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JP7320388B2 - Glass cloth, prepreg, and printed wiring board - Google Patents

Glass cloth, prepreg, and printed wiring board Download PDF

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JP7320388B2 JP2019118391A JP2019118391A JP7320388B2 JP 7320388 B2 JP7320388 B2 JP 7320388B2 JP 2019118391 A JP2019118391 A JP 2019118391A JP 2019118391 A JP2019118391 A JP 2019118391A JP 7320388 B2 JP7320388 B2 JP 7320388B2
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Description

本発明は、ガラスクロス、プリプレグ、及びプリント配線板に関する。 The present invention relates to glass cloth, prepreg, and printed wiring board.

プリント配線板の多くは、通常、ガラスクロス等の基材にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸、乾燥してプリプレグとし、該プリプレグを単数又は複数枚重ねると共に、必要に応じて銅箔を重ねた後に加熱加圧成形して積層板とし、次いで該積層板にフォトリソグラフィー及びエッチング又はメッキによって銅箔からなる回路パターンを形成する方法によって、製造される。さらに、上述のプリント配線板をコア基板とし、その表層にプリプレグを重ねると共に、さらにその外側に銅箔を重ね、これを加熱加圧成形して多層板とし、次いで多層板表面に回路形成する方法等により多層プリント配線板が製造される。 Most printed wiring boards are usually made by impregnating a base material such as glass cloth with a thermosetting resin such as epoxy resin and drying it to form a prepreg. It is manufactured by a method of forming a laminated plate by heating and pressing after stacking, and then forming a circuit pattern made of copper foil on the laminated plate by photolithography and etching or plating. Furthermore, a method of using the above-mentioned printed wiring board as a core substrate, overlaying a prepreg on the surface layer, and further overlaying a copper foil on the outer side, forming a multilayer board by heating and pressing, and then forming a circuit on the surface of the multilayer board. etc. to produce a multilayer printed wiring board.

一方、近年のデジタル機器の高機能、小型軽量化のために、使用されるプリント配線板にもさらなる小型化及び薄型化や高密度化が要求されている。そのための手法として、基材として用いられるガラスクロスを薄型化するとともに、多層プリント配線板の層数を増大させることにより、高密度化を達成しようとしている。ここで、ガラスクロスの厚さとしては、最先端のスマートフォンやウェアラブル機器の高機能、小型軽量化を達成するために、例えば、16μm以下にまで薄くすることが求められている。 On the other hand, due to the high functionality and reduction in size and weight of digital equipment in recent years, there is a demand for further reduction in size, thickness, and density of printed wiring boards used therein. As a method for that purpose, the thickness of the glass cloth used as the base material is reduced and the number of layers of the multilayer printed wiring board is increased to achieve high density. Here, the thickness of the glass cloth is required to be as thin as 16 μm or less, for example, in order to achieve high performance, small size and light weight of state-of-the-art smartphones and wearable devices.

ここで、厚さの薄いガラスクロスとしては、例えば、特許文献1~6等に記載のガラスクロスが提案されている。具体的には、特許文献1には厚さ7~14μmのガラスクロス、特許文献2には厚さ14μm以下のガラスクロス、特許文献3には厚さ10μm以上40μm以下のガラスクロス、特許文献4には厚さ10μm以上50μm以下のガラスクロス、特許文献5には厚さ5~15μmのガラスクロス、特許文献6には厚さ25μm以下のガラスクロスが提案されている。 Here, as the thin glass cloth, for example, the glass cloths described in Patent Documents 1 to 6 have been proposed. Specifically, Patent Document 1 discloses a glass cloth having a thickness of 7 to 14 μm, Patent Document 2 discloses a glass cloth having a thickness of 14 μm or less, Patent Document 3 discloses a glass cloth having a thickness of 10 μm or more and 40 μm or less, and Patent Document 4. proposes a glass cloth having a thickness of 10 μm or more and 50 μm or less, Patent Document 5 proposes a glass cloth having a thickness of 5 to 15 μm, and Patent Document 6 proposes a glass cloth having a thickness of 25 μm or less.

特許文献1に記載のガラスクロスは、経糸及び緯糸ともに平均直径3.5~4.4μm、フィラメント数が20~60本、単位長さ当たり0.5×10-6~1.7×10-6kg/mのガラス糸で製織されたガラスクロスであり、経糸の質量と緯糸の質量の比が1.26~1.42の範囲となるように緯糸のフィラメント数を経糸より多くすることにより、緯糸相互の間隔が開き難くなり、通気度を特定範囲に小さく調整することができるため、プリプレグとしたときのピンホールや反りの問題を改善できるとされている。 The glass cloth described in Patent Document 1 has an average diameter of 3.5 to 4.4 μm for both warp and weft, 20 to 60 filaments, and 0.5×10 −6 to 1.7×10 per unit length. It is a glass cloth woven with 6 kg/m glass yarn, and the number of filaments of the weft is greater than that of the warp so that the ratio of the mass of the warp to the mass of the weft is in the range of 1.26 to 1.42. It is said that the problem of pinholes and warping when used as prepreg can be improved because the spacing between wefts becomes difficult to widen and the air permeability can be adjusted to be small within a specific range.

特許文献2に記載のガラスクロスは、経糸及び緯糸の平均フィラメント径が3.0~4.3μmであり、フィラメント数は経糸より緯糸の方が多くその比(緯糸/経糸比)が0.9以上であり、開繊度が経糸より緯糸の方が大きい、すなわち、経糸の糸束の幅より緯糸の糸束の方が広いガラスクロスであり、開繊しやすい緯糸のフィラメント数を多くすることで隣接する緯糸同士の間隔が小さくなるため基板としたときにピンホールの発生を抑制できるとされている。 In the glass cloth described in Patent Document 2, the average filament diameter of the warp and weft is 3.0 to 4.3 μm, and the number of filaments is more in the weft than in the warp, and the ratio (weft/warp ratio) is 0.9. As described above, the degree of opening of the weft is greater than that of the warp. It is said that the occurrence of pinholes can be suppressed when used as a substrate because the distance between adjacent wefts is reduced.

特許文献3に記載されているガラスクロスは、経糸及び緯糸が質量1.8×10-6kg/m以上14×10-6kg/m以下のガラス糸で構成され、経糸の平均フィラメント径に対する緯糸の平均フィラメント径の比(緯糸/経糸比)が1.01以上1.20未満のガラスクロスであり、上記構成とすることにより、厚さ40μm以下のガラスクロスにおいても引張荷重が作用した際の歪と、その緯糸/経糸比を特定範囲に収めることができ、寸法変化の異方性が少なく、且つ、反り及びねじれのないプリント配線板が製造できることが開示されている。 The glass cloth described in Patent Document 3 is composed of glass yarns having a mass of 1.8 × 10 -6 kg / m or more and 14 × 10 -6 kg / m or less for the warp and weft, and the average filament diameter of the warp The glass cloth has an average filament diameter ratio (weft/warp ratio) of 1.01 or more and less than 1.20. and its weft/warp ratio within a specific range, a printed wiring board with little anisotropy in dimensional change and free from warping and twisting can be produced.

特許文献4に記載のガラスクロスは、経糸及び緯糸が同一種類のガラス糸で構成され、緯糸の糸幅と経糸の糸幅が近くその比(緯糸/経糸比)が0.8以上1.2以下であり、幅25mmあたり25N~100Nの範囲内の荷重をかけた際の緯糸方向の伸び率に対する経糸方向の伸び率の比(緯糸/経糸比)が0.8以上1.2以下の範囲であるガラスクロスであり、経糸及び緯糸に同じガラス糸を用い、且つ、断面形状及びうねり状態を同等にすることにより、該ガラスクロスを使用したフィルム基材は寸法安定性に優れるとされている。 In the glass cloth described in Patent Document 4, the warp and the weft are composed of the same kind of glass yarn, the yarn width of the weft is close to the yarn width of the warp, and the ratio (weft/warp ratio) is 0.8 or more and 1.2. below, and the ratio of the elongation rate in the warp direction to the elongation rate in the weft direction when a load within the range of 25 N to 100 N per 25 mm of width is applied (the weft/warp ratio) is in the range of 0.8 or more and 1.2 or less. It is said that the film substrate using the glass cloth has excellent dimensional stability by using the same glass yarn for the warp and weft, and by making the cross-sectional shape and undulation state the same. .

特許文献5に記載されたガラスクロスは、経糸と緯糸の少なくとも片方の平均フィラメント径が4.5μm未満であり、且つ、両方のフィラメント数が5本以上70本以下のガラス糸で構成されたガラスクロスであり、構成するガラスフィラメント数が少ないにも関わらず、緩やかな条件で開繊拡幅して表面ガラス被覆率を50%以上100%以下とすることにより、寸法安定性及び機械特性に優れたガラスクロスを得られるとされている。 The glass cloth described in Patent Document 5 is a glass composed of glass yarns having an average filament diameter of less than 4.5 μm in at least one of the warp and the weft, and in which both the number of filaments is 5 or more and 70 or less. Although it is a cloth and has a small number of glass filaments, it has excellent dimensional stability and mechanical properties by opening and widening under moderate conditions to make the surface glass coverage 50% or more and 100% or less. It is said that glass cloth can be obtained.

特許文献6に開示されたガラスクロスは、縦糸と緯糸の少なくともどちらか一方が平均フィラメント径3~4μmであり、且つ、フィラメント数70~200本のガラス糸で構成されたガラスクロスであり、経糸と緯糸の少なくともどちらか一方が隣り合う糸同士が実質的に隙間なく配置されているために表面平滑性に優れ、小穴加工性に優れるとされている。 The glass cloth disclosed in Patent Document 6 is a glass cloth having an average filament diameter of 3 to 4 μm in at least one of the warp and the weft, and composed of glass yarns having a filament number of 70 to 200. At least one of the wefts and the wefts are adjacent to each other and are arranged substantially without gaps, so that the surface smoothness is excellent and the small hole workability is excellent.

また、ICP規格に登録のガラスクロスとしても、1000(12μm)、1010(11μm)、1017(14μm)、1015(15μm)等の厚さの薄いガラスクロスが市販されており利用可能である。 Also, as the glass cloths registered in the ICP standard, thin glass cloths with a thickness of 1000 (12 μm), 1010 (11 μm), 1017 (14 μm), 1015 (15 μm), etc. are commercially available and can be used.

近年の情報通信社会の発達とともに、データ通信及び/又は信号処理が大容量で高速に行われるようになり、電子機器に用いられるプリント配線板の低誘電率化が著しく進行している。そのため、プリント配線板を構成するガラスクロスにおいても、低誘電ガラスクロスが多く提案されている。例えば、特許文献9に開示されている低誘電ガラスクロスは、従来から一般に使用されているEガラスクロスに対して、ガラス組成中にB23を多く配合し、同時にSiO2等の他の成分の配合量を調整することで、低誘電率を実現している。 With the recent development of the information communication society, data communication and/or signal processing have become large-capacity and high-speed, and the reduction in the dielectric constant of printed wiring boards used in electronic devices has progressed remarkably. Therefore, many low-dielectric glass cloths have been proposed as glass cloths constituting printed wiring boards. For example, the low-dielectric glass cloth disclosed in Patent Document 9 contains a large amount of B 2 O 3 in the glass composition and at the same time contains other materials such as SiO 2 , as opposed to the conventional E-glass cloth. A low dielectric constant is achieved by adjusting the blending amounts of the components.

5831665号公報5831665 publication 5936726号公報5936726 publication 5027335号公報5027335 publication 3897789号公報3897789 publication 4446754号公報4446754 publication 3756066号公報3756066 publication 特開平10-245743号公報JP-A-10-245743 特開2001-269931号公報JP-A-2001-269931 特開平11-292567号公報JP-A-11-292567

特許文献6には、厚さ25μm以下のガラスクロスに関して記載されているが、実施例1~5において具体的に開示されているガラスクロスは、厚さ17~21μmであり、最も薄いもので17μmであった。特許文献6に開示されているガラスクロスは、隣り合う糸同士を隙間なく配置させるため、フィラメント数が多いガラス糸を用いる必要があり、その結果、ガラスクロスの厚さを低減することが困難である。特許文献6における実施例1~5においては、具体的には、いずれも経糸及び緯糸にフィラメント数100本のガラス糸が使用された。 Patent Document 6 describes a glass cloth having a thickness of 25 μm or less, but the glass cloth specifically disclosed in Examples 1 to 5 has a thickness of 17 to 21 μm, and the thinnest is 17 μm. Met. In the glass cloth disclosed in Patent Document 6, it is necessary to use glass yarns with a large number of filaments in order to arrange adjacent yarns without gaps, and as a result, it is difficult to reduce the thickness of the glass cloth. be. Specifically, in Examples 1 to 5 in Patent Document 6, 100 filament glass yarns were used for both the warp and the weft.

特許文献5に開示されているガラスクロスは、経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントの平均直径を小さくし、且つ、経糸及び緯糸を構成するフィラメント本数を少なくすることで、厚さ5μm以上15μm未満と、ガラスクロスの厚さを薄くすることを達成している。特許文献1及び特許文献2におけるガラスクロスもまた、厚さが薄い。
しかしながら、特許文献1に開示されているガラスクロスは、経糸と緯糸に質量0.5×10-6~1.7×10-6kg/mと細いガラス糸を用いているため、ガラスクロスの剛性が小さく、プリプレグ塗工時に波打ちが生じる課題を抱えている。
また、特許文献2においても、経糸及び緯糸ともに質量が1.65×10-6kg/m以下、具体的にはBC3000、BC3750、BC5000、BC6000より軽い糸である、細いガラス糸が使用されているため、ガラスクロスの剛性が小さく、プリプレグ塗工時に波打ちが生じる問題がある。
さらに、特許文献5に開示されるガラスクロスにおいても、経糸及び緯糸を構成するフィラメント本数を少なくするため、波打ちが生じやすい。
The glass cloth disclosed in Patent Document 5 has a thickness of 5 μm or more and less than 15 μm by reducing the average diameter of the glass filaments that make up the warp and weft and by reducing the number of filaments that make up the warp and weft. , has achieved a reduction in the thickness of the glass cloth. The glass cloths in Patent Documents 1 and 2 are also thin.
However, the glass cloth disclosed in Patent Document 1 uses thin glass yarns with a mass of 0.5×10 −6 to 1.7×10 −6 kg/m for the warp and weft. It has a problem of low rigidity and waviness during prepreg coating.
Also, in Patent Document 2, fine glass yarns having a weight of 1.65×10 −6 kg/m or less for both warp and weft, specifically lighter than BC3000, BC3750, BC5000, and BC6000 are used. Therefore, the rigidity of the glass cloth is small, and there is a problem that waviness occurs during prepreg coating.
Furthermore, in the glass cloth disclosed in Patent Document 5 as well, since the number of filaments constituting the warp and weft is reduced, waviness is likely to occur.

