JP7413713B2 - 蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスク - Google Patents

Description

本開示は、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクに関する。

スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置として、応答性の良さ、消費電力の低さやコントラストの高さを備えた、有機ＥＬ表示装置が注目されている。この有機ＥＬ表示装置では、画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板（有機ＥＬ基板）を蒸着装置に投入し、次に、蒸着装置内で有機ＥＬ基板に対して蒸着マスクを密着させ、有機材料を有機ＥＬ基板に蒸着させる蒸着工程を行う。

特許文献１には、対向する第１面及び第２面を有し、複数の貫通孔を有する金属製シートを備えた蒸着マスクが開示されている。

特開２００９－０７４１６０号公報

近年、表示装置においては、さらなる高精細化が求められている。特にバーチャルリアリティーなどにもちいられるヘッドマウントディスプレイは、高応答性の要求が高く有機ＥＬ方式が用いられることが多いが、スマートフォンと同等の画素密度では、画素の網目が見えてしまう現象が生じるため、例えば１２００ｐｐｉ以上の画素密度を有する表示装置の実現が望まれている。

本開示は、このような点を考慮してなされたものであって、貫通孔が高密度で形成された蒸着マスク及び当該蒸着マスクの製造方法を提供することを目的とする。

本開示の第１の態様は、
第１面と前記第１面とは反対側にある第２面とを有する第１金属層を準備する工程と、
前記第１金属層の前記第１面の上に、凸部を有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層の上及び前記第１金属層の前記第１面の上に、第２金属層を形成する工程と、
前記第２金属層を前記第１金属層と反対側から研磨する工程と、
前記第１金属層の前記第２面の上に、平面視において少なくとも部分的に前記樹脂層と重なる開口を有するレジスト層を形成する工程と、
前記第１金属層をエッチングして、前記開口から前記樹脂層に達する孔を形成する工程と、
前記樹脂層及び前記レジスト層を除去する工程と、を備えた蒸着マスクの製造方法、である。

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様において、前記第１金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第３の態様は、上述した第１又は第２の態様において、前記第２金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第４の態様は、上述した第１～第３の態様のいずれか１つの態様において、前記樹脂層は、ポジレジストを含んでもよい。

本開示の第５の態様は、上述した第１～第４の態様のいずれか１つの態様において、前記第１金属層は、１５μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有してもよい。

本開示の第６の態様は、上述した第１～第５の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層は、５μｍ以上３０μｍ以下の最小厚さを有してもよい。

本開示の第７の態様は、上述した第１～第６の態様のいずれか１つの態様において、前記樹脂層は、フォトリソグラフィー又はナノインプリントにより形成されてもよい。

本開示の第８の態様は、上述した第１～第７の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層を形成する工程は、電解めっき法、無電解めっき法、物理蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法からなるグループから選択される少なくとも１つにより行われてもよい。

本開示の第９の態様は、上述した第１～第７の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層を形成する工程は、
前記樹脂層の上及び前記第１金属層の前記第１面の上にシード層を形成する工程と、
前記シード層の上に電解めっき法又は無電解めっき法により本体層を形成する工程と、を含んでもよい。

本開示の第１０の態様は、上述した第１～第９の態様のいずれか１つの態様において、前記孔を形成する工程において、前記第１金属層が塩化第二鉄溶液又は塩酸によりエッチングされてもよい。

本開示の第１１の態様は、
孔を有する第１金属層と、
貫通孔を有し平面視において前記孔と重なる有効領域、及び、前記有効領域の周囲に位置し前記有効領域の最小厚さよりも大きい厚さを有する周囲領域、を有する第２金属層と、を備えた蒸着マスク、である。

本開示の第１２の態様は、上述した第１１の態様において、前記第１金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第１３の態様は、上述した第１１又は第１２の態様において、前記第２金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第１４の態様は、上述した第１１～第１３の態様のいずれか１つの態様において、前記第１金属層は、１５μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有してもよい。

本開示の第１５の態様は、上述した第１１～第１４の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層は、５μｍ以上３０μｍ以下の最小厚さを有してもよい。

本開示の実施形態によれば、貫通孔が高密度で形成された蒸着マスク及び当該蒸着マスクの製造方法を提供することができる。

図１は、本開示の一実施の形態を説明するための図であって、蒸着マスク装置を有する蒸着装置を説明するための図である。 図２は、図１に示す蒸着装置で製造された有機ＥＬ表示装置の一例を示す断面図である。 図３は、蒸着マスクを有する蒸着マスク装置の一例を概略的に示す平面図である。 図４は、蒸着マスクの部分拡大図であって、図３のＩＶが付された一点鎖線で囲まれた領域を拡大して示す平面図である。 図５は、図４のＶ－Ｖ線に対応する断面図である。 図６は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。 図７は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。 図８は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。 図９は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。 図１０は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。 図１１は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。 図１２は、蒸着マスクの製造方法の一例の一工程を示す図である。

本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「板」、「シート」、「フィルム」など用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。また、「面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。更に、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

本明細書および本図面において、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に（又は下に）」、「上側に（又は下側に）」、または「上方に（又は下方に）」とする場合、特別な説明が無い限りは、ある構成が他の構成に直接的に接している場合のみでなく、ある構成と他の構成との間に別の構成が含まれている場合も含めて解釈することとする。また、特別な説明が無い限りは、上（または、上側や上方）又は下（または、下側、下方）という語句を用いて説明する場合があるが、上下方向が逆転してもよい。

