JP7273796B2 - 表面突起研磨パッド - Google Patents

Description

ラッピングは、光学構成要素の製造及び半導体ウェハの生産を含む、多くの異なる産業において重要な仕上げ技術である。ラッピング技術は、一般に、固定研磨剤ラッピング及びスラリーラッピングの２つの基本カテゴリーに分類することができる。

固定研磨剤ラッピングは、その名称が意味するように、物品（表面、パッドなど）の中に組み込まれるか、又は物品上に接着された研磨剤要素を用いる。固定研磨剤物品を回転させ、ラッピング／研磨される基材を固定研磨剤表面に押し付けて、所望の結果を得る。

スラリーラッピングもまた、表面のトポグラフィを平滑化するための一般的なプロセスである。片面動作又は両面動作のいずれかで実施され、（一般に、組み込まれた研磨剤要素がない）研磨パッドが回転され、研磨パッドの表面に対して基材が押し付けられ、一方で、研磨パッドと基材との間の接触面に研磨剤スラリーが追加される。研磨剤スラリーは、パッド及び基材の両方に接触し、基材から材料を除去する。

本開示の実施形態によると、物品は、表面層と、表面層の少なくとも一部に結合されたベース層とを含む。表面層は、平面を画定する頂部主表面と、頂部主表面の反対側の底部主表面とを含む。頂部主表面は、表面全体にわたって繰り返される微細構造を備え、微細構造の一部に高さを加える複数の突起を伴う。

いくつかの実施例では、システムは、基材を保持するように構成されたキャリアアセンブリと、上述の物品を含む研磨パッドと、研磨パッドに結合されたプラテンと、流体成分及び研磨剤成分を含む研磨スラリーと、を含む。システムは、研磨パッドを基材に対して相対的に移動させるように構成されている。

いくつかの実施例では、方法は、主表面を有する基材と、上述の物品を含む研磨パッドと、流体成分及び研磨剤成分を含む研磨スラリーとを準備することを含む。本方法は、研磨パッドと基材の主表面との間に相対運動が存在する間に、基材の主表面を研磨パッド及び研磨スラリーに接触させることを更に含む。

本発明の１つ以上の実施形態の詳細を、添付の図面及び以下の明細書に示す。本発明のその他の特徴、目的、及び利点は、明細書及び図面、並びに特許請求の範囲から明らかであろう。

図中の同様の記号は、同様の要素を示している。点線は任意選択的な又は機能的な構成要素を示し、破線は表示されていない構成要素を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による物品及び方法を利用するための片面研磨システムの一例の概略図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による物品及び方法を利用するための両面研磨システムの一例の概略図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッドの一例の斜視上面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による、円形突起を有する研磨パッドの一例の斜視上面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による、平行縞状突起を有する研磨パッドの一例の斜視上面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による、軸方向の縞状突起を有する研磨パッドの一例の斜視上面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による、複数の突起を含む頂部主表面を有する研磨パッドの一例の斜視上面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による図４Ａの研磨パッドの一例に対する半径方向力経路の予想グラフである。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッドの一例の概略断面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッドの一例の概略断面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッドの一例の概略断面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による、微細構造を有する研磨パッドの一例の表面層の断片の概略断面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による、微細構造及びキャビティを有する研磨パッドの一例の表面層の断片の概略断面図を示す。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による基材を研磨するための例示的方法のフロー図である。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッドの写真である。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド上の突起の摩耗の写真である。

本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド上の下部領域の摩耗の写真である。

本明細書で論じる実施形態による研磨パッドに対する、材料除去速度と突起厚さのグラフである。

本明細書で論じる実施形態による研磨パッドに対する、材料除去速度と研磨時間のグラフである。

スラリーラッピングプロセスは、研磨剤スラリーを研磨パッドの表面に対して接触させることにより、基材から材料を除去する。研磨剤スラリーは、ラッピングプロセス中に継続的に供給されて、研磨作用によって使い尽くされ老廃物になって失われた研磨剤スラリーを置き換える。特定の基材を研磨するのに要する時間が長いほど、老廃物になって失われ得る研磨剤スラリーは、より多くなる。

本開示は、基材上に圧力変調をもたらすための表面突起を含む研磨パッドを含む。研磨パッドは、複数の突起と、突起から延びる複数の微細構造とを含む表面層を有する。複数の突起は、表面層の研磨表面に局所的な圧力を付与するように構成されてもよい。複数の微細構造は、研磨剤スラリーと相互作用して、基材から材料を除去するように構成されてもよい。本明細書に記載されるような突起を有する研磨パッドで基材を研磨することにより、研磨機は、より速い速度で材料を除去する圧力変調を基材上に印加できる。

ラッピングプロセスは、本明細書で論じられる物品及び技術を使用して、基材から材料を除去することができる。図１Ａは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による物品及び方法を利用するための研磨システム１０Ａの一例の概略図を示す。システム１０Ａは、プラテン１２Ａ、駆動アセンブリ１４Ａ、研磨ヘッドアセンブリ１６Ａ、基材２０、研磨スラリー３０、及び研磨パッド４０を含んでもよい。プラテン１２Ａは、研磨パッド４０を収容及び／又は固定するように構成されてもよい。駆動アセンブリ１４Ａは、プラテン１２Ａに結合され、プラテン１２Ａ、及びそれに対応して研磨パッド４０を回転させるように構成されてもよい。研磨ヘッドアセンブリ１６Ａは、基材２０に結合されてもよく、基材２０を回転させ、研磨パッド４０の平面にわたって基材２０を移動させ、基材２０の研磨表面１８において基材２０を研磨パッド４０に対して押し付けるように構成されてもよい。研磨スラリー３０及び研磨パッド４０を単独で又は組み合わせて、研磨表面１８において基材２０の材料を除去してもよい。

円形の片面研磨システム１０Ａについて上述したが、他の研磨システムを使用してもよい。例えば、研磨パッドは、円形に駆動されるよりはむしろ、単一の次元にわたって直線的に送り込まれる研磨ベルトであってもよい。別の実施例として、両面研磨機におけるように、２つ以上の研磨パッドが基材と接触してもよい。他の例示的なシステムとしては、ベルト研磨機、振動研磨機、両面研磨機などが挙げられるが、これらに限定されない。