ここで、ガラスクロスの波打ちとは、ガラスクロスに熱硬化性樹脂を含侵、乾燥させてプリプレグを製造する過程でプリプレグが、図1に図示されるような形状のように変形する現象である。プリプレグの波打ちが大きいと、波打ちに起因してシワが発生したり、続くプリプレグの成形工程の位置合わせが困難で位置ずれが発生したりする問題がある。また、プリプレグを重ねて保管する際、あるいはロール状に巻き取って保管する場合に波打ちの凸部同士が接触して擦れるため、Bステージ、すなわち、半硬化状態にある硬化性樹脂にクラックが生じ、樹脂が剥がれ落ちてしまう問題もある。 Here, the waviness of the glass cloth is a phenomenon in which the prepreg is deformed into a shape as illustrated in FIG. . If the prepreg waviness is large, wrinkles may be generated due to the waviness, and positioning in the subsequent prepreg molding process may be difficult, resulting in misalignment. In addition, when prepregs are stacked and stored, or when the prepreg is rolled up and stored, the wavy protrusions come into contact with each other and rub against each other, so cracks occur in the B stage, that is, in the semi-cured curable resin. , there is also a problem that the resin peels off.

プリプレグの波打ちは、プリプレグ塗工過程で、熱硬化性樹脂が乾燥により収縮する応力が、ライン張力による拘束力のない緯糸方向に波打ちを生じることで緩和されるために生じる。例えば、特許文献7には、単位面積当たりの質量48g/m2のガラスクロスを用いて厚さ70μmのプリプレグを製造する際に波打ちが発生すること、及び、特許文献8には、厚さ60μm以下のガラスクロスを用いてプリプレグを製造する際に波打ちが発生することが記載されている。 The rippling of the prepreg occurs because the stress caused by shrinkage of the thermosetting resin due to drying in the prepreg coating process is relieved by rippling in the weft direction where there is no binding force due to line tension. For example, Patent Document 7 discloses that waviness occurs when a prepreg having a thickness of 70 μm is produced using glass cloth having a mass per unit area of 48 g/m 2 , and It is described that waviness occurs when producing a prepreg using the following glass cloth.

波打ちは、上述のとおり、硬化性樹脂が硬化する際に収縮することにより、ガラスクロスがテンション保持されてない緯糸方向に縮もうとする力に対してガラスクロスが負けて屈曲することによって生じる。そのため、波打ちは、ガラスクロスの厚さが薄く、剛性が小さいほど発生しやすい。また、ガラスクロスが薄くなり強度が弱くなると、経糸方向にかけられるライン張力も小さくなるため、プリプレグ塗工過程におけるガラスクロスにバタつき及び/又はたわみが生じやすい。したがって、厚さが薄いガラスクロスほど波打ちが発生しやすい問題を抱えている。 As described above, waviness occurs when the curable resin shrinks when cured, and the glass cloth is bent against the force of contraction in the weft direction where the glass cloth is not held in tension. Therefore, waviness is more likely to occur as the thickness of the glass cloth is thinner and the rigidity is lower. In addition, when the glass cloth becomes thinner and weaker in strength, the line tension applied in the warp direction also decreases, so that the glass cloth tends to flutter and/or bend during the prepreg coating process. Therefore, there is a problem that the thinner the glass cloth is, the more likely it is to be undulated.

特許文献4に記載のガラスクロスは、低張力条件で開繊加工することにより、経糸と緯糸のうねり構造を同等とすることができ、引張荷重をかけた際の伸び率が経糸と緯糸とで同等となり寸法安定性に優れるとされている。
しかしながら、特許文献4に記載のガラスクロスは、経糸と緯糸とに同じガラス糸を用いているために、経糸と緯糸のうねり構造を同等にすることは難しく、特許文献4に記載のガラスクロスにおいても、経糸方向に比べ緯糸方向に大きく伸びるガラスクロスであり、プリプレグ塗工時の緯糸方向の寸法安定効果は十分でなく、波打ちの抑止には改善の余地がある。
The glass cloth described in Patent Document 4 can be made to have the same undulating structure of the warp and weft by performing the fiber opening process under low tension conditions, and the elongation rate of the warp and the weft when a tensile load is applied is different. It is considered to be equivalent and excellent in dimensional stability.
However, in the glass cloth described in Patent Document 4, since the same glass yarn is used for the warp and the weft, it is difficult to make the undulation structure of the warp and the weft equal. Also, the glass cloth stretches more in the weft direction than in the warp direction, and the dimensional stability effect in the weft direction during prepreg coating is not sufficient, and there is room for improvement in preventing waviness.

特許文献3に記載のガラスクロスは、緯糸に、経糸よりフィラメント径の大きいガラス糸を用いそのフィラメント数を調整することによって、引張荷重が作用した際の歪(伸び)を小さくし、歪の異方性を小さくすることを実現したガラスクロスである。特許文献3に記載のガラスクロスは、緯糸のうねり構造が低減されているため、プリプレグ塗工時の波打ちの改善にも有用である。
しかしながら、特許文献3のガラスクロスは、引張張力が作用した際の歪を小さくするため、経糸及び緯糸に1.8×10-6kg/m以上の比較的太いガラス糸を用いる必要があるため、該特許文献の実施例に具体的に開示してあるように、最も薄いガラスクロスでも厚さ17μmが最小であり、厚さ16μm以下のガラスクロスを得ることはできない。
また、特許文献3のガラスクロスは、該特許文献の実施例にあるように、緯糸にフィラメント径4.5μm以上、フィラメント数100本と太い糸を用いることにより、緯糸方向に引張張力が作用した際の歪の低減を実現している。そのため、隣接する緯糸同士の間隔が狭くなる課題も抱えている。通常、ガラスクロスに樹脂を含侵させ、余分な樹脂を除去した後、ガラスクロスの表裏にある樹脂がガラスクロスのガラスのない部位を通じて相互に浸透し合い均一化されるが、特許文献3のガラスクロスは、樹脂含侵性が十分でなくガラスクロスの表裏で樹脂層を均一にすることが困難である。
The glass cloth described in Patent Document 3 uses glass yarns having a larger filament diameter than the warp yarns for the weft yarns and adjusts the number of filaments to reduce strain (elongation) when a tensile load is applied, thereby reducing the difference in strain. It is a glass cloth that achieves a reduction in directionality. The glass cloth described in Patent Literature 3 has a reduced waviness structure of the weft yarns, and is therefore useful for improving waviness during prepreg coating.
However, in the glass cloth of Patent Document 3, it is necessary to use relatively thick glass yarns of 1.8 × 10 -6 kg / m or more for the warp and weft in order to reduce the strain when a tensile tension acts. , as specifically disclosed in the examples of the patent document, even the thinnest glass cloth has a minimum thickness of 17 μm, and a glass cloth having a thickness of 16 μm or less cannot be obtained.
In the glass cloth of Patent Document 3, as in the example of the patent document, a tensile tension was applied in the weft direction by using a thick yarn with a filament diameter of 4.5 μm or more and 100 filaments for the weft. It realizes the reduction of the distortion at the time. Therefore, there is also a problem that the interval between adjacent wefts becomes narrow. Usually, the glass cloth is impregnated with a resin, and after removing excess resin, the resin on the front and back of the glass cloth penetrates each other through the glass-free portions of the glass cloth and is homogenized. The glass cloth is not sufficiently impregnated with resin, and it is difficult to form a uniform resin layer on the front and back of the glass cloth.

また、ICP規格に登録の1000(12μm)、1010(11μm)、1017(14μm)、1015(15μm)等の厚さ16μm以下のガラスクロスが市販品として利用可能であるが、いずれのガラスクロスにおいても、前記のプリプレグ塗工時の波打ちの課題を抱えており、その改善が望まれている。
さらに、プリント配線板の製造過程では、積層工程の熱と圧力により、また、回路パターン形成工程において銅箔の一部がエッチアウトされることにより、銅張り積層板の寸法変化、反り、ねじれが生じることが知られている。上記の1000、1010、1017、1015スタイル等の厚さが16μm以下のガラスクロスは機械的強度が弱いために上記の寸法変化、反り、ねじれの問題が著しく発生しやすいという問題を抱えている。特に、緯糸方向に寸法変化が生じやすく、寸法変化量のバラツキも大きい。プリント配線板は高密度化するほど寸法変化に対する安定性の重要性は高くなるが、一方で、高密度化のために厚さの薄いガラスクロスを用いると、上述のとおり、寸法安定性が悪化する。
In addition, glass cloths with a thickness of 16 μm or less such as 1000 (12 μm), 1010 (11 μm), 1017 (14 μm), 1015 (15 μm) registered in the ICP standard are commercially available. also has the problem of waviness during prepreg coating, and its improvement is desired.
Furthermore, in the manufacturing process of printed wiring boards, due to heat and pressure in the laminating process, and part of the copper foil being etched out in the circuit pattern forming process, dimensional changes, warping, and twisting of the copper-clad laminate may occur. known to occur. The 1000, 1010, 1017, and 1015 style glass cloths having a thickness of 16 μm or less have a weak mechanical strength, and thus have the problem that the above-mentioned dimensional change, warp, and twist tend to occur remarkably. In particular, the dimensional change tends to occur in the weft direction, and the amount of dimensional change varies greatly. The higher the density of the printed wiring board, the more important it is to be stable against dimensional changes. do.

低誘電ガラスでは、特許文献9に開示されているように、ガラス組成中のB23配合量を増やす等のガラス組成の調整により低誘電特性が現れる。低誘電化のためのガラス組成の制御によりガラス糸を構成するガラスの比重が軽くなり、ガラス糸の剛性が弱くなる傾向にある。そのため、従来のEガラスで構成されるガラスクロスと比較して、低誘電ガラスクロスは、波打ちが発生しやすく、また、寸法安定性にも優れない傾向にある。 In low dielectric glass, as disclosed in Patent Document 9, low dielectric properties appear by adjusting the glass composition, such as increasing the amount of B 2 O 3 in the glass composition. The control of the glass composition for the purpose of lowering the dielectric tends to reduce the specific gravity of the glass that constitutes the glass yarn and weaken the rigidity of the glass yarn. Therefore, compared with glass cloth made of conventional E-glass, low-dielectric glass cloth is prone to waviness and tends to be inferior in dimensional stability.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、プリプレグ塗工時の波打ちが少なく取扱い性に優れ、樹脂含侵性を有しガラスクロスの表裏で樹脂層を均一にでき、寸法安定性に優れる、厚さ16μm以下の低誘電ガラスクロス、該低誘電ガラスクロスを使用したプリプレグ及びプリント配線板用基板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems. It is an object of the present invention to provide a low-dielectric glass cloth having a thickness of 16 μm or less, and a prepreg and printed wiring board substrate using the low-dielectric glass cloth.

本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、経糸及び緯糸から構成される低誘電ガラスクロスが特定の織物構造を有することにより、厚さを16μm以下に維持したまま、ガラスクロスの剛性を高め、プリプレグ塗工時の波打ちが少なく取扱い性に優れること、樹脂含侵性に優れガラスクロスの表裏で樹脂層を均一にできること、及び、寸法安定性に優れることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that the low-dielectric glass cloth composed of warp and weft has a specific woven structure, while maintaining the thickness at 16 μm or less. It has been found that the rigidity of the prepreg is increased, waviness is small during prepreg coating and is excellent in handleability, the resin impregnation is excellent and the resin layer can be made uniform on the front and back of the glass cloth, and the dimensional stability is excellent. was completed.

すなわち、本発明は以下のとおりである。
[1]
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成された、厚さ8μm以上16μm以下のガラスクロスであって、
経糸の単位長さ当たりの平均質量が、1.40×10-6kg/m以上1.60×10-6kg/m未満、
緯糸の単位長さ当たりの平均質量が、1.60×10-6kg/m以上3.00×10-6kg/m以下であり、
経糸の単位長さ当たりの平均質量に対する、緯糸の単位長さ当たりの平均質量の比(緯糸/経糸比)が、1.20より大きく1.50以下であり、
ガラスの密度が、2.1g/cm3以上2.5g/cm3以下である、
ガラスクロス。
[2]
経糸及び緯糸の平均フィラメント数が、実質的に同じであり、且つ、
経糸の平均フィラメント径が、3.7μm以上4.3μm以下であり、
緯糸の平均フィラメント径が、4.2μm以上5.3μm以下であり、
経糸の平均フィラメント径に対する緯糸の平均フィラメント径の比(緯糸/経糸比)が、1.07以上1.40以下である、
[1]に記載のガラスクロス。
[3]
経糸と緯糸の平均フィラメント径が、実質的に同じであり、且つ、
経糸の平均フィラメント数が、45本以上70本以下であり、
緯糸の平均フィラメント数が、55本以上80本以下であり、
経糸の平均フィラメント数に対する緯糸の平均フィラメント数の比(緯糸/経糸比)が、1.25より大きく1.50以下である、
[1]に記載のガラスクロス。
[4]
式(1)で求められる、緯糸の長手方向(MD方向)における、緯糸の存在する部分の割合を示す係数(Y:緯糸占有率)が、76%以上90%以下である、
[1]~[3]のいずれかに記載のガラスクロス。
Y=F/(25000/G)×100 ・・・(1)
(式(1)中、Fは、緯糸幅(μm)であり、Gは、緯糸の織密度(本/25mm)である。)
[5]
長手方向(MD方向)における、隣り合う緯糸同士の間の隙間幅が、40μm以上80μm以下である、
[1]~[4]のいずれかに記載のガラスクロス。
[6]
10GHzの周波数において5.0以下の誘電率を有する、
[1]~[5]のいずれかに記載のガラスクロス。
[7]
[1]~[6]のいずれかに記載のガラスクロスと、
マトリックス樹脂と、を有する、
プリプレグ。
[8]
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成され、厚さが8μm以上16μm以下であり、ガラスの密度が2.1g/cm3以上2.5g/cm3以下である、ガラスクロスと、マトリックス樹脂と、を有する、プリプレグであって、
以下の1)~3);
1)樹脂含量が、50%以上83質量%以下であること、
2)ガラスクロスの一方の面側に位置する第1樹脂層の厚さと、前記ガラスクロスの他方の面側に位置する第2樹脂層の厚さの比が、0.7以上1.3以下であること、
3)波打ち量が、3mm未満であること、
を満たす、プリプレグ。
[9]
前記ガラスクロスが、[1]~[6]のいずれかに記載のガラスクロスである、
[8]に記載のプリプレグ。
[10]
長手方向(MD方向)における、隣り合う緯糸同士の間の隙間幅が、40μm以上80μm以下である、
[8]又は[9]に記載のプリプレグ。
[11]
[7]~[10]のいずれかに記載のプリプレグを有する、プリント配線板。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A glass cloth having a thickness of 8 μm or more and 16 μm or less, which is composed of glass threads composed of a plurality of glass filaments as warp and weft,
The average mass per unit length of the warp is 1.40 × 10 -6 kg/m or more and less than 1.60 × 10 -6 kg/m,
The average mass per unit length of the weft is 1.60 × 10 -6 kg/m or more and 3.00 × 10 -6 kg/m or less,
The ratio of the average mass per unit length of the weft to the average mass per unit length of the warp (weft/warp ratio) is greater than 1.20 and less than or equal to 1.50;
The glass has a density of 2.1 g/cm 3 or more and 2.5 g/cm 3 or less.
Glass cloth.
[2]
The average number of filaments of the warp and weft is substantially the same, and
The average filament diameter of the warp is 3.7 μm or more and 4.3 μm or less,
The average filament diameter of the weft is 4.2 μm or more and 5.3 μm or less,
The ratio of the average filament diameter of the weft to the average filament diameter of the warp (weft/warp ratio) is 1.07 or more and 1.40 or less.
The glass cloth according to [1].
[3]
The average filament diameters of the warp and weft are substantially the same, and
The average number of filaments of the warp is 45 or more and 70 or less,
The average number of filaments of the weft is 55 or more and 80 or less,
The ratio of the average number of filaments of the weft to the average number of filaments of the warp (weft/warp ratio) is greater than 1.25 and not more than 1.50.
The glass cloth according to [1].
[4]
The coefficient (Y: weft occupancy) indicating the ratio of the portion where the weft exists in the longitudinal direction (MD direction) of the weft obtained by the formula (1) is 76% or more and 90% or less.
The glass cloth according to any one of [1] to [3].
Y=F/(25000/G)×100 (1)
(In formula (1), F is the weft width (μm), and G is the weft weaving density (thread/25 mm).)
[5]
The gap width between adjacent wefts in the longitudinal direction (MD direction) is 40 μm or more and 80 μm or less.
The glass cloth according to any one of [1] to [4].
[6]
having a dielectric constant of 5.0 or less at a frequency of 10 GHz;
The glass cloth according to any one of [1] to [5].
[7]
The glass cloth according to any one of [1] to [6];
a matrix resin;
prepreg.
[8]
A glass cloth composed of glass yarns composed of a plurality of glass filaments as warps and wefts, having a thickness of 8 μm or more and 16 μm or less, and a glass density of 2.1 g/cm 3 or more and 2.5 g/cm 3 or less. and a matrix resin, wherein
1) to 3) below;
1) the resin content is 50% or more and 83% by mass or less;
2) The ratio of the thickness of the first resin layer located on one side of the glass cloth to the thickness of the second resin layer located on the other side of the glass cloth is 0.7 or more and 1.3 or less. to be
3) waviness is less than 3 mm;
Prepreg that satisfies
[9]
The glass cloth is the glass cloth according to any one of [1] to [6],
The prepreg according to [8].
[10]
The gap width between adjacent wefts in the longitudinal direction (MD direction) is 40 μm or more and 80 μm or less.
The prepreg according to [8] or [9].
[11]
A printed wiring board comprising the prepreg according to any one of [7] to [10].

