[go: up one dir, main page]

JP7545454B2 - Display device - Google Patents

Display device Download PDF

Info

Publication number
JP7545454B2
JP7545454B2 JP2022165968A JP2022165968A JP7545454B2 JP 7545454 B2 JP7545454 B2 JP 7545454B2 JP 2022165968 A JP2022165968 A JP 2022165968A JP 2022165968 A JP2022165968 A JP 2022165968A JP 7545454 B2 JP7545454 B2 JP 7545454B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transistor
electrode
pixel
gate
drain
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2022165968A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2023001140A (en
Inventor
英明 宍戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority to JP2022165968A priority Critical patent/JP7545454B2/en
Publication of JP2023001140A publication Critical patent/JP2023001140A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7545454B2 publication Critical patent/JP7545454B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Control Of El Displays (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

本発明は、トランジスタを有する表示装置の構成及びその駆動方法に関する。本発明は特
に、薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス型表示装置の構成及びその駆動方法
に関する。また、このような表示装置を表示部に用いた電子機器に関する。
The present invention relates to a structure of a display device having a transistor and a driving method thereof, and more particularly to a structure of an active matrix display device having thin film transistors and a driving method thereof, and also to an electronic device using such a display device in a display portion.

近年、画素を発光ダイオード(LED)などの発光素子で形成した、いわゆる自発光型の
表示装置が注目を浴びている。このような自発光型の表示装置に用いられる発光素子とし
ては、有機発光ダイオード(OLED(Organic Light Emitting
Diode)、有機EL素子、エレクトロルミネッセンス(Electro Lumi
nescence:EL)素子などとも言う)が注目を集めており、ELディスプレイな
どに用いられるようになってきている。OLEDなどの発光素子は自発光型であるため、
液晶ディスプレイに比べて画素の視認性が高く、バックライトが不要で応答速度が速い等
の利点がある。また発光素子の輝度は、そこを流れる電流値によって制御される。
In recent years, so-called self-luminous display devices in which pixels are formed of light-emitting elements such as light-emitting diodes (LEDs) have been attracting attention. Light-emitting elements used in such self-luminous display devices include organic light-emitting diodes (OLEDs).
Diode, organic EL element, electroluminescence (Electro Lumi
Light-emitting diode (OLED) elements have been attracting attention and are being used in EL displays. Light-emitting diode (OLED) elements are self-emitting elements,
Compared to liquid crystal displays, it has the advantages of high pixel visibility, no need for a backlight, and fast response speed. The brightness of the light-emitting element is controlled by the value of the current flowing through it.

また、近年、画素ごとに発光素子と、該発光素子の発光を制御するトランジスタが設けら
れたアクティブマトリクス型表示装置の開発が進められている。アクティブマトリクス型
表示装置は、パッシブマトリクス型表示装置では困難な、高精細、大画面の表示も可能で
あるだけでなく、パッシブマトリクス型表示装置を上回る低消費電力動作を実現し、かつ
高信頼性を有し、実用化が期待されている。
In recent years, active matrix display devices have been developed in which each pixel is provided with a light emitting element and a transistor for controlling the light emission of the light emitting element. Active matrix display devices are not only capable of high-definition, large-screen display, which is difficult with passive matrix display devices, but also realize low-power operation that exceeds that of passive matrix display devices and are highly reliable, and are expected to be put to practical use.

アクティブマトリクス型表示装置における画素の駆動方法としては、画素に入力する信号
の種類で分類すると、電圧入力方式と電流入力方式が挙げられる。前者の電圧入力方式は
、画素に入力するビデオ信号(電圧)を駆動用素子のゲート電極に入力して、該駆動用素
子を用いて発光素子の輝度を制御する方式である。また後者の電流入力方式では、設定さ
れた信号電流を発光素子に流すことにより、該発光素子の輝度を制御する方式である。
Methods of driving pixels in active matrix display devices can be classified according to the type of signal input to the pixel into a voltage input method and a current input method. The former voltage input method is a method in which a video signal (voltage) to be input to the pixel is input to a gate electrode of a driving element, and the driving element is used to control the brightness of the light-emitting element. The latter current input method is a method in which a set signal current is passed through the light-emitting element to control the brightness of the light-emitting element.

ここで、電圧入力方式を適用した表示装置における画素構成の一例とその駆動方式につい
て、図67を用いて簡単に説明する。なお、代表的な表示装置として、EL表示装置を例
に挙げて説明する。
Here, an example of a pixel configuration in a display device to which a voltage input method is applied and a driving method thereof will be briefly described with reference to Fig. 67. Note that an EL display device will be taken as an example of a representative display device and the description will be given.

図67は、電圧入力方式を適用した表示装置における画素構成の一例を示す図である(特
許文献1参照)。図67に示した画素は、駆動用トランジスタ6701、スイッチング用
トランジスタ6702、保持容量6703、信号線6704、走査線6705、第1及び
第2の電源線6706、6707、発光素子6708を有する。
Fig. 67 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device to which a voltage input method is applied (see Patent Document 1). The pixel shown in Fig. 67 has a driving transistor 6701, a switching transistor 6702, a storage capacitor 6703, a signal line 6704, a scanning line 6705, first and second power supply lines 6706 and 6707, and a light emitting element 6708.

なお、本明細書中において、トランジスタがオンしているとは、トランジスタのゲート・
ソース間電圧がその閾値電圧を超え、ソースとドレインとの間に電流が流れる状態を指し
、トランジスタがオフしているとは、トランジスタのゲート・ソース間電圧がその閾値電
圧を下回り、ソースとドレインとの間に電流が流れていない状態を指す。
In this specification, when a transistor is on, the gate
This refers to a state in which the source-to-source voltage exceeds its threshold voltage and current flows between the source and drain, and a transistor is off refers to a state in which the gate-to-source voltage of the transistor is below its threshold voltage and no current flows between the source and drain.

走査線6705の電位が変化してスイッチング用トランジスタ6702がオンすると、信
号線6704に入力されているビデオ信号は、駆動用トランジスタ6701のゲート電極
へと入力される。入力されたビデオ信号の電位に従って、駆動用トランジスタ6701の
ゲート・ソース間電圧が決定し、駆動用トランジスタ6701のソースとドレインとの間
を流れる電流が決定する。この電流は発光素子6708に供給され、該発光素子6708
は発光する。
When the potential of the scanning line 6705 changes and the switching transistor 6702 is turned on, the video signal input to the signal line 6704 is input to the gate electrode of the driving transistor 6701. The gate-source voltage of the driving transistor 6701 is determined according to the potential of the input video signal, and the current flowing between the source and drain of the driving transistor 6701 is determined. This current is supplied to the light emitting element 6708, and the light emitting element 6708
will emit light.

このように、電圧入力方式とは、ビデオ信号の電位により駆動用トランジスタのゲート・
ソース間電圧及びソース・ドレイン間を流れる電流を設定し、この電流に応じた輝度で発
光素子を発光させる方式をいう。
In this way, the voltage input method is a method in which the gate and output voltages of the driving transistors are controlled by the potential of the video signal.
This is a method of setting the source voltage and the current flowing between the source and drain, and making the light-emitting element emit light with a brightness that corresponds to this current.

発光素子を駆動する半導体素子としては、ポリシリコン(p-Si)トランジスタが用い
られる。しかし、ポリシリコントランジスタは、結晶粒界における欠陥に起因して、閾値
電圧やオン電流、移動度等の電気的特性にばらつきが生じやすい。図67に示した画素に
おいて、駆動用トランジスタ6701の特性が画素ごとにばらつくと、同じビデオ信号を
入力した場合にも、それに応じた駆動用トランジスタ6701のドレイン電流の大きさが
異なるため、発光素子6708の輝度はばらついてしまう。
A polysilicon (p-Si) transistor is used as a semiconductor element for driving the light-emitting element. However, polysilicon transistors are prone to variations in electrical characteristics such as threshold voltage, on-current, and mobility due to defects in crystal grain boundaries. In the pixel shown in FIG. 67, if the characteristics of the driving transistor 6701 vary from pixel to pixel, even when the same video signal is input, the magnitude of the drain current of the driving transistor 6701 corresponding to the signal will differ, resulting in variations in the brightness of the light-emitting element 6708.

また、従来の画素回路(図67)では、保持容量を駆動用トランジスタのゲート・ソース
間に接続しているが、この保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトラ
ンジスタのゲート・ソース間電圧が該MOSトランジスタの閾値電圧とほぼ等しくなると
、該MOSトランジスタにチャネル領域が誘起されなくなるため、該MOSトランジスタ
が保持容量として機能しなくなる。その結果、ビデオ信号を正しく保持できなくなる。
In addition, in the conventional pixel circuit (Fig. 67), the storage capacitor is connected between the gate and source of the driving transistor, but if this storage capacitor is made of a MOS transistor, when the gate-source voltage of the MOS transistor becomes almost equal to the threshold voltage of the MOS transistor, the channel region is no longer induced in the MOS transistor, and the MOS transistor no longer functions as a storage capacitor, resulting in the inability to properly store video signals.

特開2001-147659号公報JP 2001-147659 A

このように、従来の電圧入力方式では、トランジスタの電気的特性のばらつきによって輝
度のばらつきが生じてしまう。
Thus, in the conventional voltage input method, variations in the electrical characteristics of the transistors result in variations in luminance.

本発明はこのような問題点に鑑み、トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償することが
でき、輝度のばらつきの低減が可能となる半導体装置、表示装置及びその駆動方法を提供
することを目的とする。
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a semiconductor device, a display device, and a driving method thereof that can compensate for variations in the threshold voltage of a transistor and reduce variations in luminance.

なお、発光素子を有する半導体装置、表示装置のみが対象となるわけではなく、本発明は
トランジスタの閾値電圧のばらつきに起因するドレイン電流のばらつきを抑制することを
課題としている。よって、駆動用トランジスタのドレイン電流の供給先は、発光素子に限
定されない。以下において、前記ドレイン電流を供給する先を総称して負荷とも言う。
Note that the present invention is not limited to semiconductor devices and display devices having light-emitting elements, and an object of the present invention is to suppress variations in drain current caused by variations in threshold voltage of transistors. Therefore, the destination of the drain current of the driving transistor is not limited to the light-emitting element. Hereinafter, the destination of the drain current is collectively referred to as a load.

本発明は、画素を有する半導体装置であって、画素は、少なくとも、ビデオ信号が印加さ
れる信号線と、容量線と、第1の電極が信号線に電気的に接続され、第2の電極が負荷に
電気的に接続された第1のトランジスタと、第1のトランジスタの第2の電極とゲート電
極とを電気的に接続するか否かを選択するスイッチとしての機能を有する第2のトランジ
スタと、第1の電極が第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第2の電極
が容量線に電気的に接続された保持容量とを有し、保持容量の第1の電極及び第1のトラ
ンジスタのゲート電極に印加される、ビデオ信号電圧から第1のトランジスタの閾値電圧
の絶対値を加算もしくは減算した電位、及び第1のトランジスタの第1の電極の電位によ
り、負荷に流れる電流量が決定されることを特徴とする半導体装置である。
The present invention is a semiconductor device having a pixel, the pixel including at least a signal line to which a video signal is applied, a capacitance line, a first transistor having a first electrode electrically connected to the signal line and a second electrode electrically connected to a load, a second transistor having a function as a switch for selecting whether or not to electrically connect a second electrode and a gate electrode of the first transistor, and a storage capacitor having a first electrode electrically connected to the gate electrode of the first transistor and a second electrode electrically connected to the capacitance line, and an amount of current flowing to the load is determined by a potential obtained by adding or subtracting an absolute value of a threshold voltage of the first transistor to or from a video signal voltage applied to the first electrode of the storage capacitor and the gate electrode of the first transistor, and a potential of the first electrode of the first transistor.

本発明は、画素を有する半導体装置であって、画素は、少なくとも、信号線と、容量線と
、第1の電極が信号線に電気的に接続され、第2の電極が負荷に電気的に接続された第1
のトランジスタと、第1のトランジスタの第2の電極とゲート電極とを電気的に接続する
か否かを選択するスイッチとしての機能を有する第2のトランジスタと、第1の電極が第
1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第2の電極が容量線に電気的に接続
された保持容量とを有し、信号線に印加されるビデオ信号電圧及び第1のトランジスタの
閾値電圧に基づいた電圧を保持容量に保持させ、当該電圧に応じた第1のトランジスタに
設定された電流を負荷に供給することを有することを特徴とする半導体装置である。
The present invention relates to a semiconductor device having a pixel, and the pixel includes at least a signal line, a capacitance line, and a first electrode electrically connected to the signal line and a second electrode electrically connected to a load.
a second transistor having a function as a switch for selecting whether or not to electrically connect a second electrode and a gate electrode of the first transistor, and a storage capacitor having a first electrode electrically connected to the gate electrode of the first transistor and a second electrode electrically connected to a capacitance line, wherein a voltage based on a video signal voltage applied to a signal line and a threshold voltage of the first transistor is stored in the storage capacitor, and a current set in the first transistor according to the voltage is supplied to a load.

本発明は、画素を有する半導体装置であって、画素は、信号線と、容量線と、電源線と、
負荷に電流を供給する機能を有する第1のトランジスタと、第1のトランジスタの第1の
電極と信号線とを電気的に接続するスイッチとしての機能を有する第2のトランジスタと
、第1のトランジスタの第1の電極と電源線とを電気的に接続するスイッチとしての機能
を有する第3のトランジスタと、第1のトランジスタの第2の電極とゲート電極とを電気
的に接続するか否かを選択するスイッチとしての機能を有する第4のトランジスタと、第
1のトランジスタの第2の電極と負荷とを電気的に接続するスイッチとしての機能を有す
る第5のトランジスタと、第1の電極が第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続
され、第2の電極が容量線に電気的に接続された保持容量とを有し、信号線に印加される
ビデオ信号電圧及び第1のトランジスタの閾値電圧に基づいた電圧を保持容量に保持させ
、当該電圧に応じた第1のトランジスタに設定された電流を電源線より負荷に供給するこ
とを特徴とする半導体装置である。
The present invention relates to a semiconductor device having a pixel, the pixel including a signal line, a capacitance line, a power supply line,
a third transistor having a function as a switch electrically connecting a first electrode of the first transistor to a power supply line; a fourth transistor having a function as a switch for selecting whether or not to electrically connect a second electrode of the first transistor to a gate electrode; a fifth transistor having a function as a switch electrically connecting a second electrode of the first transistor to a load; and a storage capacitor having a first electrode electrically connected to the gate electrode of the first transistor and a second electrode electrically connected to a capacitance line, wherein a voltage based on a video signal voltage applied to a signal line and a threshold voltage of the first transistor is stored in the storage capacitor, and a current set in the first transistor according to the voltage is supplied to the load from the power supply line.

本発明は、画素を有する半導体装置であって、画素は、信号線と、容量線と、電源線と、
負荷に電流を供給する機能を有する第1のトランジスタと、第1のトランジスタの第1の
電極と信号線とを電気的に接続するスイッチとしての機能を有する第2のトランジスタと
、第1のトランジスタの第1の電極と電源線とを電気的に接続するスイッチとしての機能
を有する第3のトランジスタと、第1のトランジスタの第2の電極とゲート電極とを電気
的に接続するか否かを選択するスイッチとしての機能を有する第4のトランジスタと、第
1の電極が第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続され、第2の電極が容量線に
電気的に接続された保持容量とを有し、信号線に印加されるビデオ信号電圧及び第1のト
ランジスタの閾値電圧に基づいた電圧を保持容量に保持させ、当該電圧に応じた第1のト
ランジスタに設定された電流を電源線より負荷に供給することを特徴とする半導体装置で
ある。
The present invention relates to a semiconductor device having a pixel, the pixel including a signal line, a capacitance line, a power supply line,
a third transistor having a function as a switch for electrically connecting a first electrode of the first transistor to a power supply line; a fourth transistor having a function as a switch for selecting whether or not to electrically connect a second electrode of the first transistor to a gate electrode; and a storage capacitor having a first electrode electrically connected to a gate electrode of the first transistor and a second electrode electrically connected to a capacitance line, wherein a voltage based on a video signal voltage applied to a signal line and a threshold voltage of the first transistor is stored in the storage capacitor, and a current set in the first transistor according to the voltage is supplied to the load from the power supply line.

なお、本発明の半導体装置において、画素は、さらに第6のトランジスタを有し、第6の
トランジスタを介して第1のトランジスタの第2の電極に初期電位が印加されても良い。
In the semiconductor device of the present invention, the pixel may further include a sixth transistor, and an initial potential may be applied to the second electrode of the first transistor through the sixth transistor.

なお、本発明の半導体装置において、第1のトランジスタの第2の電極は第6のトランジ
スタを介して画素が有する配線と電気的に接続されていてもよい。
Note that in the semiconductor device of the present invention, the second electrode of the first transistor may be electrically connected to a wiring included in a pixel through a sixth transistor.

なお、本発明の半導体装置において、画素は、さらに第6のトランジスタを介して第1の
トランジスタの第2の電極と電気的に接続される初期化線を有していても良い。
In the semiconductor device of the present invention, the pixel may further include an initialization line electrically connected to the second electrode of the first transistor through a sixth transistor.

なお、本発明の半導体装置において、容量線には、画素が有するその他の配線が用いられ
ていても良い。
In the semiconductor device of the present invention, other wirings included in the pixel may be used as the capacitance line.

なお、本発明の半導体装置において、画素に含まれるそれぞれのトランジスタが有するチ
ャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第1のトランジスタが有するW/Lの
値が最大であるのが望ましい。
In the semiconductor device of the present invention, it is preferable that the value of W/L of the first transistor be the largest among the values of the ratio W/L of the channel length L to the channel width W of each transistor included in the pixel.

なお、本発明の半導体装置において、第2のトランジスタと、第3のトランジスタとが、
互いに異なる導電形式であってもよい。
In the semiconductor device of the present invention, the second transistor and the third transistor are
They may be of different conductivity types.

なお、本発明の半導体装置において、画素は、さらに複数の走査線を有し、画素が有する
少なくとも2つのトランジスタのゲート電極が、同一の走査線に電気的に接続されていて
もよい。
In the semiconductor device of the present invention, the pixel may further include a plurality of scanning lines, and gate electrodes of at least two transistors included in the pixel may be electrically connected to the same scanning line.

なお、本発明の半導体装置において、さらに複数の走査線を有し、画素が有する複数のト
ランジスタが有するゲート電極の各々は、それぞれ異なる走査線と電気的に接続されてい
てもよい。
Note that the semiconductor device of the present invention may further include a plurality of scan lines, and gate electrodes of the plurality of transistors included in the pixel may be electrically connected to different scan lines.

なお、本発明の半導体装置において、第4のトランジスタは、Nチャネル型であってもよ
い。
In the semiconductor device of the present invention, the fourth transistor may be an N-channel transistor.

本発明は、信号線と、容量線と、電源線と、第1の電極が信号線に電気的に接続され、第
2の電極が負荷に電気的に接続された第1のトランジスタと、第1のトランジスタの第2
の電極とゲート電極とを電気的に接続するか否かを選択するスイッチとしての機能を有す
る第2のトランジスタと、第1の電極が第1のトランジスタのゲート電極に電気的に接続
され、第2の電極が容量線に電気的に接続された保持容量とを含む画素を有し、負荷に電
流を流すことにより、保持容量に所定の初期電圧を保持させた後、第2のトランジスタを
導通状態として、保持容量に信号線より供給されるビデオ信号電圧、及び第1のトランジ
スタの閾値電圧に基づいた電圧を保持させ、当該電圧に基づいた電圧を第1のトランジス
タのゲート電極に印加し、第1のトランジスタを介して電源線より電流を負荷に供給する
ことを特徴とする半導体装置の駆動方法である。
The present invention relates to a semiconductor device including a signal line, a capacitance line, a power supply line, a first transistor having a first electrode electrically connected to the signal line and a second electrode electrically connected to a load, and a second transistor having a second electrode electrically connected to the load.
a pixel including a second transistor having a function as a switch for selecting whether or not to electrically connect a first electrode and a gate electrode of the first transistor, and a storage capacitor having a first electrode electrically connected to the gate electrode of the first transistor and a second electrode electrically connected to a capacitance line, wherein a current is caused to flow through a load to store a predetermined initial voltage in the storage capacitor, the second transistor is turned on, and a voltage based on a video signal voltage supplied from a signal line and a threshold voltage of the first transistor is stored in the storage capacitor, the voltage based on the voltage is applied to the gate electrode of the first transistor, and a current is supplied to the load from a power supply line via the first transistor.

本発明は、信号線と、容量線と、電源線と、第1の電極が信号線に電気的に接続され、第
2の電極が負荷に電気的に接続された第1のトランジスタと、第1のトランジスタの第2
の電極とゲート電極とを電気的に接続するか否かを選択するスイッチとしての機能を有す
る第2のトランジスタと、第1のトランジスタの第2の電極に初期電位を印加するための
スイッチとしての機能を有する第3のトランジスタと、第1の電極が第1のトランジスタ
のゲート電極に電気的に接続され、第2の電極が容量線に電気的に接続された保持容量と
を含む画素を有し、第3のトランジスタを導通状態とすることにより第1のトランジスタ
の第2の電極に初期電位を印加した後、第2のトランジスタを導通状態として、保持容量
に信号線より供給されるビデオ信号電圧、及び第1のトランジスタの閾値電圧に基づいた
電圧を保持させ、当該電圧に基づいた電圧を第1のトランジスタのゲート電極に印加し、
第1のトランジスタを介して電源線より電流を負荷に供給することを特徴とする半導体装
置の駆動方法である。
The present invention relates to a semiconductor device including a signal line, a capacitance line, a power supply line, a first transistor having a first electrode electrically connected to the signal line and a second electrode electrically connected to a load, and a second transistor having a second electrode electrically connected to the load.
a pixel including a second transistor having a function as a switch for selecting whether to electrically connect the first electrode and the gate electrode of the first transistor, a third transistor having a function as a switch for applying an initial potential to the second electrode of the first transistor, and a storage capacitor having a first electrode electrically connected to the gate electrode of the first transistor and a second electrode electrically connected to a capacitance line, wherein the third transistor is turned on to apply an initial potential to the second electrode of the first transistor, and then the second transistor is turned on to cause the storage capacitor to hold a video signal voltage supplied from a signal line and a voltage based on a threshold voltage of the first transistor, and the voltage based on the voltage is applied to the gate electrode of the first transistor,
A method for driving a semiconductor device is characterized in that a current is supplied to a load from a power supply line via a first transistor.

なお、本発明の駆動方法において、さらに第3のトランジスタを介して第1のトランジス
タの第2の電極と電気的に接続されている初期化線を有し、初期化線より初期電位を供給
してもよい。
Note that in the driving method of the present invention, an initialization line electrically connected to the second electrode of the first transistor through a third transistor may be further provided, and an initial potential may be supplied from the initialization line.

なお、本発明の駆動方法において、保持容量に信号線より供給されるビデオ信号電圧及び
第1のトランジスタの閾値電圧に基づいた電圧を保持させる期間と、当該期間以外の期間
とでは、電源線に印加される電圧が異なっていてもよい。
In addition, in the driving method of the present invention, the voltage applied to the power supply line may be different between a period in which the storage capacitor stores the video signal voltage supplied from the signal line and the voltage based on the threshold voltage of the first transistor and a period other than the period.

また、上記構成において、負荷は発光素子であっても良い。 Furthermore, in the above configuration, the load may be a light-emitting element.

なお、トランジスタはその構造上、ソースとドレインの区別が困難である。さらに、回路
の動作によっては、電位の高低が入れ替わる場合もある。したがって、本明細書中では、
ソースとドレインは特に特定せず、第1の電極、第2の電極と記述する。例えば、第1の
電極がソースである場合には、第2の電極とはドレインを指し、逆に第1の電極がドレイ
ンである場合には、第2の電極とはソースを指すものとする。
Due to the structure of a transistor, it is difficult to distinguish between the source and the drain. Furthermore, depending on the operation of the circuit, the high and low potentials may be reversed.
The source and drain are not particularly specified, and are described as the first electrode and the second electrode. For example, when the first electrode is the source, the second electrode refers to the drain, and conversely, when the first electrode is the drain, the second electrode refers to the source.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)においては、1画素とは、1つ
の色要素を示すものとする。従って、R(赤)G(緑)B(青)の色要素からなるカラー
表示装置の場合には、画像の最小単位は、Rの画素とGの画素とBの画素との3画素から
構成されるものとする。なお、色要素は、3色に限定されず、それ以上の数を用いてもよ
いし、RGB以外の色を用いてもよい。例えば、白色(W)を加えてRGBWとしてもよ
い。また、RGBに、例えば、イエロー、シアン、マゼンダなど1色以上を追加したもの
でもよい。また、例えば、RGBの中の少なくとも1色について、類似した色を追加して
もよい。例えば、R、G、B1、B2としてもよい。B1とB2とは、どちらも青色であ
るが、波長が異なっている。このような色要素を用いることにより、より実物に近い表示
を行うことができたり、消費電力の低減を実現することができる。なお、1つの色要素に
ついて、複数の領域を用いて明るさを制御してもよい。この場合は、1つの色要素を1画
素とし、その明るさを制御する各領域をサブ画素とする。よって、例えば、面積階調方式
を行う場合、1つの色要素につき、明るさを制御する領域が複数あり、その全体で階調を
表現するわけであるが、明るさを制御する各領域をサブ画素とする。よって、その場合は
、1つの色要素は、複数のサブ画素で構成されることとなる。また、その場合、サブ画素
によって、表示に寄与する領域の大きさが異なっている場合がある。また、1つの色要素
につき複数ある、明るさを制御する領域において、つまり、1つの色要素を構成する複数
のサブ画素において、各々に供給する信号をわずかに異ならせるようにして、視野角を広
げるようにしてもよい。
In this document (specification, claims, drawings, etc.), one pixel refers to one color element. Therefore, in the case of a color display device consisting of R (red), G (green), and B (blue) color elements, the minimum unit of an image is composed of three pixels, an R pixel, a G pixel, and a B pixel. The color elements are not limited to three colors, and more than three colors may be used, or colors other than RGB may be used. For example, white (W) may be added to RGBW. In addition, one or more colors, such as yellow, cyan, and magenta, may be added to RGB. In addition, for example, a similar color may be added to at least one of the RGB colors. For example, R, G, B1, and B2 may be used. B1 and B2 are both blue, but have different wavelengths. By using such color elements, it is possible to display more realistically and reduce power consumption. It is also possible to control the brightness of one color element using multiple areas. In this case, one color element is considered to be one pixel, and each area that controls the brightness is considered to be a sub-pixel. Therefore, for example, when the area gradation method is used, there are multiple regions for controlling brightness for one color element, and the gradation is expressed by the entirety of the regions, and each region for controlling brightness is a sub-pixel. Therefore, in this case, one color element is composed of multiple sub-pixels. In addition, in this case, the size of the region contributing to the display may differ depending on the sub-pixel. In addition, in the multiple regions for controlling brightness for one color element, that is, in the multiple sub-pixels constituting one color element, the signal supplied to each may be slightly different to widen the viewing angle.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)において、画素は、マトリクス
状に配置(配列)されている場合を含んでいる。ここで、画素がマトリクス状に配置(配
列)されているとは、縦方向もしくは横方向において、直線状に並んで配置されている場
合や、ギザギザな線上に並んでいる場合を含んでいる。よって、例えば、3色の色要素(
例えばRGB)でフルカラー表示を行う場合に、ストライプ配置されている場合や、3つ
の色要素のドットがいわゆるデルタ配置されている場合も含むものとする。さらに、ベイ
ヤー配置されている場合も含んでいる。なお、色要素のドット毎にその表示領域の大きさ
が異なっていてもよい。これにより、低消費電力化、又は表示素子の長寿命化を図ること
ができる。
In this document (specification, claims, drawings, etc.), pixels may be arranged (distributed) in a matrix. Here, pixels arranged (distributed) in a matrix may be arranged in a straight line in the vertical or horizontal direction, or in a jagged line. Therefore, for example, when a three-color color element (
For example, when performing full-color display using RGB, the dots may be arranged in stripes or in a so-called delta arrangement of three color elements. It also includes a Bayer arrangement. The size of the display area may differ for each dot of a color element. This can reduce power consumption or extend the life of the display element.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)における発光素子とは、素子に
流れる電流値によって発光輝度を制御することが可能な素子のことを指す。代表的にはE
L素子を適用することができる。なお、EL素子は、有機EL素子でもよいし、無機EL
素子でもよい。EL素子以外にも、例えば、フィールドエミッションディスプレイ(FE
D)で用いる素子、FEDの一種であるSED(Surface-conduction
Electron-emitter Display)などの発光素子を適用すること
ができる。
In this document (specification, claims, drawings, etc.), the light-emitting element refers to an element whose luminance can be controlled by the value of the current flowing through the element.
The EL element may be an organic EL element or an inorganic EL element.
In addition to the EL element, for example, a field emission display (FE
D) is a type of FED called SED (Surface-conduction
A light-emitting element such as an electron-emitter display can be used.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲又は図面など)に記載されたトランジスタとして
、様々な形態のトランジスタを用いることが出来る。よって、用いるトランジスタの種類
に限定はない。例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶(マイクロクリスタル
、セミアモルファスとも言う)シリコンなどに代表される非単結晶半導体膜を有する薄膜
トランジスタ(TFT)などを用いることが出来る。TFTを用いる場合、様々なメリッ
トがある。例えば、単結晶シリコンの場合よりも低い温度で製造できるため、製造コスト
の削減、又は製造装置の大型化を図ることができる。製造装置を大きくできるため、大型
基板上に製造できる。そのため、同時に多くの個数の表示装置を製造できるため、低コス
トで製造できる。さらに、製造温度が低いため、耐熱性の弱い基板を用いることができる
。そのため、透明基板上にトランジスタを製造できる。そして、透明な基板上のトランジ
スタを用いて表示素子での光の透過を制御することが出来る。あるいは、トランジスタの
膜厚が薄いため、トランジスタを構成する膜の一部は、光を透過させることが出来る。そ
のため、開口率が向上させることができる。
In addition, various types of transistors can be used as the transistors described in this document (specification, claims, drawings, etc.). Therefore, there is no limitation on the type of transistor used. For example, a thin film transistor (TFT) having a non-single crystal semiconductor film typified by amorphous silicon, polycrystalline silicon, microcrystalline (also called microcrystal or semi-amorphous) silicon, etc. can be used. When a TFT is used, there are various advantages. For example, since it can be manufactured at a lower temperature than in the case of single crystal silicon, it is possible to reduce the manufacturing cost or increase the size of the manufacturing equipment. Since the manufacturing equipment can be enlarged, it can be manufactured on a large substrate. Therefore, since a large number of display devices can be manufactured at the same time, it can be manufactured at low cost. Furthermore, since the manufacturing temperature is low, a substrate with low heat resistance can be used. Therefore, a transistor can be manufactured on a transparent substrate. Then, the transmission of light in a display element can be controlled by using a transistor on a transparent substrate. Alternatively, since the film thickness of the transistor is thin, a part of the film constituting the transistor can transmit light. Therefore, the aperture ratio can be improved.

なお、多結晶シリコンを製造するときに、触媒(ニッケルなど)を用いることにより、結
晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。その
結果、ゲートドライバ回路(走査線駆動回路)やソースドライバ回路(信号線駆動回路)
、信号処理回路(信号生成回路、ガンマ補正回路、DA変換回路など)を基板上に一体形
成することが出来る。
In addition, by using a catalyst (such as nickel) when manufacturing polycrystalline silicon, it is possible to further improve the crystallinity and manufacture transistors with good electrical characteristics. As a result, it is possible to manufacture transistors with good electrical characteristics such as gate driver circuits (scanning line driver circuits) and source driver circuits (signal line driver circuits).
Signal processing circuits (signal generation circuits, gamma correction circuits, DA conversion circuits, etc.) can be integrally formed on the substrate.

なお、微結晶シリコンを製造するときに、触媒(ニッケルなど)を用いることにより、結
晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。この
とき、レーザーを用いず、熱処理を加えるだけで、結晶性を向上させることができる。そ
の結果、ゲートドライバ回路(走査線駆動回路)やソースドライバ回路の一部(アナログ
スイッチなど)を基板上に一体形成することが出来る。さらに、結晶化のためにレーザー
を用いない場合は、シリコンの結晶性のムラを抑えることができる。そのため、綺麗な画
像を表示することが出来る。
In addition, by using a catalyst (such as nickel) when manufacturing microcrystalline silicon, it is possible to further improve the crystallinity and manufacture transistors with good electrical properties. In this case, the crystallinity can be improved by simply applying heat treatment without using a laser. As a result, the gate driver circuit (scanning line driving circuit) and part of the source driver circuit (such as an analog switch) can be integrally formed on the substrate. Furthermore, when a laser is not used for crystallization, unevenness in the crystallinity of the silicon can be suppressed. Therefore, a beautiful image can be displayed.

ただし、触媒(ニッケルなど)を用いずに、多結晶シリコンや微結晶シリコンを製造する
ことは可能である。
However, it is possible to produce polycrystalline silicon or microcrystalline silicon without using a catalyst (such as nickel).

または、半導体基板やSOI基板などを用いてトランジスタを形成することが出来る。こ
れらにより、特性やサイズや形状などのバラツキが少なく、電流供給能力が高く、サイズ
の小さいトランジスタを製造することができる。これらのトランジスタを用いると、回路
の低消費電力化、又は回路の高集積化を図ることができる。
Alternatively, transistors can be formed using a semiconductor substrate, an SOI substrate, or the like. This makes it possible to manufacture transistors that have little variation in characteristics, size, shape, and the like, have a high current supply capability, and are small in size. By using these transistors, it is possible to reduce the power consumption of a circuit or to increase the integration density of the circuit.

または、ZnO、a-InGaZnO、SiGe、GaAs、IZO、ITO、SnOな
どの化合物半導体または酸化物半導体を有するトランジスタや、さらに、これらの化合物
半導体または酸化物半導体を薄膜化した薄膜トランジスタなどを用いることが出来る。こ
れらにより、製造温度を低くでき、例えば、室温でトランジスタを製造することが可能と
なる。その結果、耐熱性の低い基板、例えばプラスチック基板やフィルム基板に直接トラ
ンジスタを形成することが出来る。なお、これらの化合物半導体または酸化物半導体を、
トランジスタのチャネル部分に用いるだけでなく、それ以外の用途で用いることも出来る
。例えば、これらの化合物半導体または酸化物半導体を抵抗素子、画素電極、透明電極と
して用いることができる。さらに、それらをトランジスタと同時に成膜又は形成できるた
め、コストを低減できる。
Alternatively, a transistor having a compound semiconductor or oxide semiconductor such as ZnO, a-InGaZnO, SiGe, GaAs, IZO, ITO, or SnO, or a thin film transistor formed by thinning these compound semiconductors or oxide semiconductors, can be used. This allows the manufacturing temperature to be lowered, and it becomes possible to manufacture a transistor at room temperature, for example. As a result, a transistor can be formed directly on a substrate with low heat resistance, such as a plastic substrate or a film substrate. It should be noted that these compound semiconductors or oxide semiconductors can be formed by:
They can be used not only for the channel portion of a transistor, but also for other purposes. For example, these compound semiconductors or oxide semiconductors can be used as resistor elements, pixel electrodes, and transparent electrodes. Furthermore, they can be formed or deposited simultaneously with transistors, which reduces costs.

または、インクジェットや印刷法を用いて形成したトランジスタなどを用いることが出来
る。これらにより、室温で製造、低真空度で製造、又は大型基板上に製造することができ
る。また、マスク(レチクル)を用いなくても製造することが可能となるため、トランジ
スタのレイアウトを容易に変更することが出来る。さらに、レジストを用いる必要がない
ので、材料費が安くなり、工程数を削減できる。さらに、必要な部分にのみ膜を付けるた
め、全面に成膜した後でエッチングする、という製法よりも、材料が無駄にならず、低コ
ストにできる。
Alternatively, transistors formed using an inkjet or printing method can be used. These methods allow manufacturing at room temperature, at a low vacuum, or on a large substrate. In addition, since manufacturing is possible without using a mask (reticle), the layout of the transistors can be easily changed. Furthermore, since there is no need to use a resist, material costs are reduced and the number of steps can be reduced. Furthermore, since a film is applied only to the necessary parts, materials are not wasted and costs can be reduced compared to a manufacturing method in which a film is formed on the entire surface and then etched.

または、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトランジスタ等を用いることができ
る。これらにより、曲げることが可能な基板上にトランジスタを形成することが出来る。
そのため、衝撃に強くできる。
Alternatively, a transistor having an organic semiconductor or a carbon nanotube can be used, which allows a transistor to be formed on a bendable substrate.
This makes it resistant to impacts.

さらに、様々な構造のトランジスタを用いることができる。例えば、MOS型トランジス
タ、接合型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどを本書類(明細書、特許請求の範
囲又は図面など)に記載されたトランジスタとして用いることが出来る。MOS型トラン
ジスタを用いることにより、トランジスタのサイズを小さくすることが出来る。よって、
多数のトランジスタを搭載することができる。バイポーラトランジスタを用いることによ
り、大きな電流を流すことが出来る。よって、高速に回路を動作させることができる。
Furthermore, transistors of various structures can be used. For example, MOS transistors, junction transistors, bipolar transistors, etc. can be used as the transistors described in this document (specification, claims, drawings, etc.). By using MOS transistors, the size of the transistors can be reduced. Therefore,
A large number of transistors can be mounted. By using bipolar transistors, a large current can be passed, allowing the circuit to operate at high speed.

なお、MOS型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどを1つの基板に混在させて形
成してもよい。これにより、低消費電力、小型化、高速動作などを実現することが出来る
It is also possible to form a mixture of MOS transistors and bipolar transistors on one substrate, thereby achieving low power consumption, miniaturization, high speed operation, and the like.

その他、様々なトランジスタを用いることができる。 Various other transistors can also be used.

なお、トランジスタが形成されている基板の種類は、様々なものを用いることができ、特
定のものに限定されることはない。トランジスタが形成される基板としては、例えば、単
結晶基板、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、紙基板、セロファン
基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポ
リウレタン、ポリエステル)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生
ポリエステル)などを含む)、皮革基板、ゴム基板、ステンレス・スチル基板、ステンレ
ス・スチル・ホイルを有する基板などを用いることが出来る。あるいは、人などの動物の
皮膚(皮表、真皮)又は皮下組織を基板として用いてもよい。または、ある基板でトラン
ジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置し、別の基板上にトランジスタ
を配置してもよい。トランジスタが転置される基板としては、単結晶基板、SOI基板、
ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、紙基板、セロファン基板、石材基板、、木材
基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエス
テル)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを
含む)、皮革基板、ゴム基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを
有する基板などを用いることができる。あるいは、人などの動物の皮膚(皮表、真皮)又
は皮下組織を基板として用いてもよい。または、ある基板でトランジスタを形成し、その
基板を研磨して薄くしてもよい。研磨される基板としては、単結晶基板、SOI基板、ガ
ラス基板、石英基板、プラスチック基板、紙基板、セロファン基板、石材基板、、木材基
板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステ
ル)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含
む)、皮革基板、ゴム基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有
する基板などを用いることができる。あるいは、人などの動物の皮膚(皮表、真皮)又は
皮下組織を基板として用いてもよい。これらの基板を用いることにより、特性のよいトラ
ンジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性
の付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
The type of substrate on which the transistors are formed may be of various types and is not limited to a specific type. Examples of the substrate on which the transistors are formed include single crystal substrates, SOI substrates, glass substrates, quartz substrates, plastic substrates, paper substrates, cellophane substrates, stone substrates, wood substrates, cloth substrates (including natural fibers (silk, cotton, hemp), synthetic fibers (nylon, polyurethane, polyester), or regenerated fibers (acetate, cupra, rayon, regenerated polyester)), leather substrates, rubber substrates, stainless steel substrates, and substrates having stainless steel foil. Alternatively, the skin (skin surface, dermis) or subcutaneous tissue of an animal such as a human may be used as the substrate. Alternatively, a transistor may be formed on a certain substrate, and then the transistor may be transferred to another substrate, and the transistor may be disposed on the other substrate. Examples of the substrate on which the transistors are transferred include single crystal substrates, SOI substrates,
A glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, a paper substrate, a cellophane substrate, a stone substrate, a wood substrate, a cloth substrate (including natural fibers (silk, cotton, hemp), synthetic fibers (nylon, polyurethane, polyester) or regenerated fibers (acetate, cupra, rayon, regenerated polyester) or the like), a leather substrate, a rubber substrate, a stainless steel substrate, a substrate having stainless steel foil, or the like can be used. Alternatively, the skin (skin epidermis, dermis) or subcutaneous tissue of an animal such as a human may be used as the substrate. Alternatively, a transistor may be formed on a substrate, and the substrate may be polished to make it thinner. Substrates to be polished include a single crystal substrate, an SOI substrate, a glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, a paper substrate, a cellophane substrate, a stone substrate, a wood substrate, a cloth substrate (including natural fibers (silk, cotton, hemp), synthetic fibers (nylon, polyurethane, polyester) or regenerated fibers (acetate, cupra, rayon, regenerated polyester) or the like), a leather substrate, a rubber substrate, a stainless steel substrate, a substrate having stainless steel foil, or the like can be used. Alternatively, the skin (skin surface, dermis) or subcutaneous tissue of an animal such as a human may be used as the substrate. By using such a substrate, it is possible to form a transistor with good characteristics, form a transistor with low power consumption, manufacture a device that is not easily broken, impart heat resistance, and reduce the weight or thickness of the device.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)において、接続されているとは
、電気的に接続されていることと同義である。したがって、本発明が開示する構成におい
て、所定の接続関係に加え、その間に電気的な接続を可能とする他の素子(例えば、別の
素子やスイッチなど)が配置されていてもよい。
In this document (such as the specification, claims, or drawings), being connected is synonymous with being electrically connected. Therefore, in the configuration disclosed in this invention, in addition to a predetermined connection relationship, other elements (such as another element or a switch) that enable electrical connection may be disposed between the predetermined connection relationships.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)に示すスイッチは、様々な形態
のものを用いることができ、一例として、電気的スイッチや機械的なスイッチなどがある
。つまり、電流の流れを制御できるものであればよく、特定のものに限定されず、様々な
ものを用いることができる。例えば、トランジスタでもよいし、ダイオード(例えば、P
Nダイオード、PINダイオード、ショットキーダイオード、ダイオード接続のトランジ
スタなど)でもよいし、サイリスタでもよいし、それらを組み合わせた論理回路でもよい
。よって、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、そのトランジスタは、単なるスイ
ッチとして動作するため、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。ただし、
オフ電流が少ない方が望ましい場合、オフ電流が少ない方の極性のトランジスタを用いる
ことが望ましい。オフ電流が少ないトランジスタとしては、LDD領域を設けているもの
やマルチゲート構造にしているもの等がある。また、スイッチとして動作させるトランジ
スタのソース端子の電位が、低電位側電源(VSS、GND、0Vなど)に近い状態で動
作する場合はNチャネル型を、反対に、ソース端子の電位が、高電位側電源(VDDなど
)に近い状態で動作する場合はPチャネル型を用いることが望ましい。なぜなら、ゲート
・ソース間電圧の絶対値を大きくできるため、スイッチとして機能しやすいからである。
なお、Nチャネル型とPチャネル型の両方を用いて、CMOS型のスイッチにしてもよい
。CMOS型のスイッチにすると、Pチャネル型かNチャネル型かのいずれかのスイッチ
が導通すれば電流を流すことができるため、スイッチとして機能しやすくなる。例えば、
スイッチへの入力信号の電圧が高い場合でも、低い場合でも、適切に電圧を出力させるこ
とが出来る。また、スイッチをオン・オフさせるための信号の電圧振幅値を小さくするこ
とが出来るので、消費電力を小さくすることも出来る。
The switches shown in this document (specification, claims, drawings, etc.) may be of various types, such as electrical switches and mechanical switches. In other words, as long as they can control the flow of current, they are not limited to a specific type and may be of various types. For example, they may be transistors or diodes (e.g., P
The switch may be a transistor (such as an N-type diode, a PIN diode, a Schottky diode, or a diode-connected transistor), a thyristor, or a logic circuit that combines these. Therefore, when a transistor is used as a switch, the transistor operates simply as a switch, and therefore the polarity (conductivity type) of the transistor is not particularly limited. However,
When a smaller off-current is desired, it is preferable to use a transistor having a polarity with a smaller off-current. Examples of transistors with a smaller off-current include transistors with an LDD region and transistors with a multi-gate structure. In addition, when the potential of the source terminal of a transistor operated as a switch is close to a low-potential power supply (VSS, GND, 0V, etc.), it is preferable to use an N-channel type, and conversely, when the potential of the source terminal is close to a high-potential power supply (VDD, etc.), it is preferable to use a P-channel type. This is because the absolute value of the gate-source voltage can be increased, making it easier to function as a switch.
It is also possible to use both N-channel and P-channel switches to form a CMOS switch. When a CMOS switch is used, a current can flow if either the P-channel or N-channel switch is conductive, making it easier to function as a switch. For example,
Whether the voltage of the input signal to the switch is high or low, the appropriate voltage can be output.In addition, the voltage amplitude of the signal for turning the switch on and off can be reduced, which also reduces power consumption.

