JP7337637B2 - レーザープローブ、及び光学調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、レーザー光を測定対象に照射し、反射されたレーザー光をラインセンサで読み取るレーザープローブ、及び光学調整方法に関する。

従来、レーザー光を用いたレーザープローブとして、シャインプルーフ光学系の原理を利用したレーザープローブがある。シャインプルーフ光学系は、撮像素子の撮像面と、レンズの主面と、ラインレーザー光の照射面とが、同一直線上で交わる光学系である。

このようなシャインプルーフ光学系の原理を用いた測定装置として、測定対象にライン光を照射したり、またはスポット光をガルバノミラー等の走査部を用いて直線範囲内で走査させたりし、その反射光をラインセンサで受光するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のレーザープローブ（表面検査装置）は、投光光学系、及び受光光学系を備えている。
投光光学系は、ＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）と投影レンズとを備え、ＤＭＤにより一方向に沿って延在するライン状の光（ライン光）を形成し、投影レンズでＤＭＤからのライン光を平行光にして測定対象に照射する。
受光光学系は、テレセントリック光学系、及びラインセンサとして構成されたＣＣＤ（Charge Coupled Device）を備え、テレセントリック光学系を透過した測定対象からの光が、ラインセンサに結像される。
なお、特許文献１では、投稿光学系からライン光を出射させるが、レーザースポット光の照射方向を、ガルバノミラー等の走査手段を用いて振ることで、測定対象上で走査させる場合もある（フライングスポット方式）。

特開２００７－２４６２３号公報

ところで、測定対象に照射された、フライングスポット方式で投射されたスポット光やライン光の反射光をラインセンサで検出する場合、測定対象で走査されるスポット光が反射してラインセンサに入射されるように、或いは測定対象で反射されたライン光がラインセンサに入射されるように、スポット光の走査方向やライン光の直線方向を調整する必要がある。
つまり、ラインセンサは、複数の受光画素がラインセンサ軸に沿って配置されて構成されており、そのセンサ軸の幅（長手方向の直交する方向の幅）が非常に狭い。したがって、測定対象で反射されたスポット光又はライン光を、ラインセンサが設けられる平面に投影させた際の投影光の軸（以降、光投射軸と称する）が、ラインセンサのセンサ軸に対して傾斜している場合、ラインセンサによって正しく反射光を測定することができない。
このため、ラインセンサを用いたレーザープローブでは、ラインセンサのセンサ軸と、光投射軸と、を合わせ込む光学調整が必要である。しかしながら、ラインセンサの幅は非常に狭いので、ラインセンサのセンサ軸と光投射軸とが一致しているか否か、また、軸がずれている場合に、その軸調整方向や調整量がどの程度であるかを見極めるのが困難である。したがって、従来のレーザープローブでは、光学調整に多大な時間がかかり、かつ調整作業に熟練を要する、との課題があった。

本発明は、ラインセンサのセンサ軸に対して、スポット光の走査軸又はライン光の直線軸を容易に合わせ込むことができるレーザープローブ、及び光学調整方法を提供することを目的とする。

本発明に係るレーザープローブは、測定対象の表面の所定の直線範囲に光を照射する光源部と、前記直線範囲に照射された光の反射光を受光するラインセンサと、前記ラインセンサが設けられたセンサ基板と、前記センサ基板を撮像する撮像部と、を備える。

この構成によれば、光源部から測定対象の直線範囲に光を照射すると、当該直線範囲で反射された光の像がセンサ基板に投影される。また、撮像部は、ラインセンサ及びラインセンサが配置されたセンサ基板と、測定対象の直線範囲で反射された投影光とが含まれる撮像画像を撮像できる。したがって、撮像画像に基づいて、ラインセンサのセンサ軸と、測定対象の直線範囲で反射された投影光の軸（光投射軸）とが一致しているか否かを容易に確認できる。このため、高い熟練を有していない作業者であっても、適正にラインセンサのセンサ軸と、光投射軸とが一致しているか否かを容易に判定することができる。また、撮像画像に基づいて、光投射軸とセンサ軸との軸ずれの方向や軸ずれ量が視覚的に分かるので、高い熟練を有していなくとも、光源部の光の照射方向、又はラインセンサの位置を調整して、レーザープローブの光学調整を行うことができる。

