JP6988588B2 - 樹脂組成物、シート状積層材料、プリント配線板及び半導体装置 - Google Patents
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Description
[1](A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂、及び
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たす樹脂組成物。
[2]熱硬化性官能基FAが、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上である、[1]に記載の樹脂組成物。
[3]ラジカル重合性官能基FBが、エチレン性不飽和基である、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4]ラジカル重合性官能基FBが、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、[1]〜[3]の何れかに記載の樹脂組成物。
[5](C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上である、[1]〜[4]の何れかに記載の樹脂組成物。
[6](C)成分の官能基FB’が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、[1]〜[5]の何れかに記載の樹脂組成物。
[7]さらに(D)無機充填剤を含む、[1]〜[6]の何れかに記載の樹脂組成物。
[8]導体層を形成するための絶縁層用である、[1]〜[7]の何れかに記載の樹脂組成物。
[9]プリント配線板の絶縁層用である、[1]〜[8]の何れかに記載の樹脂組成物。
[10][1]〜[9]の何れかに記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。
[11][1]〜[9]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物を含む、プリント配線板。
[12][1]〜[9]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置。
なお、以下の説明において、「樹脂成分」とは、別途明示のない限り、樹脂組成物に含まれる不揮発成分のうち、(D)無機充填材(以下、本明細書中「(D)成分」ともいう)を除いた成分をいう。
本発明の樹脂組成物は、(A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂、(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂、及び(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、を含む樹脂組成物であって、(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400を満たすことを特徴とする。本発明の樹脂組成物を硬化して形成される硬化物は、(B)成分のラジカル重合性官能基FBと、(C)成分の官能基FB’とが反応して形成される分子構造部位を含む。この分子構造部位は極性が小さく、そのため、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低減することができる。
本発明の樹脂組成物は、(A)成分として、熱硬化性官能基FAを有する樹脂を含有する。斯かる(A)成分の熱硬化性官能基FAと(C)成分の官能基FA’とが反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、構造が密となり、機械強度が高く、密着性に優れる硬化物をもたらすことができる。
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂が挙げられる。ビスフェノール型エポキシ樹脂は、ビスフェノール構造を有するエポキシ樹脂を指し、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂が挙げられる。ビフェニル型エポキシ樹脂は、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂を指し、ここでビフェニル構造はアルキル基、アルコキシ基、アリール基等の置換基を有していてもよい。したがって、ビキシレノール型エポキシ樹脂もビフェニル型エポキシ樹脂に含まれる。
フェノール樹脂及びナフトール樹脂としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール樹脂、又はノボラック構造を有するナフトール樹脂が好ましい。また、導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール樹脂又は含窒素ナフトール樹脂が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール樹脂又はトリアジン骨格含有ナフトール樹脂がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。
ベンゾオキサジン樹脂としては、例えば、6,6−(1−メチルエチリデン)ビス(3,4−ジヒドロ−3−フェニル−2H−1,3−ベンゾオキサジン)、6,6−(1−メチルエチリデン)ビス(3,4−ジヒドロ−3−メチル−2H−1,3−ベンゾオキサジン)等が挙げられる。ベンゾオキサジン樹脂は、そのオキサジン環が開環重合した構造を含んでもよい。ベンゾオキサジン樹脂の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」、エア・ウォーター社製の「RLV−100」等が挙げられる。
シアネートエステル樹脂としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート))、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル樹脂の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。
活性エステル樹脂としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。活性エステル樹脂は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル樹脂が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル樹脂がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。
カルボジイミド樹脂としては、分子中に1個以上のカルボジイミド基(−N=C=N−)を有する樹脂が挙げられる。カルボジイミド樹脂は、分子中にカルボジイミド基を2個以上有することが好ましい。カルボジイミド樹脂の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。
