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JP7366586B2 - Liquid ejection head and liquid ejection device - Google Patents

Liquid ejection head and liquid ejection device Download PDF

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JP7366586B2
JP7366586B2 JP2019094015A JP2019094015A JP7366586B2 JP 7366586 B2 JP7366586 B2 JP 7366586B2 JP 2019094015 A JP2019094015 A JP 2019094015A JP 2019094015 A JP2019094015 A JP 2019094015A JP 7366586 B2 JP7366586 B2 JP 7366586B2
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Description

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。 Embodiments of the present invention relate to a liquid ejection head and a liquid ejection device.

各種の液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドとして、複数の圧力室を有し、駆動素子を駆動して圧力室の容積を変形させ、圧力室内の液体をノズルから吐出する技術が知られている。具体例として、液体吐出ヘッドは、複数の圧力室の一次側及び二次側にそれぞれ共通室を有する液体吐出部を有する。そして、液体吐出部を流れる液体は、複数の圧力室の一次側にある共通室に流入し、複数の圧力室を通過し、複数の圧力室の二次側にある共通室を通って液体吐出部の二次側へと排出される。そして、圧力室の容積が増減することで、圧力室内の液体がノズルから液滴として吐出される。 As a liquid ejection head used in various liquid ejection devices, there is a known technology that has a plurality of pressure chambers, drives a drive element to change the volume of the pressure chamber, and ejects the liquid in the pressure chamber from a nozzle. . As a specific example, the liquid ejection head includes a liquid ejection section that has a common chamber on the primary side and the secondary side of a plurality of pressure chambers, respectively. The liquid flowing through the liquid discharge part flows into a common chamber on the primary side of the plurality of pressure chambers, passes through the plurality of pressure chambers, passes through the common chamber on the secondary side of the plurality of pressure chambers, and is discharged. is discharged to the secondary side of the unit. Then, as the volume of the pressure chamber increases or decreases, the liquid within the pressure chamber is discharged as droplets from the nozzle.

このような液体吐出部内の液体の温度は、複数の圧力室の一次側の共通室に液体を供給する位置から最も遠い位置において高くなり、液体吐出部内における液体に温度差が生じる。そこで、液体吐出部内の液体の均熱化が求められている。 The temperature of the liquid in such a liquid discharge section becomes high at a position farthest from a position where the liquid is supplied to a common chamber on the primary side of the plurality of pressure chambers, and a temperature difference occurs in the liquid within the liquid discharge section. Therefore, it is required to equalize the temperature of the liquid within the liquid discharge section.

特開2015-150740号公報Japanese Patent Application Publication No. 2015-150740

本発明が解決しようとする課題は、液体吐出部内の液体の均熱化することができる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a liquid ejection head and a liquid ejection device that can uniformize the temperature of liquid in a liquid ejection section.

一実施形態に係る液体吐出ヘッドは、液体吐出部と、流入管部と、流出管部と、冷却装置と、を備える。液体吐出部は、第1共通室、前記第1共通室に接続された複数の圧力室を構成するアクチュエータ、及び、前記複数の圧力室に接続された第2共通室を含む。流入管部は、前記第1共通室に液体を供給する。流出管部は、前記第2共通室から液体を排出する。冷却装置は、冷却板と冷却液が通過する冷却流路とを含む。前記アクチュエータの長手方向に沿った方向をX方向、前記圧力室を介して前記第1共通室及び前記第2共通室が対向する方向をY方向、前記X方向及び前記Y方向に直交する方向をZ方向としたときに、前記複数の圧力室は、前記Z方向における前記アクチュエータの一端に、前記X方向に沿って並んで設けられる。前記冷却流路は、前記冷却板に設けられる第1冷却流路、及び、前記アクチュエータに設けられる第2冷却流路を含む。前記第2冷却流路は、前記X方向における前記流入管部側よりも、前記X方向における前記流入管部側から最も遠い前記圧力室側が、前記Z方向において前記圧力室に近い位置に設けられる。 A liquid ejection head according to one embodiment includes a liquid ejection section, an inflow pipe section, an outflow pipe section, and a cooling device. The liquid discharge section includes a first common chamber, an actuator that configures a plurality of pressure chambers connected to the first common chamber, and a second common chamber connected to the plurality of pressure chambers. The inflow pipe section supplies liquid to the first common chamber. The outflow pipe section discharges the liquid from the second common chamber. The cooling device includes a cooling plate and a cooling channel through which a cooling liquid passes. The direction along the longitudinal direction of the actuator is the X direction, the direction in which the first common chamber and the second common chamber face each other via the pressure chamber is the Y direction, and the direction perpendicular to the X direction and the Y direction is the direction. When the Z direction is assumed, the plurality of pressure chambers are provided in line along the X direction at one end of the actuator in the Z direction. The cooling channel includes a first cooling channel provided in the cooling plate and a second cooling channel provided in the actuator. The second cooling flow path is provided at a position where the pressure chamber side furthest from the inflow pipe section side in the X direction is closer to the pressure chamber in the Z direction than the inflow pipe section side in the X direction. It will be done.

第1の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を模式的に示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view schematically showing the configuration of a liquid ejection head according to a first embodiment. 同液体吐出ヘッドに用いられるヘッド装置の構成を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of a head device used in the liquid ejection head. 同ヘッド装置の構成を示す側面図。FIG. 3 is a side view showing the configuration of the head device. 同ヘッド装置の要部構成を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of main parts of the head device. 同ヘッド装置の要部構成を示す側面図。FIG. 3 is a side view showing the configuration of main parts of the head device. 同ヘッド装置に用いられる液体吐出部の構成を示す分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view showing the configuration of a liquid ejection section used in the head device. 同液体吐出部の構成を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the liquid discharge section. 同液体吐出部のアクチュエータ及びカバープレートの構成を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing the structure of an actuator and a cover plate of the liquid discharge section. 同アクチュエータの構成を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the actuator. 同液体吐出ヘッドが用いられる液体吐出装置の構成を模式的に示す説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing the configuration of a liquid ejection device in which the same liquid ejection head is used. 同ヘッド装置の液体吐出部における液体の温度分布の一例を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of the temperature distribution of liquid in the liquid ejection section of the head device. 他の実施形態に係る液体吐出ヘッドのヘッド装置の構成を模式的に示す側面図。FIG. 7 is a side view schematically showing the configuration of a head device of a liquid ejection head according to another embodiment.

以下、第1の実施形態に係る液体吐出ヘッド1について、図1乃至図11を用いて説明する。 The liquid ejection head 1 according to the first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 11.

図1は、第1の実施形態に係る液体吐出ヘッド1の構成を模式的に示す斜視図である。図2乃至図5は、ヘッド装置5の構成の全体及び要部を示しており、図2及び図4が斜視図であり、図3及び図5が側面図である。図6及び図7は、ヘッド装置5の液体吐出部10の構成を示す分解斜視図及び断面図である。図8は、液体吐出部10のアクチュエータ21及びカバープレート22の構成を示す斜視図であり、図9は、アクチュエータ21の構成を示す斜視図である。図10は、液体吐出ヘッド1が用いられる液体吐出装置100の構成を模式的に示す説明図である。図11は、液体吐出部10内を流れる温度分布の一例を示す説明図である。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing the configuration of a liquid ejection head 1 according to the first embodiment. 2 to 5 show the entire configuration and essential parts of the head device 5, with FIGS. 2 and 4 being perspective views, and FIGS. 3 and 5 being side views. 6 and 7 are an exploded perspective view and a cross-sectional view showing the configuration of the liquid ejection section 10 of the head device 5. FIG. FIG. 8 is a perspective view showing the structure of the actuator 21 and cover plate 22 of the liquid discharge section 10, and FIG. 9 is a perspective view showing the structure of the actuator 21. FIG. 10 is an explanatory diagram schematically showing the configuration of a liquid ejection apparatus 100 in which the liquid ejection head 1 is used. FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of the temperature distribution flowing inside the liquid discharge section 10.

なお、図中、X、Y、Zは互いに直交する3方向を示し、アクチュエータ21の長手方向に沿った方向をX方向、アクチュエータ21の溝21aの長手方向に沿った方向をY方向、アクチュエータ21及びノズルプレート24の対向方向に沿った方向をZ方向として、以下説明する。また、各図において、説明の便宜上、適宜構成を拡大、縮小又は省略して示す。 In addition, in the figure, X, Y, and Z indicate three directions that are orthogonal to each other. The following description will be made assuming that the direction along the opposing direction of the nozzle plate 24 is the Z direction. Further, in each figure, for convenience of explanation, the configuration is shown enlarged, reduced, or omitted as appropriate.

図1に示すように、液体吐出ヘッド1は、例えば、外郭ケース4と、外郭ケース4に収容される複数のヘッド装置5と、を備えている。 As shown in FIG. 1, the liquid ejection head 1 includes, for example, an outer case 4 and a plurality of head devices 5 housed in the outer case 4.

