JP6955062B2 - 半導体装置、電子部品、及び電子機器 - Google Patents
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Description
、プロセス、マシン、マニュファクチャ、又は組成物(コンポジション・オブ・マター)
に関する。また、本発明の一態様は、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、それら
の駆動方法又はそれらの製造方法に関する。
置全般を指す。表示装置、電気光学装置、半導体回路及び電子機器は、半導体装置を有す
る場合がある。
求められている。そのため、表示装置の駆動回路、特にソースドライバには、IC(In
tegrated Circuit;以下ドライバICともいう)が採用されている(例
えば、特許文献1を参照)。
いる。また、近年、デジタルビデオの規格として、水平7680×垂直4320の画素数
を持つ8K UHD(8K Ultra High Definition Telev
ision)が提案されるなど、表示装置の高精細化が要求されている。
、高速動作が要求される。
発明の一態様は、幅の狭いドライバICを提供することを課題の一とする。または、本発
明の一態様は、高速動作が可能なドライバICを提供することを課題の一とする。または
、本発明の一態様は、新規なドライバICを提供することを課題の一とする。
は、本発明の一態様は、幅の狭い半導体装置を提供することを課題の一とする。または、
本発明の一態様は、高速動作が可能な半導体装置を提供することを課題の一とする。また
は、本発明の一態様は、新規な半導体装置を提供することを課題の一とする。
一態様は、これらの課題の全て解決する必要はない。また、列記した以外の課題が、明細
書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、これらの課題も、本
発明の一形態の課題となり得る。
ンジスタと、を有し、第1のトランジスタのゲートと、第3のトランジスタのゲートは、
第1の配線に電気的に接続され、第2のトランジスタのゲートと、第4のトランジスタの
ゲートは、第2の配線に電気的に接続され、第5のトランジスタのゲートは、第3の配線
に電気的に接続され、第6のトランジスタのゲートは、第4の配線に電気的に接続され、
第5のトランジスタのソースまたはドレインの一方と、第6のトランジスタのソースまた
はドレインの一方は、電気的に接続され、第5のトランジスタのソースまたはドレインの
他方は、第1のトランジスタのソースまたはドレインの一方と、第2のトランジスタのソ
ースまたはドレインの一方と、に電気的に接続され、第6のトランジスタのソースまたは
ドレインの他方は、第3のトランジスタのソースまたはドレインの一方と、第4のトラン
ジスタのソースまたはドレインの一方と、に電気的に接続され、第1のトランジスタ、第
3のトランジスタ、および第5のトランジスタは、一列に配置され、第5のトランジスタ
のチャネル領域は、第1のトランジスタのチャネル領域と第3のトランジスタのチャネル
領域に挟まれる領域を有する半導体装置である。
レインの一方と、第6のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、第7のトランジ
スタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、第1のトランジスタ、第3のト
ランジスタ、および第5のトランジスタ、および第7のトランジスタは一列に配置される
ことが好ましい。
同じであることが好ましい。あるいは、上記構成において、第1のトランジスタ、第2の
トランジスタおよび第5のトランジスタはpチャネル型トランジスタであり、第3のトラ
ンジスタ、第4のトランジスタおよび第6のトランジスタはnチャネル型トランジスタで
あることが好ましい。
配線には第1の信号の反転信号が与えられ、第3の配線には第2の信号が与えられ、第4
の配線には第2の信号の反転信号が与えられることが好ましい。
、第1のトランジスタ乃至第4のトランジスタのチャネル幅に対して、2倍より大きく、
5倍未満であることが好ましい。また、上記構成において、第7のトランジスタのチャネ
ル幅は、第1のトランジスタ乃至第6のトランジスタのチャネル幅に対して、2倍より大
きく、5倍未満であることが好ましい。
15のトランジスタと、を有し、第1のトランジスタのゲートと、第3のトランジスタの
ゲートは、第1の配線に電気的に接続され、第2のトランジスタのゲートと、第4のトラ
ンジスタのゲートは、第2の配線に電気的に接続され、第5のトランジスタのゲートは、
第3の配線に電気的に接続され、第6のトランジスタのゲートは、第4の配線に電気的に
接続され、第5のトランジスタのソースまたはドレインの一方と、第6のトランジスタの
ソースまたはドレインの一方は、第7のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電
気的に接続され、第5のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、第1のトランジ
スタのソースまたはドレインの一方と、第2のトランジスタのソースまたはドレインの一
方と、に電気的に接続され、第6のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、第3
のトランジスタのソースまたはドレインの一方と、第4のトランジスタのソースまたはド
レインの一方と、に電気的に接続され、第1のトランジスタ、第3のトランジスタ、第5
のトランジスタ、および第7のトランジスタは一列に配置され、第5のトランジスタのチ
ャネル領域は、第1のトランジスタのチャネル領域と第3のトランジスタのチャネル領域
に挟まれる領域を有し、第8のトランジスタのゲート、第10のトランジスタのゲート、
第12のトランジスタのゲート、および第14のトランジスタのゲートは、第5の配線に
電気的に接続され、第9のトランジスタのゲート、第11のトランジスタのゲート、第1
3のトランジスタのゲート、および第15のトランジスタのゲートは、第6の配線に電気
的に接続され、第8のトランジスタのソースまたはドレインの一方には、第1の電圧が与
えられ、第9のトランジスタのソースまたはドレインの一方には、第2の電圧が与えられ
、第10のトランジスタのソースまたはドレインの一方には、第3の電圧が与えられ、第
11のトランジスタのソースまたはドレインの一方には、第4の電圧が与えられ、第12
のトランジスタのソースまたはドレインの一方には、第5の電圧が与えられ、第13のト
ランジスタのソースまたはドレインの一方には、第6の電圧が与えられ、第14のトラン
ジスタのソースまたはドレインの一方には、第7の電圧が与えられ、第15のトランジス
タのソースまたはドレインの一方には、第8の電圧が与えられ、第8のトランジスタのソ
ースまたはドレインの他方と、第9のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、第
1のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、第10のトランジ
スタのソースまたはドレインの他方と、第11のトランジスタのソースまたはドレインの
他方は、第2のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、第12
のトランジスタのソースまたはドレインの他方と、第13のトランジスタのソースまたは
ドレインの他方は、第3のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続さ
れ、第14のトランジスタのソースまたはドレインの他方と、第15のトランジスタのソ
ースまたはドレインの他方は、第4のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気
的に接続され、第5の配線には第3の信号が与えられ、第6の配線には第3の信号の反転
信号が与えられ、第5のトランジスタ乃至第7のトランジスタのチャネル幅は、第8のト
ランジスタ乃至第15のトランジスタのチャネル幅に対して、2倍より大きく、5倍未満
であり、第1のトランジスタ乃至第15のトランジスタの極性は、全て同じであり、第8
のトランジスタ乃至第15のトランジスタのゲート電極はひと続きである半導体装置であ
る。
及び第2回路は、第1のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、第3回路は、第2
のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、第2のチャネル幅は第1のチャネル幅よ
りも大きく、第1回路は、kビットの電位である第1乃至第2N(Nは1以上の整数)の
電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、第2回路は、kビットの電位である第(
2N+1)乃至第4Nの電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、kは2N=2k
を満たし、第3回路は、第1回路が選択した電位または第2回路が選択した電位のうち、
いずれか一を選択する機能を有し、第1回路乃至第3回路は、一列に配置されていること
を特徴とする半導体装置である。
回路と、を有し、第1回路及乃至第4回路は、第1のチャネル幅をもつ複数のトランジス
タを有し、第5回路は、第2のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、第2のチャ
ネル幅は第1のチャネル幅よりも大きく、第1回路は、kビットの電位である第1乃至第
2N(Nは1以上の整数)の電位のうち、N個の電位を選択する機能を有し、第2回路は
、kビットの電位である第(2N+1)乃至第4Nの電位のうち、N個の電位を選択する
機能を有し、kは2N=2kを満たし、第3回路は、第1回路が選択するN個の電位のう
ち、いずれか一を選択する機能を有し、第4回路は、第2回路が選択するN個の電位のう
ち、いずれか一を選択する機能を有し、第5回路は、第3回路が選択した電位または第4
回路が選択した電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、第3回路乃至第5回路は
、一列に配置される半導体装置である。
2N個のトランジスタを有し、2N個のトランジスタのゲート電極はひと続きであること
が好ましい。また、上記構成において、第1回路および第2回路は、一列に配置され、第
1回路および第2回路は、第2回路乃至第5回路と並列に配置されることが好ましい。ま
た、上記構成において、第2のチャネル幅は、第1のチャネル幅の2倍より大きく、5倍
未満であることが好ましい。
的に接続されたバンプ端子と、を有することを特徴とする電子部品である。
とする電子機器である。
一態様により、幅の狭いドライバICを提供することができる。また、本発明の一態様に
より、高速動作が可能なドライバICを提供することができる。また、本発明の一態様に
より、新規なドライバICを提供することができる。
明の一態様により、幅の狭い半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様
により、高速動作が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様に
より、新規な半導体装置を提供することができる。
一態様は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書
、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項
などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態
及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は
、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は、理想的な例を
模式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。例えば、ノイズ
による信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、電圧
、若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン(ドレイン端子、ドレイン
領域又はドレイン電極)とソース(ソース端子、ソース領域又はソース電極)の間にチャ
ネル領域を有しており、ドレインとチャネル領域とソースとを介して電流を流すことがで
きるものである。
め、いずれがソース又はドレインであるかを限定することが困難である。そこで、ソース
として機能する部分、及びドレインとして機能する部分を、ソース又はドレインと呼ばず
、ソースとドレインとの一方を第1電極と表記し、ソースとドレインとの他方を第2電極
と表記する場合がある。
混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関
係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明し
た語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
するものであり、異なる回路ブロックで別々の機能を実現するよう示していても、実際の
回路ブロックにおいては同じ回路ブロック内で別々の機能を実現しうるように設けられて
いる場合もある。また図面における各回路ブロックの機能は、説明のため機能を特定する
ものであり、一つの回路ブロックとして示していても、実際の回路ブロックにおいては一
つの回路ブロックで行う処理を、複数の回路ブロックで行うよう設けられている場合もあ
る。
応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電
膜」という用語に変更することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という
用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。
場合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている
場合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとす
る。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定され
ず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているもの
とする。
層、など)であるとする。
能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダ
イオード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に接続されていない場合で
あり、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容
