[go: up one dir, main page]

JP6906674B1 - フレーム収容装置およびフレーム収容方法 - Google Patents

フレーム収容装置およびフレーム収容方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6906674B1
JP6906674B1 JP2020205748A JP2020205748A JP6906674B1 JP 6906674 B1 JP6906674 B1 JP 6906674B1 JP 2020205748 A JP2020205748 A JP 2020205748A JP 2020205748 A JP2020205748 A JP 2020205748A JP 6906674 B1 JP6906674 B1 JP 6906674B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
accommodating
frame
shielding
shielding member
accommodating means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020205748A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022092820A (ja
Inventor
祐太 黒澤
祐太 黒澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lintec Corp filed Critical Lintec Corp
Priority to JP2020205748A priority Critical patent/JP6906674B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6906674B1 publication Critical patent/JP6906674B1/ja
Priority to KR1020210161160A priority patent/KR20220083580A/ko
Priority to TW110144307A priority patent/TWI874731B/zh
Priority to CN202111504871.3A priority patent/CN114620491A/zh
Publication of JP2022092820A publication Critical patent/JP2022092820A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G57/00—Stacking of articles
    • B65G57/02—Stacking of articles by adding to the top of the stack
    • B65G57/03—Stacking of articles by adding to the top of the stack from above
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0019—End effectors other than grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D65/00—Wrappers or flexible covers; Packaging materials of special type or form
    • B65D65/02—Wrappers or flexible covers
    • B65D65/14—Wrappers or flexible covers with areas coated with adhesive
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/914—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67363—Closed carriers specially adapted for containing substrates other than wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2313/00—Connecting or fastening means
    • B65D2313/10—Adhesive or cohesive means for holding the contents attached to the container
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/041—Camera
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)

