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JP6325271B2 - Light irradiation apparatus and printing apparatus - Google Patents

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JP6325271B2
JP6325271B2 JP2014023592A JP2014023592A JP6325271B2 JP 6325271 B2 JP6325271 B2 JP 6325271B2 JP 2014023592 A JP2014023592 A JP 2014023592A JP 2014023592 A JP2014023592 A JP 2014023592A JP 6325271 B2 JP6325271 B2 JP 6325271B2
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light irradiation
light
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Description

本発明は、光照射装置および印刷装置に関する。   The present invention relates to a light irradiation apparatus and a printing apparatus.

従来、紫外線照射装置は、医療やバイオ分野での蛍光反応観察、殺菌用途、電子部品の接着や紫外線硬化型樹脂およびインクの硬化などを目的に広く利用されている。特に、電子部品の分野などで小型部品の接着等に使われる紫外線硬化型樹脂の硬化や、印刷の分野で使われる紫外線硬化型インクの硬化などに用いられる紫外線照射装置のランプ光源には、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどが使用されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, ultraviolet irradiation apparatuses are widely used for the purpose of fluorescence reaction observation in medical and bio fields, sterilization applications, adhesion of electronic components, curing of ultraviolet curable resins and inks, and the like. In particular, the UV light source lamp light source used for curing UV curable resins used for bonding small parts in the field of electronic components, etc., and UV curable ink used for printing, etc. Mercury lamps and metal halide lamps are used.

近年、世界規模で地球環境負荷の軽減が切望されていることから、比較的長寿命、省エネルギーおよびオゾン発生を抑制することができる紫外線発光素子をランプ光源に採用する動きが活発になってきている。   In recent years, there has been a strong desire to reduce the global environmental load on a global scale, and there has been an active movement to adopt an ultraviolet light emitting element as a lamp light source capable of suppressing the generation of ozone with a relatively long life, energy saving. .

しかしながら、紫外線照射装置を長尺化、大型化する場合には、それに応じて、紫外線発光素子から出射する光が透過する保護部材についても長尺化、大型化することによって部材のコストが大幅に増大するという課題が生じる。   However, when the ultraviolet irradiation device is lengthened and increased in size, the cost of the member is greatly increased by increasing the length and size of the protective member through which light emitted from the ultraviolet light emitting element is transmitted accordingly. The problem of increasing arises.

実用新案登録第3158033号公報Utility Model Registration No. 3158033

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、光照射装置を長尺化、大型化したとしても、コストの増大を抑制することができる光照射装置および印刷装置を提供する。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a light irradiation apparatus and a printing apparatus that can suppress an increase in cost even if the light irradiation apparatus is made longer and larger.

本発明の実施形態に係る光照射装置は、 一方主面に、それぞれが少なくとも一つの発光素子を有する複数の発光部を、千鳥格子状に配置した光照射デバイスと、 前記光照射デバイスの前記一方主面と間隙を介して位置しており、前記複数の発光部から出射する光が透過する保護部材を有するトップカバーとを備え、 前記保護部材は、互いに隣接している第1部材および第2部材を有し、 上面視において、前記第1部材と前記第2部材との境界は、前記複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各発光部の上を通る。   The light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention includes a light irradiation device in which a plurality of light emitting units each having at least one light emitting element are arranged in a staggered pattern on one main surface, and the light irradiation device And a top cover having a protective member that is located through the gap with the main surface and through which light emitted from the plurality of light emitting portions is transmitted. The protective member includes a first member and a first cover that are adjacent to each other. Two members, and in a top view, a boundary between the first member and the second member is the plurality of light emitting portions and constitutes one of a staggered row or column. It passes over each light emitting part.

本発明の実施形態に係る印刷装置は、 記録媒体に対して印刷を行なう印刷手段と、 印刷された前記記録媒体に対して光を照射する上記の光照射装置とを有する。   A printing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a printing unit that performs printing on a recording medium, and the light irradiation apparatus that irradiates light onto the printed recording medium.

本発明の実施形態に係る光照射装置によれば、上述のように、保護部材は互いに隣接している第1部材および第2部材を有しており、上面視において第1部材と第2部材との境界は複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各発光部の上を通る。それ故、光照射装置が長尺化、大型化する場合においても、保護部材を複数の部材で構成することによって、部材コストの大幅な増大を抑制することができる。また、保護部材を複数の部材で構成する場合においても、第1部材および第2部材の境界と複数の発光部との位置関係を上述のように設定することにより、部位によって外部への放
射照度にバラツキが生じることを抑制できる。
According to the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention, as described above, the protection member has the first member and the second member adjacent to each other, and the first member and the second member in a top view. The boundary is a plurality of light emitting portions and passes over each light emitting portion constituting one of the staggered rows or columns. Therefore, even when the light irradiation device becomes longer and larger, it is possible to suppress a significant increase in member cost by configuring the protective member with a plurality of members. Even when the protective member is constituted by a plurality of members, the irradiance to the outside depending on the part is set by setting the positional relationship between the boundaries of the first member and the second member and the plurality of light emitting portions as described above. It is possible to suppress the occurrence of variations.

本発明の光照射装置の形態の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the form of the light irradiation apparatus of this invention. 放熱用部材の流路を説明する図である。It is a figure explaining the flow path of the member for thermal radiation. 図1に示した光照射装置を構成する光照射デバイスを説明する図である。It is a figure explaining the light irradiation device which comprises the light irradiation apparatus shown in FIG. 図3に示した光照射デバイスの3I−3I線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the 3I-3I line | wire of the light irradiation device shown in FIG. 図3に示した光照射デバイスの変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the light irradiation device shown in FIG. 図3に示した光照射デバイスの変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the light irradiation device shown in FIG. 図1に示した光照射装置の発光素子の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the light emitting element of the light irradiation apparatus shown in FIG. 図1に示した光照射装置を用いた印刷装置の上面図である。It is a top view of the printing apparatus using the light irradiation apparatus shown in FIG. 図8に示した印刷装置の側面図である。It is a side view of the printing apparatus shown in FIG.

以下、本発明の光照射装置および印刷装置の実施の形態の例について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の例は本発明の実施の形態を例示するものであって、本発明はこれらの実施の形態の例に限定されるものではない。   Hereinafter, examples of embodiments of a light irradiation apparatus and a printing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. The following examples illustrate the embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to the examples of these embodiments.

<光照射装置の実施形態>
図1に示す光照射装置1は、例えば、紫外線硬化型インクを使用するオフセット印刷装置やインクジェット印刷装置等の印刷装置に組み込まれて、対象物(記録媒体)に紫外線硬化型インクを被着した後に紫外線を照射することで、紫外線硬化型インクを硬化させる紫外線発生光源として機能する。
<Embodiment of light irradiation apparatus>
A light irradiation apparatus 1 shown in FIG. 1 is incorporated in a printing apparatus such as an offset printing apparatus or an inkjet printing apparatus that uses an ultraviolet curable ink, and the object (recording medium) is coated with the ultraviolet curable ink. By irradiating with ultraviolet rays later, it functions as an ultraviolet ray generating light source for curing the ultraviolet curable ink.

光照射装置1は、複数の光照射モジュール2を備えるとともに、配列した複数の光照射モジュール2の一部を少なくとも収容する筐体4を備える。ここで、光照射装置1は、例えば幅50〜200mm、長さ700〜1500mmに設定される。   The light irradiation apparatus 1 includes a plurality of light irradiation modules 2 and a housing 4 that houses at least a part of the plurality of light irradiation modules 2 arranged. Here, the light irradiation apparatus 1 is set to, for example, a width of 50 to 200 mm and a length of 700 to 1500 mm.

まず、光照射モジュール2について説明する。   First, the light irradiation module 2 will be described.

<光照射モジュール2>
光照射モジュール2は、複数の発光素子20を基板10の一方主面11aに配置した光照射デバイス3と、光照射デバイス3を第1主面5aに配置した放熱用部材5と、放熱用部材5の第1主面5aの反対側に位置する第2主面5bに接続された、放熱用部材5の内部に設けられた流路5cに冷媒を供給するための供給用冷却配管6aおよび流路5cから冷媒を排出するための排出用冷却配管6bと、光照射デバイス3に接続された、光照射デバイス3に電力を供給するための電気配線7と、第2主面5bに対向して配置されたカバー8とを有する。
<Light irradiation module 2>
The light irradiation module 2 includes a light irradiation device 3 in which a plurality of light emitting elements 20 are disposed on one main surface 11a of the substrate 10, a heat radiation member 5 in which the light irradiation device 3 is disposed on a first main surface 5a, and a heat radiation member. The supply cooling pipe 6a and the flow for supplying the refrigerant to the flow path 5c provided in the heat radiating member 5 connected to the second main surface 5b located on the opposite side of the first main surface 5a. Opposite to the discharge cooling pipe 6b for discharging the refrigerant from the passage 5c, the electrical wiring 7 connected to the light irradiation device 3 for supplying power to the light irradiation device 3, and the second main surface 5b And a cover 8 arranged.

