JP6856407B2 - ウエハ加工装置 - Google Patents

Description

本発明はウエハ加工装置に係り、特に半導体ウエハの製造工程で半導体ウエハの裏面を研削加工する、あるいは半導体ウエハの表面を研磨する等に使用するウエハの加工装置に関するものである。

例えば、半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）の裏面を研削する加工工程では、平面研削装置が使用される（例えば、特許文献１参照）。

図４は、従来のウエハ加工装置、つまり平面研削装置の一例を示す平面図である。図４に示すように平面研削装置１００は、チャックテーブル１０１とカップホイール型の砥石１０２を備えており、チャックテーブル１０１でウエハＷの表面を吸着保持し、そして、ウエハＷの裏面に砥石１０２を押し付けるとともに、ウエハＷと砥石１０２との間に研削液を供給しながら、チャックテーブル１０１及び砥石１０２をそれぞれ矢印方向に回転させ、更に砥石１０２をウエハＷの裏面上を摺動させて研削をしている。

また、平面研削装置１００による研削中、ウエハＷは砥石１０２とウエハＷとの間に供給される研削液とチャックテーブル１０１の温度調整とにより、所定温度以上になるのが抑制される。ここでのチャックテーブル１０１の温度調整は、回転しているチャックテーブル１０１の吸着パッド部内に、外部から温度調整用の水又は気体を導入し、その導入した水又は気体により吸着パッド部の裏面側を加熱又は冷却して、その吸着パッド部の全体の温度が略２３℃となるように調整している。

したがって、このような平面研削装置１００のチャックテーブル１０１では、回転しているチャックテーブル１０１に外部から水又は気体を供給する必要がある。そこで、従来の平面研削装置で１００は、チャックテーブル１０１に外部から水又は気体を供給する連結手段として、ロータリジョイントが用いられている。

図５及び図６は、従来のロータリジョイント１０３を用いた、チャックテーブル１０１の一構成例を示すもので、図５はチャックテーブル１０１の概略断面図、図６はチャックテーブル１０１の要部拡大断面図ある。

図６に示すように、チャックテーブル１０１は、主として装置本体の支持部１１０に支持された回転本体部１１１と、回転本体部１１１と同じ回転軸線Ｏ上で、かつ回転本体部１１１と一体に回転する回転軸１０８と、回転軸１０８の一端（上端）側に一体回転可能に取り付けられたウエハチャック部１１２と、回転軸１０８の他端（下端）側に一体回転可能に取り付けられたプーリ１１３と、プーリ１１３の下側に回転本体部１１１と同心的に配設されたロータリジョイント１０３とを備える。

回転本体部１１１は、上下方向に移動可能な支持部１１０に、ベアリング１１４を介して回転可能に支持されている。

プーリ１１３は、支持部１１０上に配設されたモータ１１５の出力軸１１５ａに一体回転可能に取り付けられたプーリ１１６と伝達ベルト１１７を介して動力連結されている。そして、モータ１１５が回転駆動されると、モータ１１５の回転を、出力軸１１５ａ、プーリ１１６、伝達ベルト１１７を介してプーリ１１３に伝達し、この回転で回転軸１０８、回転本体部１１１、ウエハチャック部１１２も一体に回転するようになっている。

ロータリジョイント１０３は、回転軸１０８と一体に回転する内部ケース１２１と、内部ケース１２１に対して回転不能に固定された外部ケース１２３と、内部ケース１２１と外部ケース１２３との間に環状の隙間、つまり環状連通空間１２２を設けて内部ケース１２１に対し外部ケース１２３を回転可能に保持している上下１対の軸受としてのベアリング１２４等を備える。

回転軸１０８には、冷却水（チラー水）Ｄをチャック本体部１１２ａに供給する冷却水通路１１８と、吸着パッド部１１２ｂに加工前のウエハを着脱可能に吸着保持するためのエアＶａを外部から吸引するエア通路１１９と、が設けられている。その冷却水通路１１８の一端側はロータリジョイント１０３の冷却水取入孔１２７に開口連結され、エア通路１１９の一端側はロータリジョイント１０３のエア吸引孔１３４に開口連結されている。

