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JP6963101B2 - In-row wrapping mount tool for magnetic recording read-write head Actuator tilt interposer - Google Patents

In-row wrapping mount tool for magnetic recording read-write head Actuator tilt interposer Download PDF

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JP6963101B2
JP6963101B2 JP2020517119A JP2020517119A JP6963101B2 JP 6963101 B2 JP6963101 B2 JP 6963101B2 JP 2020517119 A JP2020517119 A JP 2020517119A JP 2020517119 A JP2020517119 A JP 2020517119A JP 6963101 B2 JP6963101 B2 JP 6963101B2
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Description

本発明の実施形態は、一般に、磁気記録デバイスに関し、より具体的には、列バー内の要素ストライプの高さ及びウェッジ角度を制御することに関し得る。 Embodiments of the present invention may generally relate to magnetic recording devices, and more specifically to controlling the height and wedge angle of element stripes within a column bar.

ハードディスクドライブ(hard disk drive、HDD)は、保護エンクロージャ内に収容され、かつ磁気表面を有する1つ以上の円形ディスク上にデジタル符号化データを格納する、不揮発性記憶デバイスである。HDDが動作中のとき、各磁気記録ディスクは、スピンドルシステムによって急速に回転される。データは、アクチュエータによってディスクの特定の場所の上に位置付けられた読み取り−書き込みヘッドを使用して磁気記録ディスクから読み取られ、磁気記録ディスクに書き込まれる。読み取り−書き込みヘッドは、磁場を使用して、磁気記録ディスクの表面からデータを読み出し、この表面にデータを書き込む。書き込みヘッドは、コイルを通って流れる電流を使用し、これによって磁場を生成する。異なるパターンの正及び負の電流を伴って、書き込みヘッドに電気パルスが送られる。書き込みヘッドのコイル内の電流は、ヘッドと磁気ディスクとの間の間隙にわたる磁場を誘導し、次いでこの磁場が記録媒体上の小領域を磁化する。 A hard disk drive (HDD) is a non-volatile storage device that houses digitally encoded data on one or more circular disks that are housed in a protective enclosure and have a magnetic surface. When the HDD is in operation, each magnetic recording disk is rapidly rotated by the spindle system. Data is read from the magnetic recording disc using a read-write head located on a specific location on the disc by an actuator and written to the magnetic recording disc. The read-write head uses a magnetic field to read data from the surface of a magnetic recording disc and write the data to this surface. The write head uses the current flowing through the coil, which creates a magnetic field. An electrical pulse is sent to the writehead with different patterns of positive and negative currents. The current in the coil of the write head induces a magnetic field across the gap between the head and the magnetic disk, which then magnetizes a small region on the recording medium.

大量の磁気薄膜ヘッドスライダの製作には、別々の材料除去工程において行われる高精度な減法的機械加工を必要とする。スライダ処理は、40,000以上のデバイスからなる完成した薄膜ヘッドウエハから始まり、全てのデバイスが個別化されて、数多くの及び厳しい仕様を満たすときに完了する。個々のデバイスは、最終的に、回転ディスクの上を飛行するための読み取り−書き込みヘッド(例えば、垂直磁気記録(Perpendicular Magnetic Recording、PMR)ヘッド)になる。 Manufacture of large quantities of magnetic thin film head sliders requires high precision subtractive machining performed in separate material removal steps. The slider process begins with a finished thin film head wafer consisting of over 40,000 devices and is completed when all devices are individualized to meet numerous and stringent specifications. The individual device eventually becomes a read-write head (eg, a Perpendicular Magnetic Recording (PMR) head) for flying over a rotating disk.

面密度(ディスク表面の所与の領域に格納することができる情報ビットの測定量)を増加させることは、ハードディスクドライブ設計を進化させる上で絶えず存在する目的の1つであり、また、1ビットの情報を記録するために必要とされるディスク領域を低減するための様々な手段の必要な開発及び実装につながっている。機械加工及びラッピングによる、読み取りヘッド要素及び書き込みヘッド要素の限界寸法の正確な制御は、共通に実施され、また、製造に必須である。継続的に重要なことは、ヘッドの読み出し及び書き込み部分の互いに対する配列である。最適な歩留まり、性能、及び安定性のために、読み取り装置要素及び/又は書き込み装置要素の正確な寸法の制御が望ましい。 Increasing area density (a measure of information bits that can be stored in a given area of the disk surface) is one of the ever-present objectives in evolving hard disk drive design, and one bit. This has led to the necessary development and implementation of various means to reduce the disk space required to record this information. Precise control of the limit dimensions of read and write head elements by machining and wrapping is commonly practiced and essential for manufacturing. What is of continuous importance is the arrangement of the read and write parts of the head relative to each other. Precise dimensional control of the reader and / or writer elements is desirable for optimum yield, performance, and stability.

例えば、磁気コア幅(magnetic core width、MCW)(並びに、磁気消去幅(magnetic erase width、MEW)、磁気書き込み幅(magnetic write width、MWW)、磁気干渉幅(magnetic interference width、MIW)、及び他の関連する磁気コア手段)に関するプロセスの改善は、書き込みヘッドによって記録される磁気ビットの幅をMCWが効果的に決定するので、面密度に有益である。更にまた、全体的なMCWシグマに単一で最も寄与するものは、典型的に、「列内バー」シグマである。製造プロセスが、システムに所望のMCWにできる限り近付けたMCWを有する読み取り−書き込みヘッドを製造するように開発されている場合であっても、いくつかの薄膜及び他の製造プロセス(例えば、リソグラフィ、エッチング、粗ラッピング、材料の弾性、など)は、製造されるあらゆる読み取り−書き込みヘッドの所望のMCWを達成することを非常に困難にする、固有の変化を経験する。 For example, magnetic core width (MCW) (and magnetic erase width (MEW), magnetic write width (MWW), magnetic interference width (MIW), and others. Improvements in the process with respect to the relevant magnetic core means) are beneficial to the surface density as the MCW effectively determines the width of the magnetic bits recorded by the write head. Furthermore, the single largest contributor to the overall MCW sigma is typically the "in-row bar" sigma. Some thin films and other manufacturing processes (eg, lithography, even if the manufacturing process is developed to manufacture a read-write head with an MCW that is as close as possible to the desired MCW in the system. Etching, coarse wrapping, material elasticity, etc.) experience inherent changes that make it very difficult to achieve the desired MCW of any read-write head manufactured.

本セクションに記載された手法は、追求し得る手法であるが、必ずしも以前に考案又は追求された手法ではない。したがって、別段の指示がない限り、本セクションに記載された手法のいずれも、それらが本セクションに含まれることによって単に先行技術として適格であると仮定されるべきではない。 The techniques described in this section are techniques that can be pursued, but not necessarily previously devised or pursued. Therefore, unless otherwise indicated, none of the methods described in this section should be assumed to simply qualify as prior art by including them in this section.

実施形態は、添付図面の図において、限定としてではなく、例として示されており、同様の参照番号は類似の要素を指す。
実施形態によるハードディスクドライブ(HDD)を示す平面図である。 実施形態による処理の様々な段階におけるヘッドスライダのウエハを例示する分解斜視図である。 実施形態による読み取り−書き込みトランスデューサを例示する斜視図である。 ウェッジ角度ラッピング(wedge angle lapping、WAL)プロセスを例示する図である。 剛性ボンドWAラッピングプロセスを例示する図である。 剛性ボンドWAラッピングプロセスを例示する図である。 実施形態によるラッピングツールを例示する底部側斜視図である。 実施形態による図5のラッピングツールを例示する底部前面斜視図である。 実施形態による図5〜図6のラッピングツールを例示する側断面図である。 実施形態による図7のラッピングツールの治具を例示する側断面図である。 実施形態によるヘッドスライダの列バーをラッピングするための方法を例示するフロー図である。 実施形態による「軟質」ボンドWAラッピングプロセスを例示する図である。 実施形態による「軟質」ボンドWAラッピングプロセスを例示する図である。 実施形態によるラッピングマウントツールを例示する正面側斜視図である。 実施形態による図10Aのラッピングマウントツールを例示する正面頂部斜視図である。 実施形態による図10Aのラッピングマウントツールを例示する底部側斜視図である。 実施形態による図10A〜図10Cのラッピングマウントツールを例示する側断面図である。 実施形態によるラッピングツール組立品の一部分を例示する分解頂部側斜視図である。 実施形態による図12Aのラッピングツール組立品の一部分を例示する頂部側斜視図である。 実施形態によるラッピングツール組立品の一部分を例示する分解正面側斜視図である。 実施形態による図13Aのラッピングツール組立品の一部分を例示する分解側面斜視図である。 実施形態によるヘッドスライダの列バーをラッピングするための方法を例示するフロー図である。 実施形態によるアクチュエータ傾斜インターポーザを含むラッピングツールアセンブリを例示する側面斜視図である。 実施形態による図15Aのラッピングツールアセンブリの一部分を例示する側面斜視図である。 実施形態による図15Aのアクチュエータ傾斜インターポーザの側断面図である。 実施形態による図15Aのラッピングツールアセンブリの側断面図である。 実施形態による図15Aのアクチュエータ傾斜インターポーザのプレアライナの側面斜視図である。 実施形態による磁気センサデバイスの列バーをラッピングするためのラッピングマウントツールに作動力を印加するための方法を例示するフロー図である。
Embodiments are shown in the figures of the accompanying drawings as examples, not as limitations, and similar reference numbers refer to similar elements.
It is a top view which shows the hard disk drive (HDD) by embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a wafer of a head slider at various stages of processing according to an embodiment. FIG. 5 is a perspective view illustrating a read-write transducer according to an embodiment. It is a figure which illustrates the wedge angle lapping (WAL) process. It is a figure which illustrates the rigid bond WA wrapping process. It is a figure which illustrates the rigid bond WA wrapping process. It is a bottom side perspective view which illustrates the wrapping tool by an embodiment. It is a bottom front perspective view which illustrates the wrapping tool of FIG. 5 by embodiment. It is a side sectional view illustrating the wrapping tool of FIGS. 5 to 6 according to the embodiment. It is a side sectional view illustrating the jig of the wrapping tool of FIG. 7 according to the embodiment. It is a flow figure which illustrates the method for wrapping the row bar of the head slider by embodiment. It is a figure which illustrates the "soft" bond WA wrapping process by embodiment. It is a figure which illustrates the "soft" bond WA wrapping process by embodiment. It is a front side perspective view which illustrates the wrapping mount tool by embodiment. FIG. 5 is a front top perspective view illustrating the wrapping mount tool of FIG. 10A according to the embodiment. It is a bottom side perspective view which illustrates the wrapping mount tool of FIG. 10A by embodiment. It is a side sectional view illustrating the wrapping mount tool of FIGS. 10A to 10C according to the embodiment. It is a disassembled top side perspective view which illustrates a part of the wrapping tool assembly by embodiment. FIG. 5 is a top perspective view illustrating a portion of the wrapping tool assembly of FIG. 12A according to an embodiment. FIG. 5 is an exploded front side perspective view illustrating a part of the wrapping tool assembly according to the embodiment. FIG. 3 is an exploded side perspective view illustrating a part of the wrapping tool assembly of FIG. 13A according to the embodiment. It is a flow figure which illustrates the method for wrapping the row bar of the head slider by embodiment. FIG. 5 is a side perspective view illustrating a wrapping tool assembly including an actuator tilt interposer according to an embodiment. FIG. 5 is a side perspective view illustrating a portion of the wrapping tool assembly of FIG. 15A according to an embodiment. It is a side sectional view of the actuator tilt interposer of FIG. 15A according to the embodiment. FIG. 5 is a side sectional view of the wrapping tool assembly of FIG. 15A according to an embodiment. It is a side perspective view of the pre-aligner of the actuator tilt interposer of FIG. 15A according to the embodiment. FIG. 5 is a flow chart illustrating a method for applying an operating force to a wrapping mount tool for wrapping a row bar of a magnetic sensor device according to an embodiment.

磁気読み取り−ラッピングツールアセンブリを利用して磁気センサの列バーをラッピングする方法を記載する。以下の説明では、説明を目的として、本明細書に記載された本発明の実施形態の完全な理解を提供するために、多数の具体的な詳細が記載されている。ただし、本明細書に記載される本発明の実施形態が、これらの具体的な詳細を用いることなく実施され得ることは明らかであろう。他の例では、本明細書に記載された本発明の実施形態を不必要に不明瞭にすることを回避するために、周知の構造及びデバイスをブロック図の形態で示す。
例示的な動作環境の物理的説明
Describes how to wrap the column bars of a magnetic sensor using a magnetic reading-wrapping tool assembly. In the following description, for purposes of illustration, a number of specific details are provided to provide a complete understanding of the embodiments of the invention described herein. However, it will be clear that the embodiments of the invention described herein can be practiced without the use of these specific details. In another example, well-known structures and devices are shown in the form of block diagrams to avoid unnecessarily obscuring the embodiments of the invention described herein.
Physical description of the exemplary operating environment

実施形態は、デジタルデータ記憶デバイス(ハードディスクドライブ(HDD)など)のための読み取り−書き込みヘッドの文脈で使用することができる。こうして、実施形態に従って、例示的な動作文脈を示すために、HDD100を示す平面図が図1に表されている。 Embodiments can be used in the context of read-write heads for digital data storage devices (such as hard disk drives (HDDs)). Thus, according to the embodiment, a plan view showing the HDD 100 is shown in FIG. 1 to show an exemplary operating context.

図1は、磁気読み取り−書き込みヘッド110aを含むスライダ110bを含むHDD100の構成要素の機能的配置を示す。まとめて、スライダ110b及びヘッド110aはヘッドスライダと称され得る。HDD100は、ヘッドスライダを含む少なくとも1つのヘッドジンバル組立品(head gimbal assembly、HGA)110と、典型的にはフレクシャを介してヘッドスライダに取り付けられたリードサスペンション110cと、リードサスペンション110cに取り付けられたロードビーム110dと、を含む。HDD100はまた、スピンドル124上に回転可能に取り付けられた少なくとも1つの記録媒体120と、媒体120を回転させるためにスピンドル124に取り付けられた駆動モータ(不可視)と、を含む。変換器とも称され得る読み取り−書き込みヘッド110aは、HDD100の媒体120に格納された情報をそれぞれ書き込み及び読み取るための書き込み要素及び読み取り要素を含む。媒体120又は複数のディスク媒体は、ディスククランプ128でスピンドル124に固定されてもよい。 FIG. 1 shows the functional arrangement of components of the HDD 100 including a slider 110b including a magnetic read-write head 110a. Collectively, the slider 110b and the head 110a may be referred to as head sliders. The HDD 100 was attached to at least one head gimbal assembly (HGA) 110 including a head slider, a lead suspension 110c typically attached to the head slider via a flexor, and a lead suspension 110c. The load beam 110d and the like are included. The HDD 100 also includes at least one recording medium 120 rotatably mounted on the spindle 124 and a drive motor (invisible) mounted on the spindle 124 to rotate the medium 120. The read-write head 110a, which may also be referred to as a converter, includes a write element and a read element for writing and reading the information stored in the medium 120 of the HDD 100, respectively. The medium 120 or a plurality of disc media may be fixed to the spindle 124 with a disc clamp 128.

HDD100は、HGA110に取り付けられたアーム132と、キャリッジ134と、キャリッジ134に取り付けられたボイスコイル140を含む電機子136を含むボイスコイルモータ(voice coil motor、VCM)と、ボイスコイル磁石(不可視)を含むステータ144と、を更に含む。VCMの電機子136は、キャリッジ134に取り付けられており、アーム132及びHGA110を移動させ、かつ媒体120の部分にアクセスするように構成されており、全てまとめて、介在するピボット軸受組立品152で枢動シャフト148上に装着されている。複数のディスクを有するHDDの場合、キャリッジ134は、キャリッジに櫛の外観を与える連動したアームアレイを搬送するようにキャリッジが配置されているため、「Eブロック」又は櫛と称され得る。 The HDD 100 includes an arm 132 attached to the HGA 110, a carriage 134, a voice coil motor (VCM) including an armature 136 including a voice coil 140 attached to the carriage 134, and a voice coil magnet (invisible). The stator 144 including the above, and the stator 144 including the above. The armature 136 of the VCM is attached to the carriage 134 and is configured to move the arm 132 and the HGA 110 and access the portion of the medium 120, all together in the intervening pivot bearing assembly 152. It is mounted on the pivot shaft 148. In the case of an HDD having a plurality of disks, the carriage 134 may be referred to as an "E block" or a comb because the carriage is arranged to carry an interlocking arm array that gives the carriage the appearance of a comb.

ヘッドスライダが結合されたフレクシャと、フレクシャが結合されたアクチュエータアーム(例えば、アーム132)及び/又はロードビームと、アクチュエータアームが結合されたアクチュエータ(例えば、VCM)と、を含む、ヘッドジンバル組立品(例えば、HGA110)を備える組立品は、ヘッドスタック組立品(head stack assembly、HSA)と総称され得る。ただし、HSAは、記載されたものよりも多い又は少ない構成要素を含んでもよい。例えば、HSAは、電気相互接続構成要素を更に含む組立品を指し得る。一般に、HSAは、読み取り動作及び書き込み動作のために、ヘッドスライダを媒体120の部分にアクセスするように移動させるように構成された組立品である。 A head gimbal assembly comprising a flexure to which a head slider is coupled, an actuator arm to which the flexor is coupled (eg, arm 132) and / or a load beam, and an actuator to which the actuator arm is coupled (eg, VCM). An assembly comprising (eg, HGA110) may be generically referred to as a head stack assembly (HSA). However, the HSA may contain more or less components than those described. For example, HSA can refer to an assembly that further includes electrical interconnect components. Generally, the HSA is an assembly configured to move the head slider to access a portion of the medium 120 for read and write operations.

図1を更に参照すると、ヘッド110aからの書き込み信号及び読み取り信号を含む電気信号(例えば、VCMのボイスコイル140への電流)は、可撓性ケーブル組立品(flexible cable assembly、FCA)156(又は「フレックスケーブル」)によって送信される。フレックスケーブル156とヘッド110aとの間の相互接続は、読み出し信号用のオンボード前置増幅器、並びに他の読み取りチャネル及び書き込みチャネル電子構成要素を有し得る、アーム電子機器(arm-electronics、AE)モジュール160を含んでもよい。AEモジュール160は、図示のようにキャリッジ134に取り付けられてもよい。フレックスケーブル156は、いくつかの構成では、HDD筐体168によって提供された電気フィードスルーを通して電気通信を提供する電気コネクタブロック164に結合されてもよい。HDDハウジング168(又は「エンクロージャベース」又は単に「ベース」)は、HDDカバーと共に、HDD100の情報記憶構成要素のための半封止された(又は、いくつかの構成では気密封止された)保護エンクロージャを提供する。 Further referring to FIG. 1, the electrical signal including the write and read signals from the head 110a (eg, the current of the VCM to the voice coil 140) is a flexible cable assembly (FCA) 156 (or Sent by "flex cable"). The interconnection between the flex cable 156 and the head 110a may have an onboard preamplifier for the read signal, as well as other read and write channel electronic components, arm-electronics (AE). Module 160 may be included. The AE module 160 may be attached to the carriage 134 as shown. In some configurations, the flex cable 156 may be coupled to an electrical connector block 164 that provides telecommunications through the electrical feedthrough provided by the HDD enclosure 168. The HDD housing 168 (or "enclosure base" or simply "base"), along with the HDD cover, is a semi-sealed (or airtightly sealed) protection for the information storage components of the HDD 100. Provide an enclosure.

