JP6887617B2 - センサヘッド - Google Patents

Description

本発明は、センサヘッドに関する。

計測対象物に接触することなく、その位置を計測する装置として、共焦点光学系を用いた共焦点計測装置が普及している。

例えば、特許文献１記載の共焦点計測装置は、光源と計測対象物の間に回折レンズが配置された共焦点光学系を用いている。計測対象物に向かって出射した光は、その波長に応じた距離で合焦する。計測装置は、計測対象物で反射した光の波長のピークに基づき、計測対象物の位置を計測することができる。

このような計測装置では、「センサヘッド」等と称される機器が計測対象物に向けて配置され、センサヘッドから計測対象物に向けて光を出射させる。センサヘッドは、光路となる空間が内部に形成されたケースを有しており、当該空間には共焦点光学系を構成する部品が収容されている。当該部品は多数に上るため、センサヘッドの組み立て作業には大きな手間を要する。

特許文献２には、複数のケース部から成るケースを備えたセンサヘッドが記載されている。複数のケース部は、互いに接続されることにより、その内部に光路となる空間を形成する。このケースを分解すると、各ケース部の内部が露出して部品の配置を容易に行うことができるため、組み立て作業の手間を軽減することが可能になる。

特許文献２記載のセンサヘッドでは、光軸に沿う方向に見た場合に（以下、この方向に見た場合を「光軸方向視」という。）、レンズが略円形状を呈しているのに対し、各ケース部は略四角形状を呈している。ケース部の四隅は、ねじ穴を形成するスペースとして用いられている。また、各ケース部は、その厚み方向に貫通するねじにより、互いに固定されている。

特開２０１２−２０８１０２号公報 特開２０１５−１４３６５２号公報

特許文献２記載のセンサヘッドでは、光軸方向視において、ケース部の四隅がレンズよりも外方に大きく張り出しているため、センサヘッドが大型化するおそれがある。センサヘッドの大型化を抑制する方法として、小型のレンズを用いるものが考えられる。しかしながら、レンズの小型化に伴ってその有効径が小さくなると、計測精度の低下を招くおそれがある。

また、各ケース部の肉厚方向に貫通するねじにより、各ケース部を互いに固定する構成では、ねじ穴周辺の剛性を確保するために、ケース部の肉厚も十分大きくしなければならない。このようなケース部の肉厚の増加も、センサヘッドの大型化を招くおそれがある。

そこで、本発明は、計測精度を担保しつつ、小型化が可能なセンサヘッドを提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るセンサヘッドは、計測対象物の位置を計測するセンサのセンサヘッドであって、光源側から入射する光を光軸に沿うように計測対象物側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズと、回折レンズよりも計測対象物側に配置され、回折レンズ側から入射する光を集めて計測対象物側に出射させるとともに、計測対象物側から入射した光を光軸に沿うように回折レンズ側に出射させる対物レンズと、内部に空間が形成され、該空間に少なくとも回折レンズ及び対物レンズを収容しているケースと、を備える。ケースは、光軸を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第１ケース部及び第２ケース部と、光軸を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材と、を有している。第１ケース部は、その内部に回折レンズが配置されている。第２ケース部は、その内部に対物レンズが配置されている。接続部材は、その外周面に雄ねじ部が形成されている。第１ケース部及び第２ケース部は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部が接続部材の雄ねじ部と螺合することにより互いに接続している。

この態様によれば、ケースは、第１ケース部及び第２ケース部を有している。第１ケース部及び第２ケース部は、光軸を中心軸とする略円筒形状を呈しており、それぞれの内周面には雌ねじ部が形成されている。第１ケース部及び第２ケース部は、当該雌ねじ部が接続部材の雄ねじ部と螺合することにより、接続部材を介して互いに接続している。略円筒形状の第１ケース部及び第２ケース部をこのように接続することにより、第１ケース部や第２ケース部が光軸方向視で対物レンズ等から外方に大きく張り出すことを抑制できる。この結果、計測精度を担保しつつ、ケースを小型化することができる。

