JP6518150B2 - ブロックバルブ、ブロックバルブを有する流体制御装置、及びブロックバルブを用いたチャンバの洗浄方法 - Google Patents

Description

本発明は、流体制御装置において、１ライン上に設けられた複数の流路によって流体の流量を調整可能とする技術に関する。

従来、複数の流路を設けた流体制御装置に関して、特許文献１では、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化され、前記ベース部材に形成された流体主流路及びリターン流路にそれぞれ流路切替用の第１バルブ及び第２バルブが設けられている流体機器ユニット構造において、前記リターン流路が前記流体主流路から分岐する位置を前記第１バルブの上流側近傍とした流体機器ユニット構造が提案されている。
また、特許文献２では、主流路と、該主流路から分岐する分岐流路と、前記主流路を開閉する主流路弁と、前記分岐流路を開閉する分岐弁とを備え、前記主流路と前記分岐流路と前記主流路弁と前記分岐弁とが一体化されたマニホールド弁であって、前記主流路弁と前記分岐弁は、各々、弁体と、該弁体と連結された弁軸と、該弁軸と連結された操作レバーとを有して、該操作レバーを前記弁軸の軸方向に揺動することにより流路の開閉を行う手動弁であり、前記主流路弁と前記分岐弁は各々、前記操作レバーの揺動を前記弁体の直線動に変換して、前記弁体を弁座に対して圧接離間させて流路の開閉を行い、前記主流路弁と前記分岐弁の一方の弁が開状態で他方の弁が閉状態のときに、前記一方の弁の前記操作レバーが前記他方の弁の前記操作レバーの揺動を不能にするインターロック機構を備えたマニホールド弁が提案されている。

特開２００９−９２１９１号公報 特開２００８−１９０５７６号公報

上記特許文献１及び２のように、複数の流路を設けること技術は提案されているが、１ライン上のバルブに設けた複数の流路によって、流体の流量を調整可能とする技術は見当たらない。また、１ライン上に配設された複数のバルブを制御して流量を調整可能とする場合には、配管を引き回すことが考えられるが、一般的には配管の引き回し構造が複雑になり易く、１ラインに収めにくいし、配管を設ける分のコストがかかる。

そこで、本発明は、１ライン上に設けられた複数のバルブの開閉動作に応じて、１ライン上のブロックバルブに設けられた複数の流路のうち、所望の流量に対応した流路に流体を流通させることができ、これにより流体の流量を調整可能とすることを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の一の観点に係るブロックバルブは、複数のバルブが連結され、流体が流通する流路に応じて流量が調整されるブロックバルブであって、前記流体が流入する１つの入口と、前記流体が流出する１つの出口と、前記入口と前記出口の間に形成され、前記流体が流通する複数の流路と、を有し、前記複数の流路には、オリフィスが介在する流路が設けられており、前記複数のバルブの開閉により、前記複数の流路から、前記流体が流通する１つの流路が選択され、当該選択された流路、又は当該選択された流路に設けられたオリフィスに応じた流量により、前記流体が排出されることを特徴とする。

また、前記複数の流路に設けられているオリフィスの径は、上流側に設けられているオリフィスの径が、下流側に設けられているオリフィスの径よりも大きいものとしてもよい。

また、前記ブロックバルブを構成する前記複数のバルブの内、始端と終端のバルブの間に配設されるバルブは、同一形状の流路を備えた三方弁からなるものとしてもよい。

また、前記ブロックバルブは、複数のラインを備えた流体制御装置に使用され、前記複数のラインの内、１つのライン幅に収まるものとしてもよい。

また、本発明の別の観点に係る流体制御装置は、前記ブロックバルブが配設されていることを特徴とする。

また、本発明のさらに別の観点に係るチャンバの洗浄方法は、前記流体制御装置を有する半導体製造装置において、前記ブロックバルブの開閉動作により、前記流体の流量を変化させてチャンバ内のパーティクルを除去することを特徴とする。

