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JP6310901B2 - Support device - Google Patents

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JP6310901B2
JP6310901B2 JP2015233011A JP2015233011A JP6310901B2 JP 6310901 B2 JP6310901 B2 JP 6310901B2 JP 2015233011 A JP2015233011 A JP 2015233011A JP 2015233011 A JP2015233011 A JP 2015233011A JP 6310901 B2 JP6310901 B2 JP 6310901B2
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重伸 和田
重伸 和田
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    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Transmission Devices (AREA)

Description

本発明は、可動体を支持する支持装置に関する。   The present invention relates to a support device that supports a movable body.

支持装置は、例えば、電動ドライバや電動ドリル等の回転工具(保持対象物)を保持する可動体を支持している。このような支持装置として、例えば特許文献1のものがある。特許文献1の支持装置は、可動体の移動範囲の中で、Z軸と一致する方向(Z軸方向)に可動体を支持可能な第1のリンク機構部、X軸と一致する方向(X軸方向)に可動体を支持可能な第2のリンク機構部、及びY軸と一致する方向(Y軸方向)に可動体を支持可能な第3のリンク機構部を有する。第1〜第3のリンク機構部は、駆動源を構成する第1〜第3のサーボモータと、可動体の移動範囲の中で各軸に一致可能に互いに平行に延びる2本の第1〜第3のリンクとをそれぞれ有する。第1〜第3のリンクの一端は、第1〜第3のサーボモータに揺動可能に連結されるとともに、他端は可動体に揺動可能に連結されている。2本の第1〜第3のリンクそれぞれは、可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンクのなす角度が90度を取り得るように構成されている。   The support device supports, for example, a movable body that holds a rotary tool (a holding object) such as an electric screwdriver or an electric drill. An example of such a support device is disclosed in Patent Document 1. The support device of Patent Document 1 includes a first link mechanism unit that can support a movable body in a direction (Z-axis direction) that coincides with the Z-axis in a moving range of the movable body, and a direction that coincides with the X-axis (X A second link mechanism that can support the movable body in the axial direction) and a third link mechanism that can support the movable body in a direction that coincides with the Y-axis (Y-axis direction). The first to third link mechanism sections include first to third servo motors constituting a drive source and two first to third links extending in parallel with each other so as to coincide with each axis within the movable range of the movable body. And a third link. One end of the first to third links is swingably connected to the first to third servo motors, and the other end is swingably connected to the movable body. Each of the two first to third links is configured such that the angle formed by the links of the adjacent link mechanism portions within the moving range of the movable body can take 90 degrees.

そして、第1〜第3のサーボモータがそれぞれ駆動すると、第1〜第3のリンクは、第1〜第3のサーボモータに対して揺動して、第1〜第3のリンクがZ軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ移動する。その結果、可動体は、Z軸回り、X軸回り及びY軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、水平な状態に姿勢を維持しながらX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ移動する。この可動体の移動に伴って、回転工具が可動体と一体的に移動する。   When the first to third servo motors are driven, the first to third links swing with respect to the first to third servo motors, and the first to third links are Z-axis. Move in the direction, the Y-axis direction and the Z-axis direction. As a result, the movable body moves in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction while maintaining the posture in a horizontal state with the rotation around the Z-axis, the X-axis, and the Y-axis being restricted. To do. As the movable body moves, the rotary tool moves integrally with the movable body.

特開2012−240167号公報JP 2012-240167 A

ところで、特許文献1の支持装置において、回転工具の出力軸の軸方向が、例えばZ軸方向に一致した状態で、回転工具が可動体に保持されている場合を考える。回転工具を用いたねじ締めやドリル加工は、回転工具の出力軸に取り付けられるビットやドリル等の先端工具をねじ締めやドリル加工の対象物に対してZ軸方向に押し付けながら行われる。このとき、2本の第1のリンクでは、先端工具を対象物(押し付け対象物)に押し付ける押し付け力を維持するための剛性が弱く、回転工具を用いたねじ締めやドリル加工を行い難い場合があった。よって、この場合、Z軸方向のリンクの剛性を十分に確保したいという要望がある。   By the way, in the support apparatus of patent document 1, the case where the rotary tool is hold | maintained at the movable body in the state in which the axial direction of the output shaft of the rotary tool corresponded to the Z-axis direction, for example is considered. Screw tightening or drilling using a rotary tool is performed while pressing a tip tool such as a bit or a drill attached to the output shaft of the rotary tool against the object to be screwed or drilled in the Z-axis direction. At this time, with the two first links, the rigidity for maintaining the pressing force for pressing the tip tool against the target object (pressing target object) is weak, and it may be difficult to perform screw tightening or drilling using a rotary tool. there were. Therefore, in this case, there is a demand for sufficiently securing the rigidity of the link in the Z-axis direction.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のうち少なくとも一方向のリンクの剛性を十分に確保することができる支持装置を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and the object thereof is to sufficiently ensure the rigidity of the link in at least one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. It is to provide a support device.

上記課題を解決する支持装置は、可動体の移動範囲の中で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のいずれかの方向にそれぞれ対応して前記可動体をそれぞれ支持可能な3つのリンク機構部を有し、各リンク機構部は、駆動部に連結されるアームと、前記アームに一端が連結されるとともに前記可動体に他端が連結され、前記可動体の移動範囲の中で前記X軸、前記Y軸及び前記Z軸のいずれかに一致可能に延びるリンクと、を有し、前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンクのなす角度が90度を取り得るように構成されている支持装置であって、前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンクのなす角度が90度をなすとき、各リンク機構部の前記アームと前記リンクとがなす角度が90度を取り得るように構成されており、前記3つのリンク機構部のうちのいずれかのリンクが3本以上設けられており、前記3本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記可動体の移動範囲の中で、前記可動体の姿勢を一定な状態に維持し、且つ前記3本以上のリンクをそれぞれ平行な状態に維持させながら移動させる。   The support device that solves the above-described problem has three links that can support the movable body corresponding to any one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction in the movable range of the movable body. Each link mechanism unit has an arm connected to the drive unit, one end connected to the arm and the other end connected to the movable body, and the movable body moves within the moving range of the movable body. A link extending so as to be coincident with any of the X axis, the Y axis, and the Z axis, and an angle formed by the links of the adjacent link mechanisms in the moving range of the movable body can take 90 degrees. In the supporting device configured as described above, when the angle formed by the links of the adjacent link mechanism portions in the moving range of the movable body forms 90 degrees, the arm and the link of each link mechanism portion are The angle formed can be 90 degrees. 3 or more of any one of the three link mechanism portions is provided, and the arm of the link mechanism portion provided with the three or more links is within the moving range of the movable body. The movable body is moved while maintaining the posture of the movable body in a constant state and maintaining the three or more links in a parallel state.

上記支持装置において、前記アームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結されており、前記リンク機構部は、前記駆動軸と平行に延びる回転軸と、前記回転軸に接続されるとともに前記回転軸の軸方向に平行な平面内で前記回転軸に対して揺動可能な接続部と、を有し、前記リンクは、前記接続部に接続されており、前記アームに対して、前記回転軸を揺動中心に揺動可能であり、且つ前記平面内で前記回転軸に対して前記接続部を介して揺動可能であることが好ましい。   In the support device, the arm is swingably coupled to a drive shaft that is the drive unit, and the link mechanism unit is connected to a rotation shaft that extends in parallel with the drive shaft and the rotation shaft. And a connecting portion swingable with respect to the rotating shaft in a plane parallel to the axial direction of the rotating shaft, and the link is connected to the connecting portion, and with respect to the arm, It is preferable that the rotary shaft is swingable about a swing center, and is swingable with respect to the rotary shaft in the plane via the connecting portion.

上記支持装置において、前記3本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、固定軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、一体の連結部とを含む平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部を有し、その一辺が前記駆動軸と前記固定軸とからなり、対辺が前記連結部からなり、前記連結部を介して前記3本以上のリンクが接続されていることが好ましい。   In the above support device, the arm of the link mechanism portion provided with the three or more links can swing on a fixed shaft and a pair of swinging portions that are swingably connected to the driving shaft that is the driving portion. Having a pair of arm portions constituting a parallelogram link mechanism including a pair of swinging portions connected to each other and an integral connecting portion, one side of which is composed of the drive shaft and the fixed shaft, and the opposite side is It is preferable that the connecting portion is formed and the three or more links are connected via the connecting portion.

上記支持装置において、前記3本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記一対のアーム部の間に延びる延設部を有し、前記延設部の先端部に、前記3本以上のリンクのうち1本が二方向に揺動可能に連結されていることが好ましい。   In the above support device, the arm of the link mechanism portion provided with the three or more links has an extending portion extending between the pair of arm portions, and the three at the distal end portion of the extending portion. It is preferable that one of the above links is connected to be swingable in two directions.

上記支持装置において、前記3つのリンク機構部のうちのいずれかのリンクが3本設けられており、前記3本のリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記3本のリンクが一致可能な前記X軸、前記Y軸及び前記Z軸のいずれかの方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形を構成する位置にあることが好ましい。   In the support device, three links of any of the three link mechanisms are provided, and the connection positions of the three links with respect to the movable body can match the three links. When viewed from any one of the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis, it is preferable that each connection position is at a position forming an isosceles triangle.

上記支持装置において、前記3本のリンクとは異なるリンクを有する2つのリンク機構部のうちの少なくとも1つのリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記3本のリンクが一致可能な前記X軸、前記Y軸及び前記Z軸のいずれかの方向から見たとき、前記接続位置が前記二等辺三角形の内部に位置していることが好ましい。   In the above support device, the connection position with respect to the movable body in at least one link of two link mechanism portions having a link different from the three links, the X-axis capable of matching the three links, It is preferable that the connection position is located inside the isosceles triangle when viewed from either the Y-axis or the Z-axis.

この発明によれば、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のうち少なくとも一方向のリンクの剛性を十分に確保することができる。   According to this invention, it is possible to sufficiently ensure the rigidity of the link in at least one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

実施形態における支持装置の全体を示す斜視図。The perspective view which shows the whole support apparatus in embodiment. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. 支持装置を部分的に拡大した斜視図。The perspective view which expanded the support apparatus partially. (a)は支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図、(b)は可動体に対する各リンクの接続位置を模式的に示す模式図。(A) is a side view schematically showing the state of the support device viewed from the Y-axis direction, and (b) is a schematic diagram schematically showing the connection position of each link with respect to the movable body. 可動体に対する各リンクの接続位置を模式的に示す模式図。The schematic diagram which shows typically the connection position of each link with respect to a movable body. (a)は別の実施形態における支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図、(b)は可動体に対する各リンクの接続位置を模式的に示す模式図。(A) is a side view which shows typically the state which looked at the support apparatus in another embodiment from the Y-axis direction, (b) is a schematic diagram which shows typically the connection position of each link with respect to a movable body. 別の実施形態における支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。The side view which shows typically the state which looked at the support apparatus in another embodiment from the Y-axis direction. (a)及び(b)は別の実施形態における支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。(A) And (b) is a side view which shows typically the state which looked at the support apparatus in another embodiment from the Y-axis direction. (a)及び(b)は別の実施形態における支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。(A) And (b) is a side view which shows typically the state which looked at the support apparatus in another embodiment from the Y-axis direction. (a)及び(b)は別の実施形態における支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。(A) And (b) is a side view which shows typically the state which looked at the support apparatus in another embodiment from the Y-axis direction. (a)及び(b)は別の実施形態における支持装置をY軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。(A) And (b) is a side view which shows typically the state which looked at the support apparatus in another embodiment from the Y-axis direction. 別の実施形態における支持装置の全体を示す斜視図。The perspective view which shows the whole support apparatus in another embodiment.

