JP6948005B2

JP6948005B2 - Liquid circulation device, device that discharges liquid

Info

Publication number: JP6948005B2
Application number: JP2017115146A
Authority: JP
Inventors: 崇裕吉田; 啓史澤瀬
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2017-06-12
Filing date: 2017-06-12
Publication date: 2021-10-13
Anticipated expiration: 2037-06-12
Also published as: JP2019001000A

Description

本発明は液体循環装置、液体を吐出する装置に関する。 The present invention relates to a liquid circulation device and a device for discharging a liquid.

液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」ともいう。）として、ノズルに連通する個別液室への供給流路と個別液室に通じる排出流路とを有し、供給流路に通じる液体の供給口と、排出流路に通じる液体の排出口を備えるフロースルー型ヘッド（循環型ヘッド）がある。 The liquid discharge head (hereinafter, also simply referred to as “head”) has a supply flow path to the individual liquid chamber communicating with the nozzle and a discharge flow path leading to the individual liquid chamber, and supplies the liquid communicating with the supply flow path. There is a flow-through type head (circulation type head) provided with a port and a liquid discharge port leading to a discharge flow path.

従来、ノズルに連通する複数の個別液室に通じる共通液室を有し、当該共通液室に供給口と排出口を備える共通液室循環型のヘッドを介して液体が循環する循環経路を有し、循環経路には、複数のヘッド部分の各共通液室の供給口にそれぞれ通じる供給側マニホールドと、各共通液室の排出口にそれぞれ通じる回収側マニホールドと、供給側マニホールドに液体を供給する供給タンクと、排出側マニホールドから液体が排出される回収タンクとを含むものが知られている（特許文献１）。 Conventionally, there is a common liquid chamber that communicates with a plurality of individual liquid chambers that communicate with the nozzle, and the common liquid chamber has a circulation path through which a liquid circulates through a common liquid chamber circulation type head having a supply port and a discharge port. Then, in the circulation path, the liquid is supplied to the supply side manifold that leads to the supply port of each common liquid chamber of the plurality of head portions, the recovery side manifold that leads to the discharge port of each common liquid chamber, and the supply side manifold. A supply tank and a recovery tank in which a liquid is discharged from a discharge side manifold are known (Patent Document 1).

特許第５２５３２５８号公報Japanese Patent No. 5253258

ところで、フロースルー型ヘッドにおいては、共通液室循環型ヘッドと異なり、供給流路、個別液室、ノズル、排出流路というフローで液体を循環させるために、例えば、ノズルより上流側の供給流路に常に正圧をかけ、ノズルよりも下流側の排出流路にはノズルメニスカスを保持するための負圧よりも高い負圧をかけた状態となる。そのため、ノズルからの液垂れや気泡巻き込みなどが生じやすいという課題がある。 By the way, in the flow-through type head, unlike the common liquid chamber circulation type head, in order to circulate the liquid in the flow of the supply flow path, the individual liquid chamber, the nozzle, and the discharge flow path, for example, the supply flow on the upstream side of the nozzle. A positive pressure is always applied to the path, and a negative pressure higher than the negative pressure for holding the nozzle meniscus is applied to the discharge flow path on the downstream side of the nozzle. Therefore, there is a problem that liquid dripping from the nozzle and air bubble entrainment are likely to occur.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、フロースルー型ヘッドを使用するときのノズルからの液垂れや気泡巻き込みのおそれを低減することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce the risk of liquid dripping from the nozzle and entrainment of air bubbles when using a flow-through type head.

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体循環装置は、
ノズルに連通する個別液室への供給流路と前記個別液室に通じる排出流路とを有し、前記供給流路に通じる供給口と前記排出流路に通じる排出口を備える液体吐出ヘッドを介して液体が循環する循環経路を有し、
前記循環経路には、
複数の前記液体吐出ヘッドの供給口にそれぞれ通じる第１マニホールドと、
前記第１マニホールドに通じ、内部が加圧される加圧サブタンクと、
複数の前記液体吐出ヘッドの排出口にそれぞれ通じる第２マニホールドと、を含み、
前記加圧サブタンクは、前記液体吐出ヘッドの供給口が配置される位置よりも高い位置に配置し、
前記第１マニホールドは前記液体吐出ヘッドよりも高い位置に配置し、前記第２マニホールドは前記液体吐出ヘッドよりも低い位置に配置する
構成とした。 In order to solve the above problems, the liquid circulation device according to claim 1 of the present invention is
A liquid discharge head having a supply flow path to an individual liquid chamber communicating with a nozzle and a discharge flow path communicating with the individual liquid chamber, and having a supply port communicating with the supply flow path and a discharge port communicating with the discharge flow path. Has a circulation path through which the liquid circulates
In the circulation path,
A first manifold leading to each of the supply ports of the plurality of liquid discharge heads,
A pressure sub-tank that communicates with the first manifold and pressurizes the inside,
Includes a second manifold, which leads to each of the discharge ports of the plurality of liquid discharge heads.
The pressurized sub-tank is arranged at a position higher than the position where the supply port of the liquid discharge head is arranged .
The first manifold is arranged at a position higher than the liquid discharge head, and the second manifold is arranged at a position lower than the liquid discharge head.

本発明によれば、循環型ヘッドを使用するときのノズルからの液垂れや気泡巻き込みのおそれを低減することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce the risk of liquid dripping from the nozzle and entrainment of air bubbles when using the circulation type head.

本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。It is the schematic explanatory drawing of an example of the apparatus which discharges a liquid which concerns on this invention. 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。It is a plane explanatory view of an example of the head unit of the same apparatus. 液体吐出ヘッドの一例の外観斜視説明図である。It is an external perspective explanatory view of an example of a liquid discharge head. 同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。It is sectional drawing in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the head (the longitudinal direction of a liquid chamber). 本発明の第１実施形態に係る液体循環装置のブロック説明図である。It is a block explanatory drawing of the liquid circulation apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 同第１実施形態を等価回路としてモデル化した場合の模式図である。It is a schematic diagram when the 1st Embodiment was modeled as an equivalent circuit. マニホールドの位置関係、ヘッド前後の圧力とマニホールドの圧力の関係の要部模式的説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the main part of the positional relationship of the manifold, the relationship between the pressure before and after the head and the pressure of the manifold. 本発明の第２実施形態に係る液体循環装置のブロック説明図である。It is a block explanatory drawing of the liquid circulation apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態における液体循環装置の要部模式的説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the main part of the liquid circulation apparatus in 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態における液体循環装置の要部模式的説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the main part of the liquid circulation apparatus in 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。It is a block explanatory drawing of the liquid circulation apparatus in 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。It is a block explanatory drawing of the liquid circulation apparatus in 6th Embodiment of this invention. 本発明の第７実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。It is a block explanatory drawing of the liquid circulation apparatus in 7th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。It is a block explanatory drawing of the liquid circulation apparatus in 8th Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１及び図２を参照して説明する。図１は同装置の概略説明図、図２は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. First, an example of the device for discharging the liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a schematic explanatory view of the device, and FIG. 2 is a plan explanatory view of an example of the head unit of the device.

この液体を吐出する装置である印刷装置１０００は、媒体である連帳紙などの連続体１０を搬入する搬入手段１と、搬入手段１から搬入された連続体１０を印刷手段５に案内搬送する案内搬送手段３と、連続体１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５と、連続体１０を乾燥する乾燥手段７と、連続体１０を排出する排出手段９などを備えている。 The printing device 1000, which is a device for discharging the liquid, guides and conveys the carry-in means 1 for carrying in the continuous body 10 such as continuous book paper as a medium and the continuous body 10 carried in from the carry-in means 1 to the printing means 5. The guide transport means 3, the printing means 5 for printing to form an image by ejecting a liquid to the continuum 10, the drying means 7 for drying the continuum 10, the discharging means 9 for discharging the continuum 10, and the like. It has.

連続体１０は搬入手段１の元巻きローラ１１から送り出され、搬入手段１、案内搬送手段３、乾燥手段７、排出手段９の各ローラによって案内、搬送されて、排出手段９の巻取りローラ９１にて巻き取られる。 The continuum 10 is sent out from the original winding roller 11 of the carrying-in means 1, guided and conveyed by the rollers of the carrying-in means 1, the guiding and transporting means 3, the drying means 7, and the discharging means 9, and is guided and conveyed by the winding roller 91 of the discharging means 9. It is wound up at.

この連続体１０は、印刷手段５において、搬送ガイド部材５９上をヘッドユニット５０及びヘッドユニット５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５から吐出される処理液で後処理が行われる。 The continuum 10 is conveyed on the transfer guide member 59 in the printing means 5 facing the head unit 50 and the head unit 55, an image is formed by the liquid discharged from the head unit 50, and the continuous body 10 is discharged from the head unit 55. Post-treatment is performed with the treatment liquid to be treated.

ここで、ヘッドユニット５０には、例えば、媒体搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５１Ｋ、５１Ｃ、５１Ｍ、５１Ｙ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５１」という。）が配置されている。 Here, the head unit 50 is referred to, for example, as a full-line head array 51K, 51C, 51M, 51Y for four colors from the upstream side in the medium transport direction (hereinafter, when the colors are not distinguished, it is referred to as "head array 51". ) Is placed.

各ヘッドアレイ５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。 Each head array 51 is a liquid discharging means, and discharges black K, cyan C, magenta M, and yellow Y liquids to the conveyed continuum 10. The types and numbers of colors are not limited to this.

