JP6863788B2 - フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、フィルタと連結するフィルタ連結装置、および、フィルタ連結装置を備えた基板処理装置に関する。基板処理装置が処理する基板は、半導体ウェハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、太陽電池用基板などである。

フィルタは、基板に処理液を供給するための供給ラインに設けられ、処理液を濾過する。フィルタは、フィルタ本体と複数の接続口を有している。１つの接続口は、例えば、処理液がフィルタ本体に流入するための入口である。他の１つの接続口は、例えば、処理液がフィルタ本体から流出するための出口である。

フィルタを供給ラインに簡易に介挿するために、フィルタ連結装置が使用される。フィルタ連結装置は、複数の接続口と接続する複数の接続ポートを備えている。接続ポートは、接続口と同じレイアウトで配置されている。フィルタをフィルタ連結装置に連結すると、複数の接続口が一括して接続ポートと接続され、フィルタが供給ラインと連通接続される。

特開２００３−２５１１１０号公報 特開２０１５−８５３２７号公報 特開２０１４−１９５８０７号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
従来のフィルタ連結装置では、形状が互いに異なる２種以上のフィルタの間でフィルタを簡易に交換できないという不都合がある。

従来のフィルタ連結装置は、形状が互いに異なる２種のフィルタをそれぞれ適切に支持することは困難である。このため、フィルタの形状に応じて、適切なフィルタ連結装置を選択して、フィルタ連結装置を取り替える必要がある。例えば、フィルタ連結装置に連結された第１フィルタを、形状が第１フィルタと異なる第２フィルタに交換する場合、フィルタ連結装置も別のフィルタ連結装置に取り替える。このように、従来のフィルタ連結装置では、形状が互いに異なる２種以上のフィルタの間でフィルタを簡易に交換できない

従来のフィルタ連結装置では、接続口の配置が互いに異なる２種以上のフィルタの間でフィルタを簡易に交換できないという不都合がある。

従来のフィルタ連結装置は、接続口が特定のレイアウトで配置されているフィルタとのみ連結可能である。フィルタの接続口の配置が異なれば、フィルタに適合するフィルタ連結装置も異なる。このため、接続口の配置に応じて、適切なフィルタ連結装置を選択して、フィルタ連結装置を取り替える必要がある。

例えば、フィルタ連結装置に連結された第１フィルタを、接続口の配置が第１フィルタと異なる第２フィルタに交換する場合、フィルタ連結装置も別のフィルタ連結装置に取り替える。このように、従来のフィルタ連結装置では、接続口の配置が互いに異なる２種以上のフィルタの間でフィルタを簡易に交換できない。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、形状が互いに異なる２種以上のフィルタと好適に連結できるフィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置を提供することを第１の目的とする。さらに、本発明は、接続口の配置が互いに異なる２種以上のフィルタと好適に連結できるフィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置を提供することを第２の目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、形状が互いに異なる第１フィルタおよび第２フィルタのいずれとも連結可能なフィルタ連結装置であって、前記第１フィルタの接続口および前記第２フィルタの接続口と接続可能な接続ポートと、前記接続ポートを支持するベース部と、前記第１フィルタおよび前記第２フィルタを支持可能なフィルタ支持部と、前記フィルタ支持部に接続される回転軸部と、前記回転軸部を支持する脚部と、を備え、前記フィルタ支持部は、前記回転軸部回りに回転することによって第１姿勢および第２姿勢をとり、前記フィルタ支持部は、前記第１姿勢において前記第１フィルタを支持する第１フィルタ支持部と、前記第２姿勢において前記第２フィルタを支持する第２フィルタ支持部と、を有するフィルタ連結装置である。

フィルタ連結装置は、フィルタ支持部と回転軸部と脚部を備える。このため、フィルタ支持部は好適に回転できる。さらに、フィルタ支持部は、第１姿勢および第２姿勢をとることができる。

フィルタ支持部は第１フィルタ支持部と第２フィルタ支持部を備える。フィルタ支持部が第１姿勢であるとき、第１フィルタ支持部は第１フィルタを支持する。フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、第２フィルタ支持部は第２フィルタを支持する。このため、フィルタ支持部は第１フィルタを適切に支持でき、且つ、第２フィルタを適切に支持できる。

よって、フィルタ連結装置は、形状が互いに異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。このため、形状が異なる２種以上のフィルタの間で、フィルタを容易に交換できる。

上述した発明において、前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記第１フィルタ支持部は前記第１フィルタのハウジングと接触し、且つ、前記第２フィルタ支持部は前記第１フィルタから離れた位置にあり、前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記第２フィルタ支持部は前記第２フィルタのハウジングと接触し、且つ、前記第１フィルタ支持部は前記第２フィルタから離れた位置にあることが好ましい。

フィルタ支持部が第１姿勢であるとき、第１フィルタ支持部は第１フィルタのハウジングと接触する。このため、第１フィルタ支持部は好適に第１フィルタを支持できる。フィルタ支持部が第１姿勢であるとき、第２フィルタ支持部は第１フィルタと接触しない。このため、第１フィルタ支持部は第１フィルタを一層好適に支持できる。

同様に、フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、第２フィルタ支持部は第２フィルタのハウジングと接触する。このため、第２フィルタ支持部は好適に第２フィルタを支持できる。フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、第１フィルタ支持部は第２フィルタと接触しない。このため、第２フィルタ支持部は第２フィルタを一層好適に支持できる。

上述した発明において、前記第１フィルタ支持部は、載置面を有する床部と、を有し、前記第２フィルタ支持部は、前記床部に接続される保持アーム部と、を有し、前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記載置面は前記第１フィルタのハウジングの底部と接触し、前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記保持アーム部は前記第２フィルタのハウジングの側部と接触することが好ましい。第１フィルタ支持部は床部を有する。床部は載置面を有する。このため、第１フィルタ支持部は第１フィルタを好適に支持できる。第２フィルタ支持部は保持アーム部を有する。このため、第２フィルタ支持部は第２フィルタを好適に支持できる。

上述した発明において、前記保持アーム部は前記載置面に対して略垂直な方向に延びることが好ましい。これによれば、フィルタ支持部は約９０度回転することによって、第１姿勢から第２姿勢に移行できる。さらに、フィルタ支持部は約９０度回転することによって、第２姿勢から第１姿勢に移行できる。このように、フィルタ支持部は、比較的に小さい回転量で、第１姿勢および第２姿勢をとることができる。

上述した発明において、前記フィルタ支持部は、前記接続ポートの下方に配置され、前記回転軸部の軸心は略水平であり、前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記載置面は略水平であり、且つ、前記保持アーム部は前記床部から上方に延び、前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記載置面は略鉛直であり、且つ、前記保持アーム部は前記床部から略水平方向に延びることが好ましい。フィルタ支持部は接続ポートの下方に配置される。このため、フィルタ支持部は、接続ポートの下方において、第１フィルタおよび第２フィルタを支持できる。フィルタ支持部が第１姿勢であるとき、載置面は略水平である。このため、第１フィルタ支持部は第１フィルタを好適に支持できる。フィルタ支持部が第１姿勢であるとき、保持アーム部は上方に延びている。このため、第２フィルタ支持部は第１フィルタから離れた位置に好適に退避できる。フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、載置面は略鉛直である。このため、第１フィルタ支持部は第２フィルタから離れた位置に好適に退避できる。フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、保持アーム部は床部から略水平方向に延びている。このため、第２フィルタ支持部は第２フィルタを好適に支持できる。

上述した発明において、前記フィルタ連結装置は、前記保持アーム部に接続されるフック部材と、前記脚部に接続される第１回転規制部と、を備え、前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記第１回転規制部は、前記保持アーム部と前記フック部材との間に形成される隙間に配置され、且つ、前記フック部材と接触することが好ましい。フィルタ連結装置はフック部材と第１回転規制部を備える。フィルタ支持部が第１姿勢であるとき、第１回転規制部がフック部材と接触する。これにより、フィルタ支持部が回転軸部回りに回転することを好適に規制できる。すなわち、フィルタ支持部を第１姿勢に好適に維持できる。

上述した発明において、前記フィルタ連結装置は、前記脚部に接続される第２回転規制部と、を備え、前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記第２回転規制部は、前記隙間に配置され、且つ、前記フック部材と接触することが好ましい。フィルタ連結装置は第２回転規制部を備える。フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、第２回転規制部がフック部材と接触する。これにより、フィルタ支持部が回転軸部回りに回転することを好適に規制できる。すなわち、フィルタ支持部を第２姿勢に好適に維持できる。

上述した発明において、前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記フック部材は前記第２回転規制部の側部と接触することが好ましい。これによれば、フィルタ支持部が略水平方向に移動することを規制できる。よって、フィルタ支持部が第２姿勢であるとき、フィルタ支持部の位置を一定に維持できる。

上述した発明において、前記保持アーム部は、前記床部に接続される基端部と、を有し、前記回転軸部は、前記保持アーム部の前記基端部の近傍に接続され、前記フック部材は、前記保持アーム部の先端部の近傍に接続されることが好ましい。フック部材と回転軸部の距離は比較的に長い。このため、フック部材は、フィルタ支持部が回転軸部回りに回転することを一層好適に規制できる。

上述した発明において、前記脚部は、前記ベース部に対して移動可能に前記ベース部に支持されることが好ましい。脚部はベース部に対して移動可能であるので、脚部はフィルタ支持部を接続ポートに対して好適に移動させることができる。さらに、脚部はベース部に支持されるので、脚部はフィルタ支持部を接続ポートに対して一層好適に移動させることができる。

本発明は、接続口の配置が互いに異なる第１フィルタおよび第２フィルタのいずれとも連結可能なフィルタ連結装置であって、前記第１フィルタが有する複数の接続口および前記第２フィルタが有する複数の接続口と接続可能な複数の接続ポートと、前記複数の前記接続ポートを支持し、且つ、前記第１フィルタの前記接続口の配置に相当する第１配置と前記第２フィルタの前記接続口の配置に相当する第２配置との間で、前記接続ポートの配置を切り替える配置切替部と、前記第１フィルタおよび前記第２フィルタを支持可能なフィルタ支持部と、前記フィルタ支持部を支持し、前記フィルタ支持部を前記接続ポートに向かって移動させる脚部と、前記脚部が前記フィルタ支持部を前記接続ポートに向かって移動させることを禁止する禁止位置と、前記脚部が前記フィルタ支持部を前記接続ポートに向かって移動させることを許容する許容位置とに移動可能な脚部用規制部材と、を備え、前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置のいずれかであるとき、前記脚部用規制部材は前記許容位置に位置し、前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置以外の配置であるとき、前記脚部用規制部材は前記禁止位置に位置するフィルタ連結装置である。

フィルタ連結装置は配置切替部を備える。このため、複数の接続ポートを第１配置および第２配置で配置できる。接続ポートの配置が第１配置であるとき、接続ポートは第１フィルタの接続口と好適に接続でき、且つ、フィルタ連結装置は第１フィルタと好適に連結できる。接続ポートの配置が第２配置であるとき、接続ポートは第２フィルタの接続口と好適に接続でき、且つ、フィルタ連結装置は第２フィルタと好適に連結できる。このように、フィルタ連結装置は、接続口の配置が互いに異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。その結果、接続口の配置が異なる２種以上のフィルタの間で、フィルタを容易に交換できる。

フィルタ連結装置はフィルタ支持部と脚部を備える。フィルタ支持部は、第１フィルタおよび第２フィルタを支持する。脚部は、フィルタ支持部を接続ポートの方に移動させる。これらフィルタ支持部と脚部によって、フィルタ支持部に支持されるフィルタの接続口を、接続ポートに好適に接続できる。

フィルタ連結装置は、脚部用規制部材を備える。接続ポートの配置が第１配置および第２配置のいずれかであるとき、脚部用規制部材は許容位置に位置し、脚部用規制部材は接続口と接続ポートの接続を許容する。これにより、脚部用規制部材は、第１配置および第２配置のいずれかで配置される接続ポートに接続口を接続すること、すなわち、適正な接続を許容できる。接続ポートの配置が第１配置および第２配置以外の配置であるとき、脚部用規制部材は、禁止位置に位置し、脚部用規制部材は、接続口と接続ポートの接続を禁止する。これにより、脚部用規制部材は、第１配置および第２配置以外の配置で配置される接続ポートに接続口を接続すること、すなわち、誤接続を、未然に防止できる。

上述した発明において、前記フィルタ連結装置は、前記脚部用規制部材に接触し、前記許容位置から前記禁止位置に向かう向きの弾性力を前記脚部用規制部材に与える弾性部材と、を備え、前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置のいずれかであるとき、前記配置切替部は、前記脚部用規制部材と接触し、前記脚部用規制部材を前記許容位置に位置させ、前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置以外の配置であるとき、前記弾性部材は前記脚部用規制部材を前記禁止位置に位置させることが好ましい。接続ポートの配置が第１配置および第２配置のいずれかであるとき、配置切替部は、弾性部材の弾性力に抗って、脚部用規制部材を許容位置に位置させる。接続ポートの配置が第１配置および第２配置以外の配置であるとき、弾性部材は脚部用規制部材を禁止位置に位置させる。このように、弾性部材と配置切替部は、脚部用規制部材を許容位置および禁止位置に好適に位置させることができる。

