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JP6878985B2 - 部品搭載装置、部品搭載方法、およびプログラム - Google Patents

部品搭載装置、部品搭載方法、およびプログラム Download PDF

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Description

本発明は、部品搭載装置、部品搭載方法、およびプログラムに関するものである。
電子部品の基板実装は、次の様な手順で行われる。
はじめに、はんだ印刷装置を用いて基板上に形成した導体のランド(land)にクリーム(cream)はんだを印刷し、はんだ印刷検査装置によりはんだの状態を検査する。検査ではんだの状態が問題ないと判断されると、部品搭載装置を用いて基板上の指定位置に部品を搭載する。そして、基板をリフロー(reflow)炉へ搬入する。リフロー炉内では、基板を加熱することによってはんだを溶融させ、その後に基板を冷却してはんだを固化させることで、基板と部品を接合する。最後に、外観検査装置により基板と部品の接合状態を検査し、問題ないと判断されると実装終了となる。
ここで、はんだ印刷工程における不良の1つに、ツノと呼ばれるものがある。これは、はんだ上面にツノのような突起が生じる現象である。ツノが生じた状態で、そのまま部品を搭載すると突起部分が倒れてランドの外へはみ出し、はんだを溶融・固化して部品を基板へ接合した際に、ブリッジ(bridge)や、はんだボール(ball)などの不良が発生する可能性が高くなる。
このため、はんだ印刷検査装置による外観検査では、基板やランド、或いははんだ上面からの高さが、別途設定する閾値以上である突起を検出した場合、はんだ印刷不良であるとして警告を行う。
しかし、はんだ固化後に不良となる可能性がある突起を全て前記検査で検出すると、検出数が増加し、設備の停止回数も増加するため生産性が低下する可能性がある。
この問題に対し、特許文献1では、はんだの位置、平均高さ、最大高さ、体積、三次元形状のうち1つ以上を用いて、部品の搭載位置・高さを補正する方法が示されている。
例えば、チップ(chip)部品の両端を接合する2つのランドへ印刷されたはんだ量が異なる場合は、部品搭載時にはんだ体積の多いランドの方へ搭載位置をずらす。この補正により、はんだ溶融時に部品が一方のランドへ引き寄せられ起こるツームストン(tombstone)現象や、部品傾きなどの不良となる可能性を低減している。
また、印刷されたはんだ量が前記2つのランド共に多い場合は、部品を搭載する際の高さを高くする。この補正により、過剰に印刷されたはんだが、搭載された部品によってランドの外へ大きく押し出されることを回避している。その結果、はんだ固化後にブリッジ等の不良となる可能性を低減している。
この様に、特許文献1に示される技術により、はんだ印刷状態に起因する、はんだのはみ出し量は低減されると考えられる。
特許第4372719号公報
しかし、特許文献1においては、はんだ印刷後にツノと呼ばれる突起が生じた場合の搭載位置補正方法は記載されていない。そのため、特許文献1に記載の技術を用いても、突起に起因する前記部品の搭載後の前記はんだのはみ出し量の低減は、限定的であると考えられる。
本発明の目的は、上述した課題を鑑み、基板に印刷されたはんだの突起に起因する、部品の搭載後のはんだのはみ出しを抑制する部品搭載装置、部品搭載方法、およびプログラムを提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明の部品搭載装置は、基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載する部品搭載手段と、前記はんだの位置と形状を検知する検知手段と、前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正して前記部品を搭載する前記部品搭載手段に指示する制御手段とを備える。
上記の目的を達成するために、本発明の部品搭載方法は、基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載し、前記はんだの位置と形状を検知し、前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正して前記部品を搭載する。