酸無水物樹脂としては、分子中に1個以上の酸無水物基を有する樹脂が挙げられる。酸無水物樹脂としては、例えば、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、3,3’−4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5−(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−C]フラン−1,3−ジオン、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。酸無水物樹脂の具体例としては、新日本理化社製の「MH−700」等が挙げられる。
オキセタン樹脂としては、分子中に1個以上のオキセタニル基を有する樹脂が挙げられる。オキセタン樹脂としては、例えば、オキセタン、2−メチルオキセタン、2,2−ジメチルオキセタン、3−メチルオキセタン、3,3−ジメチルオキセタン等のアルキルオキセタン、3−メチル−3−メトキシメチルオキセタン、3,3−ジ(トリフルオロメチル)パーフルオロオキセタン、2−クロロメチルオキセタン、3,3−ビス(クロロメチル)オキセタン、及びビフェニル型オキセタンが挙げられる。オキセタン樹脂の具体例としては、東亞合成社製の「OXT−101」、「OXT−121」が挙げられる。
エピスルフィド樹脂としては、分子中に1個以上のエピスルフィド基を有する樹脂が挙げられる。エピスルフィド樹脂は、分子中にエピスルフィド基を2個以上有することが好ましい。エピスルフィド樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エピスルフィド樹脂、ナフタレン型エピスルフィド樹脂、ノボラック型エピスルフィド樹脂、ビフェニル型エピスルフィド樹脂が挙げられる。エピスルフィド樹脂の具体例としては、三菱化学社製の「YL7000」が挙げられる。
イソシアネート樹脂としては、分子中に1個以上のイソシアネート基を有する樹脂が挙げられる。イソシアネート樹脂は、分子中にイソシアネート基を2個以上有することが好ましい。イソシアネート樹脂としては、例えば、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等が挙げられる。
アミノ樹脂としては、例えば、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、アセトグアナミン樹脂、スピログアナミン樹脂、シクロヘキシルグアナミン樹脂等が挙げられる。アミノ樹脂の具体例としては、三井サイアナミッド社製のサイメルシリーズ、三和ケミカル社製のニカラックシリーズが挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、(B)成分として、ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂を含む。(B)成分のラジカル重合性官能基FBと(C)成分の官能基FB’とが反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低減することができる。
式(B2−2)において、R19〜R26は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基を表す。
式(B2−3)において、R27〜R34は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基を表す。また、式(B2−3)において、Eは、炭素原子数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基を表す。
本発明の樹脂組成物は、(C)成分として、熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂を含む。(C)成分を用いることにより、(A)成分及び(B)成分の両成分と反応し、硬化物を形成する。(A)成分の熱硬化性官能基FAと、(C)成分の官能基FA’とが反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、構造が密となり、硬化物の機械強度が高く、密着性に優れるものとなる。また、(B)成分のラジカル重合性官能基FBと、(C)成分の官能基FB’とが反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低減することができる。
熱硬化性官能基FAが活性エステル基である場合、官能基FA’はエポキシ基、カルボジイミド基であってよい。
熱硬化性官能基FAがフェノール性水酸基である場合、官能基FA’はエポキシ基、フェノール性水酸基であってよい。
熱硬化性官能基FAがカルボジイミド基である場合、官能基FA’はエポキシ基、活性ステル基であってよい。
熱硬化性官能基FAと官能基FA’との組み合わせは、それらが反応し得る限り特に限定されないが、熱硬化性官能基FAと官能基FA’の少なくとも一方は、エポキシ基、エピスルフィド基、又はオキセタニル基であることが好ましく、エポキシ基であることがより好ましい。
本発明の樹脂組成物は、(D)成分として、無機充填材をさらに含んでもよい。無機充填材を含むことにより、線熱膨張係数及び誘電正接が一層低い硬化物を実現し得る。
本発明の樹脂組成物は、硬化促進剤をさらに含んでもよい。硬化促進剤としては、例えば、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、過酸化物系硬化促進剤等が挙げられる。中でも、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、過酸化物系硬化促進剤が好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。硬化促進剤を使用する場合、樹脂組成物中の硬化促進剤の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、0.01〜3質量%の範囲が好ましい。
本発明の樹脂組成物は、熱可塑性樹脂をさらに含んでもよい。熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂、インデンクマロン樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の樹脂組成物は、難燃剤をさらに含んでもよい。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。難燃剤を使用する場合、樹脂組成物中の難燃剤の含有量は特に限定はされないが、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、0.5〜20質量%の範囲が好ましく、0.5質量%〜15質量%の範囲がより好ましく、0.5〜10質量%の範囲がさらに好ましい。
本発明の樹脂組成物は、有機充填材をさらに含んでもよい。有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子などが挙げられ、ゴム粒子が好ましい。
