JP7445520B2 - gas generator - Google Patents
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Description
本発明は、吸着処理によって特定の成分を分離させ、目的とする成分のガスを取り出すガス装置の技術に関する。 The present invention relates to a technology for a gas device that separates a specific component through adsorption treatment and extracts a gas containing a target component.
原料ガスから特定成分のガスを分離する技術として、特定の圧力状態で吸着剤に原料ガスを流して、分離したいガスを吸着させるPSA(Pressure Swing Adsorption:圧力変動吸着)方式を利用したものが知られている。生成されたガスは、たとえば酸化防止を必要とする工業施設やエレクトロニクス分野の施設におけるバージガス、乾燥用ガスとして利用されるほか、実験設備内に流すキャリアガスとして利用される。
このようなガス発生装置では、吸着剤が充填されたタンクを利用してガスを分離させる手法が用いられる。この場合、ガスの生成量を増加させるために、複数のタンクを利用し、タンク同士をマニホールドで連通させるものがある(たとえば、特許文献1)。
As a technology for separating specific gas components from raw material gas, there is a known technology that uses the PSA (Pressure Swing Adsorption) method, in which the raw material gas is passed through an adsorbent under a specific pressure state and the gas to be separated is adsorbed. It is being The generated gas is used, for example, as a barge gas or drying gas in industrial facilities or facilities in the electronics field that require oxidation prevention, or as a carrier gas to flow into experimental equipment.
Such gas generators use a method of separating gas using a tank filled with an adsorbent. In this case, in order to increase the amount of gas produced, some systems utilize a plurality of tanks and connect the tanks with each other through a manifold (for example, Patent Document 1).
ところで、このようなガスの分離生成を行うガス発生装置が設置される工場や実験施設では、設置スペースが限られているため、特定成分の製品ガスが大量に要求されるとしても、大型のタンクを設置することは困難である。また省スペース化を図るために、複数の小型のタンクで原料ガスを分離して製品ガスの生成を行う構成にした場合、各タンクに原料ガスの供給や生成された製品ガスを回収するための管路を設けることになり、部品数の増加や、配管の複雑化、設置やメンテナンス時の作業性が低下する可能性があるという課題がある。
さらに、複数のタンクを同じ処理タイミングで動作させる場合、原料ガスの供給部やガスの回収手段までの流路長さの相違などにより、製品ガスの分離や排出、排気ガスの放出処理に要する時間がタンクごとに異なる場合がある。これにより、ガス発生装置では、全てのタンクの処理が完了するまで次の処理に移行させることができず、製品ガスの生成処理の遅延や、ガスの供給量の不安定化が発生する可能性があるという課題がある。
そのため、本発明の発明者は、原料ガスの供給、同じ処理タイミングで製品ガスを生成するタンク間で、処理やタンク内の状態を均等またはそれに近い状態に近づけることで、安定的な製品ガスの供給を実現するとともに、ガス発生装置の小型化が図れるとの知見を得た。
By the way, in factories and experimental facilities where gas generators that separate and generate such gases are installed, installation space is limited, so even if a large amount of product gas of a specific component is required, large tanks are required. It is difficult to install. In addition, in order to save space, if a configuration is configured in which multiple small tanks are used to separate raw material gas and generate product gas, it is possible to supply raw material gas to each tank and collect the generated product gas. Since a pipeline is required, there are problems in that the number of parts increases, the piping becomes more complicated, and workability during installation and maintenance may decrease.
Furthermore, when multiple tanks are operated at the same processing timing, the time required to separate and discharge the product gas, and to release the exhaust gas due to differences in the length of the flow path from the source gas supply section to the gas recovery means, etc. may vary from tank to tank. As a result, the gas generator cannot move on to the next process until all tanks have been processed, which may result in delays in product gas generation and instability in the gas supply amount. There is a problem that there is.
Therefore, the inventor of the present invention has devised a method for stably producing product gas by making the processing and tank conditions equal or close to equal between tanks that produce product gas at the same processing timing. We obtained knowledge that it is possible to realize gas supply and downsize the gas generator.
斯かる課題について、特許文献1には開示や示唆はなく、特許文献1に開示された構成では斯かる課題を解決することができない。 Patent Document 1 does not disclose or suggest such a problem, and the configuration disclosed in Patent Document 1 cannot solve this problem.
そこで、本発明の目的は上記課題に鑑み、並列接続した複数のタンク間内でガス生成処理を均一に行わせて、ガス生成量を増加させるとともにガス生成処理の安定化を図ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to uniformly perform gas generation processing among a plurality of tanks connected in parallel, thereby increasing the amount of gas generation and stabilizing the gas generation process.
上記目的を達成するため、本発明のガス発生装置の一側面は、原料ガスを取込む原料ガス供給管路と、同じ処理タイミングで前記原料ガスから製品ガスの生成処理を行う複数の吸着タンクと、前記製品ガスを貯める製品タンクと、複数の前記吸着タンクが並列に接続され、少なくとも共通の流路を通じて前記吸着タンクに対して原料ガスの供給と前記吸着タンク内の排気ガスを排出に利用する第1の連通管を含む連通部と、前記連通部と前記吸着タンクとの間に介在し、前記連通部と前記吸着タンクとを繋ぐ流路の少なくとも一部に前記連通部の内径よりも径小なオリフィスを備える接続部と、前記吸着タンクで発生した排気ガスを排気側に流す排気管路と、一端が前記第1の連通管に接続される第1の管路と、前記原料ガス供給管路と前記第1の管路と前記排気管路に接続され、切替え指示により、前記第1の管路に対して前記原料ガス供給管路または前記排気管路のいずれかに流路を切替える流路切替え手段と、前記流路切替え手段に対して前記切替え指示を出力して、製品ガスの吸着工程のタイミングで前記原料ガスの取り込みを実行させ、前記吸着タンクからの排気工程のタイミングで前記吸着タンク内の排気ガスを前記第1の連通管および前記第1の管路を通じて前記排気管路に導く制御部とを備え、前記連通部に接続した複数の前記吸着タンクと前記製品タンクが一列に配置される。
In order to achieve the above object, one aspect of the gas generator of the present invention includes a raw material gas supply pipe line that takes in the raw material gas, and a plurality of adsorption tanks that generate product gas from the raw material gas at the same processing timing. , the product tank for storing the product gas and the plurality of adsorption tanks are connected in parallel, and the raw material gas is supplied to the adsorption tank and the exhaust gas in the adsorption tank is discharged through at least a common flow path. a communication section including a first communication tube used for a connecting portion having an orifice smaller in diameter than the above, an exhaust pipe line through which exhaust gas generated in the adsorption tank flows to the exhaust side, a first pipe line whose one end is connected to the first communication pipe; The raw material gas supply pipe is connected to the first pipe and the exhaust pipe, and according to a switching instruction, the flow is caused to flow from the first pipe to either the raw material gas supply pipe or the exhaust pipe. A flow path switching means for switching the paths, and the switching instruction is outputted to the flow path switching means to cause the feed gas to be taken in at the timing of the product gas adsorption step, and to perform the exhaust step from the adsorption tank. a control unit that guides exhaust gas in the adsorption tank to the exhaust pipe line through the first communication pipe and the first pipe line at a timing , the plurality of adsorption tanks connected to the communication part and the product; Tanks are placed in a row.