上記の目的を達成するために、本発明のプログラムは、基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載し、前記はんだの位置と形状を検知し、前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正して前記部品を搭載することを指示することをコンピュータに実行させる。
本発明によれば、部品搭載装置、部品搭載方法、およびプログラムは基板に印刷されたはんだなどのクリームはんだの突起に起因する、部品の接合後の不具合を防止することが可能になる。
第1の実施形態の構成例を示す図である。 第2の実施形態の構成例を示す図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の動作を説明する図である。 第2の実施形態の変形例を説明する図である。
[第1の実施形態]
次に、本発明の実施の形態について図1を参照して詳細に説明する。
図1に第1の実施形態の構成を示す。
本実施形態の部品搭載装置100は、部品搭載手段101と、検知手段102と、制御手段103とを備える。部品搭載手段101は、基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載する。検知手段102は、前記はんだの位置と形状を検知する。制御手段103は、前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正する。そして、制御手段103は、前記部品を搭載する前記部品搭載手段101に指示する。
この様にすることで、部品を搭載することではんだの突起が倒れて、基板上の所定の範囲からはんだの突起の先端が飛び出して、他の部位にはんだが付着したりすることが防止できる。特に、所定の範囲の外側に、導体パターンが配置されている場合には、はんだのブリッジを防止することが可能である。
[第2の実施形態]
次に、第2の実施形態について図2乃至図8を参照して説明する。
[構成の説明]
図2に第2の実施形態の構成を示す。
本実施形態の部品搭載装置200は、部品搭載手段201、検知手段202、および制御手段203によって構成される。
部品搭載手段201は、プリント基板表面の導体ランド上に印刷された、クリームはんだの上に、部品を予め基板上に設定された位置に、自動的に搭載する自動搭載機である。
ここで、搭載とは、ランドに印刷されたクリームはんだの上に部品の電極面が接する様に、部品を基板上の予め決められた位置と高さに置く動作であることとする。
検知手段202は、部品を基板に搭載する前に、基板表面に印刷されたクリームはんだの形状を検知する。例えば、はんだ印刷検査装置を用いることが考えられる。検知手段202は、特許文献1に示される様に、印刷されたはんだに対して3次元計測用の光を照射し、照射した光に基づいて撮像を行って、はんだの3次元計測を行うことでもよい。
制御手段203は、CPU(Central Processing Unit;中央処理装置)を含み、部品搭載装置200のハードウェアを制御し、ソフトウェア処理を行う。また、制御手段203は、記憶素子からなる情報の記憶手段である記憶手段204を備える。
[動作の説明]
次に、本実施形態の動作の説明を図3乃至図8を参照して説明する。
基板へ部品を接合する際は、はんだ印刷により前記基板の表面に設けられたランド上へはんだを印刷する。この印刷では、メタルマスクと呼ばれる、ランドの位置と大きさに合わせた開口を持つ金属板を用い、基板とメタルマスクの位置を合わせて接触させ、開口にクリーム状のはんだを充填する。その後、基板とメタルマスクを離間する方法が、一般的に用いられている。
本実施形態の部品搭載装置200は、はんだを印刷した後の基板を計測してから、基板に部品を搭載するまでの動作を行う。
図3に基板に搭載される部品1010の例を示す。部品1010は、SOP(Small Outline Package)と称される形状であり、ガルウィング状(gull-wing-shaped)の電極1011を有する。そして、電極1011の先端部分1012が基板のランドと、はんだで接合される。
図4は、部品を搭載する基板1020と、基板1020の表面に設けられたランド1021の例を示す。
基板1020は、ガラスエポキシ(Glass epoxy)、テフロン(登録商標)(Teflon(登録商標))、セラミック(ceramic)などの誘電体材料の板材である。そして、基板1020は、表面に導体箔によるランド1021などの導体ランドを備えている。ランド1021は、部品の電極の先端部分、図3の部品1010では先端部分1012の寸法より大きく設計される。