本発明によれば、１ライン上に設けられた複数のバルブの開閉動作に応じて、１ライン上のバルブに設けられた複数の流路のうち、所望の流量に対応した流路に流体を流通させることができ、これにより流体の流量を調整可能とすることができる。
また、バルブに形成された流路によって流体の流量調整が可能なため、複雑に配管を引き回したり、内部に流路が形成されたブロック継手をバルブ間に介在させたりする必要がない。そのため、１ライン上に各種の流体制御器を収めやすいし、配管やブロック継手を設ける場合に比してコストを抑えることができる。

本発明の実施形態に係る流体制御装置の１ラインの構成を示した模式図である。 本発明の第一の実施形態に係るブロックバルブの流路を模式的に示す図である。 本実施形態に係るブロックバルブの流路を示すフロー図である。 本実施形態の変形例に係るブロックバルブの流路を模式的に示す図である。 本発明の第二の実施形態に係るブロックバルブの流路を模式的に示す図である。 本実施形態に係るブロックバルブの流路を示すフロー図である。 本発明の第二の実施形態の変形例に係るブロックバルブの流路を模式的に示す図である。 本発明の実施形態に係るブロックバルブの流路を模式的に示す図である。 本発明の実施形態に係るブロックバルブの流路を模式的に示す図である。

以下、本発明の実施形態に係るブロックバルブについて、図を参照して説明する。
図１に示されるように、本実施形態に係るブロックバルブ１を有する流体制御装置には複数のラインが配設されている。各ラインは各種の流体制御器を備えており、各流体制御器は適宜、継手部材にボルト固定等されると共に、各ラインの幅に収められている。
この流体制御装置は、ラインごとに流体の流量を選択的に変更し、チャンバ等の外部に排出させることができる。

ブロックバルブ１を構成すると共に、流体制御器の一つを構成するバルブＶは、流体制御機構としてのバルブ本体、及びバルブ本体を作動させるアクチュエータを備える。バルブ本体は、流路が形成されているバルブボディ、流路に設けられたシート、シートに当接離反することにより流体を流通あるいは遮断するダイヤフラム等を備えており、アクチュエータと連動してダイヤフラムがシートに当接離反することによってバルブ本体が開閉する結果、流体が流路内を流通したり、流体の流通が遮断されたりする。
なお、ここでは後述の実施形態におけるブロックバルブ１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ、３、４について、個々の流路等の構成の違いによらず、複数のバルブＶによって構成されたバルブとしてまとめてブロックバルブ１と称している。また、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３についても、個々の流路の構成の違いによらず、流体制御装置を構成する流体制御器の一つとしてまとめてバルブＶと称している。

流体制御装置において、１ライン上にはブロックバルブ１を構成する複数のバルブＶが配設されており、当該複数のバルブＶは、その開閉動作に応じて流体が択一的に流通する流路を複数、形成している。また、このブロックバルブ１において、隣接するバルブＶ間の流路にはガスケットＧ又はオリフィスガスケットＯＲが介在しており、このガスケットＧ又はオリフィスガスケットＯＲによって流路は連通している。
なお、ここでは後述の実施形態におけるオリフィスガスケットＯＲ１、ＯＲ２、ＯＲ３、ＯＲ４について、個々のオリフィス孔の構成の違いによらず、流路を連通させるオリフィスガスケットとしてまとめてオリフィスガスケットＯＲと称している。

オリフィスガスケットＯＲは、流路を連通させると共に、バルブＶに形成されている流路２２の径に比して小径のオリフィス孔を備えたがガスケットである。
バルブＶの開閉動作に応じて流体は所定の流路を流通し、流体がオリフィスガスケットＯＲを流通する場合には、オリフィスガスケットＯＲのオリフィス孔の径に応じて流量が少量に抑制され、その結果、排出される流体の流量が調整される。

