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JP7169110B2 - Magnification chromatic aberration measuring device - Google Patents

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JP7169110B2
JP7169110B2 JP2018142928A JP2018142928A JP7169110B2 JP 7169110 B2 JP7169110 B2 JP 7169110B2 JP 2018142928 A JP2018142928 A JP 2018142928A JP 2018142928 A JP2018142928 A JP 2018142928A JP 7169110 B2 JP7169110 B2 JP 7169110B2
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Description

本発明は、倍率色収差測定装置に関し、詳しくは、撮像画像情報から、レンズによる倍率色収差を差し引く際に、その倍率色収差を簡易に測定するための倍率色収差測定装置に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a chromatic aberration of magnification measuring device, and more particularly to a chromatic aberration of magnification measuring device for simply measuring the chromatic aberration of magnification caused by a lens when subtracting the chromatic aberration of magnification from captured image information.

一般に、撮像装置(カメラ)は、レンズを介して得た被写体の像をR(赤色)、G(緑色)、B(青色)の像にそれぞれ分解し、カラー画像を撮像する。このとき、各像に含まれる光は異なる波長域を持つため、レンズの倍率色収差に起因して異なる倍率で撮像素子に結合される。このため撮像装置から得られるカラー画像には色ずれ(または色にじみ)が生じる。この色ずれは、特に画像(映像)の画面周辺部で大きく画質を劣化させるため、補正することが望ましい。また近年撮像素子の多画素化や表示装置の大画面化に伴い、この色ずれによる画質劣化の影響は顕著になっており、より高い精度での補正が求められる。この色ずれを補正する手段として、あらかじめ各像の色ずれ量を測定しておき、画像処理によってこの色ずれを補正する技術が開示されている(下記特許文献1、2を参照)。 In general, an imaging device (camera) separates an image of a subject obtained through a lens into R (red), G (green), and B (blue) images, and captures a color image. At this time, since the light contained in each image has a different wavelength range, it is coupled to the imaging device at different magnifications due to the chromatic aberration of magnification of the lens. As a result, color shift (or color blurring) occurs in a color image obtained from the imaging device. This color misregistration significantly degrades the image quality especially in the peripheral portion of the image (video) screen, so it is desirable to correct it. In recent years, with the increase in the number of pixels in image pickup devices and the increase in the screen size of display devices, the influence of image quality deterioration due to color misregistration has become more pronounced, and correction with higher accuracy is required. As means for correcting this color shift, a technique is disclosed in which the amount of color shift of each image is measured in advance and the color shift is corrected by image processing (see Patent Documents 1 and 2 below).

ところで、色ずれ量の測定は、白黒の市松模様の格子パターンや縞模様パターン等を画角全体で撮像して収差測定用チャートを作成し、これを用いてB、G、R像のずれ量を測定する手法が一般的である(下記特許文献3、4を参照)。例えば、図12に示すように、照明16からの照明光を収差測定用チャート15に照射し、その収差測定用チャート15からの被写体光を撮像装置11の撮像レンズ10および撮像素子部11Aにより撮像し、撮像された被写体像をB、G、Rの各色信号に分離し、色収差測定部12に送出して撮像レンズ10の倍率色収差を測定する。色収差測定部12からは、測定により得られた色ずれ量が出力される。
この撮像素子部11Aは、3色分解プリズムとB、G、Rの各色光に応じた3板式の撮像素子により構成すること、あるいは3色のカラーフィルタアレイと単板式の撮像素子により構成することの、いずれとすることも可能である。
By the way, to measure the amount of color shift, a black and white checkered grid pattern, striped pattern, or the like is imaged over the entire angle of view to create an aberration measurement chart. is generally used (see Patent Documents 3 and 4 below). For example, as shown in FIG. 12, the aberration measurement chart 15 is irradiated with the illumination light from the illumination 16, and the subject light from the aberration measurement chart 15 is imaged by the imaging lens 10 and the imaging element section 11A of the imaging device 11. Then, the photographed object image is separated into B, G, and R color signals, which are sent to the chromatic aberration measuring unit 12 to measure the chromatic aberration of magnification of the imaging lens 10 . The chromatic aberration measurement unit 12 outputs the color shift amount obtained by the measurement.
The image sensor section 11A may be composed of a three-color separation prism and a three-plate image sensor corresponding to each color light of B, G, and R, or may be composed of a three-color color filter array and a single-plate image sensor. , it is also possible to use either one.

ところで、色ずれの大きさはレンズの焦点距離やフォーカス位置等のレンズパラメータに依存するため、レンズパラメータ毎に測定を行い、それぞれの補正値を予め求めておく必要がある。色ずれの大きさは、測定に使用する光源の分光分布や収差測定用チャートの分光反射率に依存する。そのため色ずれ量の測定の際には、同一の収差測定用チャートを用い、照明条件を一定とした上で行うこととされていた。 By the way, since the magnitude of the color shift depends on the lens parameters such as the focal length and focus position of the lens, it is necessary to measure each lens parameter and obtain each correction value in advance. The magnitude of color shift depends on the spectral distribution of the light source used for measurement and the spectral reflectance of the aberration measurement chart. Therefore, when measuring the amount of color misregistration, the same chart for aberration measurement is used and the illumination conditions are kept constant.