デジタル信号プロセッサ(digital-signal processor、DSP)を含むディスクコントローラ及びサーボ電子機器を含む他の電子構成要素は、駆動モータ、VCMのボイスコイル140及びHGA110のヘッド110aに、電気信号を提供する。駆動モータに提供される電気信号は、駆動モータがスピンドル124にトルクを提供しながら回転することを可能にし、次いでトルクはスピンドル124に添設された媒体120に伝達される。その結果、媒体120は、方向172に回転する。回転媒体120は、スライダ110bが、情報が記録された薄い磁気記録層と接触することなく媒体120の表面の上方に浮上するように、スライダ110bの空気軸受表面(air-bearing surface、ABS)が乗る空気軸受として作用する空気のクッションを形成する。非限定的な例としてのヘリウムなどの、空気より軽いガスが利用されるHDDにおいても同様に、回転媒体120は、スライダ110bが乗るガス又は流体軸受として作用するガスのクッションを形成する。 Other electronic components, including disk controllers and servo electronics, including digital-signal processors (DSPs), provide electrical signals to drive motors, VCM voice coils 140 and HGA110 heads 110a. The electrical signal provided to the drive motor allows the drive motor to rotate while providing torque to the spindle 124, which is then transmitted to the medium 120 attached to the spindle 124. As a result, the medium 120 rotates in the direction 172. The rotating medium 120 has an air-bearing surface (ABS) of the slider 110b so that the slider 110b floats above the surface of the medium 120 without contacting the thin magnetic recording layer on which the information is recorded. Form a cushion of air that acts as a riding air bearing. Similarly, in HDDs where a gas lighter than air, such as helium, is used as a non-limiting example, the rotating medium 120 forms a cushion of gas on which the slider 110b rides or a gas acting as a fluid bearing.

VCMのボイスコイル140に提供される電気信号は、HGA110のヘッド110aが、情報が記録されるトラック176にアクセスすることを可能にする。こうして、弧180を通るVCMスイングの電機子136は、HGA110のヘッド110aが媒体120上の様々なトラックにアクセスすることを可能にする。情報は、セクタ184などの媒体120上のセクタに配置された複数の半径方向に入れ子になったトラック内の媒体120上に格納される。それに対応して、各トラックは、セクタ化されたトラック部分188などの複数のセクタ化されたトラック部分(又は「トラックセクタ」)から構成される。各セクタ化されたトラック部分188は、記録された情報と、エラー訂正符号情報、及びトラック176を識別する情報であるABCDサーボバースト信号パターンなどのサーボバースト信号パターンを含むヘッダと、を含んでもよい。トラック176にアクセスする際、HGA110のヘッド110aの読み取り要素はサーボバースト信号パターンを読み取り、サーボバースト信号パターンは、サーボ電子機器に位置誤差信号(position-error-signal、PES)を提供し、サーボ電子機器は、VCMのボイスコイル140に提供される電気信号を制御することによって、ヘッド110aがトラック176に追従することを可能にする。トラック176を見つけ、かつ特定のセクタ化されたトラック部分188を識別すると、ヘッド110aは、トラック176から情報を読み取るか、又は、外部エージェント、例えば、コンピュータシステムのマイクロプロセッサからディスクコントローラによって受信された命令に応じて、トラック176に情報を書き込む。 The electrical signal provided to the voice coil 140 of the VCM allows the head 110a of the HGA 110 to access track 176 on which the information is recorded. Thus, the armature 136 of the VCM swing through the arc 180 allows the head 110a of the HGA 110 to access various tracks on the medium 120. The information is stored on media 120 in a plurality of radial nested tracks arranged in sectors on media 120, such as sector 184. Correspondingly, each track is composed of a plurality of sectorized track portions (or "track sectors"), such as a sectorized track portion 188. Each sectorized track portion 188 may include recorded information, error correction code information, and a header that includes a servo burst signal pattern such as the ABCD servo burst signal pattern that is information that identifies the track 176. .. When accessing track 176, the reading element of the head 110a of the HGA 110 reads the servo burst signal pattern, which provides the servo electronics with a position-error-signal (PES) and the servo electronics. The device allows the head 110a to follow the track 176 by controlling the electrical signal provided to the voice coil 140 of the VCM. Upon finding track 176 and identifying a particular sectorized track portion 188, head 110a reads information from track 176 or is received by a disk controller from an external agent, eg, a microprocessor in a computer system. Information is written to track 176 in response to the instruction.

HDDの電子アーキテクチャは、ハードディスクコントローラ(hard disk controller、「HDC」)、インターフェースコントローラ、アーム電子モジュール、データチャネル、モータドライバ、サーボプロセッサ、バッファメモリなどの、HDDの動作のための自体のそれぞれの機能を実行するための、多数の電子部品を含む。そのような構成要素のうちの2つ以上は、「チップ上のシステム(system on a chip、「SOC」)と称される単一の集積回路基板上で組み合わされてもよい。そのような電子部品の、全てではないがいくつかは、典型的には、HDD筐体168などのHDDの下部側に結合されたプリント基板上に配置される。 The electronic architecture of an HDD is its own function for HDD operation, such as hard disk controller (“HDC”), interface controller, arm electronic module, data channel, motor driver, servo processor, buffer memory, etc. Includes a number of electronic components to perform. Two or more of such components may be combined on a single integrated circuit board called a "system on a chip". Some, but not all, of such electronic components are typically located on a printed circuit board coupled to the bottom side of the HDD, such as the HDD enclosure 168.

図1を参照して示され及び記載されたHDD100などの、本明細書におけるハードディスクドライブへの言及は、「ハイブリッドドライブ」と呼ばれることがある情報記憶デバイスを包含してもよい。ハイブリッドドライブとは、一般に、電気的に消去可能でプログラム可能であるフラッシュ又は他のソリッドステート(例えば、集積回路)メモリなどの不揮発性メモリを使用するソリッドステートデバイス(solid-state storage device、SSD)と組み合わされた従来のHDD(例えば、HDD100を参照)の、両方の機能を有する記憶デバイスを指す。異なるタイプの記憶媒体の動作、管理、及び制御は、通常異なるため、ハイブリッドドライブのソリッドステート部分は、それ自体の対応するコントローラ機能を含んでもよく、コントローラ機能は、HDD機能と共に単一のコントローラに統合され得る。ハイブリッドドライブは、非限定的な例として、頻繁にアクセスされるデータを格納する、I/O集約データなどを記憶するなどのために、ソリッドステートメモリをキャッシュメモリとして使用するなどによって、ソリッドステート部分をいくつかの方法で動作させて利用するように設計及び構成されてもよい。更に、ハイブリッドドライブは、ホスト接続のための1つ以上のインターフェースのいずれかで、単一のエンクロージャの2つの記憶デバイス、すなわち従来のHDD及びSSDとして本質的に設計及び構成されてもよい。
序論
References to hard disk drives herein, such as the HDD 100 shown and described with reference to FIG. 1, may include information storage devices, sometimes referred to as "hybrid drives." A hybrid drive is generally a solid-state storage device (SSD) that uses non-volatile memory such as an electrically erasable and programmable flash or other solid state (eg, integrated circuit) memory. Refers to a storage device having both functions of a conventional HDD (see, for example, HDD 100) combined with. Since the operation, management, and control of different types of storage media are usually different, the solid-state portion of the hybrid drive may include its own corresponding controller function, which is combined with HDD function into a single controller. Can be integrated. As a non-limiting example, a hybrid drive uses a solid state memory as a cache memory for storing frequently accessed data, storing I / O aggregated data, etc., and thus a solid state part. May be designed and configured to operate and utilize in several ways. In addition, the hybrid drive may be essentially designed and configured as two storage devices in a single enclosure, namely conventional HDDs and SSDs, with any one or more interfaces for host connectivity.
Introduction

用語「実質的に」は、大部分又はほぼ構造化された、構成された、寸法決めされたなどの特徴を記載していることが理解されるであろうが、その製造公差などは、実際には、構造、構成、寸法などが、常には又は必ずしも正確に述べられない状況を結果として生じ得る。例えば、「実質的に垂直な」として構造を記載するとすれば、側壁は全ての実用上の目的で垂直であるが、正確に90度ではない場合があるように、その用語にはその明白な意味が割り当てられる。 It will be understood that the term "substantially" describes features such as most or almost structured, structured, dimensioned, etc., but its manufacturing tolerances etc. are in fact Can result in situations where the structure, configuration, dimensions, etc. are not always or necessarily accurately stated. For example, if the structure is described as "substantially vertical," the term is obvious, as the sidewalls are vertical for all practical purposes, but may not be exactly 90 degrees. Meaning is assigned.

上で述べたように、全体的な磁気コア幅(MCW)シグマに最も寄与するのは、典型的には、「列内バー」シグマであり、目標MCWにできる限り近付けたMCWを有する読み取り−書き込みヘッドを製造するように開発されている場合であっても、いくつかの薄膜プロセスは、製造されるあらゆるヘッドの目標MCWを達成することを継続的に困難にする、固有の変動を経験する。 As mentioned above, it is typically the "in-row bar" sigma that contributes most to the overall magnetic core width (MCW) sigma, with a read having an MCW as close as possible to the target MCW- Even when developed to manufacture write heads, some thin film processes experience inherent variability that continually makes it difficult to achieve the target MCW of any head manufactured. ..

更にまた、大量の磁気薄膜ヘッドスライダの製作には、別々の材料除去工程において行われる高精度な減法的機械加工を必要とする。スライダ処理は、40,000以上のデバイスからなる完成した薄膜ヘッドウエハから始まり、全てのデバイスが個別化されて、数多くの及び厳しい仕様を満たすときに完了する。個々のデバイスは、最終的に、読み取り−書き込みヘッドを収容するヘッドスライダになる。したがって、最適な歩留まり、性能、及び安定性を達成するために、読み取り装置の寸法の、並びに読み取り装置及び書き込み装置の互いに対する配列の正確な制御は、読み取り−書き込みヘッド製造プロセスの重要な構成要素である。個々の読み取り−書き込みヘッドの理想的な寸法を達成するために、1つには、各ヘッドスライダを個々に処理することを選択することがあり得る。しかしながら、その手法は、例えば、著しく複雑で、非効率的で、かつ高コストなヘッドスライダ製造プロセスをもたらすので、実際の製造性の観点からほぼ不可能である。 Furthermore, the fabrication of large quantities of magnetic thin film head sliders requires high precision subtractive machining performed in separate material removal steps. The slider process begins with a finished thin film head wafer consisting of over 40,000 devices and is completed when all devices are individualized to meet numerous and stringent specifications. The individual device eventually becomes a head slider that houses the read-write head. Therefore, in order to achieve optimum yield, performance, and stability, precise control of the dimensions of the reader and the arrangement of the reader and writer relative to each other is an important component of the read-write head manufacturing process. Is. In order to achieve the ideal dimensions of the individual read-write heads, one may choose to process each head slider individually. However, that approach is nearly impossible from a practical manufacturable point of view, as it results in, for example, a significantly complex, inefficient, and costly head slider manufacturing process.

図2は、処理の様々な段階におけるヘッドスライダのウエハを例示する分解斜視図であり、図2Aは、読み取り−書き込みトランスデューサを例示する斜視図であり、どちらも実施形態によるものである。図2は、AlTiCが一般的に使用される基材203上に堆積された未完成の読み取り−書き込みトランスデューサ(図2A参照)を有する未完成のヘッドスライダのマトリックスを備える、ウエハ202を表す。スライダのマトリックスは、典型的に、歴史的に「クワッド」と称され、現在は「チャンク」又は「ブロック」と称されることもある、バッチ、すなわちウエハのサブセットにおいて処理される。未完成のヘッドスライダのブロック、ブロック204は、複数列の未完成のヘッドスライダ206a〜206n(又は「列バー」)を備え、ここで、nは、実装ごとに変化し得る、ブロック204あたりの列バーの数を表す。各列206a〜206nは、複数のヘッドスライダ208a〜208mを備え、ここで、mは、実装ごとに変化し得る、列206a〜206nあたりのヘッドスライダの数を表す。 FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the wafer of the head slider at various stages of processing, and FIG. 2A is a perspective view illustrating a read-write transducer, both of which are by embodiment. FIG. 2 represents a wafer 202 comprising a matrix of unfinished head sliders with unfinished read-write transducers (see FIG. 2A) deposited on a substrate 203 in which AlTiC is commonly used. The slider matrix is typically processed in batches, or subsets of wafers, historically referred to as "quads" and now sometimes referred to as "chunks" or "blocks". A block of unfinished head sliders, block 204, comprises multiple rows of unfinished head sliders 206a-206n (or "row bars"), where n is per block 204, which can vary from implementation to mounting. Represents the number of column bars. Each row 206a-206n comprises a plurality of head sliders 208a-208m, where m represents the number of head sliders per row 206a-206n that may vary from implementation to mounting.

図2Aを参照すると、読み取り−書き込みトランスデューサ210は、書き込み装置要素212(又は単に「書き込み装置212」)と、対応するコイル216と、を備える。書き込みヘッドは、コイル216などのコイルを通って流れる電流を利用して、磁場を生成する。電気パルスは、正電流及び負電流の異なるパターンで書き込みヘッドに送信され、書き込みヘッドのコイル内の電流は、ヘッドと磁気ディスクとの間の間隙にわたる磁場を誘導し、次いでこの磁場が記録媒体上の小領域を磁化する。書き込み装置212などの書き込み装置は、対応するフレアポイント213を有し、これは、(a)書き込み装置の主極の端部(すなわち、極先端部220の端部)と、極先端部220がその最小断面まで広がる地点(b)221との間の距離である。フレアポイント213は、一般に、書き込み装置212などの磁気書き込み装置と関連付けられた限界寸法と見なされる。 Referring to FIG. 2A, the read-write transducer 210 comprises a write device element 212 (or simply "write device 212") and a corresponding coil 216. The write head uses a current flowing through a coil such as coil 216 to generate a magnetic field. Electrical pulses are transmitted to the writehead in different patterns of positive and negative currents, and the current in the coil of the writehead induces a magnetic field across the gap between the head and the magnetic disk, which is then placed on the recording medium. Magnetizes a small area of. A writing device such as the writing device 212 has a corresponding flare point 213, which is (a) the end of the main pole of the writing device (ie, the end of the pole tip 220) and the pole tip 220. It is the distance between the point (b) 221 extending to the minimum cross section. The flare point 213 is generally considered to be the critical dimension associated with a magnetic writing device such as the writing device 212.

図2Aを続けると、読み取り−書き込みトランスデューサ210は、対応するストライプ高さ215を有する読み取り装置要素214(又は単に「読み取り装置214」)を更に備え、これも同様に、読み取り装置214などの磁気読み取り装置と関連付けられた限界寸法と見なされる。書き込み装置212のフレアポイント213及び読み取り装置214のストライプ高さ215は、限定されないが、(図3などを参照して)本明細書により詳細に記載される、ウェッジ角度ラッピング(「WAL」)と称される「粗ラップ」プロセスによって、製作の際に共通に制御される。 Continuing with FIG. 2A, the read-write transducer 210 further comprises a reader element 214 (or simply "reader 214") having a corresponding stripe height of 215, which is also a magnetic read of the reader 214 and the like. It is considered the limit dimension associated with the device. The flare point 213 of the writing device 212 and the stripe height 215 of the reading device 214 are not limited, but with wedge angle wrapping (“WAL”) as described in more detail herein (see FIG. 3 and the like). It is commonly controlled during production by a so-called "coarse wrap" process.

トランスデューサ210などの読み取り−書き込みトランスデューサは、読み取り装置−書き込み装置オフセット217(又は「読み取り−書き込みオフセット」又はread−write offset、「RWO」)と更に関連付けられ、このオフセットは、読み取り装置214の特定の地点又は表面と、書き込み装置212の特定の地点又は表面との間の距離であり、y方向として表される。RWO217は、読み取り−書き込みトランスデューサ210内に設計される。しかしながら、ウエハ202の製作中には、書き込み装置212と読み取り装置214との間に制御できない(かつ望ましくない)オフセットが生じる場合があり、このオフセットは、x方向として表される列に沿って変化し得る、直線オフセット及び/又は角度オフセットを生じさせ得る。そのような任意のオフセットは、主に、書き込み装置212及び読み取り装置214が異なる薄膜層内に配置されることに起因し、したがって、製造プロセスの限度に起因する。例えば、書き込み装置212及び読み取り装置214は、ナノメートルスケールの製造プロセスでの異なる堆積層において異なるパターンを有する異なるマスクを露出させることと関連付けられる問題のため、空気軸受面に対して及び/又は互いに対して常に正確に整列しない場合がある。 A read-write transducer, such as the transducer 210, is further associated with a read-write offset 217 (or "read-write offset" or read-write offset, "RWO"), which offset is specific to the reader 214. The distance between a point or surface and a particular point or surface of the writing device 212, expressed as the y direction. The RWO217 is designed within the read-write transducer 210. However, during the fabrication of wafer 202, an uncontrollable (and undesirable) offset may occur between the writer 212 and the reader 214, which varies along the column represented as the x direction. Possible linear offsets and / or angular offsets can occur. Such any offset is primarily due to the writing device 212 and reading device 214 being placed in different thin film layers and therefore due to manufacturing process limitations. For example, the writer 212 and the reader 214 with respect to the air bearing surface and / or each other due to problems associated with exposing different masks with different patterns in different sedimentary layers in the nanometer scale manufacturing process. On the other hand, it may not always be aligned accurately.

結果的に、ウエハレベルで製作されるRWOは、正確に目標RWOではない場合がある。それゆえ、上述したWAL(又は「RWO角度」)プロセスは、典型的には、列バーRWOを目標RWOのより近くに整列させるために利用される。しかしながら、上述した粗ラッピングWALプロセスは、典型的には、約5nmの修正レベルにしか到達することができず、また、典型的には、「スライダあたり」ではなく「列バーあたり」に適用される。したがって、より微細でより正確なラッピング手順が有用であると見なされ得る。
ヘッドスライダの製造プロセス−一般
As a result, the RWO produced at the wafer level may not be exactly the target RWO. Therefore, the WAL (or "RWO angle") process described above is typically utilized to align the column bar RWO closer to the target RWO. However, the coarse wrapping WAL process described above can typically only reach a correction level of about 5 nm and is typically applied "per column bar" rather than "per slider". NS. Therefore, finer and more accurate wrapping procedures can be considered useful.
Head slider manufacturing process-general

典型的なヘッドスライダ製造プロセスフローは、読み取り装置要素及び書き込み装置要素(例えば、図2Aの読み取り装置214及び書き込み装置212)の堆積を含むウエハ(例えば、図2のウエハ202)製造プロセスと、その後に続く、ウエハから未完成のスライダのブロック(例えば、図2のブロック204)を取り出すためのブロック(又は「クワッド」)スライスと、を含むことができる。次いで、ブロックからのスライダ(例えば、図2のヘッドスライダ208a〜208m)の外側列(例えば、図2の列206a)を粗ラッピングして(例えば、ウェッジ角度ラッピングして)、所望の読み取り装置及び書き込み装置の寸法(例えば、図2Aのフレアポイント213及びストライプ高さ215)に近くなるように製作し、次いで、ブロック(例えば、ブロック204)から外側の粗ラッピングした列(例えば、列206aを)をスライスすることができる。そこから、列は、「バックラッピング」するなど、更にラッピングして、空気軸受面(air bearing surface、ABS)に対向するフレクシャ側表面を形成し、そして、「微細ラッピング」(又は「最終ラッピング」)して、ABS表面を更に研磨することができる。次いで、これは、ABS表面のオーバーコーティング及びレールエッチングなどにつながり、最終的な空気軸受又は飛行表面を形成することができ、その時点で、各ヘッドスライダ(例えば、ヘッドスライダ208a〜208m)を、列からそれぞれの完成したヘッドスライダへとダイシング加工又は分割することができ、それによって、次いで、フレクシャと結合させること、ヘッドジンバル組立品(HGA)に組み立てること、などを行うことができる。
ウェッジ角度ラッピング
A typical head slider manufacturing process flow is a wafer (eg, wafer 202 in FIG. 2) manufacturing process involving the deposition of reader and writer elements (eg, reader 214 and writer 212 in FIG. 2A), followed by a wafer (eg, wafer 202 in FIG. 2) manufacturing process. Subsequent blocks (or "quad") slices for removing unfinished slider blocks (eg, block 204 in FIG. 2) from the wafer can be included. The outer row (eg, row 206a of FIG. 2) of the slider from the block (eg, head slider 208a-208 m in FIG. 2) is then coarsely wrapped (eg, wedge angle wrapped) to obtain the desired reader and device. Manufactured to be close to the dimensions of the writing device (eg, flare point 213 and stripe height 215 in FIG. 2A), then a coarsely wrapped row (eg, row 206a) outside the block (eg, block 204). Can be sliced. From there, the rows are further wrapped, such as by "back wrapping" to form a flexure side surface facing the air bearing surface (ABS), and then "fine wrapping" (or "final wrapping"). ), And the ABS surface can be further polished. This can then lead to overcoating of the ABS surface and rail etching, etc., to form the final air bearing or flight surface, at which point each head slider (eg, head slider 208a-208 m), The rows can be diced or split into individual finished head sliders, which can then be combined with flexures, assembled into head gimbal assemblies (HGA), and the like.
Wedge angle wrapping

論じたように、書き込み装置212(図2A)のフレアポイント213(図2A)及び読み取り装置214(図2A)のストライプ高さ215(図2A)は、限定されないが、ウェッジ角度ラッピング(「WAL」)と称される粗ラッピングプロセスによって、製作の際に共通に制御される。「受動WAL制御」によって、列バーは、しばしばオフラインの電気試験測定に基づいて、所定のウェッジ角度(wedge angle、「WA」)にラッピングされ、それによって、WAは、ラッピングによって物理的目標角度に制御される。代替的に、「能動WAL制御」によって、列バーは、(例えば、読み取り装置要素及び/又は書き込み装置要素と関連付けられた、電子ラッピングガイドの使用又はelectronic lapping guide、「ELG」からの)抵抗に基づくフィードバックに基づいて、所望のRWOにサーボ又は制御される。どちらの場合においても、列バー内のヘッドスライダの個々の制御を伴わずに、列バー全体について平均又は中間のWAが目標とされる。 As discussed, the flare point 213 (FIG. 2A) of the writing device 212 (FIG. 2A) and the stripe height 215 (FIG. 2A) of the reading device 214 (FIG. 2A) are not limited, but wedge angle wrapping (“WAL”). ), Which is commonly controlled during production. By "passive WAL control", the column bars are often wrapped to a predetermined wedge angle ("WA") based on offline electrical test measurements, thereby causing the WA to be wrapped to a physical target angle. Be controlled. Alternatively, by "active WAL control", the column bar becomes a resistor (eg, from the use of electronic lapping guides or electronic lapping feedback, "ELG" associated with the reader and / or writer elements). Based on feedback, it is servoed or controlled to the desired RWO. In either case, an average or intermediate WA is targeted for the entire column bar, without individual control of the head sliders within the column bar.

