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JP7524127B2 - Component Mounting Equipment - Google Patents

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JP7524127B2
JP7524127B2 JP2021075967A JP2021075967A JP7524127B2 JP 7524127 B2 JP7524127 B2 JP 7524127B2 JP 2021075967 A JP2021075967 A JP 2021075967A JP 2021075967 A JP2021075967 A JP 2021075967A JP 7524127 B2 JP7524127 B2 JP 7524127B2
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Description

この発明は、部品実装装置に関し、特に、傾斜した光軸を有する撮像部を備える部品実装装置に関する。 This invention relates to a component mounting device, and in particular to a component mounting device equipped with an imaging unit having an inclined optical axis.

従来、傾斜した光軸を有する撮像部を備える部品実装装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。 Conventionally, component mounting devices equipped with an imaging unit having an inclined optical axis are known (see, for example, Patent Document 1).

上記特許文献1には、基板に対して部品を実装する実装ヘッドと、実装ヘッドの下方を撮像するように傾斜した光軸を有する撮像部とを備える部品実装装置が開示されている。この特許文献1の部品実装装置では、撮像部は、被写体とレンズと結像面とがシャインプルーフの条件を満たすように構成されている。 The above-mentioned Patent Document 1 discloses a component mounting device that includes a mounting head that mounts components on a board, and an imaging unit that has an optical axis tilted so as to image the area below the mounting head. In the component mounting device of Patent Document 1, the imaging unit is configured so that the subject, lens, and imaging surface satisfy the Scheimpflug condition.

特開平5-180622号公報Japanese Patent Application Publication No. 5-180622

上記特許文献1の部品実装装置では、撮像部は、被写体とレンズと結像面とがシャインプルーフの条件を満たすように構成されているため、傾斜した光軸の撮像部により撮像した場合でも水平方向に沿って焦点が合うように構成されている。しかしながら、撮像部が傾斜した方向から撮像を行うため、被写体の上下方向の位置がずれる場合には、上下方向(鉛直方向)から撮像を行う場合に比べて、撮像部の画角に被写体が入らなくなったり、焦点が合いにくくなる。このため、撮像部により傾斜した方向から撮像する場合に、被写体全体を鮮明に撮像することができない場合がある。 In the component mounting device of Patent Document 1, the imaging unit is configured so that the subject, lens, and imaging surface satisfy the Scheimpflug condition, and is therefore configured to focus along the horizontal direction even when imaging with an imaging unit with a tilted optical axis. However, because the imaging unit captures images from a tilted direction, if the subject's position in the vertical direction shifts, the subject may not be included in the imaging unit's angle of view or it may be difficult to focus compared to when imaging from the vertical direction (vertical direction). For this reason, when imaging from a tilted direction with the imaging unit, it may not be possible to capture a clear image of the entire subject.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、撮像部により傾斜した方向から撮像する場合にも、被写体全体を鮮明に撮像することが可能な部品実装装置を提供することである。 This invention was made to solve the above problems, and one objective of the invention is to provide a component mounting device that can capture a clear image of the entire subject even when the imaging unit captures the image from an inclined direction.

この発明の第1の局面による部品実装装置は、基板に対して部品を実装する実装ヘッドと、実装ヘッドの下方を撮像するように光軸が傾斜するように配置され、光学部材と、光学部材を介して被写体の像が結像する像面を有する撮像素子と、を含み、光学部材または撮像素子の像面が光軸に対して傾斜して配置されており、光学部材、像面および被写体面がシャインプルーフの条件を満たすように配置された撮像部と、を備え、撮像部は、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部を含み、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から被写体を撮像可能に構成され、上下移動部の移動の制御を行う制御部と、実装ヘッドに対して部品を供給する部品供給部と、をさらに備え、制御部は、撮像部により部品供給部の撮像を行う場合に、部品供給部の部品の供給位置の高さに基づいて設定された上下方向の部品供給撮像高さ位置に撮像部を移動させるように構成されている A component mounting device according to a first aspect of the present invention comprises: a mounting head which mounts components on a board; an imaging unit which includes an optical element and an imaging element arranged so that its optical axis is inclined to image an area below the mounting head, and which includes an optical element and an imaging element having an image surface on which an image of a subject is formed via the optical element, and which is arranged so that the image surface of the optical element or the imaging element is inclined with respect to the optical axis, and which is arranged so that the optical element, the image surface and the subject surface satisfy the Scheimpflug condition, and the imaging unit includes a vertical movement unit which moves the imaging height position in the vertical direction and is configured to be able to image the subject from a plurality of mutually different imaging height positions in the vertical direction , and further comprises a control unit which controls the movement of the vertical movement unit, and a component supply unit which supplies components to the mounting head, and the control unit is configured to move the imaging unit to a component supply imaging height position in the vertical direction which is set based on the height of the component supply position of the component supply unit when imaging the component supply unit with the imaging unit .

この発明の第1の局面による部品実装装置では、上記のように、光学部材と、被写体の像が結像する像面と、被写体面とがシャインプルーフの条件を満たすように配置された撮像部により、傾斜した方向から撮像する場合でも、水平方向に延びる基板などの被写体全体に焦点を合わせることができる。また、撮像部は、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から被写体を撮像可能に構成されている。これにより、被写体の上下方向の位置が一定ではない場合でも、被写体の上下方向の位置に合わせて撮像部の撮像高さ位置を調整することができるので、傾斜した方向から撮像する場合でも被写体が撮像部の画角からはみ出るのを抑制することができる。また、上下方向の焦点位置を合わせることができるので、被写体を鮮明に撮像することができる。これらの結果、撮像部により傾斜した方向から撮像する場合にも、被写体全体を鮮明に撮像することができる。その結果、部品実装装置において、部品や部品の実装位置などの被写体を撮像部により撮像して状態を判断する際に、被写体の状態を精度よく判断することができる。また、被写体が画角からはみ出るのを抑制するために画角を大きくする必要がないので、同じ大きさの撮像範囲に対して画質が低下するのを抑制することができる。また、焦点の上下方向の範囲(被写界深度)を大きくするために、絞り値を大きくする(絞る)必要がないので、撮像画像が暗くなるのを抑制することができる。 In the component mounting device according to the first aspect of the present invention, as described above, the imaging unit is arranged so that the optical member, the image plane on which the image of the subject is formed, and the subject plane satisfy the Scheimpflug condition, so that the entire subject, such as a horizontally extending board, can be focused on even when imaging from an inclined direction. In addition, the imaging unit is configured to be able to image the subject from a plurality of different imaging height positions in the vertical direction. As a result, even if the vertical position of the subject is not constant, the imaging height position of the imaging unit can be adjusted to match the vertical position of the subject, so that the subject can be prevented from going out of the angle of view of the imaging unit even when imaging from an inclined direction. In addition, since the focal position in the vertical direction can be adjusted, the subject can be clearly imaged. As a result, even when imaging from an inclined direction by the imaging unit, the entire subject can be clearly imaged. As a result, in the component mounting device, when the imaging unit images a subject, such as a component or a mounting position of the component, to determine the state of the subject, the state of the subject can be accurately determined. In addition, since there is no need to increase the angle of view to prevent the subject from going out of the angle of view, it is possible to prevent the image quality from deteriorating for an imaging range of the same size. Furthermore, since there is no need to increase (narrow) the aperture value in order to increase the vertical range of the focus (depth of field), it is possible to prevent the captured image from becoming dark.

この発明の第2の局面による部品実装装置は、基板に対して部品を実装する実装ヘッドと、実装ヘッドの下方を撮像するように光軸が傾斜するように配置され、光学部材と、光学部材を介して被写体の像が結像する像面を有する撮像素子と、を含み、光学部材または撮像素子の像面が光軸に対して傾斜して配置されており、光学部材、像面および被写体面がシャインプルーフの条件を満たすように配置された撮像部と、を備え、撮像部は、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部を含み、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から被写体を撮像可能に構成され、上下移動部の移動の制御を行う制御部をさらに備え、制御部は、撮像部により基板に対する部品の実装位置の撮像を行う場合に、実装位置の高さおよび部品の大きさに基づいて設定された上下方向の部品実装撮像高さ位置に撮像部を移動させるように構成されている。A component mounting device according to a second aspect of the present invention comprises: a mounting head which mounts components on a board; an imaging unit which includes an optical element and an imaging element arranged so that its optical axis is inclined to image an area below the mounting head, and which includes an image plane on which an image of a subject is formed via the optical element, and which is arranged so that the image plane of the optical element or the imaging element is inclined with respect to the optical axis, and which is arranged so that the optical element, the image plane and the subject plane satisfy the Scheimpflug condition, wherein the imaging unit includes a vertical movement unit which moves the imaging height position in the vertical direction and is configured to be able to image the subject from a plurality of mutually different imaging height positions in the vertical direction, and further comprises a control unit which controls the movement of the vertical movement unit, and the control unit is configured to move the imaging unit to a component mounting imaging height position in the vertical direction which is set based on the height of the mounting position and the size of the component when imaging the mounting position of the component on the board with the imaging unit.

上記第1または第2の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、撮像部の撮像範囲内に被写体が含まれ、かつ、被写体面に撮像部の焦点が合うように、撮像部の上下方向の撮像高さ位置を調整するように、撮像部を移動させる。このように構成すれば、撮像部により傾斜した方向から撮像する場合にも、より確実に被写体全体を鮮明に撮像することができる。 In the component mounting device according to the first or second aspect, preferably , the control unit moves the imaging unit so as to adjust the imaging height position in the up-down direction of the imaging unit so that the subject is included within the imaging range of the imaging unit and the imaging unit is focused on the subject surface. With this configuration, even when imaging from an inclined direction by the imaging unit, it is possible to more reliably capture a clear image of the entire subject.

上記部品実装撮像高さ位置に撮像部を移動させるように構成の部品実装装置において、好ましくは、実装ヘッドに対して部品を供給する部品供給部をさらに備え、制御部は、撮像部により部品供給部の撮像を行う場合に、部品供給部の部品の供給位置の高さに基づいて設定された上下方向の部品供給撮像高さ位置に撮像部を移動させるように構成されている。このように構成すれば、部品供給部の高さ位置や部品の厚みなどの変化に応じて、撮像高さ位置を部品供給部の部品の供給位置の高さに基づいて設定された部品供給撮像高さ位置に移動させて撮像を行うことができるので、部品供給部の状態を撮像部により精度よく撮像することができる。 In the component mounting device configured to move the imaging unit to the component mounting imaging height position , preferably , a component supply unit that supplies components to the mounting head is further provided, and the control unit is configured to move the imaging unit to a component supply imaging height position in the vertical direction set based on the height of the component supply position of the component supply unit when imaging the component supply unit with the imaging unit. With this configuration, imaging can be performed by moving the imaging height position to the component supply imaging height position set based on the height of the component supply position of the component supply unit in response to changes in the height position of the component supply unit and the thickness of the components, so that the state of the component supply unit can be accurately imaged by the imaging unit.

上記部品供給部を備える構成の部品実装装置において、好ましくは、制御部は、吸着する部品が決定されるタイミングより後で、かつ、実装ヘッドが部品を吸着する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、撮像部を上下方向の部品供給撮像高さ位置に移動させるように構成されている。このように構成すれば、撮像部の高さ位置の調整を部品の吸着前に完了することができるので、撮像部の上下方向の移動が完了するまでに待ち時間が生じるのを抑制することができる。 In the component mounting device having the component supply unit, the control unit is preferably configured to move the imaging unit to the component supply imaging height position in the vertical direction after the timing at which the component to be picked up is determined and before the mounting head completes moving to the horizontal position at which the component is picked up. With this configuration, adjustment of the height position of the imaging unit can be completed before the component is picked up, thereby suppressing the occurrence of a waiting time until the vertical movement of the imaging unit is completed.