前述した態様において、接続部材は、回折レンズと対物レンズとの間に配置されていてもよい。

接続部材を介して第１ケース部と第２ケース部とを接続すると、光軸に沿う方向におけるケースの寸法のばらつきが顕著になるおそれがある。このようなばらつきは、ケースの内部における光の適切な進行を阻害し、計測精度を低下させるおそれがある。

これに対し、上記構成では、接続部材は、回折レンズと対物レンズとの間に配置されている。この位置では、光は光軸に沿うように進行する。したがって、上記構成によれば、光が光軸に対して傾斜するように進行する位置に接続部材を配置した場合と比べて、ケースの寸法に生じたばらつきの影響を軽減し、計測精度の低下を抑制することができる。

前述した態様において、ケースは、接続部材と別体で接続部材と回折レンズとの間に配置される押さえ部材を有し、押さえ部材は、光軸を中心軸とする略円環形状を呈し、その外周面に雄ねじ部が形成され、該雄ねじ部が第１ケース部の雌ねじ部と螺合することにより回折レンズを光源側に押圧して固定していてもよい。

第１ケース部の雌ねじは接続部材の雄ねじと螺合し、第２ケース部の雌ねじは接続部材の雄ねじと螺合する。これらの螺合により第１ケース部と第２ケース部とが当接すると、接続部材に、光軸に沿う方向の外力が作用することがある。仮に、接続部材が、回折レンズを押圧して固定する機能を併せて有していた場合、このような外力が作用することにより、回折レンズの固定が不安定になるおそれがある。

これに対し、上記構成では、回折レンズを光源側に押圧して固定する押さえ部材は、接続部材と別体で、接続部材と回折レンズとの間に配置されている。したがって、光軸に沿う方向の外力が接続部材に作用した場合でも、当該外力が押さえ部材に及ぶことはない。この結果、回折レンズを安定的に固定しつつ、接続部材を介して第１ケース部と第２ケース部とを接続することができる。

前述した態様において、光軸に沿う方向において、押さえ部材の寸法は、接続部材の寸法よりも小さくてもよい。

この態様によれば、押さえ部材の寸法を比較小さくすることにより、接続部材の寸法を比較的大きくし、第１ケース部と第２ケース部とを確実に接続することができる。

前述した態様において、第１ケース部及び第２ケース部の少なくとも一方は、その外周面に凹部が形成されており、該凹部の底面は平面であってもよい。

この態様によれば、作業者は、センサヘッドを組み立てる際に、工具を凹部の底面に安定的に当接させ、当該凹部が形成されたケース部にトルクを伝達することができる。この結果、略円筒形状を呈する第１ケース部及び第２ケース部をケースに用いながらも、上述した雄ねじと雌ねじとを螺合させるためのトルクを付加し、センサヘッドの組み立てを容易に行うことができる。

本発明によれば、計測精度を担保しつつ、小型化が可能なセンサヘッドを提供することができる。

実施形態に係るセンサヘッドを示す斜視図である。 図１のセンサヘッドを示す斜視図である。 図１のセンサヘッドを示す上面図である。 図３のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。 図２の接続部材及び押さえ部材を示す斜視図である。 図４のＶＩ部を示す拡大図である。

添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図において、同一の符号を付したものは、同一又は同様の構成を有する。

図１は、実施形態に係るセンサヘッド１００を示す斜視図である。センサヘッド１００は、計測対象物２００の位置を計測するセンサの一部を構成しており、ケース１を備えている。ケース１は、第１ケース部２と、第２ケース部３と、を有している。

第１ケース部２は略円筒形状を呈しており、その内部には、後述する回折レンズ５（図２等参照）が配置されている。ケース１の端部にはファイバケース８が接続されている。ファイバケース８の内部には、光源（不図示）から出射した白色光を第１ケース部２に導く光ファイバが配置されている。回折レンズ５は、光ファイバから出射した光に対し、光軸に沿う方向に色収差を生じさせる。