また、冷却水取入孔１２７とエア吸引孔１３４は、それぞれ内部ケース１２１に一体回転可能に取り付けられた環状の回転シール１２５と外部ケース１２３に回転不能に取り付けられた環状の固定シール１２６を交互に軸方向に密に配置することにより、環状連通空間１２２を軸方向に並置された複数個の独立した空間として分割し、その中の異なる１個の環状連通空間内にそれぞれ開口するようにして形成されている。したがって、固定シール１２６に対して回転シール１２５が回転する時には、回転シール１２５は固定シール１２６に対して擦れながら回転し、固定シール１２６と回転シール１２５との間には摩擦熱が発生して、ロータリジョイント１０３の内部が高温になる。そのため、ロータリジョイント１０３の内部が、その摩擦熱によって必要以上に温度上昇するのを未然に回避するのに、ロータリジョント１０３内に冷却水（クエンチング水）Ｃを流すようにしている。

すなわち、図５及び図６において、内部ケース１２１と外部ケース１２３との間の環状連通空間１２２内に冷却水Ｃを、冷却水取入孔１２９から流入するとともに、冷却水排出孔１３０を通して排出するようにして流し、これによってロータリジョイン１０３の内部を冷却して、ロータリジョイント１０３の内部が摩擦熱によって必要以上に温度が上がるのを未然に回避している。

特開平１１−３０９６６４号公報

しかしながら、図５及び図６に示した従来のウエハ加工装置としての平面研削装置１００では、ウエハチャック部１１２内に冷却水Ｄを流してウエハチャック部１１２の温度が必要以上に変動するのを未然に回避するウエハチャック部用の冷却水系（冷却水取入孔１２７−冷却水通路１１８）と、ロータリジョント９内に冷却水Ｃを流してロータリジョイント１０３の温度が必要以上に上昇するのを未然に回避するロータリジョイント用の冷却水系（冷却水取入孔１２９−環状連通空間１２２−冷却水排出孔１３０）を、各々独立して設けている。そのため、ウエハチャック部用の冷却水系の温度調整手段とロータリジョイント用の冷却水系の温度調整手段を別々に必要とする。これにより、設備が複雑化して費用がかかり、また水の消費量も多く、コストアップの原因になっているとともに、加工設備自体も大型化するという問題点があった。

また、ウエハチャック部用の冷却水系の温度調整とロータリジョイント用の冷却水系の温度調整を別々に設けているので、例えばウエハチャック部用の冷却水系の温度とロータリジョイント用の冷却水系の温度を同時に調整したい時、各冷却水系との連動性が無いことから個々に温度調整をしなければならなかった。このため、温度調整が面倒であるという問題点があった。