本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。

本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、矛盾の生じない範囲で、その他の実施形態や変形例と組み合わせられ得る。また、その他の実施形態同士や、その他の実施形態と変形例も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。また、変形例同士も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。

本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、製造方法などの方法に関して複数の工程を開示する場合に、開示されている工程の間に、開示されていないその他の工程が実施されてもよい。また、開示されている工程の順序は、矛盾の生じない範囲で任意である。

本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「～」という記号によって表現される数値範囲は、「～」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４～３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上且つ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。

本明細書の一実施形態において、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクやその製造方法に関した例をあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクに対し、本実施形態を適用することができる。

以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は本開示の実施形態の一例であって、本開示はこれらの実施形態のみに限定して解釈されるものではない。

本開示の第１の態様は、
第１面と前記第１面とは反対側にある第２面とを有する第１金属層を準備する工程と、
前記第１金属層の前記第１面の上に、凸部を有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層の上及び前記第１金属層の前記第１面の上に、第２金属層を形成する工程と、
前記第２金属層を前記第１金属層と反対側から研磨する工程と、
前記第１金属層の前記第２面の上に、平面視において少なくとも部分的に前記樹脂層と重なる開口を有するレジスト層を形成する工程と、
前記第１金属層をエッチングして、前記開口から前記樹脂層に達する孔を形成する工程と、
前記樹脂層及び前記レジスト層を除去する工程と、を備えた蒸着マスクの製造方法、である。

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様において、前記第１金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第３の態様は、上述した第１又は第２の態様において、前記第２金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第４の態様は、上述した第１～第３の態様のいずれか１つの態様において、前記樹脂層は、ポジレジストを含んでもよい。

本開示の第５の態様は、上述した第１～第４の態様のいずれか１つの態様において、前記第１金属層は、１５μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有してもよい。

本開示の第６の態様は、上述した第１～第５の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層は、５μｍ以上３０μｍ以下の最小厚さを有してもよい。

本開示の第７の態様は、上述した第１～第６の態様のいずれか１つの態様において、前記樹脂層は、フォトリソグラフィー又はナノインプリントにより形成されてもよい。

本開示の第８の態様は、上述した第１～第７の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層を形成する工程は、電解めっき法、無電解めっき法、物理蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法からなるグループから選択される少なくとも１つにより行われてもよい。

本開示の第９の態様は、上述した第１～第７の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層を形成する工程は、
前記樹脂層の上及び前記第１金属層の前記第１面の上にシード層を形成する工程と、
前記シード層の上に電解めっき法又は無電解めっき法により本体層を形成する工程と、を含んでもよい。

本開示の第１０の態様は、上述した第１～第９の態様のいずれか１つの態様において、前記孔を形成する工程において、前記第１金属層が塩化第二鉄溶液又は塩酸によりエッチングされてもよい。

本開示の第１１の態様は、
孔を有する第１金属層と、
複数の貫通孔を有し平面視において前記孔と重なる有効領域、及び、前記有効領域の周囲に位置し前記有効領域の最小厚さよりも大きい厚さを有する周囲領域、を有する第２金属層と、を備えた蒸着マスク、である。

本開示の第１２の態様は、上述した第１１の態様において、前記第１金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第１３の態様は、上述した第１１又は第１２の態様において、前記第２金属層は、鉄－ニッケル系合金を含んでもよい。

本開示の第１４の態様は、上述した第１１～第１３の態様のいずれか１つの態様において、前記第１金属層は、１５μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有してもよい。

本開示の第１５の態様は、上述した第１１～第１４の態様のいずれか１つの態様において、前記第２金属層は、５μｍ以上３０μｍ以下の最小厚さを有してもよい。

蒸着マスク２０を備える蒸着装置９０について、図１を参照して説明する。図１は、蒸着装置９０を示す図である。蒸着装置９０は、対象物に蒸着材料９８を蒸着させる蒸着処理を実施する。例えば、蒸着装置９０は、有機ＥＬ表示装置１００を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上に蒸着させてもよい。

蒸着装置９０は、その内部に、蒸着源（例えばるつぼ９４）、ヒータ９６、及び蒸着マスク装置１０を備えてもよい。また、蒸着装置９０は、蒸着装置９０の内部を真空雰囲気にするための図示しない排気手段を更に備えてもよい。るつぼ９４は、有機発光材料などの蒸着材料９８を収容してもよい。ヒータ９６は、るつぼ９４を加熱して、真空雰囲気の下で蒸着材料９８を蒸発させてもよい。蒸着マスク装置１０は、るつぼ９４と対向するよう配置されていてもよい。

蒸着マスク装置１０は、フレーム１５と、フレーム１５に取り付けられた蒸着マスク２０と、を備えてもよい。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように、蒸着マスク２０をその平面と平行な方向に張力が掛けられた状態（平面と平行な方向に引張られた状態）で支持してもよい。蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、蒸着マスク２０が、蒸着材料９８を付着させる対象物である被蒸着基板（例えば有機ＥＬ基板）９２に対面するよう、蒸着装置９０内に配置されてもよい。以下の説明において、蒸着マスク２０の面のうち、有機ＥＬ基板９２側の面を第１面２０ａと称し、第１面２０ａの反対側に位置する面を第２面２０ｂと称する。

蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、有機ＥＬ基板９２の、蒸着マスク２０と反対の側の面に配置された磁石９３を備えていてもよい。磁石９３を設けることにより、磁力によって蒸着マスク２０を磁石９３側に引き寄せて、蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させることができる。また、静電気力（クーロン力）を利用する静電チャックを用いて蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させてもよい。