なお、本書類(明細書、特許請求の範囲または図面など)において、ある物の上に形成さ
れている、あるいは、~上に形成されている、というように、~の上に、あるいは、~上
に、という記載については、ある物の上に直接接していることに限定されない。直接接し
てはいない場合、つまり、間に別のものが挟まっている場合も含むものとする。従って例
えば、層Aの上に(もしくは層A上に)、層Bが形成されている、という場合は、層Aの
上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して別の層(例えば層C
や層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層Bが形成されている場合とを含む
ものとする。また、~の上方に、という記載についても同様であり、ある物の上に直接接
していることに限定されず、間に別のものが挟まっている場合も含むものとする。従って
例えば、層Aの上方に、層Bが形成されている、という場合は、層Aの上に直接接して層
Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形
成されていて、その上に直接接して層Bが形成されている場合とを含むものとする。なお
、~の下に、あるいは、~の下方に、の場合についても、同様であり、直接接している場
合と、接していない場合とを含むこととする。
In this document (specification, claims, drawings, etc.), the words "formed on" or "formed on" do not necessarily mean that the material is directly on top of the material. They also include cases where the material is not directly on top of the material, that is, where another material is sandwiched between the material and the material. Thus, for example, when layer B is formed on layer A (or on layer A), it means that layer B is formed on layer A in direct contact with the material, and layer A is formed on layer A in direct contact with another material (e.g. layer C).
This includes cases where a layer (such as layer C or layer D) is formed on top of and layer B is formed directly on top of it. Similarly, the description "above" is not limited to being directly on top of a certain object, but also includes cases where another object is sandwiched between them. Thus, for example, when it is said that layer B is formed above layer A, it includes cases where layer B is formed directly on top of layer A and cases where another layer (such as layer C or layer D) is formed directly on top of layer A and layer B is formed directly on top of that. The same is true for the cases of "below" or "under" and includes cases where the layers are directly on top of each other and cases where they are not in contact.

本発明により、トランジスタの閾値電圧のばらつきに起因する電流値のばらつきを抑制す
ることができる。そのため、発光素子をはじめとする負荷に所望の電流を供給することが
できる。特に、負荷として発光素子を用いる場合、本発明の表示装置では、トランジスタ
の閾値電圧のばらつきを補償することができるため、発光素子に流れる電流がトランジス
タの閾値電圧に依存しない形で決定される。これにより、発光素子の輝度のばらつきを低
減させることができ、表示装置の画質を向上させることができる。
According to the present invention, it is possible to suppress the variation in current value caused by the variation in threshold voltage of the transistor. Therefore, it is possible to supply a desired current to a load including a light-emitting element. In particular, when a light-emitting element is used as a load, the display device of the present invention can compensate for the variation in threshold voltage of the transistor, so that the current flowing through the light-emitting element is determined in a manner independent of the threshold voltage of the transistor. This makes it possible to reduce the variation in luminance of the light-emitting element, thereby improving the image quality of the display device.

本発明の表示装置における画素の基本構成の一例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an example of a basic configuration of a pixel in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素の基本構成の一例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an example of a basic configuration of a pixel in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。3A to 3C are diagrams illustrating the operation of a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。3A to 3C are diagrams illustrating the operation of a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。3A to 3C are diagrams illustrating the operation of a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。4A and 4B are diagrams illustrating a timing chart of a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。3A to 3C are diagrams illustrating the operation of a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。3A to 3C are diagrams illustrating the operation of a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素回路のタイミングチャートについて説明する図。FIG. 4 is a timing chart for explaining a pixel circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素構成のレイアウトの一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a layout of a pixel configuration in a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成例を示す図。FIG. 1 illustrates a configuration example of a display device of the present invention. 本発明の表示装置における走査線駆動回路の構成例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of a scanning line driver circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置における信号線駆動回路の構成例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of a signal line driver circuit in a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成例を示す図。FIG. 1 illustrates a configuration example of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成例を示す図。FIG. 1 illustrates a configuration example of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成例を示す図。FIG. 1 illustrates a configuration example of a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いる表示パネルの構成の一例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of a display panel used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いる発光素子の構成の一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of the structure of a light-emitting element used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。FIG. 1 illustrates an example of a configuration of a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの構造を示す図。1A to 1C are diagrams illustrating a structure of a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。2A to 2C are diagrams illustrating a method for manufacturing a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。2A to 2C are diagrams illustrating a method for manufacturing a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。2A to 2C are diagrams illustrating a method for manufacturing a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。2A to 2C are diagrams illustrating a method for manufacturing a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。2A to 2C are diagrams illustrating a method for manufacturing a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。2A to 2C are diagrams illustrating a method for manufacturing a transistor used in a display device of the present invention. 本発明の表示装置を制御するハードウェアの一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of hardware for controlling a display device of the present invention. 本発明の表示装置を用いたELモジュールの一例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an example of an EL module using a display device of the present invention. 本発明の表示装置を用いた表示パネルの構成例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a display panel using a display device of the present invention. 本発明の表示装置を用いた表示パネルの構成例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a display panel using a display device of the present invention. 本発明の表示装置を用いたELテレビ受像機の一例を示す図。FIG. 13 is a diagram showing an example of an EL television receiver using a display device of the present invention. 本発明の表示装置が適用される電子機器の一例を示す図。1A to 1C are diagrams illustrating examples of electronic devices to which a display device of the present invention is applied. 従来の画素構成を示す図。FIG. 1 shows a conventional pixel configuration.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は多く
の異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱すること
なくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。した
がって、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
Hereinafter, the embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, it will be easily understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in many different forms, and that the form and details can be modified in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be interpreted as being limited to the description of the present embodiment.

(実施の形態1)
まず、本実施形態の表示装置における画素回路の基本的構成について、図3を用いて説明
する。なお、発光素子として、EL素子を例に挙げて説明する。
(Embodiment 1)
First, the basic configuration of a pixel circuit in the display device of this embodiment will be described with reference to Fig. 3. Note that the description will be given taking an EL element as an example of a light emitting element.

図1は、本実施形態の画素構成の中で、ビデオ信号電圧及びトランジスタの閾値電圧に基
づいた電圧を取得するための回路構成を示した図である。図1は、第1及び第2のトラン
ジスタ101、102、保持容量103、走査線104、信号線105、電源線106、
容量線107、発光素子108から構成されている。
1 is a diagram showing a circuit configuration for acquiring a voltage based on a video signal voltage and a threshold voltage of a transistor in the pixel configuration of this embodiment. FIG. 1 shows first and second transistors 101 and 102, a storage capacitor 103, a scanning line 104, a signal line 105, a power supply line 106,
It is composed of a capacitance line 107 and a light emitting element 108 .

なお、図1では、第1及び第2のトランジスタ101、102はともにPチャネル型とし
ている。
In FIG. 1, the first and second transistors 101 and 102 are both P-channel transistors.

第1のトランジスタ101は、ゲート電極が、第2のトランジスタ102の第2の電極、
及び保持容量103の第1の電極に接続され、第1の電極は、信号線105に接続され、
第2の電極は、第2のトランジスタ102の第1の電極に接続されている。第2のトラン
ジスタ102は、ゲート電極が、走査線104に接続されている。保持容量103は、第
2の電極が、容量線107に接続されている。発光素子は、第2の電極が、電源線106
に接続されている。
The gate electrode of the first transistor 101 is connected to the second electrode of the second transistor 102.
and a first electrode of a storage capacitor 103, the first electrode of which is connected to a signal line 105;
The second electrode of the second transistor 102 is connected to a first electrode of the second transistor 102. The gate electrode of the second transistor 102 is connected to a scanning line 104. The second electrode of the storage capacitor 103 is connected to a capacitor line 107. The second electrode of the light-emitting element is connected to a power supply line 106.
is connected to

また、信号線105には、ビデオ信号電圧Vdataが印加され、容量線107には、電
位VCLが印加される。なお、電位の大小関係は、Vdata>VCLとする。また、電
源線106には、電源電位VSSが印加される。
A video signal voltage Vdata is applied to the signal line 105, and a potential VCL is applied to the capacitance line 107. The magnitude relationship between the potentials is Vdata > VCL . A power supply potential VSS is applied to the power supply line .

ここで、第1のトランジスタ101は、発光素子108に電流を供給する機能を有する。
また、第2のトランジスタは、第1のトランジスタ101をダイオード接続の状態にする
スイッチとしての機能を有する。
Here, the first transistor 101 has a function of supplying a current to the light-emitting element 108 .
In addition, the second transistor functions as a switch that puts the first transistor 101 into a diode-connected state.

なお、本明細書中で、ダイオード接続とは、トランジスタのゲート電極と第1もしくは第
2の電極とが接続された状態を指す。
In this specification, the term "diode connection" refers to a state in which the gate electrode and the first or second electrode of a transistor are connected.

図1に示した画素回路において、第2のトランジスタ102をオンさせることにより、第
1のトランジスタ101はダイオード接続の状態となり、保持容量103に電流が流れ、
保持容量103が充電される。保持容量103の充電は、保持容量103に保持される電
圧が、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ101の閾値電圧|Vth|と容
量線107の電位VCLとの差Vdata-|Vth|-VCLになるまで続き、保持容
量103に保持される電圧がVdata-|Vth|-VCLになると第1のトランジス
タ101はオフし、保持容量103に電流が流れなくなる。
In the pixel circuit shown in FIG. 1, when the second transistor 102 is turned on, the first transistor 101 is brought into a diode-connected state, and a current flows through the storage capacitor 103.
The storage capacitor 103 is charged. The charging of the storage capacitor 103 continues until the voltage stored in the storage capacitor 103 becomes a difference V data - |V th |-V CL between the video signal voltage V data , the threshold voltage |V th | of the first transistor 101, and the potential V CL of the capacitance line 107. When the voltage stored in the storage capacitor 103 becomes V data - |V th | -V CL , the first transistor 101 is turned off and no current flows through the storage capacitor 103.

以上の動作により、保持容量103に、ビデオ信号電圧Vdata及び第1のトランジス
タ101の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持することができる。
Through the above operation, a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 101 can be held in the storage capacitor 103 .

また、第1のトランジスタがNチャネル型の場合において、第1のトランジスタの閾値電
圧を取得するための回路構成を図2に示す。
FIG. 2 shows a circuit configuration for acquiring the threshold voltage of the first transistor when the first transistor is an n-channel transistor.

図2は、第1及び第2のトランジスタ201、202、保持容量203、走査線204、
信号線205、電源線206、容量線207、発光素子208から構成されている。
FIG. 2 shows a first and second transistors 201 and 202, a storage capacitor 203, a scanning line 204,
It is composed of a signal line 205 , a power line 206 , a capacitance line 207 , and a light emitting element 208 .

なお、図2では、第2のトランジスタ202は、Nチャネル型としている。 Note that in FIG. 2, the second transistor 202 is an N-channel type.

なお、信号線205には、ビデオ信号電圧Vdataが印加され、容量線207には、電
位VCLが印加される。なお、電位の大小関係は、VCL>Vdataとする。また、電
源線206には、電源電位VDDが印加される。
A video signal voltage V data is applied to the signal line 205, and a potential V CL is applied to the capacitance line 207. The magnitude relationship of the potentials is V CL >V data . A power supply potential VDD is applied to the power supply line 206.

図2に示した画素回路において、第2のトランジスタ202をオンさせることにより、第
1のトランジスタ201はダイオード接続の状態となり、保持容量203に電流が流れ、
保持容量203が充電される。保持容量203の充電は、保持容量203に保持される電
圧が、容量線207の電位VCLとビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ20
1の閾値電圧|Vth|との差VCL-Vdata-|Vth|になるまで続き、保持容
量203に保持される電圧がVCL-Vdata-|Vth|になると第1のトランジス
タ201はオフし、保持容量203に電流が流れなくなる。
In the pixel circuit shown in FIG. 2, when the second transistor 202 is turned on, the first transistor 201 is brought into a diode-connected state, and a current flows through the storage capacitor 203.
The storage capacitor 203 is charged. The voltage stored in the storage capacitor 203 is determined by the potential VCL of the capacitance line 207, the video signal voltage Vdata , and the potential Vcc of the first transistor 20
This continues until the voltage held in the storage capacitor 203 becomes V CL - V data - |V th |, which is the difference between the threshold voltage |V th | of the first transistor 201 and the threshold voltage |V th | of the first transistor 201 . When the voltage held in the storage capacitor 203 becomes V CL - V data - |V th |, the first transistor 201 is turned off and no current flows through the storage capacitor 203 .

以上の動作により、保持容量203に、ビデオ信号電圧Vdata及び第1のトランジス
タ101の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持することができる。
Through the above operation, a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 101 can be held in the storage capacitor 203 .

なお、図1及び図2において、第2のトランジスタは、第1のトランジスタをダイオード
接続の状態にするスイッチとしての機能を有する。よって、第2のトランジスタの代わり
に、スイッチとしての機能を有する別の素子を用いてもよい。例えば、ダイオード(例え
ば、PNダイオード、PINダイオード、ショットキーダイオード、ダイオード接続のト
ランジスタなど)でもよいし、サイリスタでもよいし、それらを組み合わせた論理回路で
もよい。
1 and 2, the second transistor functions as a switch that puts the first transistor into a diode-connected state. Therefore, instead of the second transistor, another element having a switch function may be used. For example, a diode (e.g., a PN diode, a PIN diode, a Schottky diode, a diode-connected transistor, etc.), a thyristor, or a logic circuit combining these may be used.

次に、図1もしくは図2に示した基本的な回路構成を有する本実施形態の画素構成につい
て説明する。なお、発光素子として、EL素子を例に挙げて説明する。
Next, a description will be given of a pixel configuration of this embodiment having the basic circuit configuration shown in Fig. 1 or 2. Note that the description will be given taking an EL element as an example of a light emitting element.

図3は、本実施形態の画素回路の回路図を示す図である。本実施形態の画素回路は、第1
~第5のトランジスタ301~305、保持容量306、信号線307、第1~第4の走
査線308~311、第1及び第2の電源線312、313、容量線314、発光素子3
15などから構成されている。
FIG. 3 is a circuit diagram of a pixel circuit according to the present embodiment.
1 to 5 transistors 301 to 305, a storage capacitor 306, a signal line 307, first to fourth scanning lines 308 to 311, first and second power supply lines 312 and 313, a capacitor line 314, and a light-emitting element 3
It consists of 15 etc.

ここで、第1のトランジスタ301は、発光素子316に電流を供給するトランジスタと
して用いられ、第2~第5のトランジスタ302~305は、配線を接続するかしないか
を選択するスイッチとして用いられる。
Here, the first transistor 301 is used as a transistor for supplying a current to a light emitting element 316, and the second to fifth transistors 302 to 305 are used as switches for selecting whether or not a wiring is connected.

第1のトランジスタ301は、ゲート電極が、第4のトランジスタ304の第2の電極、
及び保持容量306の第1の電極に接続され、第1の電極が、第2のトランジスタ302
の第2の電極、及び第3のトランジスタ303の第2の電極に接続され、第2の電極が、
第4のトランジスタ304の第1の電極、及び第5のトランジスタ305の第1の電極に
接続されている。第2のトランジスタ302は、ゲート電極が、第1の走査線308に接
続され、第1の電極が、信号線307に接続されている。第3のトランジスタ303は、
ゲート電極が、第2の走査線309に接続され、第1の電極が、第1の電源線312に接
続されている。第4のトランジスタ304は、ゲート電極が、第3の走査線310に接続
されている。第5のトランジスタ305は、ゲート電極が、第4の走査線311に接続さ
れ、第2の電極が、発光素子315の第1の電極に接続されている。保持容量306は、
第2の電極が、容量線314に接続されている。発光素子315は、第2の電極が、第2
の電源線313に接続されている。
The gate electrode of the first transistor 301 is connected to the second electrode of the fourth transistor 304.
and a first electrode of the storage capacitor 306, the first electrode of which is connected to the second transistor 302.
and a second electrode of the third transistor 303,
The second transistor 302 has a gate electrode connected to a first scanning line 308 and a first electrode connected to a signal line 307. The third transistor 303 has a gate electrode connected to a first scanning line 308 and a first electrode connected to a signal line 307.
The gate electrode of the fourth transistor 304 is connected to the second scanning line 309, and the first electrode of the fourth transistor 304 is connected to the third scanning line 310. The gate electrode of the fifth transistor 305 is connected to the fourth scanning line 311, and the second electrode of the fifth transistor 305 is connected to the first electrode of the light-emitting element 315. The storage capacitor 306 is
The second electrode of the light emitting element 315 is connected to the capacitance line 314.
is connected to the power supply line 313.

また、第1の電源線312には、電源電位VDDが印加され、第2の電源線313には、
電源電位VSSが印加され、容量線314には、電位VCLが印加される。なお、電位の
大小関係は、VDD>VSS、VDD>VCLとする。
A power supply potential VDD is applied to the first power supply line 312, and a power supply potential VDD is applied to the second power supply line 313.
A power supply potential VSS is applied to the capacitor line 314, and a potential VCL is applied to the capacitor line 314. The magnitude relationships of the potentials are VDD>VSS and VDD> VCL .

なお、図3に示した画素回路では、第1~第5のトランジスタ301~305は全てPチ
ャネル型としている。
In the pixel circuit shown in FIG. 3, the first to fifth transistors 301 to 305 are all P-channel transistors.

なお、図3における第1のトランジスタ301は、図1における第1のトランジスタ10
1に対応する。また、図3における第4のトランジスタ304は、図1における第2のト
ランジスタ102に対応する。また、図3における第2の電源線313は、図1における
電源線106に対応する。
Note that the first transistor 301 in FIG. 3 corresponds to the first transistor 10 in FIG.
1. Moreover, a fourth transistor 304 in Fig. 3 corresponds to the second transistor 102 in Fig. 1. Moreover, a second power supply line 313 in Fig. 3 corresponds to the power supply line 106 in Fig. 1.

次に、本実施形態の画素回路の動作について、図4~図7を用いて説明する。 Next, the operation of the pixel circuit of this embodiment will be explained using Figures 4 to 7.

図4は、信号線307及び第1~第4の走査線308~311に入力されるビデオ信号電
圧及びパルスのタイミングチャートを示しており、図5~図7に示す画素回路の各動作に
合わせて、第1~第3の期間T1~T3の3つの期間に分割している。
FIG. 4 shows a timing chart of the video signal voltages and pulses input to the signal line 307 and the first to fourth scanning lines 308 to 311, which are divided into three periods, the first to third periods T1 to T3, in accordance with the operations of the pixel circuits shown in FIGS. 5 to 7.

また、図5~図7は、各期間における本実施形態の画素回路の接続状態を示す図である。
なお、図5~図7において、実線で示した箇所は導通しており、破線で示した箇所は導通
していないことを示す。
5 to 7 are diagrams showing the connection state of the pixel circuit in each period according to the present embodiment.
5 to 7, the solid lines indicate that the portions are electrically connected, and the dashed lines indicate that the portions are not electrically connected.

まず、第1の期間T1における画素回路の動作について、図5を用いて説明する。図5は
、第1の期間T1における画素回路の接続状態を示す図である。第1の期間T1では、第
2~第4の走査線309~311がLレベルとなり、第3~第5のトランジスタ303~
305がオンする。また、第1の走査線308がHレベルとなり、第2のトランジスタ3
02がオフする。これにより、第1のトランジスタ301はダイオード接続の状態となり
、発光素子315に電流が流れる。その結果、第1のトランジスタ301の第2の電極、
及び保持容量306の第1の電極の電位が下降し、保持容量306に、ある初期電圧が保
持される。
First, the operation of the pixel circuit in the first period T1 will be described with reference to Fig. 5. Fig. 5 is a diagram showing a connection state of the pixel circuit in the first period T1. In the first period T1, the second to fourth scanning lines 309 to 311 are at the L level, and the third to fifth transistors 303 to
Also, the first scanning line 308 becomes H level, and the second transistor 3
02 is turned off. As a result, the first transistor 301 is in a diode-connected state, and a current flows through the light-emitting element 315. As a result, the second electrode of the first transistor 301,
The potential of the first electrode of the storage capacitor 306 drops, and a certain initial voltage is stored in the storage capacitor 306 .

以上の動作により、第1の期間T1では、保持容量306に、ある初期電圧を保持する。
本明細書中では、この動作を初期化と呼ぶ。
By the above operation, a certain initial voltage is held in the storage capacitor 306 during the first period T1.
In this specification, this operation is called initialization.

次に、第2の期間T2における画素回路の動作について、図6を用いて説明する。図6は
、第2の期間T2における画素回路の接続状態を示す図である。第2の期間T2では、第
1及び第3の走査線308、310がLレベルとなり、第2及び第4のトランジスタ30
2、304がオンする。また、第2及び第4の走査線309、311がHレベルとなり、
第3及び第5のトランジスタ303、305がオフする。また、信号線307には、ビデ
オ信号電圧Vdataが印加される。これにより、第1のトランジスタ301の第2の電
極は、信号線307に接続されるとともに、第1のトランジスタ301はダイオード接続
の状態となり、保持容量306に電流が流れ、保持容量306が充電される。保持容量3
06の充電は、保持容量306に保持される電圧が、ビデオ信号電圧Vdataと第1の
トランジスタ301の閾値電圧|Vth|と容量線314の電位VCLとの差Vdata
-|Vth|-VCLになるまで続き、保持容量306に保持される電圧がVdata
|Vth|-VCLになると第1のトランジスタ301はオフし、保持容量306に電流
が流れなくなる。
Next, the operation of the pixel circuit in the second period T2 will be described with reference to Fig. 6. Fig. 6 is a diagram showing the connection state of the pixel circuit in the second period T2. In the second period T2, the first and third scanning lines 308 and 310 are at the L level, and the second and fourth transistors 30
The second and fourth scanning lines 309 and 311 are turned on.
The third and fifth transistors 303 and 305 are turned off. Also, a video signal voltage V data is applied to the signal line 307. As a result, the second electrode of the first transistor 301 is connected to the signal line 307, and the first transistor 301 is in a diode-connected state, so that a current flows through the storage capacitor 306, and the storage capacitor 306 is charged.
The charging of the capacitor 306 is performed when the voltage held in the holding capacitor 306 is a difference V data between the video signal voltage V data , the threshold voltage |V th | of the first transistor 301, and the potential V CL of the capacitance line 314.
This continues until the voltage held in the holding capacitor 306 becomes V data −|V th |−V CL .
When |V th |−V CL , the first transistor 301 is turned off and no current flows through the storage capacitor 306 .

以上の動作により、第2の期間T2では、保持容量306に、ビデオ信号電圧Vdata
及び第1のトランジスタ301の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持する。
By the above operation, in the second period T2, the video signal voltage V data is stored in the storage capacitor 306.
and holds a voltage based on the threshold voltage |V th | of the first transistor 301 .

なお、第2の期間T2で、保持容量306に、ビデオ信号電圧Vdata及び第1のトラ
ンジスタ301の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持するためには、予め、第1の
トランジスタ301の第2の電極の電位を、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジ
スタ301の閾値電圧|Vth|との差Vdata-|Vth|よりも低くしておかなけ
ればならない。したがって、第1の期間T1で発光素子315に電流を流すことにより、
第1のトランジスタ301の第2の電極の電位を確実にVdata-|Vth|よりも低
くすることができ、閾値電圧の取得を確実に行うことができるようになる。
In addition, in order to hold a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301 in the storage capacitor 306 during the second period T2, the potential of the second electrode of the first transistor 301 must be set in advance to be lower than the difference V data - |V th | between the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301. Therefore, by flowing a current to the light-emitting element 315 during the first period T1,
The potential of the second electrode of the first transistor 301 can be reliably set to be lower than V data - |V th |, so that the threshold voltage can be reliably obtained.

次に、第3の期間T3における画素回路の動作について、図7を用いて説明する。図7は
、第3の期間T3における画素回路の接続状態を示す図である。第3の期間T3では、第
2及び第4の走査線309、311がLレベルとなり、第3及び第5のトランジスタ30
3、305がオンする。また、第1及び第3の走査線308、310がHレベルとなり、
第2及び第4のトランジスタ302、304がオフする。これにより、第1のトランジス
タ301の第2の電極は、第1の電源線312に接続される。また、第1のトランジスタ
301のゲート電極には、期間T1で保持容量306に保持された電圧Vdata-|V
th|-VCLと容量線314の電位VCLとの和Vdata-|Vth|が加えられる
ため、期間T3での第1のトランジスタ301のゲート・ソース間電圧をVgs(T3)
とすると、Vgs(T3)は以下の(1)式のように表される。
Next, the operation of the pixel circuit in the third period T3 will be described with reference to Fig. 7. Fig. 7 is a diagram showing a connection state of the pixel circuit in the third period T3. In the third period T3, the second and fourth scanning lines 309 and 311 are at the L level, and the third and fifth transistors 30
Also, the first and third scanning lines 308 and 310 are at H level.
The second and fourth transistors 302 and 304 are turned off. As a result, the second electrode of the first transistor 301 is connected to the first power supply line 312. In addition, the gate electrode of the first transistor 301 is supplied with the voltage V data −|V
Since the sum V data -|V th | of the potential V CL of the capacitance line 314 and the potential V CL of the capacitance line 314 is added, the gate-source voltage of the first transistor 301 in the period T3 is V gs (T3)
Then, V gs (T3) is expressed by the following formula (1).

Figure 0007545454000001
Figure 0007545454000001

したがって、第1のトランジスタ301のドレイン・ソース間に流れる電流IOLED
以下の(2)式のように表され、この電流が第5のトランジスタ305を通って発光素子
315に流れ、発光素子315が発光する。
Therefore, the current IOLED flowing between the drain and source of the first transistor 301 is expressed by the following equation (2), and this current flows through the fifth transistor 305 to the light-emitting element 315, causing the light-emitting element 315 to emit light.

Figure 0007545454000002
Figure 0007545454000002

ただし、βは、トランジスタの移動度やサイズ、酸化膜による容量などで与えられる定数
である。
Here, β is a constant given by the mobility and size of the transistor, the capacitance of the oxide film, and the like.

以上の動作により、第3の期間T3では、発光素子315にビデオ信号電圧Vdata
依存した電流IOLEDを供給し、発光素子315を発光させる。
By the above operation, in the third period T3, a current IOLED that depends on the video signal voltage Vdata is supplied to the light emitting element 315, causing the light emitting element 315 to emit light.

ここで、図3に示した画素回路の動作過程において、第1~第5のトランジスタ301~
305が有する機能を改めて説明する。
In the operation process of the pixel circuit shown in FIG.
The functions of 305 will be explained again.

第1のトランジスタ301は、第3の期間T3で発光素子315に電流を供給する機能を
有する。
The first transistor 301 has a function of supplying a current to the light-emitting element 315 in the third period T3.

第2のトランジスタ302は、第2の期間T2でビデオ信号電圧Vdataを画素に入力
するために、第1のトランジスタ301の第1の電極と信号線307とを接続するスイッ
チとして機能する。
The second transistor 302 functions as a switch that connects the first electrode of the first transistor 301 and the signal line 307 in order to input a video signal voltage V data to the pixel in the second period T2.

第3のトランジスタ303は、第1及び第3の期間T1、T3で第1のトランジスタ30
1の第1の電極に、第1の電源線312の電位を印加するために、第1のトランジスタ3
01の第1の電極と第1の電源線312とを接続するスイッチとして機能する。
The third transistor 303 is connected to the first transistor 30
In order to apply the potential of the first power supply line 312 to the first electrode of the first transistor 3
01 and the first power supply line 312.

第4のトランジスタ304は、第2の期間T2で保持容量306に第1のトランジスタ3
01の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持するために、第1のトランジスタ301
をダイオード接続の状態にするスイッチとして機能する。
The fourth transistor 304 supplies the first transistor 3
01 threshold voltage |V th |, the first transistor 301
It functions as a switch that puts the

第5のトランジスタ305は、第1及び第3の期間T1、T3では発光素子315に電流
を流し、第2の期間T2で発光素子315に電流を流さないように動作する。つまり、発
光素子315への電流の供給を制御するために、第1のトランジスタ301の第2の電極
と発光素子315の第1の電極とを接続するスイッチとして機能する。
The fifth transistor 305 operates to pass a current to the light-emitting element 315 in the first and third periods T1 and T3, and not to pass a current to the light-emitting element 315 in the second period T2. That is, the fifth transistor 305 functions as a switch that connects the second electrode of the first transistor 301 and the first electrode of the light-emitting element 315 in order to control the supply of a current to the light-emitting element 315.

以上のような動作過程によって、発光素子315に電流IOLEDを供給し、発光素子3
15を電流IOLEDに応じた輝度で発光させることができる。このとき、(2)式に示
したように、発光素子315に流れる電流IOLEDは、第1のトランジスタ301の閾
値電圧|Vth|に依存しない形で表されるため、トランジスタの閾値電圧のばらつきを
補償することができる。
Through the above-described operation process, the current I OLED is supplied to the light emitting device 315, and the light emitting device 3
The light emitting element 315 can be made to emit light with a luminance corresponding to the current I OLED . At this time, as shown in the formula (2), the current I OLED flowing through the light emitting element 315 is expressed in a form independent of the threshold voltage |V th | of the first transistor 301, so that the variation in the threshold voltage of the transistor can be compensated for.

なお、第2の期間T2で、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ301の閾値
電圧|Vth|に基づいた電圧を保持容量306に保持できるようにし、かつ、第3の期
間T3で第1のトランジスタ301をオンさせるために、ビデオ信号電圧Vdataの範
囲をVCL+|Vth|<Vdata≦VDDとする。
Note that in order to enable a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301 to be held in the holding capacitor 306 in the second period T2 and to turn on the first transistor 301 in the third period T3, the range of the video signal voltage V data is set to V CL + |V th |<V data ≦VDD.

なお、容量線314の電位VCLは、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ3
01の閾値電圧|Vth|との差Vdata-|Vth|よりも低い電位であればよい。
なお、保持容量306に、ビデオ信号電圧Vdata及び第1のトランジスタ301の閾
値電圧|Vth|に基づいた電圧を確実に保持できるようにするために、容量線314の
電位VCLは、より低い方が望ましい。
The potential VCL of the capacitance line 314 is a voltage VCL between the video signal voltage Vdata and the first transistor 3
It is sufficient that the potential is lower than the difference V data - |V th | between the threshold voltage |V th | of 01 and the potential |V data - |V th |.
Note that in order to reliably hold a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301 in the storage capacitor 306, it is preferable that the potential V CL of the capacitance line 314 be lower.

図3で示した画素回路では、第1のトランジスタ301をPチャネル型としているが、第
1のトランジスタをNチャネル型としてもよい。ここで、第1のトランジスタをNチャネ
ル型とした場合の画素構成を、図8に示す。
3, the first transistor 301 is a P-channel transistor, but the first transistor may be an N-channel transistor. A pixel configuration in which the first transistor is an N-channel transistor is shown in FIG.

図8は、本実施形態の画素回路の回路図を示す図である。本実施形態の画素回路は、第1
~第5のトランジスタ801~805、保持容量806、信号線807、第1~第4の走
査線808~811、第1及び第2の電源線812、813、容量線814、発光素子8
15から構成されている。
FIG. 8 is a circuit diagram of a pixel circuit according to the present embodiment.
1 to 5 transistors 801 to 805, a storage capacitor 806, a signal line 807, first to fourth scanning lines 808 to 811, first and second power supply lines 812 and 813, a capacitor line 814, a light-emitting element 8
It consists of 15 parts.

なお、図8の画素回路では、第2~第5のトランジスタ802~805を全てNチャネル
型としている。
In the pixel circuit of FIG. 8, the second to fifth transistors 802 to 805 are all N-channel transistors.

ここで、第1のトランジスタ801は、発光素子815に電流を供給するトランジスタと
して用いられ、第2~第5のトランジスタ802~805は、配線を接続するかしないか
を選択するスイッチとして用いられる。
Here, the first transistor 801 is used as a transistor for supplying a current to a light emitting element 815, and the second to fifth transistors 802 to 805 are used as switches for selecting whether or not a wiring is connected.

第1のトランジスタ801は、ゲート電極が、第4のトランジスタ804の第2の電極、
及び保持容量806の第1の電極に接続され、第1の電極が、第2のトランジスタ802
の第2の電極、及び第3のトランジスタ803の第2の電極に接続され、第2の電極が、
第4のトランジスタ804の第1の電極、及び第5のトランジスタ805の第1の電極に
接続されている。第2のトランジスタ802は、ゲート電極が、第1の走査線808に接
続され、第1の電極が、信号線807に接続されている。第3のトランジスタ803は、
ゲート電極が、第2の走査線809に接続され、第1の電極が、第1の電源線812に接
続されている。第4のトランジスタ804は、ゲート電極が、第3の走査線810に接続
されている。第5のトランジスタ805は、ゲート電極が、第4の走査線811に接続さ
れ、第2の電極が、発光素子815の第2の電極に接続されている。保持容量806は、
第2の電極が、容量線814に接続されている。発光素子815は、第1の電極が、第2
の電源線813に接続されている。
The gate electrode of the first transistor 801 is connected to the second electrode of the fourth transistor 804.
and a first electrode of a storage capacitor 806, the first electrode of which is connected to the second transistor 802.
and a second electrode of the third transistor 803,
The second transistor 802 has a gate electrode connected to a first scanning line 808 and a first electrode connected to a signal line 807. The third transistor 803 has a gate electrode connected to a first scanning line 808 and a first electrode connected to a signal line 807.
The gate electrode of the fourth transistor 804 is connected to the second scanning line 809, and the first electrode of the fourth transistor 804 is connected to the third scanning line 810. The gate electrode of the fifth transistor 805 is connected to the fourth scanning line 811, and the second electrode of the fifth transistor 805 is connected to the second electrode of the light-emitting element 815. The storage capacitor 806 is
The second electrode is connected to a capacitor line 814.
is connected to the power supply line 813.

また、第1の電源線812には、電源電位VSSが印加され、第2の電源線813には、
電源電位VDDが印加され、容量線814には、電位VCLが印加される。なお、電位の
大小関係は、VDD>VSS、VCL>VSSとする。
A power supply potential VSS is applied to the first power supply line 812, and a power supply potential VSS is applied to the second power supply line 813.
A power supply potential VDD is applied to the capacitor line 814, and a potential VCL is applied to the capacitor line 814. Note that the magnitude relationship between the potentials is VDD>VSS and VCL >VSS.

なお、図8における第1のトランジスタ801は、図2における第1のトランジスタ20
1に対応する。また、図8における第4のトランジスタ804は、図2における第2のト
ランジスタ202に対応する。また、図8における第2の電源線813は、図2における
電源線206に対応する。
Note that the first transistor 801 in FIG. 8 is the same as the first transistor 20 in FIG.
2. A fourth transistor 804 in Fig. 8 corresponds to the second transistor 202 in Fig. 2. A second power supply line 813 in Fig. 8 corresponds to the power supply line 206 in Fig. 2.

次に、本実施形態の画素回路の動作について、図9を用いて説明する。 Next, the operation of the pixel circuit of this embodiment will be explained using FIG. 9.

図9は、信号線807及び第1~第4の走査線808~811に入力されるビデオ信号電
圧及びパルスのタイミングチャートを示す。第1~第5のトランジスタが全てNチャネル
型となったため、第1~第4の走査線808~811に入力されるパルスのタイミングに
ついては、全てのトランジスタがPチャネル型である場合(図4)に対してHレベル及び
Lレベルが反転している。また、画素回路の各動作に合わせて、第1~第3の期間T1~
T3の3つの期間に分割している。
9 shows a timing chart of the video signal voltage and pulses input to the signal line 807 and the first to fourth scanning lines 808 to 811. Since the first to fifth transistors are all N-channel type, the timing of the pulses input to the first to fourth scanning lines 808 to 811 is inverted in H and L levels compared to the case where all the transistors are P-channel type (FIG. 4). In addition, in accordance with the operation of each pixel circuit, the first to third periods T1 to
It is divided into three periods: T1, T2, T3, and T4.

第1~第3の期間T1~T3における図8の画素回路の動作は、図3に示した画素回路の
動作と同じである。つまり、第1の期間T1では、保持容量806に、ある初期電圧を保
持する。つまり、初期化を行う。次に、第2の期間T2では、保持容量806にビデオ信
号電圧Vdata及び第1のトランジスタ801の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を
保持する。そして、第3の期間T3では、発光素子815にビデオ信号電圧Vdata
依存した電流IOLEDを供給し、発光素子815を発光させる。なお、発光素子815
に流れる電流IOLEDは、以下の(3)式で表される。
8 in the first to third periods T1 to T3 is the same as the pixel circuit shown in FIG. 3. That is, in the first period T1, a certain initial voltage is held in the storage capacitor 806. In other words, initialization is performed. Next, in the second period T2, a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 801 is held in the storage capacitor 806. Then, in the third period T3, a current I OLED depending on the video signal voltage V data is supplied to the light-emitting element 815, causing the light-emitting element 815 to emit light. Note that the light-emitting element 815
The current I OLED flowing through the element is expressed by the following formula (3).

Figure 0007545454000003
Figure 0007545454000003

なお、第2の期間T2で、保持容量806に、ビデオ信号電圧Vdata及び第1のトラ
ンジスタ801の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持するためには、予め、第1の
トランジスタ801の第2の電極の電位を、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジ
スタ801の閾値電圧|Vth|との和Vdata+|Vth|よりも高くしておかなけ
ればならない。したがって、第1の期間T1で発光素子815に電流を流すことにより、
第1のトランジスタ801の第2の電極の電位を確実にVdata+|Vth|よりも高
くすることができ、閾値電圧の取得及び補償を確実に行うことができるようになる。
In addition, in order to hold a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 801 in the storage capacitor 806 during the second period T2, the potential of the second electrode of the first transistor 801 must be set higher than the sum V data +|V th | of the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 801. Therefore, by flowing a current to the light-emitting element 815 during the first period T1,
The potential of the second electrode of the first transistor 801 can be reliably set to be higher than V data +|V th |, so that the threshold voltage can be reliably obtained and compensated for.

なお、図8に示した画素回路の動作過程において、第1~第5のトランジスタ801~8
05が有する機能は、それぞれ、図3に示した画素回路における第1~第5のトランジス
タ301~305と同じ機能を有する。
In the operation process of the pixel circuit shown in FIG.
The functions of the first to fifth transistors 301 to 305 are the same as those of the first to fifth transistors 301 to 305 in the pixel circuit shown in FIG.

以上のような動作過程によって、発光素子815に電流IOLEDを供給し、発光素子8
15を電流IOLEDに応じた輝度で発光させることができる。このとき、(3)式に示
したように、発光素子815に流れる電流IOLEDは、第1のトランジスタ801の閾
値電圧|Vth|に依存しない形で表されるため、トランジスタの閾値電圧のばらつきを
補償することができる。
Through the above-described operation process, a current I OLED is supplied to the light emitting device 815, and the light emitting device 8
The light emitting element 815 can be made to emit light with a luminance corresponding to the current I OLED . At this time, as shown in the formula (3), the current I OLED flowing through the light emitting element 815 is expressed in a form independent of the threshold voltage |V th | of the first transistor 801, so that the variation in the threshold voltage of the transistor can be compensated for.

なお、第2の期間T2で、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ801の閾値
電圧|Vth|に基づいた電圧を保持容量806に保持できるようにし、かつ、第3の期
間T3で第1のトランジスタ801をオンさせるために、ビデオ信号電圧Vdataの範
囲をVSS≦Vdata<VCL-|Vth|とする。
Note that in order to enable a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 801 to be held in the holding capacitor 806 in the second period T2 and to turn on the first transistor 801 in the third period T3, the range of the video signal voltage V data is set to VSS≦V data <V CL −|V th |.

なお、容量線814の電位VCLは、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ3
01の閾値電圧|Vth|との和Vdata+|Vth|よりも高い電位であればよい。
なお、保持容量806に、ビデオ信号電圧Vdata及び第1のトランジスタ801の閾
値電圧|Vth|に基づいた電圧を確実に保持できるようにするために、容量線814の
電位VCLは、より高い方が望ましい。
The potential VCL of the capacitance line 814 is a voltage VCL between the video signal voltage Vdata and the first transistor 3
01 and the threshold voltage |V th | of the first transistor, V data +|V th |.
Note that in order to reliably hold a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 801 in the storage capacitor 806, the potential V CL of the capacitor line 814 is preferably higher.

以上より、本実施形態の画素構成によって、トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償し
、輝度のばらつきを低減させることができるため、画質を向上させることができる。
As described above, the pixel configuration of this embodiment can compensate for variations in the threshold voltage of the transistors and reduce variations in luminance, thereby improving image quality.

また、本実施形態の画素回路において、(2)式及び(3)式に示したように、発光素子
に流れる電流IOLEDは、ビデオ信号電圧Vdataの大きさが定まると、ほぼ一定値
となる。したがって、発光素子に、ビデオ信号電圧に応じた一定の電流を供給することが
でき、発光素子を一定の輝度で発光させることができるため、発光期間(T3)中の輝度
ムラが低減される。
In addition, in the pixel circuit of this embodiment, as shown in formulas (2) and (3), the current IOLED flowing through the light-emitting element becomes substantially constant when the magnitude of the video signal voltage Vdata is determined. Therefore, a constant current according to the video signal voltage can be supplied to the light-emitting element, and the light-emitting element can be made to emit light with a constant luminance, thereby reducing luminance unevenness during the light-emitting period (T3).

