JP6787016B2 - 積層コイル部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、積層コイル部品の製造方法に関する。

複数の絶縁体層が積層された積層体と、絶縁体層に積層方向から挟まれているインダクタ導体と、を備える積層コイル部品が知られている（例えば、特許文献１）。この積層コイル部品の製造方法は、導体パターンが設けられた複数のグリーンシートを積層し、焼成する工程を含んでいる。

特開２００５−０７０１７２号公報

上述の製造方法では、各導体パターンが積層方向に重なるように、複数のグリーンシートが積層される。しかしながら、導体パターンが積層方向に隣り合う導体パターンに対して積層方向に直交する直交方向にずれる積層ずれが生じる場合がある。

本発明は、積層ずれを抑制することが可能な積層コイル部品の製造方法を提供することを目的とする。

本発明者らは、積層ずれを抑制することが可能な積層コイル部品の製造方法について、調査研究を行った。その結果、本発明者らは、以下の事実を見出した。

導体パターンが設けられたグリーンシートを積層すると、導体パターンがグリーンシートに挟まれて積層方向に力を受ける。これにより、導体パターンが潰れて、直交方向に拡がった形状を呈する。導体パターンは、具体的には、直交方向の中央で積層方向に厚く、直交方向の端部近づくにつれて積層方向に薄くなり、直交方向の中央から端部に向かって傾斜する傾斜面を有する形状を呈する。この傾斜面により、導体パターンが、積層方向に隣り合う導体パターンに対して直交方向にずれ易い。

そこで、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、螺旋状のコイルを構成するコイル導体と絶縁体層とが積層されてなる積層体を備えた積層コイル部品の製造方法であって、絶縁体層となるグリーンシート上に、コイル導体となる導体パターンを設ける工程と、導体パターンが設けられた複数のグリーンシートを積層する工程と、を含み、導体パターンは、グリーンシートの積層方向に直交する直交方向において互いに対向する一対の第一側面を有し、複数のグリーンシートを積層する工程では、一対の第一側面のうち少なくとも一方に凹部が形成される。

この積層コイル部品の製造方法では、複数のグリーンシートを積層する工程により、導体パターンの一対の第一側面のうち少なくとも一方が、直交方向に拡がった形状ではなく、凹部が形成された形状となる。このため、導体パターンには、直交方向の中央から、凹部が形成された第一側面により構成される直交方向の端部までの間において、上述のような傾斜面が形成され難い。したがって、積層ずれを抑制することが可能となる。

本発明に係る積層コイル部品の製造方法では、複数のグリーンシートを積層する工程では、一対の第一側面のそれぞれに凹部が形成されてもよい。この場合、複数のグリーンシートを積層する工程により、導体パターンの一対の第一側面のそれぞれが、直交方向に拡がった形状ではなく、凹部が形成された形状となる。このため、導体パターンには、直交方向の中央から、各第一側面により構成される直交方向の各端部までの間において、上述のような傾斜面が更に形成され難い。したがって、積層ずれを更に抑制することが可能となる。

本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、螺旋状のコイルを構成するコイル導体と絶縁体層とが積層されてなる積層体を備えた積層コイル部品の製造方法であって、絶縁体層となるグリーンシート上に、断面が台形状を呈するとともにコイル導体となる導体パターンを設ける工程と、導体パターンが設けられた複数のグリーンシートを積層する工程と、を含む。

この積層コイル部品の製造方法では、複数のグリーンシートを積層する工程により、断面が台形状を呈する導体パターンがグリーンシートに挟まれて潰される。例えば、断面が半円状を呈する導体パターンが潰されると、導体パターンは直交方向に拡がった形状を呈し易い。これに対して、断面が台形状を呈する導体パターンが潰される場合、導体パターンが直交方向に拡がった形状を呈し難い。したがって、積層ずれを抑制することが可能となる。

本発明に係る積層コイル部品の製造方法では、導体パターンは、導体パターンを設ける工程においてグリーンシートと接触する第二側面と、第二側面と対向する第三側面と、を有し、複数のグリーンシートを積層する工程後において、第二側面は、第三側面よりも平らであってもよい。この場合、第三側面が第二側面側に凹んでいると共に、第二側面が第三側面と同等以上に第三側面側に凹んでいる場合と比べて、導体パターンが薄くなり難いので、導体パターンにおける応力集中を抑制することが可能となる。

