JP6950552B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置（例えばインクジェット記録装置）が知られている。

インクジェット記録装置は、記録ヘッドからインク滴を、搬送される用紙（紙に限定するものではなく、ＯＨＰなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。）に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行うものであり、記録ヘッドに対して用紙を相対的に移動させつつ、印字信号に応じて記録ヘッドからインクを吐出させることにより用紙上にインク液滴を付着させ、そのインクドットによって用紙上に画像を形成する。
このようなインクジェット記録装置としては、記録が必要なときにのみインクの微小液滴を吐出するオンデマンド方式のものが主流となっている。

インクの吐出方法としては、インクを充填した液室の壁部の一部に振動板を設け、圧電アクチュエータ等により振動板を変位させて液室内の圧力を高めてノズルからインク液滴を吐出させる圧電式と、通電によって発熱する発熱体を液室内に設け、発熱体の発熱により生じる気泡によって液室内の圧力を高めてインク液滴を吐出させるサーマル式とが知られている。何れの方式においても、装置を駆動させるための駆動回路からの駆動信号により圧力発生源を駆動させ、ノズルからインク液滴を吐出させて被記録媒体上に付着させている。

液滴を吐出させるために個別液室を加圧したとき、圧力変動が圧力波となって、複数の個別液室に液体を供給する共通液室にも伝播する。この共通液室に伝播した圧力波が個別液室に逆伝播すると、個別液室の圧力を変動させ、ノズルのメニスカスを制御できなくなり、所要の滴速度、滴量（滴体積）で液滴を吐出できなくなったり、不吐出を引き起こしたりすることになる。また、共通液室に伝播した圧力波が隣接する個別液室に伝播して液体にも影響が及ぶ相互干渉が生じると、意図しないノズルからの液滴の漏洩や吐出、吐出状態の不安定（クロストーク）を誘発することになる。

この問題に対し、液室や流路の一部にダンパー構造を設け、隣接ノズルに圧力を伝わりにくくすることが知られている。また、循環機能を備えた液体吐出ヘッドにおいて、クロストークを低減するために気体貯留部を設け、貯留した気体をダンパーとして使用する技術も知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１では、止水域が形成され回収路から液体を回収する共通回収路を有し、止水域に気泡を溜める貯留部を有し、回収路の流路抵抗が供給路の流路抵抗より小さく、インク吐出時に圧力室内で発生した圧力変動が、共通供給路より共通回収路に伝播しやすい液滴吐出ヘッドが提案されている。

貯留した気体をダンパーとして使用する従来の技術においては、気体を収容するための貯留部を設けることによりインク容積が大きくなるという問題や、気体の量を一定に保つためにセンサ等の制御機構が必要となることがあり、装置の大型化やコストアップを招くという問題がある。
特許文献１の液滴吐出ヘッドにおいても、共通回収路内の気泡を検知する手段を備えることが好ましいとされており、そのような制御機構を設けることにより小型化やコスト低減の実現が難しくなるおそれがある。

そこで、本発明は、制御機構を設けることなく一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られるとともに、小型化とコスト低減を実現可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、複数の前記ノズルに連通する複数の個別液室、前記個別液室に液体を供給する供給流路、及び前記個別液室に連通し、該個別液室内の液体の一部を回収する循環流路を形成する流路板部材と、前記供給流路に液体を供給する共通供給液室、前記循環流路からの液体を収容する共通循環液室、及び気体を貯留可能な空間を有するバッファ室が形成されたフレーム部材と、を少なくとも備え、前記バッファ室は、前記流路板部材および／またはフレーム部材に形成されたバッファ流路を介して前記循環流路と連通し、内部に気体のみを透過する気体透過膜を備えることを特徴とする。

本発明によれば、制御機構を設けることなく一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られるとともに、小型化とコスト低減を実現可能な液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明を適用可能な従来の液体吐出ヘッドの一例を示す断面説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。 本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例を示す要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの一例示す要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す正面説明図である。