まず、記憶手段が記憶する、基板を基準とする相対位置で表される基板1020のランドの位置と形状について説明する。
図5は、基板1020の表面に決められた座標原点に対するランドの位置を、X軸、Y軸、およびZ軸の直交座標系で表している。図5では基板1020の表面の左下を座標原点としているが、基板上の他の場所を座標原点としてもよい。
そして、ランド1031の中心位置が座標(XL1,YL1,0)、ランド1032の中心位置が座標(XL2,YL2,0)として、記憶手段204に記憶されている。他のランドについても、同様に中心位置が記憶手段204に記憶されている。
また、図5に示すランドの形状は、同じ形状であるとして、ランドのX方向の長さをdXL、Y方向の長さをdYLとして記憶手段204に記憶されている。
更に、部品搭載位置として(XB,YB,0)が記憶手段204に記憶されている。この部品搭載位置は、部品に予め決められた基準位置を、基板1020の表面に定められた位置(XB,YB,0)に合わせて搭載するための位置である。基板表面に定められる部品搭載位置は、部品底面の中心を合わせるべき位置に設定されることが多い。図5の例では、部品に予め決められた基準位置を部品底面の中心とし、基板1020の表面に定められた部品搭載位置は、基板表面の8つのランドの中心としている。
以上が、ランドの位置と形状についての説明である。
次に、記憶手段が記憶する、部品の位置と形状の情報について説明する。
図6は、部品1010の底面に決められた座標原点に対する電極などの位置を、X’軸とY’軸の直交座標系で表している。図6では、座標原点を部品底面の図に示した位置に設定しているが、座標原点を部品底面の他の位置に設定してもよい。
部品1010は、電極を備えていて、図6の例では8本の同じ形状の電極を備えている。その電極の内、2本を例として電極1041、電極1042として示している。電極はガルウィング形状をしている。そして、電極の基板のランドと接合する部分は、X’方向の長さが図中のdX’P、Y’方向の長さがdY’Pで囲まれる範囲である。以下、dX’PとdY’Pで囲まれる範囲の電極の底面を、電極面と称する。dX’P、およびdY’Pの値は、記憶手段204に記憶されている。
また、電極1041の電極面の中心位置(以下、電極中心位置)が(X’P1,Y’P1)、電極1042の電極中心位置が(X’P2,Y’P2)として記憶手段204に記憶されている。他の電極についても、同様に電極中心位置が、記憶手段204に記憶されている。
更に、部品に予め決められた搭載の基準位置として(X’P,Y’P)が部品底面に定められている。図6では上面図に(X’P,Y’P)の位置が示されているが、部品底面に定められた位置を、上面図で透視している様子を示している。そして、図6の例では、部品に予め決められた基準位置は、一般的に行われている様に、部品底面の中心としている。
部品の位置と形状の情報は、部品の電極中心位置、電極面のX’方向とY’方向の長さ、搭載時に基板表面に定められた位置に合わせるための部品底面に定められた基準位置を含む。
尚、部品1010の基準位置(X’P,Y’P)を、基板1020の搭載位置(XB,YB)に合わせて部品1010を搭載した時に、部品1010を基板1020の座標で表すことについて補足する。
例えば、図6の電極1041の電極中心(X’P1,Y’P1)は、基板上の座標で示すと次式で表される。
(X’P1+(XB−X’P),Y’P1+(YB−Y’P)) ・・・(1)
以上が、部品の位置と形状の情報についての説明である。
次に、基板の表面に印刷されたはんだの位置と形状の情報について説明する。
図7は、はんだ印刷後の基板1020のランド1021の例を模式的に示す。図7では、図4および図5で示したランド1021のうちの2つとして、ランド1031とランド1032を示している。
基板1020は、表面にランド1131とランド1132を有している。そして、ランド1131とランド1132の上部には、それぞれはんだ1101と、はんだ1102が印刷されている。実際には、はんだ1101、およびはんだ1102の各角部は、図7に示すような直角ではなく、上面図、断面図、共に各角部は曲線となる。
図7では、はんだ1101の上部に、ツノとも称される突起1111が発生している様子を示す。ここで、突起1111は楕円錐状であるものとする。
