JP7120688B1 - クリーニングヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することのできるクリーニングヘッドを提供することである。【解決手段】対象物Ｗの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物Ｗの縁部分の面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する吐出口２１と、対象物Ｗの前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口２２と、を有する構成となる。【選択図】図１４

Description

本発明は、クリーニングヘッドに関する。

従来、特許文献１に記載された除塵ヘッド（クリーニングヘッド）が知られている。この除塵ヘッドは、シート状のワークＷ（対象物）の縁部分に付着した塵埃を除去するものであって、気体を噴出する３つの吐出孔と気体を吸引する６つの吸引孔とを有している。具体的には、２つの吸引孔とその間に位置する１つの吐出口とが移動するワークＷの縁部分の表面に対向するように配置され、２つの吸引孔とその間に位置する１つの吐出口がワークＷの縁部分の裏面に対向するように配置され、更に、２つの吸引孔とその間に位置する１つの吐出口がワークＷの縁部分の縁線に対向するように配置されている。

このような構造の除塵装置では、シート状のワークＷが移動する状況において、３つの吐出孔から気体が噴出するとともに６つの吸引孔から気体が吸引される。これにより、移動するワークＷの表面、裏面、縁線に付着した塵埃が３つの吐出孔の３方向から噴出される気体によって吹き飛ばされ、それら吹き飛ばされた塵埃が気体とともに６つの吸引孔から３方向に吸引される。その結果、シート状のワークＷの縁部分の表面、裏面、及び縁線に付着した塵埃が除去される。

特開２０１８－８３１９６号公報

上述したような除塵ヘッドでは、ワークＷの縁部分の表面（裏面）に対して垂直に吐出孔から気体が噴出する（例えば、特許文献１の図９参照）ので、ワークＷの縁部分の縁線の内方に吹き飛ばされる塵埃が発生し得る。このような塵埃を、ワークＷの縁線に沿って並ぶ２つの吸引孔によって気体とともに有効に吸引することができない。このため、ワークＷの縁部分より内側の表面に塵埃が残ってしまう可能性がある。このようなことは、ワークＷの裏面側においても同様に生じ得る。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することのできるクリーニングヘッドを提供するものである。

本発明に係るクリーニングヘッドは、対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物の縁部分の面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する吐出口と、前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、構成となる。

このような構成により、対象物の縁部分の面に付着した塵埃は、吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃は、前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された吸引口により気体とともに吸引され得る。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、給気機構に結合される気体噴射室と、吸気機構に結合される気体吸引室と、前記気体噴射室と前記吐出口とをつなぐ給気経路と、前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、前記給気経路は、前記気体噴射室からの気体が前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに噴出するように誘導する傾斜誘導部を含む、構成とすることができる。

このような構成により、給気機構からの気体が気体噴射室から給気経路を通り吐出口に至る。給気経路を通る気体は、傾斜誘導部によって誘導されて吐出口から対象物の縁部分の面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、吸引口により気体とともに吸引され、吸気経路を通って気体吸引室に至る。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記吐出口はスリット状に形成され、前記給気経路は、前記スリット状の前記吐出口に続く２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を含む、構成とすることができる。

このような構成により、給気機構からの気体が気体噴射室から、給気経路における２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を通ってスリット状の吐出口から噴出される。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記２つの面の少なくとも一方の面には、前記気体の流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部が形成された、構成とすることができる。

このような構成により、給気経路における２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を気体が通過する際に、凹凸条部によってその通過する気体が振動するようになり、スリット状の吐出口から振動する状態の気体が噴出される。このような振動する状態の気体によって対象物の縁部分に付着した塵埃が除去され易くなり得る。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記傾斜誘導部は、前記２つの面の間に形成された壁であって、前記給気経路を流動する気体を前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに吐出するように誘導する傾斜誘導壁を含む、構成とすることができる。

このような構成により、給気経路を通る気体は、２つの面の間に形成された傾斜誘導壁によって誘導されて吐出口から対象物の縁部分の面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。

本発明に係るクリーニングヘッドは、表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物の表面に対して設けられる第１ヘッド部と、前記対象物の裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、前記第１ヘッド部は、前記対象物の前記縁部分の前記表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第１吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、前記第２ヘッド部は、前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、前記対象物の前記縁部分の前記縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第２吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、構成となる。

このような構成により、対象物の縁部分の表面に付着した塵埃は、第１ヘッド部の第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃は、第１ヘッド部の前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口により気体とともに吸引され得る。また、対象物の縁部分の裏面に付着した塵埃は、第２ヘッド部の第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃は、第２ヘッド部の前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された第２吸引口により気体とともに吸引される。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記第１ヘッド部は、給気機構に結合される第１気体噴射室と、吸気機構に結合される第１気体吸引室と、前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、前記第１気体吸引室と前記第１吸引口とをつなぐ第１吸気経路と、を有し、前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、前記第２ヘッド部は、給気機構に結合される第２気体噴射室と、吸気機構に結合される第２気体吸引室と、前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、前記第２気体吸引室と前記第２吸引口とをつなぐ第２吸気経路と、を有し、前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、構成とすることができる。