特開2000-3437号公報JP-A-2000-3437 特開2011-182071号公報JP 2011-182071 A 特開2006-135805号公報JP-A-2006-135805 特開平3-169190号公報JP-A-3-169190

しかし、レンズパラメータを変化させて多数の測定を行う際に、同一の収差測定用チャートを用い、照明条件を一定とした上でこれら多数の測定を行うことは容易ではない。例えば、フォーカス位置を1mから30mまでの範囲で変化させて測定を行うことを想定した場合、測定用チャートとカメラとの距離を実際に1mから30mの範囲で動かしながら色ずれ量を測定していくことになるが、そのような長い距離に亘って照明条件を一定とすること自体が容易ではない。また、例えばカメラから30mの位置に測定用チャートを設置して測定しようとした場合、画角全体をカバーできる範囲に測定用チャートを配置し、さらにその範囲における照明条件を一定にする必要があるが、それに要する空間や照明機材の調整の手間に鑑みると、正確な測定は、実際には困難である。すなわち、従来技術によっては、レンズパラメータ毎に照明条件や使用するチャートの分光特性を一定とすることが困難であるため、倍率色収差による色ずれ量の正確な測定は難しい、とされていた。 However, when performing a large number of measurements while changing lens parameters, it is not easy to use the same chart for aberration measurement and perform these large numbers of measurements under constant illumination conditions. For example, assuming that the focus position is changed in the range of 1m to 30m and the measurement is performed, the amount of color shift is measured while actually moving the distance between the measurement chart and the camera in the range of 1m to 30m. However, it is not easy to keep lighting conditions constant over such a long distance. Also, for example, when trying to measure by setting a measurement chart at a position 30m from the camera, it is necessary to place the measurement chart in a range that can cover the entire angle of view, and furthermore, it is necessary to keep the lighting conditions constant in that range. However, in view of the space required and the time and effort required to adjust the lighting equipment, accurate measurement is actually difficult. That is, according to the conventional technology, it is difficult to make the illumination conditions and the spectral characteristics of the chart used constant for each lens parameter, and therefore it is difficult to accurately measure the amount of color shift due to chromatic aberration of magnification.

本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、撮像画像における倍率色収差による色ずれ量を測定する際に、レンズパラメータ毎に照明条件やチャートの分光特性をはじめとする測定条件を一定とせずとも、正確な測定を簡易に行い得る倍率色収差測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances. An object of the present invention is to provide a magnification chromatic aberration measuring apparatus capable of easily performing accurate measurement.

本発明の倍率色収差測定装置は、
光源と、該光源からの照明光を照射される被写体としての収差測定用チャートと、該収差測定用チャートからの被写体光を所定位置に結像させる撮像レンズと、該撮像レンズにより結像された該収差測定用チャートの像を、カラー画像に係るB、G、Rの各信号に変換して出力する撮像素子と、該撮像レンズの倍率色収差に基づく色ずれ量を、該撮像素子から出力されたB、G、Rの各像の相関値を算出し、最大となる値を求めることにより取得する色収差測定部と、前記収差測定用チャートよりも光源側、前記収差測定用チャートと前記撮像レンズの間、および前記撮像レンズと前記撮像素子の間、のいずれかに配されたカラーフィルタと、を備え、
該カラーフィルタは、該撮像素子の分光特性においてB、G、Rの各波長領域のピーク値を中心とした所定幅の波長領域のみを透過させる分光特性を有することを特徴とするものである。
The magnification chromatic aberration measuring device of the present invention is
a light source, an aberration measurement chart as a subject irradiated with illumination light from the light source, an imaging lens for forming an image of the subject light from the aberration measurement chart at a predetermined position, and an image formed by the imaging lens An imaging device that converts the image of the aberration measurement chart into B, G, and R signals related to a color image and outputs them, and an imaging device that outputs the amount of color shift based on the chromatic aberration of magnification of the imaging lens. a chromatic aberration measuring unit obtained by calculating a correlation value of each image of B, G, and R and obtaining a maximum value; and a color filter arranged between the imaging lens and the imaging element,
The color filter is characterized by having spectral characteristics that transmit only a predetermined width of wavelength regions centered on the peak values of the respective B, G, and R wavelength regions in the spectral characteristics of the imaging device.

この場合において、前記所定幅の波長領域が40nm以下の幅とされていることが好ましい。
また、前記所定幅の波長領域が20nm以下の幅とされていることがより好ましい。
前記所定幅の波長領域が10nm以上かつ20nm以下の幅とされていることも、好ましい。
In this case, it is preferable that the predetermined width of the wavelength region is 40 nm or less.
Further, it is more preferable that the wavelength region of the predetermined width is 20 nm or less.
It is also preferable that the wavelength region of the predetermined width has a width of 10 nm or more and 20 nm or less.

本発明の倍率色収差測定装置によれば、以下のような作用効果を奏する。
すなわち、カラーフィルタから出力されたB、G、Rの各色光は、各色光領域のピーク波長を中心とした狭帯域の範囲に制限されたものとなっており、各色光の像単体に生じる色ずれ(像ボケ)を低減することができるので、測定に使用する光源の分光特性や測定用チャートの分光反射特性が変化しても、それに伴う色ずれ量の変化は従来技術と比較して小さい。
According to the magnification chromatic aberration measuring device of the present invention, the following effects are obtained.
That is, the B, G, and R light beams output from the color filters are restricted to narrow band ranges centered on the peak wavelengths of the respective color light regions. Misalignment (image blurring) can be reduced, so even if the spectral characteristics of the light source used for measurement or the spectral reflectance characteristics of the measurement chart change, the resulting change in the amount of color misalignment is small compared to conventional technology. .

したがって、測定に用いる照明や測定用チャートの選定に自由度をもたせることができ、異なるレンズパラメータで各々測定する際に、各測定毎に光源条件や測定用チャートを同一とする必要がない。また、測定用チャートとして必ずしも白黒パターン等を用いる必要がないため、部屋の壁面やビルの壁面等、規則性のある明暗のパターンを有するものであれば、自然物や建造物等であっても測定用チャートとして用いることができる。 Therefore, it is possible to have a degree of freedom in the selection of illumination and measurement charts used for measurement, and it is not necessary to use the same light source conditions and measurement charts for each measurement when measuring with different lens parameters. In addition, since it is not always necessary to use a black and white pattern as a measurement chart, it is possible to measure natural objects and buildings as long as they have a regular pattern of light and shade, such as the walls of a room or the walls of a building. It can be used as a chart for

このように、本発明の倍率色収差測定装置によれば、ボケが小さく境界部分が鮮明なB、G、R像が得られるため、ずれ量の測定精度を向上させることができる。また、照明や測定用チャートの調整にかかる手間を大幅に省くことができ、従来技術よりも簡易に、高精度の測定が可能となる。 As described above, according to the magnification chromatic aberration measuring apparatus of the present invention, since B, G, and R images with small blurring and clear boundary portions can be obtained, it is possible to improve the measurement accuracy of the deviation amount. In addition, it is possible to save a lot of time and effort for adjusting the lighting and the measurement chart, and it is possible to perform the measurement more easily and accurately than in the prior art.