本発明に係る積層コイル部品の製造方法によれば、積層ずれを抑制することが可能となる。

実施形態に係る積層コイル部品の斜視図である。 図１に示す積層コイル部品の分解斜視図である。 図１のIII-III線に沿った積層コイル部品の断面図である。 導体パターンの断面図である。 比較例に係る導体パターンの断面図である。 比較例に係る積層コイル部品の断面図である。 変形例に係る導体パターンの断面図である。 変形例に係る導体パターンの断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。

図１〜図３を参照して、実施形態に係る積層コイル部品を説明する。図１は、実施形態に係る積層コイル部品の斜視図である。図２は、図１に示す積層コイル部品の分解斜視図である。図３は、図１のIII-III線に沿った積層コイル部品の断面図である。なお、図２の分解斜視図では、積層体を構成する複数の絶縁体層及び積層体の両端部に配置された外部電極の図示を省略している。また、図３の断面図では、積層体の両端部に配置された外部電極の図示を省略している。

図１に示されるように、積層コイル部品１は、積層体２と、積層体２の両端部にそれぞれ配置された一対の外部電極４，５と、を備えている。

積層体２は、直方体形状を呈している。積層体２は、その外表面として、互いに対向する一対の端面２ａ，２ｂと、一対の端面２ａ，２ｂを連結するように一対の端面２ａ，２ｂの対向方向に延びる４つの側面２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆと、を有している。側面２ｄは、例えば積層コイル部品１を図示しない他の電子機器（例えば、回路基板、又は電子部品）に実装する際、他の電子機器と対向する面として規定される。

各端面２ａ，２ｂの対向方向と、各側面２ｃ，２ｄの対向方向と、各側面２ｅ，２ｆの対向方向とは、互いに略直交している。なお、直方体形状には、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。

積層体２は、複数の絶縁体層１１と、複数のコイル導体２１〜２５と、複数の引出導体２６，２７とが積層されることによって構成されている。各絶縁体層１１は、積層体２の各側面２ｃ，２ｄの対向方向に積層されている。すなわち、各絶縁体層１１の積層方向は、積層体２の各側面２ｃ，２ｄの対向方向と一致している。以下、各側面２ｃ，２ｄの対向方向を「積層方向」ともいう。各絶縁体層１１は、積層方向からみて略矩形形状を呈している。

各絶縁体層１１は、例えば磁性材料（Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−Ｍｇ系フェライト材料、又はＮｉ−Ｃｕ系フェライト材料等）を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の積層体２では、各絶縁体層１１は、その層間の境界が視認できない程度に一体化されている（図３参照）。なお、各絶縁体層１１を構成するセラミックグリーンシートの磁性材料には、Ｆｅ合金等が含まれていてもよい。各絶縁体層１１は、非磁性材料から構成されてもよい。

外部電極４は、積層体２の端面２ａ側に配置されており、外部電極５は、積層体２の端面２ｂ側に配置されている。すなわち、各外部電極４，５は、一対の端面２ａ，２ｂの対向方向に互いに離間して位置している。各外部電極４，５は、導電材（例えば、Ａｇ又はＰｄ等）を含んでいる。各外部電極４，５は、導電性金属粉末（例えば、Ａｇ粉末又はＰｄ粉末等）及びガラスフリットを含む導電性ペーストの焼結体として構成される。各外部電極４，５には、電気めっきが施されることにより、その表面にはめっき層が形成されている。電気めっきには、例えばＮｉ、Ｓｎ等が用いられる。

外部電極４は、端面２ａ上に位置する電極部分４ａと、側面２ｄ上に位置する電極部分４ｂと、側面２ｃ上に位置する電極部分４ｃと、側面２ｅ上に位置する電極部分４ｄと、側面２ｆ上に位置する電極部分４ｅと、の５つの電極部分を含んでいる。電極部分４ａは、端面２ａの全面を覆っている。電極部分４ｂは、側面２ｄの一部を覆っている。電極部分４ｃは、側面２ｃの一部を覆っている。電極部分４ｄは、側面２ｅの一部を覆っている。電極部分４ｅは、側面２ｆの一部を覆っている。５つの電極部分４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅは、一体的に形成されている。