上記ガス発生装置において、前記連通部は、前記吸着タンクの一端側に接続され、生成された製品ガスを回収して前記製品タンクに流す第2の連通管を含み、一端が前記第2の連通管、他端が製品ガス供給管路に接続される第2の管路と、前記第2の管路に設置され、前記吸着タンクから前記製品タンクへの製品ガスの流入を規制する規制手段とを備え、前記制御部は、前記吸着タンクから製品ガスの取り出し工程の実行タイミングで前記規制手段に対する開閉指示を出力する。
上記ガス発生装置において、一列に配列された前記吸着タンクと前記製品タンクを含む第1の吸着ユニットと、前記第1の吸着ユニットと同様の構成であり、前記第1の吸着ユニットに隣接して配置される第2の吸着ユニットとを備え、前記制御部は、前記第1の吸着ユニットと前記第2の吸着ユニットを異なるタイミングで製品ガスの生成処理を実行させてよい。
上記ガス発生装置において、隣接した前記第1の吸着ユニットの前記製品タンクと前記第2の吸着ユニットの前記製品タンクとを並列に接続させる製品ガス連通部と、前記製品ガス連通部に接続され、前記製品タンクから回収した製品ガスを排出側に流す製品ガス管路とを備えよい。
上記ガス発生装置において、さらに、前記吸着タンクおよび前記製品タンクを載置させる載置面が形成された台座部を備え、前記吸着タンクおよび前記製品タンクが前記載置面上にマトリクス状に配置されてよい。
In the above gas generator, the communication section includes a second communication pipe that is connected to one end of the adsorption tank and that collects the generated product gas and flows it to the product tank, and one end is connected to the second communication pipe . a second pipe line whose other end is connected to the product gas supply pipe line; and a regulating means installed in the second pipe line and regulating the inflow of product gas from the adsorption tank to the product tank. The control unit outputs an opening/closing instruction to the regulating means at the execution timing of a step of extracting product gas from the adsorption tank .
In the gas generator, a first adsorption unit including the adsorption tank and the product tank arranged in a row, and a first adsorption unit having the same configuration as the first adsorption unit and adjacent to the first adsorption unit. and a second adsorption unit disposed at the same time, and the control section may cause the first adsorption unit and the second adsorption unit to perform product gas generation processing at different timings.
In the gas generator, the product gas communication section connects the product tank of the adjacent first adsorption unit and the product tank of the second adsorption unit in parallel, and is connected to the product gas communication section; The product gas pipe may be provided with a product gas pipe line through which the product gas recovered from the product tank flows to the discharge side.
The gas generator further includes a pedestal portion formed with a mounting surface on which the adsorption tank and the product tank are placed, and the adsorption tank and the product tank are arranged in a matrix on the mounting surface. It's fine.
本発明によれば、次のいずれかの効果が得られる。
(1) 径小な接続部を介して連通部に複数の吸着タンクが接続されることで、タンク間の給気、排気処理タイミングの均一化が図れる。
(2) 共通の吸着ユニット内のタンク同士の処理タイミングが均一化されることで、製品ガスの供給処理の安定化が図れる。
(3) 複数のタンクが連通部で並列に接続されることで、部品数の削減による低コスト化や組立てもしくはメンテナンスの作業性の向上が図れる。
(4) ガス発生装置の小型化、省スペース化が図れる。
According to the present invention, any of the following effects can be obtained.
(1) By connecting multiple adsorption tanks to the communication part through small-diameter connections, it is possible to equalize the timing of air supply and exhaust processing between the tanks.
(2) By equalizing the processing timing between tanks in a common adsorption unit, the product gas supply process can be stabilized.
(3) By connecting multiple tanks in parallel at the communication section, it is possible to reduce costs by reducing the number of parts and improve workability in assembly and maintenance.
(4) The gas generator can be made smaller and save space.
そして、本発明の他の目的、特徴および利点は、添付図面および各実施形態を参照することにより、一層明確になるであろう。
Other objects, features, and advantages of the present invention will become clearer by referring to the accompanying drawings and embodiments.