このような構成により、第１ヘッド部において、給気機構からの気体が第１気体噴射室から第１給気経路を通り第１吐出口に至る。第１給気経路を通る気体は、第１傾斜誘導部によって誘導されて第１吐出口から対象物の縁部分の表面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、第１吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の表面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、第１吸引口により気体とともに吸引され、第１吸気経路を通って第１気体吸引室に至る。また、第２ヘッド部において、給気機構からの気体が第２気体噴射室から第２給気経路を通り第２吐出口に至る。第２給気経路を通る気体は、第２傾斜誘導部によって誘導されて第２吐出口から対象物の縁部分の裏面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、第２吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の裏面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、第２吸引口により気体とともに吸引され、第２吸気経路を通って第２気体吸引室に至る。

本発明に係るクリーニングヘッドは、表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物の縁部分の表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、前記対象物の前記縁部分の裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、構成となる。

このような構成により、対象物の縁部分の表面に付着した塵埃は、第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。また、前記対象物の前記縁部分の裏面に付着した塵埃は、第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。前記対象物の縁部分の表面及び裏面のそれぞれから外方に吹き飛ばされる塵埃は、前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された吸引口により気体とともに吸引され得る。

本発明に係るクリーニングヘッドは、それぞれ給気機構に結合される第１気体噴射室及び第２気体噴射室と、吸気機構に結合される気体吸引室と、前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、構成とすることができる。

このような構成により、給気機構からの気体が第１気体噴射室から第１給気経路を通り第１吐出口に至る。第１給気経路を通る気体は、第１傾斜誘導部によって誘導されて第１吐出口から対象物の縁部分の表面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。また、給気機構からの気体が第２気体噴射室から第２給気経路を通り第２吐出口に至る。第２給気経路を通る気体は、第２傾斜誘導部によって誘導されて第２吐出口から対象物の縁部分の裏面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、第１吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の表面から外方に吹き飛ばされる塵埃、及び第２吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の裏面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、吸引口により気体とともに吸引され、吸気経路を通って気体吸引室に至る。

本発明に係るクリーニングヘッドは、シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１面と、前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２面と、を有し、前記第１面に、前記第２面に向う側に斜めに気体を噴出するように吐出口が形成され、前記第２面に気体を吸引する吸引口が形成され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、構成となる。

このような構成により、クリーニングヘッドは、シートに対して、第１面がシートの縁部分の表面に対向するとともに、第２面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けた状態で配置される。この状態で、第１面の吐出口から第２面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の表面に付着した塵埃は、前記吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第２面に形成された吸引口に気体とともに吸引され得る。

本発明に係るクリーニングヘッドは、シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、シートの表面に対して設けられる第１ヘッド部と、前記シートの裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、前記第１ヘッド部は、前記シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１ヘッド側第１面と、前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第１ヘッド側第２面と、を有し、前記第１ヘッド側第１面に、前記第１ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、前記第１ヘッド側第２面に、気体を吸引する第１吸引口が形成され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、前記第２ヘッド部は、前記シートの前記縁部分の裏面に対向するように配置される第２ヘッド側第１面と、前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２ヘッド側第２面と、を有し、前記第２ヘッド側第１面に、前記第２ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、前記第２ヘッド側第２面に、気体を吸引する第２吸引口が形成され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、構成となる。

このような構成により、第１ヘッド部は、シートに対して、第１ヘッド部側第１面がシートの縁部分の表面に対向するとともに、第１ヘッド側第２面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けた状態で配置されるとともに、第２ヘッドは、シートに対して、第２ヘッド部側第１面がシートの縁部分の裏面に対向するとともに、第２ヘッド側第２面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けた状態で配置される。第１ヘッド部及び第２ヘッド部がこのようにシートに対して配置された状態のクリーニングヘッドにおいて、第１ヘッド側第１面の第１吐出口から第１ヘッド側第２面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の表面に付着した塵埃は、前記第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第１ヘッド側第２面に形成された第１吸引口に気体とともに吸引され得る。また、第２ヘッド側第１面の第２吐出口から第２ヘッド側第２面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の裏面に付着した塵埃は、前記第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第２ヘッド側第２面に形成された第２吸引口に気体とともに吸引され得る。

本発明に係るクリーニングヘッドは、シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、溝部を構成する、相互に対向する第１面及び第２面と底面としての第３面とを有し、前記第１面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、前記第２面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、前記第３面に、気体を吸引する吸引口が形成され、前記第１面が前記シートの前記縁部分の前記表面に対向し、前記第２面が前記シートの縁部分の前記裏面に対向し、前記第３面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に配置され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、構成となる。

このような構成により、シートの縁部分の表面が第１面に対向し、当該シートの縁部分の裏面が第２面に対向し、シートの前記縁部分の縁線の外側に第３面が配置されるように、前記シートが前記第１面、前記第２面及び前記第３面（底面）で構成された溝部に対して配置される。この状態で、第１面の第１吐出口から第３面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の表面に付着した塵埃は、前記第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第３面に形成された吸引口に気体とともに吸引され得る。また、第２面の第２吐出口から第３面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の裏面に付着した塵埃は、前記第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第３面に形成された吸引口に気体とともに吸引され得る。

本発明に係るクリーニングヘッドによれば、吐出口から噴出する気体により対象物の縁部分から外方に吹き飛ばされた塵埃が、その対象物の縁部分の縁線より外側に配置された吸引口により気体とともに吸引され得るので、対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することができる。