実施例１に係るブロックバルブ１ａについて、複数のバルブが構成する流路を図２及び図３に示す。
この例では、流体の流入する上流側に二方弁のバルブＶ１が配設され、下流側に三方弁のバルブＶ２がバルブＶ１と連結して配設されている。
バルブＶ１には、流体が流入する流路１０、流路１０から分岐してバルブＶ１の弁室に連通する流路１１、流路１０から分岐して下流のバルブＶ２側に連通する流路１２、バルブＶ１から下流側に隣接するバルブＶ２へ流体を流通させる流路１３が形成されている。

一方、バルブＶ２には、流路１３に連通し、バルブＶ２の弁室に連通する流路２１、上流の流路１２に連通し、バルブＶ２の弁室に連通する流路２２、バルブＶ２から外部へ流体を排出させる流路２３が形成されている。

このような構成からなるバルブＶ１、Ｖ２により、流体の入口となる流路１０と出口となる流路２３の間において、流体が流通する経路が二通り形成され、一方の経路にはオリフィスガスケットＯＲ１が介在し、他方の経路にはガスケットＧが介在する。
具体的には、流路１２と流路２２の間にはオリフィスガスケットＯＲ１が介在し、このオリフィスガスケットＯＲ１によって流路１２と流路２２が連結されている。オリフィスガスケットＯＲ１は、流路１２や流路２２に比して小径のオリフィス孔を備えたガスケットであり、流体が流通する前後において、流体の流量を少量に抑えることができる。

一方、流路１３と流路２１の間は、流路１３又は流路２１の径に応じたガスケットＧで連結されており、流路１３と流路２１とで流通する流体の流量は変化しないようになっている。
これにより、本例に係るブロックバルブでは、バルブＶ１、Ｖ２の開閉動作に応じて、オリフィスガスケットＯＲ１を介して流体を排出させることもできるし、オリフィスガスケットＯＲ１を介さずに流体を排出させることもできる。そして、オリフィスガスケットＯＲ１を介して流体を排出させる場合には、オリフィスガスケットＯＲ１を介さずに流体を排出させる場合に比して、流量を少なくすることができる。なお、以下の説明においては、オリフィスガスケットＯＲ１を介さずに流体を排出させる場合の流量を通常量とし、オリフィスガスケットＯＲ１を介して流体を排出させる場合の少ない流量を調整量と称する。

このような構成からなる本例について、バルブＶ１、Ｖ２の開閉動作に伴う流体の流れを説明する。
まず、オリフィスガスケットＯＲ１を介さず、通常量で流体を排出させる場合には、バルブＶ１を開いた状態とする一方、バルブＶ２は流路２１と流路２３を開くと共に、流路２２を閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路１０、流路１１、バルブＶ１の弁室、流路１３、流路２１、流路２３と流通し、外部に排出される。

他方、オリフィスガスケットＯＲ１を介して、調整量で流体を排出させる場合には、バルブＶ１を閉じた状態とする一方、バルブＶ２は流路２２と流路２３を開くと共に、流路２１を閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路１０、流路１２、流路２２、バルブＶ２の弁室、流路２３と流通し、外部に排出される。
このとき、流体が流路１２と流路２２の間に介在するオリフィスガスケットＯＲ１を通過するため、流路１３及び流路２１を通過する場合に比して、流体の流量が少量に抑えられる。

なお、本例では、流路１０と流路２３の間において、一方の経路にはオリフィスガスケットＯＲ１が介在し、他方の経路にはガスケットＧが介在し、流体がオリフィスガスケットＯＲ１を通る場合とガスケットＧを通る場合とで流量が変化するものとしたが、これに限らず、ガスケットＧに替えて、オリフィスガスケットＯＲ１とはオリフィス孔の径が異なるオリフィスガスケットを介在させ、オリフィス孔の径の違いによって流体の流量を変化させることもできる。

上記の実施例１では、上流側に二方弁のバルブＶ１を配設し、下流側に三方弁のバルブＶ２を配設したが、図４に示されるように、実施例１の変形例に係るブロックバルブ１ｂでは、上流側に三方弁のバルブＶ２を配設し、下流側に二方弁のバルブＶ１を配設してもよい。
ただし、この例では上記の実施例１と異なり、流路２１と流路１３の間にオリフィスガスケットＯＲ１を介在させる。また、この例では、流体は流路２３から流入し、流路１０から外部に排出される。