Abstract

【課題】装置が大型化することを防止することができるフレーム収容装置およびフレーム収容方法を提供すること。【解決手段】フレーム部材ＲＦを取り出す取出口１４、２４を有し、フレーム部材ＲＦを取出可能に収容する複数の収容手段１０、２０と、複数の収容手段１０、２０の取出口１４、２４を選択的に遮蔽する遮蔽部材３２を有する遮蔽手段３０と、複数の収容手段１０、２０間で遮蔽部材３２を移動させる移動手段４０とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、フレーム収容装置およびフレーム収容方法に関する。
複数の収容手段にフレーム部材を収容するフレーム収容装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、収容手段におけるフレーム部材の取出口を遮蔽部材で遮蔽するフレーム収容装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開２０１４−２７０１５号公報 特開２０２０−７７７３７号公報
特許文献１に記載されたシート貼付装置１（フレーム収容装置）の第１フレーム収容手段３Ａおよび第２フレーム収容手段３Ｂ（収容手段）の各々に、例えば、特許文献２に記載されたカセット載置機構１０のドア部２８（遮蔽部材）を設ける場合、遮蔽部材の数が増えてしまい、装置が大型化するという不都合がある。
本発明の目的は、装置が大型化することを防止することができるフレーム収容装置およびフレーム収容方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、複数の収容手段間で遮蔽部材を移動させるため、遮蔽部材の数を削減することができ、装置が大型化することを防止することができる。
また、移動手段を取出手段で構成すれば、取出手段とは別に移動手段を設ける必要がなく、装置が大型化することをより防止することができる。
本発明の一実施形態に係るフレーム収容装置の説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ｂ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
本発明のフレーム収容装置ＥＡは、フレーム部材としてのリングフレームＲＦを取り出す取出口１４、２４を有し、リングフレームＲＦを取出可能に収容する複数の収容手段としての第１収容手段１０および第２収容手段２０と、第１、第２収容手段１０、２０の取出口１４、２４を選択的に遮蔽する遮蔽部材３２を有する遮蔽手段３０と、第１、第２収容手段１０、２０間で遮蔽部材３２を移動させる移動手段４０と、第１、第２収容手段１０、２０の取出口１４、２４からリングフレームＲＦを取り出す取出手段５０とを備えている。本実施形態の場合、フレーム収容装置ＥＡは、リングフレームＲＦに所定の処理を施す処理装置ＥＡ１の近傍に配置されている。
第１収容手段１０は、図示しない本体フレームに支持された複数のスライドレール１１と、スライドレール１１のスライダ１１Ａに支持され、リングフレームＲＦを積層して収容する収容台１２と、収容台１２に支持され、リングフレームＲＦを位置決めする複数の位置決め部材１３と、位置決め部材１３で囲まれた上向きの開口で構成される取出口１４とを備えている。
第２収容手段２０は、第１収容手段１０と同様の構成であり、第１収容手段１０の各構成の付番号の先頭の１の記号を２に置き換えることで説明ができるので、その説明を省略する。
遮蔽手段３０は、図示しない本体フレームに支持されたリニアガイドレール３１と、リニアガイドレール３１のスライダ３１Ａに支持され、金属板、樹脂板、ガラス板等の板状部材で構成された遮蔽部材３２と、遮蔽部材３２にブラケット３３を介して支持され、当該ブラケット３３から上方に突出したピン３４とを備えている。
移動手段４０は、本実施形態では取出手段５０と兼用する構成が採用され、取出手段５０で構成されている。
取出手段５０は、駆動機器としての多関節ロボット５１と、多関節ロボット５１の先端アーム５１Ａにブラケット５２を介して支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な複数の吸着パッド５３と、ブラケット５２に支持され、ピン３４が挿入されて係止する係止穴５４Ａを有する係止部材５４と、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成され、遮蔽部材３２を検知する検知手段５５とを備えている。なお、本実施形態の検知手段５５は、収容台１２、２２上に収容されているリングフレームＲＦも検知可能になっている。
多関節ロボット５１は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム５１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。
以上のフレーム収容装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたフレーム収容装置ＥＡに対し、当該フレーム収容装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、同図中二点鎖線で示すように、収容台１２、２２を左方に引き出し、その上にリングフレームＲＦを積層して収容した後、当該収容台１２、２２を初期位置に復帰させる。次いで、使用者が図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、取出手段５０が検知手段５５を駆動し、遮蔽部材３２を検知してこの検知結果を基に、遮蔽部材３２によって遮蔽されていない方の収容手段（本実施形態の場合、第１収容手段１０）からリングフレームＲＦを取り出す。すなわち、取出手段５０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、第１収容手段１０の取出口１４に吸着パッド５３を挿入し、当該吸着パッド５３でリングフレームＲＦを吸着保持する。その後、取出手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、吸着パッド５３で保持したリングフレームＲＦを処理装置ＥＡ１の作業台ＴＡに載置した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、作業台ＴＡに載置されたリングフレームＲＦは、処理装置ＥＡ１によって所定の処理や所定の加工が施される。
次に、第１収容手段１０から全てのリングフレームＲＦが取り出されたことを検知手段５５が検知すると、この検知結果を基に、取出手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、図１（Ａ）、（Ｂ）中二点鎖線で示すように、係止部材５４を移動して係止穴５４Ａにピン３４を挿入させた後、遮蔽部材３２を前方に移動させて第１収容手段１０の取出口１４を遮蔽する。そして、取出手段５０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、上記と同様の動作で第２収容手段２０からリングフレームＲＦを取り出し、当該リングフレームＲＦを処理装置ＥＡ１の作業台ＴＡに載置する上記同様の動作が繰り返される。なお、第１収容手段１０から全てのリングフレームＲＦが取り出され、取出口１４が遮蔽部材３２で遮蔽されると、使用者が収容台１２を左方に引き出し、その上にリングフレームＲＦを積層して収容した後、当該収容台１２を初期位置に復帰させる。
以上のような実施形態によれば、第１、第２収容手段１０、２０間で遮蔽部材３２を移動させるため、遮蔽部材３２の数を削減することができ、装置が大型化することを防止することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
例えば、第１収容手段１０および第２収容手段２０は、前側、後側および右側のうち、少なくとも１つが壁で仕切られていてもよいし、収容台１２、２２および位置決め部材１３、２３に代えて、複数の棚で仕切られ、フレーム部材を多段に収容するカセットが採用されてもよいし、取出口は上向きに限らず、前向き、後向き、右向き、左向きまたは下向きでもよいし、スライドレール１１、２１に代えてまたは併用して、キャスタを採用したり、リニアモータや多関節ロボット等の駆動機器で収容台１２、２２やカセットを移動可能に支持したりしてもよいし、リングフレームＲＦを１体のみ収容してもよいし、接着シートが貼付されたリングフレームＲＦを収容してもよいし、接着シートを介して被着体を支持したリングフレームＲＦを収容してもよいし、第１収容手段１０および第２収容手段２０の一方の収容手段から全てのリングフレームＲＦが取り出された後、当該一方の収容手段の取出口１４、２４が遮蔽部材３２で遮蔽される前に、当該一方の収容手段にフレーム部材が収容されてもよいし、第１収容手段１０と第２収容手段２０とで異なるフレーム部材を収容してもよいし、第１収容手段１０と第２収容手段２０とで異なる構成を採用してもよい。
収容手段は、フレーム収容装置ＥＡに３体以上備わっていてもよい。
遮蔽手段３０は、リニアガイドレール３１に代えて、駆動機器としてのリニアモータを採用したり、遮蔽部材３２を支持するチャックシリンダや支柱等の支持手段を第１、第２収容手段１０、２０ごとに設けたりしてもよいし、位置決め部材１３、２３上に遮蔽部材３２を載置して当該遮蔽部材３２で取出口１４、２４を遮蔽してもよいし、金属、布、フィルム等の部材で遮蔽部材３２を構成してもよいし、ピン３４に代えてまたは併用して、先端アーム５１Ａやブラケット５２を把持するチャックシリンダやラッチ等の把持手段を設けてもよい。
移動手段４０は、ブラケット５２に係止部材としてのピンを設け、遮蔽部材３２に設けた係止穴に当該ピンを挿入して、遮蔽部材３２に係止部材を係止してもよいし、多関節ロボット５１の先端アーム５１Ａでメカチャックやチャックシリンダ等の把持手段や、吸着パッド等の保持手段を支持し、当該把持手段または保持手段で遮蔽部材３２を把持または保持してもよいし、取出手段５０で構成されていなくてもよく、取出手段５０で構成されていない場合、例えば、リニアガイドレール３１に代えてまたは併用して、リニアモータや多関節ロボット等の駆動機器で遮蔽部材３２を移動可能に支持し、当該駆動機器で遮蔽部材３２を第１、第２収容手段１０、２０間で移動させてもよい。
取出手段５０は、第１収容手段１０からリングフレームＲＦを取り出すものと、第２収容手段２０からリングフレームＲＦを取り出すものとを独立して設けてもよいし、３体以上の収容手段からリングフレームＲＦを取り出してもよいし、移動手段４０と兼用しない構成でもよく、移動手段４０と兼用しない場合、移動手段４０から独立して第１、第２収容手段１０、２０からリングフレームＲＦを取り出すものを採用すればよいし、係止部材５４が備わっていなくてもよいし、収容台１２、２２上に収容されているリングフレームＲＦを検知手段５５で検知しない構成でもよく、この場合、検知手段５５と別体に設けられ、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成されたフレーム検知手段でリングフレームＲＦを検知すればよい。
処理装置ＥＡ１は、例えば、フレーム部材を検査する検査装置、フレーム部材を位置決めする位置決め装置、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段でフレーム部材に接着シートを貼付するシート貼付装置、フレーム部材に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置、フレーム部材を清掃する清掃装置等、フレーム部材に所定の処理を施すものであればどのようなものでもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、収容手段は、フレーム部材を取り出す取出口を有し、フレーム部材を取出可能に収容可能なものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
フレーム部材、接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、フレーム部材、接着シートおよび被着体は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、該当するシートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
ＥＡ…フレーム収容装置
１０…第１収容手段（収容手段）
１４…取出口
２０…第２収容手段（収容手段）
２４…取出口
３０…遮蔽手段
３２…遮蔽部材
４０…移動手段
５０…取出手段
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）

