[go: up one dir, main page]

JP6634655B1 - パワーモジュール - Google Patents

パワーモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP6634655B1
JP6634655B1 JP2019064549A JP2019064549A JP6634655B1 JP 6634655 B1 JP6634655 B1 JP 6634655B1 JP 2019064549 A JP2019064549 A JP 2019064549A JP 2019064549 A JP2019064549 A JP 2019064549A JP 6634655 B1 JP6634655 B1 JP 6634655B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor element
casing
power semiconductor
sealing material
cooler
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019064549A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020167216A (ja
Inventor
英之 市田
英之 市田
廉雄 山木
廉雄 山木
誉 菅原
誉 菅原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Keihin Corp
Original Assignee
Keihin Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Keihin Corp filed Critical Keihin Corp
Priority to JP2019064549A priority Critical patent/JP6634655B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6634655B1 publication Critical patent/JP6634655B1/ja
Priority to CN202010216213.3A priority patent/CN111755390B/zh
Publication of JP2020167216A publication Critical patent/JP2020167216A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/10Containers; Seals characterised by the material or arrangement of seals between parts, e.g. between cap and base of the container or between leads and walls of the container
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/42Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
    • H01L23/433Auxiliary members in containers characterised by their shape, e.g. pistons

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】ケーシングに充填される封止材における気泡残留を防止し、パワー半導体素子の電気的絶縁を達成する。【解決手段】パワー半導体素子と、前記パワー半導体素子を冷却する冷却器5と、前記冷却器5に固定されると共に前記パワー半導体素子を収容するケーシング2と、前記パワー半導体素子を含む領域に設けられる封止材6とを備えるパワーモジュールであって、前記ケーシング2には、前記冷却器5と接着される面に形成されると共に前記封止材6が充填される接着溝と、前記接着溝に接続されると共に前記封止材6が流入する流入孔2aとが形成される。【選択図】図3