第２ケース部３は略円筒形状を呈しており、その内部には、後述する対物レンズ群７が配置されている。第２ケース部３は、対物レンズ群７の一部を露出させるように、対物レンズ群７を固定している。

センサヘッド１００は、対物レンズ群７を計測対象物２００に向けるようにして用いられる。回折レンズ５を透過して色収差が生じた光は、対物レンズ群７で屈折して集められ、計測対象物２００側に出射する。図１は、焦点距離が比較的長い第１波長の光２１０と、焦点距離が比較的短い第２波長の光２２０とを図示している。第１波長の光２１０は、計測対象物２００の表面で合焦するが、第２波長の光２２０は、計測対象物２００の手前で合焦する。

計測対象物２００の表面で反射した光は、対物レンズ群７に入射する。当該光は対物レンズ群７により集められ、回折レンズ５を透過して光ファイバ側に進行する。第１波長の光２１０は、光ファイバにおいて合焦し、そのほとんどが光ファイバに入射する。一方、その他の波長の光は、光ファイバでは合焦せず、ほとんど光ファイバに入射しない。

光ファイバに入射した光は、光ファイバに接続された分光器（不図示）に導かれる。分光器は、光の波長のピークを検出し、当該ピークに基づいて計測対象物２００の位置を計測する。

このようなセンサヘッド１００において、第１ケース部２の内周面には雌ねじ部２ａが形成され、第２ケース部３の内周面には雌ねじ部３ｄが形成されている（図６参照）。第１ケース部２及び第２ケース部３は、雌ねじ部２ａ，３ｄが接続部材６の雄ねじ部６ａと螺合することにより、接続部材６を介して互いに接続している。略円筒形状の第１ケース部２及び第２ケース部３をこのように接続することにより、第１ケース部２や第２ケース部３が光軸方向視において対物レンズ群７等から外方に大きく張り出すことを抑制できる。この結果、計測精度を担保しつつ、ケース１を小型化することができる。

［構成例］
次に、図２から図６を参照しつつ、センサヘッド１００の構成の一例について説明する。図２は、センサヘッド１００を示す斜視図である。図２は、センサヘッド１００の一部を分解して示している。図３は、センサヘッド１００を示す上面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。図５は、接続部材６及び押さえ部材２３を示す斜視図である。図６は、図４のＶＩ部を示す拡大図である。

＜第１ケース部＞
第１ケース部２は、一端が開放された略円筒形状を呈しており、その中心軸が軸ＡＸと略一致するように配置されている。軸ＡＸは仮想の直線である。図５及び図６に示すように、第１ケース部２の一端の内周面には、雌ねじ部２ａが形成されている。

また、図２及び図３に示すように、第１ケース部２の他端には、センサヘッド１００の固定に用いられる固定部２１，２２が形成されている。図２及び図４に示すように、固定部２１，２２の間には、第１ケース部２の内外を連通させる連通孔２ｂが形成されている。図４に示すように、第１ケース部２は、その内部にレンズホルダ４及び回折レンズ５を収容している。

レンズホルダ４は、略円筒形状を呈する部材である。レンズホルダ４の内径は、部位により異なっている。レンズホルダ４の内部には、第１コリメートレンズ４２ａと、第２コリメートレンズ４２ｂと、が配置されている。

第１コリメートレンズ４２ａは、レンズホルダ４の内部に固定されている。第２コリメートレンズ４２ｂは、第１コリメートレンズ４２ａと間隔を空けて配置されている。

レンズホルダ４は、その全体が第１ケース部２の内部に収容され、第１ケース部２に対して固定されている。これにより、第１コリメートレンズ４２ａ及び第２コリメートレンズ４２ｂは、いずれも光軸が軸ＡＸと略一致するように配置される。