本発明のレーザープローブにおいて、前記光源部は、スポット光を射出するスポット光源と、前記スポット光を反射し、かつ、前記スポット光の反射方向を振って、前記直線範囲内で前記スポット光を走査させる走査部と、を備えることが好ましい。
本発明では、スポット光源から射出されるスポット光の反射方向を走査部により変化させることで、測定対象の直線範囲でスポット光を高速で走査させる、いわゆるフライングスポット方式での測定を実施することができる。このようなフライングスポット方式では、走査部によってスポット光を振る範囲を自由に設定することができる。

本発明に係る光学調整方法は、測定対象の表面の所定の直線範囲に光を照射する光源部と、前記直線範囲に照射された光の反射光を受光するラインセンサと、前記ラインセンサが設けられたセンサ基板と、前記センサ基板を撮像する撮像部と、を備えたレーザープローブの光学調整方法であって、前記撮像部により前記センサ基板を撮像して撮像画像を取得し、前記撮像画像における、前記直線範囲で反射された光の前記センサ基板上での反射位置と、前記ラインセンサのセンサ軸との位置関係に基づいて、前記光源部の前記光の照射方向、及び前記ラインセンサの位置の少なくともいずれかを調整する。
これにより、撮像画像に基づいて、光投射軸とセンサ軸との位置ずれを容易に確認でき、光学調整を容易に行うことができる。

本発明に係る一実施形態のレーザープローブを備えた測定装置の概略構成を示す模式図。 本実施形態のセンサ基板上を動く、スポット光の反射位置を示す図。 本実施形態において、撮像部により撮像されたセンサ基板の撮像画像の一例を示す図。 本実施形態のレーザープローブの光学調整方法を示すフローチャート。

以下、本発明に係る一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態のレーザープローブ１０を備えた測定装置１の概略構成を示す模式図である。
測定装置１は、レーザー光を用いて、非接触で対象物Ｗ（測定対象）の形状を測定する三次元測定装置であり、レーザープローブ１０と、レーザープローブ１０を三次元空間内の任意の位置に移動させる移動機構２０と、レーザープローブ１０からの信号に基づいて対象物Ｗの形状を測定する制御部３０と、測定結果等の画像を表示させるディスプレイ４０と、を備えている。
以下、各構成について、それぞれ詳細に説明する。

［レーザープローブ１０の構成］
レーザープローブ１０は、図１に示すように、レーザー照射光学系１１０（光源部）と、受光光学系１２０と、により構成されている。
レーザー照射光学系１１０は、レーザー光源１１１と、反射ミラー１１２と、走査部１１３と、を含んで構成されている。
レーザー光源１１１は、ポイントレーザー（以降、スポット光と称する）を出射するスポット光源である。
反射ミラー１１２は、レーザー光源１１１から出射されたスポット光を走査部１１３に向かって反射させる。
走査部１１３は、例えばガルバノミラーやレゾナントミラー等により構成されており、反射ミラー１１２で反射されたスポット光の反射方向を同一平面内に沿って振る。これにより、対象物Ｗに対して照射されるスポット光の照射方向が同一平面内に沿って移動するため、対象物Ｗの表面でのスポット光の照射位置も直線方向に沿って移動する。つまり、対象物Ｗの表面において、直線方向に沿った直線範囲Ｗ０でスポット光が走査される。
なお、ここでは、反射ミラー１１２で反射されたスポット光を、走査部１１３で対象物Ｗの直線範囲Ｗ０内に反射させる例を示すが、レーザー光源１１１から出射された光が反射ミラー１１２を介さずに走査部１１３に入射して、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０に反射される構成としてもよい。

受光光学系１２０は、結像レンズ１２１と、センサ基板１２２と、ラインセンサ１２３と、撮像部１２４と、を備えている。
結像レンズ１２１は、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０で反射されたスポット光をセンサ基板１２２上に結像させる。
センサ基板１２２は、ラインセンサ１２３が配置される基板である。センサ基板１２２は、結像レンズ１２１に対向する面が平面となる基板面を有し、例えば、基板面の中央部にラインセンサ１２３が配置されている。

