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JP6835506B2 - Liquid coating unit and liquid coating device - Google Patents

Liquid coating unit and liquid coating device Download PDF

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JP6835506B2
JP6835506B2 JP2016170580A JP2016170580A JP6835506B2 JP 6835506 B2 JP6835506 B2 JP 6835506B2 JP 2016170580 A JP2016170580 A JP 2016170580A JP 2016170580 A JP2016170580 A JP 2016170580A JP 6835506 B2 JP6835506 B2 JP 6835506B2
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Description

本発明は、液体塗布ユニットおよび液体塗布装置に関し、塗布針を用いて対象物に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットおよび液体塗布装置に関する。 The present invention relates to a liquid coating unit and a liquid coating device, and relates to a liquid coating unit and a liquid coating device for applying a liquid material to an object using a coating needle.

ＲＦＩＤタグなどの微細な回路を印刷（塗布）方式で形成するプリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。プリンテッドエレクトロニクス技術において、塗布針を用いた方式も、広範囲の粘度の材料を用いて微細な塗布が可能な点で、その選択肢の一つである。 Printed electronics technology for forming minute circuits such as RFID tags by printing (coating) is rapidly developing. In printed electronics technology, the method using a coating needle is also one of the options in that fine coating can be performed using a material having a wide range of viscosities.

塗布針を用いて微細な塗布を行う方法として、特開２０１５−１１２５７６号公報（特許文献１）に記載のような塗布ユニットを用いて行う方法がある。当該塗布ユニットにおいて、液体材料は液体材料容器に収容されている。液体材料容器には、液体材料を収容している内部空間に対して上方および下方に、当該内部空間と外部とを接続しかつ塗布針を挿通可能な２つの孔が形成されている。 As a method of performing fine coating using a coating needle, there is a method of performing fine coating using a coating unit as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-112576 (Patent Document 1). In the coating unit, the liquid material is housed in a liquid material container. The liquid material container is formed with two holes above and below the internal space accommodating the liquid material, which connect the internal space and the outside and allow the coating needle to be inserted.

上記塗布ユニットは、塗布針の針先が液体材料容器内において液体材料に浸漬されている第１状態、すなわち上方の孔のみに塗布針が挿通されている状態と、液体材料容器よりも下方に突出して対象物に液体材料を塗布可能な第２状態、すなわち上方および下方の両孔に塗布針が挿通されている状態とを切替可能に設けられている。上記塗布ユニットは、金属粉を含む高粘度の液体材料も塗布可能である。 The coating unit has a first state in which the tip of the coating needle is immersed in the liquid material in the liquid material container, that is, a state in which the coating needle is inserted only in the upper hole, and below the liquid material container. A second state in which the liquid material can be applied to the object by projecting, that is, a state in which the application needle is inserted into both the upper and lower holes is switchable. The coating unit can also coat a high-viscosity liquid material containing metal powder.

特開２０１５−１１２５７６号公報JP-A-2015-112576

しかしながら、このような高粘度の液体材料を従来の塗布ユニットを用いて複数回連続して塗布を行っていくと、すなわち上記状態の切替の回数を連続的に重ねていくと、液体材料容器の外周面（下面）において上記下方の孔の周囲に位置する環状領域上、および上記下方の孔の下方に、液体材料の溜りが発生する。 However, when such a high-viscosity liquid material is continuously applied a plurality of times using a conventional coating unit, that is, when the number of times of switching the above states is continuously repeated, the liquid material container becomes On the outer peripheral surface (lower surface), a pool of liquid material is generated on the annular region located around the lower hole and below the lower hole.

例えば、塗布針に付着していた液体材料の一部が上記環状領域に付着し、上記環状領域上および環状領域に囲まれている上記下方の孔の下方に、液体材料が濡れ広がる。また、液体材料容器に貯留されている液体材料の一部が上記下方の孔の内周面を伝って液体材料容器の上記環状領域に流出し、濡れ広がる。その結果、上記液体材料の溜りが発生する。 For example, a part of the liquid material attached to the coating needle adheres to the annular region, and the liquid material wets and spreads on the annular region and below the lower hole surrounded by the annular region. Further, a part of the liquid material stored in the liquid material container flows out to the annular region of the liquid material container along the inner peripheral surface of the lower hole, and spreads wet. As a result, a pool of the liquid material is generated.

上記塗布ユニットにおいて、このような液体材料の溜りは塗布針への液体材料の供給源となり得る。塗布針は、例えば第１状態から第２状態に切り替えられる際に、このような液体材料の溜りに浸される。そのため、第２状態における塗布針に付着している液体材料の量は、上記液体材料の溜りの量に応じて変化する。その結果、対象物に塗布される液体材料の量が、複数回連続して塗布される際に、塗布回数に応じて変化するという問題があった。 In the coating unit, such a pool of liquid material can serve as a source of liquid material for the coating needle. The coating needle is immersed in such a pool of liquid material, for example, when switching from the first state to the second state. Therefore, the amount of the liquid material adhering to the coating needle in the second state changes according to the amount of the pool of the liquid material. As a result, there is a problem that the amount of the liquid material to be applied to the object changes according to the number of times of application when it is applied continuously a plurality of times.

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、高粘度の液体材料を複数回連続して塗布する際の塗布量の変化が従来の液体塗布ユニットおよび液体塗布装置と比べて抑制されている液体塗布ユニットおよび液体塗布装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems. A main object of the present invention is a liquid coating unit and a liquid coating apparatus in which a change in the coating amount when a high-viscosity liquid material is continuously applied a plurality of times is suppressed as compared with a conventional liquid coating unit and a liquid coating apparatus. Is to provide.

本発明に係る液体塗布ユニットは、塗布針を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、塗布針と、液体材料を貯留する液体材料容器と、液体材料容器に対し、塗布針を昇降させる駆動部とを備える。液体材料容器には、液体材料を貯留するための空間と、空間に塗布針を挿通させるための第１孔および第２孔が形成されている。第１孔は、空間よりも重力方向の下方に形成されている。第２孔は、空間を挟んで第１孔と反対側に形成されている。液体材料容器は、少なくとも第１孔の内周面上から液体材料容器の外周面のうち第１第１孔を囲む一部領域上まで、延びるように形成されている撥水層を含む。 The liquid coating unit according to the present invention is a liquid coating unit for coating a liquid material on the surface of an object using a coating needle, and is a coating needle, a liquid material container for storing the liquid material, and a liquid material container. On the other hand, a drive unit for raising and lowering the coating needle is provided. The liquid material container is formed with a space for storing the liquid material and first and second holes for inserting the coating needle into the space. The first hole is formed below the space in the direction of gravity. The second hole is formed on the opposite side of the first hole with a space in between. The liquid material container includes a water-repellent layer formed so as to extend from at least the inner peripheral surface of the first hole to a part of the outer peripheral surface of the liquid material container surrounding the first first hole.

本発明によれば、高粘度の液体材料を複数回連続して塗布する際の塗布量の変化が従来の液体塗布ユニットおよび液体塗布装置と比べて抑制されている液体塗布ユニットおよび液体塗布装置を提供することができる。 According to the present invention, a liquid coating unit and a liquid coating device in which a change in the coating amount when a high-viscosity liquid material is continuously applied a plurality of times is suppressed as compared with a conventional liquid coating unit and a liquid coating device. Can be provided.