図２は、図１の蒸着装置９０を用いて製造した有機ＥＬ表示装置１００を示す断面図である。有機ＥＬ表示装置１００は、被蒸着基板（有機ＥＬ基板）９２と、パターン状に設けられた蒸着材料９８を含む画素と、を備えていてもよい。なお、図２の有機ＥＬ表示装置１００においては、蒸着材料９８を含む画素に電圧を印加する電極等が省略されている。また、有機ＥＬ基板９２上に蒸着材料９８をパターン状に設ける蒸着工程の後、図２の有機ＥＬ表示装置１００には、有機ＥＬ表示装置のその他の構成要素が更に設けられてもよい。したがって、図２の有機ＥＬ表示装置１００は、有機ＥＬ表示装置の中間体と呼ぶこともできる。

図３は、蒸着マスク２０を有する蒸着マスク装置１０の一例を概略的に示す平面図であり、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から見た蒸着マスク装置１０を示す図である。図４は、蒸着マスク２０の部分拡大図であって、図３のＩＶが付された一点鎖線で囲まれた領域を拡大して示す平面図である。図示された例では、蒸着マスク装置１０は、長方形の輪郭を有するフレーム１５と、フレーム１５に取り付けられた蒸着マスク２０と、を備えてもよい。蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０を貫通する複数の貫通孔２５が形成された金属板を含んでもよい。

図示された例では、蒸着マスク２０は、平面視において四角形、さらに正確には平面視において長方形の輪郭を有していてもよい。蒸着マスク２０は、規則的な配列で貫通孔２５が形成された有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいてもよい。蒸着マスク２０は複数の有効領域２２を有し、複数の有効領域２２は、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されていてもよい。図示された例では、一つの有効領域２２が一つの有機ＥＬ表示装置に対応するようになっていてもよい。すなわち、図示された蒸着マスク装置１０によれば、被蒸着基板上への多面付蒸着が可能となっていてもよい。蒸着マスク２０の周縁部は、例えばスポット溶接によってフレーム１５に取り付けられていてもよい。

有効領域２２には、蒸着対象物である被蒸着基板（例えば有機ＥＬ基板９２）へ蒸着材料９８（例えば有機発光材料）を蒸着させる際に蒸着材料９８を通過させることを意図された複数の貫通孔２５が、所望のパターンで形成されていてもよい。この蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが、被蒸着基板の下面に対面するようにして、蒸着マスク２０が蒸着装置９０内に支持され、被蒸着基板への蒸着材料９８の蒸着に使用されてもよい。図１に示された例では、るつぼ９４から蒸発して蒸着マスク装置１０に到達した蒸着材料９８は、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に付着してもよい。これによって、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２の表面に成膜することができる。

なお、複数の色によるカラー表示を行いたい場合には、各色に対応する蒸着マスク２０が搭載された蒸着装置９０をそれぞれ準備し、有機ＥＬ基板９２を各蒸着装置９０に順に投入してもよい。これによって、例えば、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料及び青色用の有機発光材料を順に有機ＥＬ基板９２に蒸着させることができる。

図５は、図４のＶ－Ｖ線に対応する断面図である。蒸着マスク２０は、第１金属層３１と、複数の貫通孔２５を有する第２金属層３５と、を備えていてもよい。

第１金属層３１は、圧延された金属板からなる層（圧延金属層）であってもよい。第１金属層３１は、第２金属層３５を支持する支持層として機能する。図５に示されているように、第１金属層３１は、第２金属層３５側を向く第１面３１ａと、第１面３１ａと反対側を向く第２面３１ｂと、を有していてもよい。第１金属層３１の第２面３１ｂが蒸着マスク２０の第２面２０ｂの一部をなしていてもよい。

第１金属層３１の厚さは、例えば、１５μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよく、２５μｍ以上であってもよく、３０μｍ以上であってもよい。また、第１金属層３１の厚さは、例えば、７０μｍ以下であってもよく、８０μｍ以下であってもよく、９０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。第１金属層３１の厚さの範囲は、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ及び３０μｍからなる第１グループ、及び／又は、７０μｍ、８０μｍ、９０μｍ及び１００μｍからなる第２グループによって定められてもよい。第１金属層３１の厚さの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。第１金属層３１の厚さの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。第１金属層３１の厚さの範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上９０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上８０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上７０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上９０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上８０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上７０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上９０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上８０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上７０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上９０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上８０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上７０μｍ以下であってもよく、７０μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、７０μｍ以上９０μｍ以下であってもよく、７０μｍ以上８０μｍ以下であってもよく、８０μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、８０μｍ以上９０μｍ以下であってもよく、９０μｍ以上１００μｍ以下であってもよい。

第１金属層３１は、当該第１金属層３１を厚さ方向に貫通する孔３３を有していてもよい。孔３３は、第１金属層３１の第１面３１ａと第２面３１ｂとを接続する貫通孔として形成されていてもよい。孔３３は、蒸着マスク２０の各有効領域２２に対応して設けられていてもよい。すなわち、第１金属層３１は、蒸着マスク２０の１つの有効領域２２に対応して１つの孔３３を有していてもよい。図４に示されているように、孔３３は、平面視において長方形の輪郭を有していてもよい。なお、いうまでもなく「長方形」は「正方形」を含む。また、これに限られず、孔３３の輪郭は、平面視において、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形や、円、楕円等の他の形状を有していてもよい。なお、本明細書において、「長方形」、「正方形」、「三角形」、「四角形」、「五角形」「六角形」及び「多角形」とは、当該「長方形」、「正方形」、「三角形」、「四角形」、「五角形」「六角形」及び「多角形」の角部が丸められたり切り取られたりしている形状をも含むものとする。