図１は、スリッタによって切断されるシートの縁部分に配置された本発明の実施の一形態に係るクリーニングヘッドを示す斜視図である。 図２は、本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドの外観を示す側面図である。 図３は、本発明の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す正面図である。 図４は、クリーニングヘッドの図３におけるＡ１－Ａ１断面を示す断面図である。 図５は、クリーニングヘッドの図４におけるＢ１－Ｂ１断面を示す断面図である。 図６は、クリーニングヘッドの図３におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。 図７は、本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す図（側面図）である。 図８は、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドの外観を示す側面図である。 図９は、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す正面図である。 図１０は、クリーニングヘッドの図９におけるＡ２－Ａ２断面を示す断面図である。 図１１は、クリーニングヘッドの図１０におけるＢ２－Ｂ２断面を示す断面図である。 図１２は、クリーニングヘッドの図９におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。 図１３は、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す図（側面図）である。 図１４は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す側面図である。 図１５は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す平面図である。 図１６Ａは、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドの対象物に対する他の配置例を示す図（側面図）である。 図１６Ｂは、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドの対象物に対する更に他の配置例を示す図（側面図）である。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、例えば、図１に示すように使用することができる。

図１において、クリーニングヘッド１０は、長尺のシート（例えば、光学フィルムやプリント基板材料、二次電池材料）をある幅でその長手方向に切断するスリッタ―において使用される。スリッターにおいて、ローラ２００に対向するように円盤状のスリッター刃１００が設けられている。ロール（不図示）から繰り出されるシートがローラ２００と回転するスリッタ―刃１００との間を通過する過程で、スリッター刃１００によって長手方向に切断されて所定幅の２つのシート材Ｓ１、Ｓ２に分かれて送られていく。２つのシート材Ｓ１、Ｓ２の切断線Ｓ１ｃ、Ｓ２ｃのそれぞれをカバーするようにクリーニングヘッド１０が設けられている。クリーニングヘッド１０は、切断により発生してシート材Ｓ１、Ｓ２（対象物）それぞれの切断線Ｓ１ｃ、Ｓ２ｃ（縁線）からある幅の縁部分の表面及び裏面に付着した塵埃を除去する。

本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０は、図２乃至図６に示すように構成される。なお、図２はクリーニングヘッド１０の外観を示す側面図、図３はクリーニングヘッド１０を示す正面図、図４はクリーニングヘッド１０の図３におけるＡ１－Ａ１断面を示す断面図、図５はクリーニングヘッド１０の図４におけるＢ１－Ｂ１断面を示す断面図、また、図６はクリーニングヘッド１０の図３におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。

図２乃至図６において、このクリーニングヘッド１０は、それぞれ金属（例えば、アルミニウム）製のブロック体で構成される第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとを有する。第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとは、同じ構造であって、相互に対向し、対称的に配置される。なお、第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとは、連結プレート等（図示略）により結合されることにより一体化されている。

第１ヘッド部１０ａの背面には給気ポート１１ａと排気ポート１２ａが設けられ、第２ヘッド部１０ｂの背面にも給気ポート１１ｂと排気ポート１２ｂが設けられている（図２参照）。給気ポート１１ａ、１１ｂのそれぞれは、コンプレッサー等の高圧エア（気体）を送り出す給気機構（図示略）に接続される。排気ポート１２ａ、１２ｂのそれぞれは、エアを吸引するバキューム装置等の吸気機構（図示略）に接続される。第１ヘッド部１０ａの第２ヘッド部１０ｂに対向する側に、第１ヘッド側第１面１３ａと、第１ヘッド側第１面１３ａの端縁から第２ヘッド部１０ｂ側に直角に立ち上がる第１ヘッド側第２面１４ａとが形成されている。また、第２ヘッド部１０ｂの第１ヘッド部１０ａに対向する側に、第２ヘッド側第１面１３ｂと、第２ヘッド側第１面１３ｂの縁端から第１ヘッド部１０ａ側に直角に立ち上がる第２ヘッド側第２面１４ｂとが形成されている。

第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとは、第１ヘッド側第１面１３ａと第２ヘッド側第１面１３ｂとが所定の間隔をもって対向するとともに、第１ヘッド側第２面１４ａと第２ヘッド側第２面１４ｂとが同じ方向（前方）を向いて僅かな隙間をもって並ぶように、配置されている。そして、相互に対向する第１ヘッド側第１面１３ａ及び第２ヘッド側第１面１３ｂと、同じ方向を向いて僅かな隙間をもって並んで配置される第１ヘッド側第２面１４ａ及び第２ヘッド側第２面１４ｂとによって形成される溝部１５に、除塵の対象物であるシートＳの縁部分が通るように、シートＳに対してクリーニングヘッド１０がセットされる（図１、図２参照）。

第１ヘッド側第１面１３ａには、第１ヘッド側第２面１４ａに向かう方向（例えば、第１ヘッド側第２面１４ａに対して垂直な方向、図５における紙面に垂直な方向、図６における左右方向）に延びるスリット状の第１吐出口２１ａが形成されている（図５、図６参照）。第１吐出口２１ａは、溝部１５を通るシートＳ（対象物）の縁部分の一方の面（表面）に対向するようになる（図４参照）。第２ヘッド側第１面１３ｂにも、第２ヘッド側第２面１４ｂに向かう方向（例えば、第２ヘッド側第２面１４ｂに対して垂直な方向）に延びるスリット状の第２吐出口２１ｂが形成されている。第２吐出口２１ｂは、溝部１５を通るシートＳ（対象物）の縁部分の他方の面（裏面）に対向するようになる（図４参照）。