ラインセンサ１２３は、センサ軸１２３Ａ（図２参照）に沿って長手状の受光センサであり、センサ軸１２３Ａに沿って、複数の光電変換素子が配置されている。例えば、センサ軸１２３Ａに直交する幅方向に対して１ピクセル、センサ軸１２３Ａに沿った軸方向に対して数千ピクセルの光電変換素子が配置されたラインセンサ１２３を用いる。この場合、ラインセンサ１２３の幅は、１ピクセルの光電変換素子の幅であり、数μｍとなる。
撮像部１２４は、ラインセンサ１２３を含むセンサ基板１２２の基板面を撮像するイメージセンサであり、基板面の撮像画像を制御部３０に出力する。なお、撮像部１２４は、レーザープローブ１０に対して着脱可能に設けられていてもよい。

ここで、本実施形態のレーザープローブ１０は、シャインプルーフ光学系を構築する。つまり、図１に示すように、走査部１１３により走査されるスポット光の照射面（直線範囲Ｗ０）を含む平面と、結像レンズ１２１の主面と、ラインセンサ１２３が設けられるセンサ基板１２２の基板面とが、同一直線上で交わるように、光学系が構築されている。

［移動機構２０の構成］
移動機構２０は、レーザープローブ１０を任意の位置に移動させる装置である。また、移動機構２０には、レーザープローブ１０の位置を検出するための図示略の位置検出センサが設けられている。
移動機構２０の具体的な構成は特に限定されず、例えば、多関節アームの先端にレーザープローブ１０を保持させ、多関節アームの各アームの角度を変更可能な構成としてもよい。この場合、各アームの回転角度を検出するロータリーエンコーダー等の角度検出センサを設ける。これにより、制御部３０は、各アームのアーム長とアーム間の角度に基づいて、レーザープローブ１０の位置や姿勢を算出することができる。
また、移動機構２０として、レーザープローブ１０をＸＹＺ方向に移動させる門型フレームに保持させる構成としてもよい。つまり、移動機構２０は、Ｙ方向に移動可能なコラムと、コラムに保持されてＸ方向に平行なビームと、ビーム上をＸ方向に移動可能なスライダーと、スライダーに設けられて、Ｚ方向に移動可能なヘッド保持部材とを備え、ヘッド保持部材にレーザープローブ１０が保持される構成としてもよい。このような構成では、移動機構２０は、コラムのＹ方向の位置を検出するＹスケール、スライダーのＸ方向の位置を検出するＸスケール、ヘッド保持部材のＺ方向の位置を検出するＺスケールを備える構成とすればよい。これにより、レーザープローブ１０のＸＹＺ座標を検出することができる。ヘッド保持部材に、レーザープローブ１０の角度を変更する角度変更部を設けてもよく、この場合、角度変更部に角度検出センサを設けることで、レーザープローブ１０の姿勢を検出できる。

［制御部３０の構成］
制御部３０は、コンピューターにより構成されており、図示略のメモリや、メモリに記録された各種プログラムを実施する演算回路等を備えて構成されている。そして、この制御部３０は、レーザープローブ１０及び移動機構２０に接続され、レーザープローブ１０のラインセンサ１２３での受光結果と、移動機構２０から出力されるレーザープローブ１０の位置や姿勢と、に基づいて、対象物Ｗの形状を測定する。また、制御部３０は、撮像部１２４の撮像画像をディスプレイ４０に出力する。これにより、作業者は、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０で反射されたスポット光が、センサ基板１２２のラインセンサ１２３上に結像されているか否かを容易に確認することが可能となる。

具体的には、制御部３０は、図１に示すように、プローブ制御部３１、プローブ位置検出部３２、形状算出部３３、及び画像出力部３４として機能する。
プローブ制御部３１は、レーザープローブ１０のレーザー光源１１１の点灯制御、走査部１１３の走査制御、ラインセンサ１２３からの測定信号の受信制御、撮像部１２４の撮像制御等を実施する。
プローブ位置検出部３２は、移動機構２０の位置検出センサから入力された位置検出結果（例えば、ロータリーエンコーダー等の角度検出センサの検出値や、ＸＹＺスケールの検出値）を受信する。そして、プローブ位置検出部３２は、位置検出結果に基づいて、レーザープローブ１０の三次元空間内の位置や姿勢を算出する。

