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JP7292186B2 - Drilling device and drilling method - Google Patents

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JP7292186B2
JP7292186B2 JP2019205155A JP2019205155A JP7292186B2 JP 7292186 B2 JP7292186 B2 JP 7292186B2 JP 2019205155 A JP2019205155 A JP 2019205155A JP 2019205155 A JP2019205155 A JP 2019205155A JP 7292186 B2 JP7292186 B2 JP 7292186B2
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drill
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drilling
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裕次郎 荒木
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Via Mechanics Ltd
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Description

本発明は、加工テーブルに載置されたプリント基板の如き基板にドリルを用いて穴の加工を行うドリル加工装置及びドリル加工方法に関する。 The present invention relates to a drilling apparatus and a drilling method for drilling holes in a substrate such as a printed circuit board placed on a processing table.

基板に穴あけを行うドリル加工装置においては、加工テーブルの上に載置された基板が曲がって盛り上がっている部分があると、止まり穴を加工する場合、正確な深さの穴あけが困難になる。
以下、この現象を図7を用いて模式的に説明する。図7において、Pはドリル30で加工テーブル40に載置された基板50に止まり穴をあけようとする時の接触点であり、Hはドリル30が接触点Pに接触した時に電気的に検出される基板50の表面高さである。この表面高さHは基板50が上から圧力を受けていない時の高さである。
なお、ここでの基板とは、少なくとも本来の加工すべきプリント基板を含み、その上に載置する上板や加工テーブルとの間に介在する下板を含んだものであってもよく、以下の説明でも同様とする。上板は導体材から成りバリ等の発生を防ぎ、下板は樹脂材から成りドリルがプリント基板を突き抜けて加工テーブルに接触するのを防ぐ役目をするものである。
2. Description of the Related Art In a drilling apparatus for drilling a substrate, if the substrate placed on the processing table has a bent and raised portion, it becomes difficult to drill a hole with an accurate depth when machining a blind hole.
This phenomenon will be schematically described below with reference to FIG. In FIG. 7, P is the contact point when the drill 30 is about to drill a blind hole in the substrate 50 placed on the processing table 40, and H is electrically detected when the drill 30 contacts the contact point P. is the surface height of the substrate 50 to be measured. This surface height H is the height when the substrate 50 is not under pressure from above.
The substrate here includes at least the original printed circuit board to be processed, and may include the upper plate placed thereon and the lower plate interposed between the processing table. The same applies to the explanation of The upper plate is made of a conductive material to prevent the occurrence of burrs and the like, and the lower plate is made of a resin material to prevent the drill from penetrating through the printed circuit board and coming into contact with the processing table.

止まり穴を加工する場合、この表面高さHを穴をあける毎に検出し、それを基準にして予め与えられた深さL1の点Vまで行うようになっている。
通常の加工時においては、ドリル30は基板50の接触点Pに接触後、所定の圧力を与えられて下降するが、この時、接触点Pの付近において上に曲がって盛り上がっていると、基板50はドリル30から圧力を受けるので点線で示すように加工テーブル40に向かって沈み込み、接触点PはL3だけ沈み込む。
表面高さHはドリル30が接触点Pに接触した時に検出されるので、接触点PがL3だけ沈み込むと、止まり穴の加工深さは長さL3だけ短い深さL2となってしまう。
When drilling a blind hole, the surface height H is detected each time a hole is drilled, and drilling is performed up to a point V with a predetermined depth L1 based on the detected surface height H.
During normal machining, after the drill 30 contacts the contact point P of the substrate 50, it is applied with a predetermined pressure and descends. Since 50 receives pressure from the drill 30, it sinks toward the machining table 40 as indicated by the dotted line, and the contact point P sinks by L3.
Since the surface height H is detected when the drill 30 contacts the contact point P, if the contact point P sinks by L3, the machining depth of the blind hole will be L2, which is shorter by the length L3.

特開2016-16458号公報JP 2016-16458 A

以上のように、基板に曲がって盛り上がる部分があると、止まり穴を加工する場合、正確な深さの穴あけが困難になる。
基板の厚さにばらつきのある場合に対応する技術として、例えば特許文献1に開示されるように、加工位置毎にドリルの退避位置を変動させるようにしたものがあるが、基板が曲がって盛り上がる場合の問題点については考慮されていない。
そこで、本発明は、曲がって盛り上がる部分がある基板に止まり穴をあける場合に、加工精度を向上させることを目的とするものである。
As described above, if the substrate has a bent and raised portion, it becomes difficult to drill a hole with an accurate depth when machining a blind hole.
As a technique for dealing with variations in substrate thickness, for example, as disclosed in Patent Document 1, there is a technique in which the retraction position of the drill is changed for each processing position, but the substrate bends and rises. Case issues are not considered.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to improve processing accuracy when drilling blind holes in a substrate that has a portion that bends and rises.