回折レンズ５は、レンズホルダ４よりも計測対象物２００側で、その光軸が軸ＡＸと略一致するように配置されている。回折レンズ５は、入射した光に対し、軸ＡＸに沿う方向（以下「軸ＡＸ方向」という。）に色収差を生じさせる。回折レンズ５として、焦点距離が光の波長に反比例するレンズを採用することができる。

＜第２ケース部＞
第２ケース部３は、略円筒形状を呈している。第２ケース部３の一端は開放され、他端には開口３ｂが形成されている。図６に示すように、第２ケース部３の一端の内周面には、雌ねじ部３ｄが形成されている。開口３ｂは、第２ケース部３の中心軸に沿って見た場合に、略真円形状を呈している。図２に示すように、第２ケース部３の外周面には、複数の凹部３ａが形成されている。凹部３ａの底面は平面である。図４に示すように、第２ケース部３は、その内部に対物レンズ群７と、スペーサ３１〜３３と、押さえ部材３４と、を収容している。

対物レンズ群７は、本発明に係る「対物レンズ」の一例である。対物レンズ群７は、第１対物レンズ７１と、第２対物レンズ７２と、第３対物レンズ７３と、第４対物レンズ７４と、を有している。この対物レンズ群７の各レンズはいずれも略円形状を呈しており、その直径は、第２ケース部３の内径と略同一である。

尚、本発明に係る「対物レンズ」は、対物レンズ群７のように複数のレンズから構成されるものでもよいし、単一のレンズでもよい。

スペーサ３１〜３３は、略円環形状を呈している。スペーサ３１〜３３の外径は、対物レンズ群７の各レンズの外径と略同一である。

押さえ部材３４は、略円環形状を呈しており、その外周面には雄ねじ部が形成されている。当該雄ねじ部のピッチは、第２ケース部３の内周面の雌ねじ部３ｄのピッチと略同一である。

対物レンズ群７の各レンズは、互いに間隔を空け、いずれも光軸が軸ＡＸと略一致するように直線状に配列されている。詳細には、図６に示すように、第１対物レンズ７１は、第２ケース部３の開口３ｂの周縁３ｃと当接し、開口３ｂから露出するように配置されている。第２対物レンズ７２は、スペーサ３１を挟んで第１対物レンズ７１と対向するように配置されている。第３対物レンズ７３は、スペーサ３２を挟んで第２対物レンズ７２と対向するように配置されている。第４対物レンズ７４は、スペーサ３３を挟んで第３対物レンズ７３と対向するとともに、スペーサ３３と押さえ部材３４との間に挟まれ、第２ケース部３の内部に固定されている。押さえ部材３４の外周面の雄ねじ部は、第２ケース部３の内周面の雌ねじ部３ｄと螺合している。対物レンズ群７の各レンズは、透過する光に波面収差を生じさせないように配列されている。

＜ファイバケース＞
図２及び図４に示すように、ファイバケース８は、板ばね８１を介して第１ケース部２に対して固定されている。板ばね８１は、ねじ２７により第１ケース部２の上部に固定されるとともに、ねじ２８により第１ケース部２の端部に固定されている。ファイバケース８は、光ファイバ（不図示）を内部に収容している。光ファイバの先端には、フェルール８２が接続されている。図４に示すように、フェルール８２は、第１ケース部２の連通孔２ｂに挿通されている。

図２に示すように、第１ケース部２の上部には、ねじ２７を覆うように上部ラベル９１が貼付される。また、第１ケース部２の下部には、下部ラベル９２が貼付される。上部ラベル９１及び下部ラベル９２には、製品名等のロゴが印字されていてもよい。

＜押さえ部材、接続部材＞
図２及び図５に示すように、接続部材６は、略円環形状を呈している。接続部材６の外周面には、雄ねじ部６ａが形成されている。雄ねじ部６ａのピッチは、第１ケース部２の雌ねじ部２ａのピッチ、及び、第２ケース部３の雌ねじ部３ｄのピッチと略同一である。接続部材６の端部には、複数の切欠き６ｂが形成されている。