本実施の形態では、隣り合う２つの有効領域２２の間に第１金属層３１が配置されてもよい。これにより、蒸着マスク２０の強度を十分に確保することができる。すなわち、隣り合う２つの有効領域２２の間に配置された第１金属層３１が、第２金属層３５を支持するので、重力の作用により第２金属層３５が撓んだり、外力の作用により第２金属層３５が変形したりすることを、抑制することができる。

第１金属層３１を構成する金属としては、例えば、鉄－ニッケル系合金を用いてもよい。

第２金属層３５は、第１金属層３１と反対側を向く第１面３５ａと、第１金属層３１側を向く第２面３５ｂとを有していてもよい。本実施の形態では、第２金属層３５の第１面３５ａが蒸着マスク２０の第１面２０ａをなし、第２面３５ｂのうち孔３３内に露出する部分が蒸着マスク２０の第２面２０ｂの一部をなしてもよい。第２金属層３５は、平面視において第１金属層３１の孔３３と重なる領域（有効領域２２）に複数の貫通孔２５を有していてもよい。貫通孔２５は、蒸発した蒸着材料９８が通過して被蒸着基板９２へ付着することを意図された貫通孔であってもよい。図４に示された例では、各貫通孔２５は、長方形の輪郭を有しているが、これに限られず、貫通孔２５は、例えば有機ＥＬ表示装置１００の画素の形状に応じて、様々な形状の輪郭を有することができる。例えば、貫通孔２５の輪郭は、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形や、円、楕円等の他の形状を有していてもよい。図４に示されているように、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されていてもよい。なお、複数の貫通孔２５は、有効領域２２において任意のパターンで配置することができる。このような第２金属層３５は、無電解めっき法により形成された層すなわちめっき層であってもよい。

貫通孔２５の配列ピッチは、例えば、５μｍ以上であってもよく、１０μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。また、貫通孔２５の配列ピッチは、例えば、３０μｍ以下であってもよく、３５μｍ以下であってもよく、４０μｍ以下であってもよく、４５μｍ以下であってもよい。貫通孔２５の配列ピッチの範囲は、５μｍ、１０μｍ、１５μｍ及び２０μｍからなる第１グループ、及び／又は、３０μｍ、３５μｍ、４０μｍ及び４５μｍからなる第２グループによって定められてもよい。貫通孔２５の配列ピッチの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。貫通孔２５の配列ピッチの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。貫通孔２５の配列ピッチの範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、５μｍ以上４５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上４５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上４５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上４５μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上４５μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上４５μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、４０μｍ以上４５μｍ以下であってもよい。

第２金属層３５の平面と平行な方向における貫通孔２５の最大寸法は、例えば、３μｍ以上であってもよく、５μｍ以上であってもよく、１０μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよい。また、第２金属層３５の平面と平行な方向における貫通孔２５の最大寸法は、例えば、２５μｍ以下であってもよく、３０μｍ以下であってもよく、３５μｍ以下であってもよく、４０μｍ以下であってもよい。第２金属層３５の平面と平行な方向における貫通孔２５の最大寸法の範囲は、３μｍ、５μｍ、１０μｍ及び１５μｍからなる第１グループ、及び／又は、２５μｍ、３０μｍ、３５μｍ及び４０μｍからなる第２グループによって定められてもよい。第２金属層３５の平面と平行な方向における貫通孔２５の最大寸法の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。第２金属層３５の平面と平行な方向における貫通孔２５の最大寸法の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。第２金属層３５の平面と平行な方向における貫通孔２５の最大寸法の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、３μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、３μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、３μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、３μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、３μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、３μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、３μｍ以上５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上４０μｍ以下であってもよい。

有効領域２２内の、複数の貫通孔２５を含む領域の第２金属層３５の厚さは、周囲領域２３に近接する貫通孔２５を含まない領域の第２金属層３５の厚さよりも小さくてもよい。有効領域２２内の第２金属層３５は、複数の貫通孔２５を含む領域において最小厚さＴ_ｍｉｎを有していてもよい。この場合、シャドーの発生を効果的に抑制することができる。なお、ここでの「シャドー」とは、蒸着マスク２０の法線方向に対して傾斜した方向に沿って、被蒸着基板９２に向かう蒸着材料９８の進路が貫通孔２５の周囲の第２金属層３５により妨げられ当該蒸着材料９８が被蒸着基板９２に適切に付着しなくなることを指す。

有効領域２２の第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎは、周囲領域２３の第２金属層３５の厚さＴ_２３よりも小さくてもよい。換言すると、周囲領域２３は、有効領域２２の最小厚さＴ_ｍｉｎよりも大きい厚さＴ_２３を有してもよい。この場合、シャドーの発生を抑制しながらも、周囲領域２３において第２金属層３５の強度を適切に確保することが可能になる。

第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎは、例えば、５μｍ以上であってもよく、８μｍ以上であってもよく、１０μｍ以上であってもよく、１３μｍ以上であってもよい。また、第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎは、例えば、１５μｍ以下であってもよく、２０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以下であってもよく、３０μｍ以下であってもよい。第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎの範囲は、５μｍ、８μｍ、１０μｍ及び１３μｍからなる第１グループ、及び／又は、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ及び３０μｍからなる第２グループによって定められてもよい。第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。第２金属層３５の最小厚さＴ_ｍｉｎの範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１３μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上８μｍ以下であってもよく、８μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、８μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、８μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１３μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１３μｍ以下であってもよく、１３μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１３μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１３μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１３μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上３０μｍ以下であってもよい。