以下、可動体を支持する支持装置を具体化した一実施形態を図1〜図10にしたがって説明する。
図1に示すように、支持装置10は、可動体11を支持している。可動体11は、回転工具(保持対象物)である電動ドライバ11aを保持している。支持装置10は、可動体11の移動範囲の中で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のいずれかの方向にそれぞれ対応して可動体11をそれぞれ支持可能な3つのリンク機構部20,30,40を有している。そして、支持装置10は、3つのリンク機構部20,30,40を用いて、可動体11におけるZ軸回り、X軸回り及びY軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、可動体11の姿勢を一定な状態に維持しながら、所定の移動範囲内において移動可能に支持している。なお、以下の説明では、説明の便宜上、X軸方向に可動体11を支持可能なリンク機構部を「X軸リンク機構部20」とし、Y軸方向に可動体11を支持可能なリンク機構部を「Y軸リンク機構部30」とし、Z軸方向に可動体11を支持可能なリンク機構部を「Z軸リンク機構部40」と記載することもある。
Hereinafter, an embodiment in which a support device for supporting a movable body is embodied will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the support device 10 supports a movable body 11. The movable body 11 holds an electric driver 11a that is a rotary tool (holding object). The support device 10 includes three link mechanism sections 20 that can support the movable body 11 in the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction, respectively, within the movement range of the movable body 11. , 30, 40. Then, the support device 10 uses the three link mechanism portions 20, 30, and 40 in a state where the rotation of the movable body 11 around the Z axis, the X axis, and the Y axis is restricted. While maintaining the posture in a constant state, it is supported so as to be movable within a predetermined movement range. In the following description, for convenience of explanation, the link mechanism that can support the movable body 11 in the X-axis direction is referred to as “X-axis link mechanism 20”, and the link mechanism that can support the movable body 11 in the Y-axis direction. May be referred to as “Y-axis link mechanism 30”, and a link mechanism that can support the movable body 11 in the Z-axis direction may be referred to as “Z-axis link mechanism 40”.

支持装置10は、XY平面に沿って延びる略四角枠状の土台フレーム12と、土台フレーム12からZ軸方向に立設される複数の立設部13と、各立設部13に支持される略四角箱状の筐体14とを備えている。筐体14におけるXZ平面に沿って延びる側面14aからは、駆動源であるX軸用サーボモータ(図示せず)の駆動部である駆動軸21がY軸方向に沿って突出している。駆動軸21は、側面14aにおいて、立設部13寄りの角部に位置している。駆動軸21は、X軸用サーボモータの駆動によって回転して、X軸リンク機構部20を揺動させる。   The support device 10 is supported by a substantially rectangular frame-shaped base frame 12 extending along the XY plane, a plurality of standing parts 13 standing in the Z-axis direction from the base frame 12, and the standing parts 13. And a substantially rectangular box-shaped casing 14. A drive shaft 21 that is a drive unit of an X-axis servomotor (not shown) that is a drive source protrudes along a Y-axis direction from a side surface 14 a that extends along the XZ plane of the housing 14. The drive shaft 21 is located at a corner near the standing portion 13 on the side surface 14a. The drive shaft 21 is rotated by the drive of the X-axis servomotor to swing the X-axis link mechanism 20.

筐体14におけるYZ平面に沿って延びる側面14bからは、駆動源であるY軸用サーボモータ(図示せず)の駆動部である駆動軸31がX軸方向に沿って突出している。駆動軸31は、側面14bにおいて、立設部13寄りに位置している。また、駆動軸31は、Z軸方向において、X軸用サーボモータの駆動軸21よりも立設部13から離れた位置に配置されている。駆動軸31は、Y軸用サーボモータの駆動によって回転して、Y軸リンク機構部30を揺動させる。   A drive shaft 31 that is a drive unit of a Y-axis servomotor (not shown) that is a drive source protrudes along the X-axis direction from a side surface 14b that extends along the YZ plane in the housing 14. The drive shaft 31 is located closer to the standing portion 13 on the side surface 14b. The drive shaft 31 is disposed at a position farther from the standing portion 13 than the drive shaft 21 of the X-axis servomotor in the Z-axis direction. The drive shaft 31 is rotated by the drive of the Y-axis servomotor to swing the Y-axis link mechanism 30.

さらに、筐体14の側面14aからは、駆動源であるZ軸用サーボモータ(図示せず)の駆動部である駆動軸41がY軸方向に沿って突出している。駆動軸41は、側面14aにおいて、立設部13とは反対側の縁部寄りに位置している。駆動軸41は、Z軸用サーボモータの駆動によって回転して、Z軸リンク機構部40を揺動させる。   Furthermore, from the side surface 14a of the housing 14, a drive shaft 41 that is a drive unit of a Z-axis servomotor (not shown) that is a drive source protrudes along the Y-axis direction. The drive shaft 41 is located near the edge on the side opposite to the standing portion 13 on the side surface 14a. The drive shaft 41 is rotated by the drive of the Z-axis servo motor to swing the Z-axis link mechanism 40.

X軸用サーボモータの駆動軸21は、支持装置10のX軸方向の最端部に設けられている。Y軸用サーボモータの駆動軸31は、支持装置10のY軸方向の最端部に設けられている。Z軸用サーボモータの駆動軸41は、支持装置10のZ軸方向の最端部に設けられている。各駆動軸21,31,41は、一つの筐体14にまとめて設けられている。可動体11は、支持装置10の各軸方向において、各駆動軸21,31,41とは反対側の最端部に配置されている。   The drive shaft 21 of the X-axis servomotor is provided at the end of the support device 10 in the X-axis direction. The drive shaft 31 of the Y-axis servomotor is provided at the end of the support device 10 in the Y-axis direction. The drive shaft 41 of the Z-axis servomotor is provided at the end of the support device 10 in the Z-axis direction. The drive shafts 21, 31, 41 are collectively provided in one housing 14. The movable body 11 is disposed at the endmost side opposite to the drive shafts 21, 31, 41 in each axial direction of the support device 10.

次に、X軸リンク機構部20について説明する。
図2に示すように、X軸リンク機構部20は、駆動軸21に連結されるアーム22と、アーム22に一端が連結されるとともに可動体11に他端が連結され、可動体11の移動範囲の中でX軸に一致可能に延びる2本のリンク23とを有している。具体的には、アーム22は、駆動軸21に固定されており、駆動軸21の回転に伴って、駆動軸21の中心軸線を揺動中心として駆動軸21と一体的に揺動する。2本のリンク23は同じ長さである。アーム22は、直線状に延びるとともに一端が駆動軸21を揺動中心として揺動可能に駆動軸21に連結される揺動部22aと、揺動部22aの他端から二股に枝分かれして互いに離間する方向へ延びる一対の支持部22bとから構成されている。各支持部22bの端部には、円孔状の貫通孔22cが形成されている。両支持部22bの貫通孔22c同士は、Y軸方向において互いに向き合っている。
Next, the X axis link mechanism 20 will be described.
As shown in FIG. 2, the X-axis link mechanism 20 includes an arm 22 connected to the drive shaft 21, one end connected to the arm 22 and the other end connected to the movable body 11, and movement of the movable body 11. It has two links 23 extending so as to be coincident with the X axis within the range. Specifically, the arm 22 is fixed to the drive shaft 21 and swings integrally with the drive shaft 21 with the center axis of the drive shaft 21 as the swing center as the drive shaft 21 rotates. The two links 23 have the same length. The arm 22 extends linearly and has one end connected to the drive shaft 21 so that it can swing about the drive shaft 21 as a swing center, and the other end of the swing portion 22a bifurcated into two branches. It is comprised from a pair of support part 22b extended in the direction to separate. A circular hole 22c is formed at the end of each support portion 22b. The through holes 22c of the both support portions 22b face each other in the Y-axis direction.

また、X軸リンク機構部20は、駆動軸21と平行に延びる回転軸24を有している。回転軸24は、両支持部22bの貫通孔22cに挿通されており、両支持部22bに回転可能に両持ち支持されている。回転軸24の両端部は、一対の平面部24aを有する二面幅形状になっている。回転軸24の両端部において、一対の平面部24aには、回転軸24の軸方向に平行な平面(XY平面)内で回転軸24に対して揺動可能な板状の接続部25が接続されている。2本のリンク23のうち1本の一端は、回転軸24の一端部に接続された2枚の接続部25に挟み込まれた状態で各接続部25に接続されている。2本のリンク23の残りの1本の一端は、回転軸24の他端部に接続された2枚の接続部25に挟み込まれた状態で各接続部25に接続されている。   The X-axis link mechanism 20 has a rotation shaft 24 that extends parallel to the drive shaft 21. The rotating shaft 24 is inserted into the through holes 22c of the both support portions 22b, and is supported by both the support portions 22b so as to be rotatable. Both end portions of the rotating shaft 24 have a two-sided width shape having a pair of flat surface portions 24a. At both ends of the rotating shaft 24, a plate-like connecting portion 25 that can swing with respect to the rotating shaft 24 in a plane (XY plane) parallel to the axial direction of the rotating shaft 24 is connected to the pair of flat portions 24a. Has been. One end of the two links 23 is connected to each connection portion 25 while being sandwiched between two connection portions 25 connected to one end portion of the rotating shaft 24. One end of the remaining one of the two links 23 is connected to each connection portion 25 while being sandwiched between two connection portions 25 connected to the other end portion of the rotating shaft 24.

図3に示すように、X軸リンク機構部20は、可動体11に回転可能に支持された一対の回転軸26を有している。各回転軸26は、駆動軸21と平行に延びている。各回転軸26の両端部は、一対の平面部26aを有する二面幅形状になっている。各回転軸26の一対の平面部26aには、回転軸26の軸方向に平行な平面(XY平面)内で回転軸26に対して揺動可能な板状の接続部27がそれぞれ接続されている。2本のリンク23のうち1本の他端は、一対の回転軸26の一方の端部に接続された2枚の接続部27に挟み込まれた状態で各接続部27に接続されている。2本のリンク23の残りの1本の他端は、一対の回転軸26の他方の端部に接続された2枚の接続部27に挟み込まれた状態で各接続部27に接続されている。   As shown in FIG. 3, the X-axis link mechanism 20 has a pair of rotating shafts 26 that are rotatably supported by the movable body 11. Each rotary shaft 26 extends in parallel with the drive shaft 21. Both end portions of each rotating shaft 26 have a two-sided width shape having a pair of flat surface portions 26a. A pair of planar portions 26 a of each rotating shaft 26 is connected to a plate-like connecting portion 27 that can swing with respect to the rotating shaft 26 in a plane (XY plane) parallel to the axial direction of the rotating shaft 26. Yes. The other end of one of the two links 23 is connected to each connection portion 27 in a state of being sandwiched between two connection portions 27 connected to one end portion of the pair of rotating shafts 26. The other end of the remaining one of the two links 23 is connected to each connection portion 27 while being sandwiched between two connection portions 27 connected to the other ends of the pair of rotating shafts 26. .

