JP7310606B2 - 二次元フリッカ測定装置及び二次元フリッカ測定方法 - Google Patents
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Description
実施形態の第1局面に係る二次元フリッカ測定装置は、第1のサンプリング周波数で二次元領域を測光する第1の機能と、前記第1のサンプリング周波数より高い第2のサンプリング周波数で、前記二次元領域より小さい領域を測光する第2の機能と、を有する測光部と、前記測光部が前記第1のサンプリング周波数で測定対象物を測光することにより得られる前記測定対象物の測光量を基にして、前記測定対象物に設定された複数の測定領域のぞれぞれのフリッカ量を算出する第1の算出部と、前記測光部が前記第2のサンプリング周波数で前記測定対象物に設定された所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして、前記所定の測定領域のフリッカ量を算出する第2の算出部と、前記第2の算出部が算出したフリッカ量と、前記測光部が前記第1のサンプリング周波数で前記所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして算出された前記所定の測定領域のフリッカ量と、によって規定される補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する補正部と、を備える。
Claims (10)
- 第1のサンプリング周波数で二次元領域を測光する第1の機能と、前記第1のサンプリング周波数より高い第2のサンプリング周波数で、前記二次元領域より小さい領域を測光する第2の機能と、を有する測光部と、
前記測光部が前記第1のサンプリング周波数で測定対象物を測光することにより得られる前記測定対象物の測光量を基にして、前記測定対象物に設定された複数の測定領域のぞれぞれのフリッカ量を算出する第1の算出部と、
前記測光部が前記第2のサンプリング周波数で前記測定対象物に設定された所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして、前記所定の測定領域のフリッカ量を算出する第2の算出部と、
前記第2の算出部が算出したフリッカ量と、前記測光部が前記第1のサンプリング周波数で前記所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして算出された前記所定の測定領域のフリッカ量と、によって規定される補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する補正部と、を備える二次元フリッカ測定装置。 - 前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量の測定前に算出された前記補正係数を予め記憶する記憶部をさらに備え、
前記補正部は、前記記憶部に記憶されている前記補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する、請求項1に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 前記記憶部は、前記測定対象物の駆動周波数の値に応じて算出された複数の前記補正係数を予め記憶しており、
前記補正部は、前記記憶部に記憶されている複数の前記補正係数のうち、前記測定対象物の駆動周波数の値に対応する前記補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する、請求項2に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 第1の入力部をさらに備え、
前記記憶部は、前記第1のサンプリング周波数の値に応じて算出された複数の前記補正係数を予め記憶しており、
前記第1の入力部を用いて、前記第1のサンプリング周波数の値が指定されたとき、前記補正部は、前記記憶部に記憶されている複数の前記補正係数のうち、前記第1の入力部を用いて指定された値に対応する前記補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する、請求項2に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 第2の入力部をさらに備え、
前記記憶部は、前記測定対象物の駆動周波数の値と前記第1のサンプリング周波数の値との組み合わせに応じて算出された複数の前記補正係数を予め記憶しており、
前記第2の入力部を用いて、前記第1のサンプリング周波数の値が指定されたとき、前記補正部は、前記記憶部に記憶されている複数の前記補正係数のうち、前記第2の入力部を用いて指定された値と前記測定対象物の駆動周波数の値との組み合わせに対応する前記補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する、請求項2に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 前記測光部は、前記第1の機能及び前記第2の機能を有する二次元撮像素子を含み、
前記第2の機能は、部分読み出し機能である、請求項1~5のいずれか一項に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 前記測定対象物からの光を二分割する光分割部をさらに備え、
前記測光部は、前記二分割された一方の光の光路に配置され、前記第1の機能を有する第1の測光部と、前記二分割された他方の光の光路に配置され、前記第2の機能を有する第2の測光部と、を備え、
前記第1の算出部は、前記第1の測光部が前記測定対象物を測光することにより得られる前記測定対象物の測光量を基にして、前記複数の測定領域のぞれぞれのフリッカ量を算出し、
前記第2の算出部は、前記第2の測光部が前記所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして、前記所定の測定領域のフリッカ量を算出し、
前記複数の測定領域の一つが前記所定の測定領域であり、
前記二次元フリッカ測定装置は、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量のうち、前記所定の測定領域のフリッカ量と、前記第2の算出部が算出したフリッカ量と、を用いて、前記補正係数を算出する第3の算出部をさらに備え、
前記補正部は、前記第3の算出部が算出した前記補正係数を用いて、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する、請求項1に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 前記第1の測光部は、第1の二次元撮像素子を含み、
前記第2の測光部は、前記第2の機能となる部分読み出し機能を有する第2の二次元撮像素子、又は、前記第1の二次元撮像素子の撮像領域より小さいスポット領域からの光を受光する受光素子を含む、請求項7に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 第3の入力部をさらに備え、
前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量の測定前に、前記第3の入力部を用いて、フリッカ量を補正する指示がされたとき、前記補正部は、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正し、前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量の測定前に、前記第3の入力部を用いて、フリッカ量を補正しない指示がされたとき、前記補正部は、前記第1の算出部が算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正しない、請求項1~8のいずれか一項に記載の二次元フリッカ測定装置。 - 第1のサンプリング周波数で二次元領域を測光する第1の機能と、前記第1のサンプリング周波数より高い第2のサンプリング周波数で、前記二次元領域より小さい領域を測光する第2の機能と、を有する測光部を用いて、測定対象物に設定された複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を測定する二次元フリッカ測定方法であって、
前記測光部が前記第1のサンプリング周波数で前記測定対象物を測光することにより得られる前記測定対象物の測光量を基にして、前記測定対象物に設定された前記複数の測定領域のぞれぞれのフリッカ量を算出する第1の算出ステップと、
前記測光部が前記第2のサンプリング周波数で前記測定対象物に設定された所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして、前記所定の測定領域のフリッカ量を算出する第2の算出ステップと、
前記第2の算出ステップで算出したフリッカ量と、前記測光部が前記第1のサンプリング周波数で前記所定の測定領域を測光することにより得られる前記所定の測定領域の測光量を基にして算出された前記所定の測定領域のフリッカ量と、によって規定される補正係数を用いて、前記第1の算出ステップで算出した前記複数の測定領域のそれぞれのフリッカ量を補正する補正ステップと、を備える二次元フリッカ測定方法。
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