実施の形態に係る液体塗布ユニットを示す側面図である。It is a side view which shows the liquid coating unit which concerns on embodiment. 実施の形態に係る液体塗布ユニットを示す正面図である。It is a front view which shows the liquid coating unit which concerns on embodiment. 実施の形態に係る液体塗布ユニットの液体材料容器を示す部分断面図である。It is a partial sectional view which shows the liquid material container of the liquid coating unit which concerns on embodiment. 図３中の領域ＩＶの部分拡大図である。It is a partially enlarged view of the region IV in FIG. 本実施の形態に係る液体塗布ユニットの液体材料容器を下方から見たときの平面図である。It is a top view when the liquid material container of the liquid coating unit which concerns on this Embodiment is seen from the bottom. 本実施の形態に係る液体塗布ユニットの液体材料容器を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the liquid material container of the liquid coating unit which concerns on this embodiment. 本実施の形態に係る液体塗布装置の全体構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the whole structure of the liquid coating apparatus which concerns on this embodiment. 本実施の形態に係る液体塗布ユニットの液体材料容器の変形例を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the modification of the liquid material container of the liquid coating unit which concerns on this embodiment. 本実施の形態に係る液体塗布ユニットの液体材料容器の他の変形例を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the other modification of the liquid material container of the liquid coating unit which concerns on this embodiment.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
［液体塗布ユニットの構成］
図１〜図６を参照して、本実施の形態に係る液体塗布ユニット１００は、塗布針１を用いて対象物としての基板１４０（図３参照）の表面に液体材料を塗布するためのものである。液体塗布ユニット１００は、塗布針１と、サーボモータ２と、ベース部３と、液体材料容器５と、容器保持部４とを主に備える。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings below, the same or corresponding parts are given the same reference number, and the explanation is not repeated.
[Construction of liquid coating unit]
With reference to FIGS. 1 to 6, the liquid coating unit 100 according to the present embodiment is for applying a liquid material to the surface of the substrate 140 (see FIG. 3) as an object by using the coating needle 1. Is. The liquid coating unit 100 mainly includes a coating needle 1, a servomotor 2, a base portion 3, a liquid material container 5, and a container holding portion 4.

塗布針１は、一端と他端（図３および図６に示される針先１Ｅ）とを有している。塗布針１の針先１Ｅは、任意の形状を有していればよいが、例えば円錐形状を有している。塗布針１の一端を有する部分（図３および図６に示される部分１Ｂ）の外径は、塗布針１の他端を有する部分（図３および図６に示される部分１Ａ）の外径よりも大きい。塗布針１の一端は、後述する従動部材７（塗布針ホルダ１１、塗布針ホルダ収容部１２、塗布針ホルダ固定部１３、カム連結部１５、および軸受１６）に接続されている。 The coating needle 1 has one end and the other end (needle tip 1E shown in FIGS. 3 and 6). The needle tip 1E of the coating needle 1 may have an arbitrary shape, but has, for example, a conical shape. The outer diameter of the portion having one end of the coating needle 1 (part 1B shown in FIGS. 3 and 6) is larger than the outer diameter of the portion having the other end of the coating needle 1 (part 1A shown in FIGS. 3 and 6). Is also big. One end of the coating needle 1 is connected to a driven member 7 (coating needle holder 11, coating needle holder accommodating portion 12, coating needle holder fixing portion 13, cam connecting portion 15, and bearing 16) described later.

塗布針１は、サーボモータ２によって、従動部材７とともに、重力方向に沿って移動可能に設けられている。液体塗布ユニット１００は、サーボモータ２が駆動されることにより、塗布針１の針先１Ｅが後述する液体材料容器５内に収容されている第１状態と、塗布針１の針先１Ｅが基板１４０の表面に接触可能な第２状態とを変更可能である。重力方向は、例えば塗布針１の軸方向に沿った方向であり、例えば重力方向（図１中のＺ軸方向）である。図１および図２は、上記第１状態にある液体塗布ユニット１００を示している。 The coating needle 1 is provided by the servomotor 2 so as to be movable along the gravity direction together with the driven member 7. In the liquid coating unit 100, the needle tip 1E of the coating needle 1 is housed in the liquid material container 5, which will be described later, by driving the servomotor 2, and the needle tip 1E of the coating needle 1 is a substrate. It is possible to change the second state in which the surface of 140 can be contacted. The direction of gravity is, for example, a direction along the axial direction of the coating needle 1, for example, the direction of gravity (Z-axis direction in FIG. 1). 1 and 2 show the liquid coating unit 100 in the first state.

具体的には、液体塗布ユニット１００は、カム部材６および従動部材７により、サーボモータ２の回転運動を塗布針１の重力方向における運動（上下運動）に変換可能に設けられている。サーボモータ２は、重力方向に延びる軸を中心として回転可能に設けられている回転部２１を有している。回転部２１にはカム部材６が接続されている。カム部材６は、サーボモータ２の回転軸を中心として回転可能になっている。カム部材６の上部表面（サーボモータ２側の表面）はカム面６Ａとなっている。カム面６Ａは、従動部材７の軸受１６の外輪の外周面と接触している。 Specifically, the liquid coating unit 100 is provided by the cam member 6 and the driven member 7 so that the rotational motion of the servomotor 2 can be converted into the motion (vertical motion) of the coating needle 1 in the direction of gravity. The servomotor 2 has a rotating portion 21 that is rotatably provided about an axis extending in the direction of gravity. A cam member 6 is connected to the rotating portion 21. The cam member 6 is rotatable about the rotation axis of the servomotor 2. The upper surface of the cam member 6 (the surface on the servomotor 2 side) is the cam surface 6A. The cam surface 6A is in contact with the outer peripheral surface of the outer ring of the bearing 16 of the driven member 7.

ベース部３は、塗布針１、従動部材７、サーボモータ２、および容器保持部４を保持している。ベース部３は、従動部材の重力方向への移動を案内し、重力方向以外の方向への移動を制限する案内部３３を含む。容器保持部４は、ベース部３において最も下方に位置する部分と接続されている。 The base portion 3 holds the coating needle 1, the driven member 7, the servomotor 2, and the container holding portion 4. The base portion 3 includes a guide portion 33 that guides the movement of the driven member in the direction of gravity and restricts the movement in a direction other than the direction of gravity. The container holding portion 4 is connected to the lowermost portion of the base portion 3.

容器保持部４は、液体材料容器５を保持している。容器保持部４は、例えば磁石を含み、当該磁石により生じる磁力によって液体材料容器５を保持している。 The container holding unit 4 holds the liquid material container 5. The container holding portion 4 includes, for example, a magnet, and holds the liquid material container 5 by the magnetic force generated by the magnet.

液体材料容器５の内部には、液体材料Ｌ（図３参照）を貯留するための空間５０が形成されている。図３および図６に示されるように、液体材料容器５の底部には、当該空間５０の下方端部と外部とを接続している第１孔５１が形成されている。液体材料容器５の上部には、当該空間５０の上方端部と外部とを接続している第２孔５２が形成されている。第１孔５１および第２孔５２の形状は、任意の形状であればよいが、例えば円形状である。第１孔５１および第２孔５２は、重力方向において重なるように設けられている。第１孔５１の孔軸と第２孔５２の孔軸とは、例えば重力方向において重なるように設けられている。第１孔５１の内周面は、例えば重力方向に沿って延びるように形成されている。なお、空間５０は、例えば第１孔５１と第２孔５２とに接続されている第３孔５３の内部に形成されている。図３は、上記第１状態にある液体塗布ユニット１００の塗布針１および液体材料容器５を示している。図６は、上記第２状態にある液体塗布ユニット１００の塗布針１および液体材料容器５を示している。 A space 50 for storing the liquid material L (see FIG. 3) is formed inside the liquid material container 5. As shown in FIGS. 3 and 6, a first hole 51 connecting the lower end of the space 50 and the outside is formed at the bottom of the liquid material container 5. A second hole 52 connecting the upper end of the space 50 and the outside is formed in the upper part of the liquid material container 5. The shape of the first hole 51 and the second hole 52 may be any shape, but is, for example, a circular shape. The first hole 51 and the second hole 52 are provided so as to overlap each other in the direction of gravity. The hole shaft of the first hole 51 and the hole shaft of the second hole 52 are provided so as to overlap each other in the direction of gravity, for example. The inner peripheral surface of the first hole 51 is formed so as to extend along the direction of gravity, for example. The space 50 is formed inside, for example, a third hole 53 connected to the first hole 51 and the second hole 52. FIG. 3 shows the coating needle 1 and the liquid material container 5 of the liquid coating unit 100 in the first state. FIG. 6 shows the coating needle 1 and the liquid material container 5 of the liquid coating unit 100 in the second state.