このような構成からなる変形例について、バルブＶ１、Ｖ２の開閉動作に伴う流体の流れを説明する。
まず、オリフィスガスケットＯＲ１を介さず、通常量で流体を排出させる場合には、バルブＶ２は流路２２と流路２３を開くと共に、流路２１を閉じた状態とする一方、バルブＶ１は閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路２３、バルブＶ２の弁室、流路２２、流路１２、流路１０と流通し、外部に排出される。

他方、オリフィスガスケットＯＲ１を介して、調整量で流体を排出させる場合には、バルブＶ２は流路２１と流路２３を開くと共に、流路２２を閉じた状態とする一方、バルブＶ１を開いた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路２３、バルブＶ２の弁室、流路２１、流路１３、バルブＶ１の弁室、流路１１、流路１０と流通し、外部に排出される。
このとき、流体が流路２１と流路１３の間に介在するオリフィスガスケットＯＲ１を通過するため、流路２２及び流路１２を通過する場合に比して、流体の流量が少量に抑えられる。

実施例１では、バルブＶ１及びバルブＶ２の二つのバルブにより、流体の流量を二段階に調整可能なものとしたが、本例では流体の流量を三段階に調整可能なものとすることができる。
実施例２に係るブロックバルブ２ａについて、複数のバルブが構成する流路を図５及び図６に示す。
この例では、流体の流入する上流側から順次、二方弁のバルブＶ１、三方弁のバルブＶ３、及び三方弁のバルブＶ２が隣接するバルブと連結して配設されている。
バルブＶ１とバルブＶ２の構成は、上記した実施例１と同様である。

本例で用いられるバルブＶ３は、バルブＶ１とバルブＶ２の間に連結されるバルブで、流路１３に連通し、バルブＶ３の弁室に連通する流路３１、上流の流路１２に連通する流路３２、流路３２から分岐してバルブＶ３の弁室に連通する流路３３、流路３２から分岐して下流の流路２２に連通する流路３４、バルブＶ３から下流の流路２１に連通する流路３５が形成されている。

ここで、流路１２と流路３２の間にはオリフィスガスケットＯＲ２が介在し、流路３４と流路２２の間にはオリフィスガスケットＯＲ３が介在している。
オリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３は上記したオリフィスガスケットＯＲ１と同様、流路１２、流路２２、流路３２、あるいは流路３４に比して小径のオリフィス孔を備えたがガスケットであり、流通する流体の流量を少量に抑えることができる。また、オリフィスガスケットＯＲ２とオリフィスガスケットＯＲ３に設けられているオリフィス孔の径については、上流側のオリフィスガスケットＯＲ２のオリフィス孔の径の方が、下流側のオリフィスガスケットＯＲ３のオリフィス孔の径よりも大きい関係にある。

一方、流路１３と流路３１の間、及び流路３５と流路２１の間は通常のガスケットＧで連結されており、これらの流路１３、流路３１、流路３５、及び流路２１で流通する流体の流量は変化しないようになっている。
これにより、本例に係るブロックバルブ２ａでは、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３の開閉動作に応じて、オリフィスガスケットＯＲ２又はオリフィスガスケットＯＲ３を介して流体を排出させることもできるし、オリフィスガスケットＯＲ２及びオリフィスガスケットＯＲ３を介さずに流体を排出させることもできる。

そして、オリフィスガスケットＯＲ２又はオリフィスガスケットＯＲ３を介して流体を排出させる場合には、オリフィスガスケットＯＲ２又はオリフィスガスケットＯＲ３を介さずに流体を排出させる場合に比して、流量を少なくすることができる。さらに、オリフィスガスケットＯＲ３を介して流体を排出させる場合には、オリフィスガスケットＯＲ２を介して流体を排出させる場合に比して、流量を少なくすることができる。なお、以下の説明においては、オリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３を介さずに流体を排出させる場合の流量を通常量とし、オリフィスガスケットＯＲ２を介して流体を排出させる場合の少ない流量を第一調整量とし、さらにオリフィスガスケットＯＲ３を介して流体を排出させる場合のさらに少ない流量を第二調整量と称する。