形状算出部３３は、ラインセンサ１２３から出力される受光結果と、プローブ位置検出部３２により検出されるレーザープローブ１０の位置及び姿勢と、に基づいて、対象物Ｗの表面形状や表面性状を測定する。つまり、ラインセンサ１２３では、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０で反射されるスポット光の反射位置が逐次計測される。形状算出部３３は、ラインセンサ１２３で受信したスポット光の反射位置に基づいて、例えば三角測量法等を用いて、対象物Ｗの形状を算出する。

画像出力部３４は、撮像部１２４が撮像した撮像画像をディスプレイ４０に出力する。撮像部１２４により撮像されるセンサ基板１２２の基板面の撮像画像は、センサ基板１２２におけるラインセンサ１２３の位置と、直線範囲Ｗ０で反射されたスポット光の反射位置とが撮像される。スポット光を直線範囲Ｗ０上で高速で走査することで、センサ基板１２２上でのスポット光の反射位置の軌跡が、撮像部１２４により撮像され、直線範囲Ｗ０に対応した直線（光投射軸Ｑ）として画像内に現れる。

図２は、センサ基板１２２上を動く、スポット光の反射位置を示す図であり、図３は、撮像部１２４により撮像されたセンサ基板１２２の撮像画像の一例である。
図３では、所定周期で撮像画像を取得した際の各撮像画像を重ね合わせた図を示している。図２に示すように、スポット光の反射位置ｑは、センサ基板１２２上で光投射軸Ｑに沿って移動する。したがって、複数の撮像画像を重ね合わせると、図３に示すように、光投射軸Ｑを示す、スポット光の反射位置ｑの軌跡が画像内に現れる。
レーザープローブ１０により対象物Ｗの形状を正確に、かつ、精度良く測定するには、光投射軸Ｑが、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａと一致し、かつ、ラインセンサ１２３上に位置するように、位置合わせ（光学調整）を行う必要がある。
本実施形態では、画像出力部３４は、図３に示すような撮像画像を、ディスプレイ４０に表示させる。これにより、作業者は、レーザープローブ１０におけるスポット光の走査方向と、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａとのずれを容易に認識することが可能となる。また、当該撮像画像に基づいて、スポット光の走査方向と、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａとのずれ方向やずれ量（角度）を容易に補正することができる。

［光学調整方法］
次に、上記のような測定装置１におけるレーザープローブ１０の光学調整方法について説明する。
図４は、本実施形態のレーザープローブ１０の光学調整方法を示すフローチャートである。
レーザープローブ１０では、上述のように、スポット光の走査方向、つまり、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０で反射された反射光のセンサ基板１２２上での反射位置と、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａと、が一致するように光学調整を行う。
これには、まず、レーザープローブ１０を対象物Ｗに対向する位置に移動させる（ステップＳ１）。対象物Ｗは、平坦面である校正面を有する基準校正物であってもよい。
そして、プローブ制御部３１は、レーザー光源１１１を制御して、スポット光を出射させ、さらに、走査部１１３によりスポット光の反射方向を同一平面内で振り、フライングスポット方式で、スポット光を対象物Ｗに照射する（ステップＳ２）。これにより、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０でスポット光が走査される。

次に、プローブ制御部３１は、撮像部１２４を制御して、センサ基板１２２を撮像し、撮像画像を取得する（ステップＳ３）。さらに、画像出力部３４は、ステップＳ３で撮像された撮像画像をディスプレイ４０に表示させる（ステップＳ４）。
ステップＳ３及びステップＳ４では、画像出力部３４は、所定のフレームレートで撮像される撮像画像を、当該周期で順次ディスプレイ４０に表示させることで、動画としてセンサ基板１２２の撮像画像をディスプレイ４０に表示させてもよい。
また、画像出力部３４は、所定周期で撮像した複数の撮像画像を重ね合わせることで、図３に示すような、光投射軸Ｑに沿った反射位置ｑの軌跡を含む画像を生成してディスプレイ４０に表示させてもよい。
さらに、撮像部１２４のシャッタースピードに対して、走査部１１３での走査速度が十分に速い場合では、１回の撮像処理で得られる撮像画像を表示してもよい。この場合、画像出力部３４は、撮像により得られた撮像画像をそのままディスプレイ４０に表示させればよい。

