JP7266023B2 - 導電性塗料及び該導電性塗料を用いたシールドパッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
従来から、ノイズの発生源である電子部品をパッケージごとシールド層で覆うことで、電子部品からのノイズの発生を防止するとともにノイズの侵入を防止した、いわゆるシールドパッケージが知られている。
電子部品にシールド層を形成する方法としては、例えば、電子部品を基板に配置し、電子部品を封止材で封止した後、導電性塗料を塗布し、加熱することにより、導電性塗料を硬化させてシールド層を形成するという方法も従来から行われている。
しかし、特許文献1に記載の導電性塗料の硬化温度は高いため、特許文献1に記載の導電性塗料を硬化させようとすると、高い温度が必要であった。
そのため、導電性塗料を硬化させる際の熱により電子部品がダメージを受けてしまうことがあった。
これらの金属粒子は、導電性が高い。そのため、本発明の導電性塗料が硬化しシールド層となった際に、シールド層が充分な導電性を有することになる。
イソシアネート硬化剤を用いることにより、エポキシ樹脂を含むバインダー成分(A)を充分に硬化させることができる。
また、シールドパッケージを工業的に生産する場合、導電性塗料は、塗布用の機器に充填され、機械的に塗布対象に塗布されることになる。
導電性塗料を塗布する工程において、充填された導電性塗料の物性(例えば、粘度)が経時的に変化すると、時間の経過と共に、塗布用の機器に目詰まり等が生じやすくなる。
そのため、導電性塗料は保存安定性が高いことが望ましい。
本発明の導電性塗料において、硬化剤(C)がイソシアネート硬化剤であると、導電性塗料の保存安定性が向上する。
これらの化合物を用いることにより、導電性塗料の硬化温度を好適に下げることができる。
本発明の導電性塗料を用いることで、シールドパッケージに含まれる電子部品への、製造時の熱によるダメージを抑えることができる。
また、加熱温度を高くしなくてよいので、加熱にかかるコストも下げることができる。
このように溝部を形成することにより、パッケージを容易に個片化することができる。
このような低い加熱の温度であっても、上記本発明の導電性塗料は充分に硬化する。
本発明の導電性塗料に含まれるバインダー成分(A)は、エポキシ樹脂を必須の成分とするものである。
バインダー成分(A)におけるエポキシ樹脂の重量割合は、5~95重量%であることが望ましく、30~90重量%であることがより望ましい。
この場合のバインダー成分(A)における常温で固体のエポキシ樹脂の重量割合は、5~30重量%であることが望ましく、5~20重量%であることがより望ましい。
また、バインダー成分(A)における常温で液体のエポキシ樹脂の重量割合は、20~90重量%であることが望ましく、25~80重量%であることが望ましい。
なお、本明細書において、「常温で固体」とは、25℃において無溶媒状態で流動性を有さない状態であることを意味する。
また、本明細書において、「常温で液体」とは、25℃において無溶媒状態で流動性を有する状態であることを意味する。
これらは1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
また、常温で固体のエポキシ樹脂は、後述する溶剤(D)に溶解して使用してもよい。
この場合、バインダー成分(A)における液体グリシジルアミン系エポキシ樹脂の重量割合は、5~35重量%であることが望ましく、バインダー成分(A)における液体グリシジルエーテル系エポキシ樹脂の重量割合は、20~55重量%であることが望ましい。
バインダー成分(A)において、液体グリシジルアミン系エポキシ樹脂及び液体グリシジルエーテル系エポキシ樹脂を上記割合で含む場合、導電性塗料の導電性と密着性がバランスよく優れたものとなり、さらに硬化後の硬化物の反りがより少なくなり、耐熱性がより優れたシールドパッケージが得られる。
液体グリシジルエーテル系エポキシ樹脂は、エポキシ当量が180~220g/eqであることが望ましい。また、液体グリシジルエーテル系エポキシ樹脂の粘度は、6Pa・s以下であることが望ましく、1~6Pa・sであることがより望ましい。
バインダー成分(A)が、上記エポキシ当量及び上記粘度を有する液体グリシジルアミン系エポキシ樹脂及び液体グリシジルエーテル系エポキシ樹脂を含むと、硬化後の硬化物の反りがより少なくなり、耐熱性がより優れ、硬化物の厚さがより均一なシールドパッケージが得られる。
(メタ)アクリレート化合物とは、アクリレート化合物又はメタクリレート化合物であり、アクリロイル基又はメタクリロイル基を有する化合物であれば特に限定されない。(メタ)アクリレート化合物の例としては、イソアミルアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、2-ヒドロキシ-3-アクリロイロキシプロピルメタクリレート、フェニルグリシジルエーテルアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレポリマー、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリル酸付加物、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート等が挙げられる。