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

図１は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッドとして、従来のインクジェットヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
この液体吐出ヘッドは、インク供給口１ａ、共通供給液室１ｂ、インク排出口１ｃ、共通循環液室１ｄが形成されたフレーム部材と、流体抵抗部２ａ、個別液室（圧力発生室）２ｂ、供給流路２ｄが形成された供給流路板２Ｃとを有している。

また、液体吐出ヘッドは、個別液室２ｂを介して供給流路２ｄと循環流路２ｅとを連通する連通口２ｃが形成された連通流路板２Ｂと、循環流路２ｅが形成された循環流路板２Ａと、複数のノズル３ａが形成されたノズル板３とを有している。

さらに、液体吐出ヘッドは、凸部６ａ、ダイヤフラム部６ｂを有する振動板６と、振動板６に接合されたエネルギー発生素子としての積層圧電素子５と、積層圧電素子５を固定しているベース４とを備えている。

ベース４は、例えば、ステンレス材からなり、積層圧電素子５を２列に配置して接合している。

積層圧電素子５はハーフカットのダイシング加工により櫛歯状に分割され、一つ毎に駆動部と非駆動部である支持部として使用する。駆動部には、図示しないドライバが実装されたＦＰＣ８が半田接合されており、これにより駆動部への駆動電圧印加を制御している。

振動板６は、薄膜のダイヤフラム部６ｂと、ダイヤフラム部６ｂの中央部に形成した積層圧電素子５の駆動部と接合する島状凸部（アイランド部）である凸部６ａと、梁を含む厚膜部と、電鋳工法により開口を形成されたニッケル合金メッキ膜とを２層重ねることにより形成されている。凸部６ａと駆動部との接合及び振動板６とフレーム部材との接合は、ギャップ材を含んだ接着層をパターニングして接着している。

循環流路板２Ａ及び連通流路板２Ｂ及び供給流路板２Ｃを含む流路板部材２の材質としては、例えば、ステンレスが挙げられる。ステンレス材に対してプレス工法により流体抵抗部２ａ、圧力発生室２ｂ、連通口２ｃ、共通供給流路２ｄ、共通循環流路２ｅをそれぞれ作製することができる。また、打ち抜き幅を狭くする部分を設けてこれを流体抵抗部２ａとすることができる。

ノズル板３は、金属材料（例えば、ステンレス材）からなり、プレス加工によりインク液滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル３ａが多数形成されている。
ノズル３ａは、その内部（内側）形状がテーパ状を呈していることが好ましく、例えば、直径が吐出側で約２０〜３５μｍ、ピッチが１５０ｄｐｉとなるようにそれぞれ形成される。
フレーム部材は、例えば、ステンレス材からなり、切削加工によって共通供給液室１ｂ及び共通循環液室１ｄなどが形成される。

上述のように構成された液体吐出ヘッドでは、記録信号に応じて積層圧電素子５の駆動部に１０〜５０Ｖのパルス電圧からなる駆動波形が印加されることにより、積層圧電素子５の駆動部に積層方向の変位が生じて振動板６を介して個別液室２ｂが加圧され、圧力が上昇してノズル３ａからインク液滴が吐出される。その後、インク液滴吐出の終了に伴い個別液室２ｂ内のインク圧力が減少し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程とによって個別液室２ｂ内に負圧が発生し、インク充填工程へと移行する。
このとき、インクタンクから供給されたインクは共通供給液室１ｂに流入し、共通供給液室１ｂから図示しないインク流入口及び流体抵抗部２ａを介して個別液室２ｂ内に充填される。

流体抵抗部２ａは、インク液滴吐出後の残留圧力振動の減衰に効果がある反面、表面張力による最充填（リフィル）に対して抵抗となる。流体抵抗部２ａを適宜に選択することにより、残留圧力の減衰とリフィル時間とのバランスが取れ、次のインク液滴吐出動作に移行するまでの時間（駆動周期）を短くすることができる。

しかし上述した構成の従来の液体吐出ヘッドでは、供給流路２ｄと循環流路２ｅとの間にダンパー構造が構成できず、液滴吐出に悪影響を及ぼすという問題点があった。
そこで、この問題点を解決する本発明の液体吐出ヘッドの構成を以下に説明する。

