JP6821272B2

JP6821272B2 - Cleaning equipment and inkjet coating equipment

Info

Publication number: JP6821272B2
Application number: JP2018005578A
Authority: JP
Inventors: 大霜　征彦; 征彦大霜; 雄悟福島; 鯉樹村上
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2018-01-17
Filing date: 2018-01-17
Publication date: 2021-01-27
Anticipated expiration: 2038-01-17
Also published as: JP2019122922A

Description

本発明は、複数のノズルからインクを着弾させるインクジェット塗布装置において、インクを吐出するインクジェットヘッドを洗浄する洗浄装置に関するものである。 The present invention relates to a cleaning device that cleans an inkjet head that ejects ink in an inkjet coating device that lands ink from a plurality of nozzles.

ガラスやフィルム等の基材上に線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターン）、例えば、プリント基板やパッケージ基板のような配線基板（基材）における配線パターン、パワー半導体の絶縁膜パターンがインクジェット塗布装置により形成されている。 Coating films (film patterns) of various shapes such as lines and rectangles on a base material such as glass or film, for example, wiring patterns on wiring boards (base materials) such as printed circuit boards and package boards, power semiconductors The insulating film pattern is formed by an inkjet coating device.

インクジェット塗布装置は、図９に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、液滴（インク）を吐出するインクジェットヘッド１０１を備えており、基材Ｗとインクジェットヘッド１０１を相対的に移動させつつ基材Ｗ上の所定位置に液滴を吐出することにより精度のよい膜パターンが形成される。 As shown in FIG. 9, the inkjet coating device includes a stage 100 on which the base material W is placed and an inkjet head 101 that ejects droplets (ink), and the base material W and the inkjet head 101 are relatively relative to each other. An accurate film pattern is formed by ejecting droplets at a predetermined position on the base material W while moving the droplets.

また、インクジェット塗布装置は、洗浄装置１１０を備えており、インクジェットヘッド１０１を定期的に洗浄することによりインクを精度よく着弾させることができる。すなわち、インクジェットヘッド１０１には、図１０（ａ）に示すように、インクを吐出するヘッドモジュール１０２が複数設けられており、このヘッドモジュール１０２のノズル面１０３にインクを吐出するノズル孔１０４が多数形成されている。そして、上述の塗布動作、インクの乾燥防止や不吐出防止のために実施されるフラッシング動作、ブリード動作を行うと、ノズル面１０３にインクが付着する。このノズル面１０３にインクが付着すると、吐出不良が発生したり、吐出されるインクが影響を受けて飛行曲がり等が発生することにより膜の品質に影響が出る。そのため、洗浄装置１１０により定期的にインクジェットヘッドを洗浄することにより、ノズル面１０３に付着したインクの除去が行われる。 Further, the inkjet coating device is provided with a cleaning device 110, and the ink can be landed with high accuracy by periodically cleaning the inkjet head 101. That is, as shown in FIG. 10A, the inkjet head 101 is provided with a plurality of head modules 102 for ejecting ink, and a large number of nozzle holes 104 for ejecting ink are provided on the nozzle surface 103 of the head module 102. It is formed. Then, when the above-mentioned coating operation, flushing operation, and bleeding operation performed for preventing the ink from drying and non-ejection are performed, the ink adheres to the nozzle surface 103. When ink adheres to the nozzle surface 103, ejection defects occur, or the ejected ink is affected to cause flight bending and the like, which affects the quality of the film. Therefore, the ink adhering to the nozzle surface 103 is removed by periodically cleaning the inkjet head with the cleaning device 110.

洗浄装置１１０は、付着したインクを布部材１０５で拭き取るように構成されている。具体的には、洗浄装置１１０は、ステージ１００の下流側に配置されており、図１０（ｂ）に示すように、布部材１０５がロール１０６間に掛け渡されて繰り出されるように構成されており、ロール１０６同士の間には押し当て部材１０７が設けられている。そして、洗浄動作時には、布部材１０５上に配置されたインクジェットヘッド１０１が下降し、各ヘッドモジュール１０２が布部材１０５を介して押し当て部材１０７に押し付けられる。すなわち、各ヘッドモジュール１０２のノズル面１０３が布部材１０５に押し当てられる。この状態で布部材１０５がロール１０６間を走行することによりノズル面１０３に付着したインクが布部材１０５により拭き取られる（例えば、下記特許文献１参照）。 The cleaning device 110 is configured to wipe off the adhered ink with the cloth member 105. Specifically, the cleaning device 110 is arranged on the downstream side of the stage 100, and as shown in FIG. 10B, the cloth member 105 is configured to be hung between the rolls 106 and fed out. A pressing member 107 is provided between the rolls 106. Then, during the cleaning operation, the inkjet head 101 arranged on the cloth member 105 is lowered, and each head module 102 is pressed against the pressing member 107 via the cloth member 105. That is, the nozzle surface 103 of each head module 102 is pressed against the cloth member 105. When the cloth member 105 runs between the rolls 106 in this state, the ink adhering to the nozzle surface 103 is wiped off by the cloth member 105 (see, for example, Patent Document 1 below).

特開２０１４−７３６２７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-73627

上述の洗浄装置１１０における拭き取りは、インクの溶剤成分に依存したインクを布部材１０５に転写させている。ところが近年では、インクの種類が様々であり、無溶剤タイプのインクが使用されたり、溶剤の乾燥が速く溶剤以外の成分がノズル面に固着しやすいインクが使用されており、上記洗浄装置１１０で洗浄（拭き取り）してもノズル面１０３に付着したインクを完全に除去することが困難になっている。 In the wiping in the cleaning device 110 described above, the ink depending on the solvent component of the ink is transferred to the cloth member 105. However, in recent years, there are various types of inks, solvent-free type inks are used, and inks in which the solvent dries quickly and components other than the solvent easily adhere to the nozzle surface are used. Even after cleaning (wiping), it is difficult to completely remove the ink adhering to the nozzle surface 103.

また、ノズル面１０３にはインクの付着を防止するため、撥液性材料がコーティングされているが、長期間に亘ってこのノズル面１０３を布部材１０５で拭き取り続けると摩擦による撥液性のコーティング層が損傷を受け、撥液性能が低下するという問題もあった。 Further, the nozzle surface 103 is coated with a liquid-repellent material in order to prevent ink from adhering. However, if the nozzle surface 103 is continuously wiped with the cloth member 105 for a long period of time, the liquid-repellent coating due to friction is applied. There is also a problem that the layer is damaged and the liquid repellent performance is deteriorated.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、ノズル面に乾燥の早いインクが付着した場合でも除去することができ、拭き取りによるノズル面の損傷を抑えることができる洗浄装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides a cleaning device capable of removing even if ink that dries quickly adheres to the nozzle surface and suppressing damage to the nozzle surface due to wiping. The purpose is to do.

上記課題を解決するために本発明の洗浄装置は、インクが吐出されるノズル孔が複数形成されたノズル面を有するインクジェットヘッドを洗浄する洗浄装置であって、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部と、前記洗浄液噴射部から噴出された洗浄液を受ける廃液トレイと、を備えており、前記洗浄液噴射部は、複数の噴射口が形成されており、この噴射口から前記ノズル面に向かって洗浄液が直接に噴射され、前記洗浄液噴射部は、前記廃液トレイ内に配置される洗浄フレームトレイ内に設けられており、前記インクジェットヘッドが前記洗浄フレームトレイ上に配置された状態では、前記インクジェットヘッドの長手方向に亘って所定間隔で前記洗浄液噴射部が配置されていることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the cleaning device of the present invention is a cleaning device for cleaning an inkjet head having a nozzle surface having a plurality of nozzle holes for ejecting ink, and includes a cleaning liquid injection unit that ejects the cleaning liquid. A waste liquid tray for receiving the cleaning liquid ejected from the cleaning liquid injection unit is provided, and the cleaning liquid injection unit is formed with a plurality of injection ports, and the cleaning liquid is directly directed from the injection ports toward the nozzle surface. The cleaning liquid injection unit is sprayed and is provided in a cleaning frame tray arranged in the waste liquid tray. In a state where the inkjet head is arranged on the cleaning frame tray, the cleaning liquid injection unit is in the longitudinal direction of the inkjet head. It is characterized in that the cleaning liquid injection portions are arranged at predetermined intervals .