上述した発明において、前記配置切替部は、ベース部と、前記ベース部に対して移動可能に前記ベース部に支持され、前記接続ポートの少なくともいずれかと接触するポート移動部と、前記ポート移動部に接続され、前記脚部用規制部材と接触可能な第１接触部と、前記ポート移動部に接続され、前記脚部用規制部材と接触可能な第２接触部と、を備え、前記ポート移動部が第１位置にあるとき、前記接続ポートの配置は前記第１配置であり、前記第１接触部は前記脚部用規制部材と接触して前記脚部用規制部材を前記許容位置に位置させ、且つ、前記第２接触部は前記脚部用規制部材から離れた位置にあり、前記ポート移動部が第２位置にあるとき、前記接続ポートの配置は第２配置であり、前記第１接触部は前記脚部用規制部材から離れた位置にあり、且つ、第２接触部は前記脚部用規制部材と接触して前記脚部用規制部材を前記許容位置に位置させ、前記ポート移動部が前記第１位置および前記第２位置以外の位置にあるとき、前記接続ポートの配置は前記第１配置および前記第２配置以外の配置であり、且つ、前記脚部用規制部材が前記禁止位置に位置することを前記第１接触部および前記第２接触部は許容することが好ましい。

ポート移動部は第１位置と第２位置に移動可能である。ポート移動部が第１位置にあるとき、ポート移動部は接続ポートを第１配置で配置する。ポート移動部が第２位置にあるとき、ポート移動部は接続ポートを第２配置で配置する。このように、ポート移動部は、第１配置と第２配置の間で、接続ポートの配置を好適に切り替えることができる。

さらに、ポート移動部が第１位置にあるとき、第１接触部は脚部用規制部材を許容位置に位置させる。このように、接続ポートの配置が第１配置であるとき、配置切替部は脚部用規制部材を許容位置に好適に位置させることができる。

配置切替部は第２接触部を備える。ポート移動部が第２位置にあるとき、第２接触部は脚部用規制部材を許容位置に位置させる。このように、接続ポートの配置が第２配置であるとき、配置切替部は脚部用規制部材を許容位置に好適に位置させることができる。

ポート移動部が第１位置および第２位置以外の位置にあるとき、脚部用規制部材が禁止位置に位置することを第１接触部および第２接触部は許容する。よって、接続ポートの配置が第１配置および第２配置以外の配置であるとき、配置切替部は、脚部用規制部材が禁止位置に位置することを好適に許容できる。

上述した発明において、前記配置切替部は、前記ベース部に接続されるポート軸部と、を備え、前記ポート移動部は、前記ポート軸部に接続され、前記ポート軸部回りに回転可能であり、前記脚部用規制部材が前記禁止位置と前記許容位置との間で移動する方向は、前記ポート軸部の径方向であることが好ましい。ポート移動部はポート軸部に接続されるので、ポート移動部はベース部に対して好適に回転できる。これにより、ポート移動部は、第１配置と第２配置の間で、接続ポートの配置を好適に切り替えることができる。脚部用規制部材が禁止位置と許容位置との間で移動する方向は、ポート軸部の径方向である。よって、第１接触部と第２接触部は、脚部用規制部材を禁止位置から許容位置に好適に移動できる。

上述した発明において、前記脚部用規制部材は、前記ポート軸部の軸心方向から見て前記ポート移動部と重なる位置に配置されることが好ましい。これによれば、第１接触部と第２接触部は、脚部用規制部材と容易に接触できる。

上述した発明において、前記フィルタ支持部は、前記接続ポートの下方に配置され、前記脚部は、前記ベース部に対して上方に移動可能であり、前記ポート軸部の軸心は略鉛直であり、前記脚部用規制部材は、前記ベース部に対して略水平方向に移動することによって、前記禁止位置および前記許容位置に移動することが好ましい。フィルタ支持部は接続ポートの下方に配置され、脚部はベース部に対して上方に移動可能である。このため、脚部はフィルタ支持部を接続ポートに好適に接近させることができる。ポート軸部の軸心は略鉛直である。よって、ポート移動部は、接続ポートを略水平方向に容易に移動できる。脚部用規制部材は、ベース部に対して略水平方向に移動することによって、禁止位置および許容位置に移動する。このように、脚部用規制部材は、脚部が移動する方向に対して略垂直な方向に移動する。よって、脚部用規制部材は、脚部がベース部に対して上方に移動することを容易に禁止でき、且つ、脚部がベース部に対して上方に移動することを容易に許容できる。

上述した発明において、前記脚部は、前記配置切替部に対して移動可能に前記配置切替部に支持されることが好ましい。脚部は配置切替部に支持されるので、脚部は、接続ポートに向かってフィルタ支持部を好適に移動できる。

上述した発明において、前記フィルタ連結装置は、前記脚部に接続され、前記フィルタ支持部に支持される前記第１フィルタおよび前記第２フィルタの少なくともいずれかと接触し、前記第１フィルタおよび前記第２フィルタの少なくともいずれかが前記脚部に対して前記接続ポートに向かって移動することを規制するフィルタ用規制部と、を備えることが好ましい。フィルタ連結装置はフィルタ用規制部を備える。フィルタ用規制部は、フィルタ支持部が脚部に対して接続ポートの方に移動することを、規制する。このため、脚部が接続ポートから遠ざかる方向に移動するとき、フィルタ支持部も接続ポートから遠ざかる方向に移動させることができる。

上述した発明において、前記接続ポートは、前記接続ポートの第１端部に形成される開口と、前記開口の周囲に形成される平坦な平坦端面と、前記平坦端面の周囲に形成され、前記接続ポートの第２端部に向かって径方向外方に傾斜する傾斜周面と、を有し、前記平坦端面および前記傾斜周面の少なくともいずれかが、前記接続口と接触することが好ましい。接続ポートは平坦端面と傾斜周面を有する。このため、接続ポートは、構造の異なる２種以上の接続口と好適に接続できる。

上述した発明において、前記フィルタ連結装置は、前記脚部に接続されるピン部材と、前記ピン部材と接触し、前記ピン部材を前記接続ポートに対して略鉛直方向に移動させるレバーと、を備え、前記ピン部材の軸心の方向から見て、前記ピン部材を通る鉛直な仮想線は、前記フィルタ支持部に支持される前記第１フィルタおよび前記第２フィルタの少なくともいずれかの中央部と交わることが好ましい。フィルタ連結装置はピン部材とレバーを備える。ピン部材とレバーによって、脚部を略鉛直方向に容易に移動できる。ピン部材の軸心の方向から見て、ピン部材を通る鉛直な仮想線は、フィルタ支持部に支持される第１フィルタおよび第２フィルタのいずれかの中央部と交わる。このため、ピン部材とレバーによって、脚部およびフィルタ支持部の全体をバランス良く略鉛直方向に移動できる。よって、第１フィルタおよび／または第２フィルタの全体をバランス良く移動できる。その結果、第１フィルタおよび／または第２フィルタの全ての接続口が接続ポートと適切に接続できる。

本発明は、上述したフィルタ連結装置を備えている基板処理装置である。

基板処理装置はフィルタ連結装置を備えている。フィルタ連結装置は、形状または接続口の配置が互いに異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。このため、形状または接続口の配置が異なる２種以上のフィルタの間で、フィルタを容易に交換できる。

本発明に係るフィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置によれば、形状または接続口の配置が互いに異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。

実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 図２（ａ）は第１フィルタの斜視図であり、図２（ｂ）は第２フィルタの斜視図である。 フィルタ連結装置の斜視図である。 フィルタ連結装置の側面図である。 ベースプレートの平面図である。 ベースプレートと継ぎ手部材の側面図である。 フィルタ連結装置の一部の側面図である。 移動部と操作部の平面図である。 図９（ａ）、９（ｂ）、９（ｃ）は、継ぎ手部材の配置を切り替える動作を説明する図である。 ベースプレートとピン案内部とレバー用回転軸部の側面図である。 レバーの側面図である。 図１２（ａ）、１２（ｂ）、１２（ｃ）は、脚部がベースプレートに対して移動する動作を説明する図である。 フィルタ連結装置の一部の拡大側面図である。 図１４（ａ）、１４（ｂ）は、フィルタ連結装置の一部の底面図である。 図１５（ａ）、１５（ｂ）、１５（ｃ）は、フィルタ支持部が回転する動作を説明する図である。 フィルタ支持部の斜視図である。 フィルタ支持部の側面図である。 フィルタ支持部と第１フィルタの側面図である。 フィルタ支持部と第２フィルタの側面図である。 図２０（ａ）、２０（ｂ）、２０（ｃ）は、フィルタ支持部を第１姿勢に保つ機構を説明する図である。 図２１（ａ）、２１（ｂ）、２１（ｃ）は、フィルタ支持部を第２姿勢に保つ機構を説明する図である。 図２２（ａ）、２２（ｂ）、２２（ｃ）は第１フィルタをフィルタ連結装置に着脱するときの手順を説明する図である。 図２３（ａ）、２３（ｂ）、２３（ｃ）は、第１フィルタをフィルタ連結装置に着脱するときの手順を説明する図である。 図２４（ａ）、２４（ｂ）、２４（ｃ）は第２フィルタをフィルタ連結装置に着脱するときの手順を説明する図である。 図２５（ａ）は、継ぎ手部材の第１端部の拡大断面図であり、図２５（ｂ）は、継ぎ手部材の第１端部の拡大平面図である。 継ぎ手部材と接続口との接続を例示する断面図である。 継ぎ手部材と接続口との接続を例示する断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１は、実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。実施形態に係る基板処理装置１は、基板（例えば、半導体ウエハ）Ｗに液処理を行う装置である。

１．基板処理装置１の概要
基板処理装置１は、基板保持部３と回転モータ５を備えている。基板保持部３は基板Ｗを略水平に保持する。基板保持部３は、例えば、基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持する。回転モータ５は、基板保持部３の底部中央に連結している。回転モータ５は、基板保持部３を略鉛直軸回りに回転させる。これにより、基板保持部３に保持された基板Ｗは、その中心部を通る略鉛直軸回りに回転する。

基板処理装置１は、ノズル７とカップ９を備えている。ノズル７は、基板保持部３の上方にあたる吐出位置に移動可能に設けられている。ノズル７は、基板保持部３に保持された基板Ｗに処理液を吐出する。カップ９は、基板保持部３の側方を囲むように配置されている。カップ９は、基板Ｗから飛散した処理液を受けとめて回収する。

基板処理装置１は処理液を通じる配管１１を備える。配管１１は、ノズル７と接続する第１端を有する。配管１１は、処理液供給源１３と接続する第２端を有する。処理液供給源１３は、例えば、処理液を貯留する処理液タンクである。処理液は、例えば、レジスト膜材料や各種の塗膜材料、薬液、シンナー、純水である。配管１１上には、ポンプ１５、制御弁１７、およびフィルタ２１が設けられている。ポンプ１５は、処理液供給源１３からノズル７に向けて処理液を圧送する。制御弁１７は、処理液の流路を開閉する。フィルタ２１は、処理液を濾過する。フィルタ２１は、例えば、処理液から処理液中の異物などを分離・除去する。

フィルタ２１は、フィルタ本体２２と複数（例えば３つ）の接続口２３、２４、２５とを備えている。フィルタ本体２２は、濾過材と、濾過材の一次側を処理液が流れる一次側流路と、濾過材の二次側を処理液が流れる二次側流路（いずれも不図示）を含む。濾過材は、例えば多孔性の膜である。接続口２３は、一次側流路の入口である。接続口２４は、二次側流路の出口である。接続口２５は、フィルタ本体２２内の気体を逃がすための出口である。

フィルタ２１は、フィルタ連結装置３１によって、配管１１と接続されている。フィルタ連結装置３１は、複数（例えば接続口と同数）の継ぎ手部材３３、３４、３５を備える。継ぎ手部材３３、３４、３５はそれぞれ、接続口２３、２４、２５と接続する。継ぎ手部材３３、３４、３５は、本発明における接続ポートの例である。

ここで、便宜上、フィルタ２１の一次側の配管１１を特に「一次側配管１１ａ」と呼び、フィルタ２１の二次側の配管１１を特に「二次側配管１１ｂ」と呼ぶ。一次側配管１１ａは継ぎ手部材３３と接続される。これにより、一次側配管１１ａは継ぎ手部材３３を介して接続口２３と連通接続している。二次側配管１１ｂは継ぎ手部材３４と接続される。これにより、二次側配管１１ｂは継ぎ手部材３４を介して接続口２４と連通接続している。継ぎ手部材３５はベント管１９と接続される。これにより、ベント管１９は継ぎ手部材３５を介して接続口２３ｃと連通接続している。ベント管１９は大気に開放される。

