JP6422726B2 - Heat sink with circuit board and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、回路基板付きヒートシンク及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a heat sink with a circuit board and a manufacturing method thereof.
インバータやコンバータ等の電力変換装置には、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)やダイオード等の半導体素子を有する半導体モジュールが組み込まれている。半導体モジュールは、半導体素子を搭載した回路基板と、回路基板が接合され、半導体素子から発生する熱を放熱するヒートシンクとを有している。 A power conversion device such as an inverter or a converter incorporates a semiconductor module having a semiconductor element such as an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) or a diode. The semiconductor module has a circuit board on which a semiconductor element is mounted, and a heat sink that is bonded to the circuit board and dissipates heat generated from the semiconductor element.
ヒートシンクは、熱伝導率が高く加工性に優れた銅や銅合金等より構成されている。また、回路基板は、セラミックス板の両面に金属板が接合されてなり、一方の金属板の表面に半導体素子が搭載されている。回路基板の他方の金属板は、はんだ層等を介してヒートシンクに接合されている。 The heat sink is made of copper, copper alloy or the like having high thermal conductivity and excellent workability. The circuit board is formed by bonding metal plates to both surfaces of a ceramic plate, and a semiconductor element is mounted on the surface of one metal plate. The other metal plate of the circuit board is joined to the heat sink via a solder layer or the like.
従来の半導体モジュールは、セラミックス板とヒートシンクとの間で熱膨張係数が大きく異なるため、半導体素子の発熱に伴ってセラミックス板に熱応力が加わり、反りやクラックが発生するという問題がある。かかる問題に対し、セラミックス板に加わる熱応力を緩和してクラック等の発生を低減するために、種々の技術が提案されている。例えば特許文献1においては、セラミックス基板の表面側に金属回路板を接合し、裏面側に裏金属板を接合したセラミックス回路基板において、裏金属板に金属回路板の厚さの10〜90%の深さを有する熱応力緩和部を設ける技術が提案されている。
The conventional semiconductor module has a problem that the thermal expansion coefficient is greatly different between the ceramic plate and the heat sink, so that thermal stress is applied to the ceramic plate as the semiconductor element generates heat, and warping and cracking occur. In response to such problems, various techniques have been proposed to alleviate the thermal stress applied to the ceramic plate and reduce the occurrence of cracks and the like. For example, in
近年、半導体モジュールの更なるコストダウン及び軽量化の要求が高まっている。そのため、ヒートシンク及び金属板の材質を、銅に比べて安価かつ軽量なアルミニウム材に変更することが検討されている。 In recent years, there is an increasing demand for further cost reduction and weight reduction of semiconductor modules. Therefore, it has been studied to change the material of the heat sink and the metal plate to an aluminum material that is cheaper and lighter than copper.
ヒートシンク及び金属板の材質をアルミニウム材に変更すると、接合の信頼性を確保するためにろう付によりヒートシンクと回路基板とを接合する必要がある。しかしながら、ろう付は従来用いられているはんだ付に比べて接合温度が高いため、従来よりも熱応力緩和部を多く形成してセラミックス基板に加わる熱応力を緩和させる必要がある。一方、熱応力緩和部を多く形成すると、ヒートシンクと回路基板との接合面積が減少するため、放熱性能の低下を招く。 When the material of the heat sink and the metal plate is changed to an aluminum material, it is necessary to join the heat sink and the circuit board by brazing in order to ensure the reliability of the joining. However, since brazing has a higher bonding temperature than conventional soldering, it is necessary to relieve thermal stress applied to the ceramic substrate by forming more thermal stress relaxation portions than in the past. On the other hand, if a large number of thermal stress relaxation portions are formed, the bonding area between the heat sink and the circuit board decreases, resulting in a deterioration in heat dissipation performance.
また、特許文献1に記載されたセラミックス回路基板のように裏金属板に凹状に陥没した熱応力緩和部を設けると、ろう付作業においてろうが熱応力緩和部内に流れ込むおそれがある。この場合には、熱応力緩和部の表面がろう付されると共に、熱応力緩和部の内部にろうが充填されるため、熱応力を緩和する効果が不十分となるおそれがある。
Moreover, when the thermal stress relaxation part recessed in the back metal plate like the ceramic circuit board described in
以上のように、ヒートシンク及び金属板にアルミニウム材を用いる場合には、熱応力を緩和する効果と放熱性能とを両立させることが難しいという問題がある。それ故、従来と同等以上の放熱性能を確保しつつ、セラミックス基板における反りやクラックの発生を低減して半導体モジュールの耐久性を向上させる技術が求められている。 As described above, when an aluminum material is used for the heat sink and the metal plate, there is a problem that it is difficult to achieve both the effect of relaxing the thermal stress and the heat dissipation performance. Therefore, there is a demand for a technique for improving the durability of the semiconductor module by ensuring the heat dissipation performance equivalent to or higher than that of the conventional one and reducing the occurrence of warpage and cracks in the ceramic substrate.
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、優れた放熱性能及び耐久性を有する回路基板付きヒートシンクを提供しようとするものである。 The present invention has been made in view of such a background, and an object of the present invention is to provide a heat sink with a circuit board having excellent heat dissipation performance and durability.