〔第１の実施形態〕
図２は、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
本実施形態の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル３ａが形成されたノズル板３と、複数のノズル３ａに連通する複数の個別液室（圧力発生室）２ｂ、個別液室２ｂに液体を供給する供給流路２ｄ、及び個別液室２ｂに連通し、該個別液室内の液体の一部を回収する循環流路２ｅを形成する流路板部材２と、供給流路２ｄに液体を供給する共通供給液室１ｂ、循環流路２ｅからの液体を収容する共通循環液室１ｄ、及び気体を貯留可能な空間を有するバッファ室７ａが形成されたフレーム部材１と、を少なくとも備えている。

バッファ室７ａは、流路板部材２および／またはフレーム部材１に形成されたバッファ流路７ｃを介して循環流路２ｅと連通し、内部に気体のみを透過する気体透過膜７ｂを備えている。
また、バッファ室７ａは、大気と連通する構造であることが好ましい。

本実施形態において、フレーム部材１は、循環流路２ｅの長手方向のノズル３ａ側から共通供給液室１ｂ、共通循環液室１ｄ、及びバッファ室７ａがこの順に形成され、バッファ流路７ｃは、流路板部材２（連通流路板２Ｂ、供給流路板２Ｃ）およびフレーム部材１に形成されている。バッファ流路７ｃの一方の端部は循環流路２ｅの側端面に開口している。

バッファ室７ａは、重力と反対方向の面が大気開放されていて、バッファ室７ａから大気開放面の間に気体透過膜７ｂが設置されている。
気体透過膜７ｂとしては、気体（例えば、空気）のみを透過可能な膜であれば特に限定されないが、例えば、樹脂成の膜等が挙げられる。気体透過膜７ｂを設けることにより、ポンプなどによる加圧または大気圧のみでも容易にバッファ室７ａに気体を貯留することができる。

バッファ室７ａから溢れた気体は、バッファ流路７ｃを介して循環流路２ｅへ排出されるため、バッファ室７ａ内の気体の量は略一定に保たれる。

上述の構成により、制御機構を設けることなくバッファ室７ａに一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られる。また、気体量を一定にするためのセンサ等の手段が不要であるため、小型化とコスト低減を実現可能である。

〔第２の実施形態〕
図３は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
本実施形態は、上述の第１の実施形態に対し、バッファ室７ａ及びバッファ流路７ｃの配設位置が相違するが、その他の構成は同様である。

本実施形態において、フレーム部材１は、循環流路２ｅの長手方向のノズル３ａ側から共通供給液室１ｂ、バッファ室７ａ、及び共通循環液室１ｄがこの順に形成され、バッファ流路７ｃは、流路板部材２（連通流路板２Ｂ、供給流路板２Ｃ）およびフレーム部材１に形成されている。
バッファ流路７ｃの一方の端部は循環流路上（循環流路２ｅの流れ方向に沿った面）に開口している。

本実施形態におけるバッファ室７ａは、上述の第１の実施形態よりもノズル３ａに近い位置に配設されているため、より迅速に圧力変動を抑制することが可能である。
また、第１の実施形態と同様、バッファ室７ａから溢れた気体は、バッファ流路７ｃを介して循環流路２ｅへ排出されるため、バッファ室７ａ内の気体の量は略一定に保たれる。

上述の構成により、制御機構を設けることなくバッファ室７ａに一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られる。また、気体量を一定にするためのセンサ等の手段が不要であるため、小型化とコスト低減を実現可能である。

〔第３の実施形態〕
図４は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
本実施形態は、上述の第１の実施形態に対し、バッファ室７ａ及びバッファ流路７ｃの配設位置が相違するが、その他の構成は同様である。

本実施形態において、フレーム部材１は、循環流路２ｅの長手方向のノズル３ａ側から共通供給液室１ｂ、共通循環液室１ｄ、及びバッファ室７ａがこの順に形成され、バッファ流路７ｃは、フレーム部材１に形成されている。
バッファ流路７ｃの一方端は、共通循環液室１ｄの側端面に開口している。