上記洗浄装置によれば、洗浄液噴射部により直接ノズル面に洗浄液が噴射されるため、ノズル面に付着したインクに噴射の勢いと洗浄液成分を直接作用させることができる。したがって、従来のように布部材で拭き取る場合に比べて、ノズル面が擦られることが抑えられ、乾燥したインクであっても分解して落としやすい状態にすることができるため、ノズル面の損傷を抑えてインクを除去することができる。また、インクジェットヘッドの長手方向にわたってノズル面に付着したインクを除去することができる。 According to the cleaning device, since the cleaning liquid is directly ejected to the nozzle surface by the cleaning liquid injection unit, the force of the injection and the cleaning liquid component can be directly acted on the ink adhering to the nozzle surface. Therefore, compared to the case of wiping with a cloth member as in the conventional case, the nozzle surface is suppressed from being rubbed, and even dry ink can be decomposed and easily removed, so that the nozzle surface is damaged. It can be suppressed and the ink can be removed. In addition, the ink adhering to the nozzle surface can be removed along the longitudinal direction of the inkjet head.

また、前記洗浄フレームトレイには、洗浄液の飛散を防止するシール部が設けられており、前記インクジェットヘッドが前記洗浄フレームトレイ上に配置された状態で、前記シール部が前記インクジェットヘッドに当接することにより、前記洗浄液が洗浄フレームトレイの外側に飛散することが防止される構成にしてもよい。 Further, the cleaning frame tray is provided with a seal portion for preventing the cleaning liquid from scattering, and the seal portion comes into contact with the inkjet head while the inkjet head is arranged on the cleaning frame tray. As a result, the cleaning liquid may be prevented from being scattered to the outside of the cleaning frame tray.

この構成によれば、洗浄液噴射部から噴出された洗浄液が洗浄フレームトレイの外側に飛散するのを抑えることができるため、塗布装置の構成部品や設置フロアが洗浄液で汚れるのを抑えることができる。 According to this configuration, it is possible to prevent the cleaning liquid ejected from the cleaning liquid injection unit from scattering to the outside of the cleaning frame tray, so that it is possible to prevent the components of the coating device and the installation floor from being contaminated with the cleaning liquid.

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、上記の洗浄装置と、洗浄後の前記インクジェットヘッドに付着した洗浄液を拭き取る拭き取り装置と、を備えるインクジェット塗布装置であって、前記拭き取り装置は、インクジェットヘッドのノズル面と多孔質部材とが対向した状態で対向する方向に相対的に移動させて洗浄液を拭き取る拭き取りユニットと、前記拭き取りユニットとは別に、前記ノズル面と布部材とを摺接させて洗浄液を拭き取る拭き取りユニットと、を備えることを特徴としている。 Further, in order to solve the above problems, the inkjet coating device of the present invention is an inkjet coating device including the above cleaning device and a wiping device for wiping the cleaning liquid adhering to the inkjet head after cleaning. The apparatus includes a wiping unit that wipes the cleaning liquid by relatively moving the nozzle surface of the inkjet head and the porous member in opposite directions in a state of facing each other, and the nozzle surface and the cloth member separately from the wiping unit. It is characterized by being provided with a wiping unit that is brought into sliding contact to wipe off the cleaning liquid.

このインクジェット塗布装置によれば、洗浄装置による洗浄後のインクジェットヘッドに付着する洗浄液を確実に除去することができるため、付着した洗浄液が意図しないところで落下するのを抑えることができ、残留した洗浄液による製品の品質を低下させる問題を回避することができる。 According to this inkjet coating device, the cleaning liquid adhering to the inkjet head after cleaning by the cleaning device can be reliably removed, so that the adhering cleaning liquid can be prevented from falling unintentionally, and the remaining cleaning liquid is used. It is possible to avoid the problem of degrading the quality of the product.

本発明の洗浄装置、及びインクジェット塗布装置によれば、ノズル面に乾燥の早いインクが付着した場合でも除去することができ、拭き取りによるノズル面の損傷を抑えつつ、ノズル面に付着した洗浄液を除去することができる。 According to the cleaning device and the inkjet coating device of the present invention, even if ink that dries quickly adheres to the nozzle surface, it can be removed, and the cleaning liquid adhering to the nozzle surface can be removed while suppressing damage to the nozzle surface due to wiping. can do.

本発明の一実施形態における洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the inkjet coating apparatus provided with the cleaning apparatus in one Embodiment of this invention. 上記インクジェット塗布装置を概略的に示す正面図である。It is a front view which shows typically the said inkjet coating apparatus. 上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。It is a top view which shows the said inkjet coating apparatus schematicly. 上記インクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はノズル面側から見た図、（ｂ）はヘッドモジュールの拡大図である。It is a figure which shows the said inkjet head, (a) is a view seen from the nozzle surface side, (b) is an enlarged view of a head module. 洗浄装置をＹ軸方向から見た図である。It is a figure which looked at the cleaning apparatus from the Y-axis direction. 洗浄ユニットをＸ軸方向から見た図である。It is the figure which looked at the cleaning unit from the X-axis direction. キャップユニットを示す図であり、（ａ）は、Ｚ軸方向から見た図、（ｂ）はインクジェットヘッドにキャップユニットが装着された状態を示す図である。It is a figure which shows the cap unit, (a) is a view seen from the Z-axis direction, (b) is a figure which shows the state which the cap unit is attached to the inkjet head. 一連の洗浄工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows a series of cleaning steps. 従来のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the conventional inkjet coating apparatus. 従来のインクジェット塗布装置の要部を示す図であり、（ａ）はインクジェットヘッドをノズル面側から見た図、（ｂ）は従来の洗浄装置を示す図である。It is a figure which shows the main part of the conventional inkjet coating apparatus, (a) is the figure which looked at the inkjet head from the nozzle surface side, (b) is the figure which shows the conventional cleaning apparatus.

本発明の洗浄装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。 An embodiment of the cleaning apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の正面図、図３は、インクジェット塗布装置の上面図、図４は、インクジェットヘッドをノズル面側から見た図である。なお、本実施形態のインクジェット塗布装置に用いられるインクは、カラーフィルタに用いられるインクや、有機ＥＬ、配線パターンの導電性インク、保護膜等、インクジェット形式で吐出できるものであれば、あらゆるものを対象とすることができる。 1 is a side view showing an embodiment of an inkjet coating device including a cleaning device, FIG. 2 is a front view of the inkjet coating device, FIG. 3 is a top view of the inkjet coating device, and FIG. 4 is an inkjet. It is the figure which looked at the head from the nozzle surface side. The ink used in the inkjet coating device of the present embodiment can be any ink used for a color filter, organic EL, conductive ink of a wiring pattern, a protective film, or any other ink that can be ejected in an inkjet format. Can be targeted.

図１〜図４に示すように、インクジェット塗布装置１は、基材Ｗを載置するステージ２と、基材Ｗにインクを吐出する液滴ユニット３とを有しており、液滴ユニット３がステージ２に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の位置に吐出することにより、基材Ｗ上に所定のパターンが形成される。 As shown in FIGS. 1 to 4, the inkjet coating apparatus 1 includes a stage 2 on which the base material W is placed and a droplet unit 3 for ejecting ink onto the base material W, and the droplet unit 3 Is ejected to a predetermined position while moving on the base material W placed on the stage 2, so that a predetermined pattern is formed on the base material W.

なお、以下の説明では、この液滴ユニット３が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。 In the following description, the direction in which the droplet unit 3 moves is the X-axis direction, the direction orthogonal to this in the horizontal plane is the Y-axis direction, and the direction orthogonal to both the X-axis and the Y-axis directions is the Z-axis direction. I will proceed with the explanation.

