JP7066578B2 - Organic electronic devices and substrates for organic electronic devices - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 70
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 41
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 38
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 38
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 38
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 30
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 21
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 17
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 15
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims description 14
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 12
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 12
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 claims description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 claims description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 153
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 21
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 15
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 239000011254 layer-forming composition Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical class OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 6
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical class CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 aluminum phosphate salt compound Chemical class 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- 229910001335 Galvanized steel Inorganic materials 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K aluminium phosphate Chemical compound O1[Al]2OP1(=O)O2 ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000008397 galvanized steel Substances 0.000 description 2
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000013772 propylene glycol Nutrition 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 2
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910017119 AlPO Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 229910007567 Zn-Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007614 Zn—Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000010960 cold rolled steel Substances 0.000 description 1
- 239000000306 component Substances 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- WZWSOGGTVQXXSN-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone;toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1.O=C1CCCCC1 WZWSOGGTVQXXSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N dodecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)iron;iron Chemical compound [Fe].O[Fe]=O.O[Fe]=O UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- KCAMXZBMXVIIQN-UHFFFAOYSA-N octan-3-yl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCC(CC)OC(=O)C(C)=C KCAMXZBMXVIIQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229920005792 styrene-acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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Description
本発明は、有機電子デバイス及び有機電子デバイス用基板に関する。 The present invention relates to an organic electronic device and a substrate for an organic electronic device.
有機半導体を利用した有機電子デバイスは、柔軟で薄型化でき、さらに省電力であるため有機EL(エレクトロルミネッセンス)照明や太陽電池等への応用が期待されている。有機EL照明は、少なくとも有機半導体を含む発光層が必要であり、さらに発光効率を高めるため電荷注入層や電荷輸送層等を備える。また、太陽電池は、電子供与体、電子受容体等を備える。 Organic electronic devices using organic semiconductors are expected to be applied to organic EL (electroluminescence) lighting, solar cells, etc. because they are flexible, thin, and power-saving. Organic EL lighting requires at least a light emitting layer containing an organic semiconductor, and further includes a charge injection layer, a charge transport layer, and the like in order to improve the luminous efficiency. Further, the solar cell includes an electron donor, an electron acceptor, and the like.
ところで、有機半導体は電荷移動度が低いため、極薄い膜状で利用されることが多く、数十nmから数μmの厚さの層に形成されることが一般的である。そのため、有機半導体を積層する基板(下地材料)に凹凸があると素子短絡の原因になり、製造歩留りを低下させる。 By the way, since organic semiconductors have low charge mobility, they are often used in the form of ultra-thin films, and are generally formed in layers having a thickness of several tens of nm to several μm. Therefore, if the substrate (base material) on which the organic semiconductor is laminated has irregularities, it may cause an element short circuit and reduce the manufacturing yield.
そこで、基板の異常突起を平坦化するため、ポリッシングを行ったガラス基板上に膜厚0.1μm~数十μmの樹脂塗膜を塗装する有機EL素子が提案されている(特開2000-21563号公報参照)。しかしながら、ガラス基板を用いた有機電子デバイスは、曲面への設置に適さず、用途が限定される。 Therefore, in order to flatten the abnormal protrusions on the substrate, an organic EL element in which a resin coating film having a film thickness of 0.1 μm to several tens of μm is coated on a polished glass substrate has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-21563). See Gazette). However, an organic electronic device using a glass substrate is not suitable for installation on a curved surface, and its use is limited.
これに対し、可撓性を有する金属板又は金属箔を基材とし、有機系樹脂からなる膜厚1~40μm、表面粗さRa≦0.5μm、Rmax≦1.5μmの絶縁層を基材表面に形成する有機EL素子用絶縁基板が提案されている(特開2002-25763号公報参照)。しかしながら、本発明者らの検証によれば、有機EL素子形成前に絶縁層の表面粗さを制御しても、有機EL素子形成中に上記絶縁層の表面粗さが増大し、素子短絡が発生する場合があり、有機EL素子形成前の絶縁層の表面粗さを規定するのみでは基板の平坦性の担保が不十分であることがわかった。 On the other hand, a flexible metal plate or metal foil is used as a base material, and an insulating layer made of an organic resin having a film thickness of 1 to 40 μm, a surface roughness Ra ≦ 0.5 μm, and Rmax ≦ 1.5 μm is used as a base material. An insulating substrate for an organic EL element formed on the surface has been proposed (see JP-A-2002-25763). However, according to the verification by the present inventors, even if the surface roughness of the insulating layer is controlled before the formation of the organic EL element, the surface roughness of the insulating layer increases during the formation of the organic EL element, and the element short circuit occurs. It was found that it may occur, and it is not enough to guarantee the flatness of the substrate only by defining the surface roughness of the insulating layer before forming the organic EL element.
本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、素子短絡の発生を抑制することで製造歩留りに優れる有機電子デバイス及び有機電子デバイス用基板の提供を目的とする。 The present invention has been made based on the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an organic electronic device and a substrate for an organic electronic device, which are excellent in manufacturing yield by suppressing the occurrence of element short circuit.
本発明者らが鋭意検討したところ、絶縁層の主成分である合成樹脂に含まれる未硬化の炭素-炭素二重結合の割合が高い(硬化度が低い)場合、有機EL素子形成中に絶縁層の表面粗さが増大し、素子短絡が発生し易くなるとの結論に達した。そして、本発明者らは、絶縁層中の炭素-炭素二重結合の割合、つまり硬化度を特定する指標として、フーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比が有効であることを見出し、本発明を完成させた。
As a result of diligent studies by the present inventors, when the ratio of uncured carbon-carbon double bonds contained in the synthetic resin which is the main component of the insulating layer is high (the degree of curing is low), insulation is performed during the formation of the organic EL element. It was concluded that the surface roughness of the layer increases and element short circuit is likely to occur. Then, the present inventors have a wave number of 1730 cm -1 in the absorption spectrum obtained by measuring with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer as an index for specifying the ratio of carbon-carbon double bonds in the insulating layer, that is, the degree of hardening. We have found that the area ratio of the peak at
すなわち、上記課題を解決するためになされた発明は、基板及びこの基板の一方の面に積層される有機電子素子を備える有機電子デバイスであって、上記基板が、金属層と、この金属層の少なくとも一方の面側に積層され、合成樹脂を主成分とする絶縁層とを有し、上記絶縁層をフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比が0.017以下である。
That is, the invention made to solve the above problems is an organic electronic device including a substrate and an organic electronic element laminated on one surface of the substrate, wherein the substrate is a metal layer and the metal layer. It has an insulating layer laminated on at least one surface side and containing synthetic resin as a main component, and the peak in the
当該有機電子デバイスは、基板の絶縁層のフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる上記面積比を上記上限以下とするので、絶縁層の主成分である合成樹脂に含まれる未硬化の炭素-炭素二重結合の割合が低く、絶縁層が適度に硬化している。このため、有機EL素子形成中に絶縁層の表面粗さが増大することによる素子短絡が発生し難い。従って、当該有機電子デバイスは、製造歩留りに優れる。 In the organic electronic device, the area ratio obtained by measuring with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer of the insulating layer of the substrate is set to be equal to or less than the upper limit, so that the uncured synthetic resin contained in the synthetic resin which is the main component of the insulating layer is not cured. The ratio of carbon-carbon double bonds is low, and the insulating layer is moderately cured. Therefore, it is unlikely that a short circuit will occur due to an increase in the surface roughness of the insulating layer during the formation of the organic EL element. Therefore, the organic electronic device is excellent in manufacturing yield.