本発明の一態様は、セラミックス板と、該セラミックス板の表側面に接合されたアルミニウム材よりなる第1導体板と、上記セラミックス板の裏側面に接合されアルミニウム材よりなり矩形を呈する第2導体板とを有する回路基板と、
アルミニウム材よりなり上記第2導体板とろう材層を介して接合されたヒートシンク本体とを有しており、
上記ヒートシンク本体は上記回路基板が接合される平板状のベース部を有しており、
該ベース部は、JIS A 6000系アルミニウム合金またはJIS A 3000系アルミニウム合金のいずれかにJIS A 1000系アルミニウムがクラッドされ、上記回路基板側にJIS A 1000系アルミニウムが配されたクラッド板よりなり、
上記ろう材層は、上記第2導体板及び上記ヒートシンク本体の少なくとも一方と接合することなく周囲の接合界面よりも陥没した非接合部を有し、
上記第2導体板の外周端縁、該外周端縁におけるいずれかの辺に平行な2本の第1分割線及び該第1分割線と直交する2本の第2分割線に沿って上記第2導体板の表面を9個の仮想領域に等分割したときに、角部に配された4個の角部仮想領域は、それら以外の上記仮想領域に比べて、上記非接合部を上記第2導体板上に投影してなる非接合領域の面積比率が大きいことを特徴とする回路基板付きヒートシンクにある。
One aspect of the present invention is a ceramic plate, a first conductor plate made of an aluminum material joined to the front side surface of the ceramic plate, and a second conductor made of an aluminum material and made of a rectangular shape, joined to the back side surface of the ceramic plate. A circuit board having a board;
A heat sink body made of an aluminum material and joined via a brazing filler metal layer and the second conductor plate;
The heat sink body has a flat base portion to which the circuit board is joined,
The base portion is a clad plate in which either JIS A 6000 series aluminum alloy or JIS A 3000 series aluminum alloy is clad with JIS A 1000 series aluminum, and JIS A 1000 series aluminum is arranged on the circuit board side,
The brazing material layer has a non-joined portion that is depressed from the surrounding joining interface without joining to at least one of the second conductor plate and the heat sink body,
The outer periphery edge of the second conductor plate, the two first dividing lines parallel to any side of the outer edge, and the two second dividing lines orthogonal to the first dividing line. When the surface of the two-conductor plate is equally divided into nine virtual regions, the four corner virtual regions arranged in the corners are compared with the other virtual regions in that the non-joined portions are The heat sink with a circuit board is characterized in that the area ratio of the non-bonded region projected onto the two-conductor plate is large.
本発明の他の態様は、上記の態様の回路基板付きヒートシンクの製造方法であって、
ろうの流入を防止する接合防止剤を上記ヒートシンク本体または上記第2導体板の少なくとも一方に予め塗布し、
次いで、上記ヒートシンク本体上にろう材及び上記回路基板を搭載し、
その後、上記ヒートシンク本体、上記ろう材及び上記回路基板を加熱してろう付を行い、上記ろう材層を介して上記ヒートシンク本体と上記回路基板とを接合させると共に、該ろう材層における上記接合防止剤上に上記非接合部を形成することを特徴とする回路基板付きヒートシンクの製造方法にある。
Another aspect of the present invention is a method of manufacturing a heat sink with a circuit board according to the above aspect,
A pre-coating agent for preventing the inflow of wax is applied in advance to at least one of the heat sink body or the second conductor plate,
Next, the brazing material and the circuit board are mounted on the heat sink body,
Thereafter, the heat sink body, the brazing material, and the circuit board are heated to be brazed, and the heat sink body and the circuit board are joined via the brazing material layer, and the joining prevention in the brazing material layer is performed. The non-joint portion is formed on the agent.
上記回路基板付きヒートシンクは、上記ろう材層の一部に、上記第2導体板及び上記ヒートシンク本体の少なくとも一方と接合することなく周囲の接合界面よりも陥没した非接合部を有している。そのため、上記第2導体板に凹状の熱応力緩和部を設ける場合のように、熱応力緩和部内にろうが充填されるおそれがない。その結果、上記セラミックス板に加わる熱応力を緩和する効果を確実に得ることができる。 The heat sink with a circuit board has a non-joined part which is depressed from the surrounding joining interface without joining to at least one of the second conductor plate and the heat sink body in a part of the brazing material layer. Therefore, unlike the case where the concave thermal stress relaxation portion is provided on the second conductor plate, there is no possibility that the thermal stress relaxation portion is filled with wax. As a result, it is possible to reliably obtain the effect of relaxing the thermal stress applied to the ceramic plate.
また、4個の上記角部仮想領域は、それら以外の上記仮想領域に比べて、上記非接合部を上記第2導体板上に投影してなる非接合領域の面積比率が大きい。即ち、上記非接合部は、上記ろう材層の角部近傍により多く形成されている。上記セラミックス板に加わる熱応力は中央部から遠ざかるほど大きくなる傾向を有するため、上述のように、上記ろう材層の角部近傍に上記非接合部をより多く形成することにより、上記セラミックス板に加わる熱応力を効果的に緩和することができる。 In addition, the four corner virtual regions have a larger area ratio of the non-joined regions formed by projecting the non-joined portions onto the second conductor plate than the other virtual regions. That is, the non-joining part is formed more in the vicinity of the corner part of the brazing material layer. Since the thermal stress applied to the ceramic plate tends to increase as the distance from the central portion increases, as described above, by forming more non-joined portions near the corners of the brazing material layer, The applied thermal stress can be effectively relieved.
