JP6638285B2 - ツールホルダ及びツールホルダユニット - Google Patents

Description

本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのダイヤモンドツールを保持するツールホルダ及びツールユニットに関するものである。

従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献１，２にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献３にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。

特開２００３−１８３０４０号公報 特開２００５−０７９５２９号公報 特開２０１３−０４３７８７号公報

従来の固定刃であるツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。角錐形のツールでは使用可能なポイントとなる頂点は２箇所又は最大で４箇所である。従って２箇所又は４箇所のポイントをすべて使用するとツールを交換する必要があり、交換頻度が高くなるという問題点があった。

又ダイヤモンド製の平板の周囲に複数のポイントを形成してダイヤモンドツールを構成した場合には、ダイヤモンドツールをツールホルダに保持する必要がある。ダイヤモンドのように硬度が高く、難加工性の素材において、平板の厚さを調整するためには砥石による研磨が通常行われるが、精度良く仕上げるには時間がかかり、容易ではない。しかし、ダイヤモンドツールをツールホルダに設けた溝に挿入して固定する場合、厚さが異なる種々のダイヤモンドツールを使用するには、厚さ毎に溝の隙間が異なる複数種類のツールホルダをあらかじめ準備しておく必要があるという問題点があった。

本発明はこのようなツールホルダの問題点に鑑みてなされたものであって、平板状のツールホルダを使用する場合に、ダイヤモンドツールの厚さにかかわらずダイヤモンドツールを保持することができるツールホルダ及びツールホルダユニットを提供することを目的とする。

この課題を解決するために、本発明のツールホルダは、２つの底面と、周囲に複数のポイントを有する、平板状のダイヤモンドツールを保持するツールホルダであって、ホルダ保持部、及び前記ホルダ保持部の先端部に形成されたツール保持部を有するツールホルダ本体と、前記ツールホルダのツール保持部に固定されたホルダ押さえと、を具備し、前記ツール保持部は、前記ツール保持部の中央部分に設けられ前記ツール保持部に前記ホルダ押さえを固定するためのねじ溝と、前記ツール保持部の先端に設けられ、前記ダイヤモンドツールの一方の底面に接触してダイヤモンドツールを保持するツール保持溝と、前記ねじ溝に対して前記ホルダ保持部側に設けられた、厚さ調整部材を挿入するための厚さ調整溝と、を有し、
前記ホルダ押さえは、下面が前記ダイヤモンドツールの他方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを固定するものである。

ここで前記厚さ調整部材は、前記ホルダ押さえの下面が前記ツール取付部の面に対して平行となるように、厚さが選択されたものとしてもよい。

ここで前記厚さ調整部材は、厚さ調整ピンとしてもよい。

この課題を解決するために、本発明のツールホルダユニットは、ツールホルダと、前記ツールホルダの先端に保持され、２つの底面と、周囲に複数のポイントを有する、平板状のダイヤモンドツールと、を具備し、前記ツールホルダは、直方体状のホルダ保持部、及び前記ホルダ保持部の先端部に形成されたツール保持部を有するツールホルダ本体と、前記ツールホルダのツール保持部に固定されたホルダ押さえと、を具備し、前記ツール保持部は、前記ツール保持部の中央部分に設けられ前記ツール保持部に前記ホルダ押さえを固定するためのねじ溝と、前記ツール保持部の先端に設けられ、前記ダイヤモンドツールの一方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを保持するツール保持溝と、前記ねじ溝に対して前記ホルダ保持部側に設けられた、厚さ調整部材を挿入するための厚さ調整溝と、を有し、
前記ホルダ押さえは、下面が前記ダイヤモンドツールの他方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを固定するものである。

ここで前記ダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、２つの底面と複数の外周面を有するベースと、前記外周面の交線である稜線と、少なくとも一方の底面より稜線に向けて傾けた傾斜面を有し、前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、前記傾斜面と前記稜線との交点をポイントとするものであってもよい。