〔一実施形態〕
図1は、一実施形態に係るガス発生装置2の構成例を示している。図1に示す構成は一例であり、本発明が斯かる構成に限定されない。
このガス発生装置2は、吸着剤が充填されたタンクの内部を所定圧力状態にし、このタンク内に充填されている吸着剤により原料空気Airから目的とする製品ガスSGを分離して取り出す、PSA式のガス分離機能を備える。ガス発生装置2は、分離した製品ガスSGを図示しないガス供給先に流すほか、不要なガスを排気ガスEGとして排出する。原料空気Airは、たとえば大気中の空気である。また製品ガスSGは、たとえば窒素や水素などであり、ガス供給先が要求するガス成分が原料空気Airから分離される。
ガス発生装置2には、たとえば図1に示すように、下部側に所定の高さの台座4を備えており、複数の吸着タンク8-1および製品タンク8-2が台座4の上面の載置面6上に載置されている。
[One embodiment]
FIG. 1 shows an example of the configuration of a
This
As shown in FIG. 1, for example, the
このガス発生装置2には、たとえば複数のタンク8のうち、前部側に吸着タンク8-1で構成されるガス吸着部10、後部側に製品タンク8-2で構成される製品ガス貯留部12を備える。そのほか、ガス発生装置2には、たとえばタンク8よりも前面下部側に原料ガスや排気ガスEGを流す管路を含むガス供給・排気部14を備えるほか、前面上部側に製品ガスSGを流す管路を含む製品ガス流動部15を備える。
This
<タンク8について>
吸着タンク8-1は、所定のガスを吸着させることで原料空気Airから目的のガス成分を分離させる手段であり、内部に吸着剤が充填されている。この吸着剤は、たとえば分子ふるい性能を有するカーボン(Carbon)材料、ゼオライト(Zeolite)などであって、粒状や膜状に形成されており、原料空気Airを接触させ、または通過させることで特定のガス成分を吸着する。ガス発生装置2では、PSA式ガス分離処理として、原料ガスに含まれる成分に対し、吸着させたいガス成分に応じた吸着剤が選択されるとともに、吸着タンク8-1内の圧力状態が設定される。この吸着剤は、たとえば原料ガスが空気であり、製品ガスSGとして窒素ガス(N)を取り出す場合、酸素(O2)を吸着可能な材料が用いられる。
また、吸着タンク8-1は、吸着したガスを不要な排気ガスEGとして、排気処理タイミングでタンクから排出する。
製品タンク8-2は、吸着タンク8-1で分離された製品ガスSGを貯留させ、常時または所定の要求タイミングでガス発生装置2からガス要求側に排出する。
<About
The adsorption tank 8-1 is a means for separating a target gas component from the raw material air by adsorbing a predetermined gas, and is filled with an adsorbent. This adsorbent is made of, for example, a carbon material or zeolite that has molecular sieving performance, and is formed in the form of particles or a film, and it can be used for specific purposes by bringing the raw air Air into contact with it or passing it through it. Adsorbs gas components. In the
Further, the adsorption tank 8-1 discharges the adsorbed gas as unnecessary exhaust gas EG from the tank at the timing of exhaust processing.
The product tank 8-2 stores the product gas SG separated in the adsorption tank 8-1, and discharges it from the
ガス発生装置2は、たとえば図1に示すように、縦横4基ずつの合計16基のタンク8が配置されており、隣接するタンク同士の一部または全部を接触させ、もしくはタンク同士で所定の間隔をとってマトリクス(行列)状に配置されている。このガス発生装置2では、たとえば前面側の縦方向に3基横方向に4列が吸着タンク8-1であってガス吸着部10を形成し、後部側の横方向に1列が製品タンク8-2であって製品ガス貯留部12を形成している。このガス発生装置2は、吸着タンク8-1と製品タンク8-2を所定の本数ずつに区分し、組み合わせてガスの生成処理を行っている。
For example, as shown in FIG. 1, the
吸着タンク8-1および製品タンク8-2は、たとえば同一の形状、同一の寸法で形成されており、上下方向に開口部が向けられた円筒状で、その開口部にそれぞれ蓋16が設置されている。吸着タンク8-1および製品タンク8-2は、たとえばアルミニウム(Al)などの金属材料で構成されている。この上下の蓋16は、たとえば4つの角部に近い位置に支持軸18が挿通されており、この支持軸18の端部に形成されたネジ山に対してナットなどの固定部材20を締め込むことで、開口部に対して密着状態となる。
なお、吸着タンク8-1および製品タンク8-2は、ガス発生装置2に要求されるガス供給量などに応じて、形状や寸法が設定されてもよい。
The adsorption tank 8-1 and the product tank 8-2 are, for example, formed with the same shape and the same dimensions, and are cylindrical with an opening directed in the vertical direction, and a
Note that the shapes and dimensions of the adsorption tank 8-1 and the product tank 8-2 may be set depending on the amount of gas supplied to the
ガス発生装置2には、たとえばガス給気・排気部14として、前面側中央付近に原料空気Airを取込む給気管路22と、生成された製品ガスSGをガス供給側に排出させる製品ガス排出管24を備えている。この給気管路22には、たとえば原料空気Airの供給源として、図示しないコンプレッサや空気が貯留されるタンク、その他プラント施設に設置された他の機器の排気管路などが接続される。ガス吸着部10は、給気管路22から供給された原料空気Airを利用してガスの生成処理を行う。
製品ガス排出管24は、たとえば図示しない製造装置やプラント設備の管路が接続されており、製品ガス貯留部12から製品ガス流動部15を通じて導かれた製品ガスSGをガス要求側に流す。
The
The product
ガス発生装置2の天井側には、吸着タンク8-1の蓋16の中央、またはそれに近い位置に、タンク内部からガスを通過させる通気部に対し、区分された吸着タンク8-1を連通する連通管26や、この連通管26に接続された製品ガス回収管28、製品ガス貯留部12の製品タンク8-2同士が接続された連通管30のほか、連通管30に接続された製品ガス管32を備える。
On the ceiling side of the
<ガス発生装置2の前面側の構成について>
図2は、ガス発生装置2の前面側の配管構成例を示している。
このガス発生装置2では、たとえば図2に示すように、前後方向に1列に配置された3本の吸着タンク8-1と後部の1本の製品タンク8-2を組み合せて、吸着ユニット34A、34B、34C、34Dを構成している。これらの吸着ユニット34A、34B、34C、34Dは、製品ガスSGの生成処理の動作単位であり、ユニットごとに独立して製品ガスSGを生成する。ガス発生装置2は、たとえば吸着ユニット34A、34Cが本開示の第1の吸着ユニット、吸着ユニット34B、34Dが本開示の第2の吸着ユニットとし、隣接する吸着ユニットが異なるタイミングで吸着処理を行うように制御する。
さらにガス発生装置2の制御処理では、隣接する吸着ユニット34Aと吸着ユニット34Bをガス生成部Iとし、吸着ユニット34Cと吸着ユニット34Dをガス生成部IIとして組み合せ、これらのガス生成部のいずれか一方または両方を同時または所定のタイミングで組み合せて運転させる。
このように複数の吸着タンク8-1を組み合せた吸着ユニットごとにガス生成処理を行うことで、大型のタンクを用いることなく、製品ガスSGの生成容量を増大させることができる。
<About the front side configuration of the
FIG. 2 shows an example of the piping configuration on the front side of the
In this
Furthermore, in the control process of the
By performing gas generation processing for each adsorption unit that is a combination of a plurality of adsorption tanks 8-1 in this manner, the production capacity of product gas SG can be increased without using a large tank.