液滴ユニット３は、本実施形態では、基材Ｗ上にインク（液滴）を塗布するものであり、インクを吐出するインクジェットヘッド３１と、このインクジェットヘッド３１を支持するガントリ３２とを有している。ガントリ３２は、ステージ２のＹ軸方向両端部分に設けられる支持部材３２ａと、これら２つの支持部材３２ａを連結するビーム部３２ｂとを有しており、支持部材３２ａとビーム部３２ｂによって略門型形状を有している。また、ステージ２に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延びるレール２１が設けられており、支持部材３２ａは、それぞれレール２１上に沿ってスライド自在に設けられている。そして、支持部材３２ａには、リニアモータなどの駆動手段が設けられており、リニアモータを駆動制御することにより、支持部材３２ａがＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、液滴ユニット３がステージ２上を跨ぐ状態でＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止することができる。なお、レール２１は、洗浄装置４まで延びており、リニアモータを駆動制御することにより、液滴ユニット３が洗浄装置４で停止することができる。 In the present embodiment, the droplet unit 3 is for applying ink (droplets) on the base material W, and has an inkjet head 31 for ejecting ink and a gantry 32 for supporting the inkjet head 31. ing. The gantry 32 has a support member 32a provided at both ends in the Y-axis direction of the stage 2 and a beam portion 32b connecting these two support members 32a, and the support member 32a and the beam portion 32b form a substantially gate type. It has a shape. Further, a rail 21 extending in the X-axis direction is provided at a position adjacent to the stage 2, and the support member 32a is slidably provided along the rail 21. Then, the support member 32a is provided with a driving means such as a linear motor, and by driving and controlling the linear motor, the support member 32a can move in the X-axis direction and can be stopped at an arbitrary position. There is. That is, the droplet unit 3 can move in the X-axis direction while straddling the stage 2 and can be stopped at an arbitrary position. The rail 21 extends to the cleaning device 4, and the droplet unit 3 can be stopped by the cleaning device 4 by driving and controlling the linear motor.

また、ビーム部３２ｂには、インクを吐出するインクジェットヘッド３１が設けられている。インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂが支持部材３２ａに対して昇降動作することにより、基材Ｗに対して昇降動作できるようになっている。これにより基材Ｗにインクを吐出する塗布動作の際には、基材Ｗとインクジェットヘッド３１との距離が適切になるように調節される。また、インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動可能に取付けられている。すなわち、Ｘ軸方向の所定位置で基材Ｗと対向するインクジェットヘッド３１は、Ｙ軸方向に移動することにより、そのＸ軸方向所定位置における基材ＷのすべてのＹ軸方向領域と対向できるようになっている。すなわち、支持部材３２ａがレール２１に沿って移動することによりＸ軸方向に移動し、さらにインクジェットヘッド３１がビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動することにより、基材Ｗの所定位置にインクジェットヘッド３１が移動しインクを着弾させることができるようになっている。 Further, the beam unit 32b is provided with an inkjet head 31 that ejects ink. The inkjet head 31 can move up and down with respect to the base material W by moving the beam portion 32b up and down with respect to the support member 32a. As a result, the distance between the base material W and the inkjet head 31 is adjusted to be appropriate during the coating operation of ejecting ink to the base material W. Further, the inkjet head 31 is attached so as to be movable in the Y-axis direction along the beam portion 32b. That is, the inkjet head 31 facing the base material W at a predetermined position in the X-axis direction can face all the Y-axis direction regions of the base material W at the predetermined position in the X-axis direction by moving in the Y-axis direction. It has become. That is, the support member 32a moves in the X-axis direction by moving along the rail 21, and the inkjet head 31 moves in the Y-axis direction along the beam portion 32b, so that the ink is inkjet at a predetermined position on the base material W. The head 31 can be moved to land the ink.

また、インクジェットヘッド３１は、基材Ｗに対向する基材対向面３０ａ（図４（ａ）参照）に、複数のヘッドモジュール５を搭載しており、このヘッドモジュール５からインクが吐出される。ヘッドモジュール５は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置である。ヘッドモジュール５は、インクを吐出するノズル孔５１を有しており、基材Ｗに対向するノズル面５１ａ（図４（ｂ）参照）に複数のノズル孔５１がヘッドモジュール５の長手方向に一方向に並んで配置されている。図４の例では、ノズル孔５１がＹ軸方向に配列されている。 Further, the inkjet head 31 has a plurality of head modules 5 mounted on a base material facing surface 30a (see FIG. 4A) facing the base material W, and ink is ejected from the head modules 5. The head module 5 is an ink ejection device using a piezo element as a drive source. The head module 5 has a nozzle hole 51 for ejecting ink, and a plurality of nozzle holes 51 are provided on a nozzle surface 51a (see FIG. 4B) facing the base material W in the longitudinal direction of the head module 5. They are arranged side by side in the direction. In the example of FIG. 4, the nozzle holes 51 are arranged in the Y-axis direction.

そして、ヘッドモジュール５は、Ｙ軸方向において、それぞれが互いに重複する部分を有し、かつ、Ｘ軸方向に隣接して配置されており、複数のヘッドモジュール５が、いわゆる階段状に配置されている。すなわち、ヘッドモジュール５は、ノズル配置間隔とヘッドモジュール５の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。そして、この階段状に配置された３つのヘッドモジュール５の集合体をヘッドモジュール５の両端部分の寸法分を相殺できるように繰り返しＹ軸方向に配置することにより、インクジェットヘッド３１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル孔５１がＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。 The head modules 5 have portions that overlap each other in the Y-axis direction and are arranged adjacent to each other in the X-axis direction, and a plurality of head modules 5 are arranged in a so-called stepped shape. There is. That is, since the head module 5 has different dimensions between the nozzle arrangement interval and both end portions of the head module 5, the head modules 5 are arranged in the Y-axis direction while being shifted in the X-axis direction so that the dimensions of both end portions can be offset. .. Then, by repeatedly arranging the aggregate of the three head modules 5 arranged in a stepped manner in the Y-axis direction so as to offset the dimensions of both end portions of the head module 5, the entire inkjet head 31 is arranged in the X-axis direction. All the nozzle holes 51 are arranged along the Y-axis direction, and are arranged at equal intervals in the Y-axis direction when viewed from the X-axis direction.

ヘッドモジュール５は、ノズル面５１ａには複数のノズル孔５１が形成されており、ノズル孔５１の先端とノズル面５１ａとがほぼ一致している。このノズル面５１ａは平坦な形状を有しており、ノズル孔５１がノズル面５１ａと面位置になっている。そして、インクジェットヘッド３１には、一体化されたすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａが基材Ｗ側に向く状態で配置されており、全てのノズル面５１ａが基材Ｗと平行になっている。そして、ピエゾ素子を駆動させることにより、ノズル面５１ａに配列された各ノズル孔５１から一滴ずつインクを吐出できるようになっている。これにより、基材Ｗ上の塗布領域の所定位置に所定のインクが吐出され、吐出パターンを形成することができる。すなわち、ガントリ３２をＸ軸方向（＋方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させる。次いで、基材ＷのＸ軸方向端部でガントリ３２を停止させた状態でインクジェットヘッド３１をビーム部３２ｂのＹ軸方向端部まで移動させ、今度はガントリ３２をＸ軸方向（−方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させることにより、基材Ｗ全体に所定パターンを形成することができる。なお、このノズル面５１ａは、撥液性材料がコーティングされており、ノズル孔５１からインクが吐出された際に、余分なインクがノズル面５１ａに付着するのを抑え、仮に付着した場合でも拭き取り等の清掃作業により容易にインクを除去できるようになっている。 In the head module 5, a plurality of nozzle holes 51 are formed on the nozzle surface 51a, and the tip of the nozzle hole 51 and the nozzle surface 51a substantially coincide with each other. The nozzle surface 51a has a flat shape, and the nozzle hole 51 is in a surface position with the nozzle surface 51a. The inkjet head 31 is arranged with the nozzle surfaces 51a of all the integrated head modules 5 facing the base material W side, and all the nozzle surfaces 51a are parallel to the base material W. .. Then, by driving the piezo element, ink can be ejected drop by drop from each nozzle hole 51 arranged on the nozzle surface 51a. As a result, a predetermined ink is ejected to a predetermined position in the coating region on the base material W, and an ejection pattern can be formed. That is, while running the gantry 32 in the X-axis direction (+ direction), ink is ejected from the nozzle holes 51 located at predetermined positions on the base material W. Next, the inkjet head 31 is moved to the Y-axis direction end of the beam portion 32b with the gantry 32 stopped at the X-axis direction end of the base material W, and this time the gantry 32 is moved in the X-axis direction (-direction). A predetermined pattern can be formed on the entire base material W by ejecting ink from a nozzle hole 51 located at a predetermined position on the base material W while traveling. The nozzle surface 51a is coated with a liquid-repellent material to prevent excess ink from adhering to the nozzle surface 51a when ink is ejected from the nozzle hole 51, and even if it adheres, it can be wiped off. Ink can be easily removed by cleaning work such as.