また、上記回路基板は、半導体素子が作動している間、中央部に近づくほど温度が高くなる傾向を有する。そのため、上記非接合部が上記ろう材層の中央部近傍に過度に多く存在すると、熱抵抗が増大し、ひいては放熱性能が悪化するおそれがある。一方、上記ろう材層の角部近傍に存在する上記非接合部は、中央部近傍に存在する上記非接合部に比べて放熱性能に及ぼす悪影響が小さい。それ故、上記回路基板付きヒートシンクは、上記ろう材層の角部近傍に上記非接合部をより多く形成することにより、放熱性能の悪化を抑制することができる。 Further, the temperature of the circuit board tends to increase as it approaches the center while the semiconductor element is operating. For this reason, if there are too many non-joined portions in the vicinity of the central portion of the brazing filler metal layer, the thermal resistance may increase and the heat dissipation performance may deteriorate. On the other hand, the non-joining part existing in the vicinity of the corner of the brazing filler metal layer has a smaller adverse effect on the heat dissipation performance than the non-joining part existing in the vicinity of the central part. Therefore, the heat sink with a circuit board can suppress deterioration of heat dissipation performance by forming more non-joined portions near the corners of the brazing material layer.
以上の結果、上記回路基板付きヒートシンクは、従来と同等以上の放熱性能を確保しつつ、上記セラミックス板における反りやクラックの発生を抑制することができる。それ故、上記回路基板付きヒートシンクは、優れた放熱性能及び耐久性を有する。 As a result, the heat sink with a circuit board can suppress the occurrence of warpage and cracks in the ceramic plate while ensuring heat dissipation performance equivalent to or higher than that of the conventional heat sink. Therefore, the heat sink with a circuit board has excellent heat dissipation performance and durability.
また、上記の態様の製造方法は、ろうの流入を防止する接合防止剤を上記ヒートシンク本体または上記第2導体板の少なくとも一方に予め塗布している。このように上記接合防止剤を用いることにより、ろう付作業においてろうが接合防止剤上に流入することを防止し、結果として上記ろう材層に上記非接合部を確実に形成することができる。また、上記接合防止剤を塗布する作業は、比較的簡便に行うことができると共に、従来行われている回路基板付きヒートシンクの製造工程に容易に組み込むことができる。そのため、上記製造方法は優れた生産性を有する。 Moreover, the manufacturing method of said aspect has apply | coated beforehand the joining inhibitor which prevents the inflow of a solder | pewter to at least one of the said heat sink main body or the said 2nd conductor board. Thus, by using the said joining inhibitor, it can prevent that a solder | flow flows in on a joining inhibitor in a brazing operation | work, and can form the said non-joining part in the said brazing | wax material layer reliably. Moreover, the operation | work which apply | coats the said joining inhibitor can be performed comparatively simply, and can be easily integrated in the manufacturing process of the heat sink with a circuit board performed conventionally. Therefore, the manufacturing method has excellent productivity.
上記回路基板付きヒートシンクは、上記第1導体板の表面に半導体素子を搭載した半導体モジュールとして使用される。上記ろう材層における上記非接合部は、ヒートシンク本体側に存在していてもよく、第2導体板側に存在していてもよい。また、上記非接合部は、回路基板付きヒートシンク側及び第2導体板側の両方に存在していてもよい。いずれの場合であっても、上記非接合部が存在することにより、セラミックス板に加わる熱応力を緩和する効果を得ることができる。 The heat sink with a circuit board is used as a semiconductor module in which a semiconductor element is mounted on the surface of the first conductor plate. The non-joining portion in the brazing material layer may exist on the heat sink main body side or may exist on the second conductor plate side. Further, the non-joining portion may exist on both the heat sink side with the circuit board and the second conductor plate side. In any case, the presence of the non-bonded portion can provide an effect of relaxing the thermal stress applied to the ceramic plate.
上記第1導体板、上記第2導体板及び上記ヒートシンク本体は、アルミニウム材より構成されている。ここで、上記の「アルミニウム材」には、純アルミニウム及びアルミニウム合金が含まれる。第1導体板、第2導体板及びヒートシンク本体の材質は、それぞれに要求される機械的特性や耐食性、加工性等に応じて、純アルミニウム及びアルミニウム合金から適宜選択することができる。 The first conductor plate, the second conductor plate, and the heat sink body are made of an aluminum material. Here, the above “aluminum material” includes pure aluminum and aluminum alloys. The materials of the first conductor plate, the second conductor plate, and the heat sink body can be appropriately selected from pure aluminum and aluminum alloy according to the required mechanical characteristics, corrosion resistance, workability, and the like.
