JP6927413B2 - 濾過フィルタ及び濾過装置 - Google Patents
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Description
液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置された枠部と、
を備え、
前記フィルタ部の中心における膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ部の膜厚よりも大きい。
液体に含まれる濾過対象物を濾過する濾過フィルタと、
前記液体が流れる流路を内部に有し、且つ前記濾過フィルタを前記流路に保持するハウジングと、
を備え、
前記濾過フィルタは、
前記濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置される枠部と、
を有し、
前記フィルタ部の中心における膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ部の膜厚よりも大きく、
前記ハウジングは、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第1主面に向かう流路を有する第1ハウジング部と、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第2主面に向かう流路を有する第2ハウジング部と、
を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記濾過フィルタの前記枠部を間に挟んで嵌合するように構成され、且つ、嵌合された状態で前記枠部を厚み方向に挟持し、
前記濾過フィルタの前記枠部は、前記フィルタ部から前記枠部に向かう方向に連続して延びた状態で、前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とによって保持される。
液体に含まれる濾過対象物を、濾過フィルタを用いて濾過する場合、液体が濾過フィルタを通過せず、濾過効率が低下する場合がある。濾過効率の低下を解決する1つの方法として、ピペットを用いて濾過を行う方法がある。
液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置された枠部と、
を備え、
前記フィルタ部の中心における膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ部の膜厚よりも大きい。
前記フィルタ部は、略円形の形状を有し、
前記枠部は、前記フィルタ部11の外周を囲むリング状の形状を有していてもよい。
液体に含まれる濾過対象物を濾過する濾過フィルタと、
前記液体が流れる流路を内部に有し、且つ前記濾過フィルタを前記流路に保持するハウジングと、
を備え、
前記濾過フィルタは、
前記濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置される枠部と、
を有し、
前記フィルタ部の中心における膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ部の膜厚よりも大きく、
前記ハウジングは、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第1主面に向かう流路を有する第1ハウジング部と、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第2主面に向かう流路を有する第2ハウジング部と、
を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記濾過フィルタの前記枠部を間に挟んで嵌合するように構成され、且つ、嵌合された状態で前記枠部を厚み方向に挟持し、
前記濾過フィルタの前記枠部は、前記フィルタ部から前記枠部に向かう方向に連続して延びた状態で、前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とによって保持される。
前記第2ハウジング部は、前記第1ハウジング部と嵌合する側の端部に、前記第1ハウジング部から前記第2ハウジング部に向かう方向に窪む凹段差部を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記凸段差部と前記凹段差部とを嵌合し、且つ、前記濾過フィルタの前記枠部を前記凸段差部の凸面と前記凹段差部の凹面とによって厚み方向に挟持してもよい。
液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置された枠部と、
を備え、
前記フィルタ部は、前記第1主面側に突出する凸形状を有する。
液体に含まれる濾過対象物を濾過する濾過フィルタと、
前記液体が流れる流路を内部に有し、且つ前記濾過フィルタを前記流路に保持するハウジングと、
を備え、
前記濾過フィルタは、
前記濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置される枠部と、
を有し、
前記フィルタ部は、前記第1主面側に突出する凸形状を有し、
前記ハウジングは、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第1主面に向かう流路を有する第1ハウジング部と、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第2主面に向かう流路を有する第2ハウジング部と、
を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記濾過フィルタの前記枠部を間に挟んで嵌合するように構成され、且つ、嵌合された状態で前記枠部を厚み方向に挟持し、
前記濾過フィルタの前記枠部は、前記フィルタ部から前記枠部に向かう方向に連続して延びた状態で、前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とによって保持される。
[全体構成]
図1は、本発明に係る実施の形態1の濾過フィルタ10の一例の概略構成図である。図1の濾過フィルタの構造を示す模式平面図及び模式断面図である。図2(A)は濾過フィルタ10の模式平面図であり、図2(B)は、図1の濾過フィルタ10をA−A線で切断した模式断面図である。図中のX、Y、Z方向は、それぞれ濾過フィルタ10の横方向、縦方向、厚み方向を示している。