また、シートＳの縁部分の縁線より外側に配置される第１ヘッド側第２面１４ａにはシートＳの移動方向（図３、図５において横方向）側に長い長方形状の第１吸引口２２ａが形成されている（図３、図５参照）。また、シートＳの縁部分の縁線より外側に配置される第２ヘッド側第２面１４ｂにも、シートＳの移動方向側に長い長方形状の第２吸引口２２ｂが形成されている（図３、図５参照）。

特に、図４を参照するに、第１ヘッド部１０ａには、給気ポート１１ａからつながる第１気体噴射室２３ａが形成され、更に、第１気体噴射室２３ａと第１ヘッド側第１面１３ａに形成された第１吐出口２１ａとをつなぐ第１給気経路２５ａが形成されている。給気機構から給気ポート１１ａを介して第１ヘッド部１０ａに導入される高圧エアは、第１気体噴射室２３ａ及び第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に向けて噴出するようになる。

また、第１ヘッド部１０ａには、排気ポート１２ａにつながる第１気体吸引室２４ａが形成され、更に、第１気体吸引室２４ａと第１ヘッド側第２面１４ａに形成された第１吸引口２２ａとをつなぐ第１吸気経路２７ａが形成されている。吸気機構の吸気作用により、第１吸引口２２ａを通して吸引されるエアは、第１吸気経路２７ａ及び第１気体吸引室２４ａを通り、排気ポート１２ａから吸気機構に向けて排出されるようになる。

第２ヘッド部１０ｂには、第１ヘッド部１０ｂと同じように、給気ポート１１ｂからつながる第２気体噴射室２３ｂが形成され、更に、第２気体噴射室２３ｂと第２ヘッド側第１面１３ｂに形成された第２吐出口２１ｂとつなぐ第２給気経路２５ｂが形成されている。給気機構から給気ポート１１ｂを介して第２ヘッド部１０ｂに導入される高圧エアは、第２気体噴射室２３ｂ及び第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に向けて噴出するようになる。

また、第２ヘッド部１０ｂには、第１ヘッド部１０ａと同じように、排気ポート１２ｂにつながる第２気体吸引室２４ｂが形成され、更に、第２気体吸引室２４ｂと第２ヘッド側第２面１４ｂに形成された第２吸引口２２ｂとをつなぐ第２吸気経路２７ｂが形成されている。吸気機構の吸気作用により、第２吸引口２２ｂを通して吸引されるエアは、第２吸気経路２７ｂ及び第２気体吸引室２４ｂを通り、排気ポート１２ｂから吸気機構に向けて排出されるようになる。

第１ヘッド部１０ａにおいて、第１給気経路２５ａは、第１ヘッド側第１面１３ａにスリット状に形成された第１吐出口２１ａに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され（図５、図６参照）、第１吐出口２１ａにおいて開放される。第１給気経路２５ａの第１吐出口２１ａに至る直前の部分には、当該第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する前記２つの面の間に形成され、第１吐出口２１ａから噴出するエアを第１ヘッド側第２面１４ａ側に誘導する第１傾斜誘導壁２６ａ（第１傾斜誘導部）が形成されている。この第１傾斜誘導壁２６ａにより、第１給気経路２５ａを通るエアは、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図４参照）。

第２ヘッド部１０ｂにおいて、第２給気経路２５ｂは、第２ヘッド側第１面１３ｂにスリット状に形成された第２吐出口２１ｂに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され、第２吐出口２１ｂにおいて開放される。第２給気経路２５ｂの第２吐出口２１ｂに至る直前の部分には、当該第２吸気経路２５ｂを形成する前記２つの面の間に形成され、第２吐出口２１ｂから噴出するエアを第２ヘッド側第２面１４ｂ側に誘導する第２傾斜誘導壁２６ｂ（第２傾斜誘導部）が形成されている。この第２傾斜誘導壁２６ｂにより、第２吸気経路２５ｂを通るエアは、第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図４参照）。

第１ヘッド部１０ａにおいて、第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する２つの面の一方には、図４とともに図５に示すように、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。第２ヘッド部１０ｂにおいても、第２給気経路２５ｂ（隙間）を形成する２つの面の一方には、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。なお、第１給気経路２５ａ（隙間）及び第２吸気経路２５ｂ（隙間）のそれぞれを形成する２つの面の双方に凹凸条部ＳＴを形成するようにしてもよい。また、凹凸条溝ＳＴに代えて、複数の突起を設けるようにしてもよい。

上述したようなクリーニングヘッド１０は、前述したように第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとの間に形成される溝部１５に長手方向に移動するシートＳの縁部分が通るように（図１、図２参照）、当該シートＳに対してセットされた状態で、次のように動作する。

第１ヘッド部１０ａにおいて、給気ポート１１ａを介して給気機構に結合する第１気体噴射室２３ａは、当該給気機構から高圧エアが供給されている状態に維持される。このような状態で、第１気体噴射室２３ａからの高圧エアが第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａに至る。第１給気経路２５ａを通る高圧エアは、第１傾斜誘導壁２６ａによって誘導され、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図４参照）。そして、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。