上記ヒートシンク本体は上記回路基板が接合される平板状のベース部を有しており、該ベース部は、JIS A 6000系アルミニウム合金またはJIS A 3000系アルミニウム合金のいずれかにJIS A 1000系アルミニウムがクラッドされたクラッド板よりなり、上記回路基板側にJIS A 1000系アルミニウムが配されている。それ故、セラミックス板に加わる熱応力を低減することができると共に、ヒートシンク本体の反りを抑制することができる。 The heat sink body has a flat base portion to which the circuit board is bonded, and the base portion is made of either JIS A 6000 series aluminum alloy or JIS A 3000 series aluminum alloy with JIS A 1000 series aluminum. It consists cladded clad plate, JIS a 1000 series aluminum on the circuit substrate side that has been arranged. Therefore , the thermal stress applied to the ceramic plate can be reduced, and the warpage of the heat sink body can be suppressed.
即ち、1000系アルミニウムは比較的材料強度が低いため、単独でヒートシンク本体に用いた場合にセラミックス板に加わる熱応力を低減することができる。しかしながら、1000系アルミニウムからなるヒートシンク本体は、クリープ変形を起こし易いため、長期間に亘って使用する際に、ヒートシンク本体に反りが生じるおそれがある。一方、6000系アルミニウム合金及び3000系アルミニウム合金はクリープ変形を起こしにくいため、単独でヒートシンク本体に用いた場合に反りの発生を長期間に亘って抑制することができる。しかしながら、6000系アルミニウム合金または3000系アルミニウム合金からなるヒートシンク本体は、材料強度の高さ故、セラミックス板に加わる熱応力が大きくなり易い。 That is, since 1000 series aluminum has comparatively low material strength, when it is used alone for the heat sink body, the thermal stress applied to the ceramic plate can be reduced. However, since the heat sink body made of 1000 series aluminum is likely to undergo creep deformation, the heat sink body may be warped when used over a long period of time. On the other hand, since the 6000 series aluminum alloy and the 3000 series aluminum alloy hardly cause creep deformation, the occurrence of warping can be suppressed over a long period of time when used alone in the heat sink body. However, a heat sink body made of a 6000 series aluminum alloy or a 3000 series aluminum alloy tends to increase the thermal stress applied to the ceramic plate because of its high material strength.
従って、回路基板が搭載される側に1000系アルミニウムを用いることによりセラミックス板に加わる熱応力を低減することができるとともに、回路基板と反対側に、クリープ変形を起こしにくい6000系アルミニウム合金または3000系アルミニウム合金を用いることによりヒートシンク本体の反りを抑制することができる。 Therefore, by using 1000 series aluminum on the side on which the circuit board is mounted, the thermal stress applied to the ceramic plate can be reduced, and on the side opposite to the circuit board, a 6000 series aluminum alloy or 3000 series that hardly undergoes creep deformation. By using an aluminum alloy, it is possible to suppress warping of the heat sink body.
上記ベース部における1000系アルミニウムのクラッド率、即ち上記ベース部全体の厚みに対する1000系アルミニウムの厚みは、3〜40%であることが好ましい。クラッド率が3%未満の場合には、回路基板に加わる熱応力を緩和する効果が不十分となるおそれがある。一方、クラッド率が40%を超える場合には、反りを抑制する効果が不十分となるおそれがある。 It is preferable that the cladding ratio of 1000 series aluminum in the said base part, ie, the thickness of 1000 series aluminum with respect to the thickness of the said whole base part, is 3 to 40%. When the cladding rate is less than 3%, the effect of relaxing the thermal stress applied to the circuit board may be insufficient. On the other hand, when the cladding ratio exceeds 40%, the effect of suppressing warpage may be insufficient.
なお、上記の構成を有するヒートシンク本体は、例えば、1000系アルミニウムが6000系アルミニウム合金上にクラッドされたクラッド板または1000系アルミニウムが3000系アルミニウム合金上にクラッドされたクラッド板を予め準備し、上記クラッド板を鍛造する、あるいは切削すること等により作製することができる。 The heat sink body having the above-described configuration is prepared in advance by, for example, preparing a clad plate in which 1000 series aluminum is clad on a 6000 series aluminum alloy or a clad plate in which 1000 series aluminum is clad on a 3000 series aluminum alloy, It can be produced by forging or cutting the clad plate.
上記ヒートシンク本体は、要求される冷却性能や配置スペースに応じて種々の形態をとることができる。例えば、上記ヒートシンク本体は、上記ベース部から立設された放熱フィンを有していてもよい。放熱フィンとしては、ピンフィン、プレートフィン、コルゲートフィン等の公知の形状の放熱フィンを採用することができる。これらの放熱フィンは、例えば押出加工や鍛造加工、切削加工等により上記ベース部と一体に形成することができる。また、ベース部と放熱フィンとを別々に準備した後、ろう付等により両者を接合してもよい。 The heat sink body can take various forms according to required cooling performance and arrangement space. For example, the heat sink body may have a heat radiating fin erected from the base portion. As the heat radiation fin, a heat radiation fin having a known shape such as a pin fin, a plate fin, or a corrugated fin can be employed. These radiating fins can be formed integrally with the base portion by, for example, extrusion, forging, cutting, or the like. Moreover, after preparing a base part and a radiation fin separately, you may join both by brazing etc.