ヘッドアレイ５１は、例えば、図２に示すように、液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１００をベース部材５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。 The head array 51 is, for example, as shown in FIG. 2, in which liquid discharge heads (which are also simply referred to as “heads”) 100 are arranged in a staggered pattern on the base member 52, but the head array 51 is not limited to this. No.

次に、液体吐出ヘッドの一例について図３及び図４を参照して説明する。図３は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図４は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。 Next, an example of the liquid discharge head will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is an external perspective explanatory view of the liquid discharge head, and FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view of the head in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction (liquid chamber longitudinal direction).

この液体吐出ヘッドは、フロースルー型ヘッドであり、ノズル板１０１と、流路板１０２と、壁面部材としての振動板部材１０３とを積層接合している。そして、振動板部材１０３の振動領域（振動板）１３０を変位させる圧電アクチュエータ１１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材１２０と、カバー１２９を備えている。なお、流路板１０２と振動板部材１０３で構成される部分を流路部材１４０という。 This liquid discharge head is a flow-through type head, and a nozzle plate 101, a flow path plate 102, and a diaphragm member 103 as a wall surface member are laminated and joined. A piezoelectric actuator 111 that displaces the vibration region (diaphragm) 130 of the diaphragm member 103, a common liquid chamber member 120 that also serves as a frame member of the head, and a cover 129 are provided. The portion composed of the flow path plate 102 and the diaphragm member 103 is referred to as a flow path member 140.

ノズル板１０１は、液体を吐出する複数のノズル１０４を有している。 The nozzle plate 101 has a plurality of nozzles 104 for discharging a liquid.

流路板１０２は、ノズル１０４にノズル連通路１０５を介して通じる個別液室１０６、個別液室１０６に通じる供給側流体抵抗部１０７、供給側流体抵抗部１０７に通じる供給側導入部１０８を形成している。ノズル連通路１０５は、ノズル１０４と個別液室１０６にそれぞれ連なって通じる流路である。供給側導入部１０８は、振動板部材１０３に設けた供給側開口部１０９を介して供給側共通液室１１０に通じている。 The flow path plate 102 forms an individual liquid chamber 106 that communicates with the nozzle 104 via the nozzle communication passage 105, a supply-side fluid resistance portion 107 that communicates with the individual liquid chamber 106, and a supply-side introduction portion 108 that communicates with the supply-side fluid resistance portion 107. doing. The nozzle communication passage 105 is a flow path that connects to the nozzle 104 and the individual liquid chamber 106, respectively. The supply-side introduction portion 108 communicates with the supply-side common liquid chamber 110 via the supply-side opening 109 provided in the diaphragm member 103.

振動板部材１０３は、流路板１０２の個別液室１０６の壁面を形成する変形可能な振動領域１３０を有する。ここでは、振動板部材１０３は２層構造（限定されない）とし、流路板１０２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室１０６に対応する部分に変形可能な振動領域１３０を形成している。 The diaphragm member 103 has a deformable vibration region 130 that forms the wall surface of the individual liquid chamber 106 of the flow path plate 102. Here, the diaphragm member 103 has a two-layer structure (not limited), and is formed of a first layer that forms a thin-walled portion from the flow path plate 102 side and a second layer that forms a thick-walled portion. A deformable vibration region 130 is formed in a portion corresponding to the individual liquid chamber 106.

そして、この振動板部材１０３の個別液室１０６とは反対側に、振動板部材１０３の振動領域１３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１１を配置している。 A piezoelectric actuator 111 including an electromechanical conversion element as a driving means (actuator means, pressure generating means) for deforming the vibration region 130 of the diaphragm member 103 on the side opposite to the individual liquid chamber 106 of the diaphragm member 103. Is placed.

この圧電アクチュエータ１１１は、ベース部材１１３上に接合した圧電部材をハーフカットダイシングによって溝加工して所要数の柱状の圧電素子１１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。 In the piezoelectric actuator 111, the piezoelectric member joined on the base member 113 is grooved by half-cut dicing to form a required number of columnar piezoelectric elements 112 in a comb-teeth shape at predetermined intervals.

そして、圧電素子１１２を振動板部材１０３の振動領域１３０に形成した島状の厚肉部である凸部１３０ａに接合している。また、圧電素子１１２にはフレキシブル配線部材１１５が接続されている。 Then, the piezoelectric element 112 is joined to the convex portion 130a, which is an island-shaped thick portion formed in the vibration region 130 of the diaphragm member 103. Further, a flexible wiring member 115 is connected to the piezoelectric element 112.

共通液室部材１２０は、供給側共通液室１１０と排出側共通液室１５０を形成する。供給側共通液室１１０は供給ポート１７１に通じ、排出側共通液室１５０は排出ポート１７２に通じている。 The common liquid chamber member 120 forms the supply side common liquid chamber 110 and the discharge side common liquid chamber 150. The supply-side common liquid chamber 110 is connected to the supply port 171 and the discharge-side common liquid chamber 150 is connected to the discharge port 172.

なお、ここでは、共通液室部材１２０は、第１共通液室部材１２１及び第２共通液室部材１２２によって構成され、第１共通液室部材１２１を流路部材１４０の振動板部材１０３側に接合し、第１共通液室部材１２１に第２共通液室部材１２２を積層して接合している。 Here, the common liquid chamber member 120 is composed of the first common liquid chamber member 121 and the second common liquid chamber member 122, and the first common liquid chamber member 121 is placed on the diaphragm member 103 side of the flow path member 140. The second common liquid chamber member 122 is laminated and joined to the first common liquid chamber member 121.

第１共通液室部材１２１は、供給側導入部１０８に通じる供給側共通液室１１０の一部である下流側共通液室１１０Ａと、排出側個別流路１５６に通じる排出側共通液室１５０とを形成している。また、第２共通液室部材１２２は、供給側共通液室１１０の残部である上流側共通液室１１０Ｂを形成している。 The first common liquid chamber member 121 includes a downstream common liquid chamber 110A which is a part of the supply side common liquid chamber 110 leading to the supply side introduction portion 108, and a discharge side common liquid chamber 150 leading to the discharge side individual flow path 156. Is forming. Further, the second common liquid chamber member 122 forms the upstream side common liquid chamber 110B which is the rest of the supply side common liquid chamber 110.

また、流路板１０２は、各個別液室６にノズル連通路１０５を介して連通する排出側流体抵抗部１５７と、排出側個別流路１５６と、排出側導出部１５８を形成している。 Further, the flow path plate 102 forms a discharge side fluid resistance portion 157, a discharge side individual flow path 156, and a discharge side lead-out portion 158 that communicate with each individual liquid chamber 6 via the nozzle communication passage 105.

排出側導出部１５８は振動板部材１０３に設けた排出側開口部１５９を介して排出側共通液室１５０に通じている。 The discharge side lead-out unit 158 communicates with the discharge side common liquid chamber 150 via the discharge side opening 159 provided in the diaphragm member 103.

なお、本実施形態では、供給側共通液室１１０、供給側開口部１０９、供給側導入部１０８及び供給側流体抵抗部１０７で供給流路を構成し、排出側流体抵抗部１５７、排出側個別流路１５６、排出側導出部１５８及び排出側開口部１５９で排出流路を構成している。 In the present embodiment, the supply side common liquid chamber 110, the supply side opening 109, the supply side introduction unit 108, and the supply side fluid resistance unit 107 form a supply flow path, and the discharge side fluid resistance unit 157 and the discharge side are individual. The discharge flow path is composed of the flow path 156, the discharge side lead-out portion 158, and the discharge side opening 159.

この液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１１２が収縮し、振動板部材１０３の振動領域１３０が引かれて個別液室１０６の容積が膨張することで、個別液室１０６内に液体が流入する。 In this liquid discharge head, for example, by lowering the voltage applied to the piezoelectric element 112 from the reference potential (intermediate potential), the piezoelectric element 112 contracts, and the vibration region 130 of the vibrating plate member 103 is pulled to obtain the volume of the individual liquid chamber 106. As the liquid expands, the liquid flows into the individual liquid chamber 106.

その後、圧電素子１１２に印加する電圧を上げて圧電素子１１２を積層方向に伸長させ、振動板部材１０３の振動領域１３０をノズル１０４に向かう方向に変形させて個別液室１０６の容積を収縮させることにより、個別液室１０６内の液体が加圧され、ノズル１０４から液体が吐出される。 After that, the voltage applied to the piezoelectric element 112 is increased to extend the piezoelectric element 112 in the stacking direction, and the vibration region 130 of the vibrating plate member 103 is deformed in the direction toward the nozzle 104 to contract the volume of the individual liquid chamber 106. As a result, the liquid in the individual liquid chamber 106 is pressurized, and the liquid is discharged from the nozzle 104.

また、ノズル１０４から吐出されない液体はノズル１０４を通過して排出側流体抵抗部１５７、排出側個別流路１５６、排出側導出部１５８、排出側開口部１５９から排出側共通液室１５０に排出され、排出側共通液室１５０から外部の循環経路を通じて供給側共通液室１１０に再度供給される。 Further, the liquid that is not discharged from the nozzle 104 passes through the nozzle 104 and is discharged from the discharge side fluid resistance portion 157, the discharge side individual flow path 156, the discharge side lead-out portion 158, and the discharge side opening 159 to the discharge side common liquid chamber 150. , It is supplied again from the discharge side common liquid chamber 150 to the supply side common liquid chamber 110 through an external circulation path.