これらは1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
エポキシ樹脂と(メタ)アクリレート化合物との合計重量に対する(メタ)アクリレート化合物の重量割合が、5重量%以上であると、導電性塗料の保存安定性が優れ、導電性塗料を速やかに硬化させることができ、さらに硬化時の塗料ダレを防止することができる。
エポキシ樹脂と(メタ)アクリレート化合物との合計重量に対する(メタ)アクリレート化合物の重量割合が、95重量%以下である場合、パッケージとシールド層との密着性が良好となり易い。
バインダー成分(A)が、改質剤を含む場合、バインダー成分(A)における改質剤の重量割合は、40重量%以下であることが望ましく、10重量%以下であることがより望ましい。
本発明の導電性塗料に含まれる金属粒子(B)は、導電性を有する粒子であれば特に限定されず、例えば、銅粉、銀粉、ニッケル粉、銀被覆銅粉、金コート銅粉、銀コートニッケル粉、金コートニッケル粉、銀被覆銅合金粉等であってもよい。これらの中では、銀粉、銀被覆銅粉、銀被覆銅合金粉からなる群から選択される少なくとも1種であることが望ましい。
これらの金属粒子は、導電性が高い。そのため、本発明の導電性塗料が硬化しシールド層となった際に、シールド層が充分な導電性を有することになる。
なお、「球状」の金属粒子は、略真球のもの(アトマイズ粉)だけでなく、略多面体状の球体(還元粉)や、不定形状(電解粉)等の略球状のものを含む。
金属粒子の平均粒子径が1μm以上であると、金属粒子の分散性が良好となるので、凝集を防止することができる。また、金属粒子が酸化されにくくなる。
金属粒子の平均粒子径が30μm以下であると、本発明の導電性塗料が硬化し、シールド層となった際に、パッケージのグランド回路との接続性が良好になる。
また、本発明の導電性塗料は、バインダー成分(A)100重量部に対して、金属粒子(B)を600~2400重量部含むことが望ましく、1000~2000重量部含むことがより望ましい。
バインダー成分(A)100重量部に対し、金属粒子(B)が500重量部以上であると、導電性塗料を硬化させシールド層とした際に、シールド層の導電性が良好となる。
バインダー成分(A)100重量部に対し、金属粒子(B)が2500重量部以下であると、導電性塗料を硬化させシールド層とした際にパッケージとの密着性が良好になる。また、シールド層が欠けにくくなる。そのため、シールド層をダイシングソー等により切断した際に、欠けが生じにくくなる。
また、塗布安定性が良好になる。
アスペクト比が上記範囲内であると、導電性塗料を硬化させて形成したシールド層の導電性がより良好となる。
本発明の導電性塗料に含まれる硬化剤(C)は、バインダー成分(A)を硬化させることができれば、どのような硬化剤であってもよい。このような硬化剤としては、例えば、イソシアネート硬化剤、フェノール硬化剤、イミダゾール硬化剤、アミン硬化剤、カチオン硬化剤、ラジカル硬化剤等が挙げられる。
これらの硬化剤を用いることにより、エポキシ樹脂を含むバインダー成分(A)を充分に硬化させることができる。
シールドパッケージを工業的に生産する場合、導電性塗料は、塗布用の機器に充填され、機械的に塗布対象に塗布されることになる。
導電性塗料を塗布する工程において、充填された導電性塗料の物性(例えば、粘度)が経時的に変化すると、時間の経過と共に、塗布用の機器に目詰まり等が生じやすくなる。
そのため、導電性塗料は保存安定性が高いことが望ましい。
本発明の導電性塗料において、硬化剤(C)がイソシアネート硬化剤であると、導電性塗料の保存安定性が向上する。
また、本発明の導電性塗料は、バインダー成分(A)100重量部に対して、硬化剤(C)を2~145重量部含むことが望ましく、5~140重量部含むことがより望ましい。
バインダー成分(A)100重量部に対し、硬化剤(C)が1重量部以上であると、本発明の導電性塗料を使用してシールド層を形成した際に、シールド層とパッケージ表面との密着性が良好になり、さらにシールド層の導電性が良好となる。その結果、シールド効果に優れたシールド層が得られやすい。
バインダー成分(A)100重量部に対し、硬化剤(C)が150重量部以下であると、導電性塗料の保存安定性が向上する。また、導電性塗料の硬化物の比抵抗値を低くすることができる。
本発明の導電性塗料は、溶剤(D)を、バインダー成分(A)100重量部に対し、20~800重量部含む。