上記面積比としては、0.003以上が好ましい。このように上記面積比を0.003以上とすることで、絶縁層の可撓性を確保し易く、当該有機電子デバイスを容易に曲面へ設置できる。 The area ratio is preferably 0.003 or more. By setting the area ratio to 0.003 or more in this way, it is easy to secure the flexibility of the insulating layer, and the organic electronic device can be easily installed on the curved surface.
上記合成樹脂が熱硬化性アクリル樹脂又は熱硬化性不飽和ポリエステルの硬化物を含むとよい。このように上記合成樹脂に熱硬化性アクリル樹脂又は熱硬化性不飽和ポリエステルの硬化物を含めることで、有機EL素子形成中に絶縁層の表面粗さが増大することを抑止しつつ、絶縁層をより容易に形成できる。 The synthetic resin may contain a cured product of a thermosetting acrylic resin or a thermosetting unsaturated polyester. By including the cured product of the thermosetting acrylic resin or the thermosetting unsaturated polyester in the synthetic resin in this way, the insulating layer is prevented from increasing the surface roughness of the insulating layer during the formation of the organic EL element. Can be formed more easily.
上記絶縁層が熱硬化剤を用いて硬化された合成樹脂を含むとよい。このように上記絶縁層に熱硬化剤を用いて硬化された合成樹脂を含めることで、絶縁層の硬化の制御性が高められ、上記面積比の制御がし易い。 The insulating layer may contain a synthetic resin cured with a thermosetting agent. By including the synthetic resin cured by using the thermosetting agent in the insulating layer in this way, the controllability of curing of the insulating layer is enhanced, and the area ratio can be easily controlled.
上記絶縁層が顔料を含有するとよい。このように上記絶縁層に顔料を含有させることで、樹脂の収縮の抑制等により表面の平坦化を促進できる。 The insulating layer may contain a pigment. By containing the pigment in the insulating layer in this way, the flattening of the surface can be promoted by suppressing the shrinkage of the resin and the like.
上記顔料が無機顔料であるとよく、顔料の平均粒径としては300nm以下が好ましく、絶縁層における顔料の含有量としては50質量%以下が好ましい。このように平均粒径が300nm以下の無機顔料を50質量%以下含有させることで、絶縁層表面への突起の発生を抑制できるので、表面の平坦化をより促進できる。 The pigment is preferably an inorganic pigment, and the average particle size of the pigment is preferably 300 nm or less, and the content of the pigment in the insulating layer is preferably 50% by mass or less. By containing 50% by mass or less of the inorganic pigment having an average particle size of 300 nm or less in this way, the generation of protrusions on the surface of the insulating layer can be suppressed, so that the flattening of the surface can be further promoted.
上記金属層が鉄、チタン、又はこれらの合金を主成分とするとよい。このように金属層の主成分をこれらの金属とすることで、強度や耐性に優れる基材を容易かつ確実に形成できる。 It is preferable that the metal layer contains iron, titanium, or an alloy thereof as a main component. By using these metals as the main components of the metal layer in this way, it is possible to easily and surely form a base material having excellent strength and resistance.
当該有機電子デバイスは、有機EL照明又は有機太陽電池に用いられるとよい。当該有機電子デバイスは、上述のように製造歩留りに優れるため、有機EL照明又は有機太陽電池に好適に用いることができる。 The organic electronic device may be used for organic EL lighting or an organic solar cell. Since the organic electronic device is excellent in manufacturing yield as described above, it can be suitably used for organic EL lighting or an organic solar cell.
上記課題を解決するためになされた別の発明は、金属層と、この金属層の少なくとも一方の面側に積層され、合成樹脂を主成分とする絶縁層とを有し、上記絶縁層をフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比が0.017以下である有機電子デバイス用基板である。 Another invention made to solve the above-mentioned problems has a metal layer and an insulating layer laminated on at least one surface side of the metal layer and containing a synthetic resin as a main component, and the above-mentioned insulating layer is obtained by Fourier. This is a substrate for an organic electronic device in which the area ratio of the peak having a wave number of 910 cm -1 to the peak having a wave number of 1730 cm -1 in the absorption spectrum obtained by measuring with a converted infrared absorption spectrophotometer is 0.017 or less.
当該有機電子デバイス用基板は、絶縁層のフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる上記面積比を上記上限以下とするので、絶縁層の主成分である合成樹脂に含まれる未硬化の炭素-炭素二重結合の割合が低い。このため、当該有機電子デバイス用基板に有機EL素子を形成する際に、絶縁層の表面粗さが増大することによる素子短絡が発生し難い。従って、当該有機電子デバイス用基板を用いた有機電子デバイスは、製造歩留りに優れる。 Since the area ratio of the substrate for an organic electronic device obtained by measuring with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer of the insulating layer is not more than the upper limit, the uncured synthetic resin contained in the synthetic resin which is the main component of the insulating layer is not cured. The ratio of carbon-carbon double bonds is low. Therefore, when the organic EL element is formed on the substrate for the organic electronic device, the element short circuit due to the increase in the surface roughness of the insulating layer is unlikely to occur. Therefore, the organic electronic device using the substrate for the organic electronic device is excellent in the manufacturing yield.
