[go: up one dir, main page]

JP7205304B2 - Transfer machine - Google Patents

Transfer machine Download PDF

Info

Publication number
JP7205304B2
JP7205304B2 JP2019037098A JP2019037098A JP7205304B2 JP 7205304 B2 JP7205304 B2 JP 7205304B2 JP 2019037098 A JP2019037098 A JP 2019037098A JP 2019037098 A JP2019037098 A JP 2019037098A JP 7205304 B2 JP7205304 B2 JP 7205304B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cage
rack
pinion
cassette
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019037098A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020141083A (en
Inventor
景祐 城石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP2019037098A priority Critical patent/JP7205304B2/en
Priority to TW108143979A priority patent/TWI820264B/en
Priority to KR1020190164343A priority patent/KR102749123B1/en
Priority to CN202010073000.XA priority patent/CN111634854B/en
Publication of JP2020141083A publication Critical patent/JP2020141083A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7205304B2 publication Critical patent/JP7205304B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/10—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks
    • B66F7/12—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks by mechanical jacks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F3/00—Devices, e.g. jacks, adapted for uninterrupted lifting of loads
    • B66F3/02—Devices, e.g. jacks, adapted for uninterrupted lifting of loads with racks actuated by pinions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F3/00—Devices, e.g. jacks, adapted for uninterrupted lifting of loads
    • B66F3/46—Combinations of several jacks with means for interrelating lifting or lowering movements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/02—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms suspended from ropes, cables, or chains or screws and movable along pillars
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/28—Constructional details, e.g. end stops, pivoting supporting members, sliding runners adjustable to load dimensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Geology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Types And Forms Of Lifts (AREA)
  • Disintegrating Or Milling (AREA)
  • Die Bonding (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Description

本発明は、被搬送物を支持するケージと、ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer machine that includes a cage that supports an object to be transferred, and a lifting device that supports the cage so that it can move up and down.

上記移載機としては、例えば、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板に対して蒸着処理等の所定の処理を行う処理装置に付設されるものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の移載機が付設される処理装置においては、基板が収容されたカセットが搬送台車により当該処理装置の近傍まで搬送される。搬送されたカセットは、当該処理装置の上方に設けられる荷受台に搬送される。特許文献１の移載機は、荷受台に搬送されたカセットを処理装置まで搬送する。また、特許文献１の移載機は、当該処理装置において処理された基板が収容されたカセットを処理装置から荷受台まで搬送する。
特許文献１の移載機は、荷受台に載置されたカセットを把持するためのケージを備える。特許文献１の移載機は、荷受台に載置されたカセットに対してケージを昇降させる第１昇降機構と、カセットを把持したケージを処理装置に対して昇降させる第２昇降機構と、を備える。特許文献１の移載機においては、第１昇降機構を作動させることにより、ケージを荷受台に載置されたカセットまで移動させる。特許文献１の移載機においては、第２昇降機構を作動させることにより、カセットを把持したケージを処理装置まで移動させる。すなわち、特許文献１の移載機においては、カセットを載置台と処理装置との間で昇降移動させる場合には、第１昇降機構と第２昇降機構とを適宜作動させる。 As the transfer machine, for example, there is one that is attached to a processing apparatus that performs a predetermined process such as a vapor deposition process on a substrate that is a semi-finished product of a semiconductor product or a liquid crystal display device product (for example, Patent Document 1 reference). In a processing apparatus equipped with a transfer device disclosed in Patent Document 1, a cassette containing substrates is transported to the vicinity of the processing apparatus by a carriage. The conveyed cassette is conveyed to a receiving table provided above the processing apparatus. The transfer device of Patent Document 1 conveys the cassette conveyed to the receiving table to the processing device. Further, the transfer device of Patent Document 1 transports a cassette containing substrates processed in the processing apparatus from the processing apparatus to a receiving table.
The transfer machine of Patent Literature 1 includes a cage for holding a cassette placed on a load receiving table. The transfer machine of Patent Document 1 includes a first elevating mechanism that elevates a cage with respect to a cassette placed on a load receiving table, and a second elevating mechanism that elevates the cage holding the cassette with respect to a processing apparatus. Prepare. In the transfer machine of Patent Document 1, the cage is moved to the cassette placed on the load receiving table by operating the first elevating mechanism. In the transfer machine of Patent Document 1, the cage holding the cassette is moved to the processing device by operating the second elevating mechanism. That is, in the transfer device of Patent Document 1, when the cassette is vertically moved between the mounting table and the processing device, the first lifting mechanism and the second lifting mechanism are appropriately operated.