例えば、液体吐出ヘッド1は、図10に示すインクジェット記録装置などの液体吐出装置100に設けられる。液体吐出ヘッド1は、液体吐出装置100に設けられた液体収容部としての供給タンク132を含む循環装置2に接続され、供給タンク132との間でインクを循環させる循環型のヘッドである。 For example, the liquid ejection head 1 is provided in a liquid ejection apparatus 100 such as an inkjet recording apparatus shown in FIG. The liquid ejection head 1 is a circulation type head that is connected to a circulation device 2 that includes a supply tank 132 as a liquid storage section provided in the liquid ejection apparatus 100 and circulates ink between the supply tank 132 and the supply tank 132 .

図2乃至図6に示すように、ヘッド装置5は、液体吐出部10と、ベースプレート11と、回路基板12と、冷却装置13と、を備えている。例えば、ヘッド装置5は、液体吐出部10、ベースプレート11、回路基板12及び冷却装置13が一体に組み立てられる。ヘッド装置5は、例えばシェアモードシェアウォール方式のヘッドである。例えば、複数のヘッド装置5は、隣り合うヘッド装置5と積層して配置される。ヘッド装置5は、液体吐出ヘッド1として構成され、液体吐出装置100に設けられたときに、例えば液体吐出部10の後述するノズル24aが重力方向で下方に向く姿勢で配置される。 As shown in FIGS. 2 to 6, the head device 5 includes a liquid discharge section 10, a base plate 11, a circuit board 12, and a cooling device 13. For example, in the head device 5, the liquid discharge section 10, the base plate 11, the circuit board 12, and the cooling device 13 are assembled together. The head device 5 is, for example, a share mode share wall type head. For example, the plurality of head devices 5 are arranged in a stacked manner with adjacent head devices 5. The head device 5 is configured as a liquid ejection head 1, and when installed in the liquid ejection apparatus 100, it is arranged such that, for example, a nozzle 24a, which will be described later, of the liquid ejection section 10 faces downward in the direction of gravity.

図2乃至図6に示すように、液体吐出部10は、アクチュエータ21と、アクチュエータ21の両主面を覆う一対のカバープレート22と、アクチュエータ21及びカバープレート22の両主面を覆う一対の流路カバー23と、ノズルプレート24と、を備える。なお、図2及び図3においては、ノズルプレート24を省略して示す。 As shown in FIGS. 2 to 6, the liquid discharge unit 10 includes an actuator 21, a pair of cover plates 22 that cover both main surfaces of the actuator 21, and a pair of flow streams that cover both main surfaces of the actuator 21 and the cover plate 22. It includes a passage cover 23 and a nozzle plate 24. Note that in FIGS. 2 and 3, the nozzle plate 24 is omitted.

アクチュエータ21は、一方向に長い板状に形成される。アクチュエータ21は、例えば一対の圧電部材が積層された積層圧電体で板状に構成されている。圧電部材として例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)が用いられる。一対の圧電部材は分極されている。 The actuator 21 is formed into a plate shape that is long in one direction. The actuator 21 is configured in a plate shape using a laminated piezoelectric body in which a pair of piezoelectric members are laminated, for example. For example, PZT (lead zirconate titanate) is used as the piezoelectric member. The pair of piezoelectric members are polarized.

図4乃至図9に示すように、アクチュエータ21のノズルプレート24に対向する端部は、複数の溝21aと、複数の壁状の駆動素子部21bと、電極21cと、を有する。アクチュエータ21の端部は、アクチュエータ21の長手方向で複数の溝21a及び駆動素子部21bが交互に並んで配される櫛歯状に構成される。即ち、アクチュエータ21のノズルプレート24側の端面に複数の駆動素子部21bが形成され、この複数の駆動素子部21bがX方向に離間して隣接することで、隣接する駆動素子部21bの間にそれぞれ溝21aが構成される。 As shown in FIGS. 4 to 9, the end of the actuator 21 facing the nozzle plate 24 has a plurality of grooves 21a, a plurality of wall-shaped drive element portions 21b, and an electrode 21c. The end portion of the actuator 21 is configured in a comb-like shape in which a plurality of grooves 21a and drive element portions 21b are arranged alternately in the longitudinal direction of the actuator 21. That is, a plurality of drive element parts 21b are formed on the end surface of the actuator 21 on the nozzle plate 24 side, and the plurality of drive element parts 21b are spaced apart and adjacent to each other in the X direction, so that there is a gap between the adjacent drive element parts 21b. A groove 21a is formed respectively.

図7に示すように、電極21cは、各溝21aの内壁に形成される。例えば、各電極21cは、アクチュエータ21上の駆動素子部21bまで配線されている。各電極21cは、例えば、複数の回路基板12の後述するフレキシブル配線基板42を介してドライバIC43に電気的に接続されている。 As shown in FIG. 7, the electrode 21c is formed on the inner wall of each groove 21a. For example, each electrode 21c is wired to the drive element section 21b on the actuator 21. Each electrode 21c is electrically connected to the driver IC 43 via, for example, a flexible wiring board 42 (described later) of the plurality of circuit boards 12.

また、図9に示すように、アクチュエータ21は、冷却装置13の後述する第2冷却流路52bを構成する流路用溝21dを有する。 Further, as shown in FIG. 9, the actuator 21 has a channel groove 21d that constitutes a second cooling channel 52b of the cooling device 13, which will be described later.

一対のカバープレート22は、アクチュエータ21の長手方向と直交する方向、且つ、アクチュエータ21及びノズルプレート24の対向方向に直交する方向におけるアクチュエータ21の主面を覆う。即ち、一対のカバープレート22は、Y方向におけるアクチュエータ21の主面を覆う。 The pair of cover plates 22 cover the main surface of the actuator 21 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the actuator 21 and in a direction perpendicular to the direction in which the actuator 21 and the nozzle plate 24 face each other. That is, the pair of cover plates 22 cover the main surface of the actuator 21 in the Y direction.

図4乃至図8に示すように、カバープレート22は、アクチュエータ21と対向する方向におけるアクチュエータ21に設けられた溝21aと同じ形状に形成された切欠22aを複数有する。一対のカバープレート22のうち一方は、溝21a内のY方向に沿った液体の流れ方向における一次側のアクチュエータ21の主面に設けられる第1カバープレート22Aを形成し、他方は溝21a内のY方向に沿った液体の流れ方向における二次側のアクチュエータ21の主面に設けられる第2カバープレート22Bを形成する。 As shown in FIGS. 4 to 8, the cover plate 22 has a plurality of notches 22a formed in the same shape as the groove 21a provided in the actuator 21 in the direction facing the actuator 21. As shown in FIGS. One of the pair of cover plates 22 forms a first cover plate 22A provided on the main surface of the actuator 21 on the primary side in the liquid flow direction along the Y direction within the groove 21a, and the other forms a first cover plate 22A provided on the main surface of the actuator 21 on the primary side in the liquid flow direction along the Y direction within the groove 21a. A second cover plate 22B is provided on the main surface of the actuator 21 on the secondary side in the liquid flow direction along the Y direction.

複数の切欠22aは、アクチュエータ21に設けられた複数の溝21aと、溝21aの並び方向で一つ置きに対向する。即ち、カバープレート22は、複数の溝21aのうち、一つ置きの複数の溝21aのY方向の開口を切欠22aにより開放するとともに、一つ置きの他の複数の溝21aのY方向の開口を切欠22aが設けられていない領域により閉塞する。 The plurality of notches 22a face the plurality of grooves 21a provided in the actuator 21 every other time in the direction in which the grooves 21a are arranged. That is, the cover plate 22 opens the openings in the Y direction of every other groove 21a among the plurality of grooves 21a by the notch 22a, and opens the openings in the Y direction of every other groove 21a in the Y direction. is closed by a region where the notch 22a is not provided.

換言すると、図5及び図7、図8に示すように、アクチュエータ21及びカバープレート22は、溝21aのY方向の両端の開口が一対のカバープレート22によって閉塞された複数の空気室C1と、一対のカバープレート22の切欠22aによって溝21aのY方向の両端の開口が開放する複数の圧力室C2と、を構成する。そして、これら空気室C1及び圧力室C2は、交互にX方向に沿って並列に配置される。 In other words, as shown in FIGS. 5, 7, and 8, the actuator 21 and the cover plate 22 have a plurality of air chambers C1 in which openings at both ends of the groove 21a in the Y direction are closed by a pair of cover plates 22, The notches 22a of the pair of cover plates 22 constitute a plurality of pressure chambers C2 in which openings at both ends of the groove 21a in the Y direction are open. These air chambers C1 and pressure chambers C2 are alternately arranged in parallel along the X direction.

図2乃至及び図6に示すように、流路カバー23は、板状に形成される。一対の流路カバー23は、Y方向におけるアクチュエータ21及びカバープレート22の外面を覆う。 As shown in FIGS. 2 to 6, the channel cover 23 is formed into a plate shape. A pair of channel covers 23 cover the outer surfaces of the actuator 21 and the cover plate 22 in the Y direction.

一対の流路カバー23のうち一方は、溝21a内のY方向に沿った液体の流れ方向における一次側のアクチュエータ21の主面及びカバープレート22を覆う第1流路カバー23Aを形成する。一対の流路カバー23のうち一方は、溝21a内のY方向に沿った液体の流れ方向における二次側のアクチュエータ21の主面及びカバープレート22を覆う第2流路カバー23Bを形成する。 One of the pair of flow path covers 23 forms a first flow path cover 23A that covers the main surface of the actuator 21 on the primary side and the cover plate 22 in the flow direction of the liquid along the Y direction in the groove 21a. One of the pair of flow path covers 23 forms a second flow path cover 23B that covers the main surface of the actuator 21 on the secondary side and the cover plate 22 in the flow direction of the liquid along the Y direction in the groove 21a.