また、発光素子に流れる電流IOLEDは、保持容量の容量値に依存しないため、例えば
、製造時におけるマスクパターンの位置合わせのずれなどの製造誤差によって、容量値が
画素ごとにばらついたとしても、発光素子に一定の電流を供給することが可能である。
In addition, since the current I OLED flowing through the light-emitting element does not depend on the capacitance value of the storage capacitor, it is possible to supply a constant current to the light-emitting element even if the capacitance value varies from pixel to pixel due to a manufacturing error such as a misalignment of a mask pattern during manufacturing.

また、本実施形態の画素回路において、第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|の取得
とビデオ信号電圧Vdataの取得を同一の期間内に行うことにより、発光素子を発光さ
せるまでの準備期間をより短くすることができるため、1フレーム期間に対して発光期間
をより長くとることができるようになる。したがって、デューティー比(1フレーム期間
における発光期間の割合)を上げることができ、発光素子にかかる電圧を小さくできる。
これにより、消費電力を低減でき、発光素子の劣化も少なくすることができる。
In addition, in the pixel circuit of this embodiment, the threshold voltage | Vth | of the first transistor and the video signal voltage Vdata are acquired within the same period, so that the preparation period before the light emitting element is made to emit light can be shortened, and the light emitting period can be made longer for one frame period. Therefore, the duty ratio (the ratio of the light emitting period to one frame period) can be increased, and the voltage applied to the light emitting element can be reduced.
This makes it possible to reduce power consumption and to reduce deterioration of the light emitting element.

また、発光素子を発光させるまでの準備期間をより短くすることができるため、1フレー
ム期間の長さをより短くすることができ、フレーム周波数をより高くすることができる。
これにより、動画表示などで擬似輪郭やちらつきを抑えることができ、画質を向上させる
ことができる。
Furthermore, since the preparation period before the light emitting element is made to emit light can be made shorter, the length of one frame period can be made shorter, and the frame frequency can be made higher.
This makes it possible to suppress false contours and flickering when displaying moving images, etc., thereby improving image quality.

なお、本実施形態では、期間T1において初期化をするときに、第1のトランジスタの第
1の電極を、第3のトランジスタを介して第1の電源線と接続したが、第1のトランジス
タの第1の電極の接続先は、これに限定されない。第1のトランジスタの第1の電極を、
第2のトランジスタを介して信号線と接続し、信号線に、第1のトランジスタがオン状態
となるような電位を印加することにより、初期化を行ってもよい。
In this embodiment, when the initialization is performed in the period T1, the first electrode of the first transistor is connected to the first power supply line via the third transistor, but the connection destination of the first electrode of the first transistor is not limited to this.
The first transistor may be connected to a signal line via a second transistor, and a potential that turns on the first transistor may be applied to the signal line, thereby performing initialization.

なお、本実施形態では、期間T3において発光素子に電流を供給するときに、第1のトラ
ンジスタの第1の電極を、第3のトランジスタを介して第1の電源線と接続したが、第1
のトランジスタの第1の電極の接続先は、これに限定されない。第1のトランジスタの第
1の電極を、第2のトランジスタを介して信号線と接続し、信号線に、第1のトランジス
タがオン状態となるような電位を印加することにより、発光素子に電流を供給してもよい
In this embodiment, when a current is supplied to the light-emitting element in the period T3, the first electrode of the first transistor is connected to the first power supply line via the third transistor.
The connection destination of the first electrode of the transistor is not limited to this. The first electrode of the first transistor may be connected to a signal line via a second transistor, and a potential that turns on the first transistor may be applied to the signal line to supply a current to the light-emitting element.

なお、本実施形態において、保持容量は、金属で形成してもよいし、MOSトランジスタ
で形成してもよい。特に、保持容量をMOSトランジスタで形成すると、保持容量を金属
で形成する場合よりも、保持容量の占有面積を小さくすることができるため、画素の開口
率を上げることができる。
In this embodiment, the storage capacitor may be formed of a metal or a MOS transistor. In particular, when the storage capacitor is formed of a MOS transistor, the area occupied by the storage capacitor can be made smaller than when the storage capacitor is formed of a metal, and therefore the aperture ratio of the pixel can be increased.

例えば、図3に示した画素回路において、保持容量をMOSトランジスタで形成した場合
の例を図10、図11に示す。
For example, in the pixel circuit shown in FIG. 3, an example in which the storage capacitor is formed of a MOS transistor is shown in FIGS.

図10は、保持容量306をPチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。P
チャネル型トランジスタで保持容量を形成する場合、電荷を保持するために、該Pチャネ
ル型トランジスタにチャネル領域を誘起させる必要があるため、該Pチャネル型トランジ
スタのゲート電極の電位を、該Pチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極の電位よ
りも低くしなければならない。ところで、図3に示した画素回路の場合、保持容量306
において、第1の電極の方が第2の電極よりも電位が高くなる。したがって、該Pチャネ
ル型トランジスタを保持容量として機能させるために、該Pチャネル型トランジスタの第
1及び第2の電極を保持容量306の第1の電極とし、第1のトランジスタ301のゲー
ト電極及び第4のトランジスタ304の第2の電極と接続する。また、該Pチャネル型ト
ランジスタのゲート電極を保持容量306の第2の電極とし、容量線314と接続する。
FIG. 10 shows a case where the storage capacitor 306 is formed of a P-channel transistor.
When forming a storage capacitor using a P-channel transistor, it is necessary to induce a channel region in the P-channel transistor in order to store electric charges, so the potential of the gate electrode of the P-channel transistor must be lower than the potentials of the first and second electrodes of the P-channel transistor.
In this case, the first electrode has a higher potential than the second electrode. Therefore, in order to make the P-channel transistor function as a storage capacitor, the first and second electrodes of the P-channel transistor are used as the first electrodes of a storage capacitor 306 and are connected to the gate electrode of the first transistor 301 and the second electrode of the fourth transistor 304. In addition, the gate electrode of the P-channel transistor is used as the second electrode of the storage capacitor 306 and is connected to a capacitance line 314.

図11は、保持容量306をNチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。N
チャネル型トランジスタで保持容量を形成する場合、電荷を保持するために、該Nチャネ
ル型トランジスタにチャネル領域を誘起させる必要があるため、該Nチャネル型トランジ
スタのゲート電極の電位を、該Nチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極の電位よ
りも高くしなければならない。したがって、該Nチャネル型トランジスタを保持容量とし
て機能させるために、該Nチャネル型トランジスタのゲート電極を保持容量306の第1
の電極とし、第1のトランジスタ301のゲート電極及び第4のトランジスタ304の第
2の電極と接続する。また、該Nチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極を保持容
量306の第2の電極とし、容量線314と接続する。
FIG. 11 shows a case where the storage capacitor 306 is formed of an N-channel transistor.
When forming a storage capacitor with an N-channel transistor, it is necessary to induce a channel region in the N-channel transistor in order to store electric charges, so the potential of the gate electrode of the N-channel transistor must be higher than the potentials of the first and second electrodes of the N-channel transistor.
The first electrode of the N-channel transistor 302 is connected to the gate electrode of the first transistor 301 and the second electrode of the fourth transistor 304. The first and second electrodes of the N-channel transistor 302 are connected to the gate electrode of the first transistor 301 and the second electrode of the fourth transistor 304. In addition, the first and second electrodes of the N-channel transistor 302 are connected to the second electrode of the storage capacitor 306 and to a capacitor line 314.

また、別の例として、図8に示した画素回路において、第1及び第2の保持容量をMOS
トランジスタで形成した場合の例を図12、図13に示す。
As another example, in the pixel circuit shown in FIG. 8, the first and second storage capacitors are MOS
An example in which the transistor is used is shown in FIG. 12 and FIG.

図12は、保持容量806をNチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。図
8に示した画素回路の場合、保持容量806において、第2の電極の方が第1の電極より
も電位が高くなる。したがって、該Nチャネル型トランジスタを保持容量として機能させ
るために、該Nチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極を保持容量806の第1の
電極とし、第1のトランジスタ801のゲート電極及び第4のトランジスタ804の第2
の電極と接続する。また、該Nチャネル型トランジスタのゲート電極を保持容量806の
第2の電極とし、容量線814と接続する。
12 shows a case where the storage capacitor 806 is formed of an N-channel transistor. In the case of the pixel circuit shown in FIG. 8, the second electrode of the storage capacitor 806 has a higher potential than the first electrode. Therefore, in order to make the N-channel transistor function as a storage capacitor, the first and second electrodes of the N-channel transistor are used as the first electrode of the storage capacitor 806, and the gate electrode of the first transistor 801 and the second electrode of the fourth transistor 804 are used as the gate electrode of the storage capacitor 806.
In addition, the gate electrode of the N-channel transistor is used as a second electrode of the storage capacitor 806 and is connected to a capacitor line 814.

図13は、保持容量806をPチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。P
チャネル型トランジスタを保持容量として機能させるために、該Pチャネル型トランジス
タのゲート電極を保持容量806の第1の電極とし、第1のトランジスタ801のゲート
電極及び第4のトランジスタ804の第2の電極と接続する。また、該Pチャネル型トラ
ンジスタの第1及び第2の電極を保持容量806の第2の電極とし、容量線814と接続
する。
FIG. 13 shows a case where the storage capacitor 806 is formed of a P-channel transistor.
In order to make the P-channel transistor function as a storage capacitor, a gate electrode of the P-channel transistor is used as a first electrode of a storage capacitor 806 and is connected to a gate electrode of the first transistor 801 and a second electrode of the fourth transistor 804. In addition, the first and second electrodes of the P-channel transistor are used as second electrodes of the storage capacitor 806 and are connected to a capacitance line 814.

本実施形態のように、保持容量を第1のトランジスタのゲート電極と容量線との間に接続
することにより、特に保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトランジ
スタのゲート・ソース間に、常に該MOSトランジスタの閾値電圧よりも大きい電圧がか
かるため、該MOSトランジスタに常にチャネル領域を誘起させることができ、常に保持
容量として機能させることができる。したがって、画素回路の動作過程の中で、保持容量
に所望の電圧を正しく保持することが可能となる。
As in this embodiment, by connecting the storage capacitor between the gate electrode of the first transistor and the capacitance line, particularly when the storage capacitor is formed of a MOS transistor, a voltage greater than the threshold voltage of the MOS transistor is always applied between the gate and source of the MOS transistor, so that the MOS transistor can always induce a channel region and always function as a storage capacitor. Therefore, it becomes possible to correctly store a desired voltage in the storage capacitor during the operation process of the pixel circuit.

また、本実施形態の画素構成において、第1~第5のトランジスタのそれぞれが有するチ
ャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第1のトランジスタが有するW/Lの
値が最大となるようにすると、第1のトランジスタのドレイン・ソース間を流れる電流を
より大きくすることができる。これにより、期間T2でビデオ信号電圧Vdata及び第
1のトランジスタの閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を取得するときに、より大きな電
流によって動作を行うことができるため、より迅速な動作ができるようになる。また、期
間T3で発光素子に流れる電流IOLEDをより大きくすることができ、輝度をより高く
することが可能となる。
Furthermore, in the pixel configuration of this embodiment, among the values of the ratio W/L of the channel length L to the channel width W of each of the first to fifth transistors, if the value of W/L of the first transistor is set to be the largest, the current flowing between the drain and source of the first transistor can be made larger. As a result, when acquiring a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor in the period T2, a larger current can be used to operate, so that a faster operation can be achieved. Also, the current I OLED flowing to the light-emitting element in the period T3 can be made larger, and the luminance can be increased.

なお、本実施形態では、第2の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタイミング
が同じであるため、第3のトランジスタと第5のトランジスタを、第2の走査線もしくは
第4の走査線のいずれか一方の走査線で制御してもよい。
In this embodiment, since the timing of the pulses input to the second scanning line and the fourth scanning line is the same, the third transistor and the fifth transistor may be controlled by either the second scanning line or the fourth scanning line.

例えば、図3に示した画素回路において、第3及び第5のトランジスタ303、305を
第2の走査線309によって制御する場合の例を図14に示す。なお、図14では、第3
のトランジスタ303のゲート電極、及び第5のトランジスタ305のゲート電極が、第
2の走査線309に接続されている。
For example, in the pixel circuit shown in FIG. 3, an example in which the third and fifth transistors 303 and 305 are controlled by the second scan line 309 is shown in FIG.
A gate electrode of the first transistor 303 and a gate electrode of the fifth transistor 305 are connected to a second scan line 309 .

また、別の例として、図8に示した画素回路において、第3及び第5のトランジスタ80
3、805を第4の走査線811によって制御する場合の例を図15に示す。なお、図1
5では、第3のトランジスタ803のゲート電極、及び第5のトランジスタ805のゲー
ト電極が、第4の走査線811に接続されている。
As another example, in the pixel circuit shown in FIG.
An example in which the scanning lines 3 and 805 are controlled by the fourth scanning line 811 is shown in FIG.
In No. 5 , a gate electrode of a third transistor 803 and a gate electrode of a fifth transistor 805 are connected to a fourth scan line 811 .

このように、第3及び第5のトランジスタを同一の走査線で制御することにより、走査線
の本数を減らすことができ、画素の開口率を上げることができる。
In this way, by controlling the third and fifth transistors by the same scanning line, the number of scanning lines can be reduced, and the aperture ratio of the pixel can be increased.

なお、本実施形態では、第2~第5のトランジスタをすべてPチャネル型、もしくはすべ
てNチャネル型というように、同じ導電形式のトランジスタとしていたが、これに限定さ
れない。Pチャネル型とNチャネル型とを両方とも用いて回路を構成してもよい。
In this embodiment, the second to fifth transistors are all P-channel transistors or all N-channel transistors, which are transistors of the same conductivity type, but the present invention is not limited to this. A circuit may be configured using both P-channel and N-channel transistors.

例えば、図3において、第4のトランジスタ304をNチャネル型とし、第4のトランジ
スタ304以外のトランジスタをPチャネル型としてもよい。この画素回路を図16に示
す。また、信号線307及び第1~第4の走査線308~311に入力されるビデオ信号
電圧及びパルスのタイミングチャートを図17に示す。
3, the fourth transistor 304 may be an N-channel type, and the transistors other than the fourth transistor 304 may be a P-channel type. This pixel circuit is shown in Fig. 16. Also, a timing chart of video signal voltages and pulses input to the signal line 307 and the first to fourth scanning lines 308 to 311 is shown in Fig. 17.

このように、第4のトランジスタ304をNチャネル型とすると、第4のトランジスタ3
04での漏れ電流がPチャネル型トランジスタの場合よりも小さくなるため、保持容量3
06に保持した電荷の漏れが少なくなり、保持容量306で保持した電圧の変動が小さく
なる。これにより、特に発光期間(T3)において、第1のトランジスタ301のゲート
電極に常に一定の電圧が印加されるため、発光素子315に一定の電流を供給することが
できる。その結果、発光素子315を一定の輝度で発光させることができ、輝度ムラを低
減させることができる。
In this way, if the fourth transistor 304 is an N-channel type,
Since the leakage current at the transistor 304 is smaller than that in the case of a P-channel transistor,
The leakage of the electric charge held in the storage capacitor 306 is reduced, and the fluctuation of the voltage held in the storage capacitor 306 is reduced. As a result, a constant voltage is always applied to the gate electrode of the first transistor 301, particularly during the light emission period (T3), so that a constant current can be supplied to the light emitting element 315. As a result, the light emitting element 315 can emit light with a constant luminance, and luminance unevenness can be reduced.

また、別の例として、図3において、第2のトランジスタ302をNチャネル型とし、第
2のトランジスタ302以外のトランジスタをPチャネル型としてもよい。この画素回路
を図18に示す。また、信号線307及び第1~第4の走査線308~311に入力され
るビデオ信号電圧及びパルスのタイミングチャートを図19に示す。
3, the second transistor 302 may be an N-channel type, and the transistors other than the second transistor 302 may be a P-channel type. This pixel circuit is shown in Fig. 18. Also, a timing chart of video signal voltages and pulses input to the signal line 307 and the first to fourth scanning lines 308 to 311 is shown in Fig. 19.

このように、第2のトランジスタ302をNチャネル型とすると、第1の走査線308と
第2の走査線309と第4の走査線311とに入力されるパルスのタイミングが同じにな
るため、第2のトランジスタ302と第3のトランジスタ303と第5のトランジスタ3
05を、第1の走査線308もしくは第2の走査線309もしくは第4の走査線311の
いずれか1本の走査線で制御することができる。
In this way, when the second transistor 302 is an N-channel type, the timing of the pulses input to the first scanning line 308, the second scanning line 309, and the fourth scanning line 311 is the same.
05 can be controlled by any one of the first scanning line 308 , the second scanning line 309 , and the fourth scanning line 311 .

ここで、第2のトランジスタ302と第3のトランジスタ303と第5のトランジスタ3
05を、第1の走査線308で制御する場合の例を図20に示す。なお、図20では、第
2のトランジスタ302のゲート電極、及び第3のトランジスタ303のゲート電極、及
び第5のトランジスタ305のゲート電極が、第1の走査線308に接続されている。
Here, the second transistor 302, the third transistor 303, and the fifth transistor 3
20 shows an example in which the gate electrodes of the second transistor 302, the third transistor 303, and the fifth transistor 305 are controlled by the first scanning line 308. Note that in FIG. 20, the gate electrodes of the second transistor 302, the third transistor 303, and the fifth transistor 305 are connected to the first scanning line 308.

このように、第2のトランジスタを、第2のトランジスタ以外のトランジスタとは異なる
導電形式にすることにより、走査線の本数を減らすことができ、画素の開口率を上げるこ
とができる。
In this manner, by making the second transistor have a different conductivity type from the transistors other than the second transistor, the number of scanning lines can be reduced and the aperture ratio of the pixel can be increased.

なお、第2~第5のトランジスタのどのトランジスタがどちらの導電形式であるかについ
ては、上記の内容に限定されない。
It should be noted that which of the second to fifth transistors has which conductivity type is not limited to the above.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態2)
実施の形態1では、容量線を別に設けていたが、既存の他の配線を容量線の代わりとして
用いてもよい。例えば、他行の画素が有する第1~第4の走査線のいずれか1つを容量線
の代わりとして用いることにより、当該画素が有する容量線を削除することが可能である
。本実施形態では、当該画素が有する容量線の代わりとして、他行の画素が有する第1~
第4の走査線のいずれか1つを用いた場合について説明する。なお、発光素子として、E
L素子を例に挙げて説明する。
(Embodiment 2)
In the first embodiment, a separate capacitance line is provided, but other existing wiring may be used in place of the capacitance line. For example, by using any one of the first to fourth scanning lines of a pixel in another row as a capacitance line, it is possible to eliminate the capacitance line of the pixel. In this embodiment, the first to fourth scanning lines of a pixel in another row are used in place of the capacitance line of the pixel.
A case where any one of the fourth scanning lines is used will be described.
An explanation will be given by taking the L element as an example.

例えば、図3に示した画素回路おいて、当該画素が有する容量線の代わりとして、前行の
画素が有する第2の走査線を用いた場合の画素回路の例を図21に示す。
For example, FIG. 21 shows an example of a pixel circuit in which the second scanning line of the pixel in the previous row is used instead of the capacitance line of the pixel in question in the pixel circuit shown in FIG.

図21は、あるi行目の画素Pixel(i)と、その前の行である(i-1)行目の画
素Pixel(i-1)の構成を示している。(i-1)行目の画素Pixel(i-1
)は、第1~第5のトランジスタ2101~2105、保持容量2106、第1~第4の
走査線2108~2111、発光素子2115などから構成されている。また、i行目の
画素Pixel(i)は、第1~第5のトランジスタ2121~2125、保持容量21
26、第1~第4の走査線2128~2131、発光素子2135などから構成されてい
る。また、i行目の画素Pixel(i)と(i-1)行目の画素Pixel(i-1)
とで、信号線2107、第1及び第2の電源線2112、2113が共有されている。
21 shows the configuration of a pixel Pixel(i) in a certain row i and a pixel Pixel(i-1) in the previous row (i-1).
) is composed of first to fifth transistors 2101 to 2105, a storage capacitor 2106, first to fourth scanning lines 2108 to 2111, a light emitting element 2115, etc. Also, the pixel Pixel(i) in the i-th row is composed of first to fifth transistors 2121 to 2125, a storage capacitor 21
26, first to fourth scanning lines 2128 to 2131, and a light-emitting element 2135. In addition, the pixel Pixel(i) in the i-th row and the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)-th row
A signal line 2107 and first and second power supply lines 2112 and 2113 are shared by these.

図21において、各画素での各素子の接続は、図3で示した画素回路とほぼ同様であるた
め、詳細な説明は割愛する。図3と図21との違いは、i行目の画素Pixel(i)の
容量線の代わりに、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線2109
を用いることであり、i行目の画素Pixel(i)の保持容量2126の第2の電極が
、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線2109に接続されている
点である。
In Fig. 21, the connections of each element in each pixel are almost the same as those in the pixel circuit shown in Fig. 3, so detailed explanations will be omitted. The difference between Fig. 3 and Fig. 21 is that instead of the capacitance line of the pixel Pixel(i) in the i-th row, the second scanning line 2109 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)-th row is used.
is used, and the second electrode of the storage capacitor 2126 of the pixel Pixel(i) in the i-th row is connected to the second scanning line 2109 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)-th row.

なお、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)では、(i-1)行目の画素Pixe
l(i-1)の容量線の代わりに、(i-2)行目の画素Pixel(i-2)の第2の
走査線2149が用いられ、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の保持容量21
06の第2の電極が、(i-2)行目の画素Pixel(i-2)の第2の走査線214
9に接続されている。
In addition, in the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row,
Instead of the capacitance line of l(i-1), the second scanning line 2149 of the pixel Pixel(i-2) in the (i-2)th row is used, and the storage capacitance 21 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row is
The second electrode of pixel Pixel(i-2) in the (i-2)th row is connected to the second scanning line 214
9.

ここで、信号線2107、及び(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第1~第4
の走査線2108~2111、及びi行目の画素Pixel(i)の第1~第4の走査線
2128~2131に入力されるビデオ信号電圧及びパルスのタイミングチャートを図2
2に示す。なお、図22に記載の期間T1~T3は、i行目の画素Pixel(i)の動
作に対応したものである。
Here, the signal line 2107 and the first to fourth pixels Pixel(i-1) in the (i-1)th row
FIG. 2 is a timing chart of the video signal voltages and pulses input to the scanning lines 2108 to 2111 of the i-th row and the first to fourth scanning lines 2128 to 2131 of the pixel Pixel(i) of the i-th row.
2. Note that periods T1 to T3 shown in Fig. 22 correspond to the operation of pixel Pixel(i) in the i-th row.

図21に示すような画素構成にすると、i行目の画素Pixel(i)の保持容量212
6の第2の電極には、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線210
9に印加される電位が印加される。したがって、i行目の画素Pixel(i)の保持容
量2126の第2の電極には、期間T1ではHレベルの電位が印加され、期間T2、T3
ではLレベルの電位が印加される。これにより、各期間で、i行目の画素Pixel(i
)の保持容量2126の第2の電極に一定の電位を印加することができるため、実施の形
態1で説明したような画素回路の動作を行うことができる。
In the pixel configuration shown in FIG. 21, the storage capacitor 212 of the pixel Pixel(i) in the i-th row
The second electrode of the sixth row is connected to the second scanning line 210 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row.
9 is applied to the second electrode of the storage capacitor 2126 of the pixel Pixel(i) in the i-th row.
In this way, a potential of L level is applied to the pixel Pixel (i
Since a constant potential can be applied to the second electrode of the storage capacitor 2126 of the pixel circuit 2122, the pixel circuit can operate as described in Embodiment Mode 1.

なお、図21において、当該画素が有する容量線の代わりとして、前行の画素が有する第
4の走査線を用いても上記と同様の動作を行うことができる。なぜならば、(i-1)行
目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタ
イミングが同じであるためである。
21, the same operation as above can be performed by using the fourth scanning line of the pixel in the previous row instead of the capacitance line of the pixel in question, because the timing of the pulses input to the second scanning line and the fourth scanning line of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row is the same.

なお、当該画素が有する容量線の代わりとして用いる走査線は、前行の画素が有する第2
もしくは第4の走査線に限定されない。当該画素が有する容量線の代わりとして前行の画
素が有する第1もしくは第3の走査線を用いてもよい。また、次行の画素が有する第1~
第4の走査線のいずれか1つを用いてもよい。
The scanning line used in place of the capacitance line of the pixel is the second capacitance line of the pixel in the previous row.
Alternatively, the capacitance line of the pixel in question may be replaced by the first or third scanning line of the pixel in the previous row.
Any one of the fourth scan lines may be used.

なお、当該画素において、期間T2、T3の間、容量線には一定の電位が印加されること
が望ましい。また、期間T2、T3の間、容量線には低い電位が印加されることが望まし
い。このようにすると、第1のトランジスタの閾値電圧及びビデオ信号電圧の取得をより
正確に行うことができるとともに、当該画素の発光期間中に発光素子に流れる電流を一定
値に保つことができ、発光素子を一定の輝度で発光させることができる。以上のことを鑑
みると、当該画素が有する容量線の代わりとして、前行の画素が有する第2もしくは第4
の走査線を用いることが望ましい。
In addition, in the pixel, it is desirable to apply a constant potential to the capacitance line during periods T2 and T3. It is also desirable to apply a low potential to the capacitance line during periods T2 and T3. In this way, the threshold voltage and video signal voltage of the first transistor can be obtained more accurately, and the current flowing through the light-emitting element during the light-emitting period of the pixel can be kept at a constant value, allowing the light-emitting element to emit light at a constant brightness. In view of the above, it is desirable to use the second or fourth capacitance line of the pixel in the previous row as a substitute for the capacitance line of the pixel.
It is preferable to use scan lines of 100 MHz or less.

別の例として、図8に示した画素回路において、当該画素が有する容量線の代わりとして
、前行の画素が有する第2の走査線を用いた場合の例を図23に示す。
As another example, FIG. 23 shows a case where the second scanning line of the pixel in the previous row is used instead of the capacitance line of the pixel in question in the pixel circuit shown in FIG.

図23は、あるi行目の画素Pixel(i)と、その前の行である(i-1)行目の画
素Pixel(i-1)の構成を示している。(i-1)行目の画素Pixel(i-1
)は、第1~第5のトランジスタ2301~2305、保持容量2306、第1~第4の
走査線2308~2311、発光素子2315などから構成されている。また、i行目の
画素Pixel(i)は、第1~第5のトランジスタ2321~2325、保持容量23
26、第1~第4の走査線2328~2331、発光素子2335などから構成されてい
る。また、i行目の画素Pixel(i)と(i-1)行目の画素Pixel(i-1)
とで、信号線2307、第1及び第2の電源線2312、2313が共有されている。
23 shows the configuration of a pixel Pixel(i) in a certain row i and a pixel Pixel(i-1) in the previous row (i-1).
) is composed of first to fifth transistors 2301 to 2305, a storage capacitor 2306, first to fourth scanning lines 2308 to 2311, a light emitting element 2315, etc. Also, the pixel Pixel(i) in the i-th row is composed of first to fifth transistors 2321 to 2325, a storage capacitor 23
26, first to fourth scanning lines 2328 to 2331, and a light-emitting element 2335. In addition, the pixel Pixel(i) in the i-th row and the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)-th row
A signal line 2307 and first and second power supply lines 2312 and 2313 are shared by these.

図23において、各画素での各素子の接続は、図8で示した画素回路とほぼ同様であるた
め、詳細な説明は割愛する。図8と図23との違いは、i行目の画素Pixel(i)の
容量線の代わりに、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線2309
を用いることであり、i行目の画素Pixel(i)の保持容量2326の第2の電極が
、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線2309に接続されている
点である。
In Fig. 23, the connections of each element in each pixel are almost the same as those in the pixel circuit shown in Fig. 8, so detailed explanations will be omitted. The difference between Fig. 8 and Fig. 23 is that instead of the capacitance line of the pixel Pixel(i) in the i-th row, the second scanning line 2309 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)-th row is used.
is used, and the second electrode of the storage capacitor 2326 of the pixel Pixel(i) in the i-th row is connected to the second scanning line 2309 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)-th row.

なお、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)では、(i-1)行目の画素Pixe
l(i-1)の容量線の代わりに、(i-2)行目の画素Pixel(i-2)の第2の
走査線2349が用いられ、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の保持容量23
06の第2の電極が、(i-2)行目の画素Pixel(i-2)の第2の走査線234
9に接続されている。
In addition, in the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row,
Instead of the capacitance line of l(i-1), the second scanning line 2349 of the pixel Pixel(i-2) in the (i-2)th row is used, and the storage capacitance 23 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row is
The second electrode of pixel Pixel(i-2) in the (i-2)th row is connected to the second scanning line 234
9.

ここで、信号線2307、及び(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第1~第4
の走査線2308~2311、及びi行目の画素Pixel(i)の第1~第4の走査線
2328~2331に入力されるビデオ信号電圧及びパルスのタイミングチャートを図2
4に示す。なお、図24に記載の期間T1~T3は、i行目の画素Pixel(i)の動
作に対応したものである。
Here, the signal line 2307 and the first to fourth pixels Pixel(i-1) in the (i-1)th row
FIG. 2 is a timing chart of the video signal voltages and pulses input to the scanning lines 2308 to 2311 of the i-th row and the first to fourth scanning lines 2328 to 2331 of the pixel Pixel(i) of the i-th row.
24. Note that periods T1 to T3 shown in FIG. 24 correspond to the operation of pixel Pixel(i) in the i-th row.

図23に示すような画素構成にすると、i行目の画素Pixel(i)の保持容量232
6の第2の電極には、(i-1)行目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線230
9に印加される電位が印加される。したがって、i行目の画素Pixel(i)の保持容
量2326の第2の電極には、期間T1ではLレベルの電位が印加され、期間T2、T3
ではHレベルの電位が印加される。これにより、各期間で、i行目の画素Pixel(i
)の保持容量2326の第2の電極に一定の電位を印加することができるため、実施の形
態1で説明したような画素回路の動作を行うことができる。
In the pixel configuration shown in FIG. 23, the storage capacitor 232 of the pixel Pixel(i) in the i-th row
The second electrode of the sixth row is connected to the second scanning line 230 of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row.
9 is applied to the second electrode of the storage capacitor 2326 of the pixel Pixel(i) in the i-th row.
In this way, a high-level potential is applied to the pixel Pixel (i
Since a constant potential can be applied to the second electrode of the storage capacitor 2326 of the pixel circuit 2322, the pixel circuit can operate as described in Embodiment Mode 1.

なお、図23において、当該画素が有する容量線の代わりとして、前行の画素が有する第
4の走査線を用いても上記と同様の動作を行うことができる。なぜならば、(i-1)行
目の画素Pixel(i-1)の第2の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタ
イミングが同じであるためである。
23, the same operation as above can be performed by using the fourth scanning line of the pixel in the previous row instead of the capacitance line of the pixel in question, because the timing of the pulses input to the second scanning line and the fourth scanning line of the pixel Pixel(i-1) in the (i-1)th row is the same.

なお、当該画素が有する容量線の代わりとして用いる走査線は、前行の画素が有する第2
もしくは第4の走査線に限定されない。当該画素が有する容量線の代わりとして前行の画
素が有する第1もしくは第3の走査線を用いてもよい。また、次行の画素が有する第1~
第4の走査線のいずれか1つを用いてもよい。
The scanning line used in place of the capacitance line of the pixel is the second capacitance line of the pixel in the previous row.
Alternatively, the capacitance line of the pixel in question may be replaced by the first or third scanning line of the pixel in the previous row.
Any one of the fourth scan lines may be used.

なお、当該画素において、期間T2、T3の間、容量線には一定の電位が印加されること
が望ましい。また、期間T2、T3の間、容量線には高い電位が印加されることが望まし
い。このようにすると、第1のトランジスタの閾値電圧及びビデオ信号電圧の取得をより
正確に行うことができるとともに、当該画素の発光期間中に発光素子に流れる電流を一定
値に保つことができ、発光素子を一定の輝度で発光させることができる。以上のことを鑑
みると、当該画素が有する容量線の代わりとして、前行の画素が有する第2もしくは第4
の走査線を用いることが望ましい。
In addition, in the pixel, it is desirable to apply a constant potential to the capacitance line during periods T2 and T3. It is also desirable to apply a high potential to the capacitance line during periods T2 and T3. In this way, it is possible to more accurately obtain the threshold voltage and video signal voltage of the first transistor, and to maintain a constant current flowing through the light-emitting element during the light-emitting period of the pixel, thereby allowing the light-emitting element to emit light at a constant brightness. In view of the above, it is desirable to use the second or fourth capacitance line of the pixel in the previous row as a substitute for the capacitance line of the pixel.
It is preferable to use scan lines of 100 MHz or less.

このように、当該画素が有する容量線の代わりとして、前行の画素が有する第2の走査線
を用いることにより、当該画素に容量線を新たに設ける必要がなくなるため、配線の本数
を減らすことができ、画素の開口率を上げることができる。また、容量線に印加する電圧
を新たに生成する必要がなくなるため、そのための回路を削減することができるとともに
、消費電力も削減することができる。
In this way, by using the second scanning line of the pixel in the previous row as a substitute for the capacitance line of the pixel, it is no longer necessary to provide a new capacitance line in the pixel, so the number of wirings can be reduced and the aperture ratio of the pixel can be increased. In addition, it is no longer necessary to generate a new voltage to be applied to the capacitance line, so the circuit for this purpose can be reduced and power consumption can be reduced.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態3)
実施の形態1及び実施の形態2において、初期化を行うときに発光素子に電流を流してい
たが、これまで示してきた画素回路に、新たに初期化用トランジスタを追加することによ
り、初期化を行うことも可能である。本実施形態では、初期化用トランジスタを用いて初
期化を行う方法について説明する。なお、発光素子として、EL素子を例に挙げて説明す
る。
(Embodiment 3)
In the first and second embodiments, a current is passed through the light-emitting element when the element is initialized. However, the element can be initialized by adding an initialization transistor to the pixel circuit described above. In this embodiment, a method of performing initialization using an initialization transistor will be described. Note that an EL element will be described as an example of the light-emitting element.

初期化を行うためには、第1のトランジスタの第2の電極を、ある初期電位に設定する必
要がある。このとき、第1のトランジスタの第2の電極と他の素子の電極もしくは他の配
線とを、初期化用トランジスタを介して接続し、初期化用トランジスタをオンさせること
により、第1のトランジスタの第2の電極を、接続先の電極もしくは配線が有する電位に
設定することができる。
In order to perform the initialization, it is necessary to set the second electrode of the first transistor to a certain initial potential. At this time, the second electrode of the first transistor and an electrode of another element or another wiring are connected via an initialization transistor, and the initialization transistor is turned on, so that the second electrode of the first transistor can be set to the potential of the electrode or wiring to which it is connected.

つまり、初期化用トランジスタは、第1のトランジスタの第2の電極の電位をある初期電
位に設定するために、第1のトランジスタの第2の電極と他の素子の電極もしくは他の配
線とを接続するスイッチとして機能する。
In other words, the initialization transistor functions as a switch that connects the second electrode of the first transistor to an electrode of another element or another wiring in order to set the potential of the second electrode of the first transistor to a certain initial potential.

例えば、図3に示した画素回路の場合、保持容量306にビデオ信号電圧Vdata及び
第1のトランジスタ301の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持するためには、予
め、第1のトランジスタ301の第2の電極の電位を、ビデオ信号電圧Vdataと第1
のトランジスタ301の閾値電圧|Vth|との差Vdata-|Vth|よりも低くし
ておかなければならない。そこで、第1の期間T1で、第1のトランジスタ301の第2
の電極と他の素子の電極もしくは他の配線とを、初期化トランジスタを介して接続するこ
とにより、第1のトランジスタ301の第2の電極の電位をVdata-|Vth|より
も低い初期電圧に設定することができる。
For example, in the case of the pixel circuit shown in FIG. 3, in order to hold a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301 in the storage capacitor 306, the potential of the second electrode of the first transistor 301 is previously set to the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301.
The threshold voltage |V th | of the first transistor 301 must be lower than the difference V data - |V th | between the first transistor 301 and the threshold voltage |V th | of the second transistor 301.
By connecting the electrode of the first transistor 301 to an electrode of another element or another wiring through an initialization transistor, the potential of the second electrode of the first transistor 301 can be set to an initial voltage lower than V data −|V th |.

ここで、図3に示した画素回路に、初期化用トランジスタを設けた場合の例を図25に示
す。図25は、第1のトランジスタ301の第2の電極と容量線314とを、初期化用ト
ランジスタを介して接続した例である。
Here, an example in which an initialization transistor is provided in the pixel circuit shown in Fig. 3 is shown in Fig. 25. Fig. 25 shows an example in which a second electrode of a first transistor 301 and a capacitance line 314 are connected via an initialization transistor.

図25では、図3に示した画素回路に、新たに初期化用トランジスタである第6のトラン
ジスタ2516と第5の走査線2517を加えている。なお、第6のトランジスタ251
6は、ゲート電極が、第5の走査線2517に接続され、第1の電極が、第1のトランジ
スタ301の第2の電極、及び第4のトランジスタ304の第1の電極、及び第5のトラ
ンジスタ305の第1の電極に接続され、第2の電極が、容量線314に接続されている
In FIG. 25, a sixth transistor 2516 which is an initialization transistor and a fifth scan line 2517 are newly added to the pixel circuit shown in FIG.
6 has a gate electrode connected to the fifth scanning line 2517, a first electrode connected to the second electrode of the first transistor 301, the first electrode of the fourth transistor 304, and the first electrode of the fifth transistor 305, and a second electrode connected to the capacitance line 314.

次に、図25に示した画素回路の動作について、図26、図27を用いて説明する。 Next, the operation of the pixel circuit shown in Figure 25 will be explained using Figures 26 and 27.

図26は、信号線307及び第1~第5の走査線308~311、2517に入力される
ビデオ信号電圧及びパルスのタイミングチャートを示しており、画素回路の各動作に合わ
せて、T1~T3の3つの期間に分割している。
FIG. 26 shows a timing chart of the video signal voltages and pulses input to the signal line 307 and the first to fifth scanning lines 308 to 311 and 2517, which are divided into three periods T1 to T3 in accordance with the operations of the pixel circuits.

第1の期間T1における画素回路の動作について、図27を用いて説明する。期間T1で
は、第2、第3、第5の走査線309、310、2517がLレベルとなり、第3、第4
、第6のトランジスタ303、304、2516がオンする。また、第1及び第4の走査
線308、311がHレベルとなり、第2及び第5のトランジスタ302、305がオフ
する。これにより、第1のトランジスタ302の第2の電極と容量線314が接続される
ため、第1のトランジスタ301の第2の電極、及び第1の保持容量306の第1の電極
、及び保持容量306の第1の電極の電位が、容量線314の電位VCLと等しくなる。
The operation of the pixel circuit in the first period T1 will be described with reference to FIG. 27. In the period T1, the second, third, and fifth scanning lines 309, 310, and 2517 are at the L level, and the third, fourth
, the sixth transistors 303, 304, and 2516 are turned on. In addition, the first and fourth scanning lines 308 and 311 are set to H level, and the second and fifth transistors 302 and 305 are turned off. As a result, the second electrode of the first transistor 302 is connected to the capacitance line 314, so that the potentials of the second electrode of the first transistor 301, the first electrode of the first storage capacitor 306, and the first electrode of the storage capacitor 306 become equal to the potential VCL of the capacitance line 314.

以上の動作により、期間T1では、第1のトランジスタ301の第2の電極、及び保持容
量306の第1の電極の電位を、初期電位として、容量線314の電位VCLに設定する
Through the above operation, in the period T1, the potentials of the second electrode of the first transistor 301 and the first electrode of the storage capacitor 306 are set to the potential VCL of the capacitor line 314 as initial potentials.

このように、期間T1で、第1のトランジスタ301の第2の電極の電位を、Vdata
-|Vth|よりも低い電位である容量線314の電位VCLに設定することにより、第
1のトランジスタ301の第2の電極の電位を確実にVdata-|Vth|よりも低く
することができ、閾値電圧の補償を確実に行うことができるようになる。
In this manner, in the period T1, the potential of the second electrode of the first transistor 301 is set to V data
By setting the potential V CL of the capacitance line 314 to a potential lower than −|V th |, the potential of the second electrode of the first transistor 301 can be reliably set lower than V data −|V th |, and the threshold voltage can be reliably compensated.

なお、期間T2、T3においては、第5の走査線2517をHレベルとし、第6のトラン
ジスタ2516をオフとする。そして、図3に示した画素回路と同じ動作を行う。つまり
、期間T2では、保持容量306にビデオ信号電圧Vdata及び第1のトランジスタ3
01の閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を保持する。そして、期間T3では、発光素子
315にビデオ信号電圧Vdataに依存した電流IOLEDを供給し、発光素子315
を発光させる。
In the periods T2 and T3, the fifth scan line 2517 is set to H level, and the sixth transistor 2516 is turned off. Then, the same operation as that of the pixel circuit shown in FIG. 3 is performed. That is, in the period T2, the video signal voltage V data is applied to the storage capacitor 306 and the sixth transistor 2516 is turned off.
Then, in a period T3, a current I OLED depending on the video signal voltage V data is supplied to the light emitting element 315, and the light emitting element 315
to emit light.

なお、第6のトランジスタ2516は、第1のトランジスタ301の第2の電極が、V
ata-|Vth|よりも低い電位に設定されるように接続すればよい。例えば、図28
に示すように、第6のトランジスタ2516の第1の電極を、第1のトランジスタ301
のゲート電極、及び第4のトランジスタ304の第2の電極、及び保持容量306の第1
の電極に接続してもよい。
Note that the sixth transistor 2516 has a second electrode connected to the first transistor 301 and a second electrode connected to the
ata -|V th |. For example, in FIG.
As shown in FIG. 1, the first electrode of the sixth transistor 2516 is connected to the first transistor 301
a gate electrode of the fourth transistor 304, a second electrode of the fourth transistor 304, and a first electrode of the storage capacitor 306
The electrode may be connected to the

なお、図25では、第6のトランジスタ2516の第2の電極を容量線314に接続した
が、第6のトランジスタ2516の第2の電極を、容量線以外の既存の配線と接続しても
よい。特に、期間T1において、Vdata-|Vth|よりも低い電位が印加されてい
る配線であればよい。
25, the second electrode of the sixth transistor 2516 is connected to the capacitance line 314, but the second electrode of the sixth transistor 2516 may be connected to an existing wiring other than the capacitance line. In particular, it is sufficient if the wiring is applied with a potential lower than V data - |V th | during the period T1.

例えば、図29に示すように、第6のトランジスタ2516の第2の電極を、第2の走査
線309と接続してもよい。期間T1では、第2の走査線309にLレベルの電位が印加
されるため、第1のトランジスタ301の第2の電極の電位を、Vdata-|Vth
よりも低い電位に設定することができる。
29, the second electrode of the sixth transistor 2516 may be connected to the second scan line 309. In the period T1, an L-level potential is applied to the second scan line 309, and therefore the potential of the second electrode of the first transistor 301 is set to V data −|V th |
It is possible to set the potential lower than

なお、期間T1において、第3の走査線310にもLレベルの電位が印加されるため、第
6のトランジスタ2516の第2の電極を、第3の走査線310と接続してもよい。
Note that in the period T 1 , an L-level potential is also applied to the third scan line 310 ; therefore, the second electrode of the sixth transistor 2516 may be connected to the third scan line 310 .