上記課題を解決するため、本願において開示される発明のうち、代表的なドリル加工装置は、加工テーブルに載置された基板を押付けるための基板押付け部と、前記基板に穴をあけるためのドリルが前記基板の表面に接触したことを検出するドリル接触検出部と、前記ドリルによる前記基板の穴あけ加工を制御する制御部とを備えるドリル加工装置において、前記制御部は、前記基板押付け部により前記基板を押し付けた状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記基板の特定位置で前記基板の第1の表面高さを検知する第1の動作と、前記基板押付け部により前記基板を押し付けない状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記特定位置あるいはその周辺で前記基板の第2の表面高さを検知する第2の動作を行い、前記第1の表面高さと前記第2の表面高さの差が所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域を加工対象としないように制御することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a representative drill processing apparatus among the inventions disclosed in the present application includes a substrate pressing portion for pressing a substrate placed on a processing table, and a drilling portion for drilling a hole in the substrate. In a drilling apparatus comprising: a drill contact detection section that detects contact of a drill with the surface of the board; and a control section that controls drilling of the board by the drill, the control section controls a first operation of detecting a first surface height of the substrate at a specific position of the substrate based on a detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is being pressed; is not pressed, a second operation is performed to detect the second surface height of the substrate at or around the specific position based on the detection signal from the drill contact detection unit, and the first surface height and The method is characterized in that when the second surface height difference exceeds a predetermined value, control is performed so that at least a region including the specific position is not processed.

また本願において開示される代表的なドリル加工方法は、基板押付け部により加工テーブルに載置された基板を押付け、ドリル接触検出部により前記基板に穴をあけるためのドリルが前記基板の表面に接触したことを検出するようにしたドリル加工方法において、前記基板押付け部により前記基板を押し付けた状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記基板の特定位置で前記基板の第1の表面高さを検知する第1のステップと、前記基板押付け部により前記基板を押し付けない状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記特定位置あるいはその周辺で前記基板の第2の表面高さを検知する第2のステップと、前記第1の表面高さと前記第2の表面高さの差が所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域を加工対象としないように制御する第3のステップとを有することを特徴とする。 In a typical drilling method disclosed in the present application, a substrate placed on a processing table is pressed by a substrate pressing portion, and a drill for drilling a hole in the substrate is brought into contact with the surface of the substrate by a drill contact detection portion. In the drilling method for detecting that the drilling is performed, the first surface of the substrate is detected at a specific position of the substrate based on the detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is pressed by the substrate pressing unit. a first step of detecting a height; and a second surface height of the substrate at or around the specific position based on a detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is not pressed by the substrate pressing unit. a second step of detecting the height of the surface; and a second step of controlling not to process an area including at least the specific position when the difference between the first surface height and the second surface height exceeds a predetermined value. 3 steps .

なお、本願において開示される発明の代表的な特徴は以上の通りであるが、ここで説明していない特徴については、以下に説明する実施例に適用されており、また特許請求の範囲にも示した通りである。 The typical features of the invention disclosed in the present application are as described above, but features not described here are applied to the embodiments described below, and are also included in the scope of claims. As shown.

本発明によれば、曲がって盛り上がる部分がある基板に止まり穴をあける場合に、加工精度を向上させることができる。 Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to improve processing accuracy when drilling a blind hole in a substrate that has a portion that bends and rises.

本発明の実施例1となるドリル加工装置の構成を示す図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of the drilling apparatus used as Example 1 of this invention. 本発明の実施例1において、基板に設定される区分領域を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining divisional areas set on a substrate in Example 1 of the present invention; ドリルがプレッシャフットより突き出た状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drill protruded from the pressure foot. 本発明の実施例1と実施例2となるドリル加工装置におけるフローチャートである。4 is a flow chart in a drilling apparatus according to first and second embodiments of the present invention; 本発明の実施例1となるドリル加工装置におけるフローチャートである。1 is a flow chart in a drilling device that is Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施例2となるドリル加工装置におけるフローチャートである。6 is a flow chart in a drilling apparatus that is Embodiment 2 of the present invention. 従来技術での現象を模式的に説明するための図である。It is a figure for demonstrating typically the phenomenon in a prior art.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
図1は本発明の実施例1となるドリル加工装置の構成を示す図である。図1での各構成要素や接続線は、主に本実施例を説明するために必要と考えられるものを示してあり、ドリル加工装置として必要な全てを示している訳ではない。
図1において、1は少なくとも穴あけ加工を行うべきプリント基板を含む基板であり、この基板1の表面には導体層が存在する。この導体層としては前述の上板を導体としたものであってもよい。2は基板1を載置する加工テーブル、3はドリル4を回転させるモータ内蔵型のスピンドル5を保持するスピンドルユニットである。スピンドルユニット3は、スピンドル垂直駆動部6により垂直方向に駆動される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a drilling apparatus that is Embodiment 1 of the present invention. Each component and connection line in FIG. 1 show what is considered to be necessary mainly for explaining this embodiment, and do not show everything necessary as a drilling apparatus.
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a substrate including at least a printed circuit board to be drilled, and a conductor layer is present on the surface of this substrate 1 . As this conductor layer, the above-described upper plate may be used as a conductor. Reference numeral 2 denotes a processing table on which a substrate 1 is placed; The spindle unit 3 is vertically driven by a spindle vertical drive 6 .