量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)を介さず
に、XとYとが、接続されている場合である。
能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダ
イオード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されること
が可能である。なお、スイッチは、オン・オフが制御される機能を有している。つまり、
スイッチは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流
すか流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選
択して切り替える機能を有している。なお、XとYとが電気的に接続されている場合は、
XとYとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
能とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号
変換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(
電源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など
)、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量などを大きく出来
る回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生
成回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能で
ある。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信
号がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。なお、Xと
Yとが機能的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合と、Xと
Yとが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
とが電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟ん
で接続されている場合)と、XとYとが機能的に接続されている場合(つまり、XとYと
の間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、XとYとが直接接続されてい
る場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)
とが、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明
示的に記載されている場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場
合と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
介さず)、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、
Z2を介して(又は介さず)、Yと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソー
ス(又は第1の端子など)が、Z1の一部と直接的に接続され、Z1の別の一部がXと直
接的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z2の一部と直接
的に接続され、Z2の別の一部がYと直接的に接続されている場合では、以下のように表
現することが出来る。
2の端子など)とは、互いに電気的に接続されており、X、トランジスタのソース(又は
第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yの順序で電気的
に接続されている。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース(又は
第1の端子など)は、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子
など)はYと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、ト
ランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この順序で電気的に接続されてい
る」と表現することができる。または、「Xは、トランジスタのソース(又は第1の端子
など)とドレイン(又は第2の端子など)とを介して、Yと電気的に接続され、X、トラ
ンジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子な
ど)、Yは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同
様な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トラ
ンジスタのソース(又は第1の端子など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区
別して、技術的範囲を決定することができる。
)は、少なくとも第1の接続経路を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路
は、第2の接続経路を有しておらず、前記第2の接続経路は、トランジスタを介した、ト
ランジスタのソース(又は第1の端子など)とトランジスタのドレイン(又は第2の端子
など)との間の経路であり、前記第1の接続経路は、Z1を介した経路であり、トランジ
スタのドレイン(又は第2の端子など)は、少なくとも第3の接続経路を介して、Yと電
気的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有しておらず、前記第3
の接続経路は、Z2を介した経路である。」と表現することができる。または、「トラン
ジスタのソース(又は第1の端子など)は、少なくとも第1の接続経路によって、Z1を
介して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は、第2の接続経路を有しておらず
、前記第2の接続経路は、トランジスタを介した接続経路を有し、トランジスタのドレイ
ン(又は第2の端子など)は、少なくとも第3の接続経路によって、Z2を介して、Yと
電気的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有していない。」と表
現することができる。または、「トランジスタのソース(又は第1の端子など)は、少な
くとも第1の電気的パスによって、Z1を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の電
気的パスは、第2の電気的パスを有しておらず、前記第2の電気的パスは、トランジスタ
のソース(又は第1の端子など)からトランジスタのドレイン(又は第2の端子など)へ
の電気的パスであり、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)は、少なくとも第
3の電気的パスによって、Z2を介して、Yと電気的に接続され、前記第3の電気的パス
は、第4の電気的パスを有しておらず、前記第4の電気的パスは、トランジスタのドレイ
ン(又は第2の端子など)からトランジスタのソース(又は第1の端子など)への電気的
パスである。」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構
成における接続経路について規定することにより、トランジスタのソース(又は第1の端
子など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別して、技術的範囲を決定するこ
とができる。
X、Y、Z1、Z2は、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜
、層、など)であるとする。
いる場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も
ある。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及
び電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における
電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている
場合も、その範疇に含める。
本実施の形態では、本発明の一態様である、パストランジスタロジック(以下、PTL
)について説明する。
PTLは、入力されるデジタルの信号をアナログの信号に変換する機能を有する回路で
ある。PTLに入力されるデータ信号はデジタルの信号であり、該デジタルのデータ信号
をアナログの信号に変換する。PTLは、D/A(デジタル/アナログ)変換回路、ある
いは単に回路という場合がある。なお、PTLは、ドライバICに適用することが可能で
ある。図1は、PTLの一例であるPTL10の回路構成を示している。
]乃至P2[k−2]と、トランジスタN1[0]乃至N1[k−1]と、トランジスタ
N2[0]乃至N2[k−2]と、を有する。なお、kは2以上の自然数を表す。
−2]は、pチャネル型トランジスタが好ましい。また、トランジスタN1[0]乃至N
1[k−1]及びトランジスタN2[0]乃至N2[k−2]は、nチャネル型トランジ
スタが好ましい。
0]乃至DECP[k−2]が入力される。これら信号は上述のデジタル信号であり、後
述するレベルシフタから供給される。
P[k−2]は、信号DECPB[k−2]の反転信号である。
号、信号DECPB[c−2]及び信号DECP[c−2]を第c−1ビットの信号(こ
こでcは0以上k以下の自然数)、信号DECPB[k−1]を第kビットの信号とよぶ
場合がある。
トに与えられる。
に与えられる。
−2]のゲートに与えられる。
2]のゲートに与えられる。
−1]のゲートに与えられる。
ランジスタP2[0]、トランジスタN1[0]及びトランジスタN2[0]を介して、
PTL10に供給される。これらの電圧は、図2に示す電圧生成回路V−geneにより
生成される。
続された抵抗素子R[0]乃至R[j−2]を有している。電圧V[0]乃至V[j−1
]は、抵抗素子R[0]乃至R[j−2]で電圧V1/VSSを分圧して得られる電圧で
ある。なお、電圧V1/VSSとは、高電源電位V1と、低電源電位VSSの間で振幅を
とる電圧を表している。低電源電位VSSは、グラウンド電位GNDとしてもよい。
ど、電圧が小さく、括弧内の数字が大きいほど、電圧が大きい。
信号DECP[0]乃至DECP[k−2]に応じて、電圧V[0]乃至V[j−1]の
中から一つの電圧を選択し、アナログ信号として出力端子PTL_OUTから出力する機
能を有する。
ナログ信号(j=256)が出力される場合を図3に示す。このとき、PTL10には、
信号DECPB[0]乃至DECPB[7]、及び信号DECP[0]乃至DECP[6
]が与えられる。
ベル(以下、Lレベル)の電位が与えられ、信号DECP[0]乃至DECP[6]とし
て、Highレベル(以下、Hレベル)の電位が与えられる場合、電圧V[255]が出
力端子PTL_OUTに出力される。
位が与えられ、信号DECP[0]乃至DECP[6]に、Lレベルの電位が与えられる
場合、電圧V[0]が出力端子PTL_OUTに出力される。
下半分の回路は、nチャネル型トランジスタ(トランジスタN1[0]乃至N1[k−1
]及びトランジスタN2[0]乃至N2[k−2])で構成されることが好ましい。また
、高電圧である電圧V[j/2]乃至V[j−1]が供給される上半分の回路は、pチャ
ネル型トランジスタ(トランジスタP1[0]乃至P1[k−1]及びトランジスタP2
[0]乃至P2[k−1])で構成されることが好ましい。以下に、その理由を説明する
。
るとpチャネル型トランジスタはオンになるが、ソースに与えられた電位(電圧V[0]
乃至V[j−1])が低い場合、ゲートとソース間の電位差(Vgs)は小さくなる。そ
の結果、トランジスタのオン状態での抵抗(以下、オン抵抗)は大きく、回路動作が遅く
なってしまう。そのため、図1に示すように、高電圧側の回路は、pチャネル型トランジ
スタで構成されることが好ましい。
るとnチャネル型トランジスタはオンになり、ソース電位は、ドレインに与えられた電位
(電圧V[0]乃至V[j−1])に近づく。このとき、ドレインに与えられた電位が高
い場合、ドレインとソースが等電位に達する前に、Vgsはトランジスタのしきい値電圧
(Vth)を下まわり、トランジスタがオフになってしまう。その結果、Vthだけ低下
した電圧をトランジスタは出力することになる。そのため、図1に示すように、低電圧側
の回路は、nチャネル型トランジスタで構成されることが好ましい。
次に、PTL10におけるトランジスタの配置例について、図4を用いて具体的に説明
する。
8、およびトランジスタ401乃至408の符号を割りあてたものである。
ソースまたはドレインのいずれか一方に接続され、一方のトランジスタのゲートは信号D
ECPB[c]が供給され、他方のトランジスタのゲートは信号DECP[c]が供給さ
れる、一対のトランジスタを、ユニットU[c]と表す。ユニットU[c]は、パストラ
ンジスタと呼ばれる場合がある。
ニットU[c]と表すことができる。また、トランジスタN1[c]とトランジスタN2
[c]もユニットU[c]と表すことができる。
301とトランジスタ302の対は、ユニットU[0]と表すことができる。ここで、図
4に示す4組のユニットU[0]をユニットMU[0]と表す。図4において、トランジ
スタ301乃至308はユニットMU[0]と表される。
の上面図は、図の明瞭化のために一部の要素を省略して図示している。
れた高電圧側の回路、すなわち高電圧が入力される側の回路、を抜き出したものであるが
、以下の説明は、図4および図6が、nチャネル型トランジスタで構成された低電圧側の
回路の場合であっても成り立つ。
トランジスタの対の上面図を示す。なお、図7(A)は一例としてユニットU[1]の上
面図を示すが、ユニットU[0]、U[2]についても、トランジスタ対を同様の配置と
することができる。また、図7(B)は、図4に示すユニットMU[0]として用いるト
ランジスタ301乃至308の上面図を示す。
るトランジスタの対の上面図を示す。なお、図8(A)は一例としてユニットU[3]の
上面図を示すが、ユニットU[4]についても、トランジスタ対を同様の配置とすること
ができる。
GE及びコンタクトCOを有している。半導体SEMにおいて、ゲート電極GEと重なっ
ている領域は、チャネルとしての機能を有する。半導体SEMにおいて、ゲート電極GE
と重なっていない領域は、ソース及びドレインとしての機能を有する。ゲート電極GEは
、トランジスタのゲートとして機能する。このソース及びドレインは、不純物添加によっ
て低抵抗化されることが好ましい。また半導体SEMにおいて、トランジスタN1[7]