また、第1のトランジスタ301の第2の電極をある初期電位に設定するために、新たに
初期化線(初期化用電源線)を設けてもよい。
In addition, in order to set the second electrode of the first transistor 301 to a certain initial potential, an initialization line (initialization power supply line) may be newly provided.

例えば、図3に示した画素回路に初期化用トランジスタと初期化線を設けた場合の例を図
30に示す。図30では、図3に示した画素回路に、新たに初期化用トランジスタである
第6のトランジスタ2516、第5の走査線2517、初期化線3018を加えている。
なお、第6のトランジスタ2516は、ゲート電極が、第5の走査線2517に接続され
、第1の電極が、第1のトランジスタ301の第2の電極、及び第4のトランジスタ30
4の第1の電極、及び第5のトランジスタ305の第1の電極に接続され、第2の電極が
、初期化線3018に接続されている。
For example, Fig. 30 shows an example in which an initialization transistor and an initialization line are provided in the pixel circuit shown in Fig. 3. In Fig. 30, a sixth transistor 2516 which is an initialization transistor, a fifth scan line 2517, and an initialization line 3018 are newly added to the pixel circuit shown in Fig. 3.
Note that the sixth transistor 2516 has a gate electrode connected to the fifth scan line 2517 and a first electrode connected to the second electrode of the first transistor 301 and the fourth transistor 30
A first electrode of a transistor 304 and a first electrode of a fifth transistor 305 are connected to the first electrode of the fifth transistor 305 , and a second electrode of the fifth transistor 304 is connected to an initialization line 3018 .

また、初期化線3018には、初期化電位Viniが印加される。なお、電位の大小関係
は、Vini<Vdata-|Vth|とする。
An initialization potential V ini is applied to the initialization line 3018. The magnitude relationship of the potentials is V ini <V data -|V th |.

図30に示した画素回路の第1の期間T1での動作を、図31に示す。期間T1では、第
1のトランジスタ301はダイオード接続の状態となり、初期化線3018に電流が流れ
る。その結果、第1のトランジスタ301の第2の電極、及び保持容量306の第1の電
極の電位が初期化線3018の電位と等しくなり、保持容量306に、初期化電位Vin
と容量線314の電位VCLとの差Vini-VCLが保持される。
31 shows the operation of the pixel circuit shown in FIG. 30 in the first period T1. In the period T1, the first transistor 301 is in a diode-connected state, and a current flows through the initialization line 3018. As a result, the potentials of the second electrode of the first transistor 301 and the first electrode of the storage capacitor 306 become equal to the potential of the initialization line 3018, and the initialization potential V in
The difference between i and the potential V CL of the capacitance line 314 (V ini −V CL ) is held.

以上の動作により、期間T1では、保持容量306に初期電圧として、初期化線3018
の電位Viniと容量線314の電位VCLとの差Vini-VCLを保持する。
By the above operation, in the period T1, the storage capacitor 306 is supplied with an initial voltage by the initialization line 3018.
The difference V ini −V CL between the potential V ini of the capacitor line 312 and the potential V CL of the capacitor line 314 is held.

このように、初期化線3018を設け、第1のトランジスタ301の第2の電極の電位を
、Vdata-|Vth|よりも低い電位である初期化電位Viniに設定することによ
り、第1のトランジスタ301の第2の電極の電位を確実にVdata-|Vth|より
も低くすることができ、閾値電圧の補償を確実に行うことができるようになる。
In this way, by providing the initialization line 3018 and setting the potential of the second electrode of the first transistor 301 to the initialization potential V ini , which is a potential lower than V data - |V th |, the potential of the second electrode of the first transistor 301 can be reliably made lower than V data - |V th |, and the threshold voltage can be reliably compensated.

特に、新たに初期化線を設けることにより、初期化電位ViniをVdata-|Vth
|よりも低い任意の電位に設定することができるため、第1のトランジスタ301の第2
の電極の電位をより確実にVdata-|Vth|よりも低くすることができ、閾値電圧
の補償をより確実に行うことができるようになる。
In particular, by providing a new initialization line, the initialization potential V ini is set to V data −|V th
Therefore, the potential of the second transistor 301 can be set to any potential lower than |
Therefore, the potential of the electrode can be made lower than V data - |V th | more reliably, and the threshold voltage can be compensated more reliably.

なお、第6のトランジスタ2516は、第1のトランジスタ301の第2の電極が、初期
化電位Viniに設定されるように接続すればよい。例えば、図32に示すように、第6
のトランジスタ2516の第1の電極を、第1のトランジスタ301のゲート電極、及び
第4のトランジスタ304の第2の電極、及び保持容量306の第1の電極に接続しても
よい。
Note that the sixth transistor 2516 may be connected so that the second electrode of the first transistor 301 is set to the initialization potential V ini . For example, as shown in FIG.
A first electrode of the second transistor 2516 may be connected to a gate electrode of the first transistor 301 , a second electrode of the fourth transistor 304 , and a first electrode of the storage capacitor 306 .

このように、新たに初期化用トランジスタ及び初期化線を追加して初期化を行うことによ
り、第1のトランジスタの閾値電圧の取得及び補償を、より確実に行うことができるよう
になる。
In this way, by performing initialization by adding a new initialization transistor and initialization line, it becomes possible to more reliably obtain and compensate the threshold voltage of the first transistor.

また、実施の形態1で説明した初期化の方法では、初期化を行っている最中に発光素子に
電流が流れるため、期間T1で発光素子が発光していたが、本実施形態で示した方法では
、初期化を行っている最中に発光素子に電流が流れないため、期間T1で発光素子が発光
せず、発光期間以外での発光素子の発光を抑えることができる。
In addition, in the initialization method described in embodiment 1, a current flows through the light-emitting element during initialization, causing the light-emitting element to emit light during period T1. However, in the method shown in this embodiment, no current flows through the light-emitting element during initialization, causing the light-emitting element to not emit light during period T1, and light emission by the light-emitting element outside the light-emitting period can be suppressed.

なお、本実施形態では、初期化用トランジスタである第6のトランジスタをPチャネル型
としたが、これに限定されない。Nチャネル型でもよい。
In this embodiment, the sixth transistor, which is an initialization transistor, is a P-channel type, but is not limited to this, and may be an N-channel type.

なお、本実施形態では、第5の走査線を用いて第6のトランジスタを制御したが、第5の
走査線の代わりに、他行の画素が有する既存の他の配線を用いてもよい。特に、初期化を
行う期間T1で、第6のトランジスタがオンするような電圧が印加される配線を用いるの
が望ましい。例えば、第6のトランジスタがPチャネル型である場合は、当該画素の第5
の走査線の代わりに、前行の画素の第1の走査線を用いてもよい。また、第6のトランジ
スタがNチャネル型の場合は、当該画素の第5の走査線の代わりに、前行の画素の第2の
走査線を用いてもよい。このように、第5の走査線の代わりに既存の配線を用いることに
より、当該画素に第5の走査線を新たに設ける必要がなくなるため、配線の本数を減らす
ことができ、画素の開口率を上げることができる。
In this embodiment, the sixth transistor is controlled using the fifth scanning line, but other existing wiring of the pixel in another row may be used instead of the fifth scanning line. In particular, it is preferable to use a wiring to which a voltage is applied so that the sixth transistor is turned on during the initialization period T1. For example, when the sixth transistor is a P-channel type, the fifth transistor of the pixel is
Instead of the scan line of the pixel in the previous row, the first scan line of the pixel in the previous row may be used. Also, if the sixth transistor is an N-channel type, the second scan line of the pixel in the previous row may be used instead of the fifth scan line of the pixel in question. By using an existing wiring instead of the fifth scan line in this way, it is not necessary to newly provide a fifth scan line in the pixel in question, so that the number of wirings can be reduced and the aperture ratio of the pixel can be increased.

なお、本実施形態では、第1のトランジスタがPチャネル型である場合(図3)の場合の
実施例のみを説明したが、本実施形態の内容を、図8に示した画素回路のような、第1の
トランジスタがNチャネル型である場合にも同様に適用することができる。
In this embodiment, only the example in which the first transistor is a P-channel type (FIG. 3) has been described, but the contents of this embodiment can be similarly applied to the case in which the first transistor is an N-channel type, such as in the pixel circuit shown in FIG.

なお、図8に示した画素回路に初期化用トランジスタを追加する場合、第1のトランジス
タ801の第2の電極の電位が、ビデオ信号電圧Vdataと第1のトランジスタ801
の閾値電圧|Vth|との和Vdata+|Vth|よりも高い電位に設定されるように
接続する。また、初期化線を追加する場合、初期化線に印加する電位Viniは、Vda
ta+|Vth|よりも高い電位に設定する。
In addition, when an initialization transistor is added to the pixel circuit shown in FIG. 8, the potential of the second electrode of the first transistor 801 is set to the video signal voltage V data and the potential of the first transistor 801 is set to the
The potential V ini applied to the initialization line is set to a potential higher than the sum V data + |V th | of the threshold voltage |V th | of the initialization line.
ta +|V th | is set to a potential higher than that.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態4)
実施の形態1~実施の形態3では、第2の電源線の電位を固定電位としているが、第1~
第4の期間に応じて、第2の電源線の電位を変えてもよい。本実施形態では、第1~第4
の期間に応じて、第2の電源線の電位を変える場合について説明する。なお、発光素子と
して、EL素子を例に挙げて説明する。
(Embodiment 4)
In the first to third embodiments, the potential of the second power supply line is a fixed potential.
The potential of the second power supply line may be changed depending on the fourth period.
A case will be described in which the potential of the second power supply line is changed depending on the period of time. Note that an EL element will be taken as an example of the light emitting element.

例えば、図3に示した画素回路において、第2の期間T2では、第5のトランジスタ30
5をオフとすることにより、発光素子315に電流を流さないようにしているが、例えば
、第5のトランジスタ305を削除して、第1のトランジスタ301の第2の電極と発光
素子315の第1の電極とを直接接続し、第2の期間T2で第2の電源線313の電位を
、発光素子315の第1の電極の電位よりも高くすることにより、発光素子315に電流
を流さなくすることができる。なぜならば、第2の電源線313の電位を発光素子315
の第1の電極の電位よりも高くすることにより、発光素子315に逆方向のバイアスが加
えられるためである。この場合の例を図33、図34に示す。
For example, in the pixel circuit shown in FIG. 3, in the second period T2, the fifth transistor 30
However, for example, by deleting the fifth transistor 305 and directly connecting the second electrode of the first transistor 301 and the first electrode of the light-emitting element 315, and setting the potential of the second power supply line 313 higher than the potential of the first electrode of the light-emitting element 315 in the second period T2, it is possible to prevent a current from flowing through the light-emitting element 315.
This is because by making the potential of the first electrode higher than that of the second electrode, a reverse bias is applied to the light emitting element 315. Examples of this case are shown in FIGS.

図33では、図3に示した画素回路に対して、第1のトランジスタ301の第2の電極が
発光素子316の第1の電極と直接接続されている。また、図34は、信号線307及び
第1~第3の走査線308~310、第2の電源線313に入力されるビデオ信号電圧及
びパルスのタイミングチャートを示している。なお、第1~第3の走査線308~310
に入力されるパルスのタイミングは、図3に示した画素回路と同じである。
33, the second electrode of the first transistor 301 is directly connected to the first electrode of the light emitting element 316 in the pixel circuit shown in FIG. 3. Also, FIG. 34 shows a timing chart of video signal voltages and pulses input to the signal line 307, the first to third scanning lines 308 to 310, and the second power supply line 313. Note that the first to third scanning lines 308 to 310
The timing of the pulses input to the pixel circuit is the same as that of the pixel circuit shown in FIG.

第2の期間T2では、第2の電源線313の電位を、ビデオ信号電圧Vdataと第1の
トランジスタ301の閾値電圧|Vth|との差Vdata-|Vth|以上にすること
により、発光素子315に逆方向のバイアスを加えることができる。これにより、期間T
2で発光素子315に電流を流さなくすることができる。
In the second period T2, the potential of the second power supply line 313 is set to be equal to or greater than the difference V data - |V th | between the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 301. This allows a reverse bias to be applied to the light-emitting element 315.
In 2, it is possible to prevent current from flowing to the light emitting element 315.

また、第1及び第3の期間T1、T3では、第2の電源線313の電位を、ビデオ信号電
圧Vdataと第1のトランジスタ301の閾値電圧|Vth|との差Vdata-|V
th|よりも低くすることにより、発光素子315に順方向のバイアスを加えることがで
きる。これにより、期間T1、T3で発光素子315に電流を流すことができる。
In the first and third periods T1 and T3, the potential of the second power supply line 313 is set to a value equal to the difference V data | V
By making the potential lower than th |, a forward bias can be applied to the light-emitting element 315. This allows a current to flow through the light-emitting element 315 in the periods T1 and T3.

なお、初期化の方法として、実施の形態3で説明した、初期化用トランジスタを用いて初
期化を行う方法を用いてもよい。この場合の例を、図35に示す。
As a method of initialization, the method of performing initialization using an initialization transistor described in the embodiment mode 3 may be used. An example of this case is shown in FIG.

図35に示した画素回路では、初期化用トランジスタを用いて初期化を行う場合の例を示
した図(図25)において、第5のトランジスタ305及び第4の走査線311を取り除
き、第1のトランジスタ301の第2の電極と発光素子315の第1の電極とを接続して
いる。この場合、期間T1で、第2の電源線313の電位を第1のトランジスタ301の
第2の電極の電位よりも高くすることにより、発光素子315に電流を流さずに初期化を
行うことが可能となる。
35, in the diagram (FIG. 25) showing an example of the case where initialization is performed using an initialization transistor, the fifth transistor 305 and the fourth scan line 311 are removed, and the second electrode of the first transistor 301 and the first electrode of the light-emitting element 315 are connected. In this case, by setting the potential of the second power supply line 313 higher than the potential of the second electrode of the first transistor 301 in the period T1, it is possible to perform initialization without flowing a current to the light-emitting element 315.

また、初期化の方法として、実施の形態3で説明した、初期化用トランジスタと初期化線
を用いて初期化を行う方法を用いてもよい。この場合の例を、図36に示す。
Alternatively, the initialization method may be the method described in the third embodiment, in which initialization is performed using an initialization transistor and an initialization line. An example of this case is shown in FIG.

図36に示した画素回路では、初期化用トランジスタと初期化線を用いて初期化を行う場
合の例を示した図(図30)において、第5のトランジスタ305及び第4の走査線31
1を取り除き、第1のトランジスタ301の第2の電極と発光素子315の第1の電極と
を接続している。この場合、期間T1で、第2の電源線313の電位を初期化電位Vin
以上にすることにより、発光素子315に電流を流さずに初期化を行うことが可能とな
る。
In the pixel circuit shown in FIG. 36, the fifth transistor 305 and the fourth scanning line 31 in the diagram (FIG. 30) showing an example in which initialization is performed using an initialization transistor and an initialization line are
1 is removed, and the second electrode of the first transistor 301 and the first electrode of the light-emitting element 315 are connected. In this case, in the period T1, the potential of the second power supply line 313 is set to the initialization potential V in
By making it i or more, it becomes possible to perform initialization without flowing a current to the light emitting element 315 .

なお、本実施形態では、第1のトランジスタがPチャネル型である場合(図3)の場合の
実施例のみを説明したが、本実施形態の内容を、図8に示した画素回路のような、第1の
トランジスタがNチャネル型である場合にも同様に適用することができる。
In this embodiment, only the example in which the first transistor is a P-channel type (FIG. 3) has been described, but the contents of this embodiment can be similarly applied to the case in which the first transistor is an N-channel type, such as in the pixel circuit shown in FIG.

図8に示した画素回路において、期間に応じて第2の電源線813の電位を変える場合、
期間T2で、第2の電源線813の電位を、発光素子815の第2の電極の電位よりも低
くすることにより、発光素子815に逆方向のバイアスを加えることができる。これによ
り、期間T2で発光素子815に電流を流さなくすることができる。
In the pixel circuit shown in FIG. 8, when the potential of the second power supply line 813 is changed depending on the period,
In the period T2, the potential of the second power supply line 813 is made lower than the potential of the second electrode of the light-emitting element 815, so that a reverse bias can be applied to the light-emitting element 815. This can prevent current from flowing to the light-emitting element 815 in the period T2.

なお、期間T2では、第2の電源線813の電位を、ビデオ信号電圧Vdataと第1の
トランジスタ801の閾値電圧|Vth|との和Vdata+|Vth|以下にすること
により、上記の動作を行うことができる。
Note that in the period T2, the above operation can be performed by setting the potential of the second power supply line 813 to a value equal to or lower than the sum V data +|V th | of the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor 801.

また、第1及び第3の期間T1、T3では、第2の電源線813の電位を、ビデオ信号電
圧Vdataと第1のトランジスタ801の閾値電圧|Vth|との和Vdata+|V
th|よりも高くすることにより、発光素子815に順方向のバイアスを加えることがで
きる。これにより、期間T1、T3で発光素子815に電流を流すことができる。
In the first and third periods T1 and T3, the potential of the second power supply line 813 is set to the sum V data + | V
By making the voltage higher than th |, a forward bias can be applied to the light emitting element 815. This allows a current to flow through the light emitting element 815 in the periods T1 and T3.

なお、初期化の方法として、実施の形態3で説明した、初期化用トランジスタを用いて初
期化を行う方法を用いてもよい。この場合、期間T1で、第2の電源線813の電位を第
1のトランジスタ801の第2の電極の電位よりも低くすることにより、発光素子815
に電流を流さずに初期化を行うことが可能となる。
As a method of initialization, the method of performing initialization using an initialization transistor described in Embodiment 3 may be used. In this case, in the period T1, the potential of the second power supply line 813 is set lower than the potential of the second electrode of the first transistor 801, thereby
This makes it possible to perform initialization without passing a current through the memory cell.

また、初期化の方法として、実施の形態3で説明した、初期化用トランジスタと初期化線
を用いて初期化を行う方法を用いてもよい。この場合、期間T1で、第2の電源線813
の電位を初期化電位Vini以下にすることにより、発光素子815に電流を流さずに初
期化を行うことが可能となる。
Alternatively, as a method of initialization, the method of performing initialization using an initialization transistor and an initialization line described in the embodiment mode 3 may be used. In this case, in the period T1,
By setting the potential of the pixel 814 to the initialization potential V ini or lower, it is possible to perform initialization without flowing a current to the light emitting element 815 .

このように、第2の電源線の電位を期間によって変化させることにより、発光期間(T3
)以外の期間に発光素子に電流を流さなくすることができるため、発光期間以外の期間で
の発光素子の発光を抑えることができる。また、第5のトランジスタ及び第4の走査線を
設ける必要がなくなるため、画素の開口率を上げることができる。また、走査線駆動回路
の数を減らすことができるため、消費電力を削減することができる。
In this way, by changing the potential of the second power line depending on the period, the light emission period (T3
Since the current is not passed through the light-emitting element during the period other than the light-emitting period, the light emission of the light-emitting element during the period other than the light-emitting period can be suppressed. In addition, since it is not necessary to provide the fifth transistor and the fourth scan line, the aperture ratio of the pixel can be increased. In addition, the number of scan line driver circuits can be reduced, so that power consumption can be reduced.

また、第2の電源線の電位を期間によって変化させることにより、発光素子に逆方向のバ
イアスを加えることができる。特に、発光素子がEL素子の場合、逆方向のバイアスを加
えることによって、EL素子の劣化状態を改善し、信頼性を向上させることができるとと
もに、寿命を伸ばすことができる。
In addition, by changing the potential of the second power line depending on the period, a reverse bias can be applied to the light emitting element. In particular, when the light emitting element is an EL element, applying a reverse bias can improve the deterioration state of the EL element, improve its reliability, and extend its lifespan.

なお、本発明の画素構成を、面積階調方式を行う場合の画素構成に適用してもよい。つま
り、1画素を複数のサブ画素に分割する画素構成において、各サブ画素に本発明の画素構
成を適用してもよい。これにより、各サブ画素ごとに輝度のばらつきを低減させることが
でき、高画質で、かつ、多階調の表示が可能となる。
The pixel configuration of the present invention may be applied to a pixel configuration in which an area gradation method is performed. That is, in a pixel configuration in which one pixel is divided into a plurality of sub-pixels, the pixel configuration of the present invention may be applied to each of the sub-pixels. This makes it possible to reduce the variation in luminance for each sub-pixel, and to display a high-quality image with multiple gradations.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態5)
本実施形態では、本発明の表示装置における画素のレイアウトについて述べる。例えば、
図3に示した画素回路について、そのレイアウト図を図37に示す。なお、図37に付し
た番号は、図3に付した番号と一致する。なお、レイアウト図は、図37に限定されない
(Embodiment 5)
In this embodiment, the layout of pixels in the display device of the present invention will be described. For example,
Fig. 37 shows a layout diagram of the pixel circuit shown in Fig. 3. Note that the numbers given in Fig. 37 are the same as those given in Fig. 3. Note that the layout diagram is not limited to Fig. 37.

図3に示した画素回路は、第1~第5のトランジスタ301~305、保持容量306、
信号線307、第1~第4の走査線308~311、第1及び第2の電源線312、31
3、容量線314、発光素子315から構成されている。
The pixel circuit shown in FIG. 3 includes first to fifth transistors 301 to 305, a storage capacitor 306,
A signal line 307, first to fourth scanning lines 308 to 311, first and second power supply lines 312, 31
3, a capacitance line 314, and a light emitting element 315.

第1~第4の走査線308~311は、第1配線によって形成され、信号線307、第1
及び第2の電源線312、313、容量線314は、第2配線によって形成されている。
The first to fourth scanning lines 308 to 311 are formed by the first wiring, and the signal line 307 and the first
The second power supply lines 312 and 313 and the capacitance line 314 are formed of the second wiring.

トップゲート構造の場合は、基板、半導体層、ゲート絶縁膜、第1配線、層間絶縁膜、第
2配線、の順で膜が構成される。また、ボトムゲート構造の場合は、基板、第1配線、ゲ
ート絶縁膜、半導体層、層間絶縁膜、第2配線、の順で膜が構成される。
In the case of a top gate structure, the films are configured in the order of the substrate, the semiconductor layer, the gate insulating film, the first wiring, the interlayer insulating film, and the second wiring, whereas in the case of a bottom gate structure, the films are configured in the order of the substrate, the first wiring, the gate insulating film, the semiconductor layer, the interlayer insulating film, and the second wiring.

なお、本実施形態の画素構成において、第1~第5のトランジスタのそれぞれが有するチ
ャネル長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第1のトランジスタが有するW/Lの
値を最大にすると、第1のトランジスタのドレイン・ソース間を流れる電流をより大きく
することができる。これにより、期間T2でビデオ信号電圧Vdata及び第1のトラン
ジスタの閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を取得するときに、より大きな電流によって
動作を行うことができるため、より迅速な動作ができるようになる。また、期間T3で発
光素子に流れる電流IOLEDをより大きくすることができ、輝度をより高くすることが
可能となる。そこで、第1のトランジスタが有するW/Lの値が最大となるようにするた
めに、図37では、第1~第5のトランジスタの中で、第1のトランジスタ301が有す
るチャネル幅Wを最大にしている。
In the pixel configuration of this embodiment, among the values of the ratio W/L of the channel length L to the channel width W of each of the first to fifth transistors, when the value of W/L of the first transistor is maximized, the current flowing between the drain and source of the first transistor can be increased. As a result, when a voltage based on the video signal voltage V data and the threshold voltage |V th | of the first transistor is acquired in the period T2, a larger current can be used for operation, so that a faster operation can be performed. In addition, the current I OLED flowing to the light-emitting element in the period T3 can be increased, and the luminance can be increased. Therefore, in order to maximize the value of W/L of the first transistor, in FIG. 37, the channel width W of the first transistor 301 is maximized among the first to fifth transistors.

なお、本実施形態では、第1~第5のトランジスタ301~305をシングルゲート構造
で記載したが、これに限定されない。第1~第5のトランジスタ301~305の構造は
、様々な形態をとることができる。例えば、ゲート電極が2個以上になっているマルチゲ
ート構造を用いてもよい。マルチゲート構造にすると、チャネル領域が直列に接続される
ような構成となるため、複数のトランジスタが直列に接続されたような構成となる。マル
チゲート構造にすることにより、オフ電流を低減したり、トランジスタの耐圧を向上させ
て信頼性を良くしたり、飽和領域で動作する時に、ドレイン・ソース間電圧が変化しても
、ドレイン・ソース間電流があまり変化せず、フラットな特性にすることができる。また
、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造でもよい。チャネルの上下にゲート
電極が配置されている構造にすることにより、チャネル領域が増えるため、電流値を大き
くしたり、空乏層ができやすくなってS係数(サブスレッショルド係数)を小さくするこ
とができる。チャネルの上下にゲート電極が配置されると、複数のトランジスタが並列に
接続されたような構成となる。また、チャネルの上にゲート電極が配置されている構造で
もよいし、チャネルの下にゲート電極が配置されている構造でもよいし、正スタガ構造で
あってもよいし、逆スタガ構造でもよいし、チャネル領域が複数の領域に分かれていても
よいし、並列に接続されていてもよいし、直列に接続されていてもよい。また、チャネル
(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なっていてもよい。チャネル(も
しくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なっている構造にすることにより、チ
ャネルの一部に電荷がたまって、動作が不安定になることを防ぐことができる。また、L
DD領域があってもよい。LDD領域を設けることにより、オフ電流を低減したり、トラ
ンジスタの耐圧を向上させて信頼性を良くしたり、飽和領域で動作する時に、ドレイン・
ソース間電圧が変化しても、ドレイン・ソース間電流があまり変化せず、フラットな特性
にすることができる。
In this embodiment, the first to fifth transistors 301 to 305 are described as having a single gate structure, but the present invention is not limited thereto. The structures of the first to fifth transistors 301 to 305 can take various forms. For example, a multi-gate structure having two or more gate electrodes may be used. With a multi-gate structure, the channel regions are connected in series, resulting in a configuration in which a plurality of transistors are connected in series. By using a multi-gate structure, the off-current can be reduced, the withstand voltage of the transistor is improved to improve reliability, and even if the drain-source voltage changes when operating in the saturation region, the drain-source current does not change much, resulting in flat characteristics. In addition, a structure in which gate electrodes are arranged above and below the channel may be used. By using a structure in which gate electrodes are arranged above and below the channel, the channel region increases, so that the current value can be increased, and a depletion layer can be easily formed, resulting in a smaller S coefficient (subthreshold coefficient). When gate electrodes are arranged above and below the channel, a configuration in which a plurality of transistors are connected in parallel is obtained. Also, the gate electrode may be disposed above the channel, or may be disposed below the channel, or may be in a positive staggered structure or an inverse staggered structure, or the channel region may be divided into a plurality of regions, or may be connected in parallel or in series. Also, the source electrode or drain electrode may overlap the channel (or a part thereof). By adopting a structure in which the source electrode or drain electrode overlaps the channel (or a part thereof), it is possible to prevent charges from accumulating in a part of the channel, causing the operation to become unstable. Also, L
By providing the LDD region, the off-current can be reduced, the withstand voltage of the transistor can be improved to improve reliability, and the drain-gate can be reduced when the transistor operates in the saturation region.
Even if the source voltage changes, the drain-source current does not change significantly, making it possible to achieve flat characteristics.

なお、配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビア、プラグなどは、アルミニウム(Al)
、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、ネオ
ジウム(Nd)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、金(Au)、銀(
Ag)、銅(Cu)、マグネシウム (Mg) 、スカンジウム (Sc)、 コバルト
( Co) 、亜鉛( Zn) 、ニオブ( Nb) 、シリコン(Si)、リン(P
)、ボロン(B)、ヒ素(As)、ガリウム(Ga)、インジウム (In )、錫 (
Sn )、酸素(O)で構成された群から選ばれた一つもしくは複数の元素、または、前
記群から選ばれた一つもしくは複数の元素を成分とする化合物、合金材料(例えば、イン
ジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を含むインジウ
ム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化錫(SnO)、酸化錫カドミウム(
CTO)、アルミネオジウム(Al-Nd)、マグネシウム銀(Mg-Ag)、モリブデ
ンニオブ(Mo-Nb)など)で形成されることが望ましい。または、配線、電極、導電
層、導電膜、端子などは、これらの化合物を組み合わせた物質などを有して形成されるこ
とが望ましい。もしくは、前記群から選ばれた一つもしくは複数の元素とシリコンの化合
物(シリサイド)(例えば、アルミシリコン、モリブデンシリコン、ニッケルシリサイド
など)、前記群から選ばれた一つもしくは複数の元素と窒素の化合物(例えば、窒化チタ
ン、窒化タンタル、窒化モリブデン等)を有して形成されることが望ましい。
The wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, vias, plugs, etc. are made of aluminum (Al).
, tantalum (Ta), titanium (Ti), molybdenum (Mo), tungsten (W), neodymium (Nd), chromium (Cr), nickel (Ni), platinum (Pt), gold (Au), silver (
Ag), copper (Cu), magnesium (Mg), scandium (Sc), cobalt (Co), zinc (Zn), niobium (Nb), silicon (Si), phosphorus (P
), boron (B), arsenic (As), gallium (Ga), indium (In), tin (
Sn), or oxygen (O), or a compound or alloy material containing one or more elements selected from the group consisting of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin oxide containing silicon oxide (ITSO), zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO), cadmium tin oxide (
It is preferable that the wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, etc. are formed of a material that is a combination of these compounds. It is preferable that the wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, etc. are formed of a compound (silicide) of one or more elements selected from the above group and silicon (e.g., aluminum silicon, molybdenum silicon, nickel silicide, etc.), or a compound of one or more elements selected from the above group and nitrogen (e.g., titanium nitride, tantalum nitride, molybdenum nitride, etc.).

なお、シリコン(Si)には、n型不純物(リンなど)またはp型不純物(ボロンなど)
を含んでいてもよい。シリコンが不純物を含むことにより、導電率が向上したり、通常の
導体と同様な振る舞いをすることが可能となる。従って、配線、電極などとして利用しや
すくなる。
Silicon (Si) can contain n-type impurities (such as phosphorus) or p-type impurities (such as boron).
When silicon contains impurities, its electrical conductivity improves and it can behave like a normal conductor, making it easier to use as wiring, electrodes, etc.

なお、シリコンは、単結晶、多結晶(ポリシリコン)、微結晶(マイクロクリスタルシリ
コン)など、様々な結晶性を有するシリコンを用いることが出来る。あるいは、シリコン
は非晶質(アモルファスシリコン)などの結晶性を有さないシリコンを用いることが出来
る。単結晶シリコンまたは多結晶シリコンを用いることにより、配線、電極、導電層、導
電膜、端子などの抵抗を小さくすることが出来る。非晶質シリコンまたは微結晶シリコン
を用いることにより、簡単な工程で配線などを形成することが出来る。
Silicon having various crystallinity such as single crystal, polycrystalline (polysilicon), microcrystalline (microcrystal silicon), etc. can be used. Alternatively, silicon having no crystallinity such as amorphous silicon can be used. By using single crystal silicon or polycrystalline silicon, the resistance of wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, etc. can be reduced. By using amorphous silicon or microcrystalline silicon, wiring, etc. can be formed in a simple process.

なお、アルミニウムまたは銀は、導電率が高いため、信号遅延を低減することができる。
さらに、エッチングしやすいので、パターニングしやすく、微細加工を行うことが出来る
Incidentally, aluminum or silver has high electrical conductivity, and therefore can reduce signal delay.
Furthermore, since it is easy to etch, it is easy to pattern and can be subjected to fine processing.

なお、銅は、導電率が高いため、信号遅延を低減することが出来る。銅を用いる場合は、
密着性を向上させるため、積層構造にすることが望ましい。
In addition, copper has high conductivity, so it can reduce signal delay. When using copper,
In order to improve adhesion, a laminated structure is preferable.

なお、モリブデンまたはチタンは、酸化物半導体(ITO、IZOなど)またはシリコン
と接触しても、不良を起こさない、エッチングしやすい、耐熱性が高いなどの利点を有す
るため、望ましい。
Molybdenum or titanium is preferable because it has advantages such as not causing defects even when in contact with an oxide semiconductor (ITO, IZO, etc.) or silicon, being easy to etch, and having high heat resistance.

なお、タングステンは、耐熱性が高いなどの利点を有するため、望ましい。 Tungsten is preferable because it has advantages such as high heat resistance.

なお、ネオジウムは、耐熱性が高いなどの利点を有するため、望ましい。特に、ネオジウ
ムとアルミニウムとの合金にすると、耐熱性が向上し、アルミニウムがヒロックをおこし
にくくなる。
Neodymium is desirable because it has the advantage of being highly heat resistant. In particular, when neodymium is alloyed with aluminum, the heat resistance is improved and aluminum is less likely to develop hillocks.

なお、シリコンは、トランジスタが有する半導体層と同時に形成できる、耐熱性が高いな
どの利点を有するため、望ましい。
Silicon is preferable because it has advantages such as being able to be formed simultaneously with a semiconductor layer of a transistor and having high heat resistance.

なお、ITO、IZO、ITSO、酸化亜鉛(ZnO)、シリコン(Si)、酸化錫(S
nO)、酸化錫カドミウム(CTO)は、透光性を有しているため、光を透過させる部分
に用いることができる。たとえば、画素電極や共通電極として用いることができる。
In addition, ITO, IZO, ITSO, zinc oxide (ZnO), silicon (Si), tin oxide (S
Since cadmium tin oxide (CTO) and cadmium tin oxide (CTO) are transparent, they can be used in light transmitting portions, for example, as pixel electrodes and common electrodes.

なお、IZOは、エッチングしやすく、加工しやすいため、望ましい。IZOは、エッチ
ングしたときに、残渣が残ってしまう、ということも起こりにくい。したがって、画素電
極としてIZOを用いると、液晶素子や発光素子に不具合(ショート、配向乱れなど)を
もたらすことを低減出来る。
IZO is preferable because it is easy to etch and process. When IZO is etched, it is unlikely that residues will remain. Therefore, when IZO is used as a pixel electrode, it is possible to reduce problems (such as short circuits and alignment disorders) in liquid crystal elements and light-emitting elements.

なお、配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビア、プラグなどは、単層構造でもよいし、
多層構造になっていてもよい。単層構造にすることにより、配線、電極、導電層、導電膜
、端子などの製造工程を簡略化することができ、工程日数を少なくでき、コストを低減す
ることが出来る。あるいは、多層構造にすることにより、それぞれの材料のメリットを生
かしつつ、デメリットを低減させ、性能の良い配線、電極などを形成することが出来る。
たとえば、低抵抗材料(アルミニウムなど)を多層構造の中に含むことにより、配線の低
抵抗化を図ることができる。また、低耐熱性の材料を、高耐熱性の材料で挟む積層構造に
することにより、低耐熱性の材料の持つメリットを生かしつつ、配線、電極などの耐熱性
を高くすることが出来る。例えば、アルミニウムを含む層を、モリブデン、チタン、ネオ
ジウムなどを含む層で挟む積層構造にすると望ましい。
In addition, wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, vias, plugs, etc. may have a single-layer structure.
It may have a multi-layer structure. By making it a single-layer structure, the manufacturing process of wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, etc. can be simplified, the number of process days can be reduced, and costs can be reduced. Alternatively, by making it a multi-layer structure, it is possible to form wiring, electrodes, etc. with good performance by taking advantage of the advantages of each material while reducing its disadvantages.
For example, by including a low-resistance material (such as aluminum) in the multi-layer structure, it is possible to reduce the resistance of the wiring. Also, by sandwiching a low-heat-resistant material between high-heat-resistant materials in a multi-layer structure, it is possible to improve the heat resistance of wiring, electrodes, etc. while taking advantage of the advantages of the low-heat-resistant material. For example, it is desirable to have a multi-layer structure in which a layer containing aluminum is sandwiched between layers containing molybdenum, titanium, neodymium, etc.

また、配線、電極など同士が直接接する場合、お互いに悪影響を及ぼすことがある。例え
ば、一方の配線、電極などが他方の配線、電極など材料の中に入っていって、性質を変え
てしまい、本来の目的を果たせなくなる。別の例として、高抵抗な部分を形成又は製造す
るときに、問題が生じて、正常に製造できなくなったりすることがある。そのような場合
、積層構造により反応しやすい材料を、反応しにくい材料で挟んだり、覆ったりするとよ
い。例えば、ITOとアルミニウムとを接続させる場合は、ITOとアルミニウムとの間
に、チタン、モリブデン、ネオジウム合金を挟むことが望ましい。また、シリコンとアル
ミニウムとを接続させる場合は、ITOとアルミニウムとの間に、チタン、モリブデン、
ネオジウム合金を挟むことが望ましい。
In addition, when wiring, electrodes, etc. are in direct contact with each other, they may have a detrimental effect on each other. For example, one wiring, electrode, etc. may penetrate into the material of the other wiring, electrode, etc., changing the properties and making it impossible to fulfill the original purpose. As another example, when forming or manufacturing a high resistance part, a problem may occur and it may become impossible to manufacture normally. In such a case, it is advisable to sandwich or cover a material that is easily reactive due to the laminated structure with a material that is less likely to react. For example, when connecting ITO and aluminum, it is desirable to sandwich titanium, molybdenum, or neodymium alloy between ITO and aluminum. Also, when connecting silicon and aluminum, it is desirable to sandwich titanium, molybdenum,
It is preferable to sandwich a neodymium alloy.

なお、配線とは、導電体が配置されているものを言う。線状に伸びていても良いし、伸び
ずに短く配置されていてもよい。したがって、電極は、配線に含まれている。
The term "wiring" refers to an arrangement of conductors. The wiring may extend linearly or may be arranged short and not extend. Therefore, electrodes are included in the wiring.

なお、配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビア、プラグなどとして、カーボンナノチュ
ーブを用いても良い。さらに、カーボンナノチューブは、透光性を有しているため、光を
透過させる部分に用いることができる。たとえば、画素電極や共通電極として用いること
ができる。
Carbon nanotubes may be used as wiring, electrodes, conductive layers, conductive films, terminals, vias, plugs, etc. Furthermore, carbon nanotubes have translucency and can be used in light transmitting portions, for example, as pixel electrodes and common electrodes.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態6)
本実施形態では、表示装置における信号線駆動回路や走査線駆動回路などの構成とその動
作について説明する。
(Embodiment 6)
In this embodiment, the configurations and operations of a signal line driving circuit, a scanning line driving circuit, and the like in a display device will be described.

まず、画素構成として、図3や図8に示したような、信号線と第1~第4の走査線とを用
いて動作を制御する画素構成を用いる場合について説明する。ここでは、画素構成として
、図3に示した画素構成を用いた場合を例に挙げて説明する。この場合の表示装置の構成
例を図38に示す。
First, a case where a pixel configuration in which operation is controlled using signal lines and first to fourth scanning lines as shown in Fig. 3 or Fig. 8 is used will be described. Here, a case where the pixel configuration shown in Fig. 3 is used will be described as an example. An example of the configuration of a display device in this case is shown in Fig. 38.

図38に示した表示装置は、画素部3801、第1~第4の走査線駆動回路3802~3
805、信号線駆動回路3806を有しており、第1の走査線駆動回路3802と第1の
走査線308とが接続され、第2の走査線駆動回路3803と第2の走査線309とが接
続され、第3の走査線駆動回路3804と第3の走査線310とが接続され、第4の走査
線駆動回路3805と第4の走査線311とが接続され、信号線駆動回路3806と信号
線307とが接続される。なお、第1~第4の走査線、及び信号線に付した符号は、図3
に付した符号に対応している。
The display device shown in FIG. 38 includes a pixel portion 3801, first to fourth scanning line driver circuits 3802 to 3803, and a pixel portion 3804.
The pixel circuit has a first scanning line driver circuit 3802 and a first scanning line 308, a second scanning line driver circuit 3803 and a second scanning line 309, a third scanning line driver circuit 3804 and a third scanning line 310, a fourth scanning line driver circuit 3805 and a fourth scanning line 311, and a signal line driver circuit 3806 and a signal line 307. The reference characters attached to the first to fourth scanning lines and the signal lines are the same as those in FIG.
These correspond to the symbols attached to the

まずは、走査線駆動回路について説明する。第1の走査線駆動回路3802は、第1の走
査線308に順次選択信号を出力するための回路である。第2~第4の走査線駆動回路3
803~3805についても同様である。これにより、画素部3801に選択信号が書き
込まれる。
First, the scanning line driver circuit will be described. The first scanning line driver circuit 3802 is a circuit for sequentially outputting selection signals to the first scanning line 308. The second to fourth scanning line driver circuits 3
The same applies to 803 to 3805. As a result, a selection signal is written to the pixel portion 3801.

ここで、第1~第4の走査線駆動回路3802~3805の構成例を図39に示す。第1
~第4の走査線駆動回路3802~3805は、主に、シフトレジスタ3901や増幅回
路3902などを有している。
Here, a configuration example of the first to fourth scanning line driver circuits 3802 to 3805 is shown in FIG.
Each of the fourth to fourth scanning line driver circuits 3802 to 3805 mainly includes a shift register 3901, an amplifier circuit 3902, and the like.

次に、図39に示した第1~第4の走査線駆動回路3802~3805の動作を簡単に説
明する。シフトレジスタ3901には、クロック信号(G-CLK)、スタートパルス(
G-SP)、クロック反転信号(G-CLKB)が入力され、これらの信号のタイミング
に従って、順次サンプリングパルスが出力される。出力されたサンプリングパルスは、増
幅回路3902で増幅され、各走査線から画素部(X54)01へ入力される。
Next, the operation of the first to fourth scanning line driving circuits 3802 to 3805 shown in FIG. 39 will be briefly described. A shift register 3901 receives a clock signal (G-CLK), a start pulse (
A clock inversion signal (G-SP) and a clock inversion signal (G-CLKB) are input, and sampling pulses are output in sequence according to the timing of these signals. The output sampling pulses are amplified by an amplifier circuit 3902 and input to the pixel section (X54)01 from each scanning line.

なお、増幅回路3902の構成として、バッファ回路を有してもよいし、レベルシフタ回
路を有してもよい。また、走査線駆動回路には、シフトレジスタ3901や増幅回路39
02の他に、パルス幅制御回路などが配置されてもよい。
The amplifier circuit 3902 may include a buffer circuit or a level shifter circuit.
In addition to 02, a pulse width control circuit and the like may be provided.

次に、信号線駆動回路について説明する。信号線駆動回路3806は、画素部に接続され
た信号線307にビデオ信号を順次出力するための回路である。信号線駆動回路3806
から出力されたビデオ信号は、画素部3801に入力される。画素部3801では、ビデ
オ信号に従って、画素の発光状態を制御することにより、画像を表示する。
Next, a signal line driver circuit 3806 will be described. The signal line driver circuit 3806 is a circuit for sequentially outputting video signals to a signal line 307 connected to a pixel portion.
The video signal output from the pixel portion 3801 is input to the pixel portion 3801. In the pixel portion 3801, an image is displayed by controlling the light emission state of the pixel in accordance with the video signal.