上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、撮像部により基板に対する部品の実装位置の撮像を行う場合に、実装位置の高さおよび部品の大きさに基づいて設定された上下方向の部品実装撮像高さ位置に撮像部を移動させるように構成されている。このように構成すれば、部品の実装位置の高さおよび部品の大きさなどの変化に応じて、撮像高さ位置を実装位置の高さおよび部品の大きさに基づいて設定された部品実装撮像高さ位置に移動させて撮像を行うことができるので、部品の実装位置の状態を撮像部により精度よく撮像することができる。 In the component mounting device according to the first aspect , the control unit is preferably configured to move the imaging unit to a component mounting imaging height position in the vertical direction set based on the height of the mounting position and the size of the component when imaging the mounting position of the component on the board with the imaging unit. With this configuration, the imaging height position can be moved to the component mounting imaging height position set based on the height of the mounting position and the size of the component in response to changes in the height of the mounting position of the component, the size of the component, etc. , to perform imaging, so that the state of the mounting position of the component can be accurately imaged by the imaging unit.

上記部品実装撮像高さ位置に撮像部を移動させる構成の部品実装装置において、好ましくは、制御部は、実装位置に実装ヘッドが移動する移動指令が出たタイミングより後で、かつ、実装ヘッドが部品を実装する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、撮像部を上下方向の部品実装撮像高さ位置に移動させるように構成されている。このように構成すれば、撮像部の高さ位置の調整を部品の実装前に完了することができるので、撮像部の上下方向の移動が完了するまでに待ち時間が生じるのを抑制することができる。 In the component mounting device configured to move the imaging unit to the component mounting imaging height position, the control unit is preferably configured to move the imaging unit to the component mounting imaging height position in the vertical direction after a movement command for moving the mounting head to the mounting position is issued and before the mounting head has completed moving to the horizontal position where the component is mounted. With this configuration, adjustment of the height position of the imaging unit can be completed before the component is mounted, thereby suppressing the occurrence of a waiting time until the vertical movement of the imaging unit is completed.

上記第1または第2の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、実装ヘッドにより移送される部品の撮像を行う場合に、実装ヘッドの移送高さに基づいて設定された上下方向の移送撮像高さ位置に撮像部を移動させるように構成されている。このように構成すれば、撮像部を設定された移送撮像高さ位置に移動させることができるので、部品の吸着位置および実装位置に対して上方に位置する移送位置の撮像を、吸着位置および実装位置の撮像を行う共通の撮像部を用いて撮像することができる。 In the component mounting device according to the first or second aspect, the control unit is preferably configured to move the imaging unit to a vertical transfer imaging height position set based on the transfer height of the mounting head when imaging the component transferred by the mounting head. With this configuration, the imaging unit can be moved to the set transfer imaging height position, so that imaging of the transfer position located above the component suction position and mounting position can be performed using a common imaging unit that images the suction position and mounting position.

この場合、好ましくは、制御部は、実装ヘッドにより部品を吸着したタイミングより後で、かつ、実装ヘッドが移送高さ位置に上昇完了する前のタイミングにおいて、撮像部を上下方向の移送撮像高さ位置に移動させるように構成されている。このように構成すれば、撮像部の高さ位置の調整を実装ヘッドの移送前に完了することができるので、撮像部の上下方向の移動が完了するまでに待ち時間が生じるのを抑制することができる。 In this case, the control unit is preferably configured to move the imaging unit in the vertical direction to the transfer imaging height position after the mounting head has picked up the component and before the mounting head has completed rising to the transfer height position. With this configuration, the adjustment of the height position of the imaging unit can be completed before the mounting head is transferred, thereby reducing the wait time until the vertical movement of the imaging unit is completed.

上記第1または第2の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、実装ヘッドの移動に同期させることなく先行させて、撮像部を撮像高さ位置に移動させるように構成されている。このように構成すれば、撮像部の上下方向の移動を先行させて行うので、撮像部の上下方向の移動を完了するまでに待ち時間が生じるのを効果的に抑制することができる。また、実装ヘッドの移動とは独立して撮像部が上下方向に移動するので、実装ヘッドの動作とは関連していない被写体の撮像を実装ヘッドの移動と並行して撮像部により行うことができる。 In the component mounting device according to the first or second aspect , the control unit is preferably configured to move the imaging unit to the imaging height position prior to, and not in synchronization with, the movement of the mounting head. With this configuration, the vertical movement of the imaging unit is performed prior to the movement of the mounting head, so that it is possible to effectively suppress the occurrence of a waiting time until the vertical movement of the imaging unit is completed. In addition, since the imaging unit moves in the vertical direction independently of the movement of the mounting head, the imaging unit can capture an image of a subject that is not related to the operation of the mounting head in parallel with the movement of the mounting head.

上記第1または第2の局面による部品実装装置において、好ましくは、撮像部の撮像高さ位置と、被写体の高さとに基づいて、被写体の水平方向の位置および姿勢が計測される。このように構成すれば、被写体全体が鮮明に撮像された画像に基づいて、被写体の水平方向の位置および姿勢をより精度よく計測することができる。 In the component mounting device according to the first or second aspect, the horizontal position and orientation of the subject are preferably measured based on the imaging height position of the imaging unit and the height of the subject. With this configuration, the horizontal position and orientation of the subject can be measured with higher accuracy based on an image in which the entire subject is clearly captured.

上記第1または第2の局面による部品実装装置において、好ましくは、所定の高さ位置に配置され、撮像部により撮像される基準校正部材をさらに備え、撮像部により基準校正部材を撮像した撮像結果に基づいて、撮像部の撮像範囲、スケール、焦点の合う高さ位置の校正が行われる。このように構成すれば、経年変化や熱膨張などにより撮像部の上下方向の高さ位置が変化する場合でも、基準校正部材の撮像により、撮像部の高さ位置を、撮像部の撮像範囲、スケール、焦点の合う適切な位置に校正することができる。 In the component mounting device according to the first or second aspect, preferably, the device further comprises a reference calibration member disposed at a predetermined height position and imaged by the imaging unit, and the imaging range, scale, and height position at which the imaging unit is in focus are calibrated based on the imaging result of imaging the reference calibration member by the imaging unit. With this configuration, even if the vertical height position of the imaging unit changes due to aging, thermal expansion, or the like, the height position of the imaging unit can be calibrated to an appropriate position at which the imaging range, scale, and focus of the imaging unit are achieved by imaging the reference calibration member.

本発明によれば、上記のように、撮像部により傾斜した方向から撮像する場合にも、被写体全体を鮮明に撮像することができる。 According to the present invention, as described above, the entire subject can be captured clearly even when the imaging unit captures images from an inclined direction.

本発明の実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。1 is a plan view showing an outline of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention; 本発明の実施形態による部品実装装置の概略を示した側面図である。1 is a side view showing an outline of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention; 本発明の実施形態による部品実装装置の制御的な構成を示したブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a control configuration of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による部品実装装置の状態監視カメラを示した側面図である。1 is a side view showing a state monitoring camera of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による部品実装装置の部品の供給位置の撮像を行う際の高さ調整を説明するための図である。11A and 11B are diagrams for explaining height adjustment when imaging the component supply position of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による部品実装装置の部品の実装位置の撮像を行う際の高さ調整を説明するための図である。11A and 11B are diagrams for explaining height adjustment when imaging the mounting position of a component in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による部品実装装置の移送される部品の撮像を行う際の高さ調整を説明するための図である。11A and 11B are diagrams for explaining height adjustment when imaging a component being transferred by the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による部品実装装置のCPUによる部品実装処理を説明するための第1のフローチャートである。4 is a first flowchart for explaining a component mounting process by a CPU of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による部品実装装置のCPUによる部品実装処理を説明するための第2のフローチャートである。10 is a second flowchart for explaining the component mounting process by the CPU of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の第1変形例による部品実装装置の概略を示した側面図である。1 is a side view showing an outline of a component mounting apparatus according to a first modified example of an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の第2変形例による部品実装装置の概略を示した側面図である。FIG. 11 is a side view showing an outline of a component mounting apparatus according to a second modified example of an embodiment of the present invention.

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。 The following describes an embodiment of the present invention with reference to the drawings.

(部品実装装置の構成)
図1~図9を参照して、本発明の実施形態による部品実装装置100の構成について説明する。
(Configuration of component mounting device)
The configuration of a component mounting apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1に示すように、部品実装装置100は、一対のコンベア2により基板PをX方向に搬送し、実装作業位置Mにおいて基板Pに部品31を実装する部品実装装置である。 As shown in FIG. 1, the component mounting device 100 is a component mounting device that transports a substrate P in the X direction using a pair of conveyors 2 and mounts components 31 on the substrate P at a mounting work position M.

部品実装装置100は、基台1と、一対のコンベア2と、部品供給部3と、ヘッドユニット4と、支持部5と、一対のレール部6と、部品認識カメラ7とを備えている。また、図3に示すように、部品実装装置100は、制御的な構成として、CPU(中央演算処理装置)81と、記憶装置82と、メモリ83と、表示部84と、入力装置85と、モータコントローラ86と、カメラI/F87と、照明コントローラ88と、レーザ変位計コントローラ89と、モータアンプ90と、モータ91とを備えている。なお、CPU81は、特許請求の範囲の「制御部」の一例である。 The component mounting device 100 includes a base 1, a pair of conveyors 2, a component supply unit 3, a head unit 4, a support unit 5, a pair of rail units 6, and a component recognition camera 7. As shown in FIG. 3, the component mounting device 100 includes, as a control configuration, a CPU (Central Processing Unit) 81, a storage device 82, a memory 83, a display unit 84, an input device 85, a motor controller 86, a camera I/F 87, a lighting controller 88, a laser displacement meter controller 89, a motor amplifier 90, and a motor 91. The CPU 81 is an example of a "control unit" in the claims.

図1に示すように、一対のコンベア2は、基台1上に設置され、基板PをX方向に搬送するように構成されている。また、一対のコンベア2には、搬送中の基板Pを実装作業位置Mで停止させた状態で保持する保持機構が設けられている。また、一対のコンベア2は、基板Pの寸法に合わせてY方向の間隔を調整可能に構成されている。また、基台1上には、各種カメラ(状態監視カメラ43および基板認識カメラ45)の校正を行うための基準校正部材11が設けられている。 As shown in FIG. 1, the pair of conveyors 2 are installed on a base 1 and are configured to transport a substrate P in the X direction. The pair of conveyors 2 are provided with a holding mechanism that holds the substrate P stopped at the mounting work position M during transportation. The pair of conveyors 2 are also configured so that the distance between them in the Y direction can be adjusted to match the dimensions of the substrate P. A reference calibration member 11 is also provided on the base 1 for calibrating the various cameras (condition monitoring camera 43 and substrate recognition camera 45).

部品供給部3は、一対のコンベア2の外側(Y1側およびY2側)に配置されている。また、部品供給部3には、複数のテープフィーダ3aが配置されている。また、部品供給部3には、トレイ30bにより部品31を供給するトレイ装置3bが配置されている。部品供給部3は、後述する実装ヘッド42に対して部品31を供給するように構成されている。 The component supply unit 3 is disposed on the outer side (Y1 side and Y2 side) of the pair of conveyors 2. The component supply unit 3 also has a plurality of tape feeders 3a disposed therein. The component supply unit 3 also has a tray device 3b disposed therein that supplies components 31 using trays 30b. The component supply unit 3 is configured to supply components 31 to a mounting head 42, which will be described later.

テープフィーダ3aは、複数の部品31を所定の間隔を隔てて保持したテープ30a(図5参照)が巻き付けられたリール(図示せず)を保持している。テープフィーダ3aは、部品31を保持するテープ30aを送出することによりリールを回転させて、テープフィーダ3aの先端から部品31を供給するように構成されている。ここで、部品31は、IC、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの電子部品を含む。テープ30aには、実装ヘッド42に供給される部品31が収容される収容部(キャリアポケット)が複数設けられている。 The tape feeder 3a holds a reel (not shown) on which a tape 30a (see FIG. 5) is wound, which holds a number of components 31 at a predetermined interval. The tape feeder 3a is configured to feed the tape 30a holding the components 31, thereby rotating the reel and supplying the components 31 from the tip of the tape feeder 3a. Here, the components 31 include electronic components such as ICs, transistors, capacitors, and resistors. The tape 30a has a number of storage sections (carrier pockets) in which the components 31 to be supplied to the mounting head 42 are stored.