のソース領域およびドレイン領域は、トランジスタP1[7]とは異なる不純物が添加さ
れることが好ましい。例えば、トランジスタN1[7]にはnチャネル型の機能を付与す
る不純物が、トランジスタP1[7]にはpチャネル型の機能を付与する不純物が、それ
ぞれのソース領域及びドレイン領域に添加されることが好ましい。
、303、305および307のゲート電極GEをひと続きとした。また同様に、信号D
EP[0]がゲートに入力されるトランジスタ302、304、306および308のゲ
ート電極GEをひと続きとした。ゲート電極GEをひと続きとすることにより、上層の配
線(例えば配線ME1等)へ接続するためのコンタクトが不要となる。これにより、ゲー
ト電極GEと上層の配線とのコンタクト(例えばコンタクトCO等)をそれぞれのトラン
ジスタのゲートに対して設けなくてもよいため、コンタクトの数を減らすことができ、ト
ランジスタ間の距離を小さくすることができる。また、トランジスタ301乃至308の
上層に配置する配線を少なくすることができるため、上層の配線の配置の自由度が上がる
。
極GEを共通化している。また、トランジスタ302、304、306、および308は
、ゲート電極GEを共通化している。
E1と重なる領域を有し、該領域において、ゲート電極GEはコンタクトCOを介して配
線ME1と電気的に接続する。配線ME1に比べてゲート電極GEの抵抗が高い場合に、
PTL10におけるゲート電極GEの抵抗の影響を小さくすることができる。
ゲート電極GEの上層にさらに配線等が形成されているが、図7および図8では図の明瞭
化のために省略されている。
ジスタのソース、ドレインおよびゲートは、コンタクトCOを介して配線ME1に接続す
る。また、配線ME1は、コンタクトCO2を介して、上層の配線である配線ME2に接
続する。また、図9ではコンタクトCO2および配線ME2を省略したが、図9に加えて
コンタクトCO2および配線ME2を表示した図が図10である。
て上層の配線と電気的に接続され、信号DECPB[1]が入力される。また、トランジ
スタ402および404のゲート電極GEはコンタクトCOを介して上層の配線と電気的
に接続され、信号DECP[1]が入力される。
に接続され、信号DECPB[2]が入力される。また、トランジスタ406のゲート電
極GEはコンタクトCO等を介して上層の配線と電気的に接続され、信号DECP[2]
が入力される。
たはドレインの一方は、配線ME1等を介してトランジスタ405のソースまたはドレイ
ンの一方に電気的に接続される。
1等を介してトランジスタ301のソースまたはドレインの一方と、トランジスタ302
のソースまたはドレインの一方と、に電気的に接続される。
1等を介してトランジスタ303のソースまたはドレインの一方と、トランジスタ304
のソースまたはドレインの一方と、に電気的に接続される。
たはドレインの一方は、コンタクトCOおよび配線ME1等を介してトランジスタ406
のソースまたはドレインの一方に電気的に接続される。
1等を介してトランジスタ305のソースまたはドレインの一方と、トランジスタ306
のソースまたはドレインの一方と、に電気的に接続される。
1等を介してトランジスタ307のソースまたはドレインの一方と、トランジスタ308
のソースまたはドレインの一方と、に電気的に接続される。
、nチャネル型トランジスタであってもよい。ここで一例として、図6に示すトランジス
タ301乃至308が、図4に示すようにpチャネル型トランジスタからなり、それぞれ
に電圧V[j−1]乃至V[j−8]が与えられる場合について考える。このとき、図6
において、トランジスタ301のソースまたはドレインの一方には、コンタクトCO等を
介して上層の配線が接続し、電圧V[j−1]が与えられる。同様に、トランジスタ30
2のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−2]が与えられ、トランジスタ30
3のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−3]が与えられ、トランジスタ30
4のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−4]が与えられ、トランジスタ30
5のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−5]が与えられ、トランジスタ30
6のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−6]が与えられ、トランジスタ30
7のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−7]が与えられ、トランジスタ30
8のソースまたはドレインの一方には、電圧V[j−8]が与えられる。
において、ユニットU[7]はpチャネル型のトランジスタP1[7]と、nチャネル型
のトランジスタN1[7]を有する。トランジスタP1[7]のソースまたはドレインの
一方と、トランジスタN1[7]のソースまたはドレインの一方は、出力信号PTL_O
UTが供給される。トランジスタP1[7]のソースまたはドレインの他方は、配線ME
2等を介してトランジスタP1[6]のソースまたはドレインの一方と、トランジスタP
2[6]のソースまたはドレインの一方に接続される。トランジスタN1[7]のソース
またはドレインの他方は、配線ME2等を介してトランジスタN1[6]のソースまたは
ドレインの一方と、トランジスタN2[6]のソースまたはドレインの一方に接続される
。
まれ、ユニットU[2]と、2つのユニットU[1]と、は一列に配置される。また、ユ
ニットU[3]は2つのユニットU[2]で挟まれ、ユニットU[3]と、2つのユニッ
トU[2]と、は一列に配置される。このように各ユニットを配置することで、PTL1
0の幅を縮小することができる。ここで幅を縮小するとは例えば、x座標方向の幅を指す
。例えばPTL10を画素マトリクスを有する装置へ接続する回路、例えばディスプレイ
等のドライバICとして用いる場合に、高精細化により画素ピッチが小さくなるのに伴い
、回路幅の縮小が求められる。
チャネル領域は一列に配置される。また例えば、トランジスタ401、トランジスタ40
5およびトランジスタ403のチャネル領域は、水平方向の座標が一致する領域を有する
。
信号DEPB[0]乃至信号DEPB[2]および信号DEP[0]乃至信号DEP[2
]の信号が入力される配線のいずれかに沿って配列される。
406のチャネル領域の中央の水平方向の座標をx6とする。図6には矢印でx座標とy
座標の向きを示す。例えば、トランジスタ401またはトランジスタ402のチャネル領
域の少なくともいずれか一方は、水平方向の座標がx5とx6の間の領域を有する。また
例えば、トランジスタ403またはトランジスタ404のチャネル領域の少なくともいず
れか一方は、水平方向の座標がx5とx6の間の領域を有する。
小さいx座標の値をx7、最も大きいx座標の値をx8とする。例えば、トランジスタ4
01またはトランジスタ402のチャネル領域の少なくともいずれか一方は、水平方向の
座標がx7とx8の間の領域を有する。また例えば、トランジスタ403またはトランジ
スタ404のチャネル領域の少なくともいずれか一方は、水平方向の座標がx7とx8の
間の領域を有する。
[c]が有する2つのトランジスタのチャネル領域のうち、最も小さいx座標の値をx1
[c]、最も大きいx座標の値をx2[c]とする。2つのユニットU[c−1]は、そ
れぞれが有する2つのトラジスタのうち少なくとも一方のチャネル領域は例えば、水平方
向の座標がx1[c]とx2[c]の間の領域を有する。
]およびx2[7]を示す。図19には矢印でx座標とy座標の向きを示す。
に概略平行な方向である(図6の一点鎖線X1−X2参照)。または例えば、信号DEP
B[0]乃至信号DEPB[2]および信号DEP[0]乃至信号DEP[2]などの信
号が入力される配線に対して概略垂直な方向である。または例えば、図6に示すユニット
MU[0]が有する、伸長されたゲート電極に概略垂直な方向である(図6の一点鎖線Y
3−Y4に垂直な方向)。
おいて、矢印でx座標とy座標の方向を示す。図11(A)には、図6に示す上面図をブ
ロック図として示す。4つのユニットU[1]、2つのユニットU[2]およびユニット
U[3]が上から、ユニットU[1]、ユニットU[2]、ユニットU[1]、ユニット
U[3]、ユニットU[1]、ユニットU[2]、ユニットU[1]の順に一列に配置さ
れたまとまりをUNIT A2とする。また、上下に並んだ2つのユニットMU[0]を
UNIT A1とする。UNIT A2は、UNIT A1の隣に配置される。ここで一
列に配置される、とは、例えばy座標の方向に沿って配置されることを指す。
る。UNIT A2はユニットU[3]を一つ有するため、ユニットU[4]は2つのユ
ニットU[3]で挟まれる。また、ユニットU[5]は、2つのユニットU[4]で挟ま
れる。4つのUNIT A2、2つのユニットU[4]およびユニットU[5]が上から
、UNIT A2、ユニットU[4]、UNIT A2、ユニットU[5]、UNIT
A2、ユニットU[4]、UNIT A2の順に一列に配置されたまとまりをUNIT
B2とする。また、4つのUNIT A1が一列に配置されたものをUNIT B1とす
る。ここで一列に配置される、とは、例えばy座標の方向に沿って配置されることを指す
。
る。UNIT B2はユニットU[5]を一つ有するため、ユニットU[6]は2つのユ
ニットU[5]で挟まれる。また、ユニットU[7]は、2つのユニットU[6]で挟ま
れる。よって、PTL10に、8ビットのデータ信号(k=8)が入力される場合には、
PTL10は例えば図11(C)に示すように、4つのUNIT B2、2つのユニット
U[6]およびユニットU[7]が上から、UNIT B2、ユニットU[6]、UNI
T B2、ユニットU[7]、UNIT B2、ユニットU[6]、UNIT B2の順
に一列に配置されたまとまりと、4つのUNIT B1が一列に配置されたまとまりが、
隣接するレイアウトとなる。ここで一列に配置される、とは、例えばy座標の方向に沿っ
て配置されることを指す。
ータ信号が供給されるユニットU[c]と、cビットのデータ信号が供給される2つのユ
ニットU[c−1]と、を有する場合を考える。図12(A)は、ユニットU[c]およ
び2つのユニットU[c−1]の配置を示す上面図である。ここで図12(A)に示すよ
うに、上面において、ユニットU[c]は、2つのユニットU[c−1]に挟まれる。こ
こでcは3以上(k−1)以下の自然数である。以下に詳細を説明する。
図12(B)は、cビット、[c+1]ビットおよび[c+2]ビットの信号線に接続す
るトランジスタの一部を示す。ここでcは3以上(k−2)以下の自然数である。また、
図13は、[k−1]ビットおよびkビットの信号線に接続するトランジスタの一部を示
す。
2点において、図13は図12(B)と異なる。まず、図12(B)においてはユニット
U[c]がトランジスタ407cに接続されるのに対し、図13においては、ユニットU
[c]に出力信号PTL_OUTが供給される。また、図12(B)に示す例では、トラ
ンジスタ401c乃至407cがpチャネル型トランジスタとしているのに対し、図13
に示す例ではトランジスタ403c、404cおよび406cはnチャネル型トランジス
タである。
−1]のうち一方はトランジスタ401cおよび402cを有し、他方はトランジスタ4
03cおよび404cを有する。
れ、トランジスタ402cおよび403cのゲートには信号DECP[c−1]が入力さ
れる。トランジスタ405cのゲートには信号DECPB[c]が入力され、トランジス
タ406cのゲートには信号DECP[c]が入力される。なお、図13に示すようにト
ランジスタ405cおよびトランジスタ406cにkビットの信号が入力される場合は、
それぞれのゲートへ、同一の信号DECP[k−1]に入力される。
スまたはドレインの一方は、図12(B)においてはトランジスタ407cのソースまた
はドレインの一方に、図13においては出力信号PTL_OUTが供給される。
スまたはドレインの一方と、トランジスタ402cのソースまたはドレインの一方に接続
される。トランジスタ406cのソースまたはドレインの他方は、トランジスタ403c
のソースまたはドレインの一方と、トランジスタ404cのソースまたはドレインの一方
に接続される。
向を、それぞれの図に示されるトランジスタのチャネル幅方向とし、一点鎖線X1‐X2
で示される方向を、それぞれの図に示されるトランジスタのチャネル長方向とする。
W2、ユニットU[3]乃至U[6]が有するトランジスタのチャネル幅をW3乃至W6
、ユニットU[7]が有するトランジスタのチャネル幅をW7とする。図6において、W
0=W1=W2、W3=W4である。また、図6には示されていないが、ユニットU[5
]およびU[6]において、ユニットU[3]が有するトランジスタと同じチャネル幅の
トランジスタを用いることができる。この場合には、W3=W4=W5=W6である。
W7は、チャネル幅W2より大きいことが好ましい。
U[k−1]が有するトランジスタのチャネル幅をWk−1とする。チャネル幅W0は、
チャネル幅Wk−1よりも、小さいことが好ましい。また、チャネル幅Wk−1は、チャ
ネル幅Wkより小さいことが好ましい。
に半導体SEMの中で電流の流れる部分)とゲート電極GEとが重なる領域、またはチャ
ネルが形成される領域における、ソースとドレインとが向かい合っている部分の長さをい
う。なお、一つのトランジスタにおいて、チャネル幅がすべての領域で同じ値をとるとは
限らない。即ち、一つのトランジスタのチャネル幅は、一つの値に定まらない場合がある
。そのため、本明細書では、チャネル幅は、チャネルの形成される領域における、いずれ
か一の値、最大値、最小値または平均値とする。
はトランジスタがオン状態のときに半導体SEMの中で電流の流れる部分)とゲート電極
GEとが重なる領域、またはチャネルが形成される領域における、ソースとドレインとの
間の距離をいう。なお、一つのトランジスタにおいて、チャネル長が全ての領域で同じ値
をとるとは限らない。即ち、一つのトランジスタのチャネル長は、一つの値に定まらない
場合がある。そのため、本明細書では、チャネル長は、チャネルの形成される領域におけ
る、いずれか一の値、最大値、最小値または平均値とする。
るように配置した場合、隣接するトランジスタ同士でソース及びドレインを共有できる場
合があるため、トランジスタの占有面積を小さくすることができて好ましい。
て、信号DECPB[0]乃至信号DECPB[k−1]が与えられる配線同士の間隔が
狭まり、それに伴って、電圧V[0]乃至V[j−1]が与えられる配線同士の間隔も狭
まる。その結果、トランジスタの微細化が要求される。このとき、図7(B)に示すよう
にトランジスタを配置することで、上述の要求を満たすことができ、表示装置の高精細化
に対応することが可能になる。
タのオン抵抗を小さくすることが可能になり、回路の動作速度を向上させることが可能に
なる。
表すことができる。
ができる。
抗Rtotalは小さくなることがわかる。オン抵抗Rtotalが小さくなれば、回路
の動作速度を向上させることができるため好ましい。
、消費電力Ptotalは増加することがわかる。そのため、オン抵抗Rtotalを小