本発明の実施形態に係る倍率色収差測定装置に用いられるカラーフィルタの分光透過特性とカメラの撮像素子の分光透過特性の関係を示すグラフである。4 is a graph showing the relationship between the spectral transmission characteristics of a color filter used in the chromatic aberration of magnification measuring device according to the embodiment of the present invention and the spectral transmission characteristics of an imaging element of a camera. 実施形態1に係る倍率色収差測定装置を示す概略図である。1 is a schematic diagram showing a chromatic aberration of magnification measuring device according to Embodiment 1. FIG. 所定の撮像パターン(A)について、従来技術を用いた場合(B)と本実施形態技術を用いた場合(C)の色ずれ量を比較した結果を示すものである。10 shows the result of comparing the amount of color misregistration between the case of using the conventional technology (B) and the case of using the technology of the present embodiment (C) with respect to the predetermined imaging pattern (A). シミュレーションに用いた照明Aと照明Bの各分光分布を示すグラフである。4 is a graph showing respective spectral distributions of illumination A and illumination B used in the simulation; 互いに異なる照明条件間で発生する、従来技術(A)と本実施形態技術(B)の色ずれ状態を示すグラフである。7 is a graph showing color misregistration states of the conventional technology (A) and the technology of the present embodiment (B) that occur under mutually different illumination conditions. 光学フィルタを組み合わせて本実施形態に係る倍率色収差測定装置に用いられるカラーフィルタを形成する場合における、これら各光学フィルタの分光透過特性の例を示すグラフである。5 is a graph showing an example of spectral transmission characteristics of each optical filter when combining optical filters to form a color filter used in the chromatic aberration of magnification measuring apparatus according to the present embodiment. 実施形態2に係る倍率色収差測定装置を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a chromatic aberration of magnification measuring device according to Embodiment 2; 実施形態3に係る倍率色収差測定装置を示す概略図である。FIG. 11 is a schematic diagram showing a chromatic aberration of magnification measuring device according to Embodiment 3; 本実施例に係る倍率色収差測定装置に用いられるカラーフィルタの分光透過特性と、このカラーフィルタの色ずれ量を測定する手法を説明するためのグラフを示すものでる。4 is a graph for explaining the spectral transmission characteristics of a color filter used in the chromatic aberration of magnification measuring apparatus according to the present embodiment and a method for measuring the amount of color shift of this color filter. 図9に示すカラーフィルタを用いた場合のシミュレーション結果(w=10nm~32nm)を示すグラフ((A)~(F))である。10 is graphs ((A) to (F)) showing simulation results (w=10 nm to 32 nm) when using the color filter shown in FIG. 9; 図9に示すカラーフィルタを用いた場合のシミュレーション結果(w=40nm~90nm)を示すグラフ((G)~(L))である。10 is graphs ((G) to (L)) showing simulation results (w=40 nm to 90 nm) when using the color filter shown in FIG. 9; 倍率色収差による色ずれ量を測定する際に用いる従来装置の構成の一例を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of the configuration of a conventional device used to measure the amount of color shift due to chromatic aberration of magnification;

以下、本発明の実施形態1に係る倍率色収差測定装置について図面を用いて説明する。
まず、図2を用いて実施形態1に係る倍率色収差測定装置の概略について説明し、この後、図1を用いて本実施形態に係る倍率色収差測定装置に用いられるカラーフィルタの構成について説明する。
A magnification chromatic aberration measuring apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
First, the outline of the chromatic aberration of magnification measuring apparatus according to the first embodiment will be described with reference to FIG. 2, and then the configuration of the color filter used in the chromatic aberration of magnification measuring apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図2に示すように、照明56からの照明光を収差測定用チャート55に照射し、その収差測定用チャート55からの被写体光を撮像レンズ50により単板のカラー撮像素子部51上に結像する。これにより撮像された被写体像は撮像素子部51からB、G、Rの各信号に変換されて出力される。このとき、撮像レンズ50と撮像素子部51の間にはカラーフィルタ53を配設する。この撮像レンズ50の倍率色収差に基づく色ずれ量は、色収差測定部52において、撮像素子部51から出力されたB、G、Rの各信号に基づいて演算される。
色ずれ量の算出には、例えば、各像の相関値が最大となる値を求める手法等が用いられる。
As shown in FIG. 2, an aberration measurement chart 55 is irradiated with illumination light from an illumination 56, and subject light from the aberration measurement chart 55 is imaged on a single-plate color image sensor section 51 by an imaging lens 50. do. The subject image picked up by this is converted into B, G, and R signals from the image sensor section 51 and output. At this time, a color filter 53 is arranged between the imaging lens 50 and the imaging element section 51 . The amount of color shift based on the chromatic aberration of magnification of the imaging lens 50 is calculated by the chromatic aberration measuring section 52 based on the B, G, and R signals output from the imaging element section 51 .
For calculating the amount of color misregistration, for example, a method of finding a value that maximizes the correlation value of each image, or the like is used.

