JP7526178B2 - ウォッシュコートで基材をコーティングするための装置及び方法 - Google Patents
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Description
ウォッシュコートを受け入れるための入口を有するハウジングと、
シャワーヘッドプレートと、
バッフルと、を備え、
ハウジング及びシャワーヘッドプレートは、シャワーヘッド空洞を画定しており、バッフルは、シャワーヘッド空洞内に配置されており、
シャワーヘッドプレートは、基材の面に向けてウォッシュコートを排出するための複数のノズル開口を備え、
バッフルは、不透過性中央本体と、不透過性中央本体から延びている複数のアームと、を備え、複数のアームは、不透過性中央本体の周囲に円周方向に配置された複数の流れ開口を画定しており、
バッフルは、不透過性中央本体がシャワーヘッドプレートから離間されているように、シャワーヘッド空洞内に取り付けられており、
不透過性中央本体は、入口を通ってシャワーヘッド空洞に入ったウォッシュコートが、不透過性中央本体の周りを流れて複数の流れ開口を通るように向けられた後に、シャワーヘッドプレートのノズル開口を通って排出されるように、ハウジングの入口の下方に位置合わせされている、ウォッシュコートシャワーヘッドを提供する。
ウォッシュコートシャワーヘッドは、
入口を有するハウジングと、
シャワーヘッドプレートと、
バッフルと、を備えるタイプのものであり、
ハウジング及びシャワーヘッドプレートは、シャワーヘッド空洞を画定しており、バッフルは、シャワーヘッド空洞内に配置されており、
シャワーヘッドプレートは、複数のノズル開口を備え、
バッフルは、不透過性中央本体と、不透過性中央本体から延びている複数のアームと、を備え、複数のアームは、不透過性中央本体の周囲に円周方向にに配置された複数の流れ開口を画定しており、
バッフルは、不透過性中央本体がシャワーヘッドプレートから離間されているように、シャワーヘッド空洞内に取り付けられており、
不透過性中央本体は、ハウジングの入口の下方に位置合わせされており、
方法は、
- 基材をウォッシュコートシャワーヘッドの下方に配置する工程と、
- 入口からシャワーヘッド空洞を介してシャワーヘッドプレートのノズル開口にウォッシュコートを通過させる工程と、
- ウォッシュコートをノズル開口からフィルタ基材の面に向けて排出する工程と、を含み、
ウォッシュコートがシャワーヘッド空洞を通過する間、ウォッシュコートは、バッフルの不透過性中央本体の周りを流れて複数の流れ開口を通るように向けられた後に、シャワーヘッドプレートのノズル開口を通って排出される、方法を提供する。
固形分が10%であり、ブルックフィールドDV-II+Pro(LV)及びSC4-18スピンドルを使用して、スピンドル回転速度25~100rpmにわたってニュートン粘度が5cPである基材用の触媒ウォッシュコートを調製した。
図14に見られる効果を改善するために、図3~図5に示されたようなバッフル50の第1のバージョンを、図3に示されたようなシャワーヘッドハウジング21に加えた。
図14に見られる効果を改善するために、図6~図8に示されたようなバッフル50の第2のバージョンをシャワーヘッドハウジング21に加えた。
図14に見られる効果を改善するために、図9~図11に示されたようなバッフル50の第3のバージョンをシャワーヘッドハウジング21に加えた。
Claims (24)
- 基材の面上にウォッシュコートを堆積させるためのウォッシュコートシャワーヘッドであって、前記基材は、前記ウォッシュコートシャワーヘッドの下方に配置されており、
前記ウォッシュコートシャワーヘッドは、
前記ウォッシュコートを受け入れるための入口を有するハウジングと、
シャワーヘッドプレートと、
バッフルと、を備え、
前記ハウジング及び前記シャワーヘッドプレートは、シャワーヘッド空洞を画定しており、前記バッフルは、前記シャワーヘッド空洞内に配置されており、
前記シャワーヘッドプレートは、前記基材の前記面に向けて前記ウォッシュコートを排出するための複数のノズル開口を備え、
前記バッフルは、不透過性中央本体と、前記不透過性中央本体から延びている複数のアームと、を備え、前記複数のアームは、前記不透過性中央本体の周囲に円周方向に等間隔に配置された複数の流れ開口を画定しており、
前記バッフルは、前記不透過性中央本体が前記シャワーヘッドプレートから離間されているように、前記シャワーヘッド空洞内に取り付けられており、
前記不透過性中央本体は、前記入口を通って前記シャワーヘッド空洞に入ったウォッシュコートが、前記不透過性中央本体の周りを流れて前記複数の流れ開口を通るように向けられた後に、前記シャワーヘッドプレートの前記ノズル開口を通って排出されるように、前記ハウジングの前記入口の下方に位置合わせされている、ウォッシュコートシャワーヘッド。 - 前記バッフルは、前記不透過性中央本体から延びている4つのアームを備え、前記4つのアームは、前記不透過性中央本体の周囲に円周方向に配置された4つの流れ開口を画定している、請求項1に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記複数のアームは、前記不透過性中央本体から半径方向に延びており、前記複数のアームの各々の幅が、前記不透過性中央本体の近位の位置から前記不透過性中央本体の遠位の位置まで増大している、請求項1又は2に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記不透過性中央本体は、平面視で円形である、請求項1~3のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記不透過性中央本体は、前記ハウジングへの前記入口の直径よりも大きい直径を有し、前記入口の中心長手方向軸と前記不透過性中央本体の中心軸とが一致している、請求項1~4のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記不透過性中央本体は、25~50mmであるように選択された直径を有する、請求項1~5のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記ハウジングの前記入口は、25.4mm(1インチ)までの内径を有する、請求項1~6のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記入口に面する前記不透過性中央本体の上面は、突出部を備え、前記突出部は、円錐形状の