また、ノズル１０４から液体を吐出する液体吐出動作を行っていないときにも、供給側共通液室１１０から供給側開口部１０９、供給側導入部１０８、供給側流体抵抗部１０７、個別液室１０６、排出側流体抵抗部１５７、排出側個別流路１５６、排出側導出部１５８、排出側開口部１５９を経て排出側共通液室１５０に排出され、排出側共通液室１５０から外部の循環経路を通じて供給側共通液室１１０に再度供給される。 Further, even when the liquid discharge operation of discharging the liquid from the nozzle 104 is not performed, the supply side opening 109, the supply side introduction portion 108, the supply side fluid resistance portion 107, and the individual liquid chamber 106 are not performed from the supply side common liquid chamber 110. It is discharged to the discharge side common liquid chamber 150 through the discharge side fluid resistance portion 157, the discharge side individual flow path 156, the discharge side lead-out portion 158, and the discharge side opening 159, and is discharged from the discharge side common liquid chamber 150 through an external circulation path. It is supplied again to the common liquid chamber 110 on the supply side.

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。 The method of driving the head is not limited to the above example (pull-pushing), and pulling or pushing may be performed depending on the driving waveform.

次に、本発明の第１実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態に係る液体循環装置（液体供給装置）のブロック説明図である。 Next, the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a block explanatory view of a liquid circulation device (liquid supply device) according to the same embodiment.

液体供給装置でもある液体循環装置２００は、ヘッド１００から吐出する液体３００を貯留する液体貯留手段であるメインタンク２０１と、加圧サブタンク２２０と、減圧サブタンク２１０と、第１送液ポンプ２０２と、第２送液ポンプ２０３とを備えている。 The liquid circulation device 200, which is also a liquid supply device, includes a main tank 201, a pressurized sub tank 220, a depressurized sub tank 210, a first liquid feeding pump 202, and a liquid storage means for storing the liquid 300 discharged from the head 100. A second liquid feeding pump 203 is provided.

また、複数のヘッド１００が通じる第１マニホールド２３０及び第２マニホールド２４０と、ヘッド１００毎のヘッドタンク２５１及びヘッドタンク２５２と、液体中の溶存気体を除去する脱気手段である脱気装置２６０を備えている。 Further, a first manifold 230 and a second manifold 240 through which a plurality of heads 100 communicate, a head tank 251 and a head tank 252 for each head 100, and a degassing device 260 which is a degassing means for removing dissolved gas in a liquid are provided. I have.

ここでは、減圧サブタンク２１０からフィルタ２６１、脱気装置２６０を含む液体経路２８４を介して加圧サブタンク２２０に第１送液ポンプ２０２で液体を送液する。液体経路２８４に脱気装置２６０とフィルタ２６１が配置されている。また、減圧サブタンク２１０に対してはメインタンク２０１からフィルタ２０５を含む液体経路２８９を介して第２送液ポンプ２０３で液体を送液する。 Here, the liquid is sent from the depressurizing sub-tank 210 to the pressurized sub-tank 220 via the liquid path 284 including the filter 261 and the degassing device 260 by the first liquid feeding pump 202. A degassing device 260 and a filter 261 are arranged in the liquid path 284. Further, liquid is sent from the main tank 201 to the decompression sub-tank 210 via the liquid path 289 including the filter 205 by the second liquid feeding pump 203.

減圧サブタンク２１０は、気体室２１０ａを有し、液体と気体が共存する構成である。減圧サブタンク２１０には、液面を検知する液面検知手段２１１と、内部を大気開放する大気開放機構となる電磁弁２１２が設けられている。 The decompression sub-tank 210 has a gas chamber 210a, and has a configuration in which a liquid and a gas coexist. The decompression sub-tank 210 is provided with a liquid level detecting means 211 for detecting the liquid level and a solenoid valve 212 as an atmospheric opening mechanism for opening the inside to the atmosphere.

減圧サブタンク２１０には、減圧サブタンク２１０内の圧力を調整する（ここでは減圧する）圧力調整手段としての第２調整装置２０７が接続されている。第２調整装置２０７は、圧力調整機構（レギュレータ）２１３、減圧バッファタンク２１４、気体ポンプである真空ポンプ２１５を有している。また、レギュレータ２１３と減圧バッファタンク２１４との間には電磁弁２１６が設けられている。減圧バッファタンク２１４には電磁弁２１７が設けられている。 A second adjusting device 207 is connected to the decompression sub-tank 210 as a pressure adjusting means for adjusting the pressure in the decompression sub-tank 210 (here, the pressure is reduced). The second adjusting device 207 includes a pressure adjusting mechanism (regulator) 213, a decompression buffer tank 214, and a vacuum pump 215 which is a gas pump. Further, a solenoid valve 216 is provided between the regulator 213 and the pressure reducing buffer tank 214. The pressure reducing buffer tank 214 is provided with a solenoid valve 217.

加圧サブタンク２２０は、気体室２２０ａを有し、液体と気体が共存する構成である。加圧サブタンク２２０には、液面を検知する液面検知手段２２１と、内部を大気開放する大気開放機構となる電磁弁２２２が設けられている。 The pressurized sub-tank 220 has a gas chamber 220a, and has a configuration in which a liquid and a gas coexist. The pressurized sub-tank 220 is provided with a liquid level detecting means 221 for detecting the liquid level and a solenoid valve 222 as an atmospheric opening mechanism for opening the inside to the atmosphere.

加圧サブタンク２２０には、加圧サブタンク２２０内の圧力を調整する（ここでは加圧する）圧力調整手段としての第１調整装置２０６が接続されている。第１調整装置２０６は、圧力調整機構（レギュレータ）２２３、加圧バッファタンク２２４、コンプレッサ２２５を有している。また、レギュレータ２２３と加圧バッファタンク２２４との間には電磁弁２２６が設けられている。加圧バッファタンク２２４には電磁弁２２７が設けられている。 The pressurizing sub-tank 220 is connected to a first adjusting device 206 as a pressure adjusting means for adjusting (pressurizing here) the pressure in the pressurizing sub-tank 220. The first adjusting device 206 includes a pressure adjusting mechanism (regulator) 223, a pressurized buffer tank 224, and a compressor 225. Further, a solenoid valve 226 is provided between the regulator 223 and the pressurizing buffer tank 224. The pressurizing buffer tank 224 is provided with a solenoid valve 227.

加圧サブタンク２２０は、液体経路２８１を通じて第１マニホールド２３０に接続されている。 The pressurized sub-tank 220 is connected to the first manifold 230 through the liquid path 281.

第１マニホールド２３０は、ヘッド１００の供給ポート１７１（供給口）側に供給経路２３１を介して通じている。供給経路２３１は、ヘッドタンク２５１を介してヘッド１００の供給ポート１７１に接続されている。供給経路２３１にはヘッドタンク２５１より上流側に経路を開閉する電磁弁２３２が設けられている。また、第１マニホールド２３０には圧力センサ２３３が設けられている。 The first manifold 230 communicates with the supply port 171 (supply port) side of the head 100 via the supply path 231. The supply path 231 is connected to the supply port 171 of the head 100 via the head tank 251. The supply path 231 is provided with a solenoid valve 232 that opens and closes the path upstream of the head tank 251. Further, the pressure sensor 233 is provided on the first manifold 230.

減圧サブタンク２１０は、液体経路２８２を介して第２マニホールド２４０に接続されている。 The decompression sub-tank 210 is connected to the second manifold 240 via the liquid path 282.

第２マニホールド２４０は、ヘッド１００の排出ポート１７２（排出口）に排出経路２４１介して通じている。排出経路２４１は、ヘッドタンク２５２を介してヘッド１００の排出ポート１７２に接続されている。排出経路２４１にはヘッドタンク２５２より下流側に経路を開閉する電磁弁２４２が設けられている。また、第２マニホールド２４０には圧力センサ２４３が設けられている。 The second manifold 240 communicates with the discharge port 172 (discharge port) of the head 100 via the discharge path 241. The discharge path 241 is connected to the discharge port 172 of the head 100 via the head tank 252. The discharge path 241 is provided with a solenoid valve 242 that opens and closes the path downstream of the head tank 252. A pressure sensor 243 is provided on the second manifold 240.

ここで、減圧サブタンク２１０、液体経路２８４、脱気装置２６０、加圧サブタンク２２０、液体経路２８１、第１マニホールド２３０、ヘッド１００、第２マニホールド２４０、減圧サブタンク２１０を経て加圧サブタンク２２０に戻る経路で循環経路３０１が構成される。循環液量が所定量より減少すると、メインタンク２０１から減圧サブタンク２１０に液体が補充される。 Here, a path returning to the pressurized sub-tank 220 via the decompressing sub-tank 210, the liquid path 284, the degassing device 260, the pressurized sub-tank 220, the liquid path 281, the first manifold 230, the head 100, the second manifold 240, and the decompressing sub-tank 210. The circulation path 301 is configured by. When the circulating liquid amount decreases from the predetermined amount, the liquid is replenished from the main tank 201 to the decompression sub tank 210.

また、加圧サブタンク２２０と減圧サブタンク２１０、第１送液ポンプ２０２によって循環経路３０１を液体３００が循環する圧力を生じさせる手段を構成している。 Further, the pressurizing sub-tank 220, the depressurizing sub-tank 210, and the first liquid feeding pump 202 constitute a means for generating a pressure for the liquid 300 to circulate in the circulation path 301.

そして、本実施形態において、第１マニホールド２３０は、第２マニホールド２４０よりも高い位置に配置している。 Then, in the present embodiment, the first manifold 230 is arranged at a position higher than that of the second manifold 240.