図１Ｂは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による物品及び方法を利用するための両面研磨システム１０Ｂの一例の図を示す。システム１０Ｂは、２つのプラテン１２Ｂ、２つの駆動アセンブリ１４Ｂ、１つ以上のキャリア１６Ｂ、基材２０、研磨スラリー（図示せず）、及び２つの研磨パッド４０を含んでもよい。プラテン１２Ｂは、研磨パッド４０を収容及び／又は固定するように構成されてもよい。駆動アセンブリ１４Ｂは、プラテン１２Ｂに結合され、プラテン１２Ｂ、及びそれに対応して研磨パッド４０を回転させるように構成されてもよい。キャリア１６Ｂは、基材２０に結合されてもよく、基材２０を回転させ、研磨パッド４０の平面にわたって基材２０を移動させ、基材２０の研磨表面において基材２０を研磨パッド４０に押し付けるように構成されてもよい。研磨スラリー及び研磨パッド４０を単独で又は組み合わせて、研磨表面において基材２０の材料を除去してもよい。

基材は、研磨及び／又は平坦化が所望される任意の基材であってよい。例えば、基材は、金属、金属合金、金属酸化物、セラミック、ポリマーなどであってもよい。いくつかの実施形態では、本開示の方法は、サファイア、ケイ素、炭化ケイ素、石英、又はケイ酸塩ガラスなどの超硬基材を研磨するのに特に有用であり得る。基材は、１つ以上の研磨される表面を含んでもよい。

研磨パッド４０は、基材２０からの材料の除去速度を増加させるために複数の突起を有して構成されてもよい。図２は、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド４０の斜視上面図を示す。研磨パッド４０は、頂部主表面４２を有してもよく、頂部主表面４２は、頂部主表面４２にわたって分布する複数の突起４４を含む。サイズゆえに明示的に示していないが、頂部主表面４２は、複数の突起４４から延びる複数の繰り返し微細構造を含んでもよい。研磨パッド４０は、研磨剤を実質的に含まなくてもよい。

いかなる特定の理論にも限定されるものではないが、圧力変調及び局所的流体移動の一方又は両方によって、突起４４が基材２０の材料除去速度を増加させ得ることが理論付けられる。図１に記載される研磨システム１０などの研磨アセンブリは、研磨パッド４０上に特定の力又は負荷を印加してもよい。研磨パッド４０の複数の突起４４が、突起４４の研磨表面において力を集中及び局所化することができる。突起４４間の空間により、使用済み研磨流体を研磨表面から除去することが可能になり、一方で、新しい研磨流体が突起４４の研磨表面に移動することが可能になり得る。研磨表面における局所的な力、及び研磨表面における研磨剤の更新の存在及び／又は組み合わせにより、研磨パッド４０が、突起４４のない研磨パッドよりも速い速度で基材２０から材料を除去することが可能になり得る。本明細書に記載されるように、材料の除去速度は、プレストンの式、並びに上述の材料除去理論によって表されるような基本的な物質除去原理に関する要因及び特性によって変更されてもよい。

図４Ａは、複数の突起４４を含む頂部主表面４２を有する例示的な研磨パッド４０である。この例では、研磨パッド４０は、８つの突起４４を通って延び、動作中の研磨パッド４０の（横方向の動きを考慮しない）研磨経路を表す半径方向力経路４３を有する。例えば、研磨パッド４０は、半径方向力経路４３に沿った静止点が、回転中に８つの突起４４のそれぞれと接触するように回転し得る。図４Ｂは、図４Ａの例示的な研磨パッド４０の片面研磨機の動作における半径方向力経路４３の予想グラフである。図４Ｂは、半径方向力プロファイル６１の半径ｒに沿った固定点において受ける力Ｆを示し得る。グラフに示すように、研磨パッド４０は、突起４４における増加した力と、頂部主表面４２の平面５７における減少した力との間でサイクルする変調力又は変調圧力を加える。変調力は突起高さと相関してもよく、変調周波数は突起間隔と相関してもよく、変調周期性は突起幅／直径と相関してもよい。研磨パッド４０が両面研磨機に結合される実施例では、力プロファイルは、より複雑な変化を有し得る。

再び図２を参照すると、複数の突起４４は、頂部主表面４２にわたって分布してもよい。いくつかの実施例では、複数の突起４４は、頂部主表面４２の平面の上方に、突起４４の表面積として特徴付けられる表面積を有してもよい。突起４４の表面積は、頂部主表面４２の総表面積に対して表現できる。いくつかの実施例では、頂部主表面４２にわたる突起４４の面密度は、頂部主表面４２の総表面積の約０．１％～約４０％の範囲にあってもよい。いくつかの実施例では、突起４４の面密度は、頂部主表面４２の総表面積の約１％～約２５％の範囲にあってもよい。突起４４の表面積及び／又は面密度は、研磨パッド速度、荷重、研磨スラリー粘度、及び局所研磨力、研磨表面接触、研磨スラリー移動などに影響を及ぼす他の要因、を含む様々な要因に基づいて選択されてもよい。例えば、突起４４の表面積は、特定の研磨パッド速度及び研磨流体粘度に対して、研磨流体が研磨表面に適切に移動し得る一方で、突起４４が材料除去のために基材２０に頻繁に接触し得るように選択されてもよい。いくつかの実施例では、頂部主表面４２上の複数の突起４４の分布は、所与の面積に対する突起４４の数を表す突起面密度として特徴付けることができる。いくつかの実施例では、突起の面密度は、１００平方インチ当たり約３～約２００個の範囲の突起であってもよい。

複数の突起４４が、頂部主表面４２上にパターンを形成してもよい。パターンは、研磨パッド速度、研磨機タイプ（例えば、回転又は線形）、並びに動作中に突起が基材２０と接触する方向及び頻度に影響を及ぼす他の要因、を含む様々な要因に基づいて選択されてもよい。いくつかの実施例では、複数の突起４４は、頂部主表面４２にわたって均等に分布して対称パターンを形成してもよい一方で、いくつかの実施例では、複数の突起は、非対称パターンを有するか、又はパターンを持たなくてもよい。

複数の突起４４は、様々な形状及びサイズを有してもよい。複数の突起４４は、突起摩耗、圧力プロファイルなどの様々な要因のために構成される形状及びサイズを有してもよい。いくつかの実施例では、突起４４は、実質的に２次元又は３次元の形状、凸状、球形、半球形、矩形、正方形、又は任意の他の所望の断面形状を有してもよい。いくつかの実施例では、突起は、縞、リングなどの実質的に１次元の形状を有してもよい。いくつかの実施例では、突起は、丸形、正方形、傾斜状、凹状、カップ形状などの表面プロファイルを有してもよい。