図３および図４に示されるように、液体材料容器５は、その外周面上において第１孔５１の周囲を囲むように形成されている壁部５４と、壁部５４よりも下方に突出している凸部５５とを含む。液体材料容器５を重力方向の下方から平面視したときに、壁部５４および凸部５５の各々は、例えば第１孔５１の孔軸を中心として環状に設けられている。なお、図４において、液体材料Ｌは図示されていない。 As shown in FIGS. 3 and 4, the liquid material container 5 has a wall portion 54 formed so as to surround the circumference of the first hole 51 on the outer peripheral surface thereof, and the liquid material container 5 projects downward from the wall portion 54. Includes the convex portion 55 and the like. When the liquid material container 5 is viewed in a plan view from below in the direction of gravity, each of the wall portion 54 and the convex portion 55 is provided in an annular shape around the hole axis of the first hole 51, for example. In FIG. 4, the liquid material L is not shown.

図３および図４に示されるように、上記平面視における壁部５４の内周端部は第１孔５１の下端と接続されている。上記平面視における壁部５４の外周端部は凸部５５の上端（根元部）と接続されている。壁部５４は、対象物としての基板１４０の表面と対向する下面として、第１面５４Ａおよび第２面５４Ｂを有している。第１面５４Ａは、例えば重力方向および水平方向に対して交差する方向に延びるように形成されている。第２面５４Ｂは、例えば水平方向に沿って延びるように形成されている。壁部５４において第１孔５１の下端と接続されている内周部分は、例えば第１面５４Ａを有している。壁部５４において凸部５５と接続されている外周部分は、例えば第２面５４Ｂを有している。第１孔５１の孔軸に対し壁部５４の第１面５４Ａが成す角度のうち小さい方の角度は、例えば０度超え９０度未満であり、例えば３０度以上６０度以下である。第１孔５１の孔軸を中心軸とする径方向における第１面５４Ａの幅は、例えば０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、例えば０．２ｍｍ程度である。当該径方向における第２面５４Ｂの幅は、例えば０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、例えば０．２ｍｍ程度である。 As shown in FIGS. 3 and 4, the inner peripheral end portion of the wall portion 54 in the plan view is connected to the lower end portion of the first hole 51. The outer peripheral end of the wall portion 54 in the above plan view is connected to the upper end (root portion) of the convex portion 55. The wall portion 54 has a first surface 54A and a second surface 54B as lower surfaces facing the surface of the substrate 140 as an object. The first surface 54A is formed so as to extend in a direction intersecting the gravity direction and the horizontal direction, for example. The second surface 54B is formed so as to extend along the horizontal direction, for example. The inner peripheral portion of the wall portion 54 connected to the lower end of the first hole 51 has, for example, a first surface 54A. The outer peripheral portion of the wall portion 54 connected to the convex portion 55 has, for example, a second surface 54B. The smaller angle of the angle formed by the first surface 54A of the wall portion 54 with respect to the hole axis of the first hole 51 is, for example, more than 0 degrees and less than 90 degrees, for example, 30 degrees or more and 60 degrees or less. The width of the first surface 54A in the radial direction about the hole axis of the first hole 51 is, for example, 0.05 mm or more and 1 mm or less, for example, about 0.2 mm. The width of the second surface 54B in the radial direction is, for example, 0.05 mm or more and 1 mm or less, for example, about 0.2 mm.

図３および図４に示されるように、上記平面視における凸部５５の内周端部は壁部５４の上記外周端部と接続されている。凸部５５は、壁部５４の周囲を囲むように形成されている。凸部５５は、例えば水平方向に沿って延びる頂面５５Ｔと、重力方向に沿って延びる側面５５Ｓとを有している。頂面５５Ｔの内周端部は、側面５５Ｓの下端と接続されている。頂面５５Ｔは、例えば液体材料容器５の外周面において最も下方に位置する面である。側面５５Ｓは、例えば頂面５５Ｔと接続されている他の側面と比べて、第１孔５１の孔軸に近い。側面５５Ｓの上端は、壁部５４の上記第２面の外周端部と接続されている。つまり、壁部５４の第１面５４Ａ、第２面５４Ｂ、凸部５５の側面５５Ｓおよび頂面５５Ｔは、第１孔５１の孔軸を中心軸とする径方向において、順に接続されている。壁部５４の第１面５４Ａ、第２面５４Ｂ、凸部５５の側面５５Ｓおよび頂面５５Ｔの各々は、曲面であってもよいが、例えば平面である。壁部５４の第２面５４Ｂに対する凸部５５の高さは、例えば０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、例えば０．１ｍｍ程度である。第１孔５１の孔軸を中心軸とする径方向における凸部５５の幅は、例えば０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、例えば０．１ｍｍ程度である。 As shown in FIGS. 3 and 4, the inner peripheral end portion of the convex portion 55 in the plan view is connected to the outer peripheral end portion of the wall portion 54. The convex portion 55 is formed so as to surround the periphery of the wall portion 54. The convex portion 55 has, for example, a top surface 55T extending in the horizontal direction and a side surface 55S extending in the direction of gravity. The inner peripheral end of the top surface 55T is connected to the lower end of the side surface 55S. The top surface 55T is, for example, the lowermost surface on the outer peripheral surface of the liquid material container 5. The side surface 55S is closer to the hole axis of the first hole 51 than, for example, another side surface connected to the top surface 55T. The upper end of the side surface 55S is connected to the outer peripheral end of the second surface of the wall portion 54. That is, the first surface 54A, the second surface 54B, the side surface 55S and the top surface 55T of the convex portion 55 of the wall portion 54 are sequentially connected in the radial direction with the hole axis of the first hole 51 as the central axis. Each of the first surface 54A, the second surface 54B, the side surface 55S and the top surface 55T of the convex portion 55 of the wall portion 54 may be a curved surface, but is, for example, a flat surface. The height of the convex portion 55 with respect to the second surface 54B of the wall portion 54 is, for example, 0.05 mm or more and 1 mm or less, for example, about 0.1 mm. The width of the convex portion 55 in the radial direction about the hole axis of the first hole 51 is, for example, 0.05 mm or more and 1 mm or less, for example, about 0.1 mm.

液体材料容器５は、第１孔５１の内周面上から液体材料容器５の外周面のうち第１孔５１を囲む一部領域上まで、延びるように形成されている撥水層９を含む。当該一部領域は、壁部５４の上記第１面５４Ａおよび第２面５４Ｂ、ならびに凸部５５の上記側面５５Ｓおよび上記頂面５５Ｔを含む。つまり、撥水層９は、第１孔５１の内周面、壁部５４の第１面５４Ａ、第２面５４Ｂ，上記凸部５５の側面５５Ｓおよび頂面５５Ｔ上を覆うように形成されている。撥水層９は、液体材料容器５と比べて高い撥水性を有している。撥水層９を構成する材料は、液体材料容器５を構成する材料よりも撥水性を有する任意の材料であればよいが、例えばフッ素系樹脂である。撥水層９は、水に対する接触角が０°よりも大きい。好ましくは、撥水層９は、水に対する接触角が４５°以上である。 The liquid material container 5 includes a water-repellent layer 9 formed so as to extend from the inner peripheral surface of the first hole 51 to a part of the outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounding the first hole 51. .. The partial region includes the first surface 54A and the second surface 54B of the wall portion 54, and the side surface 55S and the top surface 55T of the convex portion 55. That is, the water-repellent layer 9 is formed so as to cover the inner peripheral surface of the first hole 51, the first surface 54A and the second surface 54B of the wall portion 54, the side surface 55S of the convex portion 55, and the top surface 55T. There is. The water-repellent layer 9 has higher water repellency than the liquid material container 5. The material constituting the water-repellent layer 9 may be any material having more water repellency than the material constituting the liquid material container 5, and is, for example, a fluororesin. The water-repellent layer 9 has a contact angle with water larger than 0 °. Preferably, the water repellent layer 9 has a contact angle with water of 45 ° or more.

