着作業位置に位置決めする(位置決め工程)。基板KBが部品装着作業位置に位置決めされたら、装着ヘッド23が部品供給部22の上方に移動し、部品供給部22によって供給される部品BHをノズル23Nによりピックアップする(ピックアップ工程)。 Next, a procedure (board manufacturing method) for manufacturing a mounted board (board KB with components BH mounted) by performing a component mounting operation for mounting components BH on board KB using the component mounting system 1 configured as above, and an inspection method included in this board manufacturing method for inspecting components BH mounted at target mounting positions MK set on board KB will be described. When manufacturing a mounted board, the component mounting system 1 first uses the component mounting device 11 to receive the board KB from an upstream device (e.g., a solder printing device) via the board transport path 21 and positions it at a specified component mounting work position (positioning process). Once the board KB is positioned at the component mounting work position, the mounting head 23 moves above the component supply unit 22 and picks up the components BH supplied by the component supply unit 22 with the nozzle 23N (pickup process).

装着ヘッド23は、部品BHをノズル23Nによりピックアップしたら、部品認識カメラ25の上方を通過するように移動し、部品認識カメラ25は部品BHの画像を取得する(ピックアップ部品画像取得工程)。部品装着装置11は、装着ヘッド23にピックアップされた部品BHの画像を取得したら、生産データ41に含まれる部品中心検出方式データ41dに基づいて、装着ヘッド23にピックアップされた部品BHのノズル23Nに対する部品中心の位置(ピックアップ部品位置)を検出する(ピックアップ部品位置検出工程)。そして、所定の場合に動作パラメータの補正を行ったうえで(補正工程)、装着ヘッド23によりピックアップした部品BHを基板KB上の目標装着位置MKに装着する(部品装着工程)。部品装着装置11は、基板KBに装着すべき部品BHを全て装着したら、その基板KBを下流の検査装置12に搬出して(基板搬出工程)、基板KBの1枚当たりの部品装着作業を終了する。 After picking up the component BH with the nozzle 23N, the mounting head 23 moves to pass above the component recognition camera 25, which acquires an image of the component BH (picked-up component image acquisition process). After acquiring an image of the component BH picked up by the mounting head 23, the component mounting device 11 detects the position of the component center (picked-up component position) of the component BH picked up by the mounting head 23 relative to the nozzle 23N based on the component center detection method data 41d included in the production data 41 (picked-up component position detection process). Then, after correcting the operating parameters in a predetermined case (correction process), the component BH picked up by the mounting head 23 is mounted at the target mounting position MK on the board KB (component mounting process). After mounting all the components BH to be mounted on the board KB, the component mounting device 11 transports the board KB to the downstream inspection device 12 (board removal process), and the component mounting work for one board KB is completed.

図12に示すフローチャートは、検査装置12が行う検査作業の流れを示している。検査装置12は、検査作業を行う場合には先ず、部品装着装置11から基板KBを受け取って搬入し、所定の検査作業位置に位置決めする(ステップST1。基板位置決め工程)。基板KBが検査作業位置に位置決めされたら、検査カメラ53が基板KBの上方を移動しつつ、基板KB上に装着された各部品BHについての画像(検査画像)を取得する(ステップST2。検査画像取得工程)。 The flowchart in Figure 12 shows the flow of the inspection work performed by the inspection device 12. When performing inspection work, the inspection device 12 first receives and carries in the board KB from the component mounting device 11 and positions it at a predetermined inspection work position (step ST1, board positioning process). Once the board KB is positioned at the inspection work position, the inspection camera 53 moves above the board KB and acquires images (inspection images) of each component BH mounted on the board KB (step ST2, inspection image acquisition process).

検査装置12は、基板KB上の各部品BHについての検査画像を取得したら、その取得した検査画像に基づいて、基板KBに装着された各部品BHの装着部品位置Zを検出する(ステップST3。装着部品位置検出工程)。この装着部品位検出工程において、検査装置12は、検査データ71に含まれる部品中心検出方式データ71cに基づいて、基板KBに装着された部品BHの中心の位置を検出する。 After the inspection device 12 acquires the inspection image of each component BH on the board KB, it detects the mounted component position Z of each component BH mounted on the board KB based on the acquired inspection image (step ST3: mounted component position detection process). In this mounted component position detection process, the inspection device 12 detects the position of the center of the component BH mounted on the board KB based on the component center detection method data 71c included in the inspection data 71.