いくつかの実施例では、突起４４は、突起高さ、突起幅、及び突起間隔を有してもよい（例えば、後述する図５Ａの突起高さ５６、突起幅５４、及び突起間隔５２を参照のこと）。突起高さは、所望の変調力と相関してもよく、突起幅は、所望の変調位相と相関してもよく、突起間隔は、所望の変調周波数と相関してもよい。突起高さ、幅／直径、及び間隔に影響を及ぼし得る追加の要因としては、基材のサイズ、研磨機の速度などが挙げられる。いくつかの実施例では、突起高さは、少なくとも約１０μｍであってもよい。いくつかの実施例では、突起高さは、約２０μｍ～約５００μｍの範囲にあってもよい。いくつかの実施例では、突起幅は、約０．１ｃｍ～約１０ｃｍの範囲にあってもよい。いくつかの実施例では、突起間隔は、少なくとも約１ｃｍであってもよい。いくつかの実施例では、突起間隔は、約１ｃｍ～約１０ｃｍの範囲にあってもよい。突起高さ及び突起間隔は、例えば、突起高さが増加するにつれて、突起間隔がそれに応じて増加し得るように関連してもよい。いくつかの実施例では、突起高さ及び突起幅は、約１：１０，０００～約１：１００の範囲の比を有してもよい。突起高さ及び突起間隔は、例えば、突起高さが増加するにつれて、突起幅がそれに応じて増加し得るように関連してもよい。いくつかの実施例では、突起高さ及び突起間隔は、約１：１０，０００～約１：１００の範囲の比を有してもよい。

図３Ａは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による円形突起４４Ａを有する研磨パッド４０の一例の斜視上面図を示す。複数の円形突起４４Ａは、頂部主表面４２Ａにわたって分布してもよい。いくつかの実施例では、複数の円形突起は同じ直径及び間隔を有してもよい一方で、他の実施例では、複数の円形突起４４Ａは、異なる直径及び／又は間隔を有してもよい。いくつかの実施例では、複数の円形突起４４Ａの直径は、約１ｍｍ～１０ｃｍであってもよく、複数の円形突起４４Ａの間隔は、約１ｃｍ～１０ｃｍであってもよい。

図３Ｂは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による平行縞状突起４４Ｂを有する研磨パッド４０の一例の斜視上面図を示す。複数の平行縞状突起４４Ｂは、頂部主表面４２Ｂにわたって分布してもよい。いくつかの実施例では、複数の平行縞状突起４４Ｂは、同じ幅、長さ、及び間隔を有してもよい一方で、他の例では、複数の平行縞状突起４４Ｂは、異なる幅、長さ、及び／又は間隔を有してもよい。いくつかの実施例では、複数の平行縞状突起４４Ｂの幅は、約１ｍｍ～１０ｃｍであってもよく、複数の平行縞状突起４４Ｂの長さは、約１ｃｍであってもよく、研磨パッド４０の幅、及び複数平行縞状突起４４Ｂの間隔は、約１ｃｍ～約２５ｃｍであってもよい。

図３Ｃは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による、軸方向の縞状突起４４Ｃを有する研磨パッド４０の一例の斜視上面図を示す。複数の軸方向の縞状突起４４Ｃは、頂部主表面４２Ｃにわたって分布してもよい。いくつかの実施例では、複数の軸方向の縞状突起４４Ｃは、同じ幅、長さ、及び軸方向の間隔を有してもよい一方で、他の例では、複数の軸方向の縞状突起４４Ｃは、異なる幅、長さ、及び／又は軸方向の間隔を有してもよい。いくつかの実施例では、複数の軸方向の縞状突起４４Ｃの幅は、約１ｍｍ～１０ｃｍであってもよく、複数の軸方向の縞状突起４４Ｃの長さは、約１ｃｍであってもよく、研磨パッド４０の幅、及び複数の軸方向の縞状突起４４Ｃの軸方向の間隔は、約５度～約９０度であってもよい。

いくつかの実施例では、研磨パッド４０は、繰り返し微細構造を形成する、頂部主表面４２の平面から延びる複数の微細構造を含んでもよい。いくつかの実施例では、複数の微細構造は、研磨スラリーの研磨剤粒子と相互作用して、基材２０から材料を除去するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、微細構造は、平坦な又は起伏を有する表面（例えば、曲面、表面窪みなど）を有する基材２０に接触し、基材２０の研磨を促進するように構成されてもよい。図６Ａは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による微細構造６４を有する表面層４６の断片の概略断面図を示す。図６Ａの例では、微細構造６４は、研磨パッド４０の表面層４６と一体形成されるか、又は研磨パッド４０の表面層４６に結合されてもよい。いくつかの実施例では、微細構造が湾曲して表面輪郭を有する基材の研磨に適合し得るように、微細構造６４は、研磨要素に屈曲を付与するように構成されたステムを含んでもよい。微細構造６４は、凸状、球形、半球形、凹状、カップ形状、長方形、正方形である断面形状、又は任意の他の所望の断面形状を有してもよい。微細構造６４は、頂部主表面４２にわたって、単一の面密度（すなわち、単位面積当たりの研磨要素の数）を有して均一に分布してもよく、又は、頂部主表面４２にわたって、ランダムな又は系統的な様式で変化する面密度を有してもよい。いくつかの実施例では、微細構造６４は、複数の突起４４の少なくとも一部の上に分布してもよい。微細構造６４は、頂部主表面４２を横切ってランダムに配置されてもよく、又は、頂部主表面４２にわたって、あるパターンで、例えば繰り返しパターンで配置されてもよい。パターンとして、正方配列、及び六方配列等が挙げられるが、これらに限定されない。微細構造の例としては、参照により本明細書に組み込まれる、国際公開第２０１６／１８３１２６（Ａ１）号を参照されたい。