そこで、設備を簡略化し、水の消費量も少なくしてコストダウンを可能にするとともに、設備の小型化と温度の調整の簡略化を可能にするウエハ加工装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、ウエハをチャックするウエハチャック部と一体に回転する軸状の内部ケースと、前記内部ケースとの間に環状の連通空間を設けて、前記内部ケースの外周面を覆って前記内部ケースと同心状に配設された管状の外部ケースと、前記外部ケース内を通って前記連通空間に通じ、前記外部ケースの外側から前記連通空間内に温度調整用の流体を供給する第１流体通路と、前記連通空間内に供給された前記流体を、前記内部ケース内を通って前記ウエハチャック部に供給する第２流体通路と、を有するロータリジョイントを備え、前記連通空間は、前記ロータリジョイントの軸心方向に沿って分割されるとともに前記外部ケースのバイパス通路を介して互いに直列状に連結された複数個の環状連通空間からなるウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば第１の流体通路を通って前記ロータリジョイント内の環状連通空間に供給された温度調整用の前記流体の流れがロータリジョイント内の温度を奪い、ロータリジョイント内の温度が必要以上に上昇するのを未然に回避することができる。また、ロータリジョイント内の温度を奪って温度上昇した流体は、ロータリジョイントからウエハチャック部に供給され、ロータリジョンとウエハチャック部が略同じ温度に調整される。すなわち、ロータリジョイント用の冷却水系（第１流体通路）とウエハチャック部用の冷却水系（第２流体通路）は直列状態に連結されていて、ロータリジョイント用の冷却水系とウエハチャック部用の冷却水系を順に流れてロータリジョイントとウエハチャック部を略同じ温度に調整する。したがって、ウエハチャック部用の冷却水系とロータリジョイント用の冷却水系を別々に設けなくても済む。これにより、設備が簡略化し、小型化が可能になる。また、ウエハチャック部用の冷却水系の水とロータリジョイント用の冷却水系の水を共用できるので、水の消費量を少なくすることができる。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の構成において、前記ウエハチャック部は、チャック本体部と、前記ウエハをチャック保持する吸着パッド部を備え、前記ウエハチャック部に供給された前記流体が前記チャック本体部の周面より排出される、ウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、ロータリジョイント用の冷却水系とウエハチャック部用の冷却水系を通った水をチャック本体部の周面より排出処理することができる。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記外部ケースは、前記外部ケースの内周面に固定して取り付けられた環状の固定シールを有し前記内部ケースは、前記内部ケースの外周面に前記環状の固定シールに対して回転可能に取り付けられた環状の回転シールを有する、
ウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、流体が流れる通路から流体が漏れ出るのを、固定シールと回転シールとで封止することができる。

請求項４記載の発明は、請求項３に記載の構成において、前記ロータリジョイントは、複数個の前記固定シールと前記回転シールをそれぞれ交互に前記ロータリジョイントの軸心方向に配置し、前記複数個の環状連通空間は、前記固定シール及び前記回転シールによって分割されている、ウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、環状連通空間を、ロータリジョイントの軸心方向に複数個に分割することができる。

請求項５記載の発明は、請求項４に記載の構成において、前記複数個の連通空間の中、少なくとも一つは、前記ウエハチャック部の前記吸着パッド部に前記ウエハを吸引チャックする吸引力を外部から付与するエア通路孔と接続している、ウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、ワークチャック部の吸着パッドにウエハを吸引チャックする吸引力を、ロータリジョイントを介して外部から供給することができる。

発明によれば、ウエハチャック部用の冷却水系とロータリジョイント用の冷却水系を別々に設けなくても済むので、設備が簡略化するとともに、小型化が可能になる。また、ウエハチャック部用の冷却水系の水とロータリジョイント用の冷却水系の水を共用できるで、水の消費量を少なくすることができ、コストダウンが可能となる。

本発明のウエハ加工装置を適用した平面研削装置の全体構成を概略的に示す斜視図である。 本発明のウエハ加工装置の一実施例として示すチャックテーブルの概略断面図である。 図２に示すチャックテーブルの要部拡大断面図である。 従来の平面研削装置の一例を示す平面図である。 図４に示すチャックテーブルの概略断面図である。 図４に示すチャックテーブルの要部拡大断面図である。

本発明は、設備を簡略化し、水の消費量も少なくしてコストダウンを可能にするとともに、設備の小型化と温度の調整の簡略化を可能にするという目的を達成するために、ウエハをチャックするウエハチャック部と一体に回転する軸状の内部ケースと、前記内部ケースとの間に環状の連通空間を設けて、前記内部ケースの外周面を覆って前記内部ケースと同心状に配設された管状の外部ケースと、前記外部ケース内を通って前記連通空間に通じ、前記外部ケースの外側から前記連通空間内に温度調整用の流体を供給する第１流体通路と、前記連通空間内に供給された前記流体を、前記内部ケース内を通って前記ウエハチャック部に供給する第２流体通路と、を有するロータリジョイントを備える、構成としたことにより実現した。

以下、本発明を実施するための形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明では、実施形態の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。また、以下の説明では、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウエハ加工装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