ここで、「主成分」とは最も多く含有される成分であり、例えば50質量%以上含まれる成分をいう。また、フーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの「ピーク」は、特定の原子間結合に起因するものであるが、絶縁層の種類等によりそのピークの波数シフトが生じる場合がある。このため、「波数1730cm-1にあるピーク」及び「波数910cm-1にあるピーク」には、それぞれ±10cm-1以内で波数シフトしたピークを含むものとする。
Here, the "main component" is a component contained most, for example, a component contained in an amount of 50% by mass or more. Further, the "peak" of the absorption spectrum obtained by measuring with the Fourier transform infrared absorption spectrophotometer is caused by a specific interatomic bond, but the wave number shift of the peak occurs depending on the type of the insulating layer or the like. There is. Therefore, the "peak at
また、「平均粒径」とは、一般的な粒度分布計によって粒子の粒度分布を測定し、その測定結果に基づいて算出される小粒径側からの体積積算値50%の粒度(D50)を意味する。かかる粒度分布は、粒子に光を当てることにより生じる回折や散乱の強度パターンによって測定することができ、この様な粒度分布計としては、例えば日機装社製の「マイクロトラック9220FRA」や「マイクロトラックHRA」等が例示される。 The "average particle size" is a particle size (D50) of 50% of the volume integrated value from the small particle size side calculated based on the measurement result of measuring the particle size distribution of the particles with a general particle size distribution meter. Means. Such a particle size distribution can be measured by the intensity pattern of diffraction and scattering generated by irradiating the particles with light. Examples of such a particle size distribution meter include "Microtrack 9220FRA" and "Microtrack HRA" manufactured by Nikkiso Co., Ltd. ] Etc. are exemplified.
以上説明したように、本発明の有機電子デバイス及び有機電子デバイス用基板は、基板に有機EL素子を形成する際の素子短絡の発生を抑制することで製造歩留りに優れる。 As described above, the organic electronic device and the substrate for an organic electronic device of the present invention are excellent in manufacturing yield by suppressing the occurrence of element short circuit when forming an organic EL element on the substrate.
以下、適宜図面を参照しつつ本発明の有機電子デバイス及び有機電子デバイス用基板の実施形態を詳説する。 Hereinafter, embodiments of the organic electronic device and the substrate for the organic electronic device of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
図1に示す有機電子デバイスは、基板1及びこの基板1の一方の面に積層される有機電子素子2を備える。
The organic electronic device shown in FIG. 1 includes a
<基板>
基板1は、本発明の一実施形態である有機電子デバイス用基板であって、金属層1aと、この金属層1aの少なくとも一方の面(有機電子素子積層面)側に積層される絶縁層1bとを有する。
<Board>
The
(金属層)
金属層1aは、金属を主成分とする層であり、この金属としては、鉄、チタン、又はこれらの合金が用いられる。具体的には、金属層1aとしては、冷延鋼板、溶融純亜鉛めっき鋼板(GI)、合金化溶融Zn-Feめっき鋼板(GA)、合金化溶融Zn-5%Alめっき鋼板(GF)、電気純亜鉛めっき鋼板(EG)、電気Zn-Niめっき鋼板、チタン板、ガルバリウム鋼板(登録商標)等の金属板を使用できる。
(Metal layer)
The
上記金属板としては、ノンクロメート処理をしたものが好ましいが、クロメート処理をしたもの又は無処理のものも使用可能である。 As the metal plate, a non-chromate-treated one is preferable, but a chromate-treated one or an unchromated one can also be used.
図2に示すように、金属層1aの有機電子素子積層面側、つまり金属層1aと絶縁層1bとの間にリン酸系化成処理により形成された反応層1cが積層されていてもよい。特に亜鉛めっき系の金属板の場合、コロイダルシリカとリン酸アルミニウム塩化合物とを含む酸性水溶液によって化成処理を施して形成された反応層1cが好ましい。コロイダルシリカとリン酸アルミニウム塩化合物とを含む酸性水性液を化成処理液として使用すると、酸性水性液によって亜鉛系めっき層の表面がエッチングされる。これと同時に、亜鉛系めっき層の表面にリン酸アルミニウムの中でも難溶性の(水又はアルカリ性水溶液に溶け難い)AlPO4やAl2(HPO4)3主体の反応層1cが形成される。この反応層1cにシリカ微粒子が沈着して取り込まれることでリン酸アルミニウムとシリカ微粒子とが複合一体化する。また、エッチングにより粗面化された亜鉛系めっき層との間で緻密な反応層1cが形成され、この反応層1cの上に形成される絶縁層1bとの結合も緻密で強固なものとなる。また、上記酸性水溶液にポリアクリル酸等の水溶性樹脂を含有させておくと、得られる反応層1c中のシリカ微粒子の沈着状態を一層強固なものとすることができる。
As shown in FIG. 2, the
また、図3に示すように金属層1aの両面に防錆層1dを設けてもよい。このように防錆層1dを設けることで、基板1の耐久性が向上し、長期間の利用が可能になる。防錆層1dを金属層1aの有機電子素子積層面側に設ける場合、反応層1cはこの防錆層1dの有機電子素子積層面側に積層される。なお、防錆層1dは金属層1aの片面、特に有機電子素子積層面側のみに積層してもよい。
Further, as shown in FIG. 3, rust
金属層1aの平均厚さは特に限定されないが、0.3mm以上2.0mm以下とすることができる。
The average thickness of the
(絶縁層)
絶縁層1bは、絶縁性を有する層であり、合成樹脂を主成分とする。この絶縁層1bは熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂等の硬化物や熱可塑性樹脂とできる。なお、上記熱可塑性樹脂は架橋されていてもよい。
(Insulation layer)
The insulating
これらの中でも熱硬化性樹脂の硬化物が好ましい。このように絶縁層1bの主成分を熱硬化性樹脂の硬化物とすることで、絶縁層1b形成時の硬化の制御性が高められ、絶縁層1bをより容易に形成できる。上記熱硬化性樹脂としては、特に限定されるものではなく、例えばアクリル樹脂、ポリエステル、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂等を挙げることができるが、絶縁層1bの合成樹脂としては熱硬化性アクリル樹脂及び熱硬化性不飽和ポリエステルの硬化物を含むことが好ましい。このように絶縁層1bの合成樹脂に熱硬化性アクリル樹脂又は熱硬化性不飽和ポリエステルの硬化物を含めることで、有機EL素子形成中に絶縁層1bの表面粗さが増大することを抑止しつつ、絶縁層1bをより容易に形成できる。
Among these, a cured product of a thermosetting resin is preferable. By using the cured product of the thermosetting resin as the main component of the insulating
上記熱硬化性アクリル樹脂は、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルの重合反応によって得られるものである。上記熱硬化性アクリル樹脂の原料としては、例えばメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸シクロへキシル、メタクリル酸エチルへキシル、メタクリル酸ラウリル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル等が挙げられる。また、上記熱硬化性アクリル樹脂としては、種々の市販品を好適に用いることができ、例えば久保孝ペイント株式会社製の4timesレベルコート等を挙げることができる。 The thermosetting acrylic resin is obtained by a polymerization reaction of an acrylic acid ester or a methacrylic acid ester. Examples of the raw material of the thermosetting acrylic resin include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, ethylhexyl methacrylate, lauryl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate and the like. Be done. Further, as the thermosetting acrylic resin, various commercially available products can be preferably used, and examples thereof include a 4times level coat manufactured by Kuboko Paint Co., Ltd.