溶剤(D)としては、特に限定されず、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、アセトフェノン、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、メチルカルビトール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、酢酸メチル、1-メトキシ-2-プロパノール、3-メトキシ-3-メチル-1-ブチルアセテート等を使用してもよい。
これらは1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の導電性塗料に含まれる硬化触媒(E)は、バインダー成分(A)の硬化温度を下げることができれば、そのような硬化触媒であってもよい。
このような硬化触媒(E)としては、有機金属化合物が挙げられ、有機金属化合物としては、Fe系硬化触媒及び/又はZn系硬化触媒が望ましい。
これらの中では、鉄-2-エチルヘキソエート(iron 2-ethylhexoate)、アセチルアセトン第2鉄(Iron(III) Acetylacetonate)、2-エチルヘキサン酸亜鉛(Zinc 2-Ethylhexanoate)、ナフテン酸亜鉛(Zinc Naphthenate)及びアセチルアセトン第2亜鉛(Zinc(II) Acetylacetonate)からなる群から選択される少なくとも一つであることがより望ましい。
これらの化合物を用いることにより、導電性塗料の硬化温度を好適に下げることができる。
また、本発明の導電性塗料では、バインダー成分(A)100重量部に対して、硬化触媒(E)を0.6~4.8重量部含むことが望ましく、1.0~4.5重量部含むことがより望ましい。
バインダー成分(A)100重量部に対し、硬化触媒(E)が0.5重量部以上であると、バインダー成分(A)の硬化温度を好適に下げることができる。さらにシールド層の導電性が良好となる。その結果、シールド効果に優れたシールド層が得られやすい。
バインダー成分(A)100重量部に対し、硬化触媒(E)が5重量部以下であると、本発明の導電性塗料を使用してシールド層を形成した際に、シールド層とパッケージ表面との密着性が良好になる。さらに、導電性塗料の保存安定性が向上する。
本発明の導電性塗料は、発明の目的を損なわない範囲内において、消泡剤、増粘剤、粘着剤、充填剤、難燃剤、着色剤等、公知の添加剤を含んでいてもよい。
導電性塗料の粘度が50mPa・s以上であると、導電性塗料を硬化させてシールド層を形成する際に、パッケージの壁面における液ダレを防止してシールド層をムラなく形成させることができるとともに金属粒子の沈降を防止することができる。
導電性塗料の粘度が、600mPa・s以下であると、導電性塗料をスプレー噴霧する際に、スプレーノズルの目詰まりを防ぎ、パッケージ表面及び側壁面にムラなくシールド層を形成し易い。
なお、本明細書において「導電性塗料の粘度」とは、円錐平板型回転粘度計を用いて回転数10rpmで測定した粘度のことを意味する。
なお、本発明のシールドパッケージの製造方法では、(2)パッケージ区分工程は必須工程ではなく省略してもよい。
図1(a)及び(b)は、本発明のシールドパッケージの製造方法のパッケージ形成工程の一例を模式的に示す模式図である。
図2は、本発明のシールドパッケージの製造方法のパッケージ区分工程の一例を模式的に示す模式図である。
図3は、本発明のシールドパッケージの製造方法の導電性塗料塗布工程の一例を模式的に示す模式図である。
図4は、本発明のシールドパッケージの製造方法のシールド層形成工程の一例を模式的に示す模式図である。
図5は、本発明のシールドパッケージの製造方法の切断工程の一例を模式的に示す模式図である。
まず、図1(a)に示すように、複数の電子部品2が搭載され、これら複数の電子部品2間にグランド回路パターン3が設けられた基板1を準備する。
次に、図2に示すように、複数の電子部品2間の封止材4を切削して溝部6を形成する。
この溝部6によって電子部品2毎にパッケージ5を区分する。
この際、溝部6を構成する壁面からグランド回路パターン3の少なくとも一部を露出させる。
このような溝部6を形成することにより、後述するようにパッケージ5を容易に個片化することができる。
また、後述する導電性塗料塗布工程において、パッケージ5の側面にも導電性塗料を塗布することができる。
次に、図3に示すように、パッケージ5が形成された基板1上に、導電性塗料7を塗布する。
導電性塗料を塗布する方法は、特に限定されず、例えば、はけ塗をしてもよく、スプレーガン等によって噴霧してもよい。
噴霧により導電性塗料7を塗布する場合の噴射圧力、噴射流量、スプレーガンの噴射口からパッケージ5の表面まで距離等の噴霧条件は、適宜設定することが望ましい。
次に、導電性塗料7を乾燥させた後、図4に示すように、導電性塗料7が塗布された基板1を加熱して、導電性塗料7を硬化させることによりシールド層7aを形成する。
本工程において、導電性塗料7の乾燥と硬化は同時に行ってもよく、別々に行ってもよい。