各リンク23は、アーム22に対して、回転軸24を揺動中心に揺動可能であり、且つXY平面内で回転軸24に対して接続部25を介して揺動可能である。2本のリンク23は、互いに平行な状態を維持しながら移動する。   Each link 23 can swing with respect to the arm 22 about the rotation shaft 24 as a swing center, and can swing with respect to the rotation shaft 24 via the connecting portion 25 in the XY plane. The two links 23 move while maintaining a state parallel to each other.

次に、Y軸リンク機構部30について説明する。
図4に示すように、Y軸リンク機構部30は、駆動軸31に連結されるアーム32と、アーム32に一端が連結されるとともに可動体11に他端が連結され、可動体11の移動範囲の中でY軸に一致可能に延びる1本のリンク33とを有している。具体的には、アーム32は、駆動軸31に固定されており、駆動軸31の回転に伴って、駆動軸31の中心軸線を揺動中心として駆動軸31と一体的に揺動する。アーム32は、直線状に延びるとともに一端が駆動軸31を揺動中心として揺動可能に駆動軸31に連結される揺動部32aと、揺動部32aの他端から二股に枝分かれして互いにZ軸方向に沿って延びる一対の支持部32bとから構成されている。各支持部32bの端部には、円孔状の貫通孔32cが形成されている。両支持部32bの貫通孔32c同士は、X軸方向において互いに向き合っている。
Next, the Y-axis link mechanism 30 will be described.
As shown in FIG. 4, the Y-axis link mechanism 30 includes an arm 32 connected to the drive shaft 31, one end connected to the arm 32 and the other end connected to the movable body 11, and movement of the movable body 11. One link 33 extending so as to be coincident with the Y axis in the range is included. Specifically, the arm 32 is fixed to the drive shaft 31, and swings integrally with the drive shaft 31 with the center axis of the drive shaft 31 as the swing center as the drive shaft 31 rotates. The arm 32 extends linearly and has one end connected to the drive shaft 31 so that it can swing about the drive shaft 31 as a swing center. It is comprised from a pair of support part 32b extended along a Z-axis direction. A circular hole 32c is formed at the end of each support portion 32b. The through holes 32c of both the support portions 32b face each other in the X-axis direction.

また、Y軸リンク機構部30は、駆動軸31と平行に延びる回転軸34を有している。回転軸34は、両支持部32bの貫通孔32cに挿通されており、両支持部32bに回転可能に両持ち支持されている。回転軸34の中央部は、一対の平面部34aを有する二面幅形状になっている。一対の平面部34aには、回転軸34の軸方向に平行な平面(XY平面)内で回転軸34に対して揺動可能な板状の接続部35が接続されている。1本のリンク33の一端は、2枚の接続部35に挟み込まれた状態で各接続部35に接続されている。   The Y-axis link mechanism 30 has a rotation shaft 34 extending in parallel with the drive shaft 31. The rotating shaft 34 is inserted into the through holes 32c of the both support portions 32b, and is rotatably supported by both the support portions 32b. The central portion of the rotating shaft 34 has a two-plane width shape having a pair of flat portions 34a. A plate-like connection portion 35 that can swing with respect to the rotation shaft 34 in a plane (XY plane) parallel to the axial direction of the rotation shaft 34 is connected to the pair of plane portions 34a. One end of one link 33 is connected to each connection portion 35 while being sandwiched between the two connection portions 35.

図3に示すように、Y軸リンク機構部30は、可動体11に回転可能に支持された回転軸36を有している。回転軸36は、駆動軸31と平行に延びている。回転軸36の中央部は、一対の平面部36aを有する二面幅形状になっている。一対の平面部36aには、回転軸36の軸方向に平行な平面(XY平面)内で回転軸36に対して揺動可能な板状の接続部37が接続されている。リンク33の他端は、2枚の接続部37に挟み込まれた状態で各接続部37に接続されている。リンク33は、アーム32に対して、回転軸34を揺動中心に揺動可能であり、且つXY平面内で回転軸34に対して接続部35を介して揺動可能である。   As shown in FIG. 3, the Y-axis link mechanism 30 has a rotation shaft 36 that is rotatably supported by the movable body 11. The rotation shaft 36 extends in parallel with the drive shaft 31. The center part of the rotating shaft 36 has a two-sided width shape having a pair of flat surface parts 36a. A plate-like connecting portion 37 that can swing with respect to the rotation shaft 36 in a plane (XY plane) parallel to the axial direction of the rotation shaft 36 is connected to the pair of plane portions 36a. The other end of the link 33 is connected to each connection portion 37 while being sandwiched between the two connection portions 37. The link 33 can swing with respect to the arm 32 about the rotation shaft 34 as a swing center, and can swing with respect to the rotation shaft 34 via the connecting portion 35 in the XY plane.

次に、Z軸リンク機構部40について説明する。
図5、図6及び図7に示すように、Z軸リンク機構部40は、駆動軸41に連結されるアーム42と、アーム42に一端が連結されるとともに可動体11に他端が連結され、可動体11の移動範囲の中でZ軸に一致可能に延びる3本のリンク43とを有している。3本のリンク43は同じ長さである。アーム42は、後述する固定軸44、連繋部45、一対の揺動部47、回転軸48、一対の揺動部49、回転軸50、連結部51を含む。
Next, the Z-axis link mechanism 40 will be described.
As shown in FIGS. 5, 6, and 7, the Z-axis link mechanism unit 40 has an arm 42 connected to the drive shaft 41, one end connected to the arm 42, and the other end connected to the movable body 11. And three links 43 extending so as to be coincident with the Z-axis within the moving range of the movable body 11. The three links 43 have the same length. The arm 42 includes a fixed shaft 44, a connecting portion 45, a pair of swinging portions 47, a rotating shaft 48, a pair of swinging portions 49, a rotating shaft 50, and a connecting portion 51, which will be described later.

固定軸44は、筐体14の側面14aからY軸方向に沿って突出し、駆動軸41と平行に延びている。固定軸44における側面14aからの突出位置は、駆動軸41の側面14aからの突出位置と、Z軸方向で同一直線上に位置している。連繋部45は、駆動軸41の突出方向の端部と固定軸44の突出方向の端部とを繋ぐ。駆動軸41は、連繋部45に対して回転可能に支持されている。よって、連繋部45は、駆動軸41の軸受けとして機能している。連繋部45は、支持部46を介して筐体14の側面14aに支持されている。そして、支持部46を介して筐体14の側面14aに支持された連繋部45を介して駆動軸41及び固定軸44が連結されているため、駆動軸41及び固定軸44における軸方向の剛性が高められており、互いに平行な状態が維持されている。   The fixed shaft 44 protrudes from the side surface 14 a of the housing 14 along the Y-axis direction and extends in parallel with the drive shaft 41. The protruding position of the fixed shaft 44 from the side surface 14a is located on the same straight line as the protruding position of the drive shaft 41 from the side surface 14a in the Z-axis direction. The connecting portion 45 connects the end portion of the drive shaft 41 in the protruding direction and the end portion of the fixed shaft 44 in the protruding direction. The drive shaft 41 is supported so as to be rotatable with respect to the connecting portion 45. Therefore, the connecting portion 45 functions as a bearing for the drive shaft 41. The connecting portion 45 is supported on the side surface 14 a of the housing 14 via the support portion 46. And since the drive shaft 41 and the fixed shaft 44 are connected via the connecting portion 45 supported by the side surface 14 a of the housing 14 via the support portion 46, the axial rigidity of the drive shaft 41 and the fixed shaft 44 is connected. Are increased, and are maintained parallel to each other.

一対の揺動部47は、直線状に延びるとともに一端が駆動軸41に連結されている。一対の揺動部47は、駆動軸41に固定されており、駆動軸41の回転に伴って、駆動軸41の中心軸線を揺動中心として駆動軸41と一体的に揺動する。一対の揺動部47は互いに平行に延びている。各揺動部47の他端には、貫通孔47aが形成されている。一対の揺動部47の貫通孔47a同士は、Y軸方向において互いに向き合っている。Y軸方向において、連繋部45と一対の揺動部47のうち連繋部45側の揺動部47との間には、円筒状のスリーブ45aが設けられている。このスリーブ45aによって連繋部45と揺動部47が離間した状態に維持されている。   The pair of swinging portions 47 extend linearly and have one end connected to the drive shaft 41. The pair of oscillating portions 47 are fixed to the drive shaft 41, and oscillate integrally with the drive shaft 41 about the central axis of the drive shaft 41 as the drive shaft 41 rotates. The pair of swinging portions 47 extend in parallel to each other. A through hole 47 a is formed at the other end of each swinging portion 47. The through holes 47a of the pair of swing parts 47 face each other in the Y-axis direction. In the Y-axis direction, a cylindrical sleeve 45 a is provided between the connecting portion 45 and the swinging portion 47 on the connecting portion 45 side of the pair of swinging portions 47. The connecting portion 45 and the swinging portion 47 are maintained in a separated state by the sleeve 45a.

回転軸48は、駆動軸41と平行に延びて、両揺動部47の貫通孔47aに挿通され、両揺動部47に回転可能に両持ち支持されている。一対の揺動部49は、直線状に延びるとともに一端が固定軸44の中心軸線を揺動中心として揺動可能に固定軸44に連結されている。一対の揺動部49は互いに平行に延びている。各揺動部49の他端には、貫通孔49aが形成されている。一対の揺動部49の貫通孔49a同士は、Y軸方向において互いに向き合っている。回転軸50は、駆動軸41(固定軸44)と平行に延びて、両揺動部49の貫通孔49aに挿通され、両揺動部49に回転可能に両持ち支持されている。   The rotating shaft 48 extends in parallel with the drive shaft 41, is inserted into the through holes 47 a of both swinging portions 47, and is supported by both swinging portions 47 so as to be rotatable. The pair of swinging portions 49 extend linearly and have one end connected to the fixed shaft 44 so as to be swingable about the central axis of the fixed shaft 44 as a swing center. The pair of swing parts 49 extend in parallel to each other. A through hole 49 a is formed at the other end of each swinging portion 49. The through holes 49a of the pair of swinging portions 49 face each other in the Y-axis direction. The rotating shaft 50 extends in parallel with the drive shaft 41 (fixed shaft 44), is inserted into the through holes 49a of the both swinging portions 49, and is rotatably supported by both swinging portions 49.