本発明によれば、プリプレグ塗工時の波打ちが少なく取り扱い性に優れ、プリプレグとするときの樹脂含侵性に優れ、寸法安定性にも優れる、厚さ16μm以下の薄い低誘電ガラスクロスを提供することができる。 According to the present invention, there is provided a thin low-dielectric glass cloth having a thickness of 16 μm or less, which has less waviness during prepreg coating, excellent handleability, excellent resin impregnation when forming prepreg, and excellent dimensional stability. can do.

波打ちを有するプリプレグの模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram of a prepreg having undulations; 波打ちの高さを測定する方法を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a method of measuring the height of waviness;

以下、本発明の実施の形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。 Hereinafter, an embodiment of the present invention (hereinafter referred to as "this embodiment") will be described in detail, but the present invention is not limited to this, and various modifications are possible without departing from the gist thereof. is.

<ガラスクロス>
本実施形態のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成された、厚さ8μm以上16μm以下のガラスクロスである。
ガラスクロスの厚さが8μm以上16μm以下であることにより、厚さが、例えば、18μm以上35μmのように、薄いプリプレグを得ることができ、電子機器の高機能化、小型軽量化に対応可能なプリント配線板が得られる。
<Glass cloth>
The glass cloth of the present embodiment is a glass cloth having a thickness of 8 μm or more and 16 μm or less, which is composed of warp and weft yarns made of a plurality of glass filaments.
When the thickness of the glass cloth is 8 μm or more and 16 μm or less, it is possible to obtain a thin prepreg with a thickness of, for example, 18 μm or more and 35 μm, and it is possible to respond to high performance, small size and light weight of electronic devices. A printed wiring board is obtained.

本実施形態のガラスクロスにおける、経糸の単位長さ当たりの質量は、1.40×10-6kg/m以上1.60×10-6kg/m未満である。
本実施形態のガラスクロスにおける、緯糸の単位長さ当たりの質量は、1.60×10-6kg/m以上3.00×10-6kg/m以下である。
前記経糸の単位長さ当たりの平均質量に対する、前記緯糸の単位長さ当たりの平均質量の比、すなわち、経糸と緯糸との質量比(緯糸/経糸比)は、1.20より大きく1.50以下である。
In the glass cloth of the present embodiment, the mass per unit length of warps is 1.40×10 −6 kg/m or more and less than 1.60×10 −6 kg/m.
In the glass cloth of the present embodiment, the weft yarn has a mass per unit length of 1.60×10 −6 kg/m or more and 3.00×10 −6 kg/m or less.
The ratio of the average mass per unit length of the weft yarns to the average mass per unit length of the warp yarns, i.e. the mass ratio of the warp yarns to the weft yarns (weft/warp ratio) is greater than 1.20 and 1.50 It is below.

本実施形態のガラスクロスを構成するガラスの密度は、2.10g/cm3以上2.50g/cm3以下である。ガラスの密度は、好ましくは2.20g/cm3以上2.45g/cm3以下、より好ましくは2.25g/cm3以上2.45g/cm3以下である。 The density of the glass constituting the glass cloth of the present embodiment is 2.10 g/cm 3 or more and 2.50 g/cm 3 or less. The density of the glass is preferably 2.20 g/cm 3 or more and 2.45 g/cm 3 or less, more preferably 2.25 g/cm 3 or more and 2.45 g/cm 3 or less.

従来より一般に用いられていたEガラスクロスのガラスの密度は2.54g/cm3である。ガラスクロスの誘電率、誘電正接を小さくするためには、ガラスの構成組成を変更する必要があり、低誘電ガラスはEガラスクロスと比較して、B23等の比較的比重の小さい物質が多く配合される。そのため、低誘電ガラスの密度は、Eガラスの密度と比較して小さくなり、ガラス糸の強度も低下する傾向にある。
ガラスクロスには、その製造過程において、シラン処理剤を含侵塗工した後にシラン剤の塗布量を調整する工程、或いは開繊加工工程にて、物理的な負荷がかかる。また、ガラスクロスを用いてプリプレグ塗工する際も、樹脂ワニスを含侵塗工した後に樹脂ワニス量を調整し乾燥する工程等においてガラスクロスに物理的な負荷がかかる。上記工程でガラスクロスを切断させることなく安定に連続して搬送するには、経糸が一定以上の強度を有することが必要であり、ガラスの密度を2.10g/cm3以上とすることにより、経糸強度の保持することができる。
また、ガラスの密度が2.10g/cm3以上であることにより、緯糸の強度を補強することができ、波打ち回避を回避することができる。
ガラスの密度を2.50g/cm3以下とすることにより、低誘電特性に優れる。
The density of E-glass cloth, which has been generally used, is 2.54 g/cm 3 . In order to reduce the dielectric constant and dielectric loss tangent of the glass cloth, it is necessary to change the constituent composition of the glass. is often blended. Therefore, the density of low-dielectric glass tends to be lower than that of E-glass, and the strength of glass threads tends to decrease.
In the manufacturing process of the glass cloth, a physical load is applied in the process of adjusting the coating amount of the silane agent after impregnation coating with the silane treatment agent, or in the fiber opening process. Also, when the glass cloth is used for prepreg coating, a physical load is applied to the glass cloth in the process of adjusting the amount of the resin varnish and drying after impregnation coating with the resin varnish. In order to stably and continuously convey the glass cloth without cutting it in the above process, it is necessary for the warp to have a certain strength or more . Warp strength can be maintained.
In addition, since the density of the glass is 2.10 g/cm 3 or more, the strength of the weft can be reinforced, and waviness can be avoided.
By setting the density of the glass to 2.50 g/cm 3 or less, excellent low dielectric properties are obtained.

ガラスの密度は、上述したように、B23等の比較的比重の小さい物質が多く配合されること、すなわち、ガラスを構成する成分の組成を制御することにより、2.10g/cm3以上2.50g/cm3以下の範囲に制御される。
ガラスの組成は、適宜調整することができ、例えば以下の組成を有していればよい。
ガラスクロスのSi含量は、SiO2換算で、好ましくは40~60質量%であり、より好ましくは45~55質量%であり、さらに好ましくは47~53質量%であり、48~52質量%である。
ガラスクロスのB含量は、B23換算で、好ましくは15~30質量%であり、より好ましくは17~28質量%であり、さらに好ましくは20~27質量%であり、よりさらに好ましくは21~25質量%であり、さらにより好ましくは21~24質量%である。
ガラスクロスのAl含量は、Al23換算で、好ましくは10~20質量%であり、より好ましくは11~18質量%であり、さらに好ましくは12~17質量%である。
ガラスクロスのCa含量は、CaO換算で、好ましくは4~12質量%であり、好ましくは5~10質量%であり、より好ましくは6~9質量%である。
他の組成として、例えば、Mg、P、Na、K、Ti、Zn等が含まれていてもよい。
ガラスの組成は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
As described above, the density of the glass is 2.10 g/cm 3 by blending a large amount of substances with a relatively small specific gravity such as B 2 O 3 , that is, by controlling the composition of the components constituting the glass. It is controlled in the range of 2.50 g/cm 3 or more and 2.50 g/cm 3 or less.
The composition of the glass can be adjusted as appropriate, and may have, for example, the following composition.
The Si content of the glass cloth is preferably 40 to 60% by mass, more preferably 45 to 55% by mass, still more preferably 47 to 53% by mass, and 48 to 52% by mass in terms of SiO 2 . be.
The B content of the glass cloth is preferably 15 to 30% by mass, more preferably 17 to 28% by mass, still more preferably 20 to 27% by mass, and even more preferably, in terms of B 2 O 3 21 to 25% by mass, more preferably 21 to 24% by mass.
The Al content of the glass cloth is preferably 10 to 20% by mass, more preferably 11 to 18% by mass, and still more preferably 12 to 17% by mass in terms of Al 2 O 3 .
The Ca content of the glass cloth is preferably 4 to 12% by mass, preferably 5 to 10% by mass, more preferably 6 to 9% by mass in terms of CaO.
Other compositions may include, for example, Mg, P, Na, K, Ti, Zn, and the like.
The composition of the glass can be adjusted according to the amount of raw materials used for producing the glass filaments.

経糸の単位長さ当たりの質量、緯糸の単位長さ当たりの質量、及び経糸と緯糸との質量比の範囲は、好ましくはそれぞれ、経糸;1.40×10-6kg/m以上1.57×10-6kg/m未満、緯糸;1.65×10-6kg/m以上2.80×10-6kg/m以下、緯糸/経糸比;1.17以上1.79以下であり、より好ましくはそれぞれ、経糸;1.40×10-6kg/m以上1.55×10-6kg/m未満、緯糸;1.70×10-6kg/m以上2.50×10-6kg/m以下、緯糸/経糸比;1.21以上1.62以下である。 The ranges of the mass per unit length of the warp, the mass per unit length of the weft, and the mass ratio of the warp and the weft are preferably 1.40 × 10 -6 kg/m or more and 1.57, respectively. × 10 -6 kg/m or less, weft: 1.65 × 10 -6 kg/m or more and 2.80 × 10 -6 kg/m or less, weft/warp ratio: 1.17 or more and 1.79 or less, More preferably, warp: 1.40×10 −6 kg/m or more and less than 1.55×10 −6 kg/m, weft: 1.70×10 −6 kg/m or more and 2.50×10 −6 kg/m or less, weft/warp ratio: 1.21 or more and 1.62 or less.

ガラスクロスには、その製造過程において、シラン処理剤を含侵塗工した後にシラン剤の塗布量を調整する工程、或いは開繊加工工程にて、物理的な負荷がかかる。また、ガラスクロスを用いてプリプレグ塗工する際も、樹脂ワニスを含侵塗工した後に樹脂ワニス量を調整し乾燥する工程等においてガラスクロスに物理的な負荷がかかる。上記工程でガラスクロスを切断させることなく安定に連続して搬送するには、経糸が一定以上の強度を有することが必要であるため、経糸の単位長さ当たりの平均質量は1.40×10-6kg/m以上である必要がある。一方、経糸として、単位長さ当たりの平均質量が1.80×10-6kg/m未満のガラス糸を用いることにより、厚さ16μm以下を維持でき、また、織り密度を例えば90本以上のように多くすることができ、ピンホールの発生を抑えられる傾向にある。 In the manufacturing process of the glass cloth, a physical load is applied in the process of adjusting the coating amount of the silane agent after impregnation coating with the silane treatment agent, or in the fiber opening process. Also, when the glass cloth is used for prepreg coating, a physical load is applied to the glass cloth in the process of adjusting the amount of the resin varnish and drying after impregnation coating with the resin varnish. In order to stably and continuously convey the glass cloth in the above process without cutting it, the warp must have a certain strength or more, so the average mass per unit length of the warp is 1.40 × 10. -6 kg/m or more. On the other hand, by using glass yarns having an average mass per unit length of less than 1.80×10 −6 kg/m as warp yarns, the thickness can be maintained at 16 μm or less, and the weave density can be set to, for example, 90 or more. , and tends to suppress the occurrence of pinholes.

緯糸として、単位長さ当たりの平均質量が1.60×10-6kg/m以上のガラス糸を用いることにより、プリプレグ塗工時の熱硬化性樹脂の収縮に対する補強効果が高まり、波打ちの発生抑制に有利に作用する。緯糸に用いるガラス糸の単位長さ当たりの質量は、大きいほど補強効果が強くなる傾向にあり好ましいが、ガラスクロスの厚さを16μm以下に抑えるためには、緯糸の単位長さ当たりの平均質量を3.00×10-6kg/m以下とする必要がある。 By using glass yarns having an average mass per unit length of 1.60 × 10 -6 kg/m or more as weft yarns, the reinforcing effect against the shrinkage of the thermosetting resin during prepreg coating is enhanced, and waviness occurs. It favors suppression. The larger the mass per unit length of the glass yarn used for the weft, the stronger the reinforcing effect tends to be, which is preferable. should be 3.00×10 −6 kg/m or less.

また、経糸と緯糸との質量比が1.20より大きいことにより、緯糸の剛性と経糸の剛性との差が大きくなるため、緯糸に用いる糸が細く剛性が低い場合においても、製織過程における緯糸のうねりを小さく抑えることができる。また、製織工程にて、経糸に作用するライン張力のバラつきに応じて、拘束力のない状態で挿入される緯糸のうねり状態には変動が生じるが、経糸と緯糸との質量比が上記範囲にあることにより、緯糸のうねり構造の変動を小さく抑えることができる。そのため、プリプレグ塗工工程における熱硬化性樹脂の硬化収縮に対し、寸法安定効果を高めることができる。 In addition, when the mass ratio of the warp to the weft is greater than 1.20, the difference between the stiffness of the weft and the stiffness of the warp increases. swell can be kept small. In the weaving process, the waviness of the weft inserted without a binding force varies depending on the variation in the line tension acting on the warp. Due to this, fluctuations in the waviness structure of the weft can be kept small. Therefore, it is possible to enhance the dimensional stability effect against curing shrinkage of the thermosetting resin in the prepreg coating process.