韓国登録特許第１０－１５１１９６３号公報Korean Patent No. 10-1511963

しかしながら、上記移載機のように、昇降機構によってカセットを昇降移動させる移載機においては、カセットを昇降移動させる際に、昇降機構の作動に起因するパーティクルが発生する。そのため、上記移載機のように、第１昇降機構及び第２昇降機構を作動させる移載機においては、パーティクルの発生源が第１昇降機構及び第２昇降機構となり、パーティクルの発生箇所が広範囲に存在するという問題があった。すなわち、パーティクルの発生源を所定の箇所に集約することができず、また、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所を削減することが難しいという問題があった。
さらに、上記移載機においては、昇降機構をカバーで被覆することが難しく発生したパーティクルを封じ込めることが難しい。そのため、ケージの昇降移動により発生するパーティクルが周囲に拡散することを防止することが難しいという問題があった。 However, in a transfer machine that moves the cassette up and down by an elevating mechanism like the above-described transfer machine, particles are generated due to the operation of the elevating mechanism when the cassette is moved up and down. Therefore, in a transfer machine that operates a first elevating mechanism and a second elevating mechanism like the above transfer machine, the source of particles is the first elevating mechanism and the second elevating mechanism, and the locations where particles are generated are wide. There was a problem with the existence of That is, there is a problem that it is difficult to concentrate the generation sources of particles at a predetermined location, and it is difficult to reduce the locations where particles are generated due to the up-and-down movement of the cage.
Furthermore, in the transfer machine, it is difficult to cover the lifting mechanism with a cover, and it is difficult to contain the generated particles. Therefore, there is a problem that it is difficult to prevent the particles generated by the vertical movement of the cage from diffusing to the surroundings.

そこで、本発明は、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所の削減及び当該パーティクルの拡散を防止可能な移載機を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a transfer machine capable of reducing the number of places where particles are generated due to the vertical movement of the cage and preventing the diffusion of the particles.

本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problems to be solved by the present invention are as described above, and the means for solving the problems will now be described.

即ち、本発明の移載機は、被搬送物を支持するケージと、前記ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機であって、前記昇降装置は、前記ケージを支持する装置本体と、前記装置本体を昇降可能に支持する４本の支柱と、前記支柱に沿って設けられるラックと、前記装置本体に回転可能に設けられ前記ラックに係合するピニオンと、を備え、前記ピニオンの回転により前記装置本体を前記支柱の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部と、前記ピニオンを回転する駆動部と、を備え、前記装置本体は、その下方において、所定長さのワイヤを介して、前記ケージを吊り下げ固定し、前記駆動部は、前記４本の支柱で囲まれる領域内において、前記装置本体の上部に配置され、前記４本の支柱のそれぞれに設けられる前記ラックアンドピニオン機構部毎に設けられ、前記ラックアンドピニオン機構部は、前記支柱とともにカバーによって被覆されるものである。
上記構成では、ケージを支持する装置本体が、ラックと、ピニオンとを備えるラックアンドピニオン機構部によって昇降移動するとともに、ラックアンドピニオン機構部がカバーによって被覆される。 That is, the transfer machine of the present invention is a transfer machine that includes a cage that supports an object to be transferred and an elevating device that supports the cage so that it can be lifted and lowered, and the elevating device supports the cage. a device body, four columns that support the device body so that it can be raised and lowered, a rack that is provided along the columns, and a pinion that is rotatably provided on the device body and engages with the rack; A rack-and-pinion mechanism that vertically moves the device body in the longitudinal direction of the column by rotation of the pinion, and a driving portion that rotates the pinion . The cage is suspended and fixed via a wire, and the drive unit is arranged above the apparatus main body in a region surrounded by the four pillars, and is provided on each of the four pillars. Each rack-and-pinion mechanism is provided, and the rack-and-pinion mechanism is covered with a cover together with the strut.
In the above configuration, the device main body that supports the cage is vertically moved by the rack and pinion mechanism including the rack and the pinion, and the rack and pinion mechanism is covered with the cover.

上記構成では、４本の支柱が装置本体を支持する。 In the above configuration, the four struts support the device main body.

上記構成では、装置本体に設けられる駆動部が駆動することでピニオンが回転する。そして、ピニオンが回転することで、装置本体が支柱の長手方向に昇降移動する。 In the above configuration, the pinion is rotated by being driven by the drive section provided in the device main body. By rotating the pinion, the device main body moves up and down in the longitudinal direction of the column.

上記構成では、ケージが、装置本体に設けられるワイヤによって吊下げ支持される。 In the above configuration, the cage is suspended and supported by the wire provided on the apparatus main body.

本発明の移載機によれば、ラックと、ピニオンとを備えるラックアンドピニオン機構部を支柱に沿って設け、ケージを支持する装置本体を当該ラックアンドピニオン機構部によって昇降移動させるため、パーティクルの発生源を、支柱に沿って設けたラックアンドピニオン機構部に集約できる。また、ラックアンドピニオン機構部をカバーによって被覆することで、発生したパーティクルをカバー内に封じ込めることができる。このようなことから、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所を削減することができるとともに、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの拡散を防止することができる。 According to the transfer apparatus of the present invention, the rack-and-pinion mechanism section including the rack and the pinion is provided along the pillar, and the device main body that supports the cage is vertically moved by the rack-and-pinion mechanism section. The generation sources can be concentrated in the rack and pinion mechanism provided along the column. Moreover, by covering the rack-and-pinion mechanism with a cover, the generated particles can be confined in the cover. As a result, it is possible to reduce the number of places where particles generated by the vertical movement of the cage are generated, and to prevent the diffusion of the particles generated by the vertical movement of the cage.