ここで、信号線駆動回路3806の構成例を図40に示す。図40(A)は、線順次駆動
で画素に信号を供給する場合の信号線駆動回路3806の一例を示している。この場合の
信号線駆動回路3806は、主に、シフトレジスタ4001、第1のラッチ回路4002
、第2のラッチ回路4003、増幅回路4004などを有している。なお、増幅回路40
04の構成として、バッファ回路を有してもよいし、レベルシフタ回路を有してもよいし
、デジタル信号をアナログに変換する機能を有する回路を有してもよいし、ガンマ補正を
行う機能を有する回路を有してもよい。
Here, a configuration example of the signal line driver circuit 3806 is shown in Fig. 40. Fig. 40A shows an example of the signal line driver circuit 3806 in the case where signals are supplied to pixels by line sequential driving. In this case, the signal line driver circuit 3806 mainly includes a shift register 4001, a first latch circuit 4002, and a second latch circuit 4003.
, a second latch circuit 4003, an amplifier circuit 4004, etc.
The configuration of 04 may include a buffer circuit, a level shifter circuit, a circuit having a function of converting a digital signal into analog, or a circuit having a function of performing gamma correction.

次に、図40(A)に示した信号線駆動回路3806の動作を簡単に説明する。シフトレ
ジスタ4001には、クロック信号(S-CLK)、スタートパルス(S-SP)、クロ
ック反転信号(S-CLKB)が入力され、これらの信号のタイミングに従って、順次サ
ンプリングパルスが出力される。
Next, the operation of the signal line driver circuit 3806 shown in Fig. 40A will be briefly described. A clock signal (S-CLK), a start pulse (S-SP), and a clock inversion signal (S-CLKB) are input to a shift register 4001, and sampling pulses are output in sequence according to the timing of these signals.

シフトレジスタ4001より出力されたサンプリングパルスは、第1のラッチ回路400
2に入力される。第1のラッチ回路4002には、ビデオ信号線より、ビデオ信号が電圧
dataで入力されており、サンプリングパルスが入力されるタイミングに従って、各
列でビデオ信号を保持していく。
The sampling pulse output from the shift register 4001 is input to the first latch circuit 400
A video signal is input to the first latch circuit 4002 at a voltage Vdata from a video signal line, and the video signal is held in each column according to the timing at which the sampling pulse is input.

第1のラッチ回路4002において、最終列までビデオ信号の保持が完了すると、水平帰
線期間中に、ラッチ制御線よりラッチ信号が入力され、第1のラッチ回路4002に保持
されていたビデオ信号は、一斉に第2のラッチ回路(X56)03に転送される。その後
、第2のラッチ回路4003に保持されたビデオ信号は、1行分が同時に増幅回路400
4へと入力される。そして、増幅回路4004にて、ビデオ信号電圧Vdataの振幅が
増幅され、ビデオ信号が各信号線から画素部3801へ入力される。
When the first latch circuit 4002 has completed holding the video signals up to the last column, a latch signal is input from a latch control line during a horizontal retrace period, and the video signals held in the first latch circuit 4002 are simultaneously transferred to the second latch circuit (X56) 03. After that, the video signals held in the second latch circuit 4003 are simultaneously transferred to the amplifier circuit 400 for one row.
The video signal voltage V data is input to the amplifier circuit 4004. The amplitude of the video signal voltage V data is amplified in the amplifier circuit 4004, and the video signal is input to the pixel portion 3801 from each signal line.

第2のラッチ回路4003に保持されたビデオ信号が増幅回路4004に入力され、そし
て、画素部3801に入力されている間、シフトレジスタ4001においては再びサンプ
リングパルスが出力される。つまり、同時に2つの動作が行われる。これにより、線順次
駆動が可能となる。以後、この動作を繰り返す。
The video signal held in the second latch circuit 4003 is input to the amplifier circuit 4004, and while being input to the pixel portion 3801, a sampling pulse is output again from the shift register 4001. That is, two operations are performed at the same time. This enables line-sequential driving. Thereafter, this operation is repeated.

なお、点順次駆動で画素に信号を供給する場合もある。その場合の信号線駆動回路380
6の一例を図40(B)に示す。この場合の信号線駆動回路3806は、シフトレジスタ
4001とサンプリング回路4005などを有している。シフトレジスタ4001から、
サンプリングパルスがサンプリング回路4005に出力される。また、サンプリング回路
4005には、ビデオ信号線より、ビデオ信号が電圧Vdataで入力され、サンプリン
グパルスに応じて、順次、画素部3801へビデオ信号が出力される。これにより、点順
次駆動が可能となる。
In addition, there are cases where signals are supplied to pixels by dot sequential driving. In that case, the signal line driving circuit 380
An example of the signal line driver circuit 3806 in this case includes a shift register 4001 and a sampling circuit 4005.
The sampling pulse is output to the sampling circuit 4005. A video signal is input to the sampling circuit 4005 from a video signal line at a voltage Vdata , and the video signal is output to the pixel portion 3801 in sequence in response to the sampling pulse. This enables dot sequential driving.

なお、信号線駆動回路やその一部(電流源回路や増幅回路など)は、画素部3801と同
一基板上に存在せず、例えば、外付けのICチップを用いて構成されることもある。
It is to be noted that the signal line driver circuit or a part thereof (such as a current source circuit or an amplifier circuit) may not be present on the same substrate as the pixel portion 3801 and may be formed using, for example, an external IC chip.

以上のような走査線駆動回路及び信号線駆動回路を用いることにより、本発明の画素回路
を駆動させることができる。
By using the above-described scanning line driver circuit and signal line driver circuit, the pixel circuit of the present invention can be driven.

なお、例えば、図3や図8に示した画素回路では、第1及び第2の走査線には互いに反転
した選択信号が入力される。よって、第1もしくは第2の走査線駆動回路のいずれか一方
を用いて、第1もしくは第2の走査線のいずれか一方に入力される選択信号を制御し、他
方の走査線には、その反転信号を入力してもよい。この場合の表示装置の構成例を図41
に示す。
In the pixel circuits shown in Fig. 3 and Fig. 8, for example, mutually inverted selection signals are input to the first and second scanning lines. Therefore, using either the first or second scanning line driver circuit, a selection signal input to either the first or second scanning line may be controlled, and an inverted signal may be input to the other scanning line. An example of the configuration of a display device in this case is shown in Fig. 41.
As shown in.

図41に示した表示装置は、画素部3801、第1、第3、第4の走査線駆動回路380
2、3804、3805、信号線駆動回路3806、インバータ3807を有しており、
第1の走査線駆動回路3802と第1の走査線308とが接続され、第2の走査線309
が、インバータ3807を介して第1の走査線駆動回路3802と接続される。他の走査
線駆動回路及び信号線駆動回路の接続は、図38に示した表示装置と同様であるため、こ
こでは説明を割愛する。なお、第1~第4の走査線、及び信号線に付した符号は、図3に
付した符号に対応している。
The display device shown in FIG. 41 includes a pixel portion 3801, first, third and fourth scanning line driver circuits 380,
2, 3804, 3805, a signal line driver circuit 3806, and an inverter 3807.
The first scanning line driver circuit 3802 and the first scanning line 308 are connected, and the second scanning line 309
is connected to a first scanning line driver circuit 3802 via an inverter 3807. The other connections of the scanning line driver circuit and the signal line driver circuit are the same as those in the display device shown in Fig. 38, and therefore the description thereof will be omitted here. Note that the reference numerals given to the first to fourth scanning lines and the signal line correspond to those given in Fig. 3.

図41に示した表示装置では、第1の走査線駆動回路3802を用いて第1の走査線30
8に入力される選択信号を制御し、第2の走査線309には、インバータ3807を用い
て生成された、第1の走査線308に入力された選択信号の反転信号が入力される。
In the display device shown in FIG. 41, the first scanning line 30 is driven by a first scanning line driving circuit 3802.
The selection signal input to the first scanning line 308 is controlled by the inverter 3807 , and an inverted signal of the selection signal input to the first scanning line 308 , which is generated by the inverter 3807 , is input to the second scanning line 309 .

また、例えば、図3や図8に示した画素構成では、第2及び第4の走査線には同一の選択
信号が入力される。よって、図14や図15に示した画素構成のように、第3及び第5の
トランジスタを同一の走査線を用いて制御してもよい。この場合の表示装置の構成例を図
42に示す。なお、画素構成として、図14に示した画素構成を用いる場合を例に挙げて
説明する。
Also, for example, in the pixel configurations shown in Figures 3 and 8, the same selection signal is input to the second and fourth scanning lines. Therefore, as in the pixel configurations shown in Figures 14 and 15, the third and fifth transistors may be controlled using the same scanning line. An example of the configuration of a display device in this case is shown in Figure 42. Note that the pixel configuration shown in Figure 14 will be described as an example.

図42は、第3及び第5のトランジスタ303、305を、第2の走査線309を用いて
制御する場合の表示装置の構成例である。図42に示した表示装置は、画素部3801、
第1~第3の走査線駆動回路3802~3804、信号線駆動回路3806を有している
。各駆動回路の接続は、図38に示した表示装置と同様であるため、ここでは説明を割愛
する。なお、第1~第3の走査線、信号線、第3及び第5のトランジスタに付した符号は
、図14に付した符号に対応している。
42 shows a configuration example of a display device in which the third and fifth transistors 303 and 305 are controlled using a second scanning line 309. The display device shown in FIG.
The display device has first to third scanning line driver circuits 3802 to 3804 and a signal line driver circuit 3806. The connections of the driver circuits are similar to those of the display device shown in Fig. 38, and therefore will not be described here. Note that the reference characters attached to the first to third scanning lines, the signal line, and the third and fifth transistors correspond to those in Fig. 14.

また、例えば、図20に示した画素構成のように、第2のトランジスタを、第2のトラン
ジスタ以外のトランジスタとは異なる導電形式にすることにより、第2のトランジスタ、
及び第3のトランジスタ、及び第5のトランジスタを、同一の走査線で制御することがで
きる。この場合の表示装置の構成例を図43に示す。
In addition, for example, as in the pixel configuration shown in FIG. 20, the second transistor is made to have a different conductivity type from the transistors other than the second transistor.
The first transistor, the third transistor, and the fifth transistor can be controlled by the same scan line. An example of the configuration of a display device in this case is shown in FIG.

図43は、第2、第3、第5のトランジスタ302、303、305を、第1の走査線3
08を用いて制御する場合の表示装置の構成例である。図43に示した表示装置は、画素
部3801、第1及び第3の走査線駆動回路3802、3804、信号線駆動回路380
6を有している。各駆動回路の接続は、図38に示した表示装置と同様であるため、ここ
では説明を割愛する。なお、第1及び第3の走査線、信号線、第2、第3、第5のトラン
ジスタに付した符号は、図20に付した符号に対応している。
FIG. 43 shows the second, third and fifth transistors 302, 303 and 305 connected to the first scanning line 3.
43 is a configuration example of a display device controlled by the pixel portion 3801, first and third scanning line driver circuits 3802 and 3804, a signal line driver circuit 380, and a display device shown in FIG.
6. The connection of each driving circuit is the same as that of the display device shown in Fig. 38, and therefore the description will be omitted here. Note that the reference characters attached to the first and third scanning lines, the signal lines, and the second, third, and fifth transistors correspond to the reference characters attached to Fig. 20.

このように、表示装置の構成を図41~図43に示したような構成にすることにより、本
発明の画素回路を駆動させることができる。
In this manner, by configuring the display device as shown in FIGS. 41 to 43, the pixel circuit of the present invention can be driven.

なお、表示装置の構成を図41~図43に示したような構成にすることにより、走査線及
び走査線駆動回路の数を減らすことができるため、画素部の開口率を上げることができる
。また、消費電力を低減させることができる。また、走査線駆動回路の数を減らすことに
より、額縁を狭くすることができたり、画素部の占有面積を大きくすることができる。
41 to 43, the number of scanning lines and scanning line driver circuits can be reduced, and therefore the aperture ratio of the pixel portion can be increased. Also, power consumption can be reduced. Furthermore, by reducing the number of scanning line driver circuits, the frame can be narrowed and the area occupied by the pixel portion can be increased.

なお、信号線駆動回路や走査線駆動回路などの構成は、図38~図43に限定されない。 Note that the configurations of the signal line driving circuit, scanning line driving circuit, etc. are not limited to those shown in Figures 38 to 43.

なお、本発明におけるトランジスタは、どのようなタイプのトランジスタでもよいし、ど
のような基板上に形成されていてもよい。したがって、図38~図43で示したような回
路が、全てガラス基板上に形成されていてもよいし、プラスチック基板に形成されていて
もよいし、単結晶基板に形成されていてもよいし、SOI基板上に形成されていてもよい
し、どのような基板上に形成されていてもよい。あるいは、図38~図43における回路
の一部が、ある基板に形成されており、図38~図43における回路の別の一部が、別の
基板に形成されていてもよい。つまり、図38~図43における回路の全てが同じ基板上
に形成されていなくてもよい。例えば、図38~図43において、画素部と走査線駆動回
路とは、ガラス基板上にトランジスタを用いて形成し、信号線駆動回路(もしくはその一
部)は、単結晶基板上に形成し、そのICチップをCOG(Chip On Glass
)で接続してガラス基板上に配置してもよい。あるいは、そのICチップをTAB(Ta
pe Automated Bonding)やプリント基板を用いてガラス基板と接続
してもよい。このように、回路の一部が同じ基板に形成されていることにより、部品点数
を減らしてコストを低減したり、回路部品との接続点数を減らして信頼性を向上させたり
することができる。また、駆動電圧が高い部分や駆動周波数が高い部分は、消費電力が大
きくなってしまうので、そのような部分は同じ基板に形成しないようにすれば、消費電力
の向上を防ぐことができる。
The transistors in the present invention may be of any type and may be formed on any substrate. Therefore, the circuits as shown in Figs. 38 to 43 may all be formed on a glass substrate, a plastic substrate, a single crystal substrate, an SOI substrate, or any other substrate. Alternatively, a part of the circuits in Figs. 38 to 43 may be formed on a certain substrate, and another part of the circuits in Figs. 38 to 43 may be formed on another substrate. In other words, all of the circuits in Figs. 38 to 43 do not have to be formed on the same substrate. For example, in Figs. 38 to 43, the pixel portion and the scanning line driver circuit are formed on a glass substrate using transistors, and the signal line driver circuit (or a part thereof) is formed on a single crystal substrate, and the IC chip is formed by COG (Chip On Glass).
Alternatively, the IC chip may be connected by TAB (Ta
The glass substrate may be connected using a printed circuit board or a PE Automated Bonding (PCB). In this way, by forming a part of the circuit on the same substrate, the number of components can be reduced to reduce costs, and the number of connections with the circuit components can be reduced to improve reliability. In addition, since a part with a high driving voltage or a part with a high driving frequency consumes a lot of power, if such a part is not formed on the same substrate, the increase in power consumption can be prevented.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態7)
本実施形態では、本発明の表示装置に用いる表示パネルについて図44などを用いて説明
する。なお、図44(a)は、表示パネルを示す上面図、図44(b)は図44(a)を
A-A’で切断した断面図である。点線で示された信号線駆動回路4401、画素部44
02、第1の走査線駆動回路4403、第2の走査線駆動回路4406を有する。また、
封止基板4404、シール材4405を有し、シール材4405で囲まれた内側は、空間
4407になっている。
(Seventh embodiment)
In this embodiment, a display panel used in a display device of the present invention will be described with reference to FIG. 44 and the like. Note that FIG. 44(a) is a top view showing the display panel, and FIG. 44(b) is a cross-sectional view taken along line AA' in FIG. 44(a). A signal line driver circuit 4401 and a pixel portion 44
02, a first scanning line driver circuit 4403, and a second scanning line driver circuit 4406.
A sealing substrate 4404 and a sealant 4405 are provided, and the inside surrounded by the sealant 4405 forms a space 4407 .

なお、配線4408は第1の走査線駆動回路4403、第2の走査線駆動回路4406及
び信号線駆動回路4401に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子
となるFPC4409からビデオ信号、クロック信号、スタート信号等を受け取る。FP
C4409と表示パネルとの接合部上にはICチップ(メモリ回路や、バッファ回路など
が形成された半導体チップ)4422、4423がCOG(Chip On Glass
)等で実装されている。なお、ここではFPCしか図示されていないが、このFPCには
プリント配線基盤(PWB)が取り付けられていてもよい。
The wiring 4408 is a wiring for transmitting signals input to the first scanning line driver circuit 4403, the second scanning line driver circuit 4406, and the signal line driver circuit 4401, and receives a video signal, a clock signal, a start signal, and the like from an FPC 4409 serving as an external input terminal.
On the joint between C4409 and the display panel, IC chips (semiconductor chips with memory circuits, buffer circuits, etc.) 4422 and 4423 are mounted on the COG (Chip On Glass)
) or the like. Although only an FPC is shown here, a printed wiring board (PWB) may be attached to this FPC.

次に、断面構造について図44(b)を用いて説明する。基板4410上には画素部44
02とその周辺駆動回路(第1の走査線駆動回路4403、第2の走査線駆動回路440
6及び信号線駆動回路4401)が形成されているが、ここでは、信号線駆動回路440
1と、画素部4402が示されている。
Next, a cross-sectional structure will be described with reference to FIG.
02 and its peripheral driving circuits (first scanning line driving circuit 4403, second scanning line driving circuit 440
6 and a signal line driver circuit 4401) are formed.
1 and a pixel portion 4402 are shown.

なお、信号線駆動回路4401は、トランジスタ4420やトランジスタ4421など多
数のトランジスタで構成されている。また、本実施形態では、基板上に周辺駆動回路を一
体形成した表示パネルを示すが、必ずしもその必要はなく、周辺駆動回路の全部もしくは
一部をICチップなどに形成し、COGなどで実装してもよい。
Note that the signal line driver circuit 4401 is composed of a large number of transistors such as a transistor 4420 and a transistor 4421. Although this embodiment shows a display panel in which a peripheral driver circuit is integrally formed on a substrate, this is not necessarily required, and all or a part of the peripheral driver circuit may be formed on an IC chip or the like and mounted by COG or the like.

また、画素部4402は、スイッチング用トランジスタ4411と、駆動用トランジスタ
4412とを含む画素を構成する複数の回路を有している。なお、駆動用トランジスタ4
412のソース電極は第1の電極4413と接続されている。また、第1の電極4413
の端部を覆って絶縁物4414が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹
脂膜を用いることにより形成する。
The pixel portion 4402 has a plurality of circuits that constitute a pixel, each of which includes a switching transistor 4411 and a driving transistor 4412.
The source electrode 412 is connected to the first electrode 4413.
An insulator 4414 is formed to cover the end portion of the semiconductor device 441. Here, the insulator 4414 is formed by using a positive type photosensitive acrylic resin film.

また、カバレッジを良好なものとするため、絶縁物4414の上端部または下端部に曲率
を有する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁物4414の材料としてポジ型の感
光性アクリルを用いた場合、絶縁物4414の上端部のみに曲率半径(0.2μm~3μ
m)を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁物4414として、感光性の光
によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、あるいは光によってエッチャントに溶解
性となるポジ型のいずれも使用することができる。
In order to improve coverage, a curved surface having a curvature is formed at the upper end or lower end of the insulator 4414. For example, when a positive photosensitive acrylic is used as the material of the insulator 4414, a curvature radius (0.2 μm to 3 μm) is formed only at the upper end of the insulator 4414.
It is preferable that the insulator 4414 has a curved surface having a shape having a curvature of 0.1 mm. In addition, the insulator 4414 can be either a negative type that is photosensitive and becomes insoluble in an etchant when exposed to light, or a positive type that is photosensitive and becomes soluble in an etchant when exposed to light.

第1の電極4413上には、有機化合物を含む層4416、及び第2の電極4417がそ
れぞれ形成されている。ここで、陽極として機能する第1の電極4413に用いる材料と
しては、仕事関数の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、ITO(インジウム錫
酸化物)膜、インジウム亜鉛酸化物(IZO)膜、窒化チタン膜、クロム膜、タングステ
ン膜、Zn膜、Pt膜などの単層膜の他、窒化チタンとアルミニウムを主成分とする膜と
の積層、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜と窒化チタン膜との3層構造等を
用いることができる。なお、積層構造とすると、配線としての抵抗も低く、良好なオーミ
ックコンタクトがとれ、さらに陽極として機能させることができる。
A layer 4416 containing an organic compound and a second electrode 4417 are formed on the first electrode 4413. Here, it is desirable to use a material with a large work function as a material used for the first electrode 4413 functioning as an anode. For example, in addition to a single layer film such as an ITO (indium tin oxide) film, an indium zinc oxide (IZO) film, a titanium nitride film, a chromium film, a tungsten film, a Zn film, or a Pt film, a laminated film of a film mainly composed of titanium nitride and aluminum, or a three-layer structure of a titanium nitride film, a film mainly composed of aluminum, and a titanium nitride film can be used. Note that a laminated structure provides low resistance as a wiring, good ohmic contact, and the electrode can function as an anode.

また、有機化合物を含む層4416は、蒸着マスクを用いた蒸着法、またはインクジェッ
ト法によって形成される。有機化合物を含む層4416には、周期表第4族金属錯体をそ
の一部に用いることとし、その他、組み合わせて用いることのできる材料としては、低分
子系材料であっても高分子系材料であってもよい。また、有機化合物を含む層に用いる材
料としては、通常、有機化合物を単層もしくは積層で用いる場合が多いが、本実施形態に
おいては、有機化合物からなる膜の一部に無機化合物を用いる構成も含めることとする。
さらに、公知の三重項材料を用いることも可能である。
The layer 4416 containing an organic compound is formed by a deposition method using a deposition mask or an inkjet method. The layer 4416 containing an organic compound is formed by using a metal complex of Group 4 of the periodic table as a part thereof, and other materials that can be used in combination with the layer 4416 may be low molecular weight materials or high molecular weight materials. Although the material used for the layer containing an organic compound is usually a single layer or a laminated layer of an organic compound in many cases, this embodiment also includes a structure in which an inorganic compound is used as a part of a film made of an organic compound.
Furthermore, known triplet materials can also be used.

さらに、有機化合物を含む層4416上に形成される、陰極である第2の電極4417に
用いる材料としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの
合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF、または窒化カルシウム)を用いればよい
。なお、有機化合物を含む層4416で生じた光が第2の電極4417を透過させる場合
には、第2の電極4417として、膜厚を薄くした金属薄膜と、透明導電膜(ITO(イ
ンジウム錫酸化物))、酸化インジウム酸化亜鉛合金(In―ZnO)、酸化亜鉛
(ZnO)等)との積層を用いるのがよい。
Furthermore, a material having a small work function (Al, Ag, Li, Ca, or alloys thereof such as MgAg, MgIn, AlLi, CaF 2 , or calcium nitride) may be used as a material for the second electrode 4417, which is a cathode formed on the layer 4416 containing an organic compound. When light generated in the layer 4416 containing an organic compound is transmitted through the second electrode 4417, the second electrode 4417 may be a stack of a thin metal thin film and a transparent conductive film (ITO (indium tin oxide)), an indium oxide zinc oxide alloy (In 2 O 3 -ZnO), zinc oxide (ZnO), or the like).

さらに、シール材4405で封止基板4404を基板4410と貼り合わせることにより
、基板4410、封止基板4404、及びシール材4405で囲まれた空間4407に発
光素子4418が備えられた構造になっている。なお、空間4407には、不活性気体(
窒素やアルゴン等)が充填される場合の他、シール材4405で充填される構成も含むも
のとする。
Furthermore, the sealing substrate 4404 is attached to the substrate 4410 with a sealant 4405, so that a light-emitting element 4418 is provided in a space 4407 surrounded by the substrate 4410, the sealing substrate 4404, and the sealant 4405. Note that the space 4407 is filled with an inert gas (
In addition to the case where the cavity is filled with a gas such as nitrogen or argon, a configuration where the cavity is filled with a sealant 4405 is also included.

なお、シール材4405にはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、これらの材料
はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、封止基板440
4に用いる材料としてガラス基板や石英基板の他、FRP(Fiberglass-Re
inforced Plastics)、PVF(ポリビニルフロライド)、マイラー、
ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板を用いることができる。
It is preferable to use an epoxy resin for the sealing material 4405. In addition, it is preferable that these materials are materials that do not transmit moisture or oxygen as much as possible.
Materials used for 4 include glass substrates, quartz substrates, and FRP (Fiberglass-Resin)
Inforced Plastics), PVF (Polyvinyl Fluoride), Mylar,
A plastic substrate made of polyester, acrylic or the like can be used.

以上のようにして、本発明の画素構成を有する表示パネルを得ることができる。 In this manner, a display panel having the pixel configuration of the present invention can be obtained.

図44に示すように、信号線駆動回路4401、画素部4402、第1の走査線駆動回路
4403及び第2の走査線駆動回路4406を一体形成することで、表示装置の低コスト
化が図れる。なお、信号線駆動回路4401、画素部4402、第1の走査線駆動回路4
403及び第2の走査線駆動回路4406に用いられるトランジスタを単極性とすること
で作製工程の簡略化が図れるためさらなる低コスト化が図れる。また、信号線駆動回路4
401、画素部4402、第1の走査線駆動回路4403及び第2の走査線駆動回路44
06に用いられるトランジスタの半導体層にアモルファスシリコンを適用することでさら
なる低コスト化を図ることができる。
As shown in FIG. 44, the signal line driver circuit 4401, the pixel portion 4402, the first scanning line driver circuit 4403, and the second scanning line driver circuit 4406 are integrally formed, whereby the cost of the display device can be reduced.
By making the transistors used in the signal line driver circuit 403 and the second scanning line driver circuit 4406 have the same conductivity type, the manufacturing process can be simplified, and therefore the cost can be further reduced.
401, a pixel portion 4402, a first scanning line driver circuit 4403, and a second scanning line driver circuit 44
Further cost reduction can be achieved by using amorphous silicon for the semiconductor layers of the transistors used in 06.

なお、表示パネルの構成としては、図44(a)に示したように信号線駆動回路4401
、画素部4402、第1の走査線駆動回路4403及び第2の走査線駆動回路4406を
一体形成した構成に限定されず、信号線駆動回路4401に相当する信号線駆動回路をI
Cチップ上に形成して、COG等で表示パネルに実装した構成としてもよい。
The display panel is configured as follows:
The present invention is not limited to a configuration in which the pixel portion 4402, the first scanning line driver circuit 4403, and the second scanning line driver circuit 4406 are integrally formed, and a signal line driver circuit corresponding to the signal line driver circuit 4401 may be formed as an I
It may also be configured such that it is formed on a C chip and mounted on the display panel by COG or the like.

つまり、駆動回路の高速動作が要求される信号線駆動回路のみを、CMOS等を用いてI
Cチップに形成し、低消費電力化を図る。また、ICチップはシリコンウエハ等の半導体
チップとすることで、より高速動作且つ低消費電力化を図れる。
In other words, only the signal line driver circuit, which requires high speed operation, is implemented using CMOS or the like.
In addition, by forming the IC chip on a semiconductor chip such as a silicon wafer, it is possible to achieve higher speed operation and lower power consumption.

そして、走査線駆動回路を画素部と一体形成することで、低コスト化が図れる。なお、こ
の走査線駆動回路及び画素部は単極性のトランジスタで構成することでさらなる低コスト
化が図れる。画素部の有する画素の構成としては実施の形態1~実施の形態4で示した構
成を適用することができる。また、トランジスタの半導体層にアモルファスシリコンを用
いることで、作製工程が簡略化し、さらなる低コスト化が図れる。
Furthermore, by forming the scanning line driver circuit integrally with the pixel portion, costs can be reduced. Note that by configuring the scanning line driver circuit and the pixel portion using transistors of the same conductivity type, costs can be further reduced. The structures shown in any of the embodiments 1 to 4 can be applied to the pixel structure of the pixel portion. In addition, by using amorphous silicon for the semiconductor layer of the transistor, the manufacturing process can be simplified, and costs can be further reduced.

こうして、高精細な表示装置の低コスト化が図れる。また、FPC4409と基板441
0との接続部において機能回路(メモリやバッファ)が形成されたICチップを実装する
ことで基板面積を有効利用することができる。
In this way, the cost of a high-definition display device can be reduced.
By mounting an IC chip on which a functional circuit (memory or buffer) is formed at the connection portion with the MOSFET, the board area can be used effectively.

また、図44(a)の信号線駆動回路4401、第1の走査線駆動回路4403及び第2
の走査線駆動回路4406に相当する信号線駆動回路、第1の走査線駆動回路及び第2の
走査線駆動回路をICチップ上に形成して、COG等で表示パネルに実装した構成として
もよい。この場合には高精細な表示装置をより低消費電力にすることが可能である。よっ
て、より消費電力が少ない表示装置とするため、画素部に用いられるトランジスタの半導
体層にはポリシリコンを用いることが望ましい。
In addition, the signal line driver circuit 4401, the first scanning line driver circuit 4403 and the second scanning line driver circuit 4404 in FIG.
A signal line driver circuit, a first scanning line driver circuit, and a second scanning line driver circuit, which correspond to the scanning line driver circuit 4406 in the above embodiment, may be formed on an IC chip and mounted on a display panel by COG or the like. In this case, it is possible to reduce the power consumption of a high-definition display device. Therefore, in order to obtain a display device with lower power consumption, it is preferable to use polysilicon for the semiconductor layer of a transistor used in a pixel portion.

また、画素部4402のトランジスタの半導体層にアモルファスシリコンを用いることに
より低コスト化を図ることができる。さらに、大型の表示パネルを作製することも可能と
なる。
In addition, costs can be reduced by using amorphous silicon for a semiconductor layer of a transistor in the pixel portion 4402. Furthermore, a large-sized display panel can also be manufactured.

なお、走査線駆動回路及び信号線駆動回路は、画素の行方向及び列方向に設けることに限
定されない。
Note that the scanning line driver circuit and the signal line driver circuit are not limited to being provided in the row and column directions of the pixels.

次に、発光素子4418に適用可能な発光素子の例を図45に示す。 Next, an example of a light-emitting element that can be applied to the light-emitting element 4418 is shown in Figure 45.

基板4501の上に陽極4502、正孔注入材料からなる正孔注入層4503、その上に
正孔輸送材料からなる正孔輸送層4504、発光層4505、電子輸送材料からなる電子
輸送層4506、電子注入材料からなる電子注入層4507、そして陰極4508を積層
させた素子構造である。ここで、発光層4505は、一種類の発光材料のみから形成され
ることもあるが、2種類以上の材料から形成されてもよい。また本発明の素子の構造は、
この構造に限定されない。
The device structure is formed by laminating an anode 4502, a hole injection layer 4503 made of a hole injection material, a hole transport layer 4504 made of a hole transport material, a light emitting layer 4505, an electron transport layer 4506 made of an electron transport material, an electron injection layer 4507 made of an electron injection material, and a cathode 4508 on a substrate 4501. The light emitting layer 4505 may be formed of only one type of light emitting material, or may be formed of two or more types of materials. The device structure of the present invention is as follows:
The invention is not limited to this structure.

また、図45で示した各機能層を積層した積層構造の他、高分子化合物を用いた素子、発
光層に三重項励起状態から発光する三重項発光材料を利用した高効率素子など、バリエー
ションは多岐にわたる。ホールブロック層によってキャリヤの再結合領域を制御し、発光
領域を2つの領域に分けることによって得られる白色発光素子などにも応用可能である。
In addition to the laminated structure in which each functional layer is laminated as shown in Fig. 45, there are a wide variety of variations, such as elements using polymer compounds, highly efficient elements using triplet light-emitting materials that emit light from triplet excited states in the light-emitting layer, etc. It can also be applied to white light-emitting elements obtained by controlling the carrier recombination region with a hole blocking layer and dividing the light-emitting region into two regions.

次に、図45に示す本発明の素子作製方法について説明する。まず、陽極4502(IT
O(インジウム錫酸化物))を有する基板4501に正孔注入材料、正孔輸送材料、発光
材料を順に蒸着する。次に電子輸送材料、電子注入材料を蒸着し、最後に陰極4508を
蒸着で形成する。
Next, a method for fabricating an element according to the present invention shown in FIG. 45 will be described. First, an anode 4502 (IT
A hole injection material, a hole transport material, and a light emitting material are evaporated in this order onto a substrate 4501 having indium tin oxide (O). Next, an electron transport material and an electron injection material are evaporated, and finally a cathode 4508 is formed by evaporation.

次に、正孔注入材料、正孔輸送材料、電子輸送材料、電子注入材料、発光材料の材料に好
適な材料を以下に列挙する。
Next, materials suitable for the hole injection material, hole transport material, electron transport material, electron injection material, and light emitting material will be listed below.

正孔注入材料としては、有機化合物でればポルフィリン系の化合物や、フタロシアニン(
以下「HPc」と記す)、銅フタロシアニン(以下「CuPc」と記す)などが有効で
ある。また、使用する正孔輸送材料よりもイオン化ポテンシャルの値が小さく、かつ、正
孔輸送機能をもつ材料であれば、これも正孔注入材料として使用できる。導電性高分子化
合物に化学ドーピングを施した材料もあり、ポリスチレンスルホン酸(以下「PSS」と
記す)をドープしたポリエチレンジオキシチオフェン(以下「PEDOT」と記す)や、
ポリアニリンなどが挙げられる。また、絶縁体の高分子化合物も陽極の平坦化の点で有効
であり、ポリイミド(以下「PI」と記す)がよく用いられる。さらに、無機化合物も用
いられ、金や白金などの金属薄膜の他、酸化アルミニウム(以下「アルミナ」と記す)の
超薄膜などがある。
As hole injection materials, organic compounds such as porphyrin compounds and phthalocyanine (
Effective examples of the hole injection material include copper phthalocyanine (hereinafter referred to as "H 2 Pc") and copper phthalocyanine (hereinafter referred to as "CuPc"). In addition, any material that has a smaller ionization potential value than the hole transport material used and has a hole transport function can also be used as the hole injection material. There are also materials in which conductive polymer compounds have been chemically doped, such as polyethylenedioxythiophene (hereinafter referred to as "PEDOT") doped with polystyrene sulfonate (hereinafter referred to as "PSS") and
Examples of suitable anode materials include polyaniline. Insulating polymer compounds are also effective in flattening the anode, and polyimide (hereinafter referred to as "PI") is often used. Inorganic compounds are also used, such as thin metal films of gold and platinum, as well as ultra-thin films of aluminum oxide (hereinafter referred to as "alumina").

正孔輸送材料として最も広く用いられているのは、芳香族アミン系(すなわち、ベンゼン
環-窒素の結合を有するもの)の化合物である。広く用いられている材料として、4,4
’-ビス(ジフェニルアミノ)-ビフェニル(以下、「TAD」と記す)や、その誘導体
である4,4’-ビス[N-(3-メチルフェニル)-N-フェニル-アミノ]-ビフェ
ニル(以下、「TPD」と記す)、4,4’-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニ
ル-アミノ]-ビフェニル(以下、「α-NPD」と記す)がある。4,4’,4”-ト
リス(N,N- ジフェニル-アミノ)-トリフェニルアミン(以下、「TDATA」と
記す)、4,4’,4”-トリス[N-(3-メチルフェニル)-N- フェニル-アミ
ノ]-トリフェニルアミン(以下、「MTDATA」と記す)などのスターバースト型芳
香族アミン化合物が挙げられる。
The most widely used hole transport materials are aromatic amine compounds (i.e., those having a benzene ring-nitrogen bond).
Examples of the aromatic amine compounds include starburst aromatic amine compounds such as 4,4'-bis(diphenylamino)-biphenyl (hereinafter referred to as "TAD") and its derivatives, 4,4'-bis[N-(3-methylphenyl)-N-phenyl-amino]-biphenyl (hereinafter referred to as "TPD") and 4,4'-bis[N-(1-naphthyl)-N-phenyl-amino]-biphenyl (hereinafter referred to as "α-NPD"). Examples of the aromatic amine compounds include starburst aromatic amine compounds such as 4,4',4"-tris(N,N-diphenyl-amino)-triphenylamine (hereinafter referred to as "TDATA") and 4,4',4"-tris[N-(3-methylphenyl)-N-phenyl-amino]-triphenylamine (hereinafter referred to as "MTDATA").

電子輸送材料としては、金属錯体がよく用いられ、トリス(8-キノリノラト)アルミニ
ウム(以下、「Alq」と記す)、BAlq、トリス(4-メチル-8-キノリノラト
)アルミニウム(以下、「Almq」と記す)、ビス(10-ヒドロキシベンゾ[h]-
キノリナト)ベリリウム(以下、「Bebq」と記す)などのキノリン骨格またはベンゾ
キノリン骨格を有する金属錯体などがある。また、ビス[2-(2-ヒドロキシフェニル
)-ベンゾオキサゾラト]亜鉛(以下、「Zn(BOX)」と記す)、ビス[2-(2
-ヒドロキシフェニル)-ベンゾチアゾラト]亜鉛(以下、「Zn(BTZ)」と記す
)などのオキサゾール系、チアゾール系配位子を有する金属錯体もある。さらに、金属錯
体以外にも、2-(4-ビフェニリル)-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,
3,4-オキサジアゾール(以下、「PBD」と記す)、OXD-7などのオキサジアゾ
ール誘導体、TAZ、3-(4-tert-ブチルフェニル)-4-(4-エチルフェニ
ル)-5-(4-ビフェニリル)-1、2、4-トリアゾール(以下、「p-EtTAZ
」と記す)などのトリアゾール誘導体、バソフェナントロリン(以下、「BPhen」と
記す)、BCPなどのフェナントロリン誘導体が電子輸送性を有する。
Metal complexes are often used as the electron transport material, and examples of such materials include tris(8-quinolinolato)aluminum (hereinafter referred to as "Alq 3 "), BAlq, tris(4-methyl-8-quinolinolato)aluminum (hereinafter referred to as "Almq"), bis(10-hydroxybenzo[h]-
Metal complexes having a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton, such as bis[2-(2-hydroxyphenyl)-benzoxazolato]zinc (hereinafter referred to as “Zn(BOX) 2 ”), bis[2-(2-hydroxyphenyl)-benzoxazolato]zinc (hereinafter referred to as “Zn(BOX) 2 ”), and the like, are also useful.
There are also metal complexes having oxazole-based or thiazole-based ligands, such as 2-(4-biphenylyl)-5-(4-tert-butylphenyl)-1,3-dimethylphenyl-benzothiazolato zinc (hereinafter referred to as "Zn(BTZ) 2 ").
3,4-Oxadiazole (hereinafter referred to as "PBD"), oxadiazole derivatives such as OXD-7, TAZ, 3-(4-tert-butylphenyl)-4-(4-ethylphenyl)-5-(4-biphenylyl)-1,2,4-triazole (hereinafter referred to as "p-EtTAZ")
Triazole derivatives such as phenyltriazole (hereinafter referred to as "BPhen"), and phenanthroline derivatives such as bathophenanthroline (hereinafter referred to as "BPhen") and BCP have electron transport properties.

電子注入材料としては、上で述べた電子輸送材料を用いることができる。その他に、フッ
化カルシウム、フッ化リチウム、フッ化セシウムなどの金属ハロゲン化物や、酸化リチウ
ムなどのアルカリ金属酸化物のような絶縁体の、超薄膜がよく用いられる。また、リチウ
ムアセチルアセトネート(以下、「Li(acac)」と記す)や8-キノリノラト-リ
チウム(以下、「Liq」と記す)などのアルカリ金属錯体も有効である。
The electron injection material may be the electron transport material described above. In addition, ultra-thin films of insulators such as metal halides, such as calcium fluoride, lithium fluoride, and cesium fluoride, and alkali metal oxides, such as lithium oxide, are often used. In addition, alkali metal complexes, such as lithium acetylacetonate (hereinafter, referred to as "Li(acac)") and 8-quinolinolato-lithium (hereinafter, referred to as "Liq"), are also effective.

発光材料としては、先に述べたAlq、Almq、BeBq、BAlq、Zn(BOX
、Zn(BTZ)などの金属錯体の他、各種蛍光色素が有効である。蛍光色素とし
ては、青色の4,4’-ビス(2,2 - ジフェニル-ビニル)-ビフェニルや、赤橙
色の4-(ジシアノメチレン)-2-メチル-6-(p-ジメチルアミノスチリル)-4
H-ピランなどがある。また、三重項発光材料も可能であり、白金ないしはイリジウムを
中心金属とする錯体が主体である。三重項発光材料として、トリス(2-フェニルピリジ
ン)イリジウム、ビス(2-(4’-トリル)ピリジナト-N,C2’)アセチルアセト
ナトイリジウム(以下「acacIr(tpy)」と記す)、 2,3,7,8,12
,13,17,18-オクタエチル-21H,23Hポルフィリン-白金などが知られて
いる。
The luminescent materials include the above-mentioned Alq3 , Almq, BeBq, BAlq, and Zn(BOX
In addition to metal complexes such as Zn(BTZ) 2 and Zn(BTZ) 2 , various fluorescent dyes are effective. Fluorescent dyes include blue 4,4'-bis(2,2-diphenyl-vinyl)-biphenyl and red-orange 4-(dicyanomethylene)-2-methyl-6-(p-dimethylaminostyryl)-4
H-pyran, etc. Triplet luminescent materials are also possible, and are mainly complexes with platinum or iridium as the central metal. Triplet luminescent materials include tris(2-phenylpyridine)iridium, bis(2-(4'-tolyl)pyridinato-N,C 2' )acetylacetonatoiridium (hereinafter referred to as "acacIr(tpy) 2 "),
, 13,17,18-octaethyl-21H,23H porphyrin-platinum and the like are known.

以上で述べたような各機能を有する材料を、各々組み合わせ、高信頼性の発光素子を作製
することができる。
By combining the materials having the above-described functions, a highly reliable light-emitting element can be manufactured.

また、図45とは逆の順番に層を形成した発光素子を用いることもできる。つまり、基板
4501の上に陰極4508、電子注入材料からなる電子注入層4507、その上に電子
輸送材料からなる電子輸送層4506、発光層4505、正孔輸送材料からなる正孔輸送
層4504、正孔注入材料からなる正孔注入層4503、そして陽極4502を積層させ
た素子構造である。
It is also possible to use a light-emitting element in which layers are formed in the reverse order to that in Fig. 45. That is, the element structure is such that a cathode 4508, an electron injection layer 4507 made of an electron injection material, an electron transport layer 4506 made of an electron transport material thereon, a light-emitting layer 4505, a hole transport layer 4504 made of a hole transport material, a hole injection layer 4503 made of a hole injection material, and an anode 4502 are laminated on a substrate 4501.

また、発光素子は発光を取り出すために少なくとも陽極又は陰極の一方が透明であればよ
い。そして、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を
取り出す上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反
対側の面から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、本発明の画素構成はどの射
出構造の発光素子にも適用することができる。
In addition, the light-emitting element only needs to have at least one of the anode and cathode transparent in order to extract light emission. The transistor and light-emitting element are formed on a substrate, and light-emitting elements may have a top emission structure in which light emission is extracted from the surface opposite to the substrate, a bottom emission structure in which light emission is extracted from the surface on the substrate side, or a double-sided emission structure in which light emission is extracted from the substrate side and the surface opposite to the substrate. The pixel configuration of the present invention can be applied to light-emitting elements of any emission structure.

まず、上面射出構造の発光素子について、図46(a)を用いて説明する。 First, we will explain the light-emitting element with a top emission structure using Figure 46 (a).

基板4600上に駆動用トランジスタ4601が形成され、駆動用トランジスタ4601
のソース電極に接して第1の電極4602が形成され、その上に有機化合物を含む層46
03と第2の電極4604が形成されている。
A driving transistor 4601 is formed on a substrate 4600.
A first electrode 4602 is formed in contact with the source electrode of the first electrode 4602, and a layer 4603 containing an organic compound is formed thereon.
4603 and a second electrode 4604 are formed.