図１は本発明に係るウエハ加工装置、つまりウエハの平面研削装置１の一例を示す平面図である。図１に示す平面研削装置１は、チャックテーブル２とカップホイール型の砥石３を備えており、チャックテーブル２でウエハＷの表面を吸着保持し、そして、ウエハＷの裏面に砥石３を押し付けるとともに、ウエハＷと砥石３との間に研削液を供給しながらチャックテーブル２及び砥石３をそれぞれ矢印方向に回転させ、更に砥石３をウエハＷの裏面上に摺動させて研削を行うものである。

また、平面研削装置１も、研削中、ウエハＷと砥石３との間に供給される研削液と、チャックテーブル２の温度調整とにより、ウエハＷが所定温度以上になるのを抑制している。ここでのチャックテーブル２の温度調整も、回転しているチャックテーブル２の吸着パッド部内に温度調整用の水又は気体を外部から導入し、その導入した水又は気体により吸着パッド部の裏面側を加熱又は冷却して、その吸着パッド部の全体の温度が略２３℃となるように調整している。

したがって、この平面研削装置１においても、チャックテーブル２には、回転しているチャックテーブル２に外部から水又は気体を供給するのにロータリジョイントを用いている。

図２及び図３は、ロータリジョイント９を用いた、ウエハ加工装置であるチャックテーブル２の一構成例を示すものであり、図２はチャックテーブル２の概略断面図、図３はチャックテーブル２の要部拡大断面図ある。

図２に示すように、チャックテーブル２は、主として装置本体の支持部１０に支持された回転本体部１１と、回転本体部１１と同軸状に配置され、かつ回転本体部１１と一体に回転する回転軸８と、回転軸８の一端（上端）側に一体回転可能に取り付けられたウエハチャック部１２と、回転軸８の他端（下端）側に一体回転可能に取り付けられたプーリ１３と、プーリ１３の下側に回転本体部１１と同軸状に配設されたロータリジョイント９とを備える。

回転本体部１１は、上下方向に移動可能な支持部１０に、ベアリング１４を介して回転可能に支持されている。

プーリ１３は、支持部１０上に配設されたモータ１５の出力軸１５ａに一体回転可能に取り付けられたプーリ１６と伝達ベルト１７を介して動力連結されている。そして、モータ１５が回転駆動されると、モータ１５の回転を、出力軸１５ａ、プーリ１６、伝達ベルト１７を介してプーリ１３に伝達し、この回転で回転軸８、回転本体部１１、ウエハチャック部１２もプーリ１３と一体に回転するようになっている。

回転軸８には、一端（上端）側から他端（下端）側までそれぞれ連続して貫通された冷却水通路孔１８ａとエア通路孔１９ａが設けられている。

ウエハチャック部１２は、円盤状に形成されたチャック本体部１２ａと、チャック本体部１２aの上面側に設けられた吸着パッド部１２ｂとを備える。

チャック本体部１２ａには、回転軸８の冷却水通路孔１８ａと対応して冷却水通路孔１８ｂが設けられているとともに、エア通路孔１９ａと対応してエア通路孔１９ｂが設けられている。

冷却水通路１８ｂの一端側は、ウエハチャック部１２のチャック本体部１２ａ及び吸着パッド部１２ｂを各々冷却するためのチャック本体部１２ａ内に設けられた図示しない冷却機構の一端側に連通している。なお、冷却水通路１８ｂと連通している冷却機構の他端側は、チャック本体部１２ａの周面に開口している排水孔２０と連結されている。したがって、冷却水通路１８ｂからチャック本体部１２a内の冷却機構に入った冷却水（チラー水）Ｅは、この冷却機構内を通った後、排水孔２０から、つまりチャック本体部１２ａの周面からウエハチャック部１２の外側に排水されるようになっている。

エア通路孔１９ｂは、一端側がエア通路孔１９ａに連通しているとともに、他端側が吸着パッド部１２ｂに連通している。吸着パッド部１２ｂは、通気性を有する多孔質板を有し、エア通路孔１９ａ、１９ｂ等を介して真空ポンプ等の真空源と連通されている。そして、吸着パッド部１２ｂは、真空源が駆動されると、多孔質板が減圧され、多孔質板の上面、つまり吸着パッド部１２ｂの上面に対象であるウエハＷを吸着保持可能となる。