本発明に係る移載機の斜視図である。1 is a perspective view of a transfer machine according to the present invention; FIG. 本発明に係る移載機の平面図である。1 is a plan view of a transfer machine according to the present invention; FIG. 本発明に係る移載機においてケージがカセットを把持して下降する前の正面図である。FIG. 4 is a front view of the transfer device according to the present invention before the cage grips the cassette and descends; 本発明に係る移載機においてケージがカセットを把持して下降した場合の正面図である。FIG. 5 is a front view of the transfer device according to the present invention when the cage grips the cassette and descends; （ａ）は、本発明に係る移載機において、支柱からカバーを外した場合のラックアンドピニオン機構部近傍の拡大斜視図であり、（ｂ）は、本発明に係る移載機において、支柱にカバーを被覆させた場合のラックアンドピニオン機構部近傍の拡大斜視図である。(a) is an enlarged perspective view of the vicinity of the rack-and-pinion mechanism when the cover is removed from the post in the transfer machine according to the present invention; (b) is a post in the transfer machine according to the present invention; FIG. 10 is an enlarged perspective view of the vicinity of the rack-and-pinion mechanism when covered with a cover.

本発明に係る移載機１０について説明する。
図１に示すように、移載機１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品を製造する製造設備に設けられるものである。より詳しくは、移載機１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板に対して蒸着処理等の所定の処理を行う処理装置（図示せず）に付設される装置である。なお、移載機１０は、基板に対して所定の処理を行う処理装置に付設されるものに限定されるものではなく、当該処理装置以外の装置に付設される装置、被搬送物を保管等する設備に付設する装置、等であっても構わない。
移載機１０が付設される上記処理装置には、上記基板を収納したカセット９０（「被搬送物」の一例）が搬送される。カセット９０は、上記製造設備内に設けられる走行レールに沿って走行する搬送台車（図示せず）によって上記処理装置まで搬送される。カセット９０は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板を収容可能に構成されている。当該搬送台車により搬送されたカセット９０は、上記処理装置の上方に設けられる荷受台１１に載置される。
移載機１０は、荷受台１１に載置されたカセット９０を上記処理装置のロードポート（図示せず）に移載する。又は、移載機１０は、上記処理装置のロードポートに載置されたカセット９０を荷受台１１に移載する。すなわち、移載機１０は、カセット９０を、荷受台１１と上記処理装置のロードポートとの間で昇降移動させる。 A transfer machine 10 according to the present invention will be described.
As shown in FIG. 1, the transfer machine 10 is installed in a manufacturing facility for manufacturing semiconductor products or liquid crystal display element products. More specifically, the transfer machine 10 is a device attached to a processing device (not shown) that performs a predetermined process such as a vapor deposition process on a substrate that is a semi-finished product of a semiconductor product or a liquid crystal display device product. . Note that the transfer device 10 is not limited to one attached to a processing apparatus that performs a predetermined process on a substrate, and may be a device attached to an apparatus other than the processing apparatus, or a device for storing an object to be transferred. It may be a device or the like attached to the equipment to be used.
A cassette 90 containing the substrates (an example of a “transported object”) is transported to the processing apparatus to which the transfer device 10 is attached. The cassette 90 is transported to the processing apparatus by a transport vehicle (not shown) that runs along a running rail provided in the manufacturing facility. The cassette 90 is formed of a substantially box-shaped member with one side or both sides open, and is configured to accommodate a plurality of substrates therein. The cassette 90 transported by the transport carriage is placed on the receiving table 11 provided above the processing apparatus.
The transfer machine 10 transfers the cassette 90 placed on the load receiving table 11 to a load port (not shown) of the processing apparatus. Alternatively, the transfer machine 10 transfers the cassette 90 placed on the load port of the processing apparatus to the load receiving table 11 . That is, the transfer machine 10 moves the cassette 90 up and down between the receiving table 11 and the load port of the processing apparatus.

図１から図４に示すように、移載機１０は、カセット９０を支持するケージ２０と、ケージ２０を昇降自在に支持する昇降装置３０と、から主に構成されている。
ケージ２０は、カセット９０の上面に設けられるフランジ部９１と係合して、カセット９０を支持する。ケージ２０は、後述する昇降装置３０の装置本体３１の下方に設けられる。ケージ２０は、ケージ本体２１と、係合部２２と、旋回機構２３と、から主に構成されている。
ケージ本体２１は、ケージ２０の本体部分である。ケージ本体２１は、昇降装置３０により吊り下げられた状態で支持される。ケージ本体２１は箱体により形成される。ケージ本体２１は、その箱体の内部に支持部材（図示せず）を備える。ケージ本体２１は、当該支持部材を介して係合部２２及び旋回機構２３を支持する。
係合部２２は、カセット９０のフランジ部９１と係合する。係合部２２は、ケージ本体２１の支持部材において、係合するカセット９０のフランジ部９１に対応する位置に設けられる。係合部２２は、旋回機構２３の駆動により、ケージ本体２１の支持部材に対して旋回する。係合部２２は、ケージ本体２１の支持部材に対して旋回することで、カセット９０のフランジ部９１と係合する係合状態と、カセット９０のフランジ部９１との係合を解除する係合解除状態と、にカセット９０のフランジ部９１との係合状態を切り換える。
旋回機構２３は、係合部２２をケージ本体２１の支持部材に対して旋回させる。旋回機構２３は、ケージ本体２１の支持部材に支持される。旋回機構２３は、係合部２２毎に設けられる旋回軸２４を回動させるための駆動モータ（図示せず）を備える。旋回機構２３は、駆動モータ（図示せず）を駆動させて旋回軸２４を回動させることで、係合部２２を所定の方向に旋回させる。 As shown in FIGS. 1 to 4, the transfer machine 10 is mainly composed of a cage 20 that supports the cassette 90 and a lifting device 30 that supports the cage 20 so that it can move up and down.
The cage 20 engages with a flange portion 91 provided on the upper surface of the cassette 90 to support the cassette 90 . The cage 20 is provided below a device main body 31 of a lifting device 30, which will be described later. The cage 20 is mainly composed of a cage body 21 , an engaging portion 22 and a turning mechanism 23 .
The cage body 21 is the body portion of the cage 20 . The cage body 21 is supported in a suspended state by the lifting device 30 . The cage main body 21 is formed by a box. The cage body 21 has a support member (not shown) inside its box. The cage main body 21 supports the engaging portion 22 and the turning mechanism 23 via the supporting member.
The engaging portion 22 engages with the flange portion 91 of the cassette 90 . The engaging portion 22 is provided at a position corresponding to the flange portion 91 of the cassette 90 to be engaged in the support member of the cage body 21 . The engaging portion 22 is rotated with respect to the support member of the cage main body 21 by driving the rotating mechanism 23 . The engaging portion 22 rotates with respect to the support member of the cage main body 21 to be engaged with the flange portion 91 of the cassette 90 and to be disengaged from the flange portion 91 of the cassette 90 . Switches between a released state and an engaged state with the flange portion 91 of the cassette 90 .
The turning mechanism 23 turns the engaging portion 22 with respect to the support member of the cage body 21 . The turning mechanism 23 is supported by the support member of the cage body 21 . The turning mechanism 23 includes a drive motor (not shown) for turning a turning shaft 24 provided for each engaging portion 22 . The turning mechanism 23 rotates the engaging portion 22 in a predetermined direction by driving a drive motor (not shown) to rotate the turning shaft 24 .