また、Ｘ軸方向端部には、待機ゾーン６が設けられており、この待機ゾーン６でブリード動作、フラッシング動作が行われる。すなわち、ブリード動作は、インクジェットヘッド３１の吐出不良が生じた場合に、一定量のインクを吐出する動作であり、フラッシング動作は、基材交換などで待機する場合に、ノズル孔５１でインクが乾燥しないように完結的にインクを吐出する動作である。待機ゾーン６には、排液トレイ６１が設けられており、インクジェットヘッド３１が排液トレイ６１上に配置された状態で、排液トレイ６１にインクを吐出することによりブリード動作、フラッシング動作が行われる。 Further, a standby zone 6 is provided at the end in the X-axis direction, and a bleeding operation and a flushing operation are performed in the standby zone 6. That is, the bleeding operation is an operation of ejecting a certain amount of ink when a ejection failure of the inkjet head 31 occurs, and the flushing operation is an operation of ejecting ink in the nozzle hole 51 when waiting for base material replacement or the like. It is an operation of ejecting ink completely so as not to prevent it. A drainage tray 61 is provided in the standby zone 6, and while the inkjet head 31 is arranged on the drainage tray 61, ink is ejected to the drainage tray 61 to perform a bleeding operation and a flushing operation. It is said.

また、待機ゾーン６からステージ２を挟んでＸ軸方向反対側端部には、洗浄装置４が配置されている。この洗浄装置４は、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａに付着したインクを除去するためのものである。洗浄装置４は、図５、図６に示すように、廃棄する洗浄液等（洗浄液、及び、除去されたインクの混合物）を受ける廃液トレイ４１と、洗浄液を噴出する洗浄ユニット４２とを有している。洗浄動作時には、インクジェットヘッド３１が廃液トレイ４１上に配置された状態で洗浄ユニット４２から噴出された洗浄液をノズル面５１ａに噴出することによりインクの除去が行われる。 Further, a cleaning device 4 is arranged at an end portion opposite to the X-axis direction with the stage 2 sandwiched from the standby zone 6. The cleaning device 4 is for removing the ink adhering to the nozzle surface 51a of the head module 5. As shown in FIGS. 5 and 6, the cleaning device 4 has a waste liquid tray 41 that receives a cleaning liquid or the like to be discarded (a mixture of the cleaning liquid and the removed ink), and a cleaning unit 42 that ejects the cleaning liquid. There is. During the cleaning operation, the ink is removed by ejecting the cleaning liquid ejected from the cleaning unit 42 onto the nozzle surface 51a with the inkjet head 31 arranged on the waste liquid tray 41.

廃液トレイ４１は、上方に開放された器形状を有しており、廃棄すべき洗浄液等を貯めることができる。廃液トレイ４１は、インクジェットヘッド３１全体よりも大きく形成されており、廃液トレイ４１上に停止したインクジェットヘッド３１に洗浄液が噴射されても、重力により落下する洗浄液が廃液トレイ４１内に落とすことができるようになっている。また、廃液トレイ４１の底部４１ａには、廃液トレイ４１に貯められた洗浄液を廃液タンク（不図示）に排出する排出口４１ｂが設けられている。そして、底部４１ａ全体が排出口４１ｂ側に傾斜されて形成されており、廃液トレイ４１内に貯められた洗浄液等が排出口４１ｂに向かって排液されやすいようになっている。 The waste liquid tray 41 has a container shape that is open upward, and can store cleaning liquid and the like to be discarded. The waste liquid tray 41 is formed larger than the entire inkjet head 31, and even if the cleaning liquid is sprayed onto the inkjet head 31 stopped on the waste liquid tray 41, the cleaning liquid that falls due to gravity can be dropped into the waste liquid tray 41. It has become like. Further, the bottom portion 41a of the waste liquid tray 41 is provided with a discharge port 41b for discharging the cleaning liquid stored in the waste liquid tray 41 to a waste liquid tank (not shown). The entire bottom portion 41a is formed so as to be inclined toward the discharge port 41b, so that the cleaning liquid or the like stored in the waste liquid tray 41 can be easily drained toward the discharge port 41b.

また、廃液トレイ４１内には、洗浄ユニット４２が設けられている。この洗浄ユニット４２は、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部４３と、洗浄液噴射部４３が取り付けられる洗浄フレームトレイ４４とを有しており、洗浄フレームトレイ４４がインクジェットヘッド３１に当接した状態で洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させることによりノズル面５１ａを洗浄することができる。 Further, a cleaning unit 42 is provided in the waste liquid tray 41. The cleaning unit 42 has a cleaning liquid injection unit 43 for ejecting the cleaning liquid and a cleaning frame tray 44 to which the cleaning liquid injection unit 43 is attached, and injects the cleaning liquid in a state where the cleaning frame tray 44 is in contact with the inkjet head 31. The nozzle surface 51a can be cleaned by ejecting the cleaning liquid from the portion 43.

洗浄フレームトレイ４４は、上方に開放された器形状を有しており、その底面部４４ａには洗浄液噴射部４３が取り付けられている。この洗浄フレームトレイ４４は、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａとほぼ同じ大きさに形成されている。すなわち、底面部４４ａは、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａとほぼ同じ長方形に形成されており、この底面部４４ａの周囲に位置する端部から垂直に延びる側壁部４４ｂが形成されている。この側壁部４４ｂは、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された際に、基材対向面３０ａと対向するようになっており、基材対向面３０ａに対向する対向面４４ｂ１にはシール部４６が設けられている。すなわち、側壁部４４ｂの対向面４４ｂ１には、シール溝が環状に形成されており、シール部４６がこのシール溝にシール部４６の一部が突出するように配置されている。 The cleaning frame tray 44 has a vessel shape that is open upward, and a cleaning liquid injection unit 43 is attached to the bottom surface portion 44a thereof. The cleaning frame tray 44 is formed to have substantially the same size as the substrate facing surface 30a of the inkjet head 31. That is, the bottom surface portion 44a is formed in substantially the same rectangle as the base material facing surface 30a of the inkjet head 31, and the side wall portion 44b extending vertically from the end portion located around the bottom surface portion 44a is formed. The side wall portion 44b is adapted to face the base material facing surface 30a when the inkjet head 31 is arranged above the cleaning frame tray 44, and the side wall portion 44b faces the base material facing surface 30a. A seal portion 46 is provided. That is, a seal groove is formed in an annular shape on the facing surface 44b1 of the side wall portion 44b, and the seal portion 46 is arranged so that a part of the seal portion 46 projects into the seal groove.