ロータリジョイント９は、回転軸８と一体に回転する内部ケース２１と、内部ケース２１の外周面を覆い、かつ内部ケース２１と同心状で内部ケース２１に対して回転不能に固定された外部ケース２３と、内部ケース２１と外部ケース２３との間に環状の隙間、つまり環状連通空間２２を設けて内部ケース２１に対し外部ケース２３を回転可能に保持している上下１対の軸受としてのベアリング２４等を備えている。

内部ケース２１は、軸状、すなわち断面が円形をした中実軸である。内部ケース２１は、プーリ１３の下面と対向する上端側に、内部ケース２１をプーリ１３の下面に連結固定している円盤状のフランジ２１ａが一体に設けられている。また、内部ケース２１には、回転軸８の冷却水通路孔１８ａと対応して冷却水通路孔１８ｃが設けられているとともに、エア通路孔１９ａと対応してエア通路孔１９ｃが設けられている。

環状連通空間２２は、内部ケース２１の外周に固定されて内部ケース２１と一体回転可能な環状の回転シール２５と、外部ケース２３の内周に固定された環状の固定シール２６とを交互に、ロータリジョイント９の軸心方向（回転軸線Ｏに沿う方向）に直列配置して、複数個（本実施例では３個）の互いに独立した環状連通空間２２ａ、２２ｂ、２２ｃに分割されている。なお、回転シール２５と固定シール２６との間は互いに密に接触し、かつ回転シール２５は固定シール２６に対して回転可能に配設されている。したがって、各環状連通空間２２ａ、２２ｂ、２２ｃの間からは、互いに隣り合う環状連通空間へ流体及び気体が漏れ出さないようになっている。

また、環状連通空間２２ａ〜２２ｃの中、環状連通空間２２ａ、２２ｃはロータリジョイント９及び上記ウエハチャック部１２を冷却するための冷却水（クエンチング・チラー水）Ｅを流すための環状連通空間であり、環状連通空間２２ｂはエア吸引用のエアＶａを流すための環状連通空間である。

さらに、環状連通空間２２ａ、２２ｃは、外部ケース２３内に設けられたバイパス通路２２ｄにより接続されていて、直列状に互いに繋がった１つの環状連通空間として形成されている。また、この環状連通空間２２ａ、２２ｃは、内部ケース２１の外周面を包み込む形で設けられている。

なお、外部ケース２３には、外部から環状連通空間２２ａまで穿設された冷却水取入孔２７と、外部から環状連通空間２２ｂまでに穿設されたエア吸引孔２８が各々形成されている。また、冷却水取入孔２７には冷却水供給パイプ２９が接続され、エア吸引孔２８にはバキュームパイプ３０が接続されている。さらに、冷却水供給パイプ２９は、図示しないが冷却水源としての冷却水貯水タンクに冷却水供給ポンプを介して接続されており、バキュームパイプ３０は図示しない真空源に接続されている。ここで、冷却水供給パイプ２９、冷却水取入孔２７は、外部ケース２３の外側から環状連通空間２２ａ、２２ｃ内に温度調整用の冷却水Ｅを供給する第１流体通路３１を構成している。

一方、内部ケース２１に形成された第２流体通路、すなわち環状連通空間２２ａ、２２ｃ内に供給された冷却水（流体）Ｅを、内部ケース２１内を通ってウエハチャック部１２に供給する通路を形成している冷却水通路１８は、環状連通空間２２ｃに連通している。

また、バキュームパイプ３０、エア吸引孔２８、エア通路１９ａ、１９ｂ、１９ｃはエア吸着路３２を構成している。このエア吸着路３２は、真空源が駆動されると、バキュームパイプ３０、エア吸引孔２８、環状連結空間２２ｂ、エア通路孔１９ｃ、１９ａ、１９ｂを介して吸着パッド部１２ｂの吸着面を減圧し、吸着パッド部１２ｂの上面に研削対象であるウエハを吸着（チャック）保持可能となる。