トレイ装置3bは、複数の部品31が載置されたトレイ30bを部品供給位置に供給するように構成されている。トレイ装置3bは、トレイ30bを交換することにより、新たな部品31を部品供給位置に供給するように構成されている。 The tray device 3b is configured to supply a tray 30b on which a plurality of parts 31 are placed to a part supply position. The tray device 3b is configured to supply new parts 31 to the part supply position by replacing the tray 30b.

図1に示すように、ヘッドユニット4は、一対のコンベア2および部品供給部3の上方位置に配置されており、ノズル41(図2参照)が下端に取り付けられた実装ヘッド42と、状態監視カメラ43と、レーザ変位計44と、基板認識カメラ45と、を含んでいる。状態監視カメラ43、レーザ変位計44および基板認識カメラ45は、実装ヘッド42とともに水平方向(XY方向)に移動されるように構成されている。なお、状態監視カメラ43は、特許請求の範囲の「撮像部」の一例である。 As shown in FIG. 1, the head unit 4 is disposed above the pair of conveyors 2 and the component supply unit 3, and includes a mounting head 42 with a nozzle 41 (see FIG. 2) attached to its lower end, a condition monitoring camera 43, a laser displacement meter 44, and a board recognition camera 45. The condition monitoring camera 43, the laser displacement meter 44, and the board recognition camera 45 are configured to move horizontally (XY directions) together with the mounting head 42. The condition monitoring camera 43 is an example of an "imaging unit" in the claims.

実装ヘッド42は、基板Pに対して部品31を実装するように構成されている。具体的には、実装ヘッド42は、部品供給部3により供給される部品31を吸着して、実装作業位置Mに配置された基板Pに対して吸着した部品31を実装(装着)するように構成されている。また、実装ヘッド42は、昇降可能(Z方向に移動可能)に構成され、負圧発生機(図示せず)によりノズル41の先端部に発生された負圧によって、テープフィーダ3aまたはトレイ装置3bから供給される部品31を吸着して保持し、基板Pにおける実装位置に部品31を装着するように構成されている。 The mounting head 42 is configured to mount the components 31 on the substrate P. Specifically, the mounting head 42 is configured to pick up the components 31 supplied by the component supply unit 3, and mount (attach) the picked up components 31 on the substrate P arranged at the mounting work position M. The mounting head 42 is also configured to be liftable (movable in the Z direction), and is configured to pick up and hold the components 31 supplied from the tape feeder 3a or tray device 3b by the negative pressure generated at the tip of the nozzle 41 by a negative pressure generator (not shown), and to attach the components 31 to the mounting position on the substrate P.

状態監視カメラ43は、部品供給位置の状態、基板P上の状態、実装ヘッド42による部品移送中の部品31の状態などを監視するための撮像を行うように構成されている。また、状態監視カメラ43の近傍には、照明431(図3参照)が設けられている。照明431は、状態監視カメラ43の撮像時に可視光を被写体Oに照射するように構成されている。これにより、状態監視カメラ43により被写体Oを鮮明に撮像することが可能である。なお、照明431は、状態監視カメラ43の光軸に沿って光を照射してもよいし、実装ヘッド42の移動する上下方向(鉛直方向)に沿って光を照射してもよい。 The status monitoring camera 43 is configured to capture images to monitor the status of the component supply position, the status on the board P, the status of the components 31 being transferred by the mounting head 42, and the like. In addition, a light 431 (see FIG. 3) is provided near the status monitoring camera 43. The light 431 is configured to irradiate the subject O with visible light when the status monitoring camera 43 captures an image. This allows the status monitoring camera 43 to capture a clear image of the subject O. The light 431 may irradiate light along the optical axis of the status monitoring camera 43, or may irradiate light along the up-down direction (vertical direction) in which the mounting head 42 moves.

また、状態監視カメラ43は、図4に示すように、被写体Oの像が結像する像面432aが配置される撮像素子432と、撮像素子432に光を結像させる光学部材433と、を含んでいる。撮像素子432は、CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどのイメージセンサを含んでいる。光学部材433は、レンズを含んでいる。ここで、本実施形態では、図2に示すように、状態監視カメラ43は、実装ヘッド42の下方を撮像するように光軸が傾斜するように配置されている。また、光学部材433は、状態監視カメラ43の光軸に対して傾斜して(直交しないように)配置されている。また、図4に示すように、状態監視カメラ43は、光学部材433と、被写体Oの像が結像する像面432aと、被写体面とがシャインプルーフの条件を満たすように配置されている。つまり、状態監視カメラ43は、被写体面、光学部材433のレンズ主面および像面432aを各々延長した面が1つの箇所Aにおいて交わっており、像面全体において焦点が合うように構成されている。また、状態監視カメラ43は、シャインプルーフの原理によりアオリ撮像可能に構成されている。 As shown in FIG. 4, the status monitoring camera 43 includes an image sensor 432 on which an image surface 432a on which an image of the subject O is formed is disposed, and an optical member 433 that forms an image on the image sensor 432. The image sensor 432 includes an image sensor such as a CCD image sensor or a CMOS image sensor. The optical member 433 includes a lens. Here, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the status monitoring camera 43 is disposed so that the optical axis is inclined so as to image the lower side of the mounting head 42. Also, the optical member 433 is disposed so as to be inclined (not perpendicular) to the optical axis of the status monitoring camera 43. As shown in FIG. 4, the status monitoring camera 43 is disposed so that the optical member 433, the image surface 432a on which the image of the subject O is formed, and the subject surface satisfy the Scheimpflug condition. In other words, the condition monitoring camera 43 is configured so that the extensions of the subject plane, the lens principal plane of the optical member 433, and the image plane 432a intersect at one point A, and the entire image plane is in focus. The condition monitoring camera 43 is also configured to be able to capture tilt images using the Scheimpflug principle.

また、本実施形態では、図2に示すように、状態監視カメラ43は、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から被写体Oを撮像可能に構成されている。具体的には、状態監視カメラ43は、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部43aを含んでいる。上下移動部43aは、モータとボールネジ機構とを有し、状態監視カメラ43を上下方向(Z方向)に移動させて、状態監視カメラ43の光軸を上下方向に移動させる。この上下移動の際に、状態監視カメラ43の光軸の傾斜角度は略一定である。 In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the condition monitoring camera 43 is configured to be able to capture images of the subject O from a plurality of different imaging height positions in the vertical direction. Specifically, the condition monitoring camera 43 includes a vertical movement unit 43a that moves the imaging height position in the vertical direction. The vertical movement unit 43a has a motor and a ball screw mechanism, and moves the condition monitoring camera 43 in the vertical direction (Z direction) to move the optical axis of the condition monitoring camera 43 in the vertical direction. During this vertical movement, the inclination angle of the optical axis of the condition monitoring camera 43 is approximately constant.

レーザ変位計44は、各部の高さを計測するように構成されている。具体的には、レーザ変位計44は、基板Pの表面の高さを計測するように構成されている。また、レーザ変位計44は、部品供給位置における部品31やテープ30aの高さを計測するように構成されている。また、レーザ変位計44は、基板Pに実装された部品31の高さや基板Pの上面高さを計測するように構成されている。 The laser displacement meter 44 is configured to measure the height of each part. Specifically, the laser displacement meter 44 is configured to measure the height of the surface of the substrate P. The laser displacement meter 44 is also configured to measure the height of the components 31 and tape 30a at the component supply position. The laser displacement meter 44 is also configured to measure the height of the components 31 mounted on the substrate P and the height of the top surface of the substrate P.

基板認識カメラ45は、基板Pの位置および姿勢を認識するために、基板PのフィデューシャルマークFを撮像するように構成されている。そして、フィデューシャルマークFの位置を撮像して認識することにより、基板Pにおける部品31の実装位置を正確に取得することが可能である。また、基板認識カメラ45は、基板Pの各部を撮像可能に構成されている。具体的には、基板認識カメラ45は、基板Pの部品31の実装位置を撮像するように構成されている。また、基板認識カメラ45の近傍には、照明451(図3参照)が設けられている。照明451は、基板認識カメラ45の撮像時に可視光を撮像対象に照射するように構成されている。これにより、基板認識カメラ45により撮像対象を鮮明に撮像することが可能である。 The board recognition camera 45 is configured to capture an image of the fiducial mark F of the board P in order to recognize the position and posture of the board P. Then, by capturing an image of the position of the fiducial mark F and recognizing it, it is possible to accurately obtain the mounting position of the component 31 on the board P. The board recognition camera 45 is also configured to be able to capture an image of each part of the board P. Specifically, the board recognition camera 45 is configured to capture an image of the mounting position of the component 31 on the board P. Also, a light 451 (see FIG. 3) is provided near the board recognition camera 45. The light 451 is configured to irradiate the image target with visible light when the board recognition camera 45 captures an image. This allows the board recognition camera 45 to capture a clear image of the image target.

支持部5は、モータ51を含んでいる。支持部5は、モータ51を駆動させることにより、支持部5に沿ってヘッドユニット4をX方向に移動させるように構成されている。支持部5は、両端部が一対のレール部6により支持されている。 The support portion 5 includes a motor 51. The support portion 5 is configured to move the head unit 4 in the X direction along the support portion 5 by driving the motor 51. The support portion 5 is supported at both ends by a pair of rail portions 6.

一対のレール部6は、基台1上に固定されている。X1側のレール部6は、モータ61を含んでいる。レール部6は、モータ61を駆動させることにより、支持部5を一対のレール部6に沿ってX方向と直交するY方向に移動させるように構成されている。ヘッドユニット4が支持部5に沿ってX方向に移動可能であるとともに、支持部5がレール部6に沿ってY方向に移動可能であることによって、ヘッドユニット4は水平方向(XY方向)に移動可能である。 The pair of rail portions 6 are fixed onto the base 1. The rail portion 6 on the X1 side includes a motor 61. The rail portion 6 is configured to move the support portion 5 in the Y direction perpendicular to the X direction along the pair of rail portions 6 by driving the motor 61. The head unit 4 is movable in the X direction along the support portion 5, and the support portion 5 is movable in the Y direction along the rail portions 6, so that the head unit 4 can move horizontally (XY direction).

部品認識カメラ7は、基台1の上面上に固定されている。部品認識カメラ7は、一対のコンベア2の外側(Y1側およびY2側)に配置されている。部品認識カメラ7は、部品31の実装に先立って部品31の吸着状態(吸着姿勢)を認識するために、実装ヘッド42のノズル41に吸着された部品31を下側(Z2側)から撮像するように構成されている。これにより、実装ヘッド42のノズル41に吸着された部品31の吸着状態をCPU81により取得することが可能である。また、部品認識カメラ7の近傍には、照明71(図3参照)が設けられている。照明71は、部品認識カメラ7の撮像時に可視光をノズル41に吸着された部品31に照射するように構成されている。これにより、部品認識カメラ7によりノズル41に吸着された部品31を鮮明に撮像することが可能である。 The component recognition camera 7 is fixed on the upper surface of the base 1. The component recognition camera 7 is arranged on the outer side (Y1 side and Y2 side) of the pair of conveyors 2. The component recognition camera 7 is configured to capture an image of the component 31 adsorbed to the nozzle 41 of the mounting head 42 from the lower side (Z2 side) in order to recognize the adsorption state (adsorption posture) of the component 31 prior to mounting the component 31. This allows the CPU 81 to acquire the adsorption state of the component 31 adsorbed to the nozzle 41 of the mounting head 42. In addition, a light 71 (see FIG. 3) is provided near the component recognition camera 7. The light 71 is configured to irradiate the component 31 adsorbed to the nozzle 41 with visible light when the component recognition camera 7 captures an image. This allows the component recognition camera 7 to clearly capture an image of the component 31 adsorbed to the nozzle 41.