撥水層９は、任意の方法により成膜され得るが、例えばフッ素系樹脂コーティング材が液体材料容器５の外周面および内周面上に部分的に成膜されることにより、形成されている。例えば、まず、液体材料容器５の外周面および内周面上には、撥水層９が形成されるべき領域のみを開口し、他の領域を覆うマスク膜が形成される。次に、液体材料容器５の外周面および内周面の全面上にフッ素系樹脂コーティング材が成膜される。次に、マスク膜が液体材料容器５の外周面および内周面上から剥離、除去されることにより、当該マスク膜上に成膜されたコーティング層が除去される。このようにして、撥水層９が形成される。なお、撥水層９の成膜は、例えばプラズマ処理法により行われてもよい。この場合、プロセスガスとして、例えばフッ素系ガスが用いられる。 The water-repellent layer 9 can be formed by any method, but is formed, for example, by partially forming a fluororesin coating material on the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the liquid material container 5. .. For example, first, on the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the liquid material container 5, only the region where the water-repellent layer 9 should be formed is opened, and a mask film covering the other regions is formed. Next, a fluorine-based resin coating material is formed on the entire outer peripheral surface and inner peripheral surface of the liquid material container 5. Next, the mask film is peeled off and removed from the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the liquid material container 5, so that the coating film formed on the mask film is removed. In this way, the water repellent layer 9 is formed. The water-repellent layer 9 may be formed by, for example, a plasma treatment method. In this case, for example, a fluorine-based gas is used as the process gas.

液体材料容器５は、例えば液体塗布ユニット１００が第１状態にあるときに、液体材料容器５に貯留されている液体材料Ｌの下面が壁部５４の第１面５４Ａ上に形成されている撥水層９と接するように設けられている。 In the liquid material container 5, for example, when the liquid coating unit 100 is in the first state, the lower surface of the liquid material L stored in the liquid material container 5 is formed on the first surface 54A of the wall portion 54. It is provided so as to be in contact with the water layer 9.

第１孔５１の孔径は、塗布針１の部分１Ａの外径以上部分１Ｂの外径未満である。第２孔５２の孔径は、例えば塗布針１の部分１Ｂの外径超えである。これにより、塗布針１の部分１Ａは第１孔５１に挿通され得る。塗布針１の部分１Ｂは、第２孔５２に挿通され得るが、第１孔５１に挿通され得ない。 The hole diameter of the first hole 51 is equal to or larger than the outer diameter of the portion 1A of the coating needle 1 and less than the outer diameter of the portion 1B. The hole diameter of the second hole 52 exceeds, for example, the outer diameter of the portion 1B of the coating needle 1. As a result, the portion 1A of the coating needle 1 can be inserted into the first hole 51. The portion 1B of the coating needle 1 can be inserted through the second hole 52, but cannot be inserted through the first hole 51.

従動部材７は、塗布針ホルダ１１、塗布針ホルダ収容部１２、塗布針ホルダ固定部１３、カム連結部１５、および軸受１６を含む。従動部材７は、案内部３３により、重力方向以外の方向への移動、例えば上記交差する方向への移動、が制限されている。従動部材は、後述する容器保持部４よりも重力方向の上方において、案内部３３により、重力方向以外の方向への移動、例えば上記交差する方向への移動、が制限されている。 The driven member 7 includes a coating needle holder 11, a coating needle holder accommodating portion 12, a coating needle holder fixing portion 13, a cam connecting portion 15, and a bearing 16. The guide unit 33 restricts the driven member 7 from moving in a direction other than the direction of gravity, for example, moving in the intersecting direction. The driven member is restricted from moving in a direction other than the gravity direction, for example, moving in the intersecting direction by the guide portion 33 above the container holding portion 4 described later in the gravity direction.

塗布針ホルダ１１は、上述のように、塗布針１を保持している。塗布針ホルダ１１は、塗布針ホルダ収容部１２に着脱可能に収容されている。塗布針ホルダ収容部１２は、塗布針ホルダ固定部１３に固定されている。カム連結部１５は、塗布針ホルダ固定部１３および軸受１６の内輪（図示しない）と固定されている。軸受１６の内輪は、例えば、カム連結部１５において塗布針ホルダ固定部１３と接続されている部分よりも重力方向の上方に位置する部分に固定されている。軸受１６の外輪は、カム部材６（詳細は後述する）と摺動可能に接続されている。軸受１６の外輪の外周面は、カム面６Ａと接触して摺動可能な摺動面である。 The coating needle holder 11 holds the coating needle 1 as described above. The coating needle holder 11 is detachably housed in the coating needle holder accommodating portion 12. The coating needle holder accommodating portion 12 is fixed to the coating needle holder fixing portion 13. The cam connecting portion 15 is fixed to the coating needle holder fixing portion 13 and the inner ring (not shown) of the bearing 16. The inner ring of the bearing 16 is fixed to, for example, a portion of the cam connecting portion 15 located above the portion connected to the coating needle holder fixing portion 13 in the direction of gravity. The outer ring of the bearing 16 is slidably connected to the cam member 6 (details will be described later). The outer peripheral surface of the outer ring of the bearing 16 is a sliding surface that can slide in contact with the cam surface 6A.

カム面６Ａは、中心部の外周に沿って円環状に形成されているとともに、カム部材６の下部表面（塗布針１側の表面）からの距離が変動するようにスロープ状に形成されている。例えば、カム面６Ａは、カム部材６の下部表面からの距離が最も大きくなっている上端フラット領域と、この上端フラット領域から間隔を隔てて配置され、カム部材６の下部表面からの距離が最も小さい下端フラット領域と、上端フラット領域と下端フラット領域との間を接続するスロープ部とを含む。上端フラット領域は、図１および図２中、軸受１６の外周面と接触している領域である。 The cam surface 6A is formed in an annular shape along the outer circumference of the central portion, and is formed in a slope shape so that the distance from the lower surface (the surface on the coating needle 1 side) of the cam member 6 varies. .. For example, the cam surface 6A is arranged at a distance from the upper end flat region where the distance from the lower surface of the cam member 6 is the largest and the upper end flat region, and the distance from the lower surface of the cam member 6 is the largest. Includes a small lower end flat area and a slope connecting the upper end flat area and the lower end flat area. The upper end flat region is a region in FIG. 1 and FIG. 2 that is in contact with the outer peripheral surface of the bearing 16.

張力付与部８は、第１部８１、第２部８２、および弾性部８３を含む。弾性部８３は、一端および他端を有している。弾性部８３の一端は第１部８１に固定されており、弾性部８３の他端は第２部８２に固定されている。第１部８１はベース部３に固定されている。第２部８２は第１部８１よりも上方において塗布針ホルダ固定部１３に固定されている。 The tension applying portion 8 includes a first portion 81, a second portion 82, and an elastic portion 83. The elastic portion 83 has one end and the other end. One end of the elastic portion 83 is fixed to the first portion 81, and the other end of the elastic portion 83 is fixed to the second portion 82. The first part 81 is fixed to the base part 3. The second part 82 is fixed to the coating needle holder fixing part 13 above the first part 81.