図1は、本実施形態に係る倍率色収差測定装置に用いられるカラーフィルタの分光透過特性を示すものである。このカラーフィルタは、例えば、ガラス等の透明板上に誘電体多層膜(例えばTiOとSiOの交互層)を蒸着法等を用いて設けたものである。 FIG. 1 shows the spectral transmission characteristics of color filters used in the chromatic aberration of magnification measuring apparatus according to this embodiment. This color filter is, for example, formed by depositing a dielectric multilayer film (for example, alternate layers of TiO 2 and SiO 2 ) on a transparent plate such as glass using a vapor deposition method or the like.

また、B、G、R各々の色光の、撮像素子部51における分光特性上のピーク値は各々、450nm付近、540nm付近、600nm付近であり、そのピーク値を中心として、所定幅の狭帯域(例えば10nmの波長域)のみを透過させるような透過特性を有するように構成されている。したがって、図1に示されるように、通常の撮像素子においてはB、G、Rの各色光について広い波長範囲にわたって受光し得るように構成されているが、この撮像素子に照射されるB、G、Rの各色光は、略450nm、略540nm、略600nmの各ピーク値を中心とした所定幅の狭帯域のみの色光とされる。 In addition, the peak values of the spectral characteristics of the B, G, and R colored lights in the image sensor unit 51 are around 450 nm, around 540 nm, and around 600 nm, respectively. For example, it is configured to have a transmission characteristic to transmit only a wavelength band of 10 nm. Therefore, as shown in FIG. 1, an ordinary image pickup device is configured to be able to receive light of each color of B, G, and R over a wide wavelength range. , and R are only narrow-band colored lights with predetermined widths centered on respective peak values of approximately 450 nm, approximately 540 nm, and approximately 600 nm.

本実施形態の倍率色収差測定装置に用いられるカラーフィルタ53によれば、このようにB、G、Rの各色光をそれぞれのピーク位置付近の波長域のみを透過させて、撮像素子部51に照射するようにしているので、照明や測定用チャートの調整にかかる手間を大幅に省くことができ、従来技術よりも簡易に、高精度の測定が可能となる。 According to the color filter 53 used in the magnification chromatic aberration measuring apparatus of the present embodiment, only the wavelength regions near the respective peak positions of the B, G, and R light beams are transmitted, and the imaging element unit 51 is irradiated with the light beams. As a result, it is possible to greatly save the trouble of adjusting the illumination and the measurement chart, and it is possible to perform the measurement more easily and accurately than the conventional technique.

以下、このカラーフィルタの作用効果について詳細に説明する。
図3(A)は、倍率色収差の測定用に用いられる撮像パターンの一例を示すものであり、図3(B)は、図3(A)の撮像パターンを用いて倍率色収差を測定した場合に、従来技術(シミュレーション)により測定される色ずれ状態を示すものであり、図3(C)は、同様に、この撮像パターンを用いて倍率色収差を測定した場合に、本実施形態のカラーフィルタ53を用いること(シミュレーション)により測定される色ずれ状態を示すものである。
The effects of this color filter will be described in detail below.
FIG. 3A shows an example of an imaging pattern used for measuring the chromatic aberration of magnification, and FIG. , and shows the color shift state measured by the conventional technique (simulation), and FIG. (simulation) shows the color misregistration.

ここで、色ずれは画像水平方向に発生するものとし、また、撮像素子表面に結像される像の結像倍率は波長λに比例するものとする。また、図3(A)に示す撮像パターンにおいて、図面左側の領域は全波長の光を等しく反射する分光反射率を有するものとし、図面右側の領域は全波長の光を吸収する分光反射率を有するものとする。また、この時の撮像に使用する照明は、図4の照明Aに示す分光分布(実線)および照明Bに示す分光分布(破線)を有するものとしている。 Here, it is assumed that the color shift occurs in the horizontal direction of the image, and that the imaging magnification of the image formed on the surface of the imaging element is proportional to the wavelength λ. Further, in the imaging pattern shown in FIG. 3A, the area on the left side of the drawing has a spectral reflectance that equally reflects light of all wavelengths, and the area on the right side of the drawing has a spectral reflectance that absorbs light of all wavelengths. shall have Illumination used for imaging at this time has a spectral distribution (solid line) indicated by illumination A and a spectral distribution (broken line) indicated by illumination B in FIG.

図12に示す従来技術においては、照明Aおよび照明Bの分光分布を有する色光が各々そのまま撮像素子部11Aに照射されるので、撮像素子部11Aで得られる各B、G、Rの像には、波長域がブロードな撮像素子部11Aの分光特性に応じた光が含まれる。このため、色収差測定部12から出力された色ずれには、各B、G、Rの像間での色ずれによるものだけでなく、各像単体における色ずれ(像のボケ)によるものが含まれる。 In the prior art shown in FIG. 12, the color lights having the spectral distributions of the illumination A and the illumination B are directly applied to the imaging element section 11A. , light corresponding to the spectral characteristics of the image sensor unit 11A having a broad wavelength range. Therefore, the color shift output from the chromatic aberration measuring unit 12 includes not only the color shift between the B, G, and R images, but also the color shift (image blurring) in each individual image. be

一方、本実施形態の倍率色収差測定装置を用いて得られる各B、G、R像は、カラーフィルタ53の作用によって、各ピーク位置を中心とした所定の波長範囲に制限されているため、各像内で生じる倍率色収差に起因する像のボケは、従来技術を用いた際の倍率色収差に起因する像のボケと比較して非常に小さく、輪郭線がより明確となる。 On the other hand, the B, G, and R images obtained by using the chromatic aberration of magnification measuring apparatus of this embodiment are restricted to a predetermined wavelength range centered on each peak position by the action of the color filter 53. The blurring of the image caused by the chromatic aberration of magnification occurring in the image is much smaller than the blurring of the image caused by the chromatic aberration of magnification when using the conventional technique, and the contour line becomes clearer.