周囲領域２３における第２金属層３５の厚さＴ_２３は、例えば、１０μｍ以上であってもよく、１４μｍ以上であってもよく、１７μｍ以上であってもよく、１９μｍ以上であってもよい。また、周囲領域２３における第２金属層３５の厚さＴ_２３は、例えば、２０μｍ以下であってもよく、２４μｍ以下であってもよく、２７μｍ以下であってもよく、３０μｍ以下であってもよい。周囲領域２３における第２金属層３５の厚さＴ_２３の範囲は、１０μｍ、１４μｍ、１７μｍ及び１９μｍからなる第１グループ、及び／又は、２０μｍ、２４μｍ、２７μｍ及び３０μｍからなる第２グループによって定められてもよい。周囲領域２３における第２金属層３５の厚さＴ_２３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。周囲領域２３における第２金属層３５の厚さＴ_２３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。周囲領域２３における第２金属層３５の厚さＴ_２３の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２７μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２４μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１９μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１７μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１４μｍ以下であってもよく、１４μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１４μｍ以上２７μｍ以下であってもよく、１４μｍ以上２４μｍ以下であってもよく、１４μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１４μｍ以上１９μｍ以下であってもよく、１４μｍ以上１７μｍ以下であってもよく、１７μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１７μｍ以上２７μｍ以下であってもよく、１７μｍ以上２４μｍ以下であってもよく、１７μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１７μｍ以上１９μｍ以下であってもよく、１９μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１９μｍ以上２７μｍ以下であってもよく、１９μｍ以上２４μｍ以下であってもよく、１９μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上２７μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上２４μｍ以下であってもよく、２４μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、２４μｍ以上２７μｍ以下であってもよく、２７μｍ以上３０μｍ以下であってもよい。

有効領域２２内の第２金属層３５の第２面３５ｂは、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて第１金属層３１側から第１面３５ａ側へ向かうように傾斜した傾斜面３７を含んでいてもよい。傾斜面３７は、周囲領域２３側から、有効領域２２に含まれる複数の貫通孔２５のうちの最も周囲領域２３に近接する貫通孔２５へ向かうにつれて第１金属層３１側から第１面３５ａ側へ向かうように傾斜していてもよい。この場合、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて第２金属層３５の厚さが連続的に小さくなっていく。なお、これに限られず、有効領域２２内の第２面３５ｂの、周囲領域２３に近接する貫通孔２５を含まない領域内に１以上の段差が設けられ、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて第２金属層３５の厚さが段階的に小さくなっていくようにしてもよい。

なお、ここでいう「第２金属層３５の厚さが（連続的に又は段階的に）小さくなっていく」とは、法線方向に沿った第２金属層３５の断面を全体的に見て、第２金属層３５の厚さが、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて小さくなっていくことを意味する。したがって、「第２金属層３５の厚さが（連続的に又は段階的に）小さくなっていく」とは、図５に示されているような、第２金属層３５の厚さが、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて常に小さくなり続けることのみを意味するものではない。言い換えると、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて、第２金属層３５の厚さが変化しない又は大きくなる部分が含まれていても、法線方向に沿った第２金属層３５の断面を全体的に見て、第２金属層３５の厚さが、周囲領域２３側から有効領域２２の中心Ｃ_１へ向かうにつれて小さくなっていくといえるものは、ここでいう「第２金属層３５の厚さが（連続的に又は段階的に）小さくなっていく」ものに含まれる。

蒸着処理は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部で実施されてもよい。この場合、蒸着処理の間、蒸着装置９０の内部に保持される蒸着マスク２０及び有機ＥＬ基板９２も加熱される。この際、蒸着マスク２０及び有機ＥＬ基板９２は、各々の熱膨張係数に基づいた寸法変化の挙動を示すことになる。したがって、蒸着マスク２０の熱膨張係数と有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数との差が小さい場合には、蒸着マスク２０の寸法変化と有機ＥＬ基板９２の寸法変化との差も小さくなり、この結果、有機ＥＬ基板９２上に付着する蒸着材料の寸法精度や位置精度を向上させることができるので好ましい。

このような効果を得るため、蒸着マスク２０を構成する部材の熱膨張係数が、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値であってもよい。例えば、有機ＥＬ基板９２としてガラス基板が用いられる場合、フレーム１５及び蒸着マスク２０の主要な材料として、ニッケルを含む鉄合金すなわち鉄－ニッケル系合金を用いてもよい。鉄－ニッケル合金は、コバルト等の他の成分を更に含んでいてもよい。例えば、フレーム１５及び蒸着マスク２０を構成する金属板の材料として、ニッケル及びコバルトの含有量が合計で３０質量％以上且つ５４質量％以下であり、且つコバルトの含有量が０質量％以上且つ６質量％以下である鉄合金を用いてもよい。ニッケル若しくはニッケル及びコバルトを含む鉄合金の具体例としては、３４質量％以上且つ３８質量％以下のニッケルを含むインバー材、３０質量％以上且つ３４質量％以下のニッケルに加えてさらにコバルトを含むスーパーインバー材、３８質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む低熱膨張Ｆｅ－Ｎｉ系合金などを挙げることができる。