また、洗浄フレームトレイ４４には、鉛直方向に昇降する昇降機構４９が設けられており、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１に対して近接、離間できるように構成されている。そのため、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、昇降機構４９により洗浄フレームトレイ４４を上昇させると、側壁部４４ｂに設けられたシール部４６がインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに当接し、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成された領域が外部に対して密封されるようになっている。これにより、洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させても洗浄液が外部に飛散するのを防止できるようになっている。 Further, the cleaning frame tray 44 is provided with an elevating mechanism 49 that elevates and elevates in the vertical direction, and can be brought close to and separated from the inkjet head 31 in a state where the inkjet head 31 is arranged above the cleaning frame tray 44. It is configured as follows. Therefore, when the cleaning frame tray 44 is raised by the elevating mechanism 49 with the inkjet head 31 arranged above the cleaning frame tray 44, the seal portion 46 provided on the side wall portion 44b faces the base material of the inkjet head 31. The region that comes into contact with the surface 30a and is formed by the substrate facing surface 30a of the inkjet head 31 and the cleaning frame tray 44 is sealed to the outside. As a result, it is possible to prevent the cleaning liquid from scattering to the outside even if the cleaning liquid is ejected from the cleaning liquid injection unit 43.

なお、洗浄フレームトレイ４４の底面部４４ａには、貫通孔（不図示）が設けられており、洗浄フレームトレイ４４に貯留された洗浄液等の廃液を貫通孔から廃液トレイ４１に排出できるようになっている。 A through hole (not shown) is provided in the bottom surface portion 44a of the cleaning frame tray 44 so that waste liquid such as cleaning liquid stored in the cleaning frame tray 44 can be discharged from the through hole to the waste liquid tray 41. ing.

洗浄液噴射部４３は、洗浄液をインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに直接噴出するものである。洗浄液噴射部４３は、シャワー型のノズル（シャワーノズル４７）であり、本実施形態では２つのシャワーノズル４７が一方向に沿って配置されている。具体的には、洗浄フレームトレイ４４の幅方向（短手方向）中央位置に２つのシャワーノズル４７が設けられており、この２つのシャワーノズル４７が長手方向に所定間隔で複数箇所に設けられている。すなわち、シャワーノズル４７は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態でインクジェットヘッド３１の長手方向にわたって洗浄液を噴出できる位置に配置されている。 The cleaning liquid injection unit 43 directly ejects the cleaning liquid onto the base material facing surface 30a of the inkjet head 31. The cleaning liquid injection unit 43 is a shower type nozzle (shower nozzle 47), and in the present embodiment, two shower nozzles 47 are arranged along one direction. Specifically, two shower nozzles 47 are provided at the center position in the width direction (short direction) of the cleaning frame tray 44, and the two shower nozzles 47 are provided at a plurality of locations at predetermined intervals in the longitudinal direction. There is. That is, the shower nozzle 47 is arranged at a position where the cleaning liquid can be ejected over the longitudinal direction of the inkjet head 31 with the inkjet head 31 arranged above the cleaning frame tray 44.

シャワーノズル４７は、洗浄液が噴出される部分であり、本体部分に洗浄液が噴射される噴射口が多数形成されている。これらの噴射口は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに向かって直接噴射される向きに設定されている。本実施形態では、シャワーノズル４７は、本体部分から扇型に噴射されるように設定されており、基材対向面３０ａに配置されるすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａに向かって吹き付けるように洗浄液が噴射される。これにより、ノズル面５１ａに付着したインクは、洗浄液の成分により軟化されつつ、洗浄液の噴射力により、ノズル面５１ａから引き剥がされて除去される。なお、シャワーノズル４７は、扇型に噴射されるものでなくても、すべてのノズル面５１ａに洗浄液を噴射できれば、本体部から上方に（柱状に）噴射されるものであってもよい。 The shower nozzle 47 is a portion where the cleaning liquid is ejected, and a large number of injection ports for ejecting the cleaning liquid are formed in the main body portion. These injection ports are set so that the inkjet head 31 is directly ejected toward the substrate facing surface 30a of the inkjet head 31 with the inkjet head 31 arranged above the cleaning frame tray 44. In the present embodiment, the shower nozzle 47 is set to be ejected in a fan shape from the main body portion, and is sprayed toward the nozzle surface 51a of all the head modules 5 arranged on the base material facing surface 30a. The cleaning liquid is sprayed. As a result, the ink adhering to the nozzle surface 51a is peeled off from the nozzle surface 51a and removed by the jetting force of the cleaning liquid while being softened by the components of the cleaning liquid. The shower nozzle 47 may not be fan-shaped, but may be jetted upward (columnar) from the main body as long as the cleaning liquid can be sprayed on all the nozzle surfaces 51a.

また、本実施形態の洗浄装置４は、ディップ槽７１を有している。このディップ槽７１は、インクジェットヘッド３１のヘッドモジュール５を洗浄液に浸漬させてノズル面５１ａに付着したインクを溶解させるためのものである。すなわち、ノズル面５１ａに付着したインクが除去しにくい種類のインクである場合、また、インクの乾燥状態が進行している場合は、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａをディップ槽７１に所定時間浸漬させることにより、ノズル面５１ａに付着したインクをシャワーノズル４７で除去しやすくすることができる。このディップ槽７１には、洗浄液が所定量貯留されており、インクジェットヘッド３１を下降させることにより、すべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａを洗浄液に浸漬させることができる。 Further, the cleaning device 4 of the present embodiment has a dip tank 71. The dip tank 71 is for immersing the head module 5 of the inkjet head 31 in a cleaning liquid to dissolve the ink adhering to the nozzle surface 51a. That is, when the ink adhering to the nozzle surface 51a is a type of ink that is difficult to remove, or when the ink is in a dry state, the nozzle surface 51a of the head module 5 is immersed in the dip tank 71 for a predetermined time. As a result, the ink adhering to the nozzle surface 51a can be easily removed by the shower nozzle 47. A predetermined amount of cleaning liquid is stored in the dip tank 71, and by lowering the inkjet head 31, the nozzle surfaces 51a of all the head modules 5 can be immersed in the cleaning liquid.

また、本実施形態のインクジェット塗布装置１は、図１０（ｂ）に示す従来の拭き取り装置と同様の構成の拭き取り装置（拭き取りユニット７２）を有している。この拭き取りユニット７２は、シャワーノズル４７による洗浄後、ノズル面５１ａに残留する洗浄液を拭き取るためのものである。具体的には、図１０（ｂ）を参考に、Ｙ軸方向に離れて配置されたロール１０６間に布部材１０５が掛け渡されており、一方のロール１０６から布部材１０５が繰り出され、もう一方のロール１０６で布部材１０５が巻き取られるように形成されている。すなわち、ノズル面５１ａに洗浄液が付着したインクジェットヘッド３１（図１０（ｂ）では１０２）が布部材１０５上に載置された状態で、布部材１０５を走行させることにより、ノズル面５１ａに布部材１０５を摺接させてノズル面５１ａに付着した洗浄液が拭き取られる（本拭き取り動作）。洗浄液が付着した布部材１０５は、ロール１０６により巻き取られ、操り出し側の布部材１０５がなくなると、新しい布部材１０５が巻回されたロール１０６が供給される。すなわち、ノズル面５１ａを拭き取る布部材１０５は、常に新しい布部材１０５が供給されるようになっており、拭き取られた洗浄液が再度、ノズル面５１ａに付着するのを防止できるようになっている。 Further, the inkjet coating device 1 of the present embodiment has a wiping device (wiping unit 72) having the same configuration as the conventional wiping device shown in FIG. 10 (b). The wiping unit 72 is for wiping the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a after cleaning with the shower nozzle 47. Specifically, with reference to FIG. 10B, the cloth member 105 is hung between the rolls 106 arranged apart from each other in the Y-axis direction, and the cloth member 105 is unwound from one of the rolls 106. The cloth member 105 is formed so as to be wound up by one roll 106. That is, the cloth member is placed on the nozzle surface 51a by running the cloth member 105 while the inkjet head 31 (102 in FIG. 10B) having the cleaning liquid adhered to the nozzle surface 51a is placed on the cloth member 105. The cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a is wiped off by sliding the 105 into contact with each other (this wiping operation). The cloth member 105 to which the cleaning liquid is attached is wound by the roll 106, and when the cloth member 105 on the operation side is exhausted, the roll 106 around which the new cloth member 105 is wound is supplied. That is, the cloth member 105 for wiping the nozzle surface 51a is always supplied with a new cloth member 105, so that the wiped cleaning liquid can be prevented from adhering to the nozzle surface 51a again. ..