ここで前記ダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、２つの底面と複数の外周面を有するベースと、前記ベースの少なくとも１つの角に対して、前記ベースの両底面より隣り合う２つの前記外周面に向けて傾けた第１，第２の傾斜面と、前記第１，第２の傾斜面の交線である稜線と、を具備し、少なくとも前記稜線を含む部分がダイヤモンドで形成されており、前記稜線の両端をポイントとするようにしてもよい。

このような特徴を有する本発明によれば、ダイヤモンドツールの周囲に多数のポイントを設けたダイヤモンドホルダをその厚さにかかわらずホルダの先端に支持することができる。又ホルダの先端に保持した状態で研磨してポイントを形成したり、ポイント部分を基板に押し当てて移動することによってスクライブすることができ、ツール本体部に対するポイントの位置決めを確実に行うことができる。

図１は本発明の実施の形態によるツールホルダに用いられるダイヤモンドツールの平面図及び側面図である。 図２は本実施の形態によるツールホルダ本体部の正面図及び側面図である。 図３は本実施の形態によるホルダ押さえ部材の正面図及び側面図である。 図４は本実施の形態によるツールホルダの組立てを示す斜視図である。 図５は本実施の形態によるツールホルダにダイヤモンドツールを保持したツールホルダユニットを示す正面図及び側面図である。 図６は本実施の形態によるダイヤモンドツールを保持するツールホルダをスクライブヘッドユニットに取付けた状態を示す正面図及び側面図である。 図７は本発明の実施の形態によるツールホルダに用いられるダイヤモンドツールの変形例を示す正面図及び側面図である。 図８は本発明のダイヤモンドツールの変形例のダイヤモンドツールを保持するツールホルダを示すスクライブヘッドユニットに取付けた状態を示す正面図及び側面図である。

次に本発明の実施の形態について説明する。まず図１は本実施の形態のツールホルダに保持されるマルチポイントダイヤモンドツール（以下、単にダイヤモンドツールという）１０の一例を示す平面図及び側面図である。このダイヤモンドツール１０は一定の厚さで回転対称の任意の数の辺から成る多角形の角柱をベースとする。この実施の形態では、一定厚さの四角柱のベース１１を単結晶ダイヤモンドにより構成し、その中心に貫通孔１２を有している。ベース１１には貫通孔１２を通る軸（図１（ａ）については紙面に垂直な軸）に平行な稜線１３ａ〜１３ｄが四角形の外周面に均等に形成されている。

さて本実施の形態ではベース１１に対して図１に示すように四方の角部分の四角柱の両底面から外周面が交差する稜線へ向けて面取りのように研磨する。即ち図１（ｂ）に示すようにベース１１の右側の底面の４つの角よりベース１１の稜線に向けて研磨して第１の傾斜面１４ａ〜１４ｄを形成する。このとき稜線を挟むベース１１の底面の辺と傾斜面との成す角が等しくなるように、即ち傾斜面が稜線の一端を頂点とした二等辺三角形となるように研磨する。このような傾斜面はレーザ加工又は機械加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、さらに精密な研磨面としてもよい。こうすれば各稜線１３ａ〜１３ｄと第１の傾斜面１４ａ〜１４ｄとの交点を頂点として、図１（ｂ）に示すようにベースの側面視において右側に４つのポイントＰ１〜Ｐ４を形成することができる。このときベース１１の傾斜面１４ａ〜１４ｄは天面となる。ここで天面とは、稜線を形成する２つの外周面に接し、稜線の一端を共有する面をいう。

次にベース１１の他方の底面より同様にしてベース１１の外周に向けて第２の傾斜面１５ａ〜１５ｄを形成する。このとき、第１の傾斜面と第２の傾斜面との間に稜線が残るよう、研磨範囲がベースの厚みを超えないように研磨する。こうすれば各稜線１３ａ〜１３ｄと第２の傾斜面１５ａ〜１５ｄとの交点をポイントとして図１（ｂ）に示すようにベースの側面視において左側に４個のポイントＰ５〜Ｐ８を形成することができる。このように稜線１３ａ〜１３ｄの両端をポイントＰ１〜Ｐ８とすることで、四角形のダイヤモンドツール１０について外周に８箇所のポイントを形成することができる。