CPU81は、実装ヘッド42による部品実装動作を制御するように構成されている。具体的には、CPU81は、一対のコンベア2による基板Pの搬送動作、ヘッドユニット4による実装動作、状態監視カメラ43、基板認識カメラ45、部品認識カメラ7による撮像動作、レーザ変位計44による高さ計測動作および3次元形状計測動作などの部品実装装置100の全体の動作を制御するように構成されている。 The CPU 81 is configured to control the component mounting operation by the mounting head 42. Specifically, the CPU 81 is configured to control the overall operation of the component mounting device 100, such as the transport operation of the substrate P by the pair of conveyors 2, the mounting operation by the head unit 4, the imaging operation by the status monitoring camera 43, the substrate recognition camera 45, and the component recognition camera 7, the height measurement operation by the laser displacement meter 44, and the three-dimensional shape measurement operation.

記憶装置82は、基板Pの情報、部品31の情報、実装動作を行うプログラムなどが格納されている。記憶装置82は、たとえば、HDD(ハードディスクドライブ)や、SSD(ソリッドステートドライブ)などを含んでいる。 The storage device 82 stores information about the substrate P, information about the components 31, and programs for performing mounting operations. The storage device 82 includes, for example, a hard disk drive (HDD) and a solid state drive (SSD).

メモリ83は、CPU81の動作の際に情報が記憶されるように構成されている。表示部84は、部品実装装置100の状態や、生産している基板Pの情報などが表示されるように構成されている。入力装置85は、ユーザの部品実装装置100に対する操作が入力されるように構成されている。入力装置85は、たとえば、マウス、キーボード、スイッチ、タッチパネルなどが含まれる。 The memory 83 is configured to store information when the CPU 81 is operating. The display unit 84 is configured to display the status of the component mounting device 100 and information about the board P being produced. The input device 85 is configured to input operations by the user for the component mounting device 100. The input device 85 includes, for example, a mouse, a keyboard, a switch, a touch panel, etc.

モータコントローラ86は、CPU81の制御によりモータアンプ90を介して各種モータ91(モータ51、モータ61、実装ヘッド42の昇降モータ(Z軸モータ)、実装ヘッド42の回転モータ(R軸モータ)など)を駆動させるように構成されている。カメラI/F(インターフェース)87は、部品認識カメラ7、状態監視カメラ43および基板認識カメラ45が接続されている。また、カメラI/F87は、CPU81に接続されている。これにより、CPU81と、部品認識カメラ7、状態監視カメラ43および基板認識カメラ45とをそれぞれ接続するように構成されている。 The motor controller 86 is configured to drive various motors 91 (motor 51, motor 61, lifting motor (Z-axis motor) of mounting head 42, rotation motor (R-axis motor) of mounting head 42, etc.) via a motor amplifier 90 under the control of the CPU 81. The component recognition camera 7, status monitoring camera 43, and board recognition camera 45 are connected to the camera I/F (interface) 87. The camera I/F 87 is also connected to the CPU 81. This is configured to connect the CPU 81 to the component recognition camera 7, status monitoring camera 43, and board recognition camera 45, respectively.

照明コントローラ88は、CPU81の制御により照明71、431および451を駆動させるように構成されている。レーザ変位計コントローラ89は、CPU81に対して、入力および出力される信号を制御するように構成されている。レーザ変位計コントローラ89は、レーザ変位計44が接続されている。これにより、CPU81と、レーザ変位計44とを接続するように構成されている。 The lighting controller 88 is configured to drive the lights 71, 431, and 451 under the control of the CPU 81. The laser displacement meter controller 89 is configured to control the signals input and output to the CPU 81. The laser displacement meter 44 is connected to the laser displacement meter controller 89. This is configured to connect the CPU 81 and the laser displacement meter 44.

レーザ変位計44は、X方向に沿ってレーザをスキャンすることにより、3次元形状を計測するように構成されている。また、レーザ変位計44は、線状にレーザを照射し、反射光に基づいて、線状のレーザ光が反射された各々の高さを計測する。 The laser displacement meter 44 is configured to measure the three-dimensional shape by scanning the laser along the X direction. The laser displacement meter 44 also irradiates the laser in a line and measures the height of each line of reflected laser light based on the reflected light.

ここで、本実施形態では、CPU81は、上下移動部43aの移動の制御を行うように構成されている。また、CPU81は、状態監視カメラ43の撮像範囲内に被写体Oが含まれ、かつ、被写体面に状態監視カメラ43の焦点が合うように、状態監視カメラ43の上下方向の撮像高さ位置を調整するように、状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。 In this embodiment, the CPU 81 is configured to control the movement of the vertical movement unit 43a. The CPU 81 is also configured to move the status monitoring camera 43 so as to adjust the vertical imaging height position of the status monitoring camera 43 so that the subject O is included within the imaging range of the status monitoring camera 43 and the focus of the status monitoring camera 43 is on the subject plane.

また、CPU81は、状態監視カメラ43の撮像高さ位置と、被写体Oの高さとに基づいて、被写体Oの水平方向の位置および姿勢を計測する。 The CPU 81 also measures the horizontal position and orientation of the subject O based on the imaging height position of the status monitoring camera 43 and the height of the subject O.

また、CPU81は、図5に示すように、状態監視カメラ43により部品供給部3の撮像を行う場合に、部品供給部3の部品31の供給位置の高さに基づいて設定された上下方向の第1撮像高さ位置H11、H12に状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。なお、第1撮像高さ位置H11、H12は、特許請求の範囲の「部品供給撮像高さ位置」の一例である。 5, when the state monitoring camera 43 captures an image of the component supply unit 3, the CPU 81 is configured to move the state monitoring camera 43 to first imaging height positions H11, H12 in the vertical direction that are set based on the height of the supply position of the components 31 in the component supply unit 3. The first imaging height positions H11, H12 are examples of the "component supply imaging height positions" in the claims.

具体的には、CPU81は、部品吸着時の撮像高さを、記憶装置82に予め記憶されている部品吸着高さ位置に基づいて設定する。CPU81は、状態監視カメラ43の焦点が部品31に合うように、状態監視カメラ43の高さを調整する。CPU81は、たとえば、部品31の上面高さ(部品吸着高さ)、部品31の下面高さ、または、部品31の中間高さなどの高さを、状態監視カメラ43の焦点高さの中心とするように、状態監視カメラ43の高さを調整する。なお、これらの部品31の高さは、部品吸着高さおよび部品31の厚みから算出される。 Specifically, the CPU 81 sets the imaging height when a component is being picked up based on the component pick-up height position stored in advance in the storage device 82. The CPU 81 adjusts the height of the status monitoring camera 43 so that the focus of the status monitoring camera 43 is on the component 31. The CPU 81 adjusts the height of the status monitoring camera 43 so that the height of the top surface of the component 31 (component pick-up height), the height of the bottom surface of the component 31, or the middle height of the component 31 is the center of the focal height of the status monitoring camera 43. Note that these heights of the component 31 are calculated from the component pick-up height and the thickness of the component 31.

図5(A)に示すように、テープ30aから供給される部品31を撮像する場合、部品吸着高さは、予め測定されて記憶されたテープフィーダ3a共通の部品吸着高さが用いられる。部品吸着高さは、ヘッドユニット4のレーザ変位計44により、部品供給バンクの基準高さが測定されて算出される。そして、CPU81は、状態監視カメラ43によりテープ30aの部品供給位置の撮像を行う場合に、第1撮像高さ位置H11に状態監視カメラ43を移動させる。 As shown in FIG. 5(A), when imaging the components 31 supplied from the tape 30a, the component suction height used is the component suction height common to the tape feeder 3a that has been measured and stored in advance. The component suction height is calculated by measuring the reference height of the component supply bank using the laser displacement meter 44 of the head unit 4. Then, when the CPU 81 is to image the component supply position of the tape 30a using the status monitoring camera 43, it moves the status monitoring camera 43 to the first imaging height position H11.

図5(B)に示すように、トレイ30bから供給される部品31を撮像する場合、部品吸着高さは、予め測定されて記憶された部品種類ごとに異なる部品吸着高さが用いられる。部品吸着高さは、トレイ装置3bのパレット高さとトレイ厚みと部品厚みとから計算された部品吸着高さが用いられる。または、ヘッドユニット4のレーザ変位計44により、部品31の上面高さが計測されて算出される。そして、CPU81は、状態監視カメラ43によりトレイ30bの部品供給位置の撮像を行う場合に、第1撮像高さ位置H12に状態監視カメラ43を移動させる。 As shown in FIG. 5(B), when imaging the components 31 supplied from the tray 30b, a component suction height that is different for each component type and that has been measured and stored in advance is used. The component suction height is calculated from the pallet height, tray thickness, and component thickness of the tray device 3b. Alternatively, the top surface height of the component 31 is measured and calculated by the laser displacement meter 44 of the head unit 4. Then, when the CPU 81 uses the status monitoring camera 43 to image the component supply position of the tray 30b, it moves the status monitoring camera 43 to the first imaging height position H12.

また、CPU81は、吸着する部品31が決定されるタイミングより後で、かつ、実装ヘッド42が部品31を吸着する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、状態監視カメラ43を上下方向の第1撮像高さ位置H11、H12に移動させるように構成されている。 The CPU 81 is also configured to move the status monitoring camera 43 to the first vertical imaging height positions H11 and H12 after the component 31 to be picked up is determined and before the mounting head 42 has completed moving to the horizontal position where the component 31 will be picked up.

部品供給部3の部品供給位置(部品吸着位置)の撮像では、部品供給位置の部品31の撮像(部品供給位置の計測、部品供給姿勢の判定、部品種類の判定)と、ノズル41を下降して部品31を吸着するときの部品姿勢の撮像(部品吸着時姿勢の判定)と、部品吸着後にノズル41を上昇し始めた時の部品31の撮像(部品吸着後姿勢の判定)と、部品吸着後の空いた部品供給位置の撮像(部品供給後の状態の判定)とのうち、少なくとも1つの撮像が行われる。 When imaging the component supply position (component suction position) of the component supply unit 3, at least one of the following is performed: imaging the component 31 at the component supply position (measuring the component supply position, determining the component supply posture, and determining the component type), imaging the posture of the component when the nozzle 41 is lowered to pick up the component 31 (determining the posture during component suction), imaging the component 31 when the nozzle 41 begins to rise after the component is picked up (determining the posture after component suction), and imaging the vacant component supply position after the component is picked up (determining the state after the component is supplied).

また、部品吸着時の撮像タイミングは、部品供給完了の後で部品吸着完了の前までのいずれかのタイミングである。また、このうちの複数のタイミングに撮像してもよい。たとえば、部品供給位置の部品31の撮像は、部品供給が完了し、実装ヘッド42(ノズル41)が下降するまでの間のタイミングで行われる。また、ノズル41を下降して部品31を吸着するときの部品姿勢の撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)が吸着高さに下降した時のタイミングで行われる。また、部品吸着後の空いた部品供給位置の撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)が上昇し部品供給位置が見える状態になったタイミングで行われる。 The timing of imaging when a component is picked up is any timing after the completion of component supply and before the completion of component pickup. Also, imaging may be performed at more than one of these timings. For example, imaging of the component 31 at the component supply position is performed at a timing between the completion of component supply and the lowering of the mounting head 42 (nozzle 41). Also, imaging of the component posture when the nozzle 41 is lowered to pick up the component 31 is performed at a timing when the mounting head 42 (nozzle 41) has lowered to the pickup height. Also, imaging of the vacant component supply position after component pickup is performed at a timing when the mounting head 42 (nozzle 41) has risen and the component supply position is visible.

また、CPU81は、図6に示すように、状態監視カメラ43により基板Pに対する部品31の実装位置の撮像を行う場合に、実装位置の高さおよび部品31の大きさに基づいて設定された上下方向の第2撮像高さ位置H21、H22に状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。なお、第2撮像高さ位置H21、H22は、特許請求の範囲の「実装位置撮像高さ位置」の一例である。 6, when the state monitoring camera 43 captures an image of the mounting position of the component 31 on the board P, the CPU 81 is configured to move the state monitoring camera 43 to second imaging height positions H21, H22 in the vertical direction that are set based on the height of the mounting position and the size of the component 31. The second imaging height positions H21, H22 are examples of the "mounting position imaging height positions" in the claims.