光照射デバイス3は、複数の発光素子20を有しており、紫外線発生光源として機能する。ここで、光照射デバイス3は、例えば幅10〜40mm、長さ20〜50mmに設定される。また、発光素子20は、例えば0.3〜1.5mm角に設定される。   The light irradiation device 3 has a plurality of light emitting elements 20 and functions as an ultraviolet light generation light source. Here, the light irradiation device 3 is set to a width of 10 to 40 mm and a length of 20 to 50 mm, for example. Moreover, the light emitting element 20 is set to 0.3 to 1.5 mm square, for example.

放熱用部材5は、光照射デバイス3の支持体として、また光照射デバイス3が発する熱を外部へ放熱する放熱体として機能する。この放熱用部材5の形成材料としては、熱伝導率の大きい材料が好ましく、例えば種々の金属材料、セラミックスおよび樹脂材料が挙げられる。本実施形態の放熱用部材5は、銅によって形成されている。   The heat radiating member 5 functions as a support for the light irradiation device 3 and also as a heat radiator that radiates heat generated by the light irradiation device 3 to the outside. The material for forming the heat radiating member 5 is preferably a material having a high thermal conductivity, and examples thereof include various metal materials, ceramics, and resin materials. The heat radiating member 5 of this embodiment is formed of copper.

図2に放熱用部材5を示す。放熱用部材5の内部には、放熱性を高めるための冷媒を流動する流路5cが設けられている。本実施形態の流路5cは、放熱用部材5の内部を全体
にわたって蛇行するように設けられており、流路5cの両端には、冷媒を供給する供給口5dおよび冷媒を排出する排出口5eがそれぞれ放熱用部材5の第2主面5b側に設けられている。なお、流路5cの形状ならびに供給口5dおよび排出口5eの数などは光照射デバイス3の冷却状態に合わせて適宜調整すればよい。
FIG. 2 shows the heat radiating member 5. Inside the heat radiating member 5, a flow path 5 c is provided for flowing a refrigerant for enhancing heat dissipation. The flow path 5c of this embodiment is provided so as to meander inside the heat radiating member 5, and a supply port 5d for supplying a refrigerant and a discharge port 5e for discharging the refrigerant are provided at both ends of the flow path 5c. Are provided on the second main surface 5b side of the heat dissipating member 5, respectively. In addition, what is necessary is just to adjust suitably the shape of the flow path 5c, the number of the supply port 5d, the discharge port 5e, etc. according to the cooling state of the light irradiation device 3. FIG.

放熱用部材5の第2主面5bに設けられた供給口5dおよび排出口5eには、それぞれ供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bが接続されている。   A supply cooling pipe 6a and a discharge cooling pipe 6b are connected to the supply port 5d and the discharge port 5e provided on the second main surface 5b of the heat radiation member 5, respectively.

カバー8は、第2主面5bに対向して配置されており、第2主面5bに接続された供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bならびに電気配線7が貫通した貫通孔8aを有している。なお、電気配線7は、貫通孔8aを貫通した電気配線用端子を介してカバー8の両側に設けられていてもよい。カバー8は、後に説明する筐体4に当接されることによって、光照射デバイス3、放熱用部材5、供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bの一部、電気配線7の一部を光照射装置1の外部環境から保護する機能を有する。   The cover 8 is disposed to face the second main surface 5b, and has a through-hole 8a through which the supply cooling pipe 6a and the discharge cooling pipe 6b connected to the second main surface 5b and the electric wiring 7 pass. doing. The electrical wiring 7 may be provided on both sides of the cover 8 via electrical wiring terminals that penetrate the through holes 8a. The cover 8 is brought into contact with the housing 4 to be described later, so that the light irradiation device 3, the heat radiation member 5, a part of the supply cooling pipe 6 a and the discharge cooling pipe 6 b, and a part of the electrical wiring 7 are covered. It has a function of protecting the light irradiation device 1 from the external environment.

本実施形態のカバー8は平板状のアルミニウムで形成されている。なお、カバー8の形状は後に説明する筐体4に当接される形状であればどのような形状であってもよい。材質もアルミニウムに限定されず、鉄、ステンレス鋼などの金属材料であってもよいし、金属材料に限らず、樹脂などでもよいが、光照射装置1の軽量化、放熱性および耐腐食性の観点から、本実施形態ではカバー8の材料としてアルミニウムを採用している。   The cover 8 of this embodiment is made of flat aluminum. The shape of the cover 8 may be any shape as long as it is in contact with the housing 4 described later. The material is not limited to aluminum, and may be a metal material such as iron or stainless steel, and is not limited to a metal material, but may be a resin. However, the light irradiation device 1 can be reduced in weight, heat dissipation, and corrosion resistance. From the viewpoint, in this embodiment, aluminum is adopted as the material of the cover 8.

ここで、光照射デバイス3について説明する。   Here, the light irradiation device 3 will be described.

<光照射デバイス3>
図3および図4に示す光照射デバイス3は、一方主面11aに複数の開口部12を有する基板10と、各開口部12内に設けられた複数の接続パッド13と、基板10の各開口部12内に配置され、接続パッド13に電気的に接続された複数の発光素子20と、各開口部12内に充填され、発光素子20を被覆する複数の封止材30と、各開口部12に対応した光学レンズ16とを備えている。
<Light irradiation device 3>
3 and 4 includes a substrate 10 having a plurality of openings 12 on one main surface 11a, a plurality of connection pads 13 provided in each opening 12, and each opening of the substrate 10. A plurality of light emitting elements 20 disposed in the portion 12 and electrically connected to the connection pad 13, a plurality of sealing materials 30 filled in each opening 12 and covering the light emitting elements 20, and each opening 12 and the optical lens 16 corresponding to Twelve.

(基板10)
基板10は、第1の絶縁層41および第2の絶縁層42が積層されてなる積層体40と、発光素子20同士を接続する電極配線50とを備え、一方主面11a側から平面視して矩形状であり、この一方主面11aに設けられた開口部12内で発光素子20を支持している。
(Substrate 10)
The substrate 10 includes a stacked body 40 in which a first insulating layer 41 and a second insulating layer 42 are stacked, and an electrode wiring 50 that connects the light emitting elements 20 to each other. The light emitting element 20 is supported in an opening 12 provided on the one main surface 11a.

第1の絶縁層41は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体およびガラスセラミックスなどのセラミックス、ならびにエポキシ樹脂および液晶ポリマー(LCP)などの樹脂などによって形成される。   The first insulating layer 41 is made of, for example, a ceramic such as an aluminum oxide sintered body, an aluminum nitride sintered body, a mullite sintered body, and a glass ceramic, and a resin such as an epoxy resin and a liquid crystal polymer (LCP). It is formed.

電極配線50は、例えば、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)および銅(Cu)などの導電性材料によって所定のパターンに形成されており、発光素子20への電流または発光素子20からの電流を供給するための給電配線として機能する。   The electrode wiring 50 is formed in a predetermined pattern by a conductive material such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), and copper (Cu), and the current to the light emitting element 20 or the light emitting element It functions as a power supply wiring for supplying current from 20.

第1の絶縁層41上に積層された第2の絶縁層42には、第2の絶縁層42を貫通する開口部12が形成されている。   In the second insulating layer 42 stacked on the first insulating layer 41, an opening 12 that penetrates the second insulating layer 42 is formed.

開口部12の各々の形状は、発光素子20の載置面よりも基板10の一方主面11a側で孔径が大きくなるように、その内周面14が傾斜しており、平面視すると、例えば円形
状の形状となっている。なお、開口形状は円形状に限られるものではなく、矩形状でもよい。
Each shape of the opening 12 is such that the inner peripheral surface 14 is inclined so that the hole diameter is larger on the one main surface 11a side of the substrate 10 than the mounting surface of the light emitting element 20. It has a circular shape. The opening shape is not limited to a circular shape, and may be a rectangular shape.

このような開口部12は、その内周面14で発光素子20の発する光を上方に反射し、光の取り出し効率を向上させる機能を有する。   Such an opening 12 has a function of reflecting light emitted from the light emitting element 20 upward on the inner peripheral surface 14 to improve light extraction efficiency.