また、加圧サブタンク２２０は、ヘッド１００の供給口である供給ポート１７１が配置される位置よりも高い位置に配置している。具体的には、加圧サブタンク２２０の内底面がヘッド１００の供給ポート１７１よりも高い位置になるように配置している。 Further, the pressure sub-tank 220 is arranged at a position higher than the position where the supply port 171 which is the supply port of the head 100 is arranged. Specifically, the inner bottom surface of the pressurized sub tank 220 is arranged so as to be higher than the supply port 171 of the head 100.

一方、減圧サブタンク２１０は、ヘッド１００の排出口である排出ポート１７２が配置される位置よりも低い位置に配置している。具体的には、減圧サブタンク２１０に収容される液体の液面がヘッド１００の排出ポート１７２よりも低い位置になるように配置している。 On the other hand, the decompression sub-tank 210 is arranged at a position lower than the position where the discharge port 172, which is the discharge port of the head 100, is arranged. Specifically, the liquid level contained in the decompression sub-tank 210 is arranged so as to be lower than the discharge port 172 of the head 100.

次に、この第１実施形態の液体循環装置２００における液体循環方法について説明する。 Next, the liquid circulation method in the liquid circulation device 200 of the first embodiment will be described.

（１）メインタンク２０１−減圧サブタンク２１０への液体フロー
液面検知手段２１１で減圧サブタンク２１０の液体不足を検知すると、第２送液ポンプ２０３を駆動して、メインタンク２０１から液体経路２８９を介して、液面検知手段２１１の検知結果で液面が満タンとなるまで減圧サブタンク２１０に液体供給を行う。 (1) Liquid flow from the main tank 201 to the decompression sub tank 210 When the liquid level detecting means 211 detects a liquid shortage in the decompression sub tank 210, the second liquid feed pump 203 is driven to drive the second liquid feed pump 203 from the main tank 201 via the liquid path 289. Then, the liquid is supplied to the decompression sub-tank 210 until the liquid level is full based on the detection result of the liquid level detecting means 211.

（２）減圧サブタンク２１０−加圧サブタンク２２０への液体フロー
第１送液ポンプ２０２を駆動して、減圧サブタンク２１０から液体経路２８４を介して加圧サブタンク２２０に液体を送液することができる。 (2) Liquid flow to the depressurized sub-tank 210-pressurized sub-tank 220 The first liquid feeding pump 202 can be driven to supply liquid from the decompressed sub-tank 210 to the pressurized sub-tank 220 via the liquid path 284.

（３）加圧サブタンク２２０-循環可能なヘッド１００-減圧サブタンク２１０の液体フロー
第１調整装置２０６によって加圧サブタンク２２０を目標圧力（例えば、加圧となる圧力）とする。一方、第２調整装置２０７によって減圧サブタンク２１０を目標圧力（例えば負圧となる圧力)とする。 (3) Pressurized sub-tank 220-Circulating head 100-Liquid flow of depressurized sub-tank 210 The first regulator 206 sets the pressurized sub-tank 220 to the target pressure (for example, the pressure to be pressurized). On the other hand, the second adjusting device 207 sets the decompression sub-tank 210 to a target pressure (for example, a pressure that becomes a negative pressure).

これにより、加圧サブタンク２２０と減圧サブタンク２１０との間に差圧が発生する。この差圧に応じて、加圧サブタンク２２０から、液体経路２８１を介して、第１マニホールド２３０、複数の供給経路２３１、複数のヘッドタンク２５１、複数のヘッド１００、複数のヘッドタンク２５２、複数の排出経路２４１、第２マニホールド２４０、液体経路２８２を介して、減圧サブタンク２１０まで液体が循環可能となる。 As a result, a differential pressure is generated between the pressurized sub-tank 220 and the reduced pressure sub-tank 210. According to this differential pressure, the first manifold 230, the plurality of supply paths 231 and the plurality of head tanks 251 and the plurality of heads 100, the plurality of head tanks 252, and the plurality of head tanks 252 from the pressurized sub tank 220 via the liquid path 281. The liquid can be circulated to the decompression sub-tank 210 via the discharge path 241, the second manifold 240, and the liquid path 282.

なお、液面検知手段２１１、２２１には、フロート式による液体の検知、少なくとも２本以上の電極ピンを用いて検出した電圧の出力に応じて液体の有無を検知する方式、その他レーザーによる液面検知方式などを使用することができる。 The liquid level detection means 211 and 221 include a float type detection of liquid, a method of detecting the presence or absence of liquid according to the output of the voltage detected by using at least two or more electrode pins, and other liquid levels by laser. A detection method or the like can be used.

また、電磁弁２２２、２１２を駆動することで加圧サブタンク２２０、減圧サブタンク２１０の内部を大気と連通させることもできる。 Further, by driving the solenoid valves 222 and 212, the inside of the pressurizing sub-tank 220 and the depressurizing sub-tank 210 can communicate with the atmosphere.

次に、ノズルメニスカスの負圧形成（加圧サブタンク２２０と減圧サブタンク２１０の圧力設定）について説明する。 Next, negative pressure formation of the nozzle meniscus (pressure setting of the pressurized sub-tank 220 and the reduced pressure sub-tank 210) will be described.

一般的に、ヘッドから吐出を行う場合、ノズルメニスカスにかかる圧力は負圧に制御する。これは、ノズルから液体が溢れることを防止するためである。また、高速で吐出を行う場合に、吐出開始と終了時には、流体の慣性が作用し、ノズルメニスカスに圧力の脈動が発生する場合がある。このとき、正圧側の圧力が一時的に発生するので、このような場合でも、ノズルから液体が溢れることを防止するためである。 Generally, when discharging from the head, the pressure applied to the nozzle meniscus is controlled to a negative pressure. This is to prevent the liquid from overflowing from the nozzle. Further, in the case of high-speed discharge, the inertia of the fluid acts at the start and end of discharge, and pressure pulsation may occur in the nozzle meniscus. At this time, the pressure on the positive pressure side is temporarily generated, so that even in such a case, the liquid is prevented from overflowing from the nozzle.

フロースルー型ヘッドを使用する場合には、ヘッド１００の供給側に正圧を、ヘッド１００の排出側に負圧を与えるように、加圧サブタンク２２０内に正圧を設定し、減圧サブタンク２１０内に負圧を設定する方法が一般的である。 When using a flow-through type head, a positive pressure is set in the pressurizing sub tank 220 so as to give a positive pressure to the supply side of the head 100 and a negative pressure to the discharge side of the head 100, and the pressure reducing sub tank 210 is filled. The method of setting a negative pressure is common.

サブタンクに設定する圧力は、加圧サブタンク２２０からヘッド１００、ヘッド１００から減圧サブタンク２１０までの循環経路３０１の流体抵抗値の圧力損失に依存する。ヘッド１００の安定吐出の観点では、ヘッド１００直前の供給側、ヘッド１００直後の排出側の圧力を安定的に保持することが重要となる。 The pressure set in the sub tank depends on the pressure loss of the fluid resistance value of the circulation path 301 from the pressurized sub tank 220 to the head 100 and from the head 100 to the decompressed sub tank 210. From the viewpoint of stable discharge of the head 100, it is important to stably maintain the pressure on the supply side immediately before the head 100 and the discharge side immediately after the head 100.

ヘッド１００直前からヘッド１００のノズル１０４までの流体抵抗Ｒｉｎと、ノズル１０４からヘッド１００直後までの流体抵抗Ｒｏｕｔを、計算か測定により求めておき、それに応じて、ヘッド１００直前の圧力をＰｉｎ、ヘッド１００直後の圧力をＰｏｕｔとしたとき、直列抵抗の分圧と同様に、流体抵抗ＲｉｎとＲｏｕｔの比と、圧力ＰｉｎとＰｏｕｔの値に応じて、ノズルメニスカスに目標とする圧力Ｐｍを発生させることができる。 The fluid resistance Rin from immediately before the head 100 to the nozzle 104 of the head 100 and the fluid resistance Rout from the nozzle 104 to immediately after the head 100 are obtained by calculation or measurement, and the pressure immediately before the head 100 is pinned and headed accordingly. When the pressure immediately after 100 is Pout, the target pressure Pm is generated in the nozzle meniscus according to the ratio of the fluid resistance Rin and Rout and the values of the pressure Pin and Pout, as in the case of the partial pressure of the series resistance. Can be done.

つまり、循環する流量をＩとすると、
Ｐｉｎ-Ｐｍ＝Ｉ×Ｒｉｎ
Ｐｍ−Ｐｏｕｔ＝Ｉ×Ｒｏｕｔ
ここで、両辺からＩを削除して、変形させると、（１）式が得られる。 That is, if the circulating flow rate is I,
Pin-Pm = I × Rin
Pm-Pout = I × Rout
Here, if I is deleted from both sides and transformed, the equation (1) is obtained.

この（１）式において、仮に、Ｒｉｎ＝Ｒｏｕｔの場合は、Ｐｍ＝（Ｐｏｕｔ＋Ｐｉｎ）／２となる。 In this equation (1), if Rin = Rout, then Pm = (Pout + Pin) / 2.