いくつかの実施例では、研磨パッド４０は、キャビティ６６によって形成された複数の微細構造５４を含んでもよく、キャビティは、頂部主表面４２及び底部主表面４８のいずれか又は両方から研磨パッド４０の表面層４６の中に延びて、微細構造を形成する。図６Ｂは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による微細構造６４及びキャビティ６６を有する表面層４６の断片の概略断面図を示す。キャビティは、研磨パッド４０の中に任意の所望の距離で延びてもよい（研磨パッド４０を完全に貫通し、それによりスラリーがキャビティを通って流れることを可能にすることを含む）。キャビティ６６は、任意のサイズ及び形状を有してもよい。例えば、キャビティ６６の形状は、立方体、円筒形、プリズム形、半球形、直方体、角錐形、切頭角錐形、円錐形、切頭円錐形、十字形、弓状若しくは平坦な底部表面を持つ柱状、又はこれらの組み合わせ等の多数の幾何学的形状の中から選択され得る。代替として、キャビティ６６のいくつか又は全てが不規則形状を有してもよい。いくつかの実施形態では、キャビティ６６のそれぞれは、同じ形状を有する。代替として、任意の数のキャビティ６６が他の任意の数のキャビティとは異なる形状を有してもよい。キャビティ６６は、キャビティが行及び列に整列され、パターン（例えば、螺旋状、つる巻き状、コルク抜き、又は格子の様式）にて分布するか、又は「ランダム」アレイ（すなわち、系統的パターンではない）にて分布する配置で提供され得る。微細構造のキャビティの例としては、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許出願公開第２０１６／０２２１１４６（Ａ１）号を参照されたい。

いくつかの実施形態では、研磨パッド４０は、１つ以上の追加の層を含んでもよい。例えば、研磨パッドは、感圧性接着剤、ホットメルト接着剤、又はエポキシ等の接着剤層を含んでいてもよい。「サブパッド」、例えば熱可塑性層、例えばポリカーボネート層は、パッドにより大きな剛性を付与でき、グローバル平坦性のために使用できる。サブパッドはまた、圧縮可能な材料の層、例えば発泡材料層を含んでいてもよい。熱可塑性層及び圧縮可能な材料の層の両方の組み合わせを含むサブパッドもまた使用できる。加えて又は代わりに、帯電気除去若しくはセンサ信号モニタリングのための金属フィルム、光透過のための光学的に透明な層、加工物のより微細な仕上げのための発泡層、又は研磨表面に「ハードバンド」若しくは硬い領域を付与するためのリブ付き材料が含まれていてもよい。

いくつかの実施形態では、研磨パッド４０は、２つ以上の研磨パッド層を有する表面層４６を含む多層研磨パッド配置として形成されてもよく、研磨パッド層はそれぞれ、結合配置を介して積層体の対応する隣接層に取り外し可能に結合されている。いくつかの実施形態では、研磨パッド４０は、表面層、頂部両面接着剤層、サブパッド、及び底部両面接着剤層を含んでもよい。頂部及び底部両面接着剤層のそれぞれは、底部接着剤層と、上部接着剤層と、上部接着剤層と底部接着剤層との間のキャリア層とを含んでもよい。複数のパッド層の例としては、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許出願公開第２０１６／０２２９０２３号を参照されたい。

例示的な実施形態では、任意の研磨パッド層をポリマー材料で形成してもよい。例えば、研磨パッド４０の（以下の図５Ａ～図５Ｃに記載される）表面層４６、中間層６０、及び／又はベース層５０は、熱可塑性材料、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリウレタン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンオキシド、ポリスルホン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリスチレン、ポリオキシメチレンプラスチック等；熱硬化性樹脂、例えば、ポリウレタン、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド及びウレアホルムアルデヒド樹脂、放射線硬化樹脂、又はこれらの組み合わせから形成されてもよい。いくつかの実施形態では、研磨パッド層のいずれかは、例えば、銅、スズ、亜鉛、銀、ビスマス、アンチモン、又はこれらの合金類などの軟質金属材料から形成されてもよい。研磨パッド層は、１つの材料層のみから本質的に構成されていてもよく、又は多層構造を有してもよい。

研磨パッド４０は、様々な形状及びサイズを有してもよい。研磨パッド４０は、プラテン１２の形状又は駆動アセンブリ１４の移動などのシステム１０のフィーチャと適合性のある形状及びサイズを有してもよい。いくつかの実施例では、研磨パッド４０は、円形の研磨形態のような円形の形状、又はシート状若しくはベルト状の研磨形態のような矩形形状を有してもよい。いくつかの実施例では、研磨パッド４０は、２５～１５０ｃｍの範囲の直径、又は５００～１７５００ｃｍ^２の範囲の表面積を有してもよい。複数の突起４４は、研磨パッド４０の頂部主表面４２の平面から延びてもよい。頂部主表面４２の平面は、研磨パッド４０のプロファイルから見たとき、頂部主表面４２の表面高さの中央値を表し得る（例えば、図４Ａの平面５７を参照のこと）。

研磨パッド４０は、任意の厚さを有してもよい。研磨パッド４０の厚さは、表面層４６の剛性に影響を及ぼす場合があり、剛性は次に、研磨される基材２０の研磨結果、特に平面性及び／又は平坦性に影響を及ぼし得る。いくつかの実施形態では、研磨パッド層の厚さは、０．１２５ｍｍ～１０ｍｍ、０．１２５ｍｍ～５ｍｍ、又は約０．２５ｍｍ～５ｍｍの範囲にある。いくつかの実施形態では、研磨パッド配置の形状を、多層研磨パッド配置が上に装着されるプラテン１２の形状に適合させてもよい。例えば、研磨パッド配置は、多層研磨パッド配置が装着されるプラテンの直径に対応する直径を有する円形又は環形の形状で構成されてもよい。いくつかの実施形態では、研磨パッド配置は、プラテン１２の形状に±１０％の公差内で適合し得る。

前述の実施形態は、平面であるベース層５０を有する研磨パッドに関して記載されてきたが、任意の数の非平面の方向が、事前設定された開示の範囲から逸脱しない範囲で用いられてもよいことを理解されたい。例えば、ベース層５０は、連続的なベルトの形態であってもよい。追加の例として、ベース層５０は、プロペラ様構成で、又はフェスツーンの束として提供されてもよい。そのような非平面研磨パッドを、研磨される基材と接触するように研磨パッドを回転させることができる適切なキャリアアセンブリ（例えば、プラテン１２又はアクセル）に結合させることができる。