昇降装置３０は、ケージ２０を支持する装置本体３１と、装置本体３１を支持する支柱３２と、装置本体３１を支柱３２の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部３３と、から主に構成されている。
装置本体３１は、昇降装置３０の本体部分である。装置本体３１は、平面視で略矩形状に形成される。装置本体３１は、所定長さのワイヤ８０を介して、ケージ２０を吊り下げた状態で支持する。すなわち、装置本体３１は、ケージ２０を昇降移動させることなく、装置本体３１の下方においてケージ２０を吊り下げて固定する。装置本体３１は複数本（図１においては４本）のワイヤ８０によってケージ２０を吊り下げて支持する。装置本体３１がケージ２０を支持する機構をワイヤ８０による吊下げ固定方式とすることで、ワイヤ８０の硬さによりケージ２０の揺れを抑えつつも、ケージ２０を装置本体３１に対して拘束されない状態にすることができる。また、ワイヤ８０のみでケージ２０を吊り下げるため、ケージ２０の支持機構の部品点数を削減できる。
支柱３２は、平面視略矩形状に形成される装置本体３１の角部のそれぞれに配置されて高さ方向（鉛直方向）に沿って延在する。すなわち、４本の支柱３２が装置本体３１を昇降可能に支持する。４本の支柱３２には、隣接する支柱３２同士を相互に接続する補強部材１２が設けられている。支柱３２の中間部には、カセット９０を載置するための荷受台１１が設けられている。 The lifting device 30 is mainly composed of a device body 31 that supports the cage 20, a column 32 that supports the device body 31, and a rack-and-pinion mechanism 33 that vertically moves the device body 31 in the longitudinal direction of the column 32. It is
The device main body 31 is a main body portion of the lifting device 30 . The device main body 31 is formed in a substantially rectangular shape in plan view. The apparatus main body 31 supports the cage 20 in a suspended state via a wire 80 having a predetermined length. That is, the apparatus main body 31 suspends and fixes the cage 20 below the apparatus main body 31 without moving the cage 20 up and down. The apparatus main body 31 suspends and supports the cage 20 with a plurality of (four in FIG. 1) wires 80 . By adopting a suspension fixing method using wires 80 as a mechanism for supporting the cage 20 by the apparatus main body 31, the cage 20 is not constrained to the apparatus main body 31 while the vibration of the cage 20 is suppressed by the hardness of the wires 80. can be In addition, since the cage 20 is suspended only by the wire 80, the number of components of the support mechanism for the cage 20 can be reduced.
The struts 32 are arranged at respective corners of the apparatus main body 31 which is formed in a substantially rectangular shape in plan view, and extend along the height direction (vertical direction). That is, the four struts 32 support the device main body 31 so as to be able to move up and down. The four struts 32 are provided with reinforcing members 12 that connect adjacent struts 32 to each other. A loading table 11 for placing the cassette 90 is provided in the intermediate portion of the column 32 .