本実施形態では、バッファ流路７ｃをフレーム部材１のみで形成しているため、流路板部材２に加工を行う必要がない。すなわち、バッファ室７ａ及びバッファ流路７ｃを一つの部品のみで形成することができる。
また、第１の実施形態と同様、バッファ室７ａから溢れた気体は、バッファ流路７ｃを介して循環流路２ｅに連通する共通循環液室１ｄへ排出されるため、バッファ室７ａ内の気体の量は略一定に保たれる。

上述の構成により、制御機構を設けることなくバッファ室７ａに一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られる。また、気体量を一定にするためのセンサ等の手段が不要であるため、小型化とコスト低減を実現可能である。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の例について図５を参照して説明する。図５は同装置の要部側面説明図である。
本実施形態の液体を吐出する装置は、上述の本発明に係る液体吐出ヘッドを備えている。

図５に示す液体を吐出する装置はシリアル型装置の例であり、主走査移動機構によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

搬送ベルト４１２は用紙を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
搬送ベルト４１２は、副走査モータによってタイミングベルト及びタイミングプーリを介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
用紙が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙に液体を吐出して画像を形成する。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの例について図６を参照して説明する。図６は同ユニットの要部平面説明図である。
本実施形態の液体吐出ユニットは、上述の本発明に係る液体吐出ヘッドを備えている。

この液体吐出ユニットは、液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、維持回復機構及び供給機構の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図７を参照して説明する。図７は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」には、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものとする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ フレーム部材
１ａ インク供給口
１ｂ 共通供給液室
１ｃ インク排出口
１ｄ 共通循環液室
２ 流路板部材
２Ａ 循環流路板
２Ｂ 連通流路板
２Ｃ 供給流路板
２ａ 流体抵抗部
２ｂ 個別液室（圧力発生室）
２ｃ 連通口
２ｄ 供給流路
２ｅ 循環流路
３ ノズル板
４ ベース
５ 積層圧電素子
６ 振動板
６ａ 凸部
６ｂ ダイヤフラム部
６ｃ 内部フィルタ
７ａ バッファ室
７ｂ 気体透過膜
７ｃ バッファ流路
８ ＦＰＣ

特許第５４７５３８９号公報

Claims (7)

1. 液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
   複数の前記ノズルに連通する複数の個別液室、前記個別液室に液体を供給する供給流路、及び前記個別液室に連通し、該個別液室内の液体の一部を回収する循環流路を形成する流路板部材と、
   前記供給流路に液体を供給する共通供給液室、前記循環流路からの液体を収容する共通循環液室、及び気体を貯留可能な空間を有するバッファ室が形成されたフレーム部材と、を少なくとも備え、
   前記バッファ室は、前記流路板部材および／またはフレーム部材に形成されたバッファ流路を介して前記循環流路と連通し、内部に気体のみを透過する気体透過膜を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記バッファ室が、大気と連通することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記フレーム部材は、前記循環流路の長手方向のノズル側から共通供給液室、共通循環液室、及びバッファ室がこの順に形成され、
   前記バッファ流路は、前記流路板部材および前記フレーム部材に形成され、
   前記バッファ流路の一方の端部が前記循環流路の側端面に開口することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記フレーム部材は、前記循環流路の長手方向のノズル側から共通供給液室、バッファ室、及び共通循環液室がこの順に形成され、
   前記バッファ流路は、前記流路板部材および前記フレーム部材に形成され、
   前記バッファ流路の一方の端部が前記循環流路上に開口することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記フレーム部材は、前記循環流路の長手方向のノズル側から共通供給液室、共通循環液室、及びバッファ室がこの順に形成され、
   前記バッファ流路は、前記フレーム部材に形成され、
   前記バッファ流路の一方端が前記共通循環液室の側端面に開口することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１から５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出ユニット。
7. 請求項１から５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。

Images