一方、経糸と緯糸との質量比が、1.50以下である場合、経糸と緯糸の剛性の差が極端に大きくなるのを防ぎ、また、緯糸のうねり構造が適度に温存されて経糸と緯糸のうねり構造に大きな差が生じないため、プリント配線板とした時の寸法安定性の異方性を防ぐことができる。
経糸の単位長さ当たりの質量、緯糸の単位長さ当たりの質量、及び経糸と緯糸との質量比が上述した範囲にあることにより、プリント配線板としたときの寸法安定性の異方性を防ぎつつ、経糸方向及び緯糸方向の剛性を高めることができる。そのため、ライン搬送中に切断することのない強度を有し、プリプレグの波打ちの低減が可能であり、寸法変化に対する安定性に優れる、厚さ16μm以下のガラスクロスが得られる。また、経糸と緯糸との質量比を1.50以下とすることにより、ガラスクロスを構成するガラスの密度が2.10g/cm3以上2.50g/cm3以下と、低誘電のガラスクロスであっても、プリプレグの波打ちを低減することができ、寸法変化に対する安定性に優れるものとすることができる。
経糸の単位長さ当たりの平均質量、及び緯糸の単位長さ当たりの平均質量は、例えば、経糸及び緯糸を構成するフィラメントの、フィラメント径を調整すること、及び/又は、平均フィラメント数を調整すること等によって、制御することができる。
On the other hand, when the mass ratio of the warp to the weft is 1.50 or less, the difference in rigidity between the warp and the weft is prevented from becoming extremely large, and the waviness structure of the weft is appropriately preserved. Since there is no large difference in the undulation structure, it is possible to prevent anisotropy in the dimensional stability when used as a printed wiring board.
The weight per unit length of the warp yarn, the weight per unit length of the weft yarn, and the weight ratio between the warp yarn and the weft yarn are in the ranges described above, so that the anisotropy of the dimensional stability of the printed wiring board is improved. It is possible to increase the rigidity in the warp and weft directions while preventing this. Therefore, it is possible to obtain a glass cloth having a thickness of 16 μm or less, which has the strength not to be cut during line transportation, can reduce waviness of the prepreg, and has excellent stability against dimensional change. In addition, by setting the mass ratio of the warp to the weft to 1.50 or less, the density of the glass constituting the glass cloth is 2.10 g/cm 3 or more and 2.50 g/cm 3 or less, and the glass cloth has a low dielectric. Even if there is, the waviness of the prepreg can be reduced, and the stability against dimensional change can be excellent.
The average mass per unit length of the warp yarns and the average mass per unit length of the weft yarns are adjusted, for example, by adjusting the filament diameter and/or the average number of filaments of the filaments that make up the warp and weft yarns. It can be controlled by

本実施形態のガラスクロスは、経糸及び緯糸の平均フィラメント数が、実質的に同じであり、且つ、経糸の平均フィラメント径が、3.7μm以上4.3μm以下であり、緯糸の平均フィラメント径が4.2μm以上5.3μm以下であり、経糸の平均フィラメント径に対する緯糸の平均フィラメント径の比(緯糸/経糸比)が、1.07以上1.40以下であるガラスクロス(以下、ガラスクロスXともいう)が好ましい。
経糸及び緯糸のフィラメント数、並びにフィラメント径が上述の範囲にあることにより、ガラスクロスの厚さを16μm以下に維持しつつ、プリント配線板の寸法安定性の異方性を防ぎ、緯糸方向の剛性の強いガラスクロスとすることができる。
In the glass cloth of the present embodiment, the average number of filaments of the warp and the weft is substantially the same, the average filament diameter of the warp is 3.7 μm or more and 4.3 μm or less, and the average filament diameter of the weft is A glass cloth having an average filament diameter of 4.2 μm or more and 5.3 μm or less and a ratio of the average filament diameter of the weft to the average filament diameter of the warp (weft/warp ratio) of 1.07 or more and 1.40 or less (hereinafter referred to as glass cloth X Also called) is preferable.
By keeping the number of filaments of the warp and weft and the filament diameter within the above range, the thickness of the glass cloth is maintained at 16 μm or less, the anisotropy of the dimensional stability of the printed wiring board is prevented, and the rigidity in the weft direction is improved. can be a strong glass cloth.

経糸及び緯糸の平均フィラメント径、並びにその緯糸/経糸比の範囲は、より好ましくはそれぞれ、経糸;3.8μm以上4.2μm以下、緯糸;4.3μm以上5.2μm以下、平均フィラメント径の緯糸/経糸比;1.08以上1.25以下であり、さらに好ましくはそれぞれ、経糸;3.9μm以上4.1μm以下、緯糸;4.4μm以上5.1μm以下、平均フィラメント径の緯糸/経糸比;1.09以上1.20以下である。 More preferably, the average filament diameter of the warp and weft and the range of the weft/warp ratio are warp: 3.8 μm or more and 4.2 μm or less, weft: 4.3 μm or more and 5.2 μm or less, and weft with an average filament diameter. / warp ratio: 1.08 or more and 1.25 or less, more preferably each warp: 3.9 μm or more and 4.1 μm or less, weft: 4.4 μm or more and 5.1 μm or less, average filament diameter weft/warp ratio 1.09 or more and 1.20 or less.

経糸と緯糸の平均フィラメント数が実質的に同じとは、経糸のフィラメント数と緯糸のフィラメント数との比(緯糸/経糸比)が、0.94以上1.06以下の範囲にあることを指す。平均フィラメント数の緯糸/経糸比が0.94以上1.06以下であることにより、緯糸のフィラメント径が大きいことによる効果、すなわち、緯糸方向の剛性が発現されるため好ましい。
また、本実施形態において、経糸と緯糸の平均フィラメント数が実質的に同じ場合、経糸及び緯糸のフィラメント数は、それぞれ60本以下であることが好ましい。経糸及び緯糸のフィラメント数が60本以下の場合、ガラスクロス製造工程における物理加工によりフィラメントが拡散されやすく、ガラス糸束のZ方向のフィラメント分布を小さくできるため、ガラスクロスの厚さを低減しやすい。ガラスクロスの厚さを低減するためにはフィラメント数は少ない方が好ましいが、ガラスクロスの強度や取扱い性の観点から、経糸と緯糸の平均フィラメント数が実質的に同じ場合、経糸と緯糸の平均フィラメント数の下限は、好ましくは44本以上、より好ましくは46本以上、さらに好ましくは48本以上である。
The fact that the average number of filaments of warp and weft is substantially the same means that the ratio of the number of filaments of warp to the number of filaments of weft (weft/warp ratio) is in the range of 0.94 or more and 1.06 or less. . It is preferable that the weft/warp ratio of the average number of filaments is 0.94 or more and 1.06 or less because the effect of the large filament diameter of the weft, that is, the rigidity in the weft direction is exhibited.
Further, in the present embodiment, when the average number of filaments of the warp and the weft is substantially the same, the number of filaments of the warp and the weft is preferably 60 or less. When the number of filaments in the warp and weft is 60 or less, the filaments are easily diffused by physical processing in the glass cloth manufacturing process, and the filament distribution in the Z direction of the glass fiber bundle can be reduced, so the thickness of the glass cloth can be easily reduced. . In order to reduce the thickness of the glass cloth, it is preferable that the number of filaments is as small as possible. The lower limit of the number of filaments is preferably 44 or more, more preferably 46 or more, still more preferably 48 or more.

また、本実施形態のガラスクロスは、経糸と緯糸の平均フィラメント径が、実質的に同じであり、且つ、経糸の平均フィラメント数が、45本以上70本以下であり、緯糸の平均フィラメント数が、55本以上80本以下であり、経糸の平均フィラメント数に対する緯糸の平均フィラメント数の比(緯糸/経糸比)が、1.25より大きく1.50以下であるガラスクロス(以下、ガラスクロスYともいう)が好ましい。
経糸及び緯糸のフィラメント数、並びにフィラメント径が上述の範囲にあることにより、ガラスクロスの厚さを16μm以下に維持しつつ、プリント配線板の寸法安定性を損ねることなく、緯糸方向の剛性の強いガラスクロスとすることができる。
Further, in the glass cloth of the present embodiment, the average filament diameter of the warp and the weft is substantially the same, the average number of filaments of the warp is 45 or more and 70 or less, and the average number of filaments of the weft is , 55 or more and 80 or less, and the ratio of the average number of weft filaments to the average number of warp filaments (weft/warp ratio) is greater than 1.25 and 1.50 or less (hereinafter referred to as glass cloth Y Also called) is preferable.
By setting the number of filaments in the warp and weft and the filament diameter within the above range, the thickness of the glass cloth is maintained at 16 μm or less, and the dimensional stability of the printed wiring board is not impaired, and the rigidity in the weft direction is high. Glass cloth can be used.

経糸及び緯糸の平均フィラメント数、及びその比(緯糸/経糸比)の範囲は、より好ましくはそれぞれ、経糸;43本以上65本以下、緯糸;57本以上75本以下、平均フィラメント数の緯糸/経糸比;1.27以上1.45以下であり、さらに好ましくはそれぞれ、経糸;45本以上60本以下、緯糸;60本以上70本以下、平均フィラメント数の緯糸/経糸比;1.30以上1.40以下である。 More preferably, the average number of filaments of warp and weft and the ratio thereof (weft/warp ratio) are warp: 43 or more and 65 or less, weft: 57 or more and 75 or less, average filament number of weft/ Warp ratio: 1.27 or more and 1.45 or less, more preferably warp: 45 or more and 60 or less, weft: 60 or more and 70 or less, average filament number weft/warp ratio: 1.30 or more 1.40 or less.

経糸及び緯糸の平均フィラメント径が実質的に同じとは、経糸のフィラメント径と緯糸のフィラメント径との比(緯糸/経糸比)が、0.95以上1.05以下の範囲にあることを指す。平均フィラメント径の緯糸/経糸比が0.95以上1.05以下の範囲であることにより、緯糸のフィラメント数を大きくすることによる効果、すなわち、緯糸方向の剛性が発現されるため好ましい。
また、本実施形態において、経糸及び緯糸の平均フィラメント径が実質的に同じ場合、経糸及び緯糸のフィラメント径は、それぞれ3.8μm以上であることが好ましい。経糸及び緯糸の平均フィラメント径が3.8μm以上の場合、ガラスクロスの剛性を強くすることができる。ガラスクロスの剛性を強くするためにはフィラメント径は大きい方が好ましいが、ガラスクロスの厚さの観点から、経糸及び緯糸の平均フィラメント径が実質的に同じ場合、経糸及び緯糸のフィラメント径の上限は、好ましくは4.4μm以下、より好ましくは4.3μm以下、さらに好ましくは4.2μm以下である。
The average filament diameter of the warp and the weft being substantially the same means that the ratio of the filament diameter of the warp to the filament diameter of the weft (weft/warp ratio) is in the range of 0.95 or more and 1.05 or less. . It is preferable that the weft/warp ratio of the average filament diameter is in the range of 0.95 or more and 1.05 or less, because the effect of increasing the number of filaments in the weft, that is, the rigidity in the weft direction is exhibited.
Further, in the present embodiment, when the average filament diameters of the warp and the weft are substantially the same, the filament diameter of the warp and the weft is preferably 3.8 μm or more. When the average filament diameter of the warp and weft is 3.8 μm or more, the rigidity of the glass cloth can be increased. In order to increase the rigidity of the glass cloth, it is preferable that the filament diameter is large. is preferably 4.4 μm or less, more preferably 4.3 μm or less, still more preferably 4.2 μm or less.

本実施形態のガラスクロスは、上述した、ガラスクロスX及びガラスクロスYの中でも、寸法安定性により優れることから、好ましくはガラスクロスXである。 Among the glass cloth X and the glass cloth Y described above, the glass cloth X of the present embodiment is preferable because it is superior in dimensional stability.

本実施形態のガラスクロスは、式(1)で求められる、緯糸の長手方向(MD方向)における、緯糸の存在する部分の割合を示す係数(Y:緯糸占有率)が、76%以上90%以下であることが好ましい。
ここで、緯糸占有率Yは、緯糸の糸幅を、糸幅と緯糸の隙間の幅の和で除した値であり、式(1)で求めた値である。
Y=F/(25000/G)×100 ・・・(1)
(式(1)中、Fは、緯糸幅(μm)であり、Gは、緯糸の織密度(本/25mm)である。)
緯糸幅とは、100mm×100mmの大きさのガラスクロスサンプルを表面から顕微鏡で観察し、全ての緯糸の幅を求めた平均値である。
緯糸占有率Yは、より好ましくは78%以上89%未満、さらに好ましくは79%以上88%以下である。
In the glass cloth of the present embodiment, the coefficient (Y: weft occupancy) indicating the ratio of the portion where the weft exists in the longitudinal direction (MD direction) of the weft obtained by the formula (1) is 76% or more and 90%. The following are preferable.
Here, the weft occupancy Y is a value obtained by dividing the width of the weft by the sum of the width of the weft and the width of the gap between the wefts, and is the value obtained by the formula (1).
Y=F/(25000/G)×100 (1)
(In formula (1), F is the weft width (μm), and G is the weft weaving density (thread/25 mm).)
The weft width is the average value obtained by observing the surface of a glass cloth sample having a size of 100 mm×100 mm with a microscope and determining the width of all the wefts.
The weft occupancy Y is more preferably 78% or more and less than 89%, and still more preferably 79% or more and 88% or less.

本実施形態のガラスクロスは、緯糸が経糸より質量の大きいガラス糸で構成されているため、経糸の糸幅より緯糸の糸幅の方が広く、また、経糸と経糸の間の隙間より緯糸と緯糸の間の隙間の方が広くなる傾向にある。ここで、緯糸と緯糸の間の隙間を適切量確保しガラスが存在しない部位を存在させることにより、ガラスクロスに樹脂を含侵塗工する際、樹脂量を調整するために余分な樹脂を除去した後にガラスクロスのガラスが存在しない部位を通して一方の面と他方の面の樹脂とが相互に浸透し合う。これによって、ガラスクロスに対する樹脂の厚さが対象の厚さとなるプリプレグが得られる。上記の観点で、緯糸占有率Yは、90%以下であることが好ましい。
また、緯糸占有率Yが76%以上であることにより、ガラスクロス全体にガラス糸が均一に分布し、経糸と経糸の間の隙間と、緯糸と緯糸の間の隙間とで形成される、バスケットホールと呼ばれるガラス糸が存在しない部位を小さくすることができ、ピンホールの発生を抑えることができる。
In the glass cloth of the present embodiment, since the wefts are made of glass yarns having a larger mass than the warp yarns, the width of the weft yarns is wider than the width of the warp yarns, and the gap between the warp yarns The gaps between the wefts tend to be wider. Here, by securing an appropriate amount of space between the wefts and creating a part where glass does not exist, excess resin is removed to adjust the amount of resin when impregnating the glass cloth with resin. After that, the resin on one side and the other side permeate each other through the portion of the glass cloth where the glass does not exist. As a result, a prepreg is obtained in which the thickness of the resin with respect to the glass cloth is the target thickness. From the above point of view, the weft occupancy Y is preferably 90% or less.
In addition, since the weft yarn occupation ratio Y is 76% or more, the glass yarns are uniformly distributed over the entire glass cloth, and the basket is formed by the gaps between the warp yarns and the gaps between the weft yarns. It is possible to reduce the size of a portion called a hole where the glass thread does not exist, thereby suppressing the occurrence of pinholes.