図３から図５に示すように、ラックアンドピニオン機構部３３は、装置本体３１を昇降移動させるための昇降機構である。ラックアンドピニオン機構部３３は、ラック３４と、ラック３４と噛み合う（係合する）ピニオン３５と、ピニオン３５を回転させる駆動装置３６（「駆動部」の一例）と、から主に構成されている。
ラック３４は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられる。ラック３４は、ピニオン３５と噛み合う部分が支柱３２の長手方向に沿って延設される。すなわち、ラック３４は、ケージ２０の昇降方向に延設される。
ピニオン３５は、円形状の部材である。ピニオン３５は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられるラック３４に対応して設けられる。ピニオン３５は、駆動装置３６の駆動により回転する。ピニオン３５は、回転した状態でラック３４に噛み合う。ピニオン３５は、ラック３４に噛み合った状態でラック３４上を移動する。
駆動装置３６は、本体３７と、ピニオン３５を回転可能に支持する回転軸３８と、回転軸３８を正逆方向に回転させるモータ３９と、から主に構成されている。駆動装置３６においては、モータ３９を駆動させることで回転軸３８が回転する。回転軸３８が回転することでピニオン３５が回転する。
駆動装置３６は、装置本体３１に固定されている。すなわち、駆動装置３６は、装置本体３１側に設けられている。具体的には、駆動装置３６の本体３７を固定部材１５により昇降装置３０の装置本体３１の上部に固定する。駆動装置３６を装置本体３１側に設けることで、ケージ２０を昇降移動させるための駆動装置を支柱３２の上部又は支柱３２の下部に設ける必要がない。さらに、当該駆動装置を４本の支柱３２で囲まれる領域内に配置することができる。そのため、支柱３２の上部及び支柱３２の下部が簡素化された構造となる。さらに、ケージ２０の昇降移動時に装置本体３１及びケージ２０と干渉する駆動装置３６等を、４本の支柱３２で囲まれる領域の外側に配置する必要がない。それゆえに、移載機１０全体を小型化することができる。
駆動装置３６は、４本の支柱３２のそれぞれに対応して設けられるピニオン３５毎に設けられる。すなわち、駆動装置３６は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられるラックアンドピニオン機構部３３毎に設けられる。つまり、昇降装置３０は、４台の駆動装置３６を駆動させることにより、ケージ２０を昇降させる。昇降装置３０が４台の駆動装置３６を駆動させることによりケージ２０を昇降させることから、個々の駆動装置３６を構成するモータ３９を小型化することができる。さらに、４台の駆動装置３６のうちのいずれかの駆動装置３６のモータ３９が動作不良となった場合であっても、残りの駆動装置３６のモータ３９を駆動させることで、ケージ２０を昇降させることができる。 As shown in FIGS. 3 to 5, the rack-and-pinion mechanism section 33 is an elevating mechanism for vertically moving the device main body 31 . The rack-and-pinion mechanism 33 mainly includes a rack 34, a pinion 35 that meshes (engages) with the rack 34, and a driving device 36 (an example of a “driving portion”) that rotates the pinion 35. .
A rack 34 is provided on each of the four columns 32 . A portion of the rack 34 that meshes with the pinion 35 extends along the longitudinal direction of the column 32 . That is, the rack 34 extends in the vertical direction of the cage 20 .
The pinion 35 is a circular member. The pinions 35 are provided corresponding to the racks 34 provided on each of the four struts 32 . The pinion 35 is rotated by being driven by the driving device 36 . The pinion 35 meshes with the rack 34 while rotating. The pinion 35 moves on the rack 34 while meshing with the rack 34 .
The driving device 36 mainly includes a main body 37, a rotating shaft 38 that rotatably supports the pinion 35, and a motor 39 that rotates the rotating shaft 38 in forward and reverse directions. In the driving device 36 , the rotation shaft 38 is rotated by driving the motor 39 . The rotation of the rotating shaft 38 causes the pinion 35 to rotate.
The driving device 36 is fixed to the device main body 31 . That is, the driving device 36 is provided on the device main body 31 side. Specifically, the main body 37 of the driving device 36 is fixed to the upper portion of the device main body 31 of the lifting device 30 by the fixing member 15 . By providing the drive device 36 on the apparatus main body 31 side, it is not necessary to provide a drive device for moving the cage 20 up and down above or below the column 32 . Furthermore, the drive can be arranged within the area surrounded by the four struts 32 . Therefore, the upper part of the support|pillar 32 and the lower part of the support|pillar 32 become a structure simplified. Furthermore, it is not necessary to dispose the driving device 36 and the like that interfere with the device main body 31 and the cage 20 when the cage 20 moves up and down outside the area surrounded by the four pillars 32 . Therefore, the entire transfer machine 10 can be downsized.
A driving device 36 is provided for each pinion 35 provided corresponding to each of the four columns 32 . That is, the driving device 36 is provided for each rack-and-pinion mechanism 33 provided on each of the four columns 32 . That is, the lifting device 30 lifts and lowers the cage 20 by driving the four driving devices 36 . Since the elevator device 30 drives the four drive devices 36 to raise and lower the cage 20, the motors 39 constituting the individual drive devices 36 can be made smaller. Furthermore, even if the motor 39 of one of the four drive devices 36 malfunctions, the motors 39 of the remaining drive devices 36 are driven to move the cage 20 up and down. can be made