連結部51は、両回転軸48,50同士を連結している。連結部51は、両回転軸48,50における一対の揺動部47,49の一方寄りの部位同士を繋ぐ第1連繋部51aと、両回転軸48,50における一対の揺動部47,49の他方寄りの部位同士を繋ぐ第2連繋部51bと、第1連繋部51aと第2連繋部51bとを繋ぐ第3連繋部51cとを有する。第3連繋部51cは、両回転軸48,50の間でY軸方向に沿って延びている。連結部51はX軸方向から見るとH型である。両回転軸48,50は、第1連繋部51a及び第2連繋部51bに対して回転可能に支持されている。   The connecting portion 51 connects both the rotating shafts 48 and 50 to each other. The connecting portion 51 includes a first connecting portion 51 a that connects portions of the rotating shafts 48 and 50 that are closer to the pair of swinging portions 47 and 49, and a pair of swinging portions 47 and 49 that are connected to the rotating shafts 48 and 50. 2nd connection part 51b which connects the site | parts on the other side, and 3rd connection part 51c which connects the 1st connection part 51a and the 2nd connection part 51b. The third linking part 51 c extends along the Y-axis direction between the two rotation shafts 48 and 50. The connecting portion 51 is H-shaped when viewed from the X-axis direction. Both rotating shafts 48 and 50 are supported so as to be rotatable with respect to the first connecting portion 51a and the second connecting portion 51b.

Y軸方向において、第1連繋部51aと一対の揺動部47のうち第1連繋部51a側の揺動部47との間、及び第2連繋部51bと一対の揺動部47のうち第2連繋部51b側の揺動部47との間には、円筒状のスリーブ47bがそれぞれ設けられている。このスリーブ47bによって第1連繋部51aと揺動部47との間、及び第2連繋部51bと揺動部47との間がそれぞれ離間した状態に維持されている。   In the Y-axis direction, the first connecting portion 51a and the pair of swinging portions 47 are connected to the swinging portion 47 on the first connecting portion 51a side, and the second connecting portion 51b and the pair of swinging portions 47 are connected to the first connecting portion 51a. Cylindrical sleeves 47b are respectively provided between the swinging portions 47 on the two connecting portions 51b side. The sleeve 47b keeps the first connecting portion 51a and the swinging portion 47 spaced apart from each other and the second connecting portion 51b and the swinging portion 47 from each other.

Y軸方向において、第1連繋部51aと一対の揺動部49のうち第1連繋部51a側の揺動部49との間、及び第2連繋部51bと一対の揺動部49のうち第2連繋部51b側の揺動部49との間には、円筒状のスリーブ49bがそれぞれ設けられている。このスリーブ49bによって第1連繋部51aと揺動部49との間、及び第2連繋部51bと揺動部49との間がそれぞれ離間した状態に維持されている。   In the Y-axis direction, the first connecting portion 51a and the pair of swinging portions 49 are connected to the swinging portion 49 on the first connecting portion 51a side, and the second connecting portion 51b and the pair of swinging portions 49 are connected to the first connecting portion 51a. Cylindrical sleeves 49b are respectively provided between the swinging portions 49 on the two connecting portions 51b side. The sleeve 49b keeps the first connecting portion 51a and the swinging portion 49 spaced apart from each other, and the second connecting portion 51b and the swinging portion 49 are separated from each other.

駆動軸41の中心軸線と回転軸48の中心軸線との距離と、固定軸44の中心軸線と回転軸50の中心軸線との距離とが一致し、且つ、両回転軸48,50の中心軸線の間の距離と、駆動軸41の中心軸線と固定軸44の中心軸線との距離とが一致するように、両回転軸48,50が第1連繋部51a及び第2連繋部51bによって連結されている。さらに、第3連繋部51cによって互いが連結された第1連繋部51a及び第2連繋部51bを介して両回転軸48,50が連結されているため、両回転軸48,50における軸方向の剛性が高められており、互いに平行な状態が維持されている。   The distance between the central axis of the drive shaft 41 and the central axis of the rotary shaft 48 matches the distance between the central axis of the fixed shaft 44 and the central axis of the rotary shaft 50, and the central axes of both rotary shafts 48 and 50 The rotary shafts 48 and 50 are connected by the first connecting portion 51a and the second connecting portion 51b so that the distance between the two shafts and the distance between the center axis of the drive shaft 41 and the center axis of the fixed shaft 44 coincide with each other. ing. Furthermore, since both the rotating shafts 48 and 50 are connected via the 1st connecting part 51a and the 2nd connecting part 51b which were mutually connected by the 3rd connecting part 51c, the axial direction in both the rotating shafts 48 and 50 is carried out. The rigidity is increased and the parallel state is maintained.

駆動軸41、固定軸44及び連繋部45は、X軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。両回転軸48,50、第1連繋部51a及び第2連繋部51bは、X軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。一対の揺動部47,49、連繋部45及び連結部51は、Y軸方向から見ると、平行四辺形(長方形)を構成している。さらに、駆動軸41、一対の揺動部47及び回転軸48は、Z軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。また、固定軸44、一対の揺動部49及び回転軸50は、Z軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。   The drive shaft 41, the fixed shaft 44, and the connecting portion 45 form a rectangle when viewed from the X-axis direction, and enhance the deformation rigidity of the rectangle. The rotary shafts 48 and 50, the first connecting portion 51a, and the second connecting portion 51b form a rectangle when viewed from the X-axis direction, and the deformation rigidity of the rectangle is increased. The pair of swinging portions 47 and 49, the connecting portion 45, and the connecting portion 51 form a parallelogram (rectangular shape) when viewed from the Y-axis direction. Furthermore, when viewed from the Z-axis direction, the drive shaft 41, the pair of oscillating portions 47, and the rotation shaft 48 form a rectangle, and the deformation rigidity of the rectangle is increased. In addition, the fixed shaft 44, the pair of swinging portions 49, and the rotation shaft 50 form a rectangle when viewed from the Z-axis direction, and the deformation rigidity of the rectangle is increased.

そして、一対の揺動部47,49、連繋部45、連結部51、固定軸44、両回転軸48,50によって、駆動軸41に揺動可能に連結される平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部42Aが構成されている。アーム部42Aは、その一辺が駆動軸41と固定軸44とからなり、対辺が一体の連結部51からなり、3本のリンク43は連結部51を介して接続されている。よって、アーム42は、一対のアーム部42Aを有している。一対のアーム部42Aは、それぞれのアーム部42Aの一部を構成する連結部51を介して一体になっている。   The pair of swinging portions 47 and 49, the connecting portion 45, the connecting portion 51, the fixed shaft 44, and the rotating shafts 48 and 50 form a parallelogram link mechanism that is swingably connected to the drive shaft 41. A pair of arm portions 42A is configured. One side of the arm portion 42 </ b> A is composed of the drive shaft 41 and the fixed shaft 44, and the opposite side is composed of an integral connecting portion 51, and the three links 43 are connected via the connecting portion 51. Therefore, the arm 42 has a pair of arm portions 42A. The pair of arm portions 42A are integrated with each other via a connecting portion 51 that constitutes a part of each arm portion 42A.

連結部51は、一対のアーム部42Aの間に延びる延設部52を有している。延設部52は、第3連繋部51cに一体的に設けられている。よって、延設部52を含む連結部51は、Y軸方向及びZ軸方向から見るとT型である。延設部52の先端部には、X軸方向に沿って延びる回転軸53が設けられている。回転軸53は、延設部52に対して回転可能に支持されている。回転軸53の先端部は、一対の平面部53aを有する二面幅形状になっている。一対の平面部53aには、回転軸53の軸方向に平行な平面(XZ平面)内で回転軸53に対して揺動可能な板状の接続部54が接続されている。3本のリンク43のうち1本である第1のZ軸リンク43aの一端は、2枚の接続部54に挟まれた状態で各接続部54に接続されている。   The connecting portion 51 has an extending portion 52 that extends between the pair of arm portions 42A. The extending portion 52 is provided integrally with the third connecting portion 51c. Therefore, the connecting portion 51 including the extending portion 52 is T-shaped when viewed from the Y-axis direction and the Z-axis direction. A rotating shaft 53 extending along the X-axis direction is provided at the distal end portion of the extending portion 52. The rotating shaft 53 is supported so as to be rotatable with respect to the extending portion 52. The tip of the rotating shaft 53 has a two-sided width shape having a pair of flat portions 53a. Connected to the pair of flat portions 53a is a plate-like connecting portion 54 that can swing with respect to the rotary shaft 53 in a plane parallel to the axial direction of the rotary shaft 53 (XZ plane). One end of the first Z-axis link 43 a, which is one of the three links 43, is connected to each connection portion 54 while being sandwiched between the two connection portions 54.

また、回転軸48の両端部は、一対の平面部48aを有する二面幅形状になっている。回転軸48の両端部において、一対の平面部48aには、回転軸48の軸方向に平行な平面(YZ平面)内で回転軸48に対して揺動可能な板状の接続部55が接続されている。3本のリンク43のうち残りの2本のうち1本である第2のZ軸リンク43bの一端は、回転軸48の一端部に接続された2枚の接続部55に挟み込まれた状態で各接続部55に接続されている。3本のリンク43のうち残りの1本である第3のZ軸リンク43cの一端は、回転軸48の他端部に接続された2枚の接続部55に挟み込まれた状態で各接続部55に接続されている。   Further, both end portions of the rotating shaft 48 have a two-sided width shape having a pair of flat surface portions 48a. At both ends of the rotating shaft 48, a pair of flat surface portions 48a is connected to a plate-like connecting portion 55 that can swing with respect to the rotating shaft 48 in a plane parallel to the axial direction of the rotating shaft 48 (YZ plane). Has been. One end of the second Z-axis link 43 b, which is one of the remaining two of the three links 43, is sandwiched between two connection portions 55 connected to one end of the rotating shaft 48. It is connected to each connection part 55. One end of the third Z-axis link 43c, which is the remaining one of the three links 43, is sandwiched between two connection portions 55 connected to the other end portion of the rotating shaft 48, and each connection portion. 55.

図8に示すように、Z軸リンク機構部40は、可動体11に回転可能に支持されるとともに、Z軸方向において回転軸53に対向配置される回転軸56を有している。両回転軸53,56は互いに平行に延びている。回転軸56の端部は、一対の平面部56aを有する二面幅形状になっている。一対の平面部56aには、回転軸56の軸方向に平行な平面(XZ平面)内で回転軸56に対して揺動可能な板状の接続部57が接続されている。第1のZ軸リンク43aの他端は、2枚の接続部57に挟み込まれた状態で各接続部57に接続されている。   As shown in FIG. 8, the Z-axis link mechanism 40 has a rotation shaft 56 that is rotatably supported by the movable body 11 and that is disposed to face the rotation shaft 53 in the Z-axis direction. Both rotary shafts 53 and 56 extend in parallel to each other. The end of the rotating shaft 56 has a two-plane width shape having a pair of flat portions 56a. A plate-like connecting portion 57 that can swing with respect to the rotation shaft 56 in a plane (XZ plane) parallel to the axial direction of the rotation shaft 56 is connected to the pair of plane portions 56a. The other end of the first Z-axis link 43 a is connected to each connection portion 57 while being sandwiched between the two connection portions 57.