さらに、本実施形態のガラスクロスは、緯糸の長手方向(MD方向)における、隣り合う緯糸同士の間の隙間幅、すなわち、緯糸と緯糸との間の間隔が、好ましくは40μm以上80μm以下であり、より好ましくは45μm以上75μm以下であり、さらに好ましくは50μm以上70μm以下である。
緯糸と緯糸との間の間隔を40μm以上80μm以下とすることにより、ガラスクロスの分布と樹脂の含侵性のバランスが適正となり、ピンホール発生を抑制し、ガラスクロスに対して樹脂が対称に塗工されることを同時に満たすことができる。
緯糸と緯糸との間の間隔は、例えば、緯糸幅及び/又は緯糸の織密度を調整することにより、制御することができる。
また、緯糸と緯糸との間の間隔は、開繊処理等を実施することによりガラスクロスを構成する糸の扁平化加工を行うことによって、糸幅を調整することもできる。
開繊処理としては、例えば、水流圧力による開繊、液体を媒体とした高周波の振動による開繊、面圧を有する流体の圧力による加工、ロールによる加圧での加工等が挙げられる。これらの開繊処理法の中では、糸幅の均一性の観点から、水流圧力による開繊、及び/又は、液体を媒体とした高周波の振動による開繊が好ましい。また、扁平化加工の効果を高める観点から、搬送のためにガラスクロスにかかる張力を小さくした状態で開繊処理等を実施することが好ましい。さらに、緯糸と緯糸との間の間隔の調整は、ガラス糸に滑剤の特性を示す有機物が付着した状態のガラスクロス、又は通常のガラスクロスを製織する際に使用されるバインダー、糊剤等が付着した状態のガラスクロスでの扁平化加工、また、開繊処理を行った後にシランカップリング剤による表面処理を施しさらに開繊処理を施すことによっても行うことができる。
Further, in the glass cloth of the present embodiment, the gap width between adjacent wefts in the longitudinal direction (MD direction) of the wefts, that is, the gap between the wefts is preferably 40 μm or more and 80 μm or less. , more preferably 45 μm or more and 75 μm or less, and still more preferably 50 μm or more and 70 μm or less.
By setting the distance between the wefts to 40 μm or more and 80 μm or less, the distribution of the glass cloth and the impregnation of the resin are properly balanced, the occurrence of pinholes is suppressed, and the resin is symmetrical with respect to the glass cloth. Can be filled at the same time to be coated.
The spacing between the weft threads can be controlled, for example, by adjusting the weft width and/or the weft density.
Also, the spacing between the wefts can be adjusted by flattening the yarns forming the glass cloth by performing a fiber opening process or the like to adjust the yarn width.
Examples of the fiber-opening treatment include fiber-opening by water flow pressure, fiber-opening by high-frequency vibration using liquid as a medium, processing by pressure of fluid having surface pressure, and processing by pressurization by rolls. Among these fiber-spreading methods, from the viewpoint of yarn width uniformity, fiber-spreading by water stream pressure and/or fiber-spreading by high-frequency vibration using liquid as a medium is preferable. In addition, from the viewpoint of enhancing the effect of the flattening process, it is preferable to carry out the fiber opening process or the like while reducing the tension applied to the glass cloth for transportation. Furthermore, the spacing between the wefts can be adjusted by using a glass cloth in which an organic substance exhibiting the properties of a lubricant is attached to the glass yarn, or a binder, a sizing agent, etc. used when weaving an ordinary glass cloth. It can also be carried out by performing a flattening process with a glass cloth in an adhered state, or by performing a surface treatment with a silane coupling agent after performing an opening treatment, and then performing an opening treatment.

本実施形態のガラスクロスを構成するガラス糸としては、特に限定されるものでなく、Dガラス、Lガラス、NEガラス、シリカガラス(Qガラス)等の低誘電率ガラス等を使用することができる。 The glass yarn constituting the glass cloth of the present embodiment is not particularly limited, and low dielectric constant glass such as D glass, L glass, NE glass, silica glass (Q glass), etc. can be used. .

ガラスクロスの織り構造としては、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り等の織り構造が挙げられる。さらに異種のガラス糸を用いた混織構造でもよい。この中でも、平織り構造が好ましい。 The woven structure of the glass cloth is not particularly limited, but examples thereof include woven structures such as plain weave, Nanako weave, satin weave, and twill weave. Furthermore, a mixed woven structure using glass threads of different types may be used. Among these, the plain weave structure is preferable.

また、プリント配線板等に使用される積層板を構成するガラスクロスには、通常シランカップリング剤を含んだ処理液による表面処理が施されていてもよい。該シランカップリング剤としては、一般に用いられるシランカップリング剤を使用することができ、必要に応じて、酸、染料、顔料、界面活性剤等を添加してもよい。 Further, glass cloth constituting a laminate used for printed wiring boards and the like may be subjected to a surface treatment with a treatment liquid containing a silane coupling agent. Commonly used silane coupling agents can be used as the silane coupling agent, and if necessary, acids, dyes, pigments, surfactants, and the like may be added.

シランカップリング剤としては、例えば、式(2)で示されるシランカップリング剤を使用することが好ましい。
X(R)3-nSiYn ・・・(2)
式(2)中、Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも1つを有する有機官能基であり、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数であり、Rは、各々独立して、メチル基、エチル基及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。
As the silane coupling agent, it is preferable to use, for example, a silane coupling agent represented by formula (2).
X(R) 3-nSiYn ( 2)
In formula (2), X is an organic functional group having at least one of an amino group and an unsaturated double bond group, Y is each independently an alkoxy group, and n is 1 or more and 3 Each R is an integer below, and each R is independently a group selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group and a phenyl group.

Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも3つ以上を有する有機官能基であることが好ましく、Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも4つ以上を有する有機官能基であることがより好ましい。
上記のアルコキシ基としては、いずれの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化の観点から、炭素数5以下のアルコキシ基が好ましい。
X is preferably an organic functional group having at least three or more of amino groups and unsaturated double bond groups, and X is an organic functional group having at least four or more of amino groups and unsaturated double bond groups. A functional group is more preferred.
Any form of the alkoxy group can be used, but an alkoxy group having 5 or less carbon atoms is preferable from the viewpoint of stabilizing the glass cloth.

シランカップリング剤としては、具体的には、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)-N-γ-(N-ビニルベンジル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリ同エトキシシラン及びその塩酸塩、γ-(2-アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ-(2-アミノエチル)アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の単体、又はこれらの混合物が挙げられる。 Specific examples of the silane coupling agent include N-β-(N-vinylbenzylaminoethyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β-(N-vinylbenzylaminoethyl)- γ-Aminopropylmethyldimethoxysilane and its hydrochloride, N-β-(N-di(vinylbenzyl)aminoethyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β-(N-di(vinyl benzyl)aminoethyl)-N-γ-(N-vinylbenzyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β-(N-benzylaminoethyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilane and its Hydrochloride, N-β-(N-benzylaminoethyl)-γ-aminopropyltriethoxysilane and its hydrochloride, γ-(2-aminoethyl)aminopropyltrimethoxysilane, γ-(2-aminoethyl) Known simple substances such as aminopropyltriethoxysilane, aminopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, methacryloxypropyltrimethoxysilane, acryloxypropyltrimethoxysilane, or mixtures thereof can be mentioned.

シランカップリング剤の分子量は、好ましくは100~600であり、より好ましくは150~500であり、さらに好ましくは200~450である。この中でも、分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸表面を処理することにより、ガラス表面での処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性がさらに向上する傾向にある。 The molecular weight of the silane coupling agent is preferably 100-600, more preferably 150-500, still more preferably 200-450. Among these, it is preferable to use two or more silane coupling agents having different molecular weights. By treating the glass fiber surface with two or more silane coupling agents having different molecular weights, the density of the treatment agent on the glass surface tends to increase and the reactivity with the matrix resin tends to be further improved.

ガラスクロスの強熱減量値は、好ましくは0.10質量%以上1.20質量%以下であり、より好ましくは0.11質量%以上1.10質量%以下であり、さらに好ましくは0.12質量%以上1.00質量%以下である。強熱減量値が0.10質量%以上1.2質量%以下であることにより、従来よりもプリプレグの搬送性、すなわち、ハンドリング性を向上することができる。また、樹脂とガラスクロスとが界面で剥がれやすくなることに由来する基板の絶縁信頼性の低下を抑制でき、また、メッキ液がガラスクロスに染み込むことに由来する基板の絶縁信頼性の低下を抑制できる傾向にある。
ここでいう「強熱減量値」とは、JIS R 3420に記載されている方法に従って測定することができる。すなわち、まずガラスクロスを110℃の乾燥機の中に入れ、60分間乾燥する。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。次に、ガラスクロスをマッフル炉で625℃、20分間加熱する。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。以上の測定方法で求める強熱減量値により、ガラスクロスのシランカップリング剤処理量を定義する。
The ignition loss value of the glass cloth is preferably 0.10% by mass or more and 1.20% by mass or less, more preferably 0.11% by mass or more and 1.10% by mass or less, and still more preferably 0.12. It is more than mass % and below 1.00 mass %. When the ignition loss value is 0.10% by mass or more and 1.2% by mass or less, the transportability of the prepreg, that is, the handling property can be improved more than before. In addition, it is possible to suppress the deterioration of the insulation reliability of the substrate due to the fact that the resin and the glass cloth are easily peeled off at the interface, and it is possible to suppress the deterioration of the insulation reliability of the substrate due to the plating solution permeating the glass cloth. tend to be able.
The term "loss on ignition" as used herein can be measured according to the method described in JIS R 3420. First, the glass cloth is placed in a drier at 110° C. and dried for 60 minutes. After drying, the glass cloth is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After standing to cool, the glass cloth is weighed in units of 0.1 mg or less. Next, the glass cloth is heated in a muffle furnace at 625° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, the glass cloth is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After standing to cool, the glass cloth is weighed in units of 0.1 mg or less. The amount of glass cloth treated with the silane coupling agent is defined by the ignition loss value determined by the above measuring method.

<ガラスクロスの製造方法>
本実施形態のガラスクロスの製造方法は、特に限定されないが、例えば、シランカップリング剤の濃度が0.1~3.0wt%である処理液によってほぼ完全にガラスフィラメントの表面をシランカップリング剤で覆う被覆工程と、加熱乾燥によりシランカップリング剤をガラスフィラメントの表面に固着させる固着工程と、ガラスクロスのガラス糸を開繊する開繊工程と、を有する方法が好適に挙げられる。
<Method for manufacturing glass cloth>
The method for producing the glass cloth of the present embodiment is not particularly limited. , a fixing step of fixing the silane coupling agent to the surface of the glass filaments by heat drying, and a fiber opening step of opening the glass fibers of the glass cloth.

シランカップリング剤を溶解又は分散させる溶媒としては、水、又は有機溶媒のいずれも使用できるが、安全性、地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。水を主溶媒とした処理液を得る方法としては、シランカップリング剤を直接水に投入する方法、シランカップリング剤を水溶性有機溶媒に溶解させて有機溶媒溶液とした後に該有機溶媒溶液を水に投入する方法、のいずれかの方法が好ましい。シランカップリング剤の処理液中での水分散性、安定性を向上させるために、界面活性剤を併用することも可能である。 As a solvent for dissolving or dispersing the silane coupling agent, either water or an organic solvent can be used, but from the viewpoint of safety and protection of the global environment, it is preferable to use water as the main solvent. Methods for obtaining a treatment liquid containing water as a main solvent include a method of directly adding a silane coupling agent to water, a method of dissolving a silane coupling agent in a water-soluble organic solvent to form an organic solvent solution, and then dissolving the organic solvent solution. A method of throwing in water is preferable. A surfactant may be used in combination to improve the water dispersibility and stability of the silane coupling agent in the treatment liquid.

処理液をガラスクロスに塗布する方法としては、(ア)処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法(以下、「浸漬法」という。)、(イ)ロールコーター、ダイコーター、又はグラビアコーター等で処理液をガラスクロスに直接塗布する方法等が挙げられる。上記(ア)の浸漬法にて塗布する場合は、ガラスクロスの処理液への浸漬時間を0.5秒以上、1分以下にすることが好ましい。 Methods for applying the treatment liquid to the glass cloth include (a) a method in which the treatment liquid is stored in a bath and the glass cloth is immersed and passed through (hereinafter referred to as the "immersion method"), (b) a roll coater, a die coater, Alternatively, a method of directly applying the treatment liquid to a glass cloth using a gravure coater or the like can be used. When the coating is performed by the dipping method (a), it is preferable that the glass cloth is dipped in the treatment liquid for 0.5 seconds or more and 1 minute or less.

また、ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を加熱乾燥させる方法としては、熱風、電磁波等公知の方法が挙げられる。
加熱乾燥温度は、シランカップリング剤とガラスとの反応が十分に行われるように、好ましくは90℃以上であり、より好ましくは100℃以上である。また、加熱乾燥温度は、シランカップリング剤が有する有機官能基の劣化を防ぐために、好ましくは300℃以下であり、より好ましくは200℃以下である。
Further, as a method for heating and drying the solvent after the treatment liquid is applied to the glass cloth, known methods such as hot air and electromagnetic waves can be used.
The heat-drying temperature is preferably 90° C. or higher, more preferably 100° C. or higher so that the silane coupling agent and the glass react sufficiently. The heat drying temperature is preferably 300° C. or lower, more preferably 200° C. or lower, in order to prevent deterioration of the organic functional group of the silane coupling agent.

また、開繊工程の開繊方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスクロスを、スプレー水(高圧水開繊)、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。バスケットホールの総面積を一定の範囲に保つためには、スプレー水により開繊工程を行うことが好ましい。
スプレー水で開繊する場合、水圧は適宜設定すればよく、ガラスクロスに存在するバスケットホールの総面積を調整するために、水圧は一定にすることが好ましい。ここで、水圧を一定にするとは、開繊を実施するために設定したスプレーの水圧と、実際の水圧の最大値、最小値との差を小さくすることを指す。開繊工程前後においても、加熱乾燥させる工程を有していてもよい。
The method of opening the fibers in the opening step is not particularly limited, but examples thereof include a method of opening the glass cloth with spray water (high-pressure water opening), vibro washer, ultrasonic water, mangle, or the like. . In order to keep the total area of the basket holes within a certain range, it is preferable to carry out the opening process with spray water.
In the case of opening with spray water, the water pressure may be appropriately set, and it is preferable to keep the water pressure constant in order to adjust the total area of the basket holes present in the glass cloth. Here, keeping the water pressure constant means reducing the difference between the water pressure of the spray set for opening the fibers and the actual maximum and minimum values of the water pressure. Before and after the fiber opening step, a step of drying by heating may be included.