研磨パッド４０は、例えば、モールディング、押出加工、エンボス加工、及びこれらの組み合わせを含む様々な方法に従って形成することができる。突起４４は、研磨パッド４０内に様々な構成で含まれてもよい。図５Ａ、図５Ｂ、及び図５Ｃは、それぞれ、上層、底層、及び中間層の可変層厚さを通して形成された突起４４を有する研磨パッド４０の図である。図５Ａ～図４Ｃのフィーチャは必ずしも縮尺通りに描かれていない。図５Ａは、研磨パッド４０の表面フィーチャに関して説明できるが、同様のフィーチャが図５Ｂ及び図５Ｃ、並びに図示されていない実施形態において存在してもよいと理解されている。

図５Ａは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド４０Ａの概略断面図を示す。研磨パッド４０Ａは、表面層４６Ａ及びベース層５０Ａを含む。表面層４６Ａは、頂部主表面４２及び底部主表面４８Ａを含む。表面層４６Ａは、頂部主表面４２の上にある繰り返し微細構造と、頂部主表面４２の平面５７から延びる複数の突起４４とを含んでもよい。ベース層５０Ａは、底部主表面４８Ａにおいて表面層４６Ａに結合されている。ベース層５０Ａは、１つ以上のサブパッド又は接着剤層を含んでもよい。この例では、底部主表面４８Ａは実質的に平坦であり、表面層４６Ａの厚さの変動によって突起４４が形成されている。図５Ａの例では、突起４４は、例えば、平坦な表面層上に突起４４を押出成形して表面層４６Ａを形成することによって形成されてもよい。

各突起４４は、平面５７からの突起高さ５６だけ延びている。各突起４４は、少なくとも１つの次元で突起幅５４を有する。例えば、突起４４が実質的に１次元プリズムであって、プリズムがその長さに沿って研磨パッド４０にわたって延び得る場合、突起幅５４はプリズムの長さではなく幅であり得る。２つの突起４４は、研磨経路に沿って突起間隔５２を有してもよい。例えば、半径方向研磨パッドは、研磨パッドの半径に沿った突起間隔５２を有してもよく、それにより、研磨パッドの動作中に突起間隔５２が突起間の変調の谷間を表してもよい。各突起高さ５６は、研磨パッド４０Ａ上で同じであっても、又は異なっていてもよい。

図５Ｂは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド４０Ｂの概略断面図を示す。研磨パッド４０Ｂは、表面層４６Ｂ及びベース層５０Ｂを含む。ベース層５０Ｂは、１つ以上のサブパッド又は接着剤層を含んでもよい。表面層４６Ｂは、頂部主表面４２及び底部主表面４８Ｂを含む。この例では、底部主表面４８Ｂが実質的に構造化され、ベース層４６Ｂの厚さの変動によって突起４４が形成されている。図５Ｂの例では、突起４４は、例えば、構造化されたベース層５０Ｂ上に表面層４６Ｂを形成することによって形成されてもよい。各突起高さ５６は、研磨パッド４０Ｂ上で同じであっても、又は異なっていてもよい。

図５Ｃは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド４０Ｃの概略断面図を示す。研磨パッド４０Ｃは、表面層４６Ｃ、ベース層５０Ｃ、及び中間層６０を含む。ベース層５０Ｃは、１つ以上のサブパッド又は接着剤層を含んでもよい。ベース層５０Ｃは、底部主表面４８Ｃの一部において表面層４６Ｃに結合されている。中間層６０は、上側表面５８及び下側表面６２において表面層４６Ｃに結合されている。中間層６０は全て同じ高さであってもよいが、研磨パッド４０Ｃ上で異なる高さを有してもよい。この実施例では、中間層６０は、別個のスペーサを含むが、他の実施例では、中間層６０は連続的であってもよい。この実施例では、底部主表面４８Ｃは実質的に平坦であり、突起４４は、中間層６０の追加の厚さによって形成されている。図５Ｃの例では、突起４４は、例えば、ベース層５０Ｃ上への中間層６０の堆積、及びベース層５０Ｃ並びに中間層６０上への表面層４６Ｃの形成によって形成されてもよい。各突起高さ５６は、研磨パッド４０Ｃ上で同じであっても、又は異なっていてもよい。

いくつかの実施形態では、研磨スラリー３０は、研磨作業において研磨パッド４０と共に使用されてもよい。本開示の研磨スラリー３０は流体成分を含んでいてもよく、この流体成分は、その中に分散及び／又は懸濁された研磨剤複合体を有する。

種々の実施形態では、流体成分は、非水性又は水性であってよい。非水性流体成分としては、アルコール、アセテート、ケトン、有機酸、エーテル、又はこれらの組み合わせを挙げることができる。水性流体成分は、上記の非水性流体のいずれかを含む、非水性流体成分を（水に加えて）含んでよい。流体成分が水性流体と非水性流体の両方を含むとき、得られる流体成分は、均質、すなわち単相溶液であってもよい。例示的な実施形態では、流体成分は、研磨剤複合体粒子が流体成分に不溶性であるように選択することができる。

いくつかの実施形態では、流体成分は、例えば、分散助剤、レオロジー変性剤、腐食防止剤、ｐＨ調整剤、界面活性剤、キレート剤／錯化剤、不動態化剤、発泡防止剤、及びこれらの組み合わせ等の１種以上の添加剤を更に含んでよい。分散助剤は、多くの場合、整合性のない又は好ましくない研磨性能をもたらす場合がある、スラリー中の凝集粒子の沈下、沈降、沈殿及び／又は軟凝集を防ぐために添加される。有用な分散剤としては、脂肪族又は脂環族のハロゲン化物及びアミンの、比較的高分子量の反応生成物であるアミン分散剤を挙げることができる。レオロジー変性剤としては、剪断減粘剤及び剪断増粘剤を挙げることができる。剪断減粘剤は、ポリオレフィンポリマー材料上にコーティングされたポリアミドワックスを含んでもよい。増粘剤としては、ヒュームドシリカ、水溶性ポリマー、及び非水性ポリマーを挙げることができる。流体成分に添加することができる腐食防止剤には、金属を劣化させ得る研磨プロセスの酸性副生成物を中和できる、トリエタノールアミン、脂肪族アミン、オクタン酸オクチルアミン等のアルカリ性物質、並びにドデセニルコハク酸又は無水物及びオレイン酸等の脂肪酸とポリアミンとの縮合生成物が挙げられる。使用することができる好適なｐＨ調整剤には、アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類金属水酸化物、塩基性塩、有機アミン、アンモニア及びアンモニウム塩が挙げられる。また、緩衝系を用いてもよい。緩衝剤は、酸性から中性近くそして塩基性までの範囲にまたがるように調整することができる。使用することができる界面活性剤には、イオン性及び非イオン性界面活性剤が挙げられる。非イオン性界面活性剤は、親水性及び疎水性セグメントを含有するポリマーを含んでもよい。イオン性界面活性剤には、カチオン性界面活性剤とアニオン性界面活性剤の両方を挙げることができる。アニオン性界面活性剤は、水中で、両親媒性アニオンと、通常はアルカリ金属（Ｎａ＋、Ｋ＋）又は第四級アンモニウムであるカチオンとに解離する。界面活性剤は、単独で又は２種以上の組み合わせで使用することができる。