図4及び図5に示すように、第1流路カバー23Aは、アクチュエータ21を覆う第1カバープレート22Aとの間に、圧力室C2に連通する第1共通室C3を形成する。第1共通室C3は、X方向に延び、全ての圧力室C2と流体的に接続される。第1共通室C3は、ベースプレート11の後述する流入管部31に連通する。第1共通室C3は、流入管部31及び複数の圧力室C2を連通する流入路を構成する。 As shown in FIGS. 4 and 5, the first flow path cover 23A forms a first common chamber C3 communicating with the pressure chamber C2 between the first flow path cover 23A and the first cover plate 22A that covers the actuator 21. The first common chamber C3 extends in the X direction and is fluidly connected to all the pressure chambers C2. The first common chamber C3 communicates with an inflow pipe section 31 of the base plate 11, which will be described later. The first common chamber C3 constitutes an inflow path that communicates the inflow pipe section 31 and the plurality of pressure chambers C2.

具体例として、第1共通室C3は、長手方向の両端部において、ベースプレート11に設けられた一対の流入管部31に連通する。また、第1共通室C3は、複数の圧力室C2の一次側に配置され、複数の圧力室C2に、一対の流入管部31から流入した液体を供給する。 As a specific example, the first common chamber C3 communicates with a pair of inflow pipe sections 31 provided on the base plate 11 at both ends in the longitudinal direction. Further, the first common chamber C3 is arranged on the primary side of the plurality of pressure chambers C2, and supplies liquid flowing into the plurality of pressure chambers C2 from the pair of inflow pipe sections 31.

図4及び図5に示すように、第2流路カバー23Bは、アクチュエータ21を覆う第2カバープレート22Bとの間に、圧力室C2に連通する第2共通室C4を形成する。第2共通室C4は、X方向に延び、全ての圧力室C2と流体的に接続される。第2共通室C4は、ベースプレート11の後述する流出管部32に連通する。第2共通室C4は、複数の圧力室C2及び流出管部32を連通する流出路を構成する。 As shown in FIGS. 4 and 5, the second flow path cover 23B forms a second common chamber C4 communicating with the pressure chamber C2 between the second flow path cover 23B and the second cover plate 22B that covers the actuator 21. The second common chamber C4 extends in the X direction and is fluidly connected to all the pressure chambers C2. The second common chamber C4 communicates with an outflow pipe section 32 of the base plate 11, which will be described later. The second common chamber C4 constitutes an outflow path that communicates the plurality of pressure chambers C2 and the outflow pipe section 32.

具体例として、第2共通室C4は、長手方向の両端部において、ベースプレート11に設けられた一対の流出管部32に連通する。また、第2共通室C4は、複数の圧力室C2の二次側に配置され、複数の圧力室C2から流出した液体を一対の流出管部32へ排出する。 As a specific example, the second common chamber C4 communicates with a pair of outflow pipe sections 32 provided on the base plate 11 at both ends in the longitudinal direction. Further, the second common chamber C4 is arranged on the secondary side of the plurality of pressure chambers C2, and discharges the liquid flowing out from the plurality of pressure chambers C2 to the pair of outflow pipe sections 32.

図4乃至図9に示すように、ノズルプレート24は、一方向に長い板状に構成される。ノズルプレート24は、例えば、圧力室C2に対向して、X方向に並列配置される複数のノズル24aを有する。ノズルプレート24は、ノズル24aが複数配列されて構成されるノズル列を、一列または複数列備える。各ノズル24aは、ノズルプレート24の両主面間を貫通する貫通孔である。 As shown in FIGS. 4 to 9, the nozzle plate 24 has a plate shape that is long in one direction. The nozzle plate 24 has, for example, a plurality of nozzles 24a arranged in parallel in the X direction, facing the pressure chamber C2. The nozzle plate 24 includes one or more nozzle rows each including a plurality of nozzles 24a. Each nozzle 24a is a through hole that penetrates between both main surfaces of the nozzle plate 24.

図2乃至図6に示すように、ベースプレート11は、樹脂やアルミ合金などの材料で板状に構成されている。ベースプレート11は、液体吐出部10、回路基板12及び冷却装置13を保持する。 As shown in FIGS. 2 to 6, the base plate 11 is made of a material such as resin or aluminum alloy and has a plate shape. The base plate 11 holds the liquid discharge section 10, the circuit board 12, and the cooling device 13.

本実施形態において、ベースプレート11は、例えば、一対の第1ベースパーツ11aと、一対の第2ベースパーツ11bと、一つの第3ベースパーツ11cと、一つのベースパーツ11dと、を備える。ベースプレート11は、ベースパーツ11a、11b、11c、11dが連結されることで構成される。 In this embodiment, the base plate 11 includes, for example, a pair of first base parts 11a, a pair of second base parts 11b, one third base part 11c, and one base part 11d. The base plate 11 is configured by connecting base parts 11a, 11b, 11c, and 11d.

ベースプレート11の一方の主面には、回路基板12が設けられる。また、ベースプレート11の回路基板12が設けられる領域には、冷却装置13が設けられる。具体例として、ベースプレート11は、一部がX方向に離間して設けられ、この離間する領域に冷却装置13の後述する冷却板51が設けられる。 A circuit board 12 is provided on one main surface of the base plate 11 . Furthermore, a cooling device 13 is provided in a region of the base plate 11 where the circuit board 12 is provided. As a specific example, a part of the base plate 11 is provided so as to be spaced apart in the X direction, and a cooling plate 51 of the cooling device 13, which will be described later, is provided in this spaced apart area.

また、図2及び図3に示すように、ベースプレート11は、液体吐出部10の一次側に接続される流入管部31と、液体吐出部10の二次側に接続される流出管部32と、を備える。具体例として、流入管部31及び流出管部32は、それぞれ一対設けられる。流入管部31及び流出管部32は、隣接して設けられる。 Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the base plate 11 includes an inflow pipe section 31 connected to the primary side of the liquid discharge section 10 and an outflow pipe section 32 connected to the secondary side of the liquid discharge section 10. , is provided. As a specific example, a pair of inflow pipe portions 31 and a pair of outflow pipe portions 32 are provided. The inflow pipe section 31 and the outflow pipe section 32 are provided adjacent to each other.

本実施形態においては、ベースプレート11のX方向で両端側にそれぞれ、一つの流入管部31及び一つの流出管部32が設けられ、そして、一対の流出管部32が一対の流入管部31よりも冷却装置13の冷却板51側に配置される。 In this embodiment, one inflow pipe section 31 and one outflow pipe section 32 are provided at both ends of the base plate 11 in the X direction, and the pair of outflow pipe sections 32 are connected to the pair of inflow pipe sections 31. Also arranged on the cooling plate 51 side of the cooling device 13.

図2及び図3に示すように、流入管部31は、ベースパーツ11a、11b、11c、11dを連結する方向、換言すると、Z方向にベースパーツ11a、11b、11c、11dを貫通する孔で構成される1本の流入流路31aと、第1ベースパーツ11aに設けられる第1供給管31bと、を有する。 As shown in FIGS. 2 and 3, the inflow pipe section 31 is a hole that penetrates the base parts 11a, 11b, 11c, and 11d in the direction that connects the base parts 11a, 11b, 11c, and 11d, in other words, in the Z direction. The first base part 11a includes one inflow channel 31a and a first supply pipe 31b provided in the first base part 11a.

流入流路31aは、例えば、液体の流れ方向に直交する流路断面の形状が円形であり、流路断面積が一定に構成されている。流入流路31aは、一次側が第1供給管31bに接続され、二次側が液体吐出部10に形成される第1共通室C3に連通する。第1供給管31bは、例えば、循環装置2の接続流路133を介して供給タンク132に接続される。 The inflow channel 31a has, for example, a circular channel cross-section perpendicular to the flow direction of the liquid, and is configured to have a constant channel cross-sectional area. The inflow channel 31a is connected to the first supply pipe 31b on the primary side, and communicates with the first common chamber C3 formed in the liquid discharge section 10 on the secondary side. The first supply pipe 31b is connected to the supply tank 132 via a connection channel 133 of the circulation device 2, for example.

図2及び図3に示すように、流出管部32は、Z方向にベースパーツ11a、11b、11c、11dを貫通する孔で構成される流出流路32aと、第1ベースパーツ11aに設けられる第1排出管32bと、を有する。 As shown in FIGS. 2 and 3, the outflow pipe section 32 includes an outflow channel 32a formed of holes penetrating the base parts 11a, 11b, 11c, and 11d in the Z direction, and an outflow channel 32a provided in the first base part 11a. It has a first discharge pipe 32b.