本発明の樹脂組成物は、高温高湿環境下における銅箔密着性の劣化の少ない硬化物をもたらすことができる。得られる硬化物は、130℃、85%RHの条件下で100時間保持の加速環境試験後であっても、高い銅箔密着性を呈する。加速環境試験後の銅箔密着性は、0.25kgf/cm以上が好ましい。該銅箔密着性の上限は特に限定されないが、通常、1.2kgf/cm以下などとし得る。
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用することもできるが、工業的には一般に、該樹脂組成物を含有するシート状積層材料の形態で用いることが好適である。
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を含む。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
本発明の半導体パッケージは、回路基板と、該回路基板に実装された半導体部品と、該半導体部品を封止する封止材とを含み、封止材が、本発明の樹脂組成物の硬化物から形成されていることが特徴である。ここで、本発明の半導体パッケージを構成する回路基板、半導体部品の構造・種類は特に限定されず、半導体パッケージを形成するに際して通常使用される任意の回路基板、半導体部品を使用してよい。
本発明の半導体装置は、本発明の樹脂組成物の硬化物を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板又は半導体パッケージを用いて製造することができる。
(1)銅箔の下地処理
電解銅箔(三井金属鉱山(株)製「3EC−III」、厚さ35μm)の光沢面をマイクロエッチング剤(メック(株)製「CZ−8101」)に浸漬して銅表面に粗化処理(Ra値=1μm)を行い、次いで、防錆溶液(メック社製「CL8300」)を用いて防錆処理を施した。得られた銅箔をCZ銅箔という。さらに、130℃のオーブンで30分間加熱処理した。
内層回路基板として、内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック社製「R1515A」)を準備した。次いで、実施例および比較例で得られた接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路板と接合するように、内層回路基板の両面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。積層後、PETフィルムを剥離した。露出した樹脂組成物層上に、CZ銅箔の処理面を、上記と同様の条件で、積層した。その後、190℃、90分の硬化条件で樹脂組成物層を硬化して絶縁層を形成することで、CZ銅箔/絶縁層/ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板/絶縁層/CZ銅箔の構造を有するサンプルを作製した。
作製したサンプルを150×30mmの小片に切断した。小片の銅箔部分に、カッターを用いて幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれて、銅箔の長さ方向にある一端を剥がしてつかみ具((株)TSE製「AC−50C−SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定した。こうして測定された荷重を、「密着性1」と称する。
作製したサンプルに対して、高度加速寿命試験装置(楠本化成社製「PM422」)を用いて、130℃、85%RHの条件で100時間の加速環境試験を実施した。その後、密着性1の測定と同様に、切込みをいれてから銅箔の長さ方向にある一端を剥がしてつかみ具((株)TSE製「AC−50C−SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定した。こうして測定された荷重を、「密着性2」と称する。
実施例および比較例で得られた接着フィルムを、200℃にて90分間熱硬化させた後、支持体を剥離して、硬化物性評価用サンプルを作製した。
硬化物性評価用サンプルから、幅2mm、長さ80mmの試験片を切り取った。該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により、測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
オリエンテック社製引張試験機「RTC−1250A」を用いて引張強度測定を行い、23℃における破断伸びを測定した。測定は、JIS K7127に準拠して実施した。測定を5回行い、上位3点の平均値を算出した。
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」、エポキシ当量180g/eq)10部、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量330g/eq)5部、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7760」、エポキシ当量238g/eq)10部をメチルエチルケトン(MEK)30部に撹拌しながら加熱溶解し、その後室温にまで冷却した。得られた樹脂溶液に、活性エステル樹脂(DIC社製「HPC−8000−65T」、活性エステル基当量223g/eq、不揮発分65質量%のトルエン溶液)30部、フェノール樹脂(DIC社製「LA−3018−50P」、フェノール性水酸基当量151g/eq、不揮発分50%の2−メトキシプロパノール溶液)5部、アクリル基含有樹脂(新中村化学工業社製「A−DCP」、ラジカル重合性官能基当量152g/eq)20部、ビニル基含有活性エステル樹脂(エア・ウォーター社製「PC1300−02−65MA」、活性エステル基当量199g/eq、ラジカル重合性官能基当量1400g/eqの不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)20部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7553BH30」、不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)5部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、不揮発分5質量%のMEK溶液)3部、ジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミル D」)0.6部、アミン系シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM573」)で表面処理した球状シリカ(アドマテックス社製「SO−C2」、平均粒径0.5μm)150部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP020」)で濾過して、樹脂ワニス1を調製した。
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」)10部に代えて、アリル基含有エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE810−NM」、エポキシ基当量221g/eq、ラジカル重合性官能基当量221g/eq)10部を使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス2及び接着フィルム2を作製した。