表面又は一部円錐形状の表面である、請求項1~7のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記バッフルは、前記ハウジング及び前記シャワーヘッドプレートの少なくとも一方に取り付けられており、前記バッフルは、前記ハウジングにのみ取り付けられている、請求項1~8のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記バッフルは、前記ハウジングの前記入口を取り囲むが前記ハウジングの前記入口に衝突しない、前記ハウジングの取付ポイントに取り付けられている、請求項1~9のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記バッフルは、前記複数のアームと、前記ハウジング及び前記シャワーヘッドプレートの少なくとも一方との間に延びている固定具によって取り付けられている、請求項1~10のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記固定具は、前記複数のアームの各々の遠位端部から延びている、請求項11に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記固定具は、前記不透過性中央本体の中心軸上を中心とする、65~75mmのピッチの円直径上に配置されている、請求項11又は12に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記シャワーヘッド空洞は、15~30mmの深さを有する、請求項1~13のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 前記不透過性中央本体は、5~10mmの間隔で前記シャワーヘッドプレートから離間されている、請求項1~14のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッド。
- 請求項1~15のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッドの一部を形成するためのバッフルであって、前記バッフルは、不透過性中央本体と、前記不透過性中央本体から延びている複数のアームと、を備え、前記複数のアームは、前記不透過性中央本体の周囲に円周方向に等間隔に配置された複数の流れ開口を画定している、バッフル。
- - 前記複数のアームは、前記不透過性中央本体から半径方向に延びており、及び/又は、
- 前記複数のアームの各々の幅が、前記不透過性中央本体の近位の位置から前記不透過性中央本体の遠位の位置まで増大しており、
- 前記不透過性中央本体は、平面視で円形であり、
- 前記不透過性中央本体は、25~50mmであるように選択された直径を有し、
- 前記不透過性中央本体の上面が、突出部を備え、前記突出部は、円錐形状の表面又は一部円錐形状の表面であり、
- 前記複数のアームは、固定具を接続するための取付ポイントを備え、
- 前記取付ポイントは、前記複数のアームの各々の遠位端部に配置されており、及び、
- 前記取付ポイントは、前記不透過性中央本体の中心軸上を中心とする、65~75mmのピッチの円直径上に配置されている、請求項16に記載のバッフル。 - 請求項1~15のいずれか一項に記載のウォッシュコートシャワーヘッドを備える、基材コーティング装置。
- ウォッシュコートシャワーヘッドを使用してウォッシュコートで基材をコーティングする方法であって、
前記ウォッシュコートシャワーヘッドは、
入口を有するハウジングと、
シャワーヘッドプレートと、
バッフルと、を備えるタイプのものであり、
前記ハウジング及び前記シャワーヘッドプレートは、シャワーヘッド空洞を画定しており、前記バッフルは、前記シャワーヘッド空洞内に配置されており、
前記シャワーヘッドプレートは、複数のノズル開口を備え、
前記バッフルは、不透過性中央本体と、前記不透過性中央本体から延びている複数のアームと、を備え、前記複数のアームは、前記不透過性中央本体の周囲に円周方向に等間隔に配置された複数の流れ開口を画定しており、
前記バッフルは、前記不透過性中央本体が前記シャワーヘッドプレートから離間されているように、前記シャワーヘッド空洞内に取り付けられており、及び
前記不透過性中央本体は、前記ハウジングの前記入口の下方に位置合わせされており、
前記方法は、
- 前記基材を前記ウォッシュコートシャワーヘッドの下方に配置する工程と、
- 前記入口から前記シャワーヘッド空洞を介して前記シャワーヘッドプレートの前記ノズル開口にウォッシュコートを通過させる工程と、
- 前記ウォッシュコートを前記ノズル開口からフィルタ基材の面に向けて排出する工程と、を含み、
前記ウォッシュコートが前記シャワーヘッド空洞を通過する間、前記ウォッシュコートは、前記バッフルの前記不透過性中央本体の周りを流れて前記複数の流れ開口を通るように向けられた後に、前記シャワーヘッドプレートの前記ノズル開口を通って排出される、方法。 - 前記基材は、ウォールフローフィルタ基材及びフロースルー基材から選択される、請求項19に記載の方法。
- 前記ウォッシュコートは、酸化触媒、選択的触媒還元(SCR)触媒、NOx吸着剤組成物、三元触媒組成物、アンモニアスリップ触媒[ASC]又はこれらの2つ以上の組み合わせを含む、請求項19又は20に記載の方法。
- 前記ウォッシュコートは、50rpmのブルックフィールドで1~3000cPの粘度を有する、請求項19~21のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ウォッシュコートは、ボア内で移動可能であるピストンを使用して、ウォッシュコートの供給部から前記ウォッシュコートシャワーヘッドに供給され、前記ボアは、38mm~170mmの内径を有し、前記ピストンは、45~150mm/sで動かされる、請求項19~22のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ウォッシュコートは、前記ウォッシュコートシャワーヘッドに9~270cm3s-1の速度で供給される、請求項19~23のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1819454.8 | 2018-11-29 | ||
GBGB1819454.8A GB201819454D0 (en) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | Apparatus and method for coating substrates with washcoats |