加熱の温度は特に限定されないが、120~150℃であることが望ましい。
導電性塗料7は上記本発明の導電性塗料であるので、このような低い加熱の温度であっても、導電性塗料7は充分に硬化する。
図5に示すように、パッケージ5が個片化するように、溝部6に沿って基板1を切断する。
基板1の切断方法は特に限定されないが、ダイシングソー等により切断することができる。
また、加熱温度を高くしなくてよいので、加熱にかかるコストも下げることができる。
表1及び2に示す組成で各材料を混合して実施例1~10及び比較例1~9に係る導電性塗料を作製した。表1及び2中の数値は、重量部を意味する。
[バインダー成分(A)]
固形エポキシ樹脂(三菱化学(株)製、商品名「JER157S70」)40重量部、グリシジルアミン系エポキシ樹脂((株)ADEKA製、商品名「EP-3905S」)30重量部、及び、グリシジルエーテル系エポキシ樹脂((株)ADEKA製、商品名「EP-4400」)30重量部の混合物
[金属粒子(B)]
平均粒径2μmの球状還元銀粉750重量部、及び、平均粒径5μmのフレーク状銀粉(平均粒径5μm、アスペクト比=5)750重量部の混合物
[硬化剤(C)]
イソシアネート硬化剤:ポリイソシアネート化合物(DIC(株)製、商品名「DN-992」)
イミダゾール硬化剤:2-エチルイミダゾール(東京化成工業(株)製)
ラジカル硬化剤:クメンハイドロパーオキサイド(東京化成工業(株)製)
[溶剤(D)]
1-メトキシ-2-プロパノール(キシダ化学(株)製)
[硬化触媒(E)]
Fe系硬化触媒:アセチルアセトン鉄(キシダ化学(株)製)
Zn系硬化触媒:2-エチルヘキサン酸亜鉛(ナカライテスク(株)製)
各実施例及び各比較例に係る導電性塗料を、厚さ20μmになるようにガラスプレートに塗布し、120℃で60分間加熱し、導電性塗料の硬化性を評価した。評価基準は以下のとおりである。結果を表1及び2に示す。
〇:導電性塗料が、完全に硬化していた。
×:導電性塗料が、硬化していなかった、又は、半硬化状態であった。
ガラスエポキシ基板上に幅5mmのスリットを設けた厚さ55μmのポリイミドフィルムを貼り付けて印刷版とした。
各実施例及び各比較例に係る導電性塗料を、ポリイミドフィルム上にライン印刷(長さ60mm、幅5mm、厚さ約100μm)し、120℃で60分間加熱することにより導電性塗料を本硬化させた。その後、ポリイミドフィルムを剥離することにより、硬化物サンプルを得た。テスターを用いて、得られた硬化物サンプルの抵抗R(Ω)を測定し、硬化物サンプルの断面積S(cm2)と長さL(cm)から下記式(1)により比抵抗(Ω・cm)を計算した。
比抵抗=断面積S/長さL×抵抗R・・・(1)
結果を表1及び2に示す。
上記「比抵抗の評価」と同じ方法で、各実施例及び各比較例に係る導電性塗料を用いた硬化物サンプルを得た。
アセトンをしみ込ませたペーパータオルを、硬化物サンプル上で10往復させた。そして、硬化物サンプルにおいて、下記式(2)により、導電性塗料の硬化物が剥がれた率(%)を測定した。
導電性塗料が剥がれた率={1-([ペーパータオルで処理した後に残留している硬化物サンプルの面積]/[ペーパータオルで処理する前の硬化物サンプルの面積])}×100・・・(2)
本評価では、導電性塗料の硬化物の剥がれた率が低い程、導電性塗料はよく硬化していることを示している。
結果を表1及び2に示す。
図6(a)~(c)は、塗布安定性の評価の方法を模式的に示す模式図である。
各実施例及び各比較例に係る導電性塗料を、図6(a)に模式的に示す塗布装置(スプレーイングシステムスジャパン(株)製、スプレーカートIII、スプレーノズル:YB1/8MVAU-SS+SUMV91-SS)を用いて、図6(b)に示す正方形のガラスエポキシ基板(縦10cm×横10cm×厚さ1mm)に以下の要領で噴霧塗布して、導電性塗料の塗布安定性を評価した。
さらに、上記導電性塗料をタンク25に投入後20分間経過してから上記と同じ条件でスプレー塗布を行い、同じ条件で加熱して厚さ約20μmとなるように導電性塗料の硬化物を形成した。
以下、導電性塗料をタンク25に投入した直後に形成した導電性塗料の硬化物を「硬化物A」と記載し、導電性塗料をタンク25に投入後20分間経過してから形成した導電性塗料の硬化物を「硬化物B」と記載する。
液圧:0.1MPa、パターンエア:0.07MPa
室温:25℃、湿度:60%
塗布時間及び塗布回数:塗布時間8秒、塗布回数4往復
〇:5箇所全ての硬化物Aの厚さ、及び、5箇所全ての硬化物Bの厚さが、20μm±5μmの範囲に入っていた。
×:1箇所以上で、厚さが20μm±5μmの範囲に入らない硬化物A、及び/又は、硬化物Bが形成されていた。
シールド層とパッケージ表面又はグランド回路との密着性を、JIS K 5600-5-6:1999(クロスカット法)に基づき評価した。