上記熱硬化性不飽和ポリエステルは、二塩基酸等の多塩基酸と多価アルコール類との縮合反応によって得られるものである。上記熱硬化性不飽和ポリエステルの原料として用いられる多塩基酸としては、例えばマレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸等のα,β-不飽和二塩基酸等が挙げられる。上記熱硬化性不飽和ポリエステルの原料として用いられる多価アルコール類としては、例えばエチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール等のエチレングリコール類、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール等のプロピレングリコール類等が挙げられる。また、上記熱硬化性不飽和ポリエステルとしては、種々の市販品を好適に用いることができ、例えば例えばバイロン(登録商標)23CS、バイロン(登録商標)29CS、バイロン(登録商標)29XS、バイロン(登録商標)20SS、バイロン(登録商標)29SS(以上、東洋紡社製)等を挙げることができる。 The thermosetting unsaturated polyester is obtained by a condensation reaction between a polybasic acid such as a dibasic acid and a polyhydric alcohol. Examples of the polybasic acid used as a raw material for the heat-curable unsaturated polyester include α, β-unsaturated dibasic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, and itaconic anhydride. .. Examples of polyhydric alcohols used as a raw material for the heat-curable unsaturated polyester include ethylene glycols such as ethylene glycol, diethylene glycol and polyethylene glycol, and propylene glycols such as propylene glycol, dipropylene glycol and polypropylene glycol. Be done. Further, as the thermosetting unsaturated polyester, various commercially available products can be suitably used, for example, Byron (registered trademark) 23CS, Byron (registered trademark) 29CS, Byron (registered trademark) 29XS, Byron (registered trademark). Examples thereof include 20SS (trademark) and 29SS (registered trademark) 29SS (all manufactured by Toyobo Co., Ltd.).
絶縁層1bにおける合成樹脂の含有量の下限としては、50.0質量%が好ましく、60.0質量%がより好ましい。一方、合成樹脂の含有量の上限としては80.0質量%が好ましく、56.3質量%がより好ましい。このような合成樹脂の含有量とすることで、基板1に好適な絶縁層1bを形成できる。なお、合成樹脂の含有量は、絶縁層1b中の固形分(合成樹脂、熱硬化剤、顔料等)の合計質量に対する合成樹脂の含有量の比率を指す。後述の熱硬化剤等の含有量も同様である。
The lower limit of the content of the synthetic resin in the insulating
絶縁層1bは、熱硬化剤を含有させて硬化させることが好ましい。つまり、絶縁層1bは熱硬化剤を用いて硬化された合成樹脂を含むことが好ましい。絶縁層1bは有機溶媒には溶解しないものとされるが、成形時に用いる溶媒が層内に浸入して膨潤等の変質が生じるおそれがある。これを抑制するため、所定量の熱硬化剤を含有させることによって、絶縁層1bの硬化度(架橋密度)を高めることが有効となる。また、熱硬化剤により硬化度が制御し易くなるため、後述するフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比の制御がし易い。
The insulating
上記熱硬化剤としては、特に限定されるものではないが、熱硬化性樹脂との相溶性がよく、熱硬化性樹脂を架橋させることができ、さらに液安定性のよいものが好ましい。 The thermosetting agent is not particularly limited, but a thermosetting agent having good compatibility with the thermosetting resin, being able to crosslink the thermosetting resin, and having good liquid stability is preferable.
硬化前の絶縁層1bにおける熱硬化剤の含有量の下限としては、10.0質量%が好ましく、20.0質量%がより好ましい。一方、熱硬化剤の含有量の上限としては、50.0質量%が好ましい。このような熱硬化剤の含有量とすることで、絶縁層1bを容易かつ確実に形成できる。
The lower limit of the content of the thermosetting agent in the insulating
硬化前の絶縁層1bにおける合成樹脂に対する熱硬化剤の質量比の下限としては、0.3が好ましく、0.4がより好ましく、0.65がさらに好ましい。一方、上記質量比の上限としては、1.0が好ましい。上記質量比が上記下限未満であると、熱硬化剤の効果を十分に得られないおそれがある。逆に、上記質量比が上記上限を超えると、硬化が急激に起こり絶縁層1bにヒビや割れが発生するおそれや、熱硬化剤が過剰となり製造コストが上昇するおそれがある。
The lower limit of the mass ratio of the heat curing agent to the synthetic resin in the insulating
また、絶縁層1bは顔料を含有することが好ましい。合成樹脂を主成分とする絶縁層1bでは、硬化時に体積収縮が生じたり溶剤揮発ガス成分の影響で表面形状が大きくうねったり、凹凸ができたりする場合がある。そこで、顔料を絶縁層1bに含有させることで、合成樹脂の収縮の抑制や溶剤ガス脱離を促進することができるため表面形状を平坦化することができる。一方で、顔料の含有により、表面粗さが大きくなって表面に突起が多く形成され得る。この突起の形成を抑制するため、添加する顔料の種類、粒径、含有量を調整するとよい。
Further, the insulating
上記顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられるが、本発明における顔料添加の目的は表面形状の制御であるため、無機顔料を用いることが好ましい。上記無機顔料としては、酸化チタン、炭酸カルシウム、酸化亜鉛、硫酸バリウム、リトポン、鉛白等の白色顔料、カーボンブラック、鉄黒等の黒色顔料などを挙げることができる。 Examples of the pigment include organic pigments and inorganic pigments. However, since the purpose of adding the pigment in the present invention is to control the surface shape, it is preferable to use an inorganic pigment. Examples of the inorganic pigment include white pigments such as titanium oxide, calcium carbonate, zinc oxide, barium sulfate, lithopone, and lead white, and black pigments such as carbon black and iron black.