図1及び図2に示すように、濾過フィルタ10は、フィルタ部11と、フィルタ部11の外周を囲むように配置された枠部12と、を備える。実施の形態1では、濾過フィルタ10は、金属製フィルタである。
フィルタ部11は、液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面PS1と、第1主面PS1に対向する第2主面PS2とを有する板状構造体である。フィルタ部11には、第1主面PS1と第2主面PS2とを貫通する複数の貫通孔13が形成されている。具体的には、フィルタ部11を構成するフィルタ基体部14に、複数の貫通孔13が形成されている。
言い換えると、フィルタ部11の第1主面PS1上の複数の貫通孔13の開口が同一平面(XY平面)上に形成されている。また、フィルタ部11のうち貫通孔13が形成されていない部分であるフィルタ基体部14は、繋がっており、一体に形成されている。このような構成により、フィルタ部11の表面(第1主面PS1)への濾過対象物の付着が低減され、液体の抵抗を低減することができる。
枠部12は、フィルタ部11の外周を囲むように配置される部材である。枠部12は、フィルタ部11の第1主面PS1側から見て、リング状に形成されている。また、濾過フィルタ10を第1主面PS1側から見て、枠部12の中心は、フィルタ部11の中心と一致する。即ち、枠部12は、フィルタ部11と同心円上に形成されている。
濾過フィルタ10の使用方法の一例を図5A及び図5Bを用いて説明する。図5A及び図5B、それぞれ、濾過フィルタ10の使用方法の工程の一例を示す。
濾過フィルタ10の製造方法の一例を図6A〜6Fを用いて説明する。図6A〜6Fは、それぞれ、濾過フィルタ10の製造工程の一例を示す図である。
めっき液:スルファミン酸ニッケルめっき液
pH値:3.7〜4.1
めっき液の温度:55℃
めっき時間:立ち上がり時間 0〜60s(好ましくは10s)
安定域 20〜60min(好ましくは20min)
電流設定値:0.5〜3A(好ましくは2A)
めっき槽の容積:8L
槽液の攪拌速度:3〜40L/min(好ましくは29L/min)
実施の形態1に係る濾過フィルタ10によれば、以下の効果を奏することができる。
濾過フィルタ10の応力解析シミュレーション結果について説明する。応力解析シミュレーションは、株式会社村田製作所製Femtetを用いて行った。
本発明に係る実施の形態2の濾過装置について説明する。
ハウジング52は、第1ハウジング部60と、第1ハウジング部60に嵌合する第2ハウジング部70と、を備える。ハウジング52は、濾過フィルタ10を間に挟んで第1ハウジング部60と第2ハウジング部70とを嵌合することによって、濾過フィルタ10を流路51内に保持する。具体的には、ハウジング52は、第1ハウジング部60と第2ハウジング部70とによって、濾過フィルタ10の枠部12を厚み方向(Z方向)に挟持する。ハウジング52には、容器との間の気体流路となる溝が設けられている。
濾過装置50における濾過フィルタ10の保持構造について、図17を用いて説明する。
実施の形態2に係る濾過装置50によれば、以下の効果を奏することができる。
11、11a、11b フィルタ部
12 枠部
13 貫通孔
14 フィルタ基体部
20 ピペット
21 基板
22 銅薄膜
23 レジスト膜
24 溝部
30 液体
40、40a、40b、40c、40d、40e、40f 二次元モデル
41 端部
42 端部
43 中央部
50、50A 濾過装置
51 流路
52 ハウジング
60 第1ハウジング部
61 第1流路
62 凸段差部
63、63b 第1フランジ部
63a 第1溝
70 第2ハウジング部
71 第2流路
72 凹段差部
73 第2フランジ部
73a 第2溝
74 持ち手
PS1 第1主面
PS2 第2主面
PS3 第1面
PS4 第2面
D1、D2、D3 半径
CL1 仮想直線
P1 中心
P2、P3 交点
R11、R12、R13 領域
D11、D12 方向
Claims (18)
- 液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔が形成されたフィルタ基体部を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置された枠部と、
を備え、
前記フィルタ部の中心における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ基体部の膜厚よりも大きく、
前記フィルタ部において前記枠部と接する周縁側領域の前記フィルタ基体部の膜厚が最も小さくなる、
濾過フィルタ。 - 前記フィルタ部の前記第2主面は、平坦な形状を有する、請求項1に記載の濾過フィルタ。
- 前記フィルタ部の中心における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記枠部の厚みより大きい、請求項1又は2に記載の濾過フィルタ。
- 前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記枠部の厚みよりも大きい、請求項1〜3のいずれか一項に記載の濾過フィルタ。
- 前記フィルタ部の中心における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ基体部の膜厚の1.1倍以上1.9倍以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の濾過フィルタ。
- 前記フィルタ部は、略円形の形状を有し、
前記枠部は、前記フィルタ部の外周を囲むリング状の形状を有する、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の濾過フィルタ。 - 前記フィルタ部を前記第1主面側から見て、前記フィルタ部の中心に対して、前記フィルタ部の半径の1/3の半径を有する第1仮想円、前記フィルタ部の半径の2/3の半径を有する第2仮想円で前記フィルタ部を分割したとき、前記フィルタ部は、前記第1仮想円で囲まれた円形状の中央側領域と、前記第1仮想円と前記第2仮想円とで挟まれた円環状の中間領域と、前記第2仮想円と前記フィルタ部の外周で囲われた周縁側領域と、を有し、