弾性部８３は、一端と他端との間で、弾性変形可能に設けられている。弾性部８３は、例えばバネ部材である。弾性部８３は、上記第１状態および上記第２状態にあるときに、重力方向の下方に向かう力を従動部材に対して付与可能に設けられている。弾性部８３による当該力は、第２部８２、塗布針ホルダ固定部１３、およびカム連結部１５を介して軸受１６に作用する。張力付与部８は、第１状態および第２状態のいずれの場合においても、軸受１６をカム部材６のカム面６Ａに押圧した状態を維持可能に設けられている。第１部８１と第２部８２との間の重力方向における距離は、調整部８４により変更可能に設けられている。調整部８４は、弾性部８３により軸受１６に付与される力の大きさを変更可能に設けられている。 The elastic portion 83 is provided so as to be elastically deformable between one end and the other end. The elastic portion 83 is, for example, a spring member. The elastic portion 83 is provided so as to be able to apply a downward force in the direction of gravity to the driven member when it is in the first state and the second state. The force generated by the elastic portion 83 acts on the bearing 16 via the second portion 82, the coating needle holder fixing portion 13, and the cam connecting portion 15. The tension applying portion 8 is provided so as to be able to maintain a state in which the bearing 16 is pressed against the cam surface 6A of the cam member 6 in both the first state and the second state. The distance between the first part 81 and the second part 82 in the direction of gravity is mutably provided by the adjusting part 84. The adjusting portion 84 is provided so that the magnitude of the force applied to the bearing 16 by the elastic portion 83 can be changed.

［液体塗布装置の構成］
本実施の形態に係る液体塗布装置２００は、上述した液体塗布ユニット１００を備える。液体塗布装置２００は、液体塗布ユニット１００と、観察光学系１１０と、観察光学系１１０に接続されたＣＣＤカメラ１１１と、Ｚ軸テーブル１２０と、Ｘ軸テーブル１２１と、Ｙ軸テーブル１２２と、基台１２３と、制御部１３０とを含む。 [Configuration of liquid coating device]
The liquid coating device 200 according to the present embodiment includes the liquid coating unit 100 described above. The liquid coating device 200 includes a liquid coating unit 100, an observation optical system 110, a CCD camera 111 connected to the observation optical system 110, a Z-axis table 120, an X-axis table 121, and a Y-axis table 122. The table 123 and the control unit 130 are included.

観察光学系１１０は、塗布対象の基板１４０の塗布位置を観察するために設けられる。観察光学系１１０のＣＣＤカメラ１１１は、観察した画像を電気信号に変換する。液体塗布ユニット１００および観察光学系１１０は、Ｚ軸テーブル１２０の移動体に搭載されている。これにより、液体塗布ユニット１００および観察光学系１１０は、Ｚ軸テーブル１２０によって図７中のＺ軸方向に移動可能に支持されている。Ｚ軸テーブル１２０は、Ｘ軸テーブル１２１の移動体に搭載されている。これにより、Ｚ軸テーブル１２０は、Ｘ軸テーブル１２１によって図７中のＸ軸方向に移動可能に支持されている。塗布対象の基板１４０は、Ｙ軸テーブル１２２の移動体に載置されている。これにより、塗布対象の基板１４０は、Ｙ軸テーブル１２２によって図７中のＹ軸方向に移動可能に支持されている。Ｙ軸テーブル１２２は、基台１２３の上面に設置されている。Ｙ軸テーブル１２２は、対象物としての基板１４０を搭載可能に設けられている。Ｙ軸テーブル１２２は、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。なお、図７中のＺ軸方向は重力方向に沿う方向である。 The observation optical system 110 is provided for observing the coating position of the substrate 140 to be coated. The CCD camera 111 of the observation optical system 110 converts the observed image into an electric signal. The liquid coating unit 100 and the observation optical system 110 are mounted on a moving body of the Z-axis table 120. As a result, the liquid coating unit 100 and the observation optical system 110 are movably supported by the Z-axis table 120 in the Z-axis direction in FIG. The Z-axis table 120 is mounted on the moving body of the X-axis table 121. As a result, the Z-axis table 120 is movably supported by the X-axis table 121 in the X-axis direction in FIG. The substrate 140 to be coated is placed on the moving body of the Y-axis table 122. As a result, the substrate 140 to be coated is supported by the Y-axis table 122 so as to be movable in the Y-axis direction in FIG. The Y-axis table 122 is installed on the upper surface of the base 123. The Y-axis table 122 is provided so that the substrate 140 as an object can be mounted. The Y-axis table 122 is provided so as to be movable in the Y-axis direction. The Z-axis direction in FIG. 7 is a direction along the direction of gravity.

制御部１３０は、操作パネル１３１、モニタ１３２、および制御用コンピュータ１３３を備える。制御部１３０は、液体塗布ユニット１００、観察光学系１１０、Ｚ軸テーブル１２０、Ｘ軸テーブル１２１、およびＹ軸テーブル１２２を制御する。操作パネル１３１は、制御用コンピュータ１３３への指令を入力するために用いられる。モニタ１３２は、観察光学系１１０のＣＣＤカメラ１１１で変換された画像データおよび、制御用コンピュータ１３３からの出力データを表示する。 The control unit 130 includes an operation panel 131, a monitor 132, and a control computer 133. The control unit 130 controls the liquid coating unit 100, the observation optical system 110, the Z-axis table 120, the X-axis table 121, and the Y-axis table 122. The operation panel 131 is used to input a command to the control computer 133. The monitor 132 displays the image data converted by the CCD camera 111 of the observation optical system 110 and the output data from the control computer 133.

［液体塗布方法］
次に、液体塗布装置２００を用いた液体塗布方法について説明する。液体塗布方法では、まず塗布対象物である基板１４０の塗布位置のうちの第１塗布位置が観察光学系１１０の直下に位置するように、Ｘ軸テーブル１２１、Ｙ軸テーブル１２２およびＺ軸テーブル１２０が移動される。基板１４０の塗布位置は、観察光学系１１０により観察され、決定される。このようにして決定された塗布位置が液体塗布ユニット１００の直下に来るように、Ｘ軸テーブル１２１、Ｙ軸テーブル１２２およびＺ軸テーブル１２０によって基板１４０が移動される。このときの液体塗布ユニット１００は上記第１状態にある。そして、決定された塗布位置において液体塗布ユニット１００が上記第２状態とされることにより、基板１４０の当該塗布位置に液体材料が塗布される。その後、液体塗布ユニット１００は再び第１状態とされる。さらに、次の塗布位置が液体塗布ユニット１００の直下に来るように、Ｘ軸テーブル１２１、Ｙ軸テーブル１２２およびＺ軸テーブル１２０によって基板１４０が移動される。移動が完了した後、液体塗布ユニット１００が上記第２状態とされることにより、基板１４０の当該塗布位置に液体材料が塗布される。これらの各工程は、連続して繰り返し実施され得る。その結果、本実施の形態に係る液体塗布方法により、基板１４０の上面上には所定の回路パターンが短時間に形成され得る。 [Liquid application method]
Next, a liquid coating method using the liquid coating device 200 will be described. In the liquid coating method, the X-axis table 121, the Y-axis table 122, and the Z-axis table 120 are arranged so that the first coating position of the coating positions of the substrate 140, which is the object to be coated, is located directly below the observation optical system 110. Is moved. The coating position of the substrate 140 is observed and determined by the observation optical system 110. The substrate 140 is moved by the X-axis table 121, the Y-axis table 122, and the Z-axis table 120 so that the coating position determined in this way is directly below the liquid coating unit 100. The liquid coating unit 100 at this time is in the first state. Then, when the liquid coating unit 100 is placed in the second state at the determined coating position, the liquid material is coated on the coating position of the substrate 140. After that, the liquid coating unit 100 is put into the first state again. Further, the substrate 140 is moved by the X-axis table 121, the Y-axis table 122, and the Z-axis table 120 so that the next coating position is directly below the liquid coating unit 100. After the movement is completed, the liquid coating unit 100 is brought into the second state, so that the liquid material is coated on the coating position of the substrate 140. Each of these steps can be performed continuously and repeatedly. As a result, a predetermined circuit pattern can be formed on the upper surface of the substrate 140 in a short time by the liquid coating method according to the present embodiment.