配位子及びキレート剤等の錯化剤は、特に、用途が金属仕上げ又は研磨に関する場合であって、使用中に金属の削り屑及び／又は金属イオンが流体成分中に存在し得るとき、流体成分に含めることができる。金属の酸化及び溶解は、錯化剤の添加によって促進することができる。これらの化合物は、金属と結合して、水性液体及び非水性液体中の金属又は金属酸化物の溶解度を増加させることができる。錯化剤としては、１つのカルボキシル基（すなわち、一官能性カルボン酸）、又は複数のカルボン酸基（すなわち、多官能性カルボン酸）を有するカルボン酸及びその塩を挙げることができる。不動態化剤を流体成分に添加して、研磨される基材２０上に不動態化層を形成することができ、これにより、基材２０からの材料の除去速度を変更し、又は基材２０が２つ以上の異なる材料を含む表面を含む場合には、１つの材料の除去速度をもう１つの材料に対して調整する。使用できる発泡防止剤としては、シリコーン、エチルアクリレートと２－エチルヘキシルアクリレートとのコポリマー、及び解乳化剤が挙げられる。流体成分中で有用であり得る他の添加剤には、酸化剤及び／又は漂白剤、例えば過酸化水素、硝酸、硝酸第二鉄等の遷移金属錯体、潤滑剤、殺生物剤、石鹸等が挙げられる。様々な実施形態では、研磨スラリー中の添加剤クラスの濃度、すなわち、単一の添加剤クラスからの１つ以上の添加剤の濃度は、研磨スラリーの重量に対して少なくとも約０．０１重量％、かつ約２０重量％未満であってもよい。

研磨剤複合体は、多孔質セラミック研磨剤複合体を含んでもよい。多孔質セラミック研磨剤複合体は、多孔質セラミックマトリックス中に分散された個々の研磨粒子を含んでよい。本明細書で使用する場合、「セラミックマトリックス」という用語は、ガラス質と結晶質の両方のセラミック材料を含む。例示的な実施形態では、セラミックマトリックスの少なくとも一部は、ガラス質セラミック材料を含む。種々の実施形態では、セラミックマトリックスは、金属酸化物、例えば、酸化アルミニウム、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ナトリウム、酸化マンガン、酸化亜鉛及びこれらの混合物を含むガラスを含んでよい。本明細書で使用する場合、「多孔質」という用語は、その集合体全体にわたって分布する細孔又は空隙を有することを特徴とするセラミックマトリックスの構造を記述するために用いられる。細孔は、複合体の外表面に向かって開かれていてもよいし、塞がれていてもよい。セラミックマトリックス中の細孔は、セラミック研磨剤複合体の破損の制御を助け、使用済み（すなわち劣化した）研磨粒子が複合体から放出されるようにすると考えられる。細孔はまた、研磨剤粒子と加工物との界面から削り屑及び使用済み研磨剤粒子を除去するための経路をもたらすことにより、研磨剤粒子の性能（例えば、切削速度及び表面仕上げ）を向上させ得る。空隙は、複合体の少なくとも約４体積％、かつ複合体の９５体積％未満を含んでもよい。いくつかの実施形態では、研磨粒子には、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融酸化アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理した酸化アルミニウム、炭化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネット及びこれらの組み合わせを挙げることができる。種々の実施形態では、本開示の研磨剤複合体粒子は、充填剤、カップリング剤、界面活性剤及び発泡抑制剤等の任意選択の添加剤も含んでよい。これらの材料の量は、所望の特性をもたらすように選択され得る。

研磨剤複合体は、研磨剤複合体の１つ以上（最大で全て）がキャビティ内に少なくとも部分的に配設され得るように、研磨パッド４０の微細構造のサイズ及び形状に対して寸法決めされ成形されてもよい。より具体的には、研磨剤複合体のうちの１つ以上（最大で全て）が、キャビティ又は微細構造の間に完全に収容されたときに、キャビティ開口又は微細構造間隙を越えて延びる少なくとも一部を有するように、研磨剤複合体はキャビティ又は微細構造に対して寸法決めされ成形されてもよい。本明細書で使用する場合、「完全に収容される」という語句は、キャビティ又は微細構造間隙内の複合体の位置に関連する場合、非破壊的圧縮力（以下で論じるように、研磨作業中に存在するものなど）を適用した際に、複合体がキャビティ又は微細構造間隙内で達成し得る最も深い位置を指す。このようにして、以下で更に詳細に説明するように、研磨作業中、研磨スラリー３０の研磨剤複合体粒子は、キャビティ又は微細構造間隙内に（例えば、摩擦力を介して）収容されるか又は留められ、それにより研磨剤作用面として機能し得る。

種々の実施形態では、研磨剤複合体粒子は、精密な形状であってもよいし、不規則な形状（すなわち精密でない形状）であってもよい。精密な形状のセラミック研磨剤複合体は、任意の形状（例えば、立方体、ブロック状、円筒形、角柱形、角錐形、切頭角錐形、円錐形、切頭円錐形、球形、半球形、十字形又は柱様）であってよい。研磨剤複合体粒子は、異なる形状及び／又はサイズの研磨剤複合体の混合物であってもよい。あるいは、研磨剤複合体粒子は、同じ（又は実質的に同じ）形状及び／又はサイズを有してもよい。精密でない形状の粒子には、回転楕円体が挙げられ、例えば、噴霧乾燥プロセスにより形成することができる。様々な実施形態では、流体成分中の研磨剤複合体の濃度は、少なくとも０．０６５重量％、かつ６．５重量％未満であってもよい。いくつかの実施形態では、セラミック研磨剤複合体とその作製にて使用される離型剤の両方を流体成分中に含めることができる。これらの実施形態では、流体成分中の研磨剤複合体及び離型剤の濃度は、少なくとも０．１重量％、かつ１０重量％未満であってもよい。