したがって、設定する圧力と流体抵抗比に応じて、メニスカスの圧力が決まることが分かる。これより、加圧サブタンク２２０、減圧サブタンク２１０に設定すべき圧力は、加圧サブタンク２２０からノズル１０４、ノズル１０４から減圧サブタンク２１０までのそれぞれの流体抵抗値に応じて上述した計算式に従って設定する。 Therefore, it can be seen that the pressure of the meniscus is determined according to the set pressure and the fluid resistivity ratio. From this, the pressure to be set in the pressurized sub-tank 220 and the decompressed sub-tank 210 is set according to the above-mentioned calculation formula according to the respective fluid resistance values from the pressurized sub-tank 220 to the nozzle 104 and from the nozzle 104 to the decompressed sub-tank 210.

ここで、等価回路としてモデル化した場合の模式図を図６に示している。 Here, FIG. 6 shows a schematic diagram when modeled as an equivalent circuit.

この模式図は、ラインヘッドを想定しており、モジュールＡがヘッド１００とその供給経路２３１と循環経路（排出経路）２４１が連通した状態を意味している。これが並列に所要数（Ｂの枠内）並ぶ構成である。 This schematic diagram assumes a line head, and means that the module A communicates with the head 100, its supply path 231 and the circulation path (excretion path) 241. This is a configuration in which the required number (within the frame of B) is lined up in parallel.

また、加圧サブタンク２２０、減圧サブタンク２１０、ノズルメニスカスは電圧が溜まるコンデンサ成分としてモデル化できる。液体の経路は電圧降下を生じる抵抗成分としてモデル化できる。 Further, the pressurized sub-tank 220, the reduced pressure sub-tank 210, and the nozzle meniscus can be modeled as a capacitor component in which a voltage is accumulated. The liquid path can be modeled as a resistance component that causes a voltage drop.

したがって、液体経路２８１（Ｒ１)、第１マニホールド２３０の一部（Ｒ３）、供給経路２３１（Ｒ４）、ヘッド１００の供給口（供給ポート１７１）からノズル１０４まで（Ｒ５）によって、Ｒｉｎを表すことができる。 Therefore, Rin is represented by the liquid path 281 (R1), a part of the first manifold 230 (R3), the supply path 231 (R4), and the head 100 from the supply port (supply port 171) to the nozzle 104 (R5). Can be done.

一方、ヘッド１００のノズル１０４から排出口（排出ポート１７２）まで（Ｒ６）、排出経路２４１（Ｒ７）、第２マニホールド２４０の一部（Ｒ８）、液体経路２８２（Ｒ２）によって、Ｒｏｕｔを表すことができる。 On the other hand, the out is represented by the discharge path 241 (R7), a part of the second manifold 240 (R8), and the liquid path 282 (R2) from the nozzle 104 of the head 100 to the discharge port (discharge port 172) (R6). Can be done.

また、加圧サブタンク２２０に図示しない電圧源（手段としてエアポンプなど）や電流源（手段として液体ポンプなど）を用いて発生させる電圧をＰｉｎと表すことができる。 Further, a voltage generated by using a voltage source (air pump or the like as a means) or a current source (liquid pump or the like as a means) (not shown) in the pressurized sub-tank 220 can be expressed as Pin.

一方、減圧サブタンク２１０に図示しない電圧源（手段としてエアポンプなど）や電流源（手段として液体ポンプなど）を用いて発生させる電圧をＰｏｕｔと表すことができる。 On the other hand, a voltage generated by using a voltage source (air pump or the like as a means) or a current source (liquid pump or the like as a means) (not shown) in the decompression sub-tank 210 can be expressed as Pout.

また、通常、第１マニホールド２３０の一部（Ｒ３・・・Ｒ３＋６ｎ）や第２マニホールド２４０の一部（Ｒ８・・・Ｒ８＋６ｎ）の抵抗成分は、各ヘッド１００のノズルメニスカスの圧力を計算するために、取り付けられた位置応じて適宜考慮しないといけない。ただ、他の経路に比べて、抵抗の値が十分小さいために、計算上、無視して考えることもできる。 Further, usually, the resistance component of a part of the first manifold 230 (R3 ... R3 + 6n) and a part of the second manifold 240 (R8 ... R8 + 6n) is used to calculate the pressure of the nozzle meniscus of each head 100. In addition, it must be considered appropriately according to the mounting position. However, since the resistance value is sufficiently small compared to other paths, it can be ignored in the calculation.

また、実際の配管の仕方や液体吐出ヘッド内の構造によっては、上記の式とまったく同じにはならないが、基本的には、上記の考えで対応することができる。 Further, depending on the actual piping method and the structure inside the liquid discharge head, the above equation may not be exactly the same, but basically, the above idea can be applied.

なお、上記の説明では、加圧サブタンク２２０を正圧にする例で説明しているが、加圧サブタンク２２０を負圧としつつ、減圧サブタンク２１０は加圧サブタンク２２０よりも負圧が大きくするように制御することで、差圧を発生させて液体を循環させる構成とすることもできる。 In the above description, an example in which the pressurized sub-tank 220 is set to a positive pressure is described. However, while the pressurized sub-tank 220 is set to a negative pressure, the depressurized sub-tank 210 has a larger negative pressure than the pressurized sub-tank 220. By controlling the pressure, it is possible to generate a differential pressure to circulate the liquid.

この構成の有利な点は、加圧サブタンク２２０も負圧であるので、前述した構成に比べて、液体が垂れるおそれを低減したまま、液体循環させることができる点である。ただし、ヘッド内の流体抵抗が大きい場合は、ノズルメニスカスの初期負圧が負圧側に大きくなるので、吐出可能な圧力変動幅が狭くなる。 The advantage of this configuration is that the pressurized sub-tank 220 also has a negative pressure, so that the liquid can be circulated while reducing the possibility of the liquid dripping as compared with the above-described configuration. However, when the fluid resistance in the head is large, the initial negative pressure of the nozzle meniscus becomes large on the negative pressure side, so that the pressure fluctuation range that can be discharged becomes narrow.

ここで、（１）式において、流体抵抗Ｒｏｕｔと流体抵抗Ｒｉｎの比Ｒｏｕｔ／ＲｉｎをＲｒ（Ｒｒ＝Ｒｏｕｔ／Ｒｉｎ）とし、変形すると、次の（２）式が得られる。 Here, in the equation (1), when the ratio Rout / Rin of the fluid resistance Rout and the fluid resistance Rin is Rr (Rr = Rout / Rin) and modified, the following equation (2) is obtained.

ノズルメニスカス圧力Ｐｍを一定の値とすれば、Ｐｏｕｔは、（１＋Ｒｒ）×Ｐｎを切片として、−Ｒｒが傾きとなる、Ｐｉｎの１次関数で表すことができる。 If the nozzle meniscus pressure Pm is a constant value, Pout can be expressed by a linear function of Pin in which (1 + Rr) × Pn is an intercept and −Rr is a slope.

この関係を満たすように、ＰｉｎとＰｏｕｔを設定すれば、ノズルメニスカスの圧力を一定のまま、液体を循環させる圧力である差圧（Ｐｉｎ―Ｐｏｕｔ）を大きくすることもできるし、小さくすることもできる。 If Pin and Pout are set so as to satisfy this relationship, the differential pressure (Pin-Pout), which is the pressure for circulating the liquid, can be increased or decreased while keeping the pressure of the nozzle meniscus constant. can.

一方、この関係式（（２）式）を外れて、正の方向に大きくなると、ノズルから液体が溢れやすくなる。逆に、負の方向に大きくすると、ノズルから気泡を巻き込んでノズルダウンしやすくなる。 On the other hand, if the relational expression ((2)) is deviated and the size increases in the positive direction, the liquid tends to overflow from the nozzle. On the contrary, if it is increased in the negative direction, air bubbles are caught from the nozzle and the nozzle is likely to go down.

したがって、目標とするノズルメニスカス圧力を保ったまま、差圧を変更することが重要である。 Therefore, it is important to change the differential pressure while maintaining the target nozzle meniscus pressure.

次に、ヘッドと第１マニホールドと第２マニホールドの高さ関係について図７も参照して説明する。図７は同説明に供するマニホールドの位置関係、ヘッド前後の圧力とマニホールドの圧力の関係の要部模式的説明図である。 Next, the height relationship between the head, the first manifold, and the second manifold will be described with reference to FIG. 7. FIG. 7 is a schematic explanatory view of a main part of the positional relationship of the manifold and the relationship between the pressure before and after the head and the pressure of the manifold, which are used in the same description.

ヘッド１００の上方（高い位置）に第１マニホールド２３０と第２マニホールド２４０を配置し、第１マニホールド２３０は第２マニホールド２４０よりも高い位置に配置している。第１マニホールド２３０と第２マニホールド２４０をヘッド１００の上方に配置することで、ヘッド１００から下方に向けて液体を吐出できる。したがって、ヘッド１００の下方を搬送される媒体に液体を吐出する配置とすることができる。 The first manifold 230 and the second manifold 240 are arranged above the head 100 (high position), and the first manifold 230 is arranged at a position higher than the second manifold 240. By arranging the first manifold 230 and the second manifold 240 above the head 100, the liquid can be discharged downward from the head 100. Therefore, it is possible to arrange the liquid to be discharged to the medium conveyed below the head 100.

ノズルメニスカス圧力を適切に設定するために、ヘッド１００の前後に印加する圧力Ｐｉｎ、Ｐｏｕｔに対し、第１マニホールド２３０、第２マニホールド２４０がヘッド１００の上方に配置されることで、第１マニホールド２３０、第２マニホールド２４０に印加すべき圧力は、それぞれ、次のようになる。 The first manifold 230 and the second manifold 240 are arranged above the head 100 with respect to the pressures Pin and Pout applied to the front and rear of the head 100 in order to appropriately set the nozzle meniscus pressure. The pressures to be applied to the second manifold 240 are as follows.