光の取り出し効率を向上させるため、第2の絶縁層42の材料として、紫外線領域の光に対して、比較的良好な反射性を有する多孔質セラミック材料、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、酸化ジルコニウム焼結体および窒化アルミニウム質焼結体によって形成することが好ましい。また、光の取り出し効率を向上させるという観点では、開口部12の内周面14に金属製の反射膜を設けてもよい。   In order to improve the light extraction efficiency, the material of the second insulating layer 42 is a porous ceramic material having a relatively good reflectivity with respect to light in the ultraviolet region, such as an aluminum oxide sintered body, an oxide It is preferable to form a zirconium sintered body and an aluminum nitride sintered body. Further, from the viewpoint of improving the light extraction efficiency, a metal reflection film may be provided on the inner peripheral surface 14 of the opening 12.

このような開口部12は、基板10の一方主面11aの全体に渡って縦横の並びに配列されている。例えば、千鳥格子状に配列され、すなわち複数列のジグザグ状の並びに配列されており、このような配列にすることによって、発光素子20をより高密度に配置することが可能となり、単位面積当たりの照度を高くすることが可能となる。ここで、千鳥格子状に配列されているとは、斜め格子の格子点に位置するように配置されていることと同義である。   Such openings 12 are arranged vertically and horizontally over the entire main surface 11 a of the substrate 10. For example, the light-emitting elements 20 are arranged in a staggered pattern, that is, arranged in a zigzag manner in a plurality of rows. With this arrangement, the light-emitting elements 20 can be arranged at a higher density, and per unit area. The illuminance can be increased. Here, being arranged in a staggered pattern is synonymous with being arranged so as to be positioned at the grid points of the diagonal grid.

また、本実施形態では1つの開口部12内に配置された発光素子20の数は1つであるが、図7に示すように、複数の発光素子20を1つの開口部12内に配置してもよい。   In the present embodiment, the number of light emitting elements 20 arranged in one opening 12 is one, but a plurality of light emitting elements 20 are arranged in one opening 12 as shown in FIG. May be.

(基板10の製造工程)
以上のような、第1の絶縁層41および第2の絶縁層42からなる積層体40を備えた基板10は、第1の絶縁層41や第2の絶縁層42がセラミックスなどからなる場合であれば、次のような工程を経て製造される。
(Manufacturing process of substrate 10)
The substrate 10 including the stacked body 40 composed of the first insulating layer 41 and the second insulating layer 42 as described above is a case where the first insulating layer 41 and the second insulating layer 42 are made of ceramics or the like. If there is, it is manufactured through the following steps.

まず、従来周知の方法によって製作された複数のセラミックグリーンシートを準備する。開口部12に相当するセラミックグリーンシートには、開口部に対応する穴をパンチングなどの方法によって形成する。次に、電極配線50となる金属ペーストをグリーンシート上に印刷(不図示)した上で、この印刷された金属ペーストがグリーンシートの間および基板10の他方主面11bに相当する位置に位置するようにグリーンシートを積層する。この電極配線50となる金属ペーストとしては、例えばタングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)および銅(Cu)などの金属を含有させたものが挙げられる。次に、上記積層体を焼成して、グリーンシートおよび金属ペーストを併せて焼成することによって、電極配線50および開口部12を有する基板10を形成することができる。   First, a plurality of ceramic green sheets manufactured by a conventionally known method are prepared. A hole corresponding to the opening is formed in the ceramic green sheet corresponding to the opening 12 by a method such as punching. Next, after the metal paste to be the electrode wiring 50 is printed (not shown) on the green sheet, the printed metal paste is positioned between the green sheets and at the position corresponding to the other main surface 11b of the substrate 10. Laminate green sheets as follows. Examples of the metal paste that becomes the electrode wiring 50 include a paste containing a metal such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), and copper (Cu). Next, the board | substrate 10 which has the electrode wiring 50 and the opening part 12 can be formed by baking the said laminated body and baking together a green sheet and a metal paste.

また、第1の絶縁層41や第2の絶縁層42が樹脂からなる場合であれば、基板10の製造方法は、例えば次のような方法が考えられる。   Further, if the first insulating layer 41 and the second insulating layer 42 are made of a resin, for example, the following method can be considered as a method of manufacturing the substrate 10.

まず、熱硬化性樹脂の前駆体シートを準備する。次に、電極配線50となる金属材料からなるリード端子を前駆体シート間に配置させ、かつリード端子を前駆体シートに埋設するように複数の前駆体シートを積層する。このリード端子の形成材料としては、例えば銅(Cu)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)−ニッケル(Ni)−コバルト(Co)合金、および鉄(Fe)−ニッケル(Ni)合金などの金属材料が挙げられる。そして、前駆体シートに開口部12に対応する穴をレーザー加工やエッチングなどの方法によって形成した後、これを熱硬化させることによって、基板10が完成する。なお、レーザー加工によって開口部12を形成する場合には、前駆体シートを熱硬化させた後に加工してもよい。   First, a precursor sheet of a thermosetting resin is prepared. Next, a plurality of precursor sheets are laminated so that lead terminals made of a metal material to be the electrode wiring 50 are disposed between the precursor sheets and the lead terminals are embedded in the precursor sheets. Examples of the material for forming the lead terminal include copper (Cu), silver (Ag), aluminum (Al), iron (Fe) -nickel (Ni) -cobalt (Co) alloy, and iron (Fe) -nickel (Ni ) Metal materials such as alloys can be mentioned. And after forming the hole corresponding to the opening part 12 in a precursor sheet | seat by methods, such as a laser processing and an etching, the board | substrate 10 is completed by thermosetting this. In addition, when forming the opening part 12 by laser processing, you may process after thermosetting a precursor sheet | seat.

一方、基板10の開口部12内には、発光素子20に電気的に接続された接続パッド13と、この接続パッド13にはんだ、金(Au)線、アルミ(Al)線などの接合材15によって接続された発光素子20と、発光素子20を封止する封止材30とが設けられている。   On the other hand, in the opening 12 of the substrate 10, a connection pad 13 electrically connected to the light emitting element 20 and a bonding material 15 such as solder, gold (Au) wire, aluminum (Al) wire, etc. are connected to the connection pad 13. And the sealing material 30 for sealing the light emitting element 20 are provided.

(接続パッド13)
接続パッド13は、例えば、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)および銅(Cu)などの金属材料からなる金属層によって形成されている。なお、必要に応じて、金属層上に、ニッケル(Ni)層、パラジウム(Pd)層および金(Au)層などをさらに積層してもよい。接続パッド13は、はんだ、金(Au)線、アルミ(Al)線などの接合材15によって発光素子20に接続される。
(Connection pad 13)
The connection pad 13 is formed of a metal layer made of a metal material such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), and copper (Cu). If necessary, a nickel (Ni) layer, a palladium (Pd) layer, a gold (Au) layer, or the like may be further laminated on the metal layer. The connection pad 13 is connected to the light emitting element 20 by a bonding material 15 such as solder, gold (Au) wire, or aluminum (Al) wire.

(発光素子20)
また、発光素子20は、例えば、ガリウム砒素(GaAs)や窒化ガリウム(GaN)などの半導体材料からなるp型半導体層およびn型半導体層をサファイア基板などの素子基板21上に積層してなる発光ダイオードや、半導体層が有機材料からなる有機EL素子などによって構成されている。
(Light emitting element 20)
The light emitting element 20 is a light emitting element in which a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer made of a semiconductor material such as gallium arsenide (GaAs) or gallium nitride (GaN) are stacked on an element substrate 21 such as a sapphire substrate. A diode or a semiconductor layer is composed of an organic EL element made of an organic material.

この発光素子20は、発光層を有する半導体層22と、基板10上に配置された接続パッド13にはんだ、金(Au)線、アルミ(Al)線などの接合材15を介して接続された、銀(Ag)などの金属材料からなる素子電極23,24とを備えており、基板10に対してワイヤボンディングされている。そして、発光素子20は、素子電極23,24間に流れる電流に応じて所定の波長を持った光を所定の輝度で発し、その光を直接または素子基板21を介して外部へ出射する。なお、素子基板21は省略することが可能なのは、周知の通りである。また、発光素子20の素子電極23,24と接続パッド13との接続は、接合材15にはんだなどを使用して、従来周知のフリップチップ接続技術によって行なってもよい。   The light emitting element 20 is connected to a semiconductor layer 22 having a light emitting layer and a connection pad 13 disposed on the substrate 10 via a bonding material 15 such as solder, gold (Au) wire, aluminum (Al) wire, or the like. And device electrodes 23 and 24 made of a metal material such as silver (Ag), and are wire-bonded to the substrate 10. The light emitting element 20 emits light having a predetermined wavelength in accordance with the current flowing between the element electrodes 23 and 24 with a predetermined luminance, and emits the light to the outside directly or via the element substrate 21. As is well known, the element substrate 21 can be omitted. Further, the connection between the element electrodes 23 and 24 of the light emitting element 20 and the connection pad 13 may be performed by a conventionally known flip chip connection technique using solder or the like as the bonding material 15.