本実施の形態の第１金属層３１及び第２金属層３５は、いずれも鉄－ニッケル系合金を含んでいてもよい。これにより、本実施の形態の蒸着マスク２０の熱膨張係数と、被蒸着基板９２の熱膨張係数との差を小さくすることができる。この場合、蒸着マスク２０と被蒸着基板９２の寸法変化の差異に起因した蒸着マスク２０と被蒸着基板９２との位置ずれを抑制し、被蒸着基板９２上に付着する蒸着材料９８の寸法精度や位置精度の低下を効果的に抑制することができる。

次に、図６～図１２を参照して、上に説明した蒸着マスク２０の製造方法の一例について説明する。図６～図１２は、それぞれ、蒸着マスク２０の製造方法の一例の一工程を示す図である。

まず、第１金属層３１を準備する（第１金属層準備工程）。第１金属層３１は、鉄－ニッケル系合金を含み、圧延により製造された金属板であってもよい。第１金属層３１は、第１面３１ａと、第１面３１ａと反対側を向く第２面３１ｂと、を有していてもよい。

次に、第１金属層３１の第１面３１ａの上に、凸部４２を有する樹脂層４１を形成する（樹脂層形成工程）。本実施の形態では、有効領域２２内に、当該有効領域２２内に形成されるべき複数の貫通孔２５の形状及び配置パターンに対応した形状及び配置パターンを有する複数の凸部４２を有する樹脂層４１が形成されてもよい。とりわけ樹脂層４１の形状は、形成されるべき貫通孔２５の形状に対して少なくとも部分的に互いに補い合う形状を有してもよい。

凸部４２を有する樹脂層４１は、例えば、フォトリソグラフィー技術を用いて形成されてもよい。この場合、まず、流動性を有する感光性の樹脂を第１金属層３１の第１面３１ａの上に塗布することにより、又は、シート状の感光性の樹脂を第１金属層３１の第１面３１ａの上に配置することにより、図６に示されているように、第１金属層３１の第１面３１ａの上に樹脂層４０を形成する。その後、必要に応じて、樹脂層４０を仮硬化させてもよい。感光性の樹脂としては、ネガ型、ポジ型の感光性を有する樹脂が特に限定されることなく使用され得る。一例として、感光性の樹脂として、ポジ型の感光性を有する樹脂が使用されてもよい。このような感光性の樹脂は、例えば紫外線により感光されてもよい。

次に、樹脂層４０を感光させて、樹脂層４０から、凸部４２を有する樹脂層４１を形成する（図７及び図８参照）。このとき、図７に示されているように、階調露光が可能な遮光マスク５０を介して樹脂層４０を感光させてもよい。遮光マスク５０は、例えば、透光性を有する基板５２と、当該基板５２の一面の上に形成された遮光層５４と、を有してもよい。基板５２は、例えばガラス板であってもよい。また、遮光層５４は、クロム、モリブデン等の金属で形成された膜であってもよい。遮光層５４は、形成されるべき樹脂層４１の厚さに対応した遮光性を有していてもよい。例えば、樹脂層４０を構成する樹脂として、ポジ型の感光性を有する樹脂が使用される場合は、遮光層５４は、形成されるべき樹脂層４１の厚さに比例した厚さを有していてもよい。

樹脂層４１は、複数の凸部４２を含んでいてもよい。また、樹脂層４１は、第１金属層３１の反対側に、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて第１金属層３１側から離間するように傾斜した傾斜面４３を含んでいてもよい。傾斜面４３は、樹脂層４１の周縁から、複数の凸部４２のうちの最も樹脂層４１の周縁に近接する凸部４２へ向かうにつれて第１金属層３１側から離間するように傾斜していてもよい。この場合、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて樹脂層４１の厚さが連続的に大きくなっていく。なお、これに限られず、樹脂層４１の第１金属層３１の反対側に位置する面の、凸部４２と周縁との間の領域内に１以上の段差が設けられ、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて樹脂層４１の厚さが段階的に大きくなっていくようにしてもよい。なお、樹脂層４１の中心Ｃ_２は、最終的に形成される蒸着マスク２０の有効領域２２の中心Ｃ_１と一致してもよい。

なお、ここでいう「樹脂層４１の厚さが（連続的に又は段階的に）大きくなっていく」とは、法線方向に沿った樹脂層４１の断面を全体的に見て、樹脂層４１の厚さが、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて大きくなっていくことを意味する。したがって、「樹脂層４１の厚さが（連続的に又は段階的に）大きくなっていく」とは、図８に示されているような、樹脂層４１の厚さが、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて常に大きくなり続けることのみを意味するものではない。言い換えると、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて、樹脂層４１の厚さが変化しない又は小さくなる部分が含まれていても、法線方向に沿った樹脂層４１の断面を全体的に見て、樹脂層４１の厚さが、樹脂層４１の周縁から樹脂層４１の中心Ｃ_２へ向かうにつれて大きくなっていくといえるものは、ここでいう「樹脂層４１の厚さが（連続的に又は段階的に）大きくなっていく」ものに含まれる。

なお、凸部４２を有する樹脂層４１を形成する方法は、上述のフォトリソグラフィー技術を用いた方法に限られない。樹脂層４１は、例えば、ナノインプリント技術等により、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂等を第１金属層３１の第１面３１ａの上に賦型することにより形成される。ここで、凸部４２の断面形状は、賦型で用いる版の断面形状により制御することができる。