具体的には、グランド回路との密着性評価用に銅張積層板を用意し、パッケージ表面との密着性評価用のモールド樹脂を用意した。それぞれに、幅5cm、長さ10cmの開口部が形成されるようにポリイミドテープでマスキングし、各実施例及び各比較例に係る導電性塗料を、図6(a)に模式的に示す塗布装置(スプレーイングシステムスジャパン(株)製、スプレーカートIII、スプレーノズル:YB1/8MVAU-SS+SUMV91-SS)を用いて導電性樹脂組成物をスプレー塗布した。その後、120℃で60分間加熱することにより導電性樹脂組成物を硬化させ、ポリイミドテープを剥離し、厚み約20μmの塗膜を形成した。塗膜が形成された銅箔、及び、モールド樹脂上でクロスカット試験を行った。
密着性の評価は、次の基準で行った。
○:カットの縁が完全に滑らかで、どの格子の目にもはがれがなかった。
×:カットの交差点において塗膜の小さなはがれが生じていた。もしくは、カットの縁部分、交差点、全面的にはがれが生じていた。
まず、製造直後の各実施例及び各比較例に係る導電性塗料の粘度をBH型粘度計ローターNo.7(10rpm)を用いて測定した。測定した粘度を初期粘度(V0)とした。
次に、製造してから常温で3日放置後の各実施例及び各比較例に係る導電性塗料の粘度をBH型粘度計ローターNo.7(10rpm)を用いて測定した。測定した粘度を3日放置後粘度(V3)とした。
下記式(3)により粘度の変化率(%)を算出し、導電性塗料の保存安定性を評価した。
評価基準は以下の通りである。結果を表1及び2に示す。
変化率={(V3-V0)/V0}×100・・・(3)
〇:変化率(%)が-20%~20%であった。
×:変化率(%)が-20%よりも低い、又は、20%よりも高かった。
また、硬化剤(C)としてイソシアネート硬化剤を使用した実施例1~8に係る導電性塗料は、保存安定性の評価においても良好な結果であった、
また、比較例1に係る導電性塗料は、比抵抗の評価において比抵抗値が高く、硬化物の導電性が不充分であった。
また、比較例1に係る導電性塗料は、アセトンラビング性の評価において、導電性塗料の硬化物が剥がれた率が高く、充分に硬化しなかった。
このような、比較例2及び3に係る導電性塗料は、アセトンラビング性の評価において、導電性塗料の硬化物が剥がれた率が高く、充分に硬化しなかった。
このような、比較例4及び5に係る導電性塗料は、塗布安定性及びクロスカット試験の評価が悪かった。
このような比較例6に係る導電性塗料は、比抵抗の評価において比抵抗値が高く、硬化物の導電性が不充分であった。
このような比較例7に係る導電性塗料は、アセトンラビング性の評価において、導電性塗料の硬化物が剥がれた率が高く、充分に硬化しなかったといえる。
さらに、塗布安定性及びクロスカット試験の評価が悪かった。
このような比較例8に係る導電性塗料は、硬化温度が120℃では、充分に硬化しなかった。
また、比較例8に係る導電性塗料は、比抵抗の評価において比抵抗値が高く、硬化物の導電性が不充分であった。
また、比較例8に係る導電性塗料は、アセトンラビング性の評価において、導電性塗料の硬化物が剥がれた率が高く、充分に硬化しなかった。
さらに、塗布安定性の評価が悪かった。
このような比較例9に係る導電性塗料は、比抵抗の評価において比抵抗値が高く、硬化物の導電性が不充分であった。
さらに、保存安定性の評価が悪かった。
2 電子部品
3 グランド回線パターン
4 封止材
5 パッケージ
6 溝部
7 導電性塗料
7a シールド層
8 シールドパッケージ
25 タンク
26 チューブ
27 ノズル
28 回転台
29 撹拌装置
30 気体導入管
31 ガラスエポキシ基板
32~36 ポリイミドテープ
41 導電性塗料の硬化物
Claims (6)
- エポキシ樹脂を含むバインダー成分(A)100重量部に対し、
金属粒子(B)を500~2500重量部、
硬化剤(C)を1~150重量部、
溶剤(D)を20~800重量部、
硬化触媒(E)を0.5~5重量部含み、
前記硬化触媒(E)は、有機金属化合物であり、
前記有機金属化合物は、鉄-2-エチルヘキソエート、アセチルアセトン第2鉄、2-エチルヘキサン酸亜鉛、ナフテン酸亜鉛及びアセチルアセトン第2亜鉛からなる群から選択される少なくとも一つであり、
前記硬化剤(C)は、イソシアネート硬化剤であることを特徴とする導電性塗料。 - 前記金属粒子(B)は、銀粉、銀被覆銅粉及び銀被覆銅合金粉からなる群から選択される少なくとも1種である請求項1に記載の導電性塗料。
- シールドパッケージに用いられる請求項1又は2に記載の導電性塗料。
- 基板上に電子部品が搭載され、前記電子部品が封止材によって封止されたパッケージがシールド層によって被覆されたシールドパッケージの製造方法であって、
基板上に複数の電子部品を搭載し、前記基板上に封止材を充填して硬化させることにより前記電子部品を封止してパッケージを作製するパッケージ形成工程と、
前記パッケージが形成された前記基板上に、請求項1~3のいずれかに記載の導電性塗料を塗布する導電性塗料塗布工程と、