色ずれ量の検出手法としては、例えば、B、G、R各像の相関値を算出し、最大となる値を求めることによって色ずれ量を検出する手法等が通常用いられる。 As a method for detecting the amount of color misregistration, for example, a method of calculating the correlation value of each of the B, G, and R images and finding the maximum value to detect the amount of color misregistration is usually used.

このように、本実施形態の倍率色収差測定装置を用いることで、ボケが小さく境界部分が鮮明なB、G、R像が得られるため、ずれ量の測定精度を向上させることができる。 As described above, by using the chromatic aberration of magnification measuring apparatus of the present embodiment, B, G, and R images with small blurring and clear boundary portions can be obtained, so that the accuracy of measuring the deviation amount can be improved.

図5(A)、(B)は、異なる照明条件で得られたB、G、R被写体像の色ずれ量を、シミュレーションにより得られた、従来技術と本実施形態で比較したものである。
また、この時の撮像に使用する照明は、図4の照明Aに示す分光分布(実線)および照明Bに示す分光分布(破線)を有するものとしている。
FIGS. 5A and 5B compare the amount of color shift of the B, G, and R subject images obtained under different lighting conditions between the conventional technique and the present embodiment obtained by simulation.
Illumination used for imaging at this time has a spectral distribution (solid line) indicated by illumination A and a spectral distribution (broken line) indicated by illumination B in FIG.

図5(A)に示すように、従来技術を用いた場合における照明A(実線)と照明B(破線)の色ずれの曲線同士はほとんど重ならず、色ずれ量の差は大きい。
一方、図5(B)に示すように、本実施形態技術を用いた場合における照明A(実線)と照明B(破線)の色ずれの曲線同士は、信号値が大きく変化する領域において略重なり、色ずれ量の差は小さい。
As shown in FIG. 5A, the curves of the color shifts of illumination A (solid line) and illumination B (broken line) in the case of using the conventional technology hardly overlap each other, and the difference in the amount of color shift is large.
On the other hand, as shown in FIG. 5B, the curves of the color shifts of illumination A (solid line) and illumination B (broken line) when the technique of the present embodiment is used substantially overlap in a region where the signal value changes greatly. , the difference in the amount of color shift is small.

このように、図5(A)、(B)を比較すると、従来技術における色ずれは左右に大きくシフトしていることが明らかであり、このことから、従来技術では、色ずれを測定する際に照明条件が変化すると、発生する色ずれ量も大きく変化することが明らかであるから、従来技術を用いた場合において正確な色ずれ量の測定を実現するためには、測定毎に照明条件を同一に揃える必要があることが明らかである。 As described above, when comparing FIGS. 5A and 5B, it is clear that the color shift in the conventional technique shifts significantly to the left and right. Since it is clear that the amount of color shift that occurs changes greatly when the illumination conditions change, it is necessary to change the lighting conditions for each measurement in order to achieve accurate measurement of the amount of color shift using the conventional technique. It is clear that they must be aligned identically.

一方、本実施形態の倍率色収差測定装置を用いたものでは、照明A(実線)で生じる色ずれ量と照明B(破線)で生じる色ずれ量が一致している。このことは、本実施形態の倍率色収差測定装置を用いたものでは、使用する照明光等の照明条件に変化が生じても、同じ色ずれ量が生じることを示しており、測定毎に照明条件を同一に揃える必要がないことが明らかである。 On the other hand, when the chromatic aberration of magnification measuring apparatus of this embodiment is used, the amount of color shift caused by illumination A (solid line) and the amount of color shift caused by illumination B (broken line) match. This indicates that the same amount of color shift occurs in the apparatus using the chromatic aberration of magnification measurement apparatus of the present embodiment even if the illumination conditions such as the illumination light used are changed. are not necessarily aligned identically.

次に、上記カラーフィルタ53の製作方法について図6を用いて説明する。
すなわち、図6は、光学フィルタを組み合わせて本発明の倍率色収差装置に係るカラーフィルタ53の特性を実現する際の例を、各フィルタの分光透過特性を用いて説明するようにしたものである。この例では撮像素子51から出力されるB、G、Rの分光特性のピーク位置(最大信号値)がそれぞれ、略450nm、略540nm、略600nmとされている。
Next, a method for manufacturing the color filter 53 will be described with reference to FIG.
That is, FIG. 6 illustrates an example in which optical filters are combined to realize the characteristics of the color filter 53 according to the magnification chromatic aberration device of the present invention, using the spectral transmission characteristics of each filter. In this example, the peak positions (maximum signal values) of the spectral characteristics of B, G, and R output from the imaging device 51 are approximately 450 nm, approximately 540 nm, and approximately 600 nm, respectively.

図6(A)に示す光学フィルタ(1)は、波長445nm~605nmを透過するバンドパスフィルタである。図6(B)に示す光学フィルタ(2)は波長455nm~540nmをカットするノッチフィルタである。図6(C)に示す光学フィルタ(3)は波長545nm~595nmをカットするノッチフィルタである。光学フィルタ(1)、光学フィルタ(2)、および光学フィルタ(3)を組み合わせることで、撮像素子51のB、G、R各色光の分光特性のピーク位置を中心とする幅10nmの波長域の光のみを透過する分光透過特性を実現することができる。実際には、例えば、これら3つの光学フィルタ(1)~(3)を構成する誘電体多層膜を順に基板上に積層してカラーフィルタ53を形成する。 The optical filter (1) shown in FIG. 6A is a bandpass filter that transmits wavelengths of 445 nm to 605 nm. The optical filter (2) shown in FIG. 6B is a notch filter that cuts wavelengths of 455 nm to 540 nm. The optical filter (3) shown in FIG. 6C is a notch filter that cuts wavelengths of 545 nm to 595 nm. By combining the optical filter (1), the optical filter (2), and the optical filter (3), a wavelength band with a width of 10 nm centered on the peak position of the spectral characteristic of each of the B, G, and R colors of the image sensor 51 is obtained. A spectral transmittance characteristic that transmits only light can be realized. In practice, for example, the color filter 53 is formed by laminating the dielectric multilayer films constituting these three optical filters (1) to (3) on a substrate in order.