外部電極５は、端面２ｂ上に位置する電極部分５ａと、側面２ｄ上に位置する電極部分５ｂと、側面２ｃ上に位置する電極部分５ｃと、側面２ｅ上に位置する電極部分５ｄと、側面２ｆ上に位置する電極部分５ｅと、の５つの電極部分を含んでいる。電極部分５ａは、端面２ｂの全面を覆っている。電極部分５ｂは、側面２ｄの一部を覆っている。電極部分５ｃは、側面２ｃの一部を覆っている。電極部分５ｄは、側面２ｅの一部を覆っている。電極部分５ｅは、側面２ｆの一部を覆っている。５つの電極部分５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅは、一体的に形成されている。

図２及び図３に示されるように、複数のコイル導体２１〜２５、及び複数の引出導体２６，２７は積層体２内に配置されている。各コイル導体２１，２３，２５は、平面視で互いに略同じ形状を呈している。各コイル導体２２，２４は、平面視で互いに略同じ形状を呈している。各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２６，２７は、断面略矩形状を呈している。各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２６，２７の断面形状の詳細については、図４を参照して導体パターン３２の断面形状として後述する。

各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２６，２７は、積層方向に互いに離間して配置されている。各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２６，２７の間には、それぞれ絶縁体層１１が配置されている。各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２６，２７は、積層方向で略同じ厚さを有している。各コイル導体２１〜２５及び引出導体２７は、各絶縁体層１１を介して積層方向に互いに重なって配置されている。つまり、各コイル導体２１〜２５及び引出導体２７は、それぞれ２つの絶縁体層１１により積層方向に挟まれている。各コイル導体２１〜２５及び引出導体２７間に配置された各絶縁体層１１の積層方向の長さ（最小長さ）は、例えば、各コイル導体２１〜２５及び引出導体２７の積層方向の長さ（最大長さ）よりも短い、もしくは同じとなる。

各コイル導体２１〜２５の端部同士は、各スルーホール導体１２ａ〜１２ｄにより接続されている。具体的に、コイル導体２１の端部Ｔ１とコイル導体２２の端部Ｔ２とは、スルーホール導体１２ａにより接続されている。コイル導体２２の端部Ｔ３とコイル導体２３の端部Ｔ４とは、スルーホール導体１２ｂにより接続されている。コイル導体２３の端部Ｔ５とコイル導体２４の端部Ｔ６とは、スルーホール導体１２ｃにより接続されている。コイル導体２４の端部Ｔ７とコイル導体２５の端部Ｔ８とは、スルーホール導体１２ｄにより接続されている。

このように、各コイル導体２１〜２５の各端部Ｔ１〜Ｔ８同士が各スルーホール導体１２ａ〜１２ｄを介して接続されていることにより、積層体２内に、螺旋状のコイル２０が構成されている。すなわち、積層コイル部品１は、積層体２内に、コイル２０を備えている。コイル２０は、積層方向に互いに離間しており且つ互いに電気的に接続されている複数のコイル導体２１〜２５を含んでいる。コイル２０は、積層方向に沿った軸心を有している。

各コイル導体２１〜２５は、積層方向でこの順に配置されている。コイル導体２１は、各コイル導体２１〜２５のうち、積層方向で積層体２の側面２ｃに最も近い位置に配置されている。コイル導体２１の端部Ｅ１は、コイル２０の一方の端部Ｅ１を構成している。コイル導体２５は、各コイル導体２１〜２５のうち、積層方向で積層体２の側面２ｄに最も近い位置に配置されている。コイル導体２５の端部Ｅ２は、コイル２０の他方の端部Ｅ２を構成している。

引出導体２６は、コイル導体２１よりも積層方向で積層体２の側面２ｃ側に配置されている。引出導体２６とコイル導体２１とは、積層方向で隣り合っている。引出導体２６の端部Ｔ９は、スルーホール導体１２ｅによってコイル導体２１の端部Ｅ１と接続されている。すなわち、引出導体２６とコイル２０の端部Ｅ１とが、スルーホール導体１２ｅによって接続されている。

引出導体２６の端部２６ａは、積層体２の端面２ｂに露出しており、端面２ｂを覆う外部電極５の電極部分５ａと接続されている。すなわち、引出導体２６と外部電極５とが接続されている。したがって、コイル２０の端部Ｅ１と外部電極５とは、引出導体２６及びスルーホール導体１２ｅを介して電気的に接続されている。