［作用効果］
本実施の形態に係る液体塗布ユニット１００は、塗布針１を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットである。液体塗布ユニット１００は塗布針１と、液体材料Ｌを貯留する液体材料容器５と、液体材料容器５に対し塗布針１を昇降させる駆動部２とを備える。液体材料容器５には、液体材料Ｌを貯留するための空間５０と、空間５０に塗布針１を挿通させるための第１孔５１および第２孔５２が形成されている。第１孔５１は、空間５０よりも重力方向の下方に形成されている。第２孔５２は、空間５０を挟んで第１孔５１と反対側に形成されている。液体材料容器５は、第１孔５１の内周面上から液体材料容器５の外周面のうち第１孔５１を囲む一部領域上まで、延びるように形成されている撥水層９を含む。 [Action effect]
The liquid coating unit 100 according to the present embodiment is a liquid coating unit for coating a liquid material on the surface of an object by using the coating needle 1. The liquid coating unit 100 includes a coating needle 1, a liquid material container 5 for storing the liquid material L, and a driving unit 2 for raising and lowering the coating needle 1 with respect to the liquid material container 5. The liquid material container 5 is formed with a space 50 for storing the liquid material L, and a first hole 51 and a second hole 52 for inserting the coating needle 1 into the space 50. The first hole 51 is formed below the space 50 in the direction of gravity. The second hole 52 is formed on the side opposite to the first hole 51 with the space 50 interposed therebetween. The liquid material container 5 includes a water-repellent layer 9 formed so as to extend from the inner peripheral surface of the first hole 51 to a part of the outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounding the first hole 51. ..

液体材料Ｌが液体材料容器５の空間５０から液体材料容器５の外周面上に濡れ広がる際の流通経路、および塗布針１を介して液体材料容器５の外周面上に濡れ広がる際の流通経路は、第１孔５１の内周面から液体材料容器５の外周面のうち第１孔５１を囲む一部領域上までの間に形成される。液体塗布ユニット１００では、撥水層９が第１孔５１の内周面から液体材料容器５の外周面のうち第１孔５１を囲む一部領域上までの間に延びるように形成されているため、従来の液体塗布ユニットと比べて、液体材料Ｌが液体材料容器５の外周面（例えば壁部５４の第１面５４Ａおよび第２面５４Ｂ）上にまで濡れ広がりにくい。そのため、液体塗布ユニット１００では、複数回連続して液体材料Ｌの塗布が行われた後の第１状態および第２状態においても、第２面５４Ｂ上に液体材料Ｌの溜りが形成されておらず、図３に示される第１状態および図６に示される第２状態と略同等の状態が維持され得る。そのため、液体塗布ユニット１００では、従来の液体塗布ユニットと比べて、例えば第１孔５１に隣接している壁部５４の第２面５４Ｂ上に液体材料Ｌの溜りが発生しにくく、液体材料Ｌの溜りが大型化しにくい。その結果、液体塗布ユニット１００は、高粘度の液体材料Ｌを複数回連続して塗布する際の塗布量の変化が従来の液体塗布ユニットと比べて抑制されている。 A flow path when the liquid material L wets and spreads from the space 50 of the liquid material container 5 onto the outer peripheral surface of the liquid material container 5, and a flow path when the liquid material L wets and spreads on the outer peripheral surface of the liquid material container 5 via the coating needle 1. Is formed from the inner peripheral surface of the first hole 51 to a part of the outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounding the first hole 51. In the liquid coating unit 100, the water-repellent layer 9 is formed so as to extend from the inner peripheral surface of the first hole 51 to a part of the outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounding the first hole 51. Therefore, as compared with the conventional liquid coating unit, the liquid material L is less likely to get wet and spread on the outer peripheral surfaces of the liquid material container 5 (for example, the first surface 54A and the second surface 54B of the wall portion 54). Therefore, in the liquid coating unit 100, a pool of the liquid material L is formed on the second surface 54B even in the first state and the second state after the liquid material L is continuously applied a plurality of times. Instead, a state substantially equivalent to the first state shown in FIG. 3 and the second state shown in FIG. 6 can be maintained. Therefore, in the liquid coating unit 100, as compared with the conventional liquid coating unit, for example, the liquid material L is less likely to accumulate on the second surface 54B of the wall portion 54 adjacent to the first hole 51, and the liquid material L is less likely to accumulate. It is difficult for the pool to grow in size. As a result, in the liquid coating unit 100, the change in the coating amount when the highly viscous liquid material L is continuously coated a plurality of times is suppressed as compared with the conventional liquid coating unit.

上記液体塗布ユニット１００において、液体材料容器５は、その外周面上において第１孔５１の周囲を囲むように形成されている壁部５４と、壁部５４の周囲を囲むように形成されておりかつ壁部５４よりも下方に突出している凸部５５とを含む。上記一部領域は、壁部５４において対象物としての基板１４０の表面と対向する第１面５４Ａ、第２面５４Ｂと、凸部５５の頂面５５Ｔと、凸部５５の頂面５５Ｔおよび壁部５４の第１面５４Ａ、第２面５４Ｂとを接続している凸部５５の側面５５Ｓとを有している。言い換えると、撥水層９は、第１孔５１の内周面上から、壁部５４の第１面５４Ａ、第２面５４Ｂ、凸部５５の側面５５Ｓ、および凸部５５の頂面５５Ｔまで、延びるように形成されている。 In the liquid coating unit 100, the liquid material container 5 is formed so as to surround the periphery of the wall portion 54 and the wall portion 54 formed so as to surround the periphery of the first hole 51 on the outer peripheral surface thereof. It also includes a convex portion 55 that protrudes downward from the wall portion 54. The partial region includes the first surface 54A and the second surface 54B facing the surface of the substrate 140 as an object in the wall portion 54, the top surface 55T of the convex portion 55, the top surface 55T of the convex portion 55, and the wall. It has a side surface 55S of a convex portion 55 connecting the first surface 54A and the second surface 54B of the portion 54. In other words, the water-repellent layer 9 extends from the inner peripheral surface of the first hole 51 to the first surface 54A and the second surface 54B of the wall portion 54, the side surface 55S of the convex portion 55, and the top surface 55T of the convex portion 55. , Is formed to extend.

このようにすれば、仮に液体材料Ｌが液体材料容器５の壁部５４の第２面５４Ｂ上にまで濡れ広がった場合にも、液体材料Ｌは凸部５５の側面５５Ｓおよび頂面５５Ｔに濡れ広がり難い。そのため、液体塗布ユニット１００では、従来の液体塗布ユニットと比べて、液体材料Ｌの溜りが第２面５４Ｂ上に発生しにくく、液体材料Ｌの溜りが第１面５４Ａ、第２面５４Ｂ、側面５５Ｓおよび頂面５５Ｔ上に連なるように形成されにくい。その結果、液体塗布ユニット１００は、高粘度の液体材料Ｌを複数回連続して塗布する際の塗布量の変化が従来の液体塗布ユニットと比べて抑制されている。 In this way, even if the liquid material L wets and spreads on the second surface 54B of the wall portion 54 of the liquid material container 5, the liquid material L gets wet with the side surface 55S and the top surface 55T of the convex portion 55. Hard to spread. Therefore, in the liquid coating unit 100, the accumulation of the liquid material L is less likely to occur on the second surface 54B as compared with the conventional liquid coating unit, and the accumulation of the liquid material L is less likely to occur on the first surface 54A, the second surface 54B, and the side surface. It is difficult to form so as to be continuous on 55S and the top surface 55T. As a result, in the liquid coating unit 100, the change in the coating amount when the highly viscous liquid material L is continuously coated a plurality of times is suppressed as compared with the conventional liquid coating unit.