このような構成からなる本例について、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３の開閉動作に伴う流体の流れを説明する。
まず、オリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３を介さず、通常量で流体を排出させる場合には、バルブＶ１を開いた状態とする一方、バルブＶ３は流路３１と流路３５を開くと共に、流路３３を閉じた状態とし、さらにバルブＶ２は流路２１と流路２３を開くと共に、流路２２は閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路１０、流路１１、バルブＶ１の弁室、流路１３、流路３１、バルブＶ３の弁室、流路３５、流路２１、バルブＶ２の弁室、流路２３と流通し、外部に排出される。

他方、オリフィスガスケットＯＲ２を介して、第一調整量で流体を排出させる場合には、バルブＶ１は閉じた状態とし、バルブＶ３は流路３１を閉じると共に、流路３３と流路３５を開いた状態とし、さらにバルブＶ２は流路２１と流路２３を開くと共に、流路２２を閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路１０、流路１２、流路３２、流路３３、バルブＶ３の弁室、流路３５、流路２１、バルブＶ２の弁室、流路２３と流通し、外部に排出される。
このとき、流体が流路１２と流路３２の間に介在するオリフィスガスケットＯＲ２を通過するため、流路１３、流路３１、流路３５、及び流路２１を通過する場合に比して、流体の流量が少量に抑えられる。

本例ではさらに、オリフィスガスケットＯＲ３を介して流体を流出させることで、オリフィスガスケットＯＲ２を介して流体を流出させる場合よりもさらに少ない流量の第二調整量で流体を排出させることができる。この場合には、バルブＶ１とバルブＶ３を閉じた状態とする一方、バルブＶ２は流路２２と流路２３を開くと共に、流路２１を閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路１０、流路１２、流路３２、流路３４、流路２２、バルブＶ２の弁室、流路２３と流通し、外部に排出される。
このとき、流体が流路３４と流路２２の間に介在するオリフィスガスケットＯＲ３を通過するため、オリフィスガスケットＯＲ２のみを通過する場合に比して、流体の流量がさらに少量に抑えられる。

なお、実施例２では、上流側から下流側へ順次、二方弁のバルブＶ１、三方弁のバルブＶ３、三方弁のバルブＶ２を配設したが、図７に示されるように、実施例２についてもその変形例として、上流側から下流側へ順次、三方弁のバルブＶ２、三方弁のバルブＶ３、二方弁のバルブＶ１を配設したブロックバルブ２ｂとしてもよい。
ただし、この例では上記の実施例２と異なり、流路２１と流路３１の間にオリフィスガスケットＯＲ２を介在させ、流路３５と流路１３の間にオリフィスガスケットＯＲ３を介在させる。また、この例では、流体は流路２３から流入し、流路１０から外部に排出される。

このような構成からなる変形例について、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３の開閉動作に伴う流体の流れを説明する。
まず、オリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３を介さず、通常量で流体を排出させる場合には、バルブＶ２は流路２３と流路２２を開いた状態とすると共に、流路２１を閉じた状態とし、バルブＶ３は閉じた状態とし、さらにバルブＶ２も閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路２３、バルブＶ２の弁室、流路２２、流路３２、流路３４、流路１２、流路１０と流通し、外部に排出される。

他方、オリフィスガスケットＯＲ２を介して、第一調整量で流体を排出させる場合には、バルブＶ２は流路２３と流路２１を開くと共に、流路２２を閉じた状態とし、バルブＶ３は流路３１と流路３３を開くと共に、流路３５を閉じた状態とし、さらにバルブＶ１は閉じた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路２３、バルブＶ２の弁室、流路２１、流路３１、バルブＶ３の弁室、流路３３、流路３４、流路１２、流路１０と流通し、外部に排出される。
このとき、流体が流路２１と流路３１の間に介在するオリフィスガスケットＯＲ２を通過するため、流路２２、流路３２、流路３４、及び流路１２を通過する場合に比して、流体の流量が少量に抑えられる。