図7に示す基板1020が、検知手段202に投入される。
検知手段202は、はんだ1101、およびはんだ1102をはじめとする、はんだの情報を、各ランドに印刷されたはんだ毎に取得する。はんだの情報は3次元であり、基板表面からの高さを含む、基板に対する相対的なはんだの位置を含む。
各はんだの情報は、ランドの位置と形状の情報の座標系と同じ、基板を基準とする相対位置で表される。
以上が、はんだの位置と形状の情報についての説明である。
次に、印刷後の基板にツノと呼ばれる突起が、はんだブリッジによる不良を生じる可能性がある、要対策突起であることを、制御手段203が判断する方法について説明する。
はんだが印刷された基板が、検知手段202に投入され、検知手段202は、上述の第3の情報を検知する。
検知手段は、第3の情報を制御手段203に送信する。
以下の説明では、図7と同じ基板の例の説明のために図8を参照する。
制御手段203は、検知手段202から受信した第3の情報のうち、予め決められた基板表面からのはんだの高さの閾値より高い位置にあるはんだを、突起の候補として抽出する。
そして、突起の候補の基板表面の位置と、基板表面からの頂点の高さを、記憶手段204に記憶する。
ここで、閾値ははんだ上面の平坦な部分の高さ(図8のHF)としてもよい。しかし、はんだ上面には緩やかな凹凸が存在するので、はんだ上面の平坦な部分の高さより高い値を閾値としてもよい。
尚、本実施形態では、検知手段202が検知したはんだの位置と形状の情報を、全て制御手段に送信している。しかし、検知手段202で突起の候補を抽出し、突起の候補の基板表面の位置と、基板表面からの頂点の高さを制御手段203に送信し、制御手段203は検知手段202から受信した突起の候補の情報を記憶手段204に記憶する様にしてもよい。
次に、制御手段203は、記憶手段204に記憶される突起の候補のそれぞれについて、頂点の位置と前述の閾値との差を計算して、突起候補の高さを求める。図8において、閾値をはんだ上面の平坦な部分の高さ(HF)に設定すると、突起候補の高さはHTである。
そして、制御手段203は、この突起候補の閾値を超えた領域のX方向の長さをdXT、Y方向の長さをdYTとする。また、制御手段203は、dXTの中央の位置をXT、dYTの中央の位置をYTとする。
制御手段203は、閾値より高い突起の候補のうち、更に(XT,YT)の位置が、部品が搭載された場合の電極面の外側にあるものを改めて突起の候補とする。図9は、部品が搭載された場合の電極面の外側に突起の候補がある場合を示す。
図9は、部品搭載手段201が部品を搭載している途中の様子を示していて、電極1041、電極1042が図の下方、矢印の向きに移動している。電極1041の電極面はこのまま下方に移動しても、突起1111の頂点を押し潰すことは無く、突起1111はXの正の向きに倒れる可能性がある。
この様な理由で、制御手段203は、閾値を超えた突起の候補のうち、更に(XT,YT)の位置が、部品が搭載された場合の電極面の外側にあるものを改めて突起の候補とする。
次に、制御手段203は、突起の候補が、部品搭載後に不良となる可能性の有無を判断する。
図8で、ランド1031の上の突起1111が、X方向に倒れて隣接するランド1032に達すると、ランド1031とランド1032の間で、はんだブリッジが生じる。
突起1111がXの正の方向に倒れた時の、基板上のはんだの頂点のX方向の位置は、次式で表すこととする。
XT+HT+(dXT/2) ・・・(2)
ランド1032の中心位置は、図5で示した様に(XL1,YL1)であるので、Xの負の方向の端部のX座標は次式で表すことができる。
XL2−(dXL/2) ・・・(3)
従って、突起1111がXの正の方向に倒れて、ランド1031とランド1032の間で、はんだブリッジが生じる条件は、次式を満足する場合である。
XT+HT+(dXT/2) > XL2−(dXL/2) ・・・(4)
(4)式を満足した突起を、要対策突起1112として記憶手段204に記憶する。
ここで、ランド1031とランド1032の間で、はんだブリッジを生じる判断条件として予め距離dcを設定して、次式の様にしてもよい。
XT+HT+(dXT/2) > XL2−(dXL/2)+dc ・・・(5)
(5)式の判断条件を用いると、(4)式の判断条件を用いた場合より、はんだブリッジによる不良と判断される可能性は高くなる。言い換えると、(4)式の判断条件より、(5)式の判断条件に基づいて不良を改善すると、不良は少なくなる。