また、上記ヒートシンク本体は、冷却媒体が流通する冷媒流路を内部に備えた冷却管であってもよい。 Further, the heat sink body may be a cooling pipe having therein a coolant channel through which a cooling medium flows.
上記の態様の製造方法において、上記接合防止剤は、ディスペンサ等による描画法、スタンプによる転写法及びスクリーン印刷等の印刷法等の種々の方法により塗布することができる。 In the production method of the above aspect, the bonding inhibitor can be applied by various methods such as a drawing method using a dispenser, a transfer method using a stamp, and a printing method such as screen printing.
上記接合防止剤としては、アルミニウム材のろう付温度である600℃程度の温度において安定に存在するものが好ましい。かかる接合防止剤を用いることにより、ろうの流入を確実に防止することができ、結果として上記非接合部を確実に形成することができる。例えば、上記接合防止剤としては、酸化チタンや酸化チタンを含む組成物等を用いることができる。 As said joining inhibitor, what exists stably in the temperature of about 600 degreeC which is the brazing temperature of an aluminum material is preferable. By using such a bonding inhibitor, it is possible to reliably prevent the inflow of the wax, and as a result, it is possible to reliably form the non-bonded portion. For example, as the bonding inhibitor, titanium oxide, a composition containing titanium oxide, or the like can be used.
また、上記の態様の製造方法においては、フラックスを用いずにろう付を行うことが好ましい。アルミニウム材のろう付には、アルミニウム材表面の酸化皮膜を破壊してろうの濡れ性を向上させるために、フルオロアルミン酸カリウム等のフラックスが用いられることが多い。しかしながら、これらのフラックスは、接合防止剤と反応してろうの流入防止効果を損なうおそれがある。かかる問題は、フラックスを用いずにろう付を行うことにより回避することができる。 Moreover, in the manufacturing method of said aspect, it is preferable to braze without using a flux. In brazing of an aluminum material, a flux such as potassium fluoroaluminate is often used in order to break the oxide film on the surface of the aluminum material and improve the wettability of the brazing material. However, these fluxes may react with the bonding inhibitor and impair the effect of preventing the inflow of wax. Such a problem can be avoided by performing brazing without using a flux.
なお、フラックスを用いずにろう付を行う場合には、例えば、減圧下でろう付を行う真空ろう付法や、不活性ガス雰囲気下でのフラックスレスろう付法を採用することができる。 When brazing without using a flux, for example, a vacuum brazing method in which brazing is performed under reduced pressure or a fluxless brazing method in an inert gas atmosphere can be employed.
(参考例)
上記回路基板付きヒートシンクの参考例を、図を用いて説明する。図1に示すように、回路基板付きヒートシンク1は、回路基板2とヒートシンク本体3とを有しており、回路基板2とヒートシンク本体3とがろう付により接合されている。回路基板2は、セラミックス板21と、セラミックス板21の表側面に接合されたアルミニウム材よりなる第1導体板22と、セラミックス板21の裏側面に接合されアルミニウム材よりなり矩形を呈する第2導体板23とを有している。ヒートシンク本体3は、アルミニウム材より構成されており、第2導体板23とろう材層4を介して接合されている。
( Reference example )
A reference example of the heat sink with the circuit board will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the
図1に示すように、ろう材層4は、第2導体板23及びヒートシンク本体3の少なくとも一方と接合することなく周囲の接合界面41よりも陥没した非接合部42を有している。そして、図2より知られるように、第2導体板23の外周端縁231、外周端縁231におけるいずれかの辺に平行な2本の第1分割線D1及び第1分割線D1と直交する2本の第2分割線D2に沿って第2導体板23の表面を9個の仮想領域Rに等分割したときに、角部に配された4個の角部仮想領域REは、それら以外の仮想領域R(RC、RM)に比べて、非接合部42を第2導体板23上に投影してなる非接合領域の面積比率が大きい。以下、本例の回路基板付きヒートシンク1の製造方法と共に、各部について詳説する。
As shown in FIG. 1, the brazing
まず、以下の構成を有するヒートシンク本体3、ろう材及び回路基板2を準備した。ヒートシンク本体3は、JIS A 1050より構成されており、図1に示すように、平板状のベース部31と、ベース部31から立設された放熱フィン部32とを有している。ベース部31は、長さ100mm、幅100mm、厚み3mmの寸法を有している。放熱フィン部32は、多数のフィン板321がその厚み方向に配列されたプレートフィンである。また、放熱フィン部32は、鍛造加工によりベース部31と一体的に形成されている。
First, a
回路基板2におけるセラミックス板21はAlN(窒化アルミニウム)より構成されており、ベース部31よりも長さ及び幅の小さい正方形状を呈している。また、第1導体板22及び第2導体板23はJIS A 1000系アルミニウムより構成されており、セラミックス板21よりも長さ及び幅の小さい正方形状を呈している。具体的には、本例において用いた第1導体板22及び第2導体板23の一辺は88mmである。
The
ろう材としては、JIS A 4050合金よりなるアルミニウム合金箔を用いた。ろう材の厚さは100μmとした。また、ろう材の表面には、予めフルオロアルミン酸カリウムを含むフラックスを塗布した。 As the brazing material, an aluminum alloy foil made of JIS A 4050 alloy was used. The thickness of the brazing material was 100 μm. Further, a flux containing potassium fluoroaluminate was previously applied to the surface of the brazing material.