また、Z軸リンク機構部40は、可動体11に回転可能に支持されるとともに、Z軸方向において回転軸48の両端部にそれぞれ対向配置される一対の回転軸58を有している。各回転軸58は、駆動軸41と平行に延びている。各回転軸58の端部は、一対の平面部58aを有する二面幅形状になっている。各回転軸58の一対の平面部58aには、回転軸58の軸方向に平行な平面(YZ平面)内で回転軸58に対して揺動可能な板状の接続部59がそれぞれ接続されている。第2のZ軸リンク43bの他端は、一対の回転軸58の一方の端部に接続された2枚の接続部59に挟み込まれた状態で各接続部59に接続されている。第3のZ軸リンク43cの他端は、一対の回転軸58の他方の端部に接続された2枚の接続部59に挟み込まれた状態で各接続部59に接続されている。   The Z-axis link mechanism unit 40 has a pair of rotating shafts 58 that are rotatably supported by the movable body 11 and that are opposed to both ends of the rotating shaft 48 in the Z-axis direction. Each rotary shaft 58 extends in parallel with the drive shaft 41. The end of each rotating shaft 58 has a two-sided width shape having a pair of flat portions 58a. A pair of flat surface portions 58a of each rotation shaft 58 is connected to a plate-like connection portion 59 that can swing relative to the rotation shaft 58 in a plane parallel to the axial direction of the rotation shaft 58 (YZ plane). Yes. The other end of the second Z-axis link 43b is connected to each connection portion 59 in a state of being sandwiched between two connection portions 59 connected to one end portion of the pair of rotating shafts 58. The other end of the third Z-axis link 43 c is connected to each connection portion 59 in a state of being sandwiched between two connection portions 59 connected to the other ends of the pair of rotating shafts 58.

3本のリンク43(第1のZ軸リンク43a、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43c)は、アーム42に対して、回転軸48を揺動中心に第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cが揺動すると、第1のZ軸リンク43aがXZ平面内で回転軸53に対して接続部54を介して揺動可能である。また、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cが、YZ平面内で回転軸48に対して接続部55を介して揺動すると、第1のZ軸リンク43aが、回転軸53が回転することにより回転軸53を揺動中心に揺動可能である。よって、延設部52の先端部に、回転軸53を介して揺動可能に連結された3本のリンクのうち1本である第1のZ軸リンク43aが、回転軸53を介して二方向に揺動可能に連結されている。アーム42は、3本のリンク43をそれぞれ平行な状態に維持させながら移動させる。3本のリンク43は、回転軸50,53を介して連結部51に接続されているため、連結部51が姿勢を維持した動きをすることから、各リンク43におけるアーム42に対する接続位置の相対位置関係を維持したまま移動する。   The three links 43 (the first Z-axis link 43a, the second Z-axis link 43b, and the third Z-axis link 43c) are the second Z with respect to the arm 42 about the rotation shaft 48 as a swing center. When the shaft link 43b and the third Z-axis link 43c swing, the first Z-axis link 43a can swing with respect to the rotation shaft 53 via the connection portion 54 in the XZ plane. Further, when the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c swing through the connecting portion 55 with respect to the rotary shaft 48 in the YZ plane, the first Z-axis link 43a is turned into the rotary shaft. By rotating 53, the rotary shaft 53 can be swung around the swing center. Therefore, the first Z-axis link 43 a, which is one of the three links that are swingably connected to the distal end portion of the extending portion 52 via the rotation shaft 53, is connected to the second portion via the rotation shaft 53. It is connected so that it can swing in the direction. The arm 42 moves while maintaining the three links 43 in a parallel state. Since the three links 43 are connected to the connecting portion 51 via the rotary shafts 50 and 53, the connecting portion 51 moves while maintaining its posture. Move while maintaining the positional relationship.

図9(a)及び(b)に示すように、Z軸方向において、第1のZ軸リンク43aにおけるアーム42に対する接続位置は、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cにおけるアーム42に対する接続位置よりも可動体11寄りである。そして、3本のリンク43は同じ長さであるため、Z軸方向において、第1のZ軸リンク43aにおける可動体11に対する接続位置は、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cにおける可動体11に対する接続位置よりもアーム42とは離れた位置にある。   As shown in FIGS. 9A and 9B, in the Z-axis direction, the connection position of the first Z-axis link 43a to the arm 42 is the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c. It is closer to the movable body 11 than the connection position with respect to the arm 42. Since the three links 43 have the same length, the connection position of the first Z-axis link 43a to the movable body 11 in the Z-axis direction is the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link. It is in a position farther from the arm 42 than the connection position to the movable body 11 at 43c.

また、X軸リンク機構部20の2本のリンク23における可動体11に対する接続位置それぞれは、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cの接続位置それぞれと、Z軸方向で同一直線上に位置し、且つ第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cの接続位置それぞれに対して、Z軸方向において筐体14とは反対側に位置している。   In addition, the connection positions of the two links 23 of the X-axis link mechanism 20 to the movable body 11 are the same in the Z-axis direction as the connection positions of the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c. It is located on a straight line and is located on the opposite side of the housing 14 in the Z-axis direction with respect to the connection positions of the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c.

図10に示すように、Z軸リンク機構部40の3本のリンク43における可動体11に対する接続位置を、Z軸方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形T1を構成する位置にある。また、Y軸リンク機構部30のリンク33における可動体11に対する接続位置を、Z軸方向から見たとき、接続位置が二等辺三角形T1の内部に位置している。電動ドライバ11aは、電動ドライバ11aの出力軸11bの軸方向がZ軸方向に一致した状態で、可動体11に保持されている。出力軸11bは、Z軸方向から見たとき、二等辺三角形T1の辺上に位置しており、本実施形態では、第2のZ軸リンク43bにおける可動体11に対する接続位置と第3のZ軸リンク43cにおける可動体11に対する接続位置とを結ぶ直線上に位置している。   As shown in FIG. 10, when the connection positions of the three links 43 of the Z-axis link mechanism 40 to the movable body 11 are viewed from the Z-axis direction, the connection positions are at positions that form an isosceles triangle T1. . Moreover, when the connection position with respect to the movable body 11 in the link 33 of the Y-axis link mechanism 30 is viewed from the Z-axis direction, the connection position is located inside the isosceles triangle T1. The electric driver 11a is held by the movable body 11 in a state where the axial direction of the output shaft 11b of the electric driver 11a coincides with the Z-axis direction. The output shaft 11b is located on the side of the isosceles triangle T1 when viewed from the Z-axis direction. In the present embodiment, the output position 11b is connected to the movable body 11 in the second Z-axis link 43b and the third Z-axis. The shaft link 43c is located on a straight line connecting the connection position to the movable body 11.

支持装置10は、可動体11の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部20,30,40のリンク23,33,43のなす角度が90度を取り得るように構成されている。そして、例えば、図1に示すように、可動体11の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部20,30,40のリンク23,33,43のなす角度が90度をなすとき、各リンク機構部20,30,40のアーム22,32,42(揺動部22a,32a,47)とリンク23,33,43とがなす角度が90度を取り得るように構成されている。   The support device 10 is configured such that the angle formed by the links 23, 33, and 43 of the adjacent link mechanism units 20, 30, and 40 within the moving range of the movable body 11 can take 90 degrees. For example, as shown in FIG. 1, when the angles formed by the links 23, 33, and 43 of the adjacent link mechanisms 20, 30, and 40 in the moving range of the movable body 11 form 90 degrees, each link mechanism The angles formed by the arms 22, 32, and 42 (swinging portions 22a, 32a, and 47) of the portions 20, 30, and 40 and the links 23, 33, and 43 can be 90 degrees.

支持装置10において、図示しないコンピュータに対し、可動体11を移動させる位置情報が入力されると、その情報に応じた指令信号がコントローラからX軸用サーボモータ、Y軸用サーボモータ及びZ軸用サーボモータへ出力される。すると、指令信号に基づいて、各駆動軸21,31,41が回転し、各リンク機構部20,30,40のアーム22,32,42がそれぞれ駆動軸21,31,41に対して揺動する。そして、アーム22,32,42の揺動に連動して、各リンク23,33,43が、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ移動する。その結果、可動体11は、X軸回り、Y軸回り及びZ軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、可動体11の姿勢を一定な状態に維持しながらX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ移動する。この可動体11の移動に伴って、電動ドライバ11aが可動体11と一体的に移動する。本実施形態では、電動ドライバ11aの出力軸11bの軸方向がZ軸方向に一致した状態を維持しながら、可動体11が所定の移動範囲を移動可能になっている。本実施形態において、Z軸リンク機構部40のアーム42は、可動体11の移動範囲の中で、可動体11の姿勢を一定な状態に維持し、且つ3本のリンク43をそれぞれ平行な状態に維持させながら移動させる移動機構を構成している。   In the support device 10, when position information for moving the movable body 11 is input to a computer (not shown), a command signal corresponding to the information is sent from the controller to the X-axis servomotor, the Y-axis servomotor, and the Z-axis. Output to servo motor. Then, based on the command signal, the drive shafts 21, 31, 41 rotate, and the arms 22, 32, 42 of the link mechanism portions 20, 30, 40 swing with respect to the drive shafts 21, 31, 41, respectively. To do. Then, in conjunction with the swinging of the arms 22, 32, 42, the links 23, 33, 43 move in the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction, respectively. As a result, the movable body 11 is controlled in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the X-axis direction while maintaining the posture of the movable body 11 in a constant state in a state where the rotation about the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis is restricted. Move in the Z-axis direction. As the movable body 11 moves, the electric driver 11 a moves integrally with the movable body 11. In the present embodiment, the movable body 11 can move within a predetermined movement range while maintaining the state where the axial direction of the output shaft 11b of the electric driver 11a coincides with the Z-axis direction. In the present embodiment, the arm 42 of the Z-axis link mechanism unit 40 maintains the posture of the movable body 11 in a constant state within the movement range of the movable body 11, and the three links 43 are parallel to each other. The moving mechanism is configured to move while maintaining the above.

次に、本実施形態の作用について説明する。
ところで、電動ドライバ11aを用いたねじ締め作業は、電動ドライバ11aの出力軸11bに取り付けられるビット11c(先端工具)をねじ締めの対象物に対してZ軸方向に押し付けながら行われる。このとき、例えば、従来技術のように、Z軸リンク機構部40を構成するリンク43が2本である場合に比べて、駆動軸41側の接続部位の互いの姿勢が維持された3本のリンク43によって、ビット11cを対象物に押し付ける押し付け力を維持する剛性が高められている。具体的には、3本のリンク43によって、可動体11を3点で面支持することになるため、受け面の支持剛性が高まる。Z軸方向から見ると、3本のリンクにおける可動体11に対する接続位置が三角形となり、3本の平行なリンク43による三角柱(3つの四角形)が構成され、X軸、Y軸に回転する力をZ軸の3本のリンク43のみで剛性高く保持できる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
By the way, the screw tightening operation using the electric screwdriver 11a is performed while pressing a bit 11c (tip tool) attached to the output shaft 11b of the electric screwdriver 11a against the object to be screwed in the Z-axis direction. At this time, for example, compared to the case where there are two links 43 constituting the Z-axis link mechanism unit 40 as in the prior art, three of the connection portions on the drive shaft 41 side are maintained in the mutual posture. The link 43 increases the rigidity for maintaining the pressing force for pressing the bit 11c against the object. Specifically, since the movable body 11 is surface-supported at three points by the three links 43, the support rigidity of the receiving surface is increased. When viewed from the Z-axis direction, the connection position of the three links to the movable body 11 is a triangle, and a triangular prism (three quadrangles) is formed by the three parallel links 43. Only the three Z-axis links 43 can be held with high rigidity.