加工テーブル2は、基板1に穴をあけようとする位置にドリル4が向くよう、テーブル駆動部7により水平方向に駆動され、位置決めされるようになっている。
スピンドル5の下方側には穴あけ加工時に基板1を押付けるためのプレッシャフット8がシリンダ9を介して係合している。スピンドルユニット3とプレッシャフット8は垂直方向に所定の間隔を保って係合していて、スピンドルユニット3が下降する場合、プレッシャフット8が基板1の表面に当接するまではスピンドルユニット3と共に下降する。プレッシャフット8が基板1の表面に当接すると、その後はプレッシャフット8がその位置にとどまり、スピンドルユニット3だけ独立に下降し、ドリル4で穴あけができるようになる。穴あけを終え、スピンドルユニット3を上昇させると、ある位置からプレッシャフット8も共に上昇するようになっている。
The processing table 2 is horizontally driven by a table drive unit 7 and positioned so that the drill 4 faces the position where the substrate 1 is to be drilled.
A pressure foot 8 for pressing the substrate 1 during drilling is engaged with the lower side of the spindle 5 via a cylinder 9 . The spindle unit 3 and the pressure foot 8 are vertically engaged with each other with a predetermined distance therebetween, and when the spindle unit 3 descends, it descends together with the spindle unit 3 until the pressure foot 8 contacts the surface of the substrate 1. . After the pressure foot 8 abuts on the surface of the substrate 1, the pressure foot 8 stays at that position and only the spindle unit 3 descends independently so that the drill 4 can drill a hole. When the spindle unit 3 is lifted after boring, the pressure foot 8 is also lifted from a certain position.

13は、ドリル4の先端が下降して基板1に接触したことを検出することにより、基板1の表面高さを検出するドリル接触検出部(以下、D検出部と記載する)である。D検出部13は、例えば特開2003-1548号公報で知られているような、スピンドル5内のロータシャフトに発生する軸電圧を利用するものや、特開2015-223685号公報で知られているような、ドリル4の先端が基板1の導体層に接触した時のドリル4とアースとの間のキャパシタンスの変化を利用するものである。D検出部13からは、ドリル4の先端が基板1に接触した時、表面検出信号DSが出力される。
止まり穴をあける場合、この表面検出信号DSが出力された時のドリル4の先端の高さが図7におけるHに相当し、これを基準にして予め与えられた深さまで行うようになっている。
Reference numeral 13 denotes a drill contact detection section (hereinafter referred to as D detection section) that detects the surface height of the substrate 1 by detecting that the tip of the drill 4 descends and contacts the substrate 1 . The D detection unit 13 is, for example, one that utilizes the axial voltage generated in the rotor shaft in the spindle 5 as known in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-1548, or one that is known in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-223685. The change in capacitance between the drill 4 and the ground when the tip of the drill 4 contacts the conductor layer of the substrate 1 is utilized. A surface detection signal DS is output from the D detector 13 when the tip of the drill 4 contacts the substrate 1 .
When drilling a blind hole, the height of the tip of the drill 4 when this surface detection signal DS is output corresponds to H in FIG. .

15はドリル4の回転その他を制御してドリル加工装置の全体を制御する全体制御部であり、その内部にはいくつかの構成要素が含まれている。
16はスピンドル垂直駆動部6からの送り位置情報によりドリル4の先端の現在の高さを認識しながらスピンドル垂直駆動部6を制御するスピンドル駆動制御部、17はテーブル駆動部7からの送り位置情報により加工テーブル2の2次元位置を認識しながらテーブル駆動部7を制御するテーブル駆動制御部である。
Reference numeral 15 denotes an overall control unit that controls the entire drilling apparatus by controlling the rotation of the drill 4, etc., and includes several components inside.
Reference numeral 16 denotes a spindle drive control section for controlling the spindle vertical drive section 6 while recognizing the current height of the tip of the drill 4 based on feed position information from the spindle vertical drive section 6; is a table driving control unit that controls the table driving unit 7 while recognizing the two-dimensional position of the processing table 2 by means of .

ここでの基板1の表面は、図2に示すように大きさの等しい複数の区分領域S1~S9が論理的に設定されている。区分領域S1~S9のうち、区分領域S1~S8は基板1の端に沿って位置し、区分領域S9は中央部に位置する。区分領域S1~S9の各々の中央位置には表面高さを検出するための表面高さ検出点Zが設定されている。
図1に戻るが、全体制御部15内には、加工位置を指定する情報、区分領域S1~S9を指定する情報、表面高さ検出点Zを指定する座標情報等が記憶されている。
18と19は、それぞれD検出部13から表面検出信号DSが検出された時におけるスピンドル垂直駆動部6からの送り位置情報に基づく基板1の表面高さを記憶する高さ検出記憶部A、高さ検出記憶部Bである。20は加工対象であるかどうかを示す情報が記憶される加工制御情報記憶部である。
高さ検出記憶部A18、高さ検出記憶部B19、加工制御情報記憶部20の動作については後述するが、それぞれには区分領域S1~S9の各々に対応してデータ記憶領域が設けられている。
On the surface of the substrate 1 here, as shown in FIG. 2, a plurality of partitioned areas S1 to S9 of equal size are logically set. Among the segmented regions S1 to S9, the segmented regions S1 to S8 are located along the edges of the substrate 1, and the segmented region S9 is located in the central portion. A surface height detection point Z for detecting the surface height is set at the center position of each of the segmented regions S1 to S9.
Returning to FIG. 1, the overall control unit 15 stores information specifying the machining position, information specifying the segmented regions S1 to S9, coordinate information specifying the surface height detection point Z, and the like.
Reference numerals 18 and 19 denote a height detection storage unit A for storing the surface height of the substrate 1 based on the feed position information from the spindle vertical drive unit 6 when the D detection unit 13 detects the surface detection signal DS, respectively. This is the height detection storage unit B. FIG. Reference numeral 20 denotes a processing control information storage unit for storing information indicating whether or not the object is to be processed.
The operations of the height detection storage unit A18, the height detection storage unit B19, and the processing control information storage unit 20 will be described later, but each has a data storage area corresponding to each of the segmented areas S1 to S9. .