検査装置12は、ステップST3で装着部品位置Zを検出したら、各部品BHについての検査基準位置KKを検査基準位置データ73から読み出す。そして、各部品BHについて、検出した装着部品位置Z(すなわち、基板KBに装着された部品BHの位置)と、基板KBに対して設定された検査基準位置KKとを比較することによって、検査基準位置KKからの部品BHの位置ずれ量である第1位置ずれ量ΔZ1を算出する(ステップST4。第1位置ずれ量算出工程)。 After detecting the mounted component position Z in step ST3, the inspection device 12 reads out the inspection reference position KK for each component BH from the inspection reference position data 73. Then, for each component BH, the detected mounted component position Z (i.e., the position of the component BH mounted on the board KB) is compared with the inspection reference position KK set for the board KB to calculate a first positional deviation amount ΔZ1, which is the positional deviation amount of the component BH from the inspection reference position KK (step ST4. First positional deviation amount calculation process).

検査装置12は、第1位置ずれ量ΔZ1を算出したら、その算出した第1位置ずれ量ΔZ1に基づいて、基板KBに装着された各部品BHについての装着状態の良否を判定する(ステップST5。良否判定工程)。そして、検査装置12は、各部品BHについての装着状態の良否を判定したら、目標装着位置データ72から読み出した目標装着位置MKとステップST3で検出した装着部品位置Zとを比較することによって、目標装着位置MKからの部品BHの位置ずれ量である第2位置ずれ量ΔZ2を算出する(ステップST6。第2位置ずれ量算出工程)。 After calculating the first misalignment amount ΔZ1, the inspection device 12 judges the quality of the mounting state of each component BH mounted on the board KB based on the calculated first misalignment amount ΔZ1 (step ST5: quality judgment process). After judging the quality of the mounting state of each component BH, the inspection device 12 calculates a second misalignment amount ΔZ2, which is the misalignment amount of the component BH from the target mounting position MK, by comparing the target mounting position MK read from the target mounting position data 72 with the mounted component position Z detected in step ST3 (step ST6: second misalignment amount calculation process).

検査装置12は、第2位置ずれ量ΔZ2を算出したら、良否判定工程で判定した各部品BHについての良否判定結果と、第2位置ずれ量算出工程で第2位置ずれ量算出部66により算出した第2位置ずれ量ΔZ2を、フィードバックデータとして、検査装置通信部68から管理装置13に出力する(ステップST7。出力工程)。そして、基板KB上の全ての部品BHについての検査が終了したら、その基板KBを下流に搬出して(ステップST8。基板搬出工程)、基板KBの1枚当たりの検査作業を終了する。 After calculating the second positional deviation amount ΔZ2, the inspection device 12 outputs the pass/fail judgment results for each component BH judged in the pass/fail judgment process and the second positional deviation amount ΔZ2 calculated by the second positional deviation amount calculation unit 66 in the second positional deviation amount calculation process as feedback data from the inspection device communication unit 68 to the management device 13 (step ST7, output process). Then, when the inspection of all components BH on the board KB is completed, the board KB is unloaded downstream (step ST8, board unloading process), and the inspection work for each board KB is completed.

管理装置13は、検査装置12から各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータを受け取ったら、その受け取ったデータを検査情報93として管理装置記憶部81に記憶する。そして、その記憶した各部品BHについての第2位置ずれ量ΔZ2のデータを、部品装着装置11に送信(転送する)。部品装着装置11は、管理装置13から第2位置ずれ量ΔZ2のデータを受け取ったら、その第2位置ずれ量ΔZ2のデータを、前述の位置ずれ量データ42として、装着装置記憶部31に記憶する。 When the management device 13 receives data on the second positional deviation amount ΔZ2 for each component BH from the inspection device 12, it stores the received data in the management device memory unit 81 as inspection information 93. Then, it transmits (transfers) the stored data on the second positional deviation amount ΔZ2 for each component BH to the component mounting device 11. When the component mounting device 11 receives data on the second positional deviation amount ΔZ2 from the management device 13, it stores the data on the second positional deviation amount ΔZ2 in the mounting device memory unit 31 as the aforementioned positional deviation amount data 42.