流出流路32aは、例えば、液体の流れ方向に直交する流路断面の形状が円形であり、流路断面積が一定に構成されている。流出流路32aは、一つの孔により構成されていても、複数の孔により構成される複数の流路により形成されていても良い。流出流路32aは、二次側が第1排出管32bに接続され、一次側が液体吐出部10に形成される第2共通室C4に連通する。第1排出管32bは、例えば、循環装置2の接続流路133を介して供給タンク132に接続される。 The outflow channel 32a has, for example, a circular cross-sectional shape perpendicular to the flow direction of the liquid, and has a constant cross-sectional area. The outflow channel 32a may be formed by one hole, or may be formed by a plurality of channels each formed by a plurality of holes. The outflow channel 32a has a secondary side connected to the first discharge pipe 32b, and a primary side communicates with a second common chamber C4 formed in the liquid discharge section 10. The first discharge pipe 32b is connected to the supply tank 132 via a connection channel 133 of the circulation device 2, for example.

図3乃至図5に示すように、回路基板12は、制御基板41と、制御基板41に設けられた複数のフレキシブル配線基板42と、フレキシブル配線基板42のそれぞれに設けられたドライバIC43と、を備える。制御基板41は、例えば、矩形の板状である。制御基板41は、ベースプレート11の一方の主面であって、且つ、冷却装置13の冷却板51が設けられる領域に配置される。 As shown in FIGS. 3 to 5, the circuit board 12 includes a control board 41, a plurality of flexible wiring boards 42 provided on the control board 41, and a driver IC 43 provided on each of the flexible wiring boards 42. Be prepared. The control board 41 has a rectangular plate shape, for example. The control board 41 is arranged on one main surface of the base plate 11 in a region where the cooling plate 51 of the cooling device 13 is provided.

フレキシブル配線基板42は、X方向に複数が並列に配置される。フレキシブル配線基板42は、一端が制御基板41に、他端側がアクチュエータ21の複数の電極21cに接続される。ドライバIC43は、フレキシブル配線基板42のY方向でベースプレート11と対向する側の主面に実装される。ドライバIC43は、例えば、高い熱伝導性を有するグリスやシート等を介して冷却装置13の冷却板51に接して配置される。ドライバIC43は、フレキシブル配線基板42を介して、制御基板41上の配線及び電極21cに電気的に接続される。 A plurality of flexible wiring boards 42 are arranged in parallel in the X direction. The flexible wiring board 42 has one end connected to the control board 41 and the other end connected to the plurality of electrodes 21c of the actuator 21. The driver IC 43 is mounted on the main surface of the flexible wiring board 42 on the side facing the base plate 11 in the Y direction. The driver IC 43 is placed in contact with the cooling plate 51 of the cooling device 13 via, for example, grease or a sheet having high thermal conductivity. The driver IC 43 is electrically connected to the wiring on the control board 41 and the electrode 21c via the flexible wiring board 42.

図2乃至図5に示すように、冷却装置13は、冷却板51と、冷却流路52と、冷却流路52の一次側の端部に設けられた第2供給管53と、冷却流路52の二次側の端部に設けられた第2排出管54と、冷却液供給回路55と、を備える。冷却装置13は、例えば、冷却液として水を用いて冷却板51と接する部材、本実施形態においては、制御基板41の実装品、ドライバIC43、及び、液体吐出部10の一部を冷却する。 As shown in FIGS. 2 to 5, the cooling device 13 includes a cooling plate 51, a cooling channel 52, a second supply pipe 53 provided at the primary end of the cooling channel 52, and a cooling channel 52. A second discharge pipe 54 provided at the end of the secondary side of the cooling liquid supply circuit 52 and a coolant supply circuit 55 are provided. The cooling device 13 uses, for example, water as a cooling liquid to cool the members that come into contact with the cooling plate 51, in this embodiment, the components mounted on the control board 41, the driver IC 43, and a part of the liquid discharge section 10.

冷却板51は、例えば、アルミニウム材料等の熱伝導性に優れた金属材料で形成される。冷却板51は、例えば、矩形状に形成される。冷却板51は、少なくともドライバIC43と接触する。例えば、冷却板51は、ベースプレート11に配置されたときに、制御基板41に実装された発熱する電子部品及びドライバIC43と対向する形状に形成され、当該電子部品及びドライバIC43と接触する。 The cooling plate 51 is made of a metal material with excellent thermal conductivity, such as aluminum material, for example. The cooling plate 51 is, for example, formed in a rectangular shape. The cooling plate 51 contacts at least the driver IC 43. For example, when the cooling plate 51 is placed on the base plate 11, it is formed in a shape that faces the heat-generating electronic components and the driver IC 43 mounted on the control board 41, and comes into contact with the electronic components and the driver IC 43.

冷却流路52は、例えば、冷却板51及び液体吐出部10に設けられる。また、例えば、冷却板51に設けた冷却流路52の一部及び液体吐出部10に設けられた冷却流路52の一部を連続するために、冷却流路52の他の一部は、ベースプレート11に設けられている。 The cooling channel 52 is provided in the cooling plate 51 and the liquid discharge part 10, for example. Further, for example, in order to connect a part of the cooling channel 52 provided in the cooling plate 51 and a part of the cooling channel 52 provided in the liquid discharge part 10, the other part of the cooling channel 52 is It is provided on the base plate 11.

図3に示すように、冷却流路52は、例えば、冷却板51に設けられる孔により形成される第1冷却流路52aと、アクチュエータ21の流入管部31から最も遠い圧力室C2に近接する位置を含む領域に設けられた第2冷却流路52bと、第1冷却流路52a及び第2冷却流路52bを連続する第3冷却流路52cと、を含む。 As shown in FIG. 3, the cooling channel 52 is close to a first cooling channel 52a formed by holes provided in the cooling plate 51 and a pressure chamber C2 furthest from the inflow pipe section 31 of the actuator 21, for example. It includes a second cooling channel 52b provided in a region including the position, and a third cooling channel 52c that connects the first cooling channel 52a and the second cooling channel 52b.

第1冷却流路52aは、例えば、一次側及び二次側の端部が、冷却板51がベースプレート11に配置された姿勢で、冷却板51のY方向で液体吐出部10と対向する端部とは反対側の端部であって、且つ、X方向における両端側に配置される。第1冷却流路52aは、一端から一方の流出管部32に隣接する位置を通って冷却板51の液体吐出部10と隣接する端部側に向かってZ方向に延びるとともに、冷却板51の液体吐出部10と対向する端部側からX方向に延びる。また、第1冷却流路52aは、冷却板51の液体吐出部10と対向する端部のX方向で中央側において冷却板51の中央側を通って、さらに冷却板51の液体吐出部10と対向する端部側へと戻りX方向に延びる。さらに、第1冷却流路52aは、冷却板51のX方向で端部側から他方の流出管部32に隣接する位置を通って他端に向かってZ方向に延びる。 The first cooling channel 52a has, for example, an end on the primary side and a secondary side facing the liquid discharge part 10 in the Y direction of the cooling plate 51 with the cooling plate 51 disposed on the base plate 11. The end portion is located on the opposite side to the end portion and is arranged on both end sides in the X direction. The first cooling channel 52a extends in the Z direction from one end through a position adjacent to one of the outflow pipe portions 32 toward the end of the cooling plate 51 adjacent to the liquid discharge portion 10, and It extends in the X direction from the end side facing the liquid discharge section 10 . Further, the first cooling channel 52a passes through the center side of the cooling plate 51 at the center side in the X direction of the end facing the liquid discharge part 10 of the cooling plate 51, and further connects to the liquid discharge part 10 of the cooling plate 51. It returns to the opposite end side and extends in the X direction. Further, the first cooling channel 52a extends from the end side of the cooling plate 51 in the X direction to the Z direction through a position adjacent to the other outflow pipe section 32 toward the other end.

図3及び図9に示すように、第2冷却流路52bは、一次側及び二次側の端部が、冷却板51の第1冷却流路52aと第3冷却流路52cを介して流体的に接続される。第2冷却流路52bは、アクチュエータ21の流入管部31から離れた位置の一部に少なくとも設けられる。第2冷却流路52bの一部は、アクチュエータ21の流入管部31から最も離れた圧力室C2に近接して配置される。 As shown in FIGS. 3 and 9, the primary and secondary ends of the second cooling channel 52b are connected to the first cooling channel 52a and the third cooling channel 52c of the cooling plate 51. connected. The second cooling flow path 52b is provided at least in a portion of the actuator 21 at a position away from the inflow pipe portion 31. A portion of the second cooling flow path 52b is arranged close to the pressure chamber C2 that is farthest from the inflow pipe portion 31 of the actuator 21.

具体的に説明すると、ヘッド装置5の電極21cに駆動電圧を印加し、駆動素子部21bを駆動させると駆動素子部21b及び電極21cが発熱し、圧力室C2を通過する液体が加熱される。このため、液体吐出部10内の液体の温度は、流入管部31から遠くなるほど高くなる。 Specifically, when a drive voltage is applied to the electrode 21c of the head device 5 and the drive element section 21b is driven, the drive element section 21b and the electrode 21c generate heat, and the liquid passing through the pressure chamber C2 is heated. Therefore, the temperature of the liquid in the liquid discharge section 10 increases as the distance from the inflow pipe section 31 increases.