上記顔料の平均粒径としては、100nm以上300nm以下が好ましい。また、絶縁層1bにおける上記顔料の含有量としては、30質量%以上50質量%以下が好ましい。上記顔料の平均粒径が上記下限未満である場合、又は上記顔料の含有量が上記下限未満である場合、顔料添加による絶縁層1bの表面の平坦化効果が不十分となるおそれがある。逆に、上記顔料の平均粒径が上記上限を超える場合、又は上記顔料の含有量が上記上限を超える場合、顔料の含有に起因して絶縁層1bの面粗さが大きくなるおそれがある。
The average particle size of the pigment is preferably 100 nm or more and 300 nm or less. The content of the pigment in the insulating
上記顔料としては、上述した好ましい平均粒径を満足すれば、市販品を使用しても良く、例えばテイカ社製のJR-806(平均粒径250nm)、石原産業社製のタイペーク(登録商標)CR-50(平均粒径250nm)、R930(平均粒径250nm)等が挙げられる。 As the pigment, a commercially available product may be used as long as the above-mentioned preferable average particle size is satisfied. For example, JR-806 (average particle size 250 nm) manufactured by Teika Co., Ltd. and Typake (registered trademark) manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd. Examples thereof include CR-50 (average particle size 250 nm) and R930 (average particle size 250 nm).
なお、顔料の偏析を抑制するために、絶縁層1bには顔料分散剤を含有させてもよい。好適な顔料分散剤は、水溶性アクリル樹脂、水溶性スチレンアクリル樹脂、ノニオン系界面活性剤、又はこれらの組合せである。
In addition, in order to suppress the segregation of the pigment, the insulating
絶縁層1bの平均厚さの下限としては、5μmが好ましく、10μmがより好ましい。一方、絶縁層1bの平均厚さの上限としては、30μmが好ましく、20μmがより好ましい。絶縁層1bの平均厚さが上記下限未満であると、基板1の絶縁性が不十分となるおそれがある。逆に、絶縁層1bの平均厚さが上記上限を超えると、基板1の可撓性が不十分となるおそれがある。
As the lower limit of the average thickness of the insulating
絶縁層1bの抵抗率としては、1010Ωcm以上が好ましい。なお、「抵抗率」とは、JIS-K-7194(1994年)に準拠して測定される値である。
The resistivity of the insulating
(ピーク面積比)
当該有機電子デバイスでは、電子デバイス用基板1の絶縁層1bのフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比(以下、単に「ピーク面積比」ともいう)を所定値以下とする。
(Peak area ratio)
In the organic electronic device, the area ratio of the peak at the
ここで、「ピークの面積」とは、図4に示すように、例えば吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークを例に説明すると、フーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークを形成する波形と、ベースラインBとにより囲まれる斜線部の面積をいう。 Here, as shown in FIG. 4, the “peak area” is described as an example of a peak having a wave number of 1730 cm -1 in the absorption spectrum, and is an absorption spectrum obtained by measuring with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer. The area of the shaded area surrounded by the waveform forming the peak at the wave number of 1730 cm -1 and the baseline B.
上述のピークのうち、波数910cm-1にあるピークは、合成樹脂の化学構造において、枝別れのないオレフィンCH基の面外変角振動に由来し、このピークの面積は、絶縁層1bの構成成分のうち、硬化反応に関与する未硬化の炭素-炭素二重結合の総量に相当する。一方、波数1730cm-1にあるピークは、エステル結合(CとOとの二重結合)の伸縮振動に由来し、硬化反応の進行に対して不変である。つまり、波数1730cm-1にあるピークの面積は、絶縁層1bの総量に相当する。従って、上記面積ピーク比は、絶縁層1bにおける合成樹脂の硬化度を示す指標として機能し、小さいほど硬化が進行していることを意味する。
Among the above-mentioned peaks, the peak having a wave number of 910 cm -1 is derived from the out-of-plane eccentric vibration of the olefin CH group without branching in the chemical structure of the synthetic resin, and the area of this peak is the constitution of the insulating
上記ピークの面積比の上限としては、0.017であり、0.010がより好ましい。一方、上記ピークの面積比の下限としては、0.003が好ましく、0.005がより好ましい。上記ピークの面積比が上記上限を超えると、合成樹脂の硬化が不十分であるため、有機電子素子2の形成中に変形が発生し、絶縁層1bの表面粗さが増大するおそれがある。逆に、上記ピークの面積比が上記下限未満であると、合成樹脂の硬化が進み過ぎるため基板1の可撓性が低下するおそれや、合成樹脂が過度に収縮するため絶縁層1bに割れが発生するおそれがある。
The upper limit of the area ratio of the peak is 0.017, more preferably 0.010. On the other hand, as the lower limit of the area ratio of the peak, 0.003 is preferable, and 0.005 is more preferable. If the area ratio of the peak exceeds the upper limit, the synthetic resin is not sufficiently cured, so that deformation may occur during the formation of the organic
<有機電子素子>
有機電子素子2としては、例えば有機EL素子、太陽電池素子、液晶表示素子、薄膜トランジスタ、タッチパネル素子、電子ペーパー素子等が挙げられる。
<Organic electronic device>
Examples of the organic
上記有機EL素子としては、例えば陽極と有機発光層と陰極とがこの順で積層されたものが挙げられる。上記有機EL素子は、これ以外の電子注入層、電子輸送層、ホール輸送層等が適時積層されてもよい。上記有機EL素子を構成する要素は、公知のものを用いることができる。上記陽極としては、例えば酸化インジウムスズ(ITO)を用いた透明電極を用いることができる。上記陰極としては、例えば金属や、酸化インジウム亜鉛(IZO)を用いた電極を用いることができる。上記有機発光層の主成分としては、ナフチル置換ジアミン誘導体(α-NPD)を用いることができる。 Examples of the organic EL element include those in which an anode, an organic light emitting layer, and a cathode are laminated in this order. In the organic EL element, other electron injection layers, electron transport layers, hole transport layers, and the like may be laminated in a timely manner. Known elements can be used as the elements constituting the organic EL element. As the anode, for example, a transparent electrode using indium tin oxide (ITO) can be used. As the cathode, for example, an electrode using a metal or indium zinc oxide (IZO) can be used. A naphthyl-substituted diamine derivative (α-NPD) can be used as the main component of the organic light emitting layer.