本実施形態では、発光素子20が発する光の波長のスペクトルのピークが、例えば250〜410〔nm〕以下のUV光を発するLEDを採用している。つまり、本実施形態では、発光素子20としてUV−LED素子を採用している。なお、発光素子20は、従来周知の薄膜形成技術によって形成される。   In the present embodiment, an LED that emits UV light having a wavelength spectrum peak of 250 to 410 [nm] or less is employed. That is, in this embodiment, a UV-LED element is employed as the light emitting element 20. The light emitting element 20 is formed by a conventionally known thin film forming technique.

そして、かかる発光素子20は、上述した封止材30によって封止されている。   And this light emitting element 20 is sealed with the sealing material 30 mentioned above.

(封止材30)
封止材30には、光透過性の樹脂材料などの絶縁材料が用いられており、発光素子20を良好に封止することによって、外部からの水分の浸入を抑制したり、あるいは外部からの衝撃を吸収したりして、発光素子20を保護する。
(Encapsulant 30)
The sealing material 30 is made of an insulating material such as a light-transmitting resin material. By sealing the light emitting element 20 satisfactorily, entry of moisture from the outside can be suppressed, or from the outside. The light emitting element 20 is protected by absorbing an impact.

また、封止材30に、発光素子20を構成する素子基板21の屈折率(サファイアの場合:1.7)および空気の屈折率(約1.0)の間の屈折率を有する材料、例えばシリコーン樹脂(屈折率:約1.4)などを用いることによって、発光素子20の光の取り出し効率を向上させることができる。   Further, a material having a refractive index between the refractive index of the element substrate 21 constituting the light emitting element 20 (in the case of sapphire: 1.7) and the refractive index of air (about 1.0) is used as the sealing material 30, for example By using a silicone resin (refractive index: about 1.4) or the like, the light extraction efficiency of the light emitting element 20 can be improved.

かかる封止材30は、発光素子20を基板10上に実装した後、シリコーン樹脂などの前駆体を開口部12に充填し、これを硬化させることで形成される。   The sealing material 30 is formed by mounting the light emitting element 20 on the substrate 10, filling a precursor such as a silicone resin into the opening 12, and curing it.

(光学レンズ16)
そして、光学レンズ16は、封止材30上にレンズ接着剤17を介して発光素子20を覆うように配設される。本実施形態の光照射デバイス3では、光学レンズ16に平凸レンズを用いている。つまり、本実施形態の光学レンズ16は一方主面が凸状に、他方主面が平面状になっており、他方主面から一方主面に向かって断面積は小さくなっている。
(Optical lens 16)
The optical lens 16 is disposed on the sealing material 30 so as to cover the light emitting element 20 via the lens adhesive 17. In the light irradiation device 3 of the present embodiment, a plano-convex lens is used as the optical lens 16. That is, in the optical lens 16 of the present embodiment, one main surface is convex and the other main surface is flat, and the cross-sectional area decreases from the other main surface toward the one main surface.

光学レンズ16は、例えばシリコーン樹脂などによって形成され、発光素子20から照射される光を集光する機能を有する。なお、光学レンズの材質としては、上に述べたシリコーン樹脂以外にウレタン樹脂、エポキシ樹脂といった熱硬化性樹脂、もしくはポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂といった熱可塑性樹脂などのプラスチック、またはサファイア、または無機ガラスなどが挙げられる。なお、光学レンズ16は、光照射デバイス3と対象物との距離が近い場合などには、光を集光する必要がなければ省略することが可能である。   The optical lens 16 is formed of, for example, a silicone resin and has a function of collecting light emitted from the light emitting element 20. In addition to the silicone resin described above, the optical lens material is a thermosetting resin such as a urethane resin or an epoxy resin, or a plastic such as a thermoplastic resin such as a polycarbonate resin or an acrylic resin, or sapphire or inorganic glass. Can be mentioned. The optical lens 16 can be omitted if the light irradiation device 3 and the object are close to each other if the light does not need to be collected.

本実施形態の光照射デバイス3は、上述の通り、複数の発光素子20が基板10の一方主面11aの全体に渡って縦横の並びに配列されている面発光タイプであるが、複数の発光素子20が基板10の一方主面11aに一列状に配列されている線発光タイプであってもよいし、発光素子20が1つから構成されるものであってもよい。   As described above, the light irradiation device 3 of the present embodiment is a surface light emitting type in which a plurality of light emitting elements 20 are arranged vertically and horizontally over the entire one main surface 11a of the substrate 10. 20 may be a line light emitting type in which one main surface 11a of the substrate 10 is arranged in a line, or the light emitting element 20 may be composed of one.

このような光照射デバイス3を有する光照射モジュール2を、図1に示すように、複数個配列して大型の光照射装置1を構成する。   As shown in FIG. 1, a plurality of light irradiation modules 2 having such a light irradiation device 3 are arranged to constitute a large light irradiation apparatus 1.

本実施形態では、図1に示すように、3個の光照射デバイス3を一列に配列した長尺状の光照射装置1である。なお、光照射デバイス3の配列方法は特に限られず、一列状であってもよいし、複数列に配列して、各列の光照射デバイス3の配列数が異なっていてもよく、必要な光照射性能に合わせて適宜調整すればよい。なお、光照射装置1は1個の光照射デバイス3で構成してもよい。なお、本明細書において、上述のように光照射デバイス3が複数個存在する場合には、図1(c)に示すように、それぞれを光照射デバイス片3aと表現するとともに、複数個の全てをまとめて光照射デバイス3と表現することがある。   In this embodiment, as shown in FIG. 1, it is the elongate light irradiation apparatus 1 which arranged the three light irradiation devices 3 in a line. Note that the arrangement method of the light irradiation devices 3 is not particularly limited, and may be a single row, or may be arranged in a plurality of rows, and the number of arrangements of the light irradiation devices 3 in each row may be different. What is necessary is just to adjust suitably according to irradiation performance. Note that the light irradiation apparatus 1 may be composed of one light irradiation device 3. In the present specification, when there are a plurality of light irradiation devices 3 as described above, each of them is expressed as a light irradiation device piece 3a as shown in FIG. May be collectively expressed as the light irradiation device 3.

(筐体4)
筐体4は、このように配列した複数の光照射モジュール2の一部を少なくとも収容する。本実施形態において一部とは、具体的には、光照射デバイス3とカバー8とを含む領域である。つまり、カバー8を貫通してカバー8の光照射デバイス3と反対側に位置する供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bならびに電気配線7は、筐体4に収容されず、筐体4の外部に配置されることになる。
(Case 4)
The housing 4 accommodates at least a part of the plurality of light irradiation modules 2 arranged in this way. In the present embodiment, the “part” specifically refers to a region including the light irradiation device 3 and the cover 8. That is, the supply cooling pipe 6 a, the discharge cooling pipe 6 b and the electrical wiring 7 that penetrate the cover 8 and are located on the opposite side of the light irradiation device 3 of the cover 8 are not accommodated in the casing 4. It will be placed outside.

筐体4は、光照射デバイス3側からカバー8側へ向かう方向に沿って、複数の光照射モジュール2を取り囲むように配置された複数のサイドカバー4aと、サイドカバー4aのそれぞれに接続するとともに、カバー8のそれぞれの一部が当接して、供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bならびに電気配線7が貫通した複数の第1開口4cを有するアンダーカバー4bとを有する。なお、サイドカバー4aは複数のサイド部材を有している。これら複数のサイド部材のそれぞれを図において4aで示すことがある。光照射モジュール2は、筐体4を構成するサイドカバー4aおよびアンダーカバー4bの少なくともいずれかと接続される。本実施形態では、サイドカバー4aと、光照射モジュール2を構成する放熱用部材5の第1主面5aおよび第2主面5bに接続される端面5fとが、ねじ止めされている。本実施形態の場合には、光照射デバイス3のそれぞれに、光照射デバイス3の配列方向に沿った2つの端面においてそれぞれ2箇所ずつがねじ止めされている。隣接するサイドカバー4a同士もねじ止めによって接続されており、サイドカバー4a同士およびサイドカバー4aとアンダーカバー4bとが接続されていることから、筐体4は
、光照射モジュール2を支持する支持体として機能し、供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bならびに電気配線7を収容する機能、ならびに光照射モジュール2を外部環境から保護する機能も有する。なお、本実施形態ではサイドカバー4aおよびアンダーカバー4bの形状は平板状であるが、平板状に限られず、筐体4の上述の機能を果たせばどのような形状であってもよい。
The housing 4 is connected to each of the plurality of side covers 4a and the side covers 4a disposed so as to surround the plurality of light irradiation modules 2 along the direction from the light irradiation device 3 side to the cover 8 side. Each of the covers 8 comes into contact with the supply cooling pipe 6a, the discharge cooling pipe 6b, and the under cover 4b having a plurality of first openings 4c through which the electric wiring 7 passes. Note that the side cover 4a has a plurality of side members. Each of the plurality of side members may be indicated by 4a in the figure. The light irradiation module 2 is connected to at least one of the side cover 4 a and the under cover 4 b that constitute the housing 4. In the present embodiment, the side cover 4a and the end surfaces 5f connected to the first main surface 5a and the second main surface 5b of the heat radiation member 5 constituting the light irradiation module 2 are screwed. In the case of the present embodiment, each of the light irradiation devices 3 is screwed at two locations on two end faces along the arrangement direction of the light irradiation devices 3. Adjacent side covers 4a are also connected to each other by screwing, and the side covers 4a and the side covers 4a and the under cover 4b are connected. Therefore, the housing 4 is a support that supports the light irradiation module 2. And the function of accommodating the supply cooling pipe 6a, the discharge cooling pipe 6b and the electric wiring 7, and the function of protecting the light irradiation module 2 from the external environment. In the present embodiment, the shape of the side cover 4a and the under cover 4b is a flat plate shape, but is not limited to a flat plate shape, and may be any shape as long as the above functions of the housing 4 are fulfilled.

