JP7025499B1 - Laminate molding system - Google Patents
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Abstract
【課題】種々の積層成形品の積層成形を良好に行うことのできる積層成形システムおよび積層成形方法を提供する。
【解決手段】積層成形システム1は、真空チャンバC内で積層成形を行う真空積層装置2と、前記真空積層装置2の後工程に設けられ、加圧ブロック317,318に耐熱性エラストマー322,326からなる加圧面322a,326aが備えられた第1のプレス装置3と、前記第1のプレス装置3の後工程に設けられ、加圧ブロック417,418に緩衝材421,424を介して金属薄板422,425からなる加圧面422a,425aが備えられた第2のプレス装置4を備える。
【選択図】図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated molding system and a laminated molding method capable of satisfactorily performing laminating molding of various laminated molded products.
A laminating molding system 1 is provided in a vacuum laminating device 2 that performs laminating molding in a vacuum chamber C and a post-process of the vacuum laminating device 2, and is provided in a pressure block 317, 318 with a heat-resistant elastomer 322,326. A first press device 3 provided with pressure surfaces 322a and 326a comprising the first press device 3 and a thin metal plate provided on the pressure blocks 417 and 418 via cushioning materials 421 and 424. A second press device 4 provided with pressure surfaces 422a and 425a composed of 422 and 425 is provided.
[Selection diagram] Fig. 1
Description
本発明は、真空積層装置とプレス装置を備えた積層成形システムに関するものである。
The present invention relates to a laminating molding system including a vacuum laminating device and a pressing device.
真空積層装置とプレス装置を備えた積層成形システムとしては、真空積層装置の後工程に1台のプレス装置を備えたものと2台のプレス装置を備えたものが存在する。真空積層装置の後工程に2台のプレス装置を備えたものとしては、特許文献1と特許文献2に記載されたものが知られている。これら特許文献1と特許文献2は、部材の名称は異なるものの、いずれも真空積層装置の後工程に2台のプレス装置に熱盤の対向面に緩衝材層を介して弾性変形可能なフレキシブル金属板を設けたものである。そして前記2台のプレス装置を備えることによって、より高いレベルで表面が平滑化された積層体を製造することができるという効果が記載されている。
As a laminating molding system equipped with a vacuum laminating device and a pressing device, there are one equipped with one pressing device and one equipped with two pressing devices in the post-process of the vacuum laminating device. Those described in
しかしながら前記の真空積層装置の後工程に2台のプレス装置に熱盤の対向面に緩衝材層を介してフレキシブル金属板を設けた従来の積層成形システムは、全ての積層成形品の積層成形を良好にカバーすることができないという問題があった。即ち一例としては、被積層材である基板の凸部の高さが高い場合や凸部間の間隔が小さい場合、第2のプレス装置が前記緩衝材とフレキシブル金属板を備えたプレス装置であると加圧時に基板の凸部と凸部の間の凹部の部分に埋め込まれる積層フィルムの樹脂材料への圧力付与が十分に行えない場合があった。 However, the conventional laminating molding system in which the flexible metal plate is provided on the facing surface of the hot plate on the facing surface of the two presses in the post-process of the vacuum laminating device is capable of laminating and molding all the laminated molded products. There was a problem that it could not be covered well. That is, as an example, when the height of the convex portions of the substrate to be laminated is high or the distance between the convex portions is small, the second pressing device is a pressing device provided with the cushioning material and the flexible metal plate. In some cases, the pressure applied to the resin material of the laminated film embedded in the concave portion between the convex portion and the convex portion of the substrate during pressurization could not be sufficiently applied.
また積層フィルムが溶融時の流動性が悪い材料である場合も、第2のプレス装置が前記プレス装置であると加圧時に基板の凸部と凸部の間の凹部の部分に埋め込まれる積層フィルムの樹脂材料への圧力付与が十分に行えない場合があった。更には被積層材である基板の凸部が脆性を有する場合、第2のプレス装置が前記プレス装置であると加圧時に前記基板の凸部の部分のみに過剰な押圧力が加えられ、前記凸部に不具合が発生する場合があった。 Further, even when the laminated film is a material having poor fluidity at the time of melting, if the second press device is the press device, the laminated film is embedded in the concave portion between the convex portions of the substrate at the time of pressurization. In some cases, it was not possible to sufficiently apply pressure to the resin material. Further, when the convex portion of the substrate to be laminated has brittleness, if the second press device is the press device, an excessive pressing force is applied only to the convex portion of the substrate during pressurization, and the above-mentioned In some cases, problems occurred in the convex parts.
そこで本発明では、種々の積層成形品の積層成形を良好に行うことのできる積層成形システムおよび積層成形方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a laminated molding system and a laminated molding method capable of satisfactorily laminating various laminated molded products.
本発明の積層成形システムは、真空積層装置とプレス装置を備えた積層成形システムにおいて、真空チャンバ内で積層成形を行う真空積層装置と、前記真空積層装置の後工程に設けられ、加圧ブロックに耐熱性エラストマーからなる加圧面が備えられた第1のプレス装置と、前記第1のプレス装置の後工程に設けられ、加圧ブロックに緩衝材を介して金属薄板からなる加圧面が備えられた第2のプレス装置を備えたことを特徴とする。そのため種々の積層成形品の積層成形を良好に行うことができる。 The laminating molding system of the present invention is a laminating molding system provided with a vacuum laminating device and a pressing device, which is provided in a vacuum laminating device that performs laminating molding in a vacuum chamber and a post-process of the vacuum laminating device, and is provided in a pressure block. A first press device provided with a pressure surface made of a heat-resistant elastomer and a pressure surface made of a thin metal plate provided in a post-process of the first press device, the pressure block via a cushioning material. It is characterized by being equipped with a second press device. Therefore, it is possible to satisfactorily perform laminating molding of various laminated molded products.