樹脂層４１を構成する樹脂としては、例えば、ポジレジストを用いてもよい。

図８に示された凸部４２を有する樹脂層４１が形成された後、図９に示されているように、樹脂層４１の上及び第１金属層３１の第１面３１ａの上に、第２金属層３５を形成する（第２金属層形成工程）。これにより、第２金属層３５には、樹脂層４１の傾斜面４３と互いに補い合う形状を有する傾斜面３７が形成される。第２金属層３５は、例えば、樹脂層４１の上及び第１金属層３１の第１面３１ａの上に、スパッタリング法によりシード層となる金属層を形成し、その後、シード層の上に無電解めっき法により本体層となる金属層を形成してもよい。この場合、第２金属層３５は、シード層及び本体層で構成される。なお、これに限られず、第２金属層３５は、シード層上に電解めっき法により本体層となる金属層を形成することにより形成されてもよいし、電解めっき法、無電解めっき法等のめっき法、物理蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法（ＣＶＤ法）等により、単層又は多層の金属層として形成されてもよい。第２金属層３５は、図９に示されているように全ての凸部４２を完全に覆うように形成されてもよいし、少なくとも一部の凸部４２の先端が第２金属層３５から露出するように形成されてもよい。

次に、図１０に示されているように、第２金属層３５を第１金属層３１と反対側から研磨する（研磨工程）。樹脂層４１の全ての凸部４２が第２金属層３５から露出し、第２金属層３５の厚さが所望の厚さになるまで、第２金属層３５を研磨してもよい。このとき、樹脂層４１の凸部４２の先端側の一部が第２金属層３５と共に研磨されてもよい。これにより、第２金属層３５には、樹脂層４１の凸部４２と互いに補い合う形状を有する貫通孔２５が形成される。第２金属層３５の研磨は、例えば、機械研磨（Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）、化学機械研磨（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）、ウェットエッチング、ドライエッチング及びこれらの組み合わせ、のいずれかにより行われてもよい。なお、研磨工程における最後の研磨として、半導体の平坦化プロセスで用いられる研磨方法、例えば、機械研磨や化学機械研磨等を用いてもよい。この場合、研磨の深さの均一性を図ることができる。

第２金属層３５の上及び樹脂層４１の上を覆うように第１レジスト層４４を形成する。また、第１金属層３１の第２金属層３５と反対側の面（第２面３１ｂ）の上に第２レジスト層（レジスト層）４５を形成する（図１１参照、レジスト層形成工程）。第１レジスト層４４は、後述のエッチング工程において用いられるエッチング液によって第２金属層３５が侵食されることを防止するために設けられる。したがって、他の方法により第２金属層３５が侵食されることが防止される場合には、第１レジスト層４４を省略することも可能である。この場合、例えば、エッチング工程において、エッチング液が第２金属層３５に接触しないようにして孔３３を形成する。第２レジスト層４５は、第１金属層３１の孔３３が形成されるべき箇所に対応する開口４７を有する。開口４７は、平面視において樹脂層４１の複数の凸部４２と重なっている。とりわけ、開口４７は、平面視において１つの有効領域２２に対応する全ての凸部４２と重なっている。第１レジスト層４４及び第２レジスト層４５は、例えば、エッチング工程において用いられるエッチング液に対する耐性を有した樹脂シートを貼着したり、同様の耐性を有した流動性を有する樹脂材料を塗布して硬化させることにより形成することができる。開口４７は、例えばフォトリソグラフィー技術を用いて形成することができる。

次に、第２レジスト層４５をマスクとして、第１金属層３１をエッチングし孔３３を形成する（図１２参照、エッチング工程）。具体的には、第２レジスト層４５の開口４７に露出した第１金属層３１にエッチング液を接触させ、第１金属層３１を第２面３１ｂ側から第１面３１ａ側へ向けてエッチングする。このエッチングは、少なくとも孔３３が樹脂層４１へ到達し、孔３３内に樹脂層４１が露出するまで継続される。エッチング液としては、塩化第二鉄溶液や塩酸を用いてもよい。

ところで、エッチング工程では、図１２に示されているように、エッチングによる浸食は、第１金属層３１の厚さ方向（法線方向）だけでなく、第１金属層３１の平面と平行な方向にも進行する。したがって、平面視において、エッチング工程で形成される孔３３の寸法は、第２レジスト層４５の開口４７の寸法よりも大きくなる。したがって、エッチング工程における第１金属層３１の平面と平行な方向への浸食量を考慮して、開口４７の寸法は、形成されるべき孔３３の寸法よりも小さく設定されることが好ましい。

最後に、樹脂層４１、第１レジスト層４４及び第２レジスト層４５を除去する（除去工程）。これにより、第２金属層３５の貫通孔２５と孔３３とが通じ、図５に示される蒸着マスク２０が得られる。

本開示の蒸着マスクの製造方法は、第１面３１ａと第１面３１ａとは反対側にある第２面３１ｂとを有する第１金属層３１を準備する工程と、第１金属層３１の第１面３１ａの上に、凸部４２を有する樹脂層４１を形成する工程と、樹脂層４１の上及び第１金属層３１の第１面３１ａの上に、第２金属層３５を形成する工程と、第２金属層３５を第１金属層３１と反対側から研磨する工程と、第１金属層３１の第２面３１ｂの上に、平面視において少なくとも部分的に樹脂層４１と重なる開口４７を有するレジスト層４５を形成する工程と、第１金属層３１をエッチングして、開口４７から樹脂層４１に達する孔３３を形成する工程と、樹脂層４１及びレジスト層４５を除去する工程と、を備える。