この後、作業者は、ディスプレイ４０に表示されたセンサ基板１２２の撮像画像に基づいて、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａと、スポット光の軌跡である光投射軸Ｑとが一致するように、ラインセンサ１２３の配置位置、及び、走査部１１３によるスポット光の走査方向の少なくともいずれかを調整、つまりレーザープローブ１０の光学調整を実施する（ステップＳ５）。
例えば、走査部１１３としてガルバノミラーが用いられている場合、ガルバノミラーの回動軸の傾斜、及びガルバノミラーの配置位置を微調整して、スポット光の走査方向を調整し、光投射軸Ｑを、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａに一致させる。
また、ラインセンサ１２３又はセンサ基板１２２の位置を調整する場合では、ラインセンサ１２３が、光投射軸Ｑと重なるように、ラインセンサ１２３又はセンサ基板１２２の配置位置を微調整する。
なお、撮像部１２４が、レーザープローブ１０に対して着脱可能に設けられている場合では、上記のような光学調整処理を実施した後、レーザープローブ１０から撮像部１２４を取り外してもよい。

［本実施形態の作用効果］
本実施形態の測定装置１は、レーザープローブ１０を備え、当該レーザープローブ１０は、レーザー照射光学系１１０と、受光光学系１２０とを含んで構成されている。レーザー照射光学系１１０は、スポット光を出射するレーザー光源１１１と、スポット光を反射し、かつスポット光の反射方向を振って、対象物Ｗ（測定対象）の表面の所定の直線範囲Ｗ０でスポット光を走査させる走査部１１３とを含む。受光光学系１２０は、直線範囲Ｗ０に照射された光の反射光を受光するラインセンサ１２３と、ラインセンサ１２３が設けられたセンサ基板１２２と、センサ基板１２２を撮像する撮像部１２４と、を含む。

このような本実施形態のレーザープローブ１０では、レーザー照射光学系１１０から対象物Ｗの直線範囲Ｗ０にスポット光を照射すると、直線範囲Ｗ０で反射されたスポット光の像がセンサ基板１２２に投影される。よって、撮像部１２４でセンサ基板１２２を撮像することで、撮像画像により、スポット光の反射位置の軌跡である光投射軸Ｑと、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａとが一致しているか否かを判定することができる。また、撮像画像に基づいて、光投射軸Ｑと、センサ軸１２３Ａとの位置ずれの方向や角度、ずれ量も容易に確認することができる。したがって、作業者は、高い熟練を要することなく、レーザープローブ１０の光学調整を実施することができる。

また、本実施形態のレーザープローブ１０では、レーザー照射光学系１１０は、スポット光を射出するレーザー光源１１１と、スポット光の反射方向を振って、対象物Ｗの直線範囲Ｗ０内でスポット光を走査させる走査部１１３と、を備える。
これにより、本実施形態では、直線範囲Ｗ０でスポット光を高速で走査させる、いわゆるフライングスポット方式での測定を実施することができる。このような測定装置１では、走査部１１３によって走査範囲や走査速度を自由に設定することができる。

［変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記実施形態では、レーザー照射光学系１１０は、走査部１１３によりスポット光を直線範囲Ｗ０内で走査する構成を例示した。これに対して、レーザープローブ１０は、直線範囲Ｗ０にライン光を照射するライン光源を備える構成としてもよい。このようなライン光源を用いる場合でも、測定対象で反射されたライン光は、直線上の光投射軸Ｑを有する投影像としてセンサ基板１２２に結像される。したがって、撮像部１２４を用いてセンサ基板１２２を撮像することで、撮像画像から、ライン光の光投射軸Ｑと、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａとの位置関係を確認することが可能となる。