具体的には、CPU81は、部品実装時(部品装着時)の撮像高さを、記憶装置82に予め記憶されている部品実装高さ位置に基づいて設定する。CPU81は、状態監視カメラ43の焦点が実装された部品31に合うように、状態監視カメラ43の高さを調整する。CPU81は、たとえば、部品31の上面高さ、部品31の下面高さ(部品実装高さ)、または、部品31の中間高さなどの高さを、状態監視カメラ43の焦点高さの中心とするように、状態監視カメラ43の高さを調整する。なお、これらの部品31の高さは、部品実装高さおよび部品31の厚みから算出される。 Specifically, the CPU 81 sets the imaging height when mounting (attaching) components based on the component mounting height position stored in advance in the storage device 82. The CPU 81 adjusts the height of the status monitoring camera 43 so that the focal point of the status monitoring camera 43 is on the mounted component 31. The CPU 81 adjusts the height of the status monitoring camera 43 so that the height of the top surface of the component 31, the height of the bottom surface of the component 31 (component mounting height), or the intermediate height of the component 31 is the center of the focal height of the status monitoring camera 43. Note that these heights of the component 31 are calculated from the component mounting height and the thickness of the component 31.

また、部品実装高さは、予め記憶されているコンベア2の高さや基板Pの厚みから計算される。また、図6(B)に示すように、基板Pに反りが発生する場合には、部品実装前に、ヘッドユニット4のレーザ変位計44により基板Pの反りが計測されて、実装高さ位置が算出される。 The component mounting height is calculated from the height of the conveyor 2 and the thickness of the substrate P, which are stored in advance. As shown in FIG. 6B, if warping occurs in the substrate P, the warping of the substrate P is measured by the laser displacement meter 44 of the head unit 4 before the components are mounted, and the mounting height position is calculated.

図6(A)に示すように、基板Pの反りの影響がない場合、CPU81は、状態監視カメラ43により基板Pに対する部品31の実装位置の撮像を行う場合に、第2撮像高さ位置H21に状態監視カメラ43を移動させる。また、図6(B)に示すように、基板Pの反りの影響がある場合、CPU81は、状態監視カメラ43により基板Pに対する部品31の実装位置の撮像を行う場合に、第2撮像高さ位置H22に状態監視カメラ43を移動させる。 As shown in FIG. 6(A), when there is no effect of warping of the substrate P, the CPU 81 moves the condition monitoring camera 43 to the second imaging height position H21 when imaging the mounting position of the component 31 on the substrate P with the condition monitoring camera 43. Also, as shown in FIG. 6(B), when there is an effect of warping of the substrate P, the CPU 81 moves the condition monitoring camera 43 to the second imaging height position H22 when imaging the mounting position of the component 31 on the substrate P with the condition monitoring camera 43.

また、CPU81は、実装位置に実装ヘッド42が移動する移動指令が出たタイミングより後で、かつ、実装ヘッド42が部品31を実装する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、状態監視カメラ43を上下方向の第2撮像高さ位置H21、H22に移動させるように構成されている。 The CPU 81 is also configured to move the status monitoring camera 43 to the second imaging height positions H21 and H22 in the vertical direction after a movement command is issued to move the mounting head 42 to the mounting position and before the mounting head 42 has completed moving to the horizontal position where the component 31 is to be mounted.

基板Pの部品実装位置(部品装着位置)の撮像では、部品実装前の基板Pの撮像(部品実装前の異物の有無、半田状態の判定)と、部品実装時の部品31の撮像(部品実装時の姿勢判定)と、実装後の部品31の撮像(部品実装後の姿勢判定)と、部品実装後のノズル41の先端の撮像(部品31切り離し時の部品状態判定、部品持ち帰り有無判定)と、部品実装後の基板Pと部品31との撮像(実装部品状態の判定)とのうち、少なくとも1つの撮像が行われる。 When imaging the component mounting position (component attachment position) on the board P, at least one of the following images is taken: imaging the board P before components are mounted (determining the presence or absence of foreign matter before components are mounted, and the solder state), imaging the components 31 when the components are mounted (determining the posture when the components are mounted), imaging the components 31 after mounting (determining the posture after the components are mounted), imaging the tip of the nozzle 41 after components are mounted (determining the component state when the components 31 are separated, and determining whether the components are taken home), and imaging the board P and components 31 after components are mounted (determining the state of the mounted components).

また、部品実装時の撮像タイミングは、部品実装直前の後で部品実装時を経て部品実装直後の前までのいずれかのタイミングである。また、このうちの複数のタイミングに撮像してもよい。たとえば、部品実装前の基板Pの撮像は、実装ヘッド42が部品実装位置(XY位置)に到達した時から実装ヘッド(ノズル41)が下降するまでの間のタイミングで行われる。また、部品実装時の部品31の撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)が実装高さ(Z位置)に下降した時のタイミングで行われる。また、実装後の部品31の撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)が上昇し始めた時のタイミングで行われる。また、部品実装後の基板Pと部品31との撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)が上昇し部品実装位置が見える状態になったタイミングで行われる。 The timing of imaging during component mounting is any timing between immediately after component mounting, through component mounting, and immediately before component mounting. Imaging may also be performed at multiple of these timings. For example, imaging of the board P before component mounting is performed between the time when the mounting head 42 reaches the component mounting position (XY position) and the time when the mounting head (nozzle 41) descends. Imaging of the component 31 during component mounting is performed when the mounting head 42 (nozzle 41) descends to the mounting height (Z position). Imaging of the component 31 after mounting is performed when the mounting head 42 (nozzle 41) begins to rise. Imaging of the board P and the component 31 after component mounting is performed when the mounting head 42 (nozzle 41) rises and the component mounting position becomes visible.

また、CPU81は、図7に示すように、実装ヘッド42により移送される部品31の撮像を行う場合に、実装ヘッド42の移送高さに基づいて設定された上下方向の第3撮像高さ位置H31、H32に状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。なお、第3撮像高さ位置H31、H32は、特許請求の範囲の「移送撮像高さ位置」の一例である。 7, when capturing an image of the component 31 transferred by the mounting head 42, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to third imaging height positions H31, H32 in the vertical direction that are set based on the transfer height of the mounting head 42. The third imaging height positions H31, H32 are examples of the "transfer imaging height positions" in the claims.

具体的には、CPU81は、移送される部品31の撮像高さを、実装ヘッド42のXY移動中の高さに基づいて設定する。CPU81は、状態監視カメラ43の焦点が移送される部品31に合うように、状態監視カメラ43の高さを調整する。CPU81は、たとえば、部品31の上面高さ、部品31の下面高さ、または、部品31の中間高さなどの高さを、状態監視カメラ43の焦点高さの中心とするように、状態監視カメラ43の高さを調整する。なお、これらの部品31の高さは、実装ヘッド42のXY移動中の高さおよび部品31の厚みから算出される。 Specifically, the CPU 81 sets the imaging height of the transferred component 31 based on the height of the mounting head 42 during XY movement. The CPU 81 adjusts the height of the condition monitoring camera 43 so that the focal point of the condition monitoring camera 43 is on the transferred component 31. The CPU 81 adjusts the height of the condition monitoring camera 43 so that the height of the top surface of the component 31, the height of the bottom surface of the component 31, or the intermediate height of the component 31 is centered as the focal height of the condition monitoring camera 43. The heights of these components 31 are calculated from the height of the mounting head 42 during XY movement and the thickness of the component 31.

また、実装ヘッド42のXY移動中の高さは、実装ヘッド42が部品吸着位置から部品実装位置にXY軸移動(水平移動)して部品移送する際に、部品認識カメラ7の上方や基板Pの上方、または、他の領域において、実装ヘッド42および実装ヘッド42の先端に吸着された部品31が他の構成(搬送装置、各種カメラ、基板P、実装済み部品31など)に干渉しない高さである。また、実装ヘッド42のXY移動中の高さは、干渉高さおよび部品厚みから計算される。 The height of the mounting head 42 during its XY movement is a height at which the mounting head 42 and the component 31 picked up at the tip of the mounting head 42 do not interfere with other components (transport device, various cameras, substrate P, mounted component 31, etc.) above the component recognition camera 7, above the substrate P, or in other areas when the mounting head 42 moves along the XY axes (horizontal movement) from the component suction position to the component mounting position to transfer the component. The height of the mounting head 42 during its XY movement is calculated from the interference height and the component thickness.

図7(A)に示すように、干渉高さが低い場合、CPU81は、状態監視カメラ43により実装ヘッド42により移送される部品31の撮像を行う場合に、第3撮像高さ位置H31に状態監視カメラ43を移動させる。また、図7(B)に示すように、干渉高さが高い場合、CPU81は、状態監視カメラ43により実装ヘッド42により移送される部品31の撮像を行う場合に、第3撮像高さ位置H32に状態監視カメラ43を移動させる。 As shown in FIG. 7(A), when the interference height is low, the CPU 81 moves the status monitoring camera 43 to the third imaging height position H31 when the status monitoring camera 43 is to image the component 31 being transferred by the mounting head 42. Also, as shown in FIG. 7(B), when the interference height is high, the CPU 81 moves the status monitoring camera 43 to the third imaging height position H32 when the status monitoring camera 43 is to image the component 31 being transferred by the mounting head 42.

また、CPU81は、実装ヘッド42により部品31を吸着したタイミングより後で、かつ、実装ヘッド42が移送高さ位置に上昇完了する前のタイミングにおいて、状態監視カメラ43を上下方向の第3撮像高さ位置H31、H32に移動させるように構成されている。 The CPU 81 is also configured to move the status monitoring camera 43 to the third imaging height positions H31 and H32 in the vertical direction after the mounting head 42 has picked up the component 31 and before the mounting head 42 has completed rising to the transfer height position.

移送される部品31の撮像では、部品31が吸着されてから部品認識カメラ7により撮像されるまでの間の移送中の部品31の撮像(移送中の部品31の有無の判定、移送中の部品31の吸着姿勢の判定)と、部品31が部品認識カメラ7により撮像されてから部品実装までの間の移送中の部品31の撮像(移送中の部品31の有無の判定、移送中の部品31の吸着姿勢の判定)とのうち、少なくとも1つの撮像が行われる。 When imaging the component 31 being transferred, at least one of the following is performed: imaging the component 31 during transfer from when the component 31 is picked up until when it is imaged by the component recognition camera 7 (determining whether the component 31 is present during transfer, and determining the pickup posture of the component 31 during transfer), and imaging the component 31 during transfer from when the component 31 is imaged by the component recognition camera 7 until when it is mounted (determining whether the component 31 is present during transfer, and determining the pickup posture of the component 31 during transfer).

また、移送される部品31の撮像タイミングは、部品吸着の後で部品実装の前までのいずれかのタイミングである。また、このうちの複数のタイミングに撮像してもよい。たとえば、部品31が吸着されてから部品認識カメラ7により撮像されるまでの間の移送中の部品31の撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)に保持された部品31が認識可能な高さになった時から部品認識カメラ7により撮像するまでの間のタイミングで行われる。また、部品31が部品認識カメラ7により撮像されてから部品実装までの間の移送中の部品31の撮像は、実装ヘッド42(ノズル41)に保持された部品31がXY移動高さになった時から部品実装位置(XY位置)に到達するまでの間のタイミングで行われる。 The timing for imaging the component 31 being transferred is any timing after the component is picked up and before the component is mounted. Also, imaging may be performed at more than one of these timings. For example, imaging of the component 31 during transportation from when the component 31 is picked up until when it is imaged by the component recognition camera 7 is performed at a timing between when the component 31 held by the mounting head 42 (nozzle 41) reaches a recognizable height and when it is imaged by the component recognition camera 7. Also, imaging of the component 31 during transportation from when the component 31 is imaged by the component recognition camera 7 until it is mounted is performed at a timing between when the component 31 held by the mounting head 42 (nozzle 41) reaches the XY movement height and when it reaches the component mounting position (XY position).