次にツールホルダについて説明する。図２はツールホルダの本体部の正面図及び側面図であり、図３はホルダの押さえ部材の正面図及び側面図、図４はツールホルダの組立てを示す斜視図である。これらの図に示すようにツールホルダ２０の主要部を構成するツールホルダ本体２１は、直方体状のホルダ保持部２２ａと、その先端に直方体の上半分が切り欠かれた形状を有するツール取付部２２ｂとから成り立っている。ホルダ保持部２２ａは図２及び図４に示すようにツールホルダをスクライブ装置や加工装置等に固定するための取付用の貫通孔２３ａ，２３ｂ及び２４ａ，２４ｂが設けられる。又ツール取付部２２ｂはホルダ保持部２２ａに近い位置で切り欠かれた長手方向に垂直の厚さ調整溝２５を有している。先端部には図２（ａ）に示すように左右から切り欠かれた傾斜面２６ａ，２６ｂと、図２（ｂ）に示すように下方から切欠かれた傾斜面２６ｃを有している。又ツール取付部２２ｂのほぼ中央部分には中心軸に垂直にねじ溝２７が設けられている。ツール取付部２２ｂの表面にはツールホルダ本体２１の長手方向の中心軸に沿った一定深さのツール保持溝２８がねじ溝２７を通過して形成され、先端部ではツール保持溝２８は外側に向けて約９０°の角度で開放されている。言い換えれば、ツール保持溝２８は先端に向かうにつれて幅が広くなり、溝の内壁の延長線が交わる角度が９０°とされている。厚さ調整溝２５とツール保持溝２８とは同一の深さを有するものとする。ここでツール保持溝２８の９０°に開放されている領域は、前述した四角形のダイヤモンドツール１０を保持し、その先端部分を外部に突出させる保持領域となる。

さてこのツール取付部２２ｂの上部には図３に示すホルダ押さえ３０が取付けられる。ホルダ押さえ３０は略直方体状でツール取付部２２ｂの窪みに取付けられて直方体状のツールホルダ２０を構成するものである。ホルダ押さえ３０の先端部左右にはツール取付部２２ｂの傾斜面２６ａ，２６ｂに対応する傾斜面３１ａ，３１ｂが設けられ、上面には傾斜面２６ｃに対応する傾斜面３１ｃが設けられている。又中央部分には貫通孔３２が設けられている。貫通孔３２はねじによってホルダ押さえ３０をツール取付部２２ｂに固定するためのものであり、固定する際には図示のように厚さ調整溝２５には厚さ調整ピン３３が挿入される。

次にツールホルダの組立てについて図４，図５を参照しつつ説明する。図４に示すようにダイヤモンドツール１０を保持する場合には、まず厚さ調整部材としてダイヤモンドツール１０の厚さと同一の径を有する厚さ調整ピン３３を厚さ調整溝２５に挿入し、次いでツール保持溝２８にダイヤモンドツール１０を嵌め込んでその一部を突出させた状態で押さえ部材３０を被せ、ねじ３４を締め付けることによって固定する。図５（ｂ）はこの実施の形態によるツールホルダ２０にダイヤモンドツール１０を保持しているツールホルダユニットを示す。こうすればホルダ押さえ３０の下面が常にツール取付部２２ｂの面に対して平行に接することとなるため、先端にダイヤモンドツール１０を確実に固定することができる。

又ダイヤモンドツール１０を他のダイヤモンドツールに交換する際、その厚さが元のものと異なっても、新たなダイヤモンドツールの厚さに等しい径の厚さ調整ピン３３を用いることによって任意の厚さのダイヤモンドツールを固定することができる。こうして先端にダイヤモンドツールを固定した状態でその先端を研磨して前述した傾斜面１４ａ〜１４ｄ，１５ａ〜１５ｄを形成したり、研磨を終えたダイヤモンドツールを固定しているツールホルダユニットを用いてスクライブ装置に取付けることができる。