ガス給気・排気部14には、たとえば、吸着ユニット34A、34B、34C、34Dごとに給気管路22から原料空気Airを取込む通気流路36A、36B、36C、36Dを備える。給気管路22は、接続された複数の通気流路36A、36B、36C、36Dに対して、内部を流れる原料空気Airを並列に分岐することから、マニホールドとして機能する。
通気流路36A、36B、36C、36Dは、吸着ユニット34A、34B、34C、34Dごとに設けられた流路38に接続されている。この流路38は、一端側が台座4の内部に配置されており、通気流路36A、36B、36C、36Dを通じて供給される原料空気Airを吸着タンク8-1の底部側に導く。
またガス発生装置2は、排気管路40を備えている。この排気管路40は、吸着タンク8-1内で分離された排気ガスEGを図示しない排気部側に導く管路の一例である。排気管路40は、一端側が分岐管42を介して流路38に接続され、他端側が台座4の内部に形成された排出部に配置される。
この分岐管42は、流路38を通気流路36A、36B、36C、36Dと排気管路40とを接続させる手段の一例である。ガス発生装置2では、たとえば通気流路36A、36B、36C、36D上に開閉弁CV1もしくは開閉弁CV2を備えるとともに、排気管路40上に開閉弁CV3もしくは開閉弁CV4が設置されており、運転制御により開閉処理が設定されることで、流路38を通気流路36A、36B、36C、36Dまたは排気管路40への管路が切替えられる。つまり分岐管42および開閉弁CV1、CV2は、ガス発生装置2の工程ごとの制御指示により、原料空気Airの供給経路、または排気ガスEGの排出経路を切替える本開示の流路切替え手段の一例である。
The gas supply/
The
The
This
ガス発生装置2の製品ガス流動部15には、製品タンク8-2から製品ガスSGを導く製品ガス管32が製品ガス排出管24に向けて配置され、接続されている。製品ガス流動部15には、たとえば製品ガス管32、連通管26、製品ガス回収管28上に製品ガスSGの流量や配管内部の圧力を計測する計測手段を備えてもよい。
そのほか、ガス発生装置2には、製品ガスSGの生成処理、排気ガスEGの排気処理、その他、ガス発生処理の制御を行う制御装置44を備える。この制御装置44は、コンピュータで構成されており、たとえばガス発生装置2の前面側に向けて運転状態、工程管理などの情報を表示するモニタや、ガス発生処理の制御指示を入力する操作ボタンなどを含む表示・操作部46を備える。
そのほか、ガス発生装置2は、ガス吸着部10および製品ガス貯留部12を構成する複数のタンク8同士を固定する手段として、横方向に隣接するタンクの蓋16同士を指示する連結指示部50(図3)を備えてもよい。この連結指示部50は、たとえば剛性のある金属材料で構成して強固に固定してもよく、または柔軟性のある樹脂材量などにより外部からの振動などを吸収可能な状態にしてもよい。
In the product
In addition, the
In addition, the
<製品ガスSGの回収側の構成例>
ガス吸着部10には、たとえば図3に示すように、吸着ユニット34A、34B、34C、34Dごとに複数の吸着タンク8-1が接続管48を介して連通管26に接続されており、分離した製品ガスSGが連通管26内に回収される。接続管48は、たとえば各吸着タンク8-1の蓋16にある通気部に接続された製品ガスSGの回収手段の一例であり、連通管26の内径よりも径小に形成されている。連通管26内に回収された製品ガスSGは、吸着タンク8-1の内部圧力などにより製品ガス回収管28を通じて製品タンク8-2に導かれる。
また製品ガス貯留部12では、吸着ユニット34A、34B、34C、34Dの各製品タンク8-2が接続された連通管30に製品ガスSGが回収され、製品ガス管32側に流されている。
<Example of configuration on the recovery side of product gas SG>
In the
Further, in the product
<ガス吸着部10の底部側について>
図4、図5は、ガス吸着部およびガス管路側の構成例を示している。
台座4には、たとえば図4に示すように、内部に配管を配置させる管路収納部52があり、その一部に吸着ユニット34A、34B、34C、34Dごとに、複数の吸着タンク8-1を並列に接続する連通管54が設置されている。この連通管54は、一端側が台座4の内部に配置された流路38に接続されるとともに、他端側が所定の間隔を開けて接続管56を介して吸着タンク8-1と接続されている。つまり複数の吸着タンク8-1は、連通管54により流路38に対して並列に接続されている。
接続管56は、たとえば各吸着タンク8-1の蓋16にある通気部に接続されており、吸着タンク8-1と連通管54との間に径小な流路を形成する。
<About the bottom side of the
4 and 5 show an example of the configuration of the gas adsorption section and the gas pipe side.
As shown in FIG. 4, for example, the
The connecting
ガス発生装置2では、吸着タンク8-1に対する原料空気Airの流入処理において、分岐管42を介して通気流路36Aと流路38を接続するように開閉弁CV1を開状態にするとともに排気管路40側の開閉弁CV3を閉状態に制御する。これにより連通管54内には、たとえば供給元で付加された圧力で原料空気Airが流入し、満たされる。そして、吸着タンク8-1には、連通管54内の原料空気Airが接続管56を通じて同時、またはそれに近いタイミングで流入する。つまり、連通管54は、並列に接続した複数の吸着タンク8-1に対するマニホールドとして機能する。
In the
さらに、ガス発生装置2では、たとえば図5に示すように、吸着タンク8-1からの排気処理において、通気流路36A側の開閉弁CV1を閉状態にするとともに、排気管路40側の開閉弁CV3を開状態にすることで、分岐管42を介して流路38と排気管路40とを接続させる。これにより、連通管54には、たとえば大気圧になっている排気管路40の放出部と接続されることで、吸着タンク8-1に対して負圧となり、吸着タンク8-1内に残留する排気ガスEGが接続管56を介して流入する。そして、連通管54に流入した排気ガスEGは、流路38、分岐管42を介して排気管路40側に流入し、図示しない排気部側に流される。
Furthermore, in the
なお、排気部は、たとえば台座4の内部に形成された排気ガスEGをガス発生装置2から排出させる機能部の一例であり、排気ガスEGの温度や流量を低下させて排気音を低減させる手段などを備えてもよい。