また、第1の電極4602は発光素子の陽極である。そして、第2の電極4604は発光
素子の陰極である。つまり、第1の電極4602と第2の電極4604とで有機化合物を
含む層4603が挟まれているところが発光素子となる。
The first electrode 4602 is an anode of the light-emitting element, and the second electrode 4604 is a cathode of the light-emitting element. In other words, the layer 4603 containing an organic compound is sandwiched between the first electrode 4602 and the second electrode 4604 to form a light-emitting element.

また、ここで、陽極として機能する第1の電極4602に用いる材料としては、仕事関数
の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、窒化チタン膜、クロム膜、タングステン
膜、Zn膜、Pt膜などの単層膜の他、窒化チタンとアルミニウムを主成分とする膜との
積層、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜と窒化チタン膜との3層構造等を用
いることができる。なお、積層構造とすると、配線としての抵抗も低く、良好なオーミッ
クコンタクトがとれ、さらに陽極として機能させることができる。光を反射する金属膜を
用いることで光を透過させない陽極を形成することができる。
In addition, it is desirable to use a material with a large work function as the material used for the first electrode 4602 functioning as an anode. For example, in addition to a single layer film such as a titanium nitride film, a chromium film, a tungsten film, a Zn film, or a Pt film, a laminated film of a film mainly composed of titanium nitride and aluminum, or a three-layer structure of a titanium nitride film, a film mainly composed of aluminum, and a titanium nitride film, can be used. In addition, a laminated structure has low resistance as a wiring, good ohmic contact can be obtained, and the film can function as an anode. By using a metal film that reflects light, an anode that does not transmit light can be formed.

また、陰極として機能する第2の電極4604に用いる材料としては、仕事関数の小さい
材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、C
aF、または窒化カルシウム)からなる金属薄膜と、透明導電膜(ITO(インジウム
錫酸化物)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)等)との積層を用い
るのがよい。こうして薄い金属薄膜と、透明性を有する透明導電膜を用いることで光を透
過させることが可能な陰極を形成することができる。
The material used for the second electrode 4604 functioning as a cathode is a material having a small work function (Al, Ag, Li, Ca, or alloys thereof such as MgAg, MgIn, AlLi, C
It is preferable to use a laminate of a thin metal film made of calcium fluoride ( CaF2 , CaF2+ ...

こうして、図46(a)の矢印に示すように発光素子からの光を上面に取り出すことが可
能になる。つまり、図44の表示パネルに適用した場合には、封止基板4404側に光が
射出することになる。従って、上面射出構造の発光素子を表示装置に用いる場合には、封
止基板4404は光透過性を有する基板を用いる。
In this way, it becomes possible to extract light from the light-emitting element from the top surface as shown by the arrow in Fig. 46(a). That is, when applied to the display panel in Fig. 44, light is emitted toward the sealing substrate 4404. Therefore, when a light-emitting element having a top emission structure is used in a display device, a substrate having optical transparency is used as the sealing substrate 4404.

また、光学フィルムを設ける場合には、封止基板4404に光学フィルムを設ければよい
In addition, in the case of providing an optical film, the optical film may be provided on the sealing substrate 4404 .

なお、第1の電極4602を、陰極として機能するMgAg、MgIn、AlLi等の仕
事関数の小さい材料からなる金属膜を用いて形成することもできる。この場合には、第2
の電極4604にはITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム亜鉛酸化物(IZO)
などの透明導電膜を用いることができる。よって、この構成によれば、上面射出の透過率
を高くすることができる。
The first electrode 4602 can also be formed using a metal film made of a material having a small work function, such as MgAg, MgIn, or AlLi, which functions as a cathode.
The electrode 4604 is made of an ITO (indium tin oxide) film, an indium zinc oxide (IZO) film,
Thus, with this configuration, the transmittance of the top emission can be increased.

次に、下面射出構造の発光素子について、図46(b)を用いて説明する。射出構造以外
は図46(a)と同じ構造の発光素子であるため同じ符号を用いて説明する。
Next, a light emitting element having a bottom emission structure will be described with reference to Fig. 46(b). Since the light emitting element has the same structure as that of Fig. 46(a) except for the emission structure, the same reference numerals will be used for the description.

ここで、陽極として機能する第1の電極4602に用いる材料としては、仕事関数の大き
い材料を用いることが望ましい。例えば、ITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム
亜鉛酸化物(IZO)膜などの透明導電膜を用いることができる。透明性を有する透明導
電膜を用いることで光を透過させることが可能な陽極を形成することができる。
Here, as a material used for the first electrode 4602 functioning as an anode, a material having a large work function is desirably used. For example, a transparent conductive film such as an ITO (indium tin oxide) film or an indium zinc oxide (IZO) film can be used. By using a transparent conductive film having transparency, an anode capable of transmitting light can be formed.

また、陰極として機能する第2の電極4604に用いる材料としては、仕事関数の小さい
材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、C
aF、または窒化カルシウム)からなる金属膜を用いることができる。こうして、光を
反射する金属膜を用いることで光が透過しない陰極を形成することができる。
The material used for the second electrode 4604 functioning as a cathode is a material having a small work function (Al, Ag, Li, Ca, or alloys thereof such as MgAg, MgIn, AlLi, C
In this way, a metal film made of a light-reflecting metal such as calcium fluoride (CaF 2 , or calcium nitride) can be used. By using a light-reflecting metal film, a light-opaque cathode can be formed.

こうして、図46(b)の矢印に示すように発光素子からの光を下面に取り出すことが可
能になる。つまり、図44の表示パネルに適用した場合には、基板4410側に光が射出
することになる。従って、下面射出構造の発光素子を表示装置に用いる場合には、基板4
410は光透過性を有する基板を用いる。
In this way, it becomes possible to extract light from the light emitting element to the bottom surface, as shown by the arrow in Fig. 46(b). In other words, when applied to the display panel of Fig. 44, light is emitted to the substrate 4410 side. Therefore, when a light emitting element with a bottom emission structure is used in a display device, the substrate 4
A substrate 410 having optical transparency is used.

また、光学フィルムを設ける場合には、基板4410に光学フィルムを設ければよい。 If an optical film is provided, the optical film may be provided on the substrate 4410.

次に、両面射出構造の発光素子について、図46(c)を用いて説明する。射出構造以外
は図46(a)と同じ構造の発光素子であるため同じ符号を用いて説明する。
Next, a light emitting element having a dual emission structure will be described with reference to Fig. 46(c). Since the light emitting element has the same structure as Fig. 46(a) except for the emission structure, the same reference numerals will be used for the description.

ここで、陽極として機能する第1の電極4602に用いる材料としては、仕事関数の大き
い材料を用いることが望ましい。例えば、ITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム
亜鉛酸化物(IZO)膜などの透明導電膜を用いることができる。透明性を有する透明導
電膜を用いることで光を透過させることが可能な陽極を形成することができる。
Here, as a material used for the first electrode 4602 functioning as an anode, a material having a large work function is desirably used. For example, a transparent conductive film such as an ITO (indium tin oxide) film or an indium zinc oxide (IZO) film can be used. By using a transparent conductive film having transparency, an anode capable of transmitting light can be formed.

また、陰極として機能する第2の電極4604に用いる材料としては、仕事関数の小さい
材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、C
aF、または窒化カルシウム)からなる金属薄膜と、透明導電膜(ITO(インジウム
錫酸化物)、酸化インジウム酸化亜鉛合金(In―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)
等)との積層を用いるのがよい。こうして薄い金属薄膜と、透明性を有する透明導電膜を
用いることで光を透過させることが可能な陰極を形成することができる。
The material used for the second electrode 4604 functioning as a cathode is a material having a small work function (Al, Ag, Li, Ca, or alloys thereof such as MgAg, MgIn, AlLi, C
aF 2 or calcium nitride) and a transparent conductive film (ITO (indium tin oxide), indium oxide zinc oxide alloy (In 2 O 3 -ZnO), zinc oxide (ZnO)
In this way, a cathode capable of transmitting light can be formed by using a thin metal film and a transparent conductive film having transparency.

こうして、図46(c)の矢印に示すように発光素子からの光を両面に取り出すことが可
能になる。つまり、図44の表示パネルに適用した場合には、基板4410側と封止基板
4404側に光が射出することになる。従って、両面射出構造の発光素子を表示装置に用
いる場合には、基板4410及び封止基板4404は、ともに光透過性を有する基板を用
いる。
In this way, light from the light-emitting element can be extracted on both sides as shown by the arrows in Fig. 46(c). That is, when applied to the display panel in Fig. 44, light is emitted to the substrate 4410 side and the sealing substrate 4404 side. Therefore, when a light-emitting element having a dual emission structure is used in a display device, both the substrate 4410 and the sealing substrate 4404 are optically transparent.

また、光学フィルムを設ける場合には、基板4410及び封止基板4404の両方に光学
フィルムを設ければよい。
In addition, in the case where an optical film is provided, the optical film may be provided on both the substrate 4410 and the sealing substrate 4404 .

また、白色の発光素子とカラーフィルターを用いてフルカラー表示を実現する表示装置に
も本発明を適用することが可能である。
The present invention can also be applied to a display device that realizes a full-color display using white light-emitting elements and color filters.

図47に示すように、基板4700上に下地膜4702が形成され、下地膜4702の上
に駆動用トランジスタ4701が形成され、駆動用トランジスタ4701のソース電極に
接して第1の電極4703が形成され、その上に有機化合物を含む層4704と第2の電
極4705が形成されている。
As shown in Figure 47, a base film 4702 is formed over a substrate 4700, a driving transistor 4701 is formed over the base film 4702, a first electrode 4703 is formed in contact with a source electrode of the driving transistor 4701, and a layer 4704 containing an organic compound and a second electrode 4705 are formed over the first electrode 4703.

また、第1の電極4703は発光素子の陽極である。そして、第2の電極4705は発光
素子の陰極である。つまり、第1の電極4703と第2の電極4705とで有機化合物を
含む層4704が挟まれているところが発光素子となる。図47の構成では白色光を発光
する。そして、発光素子の上部に赤色のカラーフィルター4706R、緑色のカラーフィ
ルター4706G、青色のカラーフィルター4706Bを設けられており、フルカラー表
示を行うことができる。また、これらのカラーフィルターを隔離するブラックマトリクス
(BMともいう)4707が設けられている。
The first electrode 4703 is an anode of the light-emitting element. The second electrode 4705 is a cathode of the light-emitting element. In other words, the layer 4704 containing an organic compound is sandwiched between the first electrode 4703 and the second electrode 4705 to form the light-emitting element. In the configuration of FIG. 47, white light is emitted. A red color filter 4706R, a green color filter 4706G, and a blue color filter 4706B are provided above the light-emitting element, and full-color display can be performed. In addition, a black matrix (also referred to as BM) 4707 is provided to separate these color filters.

上述した発光素子の構成は組み合わせて用いることができ、本発明の表示装置に適宜用い
ることができる。また、上述した表示パネルの構成や、発光素子は例示であり、上述した
構成と異なる他の構成を有する表示装置に適用することもできる。
The above-mentioned configurations of the light-emitting element can be used in combination and can be appropriately used in the display device of the present invention. In addition, the above-mentioned display panel configuration and the light-emitting element are only examples, and can be applied to a display device having a different configuration from the above-mentioned configuration.

次に、表示パネルの画素部の部分断面図を示す。 Next, a partial cross-sectional view of the pixel section of the display panel is shown.

まず、トランジスタの半導体層にポリシリコン(p-Si:H)膜を用いた場合について
、図48、図49及び図50を用いて説明する。
First, a case where a polysilicon (p-Si:H) film is used for the semiconductor layer of a transistor will be described with reference to FIGS.

ここで、半導体層は、例えば基板上にアモルファスシリコン(a-Si)膜を公知の成膜
法で形成する。なお、アモルファスシリコン膜に限定する必要はなく、非晶質構造を含む
半導体膜(微結晶半導体膜を含む)であればよい。さらに非晶質シリコンゲルマニウム膜
などの非晶質構造を含む化合物半導体膜でもよい。
Here, the semiconductor layer is, for example, an amorphous silicon (a-Si) film formed on a substrate by a known film formation method. Note that it is not necessary to be limited to an amorphous silicon film, and any semiconductor film (including a microcrystalline semiconductor film) containing an amorphous structure may be used. Furthermore, a compound semiconductor film containing an amorphous structure, such as an amorphous silicon germanium film, may also be used.

そして、アモルファスシリコン膜をレーザー結晶化法や、RTAやファーネスアニール炉
を用いた熱結晶化法や、結晶化を助長する金属元素を用いた熱結晶化法などにより結晶化
させる。もちろん、これらを組み合わせて行ってもよい。
The amorphous silicon film is then crystallized by a laser crystallization method, a thermal crystallization method using RTA or an annealing furnace, a thermal crystallization method using a metal element that promotes crystallization, or the like. Of course, these methods may be combined.

上述した結晶化によって、非晶質半導体膜に部分的に結晶化された領域が形成される。 The above-mentioned crystallization results in the formation of partially crystallized regions in the amorphous semiconductor film.

さらに、部分的に結晶性が高められた結晶性半導体膜を所望の形状にパターンを形成して
、結晶化された領域から島状の半導体膜を形成する。この半導体膜をトランジスタの半導
体層に用いる。
Furthermore, the crystalline semiconductor film, the crystallinity of which has been partially increased, is patterned into a desired shape to form an island-shaped semiconductor film from the crystallized region, which is used as a semiconductor layer of a transistor.

図48(a)に示すように、基板4801上に下地膜4802が形成され、その上に半導
体層が形成されている。半導体層は、駆動用トランジスタ4818のチャネル形成領域4
803、LDD領域4804及びソース領域又はドレイン領域となる不純物領域4805
、並びに容量素子4819の下部電極となるチャネル形成領域4806、LDD領域48
07及び不純物領域4808を有する。なお、チャネル形成領域4803及びチャネル形
成領域4806はチャネルドープが行われていてもよい。
As shown in FIG. 48A, a base film 4802 is formed on a substrate 4801, and a semiconductor layer is formed thereon. The semiconductor layer includes a channel forming region 4802 of a driving transistor 4818.
803, an LDD region 4804 and an impurity region 4805 which becomes a source region or a drain region
, a channel forming region 4806 which becomes the lower electrode of a capacitor element 4819, and an LDD region 48
07 and an impurity region 4808. Note that the channel formation region 4803 and the channel formation region 4806 may be channel doped.

基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜
4802としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素
(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
The substrate may be a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, etc. The base film 4802 may be a single layer of aluminum nitride (AlN), silicon oxide (SiO 2 ), silicon oxynitride (SiO x N y ), or the like, or a laminate of these layers.

半導体層上には、ゲート絶縁膜4809を介してゲート電極4810及び容量素子481
9の上部電極4811が形成されている。
A gate electrode 4810 and a capacitor element 481 are provided on the semiconductor layer with a gate insulating film 4809 interposed therebetween.
Nine upper electrodes 4811 are formed.

容量素子4819及び駆動用トランジスタ4818を覆って層間絶縁膜4812が形成さ
れ、層間絶縁膜4812上に、コンタクトホールを介して配線4813が不純物領域48
05と接している。配線4813に接して画素電極4814が形成され、画素電極481
4の端部及び配線4813を覆って絶縁物4815が形成されている。ここでは、ポジ型
の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより形成する。そして、画素電極4814上に有
機化合物を含む層4816及び対向電極4817が形成され、画素電極4814と対向電
極4817とで有機化合物を含む層4816が挟まれた領域に、発光素子4820が形成
されている。
An interlayer insulating film 4812 is formed to cover the capacitor element 4819 and the driving transistor 4818. A wiring 4813 is formed on the interlayer insulating film 4812 through a contact hole.
A pixel electrode 4814 is formed in contact with the wiring 4813, and the pixel electrode 481
An insulator 4815 is formed to cover the end portion of the pixel electrode 4814 and the wiring 4813. Here, a positive type photosensitive acrylic resin film is used to form the insulator 4815. Then, a layer 4816 containing an organic compound and a counter electrode 4817 are formed over the pixel electrode 4814, and a light-emitting element 4820 is formed in a region where the layer 4816 containing an organic compound is sandwiched between the pixel electrode 4814 and the counter electrode 4817.

また、図48(b)に示すように、容量素子4819の下部電極の一部を構成するLDD
領域が、容量素子4819の上部電極4811と重なるような領域4821を設けてもよ
い。なお、図48(a)と共通する箇所は共通の符号を用い、説明は省略する。
As shown in FIG. 48B, the LDD that constitutes a part of the lower electrode of the capacitance element 4819
A region 4821 may be provided so as to overlap with the upper electrode 4811 of the capacitor element 4819. Note that common reference numerals are used for parts common to FIG.

また、図49(a)に示すように、容量素子4823は、駆動用トランジスタ4818の
不純物領域4805と接する配線4813と同じ層に形成された第2の上部電極4822
を有していてもよい。なお、図48(a)と共通する箇所は共通の符号を用い、説明は省
略する。第2の上部電極4822は不純物領域4808と接しているため、上部電極48
11とチャネル形成領域4806とでゲート絶縁膜4809を挟みこんで構成される第1
の容量素子と、上部電極4811と第2の上部電極4822とで層間絶縁膜4812を挟
みこんで構成される第2の容量素子と、が並列に接続され、第1の容量素子と第2の容量
素子からなる容量素子4823が形成される。この容量素子4823の容量は、第1の容
量素子と第2の容量素子の容量を加算した合成容量であるため、小さい面積で大きな容量
の容量素子を形成することができる。つまり、本発明の画素構成の容量素子として用いる
とより開口率の向上が図れる。
As shown in FIG. 49A, the capacitor 4823 is formed in the same layer as the wiring 4813 that is in contact with the impurity region 4805 of the driving transistor 4818.
48A. The same reference numerals are used for the same parts as in FIG. 48A, and the description thereof will be omitted. Since the second upper electrode 4822 is in contact with the impurity region 4808, the upper electrode 48
The first insulating film 4809 is sandwiched between the first insulating film 4801 and the channel forming region 4806.
The first capacitor and a second capacitor formed by sandwiching an interlayer insulating film 4812 between an upper electrode 4811 and a second upper electrode 4822 are connected in parallel to form a capacitor 4823 consisting of a first capacitor and a second capacitor. The capacitance of this capacitor 4823 is a composite capacitance obtained by adding the capacitances of the first capacitor and the second capacitor, so that a capacitor with a large capacitance can be formed in a small area. In other words, when used as a capacitor in the pixel configuration of the present invention, the aperture ratio can be improved.

また、図49(b)に示すような容量素子の構成としてもよい。基板4901上に下地膜
4902が形成され、その上に半導体層が形成されている。半導体層は、駆動用トランジ
スタ4918のチャネル形成領域4903、LDD領域4904及びソース領域又はドレ
イン領域となる不純物領域4905を有する。なお、チャネル形成領域4903はチャネ
ルドープが行われていてもよい。
49B may be used. A base film 4902 is formed on a substrate 4901, and a semiconductor layer is formed thereon. The semiconductor layer has a channel formation region 4903 of a driving transistor 4918, an LDD region 4904, and an impurity region 4905 which becomes a source region or a drain region. Note that the channel formation region 4903 may be channel doped.

基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜
4902としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素
(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
The substrate can be a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, etc. The base film 4902 can be a single layer of aluminum nitride (AlN), silicon oxide (SiO 2 ), silicon oxynitride (SiO x N y ), or the like, or a stack of these layers.

半導体層上には、ゲート絶縁膜4906を介してゲート電極4907及び第1の電極49
08が形成されている。
A gate electrode 4907 and a first electrode 49 are provided on the semiconductor layer via a gate insulating film 4906.
08 is formed.

駆動用トランジスタ4918及び第1の電極4908を覆って第1の層間絶縁膜4909
が形成され、第1の層間絶縁膜4909上に、コンタクトホールを介して配線4910が
不純物領域4905と接している。また、配線4910と同層に、配線4910と同じ材
料からなる第2の電極4911が形成される。
A first interlayer insulating film 4909 is formed to cover the driving transistor 4918 and the first electrode 4908.
A wiring 4910 is in contact with the impurity region 4905 through a contact hole on the first interlayer insulating film 4909. A second electrode 4911 made of the same material as the wiring 4910 is formed in the same layer as the wiring 4910.

さらに、配線4910及び第2の電極4911を覆うように第2の層間絶縁膜4912が
形成され、第2の層間絶縁膜4912上に、コンタクトホールを介して配線4910と接
して画素電極4913が形成されている。また、画素電極4913と同層に、画素電極4
913と同じ材料からなる第3の電極4914が形成されている。ここで、第1の電極4
908、第2の電極4911及び第3の電極4914からなる容量素子4919が形成さ
れる。
Further, a second interlayer insulating film 4912 is formed so as to cover the wiring 4910 and the second electrode 4911, and a pixel electrode 4913 is formed on the second interlayer insulating film 4912 so as to be in contact with the wiring 4910 through a contact hole.
A third electrode 4914 made of the same material as the first electrode 4913 is formed.
A capacitor element 4919 is formed by the gate electrode 908, a second electrode 4911, and a third electrode 4914.

画素電極4913上に有機化合物を含む層4916及び対向電極4917が形成され、画
素電極4913と対向電極4917とで有機化合物を含む層4916が挟まれた領域に、
発光素子4920が形成されている。
A layer 4916 containing an organic compound and a counter electrode 4917 are formed on the pixel electrode 4913. In a region where the layer 4916 containing an organic compound is sandwiched between the pixel electrode 4913 and the counter electrode 4917,
A light emitting element 4920 is formed.

上述したように、結晶性半導体膜を半導体層に用いたトランジスタの構成は図48及び図
49に示したような構成が挙げられる。なお、図48及び図49に示したトランジスタの
構造は、トップゲート構造のトランジスタの一例である。つまり、LDD領域はゲート電
極と重なっていてもよいし、ゲート電極と重なっていなくてもよい。また、LDD領域の
一部の領域が重なっていてもよい。さらに、ゲート電極はテーパー形状でもよく、ゲート
電極のテーパー部の下部にLDD領域が自己整合的に設けられていてもよい。また、ゲー
ト電極は2つに限定されず、3つ以上のマルチゲート構造でもよいし、1つのゲート電極
でもよい。
As described above, examples of the structure of a transistor using a crystalline semiconductor film as a semiconductor layer include the structures shown in FIG. 48 and FIG. 49. The structure of the transistor shown in FIG. 48 and FIG. 49 is an example of a transistor with a top gate structure. That is, the LDD region may overlap with the gate electrode, or may not overlap with the gate electrode. Also, a part of the LDD region may overlap with the gate electrode. Furthermore, the gate electrode may have a tapered shape, and the LDD region may be provided in a self-aligned manner under the tapered part of the gate electrode. Also, the number of gate electrodes is not limited to two, and a multi-gate structure of three or more may be used, or a single gate electrode may be used.

本発明の画素を構成するトランジスタの半導体層(チャネル形成領域やソース領域やドレ
イン領域など)に結晶性半導体膜を用いることで、走査線駆動回路及び信号線駆動回路を
画素部と一体形成することが容易になる。また、信号線駆動回路の一部を画素部と一体形
成し、一部はICチップ上に形成して図44の表示パネルに示すようにCOG等で実装し
てもよい。このような構成とすることで、製造コストの削減を図ることができる。
By using a crystalline semiconductor film for the semiconductor layer (channel formation region, source region, drain region, etc.) of the transistor constituting the pixel of the present invention, it becomes easy to form the scanning line driver circuit and the signal line driver circuit integrally with the pixel portion. In addition, a part of the signal line driver circuit may be formed integrally with the pixel portion, and a part of the signal line driver circuit may be formed on an IC chip and mounted by COG or the like as shown in the display panel of FIG. 44. By adopting such a configuration, it is possible to reduce the manufacturing cost.

また、半導体層にポリシリコン(p-Si:H)を用いたトランジスタの構成として、基
板と半導体層の間にゲート電極が挟まれた構造、つまり、半導体層の下にゲート電極が位
置するボトムゲート構造のトランジスタを適用してもよい。ここで、ボトムゲート構造の
トランジスタを適用した表示パネルの画素部の部分断面図を図50に示す。
In addition, as the configuration of a transistor using polysilicon (p-Si:H) in the semiconductor layer, a structure in which a gate electrode is sandwiched between a substrate and a semiconductor layer, that is, a bottom-gate structure transistor in which a gate electrode is located under a semiconductor layer may be applied. Here, a partial cross-sectional view of a pixel portion of a display panel to which a bottom-gate structure transistor is applied is shown in FIG.

図50(a)に示すように、基板5001上に下地膜5002が形成されている。さらに
下地膜5002上にゲート電極5003が形成されている。また、ゲート電極5003と
同層に、ゲート電極5003と同じ材料からなる第1の電極5004が形成されている。
ゲート電極5003の材料には、リンが添加された多結晶シリコンを用いることができる
。多結晶シリコンの他に、金属とシリコンの化合物であるシリサイドでもよい。
50A, a base film 5002 is formed on a substrate 5001. Further, a gate electrode 5003 is formed on the base film 5002. Also, a first electrode 5004 made of the same material as the gate electrode 5003 is formed in the same layer as the gate electrode 5003.
Polycrystalline silicon doped with phosphorus can be used as the material for the gate electrode 5003. In addition to polycrystalline silicon, silicide, which is a compound of metal and silicon, may also be used.

ゲート電極5003及び第1の電極5004を覆うように、ゲート絶縁膜5005が形成
されている。ゲート絶縁膜5005としては、酸化珪素膜や窒化珪素膜などが用いられる
A gate insulating film 5005 is formed so as to cover the gate electrode 5003 and the first electrode 5004. As the gate insulating film 5005, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or the like is used.

ゲート絶縁膜5005上に、半導体層が形成されている。半導体層は駆動用トランジスタ
5022のチャネル形成領域5006、LDD領域5007及びソース領域又はドレイン
領域となる不純物領域5008、並びに容量素子5023の第2の電極となるチャネル形
成領域5009、LDD領域5010及び不純物領域5011を有する。なお、チャネル
形成領域5006及びチャネル形成領域5009はチャネルドープが行われていてもよい
A semiconductor layer is formed over a gate insulating film 5005. The semiconductor layer has a channel formation region 5006 of a driving transistor 5022, an LDD region 5007, and an impurity region 5008 which becomes a source region or a drain region, as well as a channel formation region 5009 which becomes a second electrode of a capacitor 5023, an LDD region 5010, and an impurity region 5011. Note that the channel formation region 5006 and the channel formation region 5009 may be channel doped.

基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜
5002としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素
(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
The substrate may be a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, etc. The base film 5002 may be a single layer of aluminum nitride (AlN), silicon oxide (SiO 2 ), silicon oxynitride (SiO x N y ), or the like, or a laminate of these layers.

半導体層を覆って第1の層間絶縁膜5012が形成され、第1の層間絶縁膜5012上に
、コンタクトホールを介して配線5013が不純物領域5008と接している。また、配
線5013と同層に、配線5013と同じ材料で第3の電極5014が形成されている。
第1の電極5004、第2の電極、第3の電極5014によって容量素子5023が構成
されている。
A first interlayer insulating film 5012 is formed to cover the semiconductor layer, and a wiring 5013 is in contact with the impurity region 5008 through a contact hole on the first interlayer insulating film 5012. A third electrode 5014 is formed in the same layer as the wiring 5013 and from the same material as the wiring 5013.
A capacitor element 5023 is formed by the first electrode 5004 , the second electrode, and the third electrode 5014 .

また、第1の層間絶縁膜5012には開口部5015が形成されている。駆動用トランジ
スタ5022、容量素子5023及び開口部5015を覆うように第2の層間絶縁膜50
16が形成され、第2の層間絶縁膜5016上に、コンタクトホールを介して画素電極5
017が形成されている。また、画素電極5017の端部を覆って絶縁物5018が形成
されている。例えば、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることができる。そして、画
素電極5017上に有機化合物を含む層5019及び対向電極5020が形成され、画素
電極5017と対向電極5020とで有機化合物を含む層5019が挟まれた領域に、発
光素子5021が形成されている。そして、発光素子5021の下部に開口部5015が
位置している。つまり、発光素子5021からの発光を基板側から取り出すときには、開
口部5015を有するため、透過率を高めることができる。
An opening 5015 is formed in the first interlayer insulating film 5012. The second interlayer insulating film 5012 is formed so as to cover the driving transistor 5022, the capacitor element 5023, and the opening 5015.
16 is formed, and the pixel electrode 5 is formed on the second interlayer insulating film 5016 through a contact hole.
017 is formed. An insulator 5018 is formed covering the end of the pixel electrode 5017. For example, a positive-type photosensitive acrylic resin film can be used. A layer 5019 containing an organic compound and a counter electrode 5020 are formed on the pixel electrode 5017, and a light-emitting element 5021 is formed in a region where the layer 5019 containing an organic compound is sandwiched between the pixel electrode 5017 and the counter electrode 5020. An opening 5015 is located below the light-emitting element 5021. In other words, when light emitted from the light-emitting element 5021 is extracted from the substrate side, the opening 5015 can increase the transmittance.

また、図50(a)において、画素電極5017と同層に、同じ材料を用いて第4の電極
5024を形成して、図50(b)のような構成としてもよい。すると、第1の電極50
04、第2の電極、第3の電極5014及び第4の電極5024によって構成される容量
素子5025を形成することができる。
50(a), a fourth electrode 5024 may be formed in the same layer as the pixel electrode 5017 using the same material, to obtain a structure as shown in FIG.
A capacitor element 5025 including the first electrode 5014, the second electrode, the third electrode 5014, and the fourth electrode 5024 can be formed.

次に、トランジスタの半導体層にアモルファスシリコン(a-Si:H)膜を用いた場合
について、図51、図52及び図53を用いて説明する。
Next, a case where an amorphous silicon (a-Si:H) film is used for a semiconductor layer of a transistor will be described with reference to FIGS.

アモルファスシリコンを半導体層に用いたトップゲート構造のトランジスタを適用した表
示パネルの画素部の部分断面図を図51に示す。図51(a)に示すように、基板510
1上に下地膜5102が形成されている。さらに、下地膜5102上に画素電極5103
が形成されている。また、画素電極5103と同層に、画素電極5103と同じ材料から
なる第1の電極5104が形成されている。
51 shows a partial cross-sectional view of a pixel portion of a display panel to which a top-gate structure transistor using amorphous silicon for a semiconductor layer is applied. As shown in FIG. 51(a),
A base film 5102 is formed on the insulating film 5101. Further, a pixel electrode 5103 is formed on the base film 5102.
A first electrode 5104 made of the same material as the pixel electrode 5103 is formed in the same layer as the pixel electrode 5103.

基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜
5102としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素
(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
The substrate may be a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, etc. The base film 5102 may be a single layer of aluminum nitride (AlN), silicon oxide (SiO 2 ), silicon oxynitride (SiO x N y ), or the like, or a laminate of these layers.

下地膜5102上に配線5105及び配線5106が形成され、画素電極5103の端部
が配線5105で覆われている。配線5105及び配線5106の上部に、N型の導電型
を有するN型半導体層5107及びN型半導体層5108が形成されている。また、配線
5105と配線5106の間であって、下地膜5102上に半導体層5109が形成され
ている。そして、半導体層5109の一部は、N型半導体層5107及びN型半導体層5
108上にまで延長されている。なお、この半導体層5109はアモルファスシリコン(
a-Si:H)、微結晶半導体(μ-Si:H)等の非結晶性を有する半導体膜で形成さ
れている。
Wirings 5105 and 5106 are formed on an underlayer 5102, and an end of a pixel electrode 5103 is covered with the wiring 5105. An N-type semiconductor layer 5107 and an N-type semiconductor layer 5108 having N-type conductivity are formed on the wirings 5105 and 5106. A semiconductor layer 5109 is formed on the underlayer 5102 between the wirings 5105 and 5106. A part of the semiconductor layer 5109 is connected to the N-type semiconductor layer 5107 and the N-type semiconductor layer 5108.
108. This semiconductor layer 5109 is made of amorphous silicon (
The insulating film is formed of a semiconductor film having non-crystalline properties, such as a-Si:H, or a microcrystalline semiconductor (μ-Si:H).

半導体層5109上に、ゲート絶縁膜5110が形成されている。また、ゲート絶縁膜5
110と同層に、ゲート絶縁膜5110と同じ材料からなる絶縁膜5111が第1の電極
5104上にも形成されている。なお、ゲート絶縁膜5110としては、酸化珪素膜や窒
化珪素膜などが用いられる。
A gate insulating film 5110 is formed on the semiconductor layer 5109.
An insulating film 5111 made of the same material as the gate insulating film 5110 is formed in the same layer as the gate insulating film 5110 over the first electrode 5104. As the gate insulating film 5110, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or the like is used.

ゲート絶縁膜5110上に、ゲート電極5112が形成されている。また、ゲート電極5
112と同層に、ゲート電極5112と同じ材料からなる第2の電極5113が、第1の
電極5104上に絶縁膜5111を介して形成されている。これにより、第1の電極51
04及び第2の電極5113で絶縁膜5111を挟み込んだ構造の容量素子5119が形
成されている。また、画素電極5103の端部、駆動用トランジスタ5118及び容量素
子5119を覆い、層間絶縁膜5114が形成されている。
A gate electrode 5112 is formed on the gate insulating film 5110.
A second electrode 5113 made of the same material as the gate electrode 5112 is formed on the first electrode 5104 via an insulating film 5111 in the same layer as the first electrode 5112.
A capacitor element 5119 is formed in such a structure that an insulating film 5111 is sandwiched between a first electrode 5104 and a second electrode 5113. In addition, an interlayer insulating film 5114 is formed to cover an end portion of the pixel electrode 5103, a driving transistor 5118, and the capacitor element 5119.

層間絶縁膜5114及びその開口部に位置する画素電極5103上に、有機化合物を含む
層5115及び対向電極5116が形成され、画素電極5103と対向電極5116とで
有機化合物を含む層5115が挟まれた領域に、発光素子5117が形成されている。
A layer 5115 containing an organic compound and a counter electrode 5116 are formed on the interlayer insulating film 5114 and the pixel electrode 5103 located in its opening, and a light-emitting element 5117 is formed in the region where the layer 5115 containing an organic compound is sandwiched between the pixel electrode 5103 and the counter electrode 5116.

また、図51(a)に示す第1の電極5104を、図51(b)に示すように第1の電極
5120で形成してもよい。なお、図51(b)に示した第1の電極5120は、配線5
105、5106と同層に、配線5105、5106と同一材料で形成されている。
51(a) may be replaced with a first electrode 5120 as shown in FIG. 51(b). The first electrode 5120 shown in FIG.
It is formed in the same layer as the wirings 5105 and 5106 and made of the same material as the wirings 5105 and 5106 .

次に、アモルファスシリコンを半導体層に用いたボトムゲート構造のトランジスタを適用
した表示パネルの画素部の部分断面図を図52、図53に示す。
Next, partial cross-sectional views of a pixel portion of a display panel to which a bottom-gate transistor using amorphous silicon for a semiconductor layer is applied are shown in FIGS.

図52(a)に示すように、基板5201上に下地膜5202が形成されている。さらに
、下地膜5202上にゲート電極5203が形成されている。また、ゲート電極5203
と同層に、ゲート電極5203と同じ材料からなる第1の電極5204が形成されている
。ゲート電極5203の材料には、リンが添加された多結晶シリコンを用いることができ
る。多結晶シリコンの他に、金属とシリコンの化合物であるシリサイドでもよい。
As shown in FIG. 52A, a base film 5202 is formed on a substrate 5201. Further, a gate electrode 5203 is formed on the base film 5202.
A first electrode 5204 made of the same material as the gate electrode 5203 is formed in the same layer. Polycrystalline silicon doped with phosphorus can be used as the material of the gate electrode 5203. In addition to polycrystalline silicon, silicide, which is a compound of metal and silicon, may also be used.

ゲート電極5203及び第1の電極5204を覆うように、ゲート絶縁膜5205が形成
されている。ゲート絶縁膜5205としては、酸化珪素膜や窒化珪素膜などが用いられる
A gate insulating film 5205 is formed so as to cover the gate electrode 5203 and the first electrode 5204. As the gate insulating film 5205, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or the like is used.

ゲート絶縁膜5205上に、半導体層5206が形成されている。また、半導体層520
6と同層に、半導体層5206と同じ材料からなる半導体層5207が形成されている。
A semiconductor layer 5206 is formed on the gate insulating film 5205.
A semiconductor layer 5207 made of the same material as the semiconductor layer 5206 is formed in the same layer as the semiconductor layer 6 .

基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜
5202としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素
(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
The substrate may be a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, etc. The base film 5202 may be a single layer of aluminum nitride (AlN), silicon oxide (SiO 2 ), silicon oxynitride (SiO x N y ), or the like, or a stack of these layers.

半導体層5206上には、N型の導電性を有するN型半導体層5208、5209が形成
され、半導体層5207上には、N型半導体層5210が形成されている。
N-type semiconductor layers 5208 and 5209 having N-type conductivity are formed on the semiconductor layer 5206 , and an N-type semiconductor layer 5210 is formed on the semiconductor layer 5207 .

N型半導体層5208、5209上にはそれぞれ配線5211、5212が形成される。
また、配線5211、5212と同層に、配線5211、5212と同一材料からなる導
電層5213が、N型半導体層5210上に形成されている。
Wirings 5211 and 5212 are formed on the N-type semiconductor layers 5208 and 5209, respectively.
In addition, a conductive layer 5213 made of the same material as the wirings 5211 and 5212 is formed on the N-type semiconductor layer 5210 in the same layer as the wirings 5211 and 5212 .

これにより、半導体層5207、N型半導体層5210及び導電層5213からなる第2
の電極が構成される。なお、この第2の電極と第1の電極5204でゲート絶縁膜520
5を挟み込んだ構造の容量素子5220が形成されている。
As a result, a second semiconductor layer 5207, an N-type semiconductor layer 5210, and a conductive layer 5213 are formed.
The second electrode and the first electrode 5204 form a gate insulating film 520.
A capacitance element 5220 is formed by sandwiching the capacitor 5 therebetween.

また、配線5211の一方の端部は延在し、その延在した配線5211上部に接して画素
電極5214が形成されている。
One end of the wiring 5211 is extended, and a pixel electrode 5214 is formed in contact with the upper part of the extended wiring 5211 .

また、画素電極5214の端部、駆動用トランジスタ5219及び容量素子5220を覆
うように絶縁物5215が形成されている。
In addition, an insulator 5215 is formed so as to cover an end portion of the pixel electrode 5214 , the driving transistor 5219 , and the capacitor element 5220 .

画素電極5214及び絶縁物5215上には、有機化合物を含む層5216及び対向電極
5217が形成され、画素電極5214と対向電極5217とで有機化合物を含む層52
16が挟まれた領域に、発光素子5218が形成されている。
A layer 5216 containing an organic compound and a counter electrode 5217 are formed on the pixel electrode 5214 and the insulator 5215. The pixel electrode 5214 and the counter electrode 5217 form a layer 5216 containing an organic compound.
A light emitting element 5218 is formed in the region where 16 is sandwiched.

なお、容量素子5220の第2の電極の一部となる半導体層5207及びN型半導体層5
210は設けなくてもよい。つまり、容量素子5220の第2の電極は導電層5213と
し、容量素子5220の構造を、第1の電極5204と導電層5213でゲート絶縁膜を
挟み込んだ構造としてもよい。
The semiconductor layer 5207 and the N-type semiconductor layer 5208 which are to be a part of the second electrode of the capacitor 5220
210 may not be provided. That is, the second electrode of the capacitor 5220 may be the conductive layer 5213, and the capacitor 5220 may have a structure in which a gate insulating film is sandwiched between the first electrode 5204 and the conductive layer 5213.

なお、図52(a)において、配線5211を形成する前に画素電極5214を形成する
ことで、図52(b)に示すような、画素電極5214と同層に、画素電極5214と同
じ材料からなる第2の電極5221を形成することができる。これにより、第2の電極5
221と第1の電極5204でゲート絶縁膜5205を挟み込んだ構造の容量素子522
2を形成することができる。
In addition, by forming the pixel electrode 5214 before forming the wiring 5211 in FIG. 52A, it is possible to form the second electrode 5221 made of the same material as the pixel electrode 5214 in the same layer as the pixel electrode 5214 as shown in FIG. 52B.
A capacitor element 522 having a structure in which a gate insulating film 5205 is sandwiched between the first electrode 5204 and the first electrode 5204.
2 can be formed.

なお、図52では、逆スタガ型のチャネルエッチ構造のトランジスタを適用した例につい
て示したが、もちろんチャネル保護構造のトランジスタを適用してもよい。チャネル保護
構造のトランジスタを適用した場合について、図53(a)、(b)を用いて説明する。
52 shows an example in which a transistor having an inverse staggered channel etch structure is applied, but a transistor having a channel protection structure may also be applied. The case in which a transistor having a channel protection structure is applied will be described with reference to FIGS. 53(a) and 53(b).

図53(a)に示すチャネル保護型構造のトランジスタは、図52(a)に示したチャネ
ルエッチ構造の駆動用トランジスタ5219の半導体層5206のチャネルが形成される
領域上に、エッチングのマスクとなる絶縁物5301が設けられている点が異なり、他の
共通しているところは共通の符号を用いている。
The transistor having a channel-protection type structure shown in Figure 53(a) differs from the driving transistor 5219 having a channel-etched structure shown in Figure 52(a) in that an insulator 5301 serving as an etching mask is provided on a region in which a channel is formed in the semiconductor layer 5206, and other common parts are designated by common symbols.

また、同様に、図53(b)に示すチャネル保護型構造のトランジスタは、図52(b)
に示したチャネルエッチ構造の駆動用トランジスタ5219の半導体層5206のチャネ
ルが形成される領域上に、エッチングのマスクとなる絶縁物5301が設けられている点
が異なり、他の共通しているところは共通の符号を用いている。
Similarly, the transistor having the channel protection structure shown in FIG.
5A and 5B, in that an insulator 5301 serving as an etching mask is provided over a region in which a channel is formed of a semiconductor layer 5206 of a driving transistor 5219 having a channel etch structure as shown in FIG. 5A, and the same symbols are used for other common parts.

本発明の画素を構成するトランジスタの半導体層(チャネル形成領域やソース領域やドレ
イン領域など)に非晶質半導体膜を用いることで、製造コストを削減することができる。
By using an amorphous semiconductor film for a semiconductor layer (such as a channel formation region, a source region, or a drain region) of a transistor constituting a pixel of the present invention, manufacturing costs can be reduced.

なお、本発明の表示装置の画素部に適用することができるトランジスタの構造や、容量素
子の構造は上述した構成に限られず、さまざまな構成のトランジスタの構造や、容量素子
の構造を用いることができる。
Note that the structures of a transistor and a capacitor that can be applied to a pixel portion of a display device of the present invention are not limited to the above-described structures, and various transistor structures and capacitor structures can be used.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態8)
本実施形態では、トランジスタを始めとする半導体装置を作製する方法として、プラズマ
処理を用いて半導体装置を作製する方法について説明する。
(Embodiment 8)
In this embodiment mode, a method for manufacturing a semiconductor device such as a transistor will be described, in which a plasma treatment is used to manufacture the semiconductor device.