いくつかの実施形態では、本開示の研磨剤複合体粒子は、研磨剤スラリーに有益な特性を付与する試薬で表面改質（例えば、共有結合、イオン結合又は機械的結合）を施してよい。例えば、ガラス表面を酸又は塩基でエッチングして適切な表面ｐＨをもたらすことができる。共有結合による改質表面は、１種以上の表面処理剤を含む表面処理で粒子を反応させることによって作製することができる。表面処理剤は、改質を施す表面の疎水的性質又は親水的性質を調整するために使用することができる。スパッタリング、真空蒸発、化学蒸着（ＣＶＤ）、又は溶融金属技術を用いることができる。

本開示は、基材を研磨するための方法に、更に関する。図７は、本明細書で論じるいくつかの実施形態による基材を研磨するための例示的方法のフロー図である。この方法は、研磨システム、例えば図１に関して記載したものを使用して、又は任意の他の従来の研磨システム、例えば片面若しくは両面研磨及びラッピングを用いて実施できる。

いくつかの実施形態では、基材を研磨する方法は、研磨される基材、例えば基材２０を準備すること（７０）を含んでもよい。本方法は、研磨パッド（７２）及び研磨スラリー（７４）、例えば、それぞれ、研磨パッド４０及び研磨スラリー３０を準備することを更に含んでもよい。方法は、研磨パッドと基材との間に相対運動が存在する間に、基材の表面を研磨パッド及び研磨スラリーに接触させること（７６）を更に含んでもよい。例えば、図１の研磨システムを参照すると、プラテン１２がキャリアアセンブリ１６に対して相対的に移動（例えば、並進及び／又は回転）する際に、キャリアアセンブリ１６が、研磨スラリー３０の存在下で、（プラテン１２に結合されてもよい）研磨パッド４０の研磨表面１８に抗して、基材２０に圧力を適用してもよい。加えて、キャリアアセンブリ１６が、プラテン１２に対して相対的に移動（例えば、並進及び／又は回転）させられてもよい。圧力及び相対運動の結果として、（研磨パッド４０及び／又は研磨スラリー３０内／上に含有され得る）研磨剤粒子は、基材２０の表面から材料を除去してもよい。

例示的実施形態において、本開示のシステム及び方法は、超硬基材、例えばサファイアのＡ、Ｒ、又はＣ面の仕上げに特に適している。完成したサファイア結晶、シート又はウェハは、例えば、発光ダイオード産業及び携帯ハンドヘルドデバイスのカバー層に有用である。かかる用途において、本システム及び方法は、材料の永続的な除去を提供する。更に、本開示のシステム及び方法は、通常用いられる小さい粒子サイズで実現される表面仕上げと同等の表面仕上げをもたらしつつ、通常用いられる大きい研磨粒子サイズで実現される除去速度と同程度の除去速度を提供できることが見出された。更にまた、本開示のシステム及び方法は、パッドの広範囲にわたるドレッシングを行うことなく、持続的な除去速度をもたらすことができる。

本開示の操作を、以下の詳細な実施例に関連して更に説明する。これらの実施例は、様々な具体的な好ましい実施形態及び技術を更に示すために提供される。しかしながら、本開示の範囲内に留まりつつ、多くの変更及び修正を加えることができるということが理解されるべきである。

研磨パッドの構造

図８は、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッドの写真である。１７個の５／８インチの直径のバンパー（テープ）を、高精細フィルム(microreplicated film)のパターニングされた面に接着した。１６個のバンパーをＡＣ５００穴開け器テンプレートを使用して置き、単一のバンパーを研磨パッドの外縁上に置いた。ベース基材は、接着剤８３０を有する両面ポリエステルテープであった。使用中、テープの片面を高精細フィルム及びバンパーに接着した一方で、他方の面を研磨機プラテンに接着した。

研磨パッドの使用

Ｐｅｔｅｒ－Ｗｏｌｔｅｒｓ，ＧｍｂＨ，Ｒｅｎｄｓｂｕｒｇ，Ｇｅｒｍａｎｙから入手可能な両面研磨機、モデルＡＣ５００を使用してＡ面サファイアウェハを研磨した。

図９Ａは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド上の突起の摩耗の写真である。図９Ｂは、本明細書で論じるいくつかの実施形態による研磨パッド上の下部領域の摩耗の写真である。数時間の研磨後、突起の頂部は、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、下部領域と比較して著しく摩耗した。

研磨パッドの性能

上述の研磨パッドを使用して、Ａ面サファイアを定常状態で３～５時間研磨した。研磨パッドを、Ｐｅｔｅｒ Ｗｏｌｔｅｒｓ ＡＣ５００両面研磨機上で、Ｔｒｉｚａｃｔ Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ Ｓｌｕｒｒｙ ＤＴ－１００と共に使用した。除去速度及び突起高さを、２０回の３０分バッチで測定した。

図１０Ａは、本明細書で論じる実施形態による研磨パッドに対する、材料除去速度と突起厚さのグラフである。グラフに示すように、突起（「バンプ」）厚さが増加するにつれて、除去速度は概ね増加した。図１０Ｂは、本明細書で論じる実施形態による研磨パッドに対する材料除去速度と研磨時間の、３つのサンプルに対するグラフである。グラフに示すように、除去速度は、研磨期間にわたって比較的一定であった。