部品装着装置11は、検査装置12からのフィードバックデータとしての第2位置ずれ量ΔZ2のデータを管理装置13から受け取ったら、その第2位置ずれ量ΔZ2のデータを位置ずれ量データ42として装着装置記憶部31に記憶する。そして、必要なデータ数が集まった場合には、フィードバック処理部34の補正部44が、第2位置ずれ量ΔZ2に基づいて動作パラメータの補正値を算出する。動作パラメータの補正値が算出されたら、部品装着装置11は、その算出された補正値を用いて部品装着工程における装着ヘッド23の動作パラメータを補正する(前述の補正工程)。このため装着ヘッド23は補正された動作パラメータを用いて部品BHを基板KBに装着することになり、部品BHは高い装着精度で基板KBに装着されることになる。 When the component mounting device 11 receives the data of the second positional deviation amount ΔZ2 as feedback data from the inspection device 12 from the management device 13, the data of the second positional deviation amount ΔZ2 is stored in the mounting device storage unit 31 as the positional deviation amount data 42. Then, when the required amount of data is collected, the correction unit 44 of the feedback processing unit 34 calculates the correction value of the operation parameter based on the second positional deviation amount ΔZ2. Once the correction value of the operation parameter is calculated, the component mounting device 11 uses the calculated correction value to correct the operation parameter of the mounting head 23 in the component mounting process (the correction process described above). Therefore, the mounting head 23 uses the corrected operation parameter to mount the component BH on the board KB, and the component BH is mounted on the board KB with high mounting accuracy.

部品装着装置11はまた、記憶した第2位置ずれ量ΔZ2のデータに基づいて、情報集計部45により、部品BHの装着精度に関する情報を集計する(情報集計工程)。この情報集計工程では、例えば第2位置ずれ量ΔZ2の変化を時系列に沿って集計し、動作パラメータの補正によって第2位置ずれ量ΔZ2が次第に小さくなっていく状態を確認できるデータを作成する。 The component mounting device 11 also uses the information collection unit 45 to collect information related to the mounting accuracy of the component BH based on the stored data on the second positional deviation amount ΔZ2 (information collection process). In this information collection process, for example, the change in the second positional deviation amount ΔZ2 is collected over time, and data is created that can confirm the state in which the second positional deviation amount ΔZ2 is gradually reduced by correcting the operating parameters.

このように本実施の形態において、検査装置12は、基板KBに対して設定された検査基準位置KKからの部品BHの位置ずれ量である第1位置ずれ量ΔZ1を算出するだけでなく、基板KBに装着された部品BHの位置(装着部品位置Z)と目標装着位置MKとを比較することによって、目標装着位置MKからの部品BHの位置ずれ量である第2位置ずれ量ΔZ2を算出するようになっている。そして、基板KBに装着された部品BHの装着状態の良否の判定を第1位置ずれ量ΔZ1に基づいて行う一方、算出した第2の位置ずれ量ΔZ2をフィードバックデータとして部品装着装置11に出力するようになっている。このため、部品装着装置11は部品BHの装着時の基準である目標装着位置MKを基準とする位置ずれ量(第2位置ずれ量ΔZ2)で装着ヘッド23の動作パラメータの補正値を求めることができ、部品BHの装着精度を向上させることができる。 In this embodiment, the inspection device 12 not only calculates the first positional deviation amount ΔZ1, which is the positional deviation amount of the component BH from the inspection reference position KK set for the board KB, but also calculates the second positional deviation amount ΔZ2, which is the positional deviation amount of the component BH from the target mounting position MK, by comparing the position of the component BH mounted on the board KB (mounted component position Z) with the target mounting position MK. Then, the inspection device 12 judges whether the mounting state of the component BH mounted on the board KB is good or bad based on the first positional deviation amount ΔZ1, while outputting the calculated second positional deviation amount ΔZ2 to the component mounting device 11 as feedback data. Therefore, the component mounting device 11 can obtain the correction value of the operating parameters of the mounting head 23 based on the positional deviation amount (second positional deviation amount ΔZ2) based on the target mounting position MK, which is the reference when mounting the component BH, and can improve the mounting accuracy of the component BH.