また、インクジェット塗布装置１には、図７に示すキャップユニット８が備えられている。このキャップユニット８は、一定時間インクジェット塗布装置１を稼働させない場合に、ノズル孔５１内のインクが乾燥するのを防止し、ノズル孔５１内に埃等が入らないように保護するためのものである。このキャップユニット８は、洗浄装置４の隣に設けられており、一定時間使用しない場合は、インクジェットヘッド３１がキャップユニット８上に位置するようにガントリ３２を移動させ、インクジェットヘッド３１を下降させることにより、インクジェット３１をキャップユニット８に当接させてインクジェットヘッド３１を保護することができる。 Further, the inkjet coating device 1 is provided with a cap unit 8 shown in FIG. 7. The cap unit 8 is for preventing the ink in the nozzle hole 51 from drying and protecting the nozzle hole 51 from dust and the like when the inkjet coating device 1 is not operated for a certain period of time. is there. The cap unit 8 is provided next to the cleaning device 4, and when it is not used for a certain period of time, the gantry 32 is moved so that the inkjet head 31 is located on the cap unit 8 and the inkjet head 31 is lowered. Therefore, the inkjet head 31 can be protected by bringing the inkjet 31 into contact with the cap unit 8.

キャップユニット８は、ケース部８５と、このケース部８５内にヘッドモジュール５の形状に沿う形状のキャップ本体部８１を有している。このキャップ本体部８１は、ヘッドモジュール５を保護するものであり、３つのヘッドモジュール５が１つのキャップ本体部８１で保護されるように形成されている。そして、キャップ本体部８１は、Ｙ軸方向に並んで配置されており、インクジェットヘッド３１が下降してケース部８５に当接した場合に、それぞれのヘッドモジュール５がキャップ本体部８１に当接し保護されるようになっている。ここで、図７（ａ）において、２点鎖線がインクジェットヘッド３１を示し、実践がキャップユニット８を示している。すなわち、インクジェットヘッド３１が下降した状態では、図７（ｂ）に示すように、キャップ本体部８１の側壁部８２が基材対向面３０ａに当接し、インクジェットヘッド３１とキャップ本体部８１とで形成される空間が密封されることにより、インクの乾燥が抑制され、埃等が侵入するのを防止できるようになっている。 The cap unit 8 has a case portion 85 and a cap main body portion 81 having a shape conforming to the shape of the head module 5 in the case portion 85. The cap main body 81 protects the head module 5, and is formed so that three head modules 5 are protected by one cap main body 81. The cap main body 81 is arranged side by side in the Y-axis direction, and when the inkjet head 31 descends and comes into contact with the case 85, each head module 5 comes into contact with the cap main body 81 to protect it. It is supposed to be done. Here, in FIG. 7A, the alternate long and short dash line indicates the inkjet head 31, and the practice indicates the cap unit 8. That is, when the inkjet head 31 is lowered, as shown in FIG. 7B, the side wall portion 82 of the cap main body 81 abuts on the base material facing surface 30a and is formed by the inkjet head 31 and the cap main body 81. By sealing the space to be used, drying of the ink is suppressed and dust and the like can be prevented from entering.

キャップ本体部８１は、洗浄液と、キャップ本体部８１内に吸水性のある多孔質部材であるスポンジ８３とが備えられており、スポンジ８３が洗浄液に浸漬された状態で設けられている。そして、スポンジ８３は、インクジェットヘッド３１がケース部８５に当接した状態では、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａがスポンジ８３の表面の高さ位置とほぼ一致するように設定されている。したがって、インクジェットヘッド３１が下降した状態では、インクジェットヘッド３１とキャップ本体部８１とで形成される空間が密封されることに加え、スポンジ８３表面から蒸発した洗浄液の溶剤により、ノズル孔５１の乾燥が効果的に抑制される。 The cap main body 81 is provided with a cleaning liquid and a sponge 83 which is a porous member having water absorption in the cap main body 81, and the sponge 83 is provided in a state of being immersed in the cleaning liquid. The sponge 83 is set so that the nozzle surface 51a of the head module 5 substantially coincides with the height position of the surface of the sponge 83 when the inkjet head 31 is in contact with the case portion 85. Therefore, when the inkjet head 31 is lowered, the space formed by the inkjet head 31 and the cap body 81 is sealed, and the nozzle hole 51 is dried by the solvent of the cleaning liquid evaporated from the surface of the sponge 83. Effectively suppressed.

また、本実施形態では、このキャップユニット８が拭き取り装置（第２の拭き取りユニット）としても機能する。すなわち、洗浄ユニット４２でインクジェットヘッド３１が洗浄されると、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに洗浄液が大量に付着する。この状態でインクジェットヘッド３１を拭き取りユニット７２まで移動させると、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに付着した洗浄液がステージ２、又は、ステージ２上の基材Ｗに落下する虞がある。また、大量に付着した状態で、拭き取りユニット７２で拭き取り動作を行うと、拭き取りユニット７２の布部材１０５だけでは吸収しきれず、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに洗浄液が残ったままになり、製品の品質を低下させる要因ともなる。そのため、予め、このキャップユニット８により、残留する洗浄液の拭き取り（予備拭き取り動作）が行われる。 Further, in the present embodiment, the cap unit 8 also functions as a wiping device (second wiping unit). That is, when the inkjet head 31 is cleaned by the cleaning unit 42, a large amount of cleaning liquid adheres to the nozzle surface 51a and the base material facing surface 30a. If the inkjet head 31 is moved to the wiping unit 72 in this state, the cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a and the substrate facing surface 30a may fall on the stage 2 or the substrate W on the stage 2. Further, when the wiping operation is performed by the wiping unit 72 in a state where a large amount of the material is adhered, the cloth member 105 of the wiping unit 72 cannot completely absorb the cloth member 105, and the cleaning liquid remains on the nozzle surface 51a and the base material facing surface 30a. It also causes a decrease in product quality. Therefore, the cap unit 8 wipes off the remaining cleaning liquid (preliminary wiping operation) in advance.

具体的には、洗浄ユニット４２による洗浄動作の後、ガントリ３２を移動させてキャップユニット８上にインクジェットヘッド３１を位置させる。そして、インクジェットヘッド３１を下降させて、図７（ｂ）に示すように、残留した洗浄液をスポンジ８３に吸収させる。すなわち、インクジェットヘッド３１のノズル面５１ａとスポンジ８３とが対向する状態で対向する方向に相対的に移動させ、インクジェットヘッド３１をスポンジ８３に対して僅かに押圧することにより吸収させる。 Specifically, after the cleaning operation by the cleaning unit 42, the gantry 32 is moved to position the inkjet head 31 on the cap unit 8. Then, the inkjet head 31 is lowered to allow the sponge 83 to absorb the remaining cleaning liquid as shown in FIG. 7B. That is, the nozzle surface 51a of the inkjet head 31 and the sponge 83 are relatively moved in the opposite directions in a state of facing each other, and the inkjet head 31 is slightly pressed against the sponge 83 to be absorbed.

なお、インクジェットヘッド３１の高さ位置は、ノズル面５１ａがスポンジ８３に必ずしも接触している必要はなく、少なくともノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに付着した洗浄液の液滴がスポンジ８３に接する程度に設定されていればよい。これにより、スポンジ８３に接触した液滴がスポンジ８３に吸収されることにより、後工程の洗浄ユニット７２による拭き取り動作の拭き取り精度を向上させることができる。 The height position of the inkjet head 31 does not necessarily mean that the nozzle surface 51a is in contact with the sponge 83, and at least the droplets of the cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a and the substrate facing surface 30a are in contact with the sponge 83. It suffices if it is set to. As a result, the droplets in contact with the sponge 83 are absorbed by the sponge 83, so that the wiping accuracy of the wiping operation by the cleaning unit 72 in the subsequent process can be improved.