押さえ部材２３は、本発明に係る「押さえ部材」の一例である。図２及び図５に示すように、押さえ部材２３は、略円環形状を呈している。押さえ部材２３の外周面には、雄ねじ部２３ａが形成されている。雄ねじ部２３ａのピッチは、接続部材６の雄ねじ部６ａのピッチと略同一である。図５に示すように、押さえ部材２３の端部には、複数の切欠き２３ｂが形成されている。押さえ部材２３の外径は接続部材６の外径と略同一であり、押さえ部材２３の内径は接続部材６の内径と略同一である。また、中心軸に沿う方向における押さえ部材２３の寸法Ｗ２３は、同方向における接続部材６の寸法Ｗ６よりも小さい。

図６に示されるように、押さえ部材２３は、その雄ねじ部２３ａが第１ケース部２の雌ねじ部２ａと螺合するように配置される。作業者は、工具（不図示）を切欠き２３ｂに係合させることにより、工具から押さえ部材２３にトルクを伝達し、雄ねじ部２３ａを螺合させることができる。これにより、押さえ部材２３は、回折レンズ５よりも計測対象物２００側で、その中心軸が軸ＡＸと略一致するように、第１ケース部２の内部に配置される。

押さえ部材２３が第１ケース部２の内部に配置されると、回折レンズ５は押さえ部材２３により光源側に押圧される。回折レンズ５は、押さえ部材２３と、第１ケース部２の段部２５との間に挟まれ、第１ケース部２の内部で固定される。

雄ねじ部６ａにおいて第１ケース部２の雌ねじ部２ａと螺合した接続部材６は、第１ケース部２の一端から外部に臨出する。第２ケース部３の雌ねじ部３ｄは、この接続部材６の雄ねじ部６ａうち、第１ケース部２の一端から外部に臨出している部分と螺合する。作業者は、工具（不図示）を第２ケース部３の凹部３ａの底面に当接させ、第２ケース部３にトルクを伝達し、雄ねじ部６ａを雌ねじ部２ａに螺合させることができる。これにより、第２ケース部３は、接続部材６を介して第１ケース部２に接続される。第２ケース部３は、その中心軸が軸ＡＸと略一致するように接続される。

［動作例］
光源が発した白色光は、光ファイバによりセンサヘッド１００側に導かれ、フェルール８２に至る。当該光は、拡散しながら、フェルール８２からケース１の内部に進入する。

ケース１の内部に進入した光の一部は、レンズホルダ４の内部に進入する。当該光は、第２コリメートレンズ４２ｂと第１コリメートレンズ４２ａとを順に透過する。第１コリメートレンズ４２ａ及び第２コリメートレンズ４２ｂは、光源側から入射する光の進行方向を変え、計測対象物２００側に出射させる。具体的には、図６に矢印Ｌ１１で示すように、第１コリメートレンズ４２ａから出射して回折レンズ５に向かう光は、拡散しながら進行する。

回折レンズ５は、第１コリメートレンズ４２ａ側から入射する光に色収差を生じさせ、矢印Ｌ１２で示すように、軸ＡＸに沿うように出射させる。当該光は、対物レンズ群７で屈折して集められ、第２ケース部３の開口３ｂを通過して計測対象物２００に向かって出射する。

計測対象物２００の表面で反射した光は、第２ケース部３の開口３ｂを通過して対物レンズ群７に入射する。対物レンズ群７は、入射した光を屈折させ、矢印Ｌ２１で示すように、軸ＡＸに沿うように光源側に出射させる。回折レンズ５は、計測対象物２００側から入射する光を透過させ、矢印Ｌ２２で示すように、光源側に出射させる。第１コリメートレンズ４２ａ及び第２コリメートレンズ４２ｂは、計測対象物２００側から入射する光を集め、光源側に出射させる。