第１マニホールド２３０：Ｐｉｎ−Ｈｉｎ×α
第２マニホールド２４０：Ｐｏｕｔ−Ｈｏｕｔ×α 1st manifold 230: Pin-Hin × α
Second manifold 240: Pout-Hout × α

ここで、Ｈｉｎ、Ｈｏｕｔは、図７に示すように、それぞれヘッド１００から第１マニホールド２３０、第２マニホールド２４０までの高さ、αは液体の比重、高さや圧力の単位によって決まる係数である。 Here, as shown in FIG. 7, Hin and Hout are the heights from the head 100 to the first manifold 230 and the second manifold 240, respectively, and α is a coefficient determined by the specific gravity of the liquid, the height, and the unit of pressure.

例えば、圧力の単位がＰａ，高さの単位がｍｍ、比重が１の場合、高さが１００ｍｍ変われば圧力値としては１００ｍｍＡｑの差となる。１００ｍｍＡｑは約９８０Ｐａであり、係数αは約９．８となる。 For example, when the unit of pressure is Pa, the unit of height is mm, and the specific gravity is 1, if the height changes by 100 mm, the difference in pressure value is 100 mm Aq. 100 mmAq is about 980 Pa, and the coefficient α is about 9.8.

仮に、Ｐｉｎ＝５０００Ｐａ、Ｐｏｕｔ＝−５０００Ｐａとしたとき、Ｈｉｎ＝２０４ｍｍ、Ｈｏｕｔ＝１０２ｍｍ、比重１の液体とすると、第１マニホールド２３０に印加すべき圧力は約３０００Ｐａ、第２マニホールド２４０に印加すべき圧力は約−６０００Ｐａとなる。 Assuming that Pin = 5000Pa and Pout = -5000Pa, and a liquid having Hin = 204mm, Hout = 102mm, and a specific density of 1, the pressure to be applied to the first manifold 230 should be about 3000Pa and the pressure to be applied to the second manifold 240 should be applied to the second manifold 240. The pressure is about -6000 Pa.

第１マニホールド２３０はヘッド１００よりも高ければ高いほど印加すべき圧力が下がる。一方、第２マニホールド２４０は高くするほど印加すべき負圧が大きくなってしまうが、なるべくヘッド１００に近くすることで、その負圧の上がりを小さくできる。 The higher the first manifold 230 than the head 100, the lower the pressure to be applied. On the other hand, the higher the second manifold 240, the larger the negative pressure to be applied, but by making the second manifold 240 as close to the head 100 as possible, the increase in the negative pressure can be reduced.

したがって、第１マニホールド２３０を第２マニホールド２４０よりも高い位置に配置することで、例えば、Ｈｉｎ＞Ｈｏｕｔとすることで、第１マニホールド２３０にかかる正圧を低くしてノズルから液体が漏れるおそれを低減しつつ、第２マニホールド２４０にかかる負圧を低くしてノズルから気泡を巻き込むおそれを低減することができる。 Therefore, by arranging the first manifold 230 at a position higher than the second manifold 240, for example, by setting Hin> Hout, the positive pressure applied to the first manifold 230 may be lowered and the liquid may leak from the nozzle. While reducing the pressure, the negative pressure applied to the second manifold 240 can be lowered to reduce the risk of air bubbles being entrained from the nozzle.

さらに、本実施形態では、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも高い位置に配置している。これにより、加圧サブタンク２２０とヘッド１００との水頭差分だけ第１マニホールド２３０に印加すべき圧力を下げることができる。 Further, in the present embodiment, the pressure sub-tank 220 is arranged at a position higher than that of the first manifold 230. As a result, the pressure to be applied to the first manifold 230 can be reduced by the head difference between the pressurized sub tank 220 and the head 100.

したがって、第１マニホールド２３０にかかる正圧を低くしてノズルから液体が漏れるおそれをより低減しつつ、第２マニホールド２４０にかかる負圧を低くしてノズルから気泡を巻き込むおそれを低減することができる。 Therefore, the positive pressure applied to the first manifold 230 can be lowered to further reduce the risk of liquid leaking from the nozzle, while the negative pressure applied to the second manifold 240 can be lowered to reduce the risk of air bubbles being entrained from the nozzle. ..

また、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも低い位置に配置している。これにより、減圧サブタンク２１０とヘッド１００との水頭差分だけ第２マニホールド２４０に印加すべき負圧の上がりを小さくすることができる。 Further, the decompression sub-tank 210 is arranged at a position lower than that of the second manifold 240. As a result, the increase in negative pressure to be applied to the second manifold 240 can be reduced by the head difference between the decompression sub-tank 210 and the head 100.

したがって、第１マニホールド２３０にかかる正圧を低くしてノズルから液体が漏れるおそれを低減しつつ、第２マニホールド２４０にかかる負圧を低くしてノズルから気泡を巻き込むおそれをより低減することができる。 Therefore, the positive pressure applied to the first manifold 230 can be lowered to reduce the risk of liquid leaking from the nozzle, while the negative pressure applied to the second manifold 240 can be lowered to further reduce the risk of air bubbles being entrained from the nozzle. ..

次に、本発明の第２実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態に係る液体循環装置のブロック説明図である。 Next, the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a block explanatory view of the liquid circulation device according to the same embodiment.

液体循環装置２００は、ヘッド１００から吐出する液体３００を貯留する液体貯留手段であるメインタンク２０１と、加圧サブタンク２２０と、減圧サブタンク２１０と、中間サブタンク２９０と、第１送液ポンプ２０２と、第２送液ポンプ２０３と、第３送液ポンプ２０９を備えている。 The liquid circulation device 200 includes a main tank 201, a pressurized sub tank 220, a depressurized sub tank 210, an intermediate sub tank 290, a first liquid feeding pump 202, which is a liquid storage means for storing the liquid 300 discharged from the head 100. A second liquid feeding pump 203 and a third liquid feeding pump 209 are provided.

また、複数のヘッド１００が通じる第１マニホールド２３０及び第２マニホールド２４０と、各ヘッド１００毎のヘッドタンク２５１及びヘッドタンク２５２と、液体中の溶存気体を除去する脱気手段である脱気装置２６０を備えている。 Further, the first manifold 230 and the second manifold 240 through which the plurality of heads 100 communicate, the head tank 251 and the head tank 252 for each head 100, and the degassing device 260 which is a degassing means for removing the dissolved gas in the liquid. It has.

ここで、加圧サブタンク２２０と減圧サブタンク２１０との間に中間サブタンク２９０が配置され、メインタンク２０１からフィルタ２０５を含む液体経路２８９を介して第３送液ポンプ２０９によって中間サブタンク２９０に送液（供給）する。 Here, the intermediate sub-tank 290 is arranged between the pressurized sub-tank 220 and the depressurized sub-tank 210, and the liquid is sent from the main tank 201 to the intermediate sub-tank 290 by the third liquid feeding pump 209 via the liquid path 289 including the filter 205. Supply).

中間サブタンク２９０には、液面検知手段２９１と、内部を大気開放する大気開放機構を構成する電磁弁２９２を備えている。 The intermediate sub-tank 290 includes a liquid level detecting means 291 and a solenoid valve 292 that constitutes an atmospheric opening mechanism that opens the inside to the atmosphere.

中間サブタンク２９０と減圧サブタンク２１０とは液体経路２８３を通じて接続し、液体経路２８３には第２送液ポンプ２０３を設けている。 The intermediate sub-tank 290 and the decompression sub-tank 210 are connected to each other through a liquid path 283, and a second liquid feeding pump 203 is provided in the liquid path 283.

中間サブタンク２９０と加圧サブタンク２２０とは液体経路２８４を通じて接続し、液体経路２８４には第１送液ポンプ２０２を設けている。液体経路２８４には脱気装置２６０とフィルタ２６１が配置されている。 The intermediate sub-tank 290 and the pressurized sub-tank 220 are connected to each other through a liquid path 284, and a first liquid feeding pump 202 is provided in the liquid path 284. A degassing device 260 and a filter 261 are arranged in the liquid path 284.

第２マニホールド２４０は、ヘッド１００の排出ポート１７２（排出口）側に排出経路２４１介して通じている。排出経路２４１は、ヘッドタンク２５２を介してヘッド１００の排出ポート１７２に接続されている。排出経路２４１にはヘッドタンク２５２より下流側に経路を開閉する電磁弁２４２が設けられている。また、第２マニホールド２４０には圧力センサ２４３が設けられている。 The second manifold 240 is connected to the discharge port 172 (discharge port) side of the head 100 via the discharge path 241. The discharge path 241 is connected to the discharge port 172 of the head 100 via the head tank 252. The discharge path 241 is provided with a solenoid valve 242 that opens and closes the path downstream of the head tank 252. A pressure sensor 243 is provided on the second manifold 240.

ここで、中間サブタンク２９０から、液体経路２８４、加圧サブタンク２２０、液体経路２８１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、ヘッド１００、第２マニホールド２４０、減圧サブタンク２１０を経て中間サブタンク２９０に戻る経路で循環経路３０１が構成される。 Here, the path from the intermediate sub tank 290 to the intermediate sub tank 290 via the liquid path 284, the pressurized sub tank 220, the liquid path 281, the deaerator 260, the first manifold 230, the head 100, the second manifold 240, and the decompressed sub tank 210. The circulation path 301 is configured by.