さくし、且つ消費電力Ptotalも小さくなるように、トランジスタのチャネル幅を決
定する必要がある。
10倍未満、さらに好ましくは2倍より大きく、8倍未満、さらに好ましくは3倍より大
きく、5倍未満である。
する。
の断面図を示し、図14(B)は、同じくトランジスタ401の一点鎖線Y1‐Y2方向
の断面図を示している。なお、図4等では、トランジスタ401をpチャネル型トランジ
スタとして図示しているが、図14(A)、(B)に示す断面図はpチャネル型に限定さ
れず、nチャネル型トランジスタの場合にも、同じ構造を用いることができる。
純物領域203bと、不純物領域204aと、不純物領域204bと、素子分離層205
と、側壁絶縁層207と、絶縁膜208と、ゲート電極GEと、を有する。
体基板、シリコンゲルマニウムからなる化合物半導体基板や、SOI(Silicon
on Insulator)基板などを用いることができる。なお、基板201としてp
型の単結晶シリコン基板を用いた場合、基板201の一部にn型を付与する不純物元素を
添加してn型のウェルを形成し、n型のウェルが形成された領域にp型のトランジスタを
形成することも可能である。n型を付与する不純物元素としては、リン(P)、砒素(A
s)等を用いることができる。p型を付与する不純物元素としては、ボロン(B)等を用
いることができる。
例えば、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、
繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどが挙げられる。ガラス基板の一例としては
、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなど
がある。可撓性基板の一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチ
レンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチ
ック、又はアクリル等の可撓性を有する合成樹脂などがある。貼り合わせフィルムの一例
としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリフッ化ビニル、又はポリ塩化ビニルなど
がある。基材フィルムの一例としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、アラミ
ド、エポキシ、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。
例えば、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングス
テン基板、タングステン・ホイルを有する基板などが挙げられる。
てもよい。半導体素子が転置される基板の一例としては、上述した基板に加え、紙基板、
セロファン基板、アラミドフィルム基板、ポリイミドフィルム基板、石材基板、木材基板
、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル
)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含む
)、皮革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用いることにより、特性のよい
トランジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐
熱性の付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
ジスタと分離されている。素子分離層205は、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウ
ム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリ
コン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ラ
ンタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどから選ばれた一種以上含む絶
縁体を用いることができる。
con)で形成してもよい。また、素子分離層205はSTI(Shallow Tre
nch Isolation)で形成してもよい。
及びドレインとしての機能を有する。
領域やエクステンション領域として機能する不純物領域204a、204bを設けてもよ
い。特に、トランジスタ401をnチャネル型とする場合は、ホットキャリアによる劣化
を抑制するため、LDD領域やエクステンション領域を設けることが好ましい。
側壁絶縁層207を有さないトランジスタを用いてもよい。シリサイド(サリサイド)を
有する構造であると、ソースおよびドレインがより低抵抗化でき、半導体装置の高速化が
可能である。また、低電圧で動作できるため、半導体装置の消費電力を低減することが可
能である。
ニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化
シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸
化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムおよび酸化タンタルを一種以上含む絶縁膜を
用いることができる。また、絶縁膜208は上記材料の積層であってもよい。なお、絶縁
膜208に、ランタン(La)、窒素、ジルコニウム(Zr)などを、不純物として含ん
でいてもよい。
り具体的には、酸化ハフニウム、および酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを含むと好
ましい。
デン(Mo)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、クロム(Cr)、ニオブ(Nb)等
から選択された元素、またはこれらの元素を主成分とする合金材料若しくは化合物材料(
例えば、窒化タンタル)で形成する。又は、リンやボロン等の不純物元素をドーピングし
た多結晶珪素に代表される半導体材料により形成してもよい。
ットMU[0]が縦に2つ配置し、さらにx座標がプラス側(図11においては水平方向
の右側)の位置にユニットU[1]が縦に4つ配置し、さらにx座標がプラス側の位置に
ユニットU[2]、ユニットU[3]およびユニットU[2]の順に上から配置している
。図20では図11と比較し、UNIT Aの縦方向の長さを短くすることができる。横
方向の長さは図11(A)よりも長くなる場合がある。ここで、横方向の長さは例えば、
トランジスタのチャネル長を小さくすることにより縮小することができる。
)では、図11(C)で示した8ビットのレイアウトを2つ、ユニットU[8]の上下に
配置する例を示す。
近傍に配置しているが、最上位ビットは縦方向の上端や下端に配置しても構わない。例え
ば、図21(B)は、8ビットのPTL回路において最上位ビットのユニットを下端にレ
イアウトした場合の、図21(C)は、9ビットのPTL回路において最上位ビットのユ
ニットを下端にレイアウトした場合の例をそれぞれ示す。
下ではトランジスタにFIN型トランジスタを用いた場合について説明を行う。
の断面図を示し、図15(B)は、同じくトランジスタ401の一点鎖線Y1‐Y2方向
の断面図を示している。なお、図3等では、トランジスタ401をpチャネル型トランジ
スタとして図示しているが、図15(A)、(B)では、これに限定されず、トランジス
タ401をnチャネル型トランジスタとして扱ってもよい。
純物領域213bと、不純物領域214aと、不純物領域214bと、素子分離層215
と、側壁絶縁層217と、絶縁膜218と、ゲート電極GEと、を有する。
る(図15(B)参照)。半導体221乃至223の側面及び上面に沿って絶縁膜218
及びゲート電極GEが設けられている。このようなトランジスタはFIN型トランジスタ
とも呼ばれる。なお、凸部の上部に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する
絶縁膜を有していてもよい。また、ここでは基板211の一部を加工して凸部を形成する
場合を示したが、SOI基板を加工して凸形状を有する半導体層を形成してもよい。
載を参照すればよい。
載を参照すればよい。
Eに囲まれている。上記構成をとることで、半導体221乃至223に効果的にゲート電
界を印加することが可能になり、DIBL(Drain Induced Barrie
r Lowering)といった短チャネル効果を防ぐことが可能になる。また、半導体
221乃至223の側面にもチャネルが形成されるため、トランジスタの導通時の電流(
オン電流)を高くすることができる。FIN型トランジスタは、微細化に適した構造とい
える。
ば図15のトランジスタを用いればよい。また、ユニットU[3]乃至ユニットU[6]
には例えば図20のトランジスタを用いればよい。また、ユニットU[7]には例えば図
20のトランジスタを用いればよい。
体SEMを有する。凸形状の幅は概略揃えることが好ましい。トランジスタのチャネル幅
を大きくするためには例えば凸形状の数を増やせばよい。
有する。図16(B)の上面図において、3つの凸形状からなる半導体SEMを有する。
図16(C)の上面図において、トランジスタは6つの凸形状からなる半導体SEMを有
する。
いて、1つのユニット、あるいは一つのトランジスタの半導体SEMの凸形状を有する領
域(以下、凸部)の数をNM0、ユニットU[3]乃至ユニットU[6]において、1つ
のユニット、あるいは一つのトランジスタの半導体SEMの凸部の数をNM2、ユニット
U[7]において、1つのユニット、あるいは一つのトランジスタの半導体SEMの凸部
の数をNM7とする。図20に示すように、NM0は、NM2よりも、NM2はNM7よ
りも、それぞれ少ないことが好ましい。
の半導体SEMの凸部の数をNM0、トランジスタP1[1]、P2[1]、N1[1]
、N2[1]の半導体SEMの凸部の数をNM1、トランジスタP1[k−2]、P2[
k−2]、N1[k−2]、N2[k−2]の半導体SEMの凸部の数をNMk−2、ト
ランジスタP1[k−1]、N1[k−1]の半導体SEMの凸部の数をNMk−1とす
る。図1において、NM0は、NMk−1よりも少ないことが好ましい。
図17は、上述のPTL10とは異なるPTL30の回路構成を示している。
トランジスタに置き換えたものである。
以下、酸化物半導体トランジスタ)であることが好ましい。酸化物半導体トランジスタは
、トランジスタを非導通にしたときのリーク電流(オフ電流)が極めて小さく、消費電力
の小さい回路を構成することが可能になる。
、酸化物半導体がインジウムを含むと、キャリア移動度(電子移動度)が高くなる。また
、酸化物半導体は、元素Mを含むと好ましい。元素Mは、好ましくは、アルミニウム(A
l)、ガリウム(Ga)、イットリウム(Y)またはスズ(Sn)などとする。そのほか
の元素Mに適用可能な元素としては、ホウ素(B)、シリコン(Si)、チタン(Ti)
、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、ゲルマニウム(Ge)、ジルコニウム(Zr)、モリ
ブデン(Mo)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、ハフニウム
(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)などがある。ただし、元素Mとして、
前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。元素Mは、例えば、酸素との結合
エネルギーが高い元素である。例えば、酸素との結合エネルギーがインジウムよりも高い
元素である。または、元素Mは、例えば、酸化物半導体のエネルギーギャップを大きくす
る機能を有する元素である。また、酸化物半導体は、亜鉛(Zn)を含むと好ましい。酸
化物半導体は、亜鉛を含むと結晶化しやすくなる場合がある。
半導体は、例えば、亜鉛スズ酸化物、ガリウムスズ酸化物などの、インジウムを含まず、
亜鉛を含む酸化物半導体、ガリウムを含む酸化物半導体、スズを含む酸化物半導体などで
あっても構わない。
及び構成例を適用することが可能である。
本実施の形態では、レベルシフタLS、パストランジスタロジックPTL、及びアンプ
AMPを含む表示装置の回路ブロック図について説明する。図22には、ソースドライバ
、ゲートドライバ、表示部の回路ブロック図を示している。
01、及び表示部102を有する。また図22では、表示部102中にマトリクス状に配
置された複数の画素103を示している。
シフタLS、パストランジスタロジックPTL、電圧生成回路V−gene、及びアンプ
AMPを有する。ソースドライバ100は、複数のソース線SLにアナログの画像データ
を出力する機能を有する。また、ドライバICでソースドライバ100を作製してもよい
。
が入力される。シフトレジスタSRはサンプリングパルスを生成し、データラッチD−L
atchに出力する。
ータであるデータ信号DATA[0]乃至DATA[k−1]が入力される。データラッ
チD−Latchでは、データ信号DATA[0]乃至DATA[k−1]がサンプリン
グパルスに従ってラッチされる。データラッチD−Latchは、ラッチしたデータ信号
DATA[0]乃至DATA[k−1]をレベルシフタLSに出力する。
昇圧し、実施の形態1に示した信号DECPB[0]乃至DECPB[k−1]にして出
力する。
パストランジスタロジックPTLは、昇圧された信号DECPB[0]乃至DECPB[
k−1]に従ってトランジスタの導通状態を制御し、電圧生成回路V−geneで生成さ
れる電圧V[0]乃至V[j−1]に応じたアナログ信号である出力信号PTL_OUT
を出力する。実施の形態1に示したPTL10又はPTL30を、パストランジスタロジ
ックPTLに適用してもよい。
dataとして出力する。
ナログ信号となる。
トドライバ101は、ゲートスタートパルス、ゲートクロック等が入力され、パルス信号
を出力する。ゲートドライバ101を構成する回路は、ソースドライバ100と同様にI
C化してもよいし、表示部102の画素103が有するトランジスタと同じトランジスタ
を用いてもよい。
ライバ101を複数設け、複数のゲートドライバ101により、複数のゲート線GLを分
割して制御してもよい。
設けられている。ゲート線GLとソース線SLの交差部には、画素103が設けられる。
なお表示部102における画素103の配置は、カラー表示であれば、RGB(赤緑青)
の各色に対応した画素が順に設けられる。なお、RGBの画素の配列は、ストライプ配列
、モザイク配列、デルタ配列等適宜用いることができる。またRGBに限らず、白あるい
は黄といった色を追加してカラー表示を行う構成としてもよい。
容量素子860と、を有する。
定される。液晶素子870は、書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、
複数の画素回路103aのそれぞれが有する液晶素子870の一対の電極の一方に共通の
電位(コモン電位)を与えてもよい。また、各行の画素回路103aの液晶素子870の
一対の電極の一方に異なる電位を与えてもよい。