センサヘッド１００では、略円筒形状の第１ケース部２及び第２ケース部３をこのように接続することにより、軸ＡＸ方向に見た場合に、第１ケース部２及び第２ケース部３が対物レンズ群７から外方に大きく張り出すことを抑制できる。この結果、計測精度を担保しつつ、ケース１を小型化することができる。

また、接続部材６は、回折レンズ５と対物レンズ群７との間に配置されている。この位置では、光は光軸でもある軸ＡＸに沿うように進行する。したがって、この構成によれば、光が軸ＡＸに対して傾斜するように進行する位置に接続部材６を配置した場合と比べて、ケース１の寸法に生じたばらつきの影響を軽減し、計測精度の低下を抑制することができる。

第１ケース部２の雌ねじ部２ａは接続部材６の雄ねじ６ａと螺合し、第２ケース部３の雌ねじ部３ｄは接続部材６の雄ねじ６ａと螺合する。これらの螺合により第１ケース部２と第２ケース部３とが当接すると、図６に示すように、接続部材６に、軸ＡＸ方向の外力Ｆが作用することがある。仮に、接続部材６が、回折レンズ５を押圧して固定する機能を併せて有していた場合、このような外力Ｆが作用することにより、回折レンズ５の固定が不安定になるおそれがある。

これに対し、センサヘッド１００では、回折レンズ５を光源側に押圧して固定する押さえ部材２３は、接続部材６と別体で接続部材６と回折レンズ５との間に配置されている。したがって、軸ＡＸ方向の外力Ｆが接続部材６に作用した場合でも、当該外力Ｆが押さえ部材に及ぶことはない。この結果、回折レンズ５を安定的に固定しつつ、接続部材６を介して第１ケース部２と第２ケース部３とを接続することができる。

また、軸ＡＸ方向において、押さえ部材２３の寸法Ｗ２３は、接続部材６の寸法Ｗ６よりも小さい。この態様によれば、押さえ部材２３の寸法Ｗ２３を比較小さくすることにより、接続部材６の寸法Ｗ６を比較的大きくし、第１ケース部２と第２ケース部３とを確実に接続することができる。

また、第２ケース部３は、その外周面に凹部３ａが形成されており、該凹部３ａの底面は平面である。この態様によれば、センサヘッド１００を組み立てる際に、工具を凹部３ａの底面に安定的に当接させ、当該凹部３ａが形成された第２ケース部３にトルクを伝達することができる。この結果、略円筒形状を呈する第１ケース部２及び第２ケース部３をケース１に用いながらも、雄ねじ部６ａと雌ねじ部３ｄとを螺合させるためのトルクを付加し、センサヘッド１００の組み立てを容易に行うことができる。

尚、センサヘッド１００は、本発明に係る「凹部」が第２ケース部３のみに形成されている。しかしながら、本発明はこの態様に限定されない。つまり、本発明に係る「凹部」は、第１ケース部２及び第２ケース部３の少なくとも一方に形成されていればよい。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

［附記］
計測対象物（２００）の位置を計測するセンサのセンサヘッド（１００）であって、
光源側から入射する光を光軸（ＡＸ）に沿うように計測対象物（２００）側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズ（５）と、
前記回折レンズ（５）よりも計測対象物（２００）側に配置され、前記回折レンズ（５）側から入射する光を集めて計測対象物（２００）側に出射させるとともに、前記計測対象物（２００）側から入射した光を前記光軸（ＡＸ）に沿うように前記回折レンズ（５）側に出射させる対物レンズ（７）と、
内部に空間が形成され、該空間に少なくとも前記回折レンズ（５）及び前記対物レンズ（７）を収容しているケース（１）と、を備え、
前記ケース（１）は、前記光軸（ＡＸ）を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第１ケース部（２）及び第２ケース部（３）と、前記光軸（ＡＸ）を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材（６）と、を有し、
前記第１ケース部（２）は、その内部に前記回折レンズ（５）が配置され、
前記第２ケース部（３）は、その内部に前記対物レンズ（７）が配置され
前記接続部材（６）は、その外周面に雄ねじ部（６ａ）が形成され、
前記第１ケース部（２）及び前記第２ケース部（３）は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部（２ａ，３ｄ）が前記接続部材（６）の雄ねじ部（６ａ）と螺合することにより互いに接続している、
センサヘッド。