図５に示すように、ラックアンドピニオン機構部３３を構成するラック３４及びピニオン３５は、カバー４０によって被覆されている。
カバー４０は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられる。カバー４０は、支柱３２の長手方向に沿って延設される。カバー４０は、支柱３２においてラック３４が設けられている側を被覆するように配置される。カバー４０は、支柱３２に取り付けられた際に、カバー４０と支柱３２との間にピニオン３５の昇降移動が可能な空間が形成されるように、ピニオン３５の昇降経路に沿った形状に成形されている。
カバー４０の側面にはスリット４１が形成されている。スリット４１は、カバー４０の長手方向に沿って形成される開口部分である。スリット４１は、カバー４０を支柱３２に取り付けた際に、支柱３２の長手方向に沿って延設される。スリット４１は、ケージ２０の昇降時に駆動装置３６の回転軸３８が鉛直方向に昇降移動可能な程度の幅で開口されている。 As shown in FIG. 5 , the rack 34 and pinion 35 that constitute the rack-and-pinion mechanism 33 are covered with a cover 40 .
A cover 40 is provided on each of the four pillars 32 . The cover 40 extends along the longitudinal direction of the column 32 . The cover 40 is arranged to cover the side of the column 32 on which the rack 34 is provided. The cover 40 is shaped along the elevating path of the pinion 35 so that a space is formed between the cover 40 and the support 32 so that the pinion 35 can move up and down when the cover 40 is attached to the support 32 . ing.
A slit 41 is formed in the side surface of the cover 40 . The slit 41 is an opening formed along the longitudinal direction of the cover 40 . The slit 41 extends along the longitudinal direction of the support 32 when the cover 40 is attached to the support 32 . The slit 41 is opened with a width that allows the rotating shaft 38 of the driving device 36 to vertically move when the cage 20 is moved up and down.

次に、移載機１０の動作について説明する。
図１から図４に示すように、上記搬送台車によって上記処理装置まで搬送されたカセット９０は、上記処理装置の上方に設けられる荷受台１１に載置される。移載機１０は、ケージ２０によってカセット９０を把持させるために、装置本体３１を支柱３２に対して下降させる。具体的には、装置本体３１の上部に設けられる駆動装置３６のモータ３９を駆動させてピニオン３５を回転させる。ピニオン３５が回転することでピニオン３５がラック３４に噛み合う。ピニオン３５がラック３４に噛み合いながら回転することで、駆動装置３６の本体３７が下降する。駆動装置３６の本体３７は、固定部材１５を介して装置本体３１に固定されているため、駆動装置３６の本体３７が下降することで、装置本体３１が下降する。 Next, the operation of the transfer machine 10 will be described.
As shown in FIGS. 1 to 4, the cassette 90 transported to the processing apparatus by the transport vehicle is placed on a receiving table 11 provided above the processing apparatus. The transfer device 10 lowers the device main body 31 with respect to the column 32 so that the cassette 90 is gripped by the cage 20 . Specifically, the pinion 35 is rotated by driving the motor 39 of the driving device 36 provided on the upper portion of the device main body 31 . The pinion 35 meshes with the rack 34 by rotating the pinion 35 . As the pinion 35 rotates while meshing with the rack 34, the main body 37 of the driving device 36 descends. Since the main body 37 of the drive device 36 is fixed to the device main body 31 via the fixing member 15 , the main body 37 of the drive device 36 descends, thereby lowering the device main body 31 .

装置本体３１が下降することで、ワイヤ８０を介して吊り下げられているケージ２０が下降する。ケージ２０がカセット９０に対して所定位置まで下降すると、カセット９０に対するケージ２０の位置決めを行う。ケージ２０の位置決めが完了すると、ケージ２０の旋回機構が係合部２２を旋回させる。これにより、係合部２２がカセット９０のフランジ部９１に係合する。すなわち、ケージ２０がカセット９０を把持する。ケージ２０がカセット９０を把持すると、ケージ２０はカセット９０を旋回する。
カセット９０が旋回されると、駆動装置３６のモータ３９を駆動して、装置本体３１を下降させる。これにより、カセット９０を把持したケージ２０が下降する。ケージ２０が上記処理装置のロードポートに対して所定位置まで下降すると、当該ロードポートに対するケージ２０の位置決めを行う。ケージ２０の位置決めは、上記処理装置に設けられる位置決め装置（図示せず）により行われる。当該位置決め装置は、ケージ２０の両側面側からケージ２０を挟持する挟持部を備える。当該位置決め装置は、ケージ２０がロードポートに対して所定位置まで下降した際に、ケージ２０の両側面を挟持部によって挟持することにより、ケージ２０の位置決めを行う。
ケージ２０の位置決めが行われると、駆動装置３６のモータ３９を駆動して、装置本体３１を下降させる。これにより、カセット９０が上記処理装置のロードポートに載置される。カセット９０が当該ロードポートに載置されると、ケージ２０の旋回機構が係合部２２を旋回させる。これにより、係合部２２によるカセット９０のフランジ部９１への係合が解除される。すなわち、ケージ２０からカセット９０が離れ、当該ロードへのカセット９０の移載が完了する。 As the device main body 31 descends, the cage 20 suspended via the wire 80 descends. When the cage 20 is lowered to a predetermined position with respect to the cassette 90, the positioning of the cage 20 with respect to the cassette 90 is performed. When the positioning of the cage 20 is completed, the rotating mechanism of the cage 20 rotates the engaging portion 22 . Thereby, the engaging portion 22 is engaged with the flange portion 91 of the cassette 90 . That is, the cage 20 grips the cassette 90 . As cage 20 grips cassette 90 , cage 20 pivots cassette 90 .
When the cassette 90 is rotated, the motor 39 of the driving device 36 is driven to lower the device body 31 . As a result, the cage 20 holding the cassette 90 descends. When the cage 20 is lowered to a predetermined position with respect to the load port of the processing equipment, the cage 20 is positioned with respect to the load port. Positioning of the cage 20 is performed by a positioning device (not shown) provided in the processing apparatus. The positioning device includes holding portions that hold the cage 20 from both sides of the cage 20 . The positioning device positions the cage 20 by clamping both side surfaces of the cage 20 with clamping portions when the cage 20 is lowered to a predetermined position with respect to the load port.
When the cage 20 is positioned, the motor 39 of the driving device 36 is driven to lower the device body 31 . Thereby, the cassette 90 is placed on the load port of the processing apparatus. When the cassette 90 is placed on the load port, the rotating mechanism of the cage 20 rotates the engaging portion 22 . As a result, the engagement of the engaging portion 22 with the flange portion 91 of the cassette 90 is released. That is, the cassette 90 is separated from the cage 20, and the transfer of the cassette 90 to the load is completed.