このように、キャップユニット８による拭き取りにより、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに残留した洗浄液の液滴が除去されるため、残留した洗浄液がステージ２、又は、ステージ２上の基材Ｗに落下する虞、残留した洗浄液による製品の品質を低下させる問題を回避することができる。 In this way, by wiping with the cap unit 8, droplets of the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a and the base material facing surface 30a are removed, so that the remaining cleaning liquid is applied to the stage 2 or the base material W on the stage 2. It is possible to avoid the problem of dropping and deteriorating the quality of the product due to the residual cleaning liquid.

次に、洗浄装置４の動作について図８のフローチャートに基づいて説明する。この洗浄装置４による動作は、先の塗布動作が行われた後、次の新たな塗布動作を行う際に、インクジェットヘッド３１の吐出状態を保全するために行われる。 Next, the operation of the cleaning device 4 will be described with reference to the flowchart of FIG. The operation by the cleaning device 4 is performed in order to maintain the ejection state of the inkjet head 31 when the next coating operation is performed after the previous coating operation is performed.

まず、所定の塗布動作が行われた後、ディップ槽浸漬工程が行われる（ステップＳ１）。具体的には、インクジェットヘッド３１をディップ槽７１に移動させて、基材対向面３０ａがディップ槽７１に対向した状態でインクジェットヘッド３１を下降させることによりノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａ（単にノズル面５１ａ等と称す）を浸漬させる。この状態を所定時間保持させることにより、ノズル面５１ａ等に付着したインクを溶解させて除去させる。仮に、溶剤の乾燥速度が速くノズル面５１ａ等にインクが固着した場合でも、後工程のシャワー洗浄工程で除去されやすくなり洗浄を容易にすることができる。なお、このディップ槽浸漬工程は、ノズル面５１ａ等の汚れが軽微である場合は、省略してもよい。 First, after a predetermined coating operation is performed, a dip tank dipping step is performed (step S1). Specifically, the inkjet head 31 is moved to the dip tank 71, and the inkjet head 31 is lowered while the base material facing surface 30a faces the dip tank 71, whereby the nozzle surface 51a and the base material facing surface 30a (simply). The nozzle surface 51a or the like) is immersed. By holding this state for a predetermined time, the ink adhering to the nozzle surface 51a or the like is dissolved and removed. Even if the drying speed of the solvent is high and the ink adheres to the nozzle surface 51a or the like, it can be easily removed in the shower cleaning step of the subsequent step, and the cleaning can be facilitated. The dipping tank dipping step may be omitted if the nozzle surface 51a and the like are slightly soiled.

次に、シャワー洗浄工程が行われる（ステップＳ２）。具体的には、インクジェットヘッド３１を廃液トレイ４１上に移動させて、基材対向面３０ａが廃液トレイ４１内の洗浄フレームトレイ４４上に配置させる。そして、インクジェットヘッド３１を所定位置まで下降させた後、洗浄フレームトレイ４４を上昇させて洗浄フレームトレイ４４の側壁部４４ｂをインクジェットヘッド３１に当接させる。すなわち、側壁部４４ｂのシール部４６が基材対向面３０ａに当接することにより、基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成される領域が密封される。この状態を維持しつつ、洗浄液噴射部４３（シャワーノズル４７）から洗浄液を噴射させることにより、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａ等に直接洗浄液を吹き付ける。これにより、洗浄液の洗浄力、及び、噴射力により、ノズル面５１ａ等に付着したインクが除去される。 Next, a shower cleaning step is performed (step S2). Specifically, the inkjet head 31 is moved onto the waste liquid tray 41 so that the base material facing surface 30a is arranged on the cleaning frame tray 44 in the waste liquid tray 41. Then, after the inkjet head 31 is lowered to a predetermined position, the cleaning frame tray 44 is raised to bring the side wall portion 44b of the cleaning frame tray 44 into contact with the inkjet head 31. That is, when the seal portion 46 of the side wall portion 44b comes into contact with the base material facing surface 30a, the region formed by the base material facing surface 30a and the cleaning frame tray 44 is sealed. While maintaining this state, by injecting the cleaning liquid from the cleaning liquid injection unit 43 (shower nozzle 47), the cleaning liquid is directly sprayed on the nozzle surface 51a or the like of the head module 5. As a result, the ink adhering to the nozzle surface 51a and the like is removed by the cleaning power and the jetting power of the cleaning liquid.

次に、拭き取り工程が行われる（ステップＳ３）。本実施形態では、ノズル面５１ａ等に付着する洗浄液の液滴を押圧により吸収除去する予備拭き取り動作と、ノズル面５１ａ等を拭き取り除去する本拭き取り動作とが行われる。 Next, a wiping step is performed (step S3). In the present embodiment, a preliminary wiping operation for absorbing and removing droplets of cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a and the like by pressing and a main wiping operation for wiping and removing the nozzle surface 51a and the like are performed.

まず、予備拭き取り動作が行われる。具体的には、インクジェットヘッド３１をキャップユニット８上に移動させ、インクジェットヘッド３１を下降させて、残留した洗浄液をスポンジ８３に吸収させる。すなわち、ノズル面５１ａ等に付着した洗浄液の液滴にスポンジ８３を接触させることにより、ノズル面５１ａ等に付着した液滴がスポンジ８３に吸収されて除去される。すなわち、ノズル面５１ａ等に付着した洗浄液の雫が除去される。 First, a preliminary wiping operation is performed. Specifically, the inkjet head 31 is moved onto the cap unit 8 and the inkjet head 31 is lowered to allow the sponge 83 to absorb the remaining cleaning liquid. That is, by bringing the sponge 83 into contact with the droplets of the cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a or the like, the droplets adhering to the nozzle surface 51a or the like are absorbed by the sponge 83 and removed. That is, the drops of the cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a and the like are removed.

次に、本拭き取り動作が行われる。具体的には、インクジェットヘッド３１を拭き取りユニット７２の布部材上に移動させる。その際、インクジェットヘッド３１は、ステージ２上を通過するが、先の予備拭き取り動作を行っているため、ステージ２上に洗浄液の液滴が落下することはない。そして、インクジェットヘッド３１が布部材１０５上に移動した後、布部材１０５とノズル面５１ａ等とが接触した状態で布部材を走行させることにより、ノズル面５１ａ等に残留した洗浄液が拭き取られる。なお、この拭き取り工程では、残留した洗浄液を拭き取ればよく、従来のように、ノズル面５１ａ等に付着したインクを拭き取る必要はない。そのため、布部材１０５とノズル面５１ａ等とを接触する押圧力は、従来よりも小さく設定することができる。さらに、従来では、インクが乾燥する前に布部材１０５による拭き取りを行う必要があるため、ノズル面５１ａ等が布部材１０５で擦られる頻度が高くせざるを得なかったが、シャワーヘッドによる洗浄により、乾燥したインクであっても除去することができるため、布部材１０５による拭き取り頻度を従来に比べて抑えることができる。したがって、従来に比べて、布部材１０５の拭き取りによりノズル面５１ａ等の撥液性材料のコーティングが損傷を受けるのを抑えることができる。 Next, the main wiping operation is performed. Specifically, the inkjet head 31 is moved onto the cloth member of the wiping unit 72. At that time, the inkjet head 31 passes over the stage 2, but since the preliminary wiping operation is performed, the droplets of the cleaning liquid do not fall on the stage 2. Then, after the inkjet head 31 moves onto the cloth member 105, the cloth member is run in a state where the cloth member 105 and the nozzle surface 51a or the like are in contact with each other, so that the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a or the like is wiped off. In this wiping step, the residual cleaning liquid may be wiped off, and it is not necessary to wipe off the ink adhering to the nozzle surface 51a or the like as in the conventional case. Therefore, the pressing force for contacting the cloth member 105 with the nozzle surface 51a or the like can be set smaller than before. Further, conventionally, since it is necessary to wipe off the ink with the cloth member 105 before the ink dries, the nozzle surface 51a and the like have to be rubbed with the cloth member 105 more frequently, but by cleaning with the shower head. Since even dry ink can be removed, the frequency of wiping with the cloth member 105 can be suppressed as compared with the conventional case. Therefore, as compared with the conventional case, it is possible to prevent the coating of the liquid-repellent material such as the nozzle surface 51a from being damaged by wiping the cloth member 105.