排気ポート１２ａを介して吸気機構に結合する第１気体吸引室２４ａは、当該吸気機構の吸気作用によりエアが引かれている状態にある。このようにエアが引かれている状態の第１気体吸引室２４ａを介した前記吸気作用が、更に、第１吸気経路２７ａを通して第１吸引口２２ａに至り、その吸気作用によって、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより吹き飛ばされる前記塵埃がエアとともに第１吸引口２２ａから吸引される。そして、第１吸引口２２ａから吸引されるエア及び塵埃が第１吸気経路２７ａ及び第１気体吸引室２４ａを通して排気ポート１２ａから排出される。排気ポート１２ａからエアとともに排出される塵埃は、吸気機構に至る前にフィルタ等（図示略）により除去される。

このようにして、移動するシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃が第１ヘッド部１０ａにより除去されていく。

第２ヘッド部１０ｂにおいても、第１ヘッド部１０ａと同様に、給気ポート１１ｂを介して給気機構に結合する第２気体噴射室２３ｂからの高圧エアが第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂに至る。第２給気経路２５ｂを通る高圧エアが、第２傾斜誘導壁２６ｂによって誘導され、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図４参照）。そして、第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。このように第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアによりシートＳの縁部分の裏面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、第１ヘッド部１０ａの場合と同様に、吸気機構の吸気作用によって、第２吸引口２２ｂからエアとともに吸引され、第２吸気経路２７ｂを通って第２気体吸引室２４ｂに至り、排気ポート１１ｂから排出される。

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１ヘッド部１０ａにおける第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされ、その吹き飛ばされる塵埃がシートＳの縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口２２ａによりエアとともに吸引されるので、シートＳの縁部分の表面に付着した塵埃を確実に除去することができる。また、第２ヘッド部１０ｂにおける第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の裏面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされ、その吹き飛ばされた塵埃がシートＳの縁部分の縁線より外側に配置された第２吸引口２２ｂよりエアとともに吸引されるので、シートＳの縁部分の裏面に付着した塵埃を確実に除去することができる。このように、シートＳの縁部分の表面及び裏面の両面に付着した塵埃を確実に除去することができる。

また、第１ヘッド部１０ａにおいて、２つの面で挟まれた隙間として構成される第１給気経路２５ａの一方の面に凹凸条部ＳＴが形成されているので、第１給気経路２５ａを通過してスリット状の第１吐出口２１ａから高圧エアが振動（例えば、超音波振動）する状態で噴出し得る。このため、そのような振動する状態の高圧エアによってシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃をより確実に除去することができる。このようなことは、２つの面で挟まれた隙間として形成された第２給気経路２５ｂの一方の面に凹凸条部ＳＴが形成されている第２ヘッド部１０ｂにおいても同様に得ることができる。

なお、第１傾斜誘導壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの傾斜の度合いは、特に限定されない。また、第１誘導傾斜壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの形状も特に限定されず、平面形状であっても曲面形状であってもよい。

また、スリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの長さ（シートＳの幅方向の長さ、図６における横方向の長さ）は、特に限定されない。また、そのスリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの延びる方向も特に限定されない。

図７は、前述した本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す。

このクリーニングヘッド１０は、例えば、所定の厚さを有する板状の対象物Ｗ（物体）の縁部分の表面及び裏面のそれぞれに付着した塵埃Ｄを除去する。

図７において、このクリーニングヘッド１０は、対象物Ｗの表面に対して設けられる第１ヘッド部１０ａと、対象物Ｗの裏面に対して設けられる第２ヘッド部１０ｂとを有する。第１ヘッド部１０ａは、対象物Ｗの縁部分の表面に対向して配置され、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに、給気ポート１１ａを介して給気機構から供給される高圧エア（気体）を噴出する第１吐出口２１ａを有している。また、第１ヘッド部１０ａは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置され、その縁部分側に開口し、排気ポート１２ａを介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する第１吸引口２２ａを有している。

第２ヘッド部１０ｂは、対象物Ｗの縁部分の裏面に対向して配置され、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに、第２給気ポート１１ｂを介して給気機構から供給される高圧エア（気体）を噴出する第１吐出口２１ｂを有している。また、第２ヘッド部１０ｂは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置され、その縁部分側に開口し、第２排気ポート１２ｂを介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する第２吸引口２２ｂを有している。

上記構成のクリーニングヘッド１０では、対象物Ｗの縁部分の表面に付着した塵埃Ｄは、第１ヘッド部１０ａの第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃Ｄは、第１ヘッド部１０ａの対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口２２ａによりエアとともに吸引される。また、対象物Ｗの縁部分の裏面に付着した塵埃Ｄは、第２ヘッド部１０ｂの第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃Ｄは、第２ヘッド部１０ｂの対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置された第２吸引口２２ｂによりエアとともに吸引される。

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアにより対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面のそれぞれから外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口２２ａ及び第２吸引口２２ｂによりエアとともに吸引されるので、対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。

次に、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドについて説明する。第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、前述した第１ヘッド部１０ａの機能及び第２ヘッド部１０ｂの機能を単一のブロック体に収めたことを特徴としている。

本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０は、図８乃至図１２に示される。なお、図８はクリーニングヘッド１０の外観を示す側面図であり、図９はクリーニングヘッド１０を示す正面図である。また、図１０はクリーニングヘッド１０の図９におけるＡ２－Ａ２断面を示す断面図であり、図１１はクリーニングヘッド１０の図１０におけるＢ２－Ｂ２断面を示す断面図であり、更に、図１２は、クリーニングヘッド１０の図９におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。