図3は、粗ラップ段階などでの、ウェッジ角度ラッピング(WAL)プロセスを例示する図である。図3の左側の図は、空気軸受面(「ABS」)を粗ラッピングする前のヘッドスライダ302を表す。読み取り装置214及び対応する所望のストライプ高さ215が表されており、そのラッピングは、上で述べたように、典型的には、抵抗に基づくフィードバック機構を介して制御され、また、書き込み装置212及び対応する結果として生じるフレアポイント213も表されている。破線は、所望の最終ABSを例示し、これは、ウェッジ角度303でヘッドスライダ302のABS側をラッピングすることによって達成される。 FIG. 3 is a diagram illustrating a wedge angle wrapping (WAL) process, such as in a rough wrap step. The figure on the left side of FIG. 3 represents the head slider 302 before rough wrapping the air bearing surface (“ABS”). The reading device 214 and the corresponding desired stripe height 215 are represented, the wrapping of which is typically controlled via a resistance-based feedback mechanism, as described above, and the writing device 212. And the corresponding resulting flare point 213 is also represented. The dashed line illustrates the desired final ABS, which is achieved by wrapping the ABS side of the head slider 302 at a wedge angle 303.

したがって、図3の右側の図を参照すると、ABSラッピングは、簡略化した形態で表されるラッピング治具304及びラッピングプレート306(例えば、共通に、ダイヤモンドをちりばめた及び/又はダイヤモンドスラリーを伴う)を使用してヘッドスライダ302に実行することができる。治具304は、ラッピングプレート306を動作させて、最終的に目標の読み取り装置214及び書き込み装置212の寸法に到達するまで、ウェッジ角度303でヘッドスライダ302をラッピングし、それによって、ヘッドスライダ製作プロセスのこの特定の部分のための少なくとも所望のストライプ高さ215を有する読み取り−書き込みヘッドを達成するように設定される。 Therefore, referring to the figure on the right side of FIG. 3, ABS wrapping is represented in a simplified form with a wrapping jig 304 and a wrapping plate 306 (eg, commonly accompanied by diamond studded and / or diamond slurry). Can be performed on the head slider 302 using. The jig 304 operates the wrapping plate 306 to wrap the head slider 302 at a wedge angle 303 until it finally reaches the dimensions of the target reading device 214 and writing device 212, whereby the head slider manufacturing process. It is set to achieve a read-write head with at least the desired stripe height of 215 for this particular portion of the.

ウェッジ角度ラッピングは、典型的には、特定の所定のウェッジ角度で、列206a〜206n(図2)のいずれかなどのスライダの全ての列バーに対して実行される。したがって、所与の列内の各スライダ208a〜208m(図2)が、ウェッジ角度303(図3)などの同じウェッジ角度で粗ラッピングされる。しかしながら、上で述べたように、ウエハ202(図2)の製作中には、書き込み装置212(図2A)と読み取り装置214(図2A)との間に望ましくないオフセット(複数可)が生じる場合があり、このオフセットは、1つ以上の方向において直線及び/又は角度オフセットを生じさせ得る。更にまた、書き込み装置212及び読み取り装置214に対応するそのようなオフセット(複数可)は、ヘッドスライダの任意の所与の列(例えば、列206a)の長さ(x方向)に沿っても、ブロック(例えば、図2のブロック204)から複数の列(例えば、列206a〜206n)にわたっても一定でない場合がある。ここでも、実際に可能である場合に、ヘッドスライダの処理を個々に行うことが好ましいとされ得る理由がある。 Wedge angle wrapping is typically performed on all column bars of the slider, such as any of columns 206a-206n (FIG. 2), at a particular predetermined wedge angle. Therefore, each slider 208a-208m (FIG. 2) in a given row is roughly wrapped at the same wedge angle, such as wedge angle 303 (FIG. 3). However, as mentioned above, there may be an undesired offset (s) between the writing device 212 (FIG. 2A) and the reading device 214 (FIG. 2A) during the fabrication of wafer 202 (FIG. 2). This offset can give rise to linear and / or angular offsets in one or more directions. Furthermore, such offsets (s) corresponding to the write device 212 and the read device 214 may also be along the length (x direction) of any given row (eg, row 206a) of the head slider. It may not be constant even from a block (for example, block 204 in FIG. 2) to a plurality of columns (for example, columns 206a to 206n). Again, there is a reason why it may be preferable to process the head sliders individually when it is actually possible.

図4A、図4Bは、図3に表されるシナリオに適用可能であり得る、剛性ボンドWAラッピングプロセスを例示する図である。図4Aは、一連の粗ラップWALプロセスの「スナップショット」(各スナップショットを垂直の破線で分離する)を表し、このプロセスでは、剛性接着ボンド403を使用して、未完成のヘッドスライダ402が剛性ツーリング治具404に一時的に接合される。図4Aの頂部分では、ヘッドスライダ402が、ラッピングプレート406を使用して、第1のウェッジ角度aで徐々にラッピングされ、したがって、ヘッドスライダ402−1の製作は、第1の四辺形の多角形形状を有するように表されることが認識される。ウェッジ角度でのラッピングは、読み取り装置の特定の目標ストライプ高さ(図2Aの読み取り装置214のストライプ高さ215など)を達成する目的を伴い得る。図4Bを参照すると、ラッピングがWALプロセスを通して進行して、ヘッドスライダ402−1に到達するときに、一定のウェッジ角度aで、ヘッドスライダ402の材料除去の進行が均一(すなわち、一定角度で)であることが認識される。 4A, 4B are diagrams illustrating a rigid bond WA wrapping process that may be applicable to the scenario represented in FIG. FIG. 4A represents a "snapshot" of a series of coarse wrap WAL processes, where each snapshot is separated by a vertical dashed line, in which a rigid adhesive bond 403 is used to provide an unfinished head slider 402. It is temporarily joined to the rigid touring jig 404. At the top of FIG. 4A, the head slider 402 is gradually wrapped at a first wedge angle a using a wrapping plate 406, thus the fabrication of the head slider 402-1 is a polygon of the first quadrilateral. It is recognized that it is represented as having a polygonal shape. Wrapping at the wedge angle may entail the goal of achieving a particular target stripe height for the reader, such as stripe height 215 for reader 214 in FIG. 2A. Referring to FIG. 4B, when the wrapping proceeds through the WAL process and reaches the head slider 402-1, the progress of material removal of the head slider 402 is uniform (ie, at a constant angle) at a constant wedge angle a. Is recognized.

図4A、図4BAの底部分では、ヘッドスライダ402−1が、引き続きラッピングプレート406を使用して、第2のウェッジ角度βで徐々にラッピングされ、したがって、ヘッドスライダ402−2の製作は、第2の四辺形の多角形形状を有することが認識される。この一定のウェッジ角度βへのラッピングは、ラッピングがWALプロセスを通して進行して、ヘッドスライダ402−2に到達するときに、同じように均一である。現在の実施では、ウェッジ角度の調整が、典型的には、図4A、図4Bに表される粗ラップWALプロセス中に1回又は2回だけしか行われ得ないことは注目に値する。更にまた、一定のウェッジ角度の使用は、1度又は2度調整される場合であっても、ヘッドスライダ内のファセット(複数可)を生成し得る(ヘッドスライダ402−1に最良に表される)。また更に、この粗ラップWALプロセスが、(図3の読み取り装置214のストライプ高さ215などの)読み取り装置要素のストライプ高さを目標にし、かつ読み取り装置又は書き込み装置ELGを介してラッピングフィードバックを得ることによって共通に利用され、一方で、(図3の書き込み装置212のフレアポイント213などの)書き込み装置要素のフレアポイント及びRWO217(図2)が、比較的無制御状態であることは注目に値する。
列内ウェッジ角度ラッピングのラッピングツール
At the bottom of FIGS. 4A, 4BA, the head slider 402-1 is gradually wrapped at a second wedge angle β, subsequently using the wrapping plate 406, so that the fabrication of the head slider 402-2 is the first. It is recognized that it has two quadrilateral polygonal shapes. This wrapping to a constant wedge angle β is equally uniform as the wrapping proceeds through the WAL process and reaches the head slider 402-2. It is noteworthy that in the current practice, the wedge angle adjustment can typically be made only once or twice during the rough lap WAL process shown in FIGS. 4A, 4B. Furthermore, the use of a constant wedge angle can produce facets (s) within the head slider, even when adjusted by 1 or 2 degrees (best represented by the head slider 402-1). ). Furthermore, this coarse wrap WAL process targets the stripe height of the reader element (such as the stripe height 215 of the reader 214 in FIG. 3) and obtains wrapping feedback via the reader or writer ELG. It is worth noting that the flare points and RWO217 (FIG. 2) of the writer element (such as the flare point 213 of the writer 212 in FIG. 3) are relatively uncontrolled. ..
Wedge angle wrapping wrapping tool in row

図5は、ラッピングツールを例示する底部側斜視図であり、図6は、図5のラッピングツールを例示する底部前面斜視図であり、どちらの図も、実施形態によるものである。ラッピングツール500は、実施形態によれば、回転可能及び/又は可撓性であるボックス構造502を備える。ボックス構造502は、z方向に略移動可能である複数の力ピン505を収容する正面側504と、後壁506と、を含む。 FIG. 5 is a bottom side perspective view illustrating the wrapping tool, and FIG. 6 is a bottom front perspective view illustrating the wrapping tool of FIG. 5, both of which are based on an embodiment. The wrapping tool 500, according to embodiments, comprises a box structure 502 that is rotatable and / or flexible. The box structure 502 includes a front side 504 that accommodates a plurality of force pins 505 that are substantially movable in the z direction, and a rear wall 506.

ラッピングツール500は、複数の力ピン505の各々が力を列バー206の対応するヘッドスライダに印加するように位置付けられるように、磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バー206を保持するための治具508を更に備える。ラッピングツール500は、ボックス構造502の後壁506からある距離にある第2の後壁510と、ボックス構造502の後壁506と第2の後壁510とを相互接続する少なくとも2つの可撓性ウェッジ角度(wedge angel、WA)フレクシャ512a、512b(WAフレクシャ512cと共に3つが表される)と、を更に備える。特に、WAフレクシャ512a、512b、512cは、列バー206と関連付けられたx軸を中心とする回転軸で仮想的に交差し、したがってこの回転軸を画定する(図7、図7Aを参照してより詳細に表され、説明される)。それゆえ、WAフレクシャ512a、512b、512cの作動に応じて、かつそれらの仮想交差部に基づいて、各力ピン505は、WAフレクシャ512a、512b、512cの仮想交差部によって画定される回転軸を中心に、トルクをその対応するヘッドスライダに印加する。 The wrapping tool 500 is a jig for holding the row bar 206 of the magnetic read-write head slider so that each of the plurality of force pins 505 is positioned to apply a force to the corresponding head slider of the row bar 206. 508 is further provided. The wrapping tool 500 provides at least two flexibility that interconnects the second rear wall 510 at a distance from the rear wall 506 of the box structure 502 and the rear wall 506 and the second rear wall 510 of the box structure 502. Wedge angles (WA) flexors 512a and 512b (three are represented together with WA flexures 512c) are further provided. In particular, the WA flexors 512a, 512b, and 512c virtually intersect at a rotation axis centered on the x-axis associated with the column bar 206, thus defining this rotation axis (see FIGS. 7, 7A). Represented and explained in more detail). Therefore, depending on the operation of the WA flexors 512a, 512b, 512c and based on their virtual intersections, each force pin 505 has a rotation axis defined by the virtual intersections of the WA flexors 512a, 512b, 512c. At the center, torque is applied to its corresponding head slider.

ラッピングツール500の上述の相互作用構造に基づいて、(y軸方向に対する)独立かつ可変のウェッジ角度を、それぞれの目標ウェッジ角度にラッピングするように、列バー206の各ヘッドスライダ(例えば、図2のヘッドスライダ208a〜208m)を設定することができる。実際には、複数の力ピン505は、作動に応じて、列バー206をまとめてねじって、並列ラッピングするための列バー206の各ヘッドスライダをそのそれぞれの目標ウェッジ角度に並行して設定する。 Based on the above-mentioned interaction structure of the wrapping tool 500, each head slider of the row bar 206 (eg, FIG. 2) wraps an independent and variable wedge angle (with respect to the y-axis direction) to each target wedge angle. Head sliders 208a to 208m) can be set. In practice, the plurality of force pins 505 twist the row bars 206 together in response to actuation, setting each head slider of the row bars 206 for parallel wrapping in parallel with their respective target wedge angles. ..

実施形態によれば、ラッピングツール500は、トルクに対応するy方向圧力勾配(例えば、図9Aの圧力勾配904a)を力ピン505から対応するヘッドスライダ208a〜208mに伝達するために、各力ピン505と列バー206のその対応するヘッドスライダ(例えば、図2のヘッドスライダ208a〜208m)との間に柔軟エラストマー516を更に備える。したがって、ラッピングによる各ヘッドスライダ208a〜208mと関連付けられた材料除去は、各それぞれのヘッドスライダ208a〜208mに印加される圧力勾配904aに対応する。 According to the embodiment, the wrapping tool 500 transmits each force pin 505 to the corresponding head sliders 208a-208 m in order to transmit a torque-corresponding y-direction pressure gradient (eg, pressure gradient 904a in FIG. 9A) from the force pins 505. A flexible elastomer 516 is further provided between the 505 and its corresponding head slider of the row bar 206 (eg, head sliders 208a-208 m in FIG. 2). Therefore, the material removal associated with each head slider 208a-208m by wrapping corresponds to the pressure gradient 904a applied to each head slider 208a-208m.

実施形態によれば、エラストマー516の材料は、10〜90デュロメータの範囲のショアA硬度を有し、これは、意図する目的に好適であることが見出される。例えば、(図4Aの剛性接着ボンド403などの剛性ボンドではなく)柔軟エラストマー516、非限定的な例として、シリコン又はポリウレタンゴム(例えば、厚さ0.05〜1.5mm、その意図する目的に好適であることが見出される範囲)の使用は、図4Aの剛性ボンドで生じ得る、ラッピングプレートからヘッドスライダが離昇するアクション、及び関連するヘッドスライダのファセッティングを効果的に排除する。更にまた、エラストマー516が厚くなるほど、力ピン505とヘッドスライダ208a〜208m(図2)との間に提供するクッションがより軟らかくなり、したがって、各ヘッドスライダ208a〜208mにわたる圧力勾配904aのより微細な制御が達成される。すなわち、力ピン505の作動及びヘッドスライダ208a〜208mに対するそれらの効果に対応する応答が効果的に弱められる。同様に、エラストマー516がより硬くなるほど、より多く急速な力ピン505の作動に対応する応答及びヘッドスライダ208a〜208mに対するそれらの効果がより急速になる(すなわち、この応答があまり弱められず、より段階的に変化させるためのより微細な作動制御を提供しなければならない)。したがって、各ヘッドスライダにわたる圧力勾配904aの有効解像度は、柔軟エラストマー516に使用される材料の選択に基づいて、実装ごとに変化し得る。 According to embodiments, the material of elastomer 516 has a Shore A hardness in the range of 10 to 90 durometers, which is found to be suitable for the intended purpose. For example, a flexible elastomer 516 (rather than a rigid bond such as the rigid adhesive bond 403 in FIG. 4A), as a non-limiting example, a silicone or polyurethane rubber (eg, 0.05-1.5 mm thick, for its intended purpose). The use of (to the extent found to be suitable) effectively eliminates the action of the head slider lifting from the wrapping plate and the associated head slider fasetting that can occur with the rigid bond of FIG. 4A. Furthermore, the thicker the elastomer 516, the softer the cushion provided between the force pins 505 and the head sliders 208a-208 m (FIG. 2), and thus the finer of the pressure gradient 904a over each head slider 208a-208 m. Control is achieved. That is, the actuation of the force pins 505 and the response corresponding to their effect on the head sliders 208a-208m are effectively diminished. Similarly, the harder the elastomer 516, the more rapid the response corresponding to the more rapid action of the force pins 505 and their effect on the head sliders 208a-208m (ie, this response is less diminished and more). Finer control of operation must be provided for gradual change). Therefore, the effective resolution of the pressure gradient 904a across each head slider may vary from implementation to implementation based on the choice of material used for the flexible elastomer 516.

ラッピングツール500は、ボックス構造502の正面側504及び後壁506を相互接続している少なくとも2つの可撓性ストライプ高さ(stripe height、SH)フレクシャ514a、514bを更に備える。SHフレクシャ514a、514bによってボックス構造502全体に提供される構造的支持を考慮して、各力ピン505は、(図2Aの読み取り装置214のストライプ高さ215などの)それぞれの読み取り装置の目標ストライプ高さにラッピングするように、z方向の力を、列バー206のその対応するヘッドスライダ(例えば、図2のヘッドスライダ208a〜208m)に印加することができる。したがって、ラッピングツール500の上述の相互作用構造に基づいて、独立した(z軸に対する)読み取り装置の目標ストライプ高さを、そのそれぞれの目標ストライプ高さにラッピングするように、列バー206の各ヘッドスライダに設定することができる。
ラッピングツールウェッジ角度フレクシャ
The wrapping tool 500 further comprises at least two stripe height (SH) flexors 514a and 514b interconnecting the front side 504 and the rear wall 506 of the box structure 502. Considering the structural support provided by the SH flexors 514a and 514b throughout the box structure 502, each force pin 505 has a target stripe for each reader (such as stripe height 215 for reader 214 in FIG. 2A). A force in the z direction can be applied to the corresponding head sliders of the row bar 206 (eg, head sliders 208a-208 m in FIG. 2) so as to wrap to height. Therefore, based on the above-mentioned interaction structure of the wrapping tool 500, each head of the row bar 206 wraps the target stripe height of the independent (with respect to the z-axis) reader to its respective target stripe height. Can be set on the slider.
Wrapping tool wedge angle flexure

図7は、図5〜図6のラッピングツールを例示する側断面図であり、図7Aは、図7のラッピングツールの治具を例示する側断面図であり、どちらも実施形態によるものである。図7及び図7Aは、WAフレクシャ512a、512b、512c(図5〜図6)をより詳細に説明するために参照する。 7 is a side sectional view illustrating the wrapping tool of FIGS. 5 to 6, and FIG. 7A is a side sectional view illustrating the jig of the wrapping tool of FIG. 7, both of which are according to an embodiment. .. 7 and 7A are referenced to illustrate WA flexors 512a, 512b, 512c (FIGS. 5-6) in more detail.