［変形例］
本実施の形態に係る液体塗布ユニット１００は、例えば以下のような構成を有していてもよい。 [Modification example]
The liquid coating unit 100 according to the present embodiment may have the following configuration, for example.

図８に示されるように、液体材料容器５は凸部５５を含んでいなくてもよい。このような液体材料容器５では、図３〜図６に示される液体材料容器５と比べて、壁部５４の第２面５４Ｂが、第１孔５１の孔軸を中心軸とする径方向において広く設けられている。第１孔５１の孔軸を中心軸とする径方向における壁部５４の第２面５４Ｂの幅が、例えば０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下であり、例えば０．２ｍｍ程度である。 As shown in FIG. 8, the liquid material container 5 does not have to include the convex portion 55. In such a liquid material container 5, as compared with the liquid material container 5 shown in FIGS. 3 to 6, the second surface 54B of the wall portion 54 is in the radial direction with the hole axis of the first hole 51 as the central axis. Widely installed. The width of the second surface 54B of the wall portion 54 in the radial direction about the hole axis of the first hole 51 is, for example, 0.1 mm or more and 2 mm or less, for example, about 0.2 mm.

このようにしても、撥水層９は、第１孔５１の内周面上から、壁部５４の第１面５４Ａ、第２面５４Ｂまで、延びるように形成されている。そのため、このような液体塗布ユニット１００の変形例においても、従来の液体塗布ユニットと比べて、第１孔５１に隣接している壁部５４の第２面５４Ｂ上に液体材料Ｌの溜りが発生しにくく、液体材料Ｌの溜りが大型化しにくい。その結果、図８に示される当該変形例は、液体塗布ユニット１００と同様の効果を奏することができる。 Even in this way, the water-repellent layer 9 is formed so as to extend from the inner peripheral surface of the first hole 51 to the first surface 54A and the second surface 54B of the wall portion 54. Therefore, even in such a modified example of the liquid coating unit 100, a pool of the liquid material L is generated on the second surface 54B of the wall portion 54 adjacent to the first hole 51 as compared with the conventional liquid coating unit. It is difficult to make the liquid material L pool large. As a result, the modified example shown in FIG. 8 can exert the same effect as the liquid coating unit 100.

図９に示されるように、撥水層９は、液体材料容器５の全面上に形成されていてもよい。液体材料容器５の全面は、液体材料容器５の外周面と、液体材料容器５の内周面を含む。液体材料容器５の内周面は、第１孔５１および第２孔５２の内周面、ならびに空間５０に面している面を有する。このような液体塗布ユニット１００の変形例においても、撥水層９が第１孔５１に隣接している壁部５４の第２面５４Ｂ上に形成されているため、第２面５４Ｂ上に液体材料Ｌの溜りが発生しにくい。その結果、図９に示される当該変形例は、上述した液体塗布ユニット１００と同様の効果を奏することができる。さらに、当該変形例における撥水層９は、上記液体塗布ユニット１００における撥水層９よりも容易に形成され得る。当該変形例における撥水層９は、液体材料容器５の外周面および内周面上にマスク膜を形成することなく成膜され得る。そのため、当該変形例に係る液体塗布ユニットは、上記液体塗布ユニット１００と比べて、製造コストが低減されている。 As shown in FIG. 9, the water-repellent layer 9 may be formed on the entire surface of the liquid material container 5. The entire surface of the liquid material container 5 includes an outer peripheral surface of the liquid material container 5 and an inner peripheral surface of the liquid material container 5. The inner peripheral surface of the liquid material container 5 has an inner peripheral surface of the first hole 51 and the second hole 52, and a surface facing the space 50. Even in such a modified example of the liquid coating unit 100, since the water-repellent layer 9 is formed on the second surface 54B of the wall portion 54 adjacent to the first hole 51, the liquid is formed on the second surface 54B. Accumulation of material L is unlikely to occur. As a result, the modified example shown in FIG. 9 can exert the same effect as the liquid coating unit 100 described above. Further, the water-repellent layer 9 in the modified example can be formed more easily than the water-repellent layer 9 in the liquid coating unit 100. The water-repellent layer 9 in the modified example can be formed without forming a mask film on the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the liquid material container 5. Therefore, the manufacturing cost of the liquid coating unit according to the modified example is reduced as compared with the liquid coating unit 100.

なお、撥水層９は、例えば液体材料容器５の外周面または内周面を構成する材料が改質されることにより形成されていてもよい。 The water-repellent layer 9 may be formed, for example, by modifying the material constituting the outer peripheral surface or the inner peripheral surface of the liquid material container 5.

また、本実施形態では、液体塗布装置２００を用いて、基板１４０に回路パターンを形成する例を示したが、本発明は、これに限られるものではない。すなわち、本発明に係る液体塗布ユニット１００および当該液体塗布ユニット１００を備える液体塗布装置２００は、たとえば水晶振動子の実装における導電性材料の塗布、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ガスセンサへの触媒材料の塗布、およびＬＥＤ（Light Emitting Diode）への接着剤の塗布などの微量の液体材料を安定して塗布する用途に好適に用いることができる。 Further, in the present embodiment, an example of forming a circuit pattern on the substrate 140 by using the liquid coating apparatus 200 has been shown, but the present invention is not limited to this. That is, the liquid coating unit 100 according to the present invention and the liquid coating device 200 including the liquid coating unit 100 can be used, for example, to coat a conductive material in mounting a crystal oscillator, or to apply a catalyst material to a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) gas sensor. It can be suitably used for applications such as coating and coating of an adhesive to an LED (Light Emitting Diode) in which a small amount of liquid material is stably coated.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

本発明は、高粘度の液体材料が貯留される液体材料容器を備える液体塗布ユニット、および該液体塗布ユニットを備える液体材料塗布装置に特に有利に適用される。 The present invention is particularly advantageously applied to a liquid coating unit including a liquid material container in which a highly viscous liquid material is stored, and a liquid material coating apparatus including the liquid coating unit.

１ 塗布針、１Ａ，１Ｂ 部分、１Ｅ 針先、２ サーボモータ（駆動部）、３ ベース部、４ 容器保持部、５ 液体材料容器、６ カム部材、７ 従動部材、８ 張力付与部、９ 撥水層、１１ 塗布針ホルダ、１２ 塗布針ホルダ収容部、１３ 塗布針ホルダ固定部、１５ カム連結部、１６ 軸受、２１ 回転部、３３ 案内部、３４ 調整部、５０ 空間、５１ 第１孔、５２ 第２孔、５３ 第３孔、５４ 壁部、５４Ａ 第１面、５４Ｂ 第２面、５５ 凸部、５５Ｓ 側面、５５Ｔ 頂面、８１ 第１部、８２ 第２部、８３ 弾性部、１００ 液体塗布ユニット、１１０ 観察光学系、１１１ カメラ、１２０ Ｚ軸テーブル、１２１ Ｘ軸テーブル、１２２ Ｙ軸テーブル、１２３ 基台、１３０ 制御部、１３１ 操作パネル、１３２ モニタ、１３３ 制御用コンピュータ、１４０ 基板、２００ 液体塗布装置。 1 Coating needle, 1A, 1B part, 1E needle tip, 2 Servo motor (driving part), 3 Base part, 4 Container holding part, 5 Liquid material container, 6 Cam member, 7 Driven member, 8 Tension applying part, 9 Repellent Water layer, 11 coating needle holder, 12 coating needle holder housing section, 13 coating needle holder fixing section, 15 cam connecting section, 16 bearings, 21 rotating section, 33 guide section, 34 adjusting section, 50 space, 51 first hole, 52 2nd hole, 53 3rd hole, 54 wall part, 54A 1st surface, 54B 2nd surface, 55 convex part, 55S side surface, 55T top surface, 81 1st part, 82 2nd part, 83 elastic part, 100 Liquid coating unit, 110 observation optical system, 111 camera, 120 Z-axis table, 121 X-axis table, 122 Y-axis table, 123 base, 130 control unit, 131 operation panel, 132 monitor, 133 control computer, 140 board, 200 Liquid coating device.

