JP6582075B2 - Aldコーティングによるガスコンテナ内部の保護 - Google Patents
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Description
Claims (4)
- ガスコンテナ内部を保護する方法であって、
前記ガスコンテナ内部が真空になるようにガスコンテナ開口部を通じてポンピングすることと;
反応ガスを、前記ガスコンテナ開口部を通じて前記ガスコンテナ内部へと順次供給することで、前記ガスコンテナ内部を順次自己飽和表面反応に暴露することと;
反応残渣を、前記ガスコンテナ開口部を通じて前記ガスコンテナからポンプで排出することと;
を含むと共に、
前記ガスコンテナと周囲の室の壁との間に中間空間を設けることと;
前記中間空間に不活性パージガスを導くことにより過圧力を生成することと;
を更に含む、方法。 - 前記中間空間から前記不活性パージガスをポンプで排出することによって前記中間空間を真空圧にすることを含む、請求項1に記載の方法。
- 請求項1又は2に記載の方法に従って、ガスコンテナ内部を保護する装置であって、
反応ガスを、前記ガスコンテナ開口部を通じて前記ガスコンテナ内部へと順次供給することで、前記ガスコンテナ内部を順次自己飽和表面反応に暴露する手段と;
前記ガスコンテナ内部が真空になるようにガスコンテナ開口部を通じてポンピングし、反応残渣を、前記ガスコンテナ開口部を通じて前記ガスコンテナからポンプで排出する手段と;
を備え、
前記ガスコンテナを取り囲む室と、前記ガスコンテナと周囲の室の壁との間の中間空間へと不活性パージガスを導くように構成される不活性ガス供給管路とを更に備える、装置。 - 前記中間空間から前記不活性パージガスをポンプで排出することによって前記中間空間を真空圧にする手段を更に備える、請求項3に記載の装置。
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