また、加圧サブタンク２２０と減圧サブタンク２１０、第１送液ポンプ２０２、第２送液ポンプ２０３によって、循環経路を液体が循環する圧力を生じさせる手段を構成している。 Further, the pressurizing sub-tank 220, the depressurizing sub-tank 210, the first liquid feeding pump 202, and the second liquid feeding pump 203 constitute a means for generating a pressure for the liquid to circulate in the circulation path.

次に、この第２実施形態の液体循環装置２００における液体循環方法について説明する。 Next, the liquid circulation method in the liquid circulation device 200 of the second embodiment will be described.

（１）メインタンク２０１−中間サブタンク２９０への液体フロー
液面検知手段２９１で中間サブタンク２９０の液体不足を検知すると、第３送液ポンプ２０９を駆動して、メインタンク２０１から液体経路２８９を介して、液面検知手段２９１の検知結果で液面が満タンとなるまで中間サブタンク２９０に液体供給を行う。 (1) Liquid flow from the main tank 201 to the intermediate sub tank 290 When the liquid level detecting means 291 detects a liquid shortage in the intermediate sub tank 290, the third liquid feeding pump 209 is driven to drive the third liquid feeding pump 209 from the main tank 201 via the liquid path 289. Then, the liquid is supplied to the intermediate sub tank 290 until the liquid level is full based on the detection result of the liquid level detecting means 291.

（２）中間サブタンク２９０−加圧サブタンク２２０への液体フロー
第１送液ポンプ２０２を駆動して、中間サブタンク２９０から液体経路２８４を介して加圧サブタンク２２０に液体を送液することができる。 (2) Liquid flow to the intermediate sub-tank 290-pressurized sub-tank 220 The first liquid feeding pump 202 can be driven to supply liquid from the intermediate sub-tank 290 to the pressurized sub-tank 220 via the liquid path 284.

（３）減圧サブタンク２１０−中間サブタンク２９０への液体フロー
第２送液ポンプ２０３を駆動して、減圧サブタンク２１０から液体経路２８３を介して中間サブタンク２９０にエネルギー液体を送液することができる。 (3) Liquid flow to the decompression sub-tank 210-intermediate sub-tank 290 The second liquid feed pump 203 can be driven to supply energy liquid from the decompression sub-tank 210 to the intermediate sub-tank 290 via the liquid path 283.

（４）加圧サブタンク２２０-循環可能なヘッド１００-減圧サブタンク２１０の液体フロー
圧力センサ２３３による検知圧力が目標圧力（例えば、加圧となる圧力）となるまで第１送液ポンプ２０２を駆動して加圧サブタンク２２０に液体を供給する。また、圧力センサ２４３の検知圧力が目標圧力（例えば負圧となる圧力)となるまで第２送液ポンプ２０３を駆動して中間サブタンク２９０に液体を送液する。 (4) Pressurized sub-tank 220-Circulating head 100-Liquid flow of depressurized sub-tank 210 Drive the first liquid feed pump 202 until the pressure detected by the pressure sensor 233 reaches the target pressure (for example, the pressure to be pressurized). To supply the liquid to the pressurized sub tank 220. Further, the second liquid feeding pump 203 is driven until the detected pressure of the pressure sensor 243 reaches a target pressure (for example, a pressure that becomes a negative pressure), and the liquid is fed to the intermediate sub tank 290.

これにより、加圧サブタンク２２０と減圧サブタンク２１０との間に差圧が発生する。この差圧に応じて、加圧サブタンク２２０から、液体経路２８１を介し、フィルタ２６１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、複数の供給経路２３１、複数のヘッドタンク２５１、複数のヘッド１００、複数の排出経路２４１、複数のヘッドタンク２５２、第２マニホールド２４０、液体経路２８２を介して、減圧サブタンク２１０まで液体が循環可能となる。 As a result, a differential pressure is generated between the pressurized sub-tank 220 and the reduced pressure sub-tank 210. Depending on this differential pressure, the filter 261 and the deaerator 260, the first manifold 230, the plurality of supply paths 231 and the plurality of head tanks 251 and the plurality of heads 100 and the plurality of heads 100 are supplied from the pressurizing sub tank 220 via the liquid path 281. The liquid can be circulated to the decompression sub-tank 210 via the discharge path 241 of the above, the plurality of head tanks 252, the second manifold 240, and the liquid path 282.

本実施形態においても、第１マニホールド２３０を第２マニホールド２４０よりも高い位置に配置することで、第１マニホールド２３０にかかる正圧を低くして液体が漏れるおそれを低減しつつ、第２マニホールド２４０にかかる負圧を低くして泡を巻き込むおそれを低減することができる。 Also in the present embodiment, by arranging the first manifold 230 at a position higher than the second manifold 240, the positive pressure applied to the first manifold 230 is lowered to reduce the risk of liquid leakage, and the second manifold 240 It is possible to reduce the possibility of entraining bubbles by lowering the negative pressure applied to the air bubbles.

また、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも高い位置に配置している。これにより、加圧サブタンク２２０とヘッド１００との水頭差分だけ第１マニホールド２３０に印加すべき圧力を下げることができる。 Further, the pressure sub-tank 220 is arranged at a position higher than that of the first manifold 230. As a result, the pressure to be applied to the first manifold 230 can be reduced by the head difference between the pressurized sub tank 220 and the head 100.

さらに、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも低い位置に配置している。これにより、減圧サブタンク２１０とヘッド１００との水頭差分だけ第２マニホールド２４０に印加すべき負圧の上がりを小さくすることができる。 Further, the decompression sub-tank 210 is arranged at a position lower than that of the second manifold 240. As a result, the increase in negative pressure to be applied to the second manifold 240 can be reduced by the head difference between the decompression sub-tank 210 and the head 100.

次に、本発明の第３実施形態について図９を参照して説明する。図９は同実施形態における液体循環装置の要部模式的説明図である。 Next, the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a schematic explanatory view of a main part of the liquid circulation device according to the same embodiment.

本実施形態では、ヘッド１００は、斜め下方に向けて液体を吐出し、媒体は斜め方向に搬送される。 In the present embodiment, the head 100 discharges the liquid obliquely downward, and the medium is conveyed in the oblique direction.

そして、第１マニホールド２３０はヘッド１００より高い位置に配置し、第２マニホールド２４０はヘッド１００よりも低い位置に配置している。これにより、第１マニホールド２３０の正圧をヘッド１００の手前の圧力Ｐｉｎよりも低く、第２マニホールド２４０の負圧をヘッド１００の直後の負圧Ｐｏｕｔよりも小さくすることができ、ノズルからの液体漏れや気泡巻き込みのおそれを低減することができる。 The first manifold 230 is arranged at a position higher than the head 100, and the second manifold 240 is arranged at a position lower than the head 100. As a result, the positive pressure of the first manifold 230 can be made lower than the pressure Pin in front of the head 100, and the negative pressure of the second manifold 240 can be made smaller than the negative pressure Pout immediately after the head 100, and the liquid from the nozzle can be made. The risk of leakage and air bubble entrainment can be reduced.

なお、本実施形態では斜めに配置した例で示しているが、水平方向に液体を吐出するようにヘッドを配置する構成でも、第１マニホールド２３０、第２マニホールド２４０につて同様の配置を行うことができる。 In this embodiment, the example is shown in which the heads are arranged diagonally, but even in a configuration in which the heads are arranged so as to discharge the liquid in the horizontal direction, the same arrangement is performed for the first manifold 230 and the second manifold 240. Can be done.

次に、本発明の第４実施形態について図１０を参照して説明する。図１０は同実施形態における液体循環装置の要部模式的説明図である。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a schematic explanatory view of a main part of the liquid circulation device according to the same embodiment.

本実施形態では、前記第３実施形態において、前記第１実施形態と同様に、加圧サブタンク２２０は第１マニホールド２３０よりも上方（高い位置）に配置し、減圧サブタンク２１０は第２マニホールド２４０よりも下方（低い位置）に配置している。 In the present embodiment, in the third embodiment, the pressurizing sub tank 220 is arranged above (higher position) than the first manifold 230, and the depressurizing sub tank 210 is located above the second manifold 240, as in the first embodiment. Is also placed below (low position).

このように構成することで、加圧サブタンク２２０の正圧はより低く、減圧サブタンク２１０の負圧はより小さくできるため、ノズルからの液体漏れや気泡巻き込みのおそれをより低減することができる。 With this configuration, the positive pressure of the pressurized sub-tank 220 can be lower and the negative pressure of the decompressed sub-tank 210 can be made smaller, so that the risk of liquid leakage from the nozzle and entrainment of air bubbles can be further reduced.

次に、本発明の第５実施形態について図１１を参照して説明する。図１１は同実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a block explanatory view of the liquid circulation device according to the same embodiment.

本実施形態では、前記第１実施形態において、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも高い位置に配置したまま、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも高い位置に配置している。ここでは、減圧サブタンク２１０を加圧サブタンク２２０と同じ高さに配置しているが、これに限るものではない。 In the present embodiment, in the first embodiment, the pressure reducing sub tank 210 is arranged at a position higher than the second manifold 240 while the pressurizing sub tank 220 is arranged at a position higher than the first manifold 230. Here, the decompression sub-tank 210 is arranged at the same height as the pressurization sub-tank 220, but the present invention is not limited to this.

このように構成した場合、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも低い位置に配置することによる効果は得られないが、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも高い位置に配置することによる効果は得ることができる。 In this configuration, the effect of arranging the decompression sub-tank 210 at a position lower than that of the second manifold 240 cannot be obtained, but the effect of arranging the pressurizing sub-tank 220 at a position higher than that of the first manifold 230. Can be obtained.