ード、VAモード、ASM(Axially Symmetric Aligned M
icro−cell)モード、OCB(Optically Compensated
Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liqu
id Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Li
quid Crystal)モード、MVAモード、PVA(Patterned Ve
rtical Alignment)モード、IPSモード、FFSモード、又はTBA
(Transverse Bend Alignment)モードなどを用いてもよい。
また、表示装置の駆動方法としては、上述した駆動方法の他、ECB(Electric
ally Controlled Birefringence)モード、PDLC(P
olymer Dispersed Liquid Crystal)モード、PNLC
(Polymer Network Liquid Crystal)モード、ゲストホ
ストモードなどがある。ただし、これに限定されず、液晶素子及びその駆動方式として様
々なものを用いることができる。
方は、ソース線SLに電気的に接続され、他方は液晶素子870の一対の電極の他方に電
気的に接続される。また、トランジスタ850のゲート電極は、ゲート線GLに電気的に
接続される。トランジスタ850は、画像データの書き込みを制御する機能を有する。
)に電気的に接続され、他方は、液晶素子870の一対の電極の他方に電気的に接続され
る。なお、電位供給線VLの電位の値は、画素回路103aの仕様に応じて適宜設定され
る。容量素子860は、書き込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。
すゲートドライバ101により各行の画素回路103aを順次選択し、トランジスタ85
0をオン状態にして画像データを書き込む。
で保持状態になる。これを行毎に順次行うことにより、画像を表示できる。
る。
62と、発光素子872と、を有する。
は、ソース線SLに電気的に接続される。さらに、トランジスタ852のゲート電極は、
ゲート線GLに電気的に接続される。
_aという)に電気的に接続され、他方は、トランジスタ852のソース電極及びドレイ
ン電極の他方に電気的に接続される。
気的に接続される。さらに、トランジスタ854のゲート電極は、トランジスタ852の
ソース電極及びドレイン電極の他方に電気的に接続される。
され、他方は、トランジスタ854のソース電極及びドレイン電極の他方に電気的に接続
される。
もいう)などを用いることができる。ただし、発光素子872としては、これに限定され
ず、無機材料からなる無機EL素子を用いても良い。
えられ、他方には、低電源電位VSSが与えられる。
ドライバ101により各行の画素回路103bを順次選択し、トランジスタ852をオン
状態にして画像データを書き込む。
で保持状態になる。さらに、書き込まれたデータ信号の電位に応じてトランジスタ854
のソース電極とドレイン電極の間に流れる電流量が制御され、発光素子872は、流れる
電流量に応じた輝度で発光する。これを行毎に順次行うことにより、画像を表示できる。
に用いるトランジスタを利用することができる。
路と比較して、画素回路が画像信号を保持することができる時間を長くすることができる
。また、酸化物半導体を半導体膜に用いるトランジスタは、アモルファスシリコンを半導
体膜に用いたトランジスタに比べて移動度が高く、例えばトランジスタの微細化が可能で
ある。
部の補正回路に接続されていてもよい。その一例を図24及び図25に示す。
Lを追加したものである。
給される。
路を含む。
ライバ100に入力されるデータ信号DATA[0]乃至DATA[k−1]を補正する
機能を有する。
い。
量素子668と、発光素子664とを有する。
65のゲートとの間の導通状態を制御する機能を有する。トランジスタ665は、ソース
及びドレインの一方が、発光素子664のアノード及びカソードの一方に電気的に接続さ
れ、ソース及びドレインの他方が電位供給線VL_aに電気的に接続されている。トラン
ジスタ667は、配線MLと、トランジスタ665のソース及びドレインの一方の間の導
通状態を制御する機能を有する。容量素子668の一対の電極のうち、一方はトランジス
タ665のゲートに電気的に接続され、他方は発光素子664のアノード及びカソードの
一方に電気的に接続されている。発光素子664のアノード及びカソードの他方は、電位
供給線VL_bに電気的に接続されている。
電位に従って行われる。
04に供給される。補正回路104は、当該電流の値をモニターし、ソースドライバ10
0に供給されるデータ信号DATA[0]乃至DATA[k−1]を補正する。
素子、及び発光素子を有する装置である発光装置は、様々な形態を用いること、又は様々
な素子を有することが出来る。表示素子、表示装置、発光素子又は発光装置は、例えば、
EL(エレクトロルミネッセンス)素子(有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素
子、無機EL素子)、LED(白色LED、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)
、トランジスタ(電流に応じて発光するトランジスタ)、電子放出素子、液晶素子、電子
インク、電気泳動素子、グレーティングライトバルブ(GLV)、プラズマディスプレイ
パネル(PDP)、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)を用いた
表示素子、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、DMS(デジタル・マイクロ・
シャッター)、MIRASOL(登録商標)、IMOD(インターフェロメトリック・モ
ジュレーション)素子、シャッター方式のMEMS表示素子、光干渉方式のMEMS表示
素子、エレクトロウェッティング素子、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチュ
ーブを用いた表示素子などの少なくとも一つを有している。これらの他にも、電気的また
は磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有
していても良い。EL素子を用いた表示装置の一例としては、ELディスプレイなどがあ
る。電子放出素子を用いた表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレ
イ(FED)又はSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface−condu
ction Electron−emitter Display)などがある。液晶素
子を用いた表示装置の一例としては、液晶ディスプレイ(透過型液晶ディスプレイ、半透
過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶
ディスプレイ)などがある。電子インク、電子粉流体(登録商標)、又は電気泳動素子を
用いた表示装置の一例としては、電子ペーパーなどがある。なお、半透過型液晶ディスプ
レイや反射型液晶ディスプレイを実現する場合には、画素電極の一部、または、全部が、
反射電極としての機能を有するようにすればよい。例えば、画素電極の一部、または、全
部が、アルミニウム、銀、などを有するようにすればよい。さらに、その場合、反射電極
の下に、SRAMなどの記憶回路を設けることも可能である。これにより、さらに、消費
電力を低減することができる。なお、LEDを用いる場合、LEDの電極や窒化物半導体
の下に、グラフェンやグラファイトを配置してもよい。グラフェンやグラファイトは、複
数の層を重ねて、多層膜としてもよい。このように、グラフェンやグラファイトを設ける
ことにより、その上に、窒化物半導体、例えば、結晶を有するn型GaN半導体層などを
容易に成膜することができる。さらに、その上に、結晶を有するp型GaN半導体層など
を設けて、LEDを構成することができる。なお、グラフェンやグラファイトと、結晶を
有するn型GaN半導体層との間に、AlN層を設けてもよい。なお、LEDが有するG
aN半導体層は、MOCVDで成膜してもよい。ただし、グラフェンを設けることにより
、LEDが有するGaN半導体層は、スパッタ法で成膜することも可能である。
本実施の形態では、上述の実施の形態で説明した半導体装置を用いた応用例として、電
子部品に適用する例、該電子部品を表示モジュールに適用する例、該表示モジュールの応
用例、及び電子機器への応用例について、図26乃至図29を用いて説明する。
について説明する。なお電子部品は、半導体パッケージ、又はIC用パッケージともいう
。この電子部品は、端子取り出し方向や、端子の形状に応じて、複数の規格や名称が存在
する。そこで、本実施の形態では、その一例について説明することにする。
程(後工程)を経て、プリント基板に脱着可能な部品が複数合わさることで完成する。
具体的には、前工程で得られる素子基板が完成(ステップS1)した後、基板の裏面を研
削する(ステップS2)。この段階で基板を薄膜化することで、前工程での基板の反り等
を低減し、部品としての小型化を図るためである。
、分離したチップを個々にピックアップしてインターポーザ上に搭載し接合する、ダイボ
ンディング工程を行う(ステップS3)。このダイボンディング工程におけるチップとイ
ンターポーザとの接着は、樹脂による接着や、テープによる接着等、適宜製品に応じて適
した方法を選択する。
に接続する、ワイヤーボンディングを行う(ステップS4)。金属の細線には、銀線や金
線を用いることができる。また、ワイヤーボンディングは、ボールボンディングや、ウェ
ッジボンディングを用いることができる。
施される(ステップS5)。モールド工程を行うことで電子部品の内部が樹脂で充填され
、機械的な外力による内蔵される回路部やワイヤーに対するダメージを低減することがで
き、また水分や埃による特性の劣化を低減することができる。
終的な検査工程(ステップS7)を経て電子部品が完成する(ステップS8)。
とができる。そのため、小型化、信頼性に優れた電子部品を実現することができる。
部品800は、インターポーザ802の表面に半導体装置801が設けられる。半導体装
置801は、ワイヤー805を介してインターポーザ802表面の配線に接続され、イン
ターポーザ裏面に設けられたバンプ端子806と電気的に接続される。インターポーザ8
02上の半導体装置801は、エポキシ樹脂804が充填され、パッケージ803によっ
て封止される。
ed Circuit)、あるいは表示パネル上に実装される。
(B)を用いて説明する。
12A、712Bが設けられ、ソースドライバ714として基板713上に複数の電子部
品800が実装される例を示している。
13上に実装される。
バ712A、712Bが設けられ、ソースドライバ714としてFPC715上に複数の
電子部品800が実装される例を示している。
を大きく設けることができ、狭額縁化を達成することができる。
図28を用いて説明を行う。
の間に、FPC8003に接続されたタッチパネル8004、FPC8005に接続され
た表示パネル8006、バックライトユニット8007、フレーム8009、プリント基
板8010、バッテリー8011を有する。なお、バックライトユニット8007、バッ
テリー8011、タッチパネル8004などは、設けられない場合もある。
6に用いることができる。
8006のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更することができる。
8006に重畳して用いることができる。また、表示パネル8006の対向基板(封止基
板)に、タッチパネル機能を持たせるようにすることも可能である。または、表示パネル
8006の各画素内に光センサを設け、光学式のタッチパネルとすることも可能である。
または、表示パネル8006の各画素内にタッチセンサ用電極を設け、静電容量方式のタ
ッチパネルとすることも可能である。
トユニット8007の端部に設け、光拡散板を用いる構成としてもよい。
作により発生する電磁波を遮断するための電磁シールドとしての機能を有する。またフレ
ーム8009は、放熱板としての機能を有していてもよい。
号処理回路を有する。電源回路に電力を供給する電源としては、外部の商用電源であって
も良いし、別途設けたバッテリー8011による電源であってもよい。バッテリー801
1は、商用電源を用いる場合には、省略可能である。
追加して設けてもよい。
も含む)、電子ペーパー、テレビジョン装置(テレビ、又はテレビジョン受信機ともいう
)、デジタルビデオカメラなどの電子機器の表示パネルを、上述の電子部品を適用した表
示パネルとする場合について説明する。
03a、第2の表示部903bなどによって構成されている。筐体901と筐体902の
少なくとも一部には、先の実施の形態に示す半導体装置を有する電子部品が設けられてい
る。そのため、小型化、信頼性に優れた携帯型の情報端末が実現される。
29(A)の左図のように、第1の表示部903aに表示される選択ボタン904により
「タッチ入力」を行うか、「キーボード入力」を行うかを選択できる。選択ボタンは様々
な大きさで表示できるため、幅広い世代の人が使いやすさを実感できる。ここで、例えば
「キーボード入力」を選択した場合、図29(A)の右図のように第1の表示部903a
にはキーボード905が表示される。これにより、従来の情報端末と同様に、キー入力に
よる素早い文字入力などが可能となる。
表示部903a及び第2の表示部903bのうち、一方を取り外すことができる。第2の
表示部903bもタッチ入力機能を有するパネルとし、持ち運びの際、さらなる軽量化を
図ることができ、一方の手で筐体902を持ち、他方の手で操作することができるため便
利である。
ど)を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示部に表示する機能、表示部に
表示した情報を操作又は編集する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理
を制御する機能、等を有することができる。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子
(イヤホン端子、USB端子など)、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。
もよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロー
ドする構成とすることも可能である。
帯電話として用いてもよい。
体912の2つの筐体で構成されている。筐体911及び筐体912には、それぞれ表示
部913及び表示部914が設けられている。筐体911と筐体912は、軸部915に
より接続されており、該軸部915を軸として開閉動作を行うことができる。また、筐体
911は、電源916、操作キー917、スピーカー918などを備えている。筐体91
1、筐体912の少なくとも一には、先の実施の形態に示す半導体装置を有する電子部品
が設けられている。そのため、小型化、信頼性に優れた電子書籍端末が実現される。
3などで構成されている。テレビジョン装置の操作は、筐体921が備えるスイッチや、