本発明の請求項2に記載の積層成形システムは、請求項1において、前記第1のプレス装置と前記第2のプレス装置は、それぞれ加圧時に圧力制御が行われることを特徴とする。そのため前記第1のプレス装置と前記第2のプレス装置において正確な圧力で積層成形することができる。
The laminated molding system according to
本発明の請求項3に記載の積層成形システムは、請求項1において、前記第1のプレス装置は加圧時に圧力制御が行われ、前記第2のプレス装置は加圧時に少なくとも位置制御の要素を含む制御が行われることを特徴とする。
The laminated molding system according to claim 3 of the present invention has, in
本発明の積層成形方法は、真空積層装置とプレス装置を用いた積層成形方法において、真空チャンバ内で積層成形を行う真空積層装置にて1次積層成形品を成形し、前記1次積層成形品を、加圧ブロックには耐熱性エラストマーからなる加圧面が備えられた第1のプレス装置に送って2次積層成形品に積層成形し、前記2次積層成形品を、加圧ブロックには緩衝材を介して金属薄板からなる加圧面が備えられた第2のプレス装置に送って3次積層成形品に積層成形することを特徴とする。そのため種々の積層成形品の積層成形を良好に行うことができる。 The laminating molding method of the present invention is a laminating molding method using a vacuum laminating device and a pressing device, in which a primary laminating molded product is molded by a vacuum laminating device that performs laminating molding in a vacuum chamber, and the primary laminated molded product is formed. Was sent to a first press device provided with a pressure surface made of a heat-resistant elastomer in the pressure block to be laminated and molded into a secondary laminated molded product, and the secondary laminated molded product was buffered in the pressure block. It is characterized in that it is sent to a second press device provided with a pressure surface made of a thin metal plate via a material to be laminated and molded into a tertiary laminated molded product. Therefore, it is possible to satisfactorily perform laminating molding of various laminated molded products.
本発明の請求項5に記載の積層成形方法は、請求項4において、前記真空積層装置では、積層成形品の一方の面にダイアフラムを押圧して積層成形を行い、前記第1のプレス装置では、前記1次積層成形品の両面に耐熱性エラストマーからなる加圧面を押圧して積層成形を行い、前記第2のプレス装置では、前記2次積層成形品の両面に弾性可能な金属板からなる加圧面を押圧して積層成形を行うことを特徴とする。
The laminating molding method according to
そのため、ビルトアップ基板のような両面にフィルムを積層する種々の積層成形品の積層成形を良好に行うことができる。 Therefore, it is possible to satisfactorily perform laminating molding of various laminated molded products in which films are laminated on both sides such as a built-up substrate.
本発明の積層成形システムは、真空積層装置とプレス装置を備えた積層成形システムにおいて、真空チャンバ内で積層成形を行う真空積層装置と、前記真空積層装置の後工程に設けられ、加圧ブロックに耐熱性エラストマーからなる加圧面が備えられた第1のプレス装置と、前記第1のプレス装置の後工程に設けられ、加圧ブロックに緩衝材を介して金属薄板からなる加圧面が備えられた第2のプレス装置を備えているので、種々の積層成形品の積層成形を良好に行うことができる。 The laminating molding system of the present invention is a laminating molding system provided with a vacuum laminating device and a pressing device, which is provided in a vacuum laminating device that performs laminating molding in a vacuum chamber and a post-process of the vacuum laminating device, and is provided in a pressure block. A first press device provided with a pressure surface made of a heat-resistant elastomer, and a pressure surface provided in a post-process of the first press device, the pressure block provided with a pressure surface made of a thin metal plate via a cushioning material. Since the second press device is provided, it is possible to satisfactorily perform laminating molding of various laminated molded products.
本発明の第1の実施形態の積層成形システム1について、真空積層装置2と第1のプレス装置3と第2のプレス装置4を断面表示した図1を参照して説明する。積層成形システム1は、真空積層装置2の後工程に第1のプレス装置3と第2のプレス装置4の2台のプレス装置3,4が設けられている。また積層成形システム1は、真空積層装置2の前工程にキャリアフィルム送出装置5を備えるとともに第2のプレス装置4の後工程にキャリアフィルム巻取装置6を備えている。更に積層成形システム1は、制御装置7を備えている。前記制御装置7は、真空積層装置2、第1のプレス装置3、第2のプレス装置4、キャリアフィルム送出装置5、およびキャリアフィルム巻取装置6に接続されている。なお制御装置7は各装置に分散して制御機能を持たせたものでもよい。