本開示の蒸着マスク２０は、孔３３を有する第１金属層３１と、貫通孔２５を有し平面視において孔３３と重なる有効領域２２、及び、有効領域２２の周囲に位置し有効領域２２の最小厚さＴ_ｍｉｎよりも大きい厚さＴ_２３を有する周囲領域２３、を有する第２金属層３５と、を備える。

このような蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスク２０によれば、貫通孔２５の配置、形状及び寸法を画定する複数の微細な凸部４２を高密度に配置することができるので、これにより、複数の貫通孔を高密度に配置することが可能になる。したがって、本実施の形態の蒸着マスク２０を用いて、例えば１２００ｐｐｉ以上の画素密度を有する高精細な有機ＥＬ表示装置１００を製造することができる。また、エッチングプロセスを用いて貫通孔を形成する場合には、平面視における貫通孔の隅部が丸くなる傾向にあるが、本実施の形態では、凸部４２の形状により貫通孔２５の形状を画定することができるので、例えば凸部４２の輪郭を平面視で長方形とすることにより、貫通孔２５の平面視における輪郭も長方形に近づけることが可能になる。

また、本実施の形態では、凸部４２の形状により貫通孔２５の輪郭を画定することができるので、貫通孔２５に高精度で安定した輪郭を付与することができる。

エッチングプロセスを用いて貫通孔を形成する方法では、貫通孔の配置を高精細化するために、金属製シートの厚さを小さくすることが考えられる。しかし、金属製シートを薄くすると、金属製シートを搬送する際に当該金属製シートにシワや変形が生じやすくなる。これに対して、本実施の形態では、貫通孔２５を有する第２金属層３５を、当該第２金属層３５を支持可能な第１金属層３１上に形成するので、蒸着マスク２０を搬送する際に第２金属層３５にシワや変形が生じることを効果的に抑制することができる。

エッチングプロセスを用いて貫通孔を形成する方法では、第１面側から形成された穴部及び第２面側から形成された穴部の、金属製シートの法線方向に平行に延びる断面における断面形状は、金属製シートの内部に向けて凸となる曲面形状になる。したがって、残存した金属製シートの断面積が減少し、これにより金属製シートの強度が低下する虞がある。これに対して、本実施の形態では、凸部４２の形状により貫通孔２５の形状を画定することができるので、凸部４２の形状を適切に制御することにより、第２金属層３５の断面積が大きくなるように貫通孔２５の断面形状を調整することができる。したがって、第２金属層３５の強度を十分に確保することができる。

また、隣り合う２つの有効領域２２の間に第２金属層３５を支持する第１金属層３１を配置することができるので、蒸着マスク２０の強度を十分に確保することができる。

Claims (14)

1. 第１面と前記第１面とは反対側にある第２面とを有する第１金属層を準備する工程と、
   前記第１金属層の前記第１面の上に、蒸着マスクに形成されるべき貫通孔の形状及び配置パターンに対応した形状及び配置パターンを有する凸部を有する樹脂層を形成する工程と、
   前記樹脂層の上及び前記第１金属層の前記第１面の上に、第２金属層を形成する工程と、
   前記第２金属層を前記第１金属層と反対側から研磨して、前記凸部を前記第２金属層から露出させる工程と、
   前記第１金属層の前記第２面の上に、平面視において少なくとも部分的に前記樹脂層と重なる開口を有するレジスト層を形成する工程と、
   前記第１金属層をエッチングして、前記開口から前記樹脂層に達する孔を形成する工程と、
   前記樹脂層及び前記レジスト層を除去する工程と、を備えた蒸着マスクの製造方法。
2. 前記第１金属層は、鉄－ニッケル系合金を含む、請求項１に記載の蒸着マスクの製造方法。
3. 前記第２金属層は、鉄－ニッケル系合金を含む、請求項１又は２に記載の蒸着マスクの製造方法。
4. 前記樹脂層は、ポジレジストを含む、請求項１～３のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
5. 前記第１金属層は、１５μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
6. 前記第２金属層は、５μｍ以上３０μｍ以下の最小厚さを有する、請求項１～５のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
7. 前記樹脂層は、フォトリソグラフィー又はナノインプリントにより形成される、請求項１～６のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
8. 前記第２金属層を形成する工程は、電解めっき法、無電解めっき法、物理蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法からなるグループから選択される少なくとも１つにより行われる、請求項１～７のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
9. 前記第２金属層を形成する工程は、
   前記樹脂層の上及び前記第１金属層の前記第１面の上にシード層を形成する工程と、
   前記シード層の上に電解めっき法又は無電解めっき法により本体層を形成する工程と、を含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
10. 前記孔を形成する工程において、前記第１金属層が塩化第二鉄溶液又は塩酸によりエッチングされる、請求項１～９のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
11. 孔を有し且つ１５μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有する第１金属層と、
    貫通孔を有し平面視において前記孔と重なる有効領域、及び、前記有効領域の周囲に位置し前記有効領域の最小厚さよりも大きい厚さを有する周囲領域、を有する第２金属層と、を備えた蒸着マスク。
12. 前記第１金属層は、鉄－ニッケル系合金を含む、請求項１１に記載の蒸着マスク。
13. 前記第２金属層は、鉄－ニッケル系合金を含む、請求項１１又は１２に記載の蒸着マスク。
14. 前記第２金属層は、５μｍ以上３０μｍ以下の最小厚さを有する、請求項１１～１３のいずれか一項に記載の蒸着マスク。