以上説明したように、本実施の形態における部品装着システム1では、検査装置12が、検査基準位置KKからの部品BHの位置ずれ量である第1位置ずれ量ΔZ1を算出して部品BHの装着状態の良否判定を行う一方、目標装着位置MKからの部品BHの位置ずれ量である第2位置ずれ量ΔZ2を算出するようになっている。そして、部品装着装置11には第2位置ずれ量ΔZ2をフィードバックデータとして出力し、部品装着装置11はその第2位置ずれ量ΔZ2を用いて補正値を算出するようになっている。このため部品装着装置11は装着ヘッド23の動作パラメータの補正を適切な補正値で行うことができるので、部品BHの装着精度の向上を図ることができる。 As described above, in the component mounting system 1 of this embodiment, the inspection device 12 calculates the first positional deviation amount ΔZ1, which is the positional deviation amount of the component BH from the inspection reference position KK, to determine the quality of the mounting state of the component BH, while calculating the second positional deviation amount ΔZ2, which is the positional deviation amount of the component BH from the target mounting position MK. The second positional deviation amount ΔZ2 is then output as feedback data to the component mounting device 11, which uses the second positional deviation amount ΔZ2 to calculate a correction value. Therefore, the component mounting device 11 can correct the operating parameters of the mounting head 23 with an appropriate correction value, thereby improving the mounting accuracy of the component BH.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、上述の実施の形態では、部品装着装置11は検査装置12が出力する検査情報を管理装置13経由で受け取るようになっていたが、管理装置13を経由することなく、検査装置12から直接受け取るようになっていてもよい。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above, and various modifications are possible. For example, in the above embodiment, the component mounting device 11 receives the inspection information output by the inspection device 12 via the management device 13, but it may also receive the information directly from the inspection device 12 without going through the management device 13.

部品の装着精度の向上を図ることができる部品装着システム、検査装置、基板製造方法および検査方法を提供する。 To provide a component mounting system, inspection device, board manufacturing method, and inspection method that can improve component mounting accuracy.

1 部品装着システム
11 部品装着装置
12 検査装置
23 装着ヘッド
65 第1位置ずれ量算出部
66 第2位置ずれ量算出部
68 検査装置通信部(出力部)
KK 検査基準位置
MK 目標装着位置
ΔZ1 第1位置ずれ量
ΔZ2 第2位置ずれ量
BH 部品
RD リード
KB 基板
REFERENCE SIGNS LIST 1 Component mounting system 11 Component mounting device 12 Inspection device 23 Mounting head 65 First positional deviation amount calculation unit 66 Second positional deviation amount calculation unit 68 Inspection device communication unit (output unit)
KK Inspection reference position MK Target mounting position ΔZ1 First position deviation amount ΔZ2 Second position deviation amount BH Component RD Lead KB Board

Claims (10)