透過する波長域の幅を狭くするほど、照明条件の変化に対する色ずれ量の変化が小さくなり、測定毎に照明条件を同一に揃える必要がない、との前述した効果をより良好に奏することが可能になるが、その一方で、透過する波長域の幅を狭くするほど、撮像素子51に入射する光量が少なくなるため、撮像装置の感度は低下する。
そのため、透過する波長域の幅が、互いに異なるフィルタを複数用意しておき、測定の際に、実現可能な照明の明るさや必要な測定精度に応じて、適切なフィルタを選択することが肝要である。
The narrower the width of the transmitted wavelength band, the smaller the change in the amount of color shift with respect to the change in illumination conditions, and the above-mentioned effect that it is not necessary to set the same illumination conditions for each measurement can be achieved more satisfactorily. On the other hand, the narrower the width of the transmitted wavelength range, the less the amount of light incident on the imaging device 51, and the sensitivity of the imaging device decreases.
Therefore, it is important to prepare multiple filters with different widths of transmitted wavelength bands, and to select an appropriate filter according to the brightness of the lighting that can be achieved and the required measurement accuracy. be.

なお、本発明の倍率色収差測定装置としては上記実施形態1のものに替えて、以下に示す、実施形態2あるいは実施形態3のもの等を採用することが可能である。
図7に示す実施形態2の倍率色収差測定装置においては、照明66からの照明光を収差測定用チャート65に照射し、その収差測定用チャート65からの被写体光を撮像装置の撮像レンズ60により単板のカラー撮像素子部61上に結像する。これにより撮像された被写体像は撮像素子部61からB、G、Rの各信号に変換されて出力される。以上の構成は、上記実施形態1の倍率色収差測定装置と同様である。ただし、実施形態2のものにおいては、測定用チャート65と撮像レンズ60との間、より詳細には、撮像レンズ60に近接する前段部分にカラーフィルタ53と同様に機能するカラーフィルタ63が配置されている。
カラーフィルタ63を、測定用チャート65と撮像レンズ60との間に配設しても、上記実施形態1のように、撮像レンズ50と撮像素子部51の間にカラーフィルタ53を配設した場合と同様の作用効果を奏することができる。
As the magnification chromatic aberration measuring apparatus of the present invention, it is possible to adopt the apparatus of Embodiment 2 or Embodiment 3 shown below instead of the apparatus of Embodiment 1 described above.
In the apparatus for measuring chromatic aberration of magnification of Embodiment 2 shown in FIG. An image is formed on the color imaging element portion 61 of the plate. The image of the subject thus picked up is converted into B, G, and R signals from the image sensor section 61 and output. The configuration described above is the same as that of the chromatic aberration of magnification measuring apparatus of the first embodiment. However, in Embodiment 2, a color filter 63 that functions in the same manner as the color filter 53 is arranged between the measurement chart 65 and the imaging lens 60, more specifically, in the front stage portion close to the imaging lens 60. ing.
Even if the color filter 63 is arranged between the measurement chart 65 and the imaging lens 60, the case where the color filter 53 is arranged between the imaging lens 50 and the imaging element unit 51 as in the first embodiment The same effect can be obtained.

また、例えば、図8の実施形態3の倍率色収差測定装置においては、照明76からの照明光を収差測定用チャート75に照射し、その収差測定用チャート75からの被写体光を撮像装置の撮像レンズ70により単板のカラー撮像素子部71上に結像する。これにより撮像された被写体像は撮像素子部71からB、G、Rの各信号に変換されて出力される。以上の構成は、上記実施形態1、2の倍率色収差測定装置と同様である。ただし、実施形態3のものにおいては、照明76と測定用チャート75との間、より詳細には、照明76に近接する後段部分にカラーフィルタ53と同様に機能するカラーフィルタ73が配置されている。すなわち、カラーフィルタ73は、照明76の調光フィルタとして機能する。 Further, for example, in the magnification chromatic aberration measuring apparatus of Embodiment 3 of FIG. 8, the illumination light from the illumination 76 is applied to the aberration measurement chart 75, and the subject light from the aberration measurement chart 75 is applied to the imaging lens of the imaging device. 70 forms an image on a single-plate color image pickup device 71 . The image of the subject thus picked up is converted into B, G, and R signals from the image sensor section 71 and output. The above configuration is the same as that of the magnification chromatic aberration measuring apparatus of the first and second embodiments. However, in Embodiment 3, a color filter 73 that functions in the same manner as the color filter 53 is arranged between the illumination 76 and the measurement chart 75, more specifically, in the latter part close to the illumination 76. . In other words, the color filter 73 functions as a light control filter for the lighting 76 .

カラーフィルタ73を、照明76と測定用チャート75との間に配設しても、上記実施形態1のように、撮像レンズ50と撮像素子部51の間にカラーフィルタ53を配設した場合と同様の作用効果を奏することができる。 Even if the color filter 73 is arranged between the illumination 76 and the measurement chart 75, it is different from the case where the color filter 53 is arranged between the imaging lens 50 and the imaging element unit 51 as in the first embodiment. Similar effects can be obtained.