さらに、オリフィスガスケットＯＲ３を介して流体を流通させ、オリフィスガスケットＯＲ２を介して流体を排出させる場合よりもさらに少ない流量の第二調整量で流体を排出させる場合には、バルブＶ２は流路２３と流路２１を開くと共に、流路２２を閉じた状態とし、バルブＶ３は流路３１と流路３５を開くと共に、流路３３を閉じた状態とし、さらにバルブＶ１は開いた状態に制御する。
この状態で流体を流通させると、流体は順次、流路２３、バルブＶ２の弁室、流路２１、流路３１、バルブＶ３の弁室、流路３５、流路１３、バルブＶ１の弁室、流路１１、流路１０と流通し、外部に排出される。
このとき、流体が流路３５と流路１３の間に介在するオリフィスガスケットＯＲ３を通過するため、オリフィスガスケットＯＲ２のみを通過する場合に比して、流体の流量がさらに少量に抑えられる。

以上の本発明の実施形態に示されるとおり、複数のバルブによって複数の流路を設け、バルブの開閉動作によって流体が流通する流路を変更させることで、二段階あるいは三段階に流体の流量を変化させることができた。同様にして四段階に流量を変化させることも可能であって、この場合には図８に示されるように、実施例２で示したバルブＶ３と同一のバルブを増設することにより、これを実現することができる。

この例において示すブロックバルブ３では、バルブＶ１とバルブＶ２の間に二つのバルブＶ３を配設している。
隣接するバルブ間（バルブＶ１・バルブＶ３間、バルブＶ３・バルブＶ３間、バルブＶ３・バルブＶ２間）には夫々、２本の流路が形成されており、一方の流路はオリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３、ＯＲ４によって連結され、他方の流路はガスケットＧで連結されている。

オリフィスガスケットＯＲ２、オリフィスガスケットＯＲ３、オリフィスガスケットＯＲ４は夫々、流路の上流側からこの順で、隣接するバルブＶ１・バルブＶ２間、バルブＶ３・バルブＶ３間、バルブＶ３・バルブＶ２間に介在している。各オリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３、ＯＲ４に形成されているオリフィス孔の径は、隣接する上流側のオリフィスガスケットのオリフィス孔の径が下流側のオリフィスガスケットのオリフィス孔の径よりも大きい関係にある。具体的には、オリフィスガスケットＯＲ２、ＯＲ３、ＯＲ４のオリフィス孔の径について、オリフィスガスケットＯＲ２＞オリフィスガスケットＯＲ３＞オリフィスガスケットＯＲ４の関係にある。

上記のとおり、バルブＶ１とバルブＶ２の間に配設するバルブＶ３を増やし、隣接するバルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３間にオリフィスガスケットＯＲ１、ＯＲ２、ＯＲ３、ＯＲ４を取り付けることで多段階の流量調整が可能となるが、三段階以上に流量調整可能とする場合、そのバルブ群の構成は一般的に図９に示すとおりとなる。

即ち、図９はｎ段階（ｎ：３以上の自然数）に流量調整可能とするブロックバルブ４が備える一群のバルブが構成する流路を示しており、流路の始端ないしは最上流側にバルブＶ１が配設されると共に、終端ないしは最下流側にバルブＶ２が配設されている。また、バルブＶ１とバルブＶ２の間には、（ｎ−２）個のバルブＶ３が配設されている。