例えば金属製の単一ブロック体で構成されるクリーニングヘッドの背面には、２つの給気ポート１１ａ、１１ｂと、それら２つの給気ポート１１ａ、１１ｂの間に配置された排気ポート１２とが設けられている（図８参照）。２つの給気ポート１１ａ、１１ｂは給気機構（図示略）に接続され、排気ポート１２は吸気機構に接続されている。

クリーニングヘッド１０の前面には前方に向けて開口し、当該クリーニングヘッド１０の幅方向（図８における紙面に垂直な方向、図９における横方向）、に延びる溝部１５が形成されている。溝部１５は、所定の間隔をもって対向する第１面１５ａと第２面１５ｂと、底面としての第３面１５ｃとによって構成される。そして、このクリーニングヘッド１０は、溝部１５に除塵の対象物であるシートＳの縁部分が通るように、シートＳに対してセットされる（図８参照）。クリーニングヘッド１０がシートＳに対してセットされた状態で、第１面１５ａがシートＳの縁部分の表面に対向し、第２面１５ｂがシートＳの縁部分の裏面に対向し、第３面１５ｃがシート１５の長手方向の縁線に対向する。

溝部１５の第１面１５ａには、第３面１５ｃに向う方向（例えば、第３面１５ｃに対して垂直な方向：図１１における紙面に垂直な方向、図１２における横方向）に延びるスリット状の第１吐出口２１ａが形成されている（図１１、図１２）。第１吐出口２１ａは、溝部１５を通るシートＳの縁部分の一方の面（表面）に対向するようになる（図１０参照）。溝部１５の第２面１５ｂにも、第３面１５ｃに向う方向（例えば、第３面１５ｃに対して垂直な方向）に延びるスリット状の第２吐出口２１ｂが形成されている。第２吐出口２１ｂは、溝部１５を通るシートＳの縁部分の他方の面（裏面）に対向するようになる（図１０参照）。また、第３面１５ｃには、第３面１５ｃの幅（溝幅）を一辺とする正方形状の吸引口２２が形成されている（図９、図１１参照）。吸引口２２は、溝部１５を通るシートＳの縁部分の縁線に対向するようになる。

特に、図１０を参照するに、溝部１５における第１面１５ａから上側部分には、給気ポート１１ａからつながる第１気体噴射室２３ａが形成され、更に、第１気体噴射室２３ａと溝部１５の第１面１５ａに形成された第１吐出口２１ａとをつなぐ第１給気経路２５ａが形成されている。給気機構から給気ポート１１ａを介してクリーニングヘッド１０に導入される高圧エアは、第１気体噴射室２３ａ及び第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に向けて噴出するようになる。

溝部１５における第２面１５ｂから下側部分には、給気ポート１１ｂからつながる第２気体噴射室２３ｂが形成され、更に、第２気体噴射室２３ｂと溝部１５の第２面１５ｂに形成された第２吐出口２１ｂとをつなぐ第２給気経路２５ｂが形成されている。給気機構から給気ポート１１ｂを介してクリーニングヘッド１０に導入される高圧エアは、第２気体噴射室２３ｂ及び第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に向けて噴射するようになる。

また、クリーニングヘッド１０の溝部１５の第３面１５ｃ（底面）より背面側の部分に、第１気体噴射室２３ａと第２気体噴射室２３ｂとに挟まれるように、排気ポート１２につながる気体吸引室２４が形成されている。更に、クリーニングヘッド１０には、気体吸引室２４と溝部１５の第３面１５ｃ（底面）に形成された吸引口２２とをつなぐ吸気経路２７が形成されている。吸気機構の吸気作用により、吸引口２２を通して吸引されるエアは、吸気経路２７及び気体吸引室２４を通り、排気ポート１２ａから吸気機構に向けて排出されるようになる。

第１給気経路２５ａは、溝部１５の第１面１５aにスリット状に形成された第１吐出口２１ａに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され（図１１、図１２参照）、第１吐出口２１ａにおいて開放される。第１給気経路２５ａの第１吐出口２１ａに至る直前の部分には、当該第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する前記２つの面の間に形成され、第１吐出口２１ａから噴出するエアを溝部１５の第３面１５ｃ（底面）側に誘導する第１傾斜誘導壁２６ａ（第１傾斜誘導部）が形成されている。この第１傾斜誘導壁２６ａにより、第１給気経路２５ａを通るエアは、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図１０参照）。

また、第２給気経路２５ｂは、溝部１５の第２面１５ｂにスリット状に形成された第２吐出口２１ｂに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され、第２吐出口２１ｂにおいて開放される。第２給気経路２５ｂの第２吐出口２１ｂに至る直前の部分には、当該第２吸気経路２５ｂを形成する前記２つの面の間に形成され、第２吐出口２１ｂから噴出するエアを溝部１５の第３面１５ｃ（底面）側に誘導する第２傾斜誘導壁２６ｂ（第２傾斜誘導部）が形成されている。この第２傾斜誘導壁２６ｂにより、第２吸気経路２５ｂを通るエアは、第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図１０参照）。

第１の実施の形態の場合（図４、図５参照）と同様に、第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する２つの面の一方には、図１０とともに図１１に示すように、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。また、第２給気経路２５ｂ（隙間）を形成する２つの面の一方にも、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。