Note that the exhaust section is an example of a functional section that discharges the exhaust gas EG formed inside the
<ガス吸着部10の上部側の構成について>
ガス発生装置2では、たとえば図6に示すように、ガス吸着部10で分離された製品ガスSGが各吸着タンク8-1の天井側から接続管48を通じて連通管26内に流入する。ガス発生装置2では、たとえば吸着処理において、製品ガス回収管28上に設置された開閉弁CV6(図2)を閉状態にすることで、吸着タンク8-1と連通管26とを密閉状態に維持させる。そして、吸着処理が完了し、製品ガスSGの回収処理のタイミングになると、開閉弁CV6を開状態にすることで、並列に接続した複数の吸着タンク8-1から同等のタイミングで製品ガスSGが連通管26内に流入し、製品ガス回収管28を通じて製品ガス貯留部12側に流される。
<About the configuration of the upper side of the
In the
<ガス吸着部10の内部状態について>
図7は、ガス吸着部10の内部構成例を示している。
このガス吸着部10の吸着タンク8-1は、たとえば図7に示すように、底部側と上部側が連通管26、54に対して並列状態で接続されている。
原料空気Airの供給または排気ガスEGの排出処理に利用する連通管54は、たとえば内径D1が図示しない流路38と同等の大きさで形成されており、原料空気Airの供給元で付加された供給圧力により処理の流量Q0で原料空気Airが流入可能となっている。連通管54は、流路38から流入する原料空気Airの分流手段であることから、流路38との接続側から連通管54の端部側に向けて微小な圧力損失はあるが、接続される各吸着タンク8-1に対する圧力は略同等である。
<About the internal state of the
FIG. 7 shows an example of the internal configuration of the
As shown in FIG. 7, for example, the adsorption tank 8-1 of the
The
また連通管54と各吸着タンク8-1とを接続する接続管56の内径D2は、連通管54の内径D1よりも径小である。これにより、接続管56は、原料空気Airが内部を流れときに、連通管54から吸着タンク8-1との間の流路に形成されたオリフィスとなる。このとき連通管54と接続管56の内部には、たとえば管内流のエネルギー保存則により、接続管56内は、連通管54内の流速よりも早くなるとともに、内部圧力が低下する。
これにより、ガス吸着部10では、一部のタンク内に集中的に原料空気Airを流入させず、各吸着タンク8-1に対する原料空気Airの流量Qu1、Qu2、Qu3が略同等に調整される。
Further, the inner diameter D2 of the connecting
As a result, in the
なお、ガス発生装置2では、たとえば流量Qu1、Qu2、Qu3を均等するために、原料空気Airの流量Q0や供給圧力に応じて、連通管54の内径D1や接続管56の内径D2を設定すればよい。連通管54、接続管56の内径の比率は、たとえば圧力損失や設定したい流速などに基づくほか、管内やタンク内におけるガスの流動状態が層流または乱流となるように、任意に設定すればよい。
In the
また、製品ガスSGを回収する吸着タンク8-1の上部側にある連通管26の内径D4は、たとえば製品ガス回収管28と同等、または径大に形成されており、吸着タンク8-1内に付加される内部圧力により所定の流量QGで製品ガスSGが排出可能となっている。
連通管26は、複数の吸着タンク8-1から流入する製品ガスSGの合流手段であり、タンクごとに排出側までの距離の相違による微小な圧力損失はあるが、接続される各吸着タンク8-1から受ける圧力は略同等である。
In addition, the inner diameter D4 of the
The
連通管26と各吸着タンク8-1とを接続する接続管48の内径D3は、連通管26の内径D4よりも径小である。これにより、接続管48は、製品ガスSGの排出時に、吸着タンク8-1から連通管26との間の流路に形成されたオリフィスとなる。この場合も、既述のように、管内流のエネルギー保存則により、接続管48内は、吸着タンク8-1内よりも流速が早くなるとともに、内部圧力が低下する。
これにより、ガス吸着部10では、一部のタンクから集中的に製品ガスSGを連通管26側に流出させず、製品ガスSGの流量Qe1、Qe2、Qe3が略同等に調整される。
The inner diameter D3 of the connecting
Thereby, in the
<製品ガス貯留部12側の構成について>
図8は、製品ガス貯留部12の内部構成例を示している。
この製品ガス貯留部12の製品タンク8-2は、たとえば図8に示すように、上部側が連通管30に対して並列状態で接続されている。この連通管30は、端部が製品ガス管32に接続されており、所定の間隔を開けて接続管58を介して製品タンク8-2と接続されている。つまり製品タンク8-2は、連通管30により製品ガス管32に対して並列に接続されている。
この接続管58の内径は、連通管30の内径よりも径小に形成されており、既述のように接続管58内に製品ガスSGを流すとき、連通管30と製品タンク8-2との間の流路に形成されたオリフィスとなっている。製品ガスSGの排出処理では、たとえばガス吸着部10側から付加される圧力、または図示しない製品ガスSG排出手段や製品ガスSGの要求負荷側からの負圧により、各製品タンク8-2から略均等に連通管30側に製品ガスSGが排出される。
<About the configuration of the product
FIG. 8 shows an example of the internal configuration of the product
The product tank 8-2 of the product
The inner diameter of this connecting
<制御部60ついて>
図9は、制御部の構成例を示している。
この制御部60は、たとえばガス発生装置2の筐体内部に収納される制御装置44を構成する制御基板やシーケンサなどのPLC(Programmable Logic Controller)であって、コンピュータで形成される。また制御部60は、筐体外部に配置されたPC(Personal Computer)などを利用してもよい。制御部60は、たとえばプロセッサ(Processor)62、メモリ64、タイマ66、表示部68、I/O(Input/Output)70等が含まれる。
<About the
FIG. 9 shows an example of the configuration of the control section.