全体制御部15は、ここで説明する以外の制御機能を有し、図示されていないブロックにも接続されている。全体制御部15は、例えばプログラム制御の処理装置を中心にして構成され、その中の各構成要素や接続線は、論理的なものも含むものとする。また各構成要素の一部は全体制御部15と別個に設けられていてもよい。
全体制御部15は、基板1に加工を始めるにあたり、図4と図5に示すフローチャートに従って以下の動作を行うように制御する。
The overall control unit 15 has control functions other than those described here, and is also connected to blocks not shown. The overall control unit 15 is configured, for example, mainly by a program-controlled processing device, and each constituent element and connection line therein include logical ones. Also, part of each component may be provided separately from the overall control unit 15 .
When starting to process the substrate 1, the overall control unit 15 performs control so that the following operations are performed according to the flow charts shown in FIGS.

ドリル加工装置の初期状態においては、ドリル4の先端は通常のドリル加工時における退避位置よりも高い位置にある。先ず基板1の一つの区分領域(以下の説明においては、例えば端にある区分領域S1とする)を指定する(ステップ41)。次に、表面高さ検出点Zが加工できるように加工テーブル2を位置付けし、通常の穴あけ時と同じように図1の状態からスピンドルユニット3を下降させていく(ステップ42)。これにより、プレッシャフット8が先ず先に基板1に接触して基板1を押さえ、その後ドリル4の先端が基板1の表面高さ検出点Zに接触し、表面検出信号DSが出力される。この時の基板1の表面高さを高さ検出記憶部A18における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む(ステップ43)。
このように基板1をプレッシャフット8で押さえて検出した基板1の表面高さを、以下表面高さAと呼ぶことにする。
In the initial state of the drilling device, the tip of the drill 4 is at a higher position than the retracted position during normal drilling. First, one sectioned area of the substrate 1 (in the following description, for example, the sectioned area S1 at the edge) is designated (step 41). Next, the machining table 2 is positioned so that the surface height detection point Z can be machined, and the spindle unit 3 is lowered from the state shown in FIG. 1 in the same manner as during normal drilling (step 42). As a result, the pressure foot 8 first comes into contact with the substrate 1 to hold it down, and then the tip of the drill 4 comes into contact with the surface height detection point Z of the substrate 1, and the surface detection signal DS is output. The surface height of the substrate 1 at this time is written in the data storage area corresponding to the partitioned area S1 in the height detection storage section A18 (step 43).
The surface height of the substrate 1 detected by pressing the substrate 1 with the pressure foot 8 in this manner will be referred to as a surface height A hereinafter.

次に、加工テーブル2は前と同じ位置のままでスピンドルユニット3を上昇させ、ドリル4の先端を初期状態と同じ高さにする(ステップ44)。この状態において、シリンダ9を作動させてプレッシャフット8を引き込み、図3に示すように、ドリル4がプレッシャフット8から突き出るような格好にし、この後、スピンドルユニット3を下降させていく(ステップ45)。
これにより、ドリル4の先端が基板1の表面高さ検出点Zに接触すると表面検出信号DSが出力され、この時の基板1の表面高さを高さ検出記憶部B19における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む(ステップ46)。
このように、基板1をプレッシャフット8で押さない状態で、ドリル4の先端が基板1に接触したことで検出される基板1の高さを、以下表面高さBと呼ぶことにする。
Next, while the machining table 2 remains at the same position as before, the spindle unit 3 is raised to bring the tip of the drill 4 to the same height as the initial state (step 44). In this state, the cylinder 9 is actuated to retract the pressure foot 8 so that the drill 4 protrudes from the pressure foot 8 as shown in FIG. 3, after which the spindle unit 3 is lowered (step 45 ).
As a result, when the tip of the drill 4 touches the surface height detection point Z of the substrate 1, the surface detection signal DS is output, and the surface height of the substrate 1 at this time corresponds to the divided area S1 in the height detection storage unit B19. (step 46).
The height of the substrate 1 detected when the tip of the drill 4 comes into contact with the substrate 1 without pressing the substrate 1 with the pressure foot 8 is hereinafter referred to as the surface height B. FIG.