The laminated
前工程から順にまずキャリアフィルム送出装置5について説明する。基板A1と積層フィルムA2の移送装置とテンション装置を兼ねるキャリアフィルム送出装置5は、下側の巻出ロール511および従動ロール512を備えている。前記巻出ロール511から巻き出された下キャリアフィルムF1は従動ロール512の部分で水平状態に向きが変更される。下キャリアフィルムF1が水平状態となった部分に、前工程から重ねられて送られてくる被成形材である基板A1と積層フィルムA2を載置する載置ステージ部513が設けられている。またキャリアフィルム送出装置5は、上側の巻出ロール514および従動ロール515を備えており、前記巻出ロール514から巻き出された上キャリアフィルムF2は従動ロール515の部分で基板A1と積層フィルムA2からなる積層成形物A3の上に重ねられる。これらキャリアフィルムF1,F2に挟まれて基板A1と積層フィルムA2が移送され、真空積層装置2、第1のプレス装置3、第2のプレス装置4においてキャリアフィルムF1,F2を介して積層成形が行われることにより、積層フィルムA2が溶融して装置部分に付着することを防止したり、特に第1のプレス装置3と第2のプレス装置4においては1次積層成形品A4と2次積層成形品A5を加圧する際に一定の緩衝作用が付与されるという利点もある。
First, the carrier
次にキャリアフィルム送出装置5の後工程に配置される真空積層装置2について説明する。真空積層装置2は、真空状態(減圧状態)のチャンバC内においてダイアフラム211等の加圧体により基板A1と積層フィルムA2からなる積層成形物A3を加圧して、1次積層成形品A4に積層成形するものである。真空積層装置2は、固定的に設けられた上盤212に対して下盤213が昇降機構214により昇降可能に設けられ、外枠を含む下盤213が上昇して上盤212と当接した際に内部にチャンバCが形成可能となっている。チャンバCは図示しない真空ポンプに接続され、真空チャンバCが形成可能となっている。また上盤212の中央の下面には熱板215が取付けられ、熱板215の表面には図示しない耐熱性のゴム膜等の弾性体シート216が取付けられている。一方、下盤213の中央の上面にも熱板217が取付けられている。また下盤213の前記熱板217の周囲の部分には加圧体である耐熱性ゴム膜からなるダイアフラム211が熱板217の上面を覆うように取付けられている。そして図示しないコンプレッサにより加圧空気がダイアフラム211の裏面側に送られることによりダイアフラム211はチャンバC内で膨出して熱板217との間で基板A1と積層フィルムA2を加圧する。なお真空積層装置2のダイアフラム211は上盤に取付けられたものでもよい。
Next, the vacuum laminating
次に前記真空積層装置2の後工程に直列方向に配設される第1のプレス装置3について瀬説明する。第1のプレス装置3は、真空積層装置2で加圧成形され凹凸部を備えた被積層材A1と積層フィルムA2とからなり積層フィルムA2の側に凹凸が残った状態の1次積層成形品A4を更に加圧してより平坦な2次積層成形品A5に加圧成形するものである。第1のプレス装置3は、下方に設けられた略矩形のベース盤311と、前記ベース盤311の上方に位置する略矩形の固定盤である上盤312の四隅近傍の間にそれぞれ立設されたタイバ313を備えている。そして第1のプレス装置3は、略矩形の可動盤である下盤314がベース盤311と上盤312との間で昇降移動可能となっている。またベース盤311には加圧手段であって油圧により作動する加圧シリンダ315が設けられ、加圧シリンダ315のラム316が下盤314の背面に固定されている。
Next, the first press device 3 arranged in the series direction in the subsequent process of the
加圧シリンダ315はサーボバルブ等の切換バルブやポンプを含む図示しない油圧装置に接続されている。また加圧シリンダ315は圧力センサにより作動圧が検出可能となっている。そして前記圧力センサを含む油圧装置は制御装置7に接続されている。なお第1の実施形態の第1のプレス装置3の加圧手段は、電動モータとトグル装置の組み合わせなど他の方式のものでもよい。その場合は力センサにより加圧力を検出する。更に第1のプレス装置3は、下盤に対して上盤が下降するものなどでもよい。更にまた第1の実施形態の第1のプレス装置3は、真空状態とすることが可能なチャンバを備えていないが、真空状態にすることが可能なチャンバを備え、真空チャンバ内で加圧を行うものでもよい。
The pressurizing
第1のプレス装置3の上盤312と下盤314の各対向面には加圧ブロック317,318がそれぞれ取付けられている。次に図2を用いて下盤314側の加圧ブロック318等について詳細に説明する。なお図2では弾性体シート322を含む弾性板323の長さに対する厚みは、実際のものよりも厚くデフォルメして描画されている。第1のプレス装置3の下盤314と加圧ブロック318の間には断熱材319が配置されている。また加圧ブロック318は、内部に加熱手段であるカートリッジヒータ320が複数本平行に配置されている。なお熱板でもある加圧ブロック318等は、特許文献1のように研磨板や板状のヒータを備えたものでもよく、図2のものに限定されない。
そして加圧ブロック318には耐熱性エラストマーからなる加圧面322aが備えられている。より具体的には加圧ブロック318の平滑な表面318aには、弾性板323が取り付けられている。弾性板323は、ステンレスの薄板からなる金属板321の面321aにフッ素ゴムからなる弾性体シート322が貼着されたものである。そして弾性板323の弾性体シート322の平滑な表面が加圧面322aとなっている。ただし弾性体シート322の加圧面322aは所定の面粗度を備えたものでもよい。弾性板323における金属板321に対する弾性体シート322の貼着は、耐熱性の接着材による接着または焼き付け等により貼着されている。
The
前記弾性板323におけるフッ素ゴムシート等の弾性体シート322の厚みは、0.2mmないし6.00mm、更に好ましくは0.5mmないし3.0mmの範囲となっている。また金属板321は、1次積層成形品A4の積層成形にさほど影響を与えるものではないが、0.2mmないし6.00mmの板厚の弾性変形可能な金属板が用いられる。金属板321の材質は、ステンレス以外の金属であってもよい。
The thickness of the
前記金属板321と弾性体シート322からなる弾性板323は、加圧面322a以外の周囲の複数個所(4箇所、6箇所、8箇所等)が図示しないボルト用の穴が設けられている。そして前記弾性板323は、前記穴にボルトが挿通され該ボルトが加圧ブロック318のボルト穴に係止されることにより、加圧ブロック318に取付けられている。なおボルトが挿通される周囲の部分には、弾性板323の熱膨張を許容するための調整部を設けてもよい。
The