The
プロセッサ62は、ガス発生装置2の基本動作を制御するOS(Operating System)や吸着・再生工程や均圧工程における開閉弁CV1、CV2・・・・CV7などの動作を制御するプログラムの演算手段の一例である。
メモリ64は、記憶手段の一例であり、OSや各種プログラムを格納するROM(Read Only Memory)などの記憶領域や、プロセッサ62によるプログラムの演算処理を実行させるためのRAM(Random Access Memory)などの処理領域が含まれる。
タイマ66は、製品ガスSGを生成するための吸着・再生工程、均圧工程などの処理時間を計時する手段の一例であり、ハードウェアとしてのタイマのほか、プログラムの実行により計時するソフトウェアタイマであってもよい。
表示部68は、ガス発生装置2の動作状態や設定などを表示する手段の一例であり、既述の表示・操作部46を構成する。
I/O70は、制御部60の外部インターフェースの一例であり、信号ケーブル用のコネクタや無線通信を利用する場合の送受信コネクタを備えてもよく、制御対象である開閉弁CV1、CV2、・・・CV7や圧力計などの計測部72と接続される。
The
The
The
The
The I/
<ガス発生装置2の機能構成および動作制御について>
図10は、ガス発生装置2の全体の機能構成例を示しており、図11は、ガス生成部I、ガス生成部IIの機能構成例を示している。図10、図11に示す構成は一例である。
このガス発生装置2は、たとえば図10に示すように、取込んだ原料空気Airが給気管路22を通じて取込まれる。この給気管路22には、たとえば圧力計PG1により管内の状態が監視されればよく、この監視結果が制御部60や図示しない計装ラインに通知されればよい。制御部60では、これらの監視結果、および動作制御プログラムによって各開閉弁CV1、CV2・・・CV7などに対して開閉指示を出力すればよい。
ガス発生装置2は、たとえば制御部60からの動作指示にしたがって、ガス生成部I、ガス生成部IIの運転制御が行われており、これらのいずれか一方または両方の運転によって生成された製品ガスSGが連通管30を介し、製品ガス管32を通じて排出側に流される。この製品ガス管32には、たとえば製品ガスSGの状態監視手段として、圧力計PG4、PG5、PS2、流量計DFM1などを備えてもよい。これらの監視結果は、制御部60側に通知され、表示部68に表示されるほか、ガス発生処理の制御情報として利用される。
<About the functional configuration and operation control of the
FIG. 10 shows an example of the overall functional configuration of the
In this
In the
ガス生成部I、ガス生成部IIは、たとえば図11に示すように、給気管路22から流入した原料空気Airを、吸着工程に入る吸着タンク8-1に向けて流すように、開閉弁CV1、CV2が制御され通気流路36A、36Cが開状態となる。さらに、ガス生成部I、ガス生成部IIは、生成された製品ガスSGを製品ガス貯留部12側に流すために、開閉弁CV6またはCV7の開閉処理が行われる。
As shown in FIG. 11, for example, the gas generation section I and the gas generation section II operate an on-off valve CV1 so that the raw material air Air that has flowed in from the air
ガス生成部I、ガス生成部IIは、排気工程となった吸着タンク8-1からの排気ガスEGを取込み、排気管路40に流すように、開閉弁CV3、CV4の開閉制御を行う。そして排気ガスEGは、排気管路40を通じて排気部74から装置外部、または図示しない排気処理装置側に排出される。
The gas generation section I and the gas generation section II control the opening and closing of the on-off valves CV3 and CV4 so as to take in the exhaust gas EG from the adsorption tank 8-1 that has undergone the exhaust process and flow it into the
<ガス生成処理の工程について>
ここでは、ガス生成工程の一例を示す。
ガス生成部Iでは、吸着ユニット34A、34Bを異なる工程で動作させて連続的に製品ガスSGの生成処理を行っている。またガス生成部IIでも同様に、吸着ユニット34C、34Dを組み合せて動作させている。ここでは、ガス生成部Iにおける工程処理を示す。
吸着ユニット34A側の3つの吸着タンク8-1をそれぞれAT1-A、AT1-B、AT1-Cとし、吸着ユニット34B側の3つの吸着タンク8-1をそれぞれAT2-A、AT2-B、AT2-Cとする。
<About the gas generation process>
Here, an example of a gas generation process is shown.
In the gas generation section I, the
The three adsorption tanks 8-1 on the
吸着工程では、吸着ユニット34A側の吸着工程と吸着ユニット34B側の再生工程が同時に行われる。この再生工程では、たとえば開閉弁CV4を開いてタンク内の圧力を大気圧に開放するとともに、吸着工程のタンク側から高純度の製品ガスSGを流すことで、原料空気Airから分離した製品ガスSGの一部が吸着剤から離されて吸着部外に排出させる。再生処理では、吸着タンク8-1内を減圧して吸着能力を低下させることで、製品ガスSGのガス成分を離脱させていく。その後、吸着ユニット34A内の圧力が大気圧になると、吸着剤は特定のガス成分が豊富な状態となり、同時に吸着剤の周りも、特定のガス成分が豊富な状態となる。そのため吸着剤は、それ以上特定のガス成分を脱着しなくなる。オリフィスOR1を通じて吸着タンク8-1内に製品ガスSGを適量流入させると、吸着剤の周りに製品ガスSGが送り込まれてその他の排気ガスEGが追い出される。吸着剤は、特定のガス成分が吸着している細孔内とその周囲の特定のガス成分濃度に差ができ、この特定のガス成分の拡散力で、製品ガスSGとの置換が進んで脱着させることができる。これにより再生処理を完了させることができる。
In the adsorption process, an adsorption process on the
また、別タイミングで、吸着タンクAT1-A、AT1-B、AT1-C側の再生工程と吸着タンクAT2-A、AT2-B、AT2-C側の吸着工程が同時に行われる。また吸着・再生工程の間には、均圧工程を実行する。開閉弁CV1~CV7、CV5’は、吸着工程を実行する吸着ユニット34A、34B側に原料ガスを流入し、製造された製品ガスSGを製品ガス貯留部12側に流す回路を形成するとともに、再生工程を実行する吸着ユニット34A、34B側を他の吸着ユニット34A、34Bから遮断し、排気通路を形成する。均圧工程では、吸着工程の実行に応じて、均圧流路を形成すればよい。
Further, at different timings, the regeneration process on the side of the adsorption tanks AT1-A, AT1-B, and AT1-C and the adsorption process on the side of the adsorption tanks AT2-A, AT2-B, and AT2-C are performed simultaneously. Additionally, a pressure equalization step is performed between the adsorption/regeneration steps. The on-off valves CV1 to CV7 and CV5' form a circuit that allows raw material gas to flow into the
ガス生成処理では、吸着・再生工程の開始処理として、ガス要求に基づき、ガスの製造流量などに基づいてガス生成部の運転台数が設定される。制御部60は、タイマ66による計時情報を利用して吸着・再生工程の実行時間の管理処理を行う。
In the gas generation process, as a start process of the adsorption/regeneration process, the number of operating gas generation units is set based on the gas production flow rate and the like based on the gas request. The