リモコン操作機924により行うことができる。筐体921及びリモコン操作機924に
は、先の実施の形態に示す半導体装置を有する電子部品が搭載されている。そのため、小
型化、信頼性に優れたテレビジョン装置が実現される。
ー932と、マイク933と、操作ボタン934等が設けられている。本体930内には
、先の実施の形態に示す半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため小型化
、信頼性に優れたスマートフォンが実現される。
43などによって構成されている。本体941内には、先の実施の形態に示す半導体装置
を有する電子部品が設けられている。そのため、小型化、信頼性に優れたデジタルカメラ
が実現される。
有する電子部品が搭載されている。このため、小型化、信頼性に優れた電子機器が実現さ
れる。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示パネルの構成について、図30乃至図33を
参照しながら説明する。
は本発明の一態様の表示パネル700の下面図である。図30(B−1)は図30(A)
の一部を説明する下面図であり、図30(B−2)は図30(B−1)に図示する一部の
構成を省略して説明する下面図である。
は図30(A)の切断線X3−X4、X5−X6、X7−X8、X9−X10、X11−
X12、X13−X14における断面図である。図31(B)は表示パネルの一部の構成
を説明する断面図であり、図31(C)は表示パネルの他の一部の構成を説明する断面図
である。
明の一態様の表示パネル700が備える画素回路に用いることができる画素回路530(
i,j)および画素回路530(i,j+1)の回路図である。
は本発明の一態様の表示パネル700に用いることができる画素および配線等の配置を説
明するブロック図である。図33(B−1)および図33(B−2)は本発明の一態様の
表示パネル700に用いることができる開口部751Hの配置を説明する模式図である。
本実施の形態で説明する表示パネル700は、信号線S1(j)と、画素702(i,
j)と、を有する(図30(B−1)および図30(B−2)参照)。
の導電膜と、絶縁膜501Cと、画素回路530(i,j)と、第2の表示素子550(
i,j)と、を有する(図31(A)および図32参照)。
)参照)。例えば、第1の導電膜を、第1の表示素子750(i,j)の第1の電極75
1(i,j)に用いることができる。
ッチSW1に用いることができるトランジスタのソース電極またはドレイン電極として機
能する導電膜512Bに用いることができる。
電膜をソース電極またはドレイン電極として機能する導電膜512Bに用いたトランジス
タを、画素回路530(i,j)のスイッチSW1に用いることができる(図31(A)
および図32参照)。
。
、導電膜512Bは、第1の導電膜を兼ねる第1の電極751(i,j)と電気的に接続
される。
。なお、導電膜512Aは、信号線S1(j)と電気的に接続される(図31(A)およ
び図32参照)。
W1を備える。スイッチSW1はトランジスタを含み、トランジスタは、酸化物半導体を
含む。
の表示素子750(i,j)が表示をする方向と同一の方向に表示をする機能を備える。
例えば、外光を反射する強度を制御して第1の表示素子750(i,j)が表示をする方
向を、破線の矢印で図中に示す。また、第2の表示素子550(i,j)が表示をする方
向を、実線の矢印で図中に示す(図31(A)参照)。
の表示素子750(i,j)が表示をする領域に囲まれた領域に表示をする機能を備える
。なお、第1の表示素子750(i,j)は、第1の電極751(i,j)と重なる領域
に表示をし、第2の表示素子550(i,j)は、開口部751Hと重なる領域に表示を
する。
する光を反射する機能を備える反射膜と、反射する光の強さを制御する機能と、を有する
。そして、反射膜は、開口部751Hを備える。なお、例えば、第1の表示素子750(
i,j)の反射膜に、第1の導電膜または第1の電極751(i,j)等を用いることが
できる。
を有する。
02(i,1)乃至画素702(i,n)と、他の一群の画素702(1,j)乃至画素
702(m,j)と、走査線G1(i)と、を有する(図33(A)参照)。なお、iは
1以上m以下の整数であり、jは1以上n以下の整数であり、mおよびnは1以上の整数
である。
、配線ANOと、を有する。
み、行方向(図中に矢印Rで示す方向)に配設される。
,j)を含み、行方向と交差する列方向(図中に矢印Cで示す方向)に配設される。
(i,n)と電気的に接続される。
号線S1(j)と電気的に接続される。
702(i,j)に対する開口部751Hの配置と異なるように画素702(i,j+1
)に配置される開口部を備える(図33(B−1)参照)。
702(i,j)に対する開口部751Hの配置と異なるように画素702(i+1,j
)に配置される開口部を備える(図33(B−2)参照)。なお、例えば、第1の電極7
51(i,j)を反射膜に用いることができる。
続される第1の導電膜と、第1の導電膜と重なる領域を備える第2の導電膜と、第2の導
電膜と第1の導電膜の間に挟まれる領域を備える絶縁膜と、第2の導電膜と電気的に接続
される画素回路と、画素回路と電気的に接続される第2の表示素子と、を含み、絶縁膜は
開口部を備え、第2の導電膜は第1の導電膜と開口部で電気的に接続される。
の表示素子と、第1の表示素子とは異なる方法を用いて表示をする第2の表示素子と、を
駆動することができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示パネルを提供
することができる。
有する(図31(A)参照)。
また、絶縁膜501Cは、開口部591Bを備える。
、導電膜511Bは、画素回路530(i,j)と電気的に接続される。なお、例えば、
第1の電極751(i,j)または第1の導電膜を反射膜に用いる場合、端子519Bの
接点として機能する面は、第1の電極751(i,j)の、第1の表示素子750(i,
j)に入射する光に向いている面と同じ方向を向いている。
結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示パネルを提供することができる。
材料を含む層753と、第1の電極751(i,j)および第2の電極752と、を備え
る。なお、第2の電極752は、第1の電極751(i,j)との間に液晶材料の配向を
制御する電界が形成されるように配置される。
る。配向膜AF2は、配向膜AF1との間に液晶材料を含む層753を挟むように配設さ
れる。
の電極551(i,j)と、第4の電極552と、発光性の有機化合物を含む層553(
j)と、を備える。
機化合物を含む層553(j)は、第3の電極551(i,j)および第4の電極552
の間に配設される。そして、第3の電極551(i,j)は、接続部522において、画
素回路530(i,j)と電気的に接続される。
、遮光膜BMと、絶縁膜771と、機能膜770Pと、を有する。
は、第1の表示素子750(i,j)と重なる領域に開口部を備える。
材料を含む層753の間に配設される。これにより、着色膜CF1の厚さに基づく凹凸を
平坦にすることができる。または、遮光膜BMまたは着色膜CF1等から液晶材料を含む
層753への不純物の拡散を、抑制することができる。
70Pは、第1の表示素子750(i,j)との間に基板770を挟むように配設される
。
20と、を有する。
基板770の間に配設される。
絶縁膜521と、絶縁膜528と、を含む。また、機能層520は、絶縁膜518および
絶縁膜516を含む。
間に配設される。
0(i,j)と重なる領域に開口部を備える。第3の電極551の周縁に沿って形成され
る絶縁膜528は、第3の電極551および第4の電極552の短絡を防止することがで
きる。
備え、絶縁膜516は、絶縁膜518および画素回路530(i,j)の間に配設される
領域を備える。
体KB1と、を有する。
基板570を貼り合せる機能を備える。
基板770を貼り合わせる機能を備える。
る。
電体CPと、を有する。
また、絶縁膜501Cは、開口部591Cを備える。
、導電膜511Cは、画素回路530(i,j)と電気的に接続される。
電極752を電気的に接続する。例えば、導電性の粒子を導電体CPに用いることができ
る。
する(図30(A)および図33(A)参照)。
ランジスタMDを備える。具体的には、画素回路530(i,j)に含まれるトランジス
タと同じ工程で形成することができる半導体膜を含むトランジスタをトランジスタMDに
用いることができる(図31(A)および図31(C)参照)。
子519Bまたは端子519Cと同一の工程で形成することができる端子に導電材料を用
いて電気的に接続される。
が本発明の一態様のPTL回路を有することにより、駆動回路SDの集積化が可能となる
。駆動回路SDとして例えば、実施の形態2に示すソースドライバ100の記載を参照す
ることができる。
確に分離できず、一つの構成が他の構成を兼ねる場合や他の構成の一部を含む場合がある
。
1の導電膜を、反射膜に用いることができる。
導電膜512Bに用いることができる。
本発明の一態様の表示パネルは、基板570、基板770、構造体KB1封止材705ま
たは接合層505、を有する。
を有する。
G1(i)、走査線G2(i)、配線CSCOM、配線ANOを有する。
または導電膜511Cを有する。
を有する。
751(i,j)、反射膜、開口部751H、液晶材料を含む層753、第2の電極75
2、を有する。
遮光膜BM、絶縁膜771、機能膜770Pを有する。
551(i,j)、第4の電極552または発光性の有機化合物を含む層553(j)を
有する。
作製工程中の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有する材料を基板570等に用いることが
できる。具体的には厚さ0.7mmの無アルカリガラスを用いることができる。
0mm)、第8世代(2200mm×2400mm)、第9世代(2400mm×280
0mm)、第10世代(2950mm×3400mm)等の面積が大きなガラス基板を基
板570等に用いることができる。これにより、大型の表示装置を作製することができる
。
ことができる。例えば、ガラス、セラミックス、金属等の無機材料を基板570等に用い
ることができる。
石英またはサファイア等を、基板570等に用いることができる。具体的には、無機酸化
物膜、無機窒化物膜または無機酸化窒化物膜等を、基板570等に用いることができる。
例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化アルミニウム等を、基板
570等に用いることができる。SUSまたはアルミニウム等を、基板570等に用いる
ことができる。
コンゲルマニウム等の化合物半導体基板、SOI基板等を基板570等に用いることがで
きる。これにより、半導体素子を基板570等に形成することができる。
ことができる。具体的には、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、
ポリカーボネートまたはアクリル樹脂等の樹脂フィルムまたは樹脂板を、基板570等に
用いることができる。
せた複合材料を基板570等に用いることができる。例えば、繊維状または粒子状の金属
、ガラスもしくは無機材料等を樹脂フィルムに分散した複合材料を、基板570等に用い
ることができる。例えば、繊維状または粒子状の樹脂もしくは有機材料等を無機材料に分
散した複合材料を、基板570等に用いることができる。
きる。例えば、基材と基材に含まれる不純物の拡散を防ぐ絶縁膜等が積層された材料を、
基板570等に用いることができる。具体的には、ガラスとガラスに含まれる不純物の拡
散を防ぐ酸化シリコン層、窒化シリコン層または酸化窒化シリコン層等から選ばれた一ま
たは複数の膜が積層された材料を、基板570等に用いることができる。または、樹脂と
樹脂を透過する不純物の拡散を防ぐ酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリ
コン膜等が積層された材料を、基板570等に用いることができる。
る。ここで、樹脂フィルムは例えば、シロキサン結合を有する樹脂、アクリル樹脂、ポリ
エステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、またはポリウ
レタン、等を有することが好ましい。
ト(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)またはアクリル等を基板570等に用
いることができる。
。また、例えば作製工程中に加わる熱に耐熱性を有する工程用の基板にトランジスタまた
は容量素子等を形成し、形成されたトランジスタまたは容量素子等を基板570等に転置
する方法を用いることができる。これにより、例えば可撓性を有する基板にトランジスタ
または容量素子等を形成できる。
例えば、透光性を備える材料を基板770に用いることができる。具体的には、基板57
0に用いることができる材料から選択された材料を基板770に用いることができる。具
体的には厚さ0.7mmまたは厚さ0.1mm程度まで研磨した無アルカリガラスを用い
ることができる。
例えば、有機材料、無機材料または有機材料と無機材料の複合材料を構造体KB1等に用
いることができる。これにより、構造体KB1等を挟む構成の間に所定の間隔を設けるこ
とができる。
ート、ポリシロキサン若しくはアクリル樹脂等またはこれらから選択された複数の樹脂の
複合材料などを構造体KB1等に用いることができる。また、感光性を有する材料を用い
て形成してもよい。
無機材料、有機材料または無機材料と有機材料の複合材料等を封止材705等に用いるこ
とができる。
ことができる。
着剤等の有機材料を封止材705等に用いることができる。
ミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチ
ラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等を含む接着剤を封止材705等
に用いることができる。
例えば、封止材705に用いることができる材料を接合層505に用いることができる。
例えば、絶縁性の無機材料、絶縁性の有機材料または無機材料と有機材料を含む絶縁性の
複合材料を、絶縁膜521等に用いることができる。
選ばれた複数を積層した積層材料を、絶縁膜521等に用いることができる。例えば、酸
化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等またはこれ
らから選ばれた複数を積層した積層材料を含む膜を、絶縁膜521等に用いることができ
る。
ート、ポリシロキサン若しくはアクリル樹脂等またはこれらから選択された複数の樹脂の
積層材料もしくは複合材料などを絶縁膜521等に用いることができる。また、感光性を
有する材料を用いて形成してもよい。
ことができる。
例えば、絶縁膜521に用いることができる材料を絶縁膜528等に用いることができる
。具体的には、厚さ1μmのポリイミドを含む膜を絶縁膜528に用いることができる。
例えば、絶縁膜521に用いることができる材料を絶縁膜501Cに用いることができる
。具体的には、シリコンおよび酸素を含む材料を絶縁膜501Cに用いることができる。
これにより、画素回路または第2の表示素子等への不純物の拡散を抑制することができる
。
ることができる。
する。
導電性を備える材料を配線等に用いることができる。具体的には、導電性を備える材料を