１…ケース、２…第１ケース部、２ａ…雌ねじ部、２３…押さえ部材、２３ａ…雄ねじ部、３…第２ケース部、５…回折レンズ、６…接続部材、６ａ…雄ねじ部、７…対物レンズ群（対物レンズ）、１００…センサヘッド、２００…計測対象物、ＡＸ…軸（光軸）

Claims (3)

1. 計測対象物の位置を計測するセンサのセンサヘッドであって、
   光源側から入射する光を光軸に沿うように計測対象物側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズと、
   前記回折レンズよりも計測対象物側に配置され、前記回折レンズ側から入射する光を集めて計測対象物側に出射させるとともに、前記計測対象物側から入射した光を前記光軸に沿うように前記回折レンズ側に出射させる対物レンズと、
   内部に空間が形成され、該空間に少なくとも前記回折レンズ及び前記対物レンズを収容しているケースと、を備え、
   前記ケースは、前記光軸を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第１ケース部及び第２ケース部と、前記光軸を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材及び押さえ部材と、を有し、
   前記第１ケース部は、その内部に前記回折レンズが配置され、
   前記第２ケース部は、その内部に前記対物レンズが配置され、
   前記接続部材は、前記回折レンズと前記対物レンズとの間に配置され、その外周面に雄ねじ部が形成され、
   前記第１ケース部及び前記第２ケース部は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部が前記接続部材の雄ねじ部と螺合することにより互いに接続し、
   前記押さえ部材は、前記接続部材と別体で前記接続部材と前記回折レンズとの間に配置され、その外周面に雄ねじ部が形成され、該雄ねじ部が前記第１ケース部の雌ねじ部と螺合することにより前記回折レンズを光源側に押圧して固定しており、
   前記光軸に沿う方向において、前記押さえ部材の寸法は、前記接続部材の寸法よりも小さい、
   センサヘッド。
2. 前記第１ケース部及び前記第２ケース部の少なくとも一方は、その外周面に凹部が形成されており、該凹部の底面は平面である、
   請求項１に記載のセンサヘッド。
3. 計測対象物の位置を計測するセンサのセンサヘッドであって、
   光源側から入射する光を光軸に沿うように計測対象物側に出射させ、該光に対して色収差を生じさせる回折レンズと、
   前記回折レンズよりも計測対象物側に配置され、前記回折レンズ側から入射する光を集めて計測対象物側に出射させるとともに、前記計測対象物側から入射した光を前記光軸に沿うように前記回折レンズ側に出射させる対物レンズと、
   内部に空間が形成され、該空間に少なくとも前記回折レンズ及び前記対物レンズを収容しているケースと、を備え、
   前記ケースは、前記光軸を中心軸とする略円筒形状を呈し端部が開放された第１ケース部及び第２ケース部と、前記光軸を中心軸とする略円環形状を呈する接続部材と、を有し、
   前記第１ケース部は、その内部に前記回折レンズが配置され、
   前記第２ケース部は、その内部に前記対物レンズが配置され、
   前記接続部材は、その外周面に雄ねじ部が形成され、
   前記第１ケース部及び前記第２ケース部は、それぞれの内周面に形成されている雌ねじ部が前記接続部材の雄ねじ部と螺合することにより互いに接続し、
   前記第１ケース部及び前記第２ケース部の少なくとも一方は、その外周面に凹部が形成されており、該凹部の底面は平面である、
   センサヘッド。

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