図６はこの先端にダイヤモンドツールを有するツールホルダユニットをスクライブヘッドユニットに取付けた状態を示す正面図及び側面図である。これらの図に示すようにスクライブヘッドユニット４０は板状のヘッドベース４１自体が図示しないスライド機構によって全体に上下動するように構成されている。そしてこのヘッドプレート４１にはスクライブ荷重用のエアシリンダ４２が固定される。エアシリンダ４２の下端は図６に示すようにロッド４２ａが伸縮自在に突出している。さて図６（ｂ）に示すようにヘッドプレート４１のロッド４２ａの下方には、ガイド機構４３とスライド部４４が設けられ、所定の荷重でスライド部４４を下方に押圧している。ガイド機構４３はスライド部４４を上下動自在に保持するものである。スライド部４４にはＬ字形のプレート４５が設けられる。プレート４５は図６（ａ）に示すようにスライド部４４と共に上下動するが、ストッパ４６によって下限が規制されている。そしてこのプレート４５には図６（ａ）に示すようにツールホルダ２０が貫通孔２３ｂ，２４ｂにねじ４７ａ，４７ｂを貫通させて斜め方向に固定されている。そしてスクライブヘッドユニット４０を矢印Ａ方向に移動させることでスクライブすることができる。

次にこの実施の形態のダイヤモンドツール１０を用いてスクライブする場合について、説明する。基板をスクライブする際には、スクライブヘッドユニット４０と共にツールホルダの１つのポイントＰ１を基板に対して接するまで下降させてスクライブヘッドユニット４０を図示の矢印Ａ方向に移動させ、スクライブを行う。このときダイヤモンドツール１０は転動させないので、同じポイントでスクライブを行うことができる。基板に接しているポイントＰ１が摩耗により劣化した場合には、ダイヤモンドツール１０を一旦ツールホルダ２０から取り外し、９０°回転させて再びツールホルダ２０に固定し、他のポイント、例えばポイントＰ２を基板に接触させて同様にしてスクライブを行う。

又ポイントＰ１〜Ｐ４の４箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール１０を反転させてツールホルダ２０に固定し、他方の側面のポイントＰ５〜Ｐ８を順次接触させてスクライブを行う。こうすれば更に４回ポイント位置を変化させてスクライブを行うことができ、合計８回ポイントを交換してスクライブを行うことができる。

次にダイヤモンドツールの変形例について説明する。図７は本実施の形態の変形例によるダイヤモンドツール５０の一例を示す側面図及び正面図である。このダイヤモンドツール５０は一定の厚さで正方形の板状のベース５１を単結晶ダイヤモンドにより構成し、その中心に貫通孔５２を有している。このベース５１に対して図７に示すように四方の角部分の両側より正面視においてＶ字形に研磨する。即ち一方の底面５１ａよりベースの外周面に向けてベース５１の厚さの１／２以上となるまで切欠いて、第１の傾斜面５３ａを形成する。このとき第１の傾斜面５３ａとベース５１の２つの隣り合う外周面５６、５９とがそれぞれ成す角が互いに等しくなるように切欠くことが好ましい。同様に、同じ底面５１ａより他の角についても第１の傾斜面５３ｂ〜５３ｄを形成する。次にベース５１の他方の底面５１ｂより同様にしてベース５１の２つの隣り合う外周面５６、５９に向けてベース５１の厚さの１／２程度となるまで切欠いて、台形となる第２の傾斜面５４ａ〜５４ｄを形成する。このような傾斜面はレーザ加工又は機械加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、稜線を形成する部分をより精密な研磨面としてもよい。