基板処理装置１は、制御部３９を備える。制御部３９は、回転モータ５の回転と、ノズル７の移動と、ポンプ１５の駆動と、制御弁１７の開閉とを統括的に制御する。制御部３９による制御は、予め設定されている処理レシピに基づいて実行される。

基板処理装置１が基板Ｗに液処理を行う動作を簡単に説明する。

基板Ｗが基板保持部３に載置されると、回転モータ５が基板Ｗを回転させる。ノズル７が吐出位置に移動する。ポンプ１５が処理液を圧送し、制御弁１７が処理液の流路を開放する。これにより、処理液が処理液供給源１３から一次側配管１１ａを通じてフィルタ２１に流入する。フィルタ２１は処理液を濾過する。濾過された処理液は、フィルタ２１から二次側配管１１ｂを通じてノズル７に流入する。ノズル７は、処理液を基板Ｗに吐出する。処理液は、回転している基板Ｗの表面中央に着液し、基板Ｗの表面全体にわたって広がる。基板Ｗから飛散した処理液は、カップ９によって回収される。

処理液を吐出し始めてから所定の時間が経過すると、ポンプ１５が停止し、制御弁１７が閉止して、基板Ｗに対する処理液の供給を止める。回転モータ５が基板Ｗをより高速で回転させて、基板Ｗを乾燥させる。その後、回転モータ５が停止し、基板Ｗを静止させる。これにより、基板Ｗに対する液処理が終了する。

２．フィルタ２１の構造
２種類のフィルタ２１の構造を例示する。

図２（ａ）はフィルタ２１の第１例の斜視図であり、図２（ｂ）はフィルタ２１の第２例の斜視図である。以下では、フィルタ２１の第１例を特に「第１フィルタ２１ａ」と呼び、フィルタ２１の第２例を特に「第２フィルタ２１ｂ」と呼ぶ。また、第１フィルタ２１ａの各要素の符号には適宜に「ａ」を付加し、第２フィルタ２１ｂの各要素の符号には適宜に「ｂ」を付加する。

図２（ａ）を参照する。第１フィルタ２１ａは、接続口２３ａ、２４ａ、２５ａを備える。接続口２３ａ、２４ａ、２５ａはそれぞれ、管形状を有する。図２（ｂ）を参照する。第２フィルタ２１ｂは、接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂを備える。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂはそれぞれ、管形状を有する。継ぎ手部材３３−３５は、接続口２３ａ、２４ａ、２５ａと接続可能である。継ぎ手部材３３−３５は、接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂと接続可能である。

第１フィルタ２１ａと第２フィルタ２１ｂは、接続口２３、２４、２５の配置に関して異なっている。図２（ａ）を参照する。接続口２３ａ、２４ａ、２５ａは１列に並ぶように配置されている。図２（ｂ）を参照する。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂは１列に並んでいない。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂはそれぞれ、直角三角形の３頂点と同じような位置に配置されている。

第１フィルタ２１ａと第２フィルタ２１ｂは、形状に関して異なっている。図２（ａ）を参照する。第１フィルタ２１ａはハウジング２６ａを備える。ハウジング２６ａは、上述したフィルタ本体２２を収容する。接続口２３ａ、２４ａ、２５ａは、ハウジング２６ａの上面に設けられている。図２（ｂ）を参照する。第２フィルタ２１ｂはハウジング２６ｂを備える。ハウジング２６ｂは、上述したフィルタ本体２２を収容する。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂは、ハウジング２６ｂの上面に設けられている。

第１フィルタ２１ａと第２フィルタ２１ｂは、フィルタ２１の高さＨに関して異なっている。本実施形態では、第１フィルタ２１ａの高さＨａは、第２フィルタ２１ｂの高さＨｂに比べて長い。ここで、フィルタ２１の高さＨは、ハウジング２６の底部から接続口２３−２５の上端までの鉛直方向に対する長さである。

第１フィルタ２１ａと第２フィルタ２１ｂは、ハウジング２６の形状に関して異なっている。第２フィルタ２１ｂのハウジング２６ｂは、筒上部２６ｂ１とフランジ部２６ｂ２と溝部２６ｂ３を有する。フランジ部２６ｂ２は筒上部２６ｂ１の上部に配置される。溝部２６ｂ３は、フランジ部２６ｂ２の両側部に形成される。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂは、フランジ部２６ｂ２の上部に配置される。第１フィルタ２１ａのハウジング２６ａは、フランジ部２６ｂ２に相当する部材を有しない。

３．フィルタ連結装置３１の構造
図３は、フィルタ連結装置３１の斜視図である。図４は、フィルタ連結装置３１の側面図である。

図３、図４では、前後方向Ｘ、幅方向Ｙおよび鉛直方向Ｚを示す。前後方向Ｘと幅方向Ｙと上下方向Ｚは互いに直交する。前後方向Ｘおよび幅方向Ｙは水平である。前後方向Ｘの一方を「前方」と呼び、前後方向Ｘの他方を「後方」と呼ぶ。前後方向Ｘおよび幅方向Ｙを区別しない場合には、「水平方向」または、単に「側方」と呼ぶ。鉛直方向Ｚの一方を「上方」と呼び、鉛直方向Ｚの他方を「下方」と呼ぶ。

フィルタ連結装置３１は、第１フィルタ２１ａおよび第２フィルタ２１ｂのいずれとも連結可能である。フィルタ連結装置３１は、配置切替部４０と脚部７１とフィルタ支持部１１１を備える。配置切替部４０は継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替える。フィルタ支持部１１１はフィルタ２１を支持する。脚部７１はフィルタ支持部１１１を支持する。以下、詳細に説明する。

３．１．配置切替部４０の構成
フィルタ連結装置３１は、継ぎ手部材３３−３５の他に、配置切替部４０を備えている。配置切替部４０は、複数の継ぎ手部材３３−３５を支持する。配置切替部４０は、複数の継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替える。具体的には、配置切替部４０は、継ぎ手３３−３５の配置を、第１配置と第２配置との間で切り替える。第１配置は、第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ｃの配置に相当する。第２配置は、第２フィルタ２１ｂの接続口２３ｂ−２５ｂの配置に相当する。

配置切替部４０はベースプレート４１を備える。ベースプレート４１は略水平な板形状を有する。

図５はベースプレート４１の平面図である。ベースプレート４１は開口４３、４４、４５を有する。開口４３には継ぎ手部材３３が配置される。開口４４には継ぎ手部材３４が配置される。開口４５には継ぎ手部材３５が配置される。

開口４３、４４は長穴である。継ぎ手部材３３は開口４３において略水平方向に移動可能である。継ぎ手部材３４は開口４４において略水平方向に移動可能である。開口４５は継ぎ手部材３５の断面形状より僅かに大きい。継ぎ手部材３５は開口４５において略水平方向に移動不能である。このように、継ぎ手部材３３、３４はベースプレート４１に対して略水平方向に移動可能である。継ぎ手部材３５はベースプレート４１に対して略水平方向に移動不能である。

図６は、ベースプレート４１と継ぎ手部材３３−３５の側面図である。継ぎ手部材３３は略直線的に延びる略管形状を有する。継ぎ手部材３３は略鉛直姿勢で開口４３に挿入される。継ぎ手部材３３は、接続口２３と接続する第１端部３３ａと、一次側配管１１ａと接続する第２端部３３ｂとを有する。継ぎ手部材３３は、第１端部３３ａを下に、第２端部３３ｂを上にして配置される。第１端部３３ａはベースプレート４１よりも下方に位置する。第２端部３３ｂはベースプレート４１よりも上方に位置する。

継ぎ手部材３３は、外周面３３ｃと、その外周面３３ｃから外方に張り出すフランジ部３３ｄを備えている。フランジ部３３ｄは、開口４３の幅よりも大きい。フランジ部３３ｄは、ベースプレート４１の上面に載置される。継ぎ手部材３３は開口４３から下方に脱落しない。このように、ベースプレート４１は継ぎ手部材３３と接触する。ベースプレート４１は継ぎ手部材３３を支持する。

継ぎ手部材３４、３５は、継ぎ手部材３３と略同じ構造を有する。継ぎ手部材３４は、第１端部３４ａと第２端部３４ｂと外周面３４ｃとフランジ部３４ｄを有する。継ぎ手部材３５は、第１端部３５ａと第２端部３５ｂと外周面３５ｃとフランジ部３５ｄを有する。継ぎ手部材３４、３５は、継ぎ手部材３３と略同じように、ベースプレート４１に設置される。ベースプレート４１は継ぎ手部材３４、３５と接触する。ベースプレート４１は継ぎ手部材３４、３５を支持する。ベースプレート４１は、本発明におけるベース部の例である。

図３、図４を参照する。配置切替部４０は移動部５１と操作部６１を備えている。移動部５１は継ぎ手部材３３、３４を移動する。操作部６１は移動部５１に連動連結される。操作部６１はユーザーによって操作される。操作部６１の操作に応じて、移動部５１が継ぎ手部材３３、３４を移動する。

図７は、配置切替部４０の一部の側面図である。図８は、移動部５１と操作部６１の平面図である。配置切替部４０は継ぎ手軸部５７を備える。継ぎ手軸部５７はベースプレート４１に接続される。継ぎ手軸部５７の軸心Ｃ５７は略鉛直である。移動部５１は継ぎ手軸部５７に接続される。移動部５１は継ぎ手軸部５７を介してベースプレート４１に支持される。移動部５１は継ぎ手軸部５７回りに回転可能である。移動部５１はベースプレート４１に対して移動可能である。

図７を参照する。移動部５１は平面視で略円形状を有する。継ぎ手軸部５７は平面視で移動部５１の中央部と接続する。

移動部５１は開口５３、５４を有する。開口５３には継ぎ手部材３３が配置される。開口５４には継ぎ手部材３４が配置される。

開口５３は継ぎ手部材３３の断面形状より僅かに大きい。継ぎ手部材３３は開口５３において略水平方向に移動不能である。継ぎ手部材３３は移動部５１と一体に移動する。移動部５１が回転するとき、継ぎ手部材３３はベースプレート４１に対して移動する。

開口５４は長穴である。継ぎ手部材３４は開口５４において略水平方向に移動可能である。開口５４の一端縁および他端縁のいずれかが継ぎ手部材３４と接触した状態で移動部５１が回転するとき、継ぎ手部材３４はベースプレート４１に対して移動する。

このように、移動部５１は継ぎ手部材３３、３４と接触する。移動部５１は継ぎ手部材３３、３４を移動する。

移動部５１は歯５６を有する。歯５６は、移動部５１の外周縁に形成される。

図７、８を参照する。配置切替部４０は操作軸部６３を備える。操作軸部６３はベースプレート４１に接続される。操作部６１は操作軸部６３に接続される。操作部６１は操作軸部６３を介してベースプレート４１に支持される。操作部６１は操作軸部６３回りに回転可能である。操作部６１の前端はベースプレート４１よりも前方に位置する。

図８を参照する。操作部６１は平面視で略円形状を有する。操作部６１は歯６２を有する。歯６２は操作部６１の外周縁に形成される。歯６２は歯５６と噛み合う。

ユーザーは操作部６１を操作軸部６３回りに回転する。操作部６１の回転に連動して、移動部５１が継ぎ手軸部５７回りに回転する。移動部５１の回転に応じて、ベースプレート４１に対する移動部５１の位置が変わる。具体的には、移動部５１の回転に応じて、ベースプレート４１に対する移動部５１の角度が変わる。さらに、移動部５１の回転に応じて、継ぎ手部材３３、３４がベースプレート４１に対して移動する。

図９（ａ）、９（ｂ）、９（ｃ）は、継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替える動作を説明する図である。図９（ａ）−９（ｃ）の右側の図は、継ぎ手部材３３−３５、ベースプレート４１および移動部５１の平面図である。図９（ａ）−９（ｃ）の左側の図は、移動部５１のみの平面図である。

図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、移動部５１の回転に応じて、継ぎ手部材３３、３４がベースプレート４１に対して移動する。

図９（ａ）を参照する。継ぎ手部材３３−３５は第１配置で配置される。継ぎ手部材３３は移動部５１によって位置決めされる。継ぎ手部材３４は開口４４の一端縁と開口５４の一端縁によって挟持される。すなわち、継ぎ手部材３４はベースプレート４１と移動部５１によって位置決めされる。継ぎ手部材３５はベースプレート４１によって位置決めされる。

図９（ｃ）を参照する。継ぎ手部材３３−３５は、第２配置で配置される。継ぎ手部材３３は移動部５１によって位置決めされる。継ぎ手部材３４は開口４４の他端縁と開口５４の他端縁によって挟持される。すなわち、継ぎ手部材３４はベースプレート４１と移動部５１によって位置決めされる。継ぎ手部材３５はベースプレート４１によって位置決めされる。