そして、このロータリジョイント９は、内部ケース２１が外部ケース２３に対して回転する時、内部ケース２１と外部ケース２３との間には回転シール２５と固定シール２６との間に摩擦熱が発生する。しかし、この摩擦熱は、冷却水供給ポンプの駆動で冷却水貯水タンクから冷却水供給パイプ２９を通って冷却水取入孔２７からロータリジョイント９内に入る例えば約２０℃に温度調整された冷却水Ｅ、すなわち第１流体通路３１を通って供給されて来る冷却水Ｅにより除去することができる。そのロータリジョイント９内では、互いに直列状に連結されて内部ゲース２１の内面を包み込む形で軸心方向に配設されている環状連通空間２２ａ、２２ｃの部分でロータリジョイン９の全体が冷却される。また、冷却後の冷却水はロータリジョイント９内の熱を奪って約２３℃に加温され、これが第２流体通路である冷却水通路１８ｃ、１８ａ、１８ｂを通ってウエハチャック部１２に送られる。

したがって、環状連通空間２２ａ、２２ｃの箇所では、２０℃に温度調整された冷却水Ｅの流れによってロータリジョイント９の内部が冷却され、またロータリジョイント９の発熱温度を奪って温度上昇している冷却水Ｅはウエハチャック部１２に供給されて、ウエハチャック部１２内の温度をロータリジョイント９と略同じ温度に調整される。これにより、ロータリジョイント９とウエハチャック部１２との温度が常に同じ温度に保たれ、ウエハチャック部１２の温度調整が安定する。また、冷却機構内を通った冷却水Ｅは、排水孔２０を通ってチャック本体部１２ａの周面から排出処理される。

次に、このように構成されたチャックテーブル２の作用について説明する。まず、図示しない移動機構により、研削前のウエハＷがチャックテーブル２上に移動されて来ると、チャックテーブル２に付随する図示せぬ真空源を作動させ、ウエハ吸着路３９を介してチャックテーブル２における吸着パッド部１２ｂを減圧し、吸着パッド１２ｂの上面の吸着作用によって研削前のウエハを吸着パッド１２ｂの上面に吸着保持する。

次いで、前記移動機構により砥石３を下方に移動させて、ウエハＷの裏面に砥石３を押し付けるとともに、ウエハＷと砥石３との間に研削液を供給しながらチャックテーブル２及び砥石３をそれぞれ回転させ、更に砥石３をウエハＷの裏面上を摺動させて研削を行う。なお、この状態では、チャックテーブル２及び砥石３は、図１に示す方向にそれぞれ予め回転している。また、図示しない冷却水供給ポンプも作動される。

そして、冷却水供給ポンプの作動により、冷却水供給源から約２０℃に温度調整された冷却水Ｅが第１流体通路３１に供給され、この冷却水Ｅでロータリジョイント９の内部に発生する摩擦熱が除去される。これにより、ロータリジョイント９の内部が摩擦熱によって必要以上に温度上昇するのを未然に回避できる。

また、ロータリジョイント９内を冷却して２３℃程度に温められた冷却水Ｅは、環状連通空間２２ｃから第２流体通路３９に供給されてウエハチャック部１２内の冷却機構を通って、チャック本体部１２ａの外周面から排水される。これにより、ウエハやウエハチャック部１２が摩擦熱によって必要以上に温度上昇するのを未然に抑えることができる。

研削が終了すると、冷却水Ｅの供給を停止する。その後、図示せぬ移動機構を作動させて、研削加工を終了したウエハをウエハ収納位置まで運び、その後、ウエハのチャックが解かれる。