こうすれば同一の角に対する一対の第１，第２の傾斜面５３ａと５４ａが交わってベース５１の厚さ方向の中間、好ましくは図５（ｂ）に示すように中央位置に、ベースの底面５１ａ，５１ｂに平行で、かつ側面視におけるベースの対角線に対して垂直な稜線５５ａが形成される。同様にして第１，第２の傾斜面５３ｂと５４ｂ，５３ｃと５４ｃ，５３ｄと５４ｄが交わって夫々ベース５１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、ベースの底面５１ａ，５１ｂに平行な稜線５５ｂ，５５ｃ，５５ｄが構成され、ベースの対角線に対して垂直な４つの稜線がベース５１の角の部分に形成されることとなる。ここでベース５１の四方の外周面は天面５６，５７，５８，５９となる。ここで天面とは、稜線を形成する第１、第２の傾斜面に接し、稜線の一端を共有する面をいう。１つの稜線５５ａが天面５６，５９と接する稜線の両端、すなわち第１の傾斜面５３ａ、第２の傾斜面５４ａと天面５６，５９との交点をポイントＰ１，Ｐ２とする。このポイントＰ１，Ｐ２における天面と稜線のなす角度αは約１３５°となる。その他の３箇所の傾斜面についても同様であり、稜線５５ｂ〜５５ｄの両端の天面と接する点、すなわち第１の傾斜面５３ｂ〜５３ｄ、第２の傾斜面５４ｂ〜５４ｄと天面５６〜５９との交点を夫々ポイントＰ３〜Ｐ８とする。このように稜線５５ａ〜５５ｄの両端をポイントＰ１〜Ｐ８とすることで、図７（ａ）に示すように側面視において八角形となったダイヤモンドツール５０について周囲に８箇所のポイントを形成することができる。

このダイヤモンドツール５０を用いてスクライブする際には、ダイヤモンドツール５０をツールホルダ２０に本実施の形態と同様にして取付ける。そしてツールホルダをスクライブヘッドユニット４０に取付ける。このときツールホルダ２０の貫通孔２３ａ，２４ａにねじ４７ａ，４７ｂを貫通させて斜め方向に固定する。こうして図８に示すように矢印Ａ方向に示すようにスクライブヘッドユニットを移動させることで１つのポイントＰ１を基板に接触させてスクライブを行う。そしてこのポイントが摩耗した場合には、ダイヤモンドツール５０の他のポイントを接触させてスクライブを行う。

なお、前述した実施の形態においては、ダイヤモンドツール１０、５０をツールホルダ２０に取付けているが、ベース１１、５１をツールホルダ２０に取付けた状態で研磨を行い、第１，第２の傾斜面を形成することで、ダイヤモンドツール１０、５０を形成してもよい。これにより、ツールホルダ２０に対する各ポイントの位置のばらつきを減らすことができ、ポイントを交換した場合にも精度を向上させることができる。さらにまた、貫通孔１２，５２の加工が不要となるため、加工時間のさらなる短縮を行うことができる。

又前述した実施の形態では平板全体を単結晶ダイヤモンドで構成しているが、脆性材料基板に接触する表面部分にダイヤモンド層があれば足りるため、超硬合金や焼結ダイヤモンド製のベースの刃先部分の表面に多結晶ダイヤモンド層を形成してこれに傾斜面を形成してもよい。また、ボロン等の不純物をドープし、導電性を持たせた単結晶または多結晶ダイヤモンドを使用してもよい。導電性を有するダイヤモンドを用いることで、放電加工により傾斜面を容易に形成することができる。

この実施の形態では正方形状のダイヤモンドツールをツールホルダに取付けるため図２に示すように先端において約９０°の角度をなすように広がる溝２８を設けているが、ダイヤモンドツールが六角形や八角形の平板である場合には、その形状に対応させた溝を有するツールホルダとする。

又この実施の形態ではダイヤモンドツールの厚さを調整する厚さ調整部材として厚さ調整ピンを用いているが、ピンに限定されるものではなく、ダイヤモンドツールの厚さに相当する厚さの平板を用いてもよい。又、厚さ調整溝２５とツール保持溝２８の深さと、厚さ調整部材である厚さ調整ピン３３の径とダイヤモンドツール１０の厚さがそれぞれ異なっていてもよい。この場合には、ホルダ押さえ３０の下面が常にツール取付部２２ｂの面に対して平行に接するように、厚さ調整溝２５の深さと厚さ調整ピン３３の径が調整される。さらに、ダイヤモンドツールが常に同一の厚さのものを使用する場合には、ツール保持溝２８をダイヤモンドツールの厚さに相当する分浅くすれば厚さ調整ピン等を設ける必要はなくなる。

本発明のツールホルダは、複数のポイントを有するダイヤモンドツールをその厚さにかかわらず確実に保持することができ、ダイヤモンドツールのポイント形成や完成したダイヤモンドツールのスクライブに有効に使用することができる。