装着ヘッドにより部品をピックアップして基板上に設定された目標装着位置に装着する部品装着装置と、前記部品装着装置により前記基板に装着された前記部品を検査する検査装置とを備えた部品装着システムであって、
前記検査装置は、
前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更部と、
前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更部によって設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出部と、
前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出部と、
前記第2位置ずれ量算出部により算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力部と、を備え、
前記部品装着装置は、前記出力部から出力された前記第2位置ずれ量に基づいて補正値を算出し、その算出した補正値を用いて前記装着ヘッドの動作パラメータを補正する、部品装着システム。
A component mounting system including a component mounting device that uses a mounting head to pick up components and mount them at target mounting positions set on a board, and an inspection device that inspects the components mounted on the board by the component mounting device,
The inspection device includes:
an inspection reference position changing unit that sets an inspection reference position for the board that is different from the target mounting position;
a first positional deviation amount calculation unit that calculates a first positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the inspection reference position by comparing a position of the component mounted on the board with the inspection reference position set by the inspection reference position changing unit;
a second misalignment amount calculation unit that calculates a second misalignment amount, which is a misalignment amount of the component from the target mounting position by comparing a position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board;
an output unit that outputs the second positional deviation amount calculated by the second positional deviation amount calculation unit,
The component mounting system, wherein the component mounting device calculates a correction value based on the second positional deviation amount output from the output section, and corrects operating parameters of the mounting head using the calculated correction value.
前記検査基準位置は変更可能である、請求項1に記載の部品装着システム。 The component mounting system of claim 1, wherein the inspection reference position is changeable. 前記部品の位置は、前記部品が有するリードの測定に関するリード計測基準に基づいて検出される、請求項1または2に記載の部品装着システム。 The component mounting system according to claim 1 or 2, wherein the position of the component is detected based on a lead measurement standard relating to the measurement of the leads of the component. 前記リード計測基準は、前記リードの座標に関する情報を含む、請求項3に記載の部品装着システム。 The component mounting system of claim 3, wherein the lead measurement criterion includes information regarding the coordinates of the lead. 基板上に設定された目標装着位置に装着された部品を検査する検査装置であって、
前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更部と、
前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更部によって設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出部と、
前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出部と、
前記第2位置ずれ量算出部により算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力部と、を備えた検査装置。
An inspection apparatus for inspecting a component mounted at a target mounting position set on a board, comprising:
an inspection reference position changing unit that sets an inspection reference position for the board that is different from the target mounting position;
a first positional deviation amount calculation unit that calculates a first positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the inspection reference position by comparing a position of the component mounted on the board with the inspection reference position set by the inspection reference position changing unit;
a second misalignment amount calculation unit that calculates a second misalignment amount, which is a misalignment amount of the component from the target mounting position by comparing a position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board;
an output unit that outputs the second positional deviation amount calculated by the second positional deviation amount calculation unit.
前記検査基準位置は変更可能である、請求項5に記載の検査装置。 The inspection device according to claim 5, wherein the inspection reference position is changeable. 基板に部品が装着された実装基板を製造する基板製造方法であって、
装着ヘッドにより部品をピックアップして基板上に設定された目標装着位置に装着する部品装着工程と、
前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更工程と、
前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更工程で設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出工程と、
前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出工程と、
前記第2位置ずれ量算出工程で算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力工程と、
前記出力工程で出力された前記第2位置ずれ量に基づいて補正値を算出し、その算出した補正値を用いて前記部品装着工程での前記装着ヘッドの動作パラメータを補正する補正工程と、を含む基板製造方法。
A substrate manufacturing method for manufacturing a mounting substrate having components mounted on a substrate, comprising the steps of:
a component mounting process in which a mounting head picks up components and mounts them at target mounting positions set on the board;
an inspection reference position changing step of setting an inspection reference position different from the target mounting position for the board;
a first positional deviation amount calculation step of calculating a first positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the inspection reference position by comparing a position of the component mounted on the board with the inspection reference position set in the inspection reference position changing step;
a second positional deviation amount calculation step of calculating a second positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the target mounting position by comparing a position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board;
an output step of outputting the second positional deviation amount calculated in the second positional deviation amount calculation step;
a correction process of calculating a correction value based on the second positional deviation amount output in the output process, and correcting an operating parameter of the mounting head in the component mounting process using the calculated correction value.
前記検査基準位置は変更可能である、請求項7に記載の基板製造方法。 The substrate manufacturing method according to claim 7, wherein the inspection reference position is changeable. 基板上に設定された目標装着位置に装着された部品を検査する検査方法であって、
前記基板に対して前記目標装着位置と異なる検査基準位置を設定する検査基準位置変更工程と、
前記基板に装着された部品の位置と前記検査基準位置変更工程で設定された前記検査基準位置とを比較することによって、前記検査基準位置からの前記部品の位置ずれ量である第1位置ずれ量を算出する第1位置ずれ量算出工程と、
前記基板に装着された部品の位置と前記基板における前記部品の目標装着位置とを比較することによって、前記目標装着位置からの前記部品の位置ずれ量である第2位置ずれ量を算出する第2位置ずれ量算出工程と、
前記第2位置ずれ量算出部により算出された前記第2位置ずれ量を出力する出力工程と、を含む検査方法。
1. An inspection method for inspecting a component mounted at a target mounting position set on a board, comprising:
an inspection reference position changing step of setting an inspection reference position different from the target mounting position for the board;
a first positional deviation amount calculation step of calculating a first positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the inspection reference position by comparing a position of the component mounted on the board with the inspection reference position set in the inspection reference position changing step;
a second positional deviation amount calculation step of calculating a second positional deviation amount, which is a positional deviation amount of the component from the target mounting position by comparing a position of the component mounted on the board with a target mounting position of the component on the board;
and an output step of outputting the second positional deviation amount calculated by the second positional deviation amount calculation unit.
前記検査基準位置は変更可能である、請求項9に記載の検査方法。 The inspection method according to claim 9, wherein the inspection reference position is changeable.
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