その他、本発明の倍率色収差測定装置としては、種々の態様のものを採用し得る。
例えば、カラーフィルタを、R像取得用・G像取得用・B像取得用の3枚構成よりなるものとしてもよい。この場合、R像取得用・G像取得用・B像取得用の3枚のフィルタのそれぞれが、対応する撮像素子の分光特性のピーク波長域付近のみをそれぞれ透過する特性を有するようにする。測定の際には、3枚のカラーフィルタを切り替えて3つの画像を取得し、それぞれの画像からB、G、R信号を抽出する。この手法においては、3枚のフィルタを切り替える際に、照明条件や測定用チャートの位置を正確に一致させる必要がある。なお、3枚のカラーフィルタは、光路中に配設した1つのターレット上等に各々載設するようにしてもよい。
また、上記実施形態においては、カラーフィルタが透過タイプのものとされているが、これを反射タイプのものとすることも可能である。
In addition, various modes can be adopted as the magnification chromatic aberration measuring device of the present invention.
For example, the color filter may be composed of three filters for obtaining the R image, the G image, and the B image. In this case, each of the three filters for acquiring the R image, the G image, and the B image is configured to transmit only near the peak wavelength region of the spectral characteristics of the corresponding imaging device. During measurement, three images are obtained by switching three color filters, and B, G, and R signals are extracted from each image. In this method, when switching between the three filters, it is necessary to accurately match the illumination conditions and the positions of the measurement charts. Incidentally, the three color filters may be mounted on one turret or the like arranged in the optical path.
Also, in the above embodiment, the color filters are of the transmissive type, but they can also be of the reflective type.

以下、本発明の倍率色収差測定装置について、実施例によりさらに説明する。 The apparatus for measuring chromatic aberration of magnification according to the present invention will be further described below with reference to examples.

図9は、本実施例に係る倍率色収差測定装置のカラーフィルタの分光特性を示すものである。
このカラーフィルタは、基本的に、前述した図1に示すカラーフィルタと同様に構成されている。すなわち、ガラス等の透明板上に誘電体多層膜(例えば、TiOとSiOの交互層を繰り返し積層したもの)を蒸着法等を用いて形成したものであり、誘電体多層膜の各層の厚みを変化させることによって、互いに異なる分光透過特性を有する複数のカラーフィルタサンプルを形成した。具体的には、撮像素子における各色光に対する撮像特性のピーク位置を各々448nm(B光)、539nm(G光)、602nm(R光)に設定し、これら各ピーク位置を中心として、所定幅の狭帯域(以下、狭帯域幅Wと称する)のみを透過させるような分光透過特性を有するようにシミュレーションを用いて構成した。
FIG. 9 shows the spectral characteristics of the color filters of the chromatic aberration of magnification measuring apparatus according to this embodiment.
This color filter is basically configured in the same manner as the color filter shown in FIG. That is, a dielectric multilayer film (for example, alternating layers of TiO 2 and SiO 2 are repeatedly laminated) is formed on a transparent plate such as glass by using a vapor deposition method or the like. A plurality of color filter samples having different spectral transmission characteristics were formed by varying the thickness. Specifically, the peak positions of the imaging characteristics for each color light in the image sensor are set to 448 nm (B light), 539 nm (G light), and 602 nm (R light), respectively, and a predetermined width is set around each of these peak positions. A configuration was made using a simulation so as to have spectral transmission characteristics that transmit only a narrow band (hereinafter referred to as a narrow band width W).

なお、サンプルは、上記挟帯域幅Wを、10nm、14nm、18nm、22nm、28nm、32nm、40nm、50nm、60nm、70nm、80nm、90nmとしたものについて各々作成した。これら各サンプルについて、測定光源(図4の光源Aおよび光源Bと指称された分光分布を有する光源Aおよび光源B)の違いに基づく色ずれ量の変化を測定し、図10(A)~(F)および図11(G)~(L)のグラフとして表した。 The samples were prepared with the narrow bandwidth W set to 10 nm, 14 nm, 18 nm, 22 nm, 28 nm, 32 nm, 40 nm, 50 nm, 60 nm, 70 nm, 80 nm and 90 nm. For each of these samples, changes in the amount of color shift based on the difference in the measurement light source (light source A and light source B having spectral distributions referred to as light source A and light source B in FIG. 4) were measured and shown in FIGS. F) and graphs of FIGS. 11(G)-(L).

すなわち、図10(A)は狭帯域幅Wが10nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図10(B)は狭帯域幅Wが14nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図10(C)は狭帯域幅Wが18nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図10(D)は狭帯域幅Wが22nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図10(E)は狭帯域幅Wが28nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図10(F)は狭帯域幅Wが32nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図11(G)は狭帯域幅Wが40nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図11(H)は狭帯域幅Wが50nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図11(I)は狭帯域幅Wが60nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図11(J)は狭帯域幅Wが70nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図11(K)は狭帯域幅Wが80nmのときの色ずれの状態を表すものであり、図11(L)は狭帯域幅Wが90nmのときの色ずれの状態を表すものである。 That is, FIG. 10A shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 10 nm, and FIG. 10B shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 14 nm. FIG. 10(C) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 18 nm, and FIG. 10(D) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 22 nm. FIG. 10(E) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 28 nm, and FIG. 10(F) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 32 nm. FIG. 11G shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 40 nm, and FIG. 11H shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 50 nm. FIG. 11(I) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 60 nm, and FIG. 11(J) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 70 nm. 11(K) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 80 nm, and FIG. 11(L) shows the state of color shift when the narrow bandwidth W is 90 nm. be.

図10、11のシミュレーション結果からも明らかなように、Wの値が大きくなるほど、光源(照明条件)の違いにより生じる色ずれ量の差が大きくなる。すなわち、Wの値が大きくなるほど、本実施形態の倍率色収差測定装置に係るカラーフィルタの効果が減少する。 As is clear from the simulation results of FIGS. 10 and 11, the greater the value of W, the greater the difference in the amount of color shift caused by the difference in light source (illumination conditions). That is, as the value of W increases, the effect of the color filter in the magnification chromatic aberration measuring apparatus of this embodiment decreases.

また、W=90nmのときの色ずれの状態は、カラーフィルタがない従来技術の場合のシミュレーション結果(図5(A)を参照)とほぼ同様となる。すなわち、W=90nmのときには、本実施形態の倍率色収差測定装置に係るカラーフィルタの効果は小さいものとなる。 Also, the state of color shift when W=90 nm is almost the same as the simulation result (see FIG. 5A) in the case of the prior art without color filters. That is, when W=90 nm, the effect of the color filter according to the magnification chromatic aberration measuring apparatus of this embodiment is small.