<プリプレグ>
本実施形態の一つは、本実施形態のガラスクロスと、マトリックス樹脂と、から構成される、プリプレグ(以下、プリプレグAという。)である。マトリックス樹脂は、該ガラスクロスに含侵している。
<Prepreg>
One of the present embodiments is a prepreg (hereinafter referred to as prepreg A) composed of the glass cloth of the present embodiment and a matrix resin. The matrix resin impregnates the glass cloth.

また、本実施形態の一つは、複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成された厚さ8μm以上16μm以下のガラスクロスと、マトリックス樹脂と、から構成される、プリプレグ(以下、プリプレグBという。)である。マトリックス樹脂は、該ガラスクロスに含侵している。
また、プリプレグBは、以下の1)~3);
1)樹脂含量50%以上83質量%以下であること、
2)ガラスクロスの一方の面側に位置する第1樹脂層の厚さと、前記ガラスクロスの他方の面側に位置する第2樹脂層の厚さの比が0.7以上1.3以下であること、
3)波打ち量が3mm未満であること、
を満たす。
In addition, one of the present embodiments is a prepreg (hereinafter referred to as , prepreg B). The matrix resin impregnates the glass cloth.
In addition, the prepreg B has the following 1) to 3);
1) The resin content is 50% or more and 83% by mass or less,
2) The ratio of the thickness of the first resin layer located on one side of the glass cloth to the thickness of the second resin layer located on the other side of the glass cloth is 0.7 or more and 1.3 or less. to be,
3) waviness is less than 3 mm;
meet.

本実施形態のプリプレグBの構成物であるガラスクロスは、低誘電ガラスクロスであり、ガラスクロスを構成するガラスの密度が2.1g/cm3以上2.5g/cm3以下である。 The glass cloth constituting the prepreg B of the present embodiment is a low-dielectric glass cloth, and the density of the glass constituting the glass cloth is 2.1 g/cm 3 or more and 2.5 g/cm 3 or less.

本実施形態のプリプレグの構成物であるガラスクロスは、好ましくは、本実施形態のガラスクロスである。本実施形態のガラスクロスを用いることにより、プリプレグ塗工時に波打ちが軽減され、寸法変化の安定性に優れるプリプレグが得られる。 The glass cloth that is a component of the prepreg of the present embodiment is preferably the glass cloth of the present embodiment. By using the glass cloth of the present embodiment, waviness is reduced during prepreg coating, and a prepreg with excellent dimensional change stability can be obtained.

本実施形態のプリプレグBにおける樹脂含量は、プリプレグBの全量を100質量%としたとき、50質量%以上83質量%であり、好ましくは52質量%以上80質量%以下であり、より好ましくは54質量%以上76質量%以下である。樹脂含量が50質量%以上83質量%であることにより、電子機器の高機能化に対応可能である。 The resin content in the prepreg B of the present embodiment is 50% by mass or more and 83% by mass, preferably 52% by mass or more and 80% by mass or less, more preferably 54% by mass, when the total amount of the prepreg B is 100% by mass. It is more than mass % and below 76 mass %. When the resin content is 50% by mass or more and 83% by mass, it is possible to respond to high functionality of electronic devices.

また、本実施形態のプリプレグBにおける、ガラスクロスの一方の面側に位置する第1樹脂層の厚さと、前記ガラスクロスの他方の面側に位置する第2樹脂層の厚さの比は、0.70以上1.30以下であり、好ましくは0.80以上1.20以下であり、より好ましくは0.85以上1.15以下である。
第1樹脂層の厚さと、第2樹脂層の厚さとの比が0.70以上1.30以下であることによって、厚さ16μm以下の薄いガラスクロスにおいても、プリプレグの波打ちが抑えられる。
Further, in the prepreg B of the present embodiment, the ratio of the thickness of the first resin layer located on one side of the glass cloth to the thickness of the second resin layer located on the other side of the glass cloth is It is 0.70 or more and 1.30 or less, preferably 0.80 or more and 1.20 or less, and more preferably 0.85 or more and 1.15 or less.
When the ratio of the thickness of the first resin layer to the thickness of the second resin layer is 0.70 or more and 1.30 or less, waviness of the prepreg is suppressed even in a thin glass cloth having a thickness of 16 μm or less.

また、本実施形態のプリプレグBにおける波打ち量は、3mm以下であり、好ましくは2mm以下、より好ましくは1mm以下である。
プリプレグの波打ちが3mm以下であることにより、プリプレグを加熱加圧成形する際に、ガラスクロスを形成するガラス糸の目曲がり等の歪の発生を抑制できるためと類推されるが、寸法変化の安定性に優れるため好ましい。
ここで、プリプレグの波打ちとは、以下のようにして求めた値である。
プリプレグを340mm×510mmの寸法にカットして、波打ち量測定用の試験片とする。図2に示すように、表面が平坦な測定台1に載置し、プリプレグ2に発生する波打ちの高さ3を計測し、その最大値を「波打ち量」と定義する。
The amount of waviness in the prepreg B of the present embodiment is 3 mm or less, preferably 2 mm or less, more preferably 1 mm or less.
It is presumed that the waviness of the prepreg is 3 mm or less, so that the occurrence of distortion such as bending of the glass yarn that forms the glass cloth can be suppressed when the prepreg is heat-pressed. It is preferable because it has excellent properties.
Here, the waviness of the prepreg is a value obtained as follows.
A prepreg is cut into a size of 340 mm×510 mm to obtain a test piece for measuring the amount of waviness. As shown in FIG. 2, the prepreg 2 is placed on a measuring table 1 having a flat surface, the height 3 of waviness generated in the prepreg 2 is measured, and the maximum value is defined as the "amount of waviness."

本実施形態のプリプレグは、常法に従って製造することができる。例えば、ガラスクロスに、マトリックス樹脂を有機溶剤で希釈したワニスを含浸させた後、乾燥炉にて有機溶剤を揮発させ、熱硬化性樹脂をBステージ状態、すなわち、半硬化状態にまで硬化させて樹脂含浸プリプレグを作製することができる。 The prepreg of this embodiment can be manufactured according to a conventional method. For example, after impregnating a glass cloth with a varnish obtained by diluting a matrix resin with an organic solvent, the organic solvent is volatilized in a drying oven, and the thermosetting resin is cured to a B-stage state, that is, a semi-cured state. Resin impregnated prepregs can be made.

マトリックス樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも使用可能である。
熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、a)エポキシ基を有する化合物と、エポキシ基と反応する、アミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、及び水酸基等の少なくとも1つを有する化合物と、を、無触媒で、又は、イミダゾール化合物、3級アミン化合物、尿素化合物、燐化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して、反応させて硬化させるエポキシ樹脂;b)アリル基、メタクリル基、及びアクリル基の少なくとも1つを有する化合物を、熱分解型触媒、又は光分解型触媒を反応開始剤として使用して、硬化させるラジカル重合型硬化樹脂;c)シアネート基を有する化合物と、マレイミド基を有する化合物と、を反応させて硬化させるマレイミドトリアジン樹脂;d)マレイミド化合物と、アミン化合物と、を反応させて硬化させる熱硬化性ポリイミド樹脂;e)ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させるベンゾオキサジン樹脂等が挙げられる。
また、熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂等が挙げられる。
また、熱硬化性樹脂と、熱可塑性樹脂を併用してもよい。
Both thermosetting resins and thermoplastic resins can be used as the matrix resin.
The thermosetting resin is not particularly limited. A compound having at least one hydroxyl group or the like is reacted and cured without a catalyst or with the addition of a catalyst having a reaction catalytic ability such as an imidazole compound, a tertiary amine compound, a urea compound, a phosphorus compound, etc. Epoxy resin; b) A radically polymerizable curable resin that cures a compound having at least one of an allyl group, a methacrylic group, and an acrylic group using a thermal decomposition catalyst or a photodecomposition catalyst as a reaction initiator; c) a maleimide triazine resin cured by reacting a compound having a cyanate group with a compound having a maleimide group; d) a thermosetting polyimide resin cured by reacting a maleimide compound with an amine compound; e) Benzoxazine resins, etc., in which a compound having a benzoxazine ring is crosslinked and cured by heat polymerization.
The thermoplastic resin is not particularly limited, but for example, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether sulfone, polyarylate, aromatic polyamide, polyether ether ketone, thermoplastic polyimide, insoluble polyimide, Examples include polyamideimide and fluororesin.
Also, a thermosetting resin and a thermoplastic resin may be used in combination.

<プリント配線板>
本実施形態の一つは、本実施形態のプリプレグを用いて製造されるプリント配線板、すなわち、本実施形態のプリプレグを用いて作製されたプリント配線板である。本実施形態のプリプレグを用いてプリント配線板を製造することにより、高品質で、配線回路の正確なプリント配線板を提供することができる。
<Printed wiring board>
One of the present embodiments is a printed wiring board manufactured using the prepreg of the present embodiment, that is, a printed wiring board manufactured using the prepreg of the present embodiment. By manufacturing a printed wiring board using the prepreg of the present embodiment, it is possible to provide a high-quality printed wiring board with an accurate wiring circuit.

以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例及び比較例において、各物性は、以下の方法によって測定した。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples.
In Examples and Comparative Examples, physical properties were measured by the following methods.

(1)ガラスクロスの物性
ガラスクロスの物性、具体的には、ガラスクロスの厚さ、ガラスクロスの質量、経糸及び緯糸の質量、経糸及び緯糸を構成するフィラメントの径、フィラメント数、経糸の織密度は、JIS R3420に従い測定した。経糸幅、緯糸幅、長手方向(MD方向)における隣り合う緯糸同士の間の隙間幅は、ガラスクロスの任意の位置の100mm×100mm以上の大きさの箇所を観察して求めた。
(1) Physical properties of glass cloth Physical properties of glass cloth, specifically thickness of glass cloth, mass of glass cloth, mass of warp and weft, diameter of filaments constituting warp and weft, number of filaments, weave of warp Density was measured according to JIS R3420. The warp width, the weft width, and the gap width between adjacent wefts in the longitudinal direction (MD direction) were obtained by observing an arbitrary position of the glass cloth having a size of 100 mm×100 mm or more.

(2)プリプレグの波打ち評価
実施例及び比較例で得られたプリプレグを340mm×510mmの寸法にカットし試験片を得た。この試験片を図2に示すように表面が平坦な測定台1に載置してプリプレグ2に発生した波打ちの高さ3を計測し、その最大値を「波打ち量」とした。
(2) Evaluation of rippling of prepreg The prepregs obtained in Examples and Comparative Examples were cut into a size of 340 mm x 510 mm to obtain a test piece. As shown in FIG. 2, this test piece was placed on a measuring table 1 having a flat surface, and the height 3 of waviness generated in the prepreg 2 was measured.

(3)ピンホール
実施例及び比較例で得られたプリプレグを500mm×500mmの寸法にカットして試験片を得た。試験片を20倍の拡大鏡で観察しピンホールの個数を求めた。
(3) Pinholes The prepregs obtained in Examples and Comparative Examples were cut into a size of 500 mm x 500 mm to obtain test pieces. The number of pinholes was obtained by observing the test piece with a magnifying glass of 20 times.

(4)緯糸方向の寸法安定性評価
実施例及び比較例で得られたプリプレグを340mm×340mmの大きさにカットし、該プリプレグを2枚積層し、次いで両表面に厚さ12μmの銅箔を配置し後、195℃、40kgf/cm2で圧縮成型し試験基板を得た。得られた試験基板に、125mm間隔となるよう、タテ方向3カ所×ヨコ方向3カ所の合計9カ所に標点をつけた。そして、タテ方向、ヨコ方向のそれぞれについて、隣接する2標点の標点間隔6箇所を測定した(測定値a)。次に、エッチング処理によって鋼箔を取り除き、170℃で30分加熱した後、該標点間隔を再度測定した(測定値b)。緯糸方向について、測定値aと測定値bの差の測定値aに対する割合を算出し、緯糸方向の各基準点間の寸法変化率を求めた(計6点)。上記の試験を3回行った。
3回分の各基準点間の寸法変化率(6点×3回=18の寸法変化率の値)の平均値を求め、緯糸方向の寸法変化率とした。また、全18の寸法変化率の値の標準偏差を求め、緯糸方向の寸法変化利率のバラツキとした。
(4) Evaluation of dimensional stability in the weft direction The prepregs obtained in Examples and Comparative Examples were cut to a size of 340 mm × 340 mm, two sheets of the prepreg were laminated, and then a copper foil having a thickness of 12 µm was placed on both surfaces. After placement, compression molding was performed at 195° C. and 40 kgf/cm 2 to obtain a test substrate. The resulting test substrate was marked at a total of 9 locations, ie, 3 locations in the vertical direction and 3 locations in the horizontal direction, at intervals of 125 mm. Then, in each of the vertical direction and the horizontal direction, six gauge point intervals between two adjacent gauge points were measured (measured value a). The steel foil was then removed by etching, and after heating at 170° C. for 30 minutes, the gauge length was measured again (measured value b). For the weft direction, the ratio of the difference between the measured value a and the measured value b to the measured value a was calculated, and the dimensional change rate between each reference point in the weft direction was obtained (6 points in total). The above test was performed three times.
The average value of the dimensional change rate between each reference point for three times (6 points x 3 times = 18 dimensional change rate values) was obtained and used as the dimensional change rate in the weft direction. In addition, the standard deviation of the values of the dimensional change rate of all 18 was obtained and used as the variation of the dimensional change rate in the weft direction.