Description

本発明は、パワーモジュールに関するものである。
例えば、特許文献1には、放熱板(冷却器)に対してケース(ケーシング)が接着された電力用半導体装置が開示されている。特許文献1においては、ケースにおいて放熱板との接着面に突起を設け、この突起により生じた放熱板とケースとの間の間隙に接着剤が充填されることで、放熱板とケースとが接着されている。
特開2014−103846号公報
ところで、パワーモジュールにおいては、パワー半導体素子の電気的絶縁を目的として、パワー半導体素子をゲル状の封止材で覆う場合がある。このような場合において、上述のように冷却器とケーシングとを接着することが考えられる。パワー半導体素子は、通電時に高温となる。そのため、冷却器とケーシングとの間の間隙(接着溝)において、空気が残存した場合、パワー半導体素子の熱が封止材に伝達し、その熱によって空気が膨張し、ケーシング内の実装面の周囲に気泡が発生、パワー半導体素子の電気的絶縁を達成できない可能性がある。
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、ケーシングに充填される封止材における気泡残留を防止し、パワー半導体素子の電気的絶縁を達成することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、第1の手段として、パワー半導体素子と、前記パワー半導体素子を冷却する冷却器と、前記冷却器に固定されると共に前記パワー半導体素子を収容するケーシングと、前記パワー半導体素子を封止する封止材とを備えるパワーモジュールであって、前記ケーシングには、前記冷却器と接着される面に形成されると共に前記封止材が充填される接着溝と、前記接着溝に接続されると共に前記封止材が流入する流入孔とが形成される、という構成を採用する。
第2の手段として、上記第1の手段において、前記流入孔は、前記ケーシングを貫通するように設けられると共に前記パワー半導体素子のワイヤボンディングの位置決めに用いられる識別孔である、という構成を採用する。
第3の手段として、上記第1または2の手段において、前記ケーシングには、前記接着溝に接続される空気孔がさらに形成される、という構成を採用する。
第4の手段として、上記第3の手段において、前記空気孔は、前記ケーシングを貫通するように設けられると共に一方の開口端が前記封止材から露出して設けられる、という構成を採用する。
第5の手段として、上記第3または4の手段において、前記空気孔は、前記接着溝と対向する側の開口端が拡径されている、という構成を採用する。
本発明によれば、接着溝と接続される流入孔より、接着溝へと封止材が充填されることとなる。したがって、ケーシング内に残留する空気を無くすことで、パワー半導体素子の高温時において気泡が発生しないため、パワー半導体素子の電気的絶縁を達成できる。
本発明の一実施形態に係るパワーモジュールの模式断面図である。 本発明の一実施形態に係るパワーモジュールが備えるケーシングにおける接着溝、識別孔及び空気孔の配置を示す模式図である。 (a)が図2のA−A断面図であり、(b)が図3のB−B断面図である。
以下、図面を参照して、本発明に係るパワーモジュールの一実施形態について説明する。
本実施形態に係るパワーモジュール1は、モータ(負荷)への通電を制御するパワー半導体素子3を備える。このようなパワーモジュール1は、図1に示すように、ケーシング2と、パワー半導体素子3と、電極4と、冷却器5と、封止材6を備えている。また、パワーモジュール1は、不図示であるが、電極接続端子および信号端子を備えている。
ケーシング2は、パワー半導体素子3及び電極4を囲い、冷却器5上に実装面を形成する矩形方の樹脂製のケースである。また、ケーシング2の下面には、冷却器5が設けられている。ケーシング2は、図2及び図3(a)(b)に示すように、識別孔2a及び空気孔2bと、接着溝2cとが形成されている。また、ケーシング2には、不図示の信号端子が固定されている。
識別孔2aは、図3(a)に示すように、ケーシング2において冷却器5と接触する面に向けて形成された貫通孔であり、パワー半導体素子3と信号端子とをワイヤボンディングにより接続する際、ワイヤボンディング装置の位置決め孔として用いられる。この識別孔2aは、接着溝2c上に形成されると共に、接着溝2cの形成された形成面と、上記形成面に対向する面とを貫通している。
空気孔2bは、図3(b)に示すように、識別孔2aと同様に、接着溝2c上に形成されると共に、形成面と上記形成面に対向する面とを貫通している貫通孔である。また、空気孔2bは、形成面に対向する面における開口端側が拡径されており、残存空気が排出しやすい構造となっている。なお、形成面は、外周近縁を除く中央部に接着面が形成されており、上記接着面に接着剤が設けられ、冷却器5と接着されている。また、空気孔2bは、形成面と対向する面における開口位置が、封止材6充填時において識別孔2aよりも鉛直方向に高い位置に形成されている。これにより、空気孔2bは、封止材6が形成された際に、形成面と対向する面における開口位置が、外部に露出した状態となる。