さらに、3本のリンク43は、アーム42のアーム部42Aを構成する連結部51により位置決めされるとともに、姿勢維持されるため、剛性高く保持される。より詳細には、2本のリンク43b,43cは一対の揺動部47で受承される。1本のリンク43aは連結部51の延設部52に作用する。各リンク43a,43b,43c間での力の差異は、連結部51へのモーメントとして作用するが、アーム部42Aの揺動部47の引張り、及び揺動部49の圧縮に変換され、力の平衡によりキャンセルされる。このように3本のリンク43の互いの位置関係が変動することなく維持される。したがって、Z軸方向のリンク43の剛性が十分に確保されている。   Furthermore, since the three links 43 are positioned by the connecting portion 51 constituting the arm portion 42A of the arm 42 and maintained in the posture, the three links 43 are held with high rigidity. More specifically, the two links 43 b and 43 c are received by the pair of swing parts 47. One link 43 a acts on the extending portion 52 of the connecting portion 51. The difference in force between the links 43a, 43b, and 43c acts as a moment to the connecting portion 51, but is converted into tension of the swinging portion 47 of the arm portion 42A and compression of the swinging portion 49. Canceled by equilibrium. Thus, the mutual positional relationship of the three links 43 is maintained without fluctuation. Accordingly, the rigidity of the link 43 in the Z-axis direction is sufficiently ensured.

可動体11に加わるX軸方向の外力は、X軸リンク機構部20の2本のリンク23及びアーム22で直接受承される。アーム22とリンク23とがなす角度は、可動体11の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部20,30,40のリンク23,33,43のなす角度が90度をなすとき、90度を取り得る。このため、可動体11に加わるX軸方向の外力は、X軸リンク機構部20の2本のリンク23及びアーム22で受承し易くなっている。   The external force in the X-axis direction applied to the movable body 11 is directly received by the two links 23 and the arm 22 of the X-axis link mechanism 20. The angle formed by the arm 22 and the link 23 is 90 degrees when the angles formed by the links 23, 33, and 43 of the adjacent link mechanisms 20, 30, and 40 in the moving range of the movable body 11 form 90 degrees. I can take it. For this reason, the external force in the X-axis direction applied to the movable body 11 is easily received by the two links 23 and the arm 22 of the X-axis link mechanism 20.

可動体11に加わるY軸方向の外力は、Y軸リンク機構部30の1本のリンク33及びアーム32で直接受承される。アーム32とリンク33とがなす角度は、可動体11の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部20,30,40のリンク23,33,43のなす角度が90度をなすとき、90度を取り得る。このため、可動体11に加わるY軸方向の外力は、Y軸リンク機構部30の1本のリンク33及びアーム32で受承し易くなっている。   The external force in the Y-axis direction applied to the movable body 11 is directly received by one link 33 and the arm 32 of the Y-axis link mechanism portion 30. The angle formed by the arm 32 and the link 33 is 90 degrees when the angle formed by the links 23, 33, and 43 of the adjacent link mechanisms 20, 30, and 40 in the moving range of the movable body 11 forms 90 degrees. I can take it. For this reason, the external force in the Y-axis direction applied to the movable body 11 is easily received by the one link 33 and the arm 32 of the Y-axis link mechanism 30.

可動体11に加わるZ軸方向の外力は、Z軸リンク機構部40の3本のリンク43及びアーム42で直接受承される。アーム42とリンク43とがなす角度は、可動体11の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部20,30,40のリンク23,33,43のなす角度が90度をなすとき、90度を取り得る。このため、可動体11に加わるZ軸方向の外力は、Z軸リンク機構部40の3本のリンク43及びアーム42で受承し易くなっている。   The external force in the Z-axis direction applied to the movable body 11 is directly received by the three links 43 and the arm 42 of the Z-axis link mechanism 40. The angle formed by the arm 42 and the link 43 is 90 degrees when the angle formed by the links 23, 33, and 43 of the adjacent link mechanisms 20, 30, and 40 in the moving range of the movable body 11 forms 90 degrees. I can take it. For this reason, the external force in the Z-axis direction applied to the movable body 11 is easily received by the three links 43 and the arms 42 of the Z-axis link mechanism 40.

上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
(1)支持装置10は、可動体11の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部20,30,40のリンク23,33,43のなす角度が90度をなすとき、各リンク機構部20,30,40のアーム22,32,42とリンク23,33,43とがなす角度が90度を取り得るように構成されている。さらに、Z軸リンク機構部40は、3本のリンク43を有している。アーム42は、可動体11の移動範囲の中で、可動体11の姿勢を一定な状態に維持し、且つ、3本のリンク43をそれぞれ平行な状態に維持させながら移動させる。これによれば、可動体11に加わる各軸方向の外力を、各軸のリンク23,33,43及びアーム22,32,42によって受承し易くなる。そして、例えば、従来技術のように、Z軸リンク機構部40を構成するリンク43が2本である場合に比べて、3本のリンク43によって、面で支持することにより、ビット11cを対象物に押し付ける押し付け力を維持する剛性を高めることができる。また、3本のリンク43の駆動軸41側の接続部位は、位置関係と姿勢が維持されて移動する機構である。したがって、Z軸方向のリンク43の剛性を十分に確保することができる。
In the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) When the angle formed by the links 23, 33, and 43 of the adjacent link mechanism units 20, 30, and 40 in the moving range of the movable body 11 is 90 degrees, the support device 10 is configured so that each link mechanism unit 20, The angles formed by the arms 22, 32, 42 of the 30 and 40 and the links 23, 33, 43 can be 90 degrees. Further, the Z-axis link mechanism 40 has three links 43. The arm 42 moves within the moving range of the movable body 11 while maintaining the posture of the movable body 11 in a constant state and maintaining the three links 43 in a parallel state. According to this, it becomes easy to receive the external force of each axial direction applied to the movable body 11 by the links 23, 33, 43 and the arms 22, 32, 42 of each axis. Then, for example, as compared with the case where there are two links 43 constituting the Z-axis link mechanism 40 as in the prior art, the bit 11c is supported by the three links 43 on the surface. The rigidity which maintains the pressing force which presses against can be improved. In addition, the connection part on the drive shaft 41 side of the three links 43 is a mechanism that moves while maintaining the positional relationship and the posture. Therefore, the rigidity of the link 43 in the Z-axis direction can be sufficiently ensured.

(2)リンク23,33は、アーム22,32に対して、回転軸24,34を揺動中心に揺動可能であり、且つ回転軸24,34の軸方向に平行な平面内で回転軸24,34に対して接続部25,35を介して揺動可能である。これによれば、可動体11の移動を精度良く行うことができる。また、3本のリンク43のうち、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cは、アーム42に対して、回転軸48を揺動中心に揺動可能であり、且つ回転軸48の軸方向に平行な平面内で回転軸48に対して接続部55を介して揺動可能である。これによれば、駆動軸41からの駆動力がアーム42を介して第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cに直接作用するため、回転モーメント等の外乱となる力が生じず、保持剛性を高くすることができる。これにより、高精度の移動や、大きな負荷への対応が可能となる。   (2) The links 23 and 33 can swing with respect to the arms 22 and 32 about the rotation shafts 24 and 34 as the center of rotation, and the rotation shafts in a plane parallel to the axial direction of the rotation shafts 24 and 34. It can be swung with respect to 24 and 34 via connecting portions 25 and 35. According to this, the movable body 11 can be accurately moved. Of the three links 43, the second Z-axis link 43 b and the third Z-axis link 43 c can swing with respect to the arm 42 around the rotation shaft 48 and the rotation shaft. The rotary shaft 48 can be swung via a connecting portion 55 within a plane parallel to the axial direction of the 48. According to this, since the driving force from the drive shaft 41 directly acts on the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c via the arm 42, a force that causes disturbance such as a rotational moment does not occur. , The holding rigidity can be increased. This makes it possible to move with high accuracy and handle a large load.

(3)Z軸リンク機構部40のアーム42は、駆動軸41に連結される平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部42Aを有する。一対のアーム部42Aは連結部51を介して一体になっている。これによれば、一対のアーム部42Aを一体として立体的に構成することができ、さらには、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のいずれの方向から見ても強固な四角形構造を構成するため、高い保持剛性を実現できるとともに、Z軸方向のリンク43の移動の精度を向上させることができる。よって、アーム42とリンク43との接続部位での捩じりに対する剛性、特に、Z軸方向に垂直な面内での捩じりに対する剛性が高まる。このため、重量のある電動ドライバ11aを動かしたり、高い移動精度を実現したりすることができる。   (3) The arm 42 of the Z-axis link mechanism portion 40 has a pair of arm portions 42 </ b> A constituting a parallelogram link mechanism connected to the drive shaft 41. The pair of arm portions 42 </ b> A are integrated with each other via the connecting portion 51. According to this, the pair of arm portions 42A can be integrally formed in a three-dimensional manner, and further, a strong rectangular structure can be formed when viewed from any of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. Therefore, high holding rigidity can be realized and the accuracy of movement of the link 43 in the Z-axis direction can be improved. Therefore, the rigidity against torsion at the connection portion between the arm 42 and the link 43, particularly the rigidity against torsion in a plane perpendicular to the Z-axis direction is increased. For this reason, the heavy electric driver 11a can be moved, or high movement accuracy can be realized.

(4)Z軸リンク機構部40のアーム42は、一対のアーム部42Aの間に延びる延設部52を有する。延設部52の先端部には、回転軸53を介して揺動可能に連結された3本のリンクのうち1本である第1のZ軸リンク43aが、回転軸53を介して二方向に揺動可能に連結されている。これによれば、平行四辺形リンク機構を構成するアーム部42Aにより、連結部51が一定姿勢を保ったまま移動し、第3連繋部51cにより一体となった延設部52も同じ姿勢を保ったまま移動する。3本のリンク43の駆動軸41側の接続部位は、三角形の位置関係を保ったまま移動できる。   (4) The arm 42 of the Z-axis link mechanism 40 has an extending portion 52 that extends between the pair of arm portions 42A. A first Z-axis link 43 a that is one of three links that are swingably connected via a rotating shaft 53 is provided at the tip of the extending portion 52 in two directions via the rotating shaft 53. Are pivotably connected to each other. According to this, the arm portion 42A constituting the parallelogram link mechanism moves the connecting portion 51 while maintaining a constant posture, and the extending portion 52 integrated by the third connecting portion 51c also maintains the same posture. Move while standing. The connecting portions on the drive shaft 41 side of the three links 43 can move while maintaining the triangular positional relationship.

(5)Z軸リンク機構部40の3本のリンク43における可動体11及びアーム42に対する接続位置は、Z軸方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形T1を構成する位置にある。これによれば、支持装置10をコンパクトにすることができるとともに、Z軸方向のリンク43の剛性を十分に確保し易くなる。   (5) The connection positions of the three links 43 of the Z-axis link mechanism section 40 with respect to the movable body 11 and the arm 42 are positions where the respective connection positions form an isosceles triangle T1 when viewed from the Z-axis direction. According to this, the support device 10 can be made compact, and it becomes easy to sufficiently secure the rigidity of the link 43 in the Z-axis direction.