第１配置と第２配置の間において、ベースプレート４１に対する継ぎ手部材３３の位置は異なる。第１配置と第２配置の間において、ベースプレート４１に対する継ぎ手部材３４の位置は異なる。第１配置と第２配置の間において、ベースプレート４１に対する継ぎ手部材３５の位置は同じである。

以下では、図９（ａ）に示す移動部５１の位置を「第１位置Ｐ１」と呼ぶ。以下では、図９（ｃ）に示す移動部５１の位置を「第２位置Ｐ２」と呼ぶ。

図９（ｂ）を参照する。移動部５１は、第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２のいずれとも異なる位置に位置する。移動部５１が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置にあるとき、継ぎ手部材３３−３５は第１配置Ｐ１および第２配置Ｐ２のいずれとも異なる配置で配置される。

ところで、移動部５１が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に変わる過程では、移動部５１は第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置に位置する。移動部５１が第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に変わる過程でも、移動部５１は第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置に位置する。したがって、継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置と第２配置の間で切り替わる過程では、継ぎ手部材３３−３５の配置は第１配置および第２配置以外の配置である。

上述のとおり、移動部５１が第１位置Ｐ１にあるとき、継ぎ手部材３３−３５の配置は第１配置である（図９（ａ）参照）。移動部５１が第２位置Ｐ２にあるとき、継ぎ手部材３３−３５の配置は第２配置である（図９（ｂ）参照）。移動部５１が第１配置Ｐ１および第２配置Ｐ２以外の位置にあるとき、継ぎ手部材３３−３５の配置は第１配置および第２配置以外の配置である（図９（ｃ）参照）。

移動部５１は、本発明におけるポート移動部の例である。継ぎ手軸部５７は、本発明におけるポート軸部の例である。

３．２．脚部７１の取付構造
図３、図４を参照する。脚部７１は、ベースプレート４１に支持される。脚部７１は、ベースプレート４１よりも幅方向Ｙの外方に配置される。具体的には、脚部７１は、ベースプレート４１よりも幅方向Ｙの一方側、および、幅方向Ｙの他方側に配置される。脚部７１は、略鉛直方向Ｚに延びる。脚部７１は、ベースプレート４１および継ぎ手部材３３−３５に対して移動可能である。脚部７１は、ベースプレート４１および継ぎ手部材３３−３５に対して鉛直方向Ｚに移動可能である。

フィルタ連結装置３１はピン部材８１を備える。ピン部材８１は脚部７１に接続される。ピン部材８１は脚部７１に固定される。ピン部材８１の軸心は略水平である。具体的には、ピン部材８１の軸心は幅方向Ｙと略平行である。

フィルタ連結装置３１は、ピン案内部８３とレバー８５とレバー用回転軸部８９を備える。ピン案内部８３は、ピン部材８１を鉛直方向Ｚに案内する。レバー８５は、ピン部材８１を移動させる。レバー用回転軸部８９は、レバー８５に接続される。レバー用回転軸部８９は、レバー８５を支持する。レバー８５はレバー用回転軸部８５回りに回転可能である。

図１０は、ベースプレート４１とピン案内部８３とレバー用回転軸部８９の側面図である。ピン案内部８３は、ベースプレート４１に接続される。ピン案内部８３はベースプレート４１に固定される。

ピン案内部８３は開口８４を有する。開口８４にはピン部材８１が配置される。開口８４は長穴である。開口８４は略鉛直方向Ｚに延びる。ピン部材８１は開口８４において略鉛直方向Ｚに移動可能である。

レバー用回転軸部８９はピン案内部８３に接続される。すなわち、レバー用回転軸部８９はベースプレート４１に支持される。レバー用回転軸部８９は開口８４の上方に配置される。レバー用回転軸部８９の軸心は略水平である。具体的には、レバー用回転軸部８９の軸心は幅方向Ｙと略平行である。

図１１は、レバー８５の側面図である。レバー８５は開口８６、８７を有する。開口８６にはレバー用回転軸部８９が配置される。開口８７にはピン部材８１が配置される。レバー８５はピン部材８１と接触する。開口８７は長穴である。ピン部材８１は開口８７において移動可能である。開口８７は、第１端部８７ａと第２端部８７ｂを有する。第１端部８７ａは、第２端部８７ｂよりも開口８６（レバー用回転軸部８９）に近い。

レバー８５はハンドル部８８を有する。ハンドル部８８はユーザーによって把持される。ユーザーがハンドル部８８を操作することによって、レバー８５がレバー用回転軸部８９回りに回転する。

図１２（ａ）、１２（ｂ）、１２（ｃ）は、脚部７１がベースプレート４１に対して移動する動作を説明する図である。図１２（ａ）−１２（ｃ）は側面図である。

図１２（ａ）を参照する。脚部７１は下方位置にある。

図１２（ｂ）を参照する。ユーザーがハンドル部８８を押し下げると、レバー８５はレバー用回転軸部８９回りに回転する。ピン部材８１は、開口８７の第２端部８７ｂから第１端部８７ａに向かって移動し、且つ、開口８４の下部から上部に向かって移動する。その結果、ピン部材８１は上方に移動する。脚部７１はピン部材８１と一体に上方に移動する。

図１２（ｃ）を参照する。ユーザーがハンドル部８８をさらに押し下げると、レバー８５がレバー用回転軸部８９回りにさらに回転する。ピン部材８１は、さらに上方に移動する。脚部７１はピン部材８１と一体に、さらに上方に移動する。その結果、脚部７１は上方位置に到達する。

他方、ユーザーがハンドル８８を押し上げると、脚部７１は、ピン部材８１と一体に下方に移動する。これにより、脚部７１は上方位置から下方位置に移動する。

このように、レバー８５は、ピン部材８１をベースプレート４１に対して略鉛直方向Ｚに移動させる。これにより、脚部７１は、ベースプレート４１に対して略鉛直方向Ｚに移動する。ピン部材８１および脚部７１を略鉛直方向Ｚに移動させる。なお、後述するとおり、脚部７１がベースプレート４１に対して上方に移動することによって、フィルタ支持部１１１は継ぎ手部材３３−３５に向かって移動する。

図３、図４を参照する。フィルタ連結装置３１は、脚部７１の移動方向を一定に保つ機構を備える。具体的には、フィルタ連結装置３１は、開口７２、７３とピン部材９１、９２を有する。開口７２、７３は脚部７１に形成される。開口７２、７３は長穴である。開口７２、７３は略鉛直方向Ｚに延びる。ピン部材９１、９２は、ベースプレート４１に間接的に接続される（図１０参照）。ピン部材９１、９２は、ベースプレート４１に固定される。ピン部材９１、９２は開口７２、７３に配置される。開口７２とピン部材９１はピン部材８１よりも前方に配置される。開口７３とピン部材９２はピン部材８１よりも後方に配置される。ピン部材９１、９２は開口７２、７３において略鉛直方向Ｚに移動可能である。脚部７１がベースプレート４１に対して移動するとき、ピン部材９１、９２は開口７２、７３に沿って略鉛直方向Ｚに移動する。このように、ピン部材９１、９２と開口７２、７３は、脚部７１が移動する方向を略鉛直方向Ｚに保つ。

フィルタ連結装置３１は、ピン案内部９５とピン部材９７を有する。ピン案内部９５は、ベースプレート４１に接続される（図１０参照）。ピン案内部９５は、ベースプレート４１に固定される。ピン案内部９５は開口９６を有する。開口９６は長穴である。開口９６は略鉛直方向Ｚに延びる。ピン部材９７は、脚部７１に接続される。ピン部材９７は、脚部７１に固定される。ピン部材９７は開口９６に配置される。開口９６とピン部材９７はピン部材８１よりも後方に配置される。ピン部材９７は開口９６において略鉛直方向Ｚに移動可能である。脚部７１がベースプレート４１に対して移動するとき、ピン部材９７は開口９６に沿って略鉛直方向Ｚに移動する。このように、ピン案内部９５とピン部材９７は、脚部７１が移動する方向を略鉛直方向Ｚに保つ。

３．３．脚部７１の移動を規制する構成
図３、図４を参照する。フィルタ連結装置３１は、脚部用規制部材１０１を備える。
脚部用規制部材１０１は、脚部７１がベースプレート４１に対して上方に移動することを禁止可能である。

図１３はフィルタ連結装置３１の一部の拡大側面図である。図１４（ａ）、１４（ｂ）は、フィルタ連結装置３１の一部の底面図である。脚部用規制部材１０１は略直線的な棒形状を有する。脚部用規制部材１０１の軸心は略水平である。具体的には、脚部用規制部材１０１の軸心は略幅方向Ｙと平行である。底面視において、脚部用規制部材１０１は移動部５１と重なる位置に配置される。具体的には、底面視において、脚部用規制部材１０１の一部が、移動部５１と重なる。

脚部用規制部材１０１はベースプレート４１に支持される。具体的には、フィルタ連結装置３１は背板１０３とガイドピン１０５を備える。背板１０３はベースプレート４１に接続される。背板１０３はベースプレート４１に固定される。ガイドピン１０５は背板１０３に接続される。ガイドピン１０５の軸心は略水平である。具体的には、ガイドピン１０５の軸心は前後方向Ｘと略平行である。ガイドピン１０５は背板１０３から前方に延びる。ガイドピン１０５は脚部用規制部材１０１と接続する。ガイドピン１０５は脚部用規制部材１０１を貫通する。ガイドピン１０５は脚部用規制部材１０１を支持する。ガイドピン１０５は脚部用規制部材１０１を前後方向Ｘに案内する。これにより、脚部用規制部材１０１は前後方向Ｘに移動可能である。ガイドピン１０５は、脚部用規制部材１０１が移動する方向を、略前後方向Ｘに保つ。

脚部用規制部材１０１が前後方向Ｘに移動することによって、禁止位置と許容位置に移動する。図１３は、許容位置にある脚部用規制部材１０１を実線で示す。図１３は、禁止位置にある脚部用規制部材１０１を一点鎖線で示す。図１４（ａ）は、禁止位置にある脚部用規制部材１０１を示す。図１４（ｂ）は、許容位置にある脚部用規制部材１０１を示す。なお、図１４（ａ）では、移動部５１は第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置にある。図１４（ｂ）では、移動部５１は第２位置Ｐ２にある。

禁止位置は許容位置よりも前方である。禁止位置は、許容位置と略同じ高さ位置である。脚部用規制部材１０１が禁止位置と許容位置の間で移動する方向は、略前後方向Ｘである。なお、前後方向Ｘは、継ぎ手軸部５７の径方向に相当する。

図１３を参照する。脚部７１は、切り欠き７４を有する。脚部用規制部材１０１が禁止位置にあるとき、脚部用規制部材１０１は切り欠き７４内に位置する。このため、脚部用規制部材１０１が禁止位置にあるとき、脚部用規制部材１０１は脚部７１が上方に移動することを禁止する。具体的には、脚部用規制部材１０１が脚部７１と接触することによって、脚部用規制部材１０１は脚部７１が上方に移動することを禁止する。脚部用規制部材１０１が許容位置にあるとき、脚部用規制部材１０１は切り欠き７４外に位置する。このため、脚部用規制部材１０１が許容位置にあるとき、脚部用規制部材１０１は脚部７１が上方に移動することを許容する。

図１３、１４（ａ）、１４（ｂ）を参照する。フィルタ連結装置３１は弾性部材１０７を備える。弾性部材１０７は、脚部用規制部材１０１を許容位置から禁止位置に向けて脚部用規制部材１０１を押圧する。具体的には、弾性部材１０７は、脚部用規制部材１０１を前方に押圧する。換言すれば、弾性部材１０７は許容位置から禁止位置に向かう向きの弾性力を脚部用規制部材１０１に与える。弾性力の向きは前方である。

弾性部材１０７は、背板１０３に接触する第１端部を有する。弾性部材１０７の第１端部は、ベースプレート４１に対して一定の位置に保たれる。弾性部材１０７は、脚部用規制部材１０１に接触する第２端部を有する。弾性部材１０７の第２端部は、脚部用規制部材１０１の移動に応じて、移動する。脚部用規制部材１０１が移動するとき、弾性部材１０７の第２端部が脚部用規制部材１０１と接触した状態は、保たれる。弾性部材１０７は、背板１０３（ベースプレート４１）に対して脚部用規制部材１０１を前方に押圧する。弾性部材１０７は例えば板バネである。

図１４（ａ）、１４（ｂ）を参照する。配置切替部４０は、第１接触部１０８と第２接触部１０９を有する。第１接触部１０８および第２接触部１０９は、移動部５１に接続される。第１接触部１０８および第２接触部１０９は、移動部５１に固定される。第１接触部１０８および第２接触部１０９は、移動部５１と一体に移動する。

移動部５１が第１位置Ｐ１にあるとき、第１接触部１０８は脚部用規制部材１０１と接触し、第１接触部１０８は脚部用規制部材１０１を許容位置に位置させる。移動部５１が第１位置Ｐ１にあるとき、第２接触部１０９は脚部用規制部材１０１から離れた位置にある。