図7は、図5〜図6に関して説明される実施形態による、ラッピングツール500及び構成要素を例示する。図7及び図7Aは、WAフレクシャ512a、512b(及び512c)が列バー206と関連付けられたx軸を中心とする回転軸で「仮想的に」交差し、したがって、この回転軸を画定するように、ボックス構造502及び第2の後壁510の後壁506を相互接続する少なくとも2つのウェッジ角度(WA)のフレクシャ512a、512b(及び随意の512c)が位置付けられ、かつ構成されることを更に例示する。他に記述がなければ、WAフレクシャ512a、512b(及び512c)は、それらがボックス構造502の後壁506及び正面側504を通って延在した場合に、それらが全て(x方向で)回転軸を画定する地点で交差するように位置付けられる。この回転軸は、それを中心として対応する力ピン505を作動させることによりトルクがヘッドスライダ(例えば、図2の208a〜208m)に印加され、したがって、ボックス構造502が効果的に回転する。トルクは、柔軟エラストマー516を通して伝達されたときに、対応するヘッドスライダの長さ(y方向)にわたって印加される圧力勾配904aとして現れることを想起されたい。それゆえ、この独立かつ可変に印加される圧力勾配904aは、各それぞれのヘッドスライダの共通の回転軸を中心とするWAラッピング制御(ブロック矢印702として表される)を提供する。回転軸が、実施形態によれば、列バー206のラッピング界面/底面での重心に又はその近く及びそこにあるように設計されているので、正確な、独立した、かつ動的に可変の(すなわち、力ピン505の作動を変化させることによる)ウェッジ角度制御が、各ヘッドスライダ構成要素について列バー206に提供される。 FIG. 7 illustrates the wrapping tool 500 and components according to the embodiments described with respect to FIGS. 5-6. 7 and 7A are such that the WA flexors 512a, 512b (and 512c) "virtually" intersect at a rotation axis around the x-axis associated with the column bar 206, thus defining this rotation axis. Further, at least two wedge angle (WA) flexors 512a, 512b (and optional 512c) interconnecting the box structure 502 and the rear wall 510 of the second rear wall 510 are positioned and configured. Illustrate. Unless otherwise stated, WA flexors 512a, 512b (and 512c) are all (in the x direction) axes of rotation when they extend through the rear wall 506 and front side 504 of the box structure 502. It is positioned to intersect at the point that defines. Torque is applied to the head slider (eg, 208a-208m in FIG. 2) by activating the corresponding force pin 505 around the axis of rotation, thus effectively rotating the box structure 502. Recall that the torque appears as a pressure gradient 904a applied over the corresponding head slider length (y direction) when transmitted through the flexible elastomer 516. Therefore, this independently and variably applied pressure gradient 904a provides WA wrapping control (represented as block arrow 702) centered on a common axis of rotation for each head slider. An accurate, independent, and dynamically variable ( That is, wedge angle control (by varying the operation of force pin 505) is provided to row bar 206 for each head slider component.

図7及び図7Aは、ストライプ高さ(SH)ラッピング制御(ブロック矢印704として表される)を更に例示し、その使用は、図8の列バーをラッピングする方法を参照して記載される。
磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バーをラッピングするための方法
7 and 7A further illustrate stripe height (SH) wrapping control (represented as block arrow 704), the use of which is described with reference to the method of wrapping the column bar of FIG.
How to Wrap Column Bars on Magnetic Read-Write Head Sliders

図8は、実施形態によるヘッドスライダの列バーをラッピングするための方法を例示するフロー図である。図8に関して記載される様々な実施形態は、本明細書の他の場所に記載されるラッピングツール500(図5〜図7)を使用して各々実行することができる。文脈について、及び記載されるように、各列バーは、列の方向に沿ったx軸と、列バー内のヘッドスライダと関連付けられた読み取り装置−書き込み装置オフセットの方向に沿ったy軸と、を有し、各ヘッドスライダは、読み取り装置要素と、書き込み装置要素と、を備える。 FIG. 8 is a flow chart illustrating a method for wrapping the row bar of the head slider according to the embodiment. The various embodiments described with respect to FIG. 8 can each be performed using the wrapping tool 500 (FIGS. 5-7) described elsewhere herein. For context and as described, each column bar has an x-axis along the direction of the column and a y-axis along the direction of the reader-writer offset associated with the head slider in the column bar. Each head slider comprises a reading device element and a writing device element.

ブロック802で、磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バーをラッピングツール治具に固定する。例えば、列バー206(図5、図6、図7A)は、エラストマー516(図5、図6、図7A)などを介して、ラッピングツール500(図5〜図7)の治具508(図5〜図7A)に固定される。エラストマー516材料の粘着性は、エラストマー516が列バー206を治具508上の適所に保持する能力に影響を及ぼす。したがって、エラストマー516の粘着性は、実装ごとに変化し得る。 At block 802, the row bar of the magnetic read-write head slider is secured to the wrapping tool jig. For example, the row bar 206 (FIGS. 5, 6, 7A) is a jig 508 (FIG. 5, FIG. 7) of the wrapping tool 500 (FIGS. 5-7A) via an elastomer 516 (FIGS. 5, 6, 7A) and the like. It is fixed to 5 to FIG. 7A). The stickiness of the elastomer 516 material affects the ability of the elastomer 516 to hold the row bars 206 in place on the jig 508. Therefore, the adhesiveness of the elastomer 516 can vary from mounting to mounting.

ブロック804で、ラッピングツールの各複数の力ピンを作動させて、それぞれの目標ウェッジ角度にラッピングするように、列バーの各ヘッドスライダを設定する。例えば、各力ピン505を、(非限定的な例として、空気圧で、油圧で、機械的、電気的、などにより)作動させて、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208m(図2)をy軸に沿ったy平面に対する角度であるそれぞれの目標ウェッジ角度303(図3)に設定する。各それぞれの目標ウェッジ角度が設定される様態は、図5〜図7Aを参照して本明細書に記載されるものと一致する。 At block 804, each of the multiple force pins of the wrapping tool is activated to set each head slider on the row bar to wrap to its respective target wedge angle. For example, each force pin 505 may be actuated (by pneumatic, hydraulic, mechanical, electrical, etc., as a non-limiting example) to bring each head slider 208a-208 m of row bar 206 (FIG. 2). Each target wedge angle 303 (FIG. 3), which is an angle with respect to the y-plane along the y-axis, is set. The mode in which each respective target wedge angle is set is consistent with that described herein with reference to FIGS. 5-7A.

したがって、ブロック806で、各それぞれ対応する目標ウェッジ角度に従って、各ヘッドスライダを同時にラッピングする。例えば、各対応する目標ウェッジ角度303に従って、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208mをラッピングする。図3から、ラッピングは、共通にダイヤモンドをちりばめた及び/又はダイヤモンドスラリーを伴うラッピング治具304及びラッピングプレート306を使用して、ヘッドスライダ又はヘッドスライダの列バーに実行することができることを想起されたい。 Therefore, at block 806, each head slider is wrapped simultaneously according to each corresponding target wedge angle. For example, each head slider 208a-208m of the row bar 206 is wrapped according to each corresponding target wedge angle 303. It is recalled from FIG. 3 that wrapping can be performed on the head slider or row bar of the head slider using a wrapping jig 304 and a wrapping plate 306 commonly studded with diamonds and / or with a diamond slurry. sea bream.

図9A、図9Bは、実施形態による「軟質」ボンドWAラッピングプロセスを例示する図である。図9A、図9Bの軟質ボンドWAラッピングプロセスと、図4A、図4Bの剛性ボンドWAラッピングプロセスとを比較するために、図4A、図4Bを更に参照する。図9Aは、一連の「ファインラップ」(又は「最終ラップ」)WALプロセスの「スナップショット」(各スナップショットを垂直の破線で分離する)を表し、このプロセスでは、柔軟エラストマー516により、未完成のヘッドスライダ902が剛性ツーリング治具508に一時的に接合される。第1のスナップショットでは、少なくとも目標ウェッジ角度を達成し始めるために、ヘッドスライダ902に適用するための適切な圧力勾配904aが決定されることが認識される。スライダ902について、対応する力ピン505(図5〜図6)は、トルクを、ラッピングツール治具508に、及びエラストマー516を通してヘッドスライダ902に印加して、ヘッドスライダ902の長さにわたる所望の圧力勾配904aを発生させる。図9Aの図は、エラストマー516が、ヘッドスライダ902との界面に急な線を有するように、例えば、あたかもエラストマー516の一部分が切り取られたかのように見えるという点で単純化されていることに留意されたい。しかしながら、エラストマー516は、トルクに応じて(切り取られるのではなく)圧縮し、それによって、トルクは、トルクの方向において回転軸(又はトルクの中心)から離れる距離と相対的にエラストマー516内により大きい圧縮を生じさせることを認識されたい。同様に、トルクは、トルクの方向と反対方向において回転軸(又はトルクの中心)から離れる距離と相対的にエラストマー516内により小さい圧縮を生じさせる。そのため、圧力勾配904aは、右から左への方向においてより小さいものからより大きいものへと表される。結果的に、(圧力勾配904aにより)徐々に大きくなる点圧力をヘッドスライダ902にその長さにわたって印加することによって、及びヘッドスライダが剛性ラッピングプレート406と連動することを考慮すると、より多くの材料が、圧力勾配904aに従って(すなわち、左から右へ)スライダから除去される。 9A, 9B are diagrams illustrating a "soft" bond WA wrapping process according to an embodiment. Further refer to FIGS. 4A and 4B to compare the soft bond WA wrapping process of FIGS. 9A and 9B with the rigid bond WA wrapping process of FIGS. 4A and 4B. FIG. 9A represents a “snapshot” of a series of “fine wrap” (or “final wrap”) WAL processes (each snapshot separated by a vertical dashed line), which is incomplete with the flexible elastomer 516. The head slider 902 of the above is temporarily joined to the rigid touring jig 508. In the first snapshot, it is recognized that an appropriate pressure gradient 904a to be applied to the head slider 902 is determined, at least to begin achieving the target wedge angle. For the slider 902, the corresponding force pins 505 (FIGS. 5-6) apply torque to the wrapping tool jig 508 and to the head slider 902 through the elastomer 516 to provide the desired pressure over the length of the head slider 902. A gradient 904a is generated. Note that the figure of FIG. 9A is simplified in that the elastomer 516 has a sharp line at the interface with the head slider 902, for example, as if a portion of the elastomer 516 had been cut off. I want to be. However, the elastomer 516 compresses in response to torque (rather than being cut off), whereby the torque is greater within the elastomer 516 relative to the distance away from the axis of rotation (or the center of torque) in the direction of torque. Please be aware that it causes compression. Similarly, torque causes less compression in the elastomer 516 relative to the distance from the axis of rotation (or the center of torque) in the direction opposite to the direction of torque. Therefore, the pressure gradient 904a is represented from smaller to larger in the right-to-left direction. As a result, more material, given the increasing point pressure (due to the pressure gradient 904a) applied to the head slider 902 over that length and the head slider interlocking with the rigid wrapping plate 406. Is removed from the slider according to the pressure gradient 904a (ie, from left to right).

図9Bを参照すると、圧力勾配904aをヘッドスライダ902に適用することによって、WALプロセスを通してラッピングが進行するときに、ヘッドスライダ902の材料除去の進行が一定の角度でないことが認識される。スライダの全長にわたっていくらかの圧力があるので、圧力勾配904aに従って圧力が変化するが、材料除去の進行は、図4Bに表されるような剛性ボンド及び一定のラッピング角度によるものとは異なる。図9Bに表されるように、圧力勾配904aの適用によって、ヘッドスライダ902の表面から材料が徐々に除去されるにつれてラッピング角度が変化する。 With reference to FIG. 9B, by applying the pressure gradient 904a to the head slider 902, it is recognized that the progress of material removal on the head slider 902 is not at a constant angle as the wrapping progresses through the WAL process. Since there is some pressure over the entire length of the slider, the pressure changes according to the pressure gradient 904a, but the progress of material removal is different from that due to the rigid bond and constant wrapping angle as shown in FIG. 4B. As shown in FIG. 9B, the application of the pressure gradient 904a changes the wrapping angle as the material is gradually removed from the surface of the head slider 902.

第2の(中央の)スナップショットでは、わずかに異なる圧力勾配904bがヘッドスライダ902に印加されて、目標ウェッジ角度に到達したときのサーボ制御変化などにより、目標ウェッジ角度を達成し続けることを表す。それゆえ、本明細書に記載されるラッピングシステム及び方法は、制御されたフィードバックシステム(例えば、ELGフィードバックシステム)によって、ヘッドスライダごとのウェッジ角度の動的な変化を提供する。ウェッジ角度は、ラッピングプロセス中に力ピン505の作動プロファイル変化させることによって、動的に変化させることができ、それによって、ラッピングシステムが動的にサーボされて、所望の結果を達成する。一定の剛性ウェッジ角度を使用するのではなく、エラストマーを使用した圧力勾配の適用によりウェッジ角度を徐々に変化させることを使用することで、ヘッドスライダ内にファセット(複数可)を生成する可能性がはるかに低くなることは注目に値する。 The second (center) snapshot shows that a slightly different pressure gradient 904b is applied to the head slider 902 and continues to achieve the target wedge angle, such as by servo control changes when the target wedge angle is reached. .. Therefore, the wrapping systems and methods described herein provide a dynamic change in wedge angle for each head slider by a controlled feedback system (eg, an ELG feedback system). The wedge angle can be changed dynamically by changing the working profile of the force pin 505 during the wrapping process, whereby the wrapping system is dynamically servoed to achieve the desired result. Rather than using a constant rigid wedge angle, it is possible to generate facets (s) within the head slider by using a gradual change in wedge angle by applying a pressure gradient with an elastomer. It is worth noting that it will be much lower.

図8のフロー図に戻ると、随意のブロック808で、各複数の力ピンを作動させて、それぞれの読み取り装置目標ストライプ高さにラッピングするように、列バーの各ヘッドスライダを設定する。例えば、各力ピン505は、(非限定的な例として、空気圧で、油圧で、機械的、電気的、などにより)サーボ又は離散的に作動させて、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208m(図2)を、それぞれの読み取り装置の目標ストライプ高さ215(図2A、図3)に設定する。 Returning to the flow diagram of FIG. 8, the optional blocks 808 set each head slider of the row bar to activate each of the plurality of force pins to wrap to the respective reader target stripe height. For example, each force pin 505 is servo- or discretely actuated (by pneumatic, hydraulic, mechanical, electrical, etc., as a non-limiting example) and each head slider 208a-208m of row bar 206. (FIG. 2) is set to the target stripe height 215 (FIGS. 2A, 3) of each reading device.

続けると、随意のブロック810で、各それぞれの対応する目標ストライプ高さに従って、各ヘッドスライダを同時にラッピングする。例えば、各対応する読み取り装置214の目標ストライプ高さ215(読み取り装置ELG及び/又は書き込み装置ELGストライプ高さに基づくことができる)に従って、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208mをラッピングする。図9Aに戻ると、第3のスナップショットでは、ヘッドスライダにわたるトルク及び結果として生じる圧力勾配904a(及び904b)が中断される(例えば、目標ウェッジ角度が到達した)こと、及び、この時点で、ヘッドスライダ902の長さにわたって比較的に(又は「実質的に」)一定の圧力904cが印加されて、この時点で、目標の読み取り装置214のストライプ高さ215にラッピングすることを表す。 Continuing, the optional blocks 810 wrap each head slider simultaneously according to their respective corresponding target stripe heights. For example, each head slider 208a-208m of the row bar 206 is wrapped according to the target stripe height 215 of each corresponding reading device 214 (which can be based on the reading device ELG and / or the writing device ELG stripe height). Returning to FIG. 9A, in the third snapshot, the torque across the head slider and the resulting pressure gradient 904a (and 904b) are interrupted (eg, the target wedge angle has been reached), and at this point. A relatively (or "substantially") constant pressure of 904c is applied over the length of the head slider 902, indicating that at this point it wraps around the stripe height 215 of the target reader 214.

したがって、実施形態によれば、及び本明細書の他の場所に記載されるように、図4A、図4Bに表される剛性ボンド(粗)ラッピングプロセスとは対照的に、この軟質(微細)ラップWALプロセスは、最初に、目標ウェッジ角度にラッピングし、次いで、目標の読み取り装置又は書き込み装置のストライプ高さにラッピングし、それによって、(図2のRWO217などの)RWOの制御を含む、複数の程度の制御を提供する。また、目標ストライプ高さに向けた最初のラップ、及び目標ウェッジ角度への次のラップへのプロセスを補正することも想到され、かつ本明細書に記載される実施形態の範囲内である。
列内のストライプ高さ/フレアポイント及びウェッジ角度ラッピングのためのラッピングマウントツール
Thus, according to embodiments, and as described elsewhere herein, this soft (fine), as opposed to the rigid bond (coarse) wrapping process represented in FIGS. 4A, 4B. The wrap WAL process first wraps to the target wedge angle and then to the stripe height of the target reader or writer, thereby including control of the RWO (such as RWO 217 in FIG. 2). Provides control of the degree of. It is also conceivable to correct the process for the first lap towards the target stripe height and the next lap to the target wedge angle, and is within the scope of the embodiments described herein.
Wrapping mount tool for stripe height / flare point and wedge angle wrapping in rows

図10Aは、ラッピングマウントツールを例示する正面側斜視図であり、図10Bは、図10Aのラッピングツールを例示する正面頂部斜視図であり、図10Cは、図10Aのラッピングツールを例示する底部側斜視図であり、全てが実施形態によるものである。別途注記のない限り、ラッピングツール500の文脈で記載される機能及び動作の概念の多くは、図10A〜図10Cのラッピングマウントツール1000に同様に適用することができる。 10A is a front side perspective view exemplifying the wrapping mount tool, FIG. 10B is a front top perspective view exemplifying the wrapping tool of FIG. 10A, and FIG. 10C is a bottom side exemplifying the wrapping tool of FIG. 10A. It is a perspective view, and all are according to the embodiment. Unless otherwise noted, many of the functional and operational concepts described in the context of the Wrapping Tool 500 can be similarly applied to the Wrapping Mount Tool 1000 of FIGS. 10A-10C.

ラッピングマウントツール1000は、実施形態によれば、回転可能及び/又は可撓性である、第1の構造部材1002を備える。第1の構造部材1002は、その各々がV字形状のノッチ(「Vノッチ」)を備える複数の角度作動ピン1005、又はフォーク1003(非限定的な例として、2刃のフォーク)を、少なくとも作動の目的で、頂部に収容する。実施形態によれば、第1の構造部材1002の最初及び最後の「ピン」構造は、内側の角度作動ピン1005と構造的に異なり、より広いように表され、また、主に、内側のより脆弱な角度作動ピン1005を保護する役割を果たすことに留意されたい。しかしながら、ラッピングマウントツール1000は、第1の構造部材1002の最初及び最後の「ピン」が、角度作動ピン1005の大部分と同じように、対応するヘッドスライダと相互作用することを意図しないので、ピンがツールから省略された場合に、それでもその意図する目的のために動作可能である。実施形態によれば、及び表されるように、隣接するフォーク1003(例えば、フォークの櫛)は、z方向に交互に千鳥状とすることができ、これは、そのような空間的に制限された環境における作動機構と対応するフォーク1003間の係合を容易にする。しかしながら、実施形態によれば、一群のフォーク1003は、表されるように、千鳥状ではなく直線状に構成され得る。第1の構造部材1002は、各複数の角度作動ピン1005が、作動(例えば、「第2の作動」)に応じて、角度ラッピング力を列バー206の対応するヘッドスライダに印加するように位置付けられるように、磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バー(例えば、図2の列206a〜206n;一般に「列バー206」)を保持するための治具1008を備える。 The wrapping mount tool 1000 comprises a first structural member 1002 that, according to embodiments, is rotatable and / or flexible. The first structural member 1002 includes at least a plurality of angle actuating pins 1005, or forks 1003 (as a non-limiting example, a two-blade fork), each of which has a V-shaped notch (“V notch”). Contained at the top for the purpose of operation. According to embodiments, the first and last "pin" structures of the first structural member 1002 are structurally different from the inner angle actuating pin 1005 and are represented to be wider and also primarily the inner twist. Note that it serves to protect the fragile angle actuating pin 1005. However, the Wrapping Mount Tool 1000 does not intend the first and last "pins" of the first structural member 1002 to interact with the corresponding head sliders, much like most of the angle actuating pins 1005. If the pin is omitted from the tool, it is still operational for its intended purpose. According to embodiments, and as represented, adjacent forks 1003 (eg, fork combs) can be staggered alternately in the z direction, which is such spatially constrained. Facilitates engagement between the actuating mechanism and the corresponding fork 1003 in the environment. However, according to embodiments, the group of forks 1003 can be configured linearly rather than staggered, as represented. The first structural member 1002 is positioned such that each of the plurality of angle actuating pins 1005 applies an angle wrapping force to the corresponding head slider of the row bar 206 in response to actuation (eg, "second actuation"). A jig 1008 for holding a row bar of a magnetic read-write head slider (eg, rows 206a-206n in FIG. 2; generally "row bar 206") is provided.