前記導電性塗料が塗布された前記基板を加熱して、前記導電性塗料を硬化させることによりシールド層を形成するシールド層形成工程と、
前記パッケージが個片化するように前記基板を切断する切断工程とを有することを特徴とするシールドパッケージの製造方法。 - 前記パッケージ形成工程の後、前記複数の電子部品間の封止材を切削して溝部を形成し、これらの溝部によって前記基板上の前記パッケージを区分するパッケージ区分工程を含み、
前記切断工程では、前記溝部に沿って前記基板を切断する請求項4に記載のシールドパッケージの製造方法。 - 前記シールド層形成工程における加熱の温度は、120~150℃である請求項4又は5に記載のシールドパッケージの製造方法。
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CN113563788A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-10-29 | 成都佳驰电子科技股份有限公司 | 一种高柔韧电子屏蔽涂层材料及制备方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004355933A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Nof Corp | 導電性ペースト、配線板の製造方法および配線板 |
JP2005187753A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Bridgestone Corp | 導電性ローラ用塗料組成物および導電性ローラ |
JP2005294254A (ja) | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 導電性銀ペースト及びそれを用いた電磁波シールド部材 |
JP2008042152A (ja) | 2006-08-07 | 2008-02-21 | Taiyo Yuden Co Ltd | 回路モジュールの製造方法及び回路モジュール |
JP2009062523A (ja) | 2007-08-10 | 2009-03-26 | Think Laboratory Co Ltd | 導電性インキ組成物 |
JP2012193320A (ja) | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Kansai Paint Co Ltd | 塗料組成物及び塗膜形成方法 |
US20160039968A1 (en) | 2004-09-01 | 2016-02-11 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Polyurethanes, articles and coatings prepared therefrom and methods of making the same |
WO2016052664A1 (ja) | 2014-10-01 | 2016-04-07 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物 |
JP2016100134A (ja) | 2014-11-19 | 2016-05-30 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 加熱硬化型導電性ペースト |
JP2016183335A (ja) | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 導電性接着剤、導電性接着シートおよび電磁波シールドシート |
WO2017023747A1 (en) | 2015-08-03 | 2017-02-09 | Henkel IP & Holding GmbH | Achieving electromagnetic interference shielding protection by deposition of highly conductive compositions |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5765765A (en) * | 1980-10-08 | 1982-04-21 | Nippon Steel Chem Co Ltd | Paint composition for electrostatic coating |
JPS604562A (ja) * | 1983-06-23 | 1985-01-11 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 半田付け可能な導電性組成物 |
JPS6071641A (ja) | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Toshiba Corp | 電子機器の電磁シ−ルド方法 |