図１４（ｂ）を参照する。移動部５１が第２位置Ｐ２にあるとき、第２接触部１０９は脚部用規制部材１０１と接触し、第２接触部１０９は脚部用規制部材１０１を許容位置に位置させる。移動部５１が第２位置Ｐ２にあるとき、第１接触部１０８は脚部用規制部材１０１から離れた位置にある。

図１４（ａ）を参照する。移動部５１が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置にあるとき、弾性部材１０７の弾性力によって、脚部用規制部材１０１は禁止位置にある。

上述のとおり、移動部５１が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２のいずれかにあるとき、配置切替部４０は脚部用規制部材１０１と接触し、脚部用規制部材１０１を許容位置に位置させる。したがって、移動部５１が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２のいずれかにあるとき、脚部用規制部材１０１は、脚部７１がベースプレート４１に対して上方に移動することを許容する。

移動部５１が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置にあるとき、弾性部材１０７が脚部用規制部材１０１を禁止位置に位置させる。したがって、移動部５１が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２以外の位置にあるとき、脚部用規制部材１０１は、脚部７１がベースプレート４１に対して上方に移動することを禁止する。

３．４．フィルタ支持部１１１の構成
図３、図４を参照する。フィルタ支持部１１１はフィルタ２１を支持する。フィルタ支持部１１１は、第１フィルタ２１ａおよび第２フィルタ２１ｂを支持可能である。

フィルタ連結装置３１は回転軸部１２１を備える。回転軸部１２１はフィルタ支持部１１１と接続する。回転軸部１２１はフィルタ支持部１１１を支持する。回転軸部１２１の軸心は略水平である。具体的には、回転軸部１２１の軸心は、幅方向Ｙと略平行である。

脚部７１は開口７５を有する。開口７５には、回転軸部１２１が配置される。脚部７１は、回転軸部１２１を支持する。脚部７１は、回転軸部１２１を介してフィルタ支持部１１１を支持する。フィルタ支持部１１１は、脚部用規制部材１０１の内側に配置される。換言すれば、脚部７１は、フィルタ支持部１１１よりも幅方向Ｙの外方に配置される。フィルタ支持部１１１は、継ぎ手部材３３−３５の下方に配置される。

開口７５は長穴である。回転軸部１２１は開口７５において移動可能である。フィルタ支持部１１１は、回転軸部１２１と一体に移動可能である。

図４を参照する。開口７５は、縦スロット７６と第１横スロット７７ａと第２横スロット７７ｂと第３横スロット７７ｃと第１位置決めスロット７８ａと第２位置決めスロット７８ｂとを有する。縦スロット７６は、略鉛直方向Ｚに延びる。縦スロット７６は、第１横スロット７７ａと第２横スロット７７ｂと第３横スロット７７ｃと接続される。第１横スロット７７ａと第２横スロット７７ｂと第３横スロット７７ｃはそれぞれ、縦スロット７６から後方に延びる。第１横スロット７７ａは第２横スロット７７ｂの下方に配置される。第２横スロット７７ｂは第３横スロット７７ｃの下方に配置される。第１位置決めスロット７８ａは第１横スロット７７ａに接続される。第１位置決めスロット７８ａは第１横スロット７７ａから下方に延びる。第２位置決めスロット７８ｂは第２横スロット７７ｂに接続される。第２位置決めスロット７８ｂは第２横スロット７７ｂから下方に延びる。

図１５（ａ）、１５（ｂ）、１５（ｃ）は、フィルタ支持部１１１が回転する動作を説明する図である。図１５（ａ）−１５（ｃ）は、脚部７１の内側から見た配置切替部４０の図である。図示する通り、フィルタ支持部１１１は回転軸部１２１回りに回転可能である。フィルタ支持部１１１は脚部７１に対して回転可能である。フィルタ支持部１１１が回転軸部１２１回りに回転することによって、フィルタ支持部１１１は第１姿勢と第２姿勢をとる。図１５（ａ）は、第１姿勢のフィルタ支持部１１１を示す。図１５（ｃ）は、第２姿勢のフィルタ支持部１１１を示す。

図１６は、フィルタ支持部１１１の斜視図である。図１７は、フィルタ支持部１１１の側面図である。より厳密には、図１７は、回転軸部１２１の軸心の方向から見たフィルタ支持部１１１の図である。フィルタ支持部１１１は、第１フィルタ支持部１１３を有する。第１フィルタ支持部１１３は床部１１４を有する。床部１１４は載置面１１４ａを有する。載置面１１４ａは平坦である。第１フィルタ支持部１１３は、開口１１５と突部１１６を有する。開口１１５は床部１１４に形成される。突部１１６は床部１１４から突出する。

フィルタ支持部１１１は第２フィルタ支持部１１７を有する。第２フィルタ支持部１１７は、一対の保持アーム部１１８を有する。一対の保持アーム部１１８は、幅方向Ｙに間隔をあけて配置される。保持アーム部１１８は、細幅の板形状を有する。保持アーム部１１８は、直線的に延びる。保持アーム部１１８は、床部１１４に接続される基端部１１８ａを有する。保持アーム部１１８は、載置面１１４ａに対して略垂直な方向に延びる。

フィルタ支持部１１１は、開口１１９を有する。開口１１９は、保持アーム部１１８の基端部１１８ａの近傍に配置される。開口１１９は、床部１１４と保持アーム部１１８との接合部位の近傍に配置される。開口１１９には、回転軸部１２１が配置される。

図１８は、フィルタ支持部１１１と第１フィルタ２１ａの側面図である。フィルタ支持部１１１は第１姿勢である。載置面１１４ａは略水平である。第１フィルタ２１ａは載置面１１４ａ上に載置される。載置面１１４ａは、第１フィルタ２１ａのハウジング２６ａの底部と接触する。このように、床部１１４は第１フィルタ２１ａを支持する。

ハウジング２６ａが底部から下方に突出する突部２６ａ１を有する場合、突部２６ａ１は開口１１５に配置される。これにより、第１フィルタ２１ａが水平方向に移動することが規制される。さらに、第１フィルタ２１ａが回転することを規制される。

突部１１６は、ハウジング２６ａの側部と接触する。これにより、第１フィルタ２１ａが水平方向に移動することが規制される。さらに、第１フィルタ２１ａが回転することを規制される。

保持アーム部１１８は床部１１４から上方に延びる。保持アーム部１１８は第１フィルタ２１ａから離れた位置にある。具体的には、保持アーム部１１８は第１フィルタ２１ａよりも後方に位置する。

このように、フィルタ支持部１１３が第１姿勢であるとき、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａと接触する。フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａを支持する。フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第２フィルタ支持部１１７は第１フィルタ２１ａから離れた位置にある。

図１９は、フィルタ支持部と第２フィルタの側面図である。フィルタ支持部１１１が第２姿勢である。載置面１１４ａは略鉛直である。床部１１４は第２フィルタ２１ｂから離れた位置にある。具体的には、床部１１４は第２フィルタ２１ｂよりも後方に位置する。保持アーム部１１８は床部１１４から略水平方向に延びる。具体的には、保持アーム部１１８は床部１１４から前方に延びる。保持アーム部１１８は、第２フィルタ２１ｂの側部と接触する。具体的には、保持アーム部１１８はフランジ部２６ｂ２（溝部２６ｂ３）と接触する。これにより、保持アーム部１１８は第２フィルタ２１ｂを保持する。保持アーム部１１８は、第２フィルタ２１ｂが移動することを規制する。さらに、保持アーム部１１８は、第２フィルタ２１ｂが回転することを規制する。

このように、フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂと接触する。フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂを支持する。フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第１フィルタ支持部１１３は第２フィルタ２１ｂから離れた位置にある。

３．５．フィルタ支持部１１１の保持するための構成
図１６、図１７を参照する。フィルタ連結装置３１はフック部材１２３を備える。フック部材１２３は、保持アーム部１１８に接続される。フック部材１２３は、保持アーム部１１８の先端部１１８ｂの近傍に接続される。フック部材１２３は、保持アーム部１１８の先端部１１８ｂから基端部１１８ａに向かって延びている。フック部材１２３と保持アーム部１１８は、その間に隙間１２４を画定する。回転軸部１２１の軸心の方向からフィルタ支持部１１１を見たとき、隙間１２４は視認可能である（図１７参照）。隙間１２４は開放されている。

具体的には、フック部材１２３は、第１面１２３ａと第２面１２３ｂと第３面１２３ｃと第４面１２３ｄを有する。第１面１２３ａと第２面１２３ｂはそれぞれ、保持アーム部１１８と向かい合う。第１面１２３ａと第２面１２３ｂは、第１姿勢において略鉛直である。第１面１２３ａと第２面１２３ｂは、第２姿勢において略水平である。第１面１２３ａと保持アーム部１１８の間隔は、第２面１２３ｂと保持アーム部１１８の間隔よりも大きい。第３面１２３ｃと第４面１２３ｄは、それぞれ第２面１２３ｂに接続される。第３面１２３ｃと第４面１２３ｄは、第２面１２３ｂに対して略垂直である。第３面１２３ｃと第４面１２３ｄは、互いに向かい合う。第３面１２３ｃと第４面１２３ｄは、第１姿勢において略水平である。第３面１２３ｃと第４面１２３ｄは、第２姿勢において略鉛直である。

図２０（ａ）、２０（ｂ）、２０（ｃ）は、フィルタ支持部１１１を第１姿勢に保つ機構を説明する図である。図２０（ａ）−２０（ｃ）は、脚部７１の内側から見た配置切替部４０の図である。フィルタ連結装置３１は、第１回転規制部１２５ａ、１２５ｂを備える。第１回転規制部１２５ａ、１２５ｂは、脚部７１に接続される。第１回転規制部１２５ａ、１２５ｂは、脚部７１に固定される。第１回転規制部１２５ａ、１２５ｂは、略鉛直な板形状を有する。第１回転規制部１２５ａは、第１回転規制部１２５ｂの下方に配置される。

図２０（ａ）、２０（ｂ）を参照する。フィルタ支持部１１１が第１姿勢である状態で回転軸部１２１が第１横スロット７７ａを後方に移動する。これにより、フック部材１２３は第１回転規制部１２５ａの上方に位置する。

図２０（ｂ）、２０（ｃ）を参照する。フィルタ支持部１１１が第１姿勢である状態で回転軸部１２１が第１位置決めスロット７８ａを下方に移動する。これにより、隙間１２４に第１回転規制部１２５ａの上端部が配置される。第１回転規制部１２５ａはフック部材１２３と接触する。より具体的には、第１回転規制部１２５ａの背面が第１面１２３ａと接触する。これにより、フィルタ支持部１１１が回転軸部１２１回りに回転することが規制される。すなわち、フィルタ支持部１１１は第１姿勢に保たれる

さらに、第１回転規制部１２５ａは、保持アーム部１１８と接触する。第１回転規制部１２５ａの前面が保持アーム部１１８と接触する。これにより、フィルタ支持部１１１は第１姿勢に一層確実に保たれる

このように、回転軸部１２１が第１位置決めスロット７８ａに位置するとき、フック部材１２３と第１回転規制部１２５ａは、フィルタ支持部１１１を第１姿勢に保つ。同様に、回転軸部１２１が第２位置決めスロット７８ｂに位置するとき、フック部材１２３と第１回転規制部１２５ｂは、フィルタ支持部１１１を第１姿勢に保つ。

さらに、回転軸部１２１が第１位置決めスロット７８ａに位置するとき、第１位置決めスロット７８ａはフィルタ支持部１１１が前後方向Ｘに移動することを規制する。同様に、回転軸部１２１が第２位置決めスロット７８ｂに位置するとき、第２位置決めスロット７８ｂはフィルタ支持部１１１が前後方向Ｘに移動することを規制する。このように、第１位置決めスロット７８ａおよび第２位置決めスロット７８ｂは、前後方向Ｘにおけるフィルタ支持部１１１の位置を一定に保つ。

図２１（ａ）、２１（ｂ）、２１（ｃ）は、フィルタ支持部１１１を第２姿勢に保つ機構を説明する図である。図２１（ａ）−２１（ｃ）は、脚部７１の内側から見た配置切替部４０の図である。

フィルタ連結装置３１は、第２回転規制部１２７を備える。第２回転規制部１２７は、脚部７１に接続される。第２回転規制部１２７は、脚部７１に固定される。第２回転規制部１２７は、突片形状を有する。第２回転規制部１２７は、略幅方向Ｙに突出する。

図２１（ａ）を参照する。フィルタ支持部１１１が第２姿勢である状態で回転軸部１２１が縦スロット７６を上方に移動する。これにより、フック部材１２３は第２回転規制部１２７の前方に到達する。

図２１（ａ）、２１（ｂ）を参照する。フィルタ支持部１１１が第２姿勢である状態で回転軸部１２１が第３横スロット７７ｃの後方に移動する。これにより、第２回転規制部１２７が隙間１２４に配置される。