第1のプレス装置3の加圧ブロック318等の表面に取り付られる弾性体シート322は次のようなものが好ましい。弾性体シート322には耐熱性エラストマーが用いられ、とりわけ熱硬化エラストマーであるゴムが好適に用いられる。前記ゴムとしてはフッ素ゴム(耐熱温度300℃)の他、シリコンゴム(耐熱温度280℃)、エチレン酢酸ビニルゴム(耐熱温度200℃)、エピクロルヒドリンゴム(耐熱温度180℃)、ブチルゴム(耐熱温度150℃)や前記ゴムの合成物など耐熱温度150℃以上のものが用いられる。従って本発明の耐熱性エラストマーとは耐熱温度150℃以上のものを指す。特にはフッ素ゴムやシリコンゴムといった耐熱温度250℃以上の高温対応の耐熱性エラストマーがより一層好適に用いられる。また耐熱性エラストマーは、他の耐熱性に優れた熱可塑性エラストマーまたは熱硬化性エラストマーでもよい。一例としてはポリイミドを含むエラストマーなどが挙げられる。
The
また前記弾性体シート322は、硬度(ショアA硬度)がこれに限定されるものではないが一例として30ないし80、更に好ましくは40ないし70のものが用いられる。弾性体シート322は前記硬度のものであれば同種または異種の複数枚数の耐熱性エラストマーシートからなるものであってもよい。
The
また加圧ブロック318への弾性体シート322の取り付けは、上記に限定されず、加圧ブロックに対して直接に弾性体シートが貼着されたものでもよい。更には後述する第2のプレス装置4のように加圧ブロックの表面にゴムまたは樹脂等からなる緩衝材が取り付けられ、その上面に金属薄板が取り付けられ、更にその上面に前記弾性体シートが貼着されたものでもよい。前記の場合金属薄板は、厚みが0.2mmないし3.0mmであって、加圧時に弾性変形するものが望ましい。
Further, the attachment of the
第1の実施形態の第1のプレス装置3においては、上盤312も下盤314と同様に、加圧ブロック317の上面に、金属板325とフッ素ゴムシート等の弾性体シート326からなる弾性板327が取り付けられている。そして弾性体シート326の表面が加圧面326aとなっている。しかしながら本発明においては、上盤312側の加圧ブロック317と下盤314側の加圧ブロック318は、少なくとも一方が上記の構造を備えたもの、または上盤312と下盤314で弾性体シート322,326の材質や厚みを異ならせたものであってもよい。具体的には基板A1の片面のみに凹凸部A1aが備えられており、前記凹凸部A1aのある側にのみ積層フィルムA2を貼り合わせる場合は、基板A1の凹凸部A1aのある側に対向する側の盤のみに、弾性体シートを備えた加圧ブロックを設けてもよい。しかしビルドアップ基板のように基板A1の両面に凹凸部が備えられており、両面側に積層フィルムA2を貼着する場合は、図1のよう第1のプレス装置3の上盤312と下盤314の加圧ブロック317,318に、フッ素ゴムシート等の耐熱性エラストマーの弾性体シート322,326等を備えることが望ましい。
In the first press device 3 of the first embodiment, the
次に第1のプレス装置3の後工程に直列方向に配置される第2のプレス装置4について説明する。第2のプレス装置4は、第1のプレス装置で積層成形された2次積層成形品A5を更に加圧して完全に平坦な3次積層成形品A6に加圧成形するものである。第2のプレス装置4は、加圧装置等の構造は第1のプレス装置3と略同一である。即ち下方に設けられた略矩形のベース盤411と、前記ベース盤411の上方に位置する略矩形の固定盤である上盤412の四隅近傍の間にそれぞれ立設されたタイバ413を備えている。そして第2のプレス装置4は、略矩形の可動盤である下盤414がベース盤411と上盤412との間で昇降移動可能となっている。またベース盤411には加圧手段であって油圧により作動する加圧シリンダ415が設けられ、加圧シリンダ415のラム416が下盤414の背面に固定されている。
Next, the
加圧シリンダ415はサーボバルブ等の切換バルブやポンプを含む図示しない油圧装置に接続されている。また加圧シリンダ415は圧力センサにより作動圧が検出可能となっている。また上盤412と下盤414の間、または上盤側の加圧ブロック417と、下盤側の加圧ブロック418の間の距離を測定する位置センサ423が設けられている。そして前記油圧装置、圧力センサ、位置センサ423等は制御装置7に接続されている。なお第1の実施形態の第2のプレス装置4の加圧手段もまた、電動モータとトグル装置の組み合わせなど他の方式のものでもよい。その場合は力センサにより加圧力を検出する。その場合は更に加圧手段のサーボモータに付設されるロータリエンコーダが位置センサであってもよい。更にまた第2のプレス装置4は、下盤に対して上盤が下降するものなどでもよい。
The pressurizing
第2のプレス装置4の上盤412と下盤414の各対向面には加圧ブロック417,418がそれぞれ取付けられている。次に図3を用いて下盤414側の加圧ブロック418等について詳細に説明する。第2のプレス装置4の下盤414と加圧ブロック418の間には断熱材419が配置されている。また加圧ブロック418は内部に加熱手段であるカートリッジヒータ420が複数本平行に配置されている。
そして加圧ブロック418の平滑な表面418aにはシート状の緩衝材421が重ねられている。緩衝材421の材料としては、ポリイミドフィルム等のエンジリアリングプラスチックまたは熱硬化性樹脂の樹脂フィルム、フッ素ゴムやシリコンゴムなどのゴムシートが挙げられる。そして前記緩衝材421の表面にはステンレス製の薄板等の金属薄板422が重ねられている。前記緩衝材421が樹脂フィルムの場合は、硬度(ロックウェルR硬度)(ISO 2039-2)が、30ないし140のものが好適にも用いられる。また前記緩衝材421がゴムシートの場合は、硬度(ショアA硬度)は、40ないし90のものが好適に用いられる。
A sheet-shaped
また第1の実施形態では緩衝材421は1枚のポリイミドフィルムのみが用いられるが、同種または異種の樹脂脂フィルムまたはゴムシートを2枚以上、単に重ねたり貼合わせしたものでもよい。またこれらの緩衝材421の厚みは0.02mmないし4.00mm、更に好ましくは0.05mmないし2.00mmがより好ましい。
Further, in the first embodiment, only one polyimide film is used as the
前記緩衝材421の表面421aには金属薄板422が重ねられる。本実施形態では金属板321は、ステンレス製の薄板であって、加圧面422aである表面が平滑な鏡面板となっている。金属薄板422の厚みは0.3mmないし5.0mm、より好ましくは0.8mmないし3.0mmである。なお金属薄板422の材質は、ステンレスに限定されず、鉄、アルミニウム、ニッケルやそれらの合金であってもよい。また成形物によっては加圧面である表面は所定の面粗度を備えたものでもよい。緩衝材421と金属薄板422は図示しないボルト等により加圧ブロック418に固定されている。また緩衝材421や金属薄板422を着脱自在に設け、積層成形される積層成形物A3に応じて適切な緩衝材421や金属薄板422に変更着脱できるようにしてもよい。
A