筐体4を構成するサイドカバー4aおよびアンダーカバー4bの材質としては、アルミニウム、鉄、ステンレス鋼などの金属材料からなる。サイドカバー4aおよびアンダーカバー4bは金属材料に限らず、樹脂などでもよいが、光照射装置1の軽量化、放熱性および耐腐食性の観点から、本実施形態では筐体4の材料としてアルミニウムを採用している。   As a material of the side cover 4a and the under cover 4b which comprise the housing | casing 4, it consists of metal materials, such as aluminum, iron, and stainless steel. The side cover 4a and the under cover 4b are not limited to a metal material, but may be a resin or the like. However, in this embodiment, aluminum is used as the material of the housing 4 from the viewpoint of weight reduction, heat dissipation, and corrosion resistance of the light irradiation device 1. Adopted.

本実施形態では、筐体4の材料としてアルミニウムを採用し、筐体4を構成するサイドカバー4aと光照射モジュール2の放熱用部材5とがねじ止めされていることから、筐体4自体も冷却されて、光照射モジュール2の発する熱で筐体4の内部の空気が暖められた場合や、電気配線7が熱を発した場合であっても、これらの熱を放熱する機能も有している。   In the present embodiment, aluminum is used as the material of the housing 4, and the side cover 4a constituting the housing 4 and the heat radiation member 5 of the light irradiation module 2 are screwed. Even when the air inside the housing 4 is warmed by the heat generated by the light irradiation module 2 or when the electric wiring 7 generates heat, it has a function of radiating these heats. ing.

このように、光照射モジュール2のそれぞれに供給用冷却配管6aおよび排出用冷却配管6bならびに電気配線7を設ける構造として、光照射モジュール2のカバー8が筐体4の内側から筐体4の構成するアンダーカバー4bに当接する構造となっていることから、光照射装置1における発光素子20の交換および光照射デバイス3の交換などのメンテナンスを行なう際に、光照射モジュール2の単位で作業することが可能なことから、光照射装置1の全体を取り外すことなく、短時間で容易にメンテナンス作業を行なうことができる。   In this way, as a structure in which the supply cooling pipe 6 a, the discharge cooling pipe 6 b, and the electrical wiring 7 are provided in each of the light irradiation modules 2, the cover 8 of the light irradiation module 2 is configured from the inside of the casing 4 to the configuration of the casing 4. Therefore, when performing maintenance such as replacement of the light emitting element 20 and replacement of the light irradiation device 3 in the light irradiation apparatus 1, work is performed in units of the light irradiation module 2. Therefore, maintenance work can be easily performed in a short time without removing the entire light irradiation device 1.

また、筐体4は、図1(a)に示すように、複数のサイドカバー4aのそれぞれに接続するとともに、光照射デバイス3に対向して配置されたトップカバー4dをさらに有している。トップカバー4dにおける光照射デバイス3の複数の発光素子20に対応する位置には第2開口4fが設けられ、第2開口4fに対応する位置に複数の発光素子20の出射する光が透過する保護部材9が取り付けられている。本実施形態の保護部材9の材質は石英である。なお、保護部材9の材質は、石英以外でも、紫外線の透過率が高く、紫外線による劣化の少ない材料であればよい。このようなトップカバー4dを有することで、光照射デバイス3が汚染することを抑制することができ、光照射デバイス3の発する光の強度が汚染によって低下することを抑制することができる。   Further, as shown in FIG. 1A, the housing 4 further includes a top cover 4 d that is connected to each of the plurality of side covers 4 a and is disposed to face the light irradiation device 3. A second opening 4f is provided at a position corresponding to the plurality of light emitting elements 20 of the light irradiation device 3 in the top cover 4d, and the light emitted from the plurality of light emitting elements 20 is transmitted at a position corresponding to the second opening 4f. A member 9 is attached. The material of the protection member 9 of this embodiment is quartz. The protective member 9 may be made of a material other than quartz as long as it has a high ultraviolet transmittance and is less deteriorated by ultraviolet rays. By having such a top cover 4d, the light irradiation device 3 can be prevented from being contaminated, and the intensity of the light emitted from the light irradiation device 3 can be suppressed from decreasing due to the contamination.

ここで、本実施形態において、保護部材9は、図1(c)に示すように、互いに隣接している第1部材9aと第2部材9bとを有している。第1部材9aおよび第2部材9bは、例えば、幅が40〜70mm、長さが300〜700mm、厚みが1.0〜2.5mmに設定される。これによれば、光照射装置1が長尺化、大型化したとしても、保護部材9を長尺化、大型化することないため、部材コストの大幅な増大を抑制することができる。すなわち、保護部材9を、一つの長尺、大型の部材ではなく、比較的小さくてコストが安い第1部材9aおよび第2部材9bという複数の部材で構成することによって、部材コストの大幅な増大を抑制することが可能となる。   Here, in this embodiment, the protection member 9 has the 1st member 9a and the 2nd member 9b which mutually adjoin, as shown in FIG.1 (c). For example, the first member 9a and the second member 9b are set to have a width of 40 to 70 mm, a length of 300 to 700 mm, and a thickness of 1.0 to 2.5 mm. According to this, even if the light irradiation device 1 is lengthened and enlarged, the protective member 9 is not lengthened and enlarged, so that a significant increase in member cost can be suppressed. That is, the protective member 9 is not a single long and large member, but is composed of a plurality of members, ie, the first member 9a and the second member 9b, which are relatively small and inexpensive, thereby significantly increasing the member cost. Can be suppressed.

それに加えて、第1部材9aと第2部材9bとの境界9Bは、図1(c)に示すように、上面視(一方主面11a側から見た時)において、複数の開口部(発光部)12であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各開口部(発光部)12の上を通っている。これによれば、上述のように、保護部材9が、第1部材9aおよび第2部材9bという複数の部材で構成される場合においても、部位によって外部への放射照度にバ
ラツキが生じることを抑制できる。より詳しく説明すると、図1(c)および図3に示すように、第1部材9aと第2部材9bとの境界9B1は、千鳥格子状の行あるいは列のいずれかに沿って、一つの開口部(発光部)12の上および隣接する二つの開口部(発光部)12の間を順に(交互に)通過するような構成となるため、部位による外部への放射照度の上昇および低下の影響、すなわち部位による外部への放射照度のバラツキを低減することができる。それ故、本実施形態の光照射装置1は、製品特性の評価基準となり得る、外部への放射照度が最も低い部位における放射照度を、効果的に向上させることが可能となる。なお、第1部材9aおよび第2部材9bの境界9Bとは、両部材9a、9bのうち互いに近接する部位あるいは領域を意味するものであり、両部材9a、9bが接合している場合は互いの接合部位を、両部材9a、9bが間隙(介在部材)を介して配置している場合はその間隙(介在部材)が占める領域を指すものとする。
In addition, as shown in FIG. 1C, the boundary 9B between the first member 9a and the second member 9b has a plurality of openings (light emission) when viewed from above (when viewed from the one main surface 11a side). Section) 12 and passes over each opening (light emitting section) 12 constituting one of the staggered rows or columns. According to this, as described above, even when the protective member 9 is composed of a plurality of members, the first member 9a and the second member 9b, it is possible to suppress variation in irradiance to the outside depending on the part. it can. More specifically, as shown in FIG. 1C and FIG. 3, the boundary 9B1 between the first member 9a and the second member 9b is formed along one of the staggered rows or columns. Since the structure is such that the openings (light emitting parts) 12 and the adjacent two openings (light emitting parts) 12 pass in order (alternately), the irradiance to the outside is increased and decreased by the site. The influence, that is, variation in irradiance to the outside due to the site can be reduced. Therefore, the light irradiation apparatus 1 according to the present embodiment can effectively improve the irradiance at a site where the irradiance to the outside is the lowest, which can be an evaluation standard for product characteristics. Note that the boundary 9B between the first member 9a and the second member 9b means a portion or region adjacent to each other of the members 9a and 9b, and when the members 9a and 9b are joined to each other, In the case where the members 9a and 9b are arranged with a gap (intervening member) between them, the joining portion of the above is assumed to indicate a region occupied by the gap (intervening member).