有機電子素子2として上述のような有機EL素子を用いることで、当該有機電子デバイスは有機EL照明に好適に用いることができる。
By using the organic EL element as described above as the organic
また、有機電子素子2として、例えば陽極、電子供与体、電子受容体、陰極がこの順に積層された太陽電池素子を用いることで、当該有機電子デバイスは有機太陽電池に好適に用いることができる。
Further, as the organic
<製造方法>
当該有機電子デバイスは、例えば基板1を用意する工程と、基板1の一方の面に有機電子素子2を積層する工程とを備える製造方法により得ることができる。
<Manufacturing method>
The organic electronic device can be obtained by, for example, a manufacturing method including a step of preparing a
(基板用意工程)
本工程では、金属層1aの有機電子素子積層面側への絶縁層形成用組成物の塗布及び加熱により、絶縁層1bを積層し、基板1を形成する。この絶縁層形成用組成物は液状であることが好ましい。つまり、絶縁層形成用組成物は溶媒を含むことが好ましい。
(Board preparation process)
In this step, the insulating
絶縁層形成用組成物に用いる溶媒は、絶縁層形成用組成物が含有すべき各成分を溶解又は分散させ得るものであれば、特に制限はない。上記溶媒としては、例えばメタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、n-ブタノール、イソブタノール、エチレングリコール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、ベンゼン、キシレン、ソルベッソ(登録商標)100(エクソンモービル社製)、ソルベッソ(登録商標)150(エクソンモービル社製)等の芳香族炭化水素類;ヘキサン、ヘプタン、オクタン等の脂肪族炭化水素類;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類などが挙げられる。絶縁層形成用組成物は、こういった溶媒を用いて固形分を調整することができる。 The solvent used in the insulating layer forming composition is not particularly limited as long as it can dissolve or disperse each component to be contained in the insulating layer forming composition. Examples of the solvent include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, isobutanol and ethylene glycol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; toluene, benzene and xylene. Aromatic hydrocarbons such as Solbesso® 100 (registered trademark) 100 (manufactured by Exxon Mobile), Solvesso® 150 (manufactured by Exxon Mobile); aliphatic hydrocarbons such as hexane, heptane, octane; ethyl acetate, acetate Examples thereof include esters such as butyl. The solid content of the insulating layer forming composition can be adjusted by using such a solvent.
絶縁層形成用組成物の固形分濃度の下限としては、20質量%が好ましく、40質量%がより好ましい。一方、絶縁層形成用組成物の固形分濃度の上限としては、80質量%が好ましく、70質量%がより好ましい。固形分濃度が上記下限未満である、すなわち溶媒が多過ぎると、加熱時に溶媒が大量に蒸発し、その結果、金属層1aの表面近傍において気化した溶媒による対流が発生し易くなり、絶縁層1bの表面の平滑性が損なわれるおそれがある。逆に、固形分濃度が上記上限を超えると、絶縁層形成用組成物の塗布が困難になるおそれがある。
The lower limit of the solid content concentration of the insulating layer forming composition is preferably 20% by mass, more preferably 40% by mass. On the other hand, the upper limit of the solid content concentration of the insulating layer forming composition is preferably 80% by mass, more preferably 70% by mass. If the solid content concentration is less than the above lower limit, that is, if the amount of solvent is too large, a large amount of solvent evaporates during heating, and as a result, convection due to the vaporized solvent is likely to occur near the surface of the
絶縁層形成用組成物の塗布及び加熱(乾燥並びに焼付)方法は、特に制限されず、既知の方法を適宜採用することができる。上記塗布方法としては、例えばバーコーター法、ロールコーター法、カーテンフローコーター法、スプレー法、スプレーリンガー法等を挙げることができ、これらの中でも、コスト等の観点からバーコーター法、ロールコーター法、及びスプレーリンガー法が好ましい。 The method of applying and heating (drying and baking) the composition for forming an insulating layer is not particularly limited, and a known method can be appropriately adopted. Examples of the coating method include a bar coater method, a roll coater method, a curtain flow coater method, a spray method, a spray ringer method, and the like. And the spray ringer method is preferred.
絶縁層形成用組成物の加熱温度の下限としては、200℃が好ましく、210℃がより好ましい。一方、加熱温度の上限としては、250℃が好ましく、240℃がより好ましい。加熱温度が上記下限未満であると、絶縁層1bの強度が不十分となるおそれがある。逆に、加熱温度が上記上限を超えると、溶媒が激しく蒸発し、その結果絶縁層1bの表面の平滑性が損なわれるおそれがある。なお、加熱温度とは、到達板温(Peak Metal Temperature:PMT)を指す。
The lower limit of the heating temperature of the insulating layer forming composition is preferably 200 ° C, more preferably 210 ° C. On the other hand, the upper limit of the heating temperature is preferably 250 ° C, more preferably 240 ° C. If the heating temperature is less than the above lower limit, the strength of the insulating
絶縁層形成用組成物の加熱時間の下限としては、3.0分間が好ましく、3.5分間がより好ましく、4.0分間がさらに好ましい。一方、絶縁層形成用組成物の加熱時間の上限としては、20分間が好ましく、15分間がより好ましく、10分間がさらに好ましい。絶縁層形成用組成物の加熱時間が上記下限未満であると、合成樹脂の硬化が不十分となり易く、有機電子素子2の形成中に変形が発生し、絶縁層1bの表面粗さが増大するおそれがある。逆に、絶縁層形成用組成物の加熱時間が上記上限を超えると、合成樹脂の硬化が進み過ぎるため基板1の可撓性が低下するおそれや、合成樹脂が過度に収縮するため絶縁層1bに割れが発生するおそれがある。なお、絶縁層形成用組成物を塗布して加熱した後、いったん室温まで戻った基板1を再度加熱することで合成樹脂の硬化を進めてもよい。この場合、絶縁層形成用組成物の加熱時間とは、絶縁層形成用組成物の塗布時の加熱時間も含めた総加熱時間を指す。
The lower limit of the heating time of the insulating layer forming composition is preferably 3.0 minutes, more preferably 3.5 minutes, still more preferably 4.0 minutes. On the other hand, the upper limit of the heating time of the composition for forming an insulating layer is preferably 20 minutes, more preferably 15 minutes, still more preferably 10 minutes. If the heating time of the insulating layer forming composition is less than the above lower limit, the synthetic resin tends to be insufficiently cured, deformation occurs during the formation of the organic
合成樹脂の硬化度は、主に絶縁層形成用組成物の加熱温度及び加熱時間により決まる。従って、絶縁層形成用組成物の加熱温度及び加熱時間は、ピーク面積比が0.017以下となるように決定される。 The degree of curing of the synthetic resin is mainly determined by the heating temperature and heating time of the insulating layer forming composition. Therefore, the heating temperature and heating time of the insulating layer forming composition are determined so that the peak area ratio is 0.017 or less.