接着溝2cは、冷却器5と接触する面に形成され、図2に示すように、識別孔2a及び空気孔2bを含む範囲に、一方向に折れ曲がるように形成された溝である。接着溝2cには、余剰の接着剤Sの一部が流入すると共に、封止材6が流入している。また、接着溝2cにおいては、図3に示すように、識別孔2a及び空気孔2bとの接続部位においてテーパ処理が施されている。接着溝2cにテーパ処理が施されることにより、封止材6の充填空間の確保、及び残存空気の排出との両立を容易にしている。なお、接着溝2cは、パワー半導体素子3の実装面を取り囲むように形成されている。
パワーモジュール1は、パワー半導体素子3を含む電力変換回路である。このようなパワーモジュール1は、パワー半導体素子3がケーシング2の外縁に設けられた不図示の信号端子と、ワイヤボンディング(不図示)により電気的に接続されている。パワーモジュール1は、モータECU等の上位制御装置と接続されており、上位制御装置から入力される制御指令に基づいて車両に搭載される昇降圧コンバータ、インバータ等を制御する。
電極4は、パワー半導体素子3とはんだ等により電気的に接続された状態で、ケーシング2内に実装され固定されている。電極4は、例えばセラミック層と銅層とからなるDCB基板である。不図示のリードフレーム、バスバーなどを介して、不図示のバッテリとモータとを接続している。
冷却器5は、冷媒入口及び冷媒出口を有する扁平な容器状とされ、内部に冷媒が流通している。冷却器5は、一面において電極4及びケーシング2と接触した状態で固定されている。冷却器5は、パワー半導体素子3等において発生した熱を冷媒へと伝達することにより、パワー半導体素子3等を冷却している。
封止材6は、ケーシング2の一部及びケーシング2内に実装されたパワー半導体素子3を覆うように設けられる半透明のシリコン軟質層(ゲル層)である。また、封止材6は、識別孔2aより接着溝2cに充填される。
このような本実施形態に係るパワーモジュール1は、ケーシング2にパワー半導体素子3及び電極4が実装された後に、識別孔2aより封止材6が充填される。識別孔2aより流入した封止材6は、接着溝2cを介して空気孔2bへと流入する。そして、封止材6は、空気孔2bにおける形成面と対向する面における開口端を露出した状態で固化する。
このような本実施形態に係るパワーモジュール1によれば、識別孔2aより、接着溝2cへと封止材6を充填している。これにより、ケーシング2と冷却器5との間隙を封止材6により満たすことができ、ケーシング2内に残留する空気を無くし、気泡の発生を防止することができる。
このような本実施形態に係るパワーモジュール1によれば、接着溝2cに接続される空気孔2bを有している。これにより、パワーモジュール1は、接着溝2cに流入した封止材6において、残存する気泡を、空気孔2bより外部へと排出することが可能である。したがって、封止材6の充填時に接着溝2cに気泡が残留することを防止することができる。
また、本実施形態に係るパワーモジュール1によれば、空気孔2bの形成面に対向する面における開口端が封止材6から露出した状態とされる。すなわち、封止材6の充填時において、空気孔2bから封止材6が流入することがなく、識別孔2aより封止材6が流入する。したがって、空気孔2bから気泡を排出しやすくなる。
また、本実施形態に係るパワーモジュール1によれば、空気孔2bは、形成面に対向する面における開口端側が拡径されている。これにより、空気孔2bから気泡を排出しやすくなる。
また、本実施形態に係るパワーモジュール1によれば、接着溝2cにおいて、識別孔2a及び空気孔2bとの接続部位にテーパ処理が施されている。これにより、識別孔2aから接着溝2cへの封止材6の流入時における抵抗を低減し、識別孔2aからの封止材6の流入を容易としている。
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
上記実施形態においては、識別孔2aの他に空気孔2bを形成することとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、識別孔2aのみが接着溝2cと接続されるものとしてもよい。この場合には、接着溝2cにおいて残存する気泡は、識別孔2aから外部へと排出される。
また、本実施形態においては、識別孔2aから接着溝2cへと封止材6を充填するものとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、識別孔2aの他に、接着溝2cと接続される貫通孔(流入孔)を形成することで、接着溝2cへと封止材6を流入するものとしてもよい。
また、上記実施形態において簡易化のため図示していないが、識別孔2aは、ケーシング2において複数形成されている。複数の識別孔2aのうち、接着溝2cに接続されるのは、一部のみとしてもよい。
1……パワーモジュール
2……ケーシング
2a……識別孔
2b……空気孔
2c……接着溝
3……パワー半導体素子
5……冷却器
6……封止材
S……接着剤