W=40nm以下であれば、カラーフィルタがない従来技術の場合のシミュレーション結果と比較して、色ずれの変化がある程度抑制されており、相応の効果が期待し得る。
さらに、W=20nm以下であれば、良好な精度を確保し得る。一方、Wの値を小さくするにしたがって、カメラに入射する光の量が減少するため、S/Nの低下等の面で測定の障害となる虞がある。このことから、色ずれの変化が抑制されて良好な精度を確保し得るとともに、S/Nの低下を測定の障害とならない程度に抑えるためには、通常用いる状況においては、Wの値を、例えば、10nm以上かつ20nm以下の範囲に設定することが好ましい。
ただし、色ずれの変化の抑制に伴う測定精度(≒W)の確保とS/Nとはトレードオフの関係となるので、S/Nが測定上問題となるような場合には、測定精度を敢えて落として(Wを広げて)、S/Nを確保する等、最適範囲を適宜選択していくことが肝要である。
When W is 40 nm or less, compared with the simulation results of the prior art without color filters, the change in color misregistration is suppressed to some extent, and a corresponding effect can be expected.
Furthermore, if W=20 nm or less, good accuracy can be secured. On the other hand, as the value of W is decreased, the amount of light incident on the camera decreases, which may hinder measurement in terms of S/N reduction and the like. For this reason, in order to suppress the change in color misregistration and ensure good accuracy, and to suppress the decrease in S/N to the extent that it does not interfere with the measurement, the value of W is set to For example, it is preferable to set the thickness in the range of 10 nm or more and 20 nm or less.
However, there is a trade-off relationship between securing the measurement accuracy (≈ W) associated with the suppression of color misregistration and S/N. It is important to appropriately select the optimum range, such as intentionally lowering (widening W) to secure the S/N ratio.

また、W=10nmのときの色ずれの状態は、通常用いる状況においては、略最良の状態(W<10nmとしても、色ずれの状態はW=10nmのときとほとんど変わらない)とされているので、このときのS/Nの低下等が許容できるのであれば、W=10nmを選択することが好ましい。
ただし、この場合にも、上記トレードオフの関係が成立することから、状況に応じてWの最適値を適宜選択することが肝要である。
In addition, the state of color misregistration when W=10 nm is considered to be substantially the best in normal use (even if W<10 nm, the state of color misregistration is almost the same as when W=10 nm). Therefore, it is preferable to select W=10 nm if the reduction in S/N at this time is acceptable.
However, even in this case, since the above trade-off relationship is established, it is important to appropriately select the optimum value of W according to the situation.

10、50、60、70 撮像レンズ
11 撮像装置
11A、51、61、71 撮像素子部
12、52、62、72 色収差測定部
53、63、73 カラーフィルタ
15、55、65、75 測定用チャート
16、56、66、76 照明
Reference Signs List 10, 50, 60, 70 imaging lens 11 imaging device 11A, 51, 61, 71 imaging device section 12, 52, 62, 72 chromatic aberration measurement section 53, 63, 73 color filter 15, 55, 65, 75 chart for measurement 16 , 56, 66, 76 Illumination

Claims (4)

光源と、該光源からの照明光を照射される被写体としての収差測定用チャートと、該収差測定用チャートからの被写体光を所定位置に結像させる撮像レンズと、該撮像レンズにより結像された該収差測定用チャートの像を、カラー画像に係るB、G、Rの各信号に変換して出力する撮像素子と、該撮像レンズの倍率色収差に基づく色ずれ量を、該撮像素子から出力されたB、G、Rの各像の相関値を算出し、最大となる値を求めることにより取得する色収差測定部と、前記収差測定用チャートよりも光源側、前記収差測定用チャートと前記撮像レンズの間、および前記撮像レンズと前記撮像素子の間、のいずれかに配されたカラーフィルタと、を備え、
該カラーフィルタは、該撮像素子の分光特性においてB、G、Rの各波長領域のピーク値を中心とした所定幅の波長領域のみを透過させる分光特性を有することを特徴とする倍率色収差測定装置。
a light source, an aberration measurement chart as a subject irradiated with illumination light from the light source, an imaging lens for forming an image of the subject light from the aberration measurement chart at a predetermined position, and an image formed by the imaging lens An imaging device that converts the image of the aberration measurement chart into B, G, and R signals related to a color image and outputs them, and an imaging device that outputs the amount of color shift based on the chromatic aberration of magnification of the imaging lens. a chromatic aberration measuring unit obtained by calculating a correlation value of each image of B, G, and R and obtaining a maximum value; and a color filter arranged between the imaging lens and the imaging element,
The chromatic aberration of magnification measuring apparatus , wherein the color filter has a spectral characteristic of transmitting only a wavelength region of a predetermined width around a peak value of each of the B, G, and R wavelength regions in the spectral characteristics of the imaging device. .
前記所定幅の波長領域が40nm以下の幅とされていることを特徴とする請求項1記載の倍率色収差測定装置2. A magnification chromatic aberration measuring apparatus according to claim 1, wherein said wavelength region of said predetermined width has a width of 40 nm or less. 前記所定幅の波長領域が20nm以下の幅とされていることを特徴とする請求項1記載の倍率色収差測定装置2. A lateral chromatic aberration measuring apparatus according to claim 1, wherein said wavelength region of said predetermined width has a width of 20 nm or less. 前記所定幅の波長領域が10nm以上かつ20nm以下の幅とされていることを特徴とする請求項1記載の倍率色収差測定装置2. A lateral chromatic aberration measuring apparatus according to claim 1, wherein said predetermined wavelength range has a width of 10 nm or more and 20 nm or less.
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