次に、ヒートシンク本体3のベース部31における第2導体板23が接合される領域内に、ろうの流入を防止する接合防止剤5を塗布した。本例においては、図2に示すように、ベース部31の長さ方向に平行な10本の塗布線L1及び幅方向に平行な10本の塗布線L2からなる格子状のパターンを描画した。塗布線L1及びL2の線幅は2.3mmとし、接合防止剤5の塗布厚みは5μmとした。また、接合防止剤5としては、酸化チタンが含まれているものを用いた。
Next, the
また、本例においては、ベース部31の中央から遠ざかるほど隣り合う塗布線L1、L2の間隔が狭くなるように塗布線L1及びL2を描画し、個々の角部仮想領域RE上を通過する塗布線L1及びL2の本数を、中央仮想領域RC(後述)上を通過する塗布線L1及びL2の本数よりも多くした。具体的には、図2に示すように、ベース部31の中央部において隣り合う塗布線L1、L2の間隔d1を17.7mmとし、中央部から外方に向かうにつれて、隣り合う塗布線L1、L2の間隔d2が7.7mm、間隔d3が2.7mmとなるように段階的に塗布線L1、L2の間隔を狭くした。その結果、個々の角部仮想領域RE上に塗布線L1及び塗布線L2が4本ずつ通過し、中央仮想領域RC上に塗布線L1及び塗布線L2が2本ずつ通過した塗布パターンを描画した。
Further, in this example, the coating lines L1 and L2 are drawn so that the distance between the adjacent coating lines L1 and L2 becomes narrower as the distance from the center of the
接合防止剤5を図2に示すように塗布した後、ベース部31上にろう材を積載し、次いで、第2導体板23とろう材とが当接するようにしてろう材上に回路基板2を積載した。その後、これらを加熱してろう付を行い、回路基板付きヒートシンク1を得た。
After the
ろう付作業において溶融したろうは、ろう材層4の厚み方向から見て第2導体板23と略同一の形状に濡れ広がり、略矩形を呈するろう材層4となった。また、ベース部31における接合防止剤5が塗布された部分には、ろう材層4により被覆されない非接合部42が形成された。なお、図1に示すように、非接合部42の陥没深さは0.1mm未満であり、第2導体板23とろう材層4との間には非接合部42は形成されなかった。
The solder melted in the brazing operation wets and spreads in substantially the same shape as the
非接合部42を第2導体板23上に投影してなる非接合領域の形状は、図2に示す接合防止剤5の塗布パターンと同一形状となった。第2導体板23上に投影した非接合領域の面積比率は、接合防止剤5の塗布面積と同じく45.4%であった。
The shape of the non-bonded region formed by projecting the
また、第2導体板23の外周端縁231、外周端縁231における長さ方向に延びる辺に平行な2本の第1分割線D1及び第1分割線D1と直交する2本の第2分割線D2に沿って、第2導体板23の表面を9個の仮想領域Rに等分割したときに、角部に配された4個の角部仮想領域REは、それら以外の仮想領域R(RC、RM)に比べて、非接合領域の面積比率が大きくなった。具体的には、角部仮想領域RE内に存在する非接合領域の面積比率は52.9%であった。また、9個の仮想領域Rのうち、中央に配された中央仮想領域RC内に存在する非接合領域の面積比率は、28.8%であった。また、角部仮想領域RE及び中央仮想領域RCを除く5個の仮想領域RM内に存在する非接合領域の面積比率は、42.1%であった。
Further, the outer
以上により得られた回路基板付きヒートシンク1の放熱フィン部32に、水とエチレングリコールとを50体積%ずつ含む60℃の冷却媒体を流速0.96m/sで接触させた。この状態において、第1導体板22と同じ寸法を有する700Wの熱源を第1導体板22に負荷し、定常状態に到達させた。定常状態における第1導体板22の表面の最高温度は93℃であった。また、定常状態に到達した時点から6時間経過後、熱源を取り除いて回路基板付きヒートシンク1を冷却した。その後、超音波探傷法を用いてセラミックス板21におけるクラック等の有無を確認したところ、クラック等の発生はみられなかった。
A cooling medium at 60 ° C. containing 50% by volume of water and ethylene glycol was brought into contact with the
次に、本例の作用効果を説明する。回路基板付きヒートシンク1は、ろう材層4の一部に、ベース部31と接合することなく周囲の接合界面41よりも陥没した非接合部42を有している。そのため、セラミックス板21に加わる熱応力を緩和する効果を確実に得ることができる。
Next, the function and effect of this example will be described. The
また、図2より知られるように、回路基板付きヒートシンク1は、ろう材層4の角部近傍に、より多くの非接合部42を有している。そのため、セラミックス板21に加わる熱応力を効果的に緩和することができるとともに、放熱性能の悪化を抑制することができる。
As is known from FIG. 2, the
また、回路基板付きヒートシンク1は、9個の仮想領域Rのうち中央に配された中央仮想領域RCに存在する非接合部42の面積比率が、それ以外の仮想領域R(RE、RM)に面する非接合部42の面積比率よりも小さい。即ち、回路基板付きヒートシンク1は、回路基板2の中央部近傍において、ろう材層4との接合界面41の面積比率が大きくなるように構成されている。上述したように、回路基板2は、半導体素子が作動している間、中央部に近づくほど温度が高くなる傾向を有する。それ故、中央仮想領域RCに存在する非接合部42の面積比率を小さくすることにより、放熱性能をより高めることができる。
Further, in the
以上の結果、回路基板付きヒートシンク1は、従来と同等以上の放熱性能を確保しつつ、セラミックス板21における反りやクラックの発生を抑制することができる。それ故、回路基板付きヒートシンク1は、優れた放熱性能及び耐久性を有する。
As a result, the
(実施例1)
本例は、クラッド板材からなるヒートシンク本体3bを用いた回路基板付きヒートシンク1bの例である。本例のヒートシンク本体3bにおけるベース部31bは、JIS A 6000系アルミニウム合金(図3、符号A)上にJIS A 1000系アルミニウム(図3、符号B)がクラッドされたクラッド板より構成されている。図3に示すように、ベース部31bの回路基板2側には、1000系アルミニウムが配されている。なお、ベース部31bの回路基板2と反対側には、6000系アルミニウム合金よりなる放熱フィン部32が立設されている。