PCT/GB2019/053332 WO2020109771A1 (en) | 2018-11-29 | 2019-11-26 | Apparatus and method for coating substrates with washcoats |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022509052A JP2022509052A (ja) | 2022-01-20 |
JP7526178B2 true JP7526178B2 (ja) | 2024-07-31 |
Family
ID=65024923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021525284A Active JP7526178B2 (ja) | 2018-11-29 | 2019-11-26 | ウォッシュコートで基材をコーティングするための装置及び方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11911780B2 (ja) |
EP (1) | EP3887062B1 (ja) |
JP (1) | JP7526178B2 (ja) |
KR (1) | KR102757708B1 (ja) |
CN (1) | CN112888510A (ja) |
BR (1) | BR112021007268B8 (ja) |
CA (1) | CA3117094A1 (ja) |
GB (2) | GB201819454D0 (ja) |
WO (1) | WO2020109771A1 (ja) |
ZA (1) | ZA202102281B (ja) |
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- 2018-11-29 GB GBGB1819454.8A patent/GB201819454D0/en not_active Ceased
-
2019
- 2019-11-26 JP JP2021525284A patent/JP7526178B2/ja active Active
- 2019-11-26 EP EP19816400.6A patent/EP3887062B1/en active Active
- 2019-11-26 CA CA3117094A patent/CA3117094A1/en active Pending
- 2019-11-26 BR BR112021007268A patent/BR112021007268B8/pt active IP Right Grant
- 2019-11-26 CN CN201980069680.3A patent/CN112888510A/zh active Pending
- 2019-11-26 WO PCT/GB2019/053332 patent/WO2020109771A1/en active Application Filing
- 2019-11-26 US US16/695,531 patent/US11911780B2/en active Active
- 2019-11-26 KR KR1020217013199A patent/KR102757708B1/ko active Active
- 2019-11-26 GB GB1917195.8A patent/GB2580515B/en active Active
-
2021
- 2021-04-06 ZA ZA2021/02281A patent/ZA202102281B/en unknown
-
2023
- 2023-10-04 US US18/480,527 patent/US20240024898A1/en active Pending
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JP2017199898A (ja) | 2016-04-13 | 2017-11-02 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | バッフルプレートおよびシャワーヘッドアセンブリならびに対応する製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20240024898A1 (en) | 2024-01-25 |
CA3117094A1 (en) | 2020-06-04 |
JP2022509052A (ja) | 2022-01-20 |
KR102757708B1 (ko) | 2025-01-21 |
BR112021007268B1 (pt) | 2023-06-20 |
CN112888510A (zh) | 2021-06-01 |
GB201819454D0 (en) | 2019-01-16 |
WO2020109771A1 (en) | 2020-06-04 |
EP3887062B1 (en) | 2024-10-16 |
US11911780B2 (en) | 2024-02-27 |
BR112021007268B8 (pt) | 2024-02-15 |
KR20210095861A (ko) | 2021-08-03 |
GB2580515A (en) | 2020-07-22 |
US20200171515A1 (en) | 2020-06-04 |
GB201917195D0 (en) | 2020-01-08 |
BR112021007268A2 (pt) | 2021-08-10 |
GB2580515B (en) | 2021-04-14 |
ZA202102281B (en) | 2023-01-25 |
EP3887062A1 (en) | 2021-10-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20210518 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
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|
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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