前記フィルタ部における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記中央側領域>前記中間領域>前記周縁側領域となる、
請求項6に記載の濾過フィルタ。 - 前記フィルタ部における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記フィルタ部の中央から周縁側に向かって小さくなる、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の濾過フィルタ。 - 液体に含まれる濾過対象物を濾過する濾過フィルタと、
前記液体が流れる流路を内部に有し、且つ前記濾過フィルタを前記流路に保持するハウジングと、
を備え、
前記濾過フィルタは、
液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔が形成されたフィルタ基体部を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置された枠部と、
を有し、
前記フィルタ部の中心における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記フィルタ部の中心よりも前記枠部に近い位置における前記フィルタ基体部の膜厚よりも大きく、
前記フィルタ部において前記枠部と接する周縁側領域の前記フィルタ基体部の膜厚が最も小さくなっており、
前記ハウジングは、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第1主面に向かう流路を有する第1ハウジング部と、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第2主面に向かう流路を有する第2ハウジング部と、
を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記濾過フィルタの前記枠部を間に挟んで嵌合するように構成され、且つ、嵌合された状態で前記枠部を厚み方向に挟持し、
前記濾過フィルタの前記枠部は、前記フィルタ部から前記枠部に向かう方向に連続して延びた状態で、前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とによって保持される、濾過装置。 - 前記第1ハウジング部は、前記第2ハウジング部と嵌合する側の端部に、前記第1ハウジング部から前記第2ハウジング部に向かう方向に突出する凸段差部を有し、
前記第2ハウジング部は、前記第1ハウジング部と嵌合する側の端部に、前記第1ハウジング部から前記第2ハウジング部に向かう方向に窪む凹段差部を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記凸段差部と前記凹段差部とを嵌合し、且つ、前記濾過フィルタの前記枠部を前記凸段差部の凸面と前記凹段差部の凹面とによって厚み方向に挟持する、
請求項9に記載の濾過装置。 - 前記第2ハウジング部は、前記第2ハウジング部の側壁から外側に延びるフランジ部を有する、請求項9又は10に記載の濾過装置。
- 前記第1ハウジング部は、前記第1ハウジング部の側壁から外側に延びるフランジ部を有する、請求項11に記載の濾過装置。
- 前記第2ハウジング部は、持ち手を有する、請求項9〜12のいずれか一項に記載の濾過装置。
- 液体に含まれる濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔が形成されたフィルタ基体部を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置された枠部と、
を備え、
前記フィルタ部の前記フィルタ基体部は、前記第1主面側に突出する凸形状を有し、
前記フィルタ部において前記枠部と接する周縁側領域の前記フィルタ基体部の膜厚が最も小さくなる、
濾過フィルタ。 - 前記フィルタ部の前記第2主面は、平坦な形状を有する、請求項14に記載の濾過フィルタ。
- 前記フィルタ部は、前記第1主面側から見て略円形状を有し、
前記フィルタ部を前記第1主面側から見て、前記フィルタ部の中心に対して、前記フィルタ部の半径の1/3の半径を有する第1仮想円、前記フィルタ部の半径の2/3の半径を有する第2仮想円で前記フィルタ部を分割したとき、前記フィルタ部は、前記第1仮想円で囲まれた円形状の中央側領域と、前記第1仮想円と前記第2仮想円とで挟まれた円環状の中間領域と、前記第2仮想円と前記フィルタ部の外周で囲われた周縁側領域と、を有し、
前記フィルタ部における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記中央側領域>前記中間領域>前記周縁側領域となる、
請求項14又は15に記載の濾過フィルタ。 - 前記フィルタ部における前記フィルタ基体部の膜厚は、前記フィルタ部の中央から周縁側に向かって小さくなる、
請求項14〜16のいずれか一項に記載の濾過フィルタ。 - 液体に含まれる濾過対象物を濾過する濾過フィルタと、
前記液体が流れる流路を内部に有し、且つ前記濾過フィルタを前記流路に保持するハウジングと、
を備え、
前記濾過フィルタは、
前記濾過対象物が捕捉される第1主面と前記第1主面に対向する第2主面とを貫通する複数の貫通孔が形成されたフィルタ基体部を有するフィルタ部と、
前記フィルタ部の外周を囲むように配置される枠部と、
を有し、
前記フィルタ部の前記フィルタ基体部は、前記第1主面側に突出する凸形状を有し、
前記フィルタ部において前記枠部と接する周縁側領域の前記フィルタ基体部の膜厚が最も小さくなっており、
前記ハウジングは、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第1主面に向かう流路を有する第1ハウジング部と、
前記濾過フィルタの前記フィルタ部の前記第2主面に向かう流路を有する第2ハウジング部と、
を有し、
前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とは、前記濾過フィルタの前記枠部を間に挟んで嵌合するように構成され、且つ、嵌合された状態で前記枠部を厚み方向に挟持し、
前記濾過フィルタの前記枠部は、前記フィルタ部から前記枠部に向かう方向に連続して延びた状態で、前記第1ハウジング部と前記第2ハウジング部とによって保持される、濾過装置。
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