この後、高さ検出記憶部A18に記憶された表面高さAと高さ検出記憶部B19に記憶された表面高さBからその差Cを算出し、加工制御情報記憶部20における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む(ステップ47)。
通常の加工時において、基板1に対するプレッシャフット8の圧力はドリル4が与える圧力よりも大きく、基板1に盛り上がりがあったとしても矯正され加工テーブル2に向かって沈み込む。
差Cが大きいということは、図7で説明した沈み込みの程度が大きく、ドリル4で加工する場合に止まり穴の深さの誤差も大きくなることを意味する。
従って、誤差が許容できる最も大きい差Cを実験的に求め所定値として定めておくものとし、ステップ47で算出した差Cが所定値以下であるかどうかを判定する(ステップ48)。
Thereafter, the difference C is calculated from the surface height A stored in the height detection storage unit A18 and the surface height B stored in the height detection storage unit B19, and the divided area S1 in the processing control information storage unit 20 is calculated. (step 47).
During normal processing, the pressure of the pressure foot 8 against the substrate 1 is higher than the pressure applied by the drill 4, and even if the substrate 1 is raised, it is corrected and sinks toward the processing table 2. - 特許庁
A large difference C means that the degree of sinking explained with reference to FIG.
Therefore, the difference C, which is the largest allowable error, is experimentally obtained and set as a predetermined value, and it is determined whether or not the difference C calculated in step 47 is equal to or less than the predetermined value (step 48).

ステップ48において、差Cが所定値以下の場合(YES)には誤差が許容できるものであり、加工対象にすることを示す加工対象フラグF1を加工制御情報記憶部20における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む(ステップ49)。差Cが所定値を超える場合(NO)には許容できない誤差を発生するものであり、加工対象としないことを示す加工非対象フラグF2を加工制御情報記憶部20における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む(ステップ50)。 In step 48, if the difference C is equal to or less than the predetermined value (YES), the error is permissible, and the processing target flag F1 indicating that the processing is to be performed corresponds to the segmented region S1 in the processing control information storage unit 20. Write to the data storage area (step 49). If the difference C exceeds a predetermined value (NO), an unacceptable error is generated, and a non-processing flag F2 indicating that the difference C is not to be processed is set to the data corresponding to the segmented region S1 in the processing control information storage unit 20. Write to storage area (step 50).

以上の動作が終了したら、ステップ51と52に従い、他の残りの区分領域S2~S9の各々についても同様にして差Cを調べ、加工対象にするかしないかを示すフラグを加工制御情報記憶部20の区分領域S2~S9の各々に対応するデータ記憶領域に記憶する。
全体制御部15は、図4と図5のフローチャートに従った動作が終了したら、基板1への加工を始めるにあたり加工制御情報記憶部20の内容を事前に調べ、加工対象であることを示す加工対象フラグF1が記憶されている区分領域について加工順番を決め、順次加工を実行するように制御する。
After the above operations are completed, according to steps 51 and 52, the difference C is similarly checked for each of the remaining segmented regions S2 to S9, and a flag indicating whether or not to be processed is stored in the processing control information storage unit. The data is stored in data storage areas corresponding to each of the 20 segmented areas S2 to S9.
After the operation according to the flow charts of FIGS. 4 and 5 is completed, the overall control unit 15 checks the contents of the processing control information storage unit 20 in advance before starting the processing of the substrate 1, and indicates that the processing is to be processed. The order of processing is determined for the segmented regions in which the target flag F1 is stored, and control is performed so that the processing is performed sequentially.

以上の実施例1によれば、基板1に曲がって盛り上がる領域が存在することにより加工精度を確保できない場合、加工精度を確保できる領域だけ加工し、加工精度を確保できない領域の加工は行わないようにしたので、加工精度を向上させることができるとともに、そもそも加工精度を確保できない領域の無駄な加工時間をなくすことができる。 According to the first embodiment described above, when the processing accuracy cannot be ensured due to the presence of a bent and raised region on the substrate 1, only the regions where the processing accuracy can be ensured are processed, and the region where the processing accuracy cannot be ensured is not processed. As a result, it is possible to improve the machining accuracy and eliminate wasted machining time in areas where the machining accuracy cannot be ensured in the first place.

実施例1においては、所定値を超える差Cをもつ区分領域は加工対象としないようにしたが、このような区分領域も加工すべき深さの補正を行うことにより加工するようにした実施例2を以下説明する。ここでは、実施例1と異なる点だけ説明する。
ドリル加工装置の構成は図1と同じである。
全体制御部15は、基板1に加工を始めるにあたり、図4と図6に示すフローチャートに従って以下の動作を行うように制御する。
In the first embodiment, a segmented region having a difference C exceeding a predetermined value is not processed. 2 is described below. Here, only points different from the first embodiment will be described.
The configuration of the drilling device is the same as in FIG.
When starting to process the substrate 1, the overall control unit 15 performs control so that the following operations are performed according to the flow charts shown in FIGS.