ビニル基含有活性エステル樹脂(エア・ウォーター社製「PC1300−02−65MA」)を配合しなかった点、活性エステル樹脂(DIC社製「HPC−8000−65T」)の配合量を30部から50部に変更した点以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス3及び接着フィルム3を作製した。
フェノール樹脂(DIC社製「LA−3018−50P」、フェノール性水酸基当量151g/eq、不揮発分50%の2−メトキシプロパノール溶液)5部、スチリル基含有樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE−2St 1200」、ラジカル重合性官能基当量630g/eq、不揮発分60%のトルエン溶液)10部、ビニル基含有活性エステル樹脂(エア・ウォーター社製「PC1300−02−65MA」、活性エステル基当量199g/eq、ラジカル重合性基当量1400g/eq、不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)50部、アリル基含有エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE810−NM」、エポキシ基当量221g/eq、ラジカル重合性官能基当量221g/eq)25部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7553BH30」、不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)5部、硬化促進剤(DMAP、不揮発分5質量%のMEK溶液)3部、ジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミル D」)0.6部、アミン系シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM573」)で表面処理した球状シリカ(アドマテックス社製「SO−C2」、平均粒径0.5μm)150部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP020」)で濾過して、樹脂ワニス4を調製した。
得られた樹脂ワニス4を用いて、実施例1と同様にして接着フィルム4を作製した。
(1)フェノール樹脂(DIC社製「LA−3018−50P」)の配合量を5部から1部に変更した点、(2)スチリル基含有樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE−2St 1200」)の配合量を10部から1部に変更した点、(3)ビニル基含有活性エステル樹脂(エア・ウォーター社製「PC1300−02−65MA」)の配合量を50部から55部に変更した点、(4)アリル基含有エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE810−NM」)の配合量を25部から30部に変更した点以外は、実施例4と同様にして樹脂ワニス5及び接着フィルム5を作製した。
アクリル基含有樹脂(新中村化学工業社製「A−DCP」)20部に代えて、スチリル基含有樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE−2St 1200」)10部を使用した以外は、実施例2と同様にして樹脂ワニス6及び接着フィルム6を作製した。
フェノール樹脂(DIC社製「LA−3018−50P」)5部に代えて、カルボジイミド樹脂(日清紡ケミカル社製「V−03」、カルボジイミド基当量216g/eq、不揮発分50質量%のトルエン溶液)20部を使用した以外は、実施例6と同様にして樹脂ワニス7及び接着フィルム7を作製した。
スチリル基含有樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE−2St 1200」)10部に代えて、ビスマレイミド樹脂(日本化薬社製「MIR−3000−70MT」、ラジカル重合性基当量275g/eq、不揮発分70質量%のトルエン、MEK溶液)10部を使用した以外は、実施例6と同様にして樹脂ワニス8及び接着フィルム8を作製した。
アリル基含有エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE810−NM」)10部に代えて、アリル基含有エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE820」、エポキシ基当量228g/eq、ラジカル重合性基当量228g/eq)10部を使用した以外は、実施例3と同様にして樹脂ワニス9及び接着フィルム9を作製した。
アリル基含有エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE810−NM」)10部に代えて、アリル基含有フェノール樹脂(明和化成社製「MEH−8000H」、フェノール性水酸基当量140g/eq、ラジカル重合性官能基当量140g/eq)10部を使用した以外は、実施例3と同様にして樹脂ワニス10及び接着フィルム10を作製した。
下記表に記載の配合量に従い、比較例1〜8の樹脂ワニス11〜18を調製した。そして実施例1と同様にして接着フィルム11〜18を作製した。
Claims (23)
- (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、及び
(D)無機充填材
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上であり、
(D)成分のメディアン径(体積基準)が3μm以下であり、且つ、(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき60質量%超である、プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物(但し、芳香族アゾメチン基を有するアミノ変性シロキサン化合物を含む樹脂組成物、芳香族アミン化合物を含む樹脂組成物、及び、下記式(C2)で表される化合物を含む樹脂組成物を除く)。
- (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、及び
(D)無機充填材
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上であり、
(D)成分のメディアン径(体積基準)が3μm以下である、樹脂組成物(但し、芳香族アゾメチン基を有するアミノ変性シロキサン化合物を含む樹脂組成物、芳香族アミン化合物を含む樹脂組成物、及び、下記式(C2)で表される化合物を含む樹脂組成物を除く)。
- (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、及び
(D)無機充填材
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上であり、