ラッピングツール1000は、第1の可撓性ウェッジ角度(WA)のフレクシャ1012a(「第1のフレクシャ」)及び第2の可撓性ウェッジ角度(WA)のフレクシャ1012b(「第2のフレクシャ」)を介して、又はそれらにより、第1の構造部材1002から変位され、かつそれと結合された第2の構造部材1006を更に備える。第2の構造部材1006は、各々がラッピング力を列バー206の対応するヘッドスライダに印加するように位置付けられた複数のストライプ高さ(stripe height、SH)作動ピン1007を収容する。実施形態によれば、第1の構造部材1002の外側「ピン」構造に類似して、第2の構造部材1006第1及び最後の「ピン」構造は、内側のSH作動ピン1007と構造的に異なり、より広いように表され、また、主に、内側のより脆弱なSH作動ピン1007を保護する役割を果たす。しかしながら、ラッピングマウントツール1000は、第2の構造部材1006の最初及び最後の「ピン」構造が、SH作動ピン1007の大部分と同じように、対応するヘッドスライダと相互作用することを意図しないので、ピン構造がツールから省略された場合に、それでもその意図する目的のために動作可能である。実施形態によれば、各SH作動ピン1007は、作動(例えば、「第1の作動」)に応じて、実質的にz方向の力(図11の直線ラッピング力1105を参照されたい)を、対応するヘッドスライダに印加し、それによって、それぞれの目標ストライプ高さにラッピングする。実施形態によれば、各SH作動ピン1007は、読み取り−書き込みヘッドの読み取り装置要素のそれぞれの目標ストライプ高さに、又は読み取り−書き込みヘッドの書き込み装置要素のそれぞれの目標ストライプ高さ(同じく、図2Aの「フレアポイント213」)にラッピングするように作動させることができる。 The wrapping tool 1000 includes a first flexible wedge angle (WA) flexor 1012a (“first flexure”) and a second flexible wedge angle (WA) flexor 1012b (“second flexure”). Further comprises a second structural member 1006 displaced and coupled to the first structural member 1002 via or by them. The second structural member 1006 accommodates a plurality of stripe height (SH) actuating pins 1007, each positioned to apply a wrapping force to the corresponding head slider of the row bar 206. According to embodiments, similar to the outer "pin" structure of the first structural member 1002, the second structural member 1006 first and last "pin" structures are structurally similar to the inner SH actuating pin 1007. Differently represented as wider, it also primarily serves to protect the inner, more fragile SH actuating pin 1007. However, the Wrapping Mount Tool 1000 does not intend the first and last "pin" structures of the second structural member 1006 to interact with the corresponding head sliders, much like most of the SH actuating pins 1007. , If the pin structure is omitted from the tool, it is still operational for its intended purpose. According to embodiments, each SH actuating pin 1007 exerts a substantially z-direction force (see linear wrapping force 1105 in FIG. 11) in response to actuation (eg, "first actuation"). Apply to the corresponding head slider, thereby wrapping to each target stripe height. According to embodiments, each SH actuating pin 1007 is at the respective target stripe height of the reader element of the read-write head, or at the respective target stripe height of the write device element of the read-write head (also in the figure). It can be actuated to wrap around the "flare point 213") of 2A.

ラッピングツール1000は、第3の可撓性フレクシャ1014a(「第3のフレクシャ」)及び第4の可撓性フレクシャ1014b(「第4のフレクシャ」)を介して、又はそれらにより、第2の構造部材1006と結合された第3の構造部材1010を更に備える。 The wrapping tool 1000 has a second structure via or by a third flexible flexure 1014a (“third flexure”) and a fourth flexible flexure 1014b (“fourth flexure”). A third structural member 1010 coupled to the member 1006 is further provided.

特に、第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bは、列バー206と関連付けられたx軸を中心とする回転軸で仮想的に交差し、したがってこの回転軸を画定する(図11を参照してより詳細に表され、説明される)。それゆえ、作動(例えば、「第2の作動」)に応じて、及び第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bの仮想交差部に基づいて、各角度作動ピン1005は、第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bの仮想交差部によって画定された回転軸を中心に、角度ラッピング力(例えば、トルク)をその対応するヘッドスライダに印加する。 In particular, the first flexure 1012a and the second flexure 1012b virtually intersect at a rotation axis around the x-axis associated with the column bar 206, thus defining this rotation axis (see FIG. 11). Represented and explained in more detail). Therefore, depending on the actuation (eg, "second actuation") and based on the virtual intersection of the first flexure 1012a and the second flexure 1012b, each angle actuating pin 1005 has a first flexure 1012a. And around the axis of rotation defined by the virtual intersection of the second flexure 1012b, an angular wrapping force (eg, torque) is applied to its corresponding head slider.

ラッピングマウントツール1000の上述の相互作用構造に基づいて、独立かつ可変の(z軸方向で)ストライプ高さを、ストライプ高さ作動ピン1007を作動させることにより、それぞれの読み取り装置又は書き込み装置の目標ストライプ高さ(書き込み装置の要素の場合「フレアポイント」と称されることがある)にラッピングするように、列バー206の各読み取り−書き込みヘッドに設定することができる。同様に、独立かつ可変の(y軸方向と比較して)ウェッジ角度を、角度作動ピン1005を作動させることにより、かつ第1及び第2のフレクシャ1012a、1012bの仮想交差部の効果に従って、それぞれの目標ウェッジ角度にラッピングするように、列バー206の各ヘッドスライダ(図2のヘッドスライダ208a〜208m)に設定することができる。実際には、複数の角度作動ピン1005は、作動に応じて、列バー206をまとめてねじって、並列ラッピングするための列バー206の各ヘッドスライダをそのそれぞれの目標ウェッジ角度に並行して設定する。 Based on the above-mentioned interaction structure of the wrapping mount tool 1000, an independent and variable stripe height (in the z-axis direction), by activating the stripe height actuating pin 1007, the target of each reader or writer. It can be set on each read-write head of column bar 206 to wrap to a stripe height (sometimes referred to as a "flare point" in the case of a writing device element). Similarly, independent and variable wedge angles (compared to the y-axis direction) by activating the angle actuating pin 1005 and according to the effect of the virtual intersections of the first and second flexors 1012a and 1012b, respectively. It can be set to each head slider (head sliders 208a to 208 m in FIG. 2) of the row bar 206 so as to wrap to the target wedge angle of. In practice, the plurality of angle actuating pins 1005 twist the row bar 206 together in response to actuation and set each head slider of the row bar 206 for parallel wrapping in parallel with its respective target wedge angle. do.

実施形態によれば、ラッピングツール1000は、角度ラッピング力に対応するy方向の圧力勾配(例えば、図9Aの圧力勾配904a)を各角度作動ピン1005から対応するヘッドスライダ208a〜208mに伝達するために、第1の構造部材1002の治具1008に、かつ列バー206に接着された(図5のエラストマー516などの)柔軟エラストマーを更に備えることができる。したがって、ラッピングによる各ヘッドスライダ208a〜208mと関連付けられた材料除去は、各それぞれのヘッドスライダ208a〜208mに印加される圧力勾配904aに対応する。 According to the embodiment, the wrapping tool 1000 transmits a pressure gradient in the y direction corresponding to the angular wrapping force (for example, the pressure gradient 904a in FIG. 9A) from each angular actuating pin 1005 to the corresponding head sliders 208a to 208m. Further, the jig 1008 of the first structural member 1002 and a flexible elastomer (such as the elastomer 516 of FIG. 5) bonded to the row bar 206 can be further provided. Therefore, the material removal associated with each head slider 208a-208m by wrapping corresponds to the pressure gradient 904a applied to each head slider 208a-208m.

列バー206をラッピングマウントツール1000の角度作動ピン1005に取り付ける/接着するために利用される柔軟エラストマー516に関して、隣接する角度作動ピン1005からの角度の変化は、角度作動ピン1005からのエラストマー516の分離を誘導することができ、次いでこれが、ラッピング中に、エラストマー516からの列バー206の分離を誘導することができる。実施形態によれば、エラストマー516は、治具1008に面する側の第1のレベルの表面粗さ、及び列バー206に面する反対側の第2のレベルの表面粗さを有し、第2のレベルの表面粗さは、第1のレベルの表面粗さよりも大きい。それゆえに、有効接着力は、列バー206側上の(すなわち、有効接触面積を低減することによって)より高い表面粗さに対してはより少なく、それによって、より安定した列バー206除去プロセス(例えば、ラッピングの後にエラストマー516から取り外す際に列バーを破損する可能性がより少ない)を提供する。対照的に、エラストマー516の対向する治具1008側は、比較的滑らかなレベルの表面粗さで作製され、これは、マウントツールピン1005、1007に対する有効接触領域を最大にして、比較的高レベルの接着を達成する。
ラッピングマウントツールのウェッジ角度フレクシャ
With respect to the flexible elastomer 516 used to attach / bond the row bars 206 to the angle actuating pin 1005 of the wrapping mount tool 1000, the change in angle from the adjacent angle actuating pin 1005 is that of the elastomer 516 from the angle actuating pin 1005. Separation can be induced, which in turn can induce separation of row bars 206 from elastomer 516 during wrapping. According to the embodiment, the elastomer 516 has a first level surface roughness on the side facing the jig 1008 and a second level surface roughness on the opposite side facing the row bar 206. The surface roughness of the second level is larger than the surface roughness of the first level. Therefore, the effective adhesive force is less for higher surface roughness on the row bar 206 side (ie, by reducing the effective contact area), thereby a more stable row bar 206 removal process (ie, by reducing the effective contact area). For example, the row bars are less likely to be damaged when removed from the elastomer 516 after wrapping). In contrast, the opposing jig 1008 side of the elastomer 516 was made with a relatively smooth level of surface roughness, which maximizes the effective contact area with respect to the mount tool pins 1005, 1007 and is at a relatively high level. Achieve the adhesion of.
Wedge angle flexure of wrapping mount tool

図11は、実施形態による図10A〜図10Cのラッピングツールを例示する側断面図である。図11は、第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bの動作をより詳細に説明するために参照する(また、類似する機能について図7Aも参照する)。 FIG. 11 is a side sectional view illustrating the wrapping tools of FIGS. 10A to 10C according to the embodiment. FIG. 11 is referenced to more detail the operation of the first flexure 1012a and the second flexure 1012b (also see FIG. 7A for similar functionality).

図11は、図10A〜図10Cを参照して記載される実施形態による、ラッピングツール1000及び構成要素の側断面図を例示する。図11は、第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bが列バー206と関連付けられたx軸を中心とする回転軸で「仮想的に」交差し、したがって、この回転軸を画定するように、回転可能な第1の構造部材1002及び第2の構造部材1006を相互接続する第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bが位置付けられ、かつ構成されることを例示する。この回転軸は、それを中心として対応する角度作動ピン1005を作動させること1102により角度ラッピング力1103がヘッドスライダ(例えば、図2の208a〜208m)に印加され、したがって、それを中心として第1の構造部材1102(例えば、レバーとして作用する)及び関連する治具1008が効果的に回転する。角度ラッピング力1103(又はトルク)は、柔軟エラストマー516を通して伝達されたときに、対応するヘッドスライダの長さ(y方向)にわたって印加される圧力勾配904a(図9)として現れることを想起されたい。それゆえ、この独立かつ可変に印加される圧力勾配904aは、各それぞれのヘッドスライダの共通の回転軸を中心とするWAラッピング制御(例えば、ラッピング力1103のブロック矢印として表される)を提供する。回転軸が、実施形態によれば、列バー206のラッピング界面/底面での重心で又はその近くに及びそこにあるように設計されているので、正確な、独立した、かつ動的に可変の(すなわち、角度作動ピン1005の作動1102を変化させることによる)ウェッジ角度制御が、各ヘッドスライダ構成要素について列バー206に提供される。 FIG. 11 illustrates a side sectional view of the wrapping tool 1000 and its components according to the embodiments described with reference to FIGS. 10A-10C. FIG. 11 shows that the first flexures 1012a and the second flexures 1012b "virtually" intersect at a rotation axis around the x-axis associated with the column bar 206, thus defining this rotation axis. It illustrates that the first flexures 1012a and the second flexures 1012b that interconnect the rotatable first structural member 1002 and the second structural member 1006 are positioned and configured. An angular wrapping force 1103 is applied to the head slider (eg, 208a-208m in FIG. 2) by 1102 to actuate the corresponding angular actuating pin 1005 around this axis of rotation, and thus the first is centered on it. The structural member 1102 (eg, acting as a lever) and the associated jig 1008 rotate effectively. Recall that the angular wrapping force 1103 (or torque) appears as a pressure gradient 904a (FIG. 9) applied over the corresponding head slider length (y direction) when transmitted through the flexible elastomer 516. Therefore, this independently and variably applied pressure gradient 904a provides WA wrapping control (eg, represented as a block arrow of wrapping force 1103) centered on a common axis of rotation for each head slider. .. The axis of rotation is designed to be at or near or near the center of gravity of the row bar 206 at the wrapping interface / bottom, according to embodiments, so that it is accurate, independent, and dynamically variable. Wedge angle control (ie, by varying actuation 1102 of angle actuating pin 1005) is provided to row bar 206 for each head slider component.

図11は、直線ラッピング力1105(例えば、直線力1105のブロック矢印として表される)が、ストライプ高さ作動ピン1007を作動させること1104により、ヘッドスライダ(例えば、図2の208a〜208m)に印加されるように、ストライプ高さ作動ピン1007が位置付けられ、かつ構成されることを更に例示する。それゆえ、正確な、独立した、動的に可変の(すなわち、角度作動ピン1007の作動1104を変化させることによって)ストライプ高さ/フレアポイント制御が、各ヘッドスライダ構成要素について列バー206に提供される。
耐落下衝撃特徴
In FIG. 11, a linear wrapping force 1105 (eg, represented as a block arrow of linear force 1105) is applied to a head slider (eg, 208a-208 m in FIG. 2) by activating the stripe height actuating pin 1007. It further illustrates that the stripe height actuating pin 1007 is positioned and configured to be applied. Therefore, accurate, independent, dynamically variable (ie, by varying the actuation 1104 of angle actuating pin 1007) stripe height / flare point control is provided to column bar 206 for each head slider component. Will be done.
Drop impact resistant features

ラッピングマウントツール1000は、(例えば、操作者又はロボットマシンによって)製造現場を、及び場合により異なるツール間を移動するなどの、ラッピングマウントツール1000を取り扱う用途/動作に対して実装され得るので、ラッピングマウントツール1000に対する落下衝撃/衝突の影響が考慮事項であり、様々な作動ピン1005、1007が比較的細く脆弱な構成要素であり得ることに留意する。したがって、図11を再度参照すると、実施形態によれば、いくつかの構造空間許容度をラッピングマウントツール1000の構成要素の間に提供するために、変位を制限するように機能する1つ以上の間隙制御制御手段をラッピングマウントツール1000の構成に組み込むことができる。実施形態によれば、間隙1107が、第2の構造部材1006のストライプ高さ作動ピン1007の末端部分と、第1の構造部材1002の遠位側に向かって配置されたノッチ1106の表面1106aとの間に提供される。実施形態によれば、間隙1108が、第2のフレクシャ1112bが取り付けられる第2の構造部材1006の遠位末端部分と、第3の構造部材1010の対向する近位面1010aとの間に提供され、及び/又は間隙1109が、第2の構造部材1006の遠位末端部分と、第3の構造部材1010の対向する近位面1010bとの間に提供される。実装される落下衝撃間隙の数は、間隙1107、1108、1109のうちの任意の1つ以上を実装して、落下衝撃保護をラッピングマウントツール1000に提供することができるように、実装ごとに変化し得る。特に、上述の多方向間隙手段は、主にy方向(例えば、間隙1108、1109)だけでなくz方向(例えば、間隙1107)のラッピングマウントツール1000への衝撃/衝突事象の影響を低減させることができる。 The wrapping mount tool 1000 can be implemented for applications / operations that handle the wrapping mount tool 1000, such as moving between manufacturing sites (eg, by an operator or robotic machine) and, in some cases, different tools. Note that the impact of drop impact / collision on the mount tool 1000 is a consideration and the various actuating pins 1005, 1007 can be relatively thin and fragile components. Thus, referring again to FIG. 11, according to embodiments, one or more functions that serve to limit displacement in order to provide some structural space tolerance between the components of the Wrapping Mount Tool 1000. The clearance control control means can be incorporated into the configuration of the wrapping mount tool 1000. According to the embodiment, the gap 1107 is provided with the terminal portion of the stripe height actuating pin 1007 of the second structural member 1006 and the surface 1106a of the notch 1106 arranged toward the distal side of the first structural member 1002. Provided during. According to embodiments, a gap 1108 is provided between the distal end portion of the second structural member 1006 to which the second flexure 1112b is attached and the opposing proximal surface 1010a of the third structural member 1010. And / or a gap 1109 is provided between the distal end portion of the second structural member 1006 and the opposing proximal surface 1010b of the third structural member 1010. The number of drop impact gaps mounted varies from mount to mount so that any one or more of the gaps 1107, 1108, and 1109 can be mounted to provide drop impact protection to the wrapping mount tool 1000. Can be done. In particular, the multidirectional gap means described above primarily reduces the impact of impact / collision events on the wrapping mount tool 1000 in the z direction (eg, gap 1107) as well as in the y direction (eg, gaps 1108, 1109). Can be done.

更にまた、(角度作動ピン1005を含む)第1の構造部材1002、ストライプ高さ作動ピン1007、及びストライプ高さ作動ピン1007のための第2の構造部材1006の主支持構造の組み合わせ質量に少なくとも部分的に起因して、y方向における落下試験は、第2の構造部材1006及び第3の構造部材1010を相互接続する第3のフレクシャ1014a及び第4のフレクシャ1014bの座屈を誘発する傾向を示した。それゆえ、実施形態によれば、第3のフレクシャ1014a及び第4のフレクシャ1014bは、衝撃/衝突事象の際に第3のフレクシャ1014a及び第4のフレクシャ1014bに与えられる最大応力を効果的に低減させる、又は緩和することによって、これらのフレクシャの座屈モードを阻止又は防止するように、(図11に表されるように、y方向に沿って湾曲させた)湾曲フレクシャビームとして実装することができる。そのような湾曲フレクシャビームの利用は、上述の間隙手段と併せて実装することができ、更には連動して機能することができる。 Furthermore, at least the combined mass of the main support structure of the first structural member 1002 (including the angle actuating pin 1005), the stripe height actuating pin 1007, and the second structural member 1006 for the stripe height actuating pin 1007. Due in part, the drop test in the y direction tends to induce buckling of the third flexures 1014a and the fourth flexures 1014b that interconnect the second structural member 1006 and the third structural member 1010. Indicated. Therefore, according to the embodiment, the third flexor 1014a and the fourth flexor 1014b effectively reduce the maximum stress applied to the third flexor 1014a and the fourth flexor 1014b in the event of an impact / collision. Implemented as a curved flexure beam (curved along the y direction, as shown in FIG. 11) to prevent or prevent buckling modes of these flexors by causing or mitigating. Can be done. Utilization of such a curved flexure beam can be implemented in combination with the above-mentioned gap means, and can function in conjunction with it.

論じたように、ラッピングマウントツール1000は、製造現場を、及び場合により異なるツール間を輸送するなどの、ラッピングマウントツール1000を取り扱う用途/動作に対して実装され得るので、ラッピングマウントツール1000に対する落下衝撃/衝突の影響が考慮事項である。より具体的には、実施形態によれば、ラッピング装着ツール1000は、1つ以上の構造筐体相互接続と連接されてラッピングマウントツール1000を収容し、並びにマウントツール1000を他の構成要素、高レベルラッピングツール、及び/又は治具に相互接続し、したがって、製造現場及び場合により異なるツール間において取り扱うこと、及び輸送することができるラッピングツールアセンブリを提供する。 As discussed, the Wrapping Mount Tool 1000 can be implemented for applications / operations that handle the Wrapping Mount Tool 1000, such as transporting between manufacturing sites and, in some cases, different tools, and thus falls against the Wrapping Mount Tool 1000. Impact / collision effects are a consideration. More specifically, according to embodiments, the wrapping mounting tool 1000 is coupled with one or more structural enclosure interconnects to accommodate the wrapping mounting tool 1000, as well as mounting the mounting tool 1000 with other components, high. Provides a wrapping tool assembly that interconnects with level wrapping tools and / or jigs and is therefore capable of handling and transporting between manufacturing sites and optionally different tools.