このようなクリーニングヘッド１０では、給気機構から給気ポート１１ａを介して供給される高圧エアは、第１気体噴射室２３ａ及び第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａに至る。第１給気経路２５ａを通る高圧エアは、第１傾斜誘導壁２６ａによって誘導され、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図１０参照）。そして、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。

また、給気機構から給気ポート１１ｂを介して供給される高圧エアは、第２気体噴射室２３ｂ及び第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂに至る。第２給気経路２５ｂを通る高圧エアは、第２傾斜誘導壁２６ｂによって誘導され、第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図１０参照）。そして、第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。

排気ポート１２を介して吸気機構に結合する気体吸引室２４は、当該吸気機構の吸気作用によりエアが引かれている状態にある。このようにエアが引かれている状態の気体吸引室２４を介した前記吸気作用が、更に、吸気経路２７を通して吸引口２２に至り、その吸気作用によって、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより吹き飛ばされるシートＳの縁部分の表面に付着した前記塵埃が、また、第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアにより吹き飛ばされるシートＳの縁部分の裏面に付着した前記塵埃が、エアとともに吸引口２２から吸引される。そして、吸引口２２から吸引されるエア及び塵埃が吸気経路２７及び気体吸引室２４を通して排気ポート１２から排出される。排気ポート１２からエアとともに排出される塵埃は、吸気機構に至る前にフィルタ等（図示略）により除去される。

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされ、また、第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の裏面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされる。そして、シートＳの縁部分の表面及び裏面のそれぞれから吹き飛ばされる塵埃がシートＳの縁部分の縁線より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、シートＳの縁部分の表面及び裏面に付着した塵埃を確実に除去することができる。

なお、第１の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０の場合と同様に、第１給気経路２５ａ（第２給気経路２５ｂ）の一方の面に凹凸条部ＳＴが形成されているので、スリット状の第１吐出口２１ａ（第２吐出口２１ｂ）から高圧エアが振動（例えば、超音波振動）する状態で噴出し得る。このため、そのような振動する状態の高圧エアによってシートＳの縁部分の表面（裏面）に付着した塵埃をより確実に除去することができる。

また、第１の実施の形態の場合と同様に、第１傾斜誘導壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの傾斜の度合いは、特に限定されず、第１誘導傾斜壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの形状も特に限定されない。更に、スリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの長さ（シートＳの幅方向の長さ、図１２における横方向の長さ）は、特に限定されず、そのスリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの延びる方向も特に限定されない。

図１３は、前述した本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す。

このクリーニングヘッド１０は、例えば、所定の厚さを有する板状の対象物Ｗ（物体）の縁部分の表面及び裏面のそれぞれに付着した塵埃Ｄを除去する。

図１３において、このクリーニングヘッド１０は、相互に対向する第１面１５a及び第１面１５ｂと、底面としての第３面１５ｃとで構成される溝部１５を有し、対象物Ｗの縁部分が溝部１５ないを通過するようにセットされる。クリーニングヘッド１０は、溝部１５の第１面１５ａに形成されて、対象物Ｗの縁部分の表面に対向して配置される第１吐出口２１ａと、溝部１５の第２面１５ｂに形成されて、対象物Ｗの縁部分の裏面に対向して配置される第２吐出口２１ｂと、溝部１５の第３面１５ｃ（底面）に形成されて、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置されされる吸引口２２とを有している。第１吐出口２１ａは、給気ポート１１ａを介して給気機構から供給される高圧エアを、対象物Wの縁部分から外方に向う側に斜めに噴出する。第２吐出口２１ｂは、給気ポート１１ｂを介して給気機構から供給される高圧エアを、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに噴出する。吸引口２２は、対象物Ｗの縁部分側に開口して、排気ポート１２を介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する。

上記構成のクリーニングヘッド１０では、対象物Ｗの縁部分の表面に付着した塵埃Ｄは、第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。また、対象物Ｗの前記縁部分の裏面に付着した塵埃Ｄは、第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面のそれぞれから外方に吹き飛ばされる塵埃Ｄは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置された吸引口２２により気体とともに吸引される。

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアにより対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面から外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、Ｗ対象物の縁部分に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。

次に、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドについて説明する。第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、板状の対象物Ｗの一方の面（表面）だけを対象として、塵埃を除去することを特徴としている。

本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、図１４及び図１５に示すように構成される。なお、図１４は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す側面図であり、図１５は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す平面図である。

図１４及び図１５において、このクリーニングヘッド１０は、対象物Ｗの縁部分の一方の面（表面）に対向して配置され、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに、給気ポート１１を介して給気機構から供給される高圧エア（気体）を噴出する吐出口２１を有している。また、クリーニングヘッド１０は、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置され、その縁線部側に開口し、排気ポート１２を介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する吸引口２２を有している。

上記構成のクリーニングヘッド１０では、対象物Ｗの縁部分の表面に付着した塵埃Ｄは、吐出口２１から噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。そして、対象物Ｗの縁部分の表面から外方に吹き飛ばされる塵埃Ｄは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置された吸引口２２により気体とともに吸引される。このように、吐出口２１から噴出する高圧エアにより対象物Ｗの縁部分の表面から外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、Ｗ対象物の縁部分に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。