実施例2においては、実施例1と同様、図4におけるステップ41~48と同じ動作を行う。
ステップ48において、差Cが所定値以下の場合(YES)には加工深さの補正が不要であることを示す補正不要フラグF3を加工制御情報記憶部20における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む(ステップ61)。
ステップ48において、差Cが所定値を超える場合(NO)には差Cに基づき加工すべき深さの補正値αを求める(ステップ62)。この場合の補正値αは、図7において説明すると、ドリル30からの圧力により接触点Pが沈み込んで元々の加工深さL1の点Vが加工深さL4となる点Wに下がるとした場合、元々の加工深さL1から加工深さL4を求めるための加算値である。
補正値αは、差Cとの関係を予め実験等により予め求めておいてテーブルに登録しておき、このテーブルを使って差Cに基づいて求めてもよい。また、差Cと補正値αとの相関関数を予め実験等により求めておいて、差Cから計算式で求めてもよい。
次のステップ63においては、加工深さの補正が必要であることを示す補正要フラグF4と上記により求めた補正値αとを加工制御情報記憶部20における区分領域S1に対応するデータ記憶領域に書込む。
In Example 2, as in Example 1, the same operations as steps 41 to 48 in FIG. 4 are performed.
In step 48, if the difference C is equal to or smaller than the predetermined value (YES), a correction unnecessary flag F3 indicating that correction of the processing depth is unnecessary is set in the data storage area corresponding to the partitioned area S1 in the processing control information storage unit 20. (step 61).
In step 48, if the difference C exceeds a predetermined value (NO), a correction value α for the depth to be machined is obtained based on the difference C (step 62). The correction value α in this case will be explained in FIG. 7, when the contact point P sinks due to the pressure from the drill 30 and the point V at the original machining depth L1 is lowered to the point W at the machining depth L4. , is an addition value for obtaining the machining depth L4 from the original machining depth L1.
The relationship between the correction value α and the difference C may be obtained in advance by experiments or the like, registered in a table, and obtained based on the difference C using this table. Alternatively, a correlation function between the difference C and the correction value α may be obtained in advance by experiments or the like, and the difference C may be obtained by a calculation formula.
In the next step 63, a correction required flag F4 indicating that the machining depth needs to be corrected and the correction value α obtained as described above are stored in a data storage area corresponding to the segmented area S1 in the machining control information storage unit 20. Write.

以上の動作が終了したら、ステップ64と65に従い、他の残りの区分領域S2~S9の各々についても同様にして加工深さの補正が必要であるかどうかを調べ、加工深さの補正が不要である区分領域につては補正不要フラグF3を、加工深さの補正が必要である区分領域につては補正要フラグF4と補正値αとを、加工制御情報記憶部20の当該区分領域に対応するデータ記憶領域に記憶する。
全体制御部15は、図4と図6のフローチャートに従った動作が終了したら、区分領域S1~S9の加工順番を決め、順次加工を実行するように制御する。この場合において、各区分領域を加工する直前で加工制御情報記憶部20における当該区分領域に対応する記憶領域を調べ、補正要フラグF4が書込まれていたら、当該区分領域においては元々与えられている加工深さL1に補正値αを加算して加工するようにする。
After the above operations are completed, according to steps 64 and 65, each of the other remaining segmented regions S2 to S9 is similarly examined to determine whether correction of the machining depth is necessary. , and the correction required flag F4 and the correction value α for the segmented region requiring correction of the machining depth correspond to the segmented region of the machining control information storage unit 20. stored in the data storage area.
After completing the operations according to the flow charts of FIGS. 4 and 6, the overall control unit 15 determines the processing order of the segmented regions S1 to S9, and performs control so that the processing is performed sequentially. In this case, immediately before processing each segmented region, the storage area corresponding to the segmented region in the processing control information storage unit 20 is checked, and if the correction required flag F4 is written, the The correction value α is added to the existing machining depth L1 for machining.

以上の実施例2によれば、基板に曲がって盛り上がる領域が存在することにより加工精度を確保できなく場合、加工深さを補正して加工精度を確保するようにしているので、加工できない領域を無くすことができる。 According to the second embodiment described above, when the processing accuracy cannot be ensured due to the presence of a bent and raised region on the substrate, the processing depth is corrected to ensure the processing accuracy. can be eliminated.

以上、実施の形態に基づき本発明を具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもなく、様々な変形例が含まれる。
例えば実施例1においては、所定値以下の差Cをもつ区分領域だけ加工対象とし、所定値を超える差Cをもつ区分領域は加工対象としないようにしたが、所定値を超える差Cをもつ区分領域が一つでも存在すれば、その基板を不良品と見做し全体を加工対象としないようにしてもよい。
Although the present invention has been specifically described above based on the embodiments, it goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. , including various modifications.
For example, in the first embodiment, only the segmented regions having the difference C less than or equal to the predetermined value are processed, and the segmented regions having the difference C exceeding the predetermined value are not processed. If even one segmented area exists, the substrate may be regarded as a defective product and the entire substrate may not be processed.

また上記実施例においては、区分領域の数は9個としたが、もっと少なくて多くしても、区分領域間に隙間を設けても、各区分領域の大きさは同じでなくてもよい。要は、基板1の盛り上がりの状態等によって決めればよく、例えば、基板1の四隅と中央部の5箇所に限定してもよい。
さらに、各区分領域での表面高さAとBは同じ表面高さ検出点Zで検知しているが、必ずしも厳密に同じ位置である必要はなく、基板の盛り上がりの状態等によって必要に応じてずれていてもよく、表面高さ検出点Zの周辺であってもよい。
In the above embodiment, the number of segmented areas is nine, but the number of segmented areas may be reduced or increased, gaps may be provided between segmented areas, and the size of each segmented area may not be the same. In short, it may be determined according to the state of the protrusion of the substrate 1 and the like, and for example, it may be limited to the four corners and the central portion of the substrate 1 .
Furthermore, although the surface heights A and B in each segmented region are detected at the same surface height detection point Z, they do not necessarily have to be exactly at the same position, and may be detected as necessary depending on the state of the bulging of the substrate. It may be deviated, and may be around the surface height detection point Z.