上記実施形態の測定装置１では、画像出力部３４が撮像部１２４で撮像された撮像画像をディスプレイ４０に表示させる構成とした。この場合、作業者がディスプレイ４０に表示された撮像画像に基づいて、光投射軸Ｑとセンサ軸１２３Ａとの位置を確認し、光学調整が必要か否かを判定する。
これに対して、測定装置１の制御部３０は、撮像画像に基づいて、光投射軸Ｑと、センサ軸１２３Ａとの位置関係を評価する位置評価部として機能してもよい。例えば、位置評価部は、撮像画像からセンサ基板１２２を検出し、センサ基板１２２に対して既知の位置に設けられているラインセンサ１２３の位置を特定する。また、位置評価部は、撮像画像に対してエッジ検出フィルタ等を適用して、スポット光の位置（光投射軸Ｑ）を検出する。そして、位置評価部は、ラインセンサ１２３のセンサ軸１２３Ａと、光投射軸Ｑとが一致するか否かを評価する。例えば、スポット光の光量分布において光量が所定値以上となる中心部の軌跡と、ラインセンサ１２３とが重なる面積と、ラインセンサ１２３との面積の比率が閾値以上であるか否かを判定する。
これにより、作業者がセンサ軸１２３Ａと光投射軸とが一致しているか否かを判断する必要がなく、光学調整に係る負担を軽減できる。また、位置評価部により、センサ軸１２３Ａと光投射軸Ｑとが一致すると判定されるように光学調整を実施すればよいので、作業者の熟練が低い場合でも、精度良く光学調整を実施することができる。

また、レーザープローブ１０が、センサ基板１２２の位置や姿勢を微調整するセンサ調整用アクチュエーターを備えていてもよい。或いは、レーザープローブ１０が、走査部１１３を構成するガルバノミラー（レゾナントミラー）の回動軸の傾斜や走査部１１３の位置を微調整するミラー用アクチュエーターを備えていてもよい。
この場合、制御部３０を、位置評価部及び位置調整部として機能させてもよい。すなわち、位置評価部が、上記のように、センサ軸１２３Ａと光投射軸Ｑとが一致しているか否かを判定する。そして、位置評価部により、センサ軸１２３Ａと光投射軸Ｑとがずれていると判定された場合に、位置調整部は、撮像画像に基づいて、センサ軸１２３Ａと光投射軸Ｑのずれ量や角度を算出し、センサ調整用アクチュエーター及びミラー用アクチュエーターの少なくともいずれかを制御して、走査部１１３によるスポット光の走査方向またはラインセンサ１２３の位置を自動で調整する。これにより、作業者による光学調整の作業を軽減できる。

本発明は、対象物の所定の直線範囲に光を照射し、直線範囲で反射された光をラインセンサで受光する測定装置に適用することができる。

１…測定装置、１０…レーザープローブ、３０…制御部、３４…画像出力部、４０…ディスプレイ、１１０…レーザー照射光学系、１１１…レーザー光源、１１２…反射ミラー、１１３…走査部、１２０…受光光学系、１２１…結像レンズ、１２２…センサ基板、１２３…ラインセンサ、１２３Ａ…センサ軸、１２４…撮像部、Ｑ…光投射軸、Ｗ…対象物（測定対象）、Ｗ０…直線範囲。

Claims (3)

1. 測定対象の表面の所定の直線範囲に光を照射する光源部と、
   前記直線範囲に照射された光の反射光を受光するラインセンサと、
   前記ラインセンサが設けられたセンサ基板と、
   前記センサ基板を撮像する撮像部と、
   制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、前記撮像部により撮像された撮像画像であって、前記直線範囲で反射された光の前記センサ基板上での反射位置と、前記ラインセンサのセンサ軸と、を含む前記撮像画像を、ディスプレイに表示させる、
   ことを特徴とするレーザープローブ。
2. 請求項１に記載のレーザープローブにおいて、
   前記光源部は、
   スポット光を射出するスポット光源と、
   前記スポット光を反射し、かつ、前記スポット光の反射方向を振って、前記直線範囲内で前記スポット光を走査させる走査部と、
   を備える
   ことを特徴とするレーザープローブ。
3. 測定対象の表面の所定の直線範囲に光を照射する光源部と、前記直線範囲に照射された光の反射光を受光するラインセンサと、前記ラインセンサが設けられたセンサ基板と、前記センサ基板を撮像する撮像部と、を備えたレーザープローブの光学調整方法であって、
   前記撮像部により前記センサ基板を撮像して撮像画像を取得し、
   前記撮像画像における、前記直線範囲で反射された光の前記センサ基板上での反射位置と、前記ラインセンサのセンサ軸との位置関係に基づいて、前記光源部の前記光の照射方向、及び前記ラインセンサの位置の少なくともいずれかを調整する
   ことを特徴とする光学調整方法。

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