実施形態によれば、図12Aは、ラッピングツールアセンブリの一部分を例示する分解頂部側斜視図であり、図12Bは、図12Aのラッピングツールアセンブリの一部分を例示する頂部側斜視図である。ラッピングツールアセンブリ1200は、組立品ベース部1202(「組立品ベース1202」)と連接又は結合されたラッピングマウントツール1000を備える。組立品ベース1202は、複数の相互係止ピン1202a(例えば、「櫛」)を備える。各隣接する相互係止ピン1202aは、ラッピングマウントツール1000と係合されたときに、一群の隣接するストライプ高さ作動ピン1007(図12Bの破線の円を参照されたい)と関連付けられた対応するポケット1007a内に位置付けられる。それゆえ、組立品ベース1202のピン1202aとラッピングマウントツール1000との係合は、それによって、ポケット1007aの構造構成及び形状から生じる、主に(図12Aの矢印1203で表される)x方向だけでなく、z方向のストライプ高さ作動ピン1007の変位及び材料応力も制限するように機能する。したがって、ストライプ高さ作動ピン1007は、一般に、ラッピングツールアセンブリ1200を矢印1203の方向に落下させている際に、及び/又は矢印1203の方向に力成分を有する落下衝撃/衝突を経験している際に、(マウントツールの精度及び性能に影響を及ぼし得る)損傷から保護することができる。 According to an embodiment, FIG. 12A is a disassembled top-side perspective view illustrating a portion of the wrapping tool assembly, and FIG. 12B is a top-side perspective view illustrating a portion of the wrapping tool assembly of FIG. 12A. The wrapping tool assembly 1200 includes a wrapping mount tool 1000 articulated or coupled to the assembly base 1202 (“assembly base 1202”). The assembly base 1202 includes a plurality of interlocking pins 1202a (eg, "combs"). Each adjacent interlocking pin 1202a corresponds to a group of adjacent striped height actuating pins 1007 (see dashed circle in FIG. 12B) when engaged with the wrapping mount tool 1000. It is positioned in pocket 1007a. Therefore, the engagement of pin 1202a of assembly base 1202 with the wrapping mount tool 1000 thereby results from the structural configuration and shape of pocket 1007a, primarily in the x direction (represented by arrow 1203 in FIG. 12A). In addition, it also functions to limit the displacement and material stress of the stripe height actuating pin 1007 in the z direction. Thus, the stripe height actuating pin 1007 is generally experiencing a drop impact / collision with a force component in the direction of arrow 1203 and / or when dropping the wrapping tool assembly 1200 in the direction of arrow 1203. In doing so, it can be protected from damage (which can affect the accuracy and performance of the mounting tool).

実施形態によれば、図13Aは、ラッピングツールアセンブリの一部分を例示する分解正面側斜視図であり、図13Bは、図13Aのラッピングツールアセンブリの一部分を例示する分解側面斜視図である。ラッピングツールアセンブリ1300は、実施形態に従ってPCBを装着することができる装着プレート部1302(「装着プレート1302」)と連接又は結合されたラッピングマウントツール1000を備える。装着プレート1302は、複数の下部相互係止ピン1302a(又は「下部櫛」)を備える。各隣接する下部相互係止ピン1302aは、ラッピングマウントツール1000と係合されたときに、一群の隣接する角度作動ピン1005と関連付けられた対応するポケット1005a内に位置付けられる。実施形態によれば、装着プレート1302は、複数の上部相互係止ピン1302b(又は「上部櫛」)を更に備え、各隣接する上部相互係止ピン1302bは、ラッピングマウントツール1000と係合したときに、角度作動ピン1005への対応する隣接するフォーク1003又は一群のフォーク1003の構成要素間に位置付けられる。それゆえ、装着プレート1302の下部相互係止ピン1302a及び上部相互係止ピン1302bとラッピングマウントツール1000との係合は、それによって、ポケット1005aの構造構成及び形状から、及びフォーク1003の対応する櫛を有する上部相互係止ピン1302a、1302bを相互係止することから生じる、主に(図12Aの矢印1303で表される)x方向だけでなく、z方向の角度作動ピン1005の変位及び材料応力を制限するように機能し、並びに、上部相互係止ピン1302a、1302bがフォーク1003の対応する櫛と相互係合する場合に、作動機構との適切な配列を確実にするように機能する。したがって、角度作動ピン1005は、一般に、ラッピングツールアセンブリ1300を矢印1303の方向に落下させている際に、及び/又は矢印1303の方向に力成分を有する落下衝撃/衝突を経験している際に、(マウントツールの精度及び性能に影響を及ぼし得る)損傷から保護することができる。 According to the embodiment, FIG. 13A is an exploded front side perspective view illustrating a part of the wrapping tool assembly, and FIG. 13B is an exploded side perspective view illustrating a part of the wrapping tool assembly of FIG. 13A. The wrapping tool assembly 1300 comprises a wrapping mount tool 1000 articulated or coupled to a mounting plate portion 1302 (“mounting plate 1302”) capable of mounting a PCB according to an embodiment. The mounting plate 1302 comprises a plurality of lower mutual locking pins 1302a (or "lower combs"). Each adjacent lower mutual locking pin 1302a is positioned within the corresponding pocket 1005a associated with a group of adjacent angle actuating pins 1005 when engaged with the wrapping mount tool 1000. According to embodiments, the mounting plate 1302 further comprises a plurality of upper mutual locking pins 1302b (or "upper combs") when each adjacent upper mutual locking pin 1302b engages with the wrapping mount tool 1000. In addition, it is positioned between the components of the corresponding adjacent forks 1003 or a group of forks 1003 to the angle actuating pin 1005. Therefore, the engagement of the lower mutual locking pins 1302a and upper mutual locking pins 1302b of the mounting plate 1302 with the wrapping mount tool 1000 is thereby due to the structural configuration and shape of the pocket 1005a and the corresponding comb of the fork 1003. The displacement and material stress of the angular actuating pin 1005 in the z direction as well as mainly in the x direction (represented by the arrow 1303 in FIG. 12A) resulting from the mutual locking of the upper mutual locking pins 1302a and 1302b having the above. And also to ensure proper alignment with the actuating mechanism when the upper mutual locking pins 1302a and 1302b interact with the corresponding comb of the fork 1003. Thus, the angle actuating pin 1005 is generally when the wrapping tool assembly 1300 is being dropped in the direction of arrow 1303 and / or when experiencing a drop impact / collision with a force component in the direction of arrow 1303. , Can be protected from damage (which can affect the accuracy and performance of the mounting tool).

装着プレート1302の下部ピン1302a及び/又は上部ピン1302bは、組立品ベース1202(図12A、図12B)のピン1202a(図12A、図12B)から独立して実装することができるが、組立品ベース1202(図12A、図12B)のピン1202a(図12A、図12B)は、装着プレート1302の下部ピン1302a及び/又は上部ピン1302bと併せて実装して、作動ピン1007及びラッピングマウントツール1000の角度作動ピン1005への落下衝撃/衝突損傷に対する保護を提供することができることに留意されたい。また、作動ピン1005、1007を対応するピン1302a、1302b、1202aで強化することが、落下衝撃又は他の衝突事象が生じた際のy方向における損傷に対する支持及び保護を更に提供することができることにも留意されたい。
磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バーをラッピングするための方法
The lower pin 1302a and / or the upper pin 1302b of the mounting plate 1302 can be mounted independently of the pin 1202a (FIGS. 12A, 12B) of the assembly base 1202 (FIGS. 12A, 12B), but the assembly base. Pin 1202a (FIGS. 12A, 12B) of 1202 (FIGS. 12A, 12B) is mounted in conjunction with the lower pin 1302a and / or the upper pin 1302b of the mounting plate 1302 to angle the actuating pin 1007 and the wrapping mount tool 1000. Note that it can provide protection against drop impact / collision damage to the actuating pin 1005. Also, strengthening the actuating pins 1005, 1007 with the corresponding pins 1302a, 1302b, 1202a can further provide support and protection against damage in the y direction in the event of a drop impact or other collision event. Please also note.
How to Wrap Column Bars on Magnetic Read-Write Head Sliders

図14は、実施形態によるヘッドスライダの列バーをラッピングするための方法を例示するフロー図である。図14に関して記載される様々な実施形態は、本明細書の他の場所に記載されるラッピングマウントツール1000(図10A〜図11)を使用して各々実行することができる。文脈について、及び記載されるように、各列バーは、列の方向に沿ったx軸と、列バー内のヘッドスライダと関連付けられた読み取り装置−書き込み装置オフセットの方向に沿ったy軸と、を有し、各ヘッドスライダは、読み取り装置要素と、書き込み装置要素と、を備える。 FIG. 14 is a flow chart illustrating a method for wrapping the row bars of the head slider according to the embodiment. The various embodiments described with respect to FIG. 14 can each be performed using the Wrapping Mount Tool 1000 (FIGS. 10A-11) described elsewhere herein. For context and as described, each column bar has an x-axis along the direction of the column and a y-axis along the direction of the reader-writer offset associated with the head slider in the column bar. Each head slider comprises a reading device element and a writing device element.

ブロック1402で、磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バーをラッピングマウントツール治具に固定する。例えば、列バー206(図5、図6、図7A)は、エラストマー516(図5、図6、図7A)などを介して、ラッピングツール1000(図10A〜図11)の第1の構造部材1002(図10A〜図10C)の治具1008(図10A〜図11)に固定され、装着プレート1302(図13A、図13B)に装着されたPCBに電気的に接続される。 At block 1402, the row bar of the magnetic read-write head slider is secured to the wrapping mount tool jig. For example, the row bar 206 (FIGS. 5, 6, 7A) is the first structural member of the wrapping tool 1000 (FIGS. 10A-11) via an elastomer 516 (FIGS. 5, 6, 7A) and the like. It is fixed to the jig 1008 (FIGS. 10A to 11) of 1002 (FIGS. 10A to 10C) and electrically connected to the PCB mounted on the mounting plate 1302 (FIGS. 13A, 13B).

ブロック1404で、ラッピングマウントツールの複数の第1の作動ピンの各々を作動させ、それによって、それぞれの目標ストライプ高さにラッピングするように、列バーの各ヘッドスライダを設定する(ストライプ高さは、書き込み装置の要素のフレアポイントと称されることがあり得る)。例えば、各ストライプ高さ作動ピン1007(図10A〜図11)を、(非限定的な例として、空気圧で、油圧で、機械的、電気的、などにより)作動させて1104(図11)、z軸方向に対する寸法であるそれぞれの目標ストライプ読み取り装置高さ215(図2A)にラッピングするように、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208m(図2)を設定する。各それぞれの目標ストライプ高さが設定される様態は、図10A〜図11を参照して本明細書に記載されるものと一致する。 At block 1404, each of the multiple first actuating pins of the wrapping mount tool is actuated, thereby setting each head slider of the row bar to wrap to its respective target stripe height (stripe height is , Sometimes referred to as the flare point of the writing device element). For example, each stripe height actuating pin 1007 (FIGS. 10A-11) may be actuated (by, as a non-limiting example, pneumatically, hydraulically, mechanically, electrically, etc.) 1104 (FIG. 11). Each head slider 208a-208m (FIG. 2) of the row bar 206 is set to wrap to each target stripe reader height 215 (FIG. 2A), which is a dimension relative to the z-axis direction. The mode in which each respective target stripe height is set is consistent with that described herein with reference to FIGS. 10A-11.

したがって、ブロック1406で、各それぞれの対応する目標ストライプ高さに従って、各ヘッドスライダを同時にラッピングする。例えば、それぞれの直線ラッピング力1105(図11)に応じて、各対応する目標ストライプ高さ215に従って、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208mをラッピングする。図3から、ラッピングは、共通にダイヤモンドをちりばめた及び/又はダイヤモンドスラリーを伴うラッピング治具304及びラッピングプレート306を使用して、ヘッドスライダ又はヘッドスライダの列バーに実行することができることを想起されたい。 Therefore, at block 1406, each head slider is wrapped simultaneously according to each corresponding target stripe height. For example, according to each linear wrapping force 1105 (FIG. 11), each head slider 208a-208m of the row bar 206 is wrapped according to each corresponding target stripe height 215. It is recalled from FIG. 3 that wrapping can be performed on the head slider or row bar of the head slider using a wrapping jig 304 and a wrapping plate 306 commonly studded with diamonds and / or with a diamond slurry. sea bream.

該当する場合に、又は所望に応じてウェッジ角度ラッピングを継続して、ブロック1408で、ラッピングマウントツールの複数の第2の作動ピン各々を作動させ、それによって、それぞれの目標ウェッジ角度にラッピングするように、列バーの各ヘッドスライダを設定する。例えば、各角度作動ピン1005(図10A〜図11)を、(非限定的な例として、空気圧で、油圧で、機械的、電気的、などにより)作動させて1102(図11)、y軸方向に対する角度であるそれぞれの目標ウェッジ角度303(図3)にラッピングするように、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208mを設定する。各それぞれの目標ウェッジ角度が設定される様態は、図10A〜図11を参照して本明細書に記載されるものと一致する。各角度作動ピン1005が、ラッピングマウントツール1000の第1の構造部材1002(図10A〜図10C)内に収容されること、及び、第1の構造部材1002と第2の構造部材1006とを相互接続する第1のフレクシャ1012a(図10A、図10C、図11)及び第2のフレクシャ1012b(図10A、図10C、図11)の仮想交差部であって、x軸を中心とする角度作動ピン1005(したがって、列バー206)の回転軸を画定する、仮想交差部に基づいて、各角度作動ピン1005を通して、画定された回転軸を中心に角度ラッピング力1103(図11)を対応するヘッドスライダ208a〜208mに印加することを想起されたい。 Continue wedge angle wrapping, if applicable or as desired, to activate each of the multiple second actuating pins of the wrapping mount tool at block 1408, thereby wrapping to their respective target wedge angles. Set each head slider for the column bar. For example, each angle actuating pin 1005 (FIGS. 10A-11) is actuated (by, as a non-limiting example, pneumatically, hydraulically, mechanically, electrically, etc.) 1102 (FIG. 11), y-axis. The head sliders 208a to 208m of the row bar 206 are set so as to wrap around each target wedge angle 303 (FIG. 3), which is an angle with respect to the direction. The mode in which each respective target wedge angle is set is consistent with that described herein with reference to FIGS. 10A-11. Each angle actuating pin 1005 is housed in the first structural member 1002 (FIGS. 10A to 10C) of the wrapping mount tool 1000, and the first structural member 1002 and the second structural member 1006 are mutually exchanged. An angle actuating pin centered on the x-axis, which is a virtual intersection of a first flexure 1012a (FIGS. 10A, 10C, 11) and a second flexure 1012b (FIGS. 10A, 10C, 11) to be connected. A head slider corresponding to an angular wrapping force 1103 (FIG. 11) around the defined axis of rotation through each angle actuating pin 1005, based on a virtual intersection that defines the axis of rotation of 1005 (and thus row bar 206). Recall that it is applied to 208a-208m.

したがって、ブロック1410で、各それぞれ対応する目標ウェッジ角度に従って、各ヘッドスライダを同時にラッピングする。例えば、各対応する目標ウェッジ角度303に従って、列バー206の各ヘッドスライダ208a〜208mをラッピングする。図3から、ラッピングは、共通にダイヤモンドをちりばめた及び/又はダイヤモンドスラリーを伴うラッピング治具304及びラッピングプレート306を使用して、ヘッドスライダ又はヘッドスライダの列バーに実行することができることを想起されたい。実施形態によれば、ブロック1404で、第1の作動ピンを作動させること1104の後に、ブロック1408で、第2の作動ピンを作動させること1102を実行する。しかしながら、この動作の順序は、実装ごとに変化し得、したがって、所望に応じて逆になり得る。
傾斜インターポーザを有するラッピングツールアセンブリ
Therefore, at block 1410, each head slider is wrapped simultaneously according to each corresponding target wedge angle. For example, each head slider 208a-208m of the row bar 206 is wrapped according to each corresponding target wedge angle 303. It is recalled from FIG. 3 that wrapping can be performed on the head slider or row bar of the head slider using a wrapping jig 304 and a wrapping plate 306 commonly studded with diamonds and / or with a diamond slurry. sea bream. According to the embodiment, after the first actuating pin is actuated in the block 1404 1104, the second actuating pin is actuated 1102 in the block 1408. However, the order of this operation can vary from implementation to implementation and, therefore, can be reversed if desired.
Wrapping tool assembly with tilted interposer

実施形態によれば、図15Aは、傾斜インターポーザを含むラッピングツールアセンブリを例示する側面斜視図であり、図15Bは、図15Aのラッピングツールアセンブリの一部分を例示する側面斜視図である。実施形態によれば、図16は、図15Aの傾斜インターポーザの側断面図であり、図17は、図15Aのラッピングツールアセンブリの側断面図である。ラッピングツールアセンブリ1500は、ラッピングマウントツール1000(図10A〜11を参照)と、マウントツール1000の角度作動ピン1005を作動させるための複数のアクチュエータ1510(非限定的な例では、空気軸受アクチュエータ)と、アクチュエータ1510とマウントツール1000との間に介在する作動インターポーザ1502(「インターポーザ1502」)と、を含むアセンブリである。 According to an embodiment, FIG. 15A is a side perspective view illustrating a wrapping tool assembly including a tilted interposer, and FIG. 15B is a side perspective view illustrating a portion of the wrapping tool assembly of FIG. 15A. According to the embodiment, FIG. 16 is a side sectional view of the tilted interposer of FIG. 15A, and FIG. 17 is a side sectional view of the wrapping tool assembly of FIG. 15A. The wrapping tool assembly 1500 includes a wrapping mount tool 1000 (see FIGS. 10A-11) and a plurality of actuators 1510 (in a non-limiting example, air bearing actuators) for activating the angle actuating pins 1005 of the mount tool 1000. , An assembly comprising an actuating interposer 1502 (“interposer 1502”) interposed between the actuator 1510 and the mount tool 1000.

インターポーザ構造1502は、複数のインターポーザ構造1504を含む第1の要素(「インターポーザピン1504」又は集合的に「第1の要素1504」)を含み、それぞれが対応するアクチュエータ1510と反応的に結合される。各インターポーザピン1504は、マウントツール1000の対応する角度作動ピン1005への伝達又は印加のために、対応するアクチュエータ1510からそれぞれの平行移動力1511を受け取るように構成される。インターポーザ1502は、(a)第1のフレクシャ1505a及び第2のフレクシャ1505bを介して第1の要素1504に結合され、かつ、(b)第3のフレクシャ1507a及び第4のフレクシャ1507bを介して固定フレーム又はハウジング1508に結合される、第2の要素、T字型構造1506(「T字構造1506」)を更に含む。ゼロz軸(垂直)シフトフレクシャシステムとして特徴付けられ得る前述のフレクシャシステム(明瞭さを維持するために図15Aには図示されていないフレクシャ)の説明については図16を参照されたい。 Interposer structure 1502 includes a first element (“interposer pin 1504” or collectively “first element 1504”) that includes a plurality of interposer structures 1504, each of which is reactively coupled with a corresponding actuator 1510. .. Each interposer pin 1504 is configured to receive its translation force 1511 from the corresponding actuator 1510 for transmission or application of the mount tool 1000 to the corresponding angle actuating pin 1005. The interposer 1502 is (a) coupled to the first element 1504 via a first flexure 1505a and a second flexure 1505b, and (b) fixed via a third flexure 1507a and a fourth flexure 1507b. It further comprises a second element, the T-shaped structure 1506 (“T-shaped structure 1506”), which is coupled to the frame or housing 1508. See FIG. 16 for a description of the aforementioned flexure system (flexure not shown in FIG. 15A to maintain clarity) that can be characterized as a zero z-axis (vertical) shift flexure system.

