JP6699722B2 - 画像測定方法、画像測定プログラム及び画像測定装置、並びに物品の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態に係る画像測定装置について、図1〜図13に基づいて詳細に説明する。図1には、第1の実施形態に係る画像測定装置100の構成が概略的に示されている。
(1)幾何形状測定部25は、ユーザが表示装置193に表示された画像上で入力装置195を介して選択した箇所(例えば、点)の周辺の輝度値の平均値を算出し、算出した平均値を用いて画像を2値化する。一例として、入力装置195を介して画像上で選択した箇所の周囲10×10ピクセルの輝度値の平均値を算出し、算出した平均値の50%を閾値として画像を2値化する。
(2)次に、幾何形状測定部25は、ユーザが選択した箇所を始点とし、始点を中心として複数の方向に沿って、測定対象物7の画像における画素の輝度値(信号強度)に基づくコントラストを算出し、複数の方向について算出したコントラストのうち、コントラストが最も大きい方向をスキャン方向として決定(このスキャン方向は測定対象物7の輪郭(幾何形状)に対してほぼ直交する方向になる)し、その方向においてコントラストが最も大きくなる箇所の座標を検出して幾何形状の一部(言い換えると、画像中における測定対象物7の輪郭上の点)と特定する。
(3)次に、幾何形状測定部25は、決定したスキャン方向とは異なる方向に(例えばスキャン方向と直交する方向に)所定のピッチだけ離れた位置で再度、(2)のスキャン方向に沿ってコントラストを算出し、コントラストが最大となる箇所の座標を検出して幾何形状の一部(輪郭上の点)と特定する。
(4)幾何形状測定部25は、幾何形状の一部(輪郭上の点)が見つからなくなるまで(3)を繰り返し、測定対象物7の輪郭上の点列を取得する。なお、(3)を繰り返す際、特定した幾何形状に応じてスキャン方向を補正してもよい。具体的には、特定した幾何形状の一部の形状に基づいて幾何形状全体を予測し、予測した幾何形状に対してスキャン方向が直交するようにスキャン方向を補正してもよい。
(5)次に、幾何形状測定部25は、ユーザによって選択された幾何形状の種類に基づいて、取得した輪郭上の点列から幾何形状を特定する。また、幾何形状測定部25は、特定した結果に応じて輪郭上の点列の座標(点列データ)を利用して幾何形状に関する測定を行う。具体的には、(5)の処理では、幾何形状測定部25は、ユーザがメニュー40において選択した幾何形状(直線や円)に近似する形状を輪郭上の点列から求め、求めた近似形状と輪郭上の点列に含まれる各点との誤差を求めるとともに分散を求める。そして、分散が所定の閾値よりも小さければ、幾何形状測定部25は、分散が所定の閾値よりも小さかった近似形状の種類(すなわち、幾何形状の種類)を決定し、画像中の測定対象物7における幾何形状を特定する。更に、輪郭上の点の点列の座標(点列データ)に基づいて、特定した幾何形状に関する測定を実行する。一方、分散が所定の閾値よりも大きければ、エラーとする。
内積=(v1x×v2x+v1y×v2y) …(1)
交角=arccos(内積)[rad] …(2)
図7は、幾何形状測定処理を示すフローチャートである。なお、図7の処理の前提として、XYステージ5上に載置された測定対象物7の撮像処理は、撮像制御部21の制御の下、完了しているものとする。また、表示制御部122Aは、図9に示すような画面(測定対象物7の画像とメニュー40を含む画面)を表示装置193に表示しているものとする。