また、CPU81は、実装ヘッド42の移動に同期させることなく先行させて、状態監視カメラ43を撮像高さ位置に移動させるように構成されている。 The CPU 81 is also configured to move the status monitoring camera 43 to the imaging height position ahead of, and not in synchronization with, the movement of the mounting head 42.

部品吸着時の撮像の状態監視カメラ43の上下方向の移動は、次に吸着する部品31が決定するタイミング(たとえば、前の部品実装が完了したタイミング、フィデューシャルマークFを認識しているタイミング)以降に移動開始し、実装ヘッド42が部品吸着位置にXY軸移動完了する前までに移動完了することが好ましい。 The vertical movement of the status monitoring camera 43, which captures images when a component is being picked up, preferably begins after the next component 31 to be picked up is determined (for example, when the previous component mounting is completed or when the fiducial mark F is recognized), and is completed before the mounting head 42 completes its movement along the X and Y axes to the component pick-up position.

部品実装時の撮像の状態監視カメラ43の上下方向の移動は、部品31の移送中の撮像が終わった直後から移動開始し、実装ヘッド42が部品実装位置にXY軸移動完了する前までに移動完了することが好ましい。 The vertical movement of the status monitoring camera 43 for capturing images during component mounting preferably begins immediately after capturing images of the component 31 during transport, and is completed before the mounting head 42 completes its movement along the X and Y axes to the component mounting position.

移送される部品31の撮像時の状態監視カメラ43の上下方向の移動は、部品吸着時の撮像が終わった直後から移動開始し、部品移送中の撮像に間に合うタイミングまでに移動完了することが好ましい。 When imaging the part 31 being transferred, the status monitoring camera 43 preferably starts moving up and down immediately after imaging is completed when the part is being picked up, and completes its movement in time to image the part being transferred.

また、CPU81は、状態監視カメラ43により基準校正部材11を撮像した撮像結果に基づいて、状態監視カメラ43の撮像範囲、スケール、焦点の合う高さ位置の校正を行うように構成されている。基準校正部材11は、所定の高さ位置に配置され、状態監視カメラ43により撮像される。基準校正部材11は、上面に基準位置を示す所定の形状を表示している。CPU81は、状態監視カメラ43により、基準校正部材11の上面の形状を撮像して、撮像結果に基づいて、状態監視カメラ43の撮像範囲、スケール、焦点が合うように、状態監視カメラ43の高さ位置の基準位置を調整する。そして、CPU81は、調整された基準位置を更新して記憶する。 The CPU 81 is also configured to calibrate the imaging range, scale, and focal height position of the condition monitoring camera 43 based on the imaging results of the reference calibration member 11 captured by the condition monitoring camera 43. The reference calibration member 11 is placed at a predetermined height position and is imaged by the condition monitoring camera 43. The reference calibration member 11 displays a predetermined shape indicating the reference position on its upper surface. The CPU 81 images the shape of the upper surface of the reference calibration member 11 by the condition monitoring camera 43, and adjusts the reference position of the height position of the condition monitoring camera 43 based on the imaging results so that the imaging range, scale, and focus of the condition monitoring camera 43 are correct. The CPU 81 then updates and stores the adjusted reference position.

(部品実装処理)
次に、図8および図9を参照して、部品実装装置100のCPU81による部品31の基板Pへの実装処理について説明する。
(Component mounting process)
Next, the mounting process of the component 31 on the board P by the CPU 81 of the component mounting apparatus 100 will be described with reference to FIGS.

図8のステップS1において、実装プログラムに基づいて次に吸着される部品31が決定される。ステップS2において、実装ヘッド42が部品供給位置にXY移動(水平方向に移動)される。また、状態監視カメラ43が第1撮像高さにZ移動(上下方向に移動)される。 In step S1 of FIG. 8, the next component 31 to be picked up is determined based on the mounting program. In step S2, the mounting head 42 is moved in the XY direction (moved horizontally) to the component supply position. In addition, the status monitoring camera 43 is moved in the Z direction (moved vertically) to the first imaging height.

ステップS3において、状態監視カメラ43により部品供給位置の撮像が行われる。ステップS4において、部品供給位置の判定がOKか否かが判断される。たとえば、部品供給位置の計測や部品供給姿勢の判定や部品種類が正常であるか否かが判断される。また、部品吸着時の部品31の姿勢が正常であるか否かが判断される。また、部品吸着後の部品31の姿勢が正常であるか否かが判断される。また、部品供給後の部品供給位置の状態が正常であるか否かが判断される。部品吸着位置の判定がOKであれば、ステップS5に進み、OKでなければ(NGであれば)ステップS11に進む。 In step S3, the status monitoring camera 43 captures an image of the component supply position. In step S4, it is determined whether the component supply position has been judged to be OK. For example, it is determined whether the measurement of the component supply position, the judgment of the component supply posture, and the component type are normal. It is also determined whether the posture of the component 31 when the component is picked up is normal. It is also determined whether the posture of the component 31 after the component is picked up is normal. It is also determined whether the state of the component supply position after the component is supplied is normal. If the component pick-up position is judged to be OK, proceed to step S5, and if it is not OK (NG), proceed to step S11.

ステップS5において、実装ヘッド42が部品認識位置(部品認識カメラ7の上方)にXY移動される。また、状態監視カメラ43が第3撮像高さにZ移動(上下方向に移動)される。ステップS6において、状態監視カメラ43により、実装ヘッド42により部品供給位置から部品認識位置に移送される部品31の撮像が行われる。 In step S5, the mounting head 42 is moved in the XY direction to the component recognition position (above the component recognition camera 7). In addition, the status monitoring camera 43 is moved in the Z direction (up and down) to a third imaging height. In step S6, the status monitoring camera 43 captures an image of the component 31 that is transferred by the mounting head 42 from the component supply position to the component recognition position.

ステップS7において、部品移送中の判定がOKか否かが判断される。たとえば、移送中の部品31の有無が判断される。また、移送中の部品31の吸着姿勢が正常であるか否かが判断される。部品移送中の判定がOKであれば、ステップS8に進み、OKでなければ(NGであれば)ステップS11に進む。 In step S7, it is determined whether the judgment during part transfer is OK or not. For example, it is determined whether or not there is a part 31 being transferred. It is also determined whether or not the suction posture of the part 31 being transferred is normal. If the judgment during part transfer is OK, proceed to step S8, and if it is not OK (NG), proceed to step S11.

ステップS8において、実装ヘッド42が部品実装位置にXY移動される。また、状態監視カメラ43が第3撮像高さにZ移動(上下方向に移動)される。ステップS9において、状態監視カメラ43により、実装ヘッド42により部品認識位置から部品実装位置に移送される部品31の撮像が行われる。 In step S8, the mounting head 42 is moved in the XY direction to the component mounting position. In addition, the condition monitoring camera 43 is moved in the Z direction (up and down) to the third imaging height. In step S9, the condition monitoring camera 43 captures an image of the component 31 that is transferred by the mounting head 42 from the component recognition position to the component mounting position.

ステップS10において、部品移送中の判定がOKか否かが判断される。たとえば、移送中の部品31の有無が判断される。また、移送中の部品31の吸着姿勢が正常であるか否かが判断される。部品移送中の判定がOKであれば、図9のステップS12に進み、OKでなければ(NGであれば)ステップS11に進む。ステップS11において、実装ヘッド42を部品廃棄位置にXY移動し、部品31が廃棄される。 In step S10, it is determined whether the judgment during component transfer is OK or not. For example, it is determined whether or not a component 31 is being transferred. It is also determined whether or not the suction posture of the component 31 being transferred is normal. If the judgment during component transfer is OK, the process proceeds to step S12 in FIG. 9, and if it is not OK (NG), the process proceeds to step S11. In step S11, the mounting head 42 is moved in the XY direction to the component disposal position, and the component 31 is discarded.

図9のステップS12において、実装ヘッド42が部品実装位置にXY移動される。また、状態監視カメラ43が第2撮像高さにZ移動(上下方向に移動)される。ステップS13において、状態監視カメラ43により部品実装前の部品実装位置の撮像が行われる。 In step S12 of FIG. 9, the mounting head 42 is moved in the XY direction to the component mounting position. In addition, the condition monitoring camera 43 is moved in the Z direction (up and down) to the second imaging height. In step S13, the condition monitoring camera 43 captures an image of the component mounting position before the component is mounted.

ステップS14において、部品実装位置の部品実装前の判定がOKか否かが判断される。たとえば、部品実装前の部品実装位置の異物の有無が判断される。また、部品実装前の部品実装位置の半田状態が正常であるか否かが判断される。部品実装位置の部品実装前の判定がOKであれば、ステップS15に進み、OKでなければ(NGであれば)ステップS19に進む。 In step S14, it is determined whether the pre-component mounting judgment of the component mounting position is OK or not. For example, it is determined whether there is any foreign matter at the component mounting position before the component mounting. It is also determined whether the solder condition at the component mounting position before the component mounting is normal or not. If the pre-component mounting judgment of the component mounting position is OK, proceed to step S15, and if not OK (NG), proceed to step S19.

ステップS15において、実装ヘッド42が部品実装位置にZ移動(下降)される。そして、実装ヘッド42により部品実装位置に部品31が実装(装着)される。ステップS16において、状態監視カメラ43により部品実装後の部品実装位置の撮像が行われる。 In step S15, the mounting head 42 is moved (lowered) in the Z direction to the component mounting position. Then, the mounting head 42 mounts (attaches) the component 31 at the component mounting position. In step S16, the status monitoring camera 43 captures an image of the component mounting position after the component is mounted.

ステップS17において、部品実装位置の部品実装後の判定がOKか否かが判断される。たとえば、部品実装時の部品31の姿勢が正常であるか否かが判断される。また、部品実装後の部品31の実装状態が正常であるか否かが判断される。また、部品実装後の部品31の持ち帰りの有無が判断される。部品実装位置の部品実装後の判定がOKであれば、ステップS18に進み、OKでなければ(NGであれば)ステップS19に進む。 In step S17, it is determined whether the post-component mounting judgment at the component mounting position is OK or not. For example, it is determined whether the posture of the component 31 at the time of component mounting is normal or not. It is also determined whether the mounting state of the component 31 after component mounting is normal or not. It is also determined whether the component 31 is taken home after mounting. If the post-component mounting judgment at the component mounting position is OK, proceed to step S18, and if not OK (NG), proceed to step S19.

ステップS18において、正常に部品実装処理が行われたので、次の部品実装プログラムのステップが実行される。 In step S18, the component mounting process was performed successfully, so the next step of the component mounting program is executed.

ステップS19において、異常を通知して、マシン動作が停止される。または、エラーを記録して、動作が継続される。 In step S19, the abnormality is reported and the machine operation is stopped, or the error is recorded and operation continues.

(実施形態の効果)
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effects of the embodiment)
In this embodiment, the following effects can be obtained.