また上記実施例においては、区分領域S1~S9の各々の表面高さを検出するのに中央位置だけを代表として設定したが、必ずしも中央位置である必要はない。
また区分領域S1~S9の各々の表面高さ検出位置の数をもっと多くして、所定値を超える差Cをもつ表面高さ検出位置が一つでも存在したり、差Cの平均値が所定値を超えていたら、実施例1においてはその区分領域を加工対象としないようにしたり、実施例2においてはその区分領域で加工深さの補正を行うようにしてもよい。
Further, in the above embodiment, only the center position is set as a representative for detecting the surface height of each of the segmented regions S1 to S9, but the center position does not necessarily have to be used.
Further, by increasing the number of surface height detection positions in each of the segmented regions S1 to S9, even one surface height detection position having a difference C exceeding a predetermined value exists, or the average value of the difference C is less than a predetermined value. If the value exceeds the value, the segmented area may not be processed in the first embodiment, or the processed depth may be corrected in the segmented area in the second embodiment.

また上記実施例においては、高さ検出記憶部A18、高さ検出記憶部B19及び加工制御情報記憶部20を別々の記憶部としたが、まとめて一つの記憶部にしてもよい。この場合、区分領域S1~S9の各々に対応する記憶領域に、実施例1においては表面高さAと表面高さBと加工対象フラグF1を、あるいは表面高さAと表面高さBと加工非対象フラグF2を記憶するようにすればよい。また実施例2においては表面高さAと表面高さBと補正不要フラグF3を、あるいは表面高さAと表面高さBと補正要フラグF4と補正値αを記憶するようにすればよい。 In the above embodiment, the height detection storage section A18, the height detection storage section B19, and the processing control information storage section 20 are separate storage sections, but they may be integrated into one storage section. In this case, in the storage area corresponding to each of the segmented areas S1 to S9, in the first embodiment, the surface height A, the surface height B, and the processing target flag F1, or the surface height A, the surface height B, and the processing A non-target flag F2 may be stored. In the second embodiment, the surface height A, the surface height B, and the correction unnecessary flag F3, or the surface height A, the surface height B, the correction necessary flag F4, and the correction value α may be stored.

また実施例2においては、差Cが所定値を超える区分領域は全て加工深さを補正して加工するようにしたが、必ずしも適正な補正値αが事前に得られるとは限らない。従って、差Cが所定値を超える区分領域については、差Cの大きさによって補正できる領域と補正できない領域の2種類に分類し、補正できる領域だけ補正するようにしてもよい。 Further, in the second embodiment, all the segmented regions in which the difference C exceeds the predetermined value are processed by correcting the processing depth, but it is not always possible to obtain an appropriate correction value α in advance. Therefore, it is also possible to classify divided regions in which the difference C exceeds a predetermined value into two types, that is, regions that can be corrected and regions that cannot be corrected according to the magnitude of the difference C, and to correct only the regions that can be corrected.

1:基板、2:加工テーブル、3:スピンドルユニット、4:ドリル、
5:スピンドル、6:スピンドル垂直駆動部、7:テーブル駆動部、
8:プレッシャフット、9:シリンダ、13:ドリル接触検出部、
15:全体制御部、16:スピンドル駆動制御部、17:テーブル駆動制御部、
18:高さ検出記憶部A、19:高さ検出記憶部B、20:加工制御情報記憶部、
S1~S9:区分領域、Z:表面高さ検出点
1: substrate, 2: processing table, 3: spindle unit, 4: drill,
5: spindle, 6: spindle vertical drive, 7: table drive,
8: pressure foot, 9: cylinder, 13: drill contact detector,
15: overall control unit, 16: spindle drive control unit, 17: table drive control unit,
18: height detection storage unit A, 19: height detection storage unit B, 20: processing control information storage unit,
S1 to S9: division area, Z: surface height detection point

Claims (7)