このように、本実施形態では、複数の開口部(発光部)12を、いわゆる矩形格子状ではなく、千鳥格子状に配列している。そのため、複数の開口部(発光部)12を矩形格子状に配列させるとともに、第1部材9aと第2部材9bとの境界が、行あるいは列のうちの一つを構成している複数の開口部(発光部)12の上を通るように設計した場合のように、開口部(発光部)12のうち境界の下に位置している部位からの出射光の照度が低下するとともに、その両側において外部への放射照度が上昇するというバラツキが生じることを抑制することが可能となる。同様に、複数の開口部(発光部)12を矩形格子状に配列させるとともに、第1部材9aと第2部材9bとの境界が、行あるいは列のうち隣接する二つの行あるいは列を構成している複数の開口部(発光部)12の間を通るように設計した場合のように、境界において開口部(発光部)12から外部への放射照度が上昇するとともに、その両側において外部への放射照度が低下するというバラツキが生じることを抑制することが可能となる。   Thus, in the present embodiment, the plurality of openings (light emitting portions) 12 are arranged in a staggered pattern rather than a so-called rectangular grid. Therefore, a plurality of openings (light emitting portions) 12 are arranged in a rectangular lattice shape, and a plurality of openings in which the boundary between the first member 9a and the second member 9b constitutes one of rows or columns. The illumination intensity of the emitted light from the part located under the boundary of the opening (light emitting part) 12 is reduced and the both sides of the opening (light emitting part) 12 are designed so as to pass over the part (light emitting part) 12. In this case, it is possible to suppress the occurrence of variations in that the irradiance to the outside increases. Similarly, a plurality of openings (light emitting portions) 12 are arranged in a rectangular lattice shape, and the boundary between the first member 9a and the second member 9b constitutes two adjacent rows or columns among the rows or columns. The irradiance from the opening (light emitting unit) 12 to the outside increases at the boundary as in the case where it is designed to pass between the plurality of openings (light emitting unit) 12, and both sides thereof are connected to the outside. It is possible to suppress the occurrence of variation that the irradiance decreases.

なお、本実施形態では、図1(c)および図3に示すように、上面視において、第1部材9aと第2部材9bとの境界9B、9B1が、複数の開口部(発光部)12であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各開口部(発光部)12の略中央を通るように設定されており、これによれば図中において左右方向における外部への放射照度のバラツキをより効果的に低減することが可能となる。   In this embodiment, as shown in FIG. 1C and FIG. 3, the boundaries 9B and 9B1 between the first member 9a and the second member 9b are a plurality of openings (light emitting portions) 12 as viewed from above. However, it is set so as to pass through substantially the center of each opening (light emitting portion) 12 constituting one of the rows or columns in a staggered pattern. It is possible to more effectively reduce variations in irradiance to the outside.

なお、第1部材9aと第2部材9bとは、間に(境界9Bに)樹脂材料を用いて互いに接合することができる。樹脂材料としては、紫外線の透過率が高くかつ紫外線による劣化が少ないものを用いることができ、例えばシリコーン樹脂などが挙げられる。これによって、両部材9a、9bの側面(外周面)で乱反射されて外部に出射できない光の量を低減することができる。また、第1部材9aと第2部材9bとの境界9Bであって、光照射デバイス3側の表面に、発光部12からの出射光を透過する部材を付着させることによって、上述のような両部材の側面における乱反射によって外部に出射できない光の量を効果的に低減することが可能となる。   In addition, the 1st member 9a and the 2nd member 9b can be mutually joined using the resin material in between (to the boundary 9B). As the resin material, a material having high ultraviolet transmittance and little deterioration due to ultraviolet rays can be used, and examples thereof include silicone resins. Accordingly, it is possible to reduce the amount of light that is irregularly reflected by the side surfaces (outer peripheral surfaces) of both members 9a and 9b and cannot be emitted to the outside. In addition, by attaching a member that transmits the light emitted from the light emitting unit 12 to the surface of the light irradiation device 3 at the boundary 9B between the first member 9a and the second member 9b, It is possible to effectively reduce the amount of light that cannot be emitted to the outside due to irregular reflection on the side surface of the member.

また、図1などに示すように、上面視において、第1部材9aと第2部材9bとの境界9Bは、その少なくとも一部が保護部材9の長手方向と交差する方向に延びるようにしてもよい。これによれば、保護部材の寸法を長手方向において小さくすることが可能であることから、光照射装置が長尺化したとしても、保護部材を長尺化することによるコストの大幅な増大を抑制することができる。本実施形態においては、図1(c)に示すように、第1部材9aと第2部材9bとの境界9Bは、保護部材9の長手方向と直交する方向に延びている。これによれば、上述のようなコスト増大をより効果的に抑制することが可能となる。   Further, as shown in FIG. 1 and the like, in the top view, the boundary 9B between the first member 9a and the second member 9b may extend at least partially in a direction intersecting the longitudinal direction of the protective member 9. Good. According to this, since the dimension of the protective member can be reduced in the longitudinal direction, even if the light irradiation device is lengthened, a significant increase in cost due to the length of the protective member is suppressed. can do. In the present embodiment, as shown in FIG. 1C, the boundary 9 </ b> B between the first member 9 a and the second member 9 b extends in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the protection member 9. According to this, it becomes possible to suppress the above-mentioned cost increase more effectively.

次に、保護部材9およびそれに関連する構成についての変形例を説明する。   Next, a modified example of the protection member 9 and related configurations will be described.

図3に示すように、上面視において、第1部材9aと第2部材9bとの境界9B2が、複数の開口部(発光部)12であって千鳥格子状の行あるいは列のうち隣接する2つの行あるいは列の双方を構成している各発光部12の上を通るようにしてもよく、この場合においても部位に起因する外部への放射照度のバラツキを効果的に低減することができる。   As shown in FIG. 3, in a top view, a boundary 9B2 between the first member 9a and the second member 9b is a plurality of openings (light emitting portions) 12 and is adjacent in a staggered row or column. You may make it pass on each light emission part 12 which comprises both two rows or columns, and also in this case, the dispersion | variation in the external irradiance resulting from a site | part can be reduced effectively. .

また、図3および図5に示すように、上面視において、第1部材9aと第2部材9bとの境界9B3、9B4が、複数の開口部(発光部)12であって千鳥格子状の行あるいは列のうち隣接する2つの行あるいは列の一方を構成している各発光部の上を通るとともに、他方を構成している各発光部の上を通らないようにしてもよく、この場合においても部位に起因する外部への放射照度のバラツキを効果的に低減することができる。   As shown in FIGS. 3 and 5, when viewed from above, the boundaries 9B3 and 9B4 between the first member 9a and the second member 9b are a plurality of openings (light emitting portions) 12 having a staggered pattern. In this case, it may pass over each light emitting part constituting one of two adjacent rows or columns of the rows or columns and not pass over each light emitting part constituting the other. The variation in the irradiance to the outside due to the part can be effectively reduced.

また、図5に示すように、複数の開口部(発光部)12は、複数の第1発光部および複数の第1発光部と大きさが異なる複数の第2発光部を有し、複数の第1発光部は千鳥格子状の行あるいは列のうち隣接する2つの行あるいは列の一方を構成しているとともに、複数の第2発光部は他方を構成している。このような構成においても、上述の実施形態と同様の効果を奏することができる。   In addition, as shown in FIG. 5, the plurality of openings (light emitting units) 12 include a plurality of first light emitting units and a plurality of second light emitting units that are different in size from the plurality of first light emitting units. The first light emitting unit constitutes one of two adjacent rows or columns among the staggered rows or columns, and the plurality of second light emitting units constitute the other. Even in such a configuration, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.