また、隣接するバルブ間には、二本の流路のうちの一方の流路に、上流側から順にオリフィスガスケットＯＲ２、オリフィスガスケットＯＲ３・・・オリフィスガスケットＯＲ（ｎ）が設けられている。オリフィスガスケットＯＲ２〜オリフィスガスケットＯＲ（ｎ）については、隣接する上流側のオリフィスガスケットのオリフィス孔の径が下流側のオリフィスガスケットのオリフィス孔の径よりも大きい関係にある。具体的には、オリフィスガスケットＯＲ２〜ＯＲ（ｎ）の径について、オリフィスガスケットＯＲ２＞オリフィスガスケットＯＲ３＞・・・オリフィスガスケットＯＲ（ｎ−１）＞オリフィスガスケットＯＲ（ｎ）の関係にある。

このようにバルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３及びオリフィスガスケットＯＲ１〜ＯＲ（ｎ）を配設すれば、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３の開閉動作に応じて、外部に排出させる流体の流量を調整することができる。

なお、四段階に流体の流量を調整する例においても、実施例１や実施例２と同様に、バルブＶ２を始端側ないしは最上流側に配設すると共に、バルブＶ１を終端側ないしは最下流側に配設する構成して、流量調整可能とすることができる。

以上の本実施形態に係るブロックバルブによれば、１ライン上に設けられた複数のバルブの開閉動作に応じて、１ライン上のブロックバルブに設けられた複数の流路のうち、所望の流量に対応した流路に流体を流通させることができ、これにより流体の流量を調整可能とすることができる。
また、ブロックバルブに形成された流路によって流体の流量調整が可能なため、複雑に配管を引き回したり、内部に流路が形成されたブロック継手をバルブ間に介在させたりする必要がない。そのため、当該ブロックバルブを含め、１ラインの幅に各種の流体制御器を収めることができるし、配管やブロック継手を設ける場合に比してコストを抑えることができる。

なお、本実施例の説明においては、オリフィスガスケットを使用した例を説明したが、オリフィスは、オリフィスガスケットに限定されず、音速ノズルや絞り器、制限器等、流体に抵抗を与えて、流量を制御する部材であれば良い。

また、以上の本実施形態に係るブロックバルブによれば、当該ブロックバルブを有する半導体製造装置において、ブロックバルブに連結されたチャンバ内を洗浄することができる。即ち、バルブの開閉動作に応じて流体の流量を断続的に変化させることによって、ブロックバルブに連結されたチャンバ内からパーティクルを効果的に除去することができる。

Ｖ バルブ
ＯＲ オリフィスガスケット
Ｇ ガスケット
１、１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ、３、４ ブロックバルブ
１０、１１、１２、１３、２１、２２、２３、３１、３２、３３、３４、３５ 流路

Claims (5)

1. 複数のバルブが連結され、流体が流通する流路に応じて流量が調整されるブロックバルブであって、
   前記流体が流入する１つの入口と、
   前記流体が流出する１つの出口と、
   前記入口と前記出口の間に形成され、前記流体が流通する複数の流路と、を有し、
   前記ブロックバルブを構成する前記複数のバルブの内、始端と終端のバルブの間に配設されるバルブは、同一形状の流路を備えた三方弁からなり、
   前記複数の流路には、オリフィスが介在する流路が設けられており、
   前記複数のバルブの開閉により、前記複数の流路から、前記流体が流通する１つの流路が選択され、当該選択された流路、又は当該選択された流路に設けられたオリフィスに応じた流量により、前記流体が排出される、
   ことを特徴とするブロックバルブ。
2. 前記複数の流路に設けられているオリフィスの径は、上流側に設けられているオリフィスの径が、下流側に設けられているオリフィスの径よりも大きい、
   請求項１に記載のブロックバルブ。
3. 前記ブロックバルブは、複数のラインを備えた流体制御装置に使用され、前記複数のラインの内、１つのライン幅に収まる、
   請求項１又は２に記載のブロックバルブ。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載のブロックバルブが配設されている、
   ことを特徴とする流体制御装置。
5. 請求項４記載の流体制御装置を有する半導体製造装置において、
   前記ブロックバルブの開閉動作により、前記流体の流量を変化させてチャンバ内のパーティクルを除去する、
   ことを特徴とするチャンバの洗浄方法。

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