加工テーブルに載置された基板を押付けるための基板押付け部と、前記基板に穴をあけるためのドリルが前記基板の表面に接触したことを検出するドリル接触検出部と、前記ドリルによる前記基板の穴あけ加工を制御する制御部とを備えるドリル加工装置において、前記制御部は、前記基板押付け部により前記基板を押し付けた状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記基板の特定位置で前記基板の第1の表面高さを検知する第1の動作と、前記基板押付け部により前記基板を押し付けない状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記特定位置あるいはその周辺で前記基板の第2の表面高さを検知する第2の動作を行い、前記第1の表面高さと前記第2の表面高さの差が所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域を加工対象としないように制御することを特徴とするドリル加工装置。 A substrate pressing portion for pressing a substrate placed on a processing table, a drill contact detection portion for detecting contact of a drill for making a hole in the substrate with the surface of the substrate, and the substrate by the drill. and a control unit for controlling drilling, wherein the control unit controls a specific position of the substrate based on a detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is pressed by the substrate pressing unit. a first operation of detecting a first surface height of the substrate with the substrate pressing portion, and in a state where the substrate is not pressed by the substrate pressing portion, based on the detection signal from the drill contact detection portion, at or around the specific position performing a second operation of detecting a second surface height of the substrate, and detecting a region including at least the specific position when a difference between the first surface height and the second surface height exceeds a predetermined value; A drilling device characterized in that it is controlled so as not to be processed. 請求項1に記載のドリル加工装置において、前記特定位置は前記基板の端に沿った領域と中央部にある領域内に設定されていることを特徴とするドリル加工装置。 2. The drilling apparatus according to claim 1, wherein said specific positions are set within areas along the edge of said substrate and within a central area. 請求項1あるいは2に記載のドリル加工装置において、前記領域内には複数の前記特定位置が設定され、それぞれでの前記差の平均値が前記所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域を加工対象としないように制御することを特徴とするドリル加工装置。 3. The drilling apparatus according to claim 1, wherein a plurality of said specific positions are set in said region, and when the average value of said differences at each exceeds said predetermined value, said region includes at least said specific positions. A drilling device characterized in that it is controlled so as not to be processed. 加工テーブルに載置された基板を押付けるための基板押付け部と、前記基板に穴をあけるためのドリルが前記基板の表面に接触したことを検出するドリル接触検出部と、前記ドリルによる前記基板の穴あけ加工を制御する制御部とを備えるドリル加工装置において、前記制御部は、前記基板押付け部により前記基板を押し付けた状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記基板の特定位置で前記基板の第1の表面高さを検知する第1の動作と、前記基板押付け部により前記基板を押し付けない状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記特定位置あるいはその周辺で前記基板の第2の表面高さを検知する第2の動作を行い、前記第1の表面高さと前記第2の表面高さの差が所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域においては予め定められている穴あけ深さを前記差に基づいて補正して加工するように制御することを特徴とするドリル加工装置。 A substrate pressing portion for pressing a substrate placed on a processing table, a drill contact detection portion for detecting contact of a drill for making a hole in the substrate with the surface of the substrate, and the substrate by the drill. and a control unit for controlling drilling, wherein the control unit controls a specific position of the substrate based on a detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is pressed by the substrate pressing unit. a first operation of detecting a first surface height of the substrate with the substrate pressing portion, and in a state where the substrate is not pressed by the substrate pressing portion, based on the detection signal from the drill contact detection portion, at or around the specific position performing a second operation of detecting a second surface height of the substrate, and when a difference between the first surface height and the second surface height exceeds a predetermined value, in a region including at least the specific position A drilling apparatus characterized in that control is performed so that drilling is performed by correcting a predetermined drilling depth based on the difference. 請求項4に記載のドリル加工装置において、前記特定位置は前記基板の端に沿った領域と中央部にある領域内に設定されていることを特徴とするドリル加工装置。 5. The drilling apparatus according to claim 4, wherein said specific position is set within a region along the edge of said substrate and a region located in the central portion of said substrate. 基板押付け部により加工テーブルに載置された基板を押付け、ドリル接触検出部により前記基板に穴をあけるためのドリルが前記基板の表面に接触したことを検出するようにしたドリル加工方法において、前記基板押付け部により前記基板を押し付けた状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記基板の特定位置で前記基板の第1の表面高さを検知する第1のステップと、前記基板押付け部により前記基板を押し付けない状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記特定位置あるいはその周辺で前記基板の第2の表面高さを検知する第2のステップと、前記第1の表面高さと前記第2の表面高さの差が所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域を加工対象としないように制御する第3のステップとを有することを特徴とするドリル加工方法。 A drilling method, wherein a substrate pressing unit presses a substrate placed on a processing table, and a drill contact detection unit detects that a drill for drilling a hole in the substrate comes into contact with the surface of the substrate. a first step of detecting a first surface height of the substrate at a specific position of the substrate based on a detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is pressed by the substrate pressing unit; a second step of detecting a second surface height of the substrate at or around the specific position based on the detection signal from the drill contact detection unit in a state where the substrate is not pressed by the unit; and a third step of controlling a region including at least the specific position not to be processed when the difference between the surface height and the second surface height exceeds a predetermined value. . 基板押付け部により加工テーブルに載置された基板を押付け、ドリル接触検出部により前記基板に穴をあけるためのドリルが前記基板の表面に接触したことを検出するようにしたドリル加工方法において、前記基板押付け部により前記基板を押し付けた状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記基板の特定位置で前記基板の第1の表面高さを検知する第1のステップと、前記基板押付け部により前記基板を押し付けない状態で前記ドリル接触検出部からの検出信号に基づいて前記特定位置あるいはその周辺で前記基板の第2の表面高さを検知する第2のステップと、前記第1の表面高さと前記第2の表面高さの差が所定値を超える場合、少なくとも前記特定位置を含む領域においては予め定められている穴あけ深さを前記差に基づいて補正して加工するように制御する第3のステップとを有することを特徴とするドリル加工方法。 A drilling method, wherein a substrate pressing unit presses a substrate placed on a processing table, and a drill contact detection unit detects that a drill for drilling a hole in the substrate comes into contact with the surface of the substrate. a first step of detecting a first surface height of the substrate at a specific position of the substrate based on a detection signal from the drill contact detection unit while the substrate is pressed by the substrate pressing unit; a second step of detecting a second surface height of the substrate at or around the specific position based on the detection signal from the drill contact detection unit in a state where the substrate is not pressed by the unit; When the difference between the surface height and the second surface height exceeds a predetermined value, control is performed so that processing is performed by correcting a predetermined drilling depth based on the difference in at least a region including the specific position. A drilling method characterized by comprising a third step of:
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