<実施例1>
経糸として、平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.46×10-6kg/mのLガラスの糸、緯糸として、平均フィラメント径4.5μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.83×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、エアジェットルームを用い、経糸93.5本/25mm、緯糸60本/25mmの織密度でガラスクロスを製織した。なお、ガラスクロスを構成するLガラス(組成:SiO2:51%、Al23:13%、CaO:8%、B23:23%)の密度は、2.30g/cm3であった。得られた生機に400℃で24時間加熱処理し脱糊した。次いで、シランカップリング剤である、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン;SZ6032(東レ・ダウコーニング社製)を用いた処理液にガラスクロスを浸漬し、絞液後、120℃で1分乾燥し、さらに高圧水スプレーによる開繊を実施し、質量10.1g/m2、厚さ12μmのガラスクロスAを得た。ガラスクロスAの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ136μm、269μmであり、緯糸占有率は65%、緯糸の隙間は148μmであった。
ガラスクロスAを塗工試験用に幅650mmに加工し、エポキシ樹脂ワニスを用いてプリプレグ塗工試験を行った。なお、エポキシ樹脂ワニスは、低臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂80質量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂20質量部、ジシアンジアミド2質量部、2-エチル-4-メチルイミダゾール0.2質量部、2-メトキシ-エタノール100質量部を配合して調合した。ガラスクロスを3m/minの速度で搬送させ、エポキシ樹脂ワニスにガラスクロスAを浸漬し、樹脂含量が68質量%になるように隙間を調整したスリットを通して余分なワニスを掻き落とした後、乾燥温度170℃、乾燥時間1分30秒の条件で乾燥し、該エポキシ樹脂を半硬化(Bステージ化)させ、プリプレグAを得た。
<Example 1>
As the warp, the average filament diameter is 4.0 μm, the number of filaments is 50, the number of twists is 1.0 Z, and the mass per unit length is 1.46×10 −6 kg/m. The average filament diameter is 4 as the weft. .5 μm, 50 filaments, 1.0 Z twist, and a weight per unit length of 1.83×10 −6 kg/m. A glass cloth was woven at a weaving density of 60 wefts/25 mm. The density of L glass (composition: SiO 2 : 51%, Al 2 O 3 : 13%, CaO: 8%, B 2 O 3 : 23%) constituting the glass cloth is 2.30 g/cm 3 . there were. The resulting green fabric was heat-treated at 400° C. for 24 hours and desized. Next, the glass cloth was immersed in a treatment solution containing a silane coupling agent, N-β-(N-vinylbenzylaminoethyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilane; SZ6032 (manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.). , dried at 120° C. for 1 minute after squeezing, and spread by high-pressure water spray to obtain a glass cloth A having a weight of 10.1 g/m 2 and a thickness of 12 μm. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth A were 136 μm and 269 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 65%, and the gap between the weft yarns was 148 μm.
Glass cloth A was processed to have a width of 650 mm for a coating test, and a prepreg coating test was performed using an epoxy resin varnish. The epoxy resin varnish includes 80 parts by mass of low-brominated bisphenol A type epoxy resin, 20 parts by mass of cresol novolac type epoxy resin, 2 parts by mass of dicyandiamide, 0.2 parts by mass of 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methoxy - Prepared by blending 100 parts by mass of ethanol. The glass cloth is conveyed at a speed of 3 m / min, the glass cloth A is immersed in the epoxy resin varnish, and the excess varnish is scraped off through a slit whose gap is adjusted so that the resin content is 68% by mass. Drying was carried out at 170° C. for 1 minute and 30 seconds for a drying time of 1 minute and 30 seconds to semi-harden the epoxy resin (to B stage) to obtain a prepreg A.

<実施例2>
緯糸の織密度を70本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量10.7g/m2、厚さ13μmのガラスクロスBを得た。ガラスクロスBの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ141μm、288μmであり、緯糸占有率は81%、緯糸の隙間は69μmであった。
ガラスクロスBを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグBを得た。
<Example 2>
The weaving of the glass cloth and the subsequent treatment were carried out in the same manner as in Example 1, except that the weft weaving density was 70/25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth B were 141 μm and 288 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 81%, and the gap between the weft yarns was 69 μm.
A prepreg B was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth B was used.

<実施例3>
緯糸の織密度を75本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.1g/m2、厚さ14μmのガラスクロスCを得た。ガラスクロスCの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ139μm、279μmであり、緯糸占有率は84%、緯糸の隙間は54μmであった。
ガラスクロスCを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグCを得た。
<Example 3>
Weaving of the glass cloth and subsequent treatments were carried out in the same manner as in Example 1, except that the weft weaving density was 75 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth C were 139 μm and 279 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 84%, and the gap between the weft yarns was 54 μm.
A prepreg C was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth C was used.

<実施例4>
緯糸の織密度を78本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.3g/m2、厚さ14μmのガラスクロスDを得た。ガラスクロスDの経糸と緯糸の糸幅はそれぞれ138μm、277μmであり、緯糸占有率は86%、緯糸の隙間は44μmであった。
ガラスクロスDを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグDを得た。
<Example 4>
The weaving of the glass cloth and the subsequent treatment were carried out in the same manner as in Example 1, except that the weft weaving density was 78 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth D were 138 μm and 277 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 86%, and the gap between the weft yarns was 44 μm.
A prepreg D was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth D was used.

<実施例5>
緯糸の織密度を81本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.5g/m2、厚さ15μmのガラスクロスEを得た。ガラスクロスEの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ136μm、272μmであり、緯糸占有率は88%、緯糸の隙間は37μmであった。
ガラスクロスEを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグEを得た。
<Example 5>
The weaving of the glass cloth and the subsequent treatment were carried out in the same manner as in Example 1, except that the weft weaving density was 81 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth E were 136 μm and 272 μm, respectively, the weft occupancy was 88%, and the gap between the wefts was 37 μm.
A prepreg E was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth E was used.

<実施例6>
緯糸の織密度を85本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.8g/m2、厚さ16μmのガラスクロスFを得た。ガラスクロスFの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ133μm、268μmであり、緯糸占有率は91%、緯糸の隙間は26μmであった。
ガラスクロスFを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグFを得た。
<Example 6>
The weaving of the glass cloth and the subsequent treatment were carried out in the same manner as in Example 1, except that the weft weaving density was 85 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth F were 133 μm and 268 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 91%, and the gap between the weft yarns was 26 μm.
A prepreg F was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth F was used.

<実施例7>
緯糸に平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数67本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.95×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、緯糸の織密度を65本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量10.5g/m2、厚さ13μmのガラスクロスGを得た。ガラスクロスGの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ153μm、288μmであり、緯糸占有率は75%、緯糸の隙間は97μmであった。
ガラスクロスGを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグGを得た。
<Example 7>
L glass yarn with an average filament diameter of 4.0 μm, 67 filaments, 1.0 Z twist, and a mass per unit length of 1.95 × 10 -6 kg / m is used for the weft, and the weft is woven Weaving of the glass cloth and subsequent treatments were carried out in the same manner as in Example 1, except that the density was 65 threads/25 mm, to obtain a glass cloth G having a mass of 10.5 g/m 2 and a thickness of 13 μm. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth G were 153 μm and 288 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 75%, and the gap between the weft yarns was 97 μm.
A prepreg G was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth G was used.

<実施例8>
緯糸の織密度を72本/25mmとしたこと以外は、実施例7と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.1g/m2、厚さ14μmのガラスクロスHを得た。ガラスクロスHの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ150μm、282μmであり、緯糸占有率は81%、緯糸の隙間は65μmであった。
ガラスクロスHを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグHを得た。
<Example 8>
Weaving of the glass cloth and subsequent treatments were carried out in the same manner as in Example 7, except that the weft weaving density was 72 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth H were 150 μm and 282 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 81%, and the gap between the weft yarns was 65 μm.
A prepreg H was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth H was used.

<実施例9>
緯糸の織密度を75本/25mmとしたこと以外は、実施例7と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.3g/m2、厚さ14μmのガラスクロスIを得た。ガラスクロスIの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ147μm、278μmであり、緯糸占有率は83%、緯糸の隙間は55μmであった。
ガラスクロスIを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグIを得た。
<Example 9>
Weaving of the glass cloth and subsequent treatments were carried out in the same manner as in Example 7, except that the weft weaving density was 75 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth I were 147 μm and 278 μm, respectively, the weft occupancy was 83%, and the gap between the wefts was 55 μm.
A prepreg I was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth I was used.

<実施例10>
経糸として、平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.41×10-6kg/mの低誘電ガラスの糸、緯糸として、平均フィラメント径4.5μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.78×10-6kg/mの低誘電ガラスの糸を使用し、エアジェットルームを用い、経糸93.5本/25mm、緯糸75本/25mmの織密度でガラスクロスを製織した。なお、ガラスクロスを構成する低誘電ガラス(組成:SiO2:51%、Al23:17%、CaO:3%、B23:24%)の密度は、2.23g/cm3であった。
次いで、実施例1と同様の方法で処理を行い、質量10.8g/m2、厚さ13μmのガラスクロスJを得た。ガラスクロスJの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ142μm、283μmであり、緯糸占有率は85%、緯糸の隙間は50μmであった。
ガラスクロスJを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグJを得た。
<Example 10>
As the warp, a low dielectric glass yarn having an average filament diameter of 4.0 μm, 50 filaments, a twist number of 1.0 Z, and a mass per unit length of 1.41×10 −6 kg/m, and as the weft, an average filament diameter A low dielectric glass yarn of 4.5 μm, 50 filaments, 1.0 Z twist, and a mass per unit length of 1.78×10 −6 kg/m was used, and an air jet loom was used. A glass cloth was woven with a weaving density of 5 threads/25 mm and a weft thread of 75 threads/25 mm. The density of the low dielectric glass (composition: SiO 2 : 51%, Al 2 O 3 : 17%, CaO: 3%, B 2 O 3 : 24%) constituting the glass cloth is 2.23 g/cm 3 . Met.
Then, the treatment was performed in the same manner as in Example 1 to obtain a glass cloth J having a mass of 10.8 g/m 2 and a thickness of 13 µm. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth J were 142 μm and 283 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 85%, and the gap between the weft yarns was 50 μm.
A prepreg J was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth J was used.

<比較例1>
緯糸に平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.46×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、緯糸の織密度を93.5本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.1g/m2、厚さ14μmのガラスクロスKを得た。ガラスクロスKの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ134μm、223μmであり、緯糸占有率は83%、緯糸の隙間は44μmであった。
ガラスクロスKを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグKを得た。
<Comparative Example 1>
L glass yarn with an average filament diameter of 4.0 μm, 50 filaments, 1.0 Z twist, and a mass per unit length of 1.46 × 10 -6 kg / m is used for the weft, and the weft is woven Glass cloth K was woven and treated in the same manner as in Example 1 except that the density was 93.5 threads/25 mm, and the mass was 11.1 g/m 2 and the thickness was 14 µm. rice field. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth K were 134 μm and 223 μm, respectively, the weft occupancy was 83%, and the gap between the wefts was 44 μm.
Prepreg K was obtained in the same manner as in Example 1, except that glass cloth K was used.

<比較例2>
緯糸及び経糸に、平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数40本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.17×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、経糸及び緯糸の織密度を95本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量9.0g/m2、厚さ11μmのガラスクロスLを得た。ガラスクロスLの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ156μm、177μmであり、緯糸占有率は67%、緯糸の隙間は86μmであった。
ガラスクロスLを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグLを得た。
<Comparative Example 2>
L-glass yarn having an average filament diameter of 4.0 μm, 40 filaments, 1.0 Z twist, and a mass per unit length of 1.17×10 −6 kg/m is used for the weft and warp, and Glass cloth was woven and treated in the same manner as in Example 1 , except that the weaving density of the warp and weft was 95 threads/25 mm. obtained L. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth L were 156 μm and 177 μm, respectively, the weft occupation ratio was 67%, and the gap between the wefts was 86 μm.
A prepreg L was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth L was used.

<比較例3>
経糸に平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数40本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.17×10-6kg/mLガラスの糸、緯糸に平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.46×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、経糸の織密度を95本/25mm、緯糸の織密度を95本/mとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量8.2g/m2、厚さ13μmのガラスクロスMを得た。ガラスクロスMの経糸及び緯糸の糸幅はそれぞれ157μm、213μmであり、緯糸占有率は81%、緯糸の隙間は50μmであった。
ガラスクロスMを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグMを得た。
<Comparative Example 3>
Average filament diameter 4.0 μm for warp, 40 filaments, twist number 1.0 Z, mass per unit length 1.17×10 −6 kg/mL glass yarn, average filament diameter 4.0 μm for weft, filament 50 strands, 1.0 Z twist, and 1.46 × 10 -6 kg/m mass per unit length of L-glass yarn, and the weaving density of the warp yarn is 95 yarns/25 mm, and the weft yarn is woven Weaving of the glass cloth and subsequent treatments were carried out in the same manner as in Example 1, except that the density was 95 fibers/m, to obtain a glass cloth M having a mass of 8.2 g/m 2 and a thickness of 13 μm. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth M were 157 μm and 213 μm, respectively, the weft occupancy was 81%, and the gap between the wefts was 50 μm.
A prepreg M was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth M was used.

<比較例4>
緯糸の織密度を76本/25mmとしたこと以外は、比較例3と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量6.3g/m2、厚さ12μmのガラスクロスNを得た。ガラスクロスNの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ162μm、232μmであり、緯糸占有率は71%、緯糸の隙間は97μmであった。
ガラスクロスNを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグNを得た。
<Comparative Example 4>
Glass cloth weaving and subsequent treatments were performed in the same manner as in Comparative Example 3, except that the weft weaving density was 76 threads/ 25 mm. Obtained. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth N were 162 μm and 232 μm, respectively, the weft occupancy was 71%, and the gap between the wefts was 97 μm.
Prepreg N was obtained in the same manner as in Example 1, except that glass cloth N was used.

<比較例5>
比較例1と同様の方法によりガラスクロスの製織を行った。得られた生機に4.9N/mの張力下で高圧散水流による開繊加工(加工圧196N/cm2)方法を施した。その後400℃で24時間加熱処理し脱糊した。続いて、シランカップリング剤である、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン;SZ6032(東レ、ダウコーニング社製)を用いた処理液にガラスのクロスを浸漬し、絞液後、120℃で1分乾燥し、質量12.5g/m2、厚さ14μmのガラスクロスOを得た。なお、ガラスクロスの化学的、物理的処理は、特許文献4:特許第3897789号の実施例2の方法に準拠した。ガラスクロスOの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ150μm、166μmであり、緯糸占有率は62%、緯糸の隙間は101μmであった。
ガラスクロスOを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグOを得た。
<Comparative Example 5>
A glass cloth was woven in the same manner as in Comparative Example 1. The raw fabric thus obtained was subjected to a fiber opening process (processing pressure of 196 N/cm 2 ) using a high-pressure water jet under a tension of 4.9 N/m. After that, it was heat-treated at 400° C. for 24 hours for desizing. Subsequently, a glass cloth was placed in a treatment solution containing a silane coupling agent, N-β-(N-vinylbenzylaminoethyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilane; SZ6032 (manufactured by Toray, Dow Corning). It was immersed, squeezed out, and dried at 120° C. for 1 minute to obtain a glass cloth O with a mass of 12.5 g/m 2 and a thickness of 14 μm. The chemical and physical treatment of the glass cloth conformed to the method of Example 2 of Patent Document 4: Japanese Patent No. 3897789. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth O were 150 μm and 166 μm, respectively, the weft occupancy was 62%, and the gap between the wefts was 101 μm.
A prepreg O was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth O was used.

<比較例6>
経糸、緯糸ともに平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数100本、撚り数1.0Z、単位長さ当たりの質量2.93×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、経糸、緯糸ともに織密度を100本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量19.5g/m2、厚さ20μmのガラスクロスPを得た。
ガラスクロスPを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグPを得た。
<Comparative Example 6>
Both the warp and the weft are L glass yarns having an average filament diameter of 4.0 μm, 100 filaments, a twist number of 1.0 Z, and a mass per unit length of 2.93×10 −6 kg/m. The weaving of the glass cloth and the subsequent treatment were performed in the same manner as in Example 1, except that the weaving density was 100/25 mm for both wefts. got
A prepreg P was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth P was used.