以上のように、移載機１０においては、ラック３４と、ピニオン３５とを備えるラックアンドピニオン機構部３３を支柱３２に沿って設け、ケージ２０を支持する装置本体３１をラックアンドピニオン機構部３３によって昇降移動させるため、パーティクルの発生源を、支柱３２に沿って設けたラックアンドピニオン機構部３３に集約できる。すなわち、移載機１０においては、荷受台１１と上記処理装置のロードポートとの間のカセット９０の移載が、ラックアンドピニオン機構部３３の作動のみで行われるため、カセット９０の移載によるパーティクルの発生をラックアンドピニオン機構部３３のみに限定することができる。このため、カセット９０の移載（ケージ２０の昇降移動）により発生するパーティクルの発生箇所を削減することができる。
移載機１０においては、ラックアンドピニオン機構部３３をカバー４０によって被覆することで、発生したパーティクルをカバー４０内に封じ込めることができる。すなわち、移載機１０においては、カセット９０の移載（ケージ２０の昇降移動）により発生したパーティクルを、カバー４０と支柱３２との間に形成される内部空間に封じ込めることができる。このため、カセット９０の移載（ケージ２０の昇降移動）により発生するパーティクルの拡散を防止することができる。 As described above, in the transfer machine 10, the rack-and-pinion mechanism section 33 including the rack 34 and the pinion 35 is provided along the column 32, and the device main body 31 that supports the cage 20 is attached to the rack-and-pinion mechanism section 33. , the sources of particle generation can be concentrated in the rack-and-pinion mechanism 33 provided along the column 32 . That is, in the transfer machine 10, the transfer of the cassette 90 between the load receiving table 11 and the load port of the processing apparatus is performed only by the operation of the rack-and-pinion mechanism 33. Generation of particles can be limited to the rack-and-pinion mechanism portion 33 only. Therefore, it is possible to reduce the number of locations where particles are generated when the cassette 90 is transferred (up and down movement of the cage 20).
In the transfer machine 10 , by covering the rack-and-pinion mechanism section 33 with the cover 40 , generated particles can be confined within the cover 40 . That is, in the transfer machine 10 , particles generated by the transfer of the cassette 90 (up-and-down movement of the cage 20 ) can be confined in the internal space formed between the cover 40 and the pillar 32 . Therefore, it is possible to prevent the diffusion of particles generated by the transfer of the cassette 90 (up and down movement of the cage 20).

１０ 移載機
２０ ケージ
３０ 昇降装置
３１ 装置本体
３２ 支柱
３３ ラックアンドピニオン機構部
３４ ラック
３５ ピニオン
３６ 駆動装置（駆動部）
４０ カバー
８０ ワイヤ
９０ カセット（被搬送物）

REFERENCE SIGNS LIST 10 transfer machine 20 cage 30 lifting device 31 device main body 32 post 33 rack and pinion mechanism 34 rack 35 pinion 36 driving device (driving unit)
40 cover 80 wire 90 cassette (transported object)

Claims (1)

被搬送物を支持するケージと、前記ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機であって、
前記昇降装置は、
前記ケージを支持する装置本体と、
前記装置本体を昇降可能に支持する４本の支柱と、
前記支柱に沿って設けられるラックと、前記装置本体に回転可能に設けられ前記ラックに係合するピニオンと、を備え、前記ピニオンの回転により前記装置本体を前記支柱の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部と、
前記ピニオンを回転する駆動部と、
を備え、
前記装置本体は、その下方において、所定長さのワイヤを介して、前記ケージを吊り下げ固定し、
前記駆動部は、前記４本の支柱で囲まれる領域内において、前記装置本体の上部に配置され、前記４本の支柱のそれぞれに設けられる前記ラックアンドピニオン機構部毎に設けられ、
前記ラックアンドピニオン機構部は、前記支柱とともにカバーによって被覆されること
を特徴とする移載機。 A transfer machine comprising a cage for supporting an object to be transferred and a lifting device for vertically supporting the cage,
The lifting device is
a device main body that supports the cage;
four columns that support the device body so that it can be raised and lowered;
A rack comprising a rack provided along the column and a pinion rotatably provided on the device body and engaged with the rack, wherein the rotation of the pinion moves the device body up and down in the longitudinal direction of the column. and pinion mechanism,
a driving unit that rotates the pinion;
with
the device main body suspends and fixes the cage via a wire of a predetermined length below it;
The drive unit is arranged on the upper part of the device main body in the area surrounded by the four columns, and is provided for each of the rack and pinion mechanism units provided on each of the four columns,
The transfer machine, wherein the rack-and-pinion mechanism is covered with a cover together with the support.
JP2019037098A 2019-03-01 2019-03-01 Transfer machine Active JP7205304B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019037098A JP7205304B2 (en) 2019-03-01 2019-03-01 Transfer machine
TW108143979A TWI820264B (en) 2019-03-01 2019-12-02 transfer machine
KR1020190164343A KR102749123B1 (en) 2019-03-01 2019-12-11 Transfer machine
CN202010073000.XA CN111634854B (en) 2019-03-01 2020-01-22 Transfer machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019037098A JP7205304B2 (en) 2019-03-01 2019-03-01 Transfer machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020141083A JP2020141083A (en) 2020-09-03
JP7205304B2 true JP7205304B2 (en) 2023-01-17