( Example 1 )
This example is an example of a
ベース部31bにおける6000系アルミニウム合金の厚みは1.9mmであり、1000系アルミニウムの厚みは1.1mmであり、ベース部31b全体の厚みに対する1000系アルミニウムのクラッド率は36.7%である。このような構成を有するヒートシンク本体3bは、例えば、6000系アルミニウム合金上に1000系アルミニウムがクラッドされたクラッド板を鍛造することにより作製できる。
The thickness of the 6000 series aluminum alloy in the
その他は参考例と同様である。図3において用いた符号のうち、参考例において用いた符号と同一のものは、特に説明のない限り参考例と同様の構成要素等を表す。 Others are the same as the reference example . Of the symbols used in FIG. 3, reference numerals same as the that used in Reference Example, in particular represent like components such as in the reference example unless described.
本例のように、ヒートシンク本体3bに6000系アルミニウム合金と1000系アルミニウムとのクラッド板を用いることにより、上述したようにセラミックス板21に加わる熱応力を低減することができると共に、ヒートシンク本体3bの反りを抑制することができる。また、6000系アルミニウム合金と1000系アルミニウムとがクラッド接合されているため、例えばこれらの合金をろう付した板材を用いる場合等に比べて両者が強固に接合されている。それ故、本例のヒートシンク本体3bを有する回路基板付きヒートシンク1bは、優れた信頼性を有する。その他、参考例と同様の作用効果を奏することができる。
As described above, by using a clad plate of 6000 series aluminum alloy and 1000 series aluminum for the
(比較例)
本例は、参考例において接合防止剤5の塗布パターンを変更した例である。本例においては、図4に示すように、ベース部31上に、ベース部31の長さ方向に平行な9本の塗布線L1及び幅方向に平行な9本の塗布線L2からなる格子状のパターンを描画した。
(Comparative example)
This example is an example in which the coating pattern of the
本例においては、隣り合う塗布線L1及びL2の間隔が一定となるように接合防止剤5を塗布し、全ての仮想領域R上に、3本ずつの塗布線L1及びL2が通過するように塗布パターンを描画した。具体的には、隣り合う塗布線L1、L2の間隔d4が全て7.7mmとなるように描画した。塗布線L1及びL2の線幅は2.3mmとし、接合防止剤5の塗布厚みは5μmとした。また、接合防止剤5としては、酸化チタンが含まれているものを用いた。
In this example, the
接合防止剤5の塗布パターンを変更した以外は、参考例と同様にして回路基板付きヒートシンクを作製した。得られた回路基板付きヒートシンクにおける非接合部42は、参考例と同様に、ベース部31における接合防止剤5が塗布された部分に形成された。
A heat sink with a circuit board was produced in the same manner as in the reference example except that the coating pattern of the
また、非接合部42を第2導体板23上に投影してなる非接合領域の形状は、図4に示す接合防止剤5の塗布パターンと同一形状となった。第2導体板23上に投影した非接合領域の面積比率は、接合防止剤5の塗布面積と同じく41.5%であった。
Moreover, the shape of the non-joining area | region formed by projecting the
また、第2導体板23の外周端縁231、外周端縁231における長さ方向に延びる辺に平行な2本の第1分割線D1及び第1分割線D1と直交する2本の第2分割線D2に沿って、第2導体板23の表面を9個の仮想領域Rに等分割したところ、全ての仮想領域Rにおいて、領域内に存在する非接合領域の面積比率は41.5%となった。その他は参考例と同様である。なお、図4において用いた符号のうち、参考例において用いた符号と同一のものは、特に説明のない限り参考例と同様の構成要素等を表す。
Further, the outer
参考例と同様に、本例の回路基板付きヒートシンクにおける放熱フィン部32に水とエチレングリコールとを50体積%ずつ含む60℃の冷却媒体を流速0.96m/sで接触させた。この状態において、第1導体板22と同じ寸法を有する700Wの熱源を第1導体板22に負荷し、定常状態に到達させた。定常状態における第1導体板22の表面の最高温度は97℃であった。また、定常状態に到達した時点から6時間経過後、熱源を取り除いて回路基板付きヒートシンクを冷却した。その後、超音波探傷法を用いてセラミックス板21におけるクラック等の有無を確認したところ、クラック等の発生はみられなかった。
Similarly to the reference example , a cooling medium at 60 ° C. containing 50% by volume of water and ethylene glycol was brought into contact with the
このように、比較例の回路基板付きヒートシンクは、参考例に比べて非接合部42の総面積が小さくなっているにも関わらず、参考例よりも放熱性能が悪化した。この結果から、比較例の塗布パターンを用いて参考例と同様の放熱性能を達成するためには、非接合部42の面積比率をより小さくする必要があることが理解できる。一方、非接合部42の面積比率を小さくするとセラミックス板21にかかる熱応力を低減する効果が不十分となるおそれがあり、クラック等がより発生しやすくなると考えられる。
Thus, the circuit board with the heat sink of the comparative example, despite the total area of the
1 回路基板付きヒートシンク
2 回路基板
21 セラミックス板
22 第1導体板
23 第2導体板