次に、本発明の第６実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。 Next, the sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a block explanatory view of the liquid circulation device according to the same embodiment.

本実施形態では、前記第２実施形態において、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも高い位置に配置したまま、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも高い位置に配置している。ここでは、減圧サブタンク２１０を加圧サブタンク２２０と同じ高さに配置しているが、これに限るものではない。 In the present embodiment, in the second embodiment, the pressure reducing sub tank 210 is arranged at a position higher than the second manifold 240 while the pressurizing sub tank 220 is arranged at a position higher than the first manifold 230. Here, the decompression sub-tank 210 is arranged at the same height as the pressurization sub-tank 220, but the present invention is not limited to this.

次に、本発明の第７実施形態について図１３を参照して説明する。図１３は同実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。 Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a block explanatory view of the liquid circulation device according to the same embodiment.

本実施形態では、前記第１実施形態において、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも低い位置に配置したまま、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも低い位置に配置している。ここでは、加圧サブタンク２２０を減圧サブタンク２１０と同じ高さに配置しているが、これに限るものではない。 In the present embodiment, in the first embodiment, the pressure reducing sub tank 210 is arranged at a position lower than the second manifold 240, and the pressure sub tank 220 is arranged at a position lower than the first manifold 230. Here, the pressurized sub-tank 220 is arranged at the same height as the depressurized sub-tank 210, but the present invention is not limited to this.

このように構成した場合、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも高い位置に配置することによる効果は得られないが、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも低い位置に配置することによる効果は得ることができる。 In this configuration, the effect of arranging the pressurizing sub-tank 220 at a position higher than that of the first manifold 230 cannot be obtained, but the effect of arranging the depressurizing sub-tank 210 at a position lower than that of the second manifold 240. Can be obtained.

次に、本発明の第８実施形態について図１４を参照して説明する。図１４は同実施形態における液体循環装置のブロック説明図である。 Next, the eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 14 is a block explanatory view of the liquid circulation device according to the same embodiment.

本実施形態では、前記第２実施形態において、減圧サブタンク２１０を第２マニホールド２４０よりも低い位置に配置したまま、加圧サブタンク２２０を第１マニホールド２３０よりも低い位置に配置している。ここでは、加圧サブタンク２２０を減圧サブタンク２１０と同じ高さに配置しているが、これに限るものではない。 In the present embodiment, in the second embodiment, the pressure reducing sub tank 210 is arranged at a position lower than the second manifold 240, and the pressure sub tank 220 is arranged at a position lower than the first manifold 230. Here, the pressurized sub-tank 220 is arranged at the same height as the depressurized sub-tank 210, but the present invention is not limited to this.

本願において、吐出される「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。 In the present application, the "liquid" to be discharged may have a viscosity and surface tension that can be discharged from the head, and is not particularly limited, but has a viscosity of 30 mPa · s or less at room temperature, under normal pressure, or by heating or cooling. It is preferable that More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, polymerizable compounds, resins, functionalizing materials such as surfactants, biocompatible materials such as DNA, amino acids and proteins, and calcium. , Solvents, suspensions, emulsions, etc. containing edible materials such as natural pigments, etc., for example, inks for inkjets, surface treatment liquids, components of electronic elements and light emitting elements, and formation of electronic circuit resist patterns. It can be used for applications such as a liquid for use and a material liquid for three-dimensional modeling.

「液体吐出ヘッド」には、液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。 The "liquid discharge head" includes a piezoelectric actuator (laminated piezoelectric element and thin film piezoelectric element), a thermal actuator that uses an electrothermal conversion element such as a heat generating resistor, a vibrating plate and a counter electrode as an energy generation source for discharging liquid. Includes those that use electrostatic actuators and the like.

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。 The "device for discharging a liquid" includes a device for driving a liquid discharge head to discharge a liquid. The device for discharging the liquid includes not only a device capable of discharging the liquid to a device to which the liquid can adhere, but also a device for discharging the liquid into the air or the liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。 The "device for discharging the liquid" can also include means for feeding, transporting, and discharging paper to which the liquid can adhere, as well as a pretreatment device, a posttreatment device, and the like.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。 For example, as a "device that ejects a liquid", an image forming apparatus that ejects ink to form an image on paper, and a three-dimensional object (three-dimensional object) are formed in layers in order to form a three-dimensional object. There is a three-dimensional modeling device (three-dimensional modeling device) that discharges the modeling liquid into the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。 Further, the "device for discharging a liquid" is not limited to a device in which a significant image such as characters and figures is visualized by the discharged liquid. For example, those that form patterns that have no meaning in themselves and those that form a three-dimensional image are also included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。 The above-mentioned "material to which a liquid can adhere" means a material to which a liquid can adhere at least temporarily, such as one that adheres and adheres, and one that adheres and permeates. Specific examples include paper, recording paper, recording paper, film, recording media such as cloth, electronic substrates, electronic components such as piezoelectric elements, powder layers (powder layers), organ models, and media such as inspection cells. Yes, including anything to which the liquid adheres, unless otherwise specified.

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。 The material of the above-mentioned "material to which liquid can be attached" may be paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics or the like as long as the liquid can be attached even temporarily.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。 Further, the "device for discharging the liquid" includes, but is not limited to, a device in which the liquid discharge head and the device to which the liquid can adhere move relatively. Specific examples include a serial type device that moves the liquid discharge head, a line type device that does not move the liquid discharge head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。 In addition, as a "device for ejecting a liquid", a treatment liquid coating device for ejecting a treatment liquid to a paper in order to apply the treatment liquid to the surface of the paper for the purpose of modifying the surface of the paper, etc. There is an injection granulation device that granulates fine particles of the raw material by injecting a composition liquid in which the raw material is dispersed in a solution through a nozzle.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。 In addition, image formation, recording, printing, printing, printing, modeling, etc. in the terms of the present application are all synonymous.

５印刷手段
１０連続体
５０ヘッドユニット
１００液体吐出ヘッド（ヘッド）
２００液体供給装置
２０１メインタンク（液体貯留手段）
２０２第１送液ポンプ
２０３第２送液ポンプ
２０９第３送液ポンプ
２１０減圧サブタンク
２２０加圧サブタンク
２３０第１マニホールド
２４０第２マニホールド
２６０脱気装置
２９０中間サブタンク
１０００印刷装置（液体を吐出する装置） 5 Printing means 10 Continuum 50 Head unit 100 Liquid discharge head (head)
200 Liquid supply device 201 Main tank (liquid storage means)
202 1st liquid feed pump 203 2nd liquid feed pump 209 3rd liquid feed pump 210 Decompression sub-tank 220 Pressurized sub-tank 230 1st manifold 240 2nd manifold 260 Degassing device 290 Intermediate sub-tank 1000 Printing device (device that discharges liquid)

Claims

A liquid discharge head having a supply flow path to an individual liquid chamber communicating with a nozzle and a discharge flow path communicating with the individual liquid chamber, and having a supply port communicating with the supply flow path and a discharge port communicating with the discharge flow path. Has a circulation path through which the liquid circulates
In the circulation path,
A first manifold leading to each of the supply ports of the plurality of liquid discharge heads,
A pressure sub-tank that communicates with the first manifold and pressurizes the inside,
Includes a second manifold, which leads to each of the discharge ports of the plurality of liquid discharge heads.
The pressurized sub-tank is arranged at a position higher than the position where the supply port of the liquid discharge head is arranged .
A liquid circulation device characterized in that the first manifold is arranged at a position higher than the liquid discharge head, and the second manifold is arranged at a position lower than the liquid discharge head.

The liquid circulation device according to claim 1, wherein the pressure sub-tank is arranged so that the inner bottom surface of the pressure sub-tank is higher than the supply port of the liquid discharge head.

Leading to the second manifold includes a vacuum sub tank interior is depressurized,
The liquid circulation device according to claim 1 or 2, wherein the decompression sub-tank is arranged at a position lower than the position where the discharge port of the liquid discharge head is arranged.

The liquid circulation device according to claim 3, wherein the decompression sub-tank is arranged so that the liquid level of the liquid contained in the decompression sub-tank is lower than the discharge port of the liquid discharge head.

A liquid discharge head having a supply flow path to an individual liquid chamber communicating with a nozzle and a discharge flow path communicating with the individual liquid chamber, and having a supply port communicating with the supply flow path and a discharge port communicating with the discharge flow path. Has a circulation path through which the liquid circulates
In the circulation path,
A first manifold leading to each of the supply ports of the plurality of liquid discharge heads,
A second manifold leading to each of the discharge ports of the plurality of liquid discharge heads,
Includes a decompression sub-tank that leads to the second manifold and is internally decompressed.
The decompression sub-tank is arranged at a position lower than the position where the discharge port of the liquid discharge head is arranged .
A liquid circulation device characterized in that the first manifold is arranged at a position higher than the liquid discharge head, and the second manifold is arranged at a position lower than the liquid discharge head.

The liquid circulation device according to claim 5, wherein the decompression sub-tank is arranged so that the liquid level of the liquid contained in the decompression sub-tank is lower than the discharge port of the liquid discharge head.

A pressure adjusting means for pressurizing the inside of the pressurizing sub tank and
The liquid circulation device according to claim 3 or 4 , further comprising a pressure adjusting means for reducing the pressure in the decompression sub-tank.

With multiple liquid discharge heads
A device for discharging a liquid, which comprises the liquid circulation device according to any one of claims 1 to 7.