本実施形態では、上記のように、光学部材433と、被写体Oの像が結像する像面432aと、被写体面とがシャインプルーフの条件を満たすように配置された状態監視カメラ43により、傾斜した方向から撮像する場合でも、水平方向に延びる基板Pなどの被写体O全体に焦点を合わせることができる。また、状態監視カメラ43は、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から被写体Oを撮像可能に構成されている。これにより、被写体Oの上下方向の位置が一定ではない場合でも、被写体Oの上下方向の位置に合わせて状態監視カメラ43の撮像高さ位置を調整することができるので、傾斜した方向から撮像する場合でも被写体Oが状態監視カメラ43の画角からはみ出るのを抑制することができる。また、上下方向の焦点位置を合わせることができるので、被写体Oを鮮明に撮像することができる。これらの結果、状態監視カメラ43により傾斜した方向から撮像する場合にも、被写体O全体を鮮明に撮像することができる。その結果、部品実装装置100において、部品31や部品31の実装位置などの被写体Oを状態監視カメラ43により撮像して状態を判断する際に、被写体Oの状態を精度よく判断することができる。また、被写体Oが画角からはみ出るのを抑制するために画角を大きくする必要がないので、同じ大きさの撮像範囲に対して画質が低下するのを抑制することができる。また、焦点の上下方向の範囲(被写界深度)を大きくするために、絞り値を大きくする(絞る)必要がないので、撮像画像が暗くなるのを抑制することができる。 In this embodiment, as described above, the optical member 433, the image plane 432a on which the image of the subject O is formed, and the subject plane are arranged so as to satisfy the Scheimpflug condition, so that the entire subject O, such as the substrate P extending in the horizontal direction, can be focused on even when imaging from an inclined direction. In addition, the condition monitoring camera 43 is configured to be able to image the subject O from a plurality of different vertical imaging height positions. As a result, even if the vertical position of the subject O is not constant, the imaging height position of the condition monitoring camera 43 can be adjusted to match the vertical position of the subject O, so that the subject O can be prevented from going out of the angle of view of the condition monitoring camera 43 even when imaging from an inclined direction. In addition, since the vertical focal position can be adjusted, the subject O can be clearly imaged. As a result, the entire subject O can be clearly imaged even when imaging from an inclined direction by the condition monitoring camera 43. As a result, in the component mounting device 100, when the subject O, such as the component 31 or the mounting position of the component 31, is imaged by the condition monitoring camera 43 to determine the state, the state of the subject O can be determined with high accuracy. In addition, since there is no need to increase the angle of view to prevent the subject O from going out of the angle of view, it is possible to prevent the image quality from deteriorating for an image capture range of the same size. In addition, since there is no need to increase (narrow) the aperture value to increase the vertical range of the focus (depth of field), it is possible to prevent the captured image from becoming dark.

また、本実施形態では、上記のように、状態監視カメラ43は、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部43aを含む。これにより、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部43aを設けることにより、状態監視カメラ43の高さ位置を上下方向に容易に変化させることができる。 In addition, in this embodiment, as described above, the condition monitoring camera 43 includes a vertical movement unit 43a that moves the imaging height position in the vertical direction. By providing the vertical movement unit 43a that moves the imaging height position in the vertical direction, the height position of the condition monitoring camera 43 can be easily changed in the vertical direction.

また、本実施形態では、上記のように、上下移動部43aの移動の制御を行うCPU81を設ける。また、CPU81は、状態監視カメラ43の撮像範囲内に被写体Oが含まれ、かつ、被写体面に状態監視カメラ43の焦点が合うように、状態監視カメラ43の上下方向の撮像高さ位置を調整するように、状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。これにより、状態監視カメラ43により傾斜した方向から撮像する場合にも、より確実に被写体O全体を鮮明に撮像することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, a CPU 81 is provided that controls the movement of the vertical movement unit 43a. The CPU 81 is also configured to move the status monitoring camera 43 so as to adjust the vertical imaging height position of the status monitoring camera 43 so that the subject O is included within the imaging range of the status monitoring camera 43 and the focus of the status monitoring camera 43 is on the subject plane. This makes it possible to more reliably capture a clear image of the entire subject O even when imaging from an inclined direction by the status monitoring camera 43.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、状態監視カメラ43により部品供給部3の撮像を行う場合に、部品供給部3の部品31の供給位置の高さに基づいて設定された上下方向の第1撮像高さ位置H11、H12に状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。これにより、部品供給部3の高さ位置や部品31の厚みなどの変化に応じて、撮像高さ位置を部品供給部3の部品31の供給位置の高さに基づいて設定された第1撮像高さ位置H11、H12に移動させて撮像を行うことができるので、部品供給部3の状態を状態監視カメラ43により精度よく撮像することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, when the CPU 81 images the component supply unit 3 with the status monitoring camera 43, it is configured to move the status monitoring camera 43 to the first imaging height position H11, H12 in the vertical direction, which is set based on the height of the supply position of the component 31 in the component supply unit 3. This allows the imaging to be performed by moving the imaging height position to the first imaging height position H11, H12, which is set based on the height of the supply position of the component 31 in the component supply unit 3, depending on changes in the height position of the component supply unit 3 and the thickness of the component 31, etc., so that the status of the component supply unit 3 can be accurately imaged by the status monitoring camera 43.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、吸着する部品31が決定されるタイミングより後で、かつ、実装ヘッド42が部品31を吸着する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、状態監視カメラ43を上下方向の第1撮像高さ位置H11、H12に移動させるように構成されている。これにより、状態監視カメラ43の高さ位置の調整を部品31の吸着前に完了することができるので、状態監視カメラ43の上下方向の移動が完了するまでに待ち時間が生じるのを抑制することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to the first vertical imaging height positions H11, H12 after the timing at which the component 31 to be picked up is determined and before the mounting head 42 has completed moving to the horizontal position at which the component 31 is picked up. This allows the adjustment of the height position of the status monitoring camera 43 to be completed before the component 31 is picked up, thereby reducing the wait time required for the status monitoring camera 43 to complete its vertical movement.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、状態監視カメラ43により基板Pに対する部品31の実装位置の撮像を行う場合に、実装位置の高さおよび部品31の大きさに基づいて設定された上下方向の第2撮像高さ位置H21、H22に状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。これにより、部品31の実装位置の高さおよび部品31の大きさなどの変化に応じて、撮像高さ位置を実装位置の高さおよび部品31の大きさに基づいて設定された第2撮像高さ位置H21、H22に移動させて撮像を行うことができるので、部品31の実装位置の状態を状態監視カメラ43により精度よく撮像することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, when the CPU 81 uses the status monitoring camera 43 to capture an image of the mounting position of the component 31 on the board P, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to the second imaging height positions H21, H22 in the vertical direction that are set based on the height of the mounting position and the size of the component 31. This allows the imaging to be performed by moving the imaging height position to the second imaging height positions H21, H22 that are set based on the height of the mounting position and the size of the component 31 in response to changes in the height of the mounting position of the component 31 and the size of the component 31, etc., so that the state of the mounting position of the component 31 can be accurately captured by the status monitoring camera 43.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、実装位置に実装ヘッド42が移動する移動指令が出たタイミングより後で、かつ、実装ヘッド42が部品31を実装する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、状態監視カメラ43を上下方向の第2撮像高さ位置H21、H22に移動させるように構成されている。これにより、状態監視カメラ43の高さ位置の調整を部品31の実装前に完了することができるので、状態監視カメラ43の上下方向の移動が完了するまでに待ち時間が生じるのを抑制することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to the second vertical imaging height positions H21, H22 after a movement command is issued to move the mounting head 42 to the mounting position and before the mounting head 42 has completed moving to the horizontal position where the component 31 is to be mounted. This allows the adjustment of the height position of the status monitoring camera 43 to be completed before the component 31 is mounted, thereby reducing the wait time required for the status monitoring camera 43 to complete its vertical movement.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、実装ヘッド42により移送される部品31の撮像を行う場合に、実装ヘッド42の移送高さに基づいて設定された上下方向の第3撮像高さ位置H31、H32に状態監視カメラ43を移動させるように構成されている。これにより、状態監視カメラ43を設定された第3撮像高さ位置H31、H32に移動させることができるので、部品31の吸着位置および実装位置に対して上方に位置する移送位置の撮像を、吸着位置および実装位置の撮像を行う共通の状態監視カメラ43を用いて撮像することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to the third imaging height position H31, H32 in the vertical direction set based on the transfer height of the mounting head 42 when capturing an image of the component 31 being transferred by the mounting head 42. This allows the status monitoring camera 43 to be moved to the set third imaging height position H31, H32, so that the transfer position located above the suction position and mounting position of the component 31 can be captured using the common status monitoring camera 43 that captures the suction position and mounting position.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、実装ヘッド42により部品31を吸着したタイミングより後で、かつ、実装ヘッド42が移送高さ位置に上昇完了する前のタイミングにおいて、状態監視カメラ43を上下方向の第3撮像高さ位置H31、H32に移動させるように構成されている。これにより、状態監視カメラ43の高さ位置の調整を実装ヘッド42の移送前に完了することができるので、状態監視カメラ43の上下方向の移動が完了するまでに待ち時間が生じるのを抑制することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to the third imaging height positions H31, H32 in the vertical direction after the mounting head 42 has picked up the component 31 and before the mounting head 42 has completed rising to the transfer height position. This allows the adjustment of the height position of the status monitoring camera 43 to be completed before the mounting head 42 is transferred, thereby reducing the wait time required for the status monitoring camera 43 to complete its vertical movement.

また、本実施形態では、上記のように、CPU81は、実装ヘッド42の移動に同期させることなく先行させて、状態監視カメラ43を撮像高さ位置に移動させるように構成されている。これにより、状態監視カメラ43の上下方向の移動を先行させて行うので、状態監視カメラ43の上下方向の移動を完了するまでに待ち時間が生じるのを効果的に抑制することができる。また、実装ヘッド42の移動とは独立して状態監視カメラ43が上下方向に移動するので、実装ヘッド42の動作とは関連していない被写体Oの撮像を実装ヘッド42の移動と並行して状態監視カメラ43により行うことができる。 In addition, in this embodiment, as described above, the CPU 81 is configured to move the status monitoring camera 43 to the imaging height position in advance of, and not in synchronization with, the movement of the mounting head 42. This allows the status monitoring camera 43 to move in the up and down direction in advance, effectively reducing the waiting time required for the status monitoring camera 43 to complete its up and down movement. In addition, since the status monitoring camera 43 moves in the up and down direction independently of the movement of the mounting head 42, the status monitoring camera 43 can capture an image of the subject O that is not related to the operation of the mounting head 42 in parallel with the movement of the mounting head 42.

また、本実施形態では、上記のように、状態監視カメラ43の撮像高さ位置と、被写体Oの高さとに基づいて、被写体Oの水平方向の位置および姿勢が計測される。これにより、被写体O全体が鮮明に撮像された画像に基づいて、被写体Oの水平方向の位置および姿勢をより精度よく計測することができる。 Furthermore, in this embodiment, as described above, the horizontal position and orientation of subject O are measured based on the imaging height position of the condition monitoring camera 43 and the height of subject O. This makes it possible to more accurately measure the horizontal position and orientation of subject O based on an image in which the entire subject O is clearly captured.

また、本実施形態では、上記のように、所定の高さ位置に配置され、状態監視カメラ43により撮像される基準校正部材11を設ける。また、状態監視カメラ43により基準校正部材11を撮像した撮像結果に基づいて、状態監視カメラ43の撮像範囲、スケール、焦点の合う高さ位置の校正が行われる。これにより、経年変化や熱膨張などにより状態監視カメラ43の上下方向の高さ位置が変化する場合でも、基準校正部材11の撮像により、状態監視カメラ43の高さ位置を、状態監視カメラ43の撮像範囲、スケール、焦点の合う適切な位置に校正することができる。 In addition, in this embodiment, as described above, a reference calibration member 11 is provided that is placed at a predetermined height position and is imaged by the condition monitoring camera 43. Furthermore, based on the image of the reference calibration member 11 captured by the condition monitoring camera 43, the imaging range, scale, and focal height position of the condition monitoring camera 43 are calibrated. As a result, even if the vertical height position of the condition monitoring camera 43 changes due to aging, thermal expansion, etc., the imaging of the reference calibration member 11 makes it possible to calibrate the height position of the condition monitoring camera 43 to an appropriate position that corresponds to the imaging range, scale, and focus of the condition monitoring camera 43.

(変形例)
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
(Modification)
It should be noted that the embodiments disclosed herein are illustrative and not restrictive in all respects. The scope of the present invention is indicated by the claims, not by the description of the embodiments above, and further includes all modifications (variations) within the meaning and scope of the claims.