引出導体２７は、コイル導体２５よりも積層方向で積層体２の側面２ｄ側に配置されている。引出導体２７とコイル導体２５とは、積層方向で隣り合っている。引出導体２７の端部Ｔ１０は、スルーホール導体１２ｆによってコイル導体２５の端部Ｅ２と接続されている。すなわち、引出導体２７とコイル２０の端部Ｅ２とが、スルーホール導体１２ｆによって接続されている。

引出導体２７の端部２７ａは、積層体２の端面２ａに露出しており、端面２ａを覆う外部電極４の電極部分４ａと接続されている。すなわち、引出導体２７と外部電極４とが接続されている。したがって、コイル２０の端部Ｅ２と外部電極４とは、引出導体２７及びスルーホール導体１２ｆを介して電気的に接続されている。

各コイル導体２１〜２５、各引出導体２６，２７及び各スルーホール導体１２ａ〜１２ｆは、例えば導電材（例えば、Ａｇ又はＰｄ）を含んでいる。各コイル導体２１〜２５、各引出導体２６，２７、及び各スルーホール導体１２ａ〜１２ｆは、導電性金属粉末（例えば、Ａｇ粉末又はＰｄ粉末）を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。各コイル導体２１〜２５、各引出導体２６，２７、及び各スルーホール導体１２ａ〜１２ｆには、例えば金属酸化物（ＴｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ₃、ＺｒＯ_２）が含有されていてもよい。この場合、各コイル導体２１〜２５、各引出導体２６，２７、及び各スルーホール導体１２ａ〜１２ｆは、上記金属酸化物を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。この場合によれば、導電性ペーストの焼成時における収縮率を小さくすることができる。

次に、図４を参照して、積層コイル部品１の製造方法について説明する。図４は、導体パターンの断面図である。

まず、積層体２の主成分であるフェライト粉末にバインダ樹脂等を混合して、絶縁体スラリーを用意する。用意した絶縁体スラリーを、ドクターブレード法によって基材（例えば、ＰＥＴフィルムなど）上に塗布して、絶縁体層１１となる絶縁体グリーンシート３１（図４（ａ）参照）を形成する。絶縁体グリーンシート３１は、主面３１ａを有している。次に、絶縁体グリーンシート３１おけるスルーホール導体１２ａ〜１２ｆ（図２参照）の形成予定位置に、レーザ加工によって貫通孔を形成する。

次に、第１の導電性ペーストを絶縁体グリーンシート３１の貫通孔内に充填する。第１の導電性ペーストは、導電性金属粉末及びバインダ樹脂等を混合して作製される。続いて、図４の（ａ）に示されるように、絶縁体グリーンシート３１の主面３１ａ上に、第１の導電性ペーストを塗布して、各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２６，２７となる導体パターン３２を設ける。このとき、導体パターン３２は、貫通孔内の導電性ペーストと接続される。

導体パターン３２の断面は台形状を呈している。導体パターン３２は、幅方向（主面３１ａに沿う方向）において互いに対向する一対の側面３２ａ，３２ｂと、高さ方向（主面３１ａに直交する方向）において互いに対向する一対の側面３２ｃ，３２ｄと、を有している。なお、幅方向は、直交方向に対応し、高さ方向は、積層方向に対応する。側面３２ｃは、導体パターン３２を設ける工程において絶縁体グリーンシート３１の主面３１ａと接触する面である。一対の側面３２ｃ，３２ｄは、主面３１ａに略平行である。導体パターン３２の幅は、側面３２ｃにおいて最大となるとともに、側面３２ｄにおいて最小となり、側面３２ｃから側面３２ｄに向かって徐々に減少する。導体パターン３２の断面の幅（最大幅）に対する高さ（最大高さ）の比であるアスペクト比は、例えば、０．５以上１．０未満、もしくは０．７以上１．１未満である。側面３２ｃの幅方向の中央と、側面３２ｄの幅方向の中央とは、高さ方向に互いに重なっている。

次に、絶縁体グリーンシート３１を積層する。ここでは、導体パターン３２が設けられた複数の絶縁体グリーンシート３１を基材から剥がして積層し、積層方向に加圧して積層体グリーンを形成する。このとき、各コイル導体２１〜２５及び引出導体２７となる各導体パターン３２が積層方向に互いに重なるように、各絶縁体グリーンシート３１を積層する。絶縁体グリーンシート３１を積層する工程において、導体パターン３２は絶縁体グリーンシート３１に挟まれて積層方向に力を受ける。これにより、図４の（ｂ）に示されるように、導体パターン３２は積層方向に潰れる。