Claims (4)

塗布針を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、
前記塗布針と、
前記液体材料を貯留する液体材料容器と、
前記液体材料容器に対し、前記塗布針を昇降させ、前記塗布針の針先が前記液体材料容器内に収容されている第１状態と、前記塗布針の針先が前記対象物の表面に接触可能な第２状態とを切り替える駆動部とを備え、
前記液体材料容器には、前記液体材料を貯留するための空間と、前記空間に前記塗布針を挿通させるための第１孔および第２孔が形成されており、
前記第１孔は、前記空間よりも重力方向の下方に形成されており、
前記第２孔は、前記空間を挟んで前記第１孔と反対側に形成されており、
前記液体材料容器は、少なくとも前記第１孔の内周面上から前記液体材料容器の外周面のうち前記第１孔を囲む一部領域上まで、延びるように形成されている撥水層を含み、
前記液体材料容器は、前記外周面上において前記第１孔の周囲を囲むように形成されている壁部と、前記壁部の周囲を囲むように形成されておりかつ前記壁部よりも下方に突出している凸部とを含み、
前記壁部は、前記対象物の前記表面と対向する下面として、重力方向および水平方向に対して交差する方向に延びるように形成されている第１面と、前記第１孔の孔軸を中心軸とする径方向において前記第１面よりも外側に配置されており、かつ水平方向に沿って延びるように形成されている第２面とを有し、
前記一部領域は、前記壁部の前記第１面および前記第２面と、前記凸部の頂面と、前記凸部の前記頂面および前記壁部の前記第２面とを接続している前記凸部の側面とを有しており、
前記液体材料容器は、前記第１状態にあるときに、前記液体材料容器に貯留されている前記液体材料の下面が前記壁部の前記第１面上に形成されている前記撥水層と接するように設けられているとともに、前記第１状態および前記第２状態にあるときに、前記液体材料容器に貯留されている前記液体材料の下面が前記壁部の前記第２面上に形成されないように設けられている、液体塗布ユニット。 A liquid coating unit for applying a liquid material to the surface of an object using a coating needle.
With the coating needle
A liquid material container for storing the liquid material and
The coating needle is moved up and down with respect to the liquid material container, and the first state in which the needle tip of the coating needle is housed in the liquid material container and the needle tip of the coating needle come into contact with the surface of the object. Equipped with a drive unit that switches between the possible second state
The liquid material container is formed with a space for storing the liquid material and first and second holes for inserting the coating needle into the space.
The first hole is formed below the space in the direction of gravity.
The second hole is formed on the side opposite to the first hole with the space in between.
The liquid material container includes a water-repellent layer formed so as to extend from at least the inner peripheral surface of the first hole to a part of the outer peripheral surface of the liquid material container surrounding the first hole. ,
The liquid material container has a wall portion formed so as to surround the periphery of the first hole on the outer peripheral surface, and a wall portion formed so as to surround the periphery of the wall portion and below the wall portion. Including protruding convex parts
The wall portion is centered on a first surface formed so as to extend in a direction intersecting the gravity direction and the horizontal direction as a lower surface facing the surface of the object, and a hole axis of the first hole. It has a second surface that is arranged outside the first surface in the radial direction as an axis and is formed so as to extend along the horizontal direction.
The partial region connects the first surface and the second surface of the wall portion, the top surface of the convex portion, the top surface of the convex portion, and the second surface of the wall portion. It has the side surface of the convex part and
When the liquid material container is in the first state, the lower surface of the liquid material stored in the liquid material container is in contact with the water-repellent layer formed on the first surface of the wall portion. The lower surface of the liquid material stored in the liquid material container is not formed on the second surface of the wall portion in the first state and the second state. A liquid coating unit provided in. 前記第１孔の前記孔軸に対し前記壁部の前記第１面が成す角度のうち小さい方の角度は、３０度以上６０度以下である、請求項１に記載の液体塗布ユニット。The liquid coating unit according to claim 1, wherein the smaller angle of the angle formed by the first surface of the wall portion with respect to the hole axis of the first hole is 30 degrees or more and 60 degrees or less. 前記撥水層は、前記液体材料容器の全面上に形成されている、請求項１または請求項２に記載の液体塗布ユニット。 The liquid coating unit according to claim 1 or 2, wherein the water-repellent layer is formed on the entire surface of the liquid material container. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体塗布ユニットと、
前記対象物を保持する保持台とを備える、液体塗布装置。 The liquid coating unit according to any one of claims 1 to 3 and
A liquid coating device including a holding table for holding the object.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7164458B2 (en) * 2019-02-08 2022-11-01 Ntn株式会社 Liquid application unit and liquid application device

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3826608B2 (en) * 1999-03-17 2006-09-27 富士写真フイルム株式会社 Formation of water-repellent film on the surface of the liquid ejection part
JP2002361151A (en) * 2001-06-10 2002-12-17 Mikuni Denshi Kk Method and device for discharge coating of liquid body
KR100511350B1 (en) * 2002-02-09 2005-08-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 A liquid crystal dispensing apparatus with a nozzle protecting device
US7410109B2 (en) * 2002-02-07 2008-08-12 Lg Display Co., Ltd. Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle protecting device
JP2004105842A (en) * 2002-09-18 2004-04-08 Canon Inc Liquid application method and applicator
JP4767567B2 (en) * 2005-03-28 2011-09-07 Ｎｔｎ株式会社 Pattern correction device
JP4945753B2 (en) * 2006-11-10 2012-06-06 国立大学法人九州工業大学 Inkjet droplet nozzle
JP2008155180A (en) * 2006-12-26 2008-07-10 Ntn Corp Application needle
JP2008192901A (en) * 2007-02-06 2008-08-21 Ntn Corp Pattern-modifying apparatus and coating unit used therefor
JP4875507B2 (en) * 2007-02-07 2012-02-15 国立大学法人電気通信大学 Droplet applicator
JP2009206061A (en) * 2008-02-29 2009-09-10 Ntn Corp Application unit, and pattern-correcting device using the same
EP2321068B1 (en) * 2008-09-02 2013-01-16 NScrypt, Inc. Dispensing patterns including lines and dots at high speeds
JP2010062385A (en) * 2008-09-04 2010-03-18 Ntn Corp Flux application apparatus and flux application method
JP2010064014A (en) * 2008-09-11 2010-03-25 Ntn Corp Application unit and pattern correction device using the same
JP2011174907A (en) * 2010-02-01 2011-09-08 Applied Micro Systems Inc Liquid material delivery device and method
JP5646196B2 (en) * 2010-03-30 2014-12-24 武蔵エンジニアリング株式会社 Discharge device, liquid dispensing device, and liquid dispensing method
JP6119998B2 (en) * 2013-11-19 2017-04-26 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Electrostatic coating method and electrostatic coating device
JP6381902B2 (en) * 2013-12-13 2018-08-29 Ntn株式会社 Application needle holder
JP6411735B2 (en) * 2013-12-13 2018-10-24 Ntn株式会社 Application member, application device, and application method
JP2015131279A (en) * 2014-01-15 2015-07-23 東京応化工業株式会社 Coating equipment, and coating method

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