図54は、トランジスタを含む半導体装置の構造例を示した図である。なお、図54にお
いて、図54(B)は図54(A)のa-b間の断面図に相当し、図54(C)は図54
(A)のc-d間の断面図に相当する。
54A and 54B are diagrams showing examples of the structure of a semiconductor device including a transistor. In addition, in FIG. 54B, FIG. 54A corresponds to a cross-sectional view taken along line a-b, and FIG. 54C corresponds to a cross-sectional view taken along line a-b in FIG.
This corresponds to the cross-sectional view between cd in (A).

図54に示す半導体装置は、基板5401上に絶縁膜5402を介して設けられた半導体
膜5403a、5403bと、当該半導体膜5403a、5403b上にゲート絶縁膜5
404を介して設けられたゲート電極5405と、ゲート電極を覆って設けられた絶縁膜
5406、5407と、半導体膜5403a、5403bのソース領域またはドレイン領
域と接続し且つ絶縁膜5407上に設けられた導電膜5408とを有している。なお、図
54においては、半導体膜5403aの一部をチャネル領域として用いたNチャネル型ト
ランジスタ5410aと半導体膜5403bの一部をチャネル領域として用いたPチャネ
ル型トランジスタ5410bとを設けた場合を示しているが、この構成に限られない。例
えば、図54では、Nチャネル型トランジスタ5410aにLDD領域を設け、Pチャネ
ル型トランジスタ5410bにはLDD領域を設けていないが、両方に設けた構成として
もよいし両方に設けない構成とすることも可能である。
The semiconductor device shown in FIG. 54 includes semiconductor films 5403a and 5403b provided on a substrate 5401 with an insulating film 5402 interposed therebetween, and a gate insulating film 5403a and a gate insulating film 5403b provided on the semiconductor films 5403a and 5403b.
54 includes a gate electrode 5405 provided through a gate electrode 5404, insulating films 5406 and 5407 provided to cover the gate electrode, and a conductive film 5408 connected to the source or drain regions of the semiconductor films 5403a and 5403b and provided on the insulating film 5407. Note that, although Fig. 54 shows a case where an N-channel transistor 5410a using a part of the semiconductor film 5403a as a channel region and a P-channel transistor 5410b using a part of the semiconductor film 5403b as a channel region are provided, the present invention is not limited to this configuration. For example, in Fig. 54, an LDD region is provided in the N-channel transistor 5410a and an LDD region is not provided in the P-channel transistor 5410b, but it is possible to provide an LDD region in both or to provide neither.

なお、本実施形態では、上記基板5401、絶縁膜5402、半導体膜5403a及び5
403b、ゲート絶縁膜5404、絶縁膜5406または絶縁膜5407のうち少なくと
もいずれか一層に、プラズマ処理を用いて酸化または窒化を行うことにより半導体膜また
は絶縁膜を酸化または窒かすることによって、図54に示した半導体装置を作製する。こ
のように、プラズマ処理を用いて半導体膜または絶縁膜を酸化または窒化することによっ
て、当該半導体膜または絶縁膜の表面を改質し、CVD法やスパッタ法により形成した絶
縁膜と比較してより緻密な絶縁膜を形成することができるため、ピンホール等の欠陥を抑
制し半導体装置の特性等を向上させることが可能となる。
In this embodiment, the substrate 5401, the insulating film 5402, the semiconductor film 5403a and the
54 is manufactured by oxidizing or nitriding the semiconductor film or insulating film by performing oxidation or nitriding using plasma treatment on at least one layer of the gate insulating film 5404, the insulating film 5406, or the insulating film 5407. In this manner, by oxidizing or nitriding the semiconductor film or insulating film using plasma treatment, the surface of the semiconductor film or insulating film is modified, and a denser insulating film can be formed compared to an insulating film formed by a CVD method or a sputtering method, so that defects such as pinholes can be suppressed and the characteristics of the semiconductor device can be improved.

なお、本実施形態では、上記図54における半導体膜5403a及び5403bまたはゲ
ート絶縁膜5404にプラズマ処理を行い、当該半導体膜5403a及び5403bまた
はゲート絶縁膜5404を酸化または窒化することによって半導体装置を作製する方法に
ついて図面を参照して説明する。
In this embodiment, a method for manufacturing a semiconductor device by performing plasma treatment on the semiconductor films 5403a and 5403b or the gate insulating film 5404 in FIG. 54 and oxidizing or nitriding the semiconductor films 5403a and 5403b or the gate insulating film 5404 will be described with reference to the drawings.

はじめに、基板上に設けられた島状の半導体膜において、当該島状の半導体膜の端部を直
角に近い形状で設ける場合について示す。
First, a case will be described in which an island-shaped semiconductor film is provided over a substrate, and the edge of the island-shaped semiconductor film is formed to have a shape close to a right angle.

まず、基板5401上に島状の半導体膜5403a、5403bを形成する(図55(A
))。島状の半導体膜5403a、5403bは、基板5401上にあらかじめ形成され
た絶縁膜5402上に公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を
用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSiGe1-x等)等を用いて非
晶質半導体膜を形成し、当該非晶質半導体膜を結晶化させ、半導体膜を選択的にエッチン
グすることにより設けることができる。なお、非晶質半導体膜の結晶化は、レーザー結晶
化法、RTA又はファーネスアニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素
を用いる熱結晶化法またはこれら方法を組み合わせた方法等の公知の結晶化法により行う
ことができる。なお、図55では、島状の半導体膜5403a、5403bの端部を直角
に近い形状(θ=85~100°)で設ける。
First, island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b are formed on a substrate 5401 (FIG. 55(A)
) The island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b can be provided by forming an amorphous semiconductor film using a material (e.g., Si x Ge 1-x , etc.) mainly composed of silicon (Si) on an insulating film 5402 previously formed on a substrate 5401 by a known means (sputtering method, LPCVD method, plasma CVD method, etc.), crystallizing the amorphous semiconductor film, and selectively etching the semiconductor film. The crystallization of the amorphous semiconductor film can be performed by a known crystallization method such as a laser crystallization method, a thermal crystallization method using an RTA or furnace annealing furnace, a thermal crystallization method using a metal element that promotes crystallization, or a combination of these methods. In FIG. 55, the ends of the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b are provided in a shape close to a right angle (θ=85 to 100°).

次に、プラズマ処理を行い半導体膜5403a、5403bを酸化または窒化することに
よって、当該半導体膜5403a、5403bの表面にそれぞれ酸化膜または窒化膜54
21a、5421b(以下、絶縁膜5421a、絶縁膜5421bとも記す)を形成する
(図55(B))。例えば、半導体膜5403a、5403bとしてSiを用いた場合、
絶縁膜5421a及び絶縁膜5421bとして、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(
SiNx)が形成される。また、プラズマ処理により半導体膜5403a、5403bを
酸化させた後に、再度プラズマ処理を行うことによって窒化させてもよい。この場合、半
導体膜5403a、5403bに接して酸化珪素(SiOx)が形成され、当該酸化珪素
の表面に窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。なお、プラズマ処理に
より半導体膜を酸化する場合には、酸素雰囲気下(例えば、酸素(O)と希ガス(He
、Ne、Ar、Kr、Xeの少なくとも一つを含む)雰囲気下または酸素と水素(H
と希ガス雰囲気下または一酸化二窒素と希ガス雰囲気下)でプラズマ処理を行う。一方、
プラズマ処理により半導体膜を窒化する場合には、窒素雰囲気下(例えば、窒素(N
と希ガス(He、Ne、Ar、Kr、Xeの少なくとも一つを含む)雰囲気下または窒素
と水素と希ガス雰囲気下またはNHと希ガス雰囲気下)でプラズマ処理を行う。希ガス
としては、例えばArを用いることができる。また、ArとKrを混合したガスを用いて
もよい。そのため、絶縁膜5421a、5421bは、プラズマ処理に用いた希ガス(H
e、Ne、Ar、Kr、Xeの少なくとも一つを含む)を含んでおり、Arを用いた場合
には絶縁膜5421a、5421bにArが含まれている。
Next, the semiconductor films 5403a and 5403b are oxidized or nitrided by plasma treatment, so that oxide films or nitride films 5403a and 5403b are formed on the surfaces of the semiconductor films 5403a and 5403b, respectively.
21a and 5421b (hereinafter also referred to as insulating films 5421a and 5421b) are formed ( FIG. 55B ). For example, when Si is used as the semiconductor films 5403a and 5403b,
The insulating film 5421a and the insulating film 5421b are formed of silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (
In addition, the semiconductor films 5403a and 5403b may be oxidized by plasma treatment and then nitrided by performing another plasma treatment. In this case, silicon oxide (SiOx) is formed in contact with the semiconductor films 5403a and 5403b, and silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y) is formed on the surface of the silicon oxide. When the semiconductor film is oxidized by plasma treatment, the semiconductor film is oxidized in an oxygen atmosphere (for example, a mixture of oxygen (O 2 ) and rare gas (He
, Ne, Ar, Kr, Xe) atmosphere or oxygen and hydrogen (H 2 )
and a rare gas atmosphere or dinitrogen monoxide and a rare gas atmosphere).
When the semiconductor film is nitrided by plasma treatment, the semiconductor film is nitrided in a nitrogen atmosphere (e.g., nitrogen (N 2 )
Plasma treatment is performed in an atmosphere of nitrogen, hydrogen, and a rare gas (containing at least one of He, Ne, Ar, Kr, and Xe), in an atmosphere of nitrogen, hydrogen, and a rare gas, or in an atmosphere of NH3 and a rare gas). For example, Ar can be used as the rare gas. Alternatively, a mixed gas of Ar and Kr may be used. Therefore, the insulating films 5421a and 5421b are formed by the rare gas (H
When Ar is used, the insulating films 5421a and 5421b contain Ar.

また、プラズマ処理は、上記ガスの雰囲気中において、電子密度が1×1011cm-3
以上1×1013cm-3以下であり、プラズマの電子温度が0.5eV以上1.5eV
以下で行う。プラズマの電子密度が高密度であり、基板5401上に形成された被処理物
(ここでは、半導体膜5403a、5403b)付近での電子温度が低いため、被処理物
に対するプラズマによる損傷を防止することができる。また、プラズマの電子密度が1×
1011cm-3以上と高密度であるため、プラズマ処理を用いて、被照射物を酸化また
は窒化することよって形成される酸化物または窒化膜は、CVD法やスパッタ法等により
形成された膜と比較して膜厚等が均一性に優れ、且つ緻密な膜を形成することができる。
また、プラズマの電子温度が1eV以下と低いため、従来のプラズマ処理や熱酸化法と比
較して低温度で酸化または窒化処理を行うことができる。たとえば、ガラス基板の歪点温
度よりも100度以上低い温度でプラズマ処理を行っても十分に酸化または窒化処理を行
うことができる。なお、プラズマを形成するための周波数としては、マイクロ波(2.4
5GHz)等の高周波を用いることができる。なお、以下に特に断らない場合は、プラズ
マ処理として上記条件を用いて行うものとする。
The plasma treatment is carried out in an atmosphere of the above gas with an electron density of 1×10 11 cm −3
and the electron temperature of the plasma is 0.5 eV to 1.5 eV .
The electron density of the plasma is high and the electron temperature in the vicinity of the object to be processed (here, the semiconductor films 5403a and 5403b) formed on the substrate 5401 is low, so that damage to the object to be processed by the plasma can be prevented.
Because of the high density of 10 11 cm -3 or more, the oxide or nitride film formed by oxidizing or nitriding the irradiated object using the plasma treatment has excellent uniformity in film thickness, etc., and can form a dense film, compared to films formed by a CVD method, a sputtering method, or the like.
In addition, since the electron temperature of the plasma is as low as 1 eV or less, the oxidation or nitriding treatment can be performed at a lower temperature than in the conventional plasma treatment or thermal oxidation method. For example, the oxidation or nitriding treatment can be performed sufficiently even if the plasma treatment is performed at a temperature 100 degrees or more lower than the distortion point temperature of the glass substrate. The frequency for generating the plasma is microwave (2.4
In addition, unless otherwise specified below, the plasma treatment is performed under the above conditions.

次に、絶縁膜5421a、5421bを覆うようにゲート絶縁膜5404を形成する(図
55(C))。ゲート絶縁膜5404は、公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラ
ズマCVD法等)を用いて、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪
素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)等の酸素また
は窒素を有する絶縁膜の単層構造、またはこれらの積層構造で設けることができる。例え
ば、半導体膜5403a、5403bとしてSiを用い、プラズマ処理により当該Siを
酸化させることによって当該半導体膜5403a、5403b表面に絶縁膜5421a、
5421bとして酸化珪素を形成した場合、当該絶縁膜5421a、5421b上にゲー
ト絶縁膜として酸化珪素(SiOx)を形成する。また、上記図55(B)において、プ
ラズマ処理により半導体膜5403a、5403bを酸化または窒化することによって形
成された絶縁膜5421a、5421bの膜厚が十分である場合には、当該絶縁膜542
1a、5421bをゲート絶縁膜として用いることも可能である。
Next, a gate insulating film 5404 is formed so as to cover the insulating films 5421a and 5421b (FIG. 55C). The gate insulating film 5404 can be formed as a single layer structure of an insulating film containing oxygen or nitrogen, such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x>y), or silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y), by using a known method (sputtering, LPCVD, plasma CVD, or the like), or as a laminated structure of these. For example, by using Si as the semiconductor films 5403a and 5403b and oxidizing the Si by plasma treatment, the insulating films 5421a and 5421b are formed on the surfaces of the semiconductor films 5403a and 5403b.
In the case where silicon oxide is formed as the insulating film 5421b, silicon oxide (SiOx) is formed as a gate insulating film over the insulating films 5421a and 5421b. In addition, in FIG. 55B, when the insulating films 5421a and 5421b formed by oxidizing or nitriding the semiconductor films 5403a and 5403b by plasma treatment have a sufficient thickness, the insulating films 5421a and 5421b are formed as a gate insulating film over the insulating films 5421a and 5421b.
1a and 5421b can also be used as a gate insulating film.

次に、ゲート絶縁膜5404上にゲート電極5405等を形成することによって、島状の
半導体膜5403a、5403bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ
5410a、Pチャネル型トランジスタ5410bを有する半導体装置を作製することが
できる(図55(D))。
Next, by forming a gate electrode 5405 and the like on the gate insulating film 5404, a semiconductor device having an N-channel transistor 5410a and a P-channel transistor 5410b using the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b as channel regions can be manufactured (Figure 55 (D)).

このように、半導体膜5403a、5403b上にゲート絶縁膜5404を設ける前に、
プラズマ処理により半導体膜5403a、5403bの表面を酸化または窒化することに
よって、チャネル領域の端部5451a、5451b等におけるゲート絶縁膜5404の
被覆不良に起因するゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。つまり
、島状の半導体膜の端部が直角に近い形状(θ=85~100°)を有する場合には、C
VD法やスパッタ法等により半導体膜を覆うようにゲート絶縁膜を形成した際に、半導体
膜の端部においてゲート絶縁膜の段切れ等による被覆不良の問題が生じる恐れがあるが、
あらかじめ半導体膜の表面にプラズマ処理を用いて酸化または窒化しておくことによって
、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良等を防止することが可能となる。
In this manner, before the gate insulating film 5404 is provided on the semiconductor films 5403a and 5403b,
By oxidizing or nitriding the surfaces of the semiconductor films 5403a and 5403b by plasma treatment, it is possible to prevent a short circuit between the gate electrode and the semiconductor film caused by poor coverage of the gate insulating film 5404 at the ends 5451a and 5451b of the channel region. In other words, when the ends of the island-shaped semiconductor film have a shape close to a right angle (θ=85 to 100°),
When a gate insulating film is formed to cover a semiconductor film by a VD method, a sputtering method, or the like, there is a risk of a problem of poor coverage due to a step in the gate insulating film at the end of the semiconductor film.
By oxidizing or nitriding the surface of the semiconductor film in advance by using a plasma treatment, it becomes possible to prevent insufficient coverage of the gate insulating film at the edge of the semiconductor film.

また、上記図55において、ゲート絶縁膜5404を形成した後にプラズマ処理を行うこ
とによって、ゲート絶縁膜5404を酸化または窒化させてもよい。この場合、半導体膜
5403a、5403bを覆うように形成されたゲート絶縁膜5404(図56(A))
にプラズマ処理を行い、ゲート絶縁膜5404を酸化または窒化することによって、ゲー
ト絶縁膜5404の表面に酸化膜または窒化膜(以下、絶縁膜5423とも記す)を形成
する(図56(B))。プラズマ処理の条件は、上記図55(B)と同様に行うことがで
きる。また、絶縁膜5523は、プラズマ処理に用いた希ガスを含んでおり、例えばAr
を用いた場合には絶縁膜5523にArが含まれている。
55, the gate insulating film 5404 may be oxidized or nitrided by performing plasma treatment after the gate insulating film 5404 is formed. In this case, the gate insulating film 5404 (FIG. 56A) formed to cover the semiconductor films 5403a and 5403b may be oxidized or nitrided.
The gate insulating film 5404 is oxidized or nitrided by plasma treatment to form an oxide film or nitride film (hereinafter, also referred to as an insulating film 5423) on the surface of the gate insulating film 5404 (FIG. 56B). The plasma treatment can be performed under the same conditions as those in FIG. 55B. The insulating film 5523 contains a rare gas used in the plasma treatment, for example, Ar.
When using the insulating film 5523, Ar is contained in the insulating film 5523.

また、図56(B)において、一旦酸素雰囲気下でプラズマ処理を行うことによりゲート
絶縁膜5404を酸化させた後に、再度窒素雰囲気下でプラズマ処理を行うことにより窒
化させてもよい。この場合、半導体膜5403a、5403b型に酸化珪素(SiOx)
または酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)が形成され、ゲート電極5405に接し
て窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。その後、絶縁膜123上にゲ
ート電極5405等を形成することによって、島状の半導体膜5403a、5403bを
チャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ5410a、Pチャネル型トランジ
スタ5410bを有する半導体装置を作製することができる(図56(C))。このよう
に、ゲート絶縁膜にプラズマ処理を行うことにより、当該ゲート絶縁膜の表面を酸化また
は窒化することによって、ゲート絶縁膜の表面を改質し緻密な膜を形成することができる
。プラズマ処理を行うことによって得られた絶縁膜は、CVD法やスパッタ法で形成され
た絶縁膜と比較して緻密でピンホール等の欠陥も少ないため、トランジスタの特性を向上
させることができる。
56B, the gate insulating film 5404 may be oxidized by performing plasma treatment in an oxygen atmosphere, and then nitrided by performing plasma treatment again in a nitrogen atmosphere. In this case, silicon oxide (SiOx) is used for the semiconductor films 5403a and 5403b.
Alternatively, silicon oxynitride (SiOxNy) (x>y) is formed, and silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y) is formed in contact with the gate electrode 5405. After that, by forming the gate electrode 5405 and the like on the insulating film 123, a semiconductor device having an N-channel transistor 5410a and a P-channel transistor 5410b using the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b as channel regions can be manufactured (FIG. 56(C)). In this way, by performing plasma treatment on the gate insulating film, the surface of the gate insulating film can be oxidized or nitrided, thereby modifying the surface of the gate insulating film to form a dense film. The insulating film obtained by the plasma treatment is denser and has fewer defects such as pinholes compared to insulating films formed by a CVD method or a sputtering method, and therefore the characteristics of the transistor can be improved.

なお、図56においては、あらかじめ半導体膜5403a、5403bにプラズマ処理を
行うことによって、当該半導体膜5403a、5403bの表面を酸化または窒化させた
場合を示したが、半導体膜5403a、5403bにプラズマ処理を行わずにゲート絶縁
膜5404を形成した後にプラズマ処理を行う方法を用いてもよい。このように、ゲート
電極を形成する前にプラズマ処理を行うことによって、半導体膜の端部においてゲート絶
縁膜の段切れ等による被覆不良が生じた場合であっても、被覆不良により露出した半導体
膜を酸化または窒化することができるため、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆
不良に起因するゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。
56 shows a case where the surfaces of the semiconductor films 5403a and 5403b are oxidized or nitrided by performing plasma treatment on the semiconductor films 5403a and 5403b in advance, but a method of performing plasma treatment after forming the gate insulating film 5404 without performing plasma treatment on the semiconductor films 5403a and 5403b may also be used. By performing plasma treatment before forming the gate electrode in this manner, even if poor coverage occurs at the end of the semiconductor film due to a step or the like in the gate insulating film, the semiconductor film exposed due to the poor coverage can be oxidized or nitrided, and therefore it is possible to prevent a short circuit between the gate electrode and the semiconductor film due to poor coverage of the gate insulating film at the end of the semiconductor film.

このように、島状の半導体膜の端部を直角に近い形状で設けた場合であっても、半導体膜
またはゲート絶縁膜にプラズマ処理を行い、当該半導体膜またはゲート絶縁膜を酸化また
は窒化することによって、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良に起因するゲ
ート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。
In this way, even if the end of the island-shaped semiconductor film is provided in a shape close to a right angle, by performing plasma treatment on the semiconductor film or the gate insulating film and oxidizing or nitriding the semiconductor film or the gate insulating film, it is possible to prevent a short circuit between the gate electrode and the semiconductor film caused by insufficient coverage of the gate insulating film at the end of the semiconductor film.

次に、基板上に設けられた島状の半導体膜において、当該島状の半導体膜の端部をテーパ
ー形状(θ=30~85°)で設ける場合について示す。
Next, a case will be described in which an island-shaped semiconductor film is provided over a substrate, and the end portion of the island-shaped semiconductor film is provided in a tapered shape (θ=30 to 85°).

まず、基板5401上に島状の半導体膜5403a、5403bを形成する(図57(A
))。島状の半導体膜5403a、5403bは、基板5401上にあらかじめ形成され
た絶縁膜5402上に公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を
用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSiGe1-x等)等を用いて非
晶質半導体膜を形成し、当該非晶質半導体膜をレーザー結晶化法、RTA又はファーネス
アニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法などの公
知の結晶化法により結晶化させ、選択的に半導体膜をエッチングして除去することにより
設けることができる。なお、図57では、島状の半導体膜の端部をテーパー形状(θ=3
0~85°)で設ける。
First, island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b are formed on a substrate 5401 (FIG. 57(A)
)) The island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b can be provided by forming an amorphous semiconductor film using a material (e.g., Si x Ge 1-x , etc.) mainly composed of silicon (Si) on an insulating film 5402 formed in advance on a substrate 5401 by a known means (sputtering method, LPCVD method, plasma CVD method, etc.), crystallizing the amorphous semiconductor film by a known crystallization method such as a laser crystallization method, a thermal crystallization method using an RTA or furnace annealing furnace, or a thermal crystallization method using a metal element that promotes crystallization, and selectively etching and removing the semiconductor film. Note that in FIG. 57, the end of the island-shaped semiconductor film is tapered (θ=3
The angle is set at 0 to 85°.

次に、半導体膜5403a、5403bを覆うようにゲート絶縁膜5404を形成する(
図57(B))。ゲート絶縁膜5404は、公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プ
ラズマCVD法等)を用いて、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化
珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)等の酸素ま
たは窒素を有する絶縁膜の単層構造、またはこれらの積層構造で設けることができる。
Next, a gate insulating film 5404 is formed so as to cover the semiconductor films 5403a and 5403b (
57B). The gate insulating film 5404 can be formed by a known method (such as a sputtering method, an LPCVD method, or a plasma CVD method) to have a single layer structure of an insulating film containing oxygen or nitrogen, such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x>y), or silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y), or a laminated structure of these.

次に、プラズマ処理を行いゲート絶縁膜5404を酸化または窒化することによって、当
該ゲート絶縁膜5404の表面にそれぞれ酸化膜または窒化膜(以下、絶縁膜5424と
も記す)を形成する(図57(C))。なお、プラズマ処理の条件は上記と同様に行うこ
とができる。例えば、ゲート絶縁膜5404として酸化珪素(SiOx)または酸化窒化
珪素(SiOxNy)(x>y)を用いた場合、酸素雰囲気下でプラズマ処理を行いゲー
ト絶縁膜5404を酸化することによって、ゲート絶縁膜の表面にはCVD法やスパッタ
法等により形成されたゲート絶縁膜と比較してピンホール等の欠陥の少ない緻密な膜を形
成することができる。一方、窒素雰囲気下でプラズマ処理を行いゲート絶縁膜5404を
窒化することによって、ゲート絶縁膜5404の表面に絶縁膜5424として窒化酸化珪
素(SiNxOy)(x>y)を設けることができる。また、一旦酸素雰囲気下でプラズ
マ処理を行うことによりゲート絶縁膜5404を酸化させた後に、再度窒素雰囲気下でプ
ラズマ処理を行うことにより窒化させてもよい。また、絶縁膜5424は、プラズマ処理
に用いた希ガスを含んでおり、例えばArを用いた場合には絶縁膜5424中にArが含
まれている。
Next, the gate insulating film 5404 is oxidized or nitrided by plasma treatment to form an oxide film or a nitride film (hereinafter, also referred to as an insulating film 5424) on the surface of the gate insulating film 5404 (FIG. 57C). Note that the conditions of the plasma treatment can be the same as those described above. For example, when silicon oxide (SiOx) or silicon oxynitride (SiOxNy) (x>y) is used as the gate insulating film 5404, a dense film with fewer defects such as pinholes can be formed on the surface of the gate insulating film by oxidizing the gate insulating film 5404 by plasma treatment in an oxygen atmosphere, as compared with a gate insulating film formed by a CVD method, a sputtering method, or the like. On the other hand, silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y) can be provided as the insulating film 5424 on the surface of the gate insulating film 5404 by nitriding the gate insulating film 5404 by plasma treatment in a nitrogen atmosphere. Alternatively, the gate insulating film 5404 may be oxidized by once performing plasma treatment in an oxygen atmosphere, and then nitrided by performing plasma treatment again in a nitrogen atmosphere. The insulating film 5424 contains a rare gas used in the plasma treatment. For example, when Ar is used, the insulating film 5424 contains Ar.

次に、ゲート絶縁膜5404上にゲート電極5405等を形成することによって、島状の
半導体膜5403a、5403bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ
5410a、Pチャネル型トランジスタ5410bを有する半導体装置を作製することが
できる(図57(D))。
Next, by forming a gate electrode 5405 and the like on the gate insulating film 5404, a semiconductor device having an N-channel transistor 5410a and a P-channel transistor 5410b using the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b as channel regions can be manufactured (Figure 57 (D)).

このように、ゲート絶縁膜にプラズマ処理を行うことにより、ゲート絶縁膜の表面に酸化
膜または窒化膜からなる絶縁膜を設け、ゲート絶縁膜の表面の改質をすることができる。
プラズマ処理を行うことによって酸化または窒化された絶縁膜は、CVD法やスパッタ法
で形成されたゲート絶縁膜と比較して緻密でピンホール等の欠陥も少ないため、トランジ
スタの特性を向上させることができる。また、半導体膜の端部をテーパー形状とすること
によって、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良に起因するゲート電極と半導
体膜のショート等を抑制することができるが、ゲート絶縁膜を形成した後にプラズマ処理
を行うことによって、より一層ゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができ
る。
In this manner, by subjecting the gate insulating film to a plasma treatment, an insulating film made of an oxide film or a nitride film is provided on the surface of the gate insulating film, and the surface of the gate insulating film can be modified.
An insulating film oxidized or nitrided by plasma treatment is denser and has fewer defects such as pinholes than a gate insulating film formed by CVD or sputtering, and therefore the characteristics of a transistor can be improved. In addition, by forming the end of the semiconductor film into a tapered shape, short circuits between the gate electrode and the semiconductor film caused by poor coverage of the gate insulating film at the end of the semiconductor film can be suppressed, and short circuits between the gate electrode and the semiconductor film can be further prevented by performing plasma treatment after forming the gate insulating film.

次に、図57とは、異なる半導体装置の作製方法に関して図面を参照して説明する。具体
的には、テーパー形状を有する半導体膜の端部に選択的にプラズマ処理を行う場合に関し
て示す。
Next, a method for manufacturing a semiconductor device different from that shown in Fig. 57 will be described with reference to the drawings. Specifically, the method will be described with respect to a case where a plasma treatment is selectively performed on an end portion of a semiconductor film having a tapered shape.

まず、基板5401上に島状の半導体膜5403a、5403bを形成する(図58(A
))。島状の半導体膜5403a、5403bは、基板5401上にあらかじめ形成され
た絶縁膜5402上に公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を
用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSiGe1-x等)等を用いて非
晶質半導体膜を形成し、当該非晶質半導体膜を結晶化させ、レジスト5425a、542
5bをマスクとして半導体膜を選択的にエッチングすることにより設けることができる。
なお、非晶質半導体膜の結晶化は、レーザー結晶化法、RTA又はファーネスアニール炉
を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法またはこれら方法を
組み合わせた方法等の公知の結晶化法により行うことができる。
First, island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b are formed on a substrate 5401 (FIG. 58(A)
The island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b are formed by forming an amorphous semiconductor film on an insulating film 5402 formed in advance on a substrate 5401 using a known method (sputtering, LPCVD, plasma CVD, etc.) using a material mainly composed of silicon (Si) (e.g., Si x Ge 1-x , etc.), crystallizing the amorphous semiconductor film, and then forming resists 5425a and 5425b on the insulating film 5402.
The insulating film 5b can be provided by selectively etching the semiconductor film using the insulating film 5b as a mask.
The crystallization of the amorphous semiconductor film can be carried out by a known crystallization method such as a laser crystallization method, a thermal crystallization method using an RTA or an annealing furnace, a thermal crystallization method using a metal element that promotes crystallization, or a combination of these methods.

次に、半導体膜のエッチングのために使用したレジスト5425a、5425bを除去す
る前に、プラズマ処理を行い島状の半導体膜5403a、5403bの端部を選択的に酸
化または窒化することによって、当該半導体膜5403a、5403bの端部にそれぞれ
酸化膜または窒化膜(以下、絶縁膜5426とも記す)を形成する(図58(B))。プ
ラズマ処理は、上述した条件下で行う。また、絶縁膜5426は、プラズマ処理に用いた
希ガスを含んでいる。
Next, before removing the resists 5425a and 5425b used for etching the semiconductor films, a plasma treatment is performed to selectively oxidize or nitride the ends of the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b, thereby forming oxide films or nitride films (hereinafter also referred to as insulating films 5426) at the ends of the semiconductor films 5403a and 5403b (FIG. 58B). The plasma treatment is performed under the above-mentioned conditions. The insulating film 5426 contains the rare gas used in the plasma treatment.

次に、半導体膜5403a、5403bを覆うようにゲート絶縁膜5404を形成する(
図58(C))。ゲート絶縁膜5404は、上記と同様に設けることができる。
Next, a gate insulating film 5404 is formed so as to cover the semiconductor films 5403a and 5403b (
58(C)). The gate insulating film 5404 can be provided in the same manner as described above.

次に、ゲート絶縁膜5404上にゲート電極5405等を形成することによって、島状の
半導体膜5403a、5403bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ
5410a、Pチャネル型トランジスタ5410bを有する半導体装置を作製することが
できる(図58(D))。
Next, by forming a gate electrode 5405 and the like on the gate insulating film 5404, a semiconductor device having an N-channel transistor 5410a and a P-channel transistor 5410b using the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b as channel regions can be manufactured (Figure 58 (D)).

半導体膜5403a、5403bの端部をテーパー形状に設けた場合、半導体膜5403
a、5403bの一部に形成されるチャネル領域の端部5452a、5452bもテーパ
ー形状となり半導体膜の膜厚やゲート絶縁膜の膜厚が中央部分と比較して変化するため、
トランジスタの特性に影響を及ぼす場合がある。そのため、ここではプラズマ処理により
チャネル領域の端部を選択的に酸化または窒化して、当該チャネル領域の端部となる半導
体膜に絶縁膜を形成することによって、チャネル領域の端部に起因するトランジスタへの
影響を低減することができる。
When the ends of the semiconductor films 5403a and 5403b are tapered, the semiconductor film 5403
The ends 5452a and 5452b of the channel region formed in a part of the channel region 5403a and 5403b are also tapered, and the thickness of the semiconductor film and the thickness of the gate insulating film are changed compared to the central part.
Therefore, in this embodiment, the edge of the channel region is selectively oxidized or nitrided by plasma treatment to form an insulating film on the semiconductor film that becomes the edge of the channel region, thereby reducing the effect of the edge of the channel region on the transistor.

なお、図58では、半導体膜5403a、5403bの端部に限ってプラズマ処理により
酸化または窒化を行った例を示したが、もちろん上記図57で示したようにゲート絶縁膜
5404にもプラズマ処理を行って酸化または窒化させることも可能である(図60(A
))。
In FIG. 58, an example in which the end portions of the semiconductor films 5403a and 5403b are oxidized or nitrided by plasma treatment is shown. However, as shown in FIG. 57, it is also possible to oxidize or nitride the gate insulating film 5404 by plasma treatment (FIG. 60(A)).
)).

次に、上記とは異なる半導体装置の作製方法に関して図面を参照して説明する。具体的に
は、テーパー形状を有する半導体膜にプラズマ処理を行う場合に関して示す。
Next, a method for manufacturing a semiconductor device, which is different from the above, will be described with reference to the drawings. Specifically, the case where plasma treatment is performed on a semiconductor film having a tapered shape will be described.

まず、基板5401上に上記と同様に島状の半導体膜5403a、5403bを形成する
(図59(A))。
First, island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b are formed over a substrate 5401 in the same manner as described above (FIG. 59A).

次に、プラズマ処理を行い半導体膜5403a、5403bを酸化または窒化することに
よって、当該半導体膜5403a、5403bの表面にそれぞれ酸化膜または窒化膜54
27a、5427b(以下、絶縁膜5427a、絶縁膜5427bとも記す)を形成する
(図59(B))。プラズマ処理は上述した条件下で同様に行うことができる。例えば、
半導体膜5403a、5403bとしてSiを用いた場合、絶縁膜5427a及び絶縁膜
5427bとして、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNx)が形成される。ま
た、プラズマ処理により半導体膜5403a、5403bを酸化させた後に、再度プラズ
マ処理を行うことによって窒化させてもよい。この場合、半導体膜5403a、5403
bに接して酸化珪素(SiOx)または酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)が形成
され、当該酸化珪素の表面に窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。そ
のため、絶縁膜5427a、5427bは、プラズマ処理に用いた希ガスを含んでいる。
なお、プラズマ処理を行うことにより半導体膜5403a、5403bの端部も同時に酸
化または窒化される。
Next, the semiconductor films 5403a and 5403b are oxidized or nitrided by plasma treatment, so that oxide films or nitride films 5403a and 5403b are formed on the surfaces of the semiconductor films 5403a and 5403b, respectively.
27a and 5427b (hereinafter also referred to as insulating films 5427a and 5427b) are formed (FIG. 59B). The plasma treatment can be performed under the above-mentioned conditions. For example,
When Si is used for the semiconductor films 5403a and 5403b, silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx) is formed as the insulating films 5427a and 5427b. The semiconductor films 5403a and 5403b may be oxidized by plasma treatment and then nitrided by performing plasma treatment again. In this case, the semiconductor films 5403a and 5403b may be oxidized by plasma treatment and then nitrided by performing plasma treatment again.
Silicon oxide (SiOx) or silicon oxynitride (SiOxNy) (x>y) is formed in contact with the insulating films 5427a and 5427b, and silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y) is formed on the surface of the silicon oxide. Therefore, the insulating films 5427a and 5427b contain a rare gas used in the plasma treatment.
By performing the plasma treatment, the ends of the semiconductor films 5403a and 5403b are also oxidized or nitrided at the same time.

次に、絶縁膜5427a、5427bを覆うようにゲート絶縁膜5404を形成する(図
59(C))。ゲート絶縁膜5404は、公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラ
ズマCVD法等)を用いて、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪
素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)等の酸素また
は窒素を有する絶縁膜の単層構造、またはこれらの積層構造で設けることができる。例え
ば、半導体膜5403a、5403bとしてSiを用いてプラズマ処理により酸化させる
ことによって、当該半導体膜5403a、5403b表面に絶縁膜5427a、5427
bとして酸化珪素を形成した場合、当該絶縁膜5427a、5427b上にゲート絶縁膜
として酸化珪素(SiOx)を形成する。
Next, a gate insulating film 5404 is formed so as to cover the insulating films 5427a and 5427b (FIG. 59C). The gate insulating film 5404 can be formed by a known method (sputtering, LPCVD, plasma CVD, etc.) in a single layer structure of an insulating film containing oxygen or nitrogen, such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy) (x>y), or silicon nitride oxide (SiNxOy) (x>y), or in a laminate structure of these. For example, the insulating films 5427a and 5427b are formed on the surfaces of the semiconductor films 5403a and 5403b by oxidizing the semiconductor films 5403a and 5403b using Si by plasma treatment.
In the case where silicon oxide is formed as the insulating film 5427b, silicon oxide (SiOx) is formed as a gate insulating film over the insulating films 5427a and 5427b.

次に、ゲート絶縁膜5404上にゲート電極5405等を形成することによって、島状の
半導体膜5403a、5403bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ
5410a、Pチャネル型トランジスタ5410bを有する半導体装置を作製することが
できる(図59(D))。
Next, by forming a gate electrode 5405 and the like on the gate insulating film 5404, a semiconductor device having an N-channel transistor 5410a and a P-channel transistor 5410b using the island-shaped semiconductor films 5403a and 5403b as channel regions can be manufactured (Figure 59 (D)).

半導体膜の端部をテーパー形状に設けた場合、半導体膜の一部に形成されるチャネル領域
の端部5453a、5453bもテーパー形状となるため、半導体素子の特性に影響を及
ぼす場合がある。そのため、プラズマ処理により半導体膜を酸化または窒化することによ
って、結果的にチャネル領域の端部も酸化または窒化されるため半導体素子への影響を低
減することができる。
When the end of the semiconductor film is tapered, the ends 5453a and 5453b of the channel region formed in part of the semiconductor film also become tapered, which may affect the characteristics of the semiconductor element. Therefore, by oxidizing or nitriding the semiconductor film by plasma treatment, the end of the channel region is also oxidized or nitrided as a result, so that the effect on the semiconductor element can be reduced.

なお、図59では、半導体膜5403a、5403bに限ってプラズマ処理により酸化ま
たは窒化を行った例を示したが、もちろん上記図57で示したようにゲート絶縁膜540
4にプラズマ処理を行って酸化または窒化させることも可能である(図60(B))。こ
の場合、一旦酸素雰囲気下でプラズマ処理を行うことによりゲート絶縁膜5404を酸化
させた後に、再度窒素雰囲気下でプラズマ処理を行うことにより窒化させてもよい。この
場合、半導体膜5403a、5403b型に酸化珪素(SiOx)または酸化窒化珪素(
SiOxNy)(x>y)が形成され、ゲート電極5405に接して窒化酸化珪素(Si
NxOy)(x>y)が形成される。
In FIG. 59, an example in which only the semiconductor films 5403a and 5403b are oxidized or nitrided by plasma treatment is shown. However, as shown in FIG. 57, the gate insulating film 540
It is also possible to oxidize or nitride the gate insulating film 5404 by performing plasma treatment on the semiconductor films 5403a and 5403b (FIG. 60B). In this case, the gate insulating film 5404 may be oxidized by performing plasma treatment in an oxygen atmosphere, and then nitrided by performing plasma treatment again in a nitrogen atmosphere. In this case, silicon oxide (SiOx) or silicon oxynitride (SiOx) may be used for the semiconductor films 5403a and 5403b.
SiOxNy) (x>y) is formed, and silicon nitride oxide (Si
NxOy) (x>y) is formed.

このように、プラズマ処理を行い半導体膜またはゲート絶縁膜を酸化または窒化して表面
を改質することにより、緻密で膜質のよい絶縁膜を形成することができる。その結果、絶
縁膜を薄く形成する場合であってもピンホール等の欠陥を防止し、トランジスタ等の半導
体素子の微細化及び高性能化を実現することが達成できる。
In this way, by modifying the surface of the semiconductor film or gate insulating film by oxidizing or nitriding the semiconductor film or gate insulating film through plasma processing, it is possible to form a dense insulating film with good film quality. As a result, even when the insulating film is formed thin, defects such as pinholes can be prevented, and miniaturization and high performance of semiconductor elements such as transistors can be realized.

なお、本実施形態では、上記図54における半導体膜5403a及び5403bまたはゲ
ート絶縁膜5404にプラズマ処理を行い、当該半導体膜5403a及び5403bまた
はゲート絶縁膜5404を酸化または窒化を行ったが、プラズマ処理を用いて酸化または
窒化を行う層は、これに限定されない。例えば、基板5401または絶縁膜5402にプ
ラズマ処理を行ってもよいし、絶縁膜5406または絶縁膜5407にプラズマ処理を行
ってもよい。
54, the semiconductor films 5403a and 5403b or the gate insulating film 5404 are oxidized or nitrided, but the layer to be oxidized or nitrided using the plasma treatment is not limited to this. For example, the substrate 5401 or the insulating film 5402 may be subjected to the plasma treatment, or the insulating film 5406 or the insulating film 5407 may be subjected to the plasma treatment.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態9)
本実施形態では、実施の形態1から実施の形態6までで述べた駆動方法を制御するハード
ウェアについて述べる。
(Embodiment 9)
In this embodiment, hardware for controlling the driving methods described in the first to sixth embodiments will be described.

大まかな構成図を図61に示す。基板6101の上に、画素部6104、信号線駆動回路
6106、走査線駆動回路6105が配置されている。なお、それ以外にも、電源回路や
プリチャージ回路やタイミング生成回路などが配置されてもよい。なお、信号線駆動回路
6106や走査線駆動回路6105が配置されていなくてもよい。その場合、基板610
1に配置されていないものをICに形成してもよい。そのICは、基板6101の上に、
COG(Chip On Glass)によって配置されてもよい。あるいは、周辺回路
基板6102と基板6101とを接続する接続基板6107の上に、ICが配置されても
よい。
A rough configuration diagram is shown in Fig. 61. A pixel portion 6104, a signal line driver circuit 6106, and a scanning line driver circuit 6105 are arranged on a substrate 6101. In addition, a power supply circuit, a precharge circuit, a timing generation circuit, and the like may be arranged. In addition, the signal line driver circuit 6106 and the scanning line driver circuit 6105 may not be arranged. In that case, the substrate 610
The IC may be formed on the substrate 6101.
Alternatively, the IC may be disposed on a connection board 6107 that connects the peripheral circuit board 6102 and the board 6101.

周辺回路基板6102には、信号6103が入力される。そして、コントローラ6108
が制御して、メモリ6109、6110などに信号が保存される。信号6103がアナロ
グ信号の場合は、アナログ・デジタル変換を行った後、そして、メモリ6109、611
0などに保存されることが多い。そして、コントローラ6108がメモリ6109、61
10などに保存された信号を用いて、基板6101に信号を出力する。
A signal 6103 is input to the peripheral circuit board 6102.
The signal 6103 is controlled to be stored in memories 6109, 6110, etc. If the signal 6103 is an analog signal, it is converted from analog to digital and then stored in the memories 6109, 6110, etc.
0. The controller 6108 then stores the data in the memory 6109,
10, etc., is used to output a signal to the substrate 6101.

実施の形態1~実施の形態6で述べた駆動方法を実現するために、コントローラ6108
が、サブフレームの出現順序などを制御して、基板6101に信号を出力する。
In order to realize the driving methods described in the first to sixth embodiments, a controller 6108
It controls the order in which the subframes appear, etc., and outputs a signal to the substrate 6101.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態10)
本実施形態では、本発明の表示装置を用いたELモジュール及びELテレビ受像機の構成
例について説明する。
(Embodiment 10)
In this embodiment, a configuration example of an EL module and an EL television receiver using the display device of the present invention will be described.