、信号線S1(j)、信号線S2(j)、走査線G1(i)、走査線G2(i)、配線C
SCOM、配線ANO、端子519B、端子519C、導電膜511Bまたは導電膜51
1C等に用いることができる。
等に用いることができる。
ン、タングステン、ニッケル、鉄、コバルト、パラジウムまたはマンガンから選ばれた金
属元素などを、配線等に用いることができる。または、上述した金属元素を含む合金など
を、配線等に用いることができる。特に、銅とマンガンの合金がウエットエッチング法を
用いた微細加工に好適である。
ン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、窒化タ
ンタル膜または窒化タングステン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、チタン膜と
、そのチタン膜上にアルミニウム膜を積層し、さらにその上にチタン膜を形成する三層構
造等を配線等に用いることができる。
、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物を、配線等に用いることができる。
より、グラフェンを含む膜を形成することができる。還元する方法としては、熱を加える
方法や還元剤を用いる方法等を挙げることができる。
例えば、配線等に用いることができる材料を第1の導電膜または第2の導電膜に用いるこ
とができる。
。
等を第2の導電膜に用いることができる。
画素回路530(i,j)は、信号線S1(j)、信号線S2(j)、走査線G1(i)
、走査線G2(i)、配線CSCOMおよび配線ANOと電気的に接続される(図32参
照)。
査線G1(i)、走査線G2(i)、配線CSCOMおよび配線ANOと電気的に接続さ
れる。
する信号に用いる電圧と異なる場合、信号線S1(j+1)を信号線S2(j)から離し
て配置する。具体的には、信号線S2(j+1)を信号線S2(j)に隣接するように配
置する。
ンジスタMおよび容量素子C2を含む。
気的に接続される第1の電極と、を有するトランジスタを、スイッチSW1に用いること
ができる。
れる第1の電極と、配線CSCOMに電気的に接続される第2の電極と、を有する。
気的に接続される第1の電極と、を有するトランジスタを、スイッチSW2に用いること
ができる。
されるゲート電極と、配線ANOと電気的に接続される第1の電極と、を有する。
タを、トランジスタMに用いることができる。例えば、トランジスタMの第1の電極と同
じ電位を供給することができる配線と電気的に接続された導電膜を用いることができる。
れる第1の電極と、トランジスタMの第1の電極に電気的に接続される第2の電極と、を
有する。
2の電極と電気的に接続し、第1の表示素子750の第2の電極を配線VCOM1と電気
的に接続する。これにより、第1の表示素子750を駆動することができる。
続し、第2の表示素子550の第2の電極を配線VCOM2と電気的に接続する。これに
より、第2の表示素子550を駆動することができる。
例えば、ボトムゲート型またはトップゲート型等のトランジスタをスイッチSW1、スイ
ッチSW2、トランジスタM、トランジスタMD等に用いることができる。
できる。具体的には、シリコンを含む半導体を半導体膜に用いることができる。例えば、
単結晶シリコン、ポリシリコン、微結晶シリコンまたはアモルファスシリコンなどを半導
体膜に用いたトランジスタを用いることができる。
的には、インジウムを含む酸化物半導体またはインジウムとガリウムと亜鉛を含む酸化物
半導体を半導体膜に用いることができる。
オフ状態におけるリーク電流が小さいトランジスタをスイッチSW1、スイッチSW2、
トランジスタM、トランジスタMD等に用いることができる。具体的には、酸化物半導体
を半導体膜508に用いたトランジスタをスイッチSW1、スイッチSW2、トランジス
タM、トランジスタMD等に用いることができる。
路と比較して、画素回路が画像信号を保持することができる時間を長くすることができる
。具体的には、フリッカーの発生を抑制しながら、選択信号を30Hz未満、好ましくは
1Hz未満より好ましくは一分に一回未満の頻度で供給することができる。その結果、情
報処理装置の使用者に蓄積する疲労を低減することができる。また、駆動に伴う消費電力
を低減することができる。
508と重なる領域を備える導電膜504を備える(図31(B)参照)。また、スイッ
チSW1に用いることができるトランジスタは、導電膜512Aおよび導電膜512Bを
備える。
備える。また、導電膜512Aはソース電極の機能またはドレイン電極の機能の一方を備
え、導電膜512Bはソース電極の機能またはドレイン電極の機能の他方を備える。
えるトランジスタを、トランジスタMに用いることができる(図31(C)参照)。
の順で積層した導電膜を導電膜504に用いることができる。
さ200nmの膜と、を積層した材料を絶縁膜506に用いることができる。
ことができる。
チタンを含む厚さ100nmの膜と、をこの順で積層した導電膜を、導電膜512Aまた
は導電膜512Bに用いることができる。
例えば、光の反射または透過を制御する機能を備える表示素子を、第1の表示素子750
(i,j)等に用いることができる。例えば、液晶素子と偏光板を組み合わせた構成また
はシャッター方式のMEMS表示素子等を用いることができる。反射型の表示素子を用い
ることにより、表示パネルの消費電力を抑制することができる。具体的には、反射型の液
晶表示素子を第1の表示素子750(i,j)に用いることができる。
ematic)モード、FFS(Fringe Field Switching)モー
ド、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−ce
ll)モード、OCB(Optically Compensated Birefri
ngence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crys
tal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Cr
ystal)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる液晶素子を用いること
ができる。
n Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned V
ertical Alignment)モード、ECB(Electrically C
ontrolled Birefringence)モード、CPA(Continuo
us Pinwheel Alignment)モード、ASV(Advanced S
uper−View)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる液晶素子を用
いることができる。
性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。または、コレステリック相、スメクチ
ック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す液晶材料を用いること
ができる。または、ブルー相を示す液晶材料を用いることができる。
例えば、配線等に用いる材料を第1の電極751(i,j)に用いることができる。具体
的には、反射膜を第1の電極751(i,j)に用いることができる。
例えば、可視光を反射する材料を反射膜に用いることができる。具体的には、銀を含む材
料を反射膜に用いることができる。例えば、銀およびパラジウム等を含む材料または銀お
よび銅等を含む材料を反射膜に用いることができる。
、第1の表示素子750を反射型の液晶素子にすることができる。また、例えば、表面に
凹凸を備える材料を、反射膜に用いることができる。これにより、入射する光をさまざま
な方向に反射して、白色の表示をすることができる。
材料を含む層753と第1の電極751(i,j)の間に反射膜を配設する構成を用いる
ことができる。または、反射膜と液晶材料を含む層753の間に透光性を有する第1の電
極751(i,j)を配置する構成を用いることができる。
非開口部の総面積に対する開口部751Hの総面積の比の値が大きすぎると、第1の表
示素子750(i,j)を用いた表示が暗くなってしまう。また、非開口部の総面積に対
する開口部751Hの総面積の比の値が小さすぎると、第2の表示素子550(i,j)
を用いた表示が暗くなってしまう。
i,j)が射出する光から取り出せる光の効率が低下してしまう。
とができる。また、細長い筋状、スリット状、市松模様状の形状を開口部751Hの形状
に用いることができる。また、開口部751Hを隣接する画素に寄せて配置してもよい。
好ましくは、開口部751Hを同じ色を表示する機能を備える他の画素に寄せて配置する
。これにより、第2の表示素子550が射出する光が隣接する画素に配置された着色膜に
入射してしまう現象(クロストークともいう)を抑制できる。
例えば、可視光について透光性を有し且つ導電性を備える材料を、第2の電極752に用
いることができる。
の電極752に用いることができる。
。または、厚さ1nm以上10nm以下の金属薄膜を第2の電極752に用いることがで
きる。または、銀を含む金属ナノワイヤーを第2の電極752に用いることができる。
、ガリウムを添加した酸化亜鉛、アルミニウムを添加した酸化亜鉛などを、第2の電極7
52に用いることができる。
例えば、ポリイミド等を含む材料を配向膜AF1または配向膜AF2に用いることができ
る。具体的には、所定の方向に配向するようにラビング処理または光配向技術を用いて形
成された材料を用いることができる。
ができる。
所定の色の光を透過する材料を着色膜CF1に用いることができる。これにより、着色膜
CF1を例えばカラーフィルターに用いることができる。
、黄色の光を透過する材料または白色の光を透過する材料などを着色膜CF1に用いるこ
とができる。
光の透過を妨げる材料を遮光膜BMに用いることができる。これにより、遮光膜BMを例
えばブラックマトリクスに用いることができる。
例えば、ポリイミド、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を絶縁膜771に用いることができ
る。
例えば、偏光板、位相差板、拡散フィルム、反射防止膜または集光フィルム等を機能膜7
70Pに用いることができる。または、2色性色素を含む偏光板を機能膜770Pに用い
ることができる。
伴う傷の発生を抑制するハードコート膜などを、機能膜770Pに用いることができる。
例えば、発光素子を第2の表示素子550(i,j)に用いることができる。具体的には
、有機エレクトロルミネッセンス素子、無機エレクトロルミネッセンス素子または発光ダ
イオードなどを、第2の表示素子550(i,j)に用いることができる。
された積層体または赤色の光を射出するように積層された積層体等を、発光性の有機化合
物を含む層553(j)に用いることができる。
を含む層553(j)に用いることができる。また、発光性の有機化合物を含む層553
(j)とは異なる色の光を射出する信号線S1(j+1)に沿って列方向に長い帯状の積
層体を、発光性の有機化合物を含む層553(j+1)に用いることができる。
含む層553(j)および発光性の有機化合物を含む層553(j+1)に用いることが
できる。具体的には、青色の光を射出する蛍光材料を含む発光性の有機化合物を含む層と
、緑色および赤色の光を射出する蛍光材料以外の材料を含む層または黄色の光を射出する
蛍光材料以外の材料を含む層と、を積層した積層体を、発光性の有機化合物を含む層55
3(j)および発光性の有機化合物を含む層553(j+1)に用いることができる。
電極552に用いることができる。
する材料を、第3の電極551(i,j)に用いることができる。
ンジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛など
を、第3の電極551(i,j)に用いることができる。または、光が透過する程度に薄
い金属膜を第3の電極551(i,j)に用いることができる。
る材料を、第4の電極552に用いることができる。
シフトレジスタ等のさまざまな順序回路等を駆動回路GDに用いることができる。例えば
、トランジスタMD、容量素子等を駆動回路GDに用いることができる。具体的には、ト
ランジスタMと同一の工程で形成することができる半導体膜を備えるトランジスタを用い
ることができる。
タMDに用いることができる。具体的には、導電膜524を有するトランジスタをトラン
ジスタMDに用いることができる(図31(C)参照)。
24および半導体膜508の間に絶縁膜516を配設し、半導体膜508および導電膜5
04の間に絶縁膜506を配設する。例えば、導電膜504と同じ電位を供給する配線に
導電膜524を電気的に接続する。
駆動回路SDとして例えば、実施の形態2に示すソースドライバ100を用いることがで
きる。
,j)と電気的に接続されるパッドに駆動回路SDを実装することができる。具体的には
、異方性導電膜を用いて、パッドに集積回路を実装できる。
る。
酸化物半導体膜の抵抗率を制御する方法について説明する。
ることができる。
損を制御する方法を、酸化物半導体膜の抵抗率を制御する方法に用いることができる。
または低減する方法に用いることができる。
の中から選ばれた一種以上を含むガスを用いて行うプラズマ処理を適用できる。例えば、
Ar雰囲気下でのプラズマ処理、Arと水素の混合ガス雰囲気下でのプラズマ処理、アン
モニア雰囲気下でのプラズマ処理、Arとアンモニアの混合ガス雰囲気下でのプラズマ処
理、または窒素雰囲気下でのプラズマ処理などを適用できる。これにより、キャリア密度
が高く、抵抗率が低い酸化物半導体膜にすることができる。
ランテーション法などを用いて、水素、ボロン、リンまたは窒素を酸化物半導体膜に注入
して、抵抗率が低い酸化物半導体膜にすることができる。
膜に水素を拡散させる方法を用いることができる。これにより、酸化物半導体膜のキャリ
ア密度を高め、抵抗率を低くすることができる。
半導体膜に接して形成することで、効果的に水素を酸化物半導体膜に含有させることがで
きる。具体的には、窒化シリコン膜を酸化物半導体膜に接して形成する絶縁膜に用いるこ
とができる。
、酸素が脱離した格子(または酸素が脱離した部分)に酸素欠損を形成する。該酸素欠損
に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が
金属原子と結合する酸素と結合することで、キャリアである電子を生成する場合がある。
これにより、キャリア密度が高く、抵抗率が低い酸化物半導体膜にすることができる。
s Spectrometry)により得られる水素濃度が、8×1019atoms/
cm3以上、好ましくは1×1020atoms/cm3以上、より好ましくは5×10
20atoms/cm3以上である酸化物半導体膜を導電膜524に好適に用いることが
できる。
用いることができる。具体的には半導体膜508に好適に用いることができる。
半導体膜に接して形成し、絶縁膜から酸化物半導体膜に酸素を供給させて、膜中または界
面の酸素欠損を補填することができる。これにより、抵抗率が高い酸化物半導体膜にする
ことができる。
縁膜に用いることができる。
質的に高純度真性化された酸化物半導体膜といえる。ここで、実質的に真性とは、酸化物