(6)Y軸リンク機構部30のリンク33における可動体11に対する接続位置は、Z軸方向から見たとき、接続位置が二等辺三角形T1の内部に位置している。これによれば、Y軸リンク機構部30のリンク33における可動体11に対する接続位置が、Z軸方向から見たときに、二等辺三角形T1の外部に位置している場合に比べて、支持装置10をコンパクトにすることができる。また、Z軸方向のリンク43の剛性を確保し易くなる。   (6) The connection position of the link 33 of the Y-axis link mechanism 30 to the movable body 11 is located inside the isosceles triangle T1 when viewed from the Z-axis direction. According to this, compared with the case where the connection position with respect to the movable body 11 in the link 33 of the Y-axis link mechanism part 30 is located outside the isosceles triangle T1 when seen from the Z-axis direction. 10 can be made compact. Moreover, it becomes easy to ensure the rigidity of the link 43 in the Z-axis direction.

(7)X軸リンク機構部20の2本のリンク23における可動体11に対する接続位置それぞれは、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cの接続位置それぞれと、Z軸方向で同一直線上に位置し、且つ第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cの接続位置それぞれに対して、Z軸方向において筐体14とは反対側に位置している。これによれば、支持装置10をコンパクトにすることができるとともに、Z軸方向のリンク43の剛性を十分に確保し易くなる。   (7) The connection positions of the two links 23 of the X-axis link mechanism unit 20 with respect to the movable body 11 are the same as the connection positions of the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c in the Z-axis direction. It is located on the same straight line and is located on the opposite side of the housing 14 in the Z-axis direction with respect to the connection positions of the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c. According to this, the support device 10 can be made compact, and it becomes easy to sufficiently secure the rigidity of the link 43 in the Z-axis direction.

(8)電動ドライバ11aの出力軸11bは、Z軸方向から見たとき、第2のZ軸リンク43bにおける可動体11に対する接続位置と第3のZ軸リンク43cにおける可動体11に対する接続位置とを結ぶ直線上に位置している。これによれば、ビット11cを対象物に押し付ける押し付け力を維持するための剛性を確保し易くすることができる。特に、ビット11cを対象物に押し付ける押し付け力の反力が、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cを介してアーム42に直接伝わり、第1のZ軸リンク43aが姿勢を保つ役割をするため、高い剛性を実現することができる。   (8) When viewed from the Z-axis direction, the output shaft 11b of the electric driver 11a has a connection position with respect to the movable body 11 in the second Z-axis link 43b and a connection position with respect to the movable body 11 in the third Z-axis link 43c. It is located on a straight line connecting According to this, it is possible to easily ensure the rigidity for maintaining the pressing force for pressing the bit 11c against the object. In particular, the reaction force of the pressing force that presses the bit 11c against the object is directly transmitted to the arm 42 via the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c, and the first Z-axis link 43a takes a posture. Since it plays a role of maintaining, high rigidity can be realized.

(9)3本のリンク43によって、可動体11を3点で面支持することになるため、受け面の支持剛性が高まる。Z軸方向から見ると、3本のリンクにおける可動体11に対する接続位置が三角形となり、3本の平行なリンク43による三角柱(3つの四角形)が構成され、X軸、Y軸に回転する力をZ軸の3本のリンク43のみで剛性高く保持できる。   (9) Since the movable body 11 is surface-supported at three points by the three links 43, the support rigidity of the receiving surface is increased. When viewed from the Z-axis direction, the connection position of the three links to the movable body 11 is a triangle, and a triangular prism (three quadrangles) is formed by the three parallel links 43. Only the three Z-axis links 43 can be held with high rigidity.

(10)3本のリンク43は、アーム42のアーム部42Aを構成する連結部51により位置決めされる。これによれば、3本のリンク43が姿勢維持されるため、剛性高く保持される。より詳細には、2本のリンク43b,43cは一対の揺動部47で受承される。1本のリンク43aは連結部51の延設部52に作用する。各リンク43a,43b,43c間での力の差異は、連結部51へのモーメントとして作用するが、アーム部42Aの揺動部47の引張り、及び揺動部49の圧縮に変換され、力の平衡によりキャンセルされる。このように3本のリンク43の互いの位置関係が変動することなく維持される。   (10) The three links 43 are positioned by the connecting portion 51 that constitutes the arm portion 42 </ b> A of the arm 42. According to this, since the three links 43 are maintained in posture, they are held with high rigidity. More specifically, the two links 43 b and 43 c are received by the pair of swing parts 47. One link 43 a acts on the extending portion 52 of the connecting portion 51. The difference in force between the links 43a, 43b, and 43c acts as a moment to the connecting portion 51, but is converted into tension of the swinging portion 47 of the arm portion 42A and compression of the swinging portion 49. Canceled by equilibrium. Thus, the mutual positional relationship of the three links 43 is maintained without fluctuation.

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・ 図11(a)及び(b)に示すように、駆動軸41と固定軸44との位置関係が逆であってもよい。そして、延設部52を含む連結部51が、Y軸方向から見るとL型であってもよい。Z軸方向において、第1のZ軸リンク43aにおけるアーム42に対する接続位置は、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cにおけるアーム42に対する接続位置と同じ位置にある。3本のリンク43は同じ長さであるため、Z軸方向において、第1のZ軸リンク43aにおける可動体11に対する接続位置は、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cにおける可動体11に対する接続位置と同じ位置にある。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
-As shown to Fig.11 (a) and (b), the positional relationship of the drive shaft 41 and the fixed shaft 44 may be reverse. And the connection part 51 containing the extension part 52 may be L type, seeing from the Y-axis direction. In the Z-axis direction, the connection position with respect to the arm 42 in the first Z-axis link 43a is the same position as the connection position with respect to the arm 42 in the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c. Since the three links 43 have the same length, the connection position of the first Z-axis link 43a to the movable body 11 in the Z-axis direction is the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c. It is at the same position as the connection position to the movable body 11.

・ 図12に示すように、延設部52が、一対のアーム部42Aの間とは反対側(支持装置10の外側)に延びていてもよい。なお、図12に示す実施形態では、延設部52を含む連結部51が、Y軸方向から見るとL型である構成を一例として挙げているが、連結部51は、Y軸方向から見るとT型である構成であってもよい。   -As shown in FIG. 12, the extension part 52 may extend on the opposite side (outside of the support apparatus 10) between the pair of arm parts 42A. In the embodiment shown in FIG. 12, the connecting portion 51 including the extending portion 52 is L-shaped when viewed from the Y-axis direction, but the connecting portion 51 is viewed from the Y-axis direction. And a T-type configuration.

・ 図13(a)及び(b)に示すように、Z軸リンク機構部40は、駆動部であるステージ60を有していてもよい。ステージ60は、駆動源からの駆動力によってZ軸方向に直線運動する。Z軸リンク機構部40は、ステージ60に連結されるアーム42を有する。3本のリンク43は、ステージ60が直線運動することにより、それぞれが平行な状態に維持されながらZ軸方向へ移動可能である。   -As shown to Fig.13 (a) and (b), the Z-axis link mechanism part 40 may have the stage 60 which is a drive part. The stage 60 moves linearly in the Z-axis direction by the driving force from the driving source. The Z-axis link mechanism 40 has an arm 42 that is connected to the stage 60. The three links 43 are movable in the Z-axis direction while the stages 60 are linearly moved and maintained in a parallel state.

・ 図14(a)及び(b)に示すように、固定軸44に代えて、回転軸44Aを設け、駆動軸41と回転軸44Aとを、例えば、タイミングベルトやチェーン等の連結部材61により連結し、駆動軸41と回転軸44Aとの回転を、連結部材61を介して機械的に同期させることにより、各揺動部47,49を揺動させるようにしてもよい。   14A and 14B, a rotation shaft 44A is provided instead of the fixed shaft 44, and the drive shaft 41 and the rotation shaft 44A are connected to each other by a connecting member 61 such as a timing belt or a chain. The swinging portions 47 and 49 may be swung by being connected and mechanically synchronizing the rotation of the drive shaft 41 and the rotating shaft 44A via the connecting member 61.

・ 図15(a)及び(b)に示すように、各揺動部47,49を連結リンク62により連結し、各揺動部47,49の揺動を、連結リンク62を介して同期させるようにしてもよい。   As shown in FIGS. 15A and 15B, the swinging portions 47 and 49 are connected by the connecting link 62, and the swinging of the swinging portions 47 and 49 is synchronized via the connecting link 62. You may do it.

・ 図16(a)及び(b)に示すように、揺動部49がサーボモータの駆動軸63に連結されており、各駆動軸41,63の回転を同期させるように、各駆動軸41,63のサーボモータを電気的に制御することにより、各揺動部47,49を揺動させるようにしてもよい。   As shown in FIGS. 16A and 16B, the swinging portion 49 is connected to the drive shaft 63 of the servo motor, and each drive shaft 41 is synchronized with the rotation of each drive shaft 41, 63. , 63 may be controlled so as to oscillate each of the oscillating portions 47, 49.

・ 図17に示すように、支持装置10を二つ設け、二つの支持装置10を、それぞれの可動体11が近接して1箇所に集約して配置可能となるように、YZ平面に対して面対称に設置するようにしてもよい。これによれば、各可動体11に保持された回転工具による作業を1箇所で集中して行うことが可能となる。その結果として、同じ種類の回転工具を両方に保持して効率を上げたり、異なる種類の回転工具や把持機構を保持して複雑な作業を可能としたりすることができる。   As shown in FIG. 17, two support devices 10 are provided, and the two support devices 10 can be arranged with respect to the YZ plane so that the movable bodies 11 can be arranged close together in one place. You may make it install in plane symmetry. According to this, it becomes possible to perform the work by the rotary tool held by each movable body 11 in one place. As a result, the same type of rotary tool can be held on both sides to increase efficiency, or different types of rotary tools and gripping mechanisms can be held to enable complex work.

・ 実施形態において、電動ドライバ11aが、電動ドライバ11aの出力軸11bの軸方向が、例えば、X軸方向に一致した状態で、可動体11に保持されていてもよい。この場合、X軸リンク機構部20が、3本のリンク23を有する必要がある。要は、3つのリンク機構部20,30,40のうちのいずれかのリンク23,33,43が3本以上設けられていればよい。これによれば、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のうち少なくとも一方向のリンク23,33,43の剛性を十分に確保することができる。   -In embodiment, the electric driver 11a may be hold | maintained at the movable body 11 in the state in which the axial direction of the output shaft 11b of the electric driver 11a corresponded to the X-axis direction, for example. In this case, the X-axis link mechanism 20 needs to have three links 23. In short, it is only necessary that three or more of the links 23, 33, 43 of the three link mechanism portions 20, 30, 40 are provided. According to this, it is possible to sufficiently ensure the rigidity of the links 23, 33, 43 in at least one direction among the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

・ 実施形態において、X軸リンク機構部20のリンク23が、1本であってもよいし、3本以上設けられていてもよい。要は、X軸リンク機構部20のリンク23は、1本以上設けられていればよい。   -In embodiment, the link 23 of the X-axis link mechanism part 20 may be one, and three or more may be provided. In short, it is sufficient that at least one link 23 of the X-axis link mechanism 20 is provided.