Family

ID=72265294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019037098A Active JP7205304B2 (en) 2019-03-01 2019-03-01 Transfer machine

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7205304B2 (en)
KR (1) KR102749123B1 (en)
CN (1) CN111634854B (en)
TW (1) TWI820264B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102407281B1 (en) * 2020-11-23 2022-06-10 주식회사 알티자동화 Clean stocker system

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005311287A (en) 2004-03-26 2005-11-04 Shinko Electric Co Ltd Substrate carry-in/carry-out apparatus
WO2009072199A1 (en) 2007-12-05 2009-06-11 Hirata Corporation Substrate conveying apparatus and method of controlling the apparatus
JP5311889B2 (en) 2008-06-11 2013-10-09 三菱電機株式会社 COMMUNICATION SYSTEM, MOBILE COMMUNICATION DEVICE, HOME AGENT, AND COMMUNICATION METHOD
JP2018093123A (en) 2016-12-07 2018-06-14 株式会社ダイフク Transfer machine
CN110745442A (en) 2019-11-07 2020-02-04 上海速锐信息技术有限公司 Synchronous vertical lifting system for stereoscopic warehouse

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2836369B2 (en) * 1992-05-11 1998-12-14 株式会社大林組 Roof structure of temporary beam assembly device for building construction
JP4240079B2 (en) * 2006-07-20 2009-03-18 株式会社安川電機 Substrate transfer device with dustproof mechanism
JP2011006244A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Muratec Automation Co Ltd Carrying carriage
ITAR20130018A1 (en) * 2013-04-18 2014-10-19 Raffaela Vasapollo MOBILE PLATFORM WITH ELECTRIC-MECHANICAL OPERATION FOR HANGAR UNDERGROUND FOR HELICOPTERS WITH AUTOMATIC SYSTEM OF ELECTRO-MECHANICAL CLOSING OF THE COVERING PLANE
KR101511963B1 (en) * 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system
JP6641926B2 (en) * 2015-11-26 2020-02-05 株式会社ダイフク Goods transport equipment
CN207192168U (en) * 2017-07-11 2018-04-06 无锡爱尔华精机有限公司 A kind of new horse transfer mechanism of vacuum chamber

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005311287A (en) 2004-03-26 2005-11-04 Shinko Electric Co Ltd Substrate carry-in/carry-out apparatus
WO2009072199A1 (en) 2007-12-05 2009-06-11 Hirata Corporation Substrate conveying apparatus and method of controlling the apparatus
JP5311889B2 (en) 2008-06-11 2013-10-09 三菱電機株式会社 COMMUNICATION SYSTEM, MOBILE COMMUNICATION DEVICE, HOME AGENT, AND COMMUNICATION METHOD
JP2018093123A (en) 2016-12-07 2018-06-14 株式会社ダイフク Transfer machine
CN110745442A (en) 2019-11-07 2020-02-04 上海速锐信息技术有限公司 Synchronous vertical lifting system for stereoscopic warehouse

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020141083A (en) 2020-09-03
CN111634854A (en) 2020-09-08
KR20200105741A (en) 2020-09-09
TW202033426A (en) 2020-09-16
KR102749123B1 (en) 2025-01-02
CN111634854B (en) 2023-08-15
TWI820264B (en) 2023-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5274339B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate transfer method
KR101384477B1 (en) Substrate inverting apparatus, substrate handling method, and substrate processing apparatus
TWI381477B (en) Substrate processing system
EP2353797A1 (en) Substrate transfer robot and system
JP2007095831A (en) Substrate treatment device and substrate transporting method
JP7205304B2 (en) Transfer machine
KR20120012693A (en) Tray tilt device
JP2009302477A (en) Transportation system
KR101414772B1 (en) Automated warehouse
TW201422507A (en) Substrate transport facility
JP7400616B2 (en) Transfer equipment and container transfer method
CN112242320B (en) Substrate processing apparatus and substrate conveying method
TWI552253B (en) Substrate processing system, substrate transport method, and storage medium
KR200469263Y1 (en) Glass substrate transport apparatus
KR102706681B1 (en) Substrate Deposition System
JP4597810B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate transfer method
JP5474328B2 (en) Substrate transfer robot
CN112447553B (en) Substrate processing system and substrate conveying method
JP6562803B2 (en) Substrate processing system
JP2010058937A (en) Stored article transfer system
JP2023073741A (en) Substrate transfer device
KR102299107B1 (en) Transfer robot with multi arm
JPH09110112A (en) Transfer device for stocker for manufacture of semiconductordevice
TW202422760A (en) Substrate processing system
JP5309324B2 (en) Substrate transfer system

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210205

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220111

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220310

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220809

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221027

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20221027

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221104

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20221107

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20221108

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20221129

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221212

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7205304

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150