なお、上述のように、金属層1aに絶縁層形成用組成物を塗付する前に、反応層1cを形成してもよい。また、金属層1aの表面に防錆層1dを設けてもよい。
As described above, the
また、平坦性を高めるため、基板1の有機電子素子積層面(絶縁層1bの表面)に研磨処理を施しても良い。研磨法としては、化学研磨(CMP)、電解研磨、機械研磨等が挙げられる。これらの中でも、微細な凹凸を除去する観点から、研磨剤に例えばシリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、ゲルマニア等を用いた化学電解研磨法が好ましい。
Further, in order to improve the flatness, the organic electronic element laminated surface (the surface of the insulating
(有機電子素子積層工程)
本工程では、基板1の有機電子素子積層面に有機電子素子2を積層する。この積層方法としては、従来公知の方法を使用することができる。
(Organic electronic device laminating process)
In this step, the organic
<利点>
当該有機電子デバイス及び当該電子デバイス用基板は、基板1の絶縁層1bのフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比を0.017以下とするので、絶縁層1bの主成分である合成樹脂に含まれる未硬化の炭素-炭素二重結合の割合が低く、絶縁層1bが適度に硬化している。このため、有機EL素子形成中に絶縁層1bの表面粗さが増大することによる素子短絡が発生し難い。従って、当該電子デバイス用基板を用いた当該有機電子デバイスは、製造歩留りに優れる。
<Advantage>
The organic electronic device and the substrate for the electronic device have a peak with a wave number of 910 cm -1 with respect to a peak with a wave number of 1730 cm -1 in the absorption spectrum obtained by measuring with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer of the insulating
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
(実施例1)
金属層として、板厚0.8mm、金属板両面における各面当たりの亜鉛めっき付着量が20g/m2の電気亜鉛めっき金属板(EG)を用意した。この金属板の一方の面に、熱硬化性アクリル樹脂塗料(久保孝ペイント株式会社製の4timesレベルコート、標準タイプ/クリア)をスプレー塗布し、到達板温(PMT)が220℃となるように2分間加熱し、平均厚さが15μmの絶縁層を形成し、基板を得た。
(Example 1)
As the metal layer, an electrogalvanized metal plate (EG) having a plate thickness of 0.8 mm and a zinc plating adhesion amount of 20 g / m 2 per surface on both sides of the metal plate was prepared. A thermosetting acrylic resin paint (4times level coat manufactured by Kuboko Paint Co., Ltd., standard type / clear) is spray-coated on one surface of this metal plate so that the reached plate temperature (PMT) becomes 220 ° C. After heating for 2 minutes, an insulating layer having an average thickness of 15 μm was formed to obtain a substrate.
後硬化として、上記基板をさらに240℃の大気中で1.5分間の条件で加熱し、絶縁層の硬化を施した。従って、総加熱時間は3.5分間である。 For post-curing, the substrate was further heated in the air at 240 ° C. for 1.5 minutes to cure the insulating layer. Therefore, the total heating time is 3.5 minutes.
次に、上記基板に対し化学機械研磨行うことによって、絶縁層の表面を平滑にした。具体的には、研磨装置の基板取り付け用吸着パッドを貼り付けたホルダーに基板をセットし、絶縁層を下側にして研磨装置の定盤に取り付けた研磨パッドの上にセットした。研磨剤として粒状のアルミナ(平均粒径は約100nm)を用い、圧力65g/cm2、1周当たりの回転距離を1m、基板と定盤との各回転速度を50rpmとし、10分間化学機械研磨を行った。なお、研磨深さは、研磨量換算で6μmとした。 Next, the surface of the insulating layer was smoothed by performing chemical mechanical polishing on the substrate. Specifically, the substrate was set in the holder to which the suction pad for mounting the substrate of the polishing apparatus was attached, and was set on the polishing pad attached to the surface plate of the polishing apparatus with the insulating layer facing down. Granular alumina (average particle size is about 100 nm) is used as an abrasive, the pressure is 65 g / cm 2 , the rotation distance per circumference is 1 m, the rotation speed between the substrate and the surface plate is 50 rpm, and chemical mechanical polishing is performed for 10 minutes. Was done. The polishing depth was 6 μm in terms of polishing amount.
このようにして実施例1の有機電子デバイス用基板を得た。 In this way, the substrate for the organic electronic device of Example 1 was obtained.
(実施例2)
後硬化の条件を230℃の大気中で3分間とした以外は実施例1と同様にして実施例2の有機電子デバイス用基板を得た。
(Example 2)
A substrate for an organic electronic device of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the post-curing condition was set to 230 ° C. in the air for 3 minutes.
(実施例3)
後硬化の条件を220℃の大気中で6分間とした以外は実施例1と同様にして実施例3の有機電子デバイス用基板を得た。
(Example 3)
A substrate for an organic electronic device of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the post-curing condition was set to 220 ° C. in the air for 6 minutes.
(比較例1)
後硬化を行わなかった以外は実施例1と同様にして比較例1の有機電子デバイス用基板を得た。
(Comparative Example 1)
A substrate for an organic electronic device of Comparative Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1 except that post-curing was not performed.
<ピーク面積比>
実施例1~実施例3及び比較例1の有機電子デバイス用基板に対し、フーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比を求めた。
<Peak area ratio>
For the substrates for organic electronic devices of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1, the wave number of the absorption spectrum obtained by measuring with the Fourier transform infrared absorption spectrophotometer is 910 cm -1 with respect to the peak at the wave number of 1730 cm -1 . The area ratio of the peak was calculated.
フーリエ変換赤外線吸収分光光度計としては、Varian社製の3100FT-IR/600UMAマイクロスコープ赤外顕微鏡システムを用い、顕微ATRモード、分解能4cm-1で測定した。結果を表1に示す。 As the Fourier transform infrared absorption spectrophotometer, a 3100FT-IR / 600UMA microscope infrared microscope system manufactured by Varian was used, and the measurement was performed in a microscopic ATR mode and a resolution of 4 cm -1 . The results are shown in Table 1.
表1で、参考例1は、使用した熱硬化性アクリル樹脂塗料を測定した結果である。 In Table 1, Reference Example 1 is the result of measuring the thermosetting acrylic resin paint used.
<評価>
実施例1~実施例3及び比較例1の有機電子デバイス用基板上にスパッタリング法によりITO膜(平均膜厚200nm)を成膜し、表面の観察を行った。
<Evaluation>
An ITO film (average film thickness of 200 nm) was formed on the organic electronic device substrates of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 by a sputtering method, and the surface was observed.