第1の実施形態の第2のプレス装置4においては、上盤412も下盤414と同じ加圧ブロック417、緩衝材424、金属薄板425およびその加圧面425aを備えている。しかしながら本発明においては、上盤412側の加圧ブロック417と下盤414側の加圧ブロック418は、少なくとも一方が上記の構造を備えたもの、または上盤412と下盤414で緩衝材421の材質や厚みを異ならせたもの、或いは金属薄板の材質や厚みを異ならせたものであってもよい。具体的には基板A1の片面のみに凹凸部A1aが備えられており、前記凹凸部A1aのある側にのみ積層フィルムA2を貼り合わせる場合は、基板A1の凹凸部A1aのある側に対応する側の盤のみに、緩衝材とステンレス製の薄板を備えた加圧ブロックを設けてもよい。しかし基板A1の両面に凹凸部が備えられており、両面側に積層フィルムA2を貼着する場合は、図1のよう第2のプレス装置4の上盤412と下盤414の加圧ブロック417.418に、緩衝材424,421、金属薄板425,422を備えることが望ましい。
In the
次に第2のプレス装置4の後工程に設けられるキャリアフィルム巻取装置6について説明する。キャリアフィルム巻取装置6は、キャリアフィルムF1,F2の移送装置とテンション装置を兼ねたものである。キャリアフィルム巻取装置6は、下側の巻取ロール611および従動ロール612を備えており、前記巻取ロール611により下キャリアフィルムF1が巻き取られる。またキャリアフィルム巻取装置6は、上側の巻取ロール613および従動ロール614を備えており、前記従動ロール614の部分で3次積層成形品A6から上キャリアフィルムF2が剥離され、上キャリアフィルムF2は前記上側の巻取ロール613に巻取られる。そして下キャリアフィルムF1のみが水平状態で送られる部分に3次積層成形品A6の取出ステージ部615が設けられている。なおキャリアフィルムF1,F2の移送装置としては、キャリアフィルムF1,F2の両側を把持して後工程に向けて引っ張る移載装置を設けてもよい。また積層成形システム1の積層成形物A3、1次積層成形品A4、2次積層成形品A5、3次積層成形品A6の移送装置は前記に限定されず、多軸ロボット等を用いたものでもよい。なお第1の実施形態の積層成形システム1において、第2のプレス装置4の後工程に冷却プレス装置等の更に別の装置を設ける場合は、キャリアフィルム巻取装置6は前記別の装置の後工程に設けられる。
Next, the carrier
次に第1の実施形態の積層成形システム1を用いた、被積層材A1と積層フィルムA2の積層成形方法について説明する。連続成形時の積層成形システム1では、ダイアフラム式の真空積層装置2、第1のプレス装置3、第2のプレス装置4において制御装置7によるシーケンス制御により、同時にバッチ処理的に積層成形が行われる。しかしここでは1バッチ分の被積層材である基板A1と積層フィルムA2の積層成形物A3の成形順序に沿って説明する。キャリアフィルム送出装置5から巻き出してキャリアフィルム巻取装置6に巻き取られる上下のキャリアフィルムF1.F2は、これに限定されるものでないが、ポリエチレンテレフタレート(PET)製で厚みは0.02mmないし0.20mmのものが多い。
Next, a method for laminating and molding the material to be laminated A1 and the laminated film A2 using the
キャリアフィルム送出装置5の載置ステージ部513に載置される被積層材A1は、基板表面に接着された銅箔部分の凸部A1bと銅箔が無い部分の凹部A1cからなる凹凸部A1aを有するビルドアップ用の回路基板である。銅箔の厚み(基板部分に対する高さ)はこれに限定されないが数umから数十um程度であって殆どの場合0.1mm以下である。前記回路基板A1の上下にそれぞれ積層フィルムA2が重ねられてビルドアップ成形用の積層成形物A3が構成される。なお図1では積層成形物A3は1個が記載されているが同時に複数個数の積層成形物A3を積層成形するものでもよい。
The laminated material A1 mounted on the mounting
第1の実施形態における積層フィルムA2は絶縁フィルムであって、元の保存状態から両面に積層されているPETフィルムが剥離されて使用される。前記積層フィルムA2の厚みは、これに限定されるものではないが0.01mmないし0.1mmのものが市販されており多く使用される。また積層フィルムA2は銅箔層が積層されたものでもよく、これらの樹脂フィルムも本発明の積層成形システム1による積層成形に用いられる。
The laminated film A2 in the first embodiment is an insulating film, and the PET film laminated on both sides is peeled off from the original storage state before use. The thickness of the laminated film A2 is not limited to this, but 0.01 mm to 0.1 mm is commercially available and is widely used. Further, the laminated film A2 may be one in which copper foil layers are laminated, and these resin films are also used for laminated molding by the
そして載置ステージ部513に載置された前記積層成形物A3は、巻取ロール611,613の回転駆動ともに上下キャリアフィルムF1,F2とともに移動され、開放状態の真空積層装置2のチャンバC内に送られ位置決めされる。次に真空積層装置2はチャンバCが閉鎖され図示しない真空ポンプにより減圧され、真空チャンバCが形成される。そしてダイアフラム211の裏面側に加圧空気を送り込んでダイアフラム211をチャンバC内に膨出させ、基板A1と積層フィルムA2からなる積層成形物A3を上盤212側の熱板215に取り付られた弾性体シート216との間で加圧する。この際のダイアフラム211による加圧力(積層成形物A3に加えられる面積当たりの圧力)は一例として1.0MPa以下であり、基板A1の凹部A1cに積層フィルムA2が埋め込まれる形で基板A1と積層フィルムA2の接着が行われ、1次積層成形品A4が積層成形される。しかし真空積層装置により積層成形された1次積層成形品A4の積層フィルムA2の表面はまだ基板A1の凹凸部A1aの形状に倣って凹凸が残った状態である。またこの際、使用される積層フィルムが無機材料の含有率が高い場合には溶融樹脂の流動性が低いのでより一層凹凸が残りやすい。
The laminated molded product A3 mounted on the mounting
真空積層装置2において凹凸部A1aを備えた被積層材A1と積層フィルムA2からなり、両者が貼着された1次積層成形品A4が積層成形されるとチャンバCが開放される。そして前記1次積層成形品A4はキャリアフィルム巻取装置6による次のキャリアフィルムF1,F2の送りにより、第1のプレス装置3の上盤312と下盤314の間に搬送され、所定の加圧位置に停止される。次に第1のプレス装置3の加圧シリンダ315が作動され、下盤314および加圧ブロック318が上昇される。加圧ブロック318にはフッ素ゴムシート等の弾性体シート322が取り付けられていることは上記した通りであるが、前記弾性体シート322の加圧面322aが下キャリアフィルムF1に当接後更に下キャリアフィルムF1を介して1次積層成形品A4を押し上げる。そして1次積層成形品A4は、上キャリアフィルムF2を介して上盤312の加圧ブロック317の弾性体シート326の加圧面326aに当接される。