制御部60は、開閉弁CV1を開状態にするとともに、他の開閉弁CV2、CV3、CV6、CV7を閉状態にする。開閉弁CV1、CV6を開状態にさせて原料空気Airを吸着タンクAT1-A、AT1-B、AT1-Cに流入させる。これにより吸着タンクAT1-A、AT1-B、AT1-C内の圧力が上昇し、吸着剤によって特定のガス成分が優先的に吸着されていき、製品ガスSGの濃度(純度)が高まる。製品ガスSGは、開状態の開閉弁CV6を通じて製品タンク8-2に溜められ、高濃度ガスとして供給される。吸着ユニット34B側では、排気管路40の開放により内部圧力が低下していき、吸着剤に付着したガス成分が分離する。吸着タンクAT1-A、AT1-B、AT1-Cから吸着タンクAT2-A、AT2-B、AT2-Cに製品ガスSGの一部がオリフィスOR1を通過して流入すると、残留したガス成分が排気管路40側に流され、吸着剤が再生する。
The
吸着・再生工程が完了すると、ガス発生装置2では、均圧工程を開始させる。この処理では、たとえば原料空気Airの流入停止や、製品ガス貯留部12内の残量ガス監視等を行う。制御部60は、タイマ66による計時情報を利用して均圧工程の実行時間の管理処理を行う。制御部60は、たとえば加圧状態の吸着タンクAT1-A、AT1-B、AT1-C内の残留した製品ガスSGを吸着タンクAT2-A、AT2-B、AT2-C側に流して均圧する。
When the adsorption/regeneration process is completed, the
ガス発生装置2では、均圧工程が完了すると、吸着タンクAT2-A、AT2-B、AT2-C側で原料ガスの吸着工程を行い、吸着タンクAT1-A、AT1-B、AT1-Cで分離したガスを排気する再生工程を行えばよい。
In the
<一実施形態の効果>
斯かる構成によれば、以下のような効果が得られる。
(1) 径小な接続部を介して連通部に複数の吸着タンクが接続されることで、タンク間のガスの流入や排出の流量が均等化できる。
(2) 吸着ユニット内の吸着タンク8-1同士の処理タイミングが均一化されることで、製品ガスSGの供給処理の安定化が図れる。
(3) 複数のタンクが連通部で並列に接続されることで、部品数の削減による低コスト化や組立てもしくはメンテナンスの作業性の向上が図れる。
(4) ガス発生装置2の小型化、省スペース化が図れる。
(5) 共通の連通管を利用して、吸着タンク8-1に対する原料空気Airの供給と排気ガスEGの排出処理を行うことで、省スペース化や部品数の削減などが実現できる。
(6) 複数のタンクを連通管により連携させることで、大型のタンクを利用せずに所望の流量のガス生成処理が実現できる。
(7) 複数のタンクを組み合せた吸着ユニットを運転制御により切替えることで、製品ガスSGの供給調整が可能となり、大小のガス需要に対して幅広く対応することができる。
(8) 小容量で同形状のタンク8をマトリクス状に配置列し、隣り合うタンク同士を連結させることで、ガス発生装置2内部に無駄なスペースを形成させず、装置の小型化が図れる。
(変形例)
<Effects of one embodiment>
According to such a configuration, the following effects can be obtained.
(1) By connecting multiple adsorption tanks to the communication part through small-diameter connections, the flow rate of gas inflow and discharge between the tanks can be equalized.
(2) By equalizing the processing timing of the adsorption tanks 8-1 in the adsorption unit, the supply process of the product gas SG can be stabilized.
(3) By connecting multiple tanks in parallel at the communication part, it is possible to reduce costs by reducing the number of parts and improve workability in assembly and maintenance.
(4) The
(5) By using a common communication pipe to supply raw air Air to the adsorption tank 8-1 and to discharge exhaust gas EG, it is possible to save space and reduce the number of parts.
(6) By linking multiple tanks through communication pipes, it is possible to generate gas at a desired flow rate without using large tanks.
(7) By switching the adsorption unit, which is a combination of multiple tanks, through operational control, it is possible to adjust the supply of product gas SG, making it possible to respond to a wide range of large and small gas demands.
(8) By arranging
(Modified example)
以上説明した実施形態について、その特徴事項や変形例を以下に列挙する。 Characteristics and modifications of the embodiment described above are listed below.
(1) 上記実施形態では、連通管26、30、54について、ガスの流れ方向に対して一端側に管路や製品ガス管路が接続される場合を示したがこれに限らない。
複数のタンク8が接続される連通管26、30、54の中央側に管路や製品ガス管路を接続してもよい。この場合、たとえば、複数のタンク8が接続された連通管26、30、54の流れ方向に対して、左右方向に同数またはそれに近い数にタンク8を区分して管路を接続すればよい。これにより、連通管26、30、54を介して管路とタンク8との間でガスを流す場合、その接続位置から各タンクまでの流路差を小さくすることができ、ガスに対する圧力損失の発生を低減できる。
(1) In the above embodiment, a case is shown in which a pipe line or a product gas pipe line is connected to one end of the
A pipe line or a product gas pipe line may be connected to the center side of the
(2) 上記実施形態では、全ての吸着タンク8-1に対して同量の原料空気Airを流入させる場合を示したがこれに限らない。各吸着ユニット34A、34B、34C、34D毎に、または吸着タンク8-1間で、原料空気Airの供給量を異ならせてもよい。原料空気Airの供給量は、たとえばタンク8の底部に設置される接続管の開口径を異ならせるほか、連通管54の一部に流量調整手段を備えてもよい。
斯かる構成により、吸着ユニット34A、34B、34C、34D間で製品ガスSGの生成流量が異ならせることができる。
(2) In the above embodiment, the case is shown in which the same amount of raw air Air is introduced into all the adsorption tanks 8-1, but the present invention is not limited to this. The supply amount of the raw material air Air may be varied for each
With this configuration, the production flow rate of the product gas SG can be made different between the
(3) さらに上記実施形態では、同容量の吸着タンク8-1を備えることで、ガス生成部I、ガス生成部IIが同様のガス発生量である場合を示したが、これに限らない。ガス生成部I、ガス生成部IIを構成する吸着タンク8-1の容積を異ならせることで、ガス生成部Iと、ガス生成部IIのガス生成量を異ならせてもよい。 (3) Furthermore, in the above embodiment, the gas generation section I and the gas generation section II generate the same amount of gas by providing the adsorption tanks 8-1 with the same capacity, but the present invention is not limited to this. By making the volumes of the adsorption tanks 8-1 that constitute the gas generating sections I and II different, the amounts of gas generated in the gas generating sections I and II may be made different.