Claims (3)

  1. フレーム部材を取り出す取出口を有し、前記フレーム部材を取出可能に収容する複数の収容手段と、
    前記複数の収容手段の前記取出口を選択的に遮蔽する遮蔽部材を有する遮蔽手段と、
    前記複数の収容手段間で前記遮蔽部材を移動させる移動手段とを備えていることを特徴とするフレーム収容装置。
  2. 前記複数の収容手段の前記取出口から前記フレーム部材を取り出す取出手段を備え、
    前記移動手段は、前記取出手段で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のフレーム収容装置。
  3. フレーム部材を取り出す取出口を有し、前記フレーム部材を取出可能な複数の収容手段間で遮蔽部材を移動させて、当該遮蔽部材で前記取出口を選択的に遮蔽する遮蔽工程と、
    前記取出口が前記遮蔽部材で遮蔽された収容手段に前記フレーム部材を収容する収容工程とを実施することを特徴とするフレーム収容方法。
JP2020205748A 2020-12-11 2020-12-11 フレーム収容装置およびフレーム収容方法 Active JP6906674B1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020205748A JP6906674B1 (ja) 2020-12-11 2020-12-11 フレーム収容装置およびフレーム収容方法
KR1020210161160A KR20220083580A (ko) 2020-12-11 2021-11-22 프레임 수용 장치 및 프레임 수용 방법
TW110144307A TWI874731B (zh) 2020-12-11 2021-11-29 框架收容裝置以及框架收容方法
CN202111504871.3A CN114620491A (zh) 2020-12-11 2021-12-10 框架收纳装置以及框架收纳方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020205748A JP6906674B1 (ja) 2020-12-11 2020-12-11 フレーム収容装置およびフレーム収容方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6906674B1 true JP6906674B1 (ja) 2021-07-21
JP2022092820A JP2022092820A (ja) 2022-06-23