次に、ブリード工程が行われる（ステップＳ４）。すなわち、ブリード動作により塗布動作によりノズル孔５１内に詰まったインクを除去することにより吐出不良を改善させ、ノズルを回復させる。具体的には、インクジェットヘッド３１を待機ゾーン６に移動させて排液トレイ６１上にインクジェットヘッド３１を位置させる。すなわち、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａが排液トレイ６１に対向した状態で一定量のインクを吐出させることによりブリード動作が行われる。そして、次の塗布動作に備えて排液トレイ６１上でフラッシング動作が行われる。 Next, a bleeding step is performed (step S4). That is, the ejection defect is improved and the nozzle is recovered by removing the ink clogged in the nozzle hole 51 by the coating operation by the bleeding operation. Specifically, the inkjet head 31 is moved to the standby zone 6 and the inkjet head 31 is positioned on the drainage tray 61. That is, the bleeding operation is performed by ejecting a certain amount of ink while the substrate facing surface 30a of the inkjet head 31 faces the drainage tray 61. Then, a flushing operation is performed on the drainage tray 61 in preparation for the next coating operation.

このように、上記実施形態における洗浄装置４によれば、洗浄液噴射部４３により直接ノズル面５１ａに洗浄液が噴射されるため、ノズル面５１ａに付着したインクに噴射の勢いと洗浄液成分を直接作用させることができる。したがって、従来のように布部材１０５で拭き取る場合に比べて、ノズル面５１ａが擦られることが抑えられ、乾燥したインクであっても分解して落としやすい状態にすることができるため、ノズル面５１ａの損傷を抑えてインクを除去することができる。 As described above, according to the cleaning device 4 in the above embodiment, the cleaning liquid is directly sprayed onto the nozzle surface 51a by the cleaning liquid injection unit 43, so that the ink adhered to the nozzle surface 51a is directly acted on by the jetting force and the cleaning liquid component. be able to. Therefore, as compared with the case of wiping with the cloth member 105 as in the conventional case, the nozzle surface 51a is suppressed from being rubbed, and even the dried ink can be decomposed and easily removed, so that the nozzle surface 51a can be easily removed. Ink can be removed by suppressing damage to the ink.

また、上記実施形態では、洗浄装置４にディップ槽７１、拭き取りユニット７２を有する例について説明したが、使用するインクが乾燥しにくい場合には、ディップ槽７１を省略したものであってもよい。また、ノズル面５１ａに残留する洗浄液の乾燥を他の手段（例えばブロー等）で行う場合には、拭き取りユニット７２を省略したものであってもよい。 Further, in the above embodiment, an example in which the cleaning device 4 has the dip tank 71 and the wiping unit 72 has been described, but if the ink to be used is difficult to dry, the dip tank 71 may be omitted. Further, when the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a is dried by another means (for example, blow), the wiping unit 72 may be omitted.

また、上記実施形態では、洗浄液噴射部４３であるシャワーノズル４７が、洗浄フレームトレイ４４内に所定間隔で固定されている例について説明したが、シャワーノズル４７を洗浄フレームトレイ４４内を移動できる構成にしてもよい。すなわち、シャワーノズル４７が洗浄フレームトレイ４４の長手方向に移動できる構成にすることにより、１つのシャワーノズル４７でインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａ全体に洗浄液が噴射される構成にしてもよい。 Further, in the above embodiment, the example in which the shower nozzle 47, which is the cleaning liquid injection unit 43, is fixed in the cleaning frame tray 44 at predetermined intervals has been described, but the shower nozzle 47 can be moved in the cleaning frame tray 44. It may be. That is, by configuring the shower nozzle 47 to move in the longitudinal direction of the cleaning frame tray 44, the cleaning liquid may be sprayed onto the entire surface of the inkjet head 31 facing the base material with one shower nozzle 47.

また、上記実施形態では、洗浄液の飛散を防止するためにシール部４６を設ける例について説明したが、飛散しても特に問題ない場合は、シール部４６を設けず、洗浄フレームトレイ４４をインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに極力接近させて洗浄液を噴射させる構成にしてもよい。 Further, in the above embodiment, an example in which the seal portion 46 is provided to prevent the cleaning liquid from scattering has been described, but if there is no particular problem even if the cleaning liquid is scattered, the seal portion 46 is not provided and the cleaning frame tray 44 is used as an inkjet head. The cleaning liquid may be sprayed as close as possible to the base material facing surface 30a of 31.

また、上記実施形態では、拭き取り工程において、予備拭き取り動作と本拭き取り動作とを行う例について説明したが、ノズル面５１ａ等に付着した汚れが僅かである場合には、シャワー洗浄工程の洗浄液量を少なくすることにより、ノズル面５１ａ等に残留した洗浄液の量が少ない場合には、予備拭き取り動作を省略してもよい。 Further, in the above embodiment, an example in which the preliminary wiping operation and the main wiping operation are performed in the wiping step has been described, but when the dirt adhering to the nozzle surface 51a or the like is slight, the amount of cleaning liquid in the shower cleaning step is increased. If the amount of the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a or the like is small by reducing the amount, the preliminary wiping operation may be omitted.

１インクジェット塗布装置
２ステージ
３液滴ユニット
４洗浄装置
８キャップユニット
３０ａ基材対向面
３１インクジェットヘッド
４１廃液トレイ
４３洗浄液噴射部
４４洗浄フレームトレイ
４４ｂ１シール部
４７シャワーノズル
５１ａノズル面 1 Inkjet coating device 2 Stage 3 Droplet unit 4 Cleaning device 8 Cap unit 30a Base material facing surface 31 Inkjet head 41 Waste liquid tray 43 Cleaning liquid injection part 44 Cleaning frame tray 44b1 Sealing part 47 Shower nozzle 51a Nozzle surface

Claims

A cleaning device for cleaning an inkjet head having a nozzle surface having a plurality of nozzle holes for ejecting ink.
The cleaning liquid injection part that ejects the cleaning liquid and
A waste liquid tray that receives the cleaning liquid ejected from the cleaning liquid injection unit, and
Is equipped with
A plurality of injection ports are formed in the cleaning liquid injection unit, and the cleaning liquid is directly injected from the injection ports toward the nozzle surface .
The cleaning liquid injection unit is provided in a cleaning frame tray arranged in the waste liquid tray, and in a state where the inkjet head is arranged on the cleaning frame tray, it is predetermined over the longitudinal direction of the inkjet head. A cleaning device characterized in that the cleaning liquid injection portions are arranged at intervals .

The cleaning frame tray is provided with a seal portion for preventing scattering of the cleaning liquid, and the seal portion comes into contact with the inkjet head while the inkjet head is arranged on the cleaning frame tray. The cleaning device according to claim 1 , wherein the cleaning liquid is prevented from being scattered to the outside of the cleaning frame tray.

The cleaning device according to claim 1 or 2 ,
A wiping device that wipes off the cleaning liquid adhering to the inkjet head after cleaning,
It is an inkjet coating device equipped with
The wiping device includes a wiping unit that wipes the cleaning liquid by relatively moving the nozzle surface of the inkjet head and the porous member in the facing directions in a state of facing each other.
In addition to the wiping unit, a wiping unit that wipes off the cleaning liquid by sliding the nozzle surface and the cloth member into contact with each other.
An inkjet coating device comprising.