・ 実施形態において、Y軸リンク機構部30のリンク33が、2本以上設けられていてもよい。要は、Y軸リンク機構部30のリンク33は、1本以上設けられていればよい。   In the embodiment, two or more links 33 of the Y-axis link mechanism unit 30 may be provided. In short, it is sufficient that at least one link 33 of the Y-axis link mechanism 30 is provided.

・ 実施形態において、Z軸リンク機構部40のリンク43が、4本以上設けられていてもよい。要は、Z軸リンク機構部40のリンク43は、3本以上設けられていればよい。   In the embodiment, four or more links 43 of the Z-axis link mechanism unit 40 may be provided. In short, it is sufficient that three or more links 43 of the Z-axis link mechanism 40 are provided.

・ 実施形態において、例えば、X軸リンク機構部20のリンク23が1本であり、Y軸リンク機構部30のリンク33が1本であり、Z軸リンク機構部40のリンク43が3本である構成であってもよい。この場合、X軸リンク機構部20のリンク23における可動体11に対する接続位置と、Y軸リンク機構部30のリンク33における可動体11に対する接続位置とを、Z軸方向から見たとき、二等辺三角形T1の内部に位置していることが好ましい。これによれば、可動体11に加わる各軸方向の外力を、各軸のリンク23,33,43によって受承し易くなる。   In the embodiment, for example, the link 23 of the X-axis link mechanism unit 20 is one, the link 33 of the Y-axis link mechanism unit 30 is one, and the link 43 of the Z-axis link mechanism unit 40 is three. A certain configuration may be used. In this case, when the connection position of the link 23 of the X-axis link mechanism unit 20 to the movable body 11 and the connection position of the link 33 of the Y-axis link mechanism unit 30 to the movable body 11 are viewed from the Z-axis direction, isosceles sides. It is preferably located inside the triangle T1. According to this, it becomes easy to receive the external force of each axial direction applied to the movable body 11 by the links 23, 33, 43 of each axis.

・ 実施形態において、電動ドライバ11aの出力軸11bが、Z軸方向から見たとき、第2のZ軸リンク43bにおける可動体11に対する接続位置と第3のZ軸リンク43cにおける可動体11に対する接続位置とを結ぶ直線上に位置していなくてもよい。例えば、電動ドライバ11aの出力軸11bが、Z軸方向から見たとき、二等辺三角形T1の内部に位置していてもよい。   In the embodiment, when the output shaft 11b of the electric driver 11a is viewed from the Z-axis direction, the connection position to the movable body 11 in the second Z-axis link 43b and the connection to the movable body 11 in the third Z-axis link 43c It does not have to be located on a straight line connecting the positions. For example, the output shaft 11b of the electric driver 11a may be located inside the isosceles triangle T1 when viewed from the Z-axis direction.

・ 実施形態において、X軸リンク機構部20の2本のリンク23における可動体11に対する接続位置それぞれが、第2のZ軸リンク43b及び第3のZ軸リンク43cの接続位置それぞれと、Z軸方向で同一直線上に位置していなくてもよい。   In the embodiment, the connection positions of the two links 23 of the X-axis link mechanism unit 20 with respect to the movable body 11 are the connection positions of the second Z-axis link 43b and the third Z-axis link 43c, respectively, and the Z-axis It does not have to be on the same straight line in the direction.

・ 実施形態において、Y軸リンク機構部30のリンク33における可動体11に対する接続位置が、Z軸方向から見たときに、二等辺三角形T1の外部に位置していてもよい。   -In embodiment, when the connection position with respect to the movable body 11 in the link 33 of the Y-axis link mechanism part 30 is seen from a Z-axis direction, you may be located outside the isosceles triangle T1.

・ 実施形態において、Z軸リンク機構部40の3本のリンク43における可動体11に対する接続位置を、Z軸方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形T1を構成する位置になくてもよい。   -In embodiment, when the connection position with respect to the movable body 11 in the three links 43 of the Z-axis link mechanism part 40 is seen from a Z-axis direction, even if each connection position does not exist in the position which comprises the isosceles triangle T1. Good.

・ 実施形態において、例えば、アーム22,32,42とリンク23,33,43とをボールジョイントによって接続する構成にしてもよい。実施形態のリンク本数の構成(3本以上、2本以上、1本以上)においては、アーム22,32,42とリンク23,33,43とを接続する構成は、特に限定されるものではない。   In the embodiment, for example, the arms 22, 32, 42 and the links 23, 33, 43 may be connected by a ball joint. In the configuration of the number of links in the embodiment (3 or more, 2 or more, 1 or more), the configuration for connecting the arms 22, 32, 42 and the links 23, 33, 43 is not particularly limited. .

・ 実施形態において、可動体11の保持対象物が、例えば、電動ドリル等の他の回転工具や、半田鏝等の加熱工具等といった非回転の工具であってもよい。要は、可動体11の保持対象物は特に限定されるものではない。   In the embodiment, the object to be held by the movable body 11 may be a non-rotating tool such as another rotating tool such as an electric drill or a heating tool such as a solder iron. In short, the object to be held by the movable body 11 is not particularly limited.

10…支持装置、11…可動体、20,30,40…リンク機構部、21,31,41…駆動部である駆動軸、22,32,42…アーム、23,33,43…リンク、24,26,34,36,48,50,58…回転軸、25,27,35,37,55,59…接続部、42A…一対のアーム部、44…固定軸、47,49…揺動部、51…連結部、52…延設部、60…駆動部であるステージ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Support apparatus, 11 ... Movable body, 20, 30, 40 ... Link mechanism part, 21, 31, 41 ... Drive shaft which is a drive part, 22, 32, 42 ... Arm, 23, 33, 43 ... Link, 24 , 26, 34, 36, 48, 50, 58 ... rotating shaft, 25, 27, 35, 37, 55, 59 ... connecting portion, 42A ... a pair of arm portions, 44 ... fixed shaft, 47, 49 ... swinging portion. , 51 ... connecting part, 52 ... extending part, 60 ... stage which is a driving part.

Claims (6)

可動体の移動範囲の中で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向のいずれかの方向にそれぞれ対応して前記可動体をそれぞれ支持可能な3つのリンク機構部を有し、
各リンク機構部は、駆動部に連結されるアームと、前記アームに一端が連結されるとともに前記可動体に他端が連結され、前記可動体の移動範囲の中で前記X軸、前記Y軸及び前記Z軸のいずれかに一致可能に延びるリンクと、を有し、
前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンクのなす角度が90度を取り得るように構成されている支持装置であって、
前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンクのなす角度が90度をなすとき、各リンク機構部の前記アームと前記リンクとがなす角度が90度を取り得るように構成されており、
前記3つのリンク機構部のうちのいずれかのリンクが3本以上設けられており、前記3本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記可動体の移動範囲の中で、前記可動体の姿勢を一定な状態に維持し、且つ前記3本以上のリンクをそれぞれ平行な状態に維持させながら移動させることを特徴とする支持装置。
Within the range of movement of the movable body, it has three link mechanism portions that can support the movable body respectively corresponding to any of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction,
Each link mechanism unit has an arm coupled to the drive unit, one end coupled to the arm and the other end coupled to the movable body, and the X axis and the Y axis within the movable range of the movable body. And a link extending so as to be coincident with any of the Z-axis,
A support device configured such that an angle formed by links of adjacent link mechanism portions within a movable range of the movable body can take 90 degrees,
When the angle formed by the links of the adjacent link mechanism units in the moving range of the movable body makes 90 degrees, the angle formed by the arm of each link mechanism section and the link can take 90 degrees. And
Three or more links of any of the three link mechanism portions are provided, and the arm of the link mechanism portion provided with the three or more links is within the moving range of the movable body. A support device characterized in that a posture of a movable body is maintained in a constant state and the three or more links are moved while being maintained in a parallel state.
前記アームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結されており、
前記リンク機構部は、前記駆動軸と平行に延びる回転軸と、前記回転軸に接続されるとともに前記回転軸の軸方向に平行な平面内で前記回転軸に対して揺動可能な接続部と、を有し、
前記リンクは、前記接続部に接続されており、前記アームに対して、前記回転軸を揺動中心に揺動可能であり、且つ前記平面内で前記回転軸に対して前記接続部を介して揺動可能であることを特徴とする請求項1に記載の支持装置。
The arm is swingably connected to a drive shaft that is the drive unit,
The link mechanism includes a rotation shaft extending in parallel with the drive shaft, and a connection portion connected to the rotation shaft and swingable with respect to the rotation shaft in a plane parallel to the axial direction of the rotation shaft. Have
The link is connected to the connection portion, and is swingable with respect to the arm about the rotation shaft as a swing center, and via the connection portion with respect to the rotation shaft in the plane. The support device according to claim 1, wherein the support device is swingable.
前記3本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、固定軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、一体の連結部とを含む平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部を有し、その一辺が前記駆動軸と前記固定軸とからなり、対辺が前記連結部からなり、前記連結部を介して前記3本以上のリンクが接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の支持装置。   The arms of the link mechanism portion provided with the three or more links are a pair of swinging portions that are swingably connected to a drive shaft that is the drive portion, and a pair that is swingably connected to a fixed shaft. And a pair of arm portions constituting a parallelogram link mechanism including an integral connecting portion, one side of which is composed of the drive shaft and the fixed shaft, and the opposite side is composed of the connecting portion. The support device according to claim 1, wherein the three or more links are connected via the connecting portion. 前記3本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記一対のアーム部の間に延びる延設部を有し、
前記延設部の先端部に、前記3本以上のリンクのうち1本が二方向に揺動可能に連結されていることを特徴とする請求項3に記載の支持装置。
The arm of the link mechanism portion provided with the three or more links has an extending portion extending between the pair of arm portions,
The support device according to claim 3, wherein one of the three or more links is connected to a distal end portion of the extending portion so as to be swingable in two directions.
前記3つのリンク機構部のうちのいずれかのリンクが3本設けられており、
前記3本のリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記3本のリンクが一致可能な前記X軸、前記Y軸及び前記Z軸のいずれかの方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形を構成する位置にあることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の支持装置。
Three links of any of the three link mechanisms are provided,
When the connection positions of the three links to the movable body are viewed from any of the X axis, the Y axis, and the Z axis where the three links can match, each connection position is isosceles. It is in the position which comprises a triangle, The support apparatus as described in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned.
前記3本のリンクとは異なるリンクを有する2つのリンク機構部のうちの少なくとも1つのリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記3本のリンクが一致可能な前記X軸、前記Y軸及び前記Z軸のいずれかの方向から見たとき、前記接続位置が前記二等辺三角形の内部に位置していることを特徴とする請求項5に記載の支持装置。   The connection position with respect to the movable body in at least one link of two link mechanisms having a link different from the three links, the X axis, the Y axis, and the The support device according to claim 5, wherein the connection position is located inside the isosceles triangle when viewed from any direction of the Z-axis.
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