231 第2導体板の外周端縁
3 ヒートシンク本体
4 ろう材層
41 接合界面
42 非接合部
D1 第1分割線
D2 第2分割線
R 仮想領域
RE 角部仮想領域
DESCRIPTION OF
Claims (6)
アルミニウム材よりなり上記第2導体板とろう材層を介して接合されたヒートシンク本体とを有しており、
上記ヒートシンク本体は上記回路基板が接合される平板状のベース部を有しており、
該ベース部は、JIS A 6000系アルミニウム合金またはJIS A 3000系アルミニウム合金のいずれかにJIS A 1000系アルミニウムがクラッドされ、上記回路基板側にJIS A 1000系アルミニウムが配されたクラッド板よりなり、
上記ろう材層は、上記第2導体板及び上記ヒートシンク本体の少なくとも一方と接合することなく周囲の接合界面よりも陥没した非接合部を有し、
上記第2導体板の外周端縁、該外周端縁におけるいずれかの辺に平行な2本の第1分割線及び該第1分割線と直交する2本の第2分割線に沿って上記第2導体板の表面を9個の仮想領域に等分割したときに、角部に配された4個の角部仮想領域は、それら以外の上記仮想領域に比べて、上記非接合部を上記第2導体板上に投影してなる非接合領域の面積比率が大きいことを特徴とする回路基板付きヒートシンク。 A circuit board having a ceramic plate, a first conductor plate made of an aluminum material joined to the front side surface of the ceramic plate, and a second conductor plate made of an aluminum material and made of a rectangular shape, joined to the back side surface of the ceramic plate; ,
A heat sink body made of an aluminum material and joined via a brazing filler metal layer and the second conductor plate;
The heat sink body has a flat base portion to which the circuit board is joined,
The base portion is a clad plate in which either JIS A 6000 series aluminum alloy or JIS A 3000 series aluminum alloy is clad with JIS A 1000 series aluminum, and JIS A 1000 series aluminum is arranged on the circuit board side,
The brazing material layer has a non-joined portion that is depressed from the surrounding joining interface without joining to at least one of the second conductor plate and the heat sink body,
The outer periphery edge of the second conductor plate, the two first dividing lines parallel to any side of the outer edge, and the two second dividing lines orthogonal to the first dividing line. When the surface of the two-conductor plate is equally divided into nine virtual regions, the four corner virtual regions arranged in the corners are compared with the other virtual regions in that the non-joined portions are A heat sink with a circuit board, characterized in that the area ratio of a non-bonded region projected onto a two-conductor plate is large.
ろうの流入を防止する接合防止剤を上記ヒートシンク本体または上記第2導体板の少なくとも一方に予め塗布し、
次いで、上記ヒートシンク本体上にろう材及び上記回路基板を搭載し、
その後、上記ヒートシンク本体、上記ろう材及び上記回路基板を加熱してろう付を行い、上記ろう材層を介して上記ヒートシンク本体と上記回路基板とを接合させると共に、該ろう材層における上記接合防止剤上に上記非接合部を形成することを特徴とする回路基板付きヒートシンクの製造方法。 It is a manufacturing method of the heat sink with a circuit board given in any 1 paragraph of Claims 1-3 ,
A pre-coating agent for preventing the inflow of wax is applied in advance to at least one of the heat sink body or the second conductor plate,
Next, the brazing material and the circuit board are mounted on the heat sink body,
Thereafter, the heat sink body, the brazing material, and the circuit board are heated to be brazed, and the heat sink body and the circuit board are joined via the brazing material layer, and the joining prevention in the brazing material layer is performed. A method for producing a heat sink with a circuit board, comprising forming the non-bonded portion on an agent.
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