なお、第３の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０は、所定の厚さを有する板状の対象物Ｗ（物体）に対して、例えば、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すようにセットすることができる。これらの場合、クリーニングヘッド１０は対象物Ｗの端面に対向するように配置される。対象物Ｗの端面縁部分に付着した塵埃Ｄは、吐出口２１から噴出する高圧エアによりその端面縁部分から外方に吹き飛ばされる。そして、対象物Ｗの端面縁部分から外方に吹き飛ばされる塵埃Ｄは、対象物Ｗの端面縁部分より外側に配置された吸引口２２により気体とともに吸引される。このように、吐出口２１から噴出する高圧エアにより対象物Ｗの端面縁部分ら外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの端面縁部分より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、Ｗ対象物の端面縁部分に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、この実施の形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

本発明に係るクリーニングヘッドは、対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することができるという効果を有し、対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドとして有用である。

１０ クリーニングヘッド
１０a 第１ヘッド部
１０ｂ 第２ヘッド部
１１、１１ａ、１１ｂ 給気ポート
１２、１２ａ、１２ｂ 排気ポート
１３ａ 第１ヘッド側第１面
１３ｂ 第１ヘッド側第２面
１４a 第２ヘッド側第１面
１４ｂ 第２ヘッド側第２面
１５ 溝部
２１ 吐出口
２１a 第１吐出口
２１ｂ 第２吐出口
２２ 吸引口
２２a 第１吸引口
２２ｂ 第２吸引口
２３a 第１気体噴射室
２３ｂ 第２気体噴射室
２４a 第１気体吸引室
２４ｂ 第２気体吸引室
２５a 第１給気経路
２５ｂ 第２給気経路
２６a 第１傾斜誘導壁
２６ｂ 第２傾斜誘導壁
２７a 第１吸気経路
２７ｂ 第２給気経路
ＳＴ 凹凸条部

Claims (12)

1. 対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
   対象物の縁部分の面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する吐出口と、
   前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、
   前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。
2. 給気機構に結合される気体噴射室と、
   吸気機構に結合される気体吸引室と、
   前記気体噴射室と前記吐出口とをつなぐ給気経路と、
   前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、
   前記給気経路は、前記気体噴射室からの気体が前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに噴出するように誘導する傾斜誘導部を含む、請求項１記載のクリーニングヘッド。
3. 前記吐出口はスリット状に形成され、
   前記給気経路は、前記スリット状の前記吐出口に続く２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を含む、請求項２記載のクリーニングヘッド。
4. 前記２つの面の少なくとも一方の面には、前記気体の流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部が形成された、請求項３記載のクリーニングヘッド。
5. 前記傾斜誘導部は、前記２つの面の間に形成された壁であって、前記給気経路を流動する気体を前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに吐出するように誘導する傾斜誘導壁を含む、請求項３または４記載のクリーニングヘッド。
6. 表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
   対象物の表面に対して設けられる第１ヘッド部と、
   前記対象物の裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、
   前記第１ヘッド部は、
   前記対象物の前記縁部分の前記表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、
   前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第１吸引口と、を有し、
   前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、
   前記第２ヘッド部は、
   前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、
   前記対象物の前記縁部分の前記縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第２吸引口と、を有し、
   前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。
7. 前記第１ヘッド部は、
   給気機構に結合される第１気体噴射室と、
   吸気機構に結合される第１気体吸引室と、
   前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、
   前記第１気体吸引室と前記第１吸引口とをつなぐ第１吸気経路と、を有し、
   前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、
   前記第２ヘッド部は、
   給気機構に結合される第２気体噴射室と、
   吸気機構に結合される第２気体吸引室と、
   前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、
   前記第２気体吸引室と前記第２吸引口とをつなぐ第２吸気経路と、を有し、
   前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、請求項６記載のクリーニングヘッド。
8. 表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
   対象物の縁部分の表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、
   前記対象物の前記縁部分の裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、
   前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、
   前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、クリーニングヘッド。
9. それぞれ給気機構に結合される第１気体噴射室及び第２気体噴射室と、
   吸気機構に結合される気体吸引室と、
   前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、
   前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、
   前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、
   前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、
   前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、請求項８記載のクリーニングヘッド。
10. シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
    シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１面と、
    前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２面と、を有し、
    前記第１面に、前記第２面に向う側に斜めに気体を噴出するように吐出口が形成され、
    前記第２面に気体を吸引する吸引口が形成され、
    前記シートの前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。
11. シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
    シートの表面に対して設けられる第１ヘッド部と、
    前記シートの裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、
    前記第１ヘッド部は、
    前記シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１ヘッド側第１面と、
    前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第１ヘッド側第２面と、を有し、
    前記第１ヘッド側第１面に、前記第１ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、
    前記第１ヘッド側第２面に、気体を吸引する第１吸引口が形成され、
    前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、
    前記第２ヘッド部は、
    前記シートの前記縁部分の裏面に対向するように配置される第２ヘッド側第１面と、
    前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２ヘッド側第２面と、を有し、
    前記第２ヘッド側第１面に、前記第２ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、
    前記第２ヘッド側第２面に、気体を吸引する第２吸引口が形成され、
    前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。
12. シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
    溝部を構成する、相互に対向する第１面及び第２面と底面としての第３面とを有し、
    前記第１面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、
    前記第２面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、
    前記第３面に、気体を吸引する吸引口が形成され、
    前記第１面が前記シートの前記縁部分の前記表面に対向し、前記第２面が前記シートの縁部分の前記裏面に対向し、前記第３面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に配置され、
    前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、クリーニングヘッド。

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