In the
前記当接位置に下盤314等が上昇したことは図示しないセンサにより検出され、制御装置7から送られる信号により第1のプレス装置3では加圧シリンダ315による圧力制御が開始される。圧力制御時には、制御装置7により、図示しない油圧センサの検出値が設定値となるようにサーボバルブ等のバルブや回転数を制御可能なポンプ等のクローズドループ制御が行われる。その結果1次積層成形品A4に対して所定の加圧力を加えることができる。また1次積層成形品A4に加えられる面積当たりの圧力は、基板A1や積層フィルムA2の材質により異なりこれに限定されるものではないが、1.0MPaないし3.0MPa、より好ましくは1.5MPaないし2.5MPaとなるように加圧シリンダ315の設定圧(油圧)が制御装置7により制御される。
It is detected by a sensor (not shown) that the
なおプレス成形時の設定圧は、加圧開始時から徐々に昇圧させ一定圧に保持した後、後半に低下させることが望ましいが、多段階に変化させるなどしてもよい。プレス成形時の加圧力が強すぎたりると1次積層成形品A4の端部から積層フィルムA2を構成していた溶融樹脂材料が流出して温度条件と同様に良好に加圧成形ができない。また加圧力が弱すぎると基板A1への積層フィルムA2の埋め込みが十分できなかったり、2次積層成形品A5の表面が十分な平坦性が得られなかったりする。 It is desirable that the set pressure at the time of press molding is gradually increased from the start of pressurization, maintained at a constant pressure, and then lowered in the latter half, but may be changed in multiple stages. If the pressing force during press molding is too strong, the molten resin material constituting the laminated film A2 flows out from the end portion of the primary laminated molded product A4, and pressure molding cannot be performed as well as the temperature condition. Further, if the pressing force is too weak, the laminated film A2 cannot be sufficiently embedded in the substrate A1, and the surface of the secondary laminated molded product A5 may not have sufficient flatness.
またこの際の第1のプレス装置3の加圧ブロック317,318(熱板)の温度は、基板A1や積層フィルムA2の材質によって異なるからこれに限定されるものではないが、80℃ないし140℃、より好ましくは90℃ないし130℃に温度制御される。この際の温度が高すぎると積層フィルムを構成する樹脂材料が溶融した際の粘度が低くなって流動性が高くなりすぎて1次積層成形品A4の端部から積層フィルムA2を構成する樹脂材料が流出して積層成形品の所望の板厚や絶縁層の厚みが得られない。更に加圧ブロック317,318の温度が高すぎる場合は、樹脂材料の劣化を招いたり、後工程での冷却も含めた成形サイクル時間がより長く必要となるといった問題も発生する。一方、加圧時の加圧ブロック317,318の温度が低すぎると、樹脂材料の際の粘度が高すぎて所望の流動性が得られず、基板A1への積層フィルムA2の埋め込みが十分できなかったり、2次積層成形品A5の表面が十分な平坦性が得られなかったりする問題が発生する。 Further, the temperature of the pressure blocks 317 and 318 (hot plates) of the first press device 3 at this time is not limited to this because it differs depending on the material of the substrate A1 and the laminated film A2, but is not limited to 80 ° C. to 140. The temperature is controlled to ° C, more preferably 90 ° C to 130 ° C. If the temperature at this time is too high, the viscosity when the resin material constituting the laminated film is melted becomes low and the fluidity becomes too high, and the resin material constituting the laminated film A2 is formed from the end portion of the primary laminated molded product A4. Will flow out and the desired plate thickness and insulating layer thickness of the laminated molded product cannot be obtained. Further, if the temperatures of the pressure blocks 317 and 318 are too high, there are problems that the resin material is deteriorated and the molding cycle time including cooling in the subsequent process is required to be longer. On the other hand, if the temperature of the pressure blocks 317 and 318 during pressurization is too low, the viscosity of the resin material is too high to obtain the desired fluidity, and the laminated film A2 can be sufficiently embedded in the substrate A1. There is a problem that the surface of the secondary laminated molded product A5 is not sufficiently flat.