図２１（ｂ）、２１（ｃ）を参照する。フィルタ支持部１１１が第２姿勢である状態で回転軸部１２１が第３横スロット７７ｃ内で下方に移動する。これにより、回転軸部１２１は第３横スロット７７ｃの下縁部と接触する。第２回転規制部１２７はフック部材１２３と接触する。より具体的には、第２回転規制部１２７が第２面１２３ｂと接触する。換言すれば、フック１２３は第２回転規制部１２７の上部と接触する。これにより、フィルタ支持部１１１が回転軸部１２１回りに回転することが規制される。すなわち、フィルタ支持部１１１は第２姿勢に保たれる。

さらに、第２回転規制部１２７は第３面１２３ｃおよび第４面１２３ｄと接触する。換言すれば、フック１２３は第２回転規制部１２７の側部（より具体的には、前部および後部）と接触する。これにより、フィルタ支持部１１１が前後方向Ｘに移動することが規制される。

このように、回転軸部１２１が第３横スロット７７ｃに位置するとき、フック部材１２３と第２回転規制部１２７は、フィルタ支持部１１１を第２姿勢に保つ。さらに、フック部材１２３と第２回転規制部１２７は、前後方向Ｘにおけるフィルタ支持部１１１の位置を一定に保つ。

３．６．フィルタ用規制部の構成
図２１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参照する。フィルタ連結装置３１は、フィルタ用規制部１３１を備える。フィルタ用規制部１３１は、脚部７１に接続される。フィルタ用規制部１３１は、脚部７１に固定される。フィルタ用規制部１３１は、突片形状を有する。フィルタ用規制部１３１は、略水平方向に突出する。フィルタ用規制部１３１は、フィルタ支持部１１１に支持されるフィルタ２１の上方の位置まで延びる。

仮に、フィルタ２１が脚部７１に対して上方に移動した場合には、フィルタ用規制部１３１はフィルタ２１と接触する。これにより、フィルタ用規制部１３１は、フィルタ２１が脚部７１に対してさらに上方に移動することを規制する。

３．７．フィルタ連結装置３１とフィルタ２１を着脱する動作
次に、第１フィルタ２１ａをフィルタ連結装置３１に着脱する動作例と、第２フィルタ２１ｂをフィルタ連結装置３１に着脱する動作例を説明する。以下の動作例は、基本的にユーザーの手作業によって行われる。

３．７．１．フィルタ連結装置３１に第１フィルタ２１ａを連結する動作
図２２（ａ）、２２（ｂ）、２２（ｃ）は第１フィルタ２１ａをフィルタ連結装置３１に着脱するときの手順を説明する図である。

図２２（ａ）を参照する。ユーザーは、フィルタ支持部１１１及び回転軸部１２１を動かす。これにより、フィルタ支持部１１１を第１姿勢にさせ、回転軸部１２１を第２位置決めスロット７８ｂに位置させ、フック部材１２３を第１回転規制部１２５ｂに接触させる。続いて、ユーザーは、床部１１４に第１フィルタ２１ａを置く。これにより、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａを支持する。

図２２（ｂ）を参照する。ユーザーが操作部６１（不図示）を操作することによって、継ぎ手部材３３−３５を第１配置で配置させる。これにより、脚部用規制部材１０１は禁止位置から許容位置に移動する。

図２２（ｃ）を参照する。ユーザーがレバー８５を操作することによって、脚部７１を下方位置から上方位置に移動させる。これにより、フィルタ支持部１１１および第１フィルタ２１ａは、脚部７１と一体に上方に移動する。フィルタ支持部１１１および第１フィルタ２１ａは、継ぎ手部材３３−３５に接近する。第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａが継ぎ手部材３３−３５と接続する。すなわち、フィルタ連結装置３１は第１フィルタ２１ａと連結する。

図２２（ａ）−２２（ｃ）は、ピン部材８１を通る鉛直な仮想線Ｌを示す。図２２（ａ）−２２（ｃ）は、ピン部材８１の軸心の方向から見た図に相当する。ピン部材８１の軸心の方向から見て、仮想線Ｌは第１フィルタ２１ａの中央部と交わる。

３．７．２．フィルタ連結装置３１から第１フィルタ２１ａを外す動作
図２２（ｃ）、２２（ｂ）を参照する。ユーザーがレバー８５を操作することによって、脚部７１を上方位置から下方に移動させる。これにより、フィルタ支持部１１１は、脚部７１と一体に下方に移動する。第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａは、継ぎ手部材３３−３５から離れる。第１フィルタ２１ａは、フィルタ支持部１１１に支持された状態で下方に移動する。換言すれば、フィルタ支持部１１１および第１フィルタ２１ａは、継ぎ手部材３３−３５から遠ざかる。

図２２（ｂ）を参照する。脚部７１が下方位置に到達する。その後、ユーザーはフィルタ支持部１１１から第１フィルタ２１ａを取り出す。

ここで、脚部７１が上方位置から下方に移動するとき、接続口２３ａ−２５ａは、第１フィルタ２１ａの自重によって、継ぎ手部材３３−３５から離れる。ただし、第１フィルタ２１ａの自重のみでは、接続口２３ａ−２５ａが継ぎ手部材３３−３５から離れない場合がある。

図２３（ａ）、２３（ｂ）、２３（ｃ）は、第１フィルタ２１ａをフィルタ連結装置３１に着脱するときの手順を説明する図である。

図２３（ａ）を参照する。脚部７１は上方位置にある。フィルタ２１ａはフィルタ支持部１１１に支持される。接続口２３ａ−２５ａは継ぎ手部材３３−３５に接続されている。

図２３（ｂ）を参照する。脚部７１は上方位置から下方に移動する。フィルタ支持部１１１は脚部７１と一体に下方に移動する。ただし、接続口２３ａ−２５ａは継ぎ手部材３３−３５から離れない。接続口２３ａ−２５ａは継ぎ手部材３３−３５と接続されたままである。フィルタ２１ａは下方に移動しない。フィルタ２１ａはフィルタ支持部１１１から上方に浮いている。脚部７１とフィルタ支持部１１１のみが、継ぎ手部材３３−３５から遠ざかる。

脚部７１から見ると、フィルタ２１ａは脚部７１に対して移動する。フィルタ２１ａは、脚部７１に対して上方に移動する。フィルタ２１ａは、脚部７１に対して継ぎ手部材３３−３５に向かって移動する。

フィルタ用規制部１３１は脚部７１と一体に下方に移動する。このため、フィルタ用規制部１３１は、第１フィルタ２１ａの上部と接触する。さらに、フィルタ用規制部１３１は、第１フィルタ２１ａを下方に押す。

図２３（ｃ）を参照する。フィルタ用規制部１３１が第１フィルタ２１ａを下方に移動させることによって、フィルタ用規制部１３１は接続口２３ａ−２５ａを継ぎ手部材３３−３５から離す。すなわち、フィルタ規制部１３１は、第１フィルタ２１ａをフィルタ連結装置３１から離脱させる。その結果、フィルタ２１ａは、下方に移動し、フィルタ支持部１１１によって再び支持される。フィルタ２１ａは、脚部７１およびフィルタ支持部１１１とともに、下方に移動する。脚部７１が下方位置に到達した後、ユーザーはフィルタ支持部１１１から第１フィルタ２１ａを取り出す。

このように、第１フィルタ２１ａの自重のみでは接続口２３ａ−２５ａが継ぎ手部材３３−３５から離れない場合であっても、フィルタ用規制部１３１は接続口２３ａ−２５ａを継ぎ手部材３３−３５から離すことができる。

３．７．３．フィルタ連結装置３１に第２フィルタ２１ｂを連結する動作
図２４（ａ）、２４（ｂ）、２４（ｃ）は第２フィルタ２１ｂをフィルタ連結装置３１に着脱するときの手順を説明する図である。

図２４（ａ）を参照する。ユーザーがフィルタ支持部１１１及び回転軸部１２１を動かす。これにより、フィルタ支持部１１１を第２姿勢にさせ、回転軸部１２１を第３横スロット７７ｃに位置させ、フック部材１２３を第２回転規制部１２７に接触させる。続いて、ユーザーは、保持アーム部１１８に第２フィルタ２１ｂを取り付ける。これにより、第２フィルタ支持部１１７は、第２フィルタ２１ｂを保持する。

図２４（ｂ）を参照する。ユーザーが操作部６１（不図示）を操作することによって、継ぎ手部材３３−３５を第２配置で配置させる。これにより、脚部用規制部材１０１は禁止位置から許容位置に移動する。

図２４（ｃ）を参照する。ユーザーがレバー８５を操作することによって、脚部７１を下方位置から上方位置に移動させる。これにより、フィルタ支持部１１１および第２フィルタ２１ｂは、脚部７１と一体に上方に移動する。フィルタ支持部１１１および第２フィルタ２１ｂは、継ぎ手部材３３−３５に向かって移動する。フィルタ支持部１１１および第１フィルタ２１ａは、継ぎ手部材３３−３５に接近する。第２フィルタ２１ｂの接続口２３ｂ−２５ｂが継ぎ手部材３３−３５と接続する。すなわち、フィルタ連結装置３１は第２フィルタ２１ｂと連結する。

図２４（ａ）−２４（ｃ）は、ピン部材８１を通る鉛直な仮想線Ｌを示す。図２４（ａ）−２４（ｃ）は、ピン部材８１の軸心の方向から見た図に相当する。ピン部材８１の軸心の方向から見て、仮想線Ｌは第２フィルタ２１ｂの中央部と交わる。

３．７．４．フィルタ連結装置３１から第２フィルタ２１ｂを外す動作
図２４（ｃ）、２４（ｃ）を参照する。ユーザーがレバー８５を操作することによって、脚部７１を上方位置から下方に移動させる。これにより、フィルタ支持部１１１は、脚部７１と一体に下方に移動する。第２フィルタ２１ｂの接続口２３ｂ−２５ｂは、継ぎ手部材３３−３５から離れる。第２フィルタ２１ｂは、フィルタ支持部１１１に支持された状態で下方に移動する。換言すれば、フィルタ支持部１１１および第２フィルタ２１ｂは、継ぎ手部材３３−３５から遠ざかる。

ここで、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂを保持するので、第２フィルタ２１ｂはフィルタ支持部１１１に対して上方に移動不能である。このため、脚部７１が上方位置から下方に移動するとき、第２フィルタ支持部１１７は、接続口２３ａ−２５ａを継ぎ手部材３３−３５から確実に離すことができる。

図２４（ｂ）を参照する。脚部７１が下方位置に到達する。その後、ユーザーはフィルタ支持部１１１から第２フィルタ２１ｂを取り外す。

３．８．継ぎ手部材３３、３４、３５の第１端部の構造
継ぎ手部材３３の第１端部３３ａの構造は、継ぎ手部材３４、３５の第１端部３４ａ、３５ａと略同じ構造を有する。以下では、継ぎ手部材３３の第１端部３３ａの構造を説明し、継ぎ手部材３４、３５の第１端部３４ａ、３５ａの構造の説明を省略する。

図２５（ａ）は、継ぎ手部材３３の第１端部３３ａの拡大断面図である。図２５（ｂ）は、継ぎ手部材３３の第１端部３３ａの拡大平面図である。図２５（ｂ）は、継ぎ手部材３３の軸心方向から見た継ぎ手部材３３の第１端部３３ａを示す。継ぎ手部材３３は、開口３６と流路３７を有する。開口３６は第１端部３３ａに形成される。開口３６は略円形である。開口３６は流路３７に連通する。流路３７は、継ぎ手部材３３の内部に形成される。処理液は開口３６および流路３７を通過する。

継ぎ手部材３３は平坦端面３８を有する。平坦端面３８は、開口３６の周囲に形成される。平坦端面３８は、開口３６の外周縁３６ｅに接する。平坦端面３８は、開口３６の外周縁３６ｅから外方に延びる。より具体的には、平坦端面３８は、継ぎ手部材３３の軸心Ｃ３３の径方向の外方に延びる。平坦端面３８は、平坦な平面である。平坦端面３８は、継ぎ手部材３３の軸心Ｃ３３と直交する平面と略平行である。平坦端面３８は、継ぎ手部材３３の軸心Ｃ３３の方向から見て、環形状を有する。

継ぎ手部材３３は、傾斜周面３９を有する。傾斜周面３９は、平坦端面３８の周囲に形成される。傾斜周面３９は、平坦端面３８の外周縁面３８ｅに接する。傾斜周面３９は、平坦端面３８の外周縁面３８ｅから継ぎ手部材３３の第２端部３３ｂに向かって延びる。傾斜周面３９は、継ぎ手部材３３の第２端部３３ｂに向かって径方向外方に傾斜する。換言すれば、傾斜周面３９は、平坦端面３８に向かって、細くなる。傾斜周面３９は、継ぎ手部材３３の軸心Ｃ３３の方向から見て、環形状を有する。

