JP7120067B2 - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Description
図1、図2A、図2B、及び図3を用いて、一実施形態の分析用ユニットを説明する。図1は一実施形態の分析用ユニットをカートリッジ側から見た状態を示している。図2Aは図1のA-Aで切断した分析用ユニットの断面を示している。図2Bはカートリッジを分析用基板より取り外した状態を示している。図3は図1のウェルをB-Bで切断した状態を部分的に拡大して示している。
図4を用いて、第1実施形態の洗浄装置を説明する。図4は第1実施形態の洗浄装置1の構成例を示している。洗浄装置1は、ステージ2と、ステージ駆動部3と、洗浄ユニット10と、制御部30とを備える。洗浄ユニット10は、吐出ノズル11と、吸引ノズル12と、ノズルヘッド13と、洗浄液吐出駆動部14と、洗浄液吸引駆動部15と、洗浄液用容器16と、廃液用容器17とを有する。
図9を用いて、第2実施形態の洗浄装置を説明する。図9は第2実施形態の洗浄装置201の構成例を示している。説明をわかりやすくするために、第1実施形態の洗浄装置1と同じ構成部には同じ符号を付す。
2 ステージ
11 吐出ノズル
12,12a~12r 吸引ノズル
13 ノズルヘッド
18,218 ノズルユニット
30 制御部
100 分析用ユニット
130,130a~130r ウェル
CS 洗浄液
RS 残留物
Claims (5)
- 底面と内周面とを含む穴形状を有するウェルが形成されている分析用ユニットが装着されるステージと、
前記ウェル内へ溶液を吐出する吐出ノズルと前記ウェル内へ吐出された前記溶液を吸引する吸引ノズルとを有する複数のノズルユニットと、
前記複数のノズルユニットが固定されているノズルヘッドと、
前記溶液を前記吐出ノズルから前記ウェル内へ吐出させ、前記ウェル内へ吐出された前記溶液を前記吸引ノズルにより吸引させ、前記ステージを所定の角度単位で回転させる制御部と、
を備え、
前記複数のノズルユニットは、それぞれが有する前記吸引ノズルが前記ウェルに対して互いに異なる位置に配置されるように、前記ノズルヘッドに固定され、
前記制御部は、前記ウェル内へ吐出された前記溶液が前記吸引ノズルにより吸引された後に、前記分析用ユニットが装着されている前記ステージを前記所定の角度だけ回転させ、前記複数のノズルユニットのうち、前記所定の角度だけ回転させた位置に対応する吸引ノズルにより前記溶液の残留物を吸引させる、
洗浄装置。 - 前記制御部は、前記ステージと前記ノズルヘッドとが接近するように少なくともいずれかを移動させ、
前記ノズルヘッドは、前記ステージと前記ノズルヘッドとが接近した状態において、前記吸引ノズルの先端が前記ウェルの前記底面及び前記内周面の近傍に位置するように、前記ノズルユニットが固定されている、
請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記穴形状を有する複数のウェルが、前記分析用ユニットの中心に対して同一円周上に等間隔で配置され、
前記所定の角度は、前記複数のウェルのうち隣接する2つウェルが成す角度の整数倍である、
請求項1または2に記載の洗浄装置。 - 前記ノズルユニットのそれぞれは、複数の吸引ノズルを有し、前記複数の吸引ノズルは、隣接するノズルユニットが有する複数の吸引ノズルのいずれとも前記ウェルに対して互いに異なる位置に配置されるように、前記ノズルヘッドに固定されている、
請求項1~3のいずれか1項に記載の洗浄装置。 - 制御部が、吐出ノズルから、分析用ユニットに形成されて底面と内周面とを含む穴形状を有するウェル内へ溶液を吐出し、
前記制御部が、前記ウェル内へ吐出された前記溶液を吸引ノズルにより吸引し、
前記制御部が、前記分析用ユニットが装着されているステージを所定の角度だけ回転させ、前記吐出ノズルと前記吸引ノズルとを有する複数のノズルユニットのうち、前記所定の角度だけ回転させた位置に対応する吸引ノズルにより前記溶液の残留物を吸引させる、
洗浄方法。
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