このように加圧面322a,326aを弾性体シートとした第1のプレス装置3により、1次積層成形品A4を積層成形することにより、例えば被積層材である基板A1の凸部A1bの高さが高い場合や凸部A1b間の間隔が小さい場合であっても、基板A1の凸部A1bと凸部A1bの間の凹部A1cの部分に埋め込まれる積層フィルムの樹脂材料への圧力付与が十分に行える。また積層フィルムA2が溶融時の流動性が悪い材料である場合も、基板A1の凸部A1bと凸部A1bの間の凹部A1cの部分に埋め込まれる積層フィルムA2の樹脂材料への圧力付与が十分に行える。更には基板A1の凸部A1bが脆性を有する場合であっても、前記凸部A1bの部分のみに過剰な押圧力が加えられて、前記凸部A1bに不具合が発生することを防止することができる。従って第1のプレス装置3を用いることにより種々の積層成形品の積層成形(2次成形)を良好に行うことができる。
By laminating and molding the primary laminated molded product A4 by the first press device 3 using the
第1のプレス装置3において2次積層成形品A5が積層成形されると、下盤314が下降される。そしてキャリアフィルム巻取装置6による次のキャリアフィルムF1,F2の送りにより、前記2次積層成形品A5は第2のプレス装置4の上盤412と下盤414の間に搬送され、所定の加圧位置に停止される。次に第2のプレス装置4の加圧シリンダ415が作動され、下盤414および加圧ブロック418が上昇される。加圧ブロック418には緩衝材421を介して金属薄板422が取り付けられていることは上記した通りであるが、前記金属薄板422の加圧面422aが下キャリアフィルムF1に当接後更に下キャリアフィルムF1を介して1次積層成形品A4を押し上げる。そして2次積層成形品A5は、上キャリアフィルムF2を介して上盤312の加圧ブロック417の金属薄板425の加圧面425aに当接される。
When the secondary laminated molded product A5 is laminated and molded in the first press device 3, the
前記当接の位置に下盤414等が上昇したことは図示しないセンサにより検出され、第1のプレス装置3では加圧シリンダ315による位置制御が開始される。位置制御時には、制御装置7により、位置センサ423の検出値が設定値となるようにサーボバルブ等のバルブまたは回転数を制御可能なポンプのクローズドループ制御によるが行われる。なお本実施形態の位置制御には速度制御の要素も含むものとする。その結果2次積層成形品A5を所定の厚みとなるように加圧することができる。
It is detected by a sensor (not shown) that the
なお第2のプレス装置4による積層成形時のプレス制御は、少なくとも位置制御の要素を含むものであればよい。具体的には圧力制御と位置制御を組み合わせたものであってもよく、その場合、圧力制御をフィードフォーワード制御とし、位置制御をクローズドループ制御として両者を組み合わせてもよい。また圧力制御をクローズドループ制御とし、位置制御(速度制御)をフィードフォーワード制御としてもよい。
The press control at the time of laminating molding by the
第1の実施形態では、第2のプレス装置4の加圧時の金属薄板422,425の変形は、第1のプレス装置3の加圧時の弾性体シート322の弾性変形よりも小さい。そして第2のプレス装置4の加圧時に少なくとも位置制御の要素を含む制御が行われる。その結果、第2のプレス装置4において積層成形される3次積層成形品A6(完成品)は、厚み精度と表面の平坦度が優れたものとなる。そして所定の加圧時間が終了すると第2のプレス装置4の加圧シリンダ415が再度作動して下盤414が下降する。次にキャリアフィルム巻取装置6の上下の巻取ロール611,613が回転作動され、3次積層成形品A6(完成品)は取出ステージ部615に移送され、図示しない移載装置により後工程に搬出される。
In the first embodiment, the deformation of the metal
いずれにしても第1の実施形態では、真空積層装置と、前記真空積層装置の後工程に設けられ、加圧ブロックに耐熱性エラストマーからなる加圧面が備えられた第1のプレス装置と、前記第1のプレス装置の後工程に設けられ、加圧ブロックに緩衝材を介して金属薄板からなる加圧面が備えられた第2のプレス装置の3段階で積層成形物A3の積層成形を行うことにより次の効果が期待できる。即ちまず真空積層装置により基板Aの凹部A1cへ樹脂フィルムA2の溶融樹脂による埋め込みを行う際に空気を除去した形で溶融樹脂を導入した1次積層成形品A4とする。次に第1のプレス装置3により前記1次積層成形品A4の基板A1の凹部A1cへの溶融樹脂の埋め込みをより完全に均等な状態にするとともに1次積層成形品A4の表面の凹凸を減少させた2次積層成形品A5とする。次に第2のプレス装置4により前記2次積層成形品A5の表面の凹凸を完全に無くして平坦にするとともに位置制御を行うことにより板厚精度を設定通りのものとする。
In any case, in the first embodiment, the vacuum laminating device, the first pressing device provided in the post-process of the vacuum laminating device and the pressure block having a pressure surface made of a heat-resistant elastomer, and the above-mentioned Laminating molding of the laminated molded product A3 is performed in three stages of the second pressing device, which is provided in a post-process of the first pressing device and is provided with a pressure surface made of a thin metal plate in a pressure block via a cushioning material. The following effects can be expected. That is, first, it is a primary laminated molded product A4 in which the molten resin is introduced in a form in which air is removed when the resin film A2 is embedded in the recess A1c of the substrate A by the vacuum laminating device. Next, the first press device 3 makes the embedding of the molten resin in the recesses A1c of the substrate A1 of the primary laminated molded product A4 more completely uniform and reduces the unevenness of the surface of the primary laminated molded product A4. It is referred to as a secondary laminated molded product A5. Next, the
なお第1のプレス装置3や第2のプレス装置4の弾性体シート322等や緩衝材421等の材質や積層成形物A3の種類によっては、第1のプレス装置3と第2のプレス装置4は共に圧力制御(圧力制御のみを含む)を行うものでもよい。
Depending on the materials such as the
次に図4に示される第2の実施形態の積層成形システム8について、第1の実施形態の積層成形システム1との相違点を中心に符号を付して説明する。第2の実施形態の積層成形システム8の真空積層装置9の加圧機構は、ダイアフラムを使用するものではない。真空積層装置9の加圧機構は、第1の実施形態の第1のプレス装置3と同じであり、加圧シリンダ915等を備えた構造である。真空積層装置9は下盤912に取り付られる加圧ブロック913の表面には、ステンレスの薄板からなる金属板916とフッ素ゴムからなる弾性体シート917とが一体に貼着された弾性板918が取り付けられている。そして弾性体シート917の表面が加圧面917aとなっている。また下盤912も同様に、加圧ブロック914の表面には、ステンレスの薄板からなる金属板919とフッ素ゴムからなる弾性体シート920とが一体に貼着された弾性板921が取り付けられている。そして弾性体シート920の表面が加圧面920aとなっている。また加圧シリンダ915の作動により下盤912が上昇して前記加圧面917a,920aの間で加圧成形を行う点も同じである。また弾性板918,921は、積層成形物A3の種類に応じて交換可能としてもよい。