潰れた状態において、導体パターン３２の断面の直交方向の長さ（最大長さ）に対する積層方向の長さ（最大長さ）の比であるアスペクト比は、例えば、０．２以上０．３以下となる。このとき、一対の側面３２ａ，３２ｂのうち少なくとも一方には、凹部３２ｅが形成される。ここでは、側面３２ａに凹部３２ｅが形成される。凹部３２ｅは側面３２ｂに向かって凹んでいる。側面３２ｂは、積層方向の中央が直交方向に膨らんだ（拡がった）形状を呈する。一対の側面３２ｃ，３２ｄは、直交方向に略平行である。

次に、積層体グリーンを切断機で所定の大きさのチップに切断しグリーンチップを得る。次に、グリーンチップから、各部に含まれるバインダ樹脂を除去した後、このグリーンチップを焼成する。これにより、積層体２が得られる。図３に示される各コイル導体２１〜２５及び各引出導体２７の断面形状は、図４の（ｂ）に示される、上述した潰れた状態の導体パターン３２の断面形状と同等である。次に、積層体２の一対の端面２ａ，２ｂのそれぞれに対して第２の導電性ペーストを設ける。第２の導電性ペーストは、導電性金属粉末、ガラスフリット及びバインダ樹脂等を混合して作製される。続いて、熱処理を施すことにより第２の導電性ペーストを積層体２に焼付けて、一対の外部電極４，５を形成する。一対の外部電極４，５の表面に電気めっきを施して、メッキ層を形成してもよい。以上の工程により、積層コイル部品１が得られる。

次に、図５及び図６を参照して、比較例について説明しながら、本実施形態に係る積層コイル部品１の作用効果を説明する。図５は、比較例に係る導体パターンの断面図である。図６は、比較例に係る積層コイル部品の断面図である。

比較例に係る積層コイル部品の製造方法は、導体パターン１３２の形状の点で、実施形態に係る積層コイル部品１の製造方法と相違し、その他の点で一致している。比較例では、図５の（ａ）に示されるように、導体パターン１３２は、断面半円状を呈している。即ち、導体パターン１３２は、半円柱状を呈している、導体パターン１３２の断面のアスペクト比は、例えば０．３以下である。

このような形状の導体パターン１３２が主面３１ａ上に設けられた絶縁体グリーンシート３１を積層すると、導体パターン１３２が潰れて、図５の（ｂ）に示されるように、直交方向に拡がった形状を呈する。導体パターン１３２は、具体的には、直交方向の中央で積層方向に厚く、直交方向の端部近づくにつれて積層方向に薄くなり、直交方向の中央から端部に向かって傾斜する傾斜面１３２ｆを有する形状を呈する。

このような傾斜面１３２ｆにより、導体パターン１３２は隣り合う導体パターン１３２に対して直交方向にずれ易い。この結果、図６に示されるように、比較例に係る積層コイル部品１０１では多数の積層ずれが生じる。比較例に係る積層コイル部品１０１は、各コイル導体１２１〜１２５、引出導体１２６（不図示）及び引出導体１２７の断面形状と、それらの形状に起因する積層ずれの点で、実施形態に係る積層コイル部品１と相違し、その他の点で一致している。

これに対して、積層コイル部品１の製造方法では、断面が台形状を呈する導体パターン３２が絶縁体グリーンシート３１の主面３１ａ上に設けられる。複数の絶縁体グリーンシート３１を積層する工程により、この導体パターン３２が絶縁体グリーンシート３１に挟まれて潰される。このように断面が台形状を呈する導体パターン３２が潰されるので、導体パターン３２が直交方向に拡がった形状を呈し難い。

導体パターン３２は、一対の側面３２ａ，３２ｂのうち少なくとも一方が、直交方向に拡がった形状ではなく、凹部３２ｅが形成された形状となる。このため、導体パターン３２には、直交方向の中央から、直交方向の端部までの間において、上述のような傾斜面１３２ｆが形成され難い。この結果、図３に示されるように、積層コイル部品１では積層ずれを抑制することが可能となる。図３では、一例として積層ずれが全くない場合を示しているが、仮に積層ずれが生じたとしても、積層コイル部品１では、積層コイル部品１０１のような多数の積層ずれは生じ難い。