制御手段203は、全ての突起の候補について式(4)または式(5)の判断条件に基づいて、はんだブリッジが出来る可能性の有無を判断する。そして、はんだブリッジが出来る可能性がある突起、即ち要対策突起1112の基板上の位置と、基板表面からの高さを記憶手段204に記憶する。
次に、制御手段203が、はんだブリッジが出来る可能性がある、要対策突起1112について、部品の搭載位置を補正して、はんだブリッジを生じない様にする方法を説明する。
はんだの突起が倒れることで、他のランドと突起の先端が接触しない様にするためには、突起を潰す様に部品を搭載すればよい。
そこで、突起の頂点を電極中心位置と一致させる様にする。以下、その方法について説明する。
図8に示される突起1111が存在するランド1031は、図6に示される部品の電極1041と接合される。
電極1041の電極中心位置は、(X’P1,Y’P1)である。
部品1010の基準位置(X’P,Y’P)を、基板1020の搭載位置(XB,YB)に合わせて部品1010を搭載すると、(X’P1,Y’P1)は基板上の座標系では次式で表される。この基板上の座標を(XP1,XP2)とする。
(X’P1+(XB−X’P),Y’P1+(YB−Y’P))=(XP1,XP2)
・・・(6)
また、図8に示す突起1111の基板上の位置は、(XT,YT)である。
電極中心(XP1,YP1)を突起1111と一致させるには、次に示す(ΔX,ΔY)だけ部品の位置を補正して搭載すればよい。
(ΔX,ΔY)=(XT−XP1,YT−YP1) ・・・(7)
そして、補正後の基板上の部品搭載位置(XB’,YB’)は、次式で表される。
(XB’,YB’)=(XB+ΔX,YB+ΔY) ・・・(8)
尚、(8)式に基づいて、基板上の部品搭載位置を補正するのではなく、次式に基づいて部品に決められた搭載の基準位置(X’P1,Y’P)を補正して搭載してもよい。
(X’P,Y’P)=(XP−ΔX,YP−ΔY) ・・・(9)
以上が、突起の頂点を電極中心位置と一致させる方法の説明である。
以上の様にして制御手段203が、補正後の部品搭載位置を求めると、制御手段203は部品搭載手段201に、補正後の部品搭載位置で部品を搭載することを指示する。
補正後の部品搭載位置で部品を搭載している様子を、図10に示す。
図10は、は図9の位置で搭載されようとしていた部品が、補正後の搭載位置で搭載している途中の様子を示していて、電極1041、電極1042が図の下方、矢印の向きに移動している。電極1041の電極面の中心は、突起1111の頂点と一致していて、突起1111の頂点は電極面1041で押し潰される。
この様にして、部品搭載装置200は、部品の搭載位置を補正して部品を搭載することで、突起の頂点と部品の電極の電極中心位置が一致する。その結果、突起を潰す様に部品が搭載されるため、はんだの突起が倒れて他のランドと突起の先端が接触することがなくなり、はんだブリッジの発生が防止される。
尚、図7および図8に示されていないランドに、別の要対策突起が存在する場合には、部品搭載装置200は、要対策突起1112について計算した補正値で部品を搭載した後、一旦部品を1020から離間させる。そして、部品搭載装置200は、要対策突起1112以外の要対策突起について算出した補正値を用いて再度部品を搭載してもよい。
以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、次のように拡張または変形できる。
第2の実施形態では、クリームはんだの上に部品を搭載する例を示したが、銀ペースト(paste)、および導電性接着剤の上に部品を搭載する場合にも、本発明は適用可能である。
第2の実施形態では、はんだの突起の先端と、補正後の部品の電極中心位置が一致する様に部品搭載位置を補正した。しかし、はんだの突起の先端が、電極面に収まる様に、部品の搭載位置を補正することでも良い。
また、部品搭載手段201が部品を搭載した後、基板を加熱しはんだが溶融すると、はんだの表面張力によって部品がランドの中央に移動するセルフアライメントが働く。そこで、第2の実施形態における部品搭載の補正値を、セルフアライメントが働く範囲内に設定してもよい。この様にすることで、セルフアライメントが働きにくい部品について過大な補正を行って、はんだ固化後に不良となる可能性を回避可能となる。
また、部品を搭載する基板表面からの第1の高さの他に、第2の高さを設定しておく。ここで、第2の高さは第1の高さより大きく、要対策突起を第2の高さより低くすることで(4)式或いは(5)式を満たさなくなる様な値とする。