Next, the
第1の実施形態の積層成形システム1の第1のプレス装置3と第2の実施形態の積層成形システム8の真空積層装置9の構造上の相違点は、真空積層装置9は、上盤911と下盤912の少なくとも一方にはチャンバ形成部材である側壁部922,923が形成されており、下盤912等の上昇により上盤911と下盤912の相対的な距離が近づいた際に真空チャンバCが形成されるようになっている点である。そして真空積層装置9には、前記チャンバC内を真空状態にするための図示しない真空ポンプを備えている。
The structural difference between the first press device 3 of the
また真空積層装置9の後工程には、第1の実施形態の積層成形システム1と同じ2次成形に用いる第1のプレス装置3と3次成形に用いる第2のプレス装置4が直列方向に備えられている。第1のプレス装置3と3次成形に用いる第2のプレス装置4の構造およびバリエーションは、第1の実施形態の積層成形システム1と同様であるので上記の第1の実施形態の説明を援用する。
Further, in the post-process of the vacuum laminating device 9, the first pressing device 3 used for the same secondary forming as the
第2の実施形態の積層成形システム8を用いた積層成形方法については、1次成形から加圧シリンダ915を用いた真空積層装置9により被積層材である基板A1と積層フィルムA2からなる積層成形物A3の加圧を行う。この際の加圧ブロック913,914の温度は、第1のプレス装置3と同じでもよいが、積層フィルムA2の溶融時の流動性を良好にするために第1のプレス装置3よりも高くしてもよい。加圧ブロック913,914の温度を高くする場合は20℃以内の範囲で高くすることが望ましい。そして真空積層装置9では、加圧シリンダ915により加圧ブロック913,914とフッ素ゴムシート等の弾性体シート917,920を介して積層成形物A3の加圧を行うので、第1の実施形態のダイアフラム211を用いた真空積層装置2よりも大きな加圧力で1次成形を行うことができる。従って積層フィルムA2の溶融時の流動性が悪い場合であっても良好に積層成形を行うことができる。
Regarding the laminating molding method using the
真空積層装置9で積層成形された1次積層成形品A4は、第1の実施形態の積層成形システム1と同様に第1のプレス装置3に送られて2次積層成形品A5に積層成形され、第2のプレス装置4に送られて3次積層成形品A6に積層成形される。第2の実施形態の積層成形システム8における第1のプレス装置3および第2のプレス装置4における積層成形方法は、第1の実施形態の積層成形システム1の積層成形方法と同様であるので上記の第1の実施形態の説明を援用する。
The primary laminated molded product A4 laminated and molded by the vacuum laminating device 9 is sent to the first press device 3 and laminated and molded on the secondary laminated molded product A5 in the same manner as the
なお第1の実施形態および第2の実施形態の第1のプレス装置3,第2のプレス装置4は、出荷時にはフッ素ゴムシート等の弾性体シート322,326を含む弾性板323,327や緩衝材421,424、ステンレスの薄板等の金属薄板422,425は取り付られていない状態で出荷され、成形工場で、弾性板323,327や、緩衝材421,424、金属薄板422,425等を取り付けることも想定される。また各種の弾性板323,327、緩衝材421,424、金属薄板422,425に交換して積層成形を行うことも想定され、それらの形態も本発明に包含される。
The first press device 3 and the
本発明については、一々列挙はしないが、上記した第1の実施形態および第2の実施形態のものに限定されず、当業者が本発明の趣旨を踏まえて変更を加えたものや第1の実施形態および第2の実施形態の各記載を掛け合わせたものについても、適用されることは言うまでもないことである。積層成形システム1,8で積層成形される積層成形品は、回路基板の他、半導体ウエハや他の板状体であってもよく限定されない。
Although the present invention is not listed one by one, it is not limited to those of the first embodiment and the second embodiment described above, and those skilled in the art have been modified in view of the gist of the present invention or the first embodiment. Needless to say, it is also applied to the product of the description of the embodiment and the second embodiment. The laminated molded product to be laminated and molded by the
1,8 積層成形システム
2,9 真空積層装置
3 第1のプレス装置
4 第2のプレス装置
212,312,412,911 上盤
213,314,414,912 下盤
317,318,417,418,913,914 加圧ブロック
322,326,917,920 弾性体シート(耐熱性エラストマー)
322a,326a,422a,425a,917a,920a 加圧面
422,425 金属薄板
A4 1次積層成形品
A5 2次積層成形品
A6 3次積層成形品
1,8
317,318,417,418,913,914 Pressurized block 322,326,917,920 Elastic sheet (heat resistant elastomer)
322a, 326a, 422a, 425a, 917a, 920a Pressurized surface 422,425 Metal thin plate A4 Primary laminated molded product A5 Secondary laminated molded product A6 Tertiary laminated molded product
Claims (3)
真空チャンバ内で積層成形を行う真空積層装置と、
前記真空積層装置の後工程に設けられ、加圧ブロックの表面から離れる方向に向かって金属薄板、耐熱性エラストマーの順に積層されるからなる加圧面が備えられた第1のプレス装置と、
前記第1のプレス装置の後工程に設けられ、加圧ブロックの表面から離れる方向に向かって緩衝材、金属薄板の順に積層される加圧面が備えられた第2のプレス装置を備えたことを特徴とする積層成形システム。 In a laminating molding system equipped with a vacuum laminating device and a pressing device,
A vacuum laminating device that performs laminating molding in a vacuum chamber,
A first press device provided in a subsequent step of the vacuum laminating device and provided with a pressured surface composed of a thin metal plate and a heat-resistant elastomer laminated in this order toward a direction away from the surface of the pressure block.
It is provided with a second press device provided in a subsequent step of the first press device and provided with a pressure surface in which a cushioning material and a thin metal plate are laminated in this order toward a direction away from the surface of the pressure block. A featured laminated molding system.
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