次に、図8のフローチャートに沿って、測定候補の算出処理について説明する。従来においては、ユーザは、まず多数の測定項目が列挙されたメニュー画面から算出したい測定項目を選択し、選択した測定項目を算出するために必要な幾何形状の組合せを特定するという操作を行う必要があった。多数の測定項目の中から算出したい測定項目を選択することはユーザにとって大変煩雑な操作となり、測定のための操作性が低かった。ユーザによっては選択する測定項目を誤り、所望の測定を行えない等の不都合が生じていた。また、測定項目が選択できたとしても選択した測定項目を算出するために必要な幾何形状を選択する操作が必要となるため、測定のための操作性が悪かった。測定のための操作性が低いことにより、例えば、測定初心者にとっては所望の測定項目の算出を失敗するおそれがあり、また測定熟練者にとっても測定のための操作に時間を要するため、効率的な測定項目の算出を妨げるおそれがあった。そこで、本実施形態では、図8のフローチャートに沿った処理を実行することとしている。
本第1の実施形態では、幾何形状のアイコン(幾何形状関連情報)が選択可能に表示され、ユーザが複数の幾何形状のアイコンを選択した場合に、選択した幾何形状のアイコンそれぞれに対応する幾何形状の組み合わせに基づく測定候補(表示項目)のアイコンが選択可能に表示され、ユーザが測定候補(表示項目)のアイコンのいずれかを選択した場合に、測定候補(算出項目)が算出される場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、幾何形状のアイコン(幾何形状関連情報)が選択可能に表示され、ユーザが1つの幾何形状のアイコンを選択した場合に、選択した1つの幾何形状のアイコンに対応する1つの幾何形状から測定できる測定項目(図2参照)を測定候補としてもよい。この場合、アイコンを介して選択された1つの幾何形状に基づく測定項目のアイコンが測定候補のアイコンとして表示装置193に表示され、ユーザが測定候補のアイコンのいずれかを選択した場合に、その測定候補の算出結果が出力されるようにしてもよい。本変形例は、図7、図8の処理を一部改変することで、実現することができる。以下、図7、図8を用いて、詳細に説明する。
本変形例においては、図7のステップS10において、選択受付部23が、ユーザが入力装置195を介してメニュー40内の幾何形状を選択するとともに、画像上の任意の箇所を指定するまで待機する。ユーザによる選択及び指定が行われて、ステップS12に移行すると、幾何形状測定部25は、前述したようにして、測定対象物7の輪郭上の点列の座標(点列データ)を算出すると共に幾何形状の特定を行う。例えば、ユーザが幾何形状として円を選択して、画像上の任意の箇所を指定した場合には、円の輪郭上の点列の座標が算出されると共に輪郭上の点列(すなわち、幾何形状)を円と特定する。なお、本変形例では、ステップS14は実行されないものとする。
本変形例の図8の処理においては、まずステップS30で、算出指示受付部26が、ユーザが入力装置195を介して表示装置193に表示されている幾何形状を示すアイコンを選択するまで待機する。幾何形状を表すアイコンが選択され、ステップS32に移行すると、算出指示受付部26は、選択されたアイコンが幾何形状のアイコンであるか否かを判断する。このステップS32に判断が否定された場合には、ステップS40に移行するが、肯定された場合には、ステップS38に移行する(本変形例では、ステップS34、S36は実行されない)。
以下、第2の実施形態について、図14〜図16に基づいて、詳細に説明する。なお、本第2の実施形態の画像測定装置の構成は、上述した第1の実施形態の画像測定装置100と同様となっている。
以下、第3の実施形態について、図17〜図20に基づいて、詳細に説明する。なお、本第3の実施形態の画像測定装置の構成は、上述した第1の実施形態の画像測定装置100と同様となっている。
次に、第4の実施形態について、図21〜図23に基づいて詳細に説明する。なお、本第4の実施形態の画像測定装置の構成は、上述した第1の実施形態の画像測定装置100と同様となっている。
次に、第5の実施形態について、図24に基づいて説明する。図24(a)には、第5の実施形態に係る、幾何形状のアイコンと、測定候補のアイコンの表示例について示している。なお、本第5の実施形態では、算出指示受付部26は、表示制御部122Aを介して、ユーザが選択した複数の幾何形状に含まれる全組合せに対応する測定候補を表示するものとする。すなわち、ユーザが1つの円のアイコンと2つの直線のアイコンを選択した場合には、円のアイコンと一方の直線のアイコンとの組合せ、円のアイコンと他方の直線のアイコンとの組合せ、2つの直線のアイコンの組合せ、のそれぞれに対応する測定候補が表示されるものとする。