可撓性の第1及び第2のフレクシャ1505a、1505bによってT字構造1506から「吊り下げる」第1の要素1504を考慮すると、水平(y軸)方向に作動させたときに、第1の要素1504は、例えば、第1及び第2のフレクシャ1505a、1505bの屈曲により、反時計回り方向に上向きに揺動又は弧を描く自然な傾向を有する。マウントツール1000の受け入れ角度作動ピン1005に実質的に垂直な作動力と適切に係合して平行移動するためには、y方向への第1の要素1504の単純な線形平行移動が好ましいため、第1の要素1504の任意の上向き運動(z軸)は、望ましくない。したがって、実施形態によれば、第1のフレクシャ1505a、第2のフレクシャ1505b、第3のフレクシャ1507a、及び第4のフレクシャ1507bは、(例えば、図16に示されるように)反時計回り方向に上向きに揺動する第1の要素の傾向が、第3及び第4のフレクシャ1507a、1507bの屈曲により時計回り方向に下向きに揺動するT字構造1506によってオフセットされるように、構成される。その結果、第1の要素に構成されるインターポーザピン1504は、y方向のみに実質的に直線的に平行移動するように、許容又は強制される。 Considering the first element 1504 "suspended" from the T-structure 1506 by the flexible first and second flexors 1505a, 1505b, the first element when actuated in the horizontal (y-axis) direction. The 1504 has a natural tendency to swing or arc upward in the counterclockwise direction, for example, due to bending of the first and second flexors 1505a, 1505b. A simple linear translation of the first element 1504 in the y direction is preferred in order to properly engage and translate the receiving angle actuating pin 1005 of the mount tool 1000 with an actuating force substantially perpendicular to it. Any upward movement (z-axis) of the first element 1504 is undesirable. Therefore, according to the embodiment, the first flexure 1505a, the second flexure 1505b, the third flexure 1507a, and the fourth flexure 1507b are counterclockwise (eg, as shown in FIG. 16). The tendency of the first element to swing upward is configured to be offset by the T-structure 1506 swinging downward in the clockwise direction due to the bending of the third and fourth flexors 1507a, 1507b. As a result, the interposer pin 1504 configured in the first element is allowed or forced to translate substantially linearly only in the y direction.

図16を参照すると、実施形態によれば、第1の要素1504は、インターポーザからマウントツールへのz軸デカプラ又は分離フレクシャシステムを更に含み、インターポーザ1502の第1の要素の各インターポーザピン1504は、(a)アクチュエータ1510に近位の近位端1504aと、(b)マウントツール1000の対応する角度作動ピン1505と係合可能な先端部1504eを含む遠位端1504cと、(c)近位端1504aと遠位端1504cとの間の中間構造1504bであって、そこから遠位端1504cが延在する、中間構造1504bと、を含む。第1の要素1504で具体化されるz軸分離フレクシャシステムは、近位端1504aを中間構造1504bに結合する、1つ以上の第1のデカプラフレクシャ1504fの群と、1つ以上の第2のデカプラフレクシャ1504fの群と、を更に含む。第1及び第2のデカプラフレクシャ1504fの構造的構成は、実装ごとに異なり得る。非限定的な例では、第1及び第2のデカプラフレクシャ1504fの各々は、各インターポーザピン1504に対応し、近位端1504aから中間構造1504bに及ぶ単一のフレクシャ1504fを含んでもよく、又は、それぞれが、近位端1504aから中間構造1504bに及ぶモノリシックフレクシャ1504fを含んでもよい。 Referring to FIG. 16, according to an embodiment, the first element 1504 further comprises a z-axis decoupler or separation flexor system from the interposer to the mount tool, and each interposer pin 1504 of the first element of the interposer 1502 , (A) a proximal end 1504a proximal to the actuator 1510, (b) a distal end 1504c including a tip 1504e engageable with the corresponding angle actuating pin 1505 of the mount tool 1000, and (c) proximal. Includes an intermediate structure 1504b between the end 1504a and the distal end 1504c, from which the distal end 1504c extends. The z-axis separation flexure system embodied in the first element 1504 comprises a group of one or more first decoupler flexors 1504f and one or more first decoupler flexors that couple the proximal end 1504a to the intermediate structure 1504b. It further comprises a group of 2 decoupler flexures 1504f. The structural configuration of the first and second decoupler flexors 1504f may vary from implementation to implementation. In a non-limiting example, each of the first and second decoupler flexors 1504f corresponds to each interposer pin 1504 and may include a single flexure 1504f extending from the proximal end 1504a to the intermediate structure 1504b, or , Each may include a monolithic flexor 1504f extending from the proximal end 1504a to the intermediate structure 1504b.

第1及び第2のフレクシャ1504fの実装により、第1の要素1504のこの部分の屈曲剛性が低減又は比較的低くなり、これにより、マウントツール1000の対応する係合角度作動ピン1005に各遠位端1504cを追従させる一方で、マウントツール1000上の各遠位端1504cからの力の影響を実質的に分離することを可能にする。マウントツール1000の角度作動ピン1005及びストライプ高さ作動ピン1007(ラッピングのためにz軸方向に移動する)は、マウントツール1000の第1のフレクシャ1012a及び第2のフレクシャ1012bを介して結合され(例えば、図10A、10C、11を参照)、したがって、1種類の作動ピンの移動は、他の種類の作動ピンに影響を及ぼし得ることを想起されたい。しかしながら、前述のz軸カプラデカプラフレクシャシステムは、インターポーザピン1504からストライプ高さ作動ピン1007へのy軸方向の係合力の印加を(例えば、各インターポーザピン1504のそれぞれの先端部1504eが角度作動ピン1005と直接係合するため)実質的に分離するように動作し、それにより、そのようなy軸力がz軸方向のストライプ高さ作動ピン1007に影響を及ぼすことを抑制又は低減又は排除する。 The mounting of the first and second flexures 1504f reduces or relatively reduces the flexural stiffness of this portion of the first element 1504, thereby each distal to the corresponding engagement angle actuating pin 1005 of the mount tool 1000. It allows the end 1504c to follow while substantially separating the effects of forces from each distal end 1504c on the mount tool 1000. The angle actuating pin 1005 and the stripe height actuating pin 1007 of the mount tool 1000 (moving in the z-axis direction for wrapping) are coupled via the first flexures 1012a and the second flexures 1012b of the mount tool 1000 (moving in the z-axis direction). (See, for example, FIGS. 10A, 10C, 11), therefore, recall that the movement of one type of actuating pin can affect the other type of actuating pin. However, in the above-mentioned z-axis coupler decoupler flexure system, the engagement force in the y-axis direction is applied from the interposer pin 1504 to the stripe height actuating pin 1007 (for example, the tip portion 1504e of each interposer pin 1504 is angularly actuated). Acts to be substantially separate (because it engages directly with pin 1005), thereby suppressing or reducing or eliminating such y-axis forces from affecting the z-axis stripe height actuating pin 1007. do.

図18は、実施形態による図15Aのアクチュエータ傾斜インターポーザのプレアライナの側面斜視図である。図16及び図18を参照すると、実施形態によれば、各インターポーザピン1504は、インターポーザピン1504の対応する遠位端1504cをマウントツール1000の対応する角度作動ピン1005と位置合わせするのに役立つ位置合わせバンプ構造/機構1504d(「位置合わせバンプ1504d」)を含むものとして示されている。位置合わせバンプ1504dは、インターポーザピン1504が角度作動ピン1005と係合したときに、対応する角度作動ピン1005のフォーク1003内のインターポーザピン1504の対応する遠位端先端部1504eを実質的に中心に合わせる。 FIG. 18 is a side perspective view of the pre-aligner of the actuator tilting interposer of FIG. 15A according to the embodiment. With reference to FIGS. 16 and 18, according to embodiments, each interposer pin 1504 is in a position that helps align the corresponding distal end 1504c of the interposer pin 1504 with the corresponding angle actuating pin 1005 of the mount tool 1000. Alignment Bump Structure / Mechanism 1504d (“Alignment Bump 1504d”) is shown to include. The alignment bump 1504d is substantially centered on the corresponding distal end tip 1504e of the interposer pin 1504 in the fork 1003 of the corresponding angle actuating pin 1005 when the interposer pin 1504 engages the angle actuating pin 1005. match.

図15A、15B、17及び18を参照すると、ラッピングツールアセンブリ1500は、各インターポーザピン1504を特定のz軸(垂直)許容範囲内に位置付けるプレアライナ櫛1512を更に含む。すなわち、プレアライナ櫛1512は、インターポーザピン1504をz軸方向に拘束するように動作する。更に、インターポーザピン1504がマウントツール1000の対応する角度作動ピン1005と適切かつ確実に係合すると、インターポーザピン1504の各位置合わせバンプ1504dは、プレアライナ櫛1512とインターポーザピン1504の遠位端先端部1504eとの間に位置付けられる。したがって、各位置合わせバンプ1504dがプレアライナ櫛1512の外側に位置すると、各インターポーザピン1504は、マウントツール1000のそれぞれの係合角度作動ピン1005とともに、z軸方向に自由に移動する。
磁気センサデバイスの列バーをラッピングするためのラッピングマウントツールに作動力を印加する方法
With reference to FIGS. 15A, 15B, 17 and 18, the wrapping tool assembly 1500 further includes a pre-aligner comb 1512 that positions each interposer pin 1504 within a particular z-axis (vertical) tolerance. That is, the pre-aligner comb 1512 operates so as to restrain the interposer pin 1504 in the z-axis direction. Further, when the interposer pin 1504 properly and securely engages with the corresponding angle actuating pin 1005 of the mount tool 1000, each alignment bump 1504d of the interposer pin 1504 has a pre-aligner comb 1512 and a distal end tip 1504e of the interposer pin 1504. It is positioned between and. Therefore, when each alignment bump 1504d is located outside the pre-aligner comb 1512, each interposer pin 1504 moves freely in the z-axis direction together with the respective engagement angle actuating pin 1005 of the mount tool 1000.
How to apply working force to a wrapping mount tool for wrapping row bars in magnetic sensor devices

図19は実施形態による磁気センサデバイスの列バーをラッピングするためのラッピングマウントツールに作動力を印加するための方法のフロー図であり、列バーが、列の方向に沿ったx軸と、列バーの幅の方向に沿ったy軸とを有する。磁気センサデバイスは、例えば、磁気読み取り−書き込みヘッドの無数の形態のいずれか、又は磁気読み取り器のみ、又は他の種類の磁気センサを含み得る。 FIG. 19 is a flow chart of a method for applying an operating force to a wrapping mount tool for wrapping a row bar of a magnetic sensor device according to an embodiment, wherein the row bar has an x-axis along the direction of the row and a row. It has a y-axis along the width direction of the bar. Magnetic sensor devices can include, for example, any of the myriad forms of magnetic read-write heads, or magnetic readers only, or other types of magnetic sensors.

ブロック1902で、列バーはラッピングマウントツール治具に固定される。例えば、列バー206(図5、6、7A)は、エラストマー516(図5、6、7A)などを介して、ラッピングツール1000(図10A〜11)の第1の構造部材1002(図10A〜10C)の治具1008(図10A〜11)に固定される。 At block 1902, the row bars are secured to the wrapping mount tool jig. For example, the row bar 206 (FIGS. 5, 6, 7A) is the first structural member 1002 (FIGS. 10A-) of the wrapping tool 1000 (FIGS. 10A-11) via an elastomer 516 (FIGS. 5, 6, 7A) and the like. It is fixed to the jig 1008 (FIGS. 10A to 11) of 10C).

ブロック1904で、複数のアクチュエータの各々が作動され、各アクチュエータから、インターポーザ構造の対応するインターポーザピンにそれぞれの平行移動力を印加する。例えば、アクチュエータアセンブリ1500(図15A、15B、16、17)のアクチュエータ1510(図15A、17)の各々が作動され、それぞれの平行移動力1511(図15A、17)を、インターポーザ構造1502(図15A、16、17)の対応するインターポーザピン1504(図15A、16、17)に印加する。 At block 1904, each of the plurality of actuators is actuated, applying a translational force from each actuator to the corresponding interposer pins of the interposer structure. For example, each of the actuators 1510 (FIGS. 15A, 17) of the actuator assembly 1500 (FIGS. 15A, 15B, 16, 17) is activated and the respective translation forces 1511 (FIGS. 15A, 17) are applied to the interposer structure 1502 (FIG. 15A). , 16, 17) apply to the corresponding interposer pins 1504 (FIGS. 15A, 16, 17).

ブロック1906で、ゼロz軸シフトフレクシャシステムが動作され、そのようなフレクシャシステムは、(a)インターポーザピンとインターポーザ構造の回転可能なT字構造とを相互接続する1組の第1のフレクシャと、(b)T字構造を固定フレームと相互接続する1組の第2のフレクシャと、を含み、第1のフレクシャの屈曲に起因して作動時に反時計回りに上向きに揺動するインターポーザピンの傾向が、第2のフレクシャの屈曲に起因して時計回りに下向きに揺動するT字構造によってオフセットされ、それにより、インターポーザピンが、y方向にのみ実質的に平行移動する。例えば、インターポーザ構造1502(図16)の機構が動作され、このような機構は、(a)インターポーザピン1504とインターポーザ構造1502の回転可能なT字構造1506(図15A、16、17)とを相互接続する1組の第1のフレクシャ1507aと、(b)T字構造1506を固定フレーム1508(図15A、16、17)と相互接続する1組の第2のフレクシャ1507bと、を含み、第1のフレクシャ1507aの屈曲に起因して作動時に反時計回りに上向きに揺動するインターポーザピン1504の傾向が、第2のフレクシャ1507bの屈曲に起因して時計回りに下向きに揺動するT字構造1506によってオフセットされ、それにより、インターポーザピン1504が、y方向にのみ実質的に平行移動する。 At block 1906, a zero z-axis shift flexor system is operated, such a flexor system with (a) a set of first flexors interconnecting the interposer pins and the rotatable T-structure of the interposer structure. , (B) A pair of second flexors that interconnect the T-structure with a fixed frame, and an interposer pin that swings upwards counterclockwise during operation due to bending of the first flexor. The tendency is offset by a T-structure that swings clockwise downward due to the bending of the second flexure, whereby the interposer pins move substantially in parallel only in the y direction. For example, the mechanism of the interposer structure 1502 (FIG. 16) is operated, such mechanism: (a) the interposer pin 1504 and the rotatable T-structure 1506 (FIGS. 15A, 16, 17) of the interposer structure 1502 interact with each other. A first set of first flexures 1507a to be connected and (b) a set of second flexures 1507b to interconnect the T-structure 1506 with a fixed frame 1508 (FIGS. 15A, 16, 17). The tendency of the interposer pin 1504 to swing upward counterclockwise during operation due to the bending of the flexure 1507a in 1506 has a T-shaped structure 1506 that swings downward clockwise due to the bending of the second flexure 1507b. Offset by, thereby causing the interposer pin 1504 to move substantially in parallel only in the y direction.

実施形態によれば、任意選択のブロック1908で、インターポーザ−マウントツールz軸分離フレクシャシステムが動作され、このようなフレクシャシステムは、インターポーザピンからラッピングマウントツールへのy方向の力の印加がz軸方向から実質的に分離されるように、各近位端をインターポーザピンの中間構造に結合する、1組の1つ以上の第1の分離フレクシャと、1組の1つ以上の第2の分離フレクシャと、を含む。例えば、インターポーザ−マウントツールz軸分離フレクシャシステムが動作され、このようなフレクシャシステムは、インターポーザピン1504からラッピングマウントツール1000へのy方向の力の印加がz軸方向から実質的に分離されるように、各近位端1504a(図16)をインターポーザピン1504の中間構造1504b(図16)に結合する、1組の1つ以上の第1の分離フレクシャ1504f(図16)と、1組の1つ以上の第2の分離フレクシャ1504f(図16)と、を含む。 According to an embodiment, an interposer-mount tool z-axis separation flexure system is operated on an optional block 1908, such a flexure system in which a y-direction force is applied from the interposer pin to the wrapping mount tool. A set of one or more first separation flexors and a set of one or more seconds that connect each proximal end to the intermediate structure of the interposer pins so that they are substantially separated from the z-axis direction. Including the separation flexure and. For example, an interposer-mount tool z-axis separation flexor system is operated, such a flexor system in which the application of force in the y direction from the interposer pin 1504 to the wrapping mount tool 1000 is substantially separated from the z-axis direction. As such, one set of one or more first separation flexors 1504f (FIG. 16) and one set of coupling each proximal end 1504a (FIG. 16) to the intermediate structure 1504b (FIG. 16) of the interposer pin 1504. Includes one or more second separation flexors 1504f (FIG. 16) and.

実施形態によれば、任意選択のブロック1910で、インターポーザピンが作動ピンと係合した状況において、各インターポーザピンの遠位端の近くのそれぞれの位置合わせバンプが、ラッピングマウントツールの対応する作動ピンのvノッチ内でインターポーザピンの遠位端先端部を実質的に中心に合わせることが可能となる。例えば、インターポーザピン1504が角度作動ピン1005と係合した状況において、各インターポーザピン1504の遠位端1504c(図16)の近くのそれぞれの位置合わせバンプ1504d(図16、18)が、ラッピングマウントツール1000の対応する角度作動ピン1005(図10A〜10C、15A、15B、17、18)のフォーク1003(図10A〜10C、18)内でインターポーザピンの遠位端先端部1504e(図16、18)を実質的に中心に合わせることが可能となる。 According to an embodiment, in optional block 1910, in a situation where the interposer pins are engaged with the actuating pins, each alignment bump near the distal end of each interposer pin is of the corresponding actuating pin of the wrapping mount tool. It is possible to substantially center the distal end of the interposer pin within the v-notch. For example, in a situation where the interposer pin 1504 is engaged with the angle actuating pin 1005, each alignment bump 1504d (FIGS. 16 and 18) near the distal end 1504c (FIG. 16) of each interposer pin 1504 is a wrapping mount tool. Distal end tip 1504e of interposer pin in fork 1003 (FIGS. 10A-10C, 18) of 1000 corresponding angle actuating pins 1005 (FIGS. 10A-10C, 15A, 15B, 17, 18) (FIGS. 16 and 18). Can be substantially centered.

実施形態によれば、任意選択のブロック1912で、プレアライメント櫛により、各インターポーザピンをz軸許容範囲内に位置付けることが可能となり、インターポーザピンの各位置合わせバンプは、インターポーザピンがラッピングマウントツールのそれぞれの係合した作動ピンとともにz軸許容範囲内でz軸方向に自由に移動するように、インターポーザピンのプレアライメント櫛と遠位端先端部との間に位置付けられる。例えば、プレアライメント櫛1512(図15A、15B、17、18)により、各インターポーザピン1504をz軸許容範囲内に位置付けることが可能となり、インターポーザピン1504の各位置合わせバンプ1504dは、インターポーザピン1504がラッピングマウントツール1000のそれぞれの係合した角度作動ピン1005とともにz軸許容範囲内でz軸方向に自由に移動するように、インターポーザピン1504のプレアライメント櫛1512と遠位端先端部1504eとの間に位置付けられる。
拡張物及び代替物
According to an embodiment, in an optional block 1912, a pre-alignment comb allows each interposer pin to be positioned within the z-axis tolerance, and each alignment bump of the interposer pin is a wrapping mount tool with the interposer pin. It is positioned between the prealigned comb of the interposer pin and the tip of the distal end so that it moves freely in the z-axis direction with each engaged working pin within the z-axis tolerance. For example, the pre-alignment comb 1512 (FIGS. 15A, 15B, 17, 18) makes it possible to position each interposer pin 1504 within the z-axis permissible range, and each alignment bump 1504d of the interposer pin 1504 has an interposer pin 1504. Between the prealigned comb 1512 of the interposer pin 1504 and the distal end tip 1504e so that it moves freely in the z-axis direction within the z-axis tolerance with each engaged angle actuating pin 1005 of the wrapping mount tool 1000. It is positioned in.
Extensions and alternatives

前述の説明において、本発明の実施形態は、実装ごとに変わり得る多数の具体的な詳細を参照して説明されてきた。したがって、実施形態のより広い趣旨及び範囲から逸脱することなく、様々な修正及び変更を行うことができる。こうして、本発明であり、かつ本出願人らが本発明であることを意図するものの唯一及び排他的な指針は、本出願に由来する特許請求の範囲のセットであり、そのような特許請求の範囲が由来し、任意の後続の補正を含む、特定の形態をなす。そのような特許請求の範囲に包含される用語について本明細書に明示的に記載される定義は、特許請求の範囲で使用されるような用語の意味を支配するものとする。それゆえ、特許請求項に明示的に記載されていない限定、要素、特性、特徴、利点又は属性は、決してそのような特許請求項の範囲を限定すべきではない。これにより、本明細書及び図面は、制限的な意味ではなく例示的と見なされるものである。 In the above description, embodiments of the present invention have been described with reference to a number of specific details that may vary from implementation to implementation. Therefore, various modifications and changes can be made without departing from the broader purpose and scope of the embodiment. Thus, the only and exclusive guideline for what is the present invention and which the Applicants intend to be the present invention is a set of claims derived from the present application. The range is derived and forms a particular form, including any subsequent corrections. The definitions expressly provided herein for terms included in the claims shall govern the meaning of the terms as used in the claims. Therefore, any limitation, element, characteristic, feature, advantage or attribute not explicitly stated in the claims should never limit the scope of such claims. As a result, the present specification and drawings are regarded as exemplary rather than in a restrictive sense.