したがって、上記実施例によるウエハ加工装置としてのチャックテーブル３によれば、ロータリジョイント９を冷却する冷却水系（第１流体通路３１）とウエハチャック部１２を冷却する冷却水系（第２流体通路１８）は直列状態に連結されていて、ロータリジョイント９の冷却水系とウエハチャック部１２の冷却水系を順に流れてロータリジョイント９とウエハチャック部１２をそれぞれ適した温度に調整するので、ウエハチャック部１２の冷却水系とロータリジョイント９の冷却水系を別々に設けなくても済む。これにより、設備が簡略化し、小型化が可能になる。また、ウエハチャック部１２の冷却水系の水とロータリジョイント９の冷却水系の水を共用できるので、水の消費量を少なくすることができる。

なお、上記実施例は平面研削装置１に適用した場合について説明したが、平面研削装置に限ることなく、ウエハの表面研磨装置にロータリジョイント９を適用して構成することもできる。つまり、本発明のウエハ加工装置は、表面研磨装置も含むものである。

また、本発明のウエハ加工装置は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１ 平面研削装置
２ チャックテーブル
３ 砥石
８ 回転軸
９ ロータリジョイント
１０ 支持部
１１ 回転本体部
１２ ウエハチャック部
１２ａ チャック本体部
１２ｂ 吸着パッド部
１３ プーリ
１４ ベアリング
１５ モータ
１５ａ 出力軸
１６ プーリ
１７ 伝達ベルト
１８ 冷却水通路（第２流体通路）
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ 冷却水通路孔
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ エア通路孔
２０ 排水孔
２１ 内部ケース
２１ａ フランジ
２２ 環状連通空間
２２ａ、２２ｃ 冷却水用の環状連通空間
２２ｂ エア吸引用の環状連通空間
２２ｄ バイパス通路
２３ 外部ケース
２４ ベアリング
２５ 回転シール
２６ 固定シール
２７ 冷却水取入孔
２８ エア吸引孔
２９ 冷却水供給パイプ
３０ バキュームパイプ
３１ 第１流体通路
３２ ウエハ吸着路
Ｏ 回転軸線
Ａ チャックテーブルの回転方向を示す矢印
Ｂ 砥石の回転方向を示す矢印
Ｃ 冷却水（クエンチング水）
Ｄ 冷却水（チラー水）
Ｅ 冷却水（クエンチング・チラー水）
Ｖａ エア

Claims (5)

1. ウエハをチャックするウエハチャック部と一体に回転する軸状の内部ケースと、
   前記内部ケースとの間に環状の連通空間を設けて、前記内部ケースの外周面を覆って前記内部ケースと同心状に配設された管状の外部ケースと、
   前記外部ケース内を通って前記連通空間に通じ、前記外部ケースの外側から前記連通空間内に温度調整用の流体を供給する第１流体通路と、
   前記連通空間内に供給された前記流体を、前記内部ケース内を通って前記ウエハチャック部に供給する第２流体通路と、
   を有するロータリジョイントを備え、
   前記連通空間は、前記ロータリジョイントの軸心方向に沿って分割されるとともに前記外部ケースのバイパス通路を介して互いに直列状に連結された複数個の環状連通空間からなることを特徴とするウエハ加工装置。
2. 前記ウエハチャック部は、チャック本体部と、前記ウエハをチャック保持する吸着パッド部を備え、前記ウエハチャック部に供給された前記流体が前記チャック本体部の周面より排出される、ことを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工装置。
3. 前記外部ケースは、前記外部ケースの内周面に固定して取り付けられた環状の固定シールを有し、
   前記内部ケースは、前記内部ケースの外周面に前記環状の固定シールに対して回転可能に取り付けられた環状の回転シールを有する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ加工装置。
4. 前記ロータリジョイントは、複数個の前記固定シールと前記回転シールをそれぞれ交互に前記ロータリジョイントの軸心方向に配置し、前記複数個の環状連通空間は、前記固定シール及び前記回転シールによって分割されている、ことを特徴とする請求項３に記載のウエハ加工装置。
5. 前記複数個の連通空間の中、少なくとも一つは、前記ウエハチャック部の前記吸着パッド部に前記ウエハを吸引チャックする吸引力を外部から付与するエア通路孔と接続している、ことを特徴とする請求項４に記載のウエハ加工装置。

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