図62は表示パネル6201と、回路基板6202を組み合わせたELモジュールを示し
ている。表示パネル6201は画素部6203、走査線駆動回路6204及び信号線駆動
回路6205を有している。回路基板6202には、例えば、コントロール回路6206
や信号分割回路6207などが形成されている。表示パネル6201と回路基板6202
は接続配線6208によって接続されている。接続配線にはFPC等を用いることができ
る。
62 shows an EL module in which a display panel 6201 and a circuit board 6202 are combined. The display panel 6201 has a pixel portion 6203, a scanning line driver circuit 6204, and a signal line driver circuit 6205. The circuit board 6202 includes, for example, a control circuit 6206.
A display panel 6201 and a circuit board 6202 are formed on the display panel 6201.
are connected by a connection wiring 6208. An FPC or the like can be used for the connection wiring.

コントロール回路6206が、実施の形態9における、コントローラ6108やメモリ6
109、6110などに相当する。主に、コントロール回路6206において、サブフレ
ームの出現順序などを制御している。
The control circuit 6206 is the same as the controller 6108 and the memory 6
It corresponds to 109, 6110, etc. The control circuit 6206 mainly controls the order in which the subframes appear.

表示パネル6201は、画素部と一部の周辺駆動回路(複数の駆動回路のうち動作周波数
の低い駆動回路)を基板上にトランジスタを用いて一体形成し、一部の周辺駆動回路(複
数の駆動回路のうち動作周波数の高い駆動回路)をICチップ上に形成し、そのICチッ
プをCOG(Chip On Glass)などで表示パネル6201に実装するとよい
。あるいは、そのICチップをTAB(Tape Automated Bonding
)やプリント基板を用いて表示パネル6201に実装してもよい。
In the display panel 6201, a pixel portion and some peripheral driver circuits (a driver circuit having a low operating frequency among a plurality of driver circuits) are integrally formed on a substrate using transistors, and some peripheral driver circuits (a driver circuit having a high operating frequency among a plurality of driver circuits) are formed on an IC chip, and the IC chip is mounted on the display panel 6201 by COG (Chip On Glass) or the like. Alternatively, the IC chip may be mounted on the display panel 6201 by TAB (Tape Automated Bonding) or the like.
) or a printed circuit board may be used to mount the display panel 6201 .

また、走査線や信号線に設定する信号をバッファ回路によりインピーダンス変換すること
で、1行毎の画素の書き込み時間を短くすることができる。よって高精細な表示装置を提
供することができる。
Furthermore, by using a buffer circuit to convert the impedance of signals set in the scanning lines and signal lines, the writing time for each row of pixels can be shortened, thereby making it possible to provide a high-definition display device.

また、さらに消費電力の低減を図るため、ガラス基板上にトランジスタを用いて画素部を
形成し、全ての信号線駆動回路をICチップ上に形成し、そのICチップをCOG(Ch
ip On Glass)表示パネルに実装してもよい。
In order to further reduce power consumption, a pixel section is formed on a glass substrate using transistors, and all signal line driving circuits are formed on an IC chip. The IC chip is then mounted on a COG (cobalt-on-glass) substrate.
The display device may be mounted on a IPS On Glass display panel.

例えば、表示パネルの画面全体をいくつかの領域に分割し、各々の領域に一部もしくは全
ての周辺駆動回路(信号線駆動回路、走査線駆動回路など)を形成したICチップを配置
し、COG(Chip On Glass)などで表示パネルに実装してもよい。この場
合の表示パネルの構成を図63に示す。
For example, the entire screen of the display panel may be divided into several regions, and an IC chip on which some or all of the peripheral driving circuits (signal line driving circuits, scanning line driving circuits, etc.) are formed may be disposed in each region, and the IC chip may be mounted on the display panel by COG (Chip On Glass) or the like. The configuration of the display panel in this case is shown in FIG.

図63では、画面全体を4つの領域に分割し、8個のICチップを用いて駆動させる例で
ある。表示パネルの構成は、基板6310、画素部6311、FPC6312a~631
2h、ICチップ6313a~6313hを有する。8個のICチップのうち、6313
a~6313dには信号線駆動回路を形成しており、6313e~6313hには走査線
駆動回路を形成している。そして、任意のICチップを駆動させることにより、4つの画
面領域のうち任意の画面領域のみを駆動させることが可能となる。例えば、ICチップ6
313aと6313eのみを駆動させると、4つの画面領域のうち、左上の領域のみを駆
動させることができる。このようにすることにより、消費電力を低減させることが可能と
なる。
In FIG. 63, the entire screen is divided into four regions, and eight IC chips are used for driving the display panel. The display panel is configured as follows: a substrate 6310, a pixel portion 6311, FPCs 6312a to 6312b, and a display panel 631c.
2h, and IC chips 6313a to 6313h. Of the eight IC chips, 6313
A signal line driver circuit is formed in 6313a to 6313d, and a scanning line driver circuit is formed in 6313e to 6313h. By driving an arbitrary IC chip, it is possible to drive only an arbitrary screen area among the four screen areas. For example, IC chip 6
By driving only 313a and 6313e, it is possible to drive only the upper left area of the four screen areas, thereby making it possible to reduce power consumption.

また、別の構成を有している表示パネルの例を図64に示す。図64の表示パネルは基板
6420上に、画素6430が複数配列された画素部6421、走査線6433の信号を
制御する走査線駆動回路6422、信号線6431の信号を制御する信号線駆動回路64
23を有している。また、画素6430に含まれる発光素子の輝度変化を補正するための
モニタ回路6424が設けられていてもよい。画素6430に含まれる発光素子とモニタ
回路6424に含まれる発光素子は同じ構造を有している。発光素子の構造は一対の電極
間にエレクトロルミネセンスを発現する材料を含む層を挟んだ形となっている。
An example of a display panel having another structure is shown in Fig. 64. The display panel in Fig. 64 includes a pixel portion 6421 in which a plurality of pixels 6430 are arranged, a scanning line driver circuit 6422 for controlling signals of a scanning line 6433, a signal line driver circuit 6423 for controlling signals of a signal line 6431, and a display panel having a display panel.
23. In addition, a monitor circuit 6424 for correcting a luminance change of a light-emitting element included in the pixel 6430 may be provided. The light-emitting element included in the pixel 6430 and the light-emitting element included in the monitor circuit 6424 have the same structure. The light-emitting element has a structure in which a layer containing a material that exhibits electroluminescence is sandwiched between a pair of electrodes.

基板6420の周辺部には、走査線駆動回路6422に外部回路から信号を入力する入力
端子6425、信号線駆動回路6423に外部回路から信号を入力する入力端子6426
、モニタ回路6424に信号を入力する入力端子6429を有している。
At the periphery of the substrate 6420, there are an input terminal 6425 for inputting a signal from an external circuit to the scanning line driver circuit 6422, and an input terminal 6426 for inputting a signal from an external circuit to the signal line driver circuit 6423.
, and an input terminal 6429 for inputting a signal to the monitor circuit 6424 .

画素6430に設けた発光素子を発光させるためには、外部回路から電力を供給する必要
がある。画素部6421に設けられる電源線6432は、入力端子6427で外部回路と
接続される。電源線6432は引き回す配線の長さにより抵抗損失が生じるので、入力端
子6427は基板6420の周辺部に複数箇所設けることが好ましい。入力端子6427
は基板6420の両端部に設け、画素部6421の面内で輝度ムラが目立たないように配
置されている。すなわち、画面の中で片側が明るく、反対側が暗くなってしまうことを防
いでいる。また、一対の電極を備えた発光素子の、電源線6432と接続する電極とは反
対側の電極は、複数の画素6430で共有する共通電極として形成されるが、この電極の
抵抗損失も低くするために、端子6428を複数個備えている。
In order to make the light emitting element provided in the pixel 6430 emit light, it is necessary to supply power from an external circuit. The power supply line 6432 provided in the pixel portion 6421 is connected to an external circuit through an input terminal 6427. Since the power supply line 6432 generates resistance loss due to the length of the wiring to be drawn, it is preferable to provide the input terminal 6427 at a plurality of places in the periphery of the substrate 6420.
are provided at both ends of the substrate 6420 and arranged so that luminance unevenness is not noticeable within the surface of the pixel portion 6421. In other words, it prevents one side of the screen from being bright and the other side from being dark. In addition, the electrode of the light-emitting element having a pair of electrodes on the opposite side to the electrode connected to the power line 6432 is formed as a common electrode shared by multiple pixels 6430, and multiple terminals 6428 are provided to reduce the resistance loss of this electrode.

このような表示パネルは、電源線がCuなどの低抵抗材料で形成されているので、特に画
面サイズが大型化したときに有効である。例えば、画面サイズが13インチクラスの場合
対角線の長さは340mmであるが、60インチクラスの場合には1500mm以上とな
る。このような場合には、配線抵抗を無視することが出来ないので、Cuなどの低抵抗材
料を配線として用いることが好ましい。また、配線遅延を考慮すると、同様にして信号線
や走査線を形成してもよい。
Such a display panel is particularly effective when the screen size is large, since the power supply lines are made of a low resistance material such as Cu. For example, the diagonal length is 340 mm for a 13-inch screen size, but is 1500 mm or more for a 60-inch screen size. In such a case, since the wiring resistance cannot be ignored, it is preferable to use a low resistance material such as Cu for the wiring. In addition, when considering wiring delay, signal lines and scanning lines may be formed in a similar manner.

上記のようなパネル構成を備えたELモジュールにより、ELテレビ受像機を完成させる
ことができる。図65は、ELテレビ受像機の主要な構成を示すブロック図である。チュ
ーナ6501は映像信号と音声信号を受信する。映像信号は、映像信号増幅回路6502
と、そこから出力される信号を赤、緑、青の各色に対応した色信号に変換する映像信号処
理回路6503と、その映像信号を駆動回路の入力仕様に変換するためのコントロール回
路6206により処理される。コントロール回路6206は、走査線側と信号線側にそれ
ぞれ信号が出力する。デジタル駆動する場合には、信号線側に信号分割回路6207を設
け、入力デジタル信号をM個に分割して供給する構成としてもよい。
An EL television receiver can be completed by using an EL module having the above-mentioned panel configuration. Fig. 65 is a block diagram showing the main components of an EL television receiver. A tuner 6501 receives a video signal and an audio signal. The video signal is amplified by a video signal amplifier circuit 6502.
The video signal is then processed by a video signal processing circuit 6503 which converts the output signal into a color signal corresponding to each of the colors red, green, and blue, and a control circuit 6206 which converts the video signal into an input specification for a drive circuit. The control circuit 6206 outputs signals to the scanning line side and the signal line side. In the case of digital drive, a signal division circuit 6207 may be provided on the signal line side to divide the input digital signal into M parts and supply them.

チューナ6501で受信した信号のうち、音声信号は音声信号増幅回路6504に送られ
、その出力は音声信号処理回路6505を経てスピーカー6506に供給される。制御回
路6507は受信局(受信周波数)や音量の制御情報を入力部6508から受け、チュー
ナ6501や音声信号処理回路6505に信号を送出する。
Of the signals received by the tuner 6501, the audio signal is sent to an audio signal amplifier circuit 6504, the output of which is supplied to a speaker 6506 via an audio signal processing circuit 6505. A control circuit 6507 receives control information on the receiving station (receiving frequency) and volume from an input unit 6508, and sends signals to the tuner 6501 and the audio signal processing circuit 6505.

ELモジュールを筐体に組みこんで、テレビ受像機を完成させることができる。ELモジ
ュールにより、表示部が形成される。また、スピーカー、ビデオ入力端子などが適宜備え
られている。
A television set can be completed by incorporating the EL module into a housing. The EL module forms the display section. In addition, speakers, video input terminals, etc. are also provided as appropriate.

勿論、本発明はテレビ受像機に限定されず、パーソナルコンピュータのモニタをはじめ、
鉄道の駅や空港などにおける情報表示盤や、街頭における広告表示盤など特に大面積の表
示媒体として様々な用途に適用することができる。
Of course, the present invention is not limited to television receivers, but can be used in a variety of devices, including personal computer monitors.
The present invention can be applied to a variety of applications, particularly as a large-area display medium, such as information display boards at railway stations and airports, and advertising display boards on the street.

このように、本発明の表示装置、及びその駆動方法を用いることにより、輝度のばらつき
が低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
In this way, by using the display device and the driving method thereof according to the present invention, it becomes possible to view clear images with reduced luminance variations.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態で述べた内容(一部でもよい)を、具現化した場
合の一例、少し変形した場合の一例、一部を変更した場合の一例、改良した場合の一例、
詳細に述べた場合の一例、応用した場合の一例、関連がある部分についての一例などを示
している。したがって、他の実施の形態で述べた内容は、本実施の形態への適用、組み合
わせ、又は置き換えを自由に行うことができる。
In addition, this embodiment is an example of a case where the contents (or a part thereof) described in the other embodiments are embodied, a slightly modified example, a partially changed example, an improved example,
The following describes an example of a detailed description, an example of an application, an example of a related part, etc. Therefore, the contents described in the other embodiments can be freely applied to, combined with, or substituted for this embodiment.

なお、本実施の形態において、様々な図を用いて述べてきたが、各々の図で述べた内容(
一部でもよい)は、別の図で述べた内容(一部でもよい)に対して、適用、組み合わせ、
又は置き換えなどを自由に行うことが出来る。さらに、これまでに述べた図において、各
々の部分に関して、別の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させるこ
とが出来る。
In this embodiment, various figures have been used to describe the present invention.
(or a part of) the contents described in another figure (or a part of)
Furthermore, in the figures described above, by combining each part with another part, more figures can be constructed.

同様に、本実施の形態の各々の図で述べた内容(一部でもよい)は、別の実施の形態の図
で述べた内容(一部でもよい)対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行
うことが出来る。さらに、本実施の形態の図において、各々の部分に関して、別の実施の
形態の部分を組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
Similarly, the contents (or even a part of them) described in each figure of this embodiment can be freely applied, combined, or replaced with the contents (or even a part of them) described in the figures of other embodiments. Furthermore, by combining each part of the figures of this embodiment with parts of other embodiments, even more figures can be configured.

(実施の形態11)
本発明の表示装置を用いた電子機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型
ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置
(カーオーディオ、オーディオコンポ等)、ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機
器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機、電子書籍等)、
記憶媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Di
sc(DVD)等の記憶媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置
)等が挙げられる。それらの電子機器の具体例を図66に示す。
(Embodiment 11)
Examples of electronic devices using the display device of the present invention include video cameras, digital cameras, goggle-type displays (head-mounted displays), navigation systems, audio playback devices (car audio, audio components, etc.), notebook personal computers, game devices, and portable information terminals (mobile computers, mobile phones, portable game machines, e-books, etc.).
An image reproducing device equipped with a storage medium (specifically, a Digital Versatile Digital
Examples of such electronic devices include a display device that can play back a storage medium such as a DVD (DVD) and display the image. Specific examples of such electronic devices are shown in FIG.

図66(A)は自発光型のディスプレイであり、筐体6601、支持台6602、表示部
6603、スピーカー部6604、ビデオ入力端子6605等を含む。本発明は、表示部
6603を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減
された、綺麗な画像を見ることができるようになる。自発光型であるためバックライトが
必要なく、液晶ディスプレイよりも薄い表示部とすることができる。なお、ディスプレイ
は、パーソナルコンピュータ用、TV放送受信用、広告表示用などの全ての情報表示用表
示装置が含まれる。
Fig. 66A shows a self-luminous display, which includes a housing 6601, a support stand 6602, a display portion 6603, a speaker portion 6604, a video input terminal 6605, and the like. The present invention can be used in the display device constituting the display portion 6603, and the present invention makes it possible to view a beautiful image with reduced luminance variation. Since the display is a self-luminous type, a backlight is not necessary, and the display portion can be thinner than a liquid crystal display. The display includes all display devices for displaying information, such as those for personal computers, those for receiving TV broadcasts, and those for displaying advertisements.

図66(B)はデジタルスチルカメラであり、本体6606、表示部6607、受像部6
608、操作キー6609、外部接続ポート6610、シャッター6611等を含む。本
発明は、表示部6607を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度の
ばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
FIG. 66B shows a digital still camera, which includes a main body 6606, a display unit 6607, and an image receiving unit 6
608, operation keys 6609, an external connection port 6610, a shutter 6611, etc. The present invention can be used for a display device constituting the display portion 6607, and the present invention makes it possible to view a beautiful image with reduced luminance variation.

図66(C)はノート型パーソナルコンピュータであり、本体6612、筐体6613、
表示部6614、キーボード6615、外部接続ポート6616、ポインティングマウス
6617等を含む。本発明は、表示部6614を構成する表示装置に用いることができ、
本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる
FIG. 66C shows a notebook personal computer, which includes a main body 6612, a housing 6613,
The display unit 6614 includes a keyboard 6615, an external connection port 6616, a pointing mouse 6617, and the like. The present invention can be used in a display device that constitutes the display unit 6614,
According to the present invention, it becomes possible to view clear images with reduced luminance variations.

図66(D)はモバイルコンピュータであり、本体6618、表示部6619、スイッチ
6620、操作キー6621、赤外線ポート6622等を含む。本発明は、表示部661
9を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された
、綺麗な画像を見ることができるようになる。
66D shows a mobile computer, which includes a main body 6618, a display unit 6619, a switch 6620, an operation key 6621, an infrared port 6622, etc.
The present invention can be used in a display device constituting the LCD panel 9, and the LCD panel 9 can display clear images with reduced luminance variations.

図66(E)は記憶媒体読込部を備えた画像再生装置(具体的には、例えばDVD再生装
置)であり、本体6623、筐体6624、表示部A6625、表示部B6626、記憶
媒体(DVD等)読込部6627、操作キー6628、スピーカー部6629等を含む。
表示部A6625は主に画像情報を表示し、表示部B6626は主に文字情報を表示する
。本発明は、表示部A6625、表示部B6626を構成する表示装置に用いることがで
き、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるように
なる。なお、記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲーム機器なども含まれる。
Figure 66 (E) shows an image playback device (specifically, for example, a DVD playback device) equipped with a storage medium reading unit, and includes a main body 6623, a housing 6624, a display unit A 6625, a display unit B 6626, a storage medium (DVD, etc.) reading unit 6627, operation keys 6628, a speaker unit 6629, etc.
The display unit A6625 mainly displays image information, and the display unit B6626 mainly displays text information. The present invention can be used in the display device constituting the display unit A6625 and the display unit B6626, and the present invention makes it possible to view beautiful images with reduced luminance variation. Note that image reproducing devices equipped with a recording medium also include home game devices.

図66(F)はゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)であり、本体6
630、表示部6631、アーム部6632等を含む。本発明は、表示部6631を構成
する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な
画像を見ることができるようになる。
FIG. 66(F) shows a goggle-type display (head-mounted display),
The display device includes a display portion 6630, a display portion 6631, and an arm portion 6632. The present invention can be used in a display device constituting the display portion 6631, and the present invention allows a clear image to be viewed with reduced luminance variation.

図66(G)はビデオカメラであり、本体6633、表示部6634、筐体6635、外
部接続ポート6636、リモコン受信部6637、受像部6638、バッテリー6639
、音声入力部6640、操作キー6641等を含む。本発明は、表示部6634を構成す
る表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画
像を見ることができるようになる。
FIG. 66G shows a video camera, which includes a main body 6633, a display section 6634, a housing 6635, an external connection port 6636, a remote control receiving section 6637, an image receiving section 6638, and a battery 6639.
, a voice input unit 6640, and operation keys 6641. The present invention can be used in the display device constituting the display unit 6634, and the present invention enables a clear image with reduced luminance variation to be viewed.

図66(H)は携帯電話であり、本体6642、筐体6643、表示部6644、音声入
力部6645、音声出力部6646、操作キー6647、外部接続ポート6648、アン
テナ6649等を含む。本発明は、表示部6644を構成する表示装置に用いることがで
きる。なお、表示部6644は黒色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消費
電流を抑えることができる。また本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画
像を見ることができるようになる。
Fig. 66(H) shows a mobile phone, which includes a main body 6642, a housing 6643, a display unit 6644, an audio input unit 6645, an audio output unit 6646, operation keys 6647, an external connection port 6648, an antenna 6649, and the like. The present invention can be used in a display device constituting the display unit 6644. Note that the display unit 6644 can reduce current consumption of the mobile phone by displaying white characters on a black background. Furthermore, the present invention allows a beautiful image with reduced luminance variation to be viewed.

なお、発光輝度が高い発光材料を用いれば、出力した画像情報を含む光をレンズ等で拡大
投影してフロント型若しくはリア型のプロジェクターに用いることも可能となる。
If a light-emitting material with high luminance is used, the light containing the output image information can be enlarged and projected using a lens or the like and used in a front or rear projector.

また、近年では、上記電子機器はインターネットやCATV(ケーブルテレビ)などの電
子通信回線を通じて配信された情報を表示することが多くなり、特に動画情報を表示する
機会が増してきている。発光材料の応答速度は非常に高いため、発光装置は動画表示に好
ましい。
In recent years, the electronic devices are increasingly displaying information distributed through electronic communication lines such as the Internet and CATV (cable television), and in particular, there are increasing opportunities to display moving image information. The response speed of the light-emitting material is very high, so that the light-emitting device is preferable for displaying moving images.

また、発光型の表示装置は発光している部分が電力を消費するため、発光部分が極力少な
くなるように情報を表示することが望ましい。従って、携帯情報端末、特に携帯電話や音
響再生装置のような文字情報を主とする表示部に発光型の表示装置を用いる場合には、非
発光部分を背景として文字情報を発光部分で形成するように駆動することが望ましい。
Furthermore, since light-emitting display devices consume power in the light-emitting parts, it is desirable to display information with as few light-emitting parts as possible. Therefore, when a light-emitting display device is used for a display section that mainly displays text information, such as a portable information terminal, particularly a mobile phone or an audio player, it is desirable to drive the display so that the text information is formed by the light-emitting parts against a background of non-light-emitting parts.

以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器に用いることが可
能である。また、本実施形態の電子機器は、実施の形態1~実施の形態10に示したいず
れの構成の表示装置を用いてもよい。
As described above, the present invention has a very wide range of application and can be used in electronic devices in a variety of fields. In addition, the electronic devices of this embodiment may use a display device having any of the configurations shown in Embodiments 1 to 10.

101 トランジスタ
102 トランジスタ
103 保持容量
104 走査線
105 信号線
106 電源線
107 容量線
108 発光素子
123 絶縁膜
201 トランジスタ
202 トランジスタ
203 保持容量
204 走査線
205 信号線
206 電源線
207 容量線
208 発光素子
301 トランジスタ
302 トランジスタ
303 トランジスタ
304 トランジスタ
305 トランジスタ
306 保持容量
307 信号線
308 第1の走査線
309 第2の走査線
310 第3の走査線
311 第4の走査線
312 電源線
313 電源線
314 容量線
315 発光素子
316 発光素子
801 トランジスタ
802 トランジスタ
803 トランジスタ
804 トランジスタ
805 トランジスタ
806 保持容量
807 信号線
808 第1の走査線
809 第2の走査線
810 第3の走査線
811 第4の走査線
812 電源線
813 電源線
814 容量線
815 発光素子
2101 トランジスタ
2102 トランジスタ
2103 トランジスタ
2104 トランジスタ
2105 トランジスタ
2106 保持容量
2107 信号線
2108 第1の走査線
2109 第2の走査線
2110 第3の走査線
2111 第4の走査線
2112 電源線
2113 電源線
2115 発光素子
2121 トランジスタ
2122 トランジスタ
2123 トランジスタ
2124 トランジスタ
2125 トランジスタ
2126 保持容量
2128 第1の走査線
2129 第2の走査線
2130 第3の走査線
2131 第4の走査線
2135 発光素子
2149 第2の走査線
2301 トランジスタ
2302 トランジスタ
2303 トランジスタ
2304 トランジスタ
2305 トランジスタ
2306 保持容量
2307 信号線
2308 第1の走査線
2309 第2の走査線
2310 第3の走査線
2311 第4の走査線
2312 電源線
2315 発光素子
2321 トランジスタ
2322 トランジスタ
2323 トランジスタ
2324 トランジスタ
2325 トランジスタ
2326 保持容量
2328 第1の走査線
2329 第2の走査線
2330 第3の走査線
2331 第4の走査線
2335 発光素子
2349 第2の走査線
2516 トランジスタ
2517 第5の走査線
101 transistor 102 transistor 103 storage capacitor 104 scanning line 105 signal line 106 power supply line 107 capacitor line 108 light emitting element 123 insulating film 201 transistor 202 transistor 203 storage capacitor 204 scanning line 205 signal line 206 power supply line 207 capacitor line 208 light emitting element 301 transistor 302 transistor 303 transistor 304 transistor 305 transistor 306 storage capacitor 307 signal line 308 first scanning line 309 second scanning line 310 third scanning line 311 fourth scanning line 312 power supply line 313 power supply line 314 capacitor line 315 light emitting element 316 light emitting element 801 transistor 802 transistor 803 transistor 804 transistor 805 transistor 806 storage capacitor 807 signal line 808 first scanning line 809 second scanning line 810 Third scanning line 811 Fourth scanning line 812 Power supply line 813 Power supply line 814 Capacitor line 815 Light-emitting element 2101 Transistor 2102 Transistor 2103 Transistor 2104 Transistor 2105 Transistor 2106 Storage capacitor 2107 Signal line 2108 First scanning line 2109 Second scanning line 2110 Third scanning line 2111 Fourth scanning line 2112 Power supply line 2113 Power supply line 2115 Light-emitting element 2121 Transistor 2122 Transistor 2123 Transistor 2124 Transistor 2125 Transistor 2126 Storage capacitor 2128 First scanning line 2129 Second scanning line 2130 Third scanning line 2131 Fourth scanning line 2135 Light-emitting element 2149 Second scanning line 2301 Transistor 2302 Transistor 2303 Transistor 2304 Transistor 2305 Transistor 2306 Storage capacitor 2307 Signal line 2308 First scanning line 2309 Second scanning line 2310 Third scanning line 2311 Fourth scanning line 2312 Power supply line 2315 Light-emitting element 2321 Transistor 2322 Transistor 2323 Transistor 2324 Transistor 2325 Transistor 2326 Storage capacitor 2328 First scanning line 2329 Second scanning line 2330 Third scanning line 2331 Fourth scanning line 2335 Light-emitting element 2349 Second scanning line 2516 Transistor 2517 Fifth scanning line

Claims (6)

Pチャネル型の第1のトランジスタと、Pチャネル型の第2のトランジスタと、Nチャネル型の第3のトランジスタと、Pチャネル型の第4のトランジスタと、Pチャネル型の第5のトランジスタと、容量素子と、発光素子と、信号線と、電源線と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記信号線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記電源線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記容量素子と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記発光素子と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、第3のゲート線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートは、前記第3のゲート線と異なる第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第1のトランジスタがオンするときは、
前記第2のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第2のトランジスタがオフし、
前記第3のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第3のトランジスタがオンし、
前記第4のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第4のトランジスタがオフし、
前記発光素子が発光するときは、
前記第1のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第1のトランジスタがオフし、
前記第2のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第2のトランジスタがオンし、
前記第3のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第3のトランジスタがオフし、
前記第4のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第4のトランジスタがオンする表示装置。
a first P-channel transistor, a second P-channel transistor, a third N-channel transistor, a fourth P-channel transistor, a fifth P-channel transistor, a capacitance element, a light-emitting element, a signal line, and a power supply line;
one of a source and a drain of the first transistor is electrically connected to the signal line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the second transistor;
the other of the source and the drain of the second transistor is electrically connected to the power supply line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the third transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fourth transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the other of the source and the drain of the third transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the capacitance element;
the other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to the light emitting element;
a gate of the third transistor is electrically connected to a third gate line;
a gate of the fourth transistor is electrically connected to a fourth gate line different from the third gate line;
a gate of the second transistor is electrically connected to the fourth gate line;
When an L-level signal is input to the gate of the first transistor to turn the first transistor on,
An H-level signal is input to the gate of the second transistor to turn off the second transistor,
An H-level signal is input to the gate of the third transistor to turn the third transistor on,
An H-level signal is input to the gate of the fourth transistor to turn off the fourth transistor,
When the light emitting element emits light,
An H-level signal is input to the gate of the first transistor to turn off the first transistor,
An L-level signal is input to the gate of the second transistor to turn the second transistor on,
An L-level signal is input to the gate of the third transistor to turn off the third transistor,
A display device in which an L-level signal is input to the gate of the fourth transistor to turn the fourth transistor on.
Pチャネル型の第1のトランジスタと、Pチャネル型の第2のトランジスタと、Nチャネル型の第3のトランジスタと、Pチャネル型の第4のトランジスタと、Pチャネル型の第5のトランジスタと、容量素子と、発光素子と、信号線と、電源線と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記信号線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記電源線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記容量素子と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記発光素子と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、第3のゲート線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートは、前記第3のゲート線と異なる第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第1のトランジスタがオンするときは、
前記第2のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第2のトランジスタがオフし、
前記第3のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第3のトランジスタがオンし、
前記第4のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第4のトランジスタがオフし、
前記発光素子が発光するときは、
前記第1のトランジスタのゲートにHレベルの信号が入力されて前記第1のトランジスタがオフし、
前記第2のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第2のトランジスタがオンし、
前記第3のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第3のトランジスタがオフし、
前記第4のトランジスタのゲートにLレベルの信号が入力されて前記第4のトランジスタがオンし、
前記第3のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有する表示装置。
a first P-channel transistor, a second P-channel transistor, a third N-channel transistor, a fourth P-channel transistor, a fifth P-channel transistor, a capacitance element, a light-emitting element, a signal line, and a power supply line;
one of a source and a drain of the first transistor is electrically connected to the signal line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the second transistor;
the other of the source and the drain of the second transistor is electrically connected to the power supply line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the third transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fourth transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the other of the source and the drain of the third transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the capacitance element;
the other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to the light emitting element;
a gate of the third transistor is electrically connected to a third gate line;
a gate of the fourth transistor is electrically connected to a fourth gate line different from the third gate line;
a gate of the second transistor is electrically connected to the fourth gate line;
When an L-level signal is input to the gate of the first transistor to turn the first transistor on,
An H-level signal is input to the gate of the second transistor to turn off the second transistor,
An H-level signal is input to the gate of the third transistor to turn the third transistor on,
An H-level signal is input to the gate of the fourth transistor to turn off the fourth transistor,
When the light emitting element emits light,
An H-level signal is input to the gate of the first transistor to turn off the first transistor,
An L-level signal is input to the gate of the second transistor to turn the second transistor on,
An L-level signal is input to the gate of the third transistor to turn off the third transistor,
An L-level signal is input to the gate of the fourth transistor to turn the fourth transistor on,
The third transistor includes an oxide semiconductor in a channel formation region.
Pチャネル型の第1のトランジスタと、Pチャネル型の第2のトランジスタと、Nチャネル型の第3のトランジスタと、Pチャネル型の第4のトランジスタと、Pチャネル型の第5のトランジスタと、容量素子と、発光素子と、信号線と、電源線と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記信号線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記電源線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記容量素子と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記発光素子と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、第3のゲート線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートは、前記第3のゲート線と異なる第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタは、第1のスイッチング素子として機能し、
前記第2のトランジスタは、第2のスイッチング素子として機能し、
前記第3のトランジスタは、第3のスイッチング素子として機能し、
前記第4のトランジスタは、第4のスイッチング素子として機能する表示装置。
a first P-channel transistor, a second P-channel transistor, a third N-channel transistor, a fourth P-channel transistor, a fifth P-channel transistor, a capacitance element, a light-emitting element, a signal line, and a power supply line;
one of a source and a drain of the first transistor is electrically connected to the signal line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the second transistor;
the other of the source and the drain of the second transistor is electrically connected to the power supply line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the third transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fourth transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the other of the source and the drain of the third transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the capacitance element;
the other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to the light emitting element;
a gate of the third transistor is electrically connected to a third gate line;
a gate of the fourth transistor is electrically connected to a fourth gate line different from the third gate line;
a gate of the second transistor is electrically connected to the fourth gate line;
the first transistor functions as a first switching element;
the second transistor functions as a second switching element;
the third transistor functions as a third switching element;
The fourth transistor functions as a fourth switching element.
Pチャネル型の第1のトランジスタと、Pチャネル型の第2のトランジスタと、Nチャネル型の第3のトランジスタと、Pチャネル型の第4のトランジスタと、Pチャネル型の第5のトランジスタと、容量素子と、発光素子と、信号線と、電源線と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記信号線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記電源線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記容量素子と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記発光素子と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、第3のゲート線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートは、前記第3のゲート線と異なる第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第4のゲート線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタは、第1のスイッチング素子として機能し、
前記第2のトランジスタは、第2のスイッチング素子として機能し、
前記第3のトランジスタは、第3のスイッチング素子として機能し、
前記第4のトランジスタは、第4のスイッチング素子として機能し、
前記第3のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有する表示装置。
a first P-channel transistor, a second P-channel transistor, a third N-channel transistor, a fourth P-channel transistor, a fifth P-channel transistor, a capacitance element, a light-emitting element, a signal line, and a power supply line;
one of a source and a drain of the first transistor is electrically connected to the signal line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the second transistor;
the other of the source and the drain of the second transistor is electrically connected to the power supply line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the third transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fourth transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the other of the source and the drain of the third transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the capacitance element;
the other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to the light emitting element;
a gate of the third transistor is electrically connected to a third gate line;
a gate of the fourth transistor is electrically connected to a fourth gate line different from the third gate line;
a gate of the second transistor is electrically connected to the fourth gate line;
the first transistor functions as a first switching element;
the second transistor functions as a second switching element;
the third transistor functions as a third switching element;
the fourth transistor functions as a fourth switching element;
The third transistor includes an oxide semiconductor in a channel formation region.
Pチャネル型の第1のトランジスタと、Pチャネル型の第2のトランジスタと、Nチャネル型の第3のトランジスタと、Pチャネル型の第4のトランジスタと、Pチャネル型の第5のトランジスタと、容量素子と、発光素子と、信号線と、電源線と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記信号線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記電源線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記容量素子と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記発光素子と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのゲートは、第1のゲート線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、第2のゲート線と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、第3のゲート線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートは、前記第3のゲート線と異なる前記第2のゲート線と電気的に接続される表示装置。
a first P-channel transistor, a second P-channel transistor, a third N-channel transistor, a fourth P-channel transistor, a fifth P-channel transistor, a capacitance element, a light-emitting element, a signal line, and a power supply line;
one of a source and a drain of the first transistor is electrically connected to the signal line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the second transistor;
the other of the source and the drain of the second transistor is electrically connected to the power supply line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the third transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fourth transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the other of the source and the drain of the third transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the capacitance element;
the other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to the light emitting element;
a gate of the first transistor is electrically connected to a first gate line;
a gate of the second transistor electrically connected to a second gate line;
a gate of the third transistor is electrically connected to a third gate line;
a gate of the fourth transistor electrically connected to the second gate line different from the third gate line;
Pチャネル型の第1のトランジスタと、Pチャネル型の第2のトランジスタと、Nチャネル型の第3のトランジスタと、Pチャネル型の第4のトランジスタと、Pチャネル型の第5のトランジスタと、容量素子と、発光素子と、信号線と、電源線と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記信号線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記電源線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記容量素子と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記発光素子と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのゲートは、第1のゲート線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、第2のゲート線と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、第3のゲート線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートは、前記第3のゲート線と異なる前記第2のゲート線と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有する表示装置。
a first P-channel transistor, a second P-channel transistor, a third N-channel transistor, a fourth P-channel transistor, a fifth P-channel transistor, a capacitance element, a light-emitting element, a signal line, and a power supply line;
one of a source and a drain of the first transistor is electrically connected to the signal line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the second transistor;
the other of the source and the drain of the second transistor is electrically connected to the power supply line;
the other of the source and the drain of the first transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the third transistor;
the other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fourth transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the other of the source and the drain of the third transistor;
a gate of the fifth transistor is electrically connected to the capacitance element;
the other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to the light emitting element;
a gate of the first transistor is electrically connected to a first gate line;
a gate of the second transistor electrically connected to a second gate line;
a gate of the third transistor is electrically connected to a third gate line;
a gate of the fourth transistor is electrically connected to the second gate line different from the third gate line;
The third transistor includes an oxide semiconductor in a channel formation region.
JP2022165968A 2020-03-30 2022-10-17 Display device Active JP7545454B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022165968A JP7545454B2 (en) 2020-03-30 2022-10-17 Display device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020060050A JP2020112821A (en) 2020-03-30 2020-03-30 Semiconductor device
JP2021039085A JP2021103315A (en) 2020-03-30 2021-03-11 Display device
JP2022165968A JP7545454B2 (en) 2020-03-30 2022-10-17 Display device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021039085A Division JP2021103315A (en) 2020-03-30 2021-03-11 Display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023001140A JP2023001140A (en) 2023-01-04
JP7545454B2 true JP7545454B2 (en) 2024-09-04

Family

ID=71666881

Family Applications (7)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020060050A Withdrawn JP2020112821A (en) 2020-03-30 2020-03-30 Semiconductor device
JP2021039085A Withdrawn JP2021103315A (en) 2020-03-30 2021-03-11 Display device
JP2022085322A Withdrawn JP2022111157A (en) 2020-03-30 2022-05-25 Semiconductor device
JP2022165968A Active JP7545454B2 (en) 2020-03-30 2022-10-17 Display device
JP2023133262A Withdrawn JP2023162276A (en) 2020-03-30 2023-08-18 display device
JP2024178587A Pending JP2024177578A (en) 2020-03-30 2024-10-11 Display device
JP2024202720A Pending JP2025020460A (en) 2020-03-30 2024-11-20 Display device

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020060050A Withdrawn JP2020112821A (en) 2020-03-30 2020-03-30 Semiconductor device
JP2021039085A Withdrawn JP2021103315A (en) 2020-03-30 2021-03-11 Display device
JP2022085322A Withdrawn JP2022111157A (en) 2020-03-30 2022-05-25 Semiconductor device

Family Applications After (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023133262A Withdrawn JP2023162276A (en) 2020-03-30 2023-08-18 display device
JP2024178587A Pending JP2024177578A (en) 2020-03-30 2024-10-11 Display device
JP2024202720A Pending JP2025020460A (en) 2020-03-30 2024-11-20 Display device

Country Status (1)

Country Link
JP (7) JP2020112821A (en)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004145278A (en) 2002-08-30 2004-05-20 Seiko Epson Corp Electronic circuit, method of driving electronic circuit, electro-optical device, method of driving electro-optical device, and electronic apparatus
JP2005031630A (en) 2003-07-07 2005-02-03 Samsung Sdi Co Ltd Pixel circuit of organic light emitting display and driving method thereof
JP2005099621A (en) 2003-09-26 2005-04-14 Sharp Corp Light emitting display device
JP2006030946A (en) 2004-06-14 2006-02-02 Sharp Corp Display apparatus
JP2006047787A (en) 2004-08-05 2006-02-16 Sharp Corp Display device and driving method thereof
JP2006106568A (en) 2004-10-08 2006-04-20 Sharp Corp Display apparatus
JP2006173580A (en) 2004-11-10 2006-06-29 Canon Inc Field effect transistor
JP2006301161A (en) 2005-04-19 2006-11-02 Seiko Epson Corp Electronic circuit, driving method thereof, electro-optical device, and electronic apparatus
WO2006137295A1 (en) 2005-06-23 2006-12-28 Sharp Kabushiki Kaisha Display device and method for driving same
JP2006039527A5 (en) 2005-06-22 2008-07-24

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3259774B2 (en) * 1999-06-09 2002-02-25 日本電気株式会社 Image display method and apparatus
JP2002244617A (en) * 2001-02-15 2002-08-30 Sanyo Electric Co Ltd Organic el pixel circuit
JP2006338042A (en) * 2001-09-21 2006-12-14 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device, and driving method of light emitting device
JP4498669B2 (en) * 2001-10-30 2010-07-07 株式会社半導体エネルギー研究所 Semiconductor device, display device, and electronic device including the same
JP2003186437A (en) * 2001-12-18 2003-07-04 Sanyo Electric Co Ltd Display device
EP2348502B1 (en) * 2002-01-24 2013-04-03 Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. Semiconductor device and method of driving the semiconductor device
JP5514389B2 (en) 2004-06-25 2014-06-04 株式会社半導体エネルギー研究所 Semiconductor device and display device
JP4558391B2 (en) * 2004-06-30 2010-10-06 グローバル・オーエルイーディー・テクノロジー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー Active matrix display device
KR100592641B1 (en) * 2004-07-28 2006-06-26 삼성에스디아이 주식회사 Pixel circuit and organic light emitting display device
US20060164345A1 (en) * 2005-01-26 2006-07-27 Honeywell International Inc. Active matrix organic light emitting diode display
JP4986468B2 (en) * 2005-03-11 2012-07-25 三洋電機株式会社 Active matrix display device

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004145278A (en) 2002-08-30 2004-05-20 Seiko Epson Corp Electronic circuit, method of driving electronic circuit, electro-optical device, method of driving electro-optical device, and electronic apparatus
JP2005031630A (en) 2003-07-07 2005-02-03 Samsung Sdi Co Ltd Pixel circuit of organic light emitting display and driving method thereof
JP2005099621A (en) 2003-09-26 2005-04-14 Sharp Corp Light emitting display device
JP2006030946A (en) 2004-06-14 2006-02-02 Sharp Corp Display apparatus
JP2006047787A (en) 2004-08-05 2006-02-16 Sharp Corp Display device and driving method thereof
JP2006106568A (en) 2004-10-08 2006-04-20 Sharp Corp Display apparatus
JP2006173580A (en) 2004-11-10 2006-06-29 Canon Inc Field effect transistor
JP2006301161A (en) 2005-04-19 2006-11-02 Seiko Epson Corp Electronic circuit, driving method thereof, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2006039527A5 (en) 2005-06-22 2008-07-24
WO2006137295A1 (en) 2005-06-23 2006-12-28 Sharp Kabushiki Kaisha Display device and method for driving same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021103315A (en) 2021-07-15
JP2022111157A (en) 2022-07-29
JP2020112821A (en) 2020-07-27
JP2025020460A (en) 2025-02-12
JP2024177578A (en) 2024-12-19
JP2023162276A (en) 2023-11-08
JP2023001140A (en) 2023-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8477085B2 (en) Semiconductor device and driving method thereof
KR101391967B1 (en) Display device and driving method thereof
US8743030B2 (en) Display device and driving method of display device
JP5509285B2 (en) Display device, display module, and electronic device
JP5057731B2 (en) Display device, module, and electronic device
JP5656321B2 (en) Semiconductor device, display device, display module, and electronic apparatus
JP2019061286A (en) Display device
JP2007086762A (en) Display device and driving method thereof
JP7545454B2 (en) Display device
JP2016042195A (en) Display device
JP2014002417A (en) Semiconductor device, display device, display module and electronic apparatus
JP2019066896A (en) Semiconductor device
JP2017187798A (en) Display device
JP2015007790A (en) Display device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221101

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230712

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230822

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20231017

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231026

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240123

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240402

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240527

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240820

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240823

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7545454

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150