半導体膜のキャリア密度が、8×1011/cm3未満、好ましくは1×1011/cm
3未満、さらに好ましくは1×1010/cm3未満であることを指す。高純度真性また
は実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、キャリア発生源が少ないため、キャリア
密度を低くすることができる。また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物
半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度を低減することができる。
タは、オフ電流が著しく小さく、チャネル幅が1×106μmでチャネル長が10μmの
素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧(ドレイン電圧)が1Vから10V
の範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち1
×10−13A以下という特性を備えることができる。
用いるトランジスタは、電気特性の変動が小さく、信頼性の高いトランジスタとなる。
s Spectrometry)により得られる水素濃度が、2×1020atoms/
cm3以下、好ましくは5×1019atoms/cm3以下、より好ましくは1×10
19atoms/cm3以下、5×1018atoms/cm3未満、好ましくは1×1
018atoms/cm3以下、より好ましくは5×1017atoms/cm3以下、
さらに好ましくは1×1016atoms/cm3以下である酸化物半導体膜を、トラン
ジスタのチャネルが形成される半導体膜に好適に用いることができる。
物半導体膜を、導電膜524に用いる。
水素を含む膜を、導電膜524に用いることができる。
える膜を、導電膜524に用いることができる。
3Ωcm以上1×10−1Ωcm未満である膜を、導電膜524に用いることができる。
る。
本実施の形態では、本発明の一態様の情報処理装置の構成について、図34を参照しな
がら説明する。
)および図34(C)は、情報処理装置260の外観の一例を説明する投影図である。
本実施の形態で説明する情報処理装置260は、演算装置210と入出力装置220と
、を有する(図34(A)参照)。
給する機能を備える。
を供給される。
る入力部240を備える。
重なる第2の表示素子235ELを備える。また、第1の表示素子235LCを駆動する
第1の画素回路および第2の表示素子235ELを駆動する第2の画素回路を備える。
を供給する機能を備える。
る。
する機能を備える。
給される入出力装置220と、位置情報P1を供給され画像情報Vを供給する演算装置2
10と、を含んで構成され、演算装置210は、位置情報P1の移動速度に基づいて画像
情報Vのコントラストまたは明るさを決定する機能を備える。
ことができ、使用者の目にやさしい表示をすることができる。また、消費電力を低減し、
直射日光等の明るい場所においても優れた視認性を提供できる。その結果、利便性または
信頼性に優れた新規な情報処理装置を提供することができる。
本発明の一態様の情報処理装置は、演算装置210または入出力装置220を備える。
演算装置210は、演算部261および記憶部262を備える。また、伝送路264およ
び入出力インターフェース265を備える(図34(A)参照)。
演算部261は、例えばプログラムを実行する機能を備える。
記憶部262は、例えば演算部261が実行するプログラム、初期情報、設定情報または
画像等を記憶する機能を有する。
タを用いたメモリ等を用いることができる。
入出力インターフェース265は端子または配線を備え、情報を供給し、情報を供給され
る機能を備える。例えば、伝送路264と電気的に接続することができる。また、入出力
装置220と電気的に接続することができる。
入出力インターフェース265と電気的に接続することができる。また、演算部261、
記憶部262または入出力インターフェース265と電気的に接続することができる。
入出力装置220は、表示部230、入力部240、検知部250または通信部290を
備える。
表示部230は、表示領域231と、駆動回路GDと、駆動回路SDと、を有する。
示パネルを用いることができる。
さまざまなヒューマンインターフェイス等を入力部240に用いることができる(図34
(A)参照)。
用いることができる。なお、表示部230に重なる領域を備えるタッチセンサを用いるこ
とができる。表示部230と表示部230に重なる領域を備えるタッチセンサを備える入
出力装置を、タッチパネルということができる。
タップ、ドラッグ、スワイプまたはピンチイン等)をすることができる。
析し、解析結果が所定の条件を満たすとき、特定のジェスチャーが供給されたとすること
ができる。これにより、使用者は、所定のジェスチャーにあらかじめ関連付けられた所定
の操作命令を、当該ジェスチャーを用いて供給できる。
ッチパネルに沿ってタッチパネルに接触する指を移動するジェスチャーを用いて供給でき
る。
検知部250は、周囲の状態を検知して情報P2を取得する機能を備える。
照度センサまたはGPS(Global positioning System)信号
受信回路等を、検知部250に用いることができる。
定の照度と比較して十分に明るいと判断した場合、画像情報を第1の表示素子235LC
を使用して表示する。または、薄暗いと判断した場合、画像情報を第1の表示素子235
LCおよび第2の表示素子235ELを使用して表示する。または、暗いと判断した場合
、画像情報を第2の表示素子235ELを使用して表示する。
基づいて画像を表示する。
おいて反射型の表示素子および自発光型の表示素子を用い、暗い環境において自発光型の
表示素子を用いて画像情報を表示することができる。その結果、消費電力が低減された、
利便性または信頼性に優れた新規な情報処理装置を提供することができる。
きる。具体的には、CCDカメラ等を用いることができる。これにより、例えば、検知部
250が検出した環境光の色度に基づいて、ホワイトバランスの偏りを補うことができる
。
足する色の光の強さを予測する。
用いて不足する色の光を補うように光を射出して、画像を表示する。
の表示素子が射出する光を用いて、ホワイトバランスの偏りが補正された表示をすること
ができる。その結果、消費電力が低減された、またはホワイトバランスが整えられた画像
を表示することができる、利便性または信頼性に優れた新規な情報処理装置を提供するこ
とができる。
通信部290は、ネットワークに情報を供給し、ネットワークから情報を取得する機能を
備える。
に基づいて、画像情報を生成してもよい。例えば、環境の明るさ等を検知して、画像情報
の背景に使用者の嗜好に合わせた色を用いることができる(図34(B)参照)。
報に基づいて、画像情報を生成してもよい。例えば、学校または大学等の教室で配信され
る教材を受信して表示して、教科書に用いることができる。または、企業等の会議室で配
信される資料を受信して表示することができる(図34(C)参照)。
る。
る。
AF2 配向膜
ANO 配線
C1 容量素子
C2 容量素子
CF1 着色膜
CO コンタクト
CO2 コンタクト
CSCOM 配線
G1 走査線
G2 走査線
GE ゲート電極
GL ゲート線
KB1 構造体
M トランジスタ
MD トランジスタ
ME1 配線
ME2 配線
ML 配線
N1 トランジスタ
N2 トランジスタ
P1 トランジスタ
P2 トランジスタ
PTL_OUT 出力端子
S1 信号線
S2 信号線
SEM 半導体
SL ソース線
SW1 スイッチ
SW2 スイッチ
V1 高電源電位
VCOM1 配線
VCOM2 配線
VDD 高電源電位
VSS 低電源電位
10 PTL
15 トランジスタ
16 トランジスタ
17 トランジスタ
30 PTL
100 ソースドライバ
101 ゲートドライバ
102 表示部
103 画素
103a 画素回路
103b 画素回路
103c 画素回路
104 補正回路
200 情報処理装置
201 基板
202 チャネル
203a 不純物領域
203b 不純物領域
204a 不純物領域
204b 不純物領域
205 素子分離層
207 側壁絶縁層
208 絶縁膜
210 演算装置
211 基板
212 チャネル
213a 不純物領域
213b 不純物領域
214a 不純物領域
214b 不純物領域
215 素子分離層
217 側壁絶縁層
218 絶縁膜
220 入出力装置
221 半導体
222 半導体
223 半導体
230 表示部
231 表示領域
235EL 表示素子
235LC 表示素子
240 入力部
250 検知部
261 演算部
262 記憶部
264 伝送路
265 入出力インターフェース
290 通信部
301 トランジスタ
302 トランジスタ
303 トランジスタ
304 トランジスタ
305 トランジスタ
306 トランジスタ
307 トランジスタ
308 トランジスタ
401 トランジスタ
401c トランジスタ
402 トランジスタ
402c トランジスタ
403 トランジスタ
403c トランジスタ
404 トランジスタ
404c トランジスタ
405 トランジスタ
405c トランジスタ
406 トランジスタ
406c トランジスタ
407 トランジスタ
407c トランジスタ
408 トランジスタ
501C 絶縁膜
504 導電膜
505 接合層
506 絶縁膜
508 半導体膜
511B 導電膜
511C 導電膜
512A 導電膜
512B 導電膜
516 絶縁膜
518 絶縁膜
519B 端子
519C 端子
520 機能層
521 絶縁膜
522 接続部
524 導電膜
528 絶縁膜
530 画素回路
550 表示素子
551 電極
552 電極
553 発光性の有機化合物を含む層
554 トランジスタ
570 基板
571 電極
591A 開口部
591B 開口部
591C 開口部
664 発光素子
665 トランジスタ
666 トランジスタ
667 トランジスタ
668 容量素子
700 表示パネル
702 画素
705 封止材
711 表示部
712A ゲートドライバ
712B ゲートドライバ
713 基板
714 ソースドライバ
715 FPC
716 外部回路基板
750 表示素子
751 電極
751H 開口部
752 電極
753 液晶材料を含む層
770 基板
770P 機能膜
771 絶縁膜
800 電子部品
801 半導体装置
802 インターポーザ
803 パッケージ
804 エポキシ樹脂
805 ワイヤー
806 バンプ端子
850 トランジスタ
852 トランジスタ
854 トランジスタ
860 容量素子
862 容量素子
870 液晶素子
872 発光素子
901 筐体
902 筐体
903a 表示部
903b 表示部
904 選択ボタン
905 キーボード
910 電子書籍端末
911 筐体
912 筐体
913 表示部
914 表示部
915 軸部
916 電源
917 操作キー
918 スピーカー
921 筐体
922 表示部
923 スタンド
924 リモコン操作機
930 本体
931 表示部
932 スピーカー
933 マイク
934 操作ボタン
941 本体
942 表示部
943 操作スイッチ
8000 表示モジュール
8001 上部カバー
8002 下部カバー
8003 FPC
8004 タッチパネル
8005 FPC
8006 表示パネル
8007 バックライトユニット
8008 光源
8009 フレーム
8010 プリント基板
8011 バッテリー
Claims (7)
- 第1回路と、第2回路と、第3回路と、を有し、
前記第1回路及び第2回路は、第1のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、
前記第3回路は、第2のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、
前記第2のチャネル幅は前記第1のチャネル幅よりも大きく、
前記第1回路は、kビットの電位である第1乃至第2Nの電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、
前記第2回路は、kビットの電位である第(2N+1)乃至第4Nの電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、
kは2N=2kを満たし、
前記第3回路は、前記第1回路が選択した電位または前記第2回路が選択した電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、
前記第1回路乃至前記第3回路の複数のトランジスタのチャネル幅方向は、第1の方向に沿って配置され、
前記第1回路乃至前記第3回路は、前記第1の方向に沿って配置され、
前記第3回路は、前記第1回路と前記第2回路に挟まれている半導体装置。 - 第1回路と、第2回路と、第3回路と、第4回路と、第5回路と、を有し、
前記第1回路乃至第4回路は、第1のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、
前記第5回路は、第2のチャネル幅をもつ複数のトランジスタを有し、
前記第2のチャネル幅は前記第1のチャネル幅よりも大きく、
前記第1回路は、kビットの電位である第1乃至第2Nの電位のうち、N個の電位を選択する機能を有し、
前記第2回路は、kビットの電位である第(2N+1)乃至第4Nの電位のうち、N個の電位を選択する機能を有し、
kは2N=2kを満たし、
前記第3回路は、前記第1回路が選択するN個の電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、
前記第4回路は、前記第2回路が選択するN個の電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、
前記第5回路は、前記第3回路が選択した電位または前記第4回路が選択した電位のうち、いずれか一を選択する機能を有し、
前記第3回路乃至前記第5回路の複数のトランジスタのチャネル幅方向は、第1の方向に沿って配置され、
前記第3回路乃至前記第5回路は、前記第1の方向に沿って配置され、
前記第5回路は、前記第3回路と前記第4回路に挟まれている半導体装置。 - 請求項2において、
前記第1回路は、第1乃至第2Nの電位がそれぞれ入力される2N個のトランジスタを有し、
前記2N個のトランジスタのゲート電極は、ひと続きの導電層で構成されている半導体装置。 - 請求項2または請求項3において、
前記第1回路および第2回路は、前記第1の方向に沿って配置され、
前記第1回路および第2回路は、前記第3回路乃至前記第5回路と並列に配置される半導体装置。 - 請求項2乃至請求項4のいずれか一において、
前記第2のチャネル幅は、前記第1のチャネル幅の2倍より大きく、5倍未満である半導体装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置と、
インターポーザと、を有し、
前記半導体装置は、前記インターポーザの表面に設けられ、
前記半導体装置は、ワイヤーを介して前記インターポーザの表面に設けられた配線と電気的に接続され、
前記半導体装置は、前記インターポーザの裏面に設けられたバンプ端子と電気的に接続された電子部品。 - 請求項6に記載の電子部品と、表示装置と、を有する電子機器。
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