Family

ID=76918307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020205748A Active JP6906674B1 (ja) 2020-12-11 2020-12-11 フレーム収容装置およびフレーム収容方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6906674B1 (ja)
KR (1) KR20220083580A (ja)
CN (1) CN114620491A (ja)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001244220A (ja) * 2000-02-29 2001-09-07 Tokyo Seimitsu Co Ltd ダイシング装置
JP2002541678A (ja) * 1999-04-13 2002-12-03 インフィネオン テクノロジース エスシー３００ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はｃｄ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置
JP2004147540A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Kawasaki Kiko Co Ltd 乗用作業型茶刈機
WO2013157462A1 (ja) * 2012-04-16 2013-10-24 ローツェ株式会社 収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー
JP2014003195A (ja) * 2012-06-20 2014-01-09 Lintec Corp シート貼付装置および貼付方法
JP2014007216A (ja) * 2012-06-22 2014-01-16 Lintec Corp シート貼付装置および貼付方法
JP2014027015A (ja) * 2012-07-24 2014-02-06 Lintec Corp シート貼付装置および貼付方法
JP2016009786A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 株式会社ディスコ テープ貼着装置
JP2017050504A (ja) * 2015-09-04 2017-03-09 リンテック株式会社 供給装置および供給方法
JP2020077737A (ja) * 2018-11-07 2020-05-21 株式会社ディスコ カセット載置機構

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002541678A (ja) * 1999-04-13 2002-12-03 インフィネオン テクノロジース エスシー３００ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はｃｄ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置
JP2001244220A (ja) * 2000-02-29 2001-09-07 Tokyo Seimitsu Co Ltd ダイシング装置
JP2004147540A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Kawasaki Kiko Co Ltd 乗用作業型茶刈機
WO2013157462A1 (ja) * 2012-04-16 2013-10-24 ローツェ株式会社 収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー
JP2014003195A (ja) * 2012-06-20 2014-01-09 Lintec Corp シート貼付装置および貼付方法
JP2014007216A (ja) * 2012-06-22 2014-01-16 Lintec Corp シート貼付装置および貼付方法
JP2014027015A (ja) * 2012-07-24 2014-02-06 Lintec Corp シート貼付装置および貼付方法
JP2016009786A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 株式会社ディスコ テープ貼着装置
JP2017050504A (ja) * 2015-09-04 2017-03-09 リンテック株式会社 供給装置および供給方法
JP2020077737A (ja) * 2018-11-07 2020-05-21 株式会社ディスコ カセット載置機構

Also Published As

Publication number Publication date
CN114620491A (zh) 2022-06-14
JP2022092820A (ja) 2022-06-23
KR20220083580A (ko) 2022-06-20
TW202230596A (zh) 2022-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006057376A1 (ja) 脆質部材の処理装置
JP6906674B1 (ja) フレーム収容装置およびフレーム収容方法
TWI735578B (zh) 薄片貼附裝置及貼附方法
JP6848151B2 (ja) 離間装置および離間方法
TWI874731B (zh) 框架收容裝置以及框架收容方法
JP6166872B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
TWI623971B (zh) Sheet sticking device and method for preventing enlargement of the device
CN106560913B (zh) 处理装置
KR102033795B1 (ko) 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법
JP5914206B2 (ja) シート貼付装置
JP6216583B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP5973813B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP7499074B2 (ja) 搬送装置
JP6315784B2 (ja) シート剥離装置および剥離方法
TW202036776A (zh) 被接著體處理方法
KR20230108698A (ko) 반송 장치 및 반송 방법, 그리고, 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법
JP6857763B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP7009177B2 (ja) シート剥離装置および剥離方法
JP2014007216A (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP6815270B2 (ja) エネルギー付与装置およびエネルギー付与方法
JP6122316B2 (ja) 押圧装置および押圧方法
JP2015012138A (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP2021192419A (ja) 転写装置および転写方法
JP2023008231A (ja) シート剥離装置およびシート剥離方法
JP2013098323A (ja) 支持装置及び支持方法、並びに、シート剥離装置及び剥離方法、更に、シート貼付装置及び貼付方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210521

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20210521

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210622

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6906674

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250