本発明は上述した実施形態に限らず、様々な変形が可能である。

図７及び図８は、変形例に係る導体パターンの断面図である。図７の（ａ）に示されるように、絶縁体グリーンシート３１の主面３１ａ上に導体パターン３２を設ける工程では、導体パターン３２は、例えば、側面３２ｄの幅方向の中央部が側面３２ｃに向かって凹む形状を呈していてもよい。また、図７の（ｂ）に示されるように、側面３２ｃの幅方向の中央と、側面３２ｄの幅方向の中央とは、高さ方向に互いに重ならなくてもよい。

図８の（ａ）に示されるように、複数の絶縁体グリーンシート３１を積層する工程では、例えば、導体パターン３２が潰れて、一対の側面３２ａ，３２ｂのそれぞれに凹部３２ｅが形成されてもよい。この場合、導体パターン３２には、直交方向の中央から、直交方向の端部までの間において、上述のような傾斜面１３２ｆが更に形成され難い。したがって、積層ずれを更に抑制することが可能となる。また、図８の（ｂ）に示されるように、側面３２ｄの直交方向の中央が側面３２ｃ側に凹んでいてもよい。即ち、側面３２ｃは、側面３２ｄよりも平らであってもよい。側面３２ｃの直交方向の中央が側面３２ｄと同等以上に側面３２ｄ側に凹んでいる場合、凹みの影響が大きい部分における導体パターン３２の厚さ（積層方向の長さ）と、凹みの影響が小さい部分における導体パターン３２の厚さとの差が大きくなる。側面３２ｃが側面３２ｄよりも平らである場合、この差を抑制することができる。つまり、導体パターン３２が薄くなり難いので、導体パターン３２における応力集中を抑制することが可能となる。

凹部３２ｅは、導体パターン３２の長さ方向に沿って連続的に形成されていてもよいし、導体パターン３２の長さ方向に沿って断続的に形成されていてもよい。凹部３２ｅは、積層方向に２つ以上並んで形成されていてもよい。

１…積層コイル部品、２…積層体、１１…絶縁体層、２０…コイル、２１〜２５…コイル導体、３１…絶縁体グリーンシート、３２…導体パターン、３２ａ〜３２ｄ…側面、３２ｅ…凹部。

Claims (5)

1. 螺旋状のコイルを構成するコイル導体と絶縁体層とが積層されてなる積層体を備えた積層コイル部品の製造方法であって、
   前記絶縁体層となるグリーンシート上に、前記コイル導体となる導体パターンを設ける工程と、
   前記導体パターンが設けられた複数の前記グリーンシートを積層する工程と、を含み、
   前記導体パターンは、前記グリーンシートの積層方向に直交する直交方向において互いに対向する一対の第一側面を有し、
   複数の前記グリーンシートを積層する工程では、前記一対の第一側面のうち少なくとも一方に凹部が形成される、積層コイル部品の製造方法。
2. 複数の前記グリーンシートを積層する工程では、前記一対の第一側面のそれぞれに前記凹部が形成される、請求項１に記載の積層コイル部品の製造方法。
3. 螺旋状のコイルを構成するコイル導体と絶縁体層とが積層されてなる積層体を備えた積層コイル部品の製造方法であって、
   前記絶縁体層となるグリーンシート上に、断面が台形状を呈するとともに前記コイル導体となる導体パターンを設ける工程と、
   前記導体パターンが設けられた複数の前記グリーンシートを積層する工程と、を含み、
   前記導体パターンは、アスペクト比が０．５以上１．０未満もしくは０．７以上１．１未満となるように設けられる、積層コイル部品の製造方法。
4. 前記導体パターンは、前記導体パターンを設ける工程において前記グリーンシートと接触する第二側面と、前記第二側面と対向する第三側面と、を有し、
   複数の前記グリーンシートを積層する工程後において、前記第二側面は、前記第三側面よりも平らである、請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層コイル部品の製造方法。
5. 複数の前記グリーンシートを積層する工程後において、前記第三側面は、前記第二側面側に凹んでいる、請求項４に記載の積層コイル部品の製造方法。

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