以上説明したように、本発明の最も好ましい実施形態等について説明した。本発明は、上記記載に限定されるものではない。特許請求の範囲に記載され、または発明を実施するための形態に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能である。斯かる変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。 As described above, the most preferred embodiment of the present invention has been described. The present invention is not limited to the above description. Various modifications and changes can be made by those skilled in the art based on the gist of the invention described in the claims or disclosed in the detailed description. It goes without saying that such modifications and changes are included within the scope of the present invention.
2 ガス発生装置
4 台座
6 載置面
8 タンク
8-1 吸着タンク
8-2 製品タンク
10 ガス吸着部
12 製品ガス貯留部
14 ガス供給・排気部
15 製品ガス流動部
16 蓋
18 支持軸
20 固定部材
22 給気管路
24 製品ガス排出管
26、30、54 連通管
28 製品ガス回収管
32 製品ガス管
34A、34B、34C、34D 吸着ユニット
36A、36B、36C、36D 通気流路
38 流路
40 排気管路
42 分岐管
44 制御装置
46 表示・操作パネル
48、56、58 接続管
50 連結支持部
52 管路収納部
60 制御部
62 プロセッサ
64 メモリ
66 タイマ
68 表示部
70 I/O
72 計測部
74 排気部
2
72
Claims (5)
同じ処理タイミングで前記原料ガスから製品ガスの生成処理を行う複数の吸着タンクと、
前記製品ガスを貯める製品タンクと、
複数の前記吸着タンクが並列に接続され、少なくとも共通の流路を通じて前記吸着タンクに対して原料ガスの供給と前記吸着タンク内の排気ガスを排出に利用する第1の連通管を含む連通部と、
前記連通部と前記吸着タンクとの間に介在し、前記連通部と前記吸着タンクとを繋ぐ流路の少なくとも一部に前記連通部の内径よりも径小なオリフィスを備える接続部と、
前記吸着タンクで発生した排気ガスを排気側に流す排気管路と、
一端が前記第1の連通管に接続される第1の管路と、
前記原料ガス供給管路と前記第1の管路と前記排気管路に接続され、切替え指示により、前記第1の管路に対して前記原料ガス供給管路または前記排気管路のいずれかに流路を切替える流路切替え手段と、
前記流路切替え手段に対して前記切替え指示を出力して、製品ガスの吸着工程のタイミングで前記原料ガスの取り込みを実行させ、前記吸着タンクからの排気工程のタイミングで前記吸着タンク内の排気ガスを前記第1の連通管および前記第1の管路を通じて前記排気管路に導く制御部と、
を備え、前記連通部に接続した複数の前記吸着タンクと前記製品タンクが一列に配置されることを特徴とするガス発生装置。 a raw material gas supply pipe that takes in the raw material gas;
a plurality of adsorption tanks that perform a process of generating product gas from the raw material gas at the same processing timing;
a product tank for storing the product gas;
A plurality of adsorption tanks are connected in parallel and include a first communication pipe that supplies raw material gas to the adsorption tanks through at least a common flow path and uses exhaust gas in the adsorption tanks for discharge. A communication part,
a connecting portion interposed between the communicating portion and the adsorption tank, and having an orifice having a diameter smaller than an inner diameter of the communicating portion in at least a portion of a flow path connecting the communicating portion and the adsorption tank;
an exhaust pipe line through which exhaust gas generated in the adsorption tank flows to the exhaust side;
a first pipe line whose one end is connected to the first communication pipe;
The raw material gas supply pipe, the first pipe, and the exhaust pipe are connected, and according to a switching instruction, the first pipe is connected to either the raw material gas supply pipe or the exhaust pipe. a flow path switching means for switching the flow path;
The switching instruction is outputted to the flow path switching means to cause the feed gas to be taken in at the timing of the product gas adsorption process, and the exhaust gas in the adsorption tank is caused to be taken in at the timing of the exhaust process from the adsorption tank. a control unit that guides the exhaust pipe through the first communication pipe and the first pipe line;
A gas generation device comprising : a plurality of adsorption tanks connected to the communication portion and the product tank arranged in a line.
一端が前記第2の連通管、他端が製品ガス供給管路に接続される第2の管路と、
前記第2の管路に設置され、前記吸着タンクから前記製品タンクへの製品ガスの流入を規制する規制手段と、
を備え、
前記制御部は、前記吸着タンクから製品ガスの取り出し工程の実行タイミングで前記規制手段に対する開閉指示を出力する、請求項1に記載のガス発生装置。 The communication section includes a second communication pipe that is connected to one end of the adsorption tank and that collects the generated product gas and flows it into the product tank,
a second pipe line whose one end is connected to the second communication pipe and whose other end is connected to the product gas supply pipe line;
a regulating means installed in the second pipe line and regulating the inflow of product gas from the adsorption tank to the product tank;
Equipped with
The gas generator according to claim 1, wherein the control unit outputs an opening/closing instruction to the regulating means at the timing of executing the step of extracting product gas from the adsorption tank .
前記第1の吸着ユニットと同様の構成であり、前記第1の吸着ユニットに隣接して配置される第2の吸着ユニットと、
を備え、
前記制御部は、前記第1の吸着ユニットと前記第2の吸着ユニットを異なるタイミングで製品ガスの生成処理を実行させることを特徴とする請求項1または2に記載のガス発生装置。 a first adsorption unit including the adsorption tank and the product tank arranged in a line;
a second suction unit having the same configuration as the first suction unit and disposed adjacent to the first suction unit;
Equipped with
The gas generation device according to claim 1 or 2 , wherein the control section causes the first adsorption unit and the second adsorption unit to execute product gas generation processing at different timings.
前記製品ガス連通部に接続され、前記製品タンクから回収した製品ガスを排出側に流す製品ガス管路と、
を備えることを特徴とする請求項3に記載のガス発生装置。 a product gas communication section that connects the product tank of the adjacent first adsorption unit and the product tank of the second adsorption unit in parallel;
a product gas pipe connected to the product gas communication section and flowing the product gas recovered from the product tank to the discharge side;
The gas generator according to claim 3 , further comprising:
前記吸着タンクおよび前記製品タンクが前記載置面上にマトリクス状に配置されることを特徴とする請求項1ないし請求項4に記載のガス発生装置。 Further, it includes a pedestal portion formed with a mounting surface on which the adsorption tank and the product tank are mounted,
5. The gas generator according to claim 1 , wherein the adsorption tank and the product tank are arranged in a matrix on the placement surface.
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