JP4946130B2 (ja) | 2006-03-28 | 2012-06-06 | 住友ベークライト株式会社 | 導電性ペースト及び導電性ペーストを使用して作製した半導体装置 |
WO2007137581A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Danmarks Tekniske Universitet - Dtu | A method for attaching an electrically conductive polymer to a rigid, semi-rigid or flexible polymer substrate and products obtained by the method |
JP4530110B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2010-08-25 | 株式会社村田製作所 | 電子部品モジュールの製造方法 |
CN101654581B (zh) * | 2009-09-21 | 2011-06-22 | 东莞市惠德丽实业有限公司 | 使用镀银工业废玻璃制备导电涂料的方法 |
JP2018009112A (ja) | 2016-07-14 | 2018-01-18 | タツタ電線株式会社 | 導電性塗料及びそれを用いたシールドパッケージの製造方法 |
KR102517052B1 (ko) | 2017-07-07 | 2023-03-31 | 타츠타 전선 주식회사 | 도전성 수지 조성물 및 그것을 사용한 차폐 패키지의 제조 방법 |
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004355933A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Nof Corp | 導電性ペースト、配線板の製造方法および配線板 |
JP2005187753A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Bridgestone Corp | 導電性ローラ用塗料組成物および導電性ローラ |
JP2005294254A (ja) | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 導電性銀ペースト及びそれを用いた電磁波シールド部材 |
US20160039968A1 (en) | 2004-09-01 | 2016-02-11 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Polyurethanes, articles and coatings prepared therefrom and methods of making the same |
JP2008042152A (ja) | 2006-08-07 | 2008-02-21 | Taiyo Yuden Co Ltd | 回路モジュールの製造方法及び回路モジュール |
JP2009062523A (ja) | 2007-08-10 | 2009-03-26 | Think Laboratory Co Ltd | 導電性インキ組成物 |
JP2012193320A (ja) | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Kansai Paint Co Ltd | 塗料組成物及び塗膜形成方法 |
WO2016052664A1 (ja) | 2014-10-01 | 2016-04-07 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物 |
JP2016100134A (ja) | 2014-11-19 | 2016-05-30 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 加熱硬化型導電性ペースト |
JP2016183335A (ja) | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 導電性接着剤、導電性接着シートおよび電磁波シールドシート |
WO2017023747A1 (en) | 2015-08-03 | 2017-02-09 | Henkel IP & Holding GmbH | Achieving electromagnetic interference shielding protection by deposition of highly conductive compositions |
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