具体例を説明すると、本実施形態のヘッド装置5によれば、一対の流入管部31が第1共通室C3の長手方向で両端部に設けられる。このため、図11に示すように、液体吐出部10内の液体の温度は、液体吐出部10の長手方向で両端が低温となり、そして、中央が高温となる。また、液体吐出部10内の液体の温度は、液体吐出部10の短手方向で第1共通室C3側が低温となり、そして、圧力室C2で加熱され、第2共通室C4側が高温となる。 To explain a specific example, according to the head device 5 of this embodiment, a pair of inflow pipe portions 31 are provided at both ends in the longitudinal direction of the first common chamber C3. Therefore, as shown in FIG. 11, the temperature of the liquid in the liquid discharge section 10 is low at both ends in the longitudinal direction of the liquid discharge section 10, and high at the center. Further, the temperature of the liquid in the liquid discharge section 10 is low on the first common chamber C3 side in the lateral direction of the liquid discharge section 10, and heated in the pressure chamber C2, and high on the second common chamber C4 side.

よって、本実施形態に係るヘッド装置5において、液体吐出部10内の液体の温度は、第2共通室C4の長手方向で中央が最も温度が高くなる。 Therefore, in the head device 5 according to the present embodiment, the temperature of the liquid in the liquid discharge section 10 is highest at the center in the longitudinal direction of the second common chamber C4.

このため、図3、図8及び図9に示すように、第2冷却流路52bは、例えば、アクチュエータ21のY方向で第2流路カバー23Bと対向する主面に設けられる流路用溝21d及び流路用溝21dを覆う第2カバープレート22Bにより形成される。加えて、第2冷却流路52bは、例えば、第2冷却流路52bの一対の流入管部31から最も遠い圧力室C2及び一対の流入管部31から最も遠い圧力室C2に隣接するいくつかの圧力室C2と対向する部位が、第2冷却流路52bの他の部位よりも最も圧力室C2と近接する。 Therefore, as shown in FIG. 3, FIG. 8, and FIG. 9, the second cooling channel 52b is, for example, a channel groove provided on the main surface of the actuator 21 facing the second channel cover 23B in the Y direction. 21d and a second cover plate 22B that covers the channel groove 21d. In addition, the second cooling flow path 52b includes, for example, a pressure chamber C2 furthest from the pair of inflow pipe sections 31 of the second cooling flow path 52b and several adjacent pressure chambers C2 furthest from the pair of inflow pipe sections 31. The portion facing the pressure chamber C2 is closest to the pressure chamber C2 than other portions of the second cooling flow path 52b.

具体例として、図9に示すように、第2冷却流路52bを構成するアクチュエータ21の流路用溝21dは、Z方向に沿う複数の第1溝21d1及びX方向に沿う複数の第2溝21d2及び一つの第3溝21d3により形成される。複数の第2溝21d2と一つの第3溝21d3とは、アクチュエータ21の冷却板51と対向する端部からZ方向の距離が異なる二つの位置に設けられる。第3溝21d3は、アクチュエータ21の冷却板51と対向する端部からZ方向で第2溝21d2よりも遠い位置に設けられる。第3溝21d3は、アクチュエータ21の中央部の少なくとも一対の流入管部31から最も遠い圧力室C2を含むいくつかの圧力室C2と対向する範囲に設けられる。 As a specific example, as shown in FIG. 9, the channel grooves 21d of the actuator 21 constituting the second cooling channel 52b include a plurality of first grooves 21d1 along the Z direction and a plurality of second grooves along the X direction. 21d2 and one third groove 21d3. The plurality of second grooves 21d2 and one third groove 21d3 are provided at two positions at different distances in the Z direction from the end of the actuator 21 facing the cooling plate 51. The third groove 21d3 is provided at a position farther from the end of the actuator 21 facing the cooling plate 51 than the second groove 21d2 in the Z direction. The third groove 21d3 is provided in a range facing several pressure chambers C2 including the pressure chamber C2 furthest from at least one pair of inflow pipe portions 31 in the center of the actuator 21.

図3に示すように、第3冷却流路52cは、第2冷却流路52bの一次側及び二次側にそれぞれ設けられる。一対の第3冷却流路52cは、第1冷却流路52a及び第2冷却流路52bを流体的に接続する。例えば、一対の第3冷却流路52cは、ベースプレート11の第3ベースパーツ11c及び第4ベースパーツ11dに形成された孔により構成される。なお、冷却流路52の形状や配置は、適宜設定される。 As shown in FIG. 3, the third cooling channel 52c is provided on the primary side and the secondary side of the second cooling channel 52b, respectively. A pair of third cooling channels 52c fluidly connects the first cooling channel 52a and the second cooling channel 52b. For example, the pair of third cooling channels 52c are configured by holes formed in the third base part 11c and the fourth base part 11d of the base plate 11. Note that the shape and arrangement of the cooling channel 52 are set as appropriate.

第2供給管53及び第2排出管54は、基部51aに固定され、第1冷却流路52aの一端及び他端に接続される。第2供給管53及び第2排出管54は、例えば、冷却液供給回路55に接続される。冷却液供給回路55は、例えば、冷却液を供給する配管やチューブ等の流路及びポンプを有する。 The second supply pipe 53 and the second discharge pipe 54 are fixed to the base 51a and connected to one end and the other end of the first cooling channel 52a. The second supply pipe 53 and the second discharge pipe 54 are connected to, for example, a coolant supply circuit 55. The coolant supply circuit 55 includes, for example, a flow path such as a pipe or a tube for supplying the coolant, and a pump.

次に、液体吐出ヘッド1を有する液体吐出装置100について、図10を用いて説明する。図10に示すように、液体吐出装置100は、筐体111と、媒体供給部112と、画像形成部113と、媒体排出部114と、支持装置である搬送装置115と、制御部116と、を備える。 Next, a liquid ejection apparatus 100 having the liquid ejection head 1 will be described using FIG. 10. As shown in FIG. 10, the liquid ejection apparatus 100 includes a housing 111, a medium supply section 112, an image forming section 113, a medium discharge section 114, a transport device 115 as a support device, a control section 116, Equipped with

液体吐出装置100は、例えば、インクジェットプリンタである。液体吐出装置100は、媒体供給部112から画像形成部113を通って媒体排出部114に至る所定の搬送路A1に沿って、吐出対象物である記録媒体として例えば用紙Pを搬送する。そして、液体吐出装置100は、液体としてインクを吐出することで、搬送した用紙Pに画像形成処理を行う。 The liquid ejection device 100 is, for example, an inkjet printer. The liquid ejection apparatus 100 transports, for example, a paper P as a recording medium, which is an object to be ejected, along a predetermined transport path A1 from a medium supply section 112 through an image forming section 113 to a medium discharge section 114. Then, the liquid ejection device 100 performs an image forming process on the transported paper P by ejecting ink as a liquid.

媒体供給部112は複数の給紙カセット112aを備える。媒体排出部114は、排紙トレイ114aを備える。画像形成部113は、用紙を支持する支持部117と、支持部117の上方に対向配置された複数のヘッドユニット130と、を備える。 The medium supply unit 112 includes a plurality of paper feed cassettes 112a. The medium discharge section 114 includes a paper discharge tray 114a. The image forming section 113 includes a support section 117 that supports paper, and a plurality of head units 130 arranged above the support section 117 and facing each other.

支持部117は、画像形成を行う所定領域にループ状に備えられる搬送ベルト118と、搬送ベルト118を裏側から支持する支持プレート119と、搬送ベルト118の裏側に備えられた複数のベルトローラ120と、を備える。 The support unit 117 includes a conveyor belt 118 provided in a loop shape in a predetermined area where image formation is performed, a support plate 119 that supports the conveyor belt 118 from the back side, and a plurality of belt rollers 120 provided on the back side of the conveyor belt 118. , is provided.

ヘッドユニット130は、複数の液体吐出ヘッドである液体吐出ヘッド1と、循環装置2と、を備える。循環装置2は、例えば、各液体吐出ヘッド1上にそれぞれ搭載された液体タンクとしての複数の供給タンク132と、液体吐出ヘッド1と供給タンク132とを接続する接続流路133と、循環部である循環ポンプ134と、を備える。ヘッドユニット130は、液体を循環させる循環型のヘッドユニットである。 The head unit 130 includes a liquid ejection head 1, which is a plurality of liquid ejection heads, and a circulation device 2. The circulation device 2 includes, for example, a plurality of supply tanks 132 as liquid tanks mounted on each liquid ejection head 1, a connection channel 133 connecting the liquid ejection head 1 and the supply tank 132, and a circulation section. A certain circulation pump 134 is provided. The head unit 130 is a circulation type head unit that circulates liquid.

本実施形態において、液体吐出ヘッド1としてシアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの4色のインクを液体として吐出する液体吐出ヘッド1C,1M,1Y,1Bと、これらの各色のインクをそれぞれ収容する供給タンク132として、供給タンク132C,132M,132Y,132Bと、を備える。供給タンク132は接続流路133によって液体吐出ヘッド1に接続される。接続流路133は、液体吐出ヘッド1の流入管部31に接続される供給流路133aと、液体吐出ヘッド1の流出管部32に接続される回収流路133bと、を備える。 In this embodiment, the liquid ejection head 1 includes liquid ejection heads 1C, 1M, 1Y, and 1B that eject ink of four colors cyan, magenta, yellow, and black as liquid, and a supply tank that accommodates the ink of each of these colors. As 132, supply tanks 132C, 132M, 132Y, and 132B are provided. The supply tank 132 is connected to the liquid ejection head 1 by a connection channel 133. The connection channel 133 includes a supply channel 133a connected to the inflow pipe section 31 of the liquid ejection head 1, and a recovery channel 133b connected to the outflow pipe section 32 of the liquid ejection head 1.