<比較例7>
経糸に平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数100本、撚り数1.0Z、単位長さ当たりの質量2.93×10-6kg/mのLガラスの糸、緯糸に平均フィラメント径4.5μm、フィラメント数100本、撚り数1.0Z、単位長さ当たりの質量3.65×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、経糸の織密度を75本/25mm、緯糸の織密度を60本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量17.7g/m2、厚さ19μmのガラスクロスQを得た。
ガラスクロスQを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグQを得た。
<Comparative Example 7>
The average filament diameter of the warp is 4.0 μm, the number of filaments is 100, the number of twists is 1.0 Z, and the mass per unit length is 2.93×10 −6 kg/m. The average filament diameter of the weft is 4.5 μm. , the number of filaments is 100, the number of twists is 1.0 Z, and the mass per unit length is 3.65 × 10 -6 kg / m. Glass cloth Q with a mass of 17.7 g/m 2 and a thickness of 19 μm was obtained by weaving and subsequent processing of the glass cloth in the same manner as in Example 1, except that the weave density was 60 threads/25 mm. rice field.
A prepreg Q was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth Q was used.

<比較例8>
緯糸に平均フィラメント径5.0μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量2.44×10-6kg/mのLガラスの糸を使用し、且つ、緯糸の織密度を57本/25mmとしたこと以外は、実施例1と同様の方法でガラスクロスの製織とそれに次ぐ処理を行い、質量11.2g/m2、厚さ15μmのガラスクロスRを得た。ガラスクロスRの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ162μm、273μmであり、緯糸占有率は62%、緯糸の隙間は166μmであった。
ガラスクロスRを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグRを得た。
<Comparative Example 8>
L glass yarn with an average filament diameter of 5.0 μm, 50 filaments, 1.0 Z twist, and a mass per unit length of 2.44 × 10 -6 kg / m is used for the weft, and the weft is woven Weaving of the glass cloth and subsequent treatments were carried out in the same manner as in Example 1, except that the density was 57 threads/25 mm, to obtain a glass cloth R having a mass of 11.2 g/m 2 and a thickness of 15 µm. The yarn widths of the warp and weft of the glass cloth R were 162 μm and 273 μm, respectively, the weft yarn occupation ratio was 62%, and the gap between the weft yarns was 166 μm.
A prepreg R was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth R was used.

<比較例9>
経糸として、平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.40×10-6kg/mの低誘電ガラスの糸、緯糸として、平均フィラメント径4.5μm、フィラメント数50本、撚り数1.0Z、単位長さ辺りの質量1.76×10-6kg/mの低誘電ガラスの糸を使用し、エアジェットルームを用い、経糸93.5本/25mm、緯糸75本/25mmの織密度でガラスクロスを製織した。なお、ガラスクロスを構成する低誘電ガラス(組成:SiO2:51%、Al23:12%、CaO:4%、B23:29%)の密度は、2.19g/cm3であった。
次いで、実施例1と同様の方法で処理を行い、質量10.7g/m2、厚さ13μmのガラスクロスSを得た。ガラスクロスSの経糸及び緯糸の糸幅は、それぞれ142μm、284μmであり、緯糸占有率は85%、緯糸の隙間は50μmであった。
ガラスクロスSを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法により、プリプレグSを得た。
<Comparative Example 9>
As the warp, a low dielectric glass yarn having an average filament diameter of 4.0 μm, 50 filaments, a twist number of 1.0 Z, and a mass per unit length of 1.40×10 −6 kg/m, and as the weft, an average filament diameter A low dielectric glass yarn of 4.5 μm, 50 filaments, 1.0 Z twist, and a mass per unit length of 1.76×10 −6 kg/m was used, and an air jet loom was used. A glass cloth was woven with a weaving density of 5 threads/25 mm and a weft thread of 75 threads/25 mm. The density of the low dielectric glass (composition: SiO 2 : 51%, Al 2 O 3 : 12%, CaO: 4%, B 2 O 3 : 29%) constituting the glass cloth is 2.19 g/cm 3 . Met.
Then, the same treatment as in Example 1 was performed to obtain a glass cloth S having a mass of 10.7 g/m 2 and a thickness of 13 μm. The widths of the warp and weft of the glass cloth S were 142 μm and 284 μm, respectively, the weft occupancy was 85%, and the gap between the wefts was 50 μm.
A prepreg S was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth S was used.

[性能試験]
実施例1~10、比較例1~9で得られたプリプレグA~Sについて各種評価を行った。結果を表1及び表2に併記する。
[performance test]
Various evaluations were performed on the prepregs A to S obtained in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 9. The results are shown in Tables 1 and 2 together.




表1の結果から、実施例1~10で得られたプリプレグA~Jは、いずれも波打ちの発生が少なく、緯糸方向の寸法変化量、及びそのバラつきが小さいものであった。
比較例1、2、6のプリプレグK、L、Pは、それぞれIPC登録の市場に流通している1017、1010、1027スタイルのEガラスクロスと、経糸および緯糸の占める容積、織密度を同等となるように調整した低誘電ガラスクロスから得られるプリプレグである。実施例のプリプレグは、これら比較例1、2、6のプリプレグと比べて、波打ちが少なく、緯糸方向の寸法変化量及びそのバラつきの点において、いずれも優れていた。
As can be seen from the results in Table 1, the prepregs A to J obtained in Examples 1 to 10 had little waviness, and the amount of dimensional change in the weft direction and its variation were small.
The prepregs K, L, and P of Comparative Examples 1, 2, and 6 have the same volume and weaving density as the 1017, 1010, and 1027 style E glass cloths that are IPC-registered on the market, respectively. It is a prepreg obtained from a low dielectric glass cloth adjusted to be Compared with the prepregs of Comparative Examples 1, 2, and 6, the prepregs of the examples had less waviness and were superior in terms of the amount of dimensional change in the weft direction and its variation.

比較例3のプリプレグMは、特許文献1の実施例1及び特許文献2の実施例1のEガラスクロスと、経糸および緯糸の占める容積、織密度を同等となるように調整した低誘電ガラスクロスから得られるプリプレグである。比較例3のプリプレグMは、経糸の構成が同じ比較例2のガラスクロスL(IPC登録の1010)と比較すると、緯糸の寸法変化量は低減しているが、バラつきは大きいものであった。 The prepreg M of Comparative Example 3 is a low-dielectric glass cloth adjusted so that the volume occupied by the warp and weft and the weave density are the same as those of the E glass cloth of Example 1 of Patent Document 1 and Example 1 of Patent Document 2. It is a prepreg obtained from In the prepreg M of Comparative Example 3, compared with the glass cloth L of Comparative Example 2 (IPC registered 1010) having the same warp structure, the amount of dimensional change in the weft yarn was reduced, but the variation was large.

比較例5は、特許文献4に開示されているように、低張力条件で開繊加工し、緯糸と経糸の糸幅を同等、すなわち、緯糸/経糸比を0.8~1.2の範囲としたガラスクロスに相当し、当該ガラスクロスから得られるプリプレグである。特許文献4に寸法安定性に優れると記載されているが、プリプレグOは、波打ちが大きく、寸法変化のバラつきが大きかった。 In Comparative Example 5, as disclosed in Patent Document 4, the opening process was performed under low tension conditions, and the weft and warp yarn widths were the same, that is, the weft/warp ratio was in the range of 0.8 to 1.2. It corresponds to the glass cloth and is a prepreg obtained from the glass cloth. Although it is described in Patent Document 4 that it has excellent dimensional stability, the prepreg O has large waviness and large variation in dimensional change.

比較例7のプリプレグQは、特許文献3の実施例3と経糸および緯糸の占める容積、織密度が同等となるように調整した低誘電ガラスクロスから得られるプリプレグである。ガラスクロスQの厚さは19μmであり、やはり厚さの薄いガラスクロスとはならなかった。また、プリプレグQは、ガラスクロスの両面の樹脂層厚さの均一性に欠け、波打ちが少し発生した。寸法変化のバラつきも、実施例1~9に比較すると大きかった。 Prepreg Q of Comparative Example 7 is a prepreg obtained from a low-dielectric glass cloth adjusted so that the volume occupied by the warp and weft and the weave density are the same as those of Example 3 of Patent Document 3. The thickness of the glass cloth Q was 19 μm, and the thickness of the glass cloth was not thin. Moreover, the prepreg Q lacked uniformity in the thickness of the resin layer on both sides of the glass cloth, and a little waving occurred. Variation in dimensional change was also large compared to Examples 1-9.

比較例8のプリプレグRは、経糸に比較して緯糸の単位長さ当たりの平均質量を大幅におおきくした低誘電ガラスクロスから得られるプリプレグである。プリプレグRは、波打ち、緯糸の寸法変化量は比較的小さく抑えられたが、寸法変化量のバラつきは大きいものであった。 The prepreg R of Comparative Example 8 is a prepreg obtained from a low-dielectric glass cloth in which the average weight per unit length of the weft yarn is greatly increased compared to that of the warp yarn. In the prepreg R, the waviness and the dimensional change of the weft were kept relatively small, but the variation in the dimensional change was large.

比較例9のプリプレグSは、ガラスクロスの誘電特性を良くするためにB23を多く配合した低誘電ガラスクロス糸を用い、実施例3と同様の糸使いで作製された低誘電ガラスクロスから得られるプリプレグである。プリプレグSは、実施例3と比較し、波打ちが大きく、寸法変化のバラつきが大きく劣るものであった。 The prepreg S of Comparative Example 9 is a low-dielectric glass cloth made by using a low-dielectric glass cloth yarn containing a large amount of B 2 O 3 in order to improve the dielectric properties of the glass cloth, and using the same yarn as in Example 3. It is a prepreg obtained from Compared with Example 3, the prepreg S was greatly wavy and greatly inferior in variation in dimensional change.

本発明のガラスクロス及びプリプレグは、電子及び電気分野で使用されるプリント配線板に用いられる基材として産業上の利用可能性を有する。 The glass cloth and prepreg of the present invention have industrial applicability as a base material for printed wiring boards used in the electronic and electrical fields.

1 :測定台
2 :プリプレグ
3 :波打ちの高さ
1: Measuring table 2: Prepreg 3: Height of undulation

Claims (10)

複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成された、厚さ8μm以上16μm以下のガラスクロスであって、
経糸の単位長さ当たりの平均質量が、1.40×10-6kg/m以上1.60×10-6kg/m未満、
緯糸の単位長さ当たりの平均質量が、1.60×10-6kg/m以上3.00×10-6kg/m以下であり、
経糸の単位長さ当たりの平均質量に対する、緯糸の単位長さ当たりの平均質量の比(緯糸/経糸比)が、1.20より大きく1.50以下であり、
ガラスの密度が、2.1g/cm3以上2.5g/cm3以下である、
ガラスクロス。
A glass cloth having a thickness of 8 μm or more and 16 μm or less, which is composed of glass threads composed of a plurality of glass filaments as warp and weft,
The average mass per unit length of the warp is 1.40 × 10 -6 kg/m or more and less than 1.60 × 10 -6 kg/m,
The average mass per unit length of the weft is 1.60 × 10 -6 kg/m or more and 3.00 × 10 -6 kg/m or less,
The ratio of the average mass per unit length of the weft to the average mass per unit length of the warp (weft/warp ratio) is greater than 1.20 and less than or equal to 1.50;
The glass has a density of 2.1 g/cm 3 or more and 2.5 g/cm 3 or less.
Glass cloth.
経糸及び緯糸の平均フィラメント数が、実質的に同じであり、且つ、
経糸の平均フィラメント径が、3.7μm以上4.3μm以下であり、
緯糸の平均フィラメント径が、4.2μm以上5.3μm以下であり、
経糸の平均フィラメント径に対する緯糸の平均フィラメント径の比(緯糸/経糸比)が、1.07以上1.40以下である、
請求項1に記載のガラスクロス。
The average number of filaments of the warp and weft is substantially the same, and
The average filament diameter of the warp is 3.7 μm or more and 4.3 μm or less,
The average filament diameter of the weft is 4.2 μm or more and 5.3 μm or less,
The ratio of the average filament diameter of the weft to the average filament diameter of the warp (weft/warp ratio) is 1.07 or more and 1.40 or less.
The glass cloth according to claim 1.
経糸と緯糸の平均フィラメント径が、実質的に同じであり、且つ、
経糸の平均フィラメント数が、45本以上70本以下であり、
緯糸の平均フィラメント数が、55本以上80本以下であり、
経糸の平均フィラメント数に対する緯糸の平均フィラメント数の比(緯糸/経糸比)が、1.25より大きく1.50以下である、
請求項1に記載のガラスクロス。
The average filament diameters of the warp and weft are substantially the same, and
The average number of filaments of the warp is 45 or more and 70 or less,
The average number of filaments of the weft is 55 or more and 80 or less,
The ratio of the average number of filaments of the weft to the average number of filaments of the warp (weft/warp ratio) is greater than 1.25 and not more than 1.50.
The glass cloth according to claim 1.
式(1)で求められる、緯糸の長手方向(MD方向)における、緯糸の存在する部分の割合を示す係数(Y:緯糸占有率)が、76%以上90%以下である、
請求項1~3のいずれか一項に記載のガラスクロス。
Y=F/(25000/G)×100 ・・・(1)
(式(1)中、Fは、緯糸幅(μm)であり、Gは、緯糸の織密度(本/25mm)である。)
The coefficient (Y: weft occupancy) indicating the ratio of the portion where the weft exists in the longitudinal direction (MD direction) of the weft obtained by the formula (1) is 76% or more and 90% or less.
The glass cloth according to any one of claims 1 to 3.
Y=F/(25000/G)×100 (1)
(In formula (1), F is the weft width (μm), and G is the weft weaving density (thread/25 mm).)
長手方向(MD方向)における、隣り合う緯糸同士の間の隙間幅が、40μm以上80μm以下である、
請求項1~4のいずれか一項に記載のガラスクロス。
The gap width between adjacent wefts in the longitudinal direction (MD direction) is 40 μm or more and 80 μm or less.
The glass cloth according to any one of claims 1 to 4.
10GHzの周波数において5.0以下の誘電率を有する、
請求項1~5のいずれか一項に記載のガラスクロス。
having a dielectric constant of 5.0 or less at a frequency of 10 GHz;
The glass cloth according to any one of claims 1 to 5.
前記ガラスフィラメントのSi含量がSiO The Si content of the glass filaments is SiO 22 換算で40~60質量%であり、B含量がBIt is 40 to 60 mass% in terms of conversion, and the B content is B 22 O. 33 換算で15~30質量%である、15 to 30% by mass in terms of
請求項1~6のいずれか一項に記載のガラスクロス。The glass cloth according to any one of claims 1 to 6.
前記ガラスフィラメントが、シリカガラスである、 The glass filament is silica glass,
請求項1~7のいずれか一項に記載のガラスクロス。The glass cloth according to any one of claims 1 to 7.
請求項1~のいずれか一項に記載のガラスクロスと、
マトリックス樹脂と、を有する、
プリプレグ。
The glass cloth according to any one of claims 1 to 8 ,
a matrix resin;
prepreg.
請求項に記載のプリプレグを有する、プリント配線板。 A printed wiring board comprising the prepreg according to claim 9 .
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