図２６は、継ぎ手部材３３と接続口２３ａとの接続を例示する断面図である。第１フィルタの接続口２３ａは、流路２７ａとシール部材２８ａを有する。シール部材２８ａは、流路２７ａの周囲に配置される。シール部材２８ａは、平坦な平面部２８ａ１を有する。

第１端部３３ａの平坦端面３８は平面部２８ａ１と面接触する。平坦端面３８と平面部２８ａ１の接触によって、面シールされる。このため、継ぎ手部材３３は接続口２３ａと好適に接続できる。

図２７は、継ぎ手部材３３と接続口２３ｂとの接続を例示する断面図である。第２フィルタの接続口２３ｂは、流路２７ｂとシール部材２８ｂを有する。シール部材２８ｂは、流路２７ｂの周囲に配置される。シール部材２８ｂは、傾斜した傾斜面部２８ｂ１を有する。

第１端部３３ａの傾斜周面３９は、傾斜面部２８ｂ１と面接触する。傾斜周面３９と傾斜面部２８ｂ１の接触によって、面シールされる。このため、継ぎ手部材３３は接続口２３ｂと好適に接続できる。

４．本実施形態の効果
フィルタ連結装置３１は、フィルタ支持部１１１と回転軸部１２１と脚部７１とを備える。このため、フィルタ支持部１１１は好適に回転できる。フィルタ支持部１１１は第１姿勢および第２姿勢をとることができる。

フィルタ支持部１１１は第１フィルタ支持部１１３と第２フィルタ支持部１１７を備える。フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａを支持する。フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂを支持する。このため、フィルタ支持部１１１は第１フィルタ２１ｂを適切に支持でき、且つ、第２フィルタ２１ｂを適切に支持できる。

このように、フィルタ連結装置３１は、形状が互いに異なる２種以上のフィルタ２１と好適に連結できる。このため、形状が異なる２種以上のフィルタ２１の間で、フィルタ２１を容易に交換できる。

フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａのハウジング２６ｂと接触する。このため、第１フィルタ支持部１１３は好適に第１フィルタ２１ａを支持できる。フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第２フィルタ支持部１１７は第１フィルタ２１ａと接触しない。このため、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａを一層好適に支持できる。

同様に、フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂのハウジング２６ｂと接触する。このため、第２フィルタ支持部１１７は好適に第２フィルタ２１ｂを支持できる。フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第１フィルタ支持部１１３は第２フィルタ２１ｂと接触しない。このため、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂを一層好適に支持できる。

第１フィルタ支持部１１３は床部１１４を有する。床部１１４は載置面１１４ａを有する。このため、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａを好適に支持できる。第２フィルタ支持部１１７は保持アーム部１１８を有する。このため、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂを好適に支持できる。

保持アーム部１１８は載置面１１４ａに対して略垂直な方向に延びる。このため、フィルタ支持部１１１が約９０度回転することによって、フィルタ支持部１１１は、第１姿勢と第２姿勢の間で姿勢を変えることができる。このように、フィルタ支持部１１１は、比較的に小さい回転量で、第１姿勢および第２姿勢をとることができる。

フィルタ支持部１１１は継ぎ手部材３３−３５の下方に配置される。このため、フィルタ支持部１１１は、継ぎ手部材３３−３５の下方において、第１フィルタ２１ａおよび第２フィルタ２１ｂを支持できる。

フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、載置面１１４ａは略水平である。このため、第１フィルタ支持部１１３は第１フィルタ２１ａを好適に支持できる。

フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、保持アーム部１１８は略鉛直方向Ｚに延びている。このため、第２フィルタ支持部１１７は第１フィルタ２１ａから離れた位置に容易に退避できる。

フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、載置面１１４ａは略鉛直である。このため、第１フィルタ支持部１１３は第２フィルタ２１ｂから離れた位置に容易に退避できる。

フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、保持アーム部１１８は床部１１４から略水平方向に延びている。このため、第２フィルタ支持部１１７は第２フィルタ２１ｂを好適に支持できる。

フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第１回転規制部１２５ａ、１２５ｂがフック部材１２３と接触することによって、フィルタ支持部１１１の回転を好適に規制できる。これにより、フィルタ支持部１１１を第１姿勢に好適に維持できる。

フィルタ支持部１１１が第１姿勢であるとき、第１回転規制部１２５ａ、１２５ｂが保持アーム部１１８と接触することによって、フィルタ支持部１１１の回転を一層好適に規制できる。これにより、フィルタ支持部１１１を第１姿勢に一層好適に維持できる。

フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、第２回転規制部１２７がフック部材１２３と接触することによって、フィルタ支持部１１１の回転を好適に規制できる。これにより、フィルタ支持部１１１を第２姿勢に好適に維持できる。

フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、フック部材１２３が第２回転規制部１２７の側部と接触することによって、フィルタ支持部１１１の水平移動を好適に規制できる。これにより、フィルタ支持部１１１が第２姿勢であるとき、フィルタ支持部１１１の位置を一定に維持できる。

回転軸部１２１は保持アーム部１１８の基端部に接続され、フック部材１２３は保持アーム部１１８の先端部に接続される。このため、回転軸部１２１とフック部材１２３との距離を比較的に長くできる。よって、フック部材１２３は、フィルタ支持部１１１が回転軸部１２１回りに回転することを一層好適に規制できる。

脚部７１はベースプレート４１に対して移動可能である。このため、脚部７１は、フィルタ支持部１１１を継ぎ手部材３３−３５に容易に接近させることができる。さらに、脚部７１は、フィルタ支持部１１１を継ぎ手部材３３−３５から容易に遠ざけることができる。

フィルタ連結装置３１は配置切替部４０を備える。このため、複数の継ぎ手部材３３−３５を第１配置および第２配置で配置できる。

継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置であるとき、継ぎ手部材３３−３５は第１フィルタ２１ａの接続口２３−２５と好適に接続でき、フィルタ連結装置３１は第１フィルタ２１ａと好適に連結できる。

継ぎ手部材３３−３５の配置が第２配置であるとき、継ぎ手部材３３−３５は第２フィルタ２１ｂの接続口２３−２５と好適に接続でき、フィルタ連結装置３１は第２フィルタ２１ｂと好適に連結できる。

このように、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が互いに異なる第１フィルタ２１ａおよび第２フィルタ２１ｂと好適に連結できる。その結果、第１フィルタ２１ａから第２フィルタ２１ｂに容易に交換でき、第２フィルタ２１ｂから第１フィルタ２１ａに容易に交換できる。

フィルタ支持部１１１は、第１フィルタ２１ａおよび第２フィルタ２１ｂを支持可能である。脚部７１は、フィルタ支持部１１１が継ぎ手部材３３−３５に接近するように、フィルタ支持部１１１を移動させる。これらフィルタ支持部１１１と脚部７１によって、フィルタ支持部１１１に支持されるフィルタ２１の接続口２３−２５を、継ぎ手部材３３−３５に好適に接続できる。

継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置および第２配置のいずれかであるとき、脚部用規制部材１０１は許容位置に位置し、脚部用規制部材１０１は接続口２３−２５と継ぎ手部材３３−３５の接続を許容する。これにより、脚部用規制部材１０１は、適正な接続を許容する。適正な接続とは、第１配置および第２配置のいずれかで配置される継ぎ手部材３３−３５に、接続口２３−２５を接続することである。

継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置および第２配置以外の配置であるとき、脚部用規制部材１０１は、禁止位置に位置し、脚部用規制部材１０１は、接続口２３−２５と継ぎ手部材３３−３５の接続を禁止する。これにより、脚部用規制部材１０１は、誤接続を未然に防止できる。誤接続とは、第１配置および第２配置以外の配置で配置される継ぎ手部材３３−３５に、接続口２３−２５を接続することである。

継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置および第２配置のいずれかであるとき、配置切替部４０は、弾性部材１０７の弾性力に抗って、脚部用規制部材１０１を許容位置に位置させる。継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置および第２配置以外の配置であるとき、弾性部材１０７が脚部用規制部材１０１を禁止位置に位置させる。このように、弾性部材１０７と配置切替部４０によって、脚部用規制部材１０１を許容位置および禁止位置に好適に位置させることができる。

移動部５１は継ぎ手部材３３、３４を移動させる。移動部５１が第１位置にあるとき、移動部５１は継ぎ手部材３３−３５を第１配置で配置する。移動部５１が第２位置にあるとき、移動部５１は継ぎ手部材３３−３５を第２配置で配置する。このように、移動部５１は、第１配置と第２配置の間で、継ぎ手部材３３−３５の配置を好適に切り替えることができる。

移動部５１が第１位置にあるとき、第１接触部１０８は脚部用規制部材１０１を許容位置に位置させる。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置であるとき、第１接触部１０８は脚部用規制部材１０１を許容位置に好適に位置させることができる。

移動部５１が第２位置にあるとき、第２接触部１０９は脚部用規制部材１０１を許容位置に位置させる。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置が第２配置であるとき、第２接触部１０９は脚部用規制部材１０１を許容位置に好適に位置させることができる。

移動部５１が第１位置および第２位置以外の位置にあるとき、脚部用規制部材１０１が禁止位置に位置することを第１接触部１０８および第２接触部１０９は許容する。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置が第１配置および第２配置以外の配置であるとき、第１接触部１０８と第２接触部１０９は、脚部用規制部材１０１が禁止位置に位置することを好適に許容できる。

配置切替部４０は継ぎ手軸部５７を備えるので、移動部５１はベースプレート４１に対して好適に回転できる。これにより、移動部５１は、第１配置と第２配置の間で、継ぎ手部材３３−３５の配置を好適に切り替えることができる。

脚部用規制部材１０１が禁止位置と許容位置との間で移動する方向は、継ぎ手軸部５７の径方向である。よって、第１接触部１０８と第２接触部１０９は、脚部用規制部材１０１を禁止位置から許容位置に好適に移動できる。

脚部用規制部材１０１は、継ぎ手軸部５７の軸心Ｃ５７の方向から見て、移動部５１と重なる位置に配置される。このため、第１接触部１０８と第２接触部１０９は、脚部用規制部材１０１と容易に接触できる。

フィルタ支持部１１１は継ぎ手部材３３−３５の下方に配置され、脚部７１はベースプレート４１に対して上方に移動可能である。このため、フィルタ支持部１１１を継ぎ手部材３３−３５に好適に接近させることができる。

継ぎ手軸部５７の軸心Ｃ５７は略鉛直である。よって、移動部５１は、継ぎ手部材３３−３５を略水平方向に容易に移動できる。

脚部７１は略鉛直方向Ｚに移動し、脚部用規制部材１０１は略水平方向に移動する。このように、脚部用規制部材１０１は、脚部７１が移動する方向に対して略垂直な方向に移動する。このため、許容位置および禁止位置を、互いに近い位置に配置できる。よって、脚部用規制部材１０１は、許容位置および禁止位置に容易に移動できる。

脚部７１は配置切替部４０に支持されるので、脚部７１は、継ぎ手部材３３−３５に向かってフィルタ支持部１１１を好適に移動できる。

フィルタ用規制部１３１は、フィルタ支持部１１１に支持されるフィルタ２１と接触可能である。フィルタ２１が継ぎ手部材３３−３５に接近するようにフィルタ支持部１１１が脚部７１に対して移動することを、フィルタ用規制部１３１は規制する。このため、フィルタ用規制部１３１は、フィルタ２１の接続口２３−２５を、継ぎ手部材３３−３５から適切に分離できる。

継ぎ手部材３３−３５は平坦端面３８と傾斜周面３９を有する。このため、継ぎ手部材３３−３５は、構造が互いに異なる接続口２３ａ−２５ａおよび接続口２３ｂ−２５ｂと好適に接続できる。

フィルタ連結装置３１はピン部材８１とレバー８５を備えるので、脚部７１をベースプレート４１に対して容易に移動できる。

ピン部材８１の軸心の方向から見て、ピン部材８１を通る鉛直な仮想線Ｌは、フィルタ支持部３１に支持されるフィルタ２１の中央部と交わる。このため、ピン部材８１とレバー８５は、脚部７１およびフィルタ支持部１１１の全体をバランス良く略鉛直方向Ｚに移動できる。よって、フィルタ２１の全体をバランス良く移動できる。具体的には、フィルタ２１が傾いた状態でフィルタ２１が上方に移動することを回避できる。フィルタ２１が傾いた状態とは、フィルタ２１の前部がフィルタ２１の後部に比べて低い状態などを言う。その結果、接続口２３−２５の全てが継ぎ手部材３３−３５と適切に接続できる。