また、供給タンク132には、図示しないポンプなどの負圧制御装置が連結されている。そして、液体吐出ヘッド1と供給タンク132との水頭値に対応して、負圧制御装置により供給タンク132内を負圧制御することで、液体吐出ヘッド1の各ノズル24aに供給された液体は所定形状のメニスカスに形成される。 Further, a negative pressure control device such as a pump (not shown) is connected to the supply tank 132. The liquid supplied to each nozzle 24a of the liquid ejection head 1 is then It is formed into a meniscus of a predetermined shape.

循環ポンプ134は、例えば圧電ポンプで構成される送液ポンプである。循環ポンプ134は、供給流路133aに設けられている。循環ポンプ134は、配線により制御部116に接続され、CPU(Central Processing Unit)116aの制御によって制御可能に構成されている。循環ポンプ134は、液体吐出ヘッド1と供給タンク132を含む循環流路で液体を循環させる。 The circulation pump 134 is, for example, a liquid pump made up of a piezoelectric pump. The circulation pump 134 is provided in the supply channel 133a. The circulation pump 134 is connected to the control unit 116 by wiring, and is configured to be controllable under the control of a CPU (Central Processing Unit) 116a. The circulation pump 134 circulates the liquid in a circulation flow path that includes the liquid discharge head 1 and the supply tank 132.

搬送装置115は、媒体供給部112の給紙カセット112aから画像形成部113を通って媒体排出部114の排紙トレイ114aに至る搬送路A1に沿って、用紙Pを搬送する。搬送装置115は、搬送路A1に沿って配置される複数のガイドプレート対121a~121hと、複数の搬送用ローラ122a~122hと、を備えている。搬送装置115は、用紙Pを液体吐出ヘッド1に相対移動可能に支持する。 The transport device 115 transports the paper P along a transport path A1 from the paper feed cassette 112a of the medium supply section 112 through the image forming section 113 to the paper discharge tray 114a of the medium discharge section 114. The conveyance device 115 includes a plurality of guide plate pairs 121a to 121h arranged along the conveyance path A1 and a plurality of conveyance rollers 122a to 122h. The transport device 115 supports the paper P so as to be movable relative to the liquid ejection head 1 .

制御部116は、プロセッサの一例としてのCPU(中央制御装置)116aと、各種のプログラムなどを記憶するROM(Read Only Memory)と、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶するRAM(Random Access Memory)と、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェイス部と、を備える。 The control unit 116 includes a CPU (central control unit) 116a as an example of a processor, a ROM (Read Only Memory) that stores various programs, and a RAM (RAM) that temporarily stores various variable data, image data, etc. Random Access Memory), and an interface unit that inputs data from the outside and outputs data to the outside.

このように構成された液体吐出ヘッド1及び液体吐出装置100によれば、循環装置2の循環ポンプ134が駆動されることで、液体は、供給タンク132及び接続流路133から、流入管部31及び第1共通室C3を通って複数の圧力室C2へ至る。 According to the liquid ejection head 1 and the liquid ejection device 100 configured in this way, the circulation pump 134 of the circulation device 2 is driven, so that the liquid is transferred from the supply tank 132 and the connection channel 133 to the inflow pipe section 31. and reaches the plurality of pressure chambers C2 through the first common chamber C3.

ノズル24aから液体を吐出する場合には、制御部116は、ドライバIC43を制御し、駆動素子部21bに駆動電圧を印加して、ノズル24aから液体を吐出する。具体例として、ドライバIC43は、駆動電圧をアクチュエータ21の複数の溝21aに設けられた電極21cに印加する。このとき、ドライバIC43は、駆動する圧力室C2内の電極21cと、両隣の空気室C1の電極21cに電位差を与える。すると、図7の一つの駆動素子部21bに示すように、アクチュエータ21を構成する一対の圧電材料が互いに逆向きに変形し、駆動素子部21bが屈曲変形する。ドライバIC43は、異なる方向の屈曲変形を交互に繰り返すことで、圧力室C2の容積を増減し、圧力室C2に対向するノズル24aから液体を液滴として吐出する。 When ejecting liquid from the nozzle 24a, the control section 116 controls the driver IC 43, applies a drive voltage to the drive element section 21b, and ejects the liquid from the nozzle 24a. As a specific example, the driver IC 43 applies a driving voltage to the electrodes 21c provided in the plurality of grooves 21a of the actuator 21. At this time, the driver IC 43 applies a potential difference between the electrode 21c in the pressure chamber C2 to be driven and the electrodes 21c in the air chambers C1 on both sides. Then, as shown in one drive element section 21b in FIG. 7, the pair of piezoelectric materials forming the actuator 21 are deformed in opposite directions, and the drive element section 21b is bent and deformed. The driver IC 43 increases or decreases the volume of the pressure chamber C2 by alternately repeating bending deformation in different directions, and discharges liquid as droplets from the nozzle 24a facing the pressure chamber C2.

また、ノズル24aから吐出されなかった液体は、圧力室C2から第2共通室C4、流出管部32及び接続流路133を通って供給タンク132に回収される。このように、液体吐出ヘッド1に供給される液体は、循環装置2及び液体吐出ヘッド1内を循環する。 Further, the liquid that has not been discharged from the nozzle 24a is collected from the pressure chamber C2 into the supply tank 132 through the second common chamber C4, the outflow pipe section 32, and the connection channel 133. In this way, the liquid supplied to the liquid ejection head 1 circulates within the circulation device 2 and the liquid ejection head 1.

なお、電極21cに駆動電圧を印加し、駆動素子部21bを駆動させると、駆動素子部21b及び電極21cが発熱することから、圧力室C2を通過する液体が加熱される。しかしながら、本実施形態の液体吐出ヘッド1は、冷却装置13の冷却液が流れる冷却流路52の一部として液体吐出部10のアクチュエータ21を流れる第2冷却流路52bを備える構成とした。 Note that when a drive voltage is applied to the electrode 21c and the drive element section 21b is driven, the drive element section 21b and the electrode 21c generate heat, so that the liquid passing through the pressure chamber C2 is heated. However, the liquid ejection head 1 of the present embodiment is configured to include a second cooling flow path 52b that flows through the actuator 21 of the liquid ejection section 10 as a part of the cooling flow path 52 through which the cooling liquid of the cooling device 13 flows.

このため、冷却装置13は、冷却液を第2冷却流路52bに通過させることで、アクチュエータ21及び第2カバープレート22Bを冷却する。これにより、液体吐出ヘッド1は、一対の流入管部31から最も遠い位置を含む領域及び当該領域にある圧力室C2及び第2共通室C4内の液体を冷却できる。 Therefore, the cooling device 13 cools the actuator 21 and the second cover plate 22B by passing the cooling liquid through the second cooling channel 52b. Thereby, the liquid ejection head 1 can cool the liquid in the area including the farthest position from the pair of inflow pipe sections 31 and the pressure chamber C2 and the second common chamber C4 in this area.

よって、複数の圧力室C2のうち流入管部31から遠い位置にある一部の圧力室C2内のノズルプレート24の表面である吐出面の液体が冷却されることになり、複数の吐出面における液体温度の最大値と最小値の差を低減できる。このように、液体吐出ヘッド1は、複数の圧力室C2の吐出面の液体の均熱化及び液体の温度の低減が可能となる。結果、液体吐出ヘッド1は、複数の圧力室C2における吐出面の液体(インク)の温度のばらつきによる粘度差を抑制し、印字の高精細性が低下することを防止できる。 Therefore, the liquid on the discharge surface, which is the surface of the nozzle plate 24, in some pressure chambers C2 located far from the inflow pipe section 31 among the plurality of pressure chambers C2 is cooled, and the liquid on the discharge surface of the plurality of discharge surfaces is cooled. The difference between the maximum and minimum liquid temperature can be reduced. In this way, the liquid ejection head 1 can equalize the temperature of the liquid on the ejection surfaces of the plurality of pressure chambers C2 and reduce the temperature of the liquid. As a result, the liquid ejection head 1 can suppress viscosity differences due to variations in the temperature of the liquid (ink) on the ejection surface in the plurality of pressure chambers C2, and can prevent the high definition of printing from deteriorating.

また、液体吐出部10内で高温となる液体を冷却装置13で冷却することから、液体吐出ヘッド1を循環装置2に接続し、液体を循環させる液体吐出装置100においては、供給タンク132に戻る液体の温度を低減できる。このため、循環装置2によって液体を循環させた場合であっても、液体の温度が上昇することを抑制できる。加えて、冷却装置13は、制御基板41の電装品やドライバIC43を冷却板51によって冷却することもできる。 In addition, since the liquid that becomes high temperature in the liquid discharge section 10 is cooled by the cooling device 13, the liquid discharge head 1 is connected to the circulation device 2, and in the liquid discharge device 100 that circulates the liquid, the liquid returns to the supply tank 132. The temperature of the liquid can be reduced. Therefore, even when the liquid is circulated by the circulation device 2, it is possible to suppress the temperature of the liquid from increasing. In addition, the cooling device 13 can also cool the electrical components of the control board 41 and the driver IC 43 using the cooling plate 51.