本発明の様々な実施形態を説明した。これらの実施形態及び他の実施形態は、以下の特許請求の範囲に含まれる。
なお、以上の各実施形態に加えて以下の態様について付記する。
（付記１）
繰り返し微細構造を有する表面層であって、
平面を画定する頂部主表面と、
前記頂部主表面の反対側の底部主表面と、
前記頂部主表面の前記平面から延びる複数の突起であって、前記頂部主表面の表面積の約０．１％～約４０％の面密度を有する複数の突起と、
前記複数の突起から延びる複数の微細構造と、を備える表面層；及び、
前記底部主表面において前記表面層の少なくとも一部に結合されたベース層、
を備える、物品。
（付記２）
前記複数の突起の各々は、少なくとも約２０μｍの突起高さを有する、付記１に記載の物品。
（付記３）
前記複数の突起の各々は、少なくとも約１ｍｍの突起幅を有する、付記１に記載の物品。
（付記４）
前記複数の突起の少なくとも一部は、円形突起である、付記１に記載の物品。
（付記５）
前記複数の突起の前記一部は、前記物品の長さにわたって延びている、付記４に記載の物品。
（付記６）
前記複数の突起の少なくとも一部は、軸方向の縞状突起である、付記１に記載の物品。
（付記７）
前記複数の突起の前記一部は、前記物品の半径方向に延びている、付記６に記載の物品。
（付記８）
前記複数の突起の少なくとも一部は、平行縞状突起である、付記１に記載の物品。
（付記９）
前記複数の突起は、２つの隣接する突起間に少なくとも１ｃｍの間隔を有する、付記１に記載の物品。
（付記１０）
前記ベース層は、感圧性接着剤を含む、付記１に記載の物品。
（付記１１）
前記ベース層は、前記頂部主表面の前記平面から延びる前記複数の突起に対応する複数の構造を含む、付記１に記載の物品。
（付記１２）
中間層を更に備え、前記中間層は、前記表面層の少なくとも一部と前記ベース層の少なくとも一部との間に複数のスペーサを備え、かつ前記頂部主表面の前記平面から延びる前記複数の突起に対応する、付記１に記載の物品。
（付記１３）
前記複数の微細構造の各々は、約１ｍｍ未満の微細構造高さを有する、付記１に記載の物品。
（付記１４）
前記複数の突起は、前記頂部主表面の表面積の約１％～約１０％の面密度を有する、付記１に記載の物品。
（付記１５）
前記複数の突起は、１００平方インチ当たりの突起が約３～約２００個の密度を有する、付記１に記載の物品。
（付記１６）
基材を保持するように構成されたキャリアアセンブリと、
付記１に記載の物品を備える研磨パッドと、
前記研磨パッドに結合されたプラテンと、
流体成分及び研磨剤成分を含む研磨スラリーと、を含み、
前記研磨パッドを前記基材に対して相対的に移動させるように構成されている、システム。
（付記１７）
前記研磨パッドの前記複数の突起は、前記基材の幅よりも小さい間隔を有する、付記１６に記載のシステム。
（付記１８）
主表面を有する基材を準備することと、
付記１に記載の物品を備える研磨パッドを準備することと、
流体成分及び研磨剤成分を含む研磨スラリーを準備することと、
前記研磨パッドと前記基材の前記主表面との間に相対運動が存在する間に、前記基材の前記主表面を前記研磨パッド及び前記研磨スラリーに接触させることと、を含む方法。
（付記１９）
前記基材の前記主表面上に力変調を発生させることを更に含み、前記力変調のピークは、前記基材の前記主表面と前記研磨パッドの突起とが接触することに対応する、付記１８に記載の方法。
（付記２０）
前記力変調は、前記研磨パッドの前記複数の突起の高さに対応する振幅、前記研磨パッドの前記複数の突起の間隔に対応する周波数、及び前記研磨パッドの前記複数の突起の幅に対応する周期性を含む、付記１９に記載の方法。

Claims (15)

1. 繰り返し微細構造を有する表面層であって、
   平面を画定する頂部主表面と、
   前記頂部主表面の反対側の底部主表面と、
   前記頂部主表面の前記平面から延びる複数の突起であって、前記頂部主表面の表面積の約０．１％～約４０％の面密度を有する複数の突起と、
   前記複数の突起から延びる複数の微細構造と、を備える表面層；及び、
   前記底部主表面において前記表面層の少なくとも一部に結合されたベース層、
   を備え、
   前記繰り返し微細構造は、前記表面層と一体形成されるとともに、前記頂部主表面にわたって均一に分布している、物品。
2. 前記複数の突起の各々は、少なくとも約２０μｍの突起高さを有する、請求項１に記載の物品。
3. 前記複数の突起の各々は、少なくとも約１ｍｍの突起幅を有する、請求項１に記載の物品。
4. 前記複数の突起の少なくとも一部は、円形突起である、請求項１に記載の物品。
5. 前記複数の突起の少なくとも一部は、軸方向の縞状突起である、請求項１に記載の物品。
6. 前記複数の突起の少なくとも一部は、平行縞状突起である、請求項１に記載の物品。
7. 前記複数の突起は、２つの隣接する突起間に少なくとも１ｃｍの間隔を有する、請求項１に記載の物品。
8. 前記ベース層は、前記頂部主表面の前記平面から延びる前記複数の突起に対応する複数の構造を含む、請求項１に記載の物品。
9. 中間層を更に備え、前記中間層は、前記表面層の少なくとも一部と前記ベース層の少なくとも一部との間に複数のスペーサを備え、かつ前記頂部主表面の前記平面から延びる前記複数の突起に対応する、請求項１に記載の物品。
10. 前記複数の突起は、前記頂部主表面の表面積の約１％～約１０％の面密度を有する、請求項１に記載の物品。
11. 前記複数の突起は、１００平方インチ当たりの突起が約３～約２００個の密度を有する、請求項１に記載の物品。
12. 基材を保持するように構成されたキャリアアセンブリと、
    請求項１に記載の物品を備える研磨パッドと、
    前記研磨パッドに結合されたプラテンと、
    流体成分及び研磨剤成分を含む研磨スラリーと、を含み、
    前記研磨パッドを前記基材に対して相対的に移動させるように構成されている、システム。
13. 前記研磨パッドの前記複数の突起は、前記基材の幅よりも小さい間隔を有する、請求項１２に記載のシステム。
14. 主表面を有する基材を準備することと、
    請求項１に記載の物品を備える研磨パッドを準備することと、
    流体成分及び研磨剤成分を含む研磨スラリーを準備することと、
    前記研磨パッドと前記基材の前記主表面との間に相対運動が存在する間に、前記基材の前記主表面を前記研磨パッド及び前記研磨スラリーに接触させることと、を含む方法。
15. 前記基材の前記主表面上に力変調を発生させることを更に含み、前記力変調のピークは、前記基材の前記主表面と前記研磨パッドの突起とが接触することに対応する、請求項１４に記載の方法。

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