ITO膜の成膜は、株式会社島津製作所製のHSM-542を用い、利用ターゲットをITOターゲットとして行った。スパッタリング時の導入ガスは、Arガス20sccm及びO2ガス0.5sccmの混合ガスとし、ガス圧1.34mTorr(0.179Pa)、成膜パワー150Wとした。 For the film formation of the ITO film, HSM-542 manufactured by Shimadzu Corporation was used, and the utilization target was an ITO target. The gas introduced during sputtering was a mixed gas of Ar gas 20 sccm and O 2 gas 0.5 sccm, the gas pressure was 1.34 mTorr (0.179 Pa), and the film forming power was 150 W.
ITO膜を成膜した有機電子デバイス用基板の表面を光学顕微鏡により倍率10倍で観察した。その結果、実施例1~実施例3の有機電子デバイス用基板では、表面に皺が観測されず平坦であった。光学顕微鏡により観察された実施例1の有機電子デバイス用基板の表面の写真を図5に示す。一方、比較例1の有機電子デバイス用基板では、図6に示すように表面に皺が観測された。 The surface of the substrate for an organic electronic device on which an ITO film was formed was observed with an optical microscope at a magnification of 10 times. As a result, the substrates for organic electronic devices of Examples 1 to 3 were flat with no wrinkles observed on the surface. FIG. 5 shows a photograph of the surface of the substrate for an organic electronic device of Example 1 observed by an optical microscope. On the other hand, in the substrate for an organic electronic device of Comparative Example 1, wrinkles were observed on the surface as shown in FIG.
また、実施例3及び比較例1の有機電子デバイス用基板の表面をAFM(原子間力顕微鏡)を用いて観察し、表面粗さを算出した。なお、測定は1辺100μmの正方形に対して行った。AFMにより観察された実施例3の有機電子デバイス用基板の表面の写真及び比較例1の有機電子デバイス用基板の表面の写真を、それぞれ図7及び図8に示す。実施例3の表面粗さは3.4nmであり、比較例1の表面粗さは121nmであった。 Further, the surfaces of the substrates for organic electronic devices of Example 3 and Comparative Example 1 were observed using an AFM (atomic force microscope), and the surface roughness was calculated. The measurement was performed on a square having a side of 100 μm. A photograph of the surface of the substrate for an organic electronic device of Example 3 and a photograph of the surface of the substrate for an organic electronic device of Comparative Example 1 observed by AFM are shown in FIGS. 7 and 8, respectively. The surface roughness of Example 3 was 3.4 nm, and the surface roughness of Comparative Example 1 was 121 nm.
以上の結果から、フーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルのピーク面積比が0.017以下である実施例1~実施例3は、ITO膜形成後においても絶縁層の表面粗さが低い。これに対し、比較例1ではピーク面積比が0.017超であるため、ITO膜形成中に、絶縁層の表面粗さが増大したと考えられる。従って、ピーク面積比を0.017以下とすることで、有機EL素子形成中に絶縁層の表面粗さが増大することによる素子短絡を抑制できると言える。 From the above results, in Examples 1 to 3 in which the peak area ratio of the absorption spectrum obtained by measuring with the Fourier transform infrared absorption spectrophotometer is 0.017 or less, the surface of the insulating layer is formed even after the ITO film is formed. The roughness is low. On the other hand, in Comparative Example 1, since the peak area ratio is more than 0.017, it is considered that the surface roughness of the insulating layer increased during the formation of the ITO film. Therefore, by setting the peak area ratio to 0.017 or less, it can be said that the device short circuit due to the increase in the surface roughness of the insulating layer during the formation of the organic EL device can be suppressed.
以上説明したように、本発明の有機電子デバイス及び有機電子デバイス用基板は、基板に有機EL素子を形成する際の素子短絡の発生を抑制することで製造歩留りに優れるため、種々の用途に好適に用いることができる。 As described above, the organic electronic device and the substrate for an organic electronic device of the present invention are suitable for various applications because they are excellent in manufacturing yield by suppressing the occurrence of element short circuit when forming an organic EL element on the substrate. Can be used for.
1 基板
1a 金属層
1b 絶縁層
1c 反応層
1d 防錆層
2 有機電子素子
1
Claims (8)
上記基板が、金属層と、この金属層の少なくとも一方の面側に積層され、合成樹脂を主成分とする絶縁層とを有し、
上記絶縁層をフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比が0.003以上0.017以下である有機電子デバイス。 An organic electronic device including a substrate and an organic electronic element laminated on one surface of the substrate.
The substrate has a metal layer and an insulating layer laminated on at least one surface side of the metal layer and containing a synthetic resin as a main component.
The area ratio of the peak at wave number 910 cm -1 to the peak at wave number 1730 cm -1 in the absorption spectrum obtained by measuring the insulating layer with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer is 0.003 or more and 0.017 or less. Electronic device.
上記絶縁層をフーリエ変換赤外線吸収分光光度計で測定して得られる吸収スペクトルの波数1730cm-1にあるピークに対する波数910cm-1にあるピークの面積比が0.003以上0.017以下である有機電子デバイス用基板。
It has a metal layer and an insulating layer laminated on at least one surface side of the metal layer and containing a synthetic resin as a main component.
The area ratio of the peak at wave number 910 cm -1 to the peak at wave number 1730 cm -1 in the absorption spectrum obtained by measuring the insulating layer with a Fourier transform infrared absorption spectrophotometer is 0.003 or more and 0.017 or less. Substrate for electronic devices.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018165275A JP7066578B2 (en) | 2018-09-04 | 2018-09-04 | Organic electronic devices and substrates for organic electronic devices |
PCT/JP2019/029850 WO2020049898A1 (en) | 2018-09-04 | 2019-07-30 | Organic electronic device and substrate for organic electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020038790A JP2020038790A (en) | 2020-03-12 |
JP7066578B2 true JP7066578B2 (en) | 2022-05-13 |
Family
ID=69723141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018165275A Active JP7066578B2 (en) | 2018-09-04 | 2018-09-04 | Organic electronic devices and substrates for organic electronic devices |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7066578B2 (en) |
WO (1) | WO2020049898A1 (en) |
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2018
- 2018-09-04 JP JP2018165275A patent/JP7066578B2/en active Active
-
2019
- 2019-07-30 WO PCT/JP2019/029850 patent/WO2020049898A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2016225091A (en) | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 株式会社神戸製鋼所 | Organic electronic device and substrate for organic electronic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020038790A (en) | 2020-03-12 |
WO2020049898A1 (en) | 2020-03-12 |
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