次に、第6の実施形態について、図25〜図27に基づいて説明する。
次に、第7の実施形態について、図28、図29に基づいて説明する。
34,134,234,334 組合せテーブル(定義部)
100 画像測定装置
122A 表示制御部
122B 算出結果出力部(出力部の一部)
193 表示装置
Claims (23)
- 測定対象物を画像測定する方法であって、
前記測定対象物における幾何形状の関連情報である幾何形状関連情報を選択可能に表示することと、
選択された前記幾何形状関連情報に対応する複数の幾何形状に基づく測定候補の関連情報を選択可能に表示することと、
選択された前記測定候補の関連情報に対応する測定候補に基づく算出結果を出力することを含む画像測定方法。 - 幾何形状と、該幾何形状に基づく前記測定候補の関連情報とを関連付けた情報を参照して、選択された前記幾何形状関連情報に対応する前記複数の幾何形状に基づく測定候補の関連情報を選択可能に表示する請求項1に記載の画像測定方法。
- 前記測定候補の関連情報を選択可能に表示することにおいては、表示される前記測定候補の関連情報に対応する測定候補は、選択された複数の幾何形状の組み合わせに基づいて成り立つ複数の測定項目を含む請求項1又は2に記載の画像測定方法。
- 前記幾何形状関連情報は、幾何形状を表すアイコンと、幾何形状を示すリストと、幾何形状の画像との少なくとも1つを含む請求項1〜3のいずれか一項に記載の画像測定方法。
- 前記測定候補の関連情報は、測定候補を表すアイコンと、測定候補を示すリストと、測定候補を表す図形との少なくとも1つを含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の画像測定方法。
- 前記幾何形状関連情報を表示することにおいては、既に選択された幾何形状関連情報に対応する幾何形状に基づいて前記測定対象物の測定候補が成り立つ幾何形状関連情報を、他の幾何形状関連情報とは異なる態様で表示する、又は該他の幾何形状関連情報を表示しない請求項1に記載の画像測定方法。
- 更に、前記画像における範囲を指定することを含み、
前記幾何形状関連情報を表示することにおいては、指定された前記範囲に含まれる幾何形状に対応する幾何形状関連情報と前記範囲に含まれない幾何形状に対応する幾何形状関連情報とを異なる態様で表示する、又は前記範囲に含まれない幾何形状に対応する幾何形状関連情報を表示しない請求項1に記載の画像測定方法。 - 前記測定候補の関連情報を表示することにおいては、前記測定対象物の幾何形状に基づく測定候補の関連情報の内、値を算出できない又は算出される値が所定閾値を逸脱する測定候補の関連情報を、他の測定候補の関連情報とは異なる態様で表示する又は表示しない請求項1〜7のいずれか一項に記載の画像測定方法。
- 前記測定候補の関連情報を表示することにおいては、前記測定候補の関連情報の選択履歴に基づいて、前記測定候補の関連情報のそれぞれを異なる態様で表示する請求項1〜8のいずれか一項に記載の画像測定方法。
- 前記測定候補の関連情報を表示することにおいては、関連する測定候補の関連情報同士をグループ化して表示する請求項1〜9のいずれか一項に記載の画像測定方法。
- 前記測定候補の関連情報を表示することにおいては、幾何形状と、該幾何形状に基づく測定候補の関連情報との対応関係を視認可能に表示する請求項1〜10のいずれか一項に記載の画像測定方法。
- 更に、前記測定対象物の画像から幾何形状を特定することと、
表示された幾何形状関連情報の選択を受け付けることと、
表示された測定候補の関連情報の選択を受け付けることと、を含む請求項1〜10のいずれか一項に記載の画像測定方法。 - 物品を製造する工程と、
前記製造する工程で製造した前記物品を測定対象物として、請求項1〜12のいずれか一項に記載の画像測定方法を用いて前記測定候補に基づく値を算出する工程と、