また、開口部(発光部)12について、図7に示すように、各開口部(発光部)12は、複数の発光素子を有し、上面視において複数の発光素子は各開口部(発光部)12の中点12Cを基準にして点対象に位置するようにしてもよい。その場合において、上面視において、第1部材9aと第2部材9bとの境界9Bが、複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各開口部(発光部)12の中点12Cの上を通るようにすればよい。   In addition, as shown in FIG. 7, each opening (light emitting unit) 12 has a plurality of light emitting elements, and the plurality of light emitting elements in the top view are each opening (light emitting unit). ) You may make it position on a point object on the basis of 12 midpoints 12C. In that case, in the top view, each opening 9B, which is a boundary 9B between the first member 9a and the second member 9b, is a plurality of light emitting portions and constitutes one of a staggered row or column. What is necessary is just to pass above the midpoint 12C of the part (light emission part) 12.

<印刷装置の実施形態>
本発明の印刷装置の実施の形態の一例として、図8および図9に示した印刷装置200を例に挙げて説明する。この印刷装置200は、記録媒体250を搬送するための搬送手段210と、搬送された記録媒体250に印刷を行なうための印刷機構としての印刷手段220と、印刷後の記録媒体250に対して紫外光を照射する、上述した光照射装置1と、この光照射装置1の発光を制御する制御機構230とを備えている。なお、記録媒体250は上述の対象物に相当する。
<Embodiment of Printing Apparatus>
As an example of the embodiment of the printing apparatus of the present invention, the printing apparatus 200 shown in FIGS. 8 and 9 will be described as an example. The printing apparatus 200 includes a conveying unit 210 for conveying the recording medium 250, a printing unit 220 as a printing mechanism for printing on the conveyed recording medium 250, and an ultraviolet ray for the recording medium 250 after printing. The light irradiation device 1 that irradiates light and the control mechanism 230 that controls the light emission of the light irradiation device 1 are provided. The recording medium 250 corresponds to the above-described object.

搬送手段210は、記録媒体250を印刷手段220、光照射装置1の順に通過するように搬送するためのものであり、載置台211と、互いに対向配置され、回転可能に支持された一対の搬送ローラ212とを含んで構成されている。この搬送手段210は、載置台211によって支持された記録媒体250を一対の搬送ローラ212の間に送り込み、この搬送ローラ212を回転させることにより、記録媒体250を搬送方向へ送り出すためのものである。   The transport unit 210 is for transporting the recording medium 250 so as to pass through the printing unit 220 and the light irradiation device 1 in this order. The transport unit 210 and the mounting table 211 are opposed to each other and are rotatably supported. And a roller 212. The transport unit 210 is for sending the recording medium 250 supported by the mounting table 211 between the pair of transport rollers 212 and rotating the transport roller 212 to feed the recording medium 250 in the transport direction. .

印刷手段220は、搬送手段210を介して搬送される記録媒体250に対して、感光性材料を付着させる機能を有している。この印刷手段220は、この感光性材料を含む液滴を記録媒体250に向けて吐出し、記録媒体250に被着させるように構成されている。本実施形態では、感光性材料として紫外線硬化型インクを採用している。この感光性材料としては、紫外線硬化型インクの他に、例えば感光性レジストあるいは光硬化型樹脂などが挙げられる。   The printing unit 220 has a function of attaching a photosensitive material to the recording medium 250 conveyed via the conveying unit 210. The printing unit 220 is configured to eject droplets containing the photosensitive material toward the recording medium 250 and attach the droplets to the recording medium 250. In the present embodiment, ultraviolet curable ink is employed as the photosensitive material. Examples of the photosensitive material include, in addition to the ultraviolet curable ink, a photosensitive resist or a photocurable resin.

本実施形態では、印刷手段220としてライン型の印刷手段を採用している。この印刷手段220は、ライン状に配列された複数の吐出孔220aを有しており、この吐出孔220aから紫外線硬化型インクを吐出するように構成されている。印刷手段220は、吐
出孔220aの配列に対して直交する方向に搬送される記録媒体250に対して、吐出孔220aからインクを吐出し、記録媒体にインクを被着させることにより、記録媒体に対して印刷を行なう。
In the present embodiment, a line-type printing unit is employed as the printing unit 220. The printing unit 220 includes a plurality of ejection holes 220a arranged in a line, and is configured to eject ultraviolet curable ink from the ejection holes 220a. The printing unit 220 ejects ink from the ejection holes 220a to the recording medium 250 conveyed in a direction orthogonal to the arrangement of the ejection holes 220a, and deposits the ink on the recording medium, thereby applying the recording medium to the recording medium. Printing is performed.

なお、本実施形態では、印刷機構としてライン型の印刷手段を例に挙げたが、これに限られるものではなく、例えば、シリアル型の印刷手段を採用してもよいし、ライン型またはシリアル型の噴射ヘッド(例えばインクジェットヘッド)を採用してもよい。さらに、印刷機構として、記録媒体250に静電気を蓄え、この静電気で感光性材料を付着させる静電式ヘッドを採用してもよいし、記録媒体250を液状の感光性材料に浸して、この感光性材料を付着させる浸液装置を採用してもよい。さらに、印刷機構として刷毛、ブラシおよびローラなどを採用してもよい。   In this embodiment, the line-type printing unit is exemplified as the printing mechanism. However, the printing mechanism is not limited to this. For example, a serial-type printing unit may be employed, and the line-type or serial-type printing unit may be used. Alternatively, an ejection head (for example, an inkjet head) may be employed. Further, as the printing mechanism, an electrostatic head that accumulates static electricity on the recording medium 250 and attaches the photosensitive material with the static electricity may be employed. Alternatively, the recording medium 250 may be immersed in a liquid photosensitive material and the photosensitive medium may be used. An immersion apparatus for attaching a conductive material may be employed. Further, a brush, a brush, a roller, or the like may be employed as a printing mechanism.

印刷装置200において、光照射装置1は、搬送手段210を介して搬送される記録媒体250に付着した感光性材料を感光させる機能を担っている。この光照射装置1は、印刷手段220に対して搬送方向の下流側に設けられている。また、印刷装置200において、発光素子20は、記録媒体250に付着した感光性材料を露光する機能を担っている。   In the printing apparatus 200, the light irradiation apparatus 1 has a function of exposing the photosensitive material attached to the recording medium 250 conveyed via the conveying unit 210. The light irradiation device 1 is provided on the downstream side in the transport direction with respect to the printing unit 220. In the printing apparatus 200, the light emitting element 20 has a function of exposing the photosensitive material attached to the recording medium 250.

制御機構230は、光照射装置1の発光を制御する機能を担っている。この制御機構230のメモリには、印刷手段220から吐出されるインク滴を硬化するのが比較的良好になるような光の特徴を示す情報が格納されている。この格納情報の具体例を挙げると、吐出するインク滴を硬化するのに適した波長分布特性、および発光強度(各波長域の発光強度)を表す数値が挙げられる。本実施形態の印刷装置200では、この制御機構230を有することによって、制御機構230の格納情報に基づいて、複数の発光素子20に入力する駆動電流の大きさを調整することもできる。このことから、本実施形態の印刷装置200によれば、使用するインクの特性に応じた適正な紫外線照射エネルギーで光を照射することができ、比較的低エネルギーの光でインク滴を硬化させることができる。   The control mechanism 230 has a function of controlling the light emission of the light irradiation device 1. The memory of the control mechanism 230 stores information indicating the characteristics of light that makes it relatively good to cure the ink droplets ejected from the printing unit 220. Specific examples of the stored information include wavelength distribution characteristics suitable for curing ejected ink droplets, and numerical values representing emission intensity (emission intensity in each wavelength range). In the printing apparatus 200 of the present embodiment, by including the control mechanism 230, the magnitude of the drive current input to the plurality of light emitting elements 20 can be adjusted based on the stored information of the control mechanism 230. From this, according to the printing apparatus 200 of this embodiment, light can be irradiated with the appropriate ultraviolet irradiation energy according to the characteristic of the ink to be used, and the ink droplet can be cured with relatively low energy light. Can do.

この印刷装置200では、搬送手段210が記録媒体250を搬送方向に搬送している。印刷手段220は、搬送されている記録媒体250に対して紫外線硬化型インクを吐出して、記録媒体250の表面に紫外線硬化型インクを付着させる。このとき、記録媒体250に付着させる紫外線硬化型インクは、全面付着であっても、部分付着であっても、所望パターンでの付着であってもよい。この印刷装置200では、記録媒体250に付着した紫外線硬化型インクに光照射装置1の発する紫外線を照射して、紫外線硬化型インクを硬化させる。   In the printing apparatus 200, the transport unit 210 transports the recording medium 250 in the transport direction. The printing unit 220 discharges the ultraviolet curable ink to the recording medium 250 being conveyed, and causes the ultraviolet curable ink to adhere to the surface of the recording medium 250. At this time, the ultraviolet curable ink to be attached to the recording medium 250 may be attached to the entire surface, partially attached, or attached in a desired pattern. In the printing apparatus 200, the ultraviolet curable ink attached to the recording medium 250 is irradiated with ultraviolet rays emitted from the light irradiation device 1 to cure the ultraviolet curable ink.