Claims (4)

  1. パワー半導体素子と、前記パワー半導体素子を冷却する冷却器と、前記冷却器に固定されると共に前記パワー半導体素子を収容するケーシングと、前記パワー半導体素子を封止する封止材とを備えるパワーモジュールであって、
    前記ケーシングには、前記冷却器と接着される面に形成されると共に前記封止材が充填される接着溝と、前記接着溝に接続されると共に前記封止材が流入する流入孔とが形成され
    前記流入孔は、前記ケーシングを貫通するように設けられると共に前記パワー半導体素子のワイヤボンディングに用いられる識別孔である
    ことを特徴とするパワーモジュール。
  2. 前記ケーシングには、前記接着溝に接続される空気孔がさらに形成されることを特徴とする請求項1記載のパワーモジュール。
  3. 前記空気孔は、前記ケーシングを貫通するように設けられると共に一方の開口端が前記封止材から露出して設けられることを特徴とする請求項記載のパワーモジュール。
  4. 前記空気孔は、前記接着溝と対向する側の開口端が拡径されていることを特徴とする請求項2または3記載のパワーモジュール。
JP2019064549A 2019-03-28 2019-03-28 パワーモジュール Active JP6634655B1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019064549A JP6634655B1 (ja) 2019-03-28 2019-03-28 パワーモジュール
CN202010216213.3A CN111755390B (zh) 2019-03-28 2020-03-25 功率模块

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019064549A JP6634655B1 (ja) 2019-03-28 2019-03-28 パワーモジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6634655B1 true JP6634655B1 (ja) 2020-01-22
JP2020167216A JP2020167216A (ja) 2020-10-08

Family

ID=69166725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019064549A Active JP6634655B1 (ja) 2019-03-28 2019-03-28 パワーモジュール

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6634655B1 (ja)
CN (1) CN111755390B (ja)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3545019B2 (ja) * 1993-11-04 2004-07-21 株式会社豊田自動織機 電子製品の封止ケース
US5977613A (en) * 1996-03-07 1999-11-02 Matsushita Electronics Corporation Electronic component, method for making the same, and lead frame and mold assembly for use therein
JP4236826B2 (ja) * 2001-04-02 2009-03-11 三菱電機株式会社 パワーモジュールおよびその製造方法
JP2004239368A (ja) * 2003-02-06 2004-08-26 Yasuhisa Seo 空気抜き器具
JP2014203978A (ja) * 2013-04-05 2014-10-27 三菱電機株式会社 パワーモジュール
JP6208980B2 (ja) * 2013-05-20 2017-10-04 カルソニックカンセイ株式会社 半導体モジュール及びその製造方法
JP6287620B2 (ja) * 2014-06-23 2018-03-07 富士電機株式会社 半導体装置およびその製造方法
JP6316504B2 (ja) * 2015-05-21 2018-04-25 三菱電機株式会社 電力用半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111755390B (zh) 2025-02-18
JP2020167216A (ja) 2020-10-08
CN111755390A (zh) 2020-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6065973B2 (ja) 半導体モジュール
JP2021516869A (ja) 両面冷却型パワーモジュールおよびその製造方法
US10163752B2 (en) Semiconductor device
JP2002315357A (ja) インバータ装置
JP2008118067A (ja) パワーモジュール及びモータ一体型コントロール装置
JP3646665B2 (ja) インバータ装置
US8995142B2 (en) Power module and method for manufacturing the same
JP6945418B2 (ja) 半導体装置および半導体装置の製造方法
CN105493272A (zh) 半导体模块、半导体装置以及汽车
EP2793260A1 (en) Semiconductor device
JP2009536458A (ja) 半導体モジュール及びその製造方法
JPWO2018185974A1 (ja) 半導体装置およびその製造方法、ならびに電力変換装置
JP6634655B1 (ja) パワーモジュール
JP2006339239A (ja) 半導体装置
JP2005347327A (ja) 半導体装置
KR20180087330A (ko) 파워 모듈의 양면 냉각을 위한 금속 슬러그
JP6769556B2 (ja) 半導体装置及び半導体モジュール
JP2008041566A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP4745925B2 (ja) 自動車用モータの制御用コネクタ一体型半導体モジュール
JP2005302882A (ja) 半導体装置
JP4396366B2 (ja) 半導体装置
JP2020053623A (ja) パワーユニット、パワーユニットの製造方法及びパワーユニットを有する電気装置
JP2012160623A (ja) 半導体装置の冷却構造
JP2000174195A (ja) パワーモジュール
KR20180002419A (ko) 파워 모듈 및 그 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190723

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20190723

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20190827

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190903

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191105

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191119

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191128

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6634655

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250