加えて、この説明では、特定のプロセス工程が特定の順序で記載されてもよく、アルファベット及び英数字符号を使用して、特定の工程を識別することができる。本明細書において特記されない限り、実施形態は、そのような工程を実施する任意の特定の順序に必ずしも限定されない。特に、符号は単に工程の簡便な識別に使用され、そのような工程を実施する特定の順序を指定又は必要とすることは意図されていない。 In addition, in this description, specific process steps may be described in a particular order, and alphabetic and alphanumeric codes can be used to identify a particular process. Unless otherwise specified herein, embodiments are not necessarily limited to any particular order in which such steps are performed. In particular, the reference numerals are merely used for convenient identification of steps and are not intended to specify or require a particular order in which such steps are performed.

Claims (15)

ラッピングツールアセンブリであって、
マウントツールであって、
角度ラッピング力を磁気読み取り−書き込みヘッドスライダの列バーの対応するヘッドスライダに印加するようにそれぞれ位置付けられた複数の角度作動ピンを収容する回転可能な第1の構造部材であって、前記列バーを保持するための治具を含む、前記第1の構造部材と、
第1のフレクシャ及び第2のフレクシャを介して前記第1の構造部材と結合された第2の構造部材であって、前記第2の構造部材が、ラッピング力を前記列バーの対応するヘッドスライダに印加するようにそれぞれ位置付けられた複数のストライプ高さ作動ピンを収容する、第2の構造部材と、を含む、マウントツールと、
複数のアクチュエータと前記マウントツールとの間に介在するインターポーザ構造であって、前記インターポーザ構造が、
前記複数のアクチュエータと反応的に結合された複数のインターポーザピンを含む第1の要素であって、各前記インターポーザピンが、対応する前記アクチュエータからそれぞれの平行移動力を受け取り、前記それぞれの平行移動力を前記マウントツールの対応する前記角度作動ピンに伝達するように構成されている、第1の要素と、
第1のフレクシャ及び第2のフレクシャを介して前記第1の要素に結合され、第3のフレクシャ及び第4のフレクシャを介して固定ハウジングに結合される、第2の要素と、を含む、インターポーザ構造と、を備える、ラッピングツールアセンブリ。
Wrapping tool assembly
It ’s a mounting tool,
A rotatable first structural member that accommodates a plurality of angular actuating pins, each positioned to apply an angular wrapping force to the corresponding head sliders of the row bar of the magnetic read-write head slider, said row bar. The first structural member, including a jig for holding the
A second structural member coupled to the first structural member via a first flexure and a second flexure, wherein the second structural member exerts a wrapping force on the corresponding head slider of the row bar. A mounting tool, including a second structural member, which accommodates a plurality of stripe height actuating pins, each positioned to apply to.
An interposer structure interposed between a plurality of actuators and the mount tool, and the interposer structure is
A first element comprising a plurality of interposer pins reactively coupled to the plurality of actuators, wherein each interposer pin receives a translation force from the corresponding actuator and the respective translation forces. The first element, which is configured to transmit to the corresponding angle actuating pin of the mounting tool, and
An interposer comprising a second element, which is coupled to the first element via a first flexor and a second flexure, and to a fixed housing via a third flexor and a fourth flexure. A wrapping tool assembly with a structure.
前記第1、第2、第3、及び第4のフレクシャは、
前記第1の要素が前記アクチュエータからy方向に前記平行移動力を受け取ると、前記第1及び第2のフレクシャの屈曲に起因して反時計回りに上向きに揺動する前記第1の要素の自然な傾向が、前記第3及び第4のフレクシャの屈曲に起因して時計回りに下向きに揺動する前記第2の要素によってオフセットされ、それにより、前記第1の要素が、前記y方向にのみ実質的に直線的に平行移動するように構成されている、請求項1に記載のラッピングツールアセンブリ。
The first, second, third, and fourth flexors are
When the first element receives the translational force in the y direction from the actuator, the first element naturally swings upward counterclockwise due to bending of the first and second flexors. The tendency is offset by the second element, which swings clockwise downward due to the bending of the third and fourth flexors, whereby the first element is only in the y direction. The wrapping tool assembly according to claim 1, which is configured to translate substantially linearly.
前記複数のストライプ高さ作動ピンが、作動されると、実質的にz方向に平行移動し、 前記インターポーザ構造の前記第1の要素の前記インターポーザピンが、それぞれ、前記アクチュエータに近位の近位端と、前記マウントツールの前記対応する角度作動ピンと係合可能な遠位端先端部を含む遠位端と、前記近位端と前記遠位端との間の中間構造であって、そこから前記遠位端が延在する、中間構造と、を含み、
前記第1の要素が、前記近位端を前記インターポーザピンの前記中間構造に結合して、前記インターポーザピンから前記ストライプ高さ作動ピンへのy方向の係合力の印加を、前記z方向における前記マウントツールの前記ストライプ高さ作動ピンに影響を及ぼすことから実質的に分離する、1つ以上の第1のデカプラフレクシャの群と、1つ以上の第2のデカプラフレクシャの群と、を含むデカプラフレクシャシステムを更に含む、請求項1に記載のラッピングツールアセンブリ。
When the plurality of stripe height actuating pins are actuated, they move substantially in parallel in the z direction, and the interposer pins of the first element of the interposer structure are each proximal to the actuator. An intermediate structure between the distal end and the distal end, including the distal end that engages the corresponding angle actuating pin of the mounting tool, from the proximal end and the distal end. Includes an intermediate structure, the distal end of which extends.
The first element couples the proximal end to the intermediate structure of the interposer pin to apply an engaging force in the y direction from the interposer pin to the stripe height actuating pin, said in the z direction. A group of one or more first decoupler flexors and a group of one or more second decoupler flexors that are substantially separated from affecting the stripe height actuating pins of the mounting tool. The wrapping tool assembly according to claim 1, further comprising a decoupler flexure system.
前記インターポーザ構造の前記第1の要素の前記インターポーザピンが、それぞれ、前記アクチュエータに近位の近位端と、前記マウントツールの前記対応する角度作動ピンと係合可能な遠位端先端部と、前記近位端と前記遠位端との間の中間構造であって、そこから前記遠位端が延在する、中間構造と、を含み、
前記各インターポーザピンの前記遠位端は、前記インターポーザピンが前記角度作動ピンと係合したときに、前記対応する角度作動ピンのvノッチ内で前記インターポーザピンの前記遠位端先端部を実質的に中心に合わせる位置合わせバンプを含む、請求項1に記載のラッピングツールアセンブリ。
The interposer pin of the first element of the interposer structure has a proximal end proximal to the actuator, a distal end end engageable with the corresponding angle actuating pin of the mount tool, and said. Includes an intermediate structure between the proximal end and the distal end, from which the distal end extends.
The distal end of each of the interposer pins substantially snaps the distal end tip of the interposer pin within the v-notch of the corresponding angle actuating pin when the interposer pin engages the angle actuating pin. The wrapping tool assembly according to claim 1, comprising a centered alignment bump.
各インターポーザピンを垂直許容範囲内に位置付けるプレアライナ櫛を更に備え、
前記インターポーザピンの各前記位置合わせバンプは、前記インターポーザピンが前記マウントツールの前記それぞれの係合した角度作動ピンとともにz方向に自由に移動するように、前記インターポーザピンの前記プレアライナ櫛と前記遠位端先端部との間に位置付けられる、請求項4に記載のラッピングツールアセンブリ。
Further equipped with a pre-aligner comb that positions each interposer pin within the vertical tolerance,
Each of the alignment bumps of the interposer pin is distal to the pre-aligner comb of the interposer pin so that the interposer pin moves freely in the z direction with the respective engaged angle actuating pins of the mounting tool. The wrapping tool assembly according to claim 4, which is positioned between the end and the tip.
ラッピングツール作動インターポーザであって、
複数のアクチュエータと反応的に結合された複数のインターポーザピンを含む第1の要素であって、各前記インターポーザピンが、対応する前記アクチュエータからそれぞれの平行移動力を受け取り、前記それぞれの平行移動力を対応するラッピングマウントツールの角度作動ピンに伝達するように構成されている、第1の要素と、
第1のフレクシャ及び第2のフレクシャを介して前記第1の要素に結合され、第3のフレクシャ及び第4のフレクシャを介して固定フレームに結合される、第2の要素と、を含む、インターポーザ構造と、を備える、作動インターポーザ。
Wrapping tool operation interposer
A first element comprising a plurality of interposer pins reactively coupled to a plurality of actuators, wherein each interposer pin receives its translation from the corresponding actuator and exerts its translation. The first element, which is configured to propagate to the angle actuating pin of the corresponding wrapping mount tool,
An interposer comprising a second element, which is coupled to the first element via a first flexor and a second flexure, and to a fixed frame via a third flexor and a fourth flexor. A working interposer with a structure.
前記第1、第2、第3、及び第4のフレクシャが、静止状態で実質的に平行であり、かつ、
前記第1の要素が前記アクチュエータからy方向に前記平行移動力を受け取ると、前記第1及び第2のフレクシャの屈曲に起因して反時計回りに上向きに揺動する前記第1の要素の自然な傾向が、前記第3及び第4のフレクシャの屈曲に起因して時計回りに下向きに揺動する前記第2の要素によってオフセットされ、それにより、前記第1の要素が、前記y方向にのみ実質的に直線的に平行移動するように構成されている、請求項6に記載の作動インターポーザ。
The first, second, third, and fourth flexors are substantially parallel in a stationary state and
When the first element receives the translational force in the y direction from the actuator, the first element naturally swings upward counterclockwise due to bending of the first and second flexors. The tendency is offset by the second element, which swings clockwise downward due to the bending of the third and fourth flexors, whereby the first element is only in the y direction. The actuating interposer according to claim 6, which is configured to translate substantially linearly.
前記ラッピングマウントツールは、作動されると実質的にz方向に平行移動する複数のストライプ高さ作動ピンを更に含み、前記ストライプ高さ作動ピンは、前記第1の要素が前記角度作動ピンに対してy方向に前記平行移動力を伝達すると、前記角度作動ピンが回転し、前記z方向の前記ストライプ高さ作動ピンに影響する傾向があるように、前記角度作動ピンに機械的に結合され、
前記第1の要素の前記インターポーザピンが、それぞれ、前記アクチュエータに近位の近位端と、前記マウントツールの前記対応する角度作動ピンと係合可能な遠位端先端部を含む遠位端と、前記近位端と前記遠位端との間に位置付けられた中間構造であって、そこから前記遠位端が延在する、中間構造と、を含み、
前記第1の要素が、前記近位端を前記インターポーザピンの前記中間構造に結合して、前記インターポーザピンから前記ストライプ高さ作動ピンへのy方向の係合力の印加を、前記z方向における前記マウントツールの前記ストライプ高さ作動ピンに影響を及ぼすことから実質的に分離する、1つ以上の第1のデカプラフレクシャの群と、1つ以上の第2のデカプラフレクシャの群と、を含むデカプラフレクシャシステムを更に含む、請求項6に記載の作動インターポーザ。
The wrapping mount tool further includes a plurality of stripe height actuating pins that translate substantially in the z direction when actuated, wherein the first element is relative to the angle actuating pin. When the translational force is transmitted in the y direction, the angle actuating pin is mechanically coupled to the angle actuating pin so that it tends to rotate and affect the stripe height actuating pin in the z direction.
The interposer pin of the first element has a proximal end proximal to the actuator and a distal end including a distal end end engageable with the corresponding angle actuating pin of the mounting tool, respectively. Includes an intermediate structure located between the proximal end and the distal end, from which the distal end extends.
The first element couples the proximal end to the intermediate structure of the interposer pin to apply an engaging force in the y direction from the interposer pin to the stripe height actuating pin, said in the z direction. A group of one or more first decoupler flexors and a group of one or more second decoupler flexors that are substantially separated from affecting the stripe height actuating pins of the mounting tool. The operating interposer according to claim 6, further comprising a decoupler flexure system.
前記第1の要素の前記インターポーザピンが、それぞれ、前記アクチュエータに近位の近位端と、前記マウントツールの前記対応する角度作動ピンと係合可能な遠位端先端部を含む遠位端と、前記近位端と前記遠位端との間の中間構造であって、そこから前記遠位端が延在する、中間構造と、を含み、
前記各インターポーザピンの前記遠位端は、前記インターポーザピンが前記角度作動ピンと係合したときに、前記インターポーザピンを前記対応する角度作動ピンのフォークとz方向に位置合わせする位置合わせバンプを含む、請求項6に記載の作動インターポーザ。
The interposer pin of the first element has a proximal end proximal to the actuator and a distal end including a distal end end engageable with the corresponding angle actuating pin of the mounting tool, respectively. Includes an intermediate structure between the proximal end and the distal end, from which the distal end extends.
The distal end of each interposer pin comprises an alignment bump that aligns the interposer pin with the fork of the corresponding angle actuating pin in the z direction when the interposer pin engages the angle actuating pin. The operating interposer according to claim 6.
磁気センサデバイスの列バーをラッピングするためのラッピングマウントツールに作動力を印加するための方法であって、前記列バーが、前記列の方向に沿ったx軸と、前記列バーの幅の方向に沿ったy軸とを有し、前記方法が、
前記列バーをラッピングマウントツール治具に固定することと、
複数のアクチュエータの各々を作動させて、各前記アクチュエータから、インターポーザ構造の対応するインターポーザピンにそれぞれの平行移動力を印加することと、
前記インターポーザピンと前記インターポーザ構造の回転可能なT字構造とを相互接続する1組の第1のフレクシャと、前記T字構造を固定フレームと相互接続する1組の第2のフレクシャと、を含むゼロz軸シフトフレクシャシステムを動作させることであって、前記第1のフレクシャの屈曲に起因して作動時に反時計回りに上向きに揺動する前記インターポーザピンの傾向が、前記第2のフレクシャの屈曲に起因して時計回りに下向きに揺動する前記T字構造によってオフセットされ、それにより、前記インターポーザピンが、前記y軸方向にのみ実質的に平行移動する、動作させることと、を含む、方法。
A method for applying an operating force to a wrapping mount tool for wrapping a row bar of a magnetic sensor device, wherein the row bar is oriented along the x-axis along the direction of the row and the width of the row bar. The method has a y-axis along the
Fixing the row bar to the wrapping mount tool jig and
Actuating each of the plurality of actuators to apply a translational force from each of the actuators to the corresponding interposer pins of the interposer structure.
Zero including a set of first flexors interconnecting the interposer pins with the rotatable T-structure of the interposer structure and a set of second flexors interconnecting the T-structure with a fixed frame. In operating the z-axis shift flexure system, the tendency of the interposer pin to swing upward counterclockwise during operation due to the bending of the first flexor is the bending of the second flexure. The interposer pin is offset by the T-structure which swings downwards clockwise due to the movement of the interposer pin substantially in parallel only in the y-axis direction. ..
前記インターポーザピンがそれぞれ、前記アクチュエータに近位の近位端と、ラッピングマウントツールの対応する角度作動ピンと係合可能な遠位端先端部を含む遠位端と、前記近位端と前記遠位端との間の中間構造であって、そこから前記遠位端が延在する、中間構造と、を含み、前記方法が、
前記インターポーザピンから前記ラッピングマウントツールへのy軸方向の力の印加がz軸方向から実質的に分離されるように、前記近位端を前記インターポーザピンの前記中間構造に結合する、1組の1つ以上の第1の分離フレクシャと、1組の1つ以上の第2の分離フレクシャと、を含むインターポーザ−マウントツールz軸分離フレクシャシステムを動作させることを更に含む、請求項10に記載の方法。
The interposer pins are proximal to the actuator, distal end including the distal end engageable with the corresponding angle actuating pin of the wrapping mount tool, proximal end and distal end, respectively. The method comprises an intermediate structure between the ends, wherein the distal end extends from the intermediate structure.
A set of couplings of the proximal end to the intermediate structure of the interposer pin such that the application of force in the y-axis direction from the interposer pin to the wrapping mount tool is substantially separated from the z-axis direction. 10. The aspect of claim 10, further comprising operating an interposer-mount tool z-axis separation flexor system comprising one or more first separation flexors and a set of one or more second separation flexors. the method of.
前記インターポーザピンがそれぞれ、前記アクチュエータに近位の近位端と、ラッピングマウントツールの対応する角度作動ピンと係合可能な遠位端先端部を含む遠位端と、前記近位端と前記遠位端との間の中間構造であって、そこから前記遠位端が延在する、中間構造と、を含み、前記方法が、
前記インターポーザピンが前記角度作動ピンと係合したときに、前記各インターポーザピンの前記遠位端の近くのそれぞれの位置合わせバンプが、前記ラッピングマウントツールの対応する作動ピンのvノッチ内で前記インターポーザピンの前記遠位端先端部を実質的に中心に合わせることを可能にすることを更に含む、請求項10に記載の方法。
The interposer pins are proximal to the actuator, distal end including the distal end engageable with the corresponding angle actuating pin of the wrapping mount tool, proximal end and distal end, respectively. The method comprises an intermediate structure between the ends, wherein the distal end extends from the intermediate structure.
When the interposer pin engages the angle actuating pin, each alignment bump near the distal end of each interposer pin is within the v-notch of the corresponding actuating pin of the wrapping mount tool. 10. The method of claim 10, further comprising allowing the distal end tip of the device to be substantially centered.
プレアライメント櫛が各インターポーザピンをz軸許容範囲内に位置付けることを可能にすることを更に含み、
前記インターポーザピンの各前記位置合わせバンプは、前記インターポーザピンが前記ラッピングマウントツールの前記それぞれの係合した作動ピンとともに前記z軸許容範囲内で前記z軸方向に自由に移動するように、前記インターポーザピンの前記プレアライメント櫛と前記遠位端先端部との間に位置付けられる、請求項12に記載の方法。
Further including allowing the pre-alignment comb to position each interposer pin within the z-axis tolerance.
Each of the alignment bumps of the interposer pin is such that the interposer pin freely moves in the z-axis direction within the z-axis tolerance together with the respective engaged actuating pins of the wrapping mount tool. 12. The method of claim 12, wherein the pin is positioned between the prealigned comb and the distal end tip.
y軸作動時に上向きに反時計回りに揺動する、インターポーザ内に収容されたインターポーザピンの傾向が、下向きに時計回りに揺動する、前記インターポーザ内に収容されたT字構造によってオフセットされ、それにより、前記インターポーザピンが、前記y軸方向にのみ実質的に平行移動するように、ゼロz軸シフトを適用するための手段を備える、アクチュエータ−ラッピングツールインターポーザ。 swings upward counterclockwise when y-axis operation, the tendency of the interposer pin housed in the Lee Ntapoza is downwardly swung in the clockwise direction, is offset by the contained T-shaped structure in the interposer, An actuator-wrapping tool interposer comprising means for applying a zero z-axis shift such that the interposer pins move substantially in parallel only in the y-axis direction. 前記インターポーザピンからラッピングマウントツールへのy軸方向の力の印加が、前記z軸方向から実質的に分離されるように、z軸分離機構を適用するための手段を更に備える、請求項14に記載のアクチュエータ−ラッピングツールインターポーザ。 14. Claim 14 further comprises means for applying a z-axis separation mechanism such that the application of a force in the y-axis direction from the interposer pin to the wrapping mount tool is substantially separated from the z-axis direction. Actuator-wrapping tool interposer described.
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