前記算出する工程で算出した値に基づいて、前記物品の良否を判定する工程と、
を含む物品の製造方法。 - 測定対象物を画像測定する画像測定プログラムであって、
前記測定対象物における幾何形状の関連情報である幾何形状関連情報を選択可能に表示することと、
選択された前記幾何形状関連情報に対応する複数の幾何形状に基づく測定候補の関連情報を選択可能に表示することと、
表示した前記測定候補の関連情報の内、選択された前記測定候補の関連情報に対応する測定候補に基づく算出結果を出力することと、を含む処理をコンピュータに実行させる画像測定プログラム。 - 前記測定候補の関連情報を選択可能に表示することにおいては、表示される前記測定候補の関連情報に対応する測定候補は、選択された複数の幾何形状の組み合わせに基づいて成り立つ複数の測定項目を含む請求項14に記載の画像測定プログラム。
- 前記幾何形状関連情報を表示することにおいては、既に選択された幾何形状関連情報に対応する幾何形状に基づいて前記測定対象物の測定候補が成り立つ幾何形状関連情報を、他の幾何形状関連情報とは異なる態様で表示する、又は該他の幾何形状関連情報を表示しない請求項14に記載の画像測定プログラム。
- 前記画像測定プログラムは、更に、前記画像における範囲を指定することを含む処理をコンピュータに実行させ、
前記幾何形状関連情報を表示することにおいては、指定された前記範囲に含まれる幾何形状に対応する幾何形状関連情報と前記範囲に含まれない幾何形状に対応する幾何形状関連情報とを異なる態様で表示する、又は前記範囲に含まれない幾何形状に対応する幾何形状関連情報を表示しない請求項14に記載の画像測定プログラム。 - 前記測定候補の関連情報を表示することにおいては、前記測定対象物の幾何形状に基づく測定候補の関連情報の内、値を算出できない又は算出される値が所定閾値を逸脱する測定候補の関連情報を、他の測定候補の関連情報とは異なる態様で表示する又は表示しない請求項14〜17のいずれか一項に記載の画像測定プログラム。
- 測定対象物を画像測定する画像測定装置であって、
前記測定対象物における幾何形状の関連情報である幾何形状関連情報を表示装置に選択可能に表示し、選択された前記幾何形状関連情報に対応する複数の幾何形状に基づく測定候補の関連情報を選択可能に表示する表示制御部と、
表示した前記測定候補の関連情報の選択を受け付けると、選択された前記測定候補の関連情報に対応する測定候補に基づく算出結果を出力する出力部と、を備える画像測定装置。 - 前記測定候補の関連情報を選択可能に表示することにおいては、表示される前記測定候補の関連情報に対応する測定候補は、選択された複数の幾何形状の組み合わせに基づいて成り立つ複数の測定項目を含む請求項19に記載の画像測定装置。
- 前記表示制御部は、前記幾何形状関連情報を表示することにおいては、既に選択された幾何形状関連情報に対応する幾何形状に基づいて前記測定対象物の測定候補が成り立つ幾何形状関連情報を、他の幾何形状関連情報とは異なる態様で表示する、又は該他の幾何形状関連情報を表示しない請求項19に記載の画像測定装置。
- 前記表示制御部は、前記幾何形状関連情報を表示することにおいて、前記画像における範囲を指定することを受け付けると、指定された前記範囲に含まれる幾何形状に対応する幾何形状関連情報と前記範囲に含まれない幾何形状に対応する幾何形状関連情報とを異なる態様で表示する、又は前記範囲に含まれない幾何形状に対応する幾何形状関連情報を表示しない請求項19に記載の画像測定装置。
- 前記表示制御部は、前記測定候補の関連情報を表示することにおいて、前記測定対象物の幾何形状に基づく測定候補の関連情報の内、値を算出できない又は算出される値が所定閾値を逸脱する測定候補の関連情報を、他の測定候補の関連情報とは異なる態様で表示する又は表示しない請求項19〜22のいずれか一項に記載の画像測定装置。
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