１０，５０ マルチポイントダイヤモンドツール
１１，５１ ベース
１２，５２ 貫通孔
１３ａ〜１３ｄ 稜線
１４ａ〜１４ｄ，５３ａ〜５３ｄ 第１の傾斜面
１５ａ〜１５ｄ，５４ａ〜５４ｄ 第２の傾斜面
２０ ツールホルダ
２１ ツールホルダ本体
２２ａ ホルダ保持部
２２ｂ ツール保持部
２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ 貫通孔
２５ 厚さ調整溝
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ 傾斜面
２７ ねじ溝
２８ ツール保持溝
３０ ホルダ押さえ
３３ 厚さ調整ピン
３４ ねじ
４０ スクライブヘッドユニット
４１ ヘッドベース
４２ エアシリンダ
４３ ガイド機構
４４ スライド部
４５ プレート
Ｐ１〜Ｐ８ ポイント

Claims (6)

1. ２つの底面と、周囲に複数のポイントを有する、平板状のダイヤモンドツールを保持するツールホルダであって、
   ホルダ保持部、及び前記ホルダ保持部の先端部に形成されたツール保持部を有するツールホルダ本体と、
   前記ツールホルダのツール保持部に固定されたホルダ押さえと、を具備し、
   前記ツール保持部は、
   前記ツール保持部の中央部分に設けられ前記ツール保持部に前記ホルダ押さえを固定するためのねじ溝と、
   前記ツール保持部の先端に設けられ、前記ダイヤモンドツールの一方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを保持するツール保持溝と、
   前記ねじ溝に対して前記ホルダ保持部側に設けられた、厚さ調整部材を挿入するための厚さ調整溝と、を有し、
   前記ホルダ押さえは、下面が前記ダイヤモンドツールの他方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを固定するものであるツールホルダ。
2. 前記厚さ調整部材は、前記ホルダ押さえの下面が前記ツール取付部の面に対して平行となるように、厚さが選択されたものである、請求項１記載のツールホルダ。
3. 前記厚さ調整部材は、
   厚さ調整ピンである請求項１又は２記載のツールホルダ。
4. ツールホルダと、
   前記ツールホルダの先端に保持され、２つの底面と、周囲に複数のポイントを有する、平板状のダイヤモンドツールと、を具備し、
   前記ツールホルダは、
   直方体状のホルダ保持部、及び前記ホルダ保持部の先端部に形成されたツール保持部を有するツールホルダ本体と、
   前記ツールホルダのツール保持部に固定されたホルダ押さえと、を具備し、
   前記ツール保持部は、
   前記ツール保持部の中央部分に設けられ前記ツール保持部に前記ホルダ押さえを固定するためのねじ溝と、
   前記ツール保持部の先端に設けられ、前記ダイヤモンドツールの一方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを保持するツール保持溝と、
   前記ねじ溝に対して前記ホルダ保持部側に設けられた、厚さ調整部材を挿入するための厚さ調整溝を有し、
   前記ホルダ押さえは、下面が前記ダイヤモンドツールの他方の底面に接触して前記ダイヤモンドツールを固定するものであるツールホルダユニット。
5. 前記ダイヤモンドツールは、
   所定の厚さを有する角柱状であって、前記２つの底面と複数の外周面を有するベースと、
   前記外周面の交線である稜線と、少なくとも一方の底面より稜線に向けて傾けた傾斜面を有し、
   前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、
   前記傾斜面と前記稜線との交点をポイントとするものである請求項４記載のツールホルダユニット。
6. 前記ダイヤモンドツールは、
   所定の厚さを有する角柱状であって、前記２つの底面と複数の外周面を有するベースと、
   前記ベースの少なくとも１つの角に対して、
   前記ベースの両底面より隣り合う２つの前記外周面に向けて傾けた第１，第２の傾斜面と、前記第１，第２の傾斜面の交線である稜線と、を具備し、
   少なくとも前記稜線を含む部分がダイヤモンドで形成されており、
   前記稜線の両端をポイントとする請求項４記載のツールホルダユニット。

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