そして、部品搭載手段201は、(4)式或いは(5)式を満足する要対策突起について、第2の実施形態で求めた補正後の部品搭載位置(XB’,YB’)に第2の高さまで、一旦、部品を下降する。次に、部品搭載手段201は、部品を上昇して補正前の部品搭載位置(XB,YB)に部品を移動し、第1の高さへ下降して部品を搭載する。
この様にすると、部品搭載装置は、搭載によるはんだのはみ出しを抑制しながら突起に起因する不良を防止するとともに、セルフアライメントによらず、正しい搭載位置に部品を搭載することが可能となる。
更に、第2の実施形態の別の変形例を示す。図11に示す様に、補正無しのまま部品を搭載して電極1041が高さHT1である突起1111を潰しても、突起1111の一部が潰れずに高さHT2の突起が残存する可能性がある場合は、次の様にすることができる。即ち、制御手段203は残存が予想される突起の高さHT2の値を計算し、制御手段203はHT2の値に基づいて、搭載位置を補正して突起1111を潰すかどうかを判断する様にしてもよい。
また、本発明は、実施形態の機能を実現する情報処理プログラムが、システム或いは装置に直接或いは遠隔から供給される場合にも適用可能である。
100 部品搭載装置
101 部品搭載手段
102 検知手段
103 制御手段
200 部品搭載装置
201 部品搭載手段
202 検知手段
203 制御手段
204 記憶手段
1010 部品
1011 電極
1012 先端部分
1020 基板
1021 ランド
1031 ランド
1032 ランド
1041 電極
1042 電極
1101 はんだ
1102 はんだ
1111 突起
1112 要対策突起
1131 ランド
1132 ランド

Claims (9)

  1. 基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載する部品搭載手段と、
    前記はんだの位置と形状を検知する検知手段と、
    前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正して前記部品を搭載する前記部品搭載手段に指示する制御手段とを備える
    ことを特徴とする部品搭載装置。
  2. 前記補正は、前記基板表面の水平方向における前記突起の頂点の位置を、前記基板表面の水平方向における前記電極面の中心位置と一致させる
    ことを特徴とする請求項1に記載の部品搭載装置。
  3. 前記判断は、前記電極面と前記突起の位置及び形状の情報を用いることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の部品搭載装置。
  4. 基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載し、
    前記はんだの位置と形状を検知し、
    前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正して前記部品を搭載する
    ことを特徴とする部品搭載方法。
  5. 前記補正は、前記基板表面の水平方向における前記突起の頂点の位置を、前記基板表面の水平方向における前記電極面の中心位置と一致させる
    ことを特徴とする請求項4に記載の部品搭載方法。
  6. 前記判断は、前記電極面と前記突起の位置及び形状の情報を用いることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の部品搭載方法。
  7. 基板表面のランドに印刷されたはんだの上の所定の位置に部品の電極面を接して搭載し、
    前記はんだの位置と形状を検知し、
    前記はんだが固化後に不具合を起こす突起を有すると判断すると、前記部品の電極面が前記突起の頂点を押し潰す様に前記所定の位置を補正して前記部品を搭載する
    ことをコンピュータに実行させるプログラム。
  8. 前記補正は、前記基板表面の水平方向における前記突起の頂点の位置を、前記基板表面の水平方向における前記電極面の中心位置と一致させる
    ことを特徴とする請求項7に記載のプログラム。
  9. 前記判断は、前記電極面と前記突起の位置及び形状の情報を用いることを特徴とする請求項7または請求項8に記載のプログラム。
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