本実施形態の印刷装置200によれば、光照射装置1が有する上述の効果を奏することができる。   According to the printing apparatus 200 of the present embodiment, the above-described effects of the light irradiation apparatus 1 can be achieved.

以上、本発明の具体的な実施の形態の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の要旨から逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。   As mentioned above, although the example of specific embodiment of this invention was shown, this invention is not limited to this, A various change is possible within the range which does not deviate from the summary of this invention.

また、印刷装置200の実施の形態の例は、以上の実施の形態の例に限定されない。例えば、軸支されたローラを回転させ、このローラ表面に沿って記録媒体を搬送する、いわゆるオフセット印刷型のプリンタであってもよく、同様の効果を奏する。   Further, the example of the embodiment of the printing apparatus 200 is not limited to the example of the above embodiment. For example, a so-called offset printing type printer that rotates a shaft-supported roller and conveys a recording medium along the roller surface may exhibit the same effect.

上述の実施の形態の例では、印刷手段220としてインクジェットヘッドを用いた印刷装置200に光照射装置1を適用した例を示しているが、この光照射装置1は、例えば対象体表面にスピンコートした光硬化樹脂を硬化させる専用装置など、各種類の光硬化樹脂の硬化にも適用することができる。また、光照射装置1を、例えば、露光装置における照
射光源などに用いてもよい。
In the example of the above-described embodiment, an example in which the light irradiation device 1 is applied to the printing device 200 using an ink jet head as the printing unit 220 is shown. The present invention can also be applied to curing various types of photo-curing resins, such as a dedicated device for curing the photo-curing resin. Moreover, you may use the light irradiation apparatus 1 for the irradiation light source etc. in an exposure apparatus, for example.

1 光照射装置
2 光照射モジュール
3 光照射デバイス
3a 光照射デバイス片
4 筐体
4a サイドカバー(サイド部材)
4b アンダーカバー
4c 第1開口
4d トップカバー
4f 第2開口
5 放熱用部材
5a 第1主面
5b 第2主面
5c 流路
5d 供給口
5e 排出口
5f 端面
6a 供給用冷却配管
6b 排出用冷却配管
7 電気配線
8 カバー
8a 貫通孔
9 保護部材
9a 第1部材
9b 第2部材
9B 境界
10 基板
11a 一方主面
11b 他方主面
12 開口部(発光部)
12C 中点
13 接続パッド
14 内周面
15 接合材
16 光学レンズ
17 レンズ接着剤
20 発光素子
21 素子基板
22 半導体層
23,24 素子電極
30 封止材
40 積層体
41 第1の絶縁層
42 第2の絶縁層
50 電極配線
60 モジュールベース
70a 制御基板
70b カウンタ基板
70c 駆動基板
80 定電流発生デバイス
200 印刷装置
210 搬送手段
211 載置台
212 搬送ローラ
220 印刷手段
220a 吐出孔
230 制御機構
250 記録媒体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light irradiation apparatus 2 Light irradiation module 3 Light irradiation device 3a Light irradiation device piece 4 Case 4a Side cover (side member)
4b Under cover 4c 1st opening 4d Top cover 4f 2nd opening 5 Heat radiation member 5a 1st main surface 5b 2nd main surface 5c Flow path 5d Supply port 5e Discharge port 5f End surface 6a Supply cooling pipe 6b Discharge cooling pipe 7 Electrical wiring 8 Cover 8a Through hole 9 Protective member 9a First member 9b Second member 9B Boundary 10 Substrate 11a One main surface 11b The other main surface 12 Opening (light emitting portion)
12C Midpoint 13 Connection pad 14 Inner peripheral surface 15 Bonding material 16 Optical lens 17 Lens adhesive 20 Light emitting element 21 Element substrate 22 Semiconductor layer 23, 24 Element electrode 30 Sealing material 40 Laminate 41 First insulating layer 42 Second Insulating layer 50 Electrode wiring 60 Module base 70a Control board 70b Counter board 70c Driving board 80 Constant current generating device 200 Printing device 210 Conveying means 211 Mounting table 212 Conveying roller 220 Printing means 220a Discharge hole 230 Control mechanism 250 Recording medium

Claims (9)

一方主面に、それぞれが少なくとも一つの発光素子を有する複数の発光部を、千鳥格子状に配置した光照射デバイスと、
前記光照射デバイスの前記一方主面と間隙を介して位置しており、前記複数の発光部から出射する光が透過する保護部材と、を備え、
前記保護部材は、互いに隣接している第1部材および第2部材を有し、
上面視において、前記第1部材と前記第2部材との境界は、前記保護部材の長手方向と交差する方向に延びているとともに、前記複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちのの行または列、あるいは隣接する2つの行または列を構成している各発光部の上の領域のみを通る、光照射装置。
On the other hand, a light irradiation device in which a plurality of light emitting portions each having at least one light emitting element are arranged in a staggered pattern on the main surface,
A protective member that is positioned through the gap with the one main surface of the light irradiation device, and that transmits light emitted from the plurality of light emitting units, and
The protective member has a first member and a second member adjacent to each other,
In a top view, the boundary between the first member and the second member extends in a direction intersecting the longitudinal direction of the protective member, and is a plurality of light emitting portions in a staggered row or column. one row or column, or only through the region above each light-emitting portion constituting the two adjacent rows or columns, the light irradiation device, of the.
上面視において、前記第1部材と前記第2部材との境界は、前記複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各発光部の中央を通る、請求項1に記載の光照射装置。   In a top view, the boundary between the first member and the second member is a center of each of the plurality of light emitting units and constituting one of the staggered rows or columns. The light irradiation apparatus of Claim 1 which passes. 前記複数の発光部は、複数の第1発光部および前記複数の第1発光部と大きさが異なる複数の第2発光部を有し、
前記複数の第1発光部は、千鳥格子状の行あるいは列のうち隣接する2つの行あるいは列の一方を構成しており、前記複数の第2発光部は他方を構成している、請求項1または2のいずれかに記載の光照射装置。
The plurality of light emitting units include a plurality of first light emitting units and a plurality of second light emitting units different in size from the plurality of first light emitting units,
The plurality of first light emitting units constitutes one of two adjacent rows or columns of a staggered row or column, and the plurality of second light emitting units constitute the other. Item 3. The light irradiation device according to any one of Items 1 and 2 .
前記発光素子は、複数あり、
前記複数の発光素子は、上面視において、前記複数の発光部のそれぞれの中点を基準にして点対象に位置している、請求項1〜のいずれかに記載の光照射装置。
There are a plurality of the light emitting elements,
Wherein the plurality of light emitting elements, in top view, wherein are respectively at the midpoint of the plurality of light emitting portions located in point symmetry with respect, light irradiation device according to any one of claims 1-3.
前記前記第1部材と前記第2部材との境界が、前記複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの1つの行または列を構成している各発光部の上のみを通るときに、
上面視において、前記第1部材と前記第2部材との境界は、前記複数の発光部であって千鳥格子状の行あるいは列のうちの一つを構成している各発光部の前記中点の上を通る、請求項に記載の光照射装置。
The boundary between the first member and the second member is the plurality of light emitting portions only on each light emitting portion constituting one row or column of a staggered row or column. When passing
In a top view, the boundary between the first member and the second member is the plurality of light emitting portions, and the middle of each light emitting portion constituting one of a staggered row or column. The light irradiation apparatus of Claim 4 which passes on a point.
前記第1部材と前記第2部材とは、前記境界において樹脂材料を介して接合している、請求項1〜のいずれかに記載の光照射装置。 Wherein the first member and the second member, wherein are bonded via the resin material at the boundary, the light irradiation device according to any one of claims 1-5. 前記第1部材と前記第2部材との境界は、前記保護部材の長手方向と直交する方向に延びている、請求項に記載の光照射装置。 The light irradiation apparatus according to claim 6 , wherein a boundary between the first member and the second member extends in a direction orthogonal to a longitudinal direction of the protection member. 前記光照射デバイスは、複数の光照射デバイス片を有する、請求項1〜のいずれかに記載の光照射装置。 The light irradiation device has a plurality of light emitting device pieces, light irradiation device according to any one of claims 1-7. 記録媒体に対して印刷を行なう印刷手段と、
印刷された前記記録媒体に対して光を照射する請求項1〜のいずれかに記載の光照射装置とを有する、印刷装置。
Printing means for printing on a recording medium;
Light irradiation and a device, a printing device according to any one of claims 1-8 for radiating light against printed the recording medium.
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