上述したように一実施形態に係る液体吐出ヘッド1及び液体吐出装置100によれば、液体吐出部10内の液体の均熱化することができる。具体的に説明すると、冷却装置13の冷却流路52は、液体吐出部10内の流入管部31から最も遠い圧力室C2及びこの圧力室C2に近いいくつかの圧力室C2に近接する部位に冷却液を通過させる第3溝21d3を有する。よって、冷却装置13は、液体吐出部10内において液体の温度が比較的高くなる液体吐出部10の流入管部31から最も遠い位置を含む領域を冷却できる。これにより、複数の吐出面において比較的温度が高くなる液体が冷却される。よって、液体吐出ヘッド1及び液体吐出装置100は、複数の圧力室C2の吐出面の液体の温度を均熱化可能、且つ、液体の温度を低減可能となる。 As described above, according to the liquid ejection head 1 and the liquid ejection apparatus 100 according to one embodiment, the temperature of the liquid in the liquid ejection section 10 can be equalized. To be more specific, the cooling channel 52 of the cooling device 13 is located in the pressure chamber C2 furthest from the inflow pipe section 31 in the liquid discharge section 10 and in a region close to several pressure chambers C2 close to this pressure chamber C2. It has a third groove 21d3 through which the cooling liquid passes. Therefore, the cooling device 13 can cool a region of the liquid discharging section 10 that includes a position farthest from the inflow pipe section 31 of the liquid discharging section 10 where the temperature of the liquid is relatively high. As a result, the liquid whose temperature is relatively high on the plurality of discharge surfaces is cooled. Therefore, the liquid ejection head 1 and the liquid ejection apparatus 100 can equalize the temperature of the liquid on the ejection surfaces of the plurality of pressure chambers C2, and can reduce the temperature of the liquid.

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments as they are, but can be implemented by modifying the constituent elements within the scope of the invention at the implementation stage.

上述した例では、液体吐出ヘッド1のヘッド装置5は、一対の流入管部31及び一対の流出管部32を有する構成を説明したがこれに限定されない。例えば、図12に示す他の実施形態に係る液体吐出ヘッド1のヘッド装置5Aように、一つの流入管部31及び一つの流出管部32を有する構成としてもよい。このような構成のヘッド装置5Aとする場合には、第2流路カバー23Bの流入管部31から最も遠い端部側において液体の温度が高くなることから、冷却装置13の第2冷却流路52bを一つの流入管部31から最も遠い、アクチュエータ21のX方向で流入管部31とは反対側の端部側の一部の圧力室C2に近づける構成とすればよい。また、一つの流入管部31及び一つの流出管部32を隣接して配置するのではなく、液体吐出部10の長手方向で一方の端部に一つの流入管部31を、他方の端部に一つの流出管部32を設ける構成としてもよい。 In the example described above, the head device 5 of the liquid ejection head 1 has a configuration having a pair of inflow pipe sections 31 and a pair of outflow pipe sections 32, but the present invention is not limited to this. For example, it may be configured to have one inflow pipe section 31 and one outflow pipe section 32, like a head device 5A of a liquid ejection head 1 according to another embodiment shown in FIG. In the case of the head device 5A having such a configuration, since the temperature of the liquid is high at the end of the second flow path cover 23B farthest from the inflow pipe portion 31, the second cooling flow path of the cooling device 13 is 52b may be brought closer to a part of the pressure chamber C2 on the end side opposite to the inflow pipe part 31 in the X direction of the actuator 21, which is farthest from one inflow pipe part 31. Furthermore, instead of arranging one inflow pipe section 31 and one outflow pipe section 32 adjacent to each other, one inflow pipe section 31 is arranged at one end in the longitudinal direction of the liquid discharge section 10, and one inflow pipe section 31 is arranged at the other end in the longitudinal direction of the liquid discharge section 10. It is also possible to have a configuration in which one outflow pipe section 32 is provided.

また、上述した例では、第2冷却流路52bをアクチュエータ21に設けられた流路用溝21d及び第2カバープレート22Bにより構成する例を説明したがこれに限定されない。例えば、第2流路カバー23Bに第2冷却流路52bを設ける構成としてもよい。 Further, in the above-described example, the second cooling flow path 52b is configured by the flow path groove 21d provided in the actuator 21 and the second cover plate 22B, but the present invention is not limited thereto. For example, the second cooling flow path 52b may be provided in the second flow path cover 23B.

また、例えば、上述した例では、液体吐出ヘッド1は、複数のヘッド装置5を有する構成としたがこれに限定されず、液体吐出ヘッド1は、ヘッド装置5を一つだけ備える構成であってもよい。 Further, for example, in the above-described example, the liquid ejection head 1 is configured to have a plurality of head devices 5, but the present invention is not limited to this, and the liquid ejection head 1 is configured to include only one head device 5. Good too.

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、液体の均熱化が可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供できる。 According to at least one embodiment described above, it is possible to provide a liquid ejection head and a liquid ejection apparatus that can uniformize the temperature of liquid.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明と同等の記載を付記する。
[1] 第1共通室、前記第1共通室に接続された複数の圧力室を構成するアクチュエータ、及び、前記複数の圧力室に接続された第2共通室を含む液体吐出部と、
前記第1共通室に液体を供給する流入管部と、
前記第2共通室から前記液体を排出する流出管部と、
冷却板、並びに、前記液体吐出部の前記流入管部に最も遠い前記圧力室に近接する部位及び前記冷却板に設けられ、冷却液が通過する冷却流路を含む冷却装置と、
を備える液体吐出ヘッド。
[2] 前記液体吐出部の前記流入管部に最も遠い前記圧力室に近接する部位は、前記アクチュエータの前記流入管部に最も遠い前記圧力室に近接する位置を含む一部である、[1]に記載の液体吐出ヘッド。
[3] 前記アクチュエータに設けられる前記冷却流路は、前記アクチュエータの前記第2共通室側に設けられる溝である、[1]又は[2]に記載の液体吐出ヘッド。
[4] 前記アクチュエータの前記第2共通室側に設けられた前記溝を覆うカバープレートと、
前記アクチュエータ及び前記カバープレートを覆い、前記第2共通室を形成する流路カバーと、
を備える[3]に記載の液体吐出ヘッド。
[5] 前記冷却板は、前記アクチュエータを駆動するドライバICと接触する[1]乃至[4]のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
[6] 前記液体吐出部、前記流入管部、前記流出管部及び前記冷却装置が一体に組み立てられたヘッド装置を複数有する[1]乃至[5]のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
[7] 第1共通室、前記第1共通室に接続された複数の圧力室を構成するアクチュエータ、及び、前記複数の圧力室に接続された第2共通室を含む液体吐出部と、前記第1共通室に液体を供給する流入管部と、前記第2共通室から液体を排出する流出管部と、冷却板、並びに、前記液体吐出部の前記流入管部に最も遠い前記圧力室に近接する部位及び前記冷却板に設けられ、冷却液が通過する冷却流路を含む冷却装置と、を具備する液体吐出ヘッドと、
前記液体を吐出する対象物を支持する支持装置と、
を備える液体吐出装置。
Although several embodiments of the invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and changes can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and their modifications are included within the scope and gist of the invention, as well as within the scope of the invention described in the claims and its equivalents.
Below, descriptions equivalent to the invention stated in the original claims of the present application will be added.
[1] A liquid ejection unit including a first common chamber, an actuator forming a plurality of pressure chambers connected to the first common chamber, and a second common chamber connected to the plurality of pressure chambers;
an inflow pipe section that supplies liquid to the first common chamber;
an outflow pipe section for discharging the liquid from the second common chamber;
a cooling device including a cooling plate, and a cooling flow path provided in a portion of the liquid discharge portion closest to the pressure chamber farthest from the inflow pipe portion and the cooling plate and through which the cooling liquid passes;
A liquid ejection head comprising:
[2] The part of the liquid discharge part that is closest to the pressure chamber that is farthest from the inflow pipe part is a part that includes the position that is closest to the pressure chamber that is farthest from the inflow pipe part of the actuator. The liquid ejection head described in ].
[3] The liquid ejection head according to [1] or [2], wherein the cooling channel provided in the actuator is a groove provided on the second common chamber side of the actuator.
[4] a cover plate that covers the groove provided on the second common chamber side of the actuator;
a channel cover that covers the actuator and the cover plate and forms the second common chamber;
The liquid ejection head according to [3], comprising:
[5] The liquid ejection head according to any one of [1] to [4], wherein the cooling plate contacts a driver IC that drives the actuator.
[6] The liquid ejection head according to any one of [1] to [5], including a plurality of head devices in which the liquid ejection section, the inflow pipe section, the outflow pipe section, and the cooling device are integrally assembled. .
[7] A liquid discharge section including a first common chamber, an actuator forming a plurality of pressure chambers connected to the first common chamber, and a second common chamber connected to the plurality of pressure chambers; an inflow pipe section that supplies liquid to the first common chamber; an outflow pipe section that discharges liquid from the second common chamber; a cooling plate; a cooling device including a cooling channel provided on the cooling plate and through which a cooling liquid passes;
a support device that supports an object to which the liquid is to be ejected;
A liquid ejection device comprising:

1…液体吐出ヘッド、2…循環装置、4…外郭ケース、5…ヘッド装置、10…液体吐出部、11…ベースプレート、11a…第1ベースパーツ、11b…第2ベースパーツ、11c…第3ベースパーツ、11d…第4ベースパーツ、12…回路基板、13…冷却装置、21…アクチュエータ、21a…溝、21b…駆動素子部、21c…電極、21d…流路用溝、21d1…第1溝、21d2…第2溝、21d3…第3溝、22…カバープレート、22A…第1カバープレート、22B…第2カバープレート、22a…切欠、23…流路カバー、23A…第1流路カバー、23B…第2流路カバー、24…ノズルプレート、24a…ノズル、31…流入管部、31a…流入流路、31b…第1供給管、32…流出管部、32a…流出流路、32b…第1排出管、41…制御基板、42…フレキシブル配線基板、51…冷却板、51a…基部、52…冷却流路、52a…第1冷却流路、52b…第2冷却流路、52c…第3冷却流路、53…第2供給管、54…第2排出管、55…冷却液供給回路、100…液体吐出装置、111…筐体、112…媒体供給部、112a…給紙カセット、113…画像形成部、114…媒体排出部、114a…排紙トレイ、115…搬送装置、116…制御部、117…支持部、118…搬送ベルト、119…支持プレート、120…ベルトローラ、130…ヘッドユニット、132…供給タンク、133…接続流路、133a…供給流路、133b…回収流路、134…循環ポンプ、C1…空気室、C2…圧力室、C3…第1共通室、C4…第2共通室、P…用紙。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Liquid discharge head, 2...Circulation device, 4...Outer case, 5...Head device, 10...Liquid discharge part, 11...Base plate, 11a...First base part, 11b...Second base part, 11c...Third base Parts, 11d... Fourth base part, 12... Circuit board, 13... Cooling device, 21... Actuator, 21a... Groove, 21b... Drive element section, 21c... Electrode, 21d... Channel groove, 21d1... First groove, 21d2...Second groove, 21d3...Third groove, 22...Cover plate, 22A...First cover plate, 22B...Second cover plate, 22a...Notch, 23...Flow path cover, 23A...First flow path cover, 23B ...Second channel cover, 24...Nozzle plate, 24a...Nozzle, 31...Inflow pipe section, 31a...Inflow channel, 31b...First supply pipe, 32...Outflow pipe section, 32a...Outflow channel, 32b...First 1 exhaust pipe, 41... control board, 42... flexible wiring board, 51... cooling plate, 51a... base, 52... cooling channel, 52a... first cooling channel, 52b... second cooling channel, 52c... third Cooling channel, 53... Second supply pipe, 54... Second discharge pipe, 55... Coolant supply circuit, 100... Liquid discharge device, 111... Housing, 112... Medium supply unit, 112a... Paper feed cassette, 113... Image forming section, 114... Medium discharge section, 114a... Paper discharge tray, 115... Conveyance device, 116... Control section, 117... Support section, 118... Conveyance belt, 119... Support plate, 120... Belt roller, 130... Head unit , 132... Supply tank, 133... Connection flow path, 133a... Supply flow path, 133b... Recovery flow path, 134... Circulation pump, C1... Air chamber, C2... Pressure chamber, C3... First common chamber, C4... Second Common room, P...Paper.

Claims (6)

第1共通室、前記第1共通室に接続された複数の圧力室を構成するアクチュエータ、及び、前記複数の圧力室に接続された第2共通室を含む液体吐出部と、
前記第1共通室に液体を供給する流入管部と、
前記第2共通室から前記液体を排出する流出管部と、
冷却板と冷却液が通過する冷却流路とを含む冷却装置と、
を備え、
前記アクチュエータの長手方向に沿った方向をX方向、前記圧力室を介して前記第1共通室及び前記第2共通室が対向する方向をY方向、前記X方向及び前記Y方向に直交する方向をZ方向としたときに、
前記複数の圧力室は、前記Z方向における前記アクチュエータの一端に、前記X方向に沿って並んで設けられ、
前記冷却流路は、前記冷却板に設けられる第1冷却流路、及び、前記アクチュエータに設けられる第2冷却流路を含み、
前記第2冷却流路は、前記X方向における前記流入管部側よりも、前記X方向における前記流入管部側から最も遠い前記圧力室側が、前記Z方向において前記圧力室に近い位置に設けられる、液体吐出ヘッド。
a liquid ejection unit including a first common chamber, an actuator that configures a plurality of pressure chambers connected to the first common chamber, and a second common chamber connected to the plurality of pressure chambers;
an inflow pipe section that supplies liquid to the first common chamber;
an outflow pipe section for discharging the liquid from the second common chamber;
a cooling device including a cooling plate and a cooling channel through which a cooling liquid passes;
Equipped with
The direction along the longitudinal direction of the actuator is the X direction, the direction in which the first common chamber and the second common chamber face each other via the pressure chamber is the Y direction, and the direction perpendicular to the X direction and the Y direction is the direction. When in the Z direction,
The plurality of pressure chambers are provided in line along the X direction at one end of the actuator in the Z direction,
The cooling channel includes a first cooling channel provided in the cooling plate and a second cooling channel provided in the actuator,
The second cooling flow path is provided such that the pressure chamber side furthest from the inflow pipe section side in the X direction is closer to the pressure chamber in the Z direction than the inflow pipe section side in the X direction. , liquid ejection head.
前記第2冷却流路は、前記第1冷却流路に流体的に接続され、前記アクチュエータの前記第2共通室側に設けられる溝である、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 1, wherein the second cooling channel is a groove fluidly connected to the first cooling channel and provided on the second common chamber side of the actuator. 前記アクチュエータの前記第2共通室側に設けられた前記溝を覆うカバープレートと、
前記アクチュエータ及び前記カバープレートを覆い、前記第2共通室を形成する流路カバーと、
を備える請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
a cover plate that covers the groove provided on the second common chamber side of the actuator;
a channel cover that covers the actuator and the cover plate and forms the second common chamber;
The liquid ejection head according to claim 2, comprising:
前記冷却板は、前記アクチュエータを駆動するドライバICと接触する請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 3, wherein the cooling plate contacts a driver IC that drives the actuator. 前記液体吐出部、前記流入管部、前記流出管部及び前記冷却装置が一体に組み立てられたヘッド装置を複数有する請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, comprising a plurality of head devices in which the liquid ejection section, the inflow pipe section, the outflow pipe section, and the cooling device are integrally assembled. 第1共通室、前記第1共通室に接続された複数の圧力室を構成するアクチュエータ、及び、前記複数の圧力室に接続された第2共通室を含む液体吐出部と、前記第1共通室に液体を供給する流入管部と、前記第2共通室から液体を排出する流出管部と、冷却板と冷却液が通過する冷却流路とを含む冷却装置と、を具備する液体吐出ヘッドと、
前記液体を吐出する対象物を支持する支持装置と、
を備え、
前記アクチュエータの長手方向に沿った方向をX方向、前記圧力室を介して前記第1共通室及び前記第2共通室が対向する方向をY方向、前記X方向及び前記Y方向に直交する方向をZ方向としたときに、
前記複数の圧力室は、前記Z方向における前記アクチュエータの一端に、前記X方向に沿って並んで設けられ、
前記冷却流路は、前記冷却板に設けられる第1冷却流路、及び、前記アクチュエータに設けられる第2冷却流路を含み、
前記第2冷却流路は、前記X方向における前記流入管部側よりも、前記X方向における前記流入管部側から最も遠い前記圧力室側が、前記Z方向において前記圧力室に近い位置に設けられる、液体吐出装置。
a liquid discharge section including a first common chamber, an actuator forming a plurality of pressure chambers connected to the first common chamber, and a second common chamber connected to the plurality of pressure chambers, and the first common chamber. a liquid discharge head comprising: an inflow pipe section for supplying liquid to the second common chamber; an outflow pipe section for discharging the liquid from the second common chamber; and a cooling device including a cooling plate and a cooling channel through which the cooling liquid passes. ,
a support device that supports an object to which the liquid is to be ejected;
Equipped with
The direction along the longitudinal direction of the actuator is the X direction, the direction in which the first common chamber and the second common chamber face each other via the pressure chamber is the Y direction, and the direction perpendicular to the X direction and the Y direction is the direction. When in the Z direction,
The plurality of pressure chambers are provided in line along the X direction at one end of the actuator in the Z direction,
The cooling channel includes a first cooling channel provided in the cooling plate and a second cooling channel provided in the actuator,
The second cooling flow path is provided such that the pressure chamber side furthest from the inflow pipe section side in the X direction is closer to the pressure chamber in the Z direction than the inflow pipe section side in the X direction. , liquid ejection device.
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