(D)成分のメディアン径(体積基準)が3μm以下であり、且つ、(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき60質量%超である、樹脂組成物(但し、マレイミド化合物を含む樹脂組成物を除く)。 - (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、及び
(D)無機充填材
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上であり、
(D)成分のメディアン径(体積基準)が3μm以下である、樹脂組成物(但し、マレイミド化合物を含む樹脂組成物を除く)。 - (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、及び
(D)無機充填材
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上であり、
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき60質量%超である、樹脂組成物(但し、芳香族アゾメチン基を有するアミノ変性シロキサン化合物を含む樹脂組成物、及び、下記式(C2)で表される化合物を含む樹脂組成物を除く)。
- (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、及び
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数naと、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数nbとが、
0.01≦na≦200、及び、0.01≦nb≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上である、樹脂組成物(但し、芳香族アゾメチン基を有するアミノ変性シロキサン化合物を含む樹脂組成物を除く)。 - 熱硬化性官能基FAが、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上である、請求項1〜6の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- ラジカル重合性官能基FBが、エチレン性不飽和基である、請求項1〜7の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- ラジカル重合性官能基FBが、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、請求項1〜8の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- ラジカル重合性官能基FBが、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、及びプロペニル基からなる群から選択される1種以上である、請求項1〜8の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (C)成分の官能基FB’が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、請求項1〜10の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (C)成分の官能基FB’が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、請求項1〜10の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- さらに(D)無機充填剤を含む、請求項6〜12の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- (D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき64.58質量%以上である、請求項1〜5、13の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 導体層を形成するための絶縁層用である、請求項1〜14の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- プリント配線板の絶縁層用である、請求項2〜15の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 請求項1〜16の何れか1項に記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。
- (A)熱硬化性官能基FAを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(B)ラジカル重合性官能基FBを有する樹脂(但し、(C)成分を除く。)、
(C)熱硬化性官能基FAと反応する官能基FA’及びラジカル重合性官能基FBと反応する官能基FB’を有する樹脂、及び
(D)無機充填材
を含む樹脂組成物であって、
(A)成分の熱硬化性官能基FAの数を1とした場合の(C)成分の官能基FA’の数n a と、(B)成分のラジカル重合性官能基FBの数を1とした場合の(C)成分の官能基FB’の数n b とが、
0.01≦n a ≦200、及び、0.01≦n b ≦400
を満たし、
(C)成分の官能基FA’が、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上であり、
(D)成分のメディアン径(体積基準)が3μm以下であり、且つ、(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき60質量%超である、樹脂組成物(但し、芳香族アゾメチン基を有するアミノ変性シロキサン化合物を含む樹脂組成物、芳香族アミン化合物を含む樹脂組成物、及び、下記式(C2)で表される化合物を含む樹脂組成物を除く)を含有する、シート状積層材料。
- 熱硬化性官能基FAが、エポキシ基、フェノール性水酸基、ベンゾオキサジン基、シアネートエステル基、活性エステル基、カルボジイミド基、酸無水物基、オキセタニル基、エピスルフィド基、イソシアネート基、及びアミノ基からなる群から選択される1種以上である、請求項18に記載のシート状積層材料。
- ラジカル重合性官能基FBが、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、請求項18又は19に記載のシート状積層材料。
- (C)成分の官能基FB’が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基、プロペニル基、及びマレイミド基からなる群から選択される1種以上である、請求項18〜20の何れか1項に記載のシート状積層材料。
- 請求項1〜16の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、プリント配線板。
- 請求項1〜16の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置。
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