基板処理装置１は、上述したフィルタ連結装置３１を備える。このため、よって、基板Ｗの種類、処理液の種類または処理の種類に応じて、フィルタ２１を容易に選択・交換できる。このため、処理液をより適切に濾過できる。よって、基板の処理品質を一層向上させることができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した各実施形態では、継ぎ手部材３３−３５がフィルタ２１の接続口２３−２５と接続したが、これに限られない。例えば、一次側配管１１ａの一端および二次側配管１１ｂの一端が直接的に接続口２３、２４に接続してもよい。具体的には、フィルタ連結装置３１は、一次側配管１１ａの一端および二次側配管１１ｂの一端を支持する配置切替部４０（ベースプレート４１）を備えてもよい。本変形実施形態の場合、一次側配管１１ａおよび二次側配管１１ｂの一端が、本発明における継ぎ手部材の例である。

（２）上述した各実施形態では、移動部５１を駆動する動力源を備えていなかったが、これに限られない。すなわち、配置切替部４０は、移動部５１を駆動する動力源を備えてもよい。

（３）上述した各実施形態では、配置切替部４０が切り替え可能な継ぎ手部材３３−３５の配置は、２つ（具体的には第１配置と第２配置）であったが、これに限られない。例えば、配置切替部が切り替え可能な配置を、３つ以上に変更してもよい。すなわち、配置切替部は、３つ以上の配置の間で、継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替えてもよい。

（４）上述した各実施形態では、移動部５１が移動する継ぎ手部材３３−３５の数は２つであったが、これに限られない。例えば、移動部５１が移動する継ぎ手部材３３−３５の数は１つでもよいし、３つでもよい。

（５）上述した各実施形態では、第１フィルタ支持部１１３はフィルタ２１を載置することによってフィルタ２１を支持したが、これに限られない。第１フィルタ支持部１１３は、フィルタ２１を把持することによって、フィルタ２１を支持してもよい。

（６）上述した実施形態では、フィルタ２１の接続口２３−２５の配置を例示したが、これに限られない。フィルタ２１の接続口２３−２５の配置を適宜に変更してもよい。フィルタ２１の形状、および、接続口２３−２５の構造についても同様に変更してもよい。

（７）上述した各実施形態では、第１フィルタ２１ａが有する接続口の数は、３つであったが、これに限られない。第１フィルタ２１ａが有する接続口の数は、２つ、または、４つ以上であってもよい。同様に、第２フィルタ２１ｂが有する接続口の数を適宜に変更してもよい。接続口の数の変更に応じて、フィルタ連結装置３１が有する継ぎ手部材３３−３５の数を変更してもよい。

（８）上述した各実施形態および上記（１）から（７）で説明した各変形実施形態については、さらに各構成を他の変形実施形態の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。

１ …基板処理装置
１１ …配管
２１、２１ａ、２１ｂ …フィルタ
２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ …接続口
３１ …フィルタ連結装置
３３、３４、３５ …継ぎ手部材（接続ポート）
３６ …継ぎ手部材の開口（接続ポートの開口）
３８ …平坦端面
３９ …傾斜周面
４０ …配置切替部
４１ …ベースプレート（ベース部）
５１ …移動部（ポート移動部）
５７ …継ぎ手軸部（ポート軸部）
７１ …脚部
８１ …ピン部材
８５ …レバー
１０１ …脚部用規制部材
１０７ …弾性部材
１０８ …第１接触部
１０９ …第２接触部
１１１ …フィルタ支持部
１１３ …第１フィルタ支持部
１１４ …床部
１１４ａ …載置面
１１７ …第２フィルタ支持部
１１８ …保持アーム部
１１８ａ …基端部
１１８ｂ …先端部
１２１ …回転軸部
１２３ …フック
１２４ …隙間
１２５ …第１回転規制部
１２７ …第２回転規制部
Ｐ１ …移動部の第１位置
Ｐ２ …移動部の第２位置
Ｌ …ピン部材８１を通る鉛直な仮想線
Ｗ …基板

Claims (21)

1. 形状が互いに異なる第１フィルタおよび第２フィルタのいずれとも連結可能なフィルタ連結装置であって、
   前記第１フィルタの接続口および前記第２フィルタの接続口と接続可能な接続ポートと、
   前記接続ポートを支持するベース部と、
   前記第１フィルタおよび前記第２フィルタを支持可能なフィルタ支持部と、
   前記フィルタ支持部に接続される回転軸部と、
   前記回転軸部を支持する脚部と、
   を備え、
   前記フィルタ支持部は、前記回転軸部回りに回転することによって第１姿勢および第２姿勢をとり、
   前記フィルタ支持部は、
   前記第１姿勢において前記第１フィルタを支持する第１フィルタ支持部と、
   前記第２姿勢において前記第２フィルタを支持する第２フィルタ支持部と、
   を有するフィルタ連結装置。
2. 請求項１に記載のフィルタ連結装置において、
   前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記第１フィルタ支持部は前記第１フィルタのハウジングと接触し、且つ、前記第２フィルタ支持部は前記第１フィルタから離れた位置にあり、
   前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記第２フィルタ支持部は前記第２フィルタのハウジングと接触し、且つ、前記第１フィルタ支持部は前記第２フィルタから離れた位置にあるフィルタ連結装置。
3. 請求項１または２に記載のフィルタ連結装置において、
   前記第１フィルタ支持部は、
   載置面を有する床部と、
   を有し、
   前記第２フィルタ支持部は、
   前記床部に接続される保持アーム部と、
   を有し、
   前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記載置面は前記第１フィルタのハウジングの底部と接触し、
   前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記保持アーム部は前記第２フィルタのハウジングの側部と接触するフィルタ連結装置。
4. 請求項３に記載のフィルタ連結装置において、
   前記保持アーム部は前記載置面に対して略垂直な方向に延びるフィルタ連結装置。
5. 請求項３または４に記載のフィルタ連結装置において、
   前記フィルタ支持部は、前記接続ポートの下方に配置され、
   前記回転軸部の軸心は略水平であり、
   前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記載置面は略水平であり、且つ、前記保持アーム部は前記床部から上方に延び、
   前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記載置面は略鉛直であり、且つ、前記保持アーム部は前記床部から略水平方向に延びるフィルタ連結装置。
6. 請求項３から５のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
   前記フィルタ連結装置は、
   前記保持アーム部に接続されるフック部材と、
   前記脚部に接続される第１回転規制部と、
   を備え、
   前記フィルタ支持部が前記第１姿勢であるとき、前記第１回転規制部は、前記保持アーム部と前記フック部材との間に形成される隙間に配置され、且つ、前記フック部材と接触するフィルタ連結装置。
7. 請求項６に記載のフィルタ連結装置において、
   前記フィルタ連結装置は、
   前記脚部に接続される第２回転規制部と、
   を備え、
   前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記第２回転規制部は、前記隙間に配置され、且つ、前記フック部材と接触するフィルタ連結装置。
8. 請求項７に記載のフィルタ連結装置において、
   前記フィルタ支持部が前記第２姿勢であるとき、前記フック部材は前記第２回転規制部の側部と接触するフィルタ連結装置。
9. 請求項６から８のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
   前記保持アーム部は、
   前記床部に接続される基端部と、
   を有し、
   前記回転軸部は、前記保持アーム部の前記基端部の近傍に接続され、
   前記フック部材は、前記保持アーム部の先端部の近傍に接続されるフィルタ連結装置。
10. 請求項１から９のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
    前記脚部は、前記ベース部に対して移動可能に前記ベース部に支持されるフィルタ連結装置。
11. 接続口の配置が互いに異なる第１フィルタおよび第２フィルタのいずれとも連結可能なフィルタ連結装置であって、
    前記第１フィルタが有する複数の接続口および前記第２フィルタが有する複数の接続口と接続可能な複数の接続ポートと、
    前記複数の前記接続ポートを支持し、且つ、前記第１フィルタの前記接続口の配置に相当する第１配置と前記第２フィルタの前記接続口の配置に相当する第２配置との間で、前記接続ポートの配置を切り替える配置切替部と、
    前記第１フィルタおよび前記第２フィルタを支持可能なフィルタ支持部と、
    前記フィルタ支持部を支持し、前記フィルタ支持部を前記接続ポートに向かって移動させる脚部と、
    前記脚部が前記フィルタ支持部を前記接続ポートに向かって移動させることを禁止する禁止位置と、前記脚部が前記フィルタ支持部を前記接続ポートに向かって移動させることを許容する許容位置とに移動可能な脚部用規制部材と、
    を備え、
    前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置のいずれかであるとき、前記脚部用規制部材は前記許容位置に位置し、
    前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置以外の配置であるとき、前記脚部用規制部材は前記禁止位置に位置するフィルタ連結装置。
12. 請求項１１に記載のフィルタ連結装置において、
    前記フィルタ連結装置は、
    前記脚部用規制部材に接触し、前記許容位置から前記禁止位置に向かう向きの弾性力を前記脚部用規制部材に与える弾性部材と、
    を備え、
    前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置のいずれかであるとき、前記配置切替部は、前記脚部用規制部材と接触し、前記脚部用規制部材を前記許容位置に位置させ、
    前記接続ポートの配置が前記第１配置および前記第２配置以外の配置であるとき、前記弾性部材は前記脚部用規制部材を前記禁止位置に位置させるフィルタ連結装置。
13. 請求項１１または１２に記載のフィルタ連結装置において、
    前記配置切替部は、
    ベース部と、
    前記ベース部に対して移動可能に前記ベース部に支持され、前記接続ポートの少なくともいずれかと接触するポート移動部と、
    前記ポート移動部に接続され、前記脚部用規制部材と接触可能な第１接触部と、
    前記ポート移動部に接続され、前記脚部用規制部材と接触可能な第２接触部と、
    を備え、
    前記ポート移動部が第１位置にあるとき、前記接続ポートの配置は前記第１配置であり、前記第１接触部は前記脚部用規制部材と接触して前記脚部用規制部材を前記許容位置に位置させ、且つ、前記第２接触部は前記脚部用規制部材から離れた位置にあり、
    前記ポート移動部が第２位置にあるとき、前記接続ポートの配置は第２配置であり、前記第１接触部は前記脚部用規制部材から離れた位置にあり、且つ、第２接触部は前記脚部用規制部材と接触して前記脚部用規制部材を前記許容位置に位置させ、
    前記ポート移動部が前記第１位置および前記第２位置以外の位置にあるとき、前記接続ポートの配置は前記第１配置および前記第２配置以外の配置であり、且つ、前記脚部用規制部材が前記禁止位置に位置することを前記第１接触部および前記第２接触部は許容するフィルタ連結装置。
14. 請求項１３に記載のフィルタ連結装置において、
    前記配置切替部は、
    前記ベース部に接続されるポート軸部と、
    を備え、
    前記ポート移動部は、前記ポート軸部に接続され、前記ポート軸部回りに回転可能であり、
    前記脚部用規制部材が前記禁止位置と前記許容位置との間で移動する方向は、前記ポート軸部の径方向であるフィルタ連結装置。
15. 請求項１４に記載のフィルタ連結装置において、
    前記脚部用規制部材は、前記ポート軸部の軸心方向から見て前記ポート移動部と重なる位置に配置されるフィルタ連結装置。
16. 請求項１４または１５に記載のフィルタ連結装置において、
    前記フィルタ支持部は、前記接続ポートの下方に配置され、
    前記脚部は、前記ベース部に対して上方に移動可能であり、
    前記ポート軸部の軸心は略鉛直であり、
    前記脚部用規制部材は、前記ベース部に対して略水平方向に移動することによって、前記禁止位置および前記許容位置に移動するフィルタ連結装置。
17. 請求項１１から１６のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
    前記脚部は、前記配置切替部に対して移動可能に前記配置切替部に支持されるフィルタ連結装置。
18. 請求項１から１７のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
    前記フィルタ連結装置は、
    前記脚部に接続され、前記フィルタ支持部に支持される前記第１フィルタおよび前記第２フィルタの少なくともいずれかと接触し、前記第１フィルタおよび前記第２フィルタの少なくともいずれかが前記脚部に対して前記接続ポートに向かって移動することを規制するフィルタ用規制部と、
    を備えるフィルタ連結装置。
19. 請求項１から１８のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
    前記接続ポートは、
    前記接続ポートの第１端部に形成される開口と、
    前記開口の周囲に形成される平坦な平坦端面と、
    前記平坦端面の周囲に形成され、前記接続ポートの第２端部に向かって径方向外方に傾斜する傾斜周面と、
    を有し、
    前記平坦端面および前記傾斜周面の少なくともいずれかが、前記接続口と接触するフィルタ連結装置。
20. 請求項１から１９のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
    前記フィルタ連結装置は、
    前記脚部に接続されるピン部材と、
    前記ピン部材と接触し、前記ピン部材を前記接続ポートに対して略鉛直方向に移動させるレバーと、
    を備え、
    前記ピン部材の軸心の方向から見て、前記ピン部材を通る鉛直な仮想線は、前記フィルタ支持部に支持される前記第１フィルタおよび前記第２フィルタの少なくともいずれかの中央部と交わるフィルタ連結装置。
21. 請求項１から２０のいずれかに記載のフィルタ連結装置を備えている基板処理装置。

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