たとえば、上記実施形態では、撮像部が撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部を含み、上下移動部の移動により撮像部の撮像高さ位置を変更させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図10に示す変形例のように、撮像部が、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置に配置された複数の撮像部43bを含んでいてもよい。この場合、制御部は、複数の撮像部の撮像を切り替える制御を行うように構成されている。また、制御部は、撮像部の撮像範囲内に被写体が含まれ、かつ、被写体面に撮像部の焦点が合うように、複数の撮像部の撮像を切り替えるように構成されている。 For example, in the above embodiment, an example of a configuration was shown in which the imaging unit includes a vertical movement unit that moves the imaging height position in the vertical direction, and the imaging height position of the imaging unit is changed by moving the vertical movement unit, but the present invention is not limited to this. In the present invention, as in the modified example shown in FIG. 10, the imaging unit may include multiple imaging units 43b arranged at multiple different imaging height positions in the vertical direction. In this case, the control unit is configured to control switching between imaging of the multiple imaging units. Also, the control unit is configured to switch between imaging of the multiple imaging units so that the subject is included within the imaging range of the imaging unit and the imaging unit is focused on the subject plane.

また、上記実施形態では、光学部材が撮像部の光軸に対して傾斜している(直交していない)構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図11に示す変形例のように、撮像部43cは、撮像素子432の像面432aが光軸に対して傾斜していてもよい。 In addition, in the above embodiment, an example of a configuration in which the optical member is inclined (not perpendicular) to the optical axis of the imaging unit is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the imaging unit 43c may have the image surface 432a of the imaging element 432 inclined to the optical axis, as in the modified example shown in FIG. 11.

また、上記実施形態では、ヘッドユニットに1つの実装ヘッドが設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヘッドユニットに複数の実装ヘッドが設けられていてもよい。この場合、複数の実装ヘッドは直線状に配置されたいわゆるインライン式のヘッドユニットにしてもよいし、複数の実装ヘッドが円周状に複数設けられたいわゆるロータリー式のヘッドユニットにしてもよい。 In the above embodiment, an example of a configuration in which one mounting head is provided on the head unit is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, multiple mounting heads may be provided on the head unit. In this case, the multiple mounting heads may be arranged in a straight line, which is called an inline type head unit, or multiple mounting heads may be arranged in a circular pattern, which is called a rotary type head unit.

また、上記実施形態では、ヘッドユニットが1つ設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヘッドユニットを複数設けてもよい。 In addition, in the above embodiment, an example of a configuration in which one head unit is provided is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, multiple head units may be provided.

また、上記実施形態では、基板を搬送するコンベアが一対設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板を搬送するコンベアが複数対設けられていてもよい。たとえば、並行して基板を搬送可能であり、並行して基板に部品を実装可能な部品実装装置に本発明を適用してもよい。 In addition, in the above embodiment, an example of a configuration in which a pair of conveyors are provided to transport the boards is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, multiple pairs of conveyors for transporting the boards may be provided. For example, the present invention may be applied to a component mounting device that can transport boards in parallel and mount components on the boards in parallel.

また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部としてのCPU(制御部)の制御処理を、処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の制御処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型(イベントドリブン型)の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。 In the above embodiment, for convenience of explanation, an example was shown in which the control processing of the CPU (control unit) as the control unit was explained using a flow-driven flowchart in which processing is performed in sequence according to a processing flow, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the control processing of the control unit may be performed by event-driven processing in which processing is performed on an event-by-event basis. In this case, the control processing may be performed completely event-driven, or event-driven and flow-driven may be combined.

3 部品供給部
11 基準校正部材
31 部品
42 実装ヘッド
43 状態監視カメラ(撮像部)
43a 上下移動部
43b、43c 撮像部
81 CPU(制御部)
100 部品実装装置
433 撮像素子
432a 像面
433 光学部材
O 被写体
P 基板
3 Component supply unit 11 Reference calibration member 31 Component 42 Mounting head 43 Status monitoring camera (imaging unit)
43a: Up-down moving unit 43b, 43c: Imaging unit 81: CPU (control unit)
100 Component mounting device 433 Imaging element 432a Image surface 433 Optical member O Subject P Substrate

Claims (12)

基板に対して部品を実装する実装ヘッドと、
前記実装ヘッドの下方を撮像するように光軸が傾斜するように配置され、光学部材と、前記光学部材を介して被写体の像が結像する像面を有する撮像素子と、を含み、前記光学部材または前記撮像素子の前記像面が前記光軸に対して傾斜して配置されており、前記光学部材、前記像面および被写体面がシャインプルーフの条件を満たすように配置された撮像部と、を備え、
前記撮像部は、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部を含み、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から前記被写体を撮像可能に構成され
前記上下移動部の移動の制御を行う制御部と、
前記実装ヘッドに対して部品を供給する部品供給部と、をさらに備え、
前記制御部は、前記撮像部により前記部品供給部の撮像を行う場合に、前記部品供給部の部品の供給位置の高さに基づいて設定された上下方向の部品供給撮像高さ位置に前記撮像部を移動させるように構成されている、部品実装装置。
a mounting head that mounts components on a board;
an imaging unit including an optical element and an imaging element having an image surface on which an image of a subject is formed via the optical element, the image surface of the optical element or the imaging element being arranged at an angle with respect to the optical axis, and the optical element, the image surface and the subject surface being arranged so as to satisfy the Scheimpflug condition;
the imaging unit includes a vertical movement unit that moves an imaging height position in a vertical direction, and is configured to be able to image the subject from a plurality of imaging height positions in the vertical direction that are different from each other ;
A control unit that controls the movement of the vertical movement unit;
a component supply unit that supplies components to the mounting head,
The control unit of the component mounting device is configured to move the imaging unit to a component supply imaging height position in the vertical direction that is set based on the height of the component supply position of the component supply unit when imaging the component supply unit with the imaging unit .
基板に対して部品を実装する実装ヘッドと、a mounting head that mounts components on a board;
前記実装ヘッドの下方を撮像するように光軸が傾斜するように配置され、光学部材と、前記光学部材を介して被写体の像が結像する像面を有する撮像素子と、を含み、前記光学部材または前記撮像素子の前記像面が前記光軸に対して傾斜して配置されており、前記光学部材、前記像面および被写体面がシャインプルーフの条件を満たすように配置された撮像部と、を備え、an imaging unit including an optical element and an imaging element having an image surface on which an image of a subject is formed via the optical element, the image surface of the optical element or the imaging element being arranged at an angle with respect to the optical axis, and the optical element, the image surface and the subject surface being arranged so as to satisfy the Scheimpflug condition;
前記撮像部は、撮像高さ位置を上下方向に移動させる上下移動部を含み、互いに異なる複数の上下方向の撮像高さ位置から前記被写体を撮像可能に構成され、the imaging unit includes a vertical movement unit that moves an imaging height position in a vertical direction, and is configured to be able to image the subject from a plurality of imaging height positions in the vertical direction that are different from each other;
前記上下移動部の移動の制御を行う制御部をさらに備え、A control unit that controls the movement of the vertical movement unit is further provided.
前記制御部は、前記撮像部により基板に対する部品の実装位置の撮像を行う場合に、前記実装位置の高さおよび部品の大きさに基づいて設定された上下方向の部品実装撮像高さ位置に前記撮像部を移動させるように構成されている、部品実装装置。the control unit is configured to move the imaging unit to a component mounting imaging height position in the vertical direction that is set based on the height of the mounting position and the size of the component when imaging the mounting position of the component on the board using the imaging unit.
記制御部は、前記撮像部の撮像範囲内に前記被写体が含まれ、かつ、前記被写体面に前記撮像部の焦点が合うように、前記撮像部の上下方向の撮像高さ位置を調整するように、前記撮像部を移動させる、請求項1または2に記載の部品実装装置。 3. The component mounting device according to claim 1, wherein the control unit moves the imaging unit to adjust an imaging height position in the vertical direction of the imaging unit so that the subject is included within an imaging range of the imaging unit and the imaging unit is focused on a surface of the subject . 記実装ヘッドに対して部品を供給する部品供給部をさらに備え、
前記制御部は、前記撮像部により前記部品供給部の撮像を行う場合に、前記部品供給部の部品の供給位置の高さに基づいて設定された上下方向の部品供給撮像高さ位置に前記撮像部を移動させるように構成されている、請求項に記載の部品実装装置。
a component supply unit that supplies components to the mounting head,
3. The component mounting device according to claim 2, wherein the control unit is configured to move the imaging unit to a component supply imaging height position in the vertical direction that is set based on the height of a component supply position of the component supply unit when imaging the component supply unit with the imaging unit.
前記制御部は、吸着する部品が決定されるタイミングより後で、かつ、前記実装ヘッドが部品を吸着する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、前記撮像部を上下方向の前記部品供給撮像高さ位置に移動させるように構成されている、請求項1または4に記載の部品実装装置。 5. The component mounting device according to claim 1, wherein the control unit is configured to move the imaging unit in the vertical direction to the component supply imaging height position after the timing at which the component to be picked up is determined and before the mounting head has completed moving to a horizontal position at which the component is picked up. 記制御部は、前記撮像部により基板に対する部品の実装位置の撮像を行う場合に、前記実装位置の高さおよび部品の大きさに基づいて設定された上下方向の部品実装撮像高さ位置に前記撮像部を移動させるように構成されている、請求項に記載の部品実装装置。 2. The component mounting device according to claim 1, wherein the control unit is configured to move the imaging unit to a component mounting imaging height position in the vertical direction that is set based on the height of the mounting position and the size of the component when imaging the mounting position of the component on the board with the imaging unit . 前記制御部は、前記実装位置に前記実装ヘッドが移動する移動指令が出たタイミングより後で、かつ、前記実装ヘッドが部品を実装する水平方向の位置に移動完了する前のタイミングにおいて、前記撮像部を上下方向の前記部品実装撮像高さ位置に移動させるように構成されている、請求項2または6に記載の部品実装装置。 7. The component mounting device according to claim 2 or 6, wherein the control unit is configured to move the imaging unit in the vertical direction to the component mounting imaging height position after a movement command is issued to move the mounting head to the mounting position and before the mounting head has completed moving to a horizontal position where it will mount a component. 記制御部は、前記実装ヘッドにより移送される部品の撮像を行う場合に、前記実装ヘッドの移送高さに基づいて設定された上下方向の移送撮像高さ位置に前記撮像部を移動させるように構成されている、請求項~7のいずれか1項に記載の部品実装装置。 The component mounting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the control unit is configured to move the imaging unit to a vertical transfer imaging height position set based on the transfer height of the mounting head when imaging a component being transferred by the mounting head. 前記制御部は、前記実装ヘッドにより部品を吸着したタイミングより後で、かつ、前記実装ヘッドが移送高さ位置に上昇完了する前のタイミングにおいて、前記撮像部を上下方向の前記移送撮像高さ位置に移動させるように構成されている、請求項8に記載の部品実装装置。 9. The component mounting device according to claim 8, wherein the control unit is configured to move the imaging unit in the vertical direction to the transfer imaging height position after the mounting head has adsorbed a component and before the mounting head has completed rising to the transfer height position. 前記制御部は、前記実装ヘッドの移動に同期させることなく先行させて、前記撮像部を撮像高さ位置に移動させるように構成されている、請求項~9のいずれか1項に記載の部品実装装置。 The component mounting device according to claim 1 , wherein the control unit is configured to move the imaging unit to an imaging height position prior to, and not in synchronization with, the movement of the mounting head. 前記撮像部の撮像高さ位置と、前記被写体の高さとに基づいて、前記被写体の水平方向の位置および姿勢が計測される、請求項1~10のいずれか1項に記載の部品実装装置。 The component mounting device according to any one of claims 1 to 10, wherein the horizontal position and orientation of the subject are measured based on the imaging height position of the imaging unit and the height of the subject. 所定の高さ位置に配置され、前記撮像部により撮像される基準校正部材をさらに備え、
前記撮像部により前記基準校正部材を撮像した撮像結果に基づいて、前記撮像部の撮像範囲、スケール、焦点の合う高さ位置の校正が行われる、請求項1~11のいずれか1項に記載の部品実装装置。
a reference calibration member that is arranged at a predetermined height and is imaged by the imaging unit;
The component mounting device according to any one of claims 1 to 11, wherein the imaging range, scale, and focal height position of the imaging unit are calibrated based on an imaging result of imaging the reference calibration member by the imaging unit.
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